KR102178871B1 - Exhaust assembly and Apparatus for treating substrate with the assembly - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유체가 흐르는 장치를 제공한다. 기판을 처리하는 장치는 챔버 및 상기 챔버의 내부를 배기하는 배기 어셈블리를 포함하되, 상기 배기 어셈블리는 내부 통로를 가지는 배관, 상기 배관에 설치되며, 상기 내부 통로를 개폐하는 개폐 부재, 그리고 상기 내부 통로가 개폐되도록 상기 개폐 부재를 구동시키는 구동 부재를 포함하되, 상기 개폐 부재는 상기 내부 통로를 차단 가능한 제1판과 상기 제1판에 결합되는 제2판을 포함하되, 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 작은 면적을 가지고, 상기 제1판과 상기 제2판은 서로 다른 재질로 제공된다. The present invention provides a device through which a fluid flows. An apparatus for processing a substrate includes a chamber and an exhaust assembly for exhausting the interior of the chamber, wherein the exhaust assembly includes a pipe having an inner passage, an opening member installed in the pipe and opening and closing the inner passage, and the inner passage And a driving member for driving the opening/closing member to open and close the opening/closing member, wherein the opening/closing member includes a first plate capable of blocking the inner passage and a second plate coupled to the first plate, wherein the second plate is the second plate It has a smaller area than that of the first plate, and the first plate and the second plate are made of different materials.
Description
본 발명은 유체가 흐르는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device through which a fluid flows.
반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 이러한 공정들 중 내부에 처리 공간을 가지는 챔버에서 진행된다.In order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photography, etching, and ion implantation are performed. Among these processes, it is performed in a chamber having a processing space inside.
일반적으로, 챔버의 처리 공간은 일정한 공정 분위기를 유지해야 한다. 이로 인해 공정 분위기는 기설정된 압력이 유지되도록 배기 어셈블리에 의해 배기된다. 배기 어셈블리는 공정 분위기를 일정 압력으로 유지시킬 뿐만 아니라, 기판 처리 시 발생된 공정 부산물을 배기한다. 예컨대, 강산 또는 강염기의 케미칼로 기판을 처리하는 과정에는 퓸(Fume)과 같은 공정 부산물이 발생되며, 이는 배기 어셈블리에 의해 배기된다.In general, the processing space of the chamber must maintain a constant process atmosphere. Due to this, the process atmosphere is exhausted by the exhaust assembly so that a preset pressure is maintained. The exhaust assembly not only maintains the process atmosphere at a constant pressure, but also exhausts process by-products generated during substrate processing. For example, in the process of treating a substrate with a strong acid or strong base chemical, process by-products such as fume are generated, which are exhausted by the exhaust assembly.
배기 어셈블리는 배관 및 이를 개폐하는 개폐 부재를 포함하며, 개폐 부재의 구동을 통해 배관을 개폐한다. 도 1은 일반적인 개폐 부재를 보여주는 분해 사시도이다. 도 1을 참조하면, 개폐 부재는 바디와 개폐링을 가진다. 바디는 원판 형상을 가지고, 개폐링은 환형의 링 형상을 가진다. 개폐링은 바디의 단부를 감싸도록 바디에 결합된다. 개폐링은 배관과 동일하거나 그보다 조금 큰 면적을 가지는 링으로 제공된다.The exhaust assembly includes a pipe and an opening and closing member that opens and closes the pipe, and opens and closes the pipe by driving the opening and closing member. 1 is an exploded perspective view showing a general opening and closing member. Referring to Figure 1, the opening and closing member has a body and an opening and closing ring. The body has a disk shape, and the opening/closing ring has an annular ring shape. The opening and closing ring is coupled to the body so as to surround the end of the body. The opening/closing ring is provided as a ring having an area equal to or slightly larger than the pipe.
