KR102172472B1 - Overhead hoist transport - Google Patents

Overhead hoist transport Download PDF

Info

Publication number
KR102172472B1
KR102172472B1 KR1020180118889A KR20180118889A KR102172472B1 KR 102172472 B1 KR102172472 B1 KR 102172472B1 KR 1020180118889 A KR1020180118889 A KR 1020180118889A KR 20180118889 A KR20180118889 A KR 20180118889A KR 102172472 B1 KR102172472 B1 KR 102172472B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transfer
vehicles
power
areas
transport
Prior art date
Application number
KR1020180118889A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200039229A (en
Inventor
유수종
이남희
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020180118889A priority Critical patent/KR102172472B1/en
Publication of KR20200039229A publication Critical patent/KR20200039229A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102172472B1 publication Critical patent/KR102172472B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L53/00—Methods of charging batteries, specially adapted for electric vehicles; Charging stations or on-board charging equipment therefor; Exchange of energy storage elements in electric vehicles
    • B60L53/10—Methods of charging batteries, specially adapted for electric vehicles; Charging stations or on-board charging equipment therefor; Exchange of energy storage elements in electric vehicles characterised by the energy transfer between the charging station and the vehicle
    • B60L53/12—Inductive energy transfer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L58/00—Methods or circuit arrangements for monitoring or controlling batteries or fuel cells, specially adapted for electric vehicles
    • B60L58/10—Methods or circuit arrangements for monitoring or controlling batteries or fuel cells, specially adapted for electric vehicles for monitoring or controlling batteries
    • B60L58/12—Methods or circuit arrangements for monitoring or controlling batteries or fuel cells, specially adapted for electric vehicles for monitoring or controlling batteries responding to state of charge [SoC]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2240/00—Control parameters of input or output; Target parameters
    • B60L2240/40—Drive Train control parameters
    • B60L2240/54—Drive Train control parameters related to batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
    • Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
    • Y02T10/70—Energy storage systems for electromobility, e.g. batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
    • Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
    • Y02T10/7072—Electromobility specific charging systems or methods for batteries, ultracapacitors, supercapacitors or double-layer capacitors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T90/00—Enabling technologies or technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02T90/10—Technologies relating to charging of electric vehicles
    • Y02T90/12—Electric charging stations
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T90/00—Enabling technologies or technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02T90/10—Technologies relating to charging of electric vehicles
    • Y02T90/14—Plug-in electric vehicles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
  • Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)

Abstract

오버헤드 호이스트 이송 장치가 개시된다. 상기 OHT 장치는, 반송물의 이적재 작업이 수행되는 작업 영역을 포함하는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 전원 공급을 위한 배터리가 내장된 이송 차량과, 상기 작업 영역에 인접하도록 배치되며 상기 이송 차량이 상기 작업 영역에서 상기 반송물의 이적재 작업을 수행하는 동안 무선 전력 전송 방식으로 상기 이송 차량의 배터리를 충전하기 위한 송전 유닛과, 상기 이송 차량에 장착되며 상기 송전 유닛으로부터 전력 수신을 위한 수전 유닛을 포함한다.An overhead hoist transfer device is disclosed. The OHT device includes a traveling rail including a work area in which a transfer work is performed, a transfer vehicle configured to be movable along the traveling rail and having a built-in battery for power supply, and adjacent to the work area. A transmission unit for charging the battery of the transfer vehicle by a wireless power transmission method while the transfer vehicle performs a transfer operation of the transported material in the work area; and a power transmission unit mounted on the transfer vehicle and receiving power from the transmission unit It includes a power receiving unit for.

Description

오버헤드 호이스트 이송 장치{Overhead hoist transport}Overhead hoist transport device

본 발명의 실시예들은 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transport; 이하 ‘OHT 장치’라 한다)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반송물의 이송을 위한 OHT 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an overhead hoist transport (hereinafter referred to as "OHT device"). More specifically, it relates to an OHT device for transporting a conveyed material in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 웨이퍼, 유리기판, 인쇄회로기판, 반도체 장치들, 디스플레이 장치들과 같은 반송물들은 RGV(rail guided vehicle), OHT 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 반송물의 이송을 위하여 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량으로의 전원 공급은 상기 주행 레일을 따라 설치되는 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 제공될 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device or a display device, transported objects such as wafers, glass substrates, printed circuit boards, semiconductor devices, and display devices may be transported through an unmanned transport system such as a rail guided vehicle (RGV) or an OHT device. In particular, the OHT device may include a transport vehicle configured to be movable along a travel rail installed on the ceiling of a clean room for transport of a transport material, and power supply to the transport vehicle is a power supply installed along the travel rail. It may be provided in a wireless power transmission method from the supply cable.