퓸(Fume)이 배기되는 과정에서 개폐링은 데미지를 입고, 배관과 마찰된다. 그 결과 개폐링에는 계속적인 데미지가 누적되어 경화 및 손상이 발생된다. 이로 인해 개폐링은 그 형체가 변형되거나, 바디와 분리되는 등의 불량이 발생되며, 배기량 조절의 어려움을 가진다.In the process of exhausting fume, the opening/closing ring suffers damage and rubs against the pipe. As a result, damage continues to accumulate in the opening and closing ring, causing hardening and damage. Accordingly, defects such as deformation of the shape of the opening/closing ring or separation from the body occur, and it is difficult to control the displacement.
본 발명은 장시간 사용 시 우수한 내구성을 가지는 개폐 부재 및 이의 제작 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an opening and closing member having excellent durability and a method of manufacturing the same when used for a long time.
본 발명의 실시예는 유체가 흐르는 장치를 제공한다. An embodiment of the present invention provides a device through which a fluid flows.
기판을 처리하는 장치는 챔버 및 상기 챔버의 내부를 배기하는 배기 어셈블리를 포함하되, 상기 배기 어셈블리는 내부 통로를 가지는 배관, 상기 배관에 설치되며, 상기 내부 통로를 개폐하는 개폐 부재, 그리고 상기 내부 통로가 개폐되도록 상기 개폐 부재를 구동시키는 구동 부재를 포함하되, 상기 개폐 부재는 상기 내부 통로를 차단 가능한 제1판과 상기 제1판에 결합되는 제2판을 포함하되, 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 작은 면적을 가지고, 상기 제1판과 상기 제2판은 서로 다른 재질로 제공된다. An apparatus for processing a substrate includes a chamber and an exhaust assembly for exhausting the interior of the chamber, wherein the exhaust assembly includes a pipe having an inner passage, an opening member installed in the pipe and opening and closing the inner passage, and the inner passage And a driving member for driving the opening/closing member to open and close the opening/closing member, wherein the opening/closing member includes a first plate capable of blocking the inner passage and a second plate coupled to the first plate, wherein the second plate is the second plate It has a smaller area than that of the first plate, and the first plate and the second plate are made of different materials.
상기 제1판은 상기 제2판에 비해 내화학성이 높은 재질을 가지고, 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 높은 강도의 재질을 가질 수 있다. 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 큰 두께를 가질 수 있다. 상기 제1판과 상기 제2판은 동심을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 제2판은 상기 제1판의 양측에 각각 결합될 수 있다. The first plate may have a material having higher chemical resistance than the second plate, and the second plate may have a material having a higher strength than the first plate. The second plate may have a larger thickness than the first plate. The first plate and the second plate may be arranged to have concentricity. The second plate may be coupled to both sides of the first plate, respectively.
상기 구동 부재는, 상기 개폐 부재에 고정 결합되고, 그 길이 방향이 상기 배관의 길이 방향에 수직하게 제공되는 회전축 및 상기 개폐 부재가 닫힘 위치와 개방 위치 간에 위치 변경되도록 상기 회전축을 회전시키는 구동기를 포함하되, 상기 닫힘 위치는 상기 제1판의 중심축과 상기 배관의 길이 방향이 평행한 위치이고, 상기 개방 위치는 상기 닫힘 위치를 벗어난 위치로 제공되며, 상기 닫힘 위치에서 상기 제1판과 상기 배관 간에는 틈이 제공될 수 있다. 상기 틈은 5mm 이하로 제공될 수 있다. The driving member is fixedly coupled to the opening and closing member, and includes a rotation shaft provided in a longitudinal direction perpendicular to the longitudinal direction of the pipe, and a driver for rotating the rotation shaft so that the opening and closing member is changed between a closed position and an open position. However, the closed position is a position in which the central axis of the first plate and the longitudinal direction of the pipe are parallel, the open position is provided at a position outside the closed position, and the first plate and the pipe at the closed position A gap may be provided between the liver. The gap may be provided with 5 mm or less.
상기 제1판은 불소를 포함하는 수지 재질로 제공되고, 상기 제2판은 폴리프로필렌(PP) 또는 폴리염화비닐(PVC)를 포함하는 수지로 제공될 수 있다. The first plate may be made of a resin material containing fluorine, and the second plate may be made of a resin containing polypropylene (PP) or polyvinyl chloride (PVC).