예를 들면, 상기 주행 레일의 하부에는 상기 전원 공급 케이블의 장착을 위한 케이블 서포트 부재가 상기 주행 레일을 따라 연장하도록 구비될 수 있으며, 상기 케이블 서포트 부재의 상부면에는 상기 전원 공급 케이블이 삽입되도록 형성된 케이블 장착 홈이 구비될 수 있다. 상기 전원 공급 케이블은 작업자에 의한 수작업으로 상기 케이블 서포트 부재에 장착될 수 있다.For example, a cable support member for mounting the power supply cable may be provided at a lower portion of the travel rail to extend along the travel rail, and the power supply cable is inserted into the upper surface of the cable support member. A cable mounting groove may be provided. The power supply cable may be mounted on the cable support member manually by an operator.

그러나, 상기 전원 공급 케이블을 상기 주행 레일 전체 구간에 대하여 설치해야 하므로 상기 OHT 장치의 설치 비용 및 유지 보수 비용이 증가될 수 있으며, 상기 전원 공급 케이블을 수작업을 통해 설치 또는 보수하는 동안 안전 사고가 발생될 위험이 있다.However, since the power supply cable must be installed for the entire section of the traveling rail, the installation cost and maintenance cost of the OHT device may increase, and a safety accident occurs while the power supply cable is manually installed or repaired. There is a risk of becoming.

대한민국 공개특허공보 제10-2018-0048329호 (공개일자 2018년05월10일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0048329 (Publication date May 10, 2018)

본 발명의 실시예들은 전원 공급 케이블을 사용하지 않고 이송 차량에 전원을 공급할 수 있는 OHT 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an OHT device capable of supplying power to a transport vehicle without using a power supply cable.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 OHT 장치는, 반송물의 이적재 작업이 수행되는 작업 영역을 포함하는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 전원 공급을 위한 배터리가 내장된 이송 차량과, 상기 작업 영역에 인접하도록 배치되며 상기 이송 차량이 상기 작업 영역에서 상기 반송물의 이적재 작업을 수행하는 동안 무선 전력 전송 방식으로 상기 이송 차량의 배터리를 충전하기 위한 송전 유닛과, 상기 이송 차량에 장착되며 상기 송전 유닛으로부터 전력 수신을 위한 수전 유닛을 포함할 수 있다.The OHT device according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a traveling rail including a work area in which a transporting and loading operation is performed, and a battery configured to be movable along the traveling rail and for supplying power. A built-in transfer vehicle, and a power transmission unit disposed adjacent to the work area and configured to charge a battery of the transfer vehicle by wireless power transmission while the transfer vehicle performs a transfer operation of the conveyed material in the work area, It is mounted on the transfer vehicle and may include a power receiving unit for receiving power from the power transmission unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 OHT 장치는, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 전원 공급을 위한 제2 배터리가 내장된 제2 이송 차량과, 상기 이송 차량과 상기 제2 이송 차량의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 이송 차량 및 상기 제2 이송 차량의 배터리 잔량을 모니터링하고 상기 배터리 잔량이 낮은 순서대로 상기 작업 영역에서의 이적재 작업을 우선적으로 할당할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the OHT device includes a second transfer vehicle configured to be movable along the travel rail and having a built-in second battery for supplying power, the transfer vehicle and the second transfer vehicle The control unit may further include a control unit for controlling the operation of the transfer vehicle and the second transfer vehicle, and the control unit monitors the remaining battery capacity of the transfer vehicle and the second transfer vehicle, and prioritizes the transfer operation in the work area in the order of the lower battery level Can be assigned.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 주행 레일은 상기 이송 차량이 대기하는 대기 영역을 더 포함할 수 있으며, 상기 OHT 장치는, 상기 대기 영역에 인접하도록 배치되며 상기 이송 차량이 상기 대기 영역에서 대기하는 동안 상기 이송 차량의 배터리를 무선 전력 전송 방식으로 충전하기 위한 제2 송전 유닛을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the travel rail may further include a waiting area in which the transfer vehicle waits, and the OHT device is disposed adjacent to the waiting area, and the transfer vehicle is in the waiting area. It may further include a second power transmission unit for charging the battery of the transfer vehicle while waiting in a wireless power transmission method.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 OHT 장치는, 반송물의 이적재 작업이 수행되는 제1 작업 영역들과 제2 작업 영역들을 포함하는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 전원 공급을 위한 배터리가 각각 내장된 이송 차량들과, 상기 제1 작업 영역들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 제1 작업 영역들에서 상기 이적재 작업을 수행하는 이송 차량들의 배터리를 무선 전력 전송 방식으로 충전하기 위한 송전 유닛들과, 상기 이송 차량들 각각에 장착되며 상기 송전 유닛들로부터 전력 수신을 위한 수전 유닛들과, 상기 이송 차량들의 배터리 잔량을 모니터링하고 기 설정된 값보다 낮은 배터리 잔량을 갖는 이송 차량들에 대하여 상기 제1 작업 영역들에서의 이적재 작업을 우선적으로 할당하는 제어부를 포함할 수 있다.An OHT device according to another aspect of the present invention for achieving the above object includes a traveling rail including first working areas and second working areas in which a transfer operation is performed, and movable along the traveling rail. Wireless power transmission of transfer vehicles configured and each having a built-in battery for power supply, and batteries of transfer vehicles disposed adjacent to each of the first work areas and performing the transfer operation in the first work areas Power transmission units for charging in a manner, power reception units mounted on each of the transfer vehicles and for receiving power from the power transmission units, and monitoring the remaining battery power of the transfer vehicles and having a remaining battery power lower than a preset value It may include a control unit that preferentially allocates a transfer operation in the first work areas to the transfer vehicles.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 주행 레일은 상기 이송 차량들의 대기를 위한 대기 영역을 더 포함할 수 있으며, 상기 OHT 장치는, 상기 대기 영역에 인접하도록 배치되며 상기 대기 영역에서 대기하는 이송 차량들의 배터리를 무선 전력 전송 방식으로 충전하기 위한 제2 송전 유닛들을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the traveling rail may further include a waiting area for waiting for the transport vehicles, and the OHT device is disposed adjacent to the waiting area and is a transport waiting in the waiting area. It may further include second power transmission units for charging the batteries of the vehicles through a wireless power transmission method.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 OHT 장치의 동작 전원을 배터리를 통해 공급받도록 함으로써 종래 기술에서의 전원 공급 케이블이 불필요하며, 이에 따라 상기 주행 레일을 따라 상기 전원 공급 케이블을 설치할 필요가 없으므로 상기 OHT 장치의 제조 비용 및 유지보수 비용이 크게 감소될 수 있으며, 아울러 상기 전원 공급 케이블을 설치하고 유지 및 보수하는 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고를 예방할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, since the operation power of the OHT device is supplied through a battery, a power supply cable in the prior art is unnecessary, and accordingly, the power supply cable is installed along the traveling rail. Since there is no need, manufacturing cost and maintenance cost of the OHT device can be greatly reduced, and safety accidents that may occur in the process of installing, maintaining, and repairing the power supply cable can be prevented.