또한 배기 어셈블리는 내부 통로를 가지는 배관, 상기 배관에 설치되며, 상기 내부 통로를 개폐하는 개폐 부재, 그리고 상기 내부 통로가 개폐되도록 상기 개폐 부재를 구동시키는 구동 부재를 포함하되, 상기 개폐 부재는 상기 내부 통로를 차단 가능한 제1판 및 상기 제1판에 결합되는 제2판을 포함하되, 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 작은 면적을 가지고, 상기 제1판과 상기 제2판은 서로 다른 재질로 제공된다. In addition, the exhaust assembly includes a pipe having an inner passage, an opening and closing member installed in the pipe and opening and closing the inner passage, and a driving member for driving the opening and closing member to open and close the inner passage, wherein the opening and closing member And a first plate capable of blocking a passage and a second plate coupled to the first plate, wherein the second plate has a smaller area than the first plate, and the first plate and the second plate are different from each other. Available in materials.
상기 제1판은 상기 제2판에 비해 내화학성이 높은 재질을 가지고, 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 높은 강도의 재질을 가질 수 있다. 상기 제2판은 상기 제1판에 비해 큰 두께를 가지고, 상기 제1판과 상기 제2판은 동심을 가지도록 배치될 수 있다. The first plate may have a material having higher chemical resistance than the second plate, and the second plate may have a material having a higher strength than the first plate. The second plate may have a larger thickness than the first plate, and the first plate and the second plate may be arranged to have a concentricity.
상기 제1판은 불소를 포함하는 수지 재질로 제공되고, 상기 제2판은 폴리프로필렌(PP) 또는 폴리염화비닐(PVC)를 포함하는 수지로 제공될 수 있다. The first plate may be made of a resin material containing fluorine, and the second plate may be made of a resin containing polypropylene (PP) or polyvinyl chloride (PVC).
본 발명의 실시예에 의하면, 개폐 부재는 강도가 높은 제2판이 제1판을 지지한다. 이로 인해 제1판은 연성을 가지는 동시에 내구성을 향상시킬 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, a second plate having high strength supports the first plate of the opening/closing member. Accordingly, the first plate can have ductility and improve durability.
도 1은 일반적인 개폐 부재를 보여주는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 3에 연결된 배기 어셈블리를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 개폐 부재를 보여주는 분해 사시도이다.
도 6은 도 4의 개폐 부재를 보여주는 정면도이다.
도 7은 도 4의 개폐 부재를 A-A' 방향으로 바라본 단면도이다.
도 8은 도 5의 개폐 부재의 다른 실시예를 보여주는 분해 사시도이다.
도 9는 도 5의 개폐 부재의 또 다른 실시예를 보여주는 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a general opening and closing member.
2 is a plan view showing a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 2.
4 is a view showing the exhaust assembly connected to FIG. 3.
5 is an exploded perspective view showing the opening and closing member of FIG. 4.
6 is a front view showing the opening and closing member of FIG. 4.
7 is a cross-sectional view of the opening and closing member of FIG. 4 viewed in the direction AA′.
8 is an exploded perspective view showing another embodiment of the opening and closing member of FIG. 5.
9 is an exploded perspective view showing another embodiment of the opening and closing member of FIG. 5.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Therefore, the shape of the constituent elements in the drawings is exaggerated to emphasize a more clear description.