아울러, 작업 영역들 중 일부 그리고 대기 영역에 상기 이송 차량들의 배터리 충전을 위한 상기 송전 유닛들과 상기 제2 송전 유닛들을 배치하고, 상기 이송 차량들에 전력 수신을 위한 수전 유닛들을 각각 장착하여, 반송물의 이적재 작업 동안 그리고 대기하는 동안 상기 이송 차량들의 배터리 충전이 이루어지도록 함으로써 상기 이송 차량들의 배터리 충전량을 항상 일정 수준 이상으로 관리할 수 있다.In addition, by arranging the power transmission units and the second power transmission units for charging the batteries of the transport vehicles in some of the work areas and the standby region, and installing power reception units for power reception on the transport vehicles, respectively, It is possible to always manage the battery charge amount of the transport vehicles above a certain level by allowing the batteries of the transport vehicles to be charged during the transfer operation of the transport vehicle and while waiting.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for describing an OHT device according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic configuration diagram for explaining the transport vehicle shown in FIG. 1.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below, and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than provided to enable the present invention to be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements are interposed therebetween. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed or connected directly on another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers, and/or parts, but the above items are not limited by these terms. Won't.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used only for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by those of ordinary skill in the art of the present invention. The terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be interpreted as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the related art and the present invention, and ideally or excessively external intuition unless explicitly limited. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be sufficiently anticipated. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as limited to specific shapes of regions described as diagrams, but include variations in shapes, and elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram for describing an OHT device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram for describing a transport vehicle shown in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, OHT 장치(100)는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 다양한 형태의 반송물들을 운반하기 위해 사용될 수 있다. 상기 OHT 장치(100)는 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일(102)과 상기 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하게 구성되는 복수의 이송 차량들(110) 및 상기 이송 차량들의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the OHT device 100 may be used to transport various types of conveyed goods in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device. The OHT device 100 is configured to be movable along the traveling rail 102 installed on the ceiling of the clean room and the traveling rail 102, and for controlling the operation of the transport vehicles. It may include a control unit (not shown).

상기 이송 차량들(110) 각각은 상기 주행 레일(102) 상에서 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈(112)과 상기 주행 모듈(112)의 아래에 회전축을 통해 현수 방식으로 연결된 승강 모듈(114)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 승강 모듈(114)은 반송물의 픽업 및 플레이스 동작들을 위한 핸드 유닛과 상기 핸드 유닛의 승강을 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.Each of the transfer vehicles 110 includes a traveling module 112 configured to be movable on the traveling rail 102 and an elevating module 114 connected in a suspension manner through a rotation shaft under the traveling module 112. I can. Although not shown in detail, the lifting module 114 may include a hand unit for picking up and placing a conveyed object and a hoist unit for lifting the hand unit.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 주행 레일(102)은 상기 반송물의 이적재 작업이 수행되는 제1 작업 영역들(104)과 제2 작업 영역들(106)을 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 작업 영역들(104, 106)의 하부에는 상기 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조를 위한 공정 설비들이 배치될 수 있다. 또한, 상기와 다르게, 상기 제1 및 제2 작업 영역들의 하부 또는 측부에는 상기 반송물의 보관을 위한 언더 버퍼 또는 사이드 버퍼 장치들이 배치될 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the traveling rail 102 may include first working areas 104 and second working areas 106 in which the transfer operation of the conveyed material is performed. Although not shown, process equipment for manufacturing the semiconductor device or the display device may be disposed under the first and second working areas 104 and 106. In addition, differently from the above, an under buffer or side buffer devices for storing the conveyed material may be disposed below or at the sides of the first and second working areas.

상기 이송 차량들(110)에는 동작 전원의 공급을 위한 배터리(120)가 각각 내장될 수 있으며, 상기 이송 차량들(110)의 배터리들(120)은 무선 전력 전송 방식으로 충전될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 OHT 장치(100)는 상기 제1 작업 영역들(104)에 각각 인접하도록 배치되는 송전 유닛들(130)을 포함할 수 있다. 상기 송전 유닛들(130)은 상기 제1 작업 영역들(104)에서 상기 이송 차량들(110)이 상기 반송물의 이적재 작업을 수행하는 동안 상기 이송 차량들(110)의 배터리(120)를 충전하기 위해 사용될 수 있다. 이를 위하여 상기 이송 차량들(110)에는 상기 송전 유닛들(130)로부터의 전력 수신을 위한 수전 유닛들(140)이 각각 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 수전 유닛들(140)은 상기 이송 차량들(100)의 승강 모듈(114)에 각각 장착될 수 있으며, 자기 유도 방식 또는 자기 공명 방식을 통해 상기 송전 유닛들(130)로부터 전력을 수신할 수 있다. 그러나, 상기 수전 유닛들(140)은 상기 이송 차량들(110)의 주행 모듈(112)에 장착될 수도 있다. 따라서, 상기 수전 유닛들의 장착 위치는 본 발명의 범위를 제한하지 않을 것이다.Each of the transfer vehicles 110 may include batteries 120 for supplying operation power, and the batteries 120 of the transfer vehicles 110 may be charged by a wireless power transmission method. According to an embodiment of the present invention, the OHT device 100 may include power transmission units 130 disposed adjacent to the first working areas 104, respectively. The transmission units 130 charge the batteries 120 of the transfer vehicles 110 while the transfer vehicles 110 perform the transfer and load operation of the conveyed material in the first working areas 104 Can be used to To this end, the transfer vehicles 110 may be equipped with power reception units 140 for receiving power from the power transmission units 130, respectively. As an example, the power receiving units 140 may be respectively mounted on the lifting modules 114 of the transport vehicles 100, and power from the power transmission units 130 through a magnetic induction method or a magnetic resonance method. Can be received. However, the power receiving units 140 may be mounted on the traveling module 112 of the transfer vehicles 110. Therefore, the mounting position of the power receiving units will not limit the scope of the present invention.

상기 제어부는 상기 이송 차량들(110)과 무선 통신 방식으로 연결될 수 있으며, 상기 이송 차량들(110)의 배터리 잔량을 모니터링할 수 있다. 특히, 상기 제어부는 상기 이송 차량들(110) 중에서 기 설정된 값보다 낮은 배터리 잔량을 갖는 이송 차량들(110)에 대하여 상기 제1 작업 영역들(104)에서의 이적재 작업을 우선적으로 할당할 수 있다. 즉, 배터리 잔량에 따라 무선 충전이 가능한 제1 작업 영역들(104)에서의 이적재 작업과 무선 충전 기능이 없는 제2 작업 영역들(106)에서의 이적재 작업을 상기 이송 차량들(110)에 선택적으로 할당할 수 있다. 상기와 같이 배터리 잔량이 상대적으로 낮은 이송 차량들(110)이 상기 제1 작업 영역들(104)에서 이적재 작업을 수행하도록 하고, 그 과정에서 배터리 충전이 이루어지도록 함으로써 전체 이송 차량들(110)의 배터리 충전량을 일정 수준 이상으로 항상 유지할 수 있다.The control unit may be connected to the transport vehicles 110 through a wireless communication method, and may monitor the remaining battery capacity of the transport vehicles 110. In particular, the control unit may preferentially allocate a transfer operation in the first work areas 104 to transfer vehicles 110 having a lower battery level than a preset value among the transfer vehicles 110. have. That is, the transfer vehicle 110 performs a transfer operation in the first working areas 104 capable of wireless charging according to the remaining amount of the battery and the transfer work in the second working areas 106 without a wireless charging function. Can be selectively assigned to. As described above, the transfer vehicles 110 having a relatively low battery level perform the transfer operation in the first work areas 104 and charge the batteries in the process, thereby allowing the entire transfer vehicles 110 You can always keep the battery charge level above a certain level.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 주행 레일(102)은 상기 이송 차량들(110)의 대기를 위한 대기 영역(108)을 구비할 수 있으며, 상기 OHT 장치(110)는 상기 대기 영역(108)에 인접하도록 배치되며 상기 대기 영역(108)에서 대기하는 이송 차량들(110)의 배터리를 무선 전력 전송 방식으로 충전하기 위한 제2 송전 유닛들(132)을 포함할 수 있다. 상기 제어부는 배터리 잔량이 기 설정된 값보다 낮은 이송 차량들(110) 중에서 상기 제1 작업 영역들(104)의 이적재 작업을 할당받지 못하거나 상기 제1 작업 영역들(104)로부터 상대적으로 멀리 이격된 이송 차량들(110)을 상기 대기 영역(108)으로 이동시킬 수 있으며, 상기 대기 영역(108)에서 배터리 충전이 이루어지도록 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the traveling rail 102 may include a waiting area 108 for waiting for the transfer vehicles 110, and the OHT device 110 may include the waiting area 108 ) And may include second power transmission units 132 for charging the batteries of the transport vehicles 110 waiting in the standby area 108 by a wireless power transmission method. The control unit does not receive the transfer operation of the first work areas 104 among transfer vehicles 110 with a remaining battery power lower than a preset value, or is relatively far away from the first work areas 104. The transferred vehicles 110 may be moved to the standby area 108, and battery charging may be performed in the standby area 108.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 OHT 장치(100)의 동작 전원을 배터리를 통해 공급받도록 함으로써 종래 기술에서의 전원 공급 케이블이 불필요하며, 이에 따라 상기 주행 레일(102)을 따라 상기 전원 공급 케이블을 설치할 필요가 없으므로 상기 OHT 장치(100)의 제조 비용 및 유지보수 비용이 크게 감소될 수 있으며, 아울러 상기 전원 공급 케이블을 설치하고 유지 및 보수하는 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고를 예방할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the power supply cable in the prior art is unnecessary by supplying the operating power of the OHT device 100 through a battery, and accordingly, along the traveling rail 102 Since there is no need to install the power supply cable, the manufacturing cost and maintenance cost of the OHT device 100 can be greatly reduced, and safety accidents that may occur in the process of installing, maintaining, and repairing the power supply cable are prevented. Can be prevented.