본 발명은 도 2 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.The present invention will be described in detail an example of the present invention with reference to FIGS. 2 to 9.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다.2 is a plan view showing a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 인덱스 모듈(10)과 공정 처리 모듈(20)을 가지고, 인덱스 모듈(10)은 로드 포트(120) 및 이송 프레임(140)을 가진다. 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다. Referring to FIG. 2, the
로드 포트(120)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(18)가 안착된다. 로드 포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 1에서는 4 개의 로드 포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나 로드 포트(120)의 개수는 공정 처리 모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(18)에는 기판의 가장자리를 지지하도록 제공된 슬롯(도시되지 않음)이 형성된다. 슬롯은 제3방향(16)을 복수 개가 제공되고, 기판은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 캐리어 내에 위치된다. 캐리어(18)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unified Pod;FOUP)가 사용될 수 있다. The
공정 처리 모듈(20)은 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240), 공정 챔버(260), 그리고 배기 어셈블리(500)를 가진다. 이송 챔버(240)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 배치된다. 제2방향(14)를 따라 이송 챔버(240)의 양측에는 공정 챔버들(260)이 배치된다. 공정 챔버들(260)은 이송 챔버(240)를 기준으로 서로 대칭이 되도록 제공될 수 있다. 공정 챔버들(260) 중 일부는 이송 챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정 챔버들(260) 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송 챔버(240)의 양측에는 공정 챔버들(260)이 A X B(A와 B는 각각 1 이상의 자연수)의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이다. 이송 챔버(240)의 양측 각각에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정 챔버들(260)은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정 챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. The
상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측 및 타측에 단층으로 제공될 수 있다. 또한, 공정 챔버(260)는 상술한 바와 달리 다양한 배치로 제공될 수 있다. 또한 공정 챔버들(260) 중 이송 챔버(240)의 일측에는 기판을 액 처리 공정을 수행하고, 타측에는 액 처리 공정이 수행된 기판을 건조 처리하는 공정을 수행할 수 있다. 건조 처리 공정은 초임계 처리 공정일 수 있다.Unlike the above, the
버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 이송 챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송 챔버(240)와 이송 프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼 유닛(220)은 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯들(미도시)은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 버퍼 유닛(220)에서 이송 프레임(140)과 마주보는 면과 이송 챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된다.The
이송 프레임(140)은 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(18)와 버퍼 유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정 처리 모듈(20)에서 캐리어(18)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 다른 일부는 캐리어(18)에서 공정 처리 모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. The
이송 챔버(240)는 버퍼 유닛(220) 및 공정 챔버들(260) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 챔버(240)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공된다. 가이드 레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인 로봇(244)은 가이드 레일(242) 상에 설치되고, 가이드 레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. The
아래에서는 공정 챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치(300)에 대해 설명한다. 본 실시예에는 기판 처리 장치(300)이 기판에 대해 액 처리 공정을 수행하는 것을 일 예로 설명한다. 액 처리 공정은 기판을 세정 처리하거나, 기판 상에 형성된 막을 제거하는 공정을 포함할 수 있다. Hereinafter, the
도 3은 도 2의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다. 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(300)는 챔버(310), 처리 용기(320), 스핀 헤드(340), 승강 유닛(360), 그리고 액 공급 유닛(400)을 포함한다. 챔버(310)는 내부에 기판(W)을 처리하는 공정이 수행되는 처리 공간(312)을 제공한다. 챔버(310)의 바닥면에는 배기관(314)이 설치된다. 배기관(314)은 처리 공간(312)을 배기하는 관으로 제공된다. 배기관(314)에는 감압 부재(540)가 설치될 수 있다. 3 is a cross-sectional view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 2. Referring to FIG. 3, the
처리 용기(320)는 처리 공간(312)에 위치되며, 상부가 개방된 컵 형상으로 제공된다. 상부에서 바라볼 때 처리 용기(320) 배기관(314)과 중첩되도록 위치된다. 처리 용기(320)는 내부 회수통(322) 및 외부 회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,326)은 공정에 사용된 처리액 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부 회수통(322)은 스핀 헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부 회수통(326)은 내부 회수통(322)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부 회수통(322)의 내측공간(322a) 및 외부 회수통(326)과 내부 회수통(322)의 사이 공간(326a)은 각각 내부 회수통(322) 및 외부 회수통(326)으로 처리액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 각각의 회수통(322,326)에는 그 저면 아래 방향으로 수직하게 연장되는 회수라인(322b,326b)이 연결된다. 각각의 회수라인(322b,326b)은 각각의 회수통(322,326)을 통해 유입된 처리액을 배출하는 배출관으로 기능한다. 배출된 처리액은 외부의 처리액 재생 시스템(미도시)을 통해 재사용될 수 있다.The
스핀 헤드(340)는 기판(W)을 지지 및 회전시키는 기판 지지 유닛(340)으로 제공된다. 스핀 헤드(340)는 처리 용기(320)의 내에 배치된다. 스핀 헤드(340)은 공정 진행 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 스핀 헤드(340)는 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 모터(349)에 의해 회전 가능한 지지축(348)이 고정 결합된다. 지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지핀들(334)은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판의 후면 가장자리를 지지한다. 척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 스핀 헤드(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기 위치와 지지 위치 간에 직선 이동 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지 위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 로딩 또는 언 로딩시에는 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행시에는 척핀(346)은 지지 위치에 위치된다. 지지 위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.The
승강 유닛(360)은 처리 용기(320)와 스핀 헤드(340) 간에 상대 높이를 조절한다. 승강 유닛(360)은 처리 용기(320)를 상하 방향으로 직선 이동시킨다. 처리 용기(320)가 상하로 이동됨에 따라 스핀 헤드(340)에 대한 처리 용기(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강 유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 처리 용기(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 놓이거나, 스핀 헤드(340)로부터 들어올려 질 때 스핀 헤드(340)가 처리 용기(320)의 상부로 돌출되도록 처리 용기(320)는 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 처리 용기(320)의 높이가 조절한다. The
상술한 바와 달리 승강 유닛(360)은 처리 용기(320) 대신 스핀 헤드(340)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.Unlike the above, the
액 공급 유닛(400)은 기판(W) 상에 다양한 종류의 처리액들을 공급한다. 액 공급 유닛은 기판(W)을 세정하거나, 기판(W)의 막을 제거하는 처리액을 공급한다. 노즐(410)은 공정 위치와 대기 위치로 이동된다. 여기서 공정 위치는 노즐(410)이 처리 용기(320) 내에 위치된 기판(W) 상에 처리액을 토출 가능한 위치이고, 대기 위치는 노즐(410)이 공정 위치를 벗어나 대기되는 위치로 정의한다. 일 예에 의하면, 공정 위치는 노즐(410)이 기판(W)의 중심으로 액을 공급할 수 있는 위치일 수 있다. 예컨대, 상부에서 바라볼 때 노즐(410)은 직선 이동 또는 축 회전 이동되어 공정 위치와 대기 위치 간에 이동될 수 있다. 처리액은 케미칼, 린스액, 또는 유기 용제일 수 있다. 케미칼은 강산 또는 강염기의 액일 수 있다.The
배기 어셈블리(500)는 이송 챔버(240) 및 공정 챔버(260)의 내부를 배기한다. 예컨대, 배기 어셈블리(500)는 이송 챔버(240) 및 공정 챔버(260)의 바닥면을 통해 각각의 내부를 배기할 수 있다. 공정 챔버(310)는 바닥면에 제공된 배기관(314)을 통해 그 내부가 배기될 수 있다. 도 4는 도 3에 연결된 배기 어셈블리를 개략적으로 보여주는 도면이다. 배기 어셈블리(500)는 배관(520), 감압 부재(540), 개폐 부재(600), 그리고 구동 부재(680)를 포함한다. 배관(520)은 유체가 흐르는 내부 통로를 가진다. 본 실시예에는 배관(520)을 통해 각 챔버(240,260)의 기류와 같은 분위기를 배기하는 것으로 설명한다. 배관(520)에는 감압 부재(540)가 설치되며, 그 내부 통로는 감압 부재(540)에 의해 배기력이 발생된다. 감압 부재(540)는 배관(520)에서 배기 방향에 대해 개폐 부재(600)보다 하류에 위치된다. 배관(520)의 내부 통로는 개폐 부재(600)에 의해 개폐된다. 개폐 부재(600)는 배관(520)의 절단면에 대응되는 판 형상으로 제공된다. 예컨대, 배관(520)은 원통 형상을 가지며, 개폐 부재(600)는 원판 형상으로 제공될 수 있다. 개폐 부재(600)는 배관(520)의 내경과 동일하거나 이보다 조금 작은 크기일 수 있다. The
구동 부재(680)는 배관(520) 내에 위치된 개폐 부재(600)를 개방 위치와 닫힘 위치로 이동시킨다. 구동 부재(680)는 개폐 부재(600)를 회전시켜 개방 위치와 닫힘 위치 간에 이동시킨다. 여기서 닫힘 위치는 내부 통로에 흐르는 기류가 개폐 부재(600)에 의해 90% 이상이 차단되는 정도의 위치이다. 예컨대, 닫힘 위치에는 개폐 부재(600)의 중심축과 배관(520)의 길이 방향이 평행하게 제공될 수 있다. 이와 달리 개방 위치에는 개폐 부재(600)의 중심축과 배관(520)의 길이 방향이 상이하게 제공될 수 있다. 구동 부재(680)는 회전축 및 구동기를 포함한다. 회전축은 배관(520) 및 개폐 부재(600) 각각에 결합되어 배관(520)의 길이 방향과 수직한 방향을 축으로 회전 가능하다. 회전축은 개폐 부재(600)를 그립(Grip) 가능한 그립퍼로 기능하며, 개폐 부재(600)를 사이에 두고 양단에서 각각 그립할 수 있다. 그립퍼는 축을 중심으로 회전될 수 있다. 구동기는 회전축에 구동력을 전달하는 모터일 수 있다. The driving
다음은 상술한 개폐 부재(600)에 대해 보다 자세히 설명한다. 도 5는 도 4의 개폐 부재(600)를 보여주는 분해 사시도이고, 도 6은 도 4의 개폐 부재를 보여주는 정면도이며, 도 7은 도 4의 개폐 부재를 A-A' 방향으로 바라본 단면도이다. 도 5 내지 도 7을 참조하면, 개폐 부재(600)는 제1판(620) 및 제2판(640)을 포함한다. 제1판(620) 및 제2판(640) 각각은 서로 형상 및 성질이 다른 판으로 제공된다. 일 예에 의하면, 제1판(620)은 제2판(640)보다 큰 면적을 가지고, 얇은 두께를 가질 수 있다. 제1판(620)은 제2판(640)에 비해 내화학성이 높은 재질로 제공되고, 제2판(640)은 제1판(620)에 비해 강도가 높은 재질로 제공될 수 있다. 제1판(620)은 불소를 포함하는 수지 재질로 제공되고, 제2판(640)은 폴리프로필렌(PP) 또는 폴리염화비닐(PVC)를 포함하는 수지로 제공될 수 있다.Next, the above-described opening and closing
제2판(640)은 제1판(620)의 양면 각각에 결합된다. 제2판(640)은 제1판(620)에 접촉되게 결합된다. 제2판(640)은 제1판(620)과 동심원을 가지도록 결합된다. 예컨대 제1판(620)과 제2판(640)은 볼트(660)에 의해 체결될 수 있다. 따라서 개폐 부재(600)를 정면에서 바라보면, 중앙 영역은 제2판(640)을 포함하고, 가장자리 영역은 제1판(620)을 포함한다. 즉, 개폐 부재(600)는 중앙 영역이 높은 강도를 가지고, 가장자리 영역이 높은 내화학성을 가질 수 있다. 제2판(640)은 제1판(620)에 비해 큰 두께를 가진다. 즉 제1판(620)의 제1두께(D1)은 제2판(640)의 제2판(D2)보다 작게 제공된다. 이러한 두께 및 재질로 인해, 제2판(640)은 제1판(620)보다 큰 강도를 가질 수 있으며, 제2판(640)은 제1판(620)과 체결되어 제1판(620)의 강도를 보강할 수 있다. The
제1판(620)은 닫힘 위치에서 배관(520)의 내측면과 틈(S)을 가지는 면적으로 제공된다. 예컨대, 틈(S)은 원주 방향을 따라 동일한 길이일 수 있다. 틈(S)은 0.5mm 이하일 수 있다. 이로 인해 이송 챔버(240) 및 공정 챔버(260)에서 발생된 다량의 부산물은 상기 틈(S)을 통해 배기되며, 개폐 부재(600)의 중앙 영역보다 가장자리 영역에 더 빈번하게 접촉된다. 이때 개폐 부재(600)의 가장자리 영역은 제1판(620)을 포함하며, 내화학성이 높은 재질로 제공되어 높은 내구성을 가진다. 또한 제1판(620) 및 제2판(640)은 각각 판 형상을 가지며, 제2판(640)은 일면 전체가 제1판(620)에 접촉되게 결합된다. 이로 인해 제1판(620)과 제2판(640) 중 어느 하나 또는 일부가 손상될지라도, 이들의 강제 분리되는 것을 방지할 수 있다. The
또한 제1판(620)은 배관(520)에 대한 틈(S)을 가진다. 이로 인해 닫힘 위치에서도 기류의 흐름을 개폐 부재(600)의 가장자리 영역으로 안내하며, 중앙 영역인 제2판(640)의 손상을 최소화하는 동시에, 90% 이상의 밀폐력을 가진다. In addition, the
또한 제1판(620)은 제2판(640)에 비해 연성을 가지는 재질이며, 충격으로 인해 제1판(620)의 일부의 위치가 변경되어 배관(520)에 접촉될지라도, 제1판(620)의 손상을 최소화할 수 있다. In addition, the
상술한 실시예에는 개폐 부재(600)가 1 개의 제1판(620) 및 이의 양측에 제공되도록 2 개의 제2판(640)을 가지는 것으로 설명하였다. 그러나 제2판(640)은 제1판(620)의 일측에만 제공되도록 1 개로 제공될 수 있다. In the above-described embodiment, it has been described that the opening/closing
또한 도 8과 같이, 제2판(640)은 환형의 링 형상으로 제공되어 제1판(620)의 강도를 보강하는 동시에 경량화 및 제작 비용을 줄일 수 있다. In addition, as shown in FIG. 8, the
또한 도 9와 같이. 제1판(620)은 2 개의 반원 형상으로 제공되며, 이들은 제2판(640)에 의해 결합 및 조합되어 원형으로 제공될 수 있다. Also as shown in Figure 9. The
500: 배기 어셈블리 520: 배관
540: 감압 부재 600: 개폐 부재
620: 제1판 640: 제2판
680: 구동 부재500: exhaust assembly 520: piping
540: pressure reducing member 600: opening and closing member
620: first edition 640: second edition
680: drive member
Claims (12)
챔버와;
상기 챔버의 내부를 배기하는 배기 어셈블리를 포함하되,
상기 배기 어셈블리는,
내부 통로를 가지는 배관과;
상기 배관에 설치되며, 상기 내부 통로를 개폐하는 개폐 부재와; 그리고
상기 내부 통로가 개폐되도록 상기 개폐 부재를 구동시키는 구동 부재를 포함하되,
상기 개폐 부재는,
상기 내부 통로를 차단 가능한 제1판과;
상기 제1판에 결합되는 제2판을 포함하되,
상기 제2판은 상기 제1판에 비해 작은 면적을 직경을 갖는 링 형상으로 제공되고,
상기 제1판과 상기 제2판은 서로 다른 재질로 제공되는 기판 처리 장치.In the apparatus for processing a substrate,
Chamber;
Including an exhaust assembly for exhausting the interior of the chamber,
The exhaust assembly,
A pipe having an internal passage;
An opening/closing member installed in the pipe and opening and closing the inner passage; And
Including a driving member for driving the opening and closing member to open and close the inner passage,
The opening and closing member,
A first plate capable of blocking the inner passage;
Including a second plate coupled to the first plate,
The second plate is provided in a ring shape having a diameter smaller than that of the first plate,
A substrate processing apparatus wherein the first plate and the second plate are made of different materials.
상기 제1판은 상기 제2판에 비해 내화학성이 높은 재질을 가지고,
상기 제2판은 상기 제1판에 비해 높은 강도의 재질을 가지는 기판 처리 장치.The method of claim 1,
The first plate has a material having high chemical resistance compared to the second plate,
The second plate has a higher strength material than the first plate.
상기 제2판은 상기 제1판에 비해 큰 두께를 가지는 기판 처리 장치.The method of claim 2,
The second plate has a larger thickness than the first plate.
상기 제1판과 상기 제2판은 동심을 가지도록 배치되는 기판 처리 장치.The method of claim 3,
The first plate and the second plate are arranged to have a concentric substrate processing apparatus.
상기 제2판은 상기 제1판의 양측에 각각 결합되는 기판 처리 장치.The method of claim 3,
The second plate is a substrate processing apparatus that is respectively coupled to both sides of the first plate.
상기 구동 부재는,
상기 개폐 부재에 고정 결합되고, 그 길이 방향이 상기 배관의 길이 방향에 수직하게 제공되는 회전축과;
상기 개폐 부재가 닫힘 위치와 개방 위치 간에 위치 변경되도록 상기 회전축을 회전시키는 구동기를 포함하되,
상기 닫힘 위치는 상기 제1판의 중심축과 상기 배관의 길이 방향이 평행한 위치이고, 상기 개방 위치는 상기 닫힘 위치를 벗어난 위치로 제공되며,
상기 닫힘 위치에서 상기 제1판과 상기 배관 간에는 틈이 제공되는 기판 처리 장치.The method of claim 4,
The driving member,
A rotation shaft fixedly coupled to the opening/closing member and provided in a longitudinal direction perpendicular to the longitudinal direction of the pipe;
Including a driver for rotating the rotation shaft so that the position of the opening and closing member is changed between the closed position and the open position,
The closed position is a position in which the central axis of the first plate and the longitudinal direction of the pipe are parallel, and the open position is provided as a position outside the closed position,
A substrate processing apparatus in which a gap is provided between the first plate and the pipe in the closed position.
상기 틈은 5mm 이하로 제공되는 기판 처리 장치.The method of claim 6,
The substrate processing apparatus provided with the gap is 5 mm or less.
상기 제1판은 불소를 포함하는 수지 재질로 제공되고,
상기 제2판은 폴리프로필렌(PP) 또는 폴리염화비닐(PVC)를 포함하는 수지로 제공되는 기판 처리 장치.The method according to any one of claims 1 to 7,
The first plate is provided with a resin material containing fluorine,
The second plate is a substrate processing apparatus provided with a resin containing polypropylene (PP) or polyvinyl chloride (PVC).
내부 통로를 가지는 배관과;
상기 배관에 설치되며, 상기 내부 통로를 개폐하는 개폐 부재와; 그리고
상기 내부 통로가 개폐되도록 상기 개폐 부재를 구동시키는 구동 부재를 포함하되,
상기 개폐 부재는,
상기 내부 통로를 차단 가능한 제1판과;
상기 제1판에 결합되는 제2판을 포함하되,
상기 제2판은 상기 제1판에 비해 작은 직경을 갖는 링 형상으로 제공되고,
상기 제1판과 상기 제2판은 서로 다른 재질로 제공되는 배기 어셈블리.In the exhaust assembly,
A pipe having an internal passage;
An opening/closing member installed in the pipe and opening and closing the inner passage; And
Including a driving member for driving the opening and closing member to open and close the inner passage,
The opening and closing member,
A first plate capable of blocking the inner passage;
Including a second plate coupled to the first plate,
The second plate is provided in a ring shape having a smaller diameter than the first plate,
The first plate and the second plate are made of different materials.
상기 제1판은 상기 제2판에 비해 내화학성이 높은 재질을 가지고,
상기 제2판은 상기 제1판에 비해 높은 강도의 재질을 가지는 배기 어셈블리.The method of claim 9,
The first plate has a material having high chemical resistance compared to the second plate,
The second plate is an exhaust assembly having a material having a higher strength than the first plate.
상기 제2판은 상기 제1판에 비해 큰 두께를 가지고,
상기 제1판과 상기 제2판은 동심을 가지도록 배치되는 배기 어셈블리.The method of claim 10,
The second plate has a larger thickness than the first plate,
The exhaust assembly that is disposed so that the first plate and the second plate are concentric.
상기 제1판은 불소를 포함하는 수지 재질로 제공되고,
상기 제2판은 폴리프로필렌(PP) 또는 폴리염화비닐(PVC)를 포함하는 수지로 제공되는 배기 어셈블리.
The method according to any one of claims 9 to 11,
The first plate is provided with a resin material containing fluorine,
The second plate is an exhaust assembly provided with a resin containing polypropylene (PP) or polyvinyl chloride (PVC).
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