아울러, 작업 영역들(104, 106) 중 일부(104) 그리고 대기 영역(108)에 상기 이송 차량들(110)의 배터리 충전을 위한 상기 송전 유닛들(130)과 상기 제2 송전 유닛들(132)을 배치하고, 상기 이송 차량들(110)에 전력 수신을 위한 수전 유닛들(140)을 각각 장착하여, 반송물의 이적재 작업 동안 그리고 대기하는 동안 상기 이송 차량들(110)의 배터리 충전이 이루어지도록 함으로써 상기 이송 차량들(110)의 배터리 충전량을 항상 일정 수준 이상으로 관리할 수 있다.In addition, the power transmission units 130 and the second power transmission units 132 for charging the batteries of the transfer vehicles 110 in some of the working areas 104 and 106 and the standby area 108 ), and each of the receiving units 140 for receiving power are mounted to the transfer vehicles 110, so that the batteries of the transfer vehicles 110 are charged during the transfer operation and during standby. By doing so, it is possible to always manage the amount of battery charge of the transport vehicles 110 above a certain level.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that there is.

100 : OHT 장치 102 : 주행 레일
104 : 제1 작업 영역 106 : 제2 작업 영역
108 : 대기 영역 110 : 이송 차량
112 : 주행 모듈 114 : 승강 모듈
120 : 배터리 130 : 송전 모듈
132 : 제2 송전 모듈 140 : 수전 모듈100: OHT device 102: running rail
104: first working area 106: second working area
108: waiting area 110: transfer vehicle
112: driving module 114: lifting module
120: battery 130: power transmission module
132: second transmission module 140: receiving module

Claims (7)

반송물의 이송 및 이적재 작업을 수행하며 전원 공급을 위한 배터리가 각각 내장된 이송 차량들;
상기 이송 차량들의 이동 경로를 제공하며 상기 반송물의 이적재 작업이 수행되는 제1 작업 영역들과 제2 작업 영역들 및 상기 이송 차량들의 대기를 위한 대기 영역들을 포함하는 주행 레일;
상기 제1 작업 영역들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 제1 작업 영역들에서 상기 반송물의 이적재 작업을 수행하는 이송 차량들의 배터리를 무선 전력 전송 방식으로 충전하기 위한 제1 송전 유닛들;
상기 대기 영역들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 대기 영역들에서 대기하는 이송 차량들의 배터리를 무선 전력 전송 방식으로 충전하기 위한 제2 송전 유닛들;
상기 이송 차량들에 각각 장착되며 상기 제1 및 제2 송전 유닛들로부터의 전력 수신을 위한 수전 유닛들; 및
상기 이송 차량들의 배터리 잔량을 모니터링하고 기 설정된 값보다 낮은 배터리 잔량을 갖는 이송 차량들에 대하여 상기 제1 작업 영역들에서의 이적재 작업을 우선적으로 할당하되, 상기 기 설정된 값보다 낮은 배터리 잔량을 갖는 이송 차량들 중에서 상기 제1 작업 영역들에서의 이적재 작업을 할당받지 못한 이송 차량들을 상기 대기 영역들로 이동시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.Transport vehicles each having a built-in battery for supplying power and performing the transport and loading operation of the transport material;
A traveling rail providing a moving path of the transport vehicles and including first and second working areas in which the transfer operation is performed, and waiting areas for waiting for the transfer vehicles;
First power transmission units arranged to be adjacent to the first working areas, respectively, for charging batteries of transport vehicles that perform a transfer operation of the conveyed material in the first working areas by a wireless power transmission method;
Second power transmission units disposed to be adjacent to the standby areas, respectively, for charging batteries of transport vehicles waiting in the standby areas by a wireless power transmission method;
Power receiving units mounted on the transfer vehicles, respectively, for receiving power from the first and second power transmission units; And
Monitoring the remaining battery power of the transport vehicles and prioritizing the transfer operations in the first work areas to transport vehicles having a remaining battery power lower than a preset value, but having a remaining battery power lower than the preset value And a control unit for moving transfer vehicles not assigned a transfer operation in the first work areas among transfer vehicles to the standby areas. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 기 설정된 값보다 낮은 배터리 잔량을 갖는 이송 차량들에 대하여 상기 배터리 잔량이 낮은 순서대로 상기 제1 작업 영역들에서의 이적재 작업을 우선적으로 할당하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.The method of claim 1, wherein the control unit preferentially allocates the transfer operations in the first working areas in the order of the lower remaining battery power to transport vehicles having a remaining battery power lower than the preset value. Overhead hoist conveying device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020180118889A 2018-10-05 2018-10-05 Overhead hoist transport KR102172472B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180118889A KR102172472B1 (en) 2018-10-05 2018-10-05 Overhead hoist transport

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180118889A KR102172472B1 (en) 2018-10-05 2018-10-05 Overhead hoist transport

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200039229A KR20200039229A (en) 2020-04-16
KR102172472B1 true KR102172472B1 (en) 2020-10-30

Family

ID=70454574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180118889A KR102172472B1 (en) 2018-10-05 2018-10-05 Overhead hoist transport

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102172472B1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102511085B1 (en) * 2020-08-31 2023-03-15 세메스 주식회사 Article transport vehicle and article transport facility
KR102491101B1 (en) * 2020-10-06 2023-01-19 세메스 주식회사 Device for vehicle traction of overhead hoist transport device and method for managing OHT system
KR20220055781A (en) 2020-10-27 2022-05-04 세메스 주식회사 Vehicle and Overhead Hoist Transport System
JP7287406B2 (en) * 2021-01-12 2023-06-06 株式会社ダイフク Goods transport system
CN117894726B (en) * 2024-03-18 2024-05-24 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 Automated material handling system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008236997A (en) 2007-03-23 2008-10-02 Nissan Diesel Motor Co Ltd Unmanned carrier and transportation system
JP2009181452A (en) 2008-01-31 2009-08-13 Toyota Motor Corp Method and system for managing charge of automted guided vehicle

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5146855B2 (en) * 2010-08-09 2013-02-20 村田機械株式会社 Overhead traveling vehicle system
JP6657533B2 (en) * 2016-05-12 2020-03-04 株式会社ダイヘン Automatic guided vehicle system
JP6589820B2 (en) 2016-10-31 2019-10-16 株式会社ダイフク Traffic control device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008236997A (en) 2007-03-23 2008-10-02 Nissan Diesel Motor Co Ltd Unmanned carrier and transportation system
JP2009181452A (en) 2008-01-31 2009-08-13 Toyota Motor Corp Method and system for managing charge of automted guided vehicle

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200039229A (en) 2020-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102172472B1 (en) Overhead hoist transport
US10043698B2 (en) Transport system and transport method
KR101423221B1 (en) Transportation system and method
EP1627834B1 (en) Carrying system
KR101463473B1 (en) Transfer device
KR102405911B1 (en) Article transport facility
TWI505980B (en) Transfer system
KR101533366B1 (en) Conveying system and conveying method
US20090238664A1 (en) Storing apparatus and transporting system with storage
CN101203952A (en) Interface between conveyor and semiconductor process tool load port
KR20180039129A (en) Return system
CN106711072B (en) Conveying equipment
EP3848769B1 (en) Conveyance vehicle system
KR102073410B1 (en) Conveying system
JP7136236B2 (en) Storage system
EP3805890B1 (en) Conveyance system
KR102654165B1 (en) Apparatus for managing power of article transport vehicle in article transport system
CN102774310A (en) Automatic logistics loading and unloading transportation vehicle
KR20220147958A (en) Material transfer apparatus and material transfer method
KR20230100191A (en) Overhead hoist transport
CN113562368A (en) Article carrying apparatus
KR102172474B1 (en) Method of controlling operations of overhead hoist transport
KR102398963B1 (en) Apparatus for transfering a carrier
US20220063909A1 (en) Article transport vehicle and article transport facility
KR20210109711A (en) Transport apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant