KR102164115B1 - Apparatus for measuring surface and annealing furnace having the same and method for measuring surface - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표면 측정 장치, 이를 포함하는 소둔설비 및 표면 측정 방법에 관한 것이다.
먼저 본 발명에 따른 표면 측정 장치는 측정 대상물에 대하여 광을 조사하고, 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 측정수단; 및 상기 측정수단과 상기 대상물 사이에 구비되어 광량을 보정하는 필터수단;을 포함하고, 상기 필터수단은, 상기 측정수단의 광원부와 상기 대상물 사이 및 상기 측정수단의 수광부와 상기 대상물 사이에 구비되되, 상기 측정수단은, 상기 대상물에 수직한 평면상에서 상기 대상물의 일측 단부를 향해 기울어진 제1 측정유닛; 및 상기 대상물의 타측 단부를 향해 기울어진 제2 측정유닛;을 포함하고, 상기 필터수단은, 상기 제1 측정유닛, 상기 제2 측정유닛과 상기 대상물 사이에 배치되어 광량 불균일을 보정할 수 있다.The present invention relates to a surface measuring device, an annealing facility including the same, and a surface measuring method.
First, a surface measurement device according to the present invention includes: a measurement means for irradiating light to a measurement object and measuring light reflected from the object; And a filter means provided between the measuring means and the object to correct the amount of light, wherein the filter means is provided between the light source part of the measuring means and the object, and between the light receiving part of the measuring means and the object, The measuring means includes: a first measuring unit inclined toward one end of the object on a plane perpendicular to the object; And a second measuring unit inclined toward the other end of the object, wherein the filter means is disposed between the first measuring unit, the second measuring unit, and the object to correct light quantity non-uniformity.

Description

표면 측정 장치, 이를 포함하는 소둔설비 및 표면 측정 방법{APPARATUS FOR MEASURING SURFACE AND ANNEALING FURNACE HAVING THE SAME AND METHOD FOR MEASURING SURFACE}Surface measurement device, annealing equipment including the same, and surface measurement method {APPARATUS FOR MEASURING SURFACE AND ANNEALING FURNACE HAVING THE SAME AND METHOD FOR MEASURING SURFACE}

본 발명은 표면 측정 장치, 이를 포함하는 소둔설비 및 표면 측정 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a surface measuring device, an annealing facility including the same, and a surface measuring method.

냉연공정은 크게 소재를 염산으로 세척하는 산세 공정, 산세작업을 거친 소재를 압연하는 냉간 압연하는 압연 공정, 냉간 압연 후 생성된 고경도 스케일을 제거하고, 가공성을 향상시키기 위한 열처리 과정인 연속 소둔 공정(continuous annealing line, CAL), 연속 소둔 공정 후에 적합한 온도에서 도금을 행하는 도금공정(Galvanizing Line)으로 구분할 수 있다.The cold rolling process is a continuous annealing process, which is a pickling process that cleans the material with hydrochloric acid, a rolling process that rolls the material that has undergone pickling, and a heat treatment process that removes the high hardness scale generated after cold rolling and improves workability. It can be classified into (continuous annealing line, CAL) and a galvanizing line in which plating is performed at an appropriate temperature after the continuous annealing process.

이중 연속 소둔 공정은 가열로에 마련된 버너를 이용해 강판을 가열하는 과정, 재질의 급변을 방지하기 위해 서냉시키는 서냉과정, 공냉을 통해 강판을 시효온도까지 낮추는 급속냉각과정, 강판을 과시효온도로 시효시키는 시효과정 및 강판을 상온으로 냉각시키는 최종냉각과정을 포함하며, 이러한 과정들은 강판의 가공성을 향상시키는 역할을 한다.Among them, the continuous annealing process is a process of heating the steel sheet using a burner provided in the heating furnace, a slow cooling process that slows down cooling to prevent sudden change of material, a rapid cooling process that lowers the steel sheet to the aging temperature through air cooling, and the steel sheet aging at an overaging temperature. The final cooling process of cooling the steel plate to room temperature is included, and these processes serve to improve the workability of the steel plate.

그런데 강판을 가열하는 과정에서 버너에 의해 강판이 과열될 경우, 강판 표면에 산화막이 과대 생성될 수 있다.However, when the steel sheet is overheated by a burner in the process of heating the steel sheet, an oxide film may be excessively formed on the surface of the steel sheet.

강판 표면에 과대 생성된 산화막은 추후 공정인 도금공정에서 도금불량을 야기하므로 강판의 품질을 저하시키는 원인이 된다.The excessively generated oxide film on the surface of the steel plate causes plating defects in the plating process, which is a later process, and thus causes the quality of the steel plate to deteriorate.

따라서 강판 표면에 존재하는 산화막을 측정하기 위해 도 1에서 보이듯, 광간섭을 이용한 방법을 사용해왔다. 분광분석법, 색도분석법 등의 광간섭을 이용한 방법은 노 내에서 이송되는 강판(10)의 표면을 측정하기 위해 노 벽(20)에 측정창(30)을 마련하고, 이 측정창(30)을 통해 광원부(40)에서 빛을 조사하면 분석부(50)를 통해 이 빛을 분석하는 방식을 사용한다.Therefore, as shown in FIG. 1, a method using optical interference has been used to measure the oxide film present on the surface of the steel sheet. A method using optical interference such as spectroscopy and chromaticity analysis is to provide a measurement window 30 on the furnace wall 20 to measure the surface of the steel plate 10 transferred in the furnace, and the measurement window 30 When light is irradiated from the light source unit 40 through the light source unit 40, a method of analyzing the light through the analysis unit 50 is used.

그러나 이러한 방법은 강판(10) 표면의 특정 지점에서의 산화막 만을 측정할 수 있다는 한계, 산화층의 두께가 상대적으로 매우 얇거나 매우 두꺼운 경우에 그 두께를 정확히 산출할 수 없다는 한계가 있고, 카메라를 이용하여 색상의 변화를 이용하는 방법도 광간섭을 이용하는 현상에 비해 측정 정확도가 떨어지고, 산화막의 두께가 상대적으로 매우 두꺼운 경우에는 활용하기 어렵다는 한계가 있다.However, this method has limitations in that it is possible to measure only the oxide film at a specific point on the surface of the steel sheet 10, and when the thickness of the oxide layer is relatively very thin or very thick, the thickness cannot be accurately calculated. Therefore, the method using the color change is also inferior in measurement accuracy compared to the phenomenon using optical interference, and it is difficult to utilize when the thickness of the oxide film is relatively very thick.

뿐만 아니라, 산화막 측정의 폭을 넓히는 경우에는 가열로 벽에 설치된 측정창의 폭도 함께 넓어져야 하므로 넓어진 측정창의 유지보수가 어려워지는 문제, 측정창의 세척을 위해 공급되는 질소의 양도 함께 증가하므로 노 내 분위기가 불안정해지는 문제가 있다.
In addition, in the case of widening the width of the oxide film measurement, the width of the measurement window installed on the furnace wall must be widened as well, making maintenance of the widened measurement window difficult, and the amount of nitrogen supplied for cleaning the measurement window also increases. There is a problem of becoming unstable.

KR 10-1294871 B1 (2013.08.02)KR 10-1294871 B1 (2013.08.02)

본 발명은 대상물의 표면 측정 정확도를 높이고, 대상물 표면에 존재하는 산화막 제거효율을 향상시키는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to increase the accuracy of measuring the surface of an object and to improve the efficiency of removing an oxide film present on the surface of the object.

또한, 소둔 공정의 효율성 및 최종 제품의 품질을 향상시키는 것을 일 목적으로 한다.
In addition, it aims to improve the efficiency of the annealing process and the quality of the final product.

본 발명은 표면 측정 장치, 이를 포함하는 소둔설비 및 표면 측정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a surface measuring device, an annealing facility including the same, and a surface measuring method.

먼저 본 발명에 따른 표면 측정 방법은 측정 대상물에 대하여 광을 조사하고, 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 측정수단; 및 상기 측정수단과 상기 대상물 사이에 구비되어 광량을 보정하는 필터수단;을 포함하고, 상기 필터수단은, 상기 측정수단의 광원부와 상기 대상물 사이 및 상기 측정수단의 수광부와 상기 대상물 사이에 구비되되, 상기 측정수단은, 상기 대상물에 수직한 평면상에서 상기 대상물의 일측 단부를 향해 기울어진 제1 측정유닛; 및 상기 대상물의 타측 단부를 향해 기울어진 제2 측정유닛;을 포함하고, 상기 필터수단은, 상기 제1 측정유닛, 상기 제2 측정유닛과 상기 대상물 사이에 배치되어 광량 불균일을 보정하고, 상기 필터수단은, 그레디언트(gradient)필터인 표면 측정 장치로 상기 대상물의 표면 산화막의 두께를 측정하는 방법으로, 상기 대상물과의 사이에 상기 그레디언트(gradient)필터를 구비하는 상기 광원부 및 상기 수광부를 상호 나란하게 배치하여 상기 대상물의 표면 정보를 측정하는 측정단계; 상기 광원부 및 상기 수광부에 연결되고, 디스플레이부를 구비하는 제어장치로 상기 수광부가 측정한 수광세기값 및 상기 대상물 표면의 영상정보를 획득하는 정보획득단계; 상기 정보획득단계에서 획득한 수광세기값을 가지고 상기 제어장치를 통해 산화막의 두께를 연산하는 연산단계; 및 상기 연산단계에서 연산한 산화막두께값을 상기 디스플레이부로 표시하는 디스플레이단계;를 포함하고, 상기 연산단계는, 상기 산화막두께값(Y)(nm)을 Y=aX3+bX2+cX+d에 의해 연산하되, X는 상기 수광부에서 측정한 수광세기값(a.u.)이고, a, b, c, d는 각각 -151, 285, -205, 71이며, 상기 디스플레이단계는, 상기 산화막두께값(Y)이 30nm이상 60nm이하의 범위의 값일 때, 상기 디스플레이부로 불량임을 표시하는 불량표시단계;를 포함할 수 있다.First, the method for measuring a surface according to the present invention comprises: a measuring means for irradiating light to a measurement object and measuring light reflected from the object; And a filter means provided between the measuring means and the object to correct the amount of light, wherein the filter means is provided between the light source part of the measuring means and the object, and between the light receiving part of the measuring means and the object, The measuring means includes: a first measuring unit inclined toward one end of the object on a plane perpendicular to the object; And a second measuring unit inclined toward the other end of the object, wherein the filter means is disposed between the first measuring unit, the second measuring unit and the object to correct light quantity non-uniformity, and the filter The means is a method of measuring the thickness of the surface oxide film of the object with a surface measuring device that is a gradient filter, wherein the light source unit and the light receiving unit are arranged side by side with the object and the gradient filter. A measuring step of placing and measuring surface information of the object; An information acquisition step of acquiring a light-receiving intensity value measured by the light-receiving unit and image information on the surface of the object by means of a control device connected to the light source unit and the light receiving unit and having a display unit; An operation step of calculating the thickness of the oxide film through the control device using the light-receiving intensity value obtained in the information acquisition step; And a display step of displaying the oxide film thickness value calculated in the calculation step on the display unit, wherein the calculation step includes: Y=aX3+bX2+cX+d, wherein the oxide film thickness value (Y) (nm) is However, X is the light-receiving intensity value (au) measured by the light-receiving unit, and a, b, c, and d are -151, 285, -205, and 71, respectively, and in the display step, the oxide film thickness value (Y) When the value is in the range of 30 nm or more and 60 nm or less, a defect display step of displaying the defect by the display unit may include.

또한, 상기 제1 측정유닛은, 상기 대상물의 일측 단부를 향해 광을 조사하는 제1 광원부; 및 상기 제1 광원부에 나란하게 배치되어 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 제1 수광부;를 포함하고, 상기 제2 측정유닛은, 상기 대상물의 타측 단부를 향해 광을 조사하는 제2 광원부; 및 상기 제2 광원부에 나란하게 배치되어 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 제2 수광부;를 포함할 수 있다.In addition, the first measuring unit may include a first light source unit for irradiating light toward one end of the object; And a first light receiving unit arranged parallel to the first light source unit to measure light reflected from the object, wherein the second measurement unit includes: a second light source unit configured to irradiate light toward the other end of the object; And a second light receiving unit arranged in parallel with the second light source unit to measure light reflected from the object.

또한, 상기 필터수단은, 상기 제1 측정유닛과 상기 대상물 사이에서 상기 제1 측정유닛과 동일한 방향으로 기울어지고, 상기 제2 측정유닛과 상기 대상물 사이에서는 상기 제2 측정유닛과 동일한 방향으로 기울어질 수 있다.In addition, the filter means is inclined in the same direction as the first measuring unit between the first measuring unit and the object, and in the same direction as the second measuring unit between the second measuring unit and the object. I can.

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또한, 상기 측정단계는, 상기 대상물의 일측 단부 방향으로 기울어진 상기 광원부 및 상기 수광부, 상기 대상물의 타측 단부 방향으로 기울어진 또 다른 상기 광원부 및 상기 수광부, 상기 대상물의 일측 단부 방향 및 상기 대상물의 타측 방향으로 기울어진 상기 그레디언트(gradient)필터로 상기 대상물의 표면 정보를 측정할 수 있다.In addition, the measuring step may include the light source unit and the light receiving unit inclined toward one end of the object, another light source unit and the light receiving unit inclined toward the other end of the object, one end direction of the object, and the other side of the object. Surface information of the object may be measured with the gradient filter inclined in a direction.

또한, 본 발명에 따른 표면 측정 방법은 일 실시 예에서 상기 수광부가 측정한 수광세기값이 상기 수광세기값의 최대값의 15%이상 30%이하에 해당하는 어느 하나의 값인 경우, 상기 대상물을 가열하는 가열로에 구비된 버너의 동작여부, 화염세기, 위치 중 적어도 어느 하나를 제어하는 가열제어단계;를 더 포함할 수 있다.
In addition, the surface measurement method according to the present invention in one embodiment, when the light-receiving intensity value measured by the light-receiving unit is any one value corresponding to 15% or more and 30% or less of the maximum value of the light-receiving intensity value, heating the object. It may further include a heating control step of controlling at least one of whether or not the burner provided in the heating furnace is operated, flame intensity, and position.

본 발명에 따르면 표면 측정 정확도 및 산화막 제거효율이 향상된다.According to the present invention, surface measurement accuracy and oxide film removal efficiency are improved.

또한, 소둔 공정의 효율성 및 최종 제품의 품질이 향상된다.
Also, the efficiency of the annealing process and the quality of the final product are improved.

도 1은 통상의 표면 측정 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 측정 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 소둔설비를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 소둔설비를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 소둔설비에 의해 측정된 산화막 영역을 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 소둔설비를 개략적으로 도시한 것이다.
도 7은 수광세기와 산화층 두께 측정값을 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 소둔설비의 개념도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 측정 방법을 개략적으로 도시한 것이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 표면 측정 방법을 개략적으로 도시한 것이다.1 schematically shows a conventional surface measuring device.
2 schematically illustrates a surface measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 schematically shows an annealing facility according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 schematically shows an annealing facility according to another embodiment of the present invention.
5 shows an oxide film area measured by an annealing facility according to the present invention.
6 schematically shows an annealing facility according to the present invention.
7 shows measured values of light-receiving intensity and oxide layer thickness.
8 is a conceptual diagram of an annealing facility according to the present invention.
9 schematically illustrates a method for measuring a surface according to an embodiment of the present invention.
10 schematically illustrates a method for measuring a surface according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 실시 예에 관한 설명의 이해를 돕기 위하여 첨부된 도면에 동일한 부호로 기재된 요소는 동일한 요소이고, 각 실시 예에서 동일한 작용을 하게 되는 구성요소 중 관련된 구성요소는 동일 또는 연장 선상의 숫자로 표기하였다. In order to aid in understanding the description of the embodiments of the present invention, the elements described with the same reference numerals in the accompanying drawings are the same elements, and the related elements among the elements that perform the same function in each embodiment are the same or extended numbers. Marked.

또한, 본 발명의 요지를 명확히 하기 위하여 종래의 기술에 의해 익히 알려진 요소와 기술에 대한 설명은 생략하며, 이하에서는, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명에 관하여 상세히 설명하도록 한다.In addition, in order to clarify the gist of the present invention, a description of elements and techniques well known by the prior art will be omitted, and hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하고, 당업자에 의해 특정 구성요소가 추가, 변경, 삭제된 다른 형태로도 제안될 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명과 동일한 사상의 범위 내에 포함됨을 밝혀 둔다.However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and specific components may be added, changed, or deleted by those skilled in the art to be proposed in other forms, but this is also included within the scope of the same idea as the present invention. Reveal.

이하에서 설명하는 대상물은 소둔로에서 이송되는 강판일 수 있고, 첨부된 도면에서 X축은 강판의 폭 방향, Y축은 강판의 이송방향, Z축은 강판의 두께 방향을 나타낸다.
The object to be described below may be a steel sheet conveyed in an annealing furnace, and in the accompanying drawings, the X axis represents the width direction of the steel sheet, the Y axis represents the conveyance direction of the steel sheet, and the Z axis represents the thickness direction of the steel sheet.

도 2에서 보이듯, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 측정 장치(100)는 측정 대상물(101)에 대하여 광을 조사하고, 상기 대상물(101)로부터 반사된 광을 측정하는 측정수단(110) 및 상기 측정수단(110)과 상기 대상물(101) 사이에 구비되어 광량을 보정하는 필터수단(140)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2, the surface measurement apparatus 100 according to an embodiment of the present invention irradiates light to a measurement object 101, and a measurement means 110 for measuring light reflected from the object 101 and It may include a filter means 140 provided between the measuring means 110 and the object 101 to correct the amount of light.

그리고 상기 필터수단(140)은 상기 측정수단의 광원부와 상기 대상물(101) 사이 및 상기 측정수단(110)의 수광부와 상기 대상물(101) 사이에 구비되어 광량을 보정할 수 있다.In addition, the filter means 140 may be provided between the light source of the measuring means and the object 101 and between the light receiving portion of the measuring means 110 and the object 101 to correct the amount of light.

표면에 산화막이 존재하는 대상물(101)에 광을 조사하고, 반사광을 측정하여 디스플레이하면 산화막이 존재하는 부분에는 음영의 명암이 생기게 된다. When light is irradiated to the object 101 having an oxide film on its surface, and the reflected light is measured and displayed, shaded contrast is generated in a portion where the oxide film is present.

색도를 분석하는 방식의 경우에도 산화막이 존재하는 부분은 컬러(color)로 디스플레이되지 않고, 흑백으로 디스플레이된다.Even in the case of the chromaticity analysis method, the portion where the oxide film is present is not displayed in color, but is displayed in black and white.

따라서, 음영이 생긴 부분 내지는 흑백으로 표시되는 부분 등을 산화막이 생긴 것으로 간주하는 원리를 생각해볼 수 있는데, 산화막이 발생하지 않은 상태에서 광량의 불균일 현상이 일어나면 이러한 경우에도 음영이 생긴 부분 내지는 흑백으로 표시되는 부분이 나타나기 때문에 통상의 측정 환경에서 생긴 음영 내지는 흑백 부분을 산화막이라고 단정지을 수 없다.Therefore, it is possible to think of the principle of considering the shaded part or the part displayed in black and white as the oxide film.If the non-uniformity of the light quantity occurs without the oxide film, even in this case, the shaded part or black and white Since the displayed portion appears, the shaded or black-and-white portion generated in a normal measurement environment cannot be concluded as an oxide film.

따라서 본 발명에서는 광원부 및 수광부가 존재하는 영역과 상기 표면 측정의 대상물(101) 사이에 필터수단(140)을 구비하여 광량을 보정하도록 함으로써 광량 불균일에 의한 음영 내지는 흑백 부분 발생을 사전에 차단한다.Accordingly, in the present invention, a filter unit 140 is provided between the area where the light source and the light receiving unit exist and the object 101 for surface measurement to correct the amount of light, thereby preventing the occurrence of shaded or black and white portions due to non-uniformity of light.

즉, 상기 필터수단이 명암 보정 역할을 하기 때문에 디스플레이되는 음영 내지는 흑백 부분은 모두 산화막이라고 할 수 있다. That is, since the filter means serves as a contrast correction, all of the shaded or black and white portions displayed may be referred to as oxide films.

따라서, 음영 내지 흑백 부분이 발생한 경우에는 대상물(101)에 산화막이 존재함을 인지할 수 있고, 음영 내지 흑백이 존재하는 영역이 산화막이 분포하는 영역인 것을 인지할 수 있다.Accordingly, when a shaded or black-and-white portion occurs, it can be recognized that an oxide layer exists on the object 101, and an area in which the shaded or black-and-white is present is an area in which the oxide layer is distributed.

본 발명의 일 실시 예에서 상기 측정수단(110)은 상기 대상물(101)에 수직한 평면상에서 상기 대상물(101)의 일측 단부를 향해 기울어진 제1 측정유닛(120) 및 상기 대상물(101)의 타측 단부를 향해 기울어진 제2 측정유닛(130)을 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the measuring means 110 includes the first measuring unit 120 and the object 101 inclined toward one end of the object 101 on a plane perpendicular to the object 101. It may include a second measuring unit 130 inclined toward the other end.

또한, 상기 제1 측정유닛(120)은 상기 대상물(101)의 일측 단부를 향해 광을 조사하는 제1 광원부(121) 및 상기 제1 광원부에 나란하게 배치되어 상기 대상물(101)로부터 반사된 광을 측정하는 제1 수광부(122)를 포함한다.In addition, the first measurement unit 120 is arranged in parallel with the first light source unit 121 for irradiating light toward one end of the object 101 and the first light source unit, the light reflected from the object 101 It includes a first light-receiving unit 122 for measuring.

또한, 상기 제2 측정유닛(130)은 상기 대상물(101)의 타측 단부를 향해 광을 조사하는 제2 광원부(131) 및 상기 제2 광원부(131)에 나란하게 배치되어 상기 대상물(101)로부터 반사된 광을 측정하는 제2 수광부(132)를 포함할 수 있다.In addition, the second measurement unit 130 is disposed in parallel with the second light source unit 131 and the second light source unit 131 for irradiating light toward the other end of the object 101, It may include a second light receiving unit 132 that measures the reflected light.

이처럼 제1,2 측정유닛을 대상물(101)의 서로 다른 단부 방향으로 기울이면 X축 방향으로 대상물(101)의 전체 구간에 걸친 표면 측정을 수행할 수 있는 효과가 있다.In this way, if the first and second measurement units are tilted toward different ends of the object 101, there is an effect of performing a surface measurement over the entire section of the object 101 in the X-axis direction.

또한, X축 방향으로 좌측에서부터 수광부, 광원부, 광원부, 수광부의 순서로 측정수단(110)을 배치하면 명시야(Bright field) 대신 암시야(Dark field)를 활용하여 음영 내지 흑백 부분을 효율적으로 디스플레이할 수 있다.In addition, if the measuring means 110 are arranged in the order of the light receiving unit, the light source unit, the light source unit, and the light receiving unit from the left in the X-axis direction, the dark field is used instead of the bright field to efficiently display the shaded or black and white parts. can do.

따라서, 광량을 보정하는 필터수단도 상기 제1 측정유닛(120)과 상기 대상물(101) 사이에서 상기 제1 측정유닛(120)과 동일한 방향으로 기울어지고, 상기 제2 측정유닛(130)과 상기 대상물(101) 사이에서는 상기 제2 측정유닛(130)과 동일한 방향으로 기울어지게 배치될 수 있다.Therefore, the filter means for correcting the amount of light is also inclined in the same direction as the first measurement unit 120 between the first measurement unit 120 and the object 101, and the second measurement unit 130 and the Between the objects 101 may be disposed to be inclined in the same direction as the second measurement unit 130.

일 실시 예에서 상기 필터수단은 그레디언트(gradient)필터로 구비될 수 있고, 제1 측정유닛(120)에 대면하게 배치되어 상기 제1 측정유닛(120)과 동일한 방향으로 기울어진 제1 필터부재(141) 및 상기 제2 측정유닛(130)에 대면하게 배치되어 상기 제2 측정유닛(130)과 동일한 방향으로 기울어진 제2 필터부재(142)를 포함할 수 있다.In one embodiment, the filter means may be provided as a gradient filter, and a first filter member disposed facing the first measurement unit 120 and inclined in the same direction as the first measurement unit 120 ( 141) and a second filter member 142 disposed to face the second measurement unit 130 and inclined in the same direction as the second measurement unit 130.

그러나, 이는 반드시 본 발명에 의해 한정되는 바는 아니며, 제1,2 측정유닛 과 동일한 방향으로 기울어진 영역을 포함하는 범위 내에서 상기 필터수단(140)은 단일 그레디언트필터로 구비될 수도 있다.However, this is not necessarily limited by the present invention, and the filter means 140 may be provided as a single gradient filter within a range including a region inclined in the same direction as the first and second measuring units.

여기서 그레디언트필터(graduated neutral-density filter, 또는 GND filter)는 빛의 세기를 보정 할 수 있는 필터로서, 빛의 투과율이 가변하는 특성을 가지고 있다. 불투명영역을 어디에 두느냐, 투명영역과 불투명영역 경계를 어떻게 처리하느냐 등에 따라 여러 가지 타입이 존재한다. 기본적으로 투명영역에서 불투명 영역으로 점진적으로 바뀌면 소프트 에지 필터 (soft edge filter)라고 하며, 그렇지 않으면 하드 에지 필터(hard edge GND filter)라고 한다. Here, the gradient filter (graduated neutral-density filter, or GND filter) is a filter capable of correcting the intensity of light, and has a characteristic that the transmittance of light is variable. There are various types depending on where the opaque area is placed and how to handle the boundary between the transparent area and the opaque area. Basically, when it gradually changes from a transparent area to an opaque area, it is called a soft edge filter. Otherwise, it is called a hard edge GND filter.

따라서 본 발명에서 광량(또는 광의 세기)을 보정하기 위해 그레디언트필터를 사용할 수 있으며, 이 외에도 소프트웨어적으로 빛의 세기분포를 조절하도록 구성할 수도 있음은 물론이다.
Therefore, in the present invention, a gradient filter may be used to correct the amount of light (or intensity of light), and it is of course possible to configure the light intensity distribution to be adjusted by software.

한편, 다른 측면으로서의 본 발명은 도 3에서 보이듯, 상기 표면 측정 장치(100)를 포함하는 소둔설비(200)를 제공한다.On the other hand, the present invention as another aspect provides an annealing equipment 200 including the surface measuring device 100 as shown in FIG. 3.

본 발명의 일 실시 예에 따른 소둔설비는 내부에 대상물(101) 즉, 강판이 이송되는 가열로(210), 상기 강판을 관찰하도록 상기 가열로 벽에 구비된 관찰창(220) 및 상기 가열로의 외부에서 상기 관찰창을 통해 상기 강판의 표면 상태를 측정하는 상기 표면 측정 장치(100)를 포함할 수 있다.An annealing facility according to an embodiment of the present invention includes an object 101, that is, a heating furnace 210 through which a steel plate is transferred, an observation window 220 provided on the heating furnace wall to observe the steel plate, and the heating furnace. It may include the surface measurement device 100 for measuring the surface state of the steel sheet through the observation window outside of.

이때, 상기 표면 측정 장치는 Y축 방향 즉, 상기 강판이 이송되는 방향으로 상기 가열로의 직후에 배치될 수 있다.In this case, the surface measuring device may be disposed immediately after the heating furnace in a Y-axis direction, that is, a direction in which the steel sheet is transferred.

강판은 가열로(210) 내부에 존재하는 버너(미도시)에 의해 가열되어 가열로(210) 외부로 배출되며, 버너(미도시)에 의해 가열되는 과정에서 산화막이 발생하게 되므로 가열로 외부 직후에서 산화막을 측정하는 것이 강판 표면 품질을 향상시키기 위해 효율적일 수 있다.
The steel sheet is heated by a burner (not shown) existing inside the heating furnace 210 and discharged to the outside of the heating furnace 210, and an oxide film is generated in the process of being heated by the burner (not shown). Measuring the oxide film in can be efficient to improve the steel plate surface quality.

본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 소둔설비(200)는 도 4에서 보이듯, 상기 측정수단(도 2의 110) 즉, 제1,2 측정유닛(120,130)에 연결되고, 디스플레이수단(231)을 구비하는 제어장치(230)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 4, the annealing facility 200 according to another embodiment of the present invention is connected to the measuring means (110 in FIG. 2), that is, the first and second measuring units 120 and 130, and the display means 231 It may further include a control device 230 having a.

이때, 상기 제1,2 측정유닛(120,130)은 측정프레임(150) 등에 의해 지지되고 보호될 수 있으나 이는 반드시 본 발명에 의해 한정되는 것은 아니다.In this case, the first and second measuring units 120 and 130 may be supported and protected by the measuring frame 150 or the like, but this is not necessarily limited by the present invention.

상기 제어장치는 상기 제1,2 수광부(122,132)가 각각 측정한 수광세기값 및 상기 강판 표면의 영상정보 중 적어도 하나를 상기 디스플레이수단으로 표시하게 제공될 수 있다.The control device may be provided to display at least one of a light-receiving intensity value measured by the first and second light-receiving units 122 and 132 and image information on the surface of the steel plate by the display means.

이와 같은 제어장치 및 디스플레이수단에 따르면 작업자가 강판 표면에 음영 또는 흑백 부분이 존재하는지 또는 강판 표면의 산화막 두께가 기준치 이상인지를 시각적으로 확인할 수 있게 된다. 산화막 두께가 기준치 이상인지를 확인할 수 있는 구체적인 내용은 후술하도록 한다.According to such a control device and a display means, an operator can visually check whether a shadow or a black and white portion exists on the surface of the steel plate or whether the thickness of the oxide film on the surface of the steel plate is greater than or equal to a reference value. Specific details for determining whether the oxide film thickness is greater than or equal to the reference value will be described later.

또한, 상기 가열로(210)의 벽은 가열로(210)의 두께(H) 방향으로 경사지게 구비되되, 두께방향으로 선형적으로 변화하게 구비될 수 있다.In addition, the wall of the heating furnace 210 is provided to be inclined in the thickness (H) direction of the heating furnace 210, but may be provided to change linearly in the thickness direction.

관찰창(220)은 가열로(210)의 벽에서 일정 폭(W)을 가지게 구비되며, 투명한 재질로 강판을 관찰할 수 있게 구비된다.The observation window 220 is provided to have a certain width (W) on the wall of the heating furnace 210, and is made of a transparent material so that the steel plate can be observed.

따라서, 관찰창(220)이 존재하는 영역은 가열로(210)의 벽이 존재해서는 안된다. 이에, 상기 가열로(210)의 벽의 양 단부는 서로 일정 간격 이격되어 관찰창(220)을 가리지 않게 구비된다.Therefore, the wall of the heating furnace 210 should not exist in the area where the observation window 220 exists. Accordingly, both ends of the wall of the heating furnace 210 are spaced apart from each other by a predetermined distance so as not to cover the observation window 220.

이때, 가열로(210)의 벽의 양단부가 Z축 방향으로 이격된 거리가 선형적으로 변화하게 구비되는데, 구체적으로는, 상기 강판에 가까워질수록 상기 이격된 거리는 선형적으로 멀어진다.At this time, the distance between both ends of the wall of the heating furnace 210 is linearly changed in the Z-axis direction, and specifically, the closer to the steel plate, the more the distance is linearly increased.

이에 따르면, 제1,2 측정유닛(120,130)에 의해 조사되고 측정되는 광이 가열로(210)의 벽에 의해 간섭받는 것을 방지할 수 있는 효과가 있고, 도 5에 보이듯, 강판 즉, 대상물(101) 상에 존재하는 산화막 영역(101a)을 음영 내지는 흑백으로 간섭없이 디스플레이할 수 있게 된다.According to this, there is an effect of preventing the light irradiated and measured by the first and second measuring units 120 and 130 from being interfered by the wall of the heating furnace 210, and as shown in FIG. 5, a steel plate, that is, an object ( The oxide layer region 101a on 101) can be displayed in shaded or black and white without interference.

더욱 바람직하게는 도 6에서 보이듯, 상기 강판 즉, 대상물(101)의 X축 방향으로의 폭이 2000mm이고, 상기 관찰창이 Z축 반대방향으로 상기 대상물 표면에서부터 1500mm이격된 경우에, 상기 관찰창의 폭(W)은 500mm이고, 상기 관찰창의 상기 강판의 이송방향 즉, Y축 방향으로의 길이는 100mm일 수 있다.More preferably, as shown in FIG. 6, when the steel plate, that is, the width of the object 101 in the X-axis direction is 2000 mm, and the observation window is spaced 1500 mm from the object surface in the opposite direction of the Z-axis, the width of the observation window (W) may be 500 mm, and the length of the observation window in the conveying direction of the steel sheet, that is, in the Y-axis direction, may be 100 mm.

이러한 경우, 상기 제1 광원부(121)의 제1 입사각(θ1)은 15°이고, 제2 광원부(131)의 제2 입사각(θ2)도 15°가 될 수 있다. 이에 따르면 가열로(210)의 간섭없이 강판 표면 산화막을 용이하게 측정할 수 있다.In this case, the first incident angle θ 1 of the first light source unit 121 may be 15°, and the second incident angle θ 2 of the second light source unit 131 may also be 15°. Accordingly, it is possible to easily measure the oxide film on the surface of the steel sheet without interference from the heating furnace 210.

한편, 전술한 산화막의 두께는 제1,2 수광부(122,132)에서 상기 제어장치(도 4의 230)에 보내는 값 즉, 수광세기값에 의해 판별할 수 있다.Meanwhile, the thickness of the oxide layer described above can be determined by a value sent from the first and second light receiving units 122 and 132 to the control device (230 in FIG. 4), that is, a light-receiving intensity value.

도 7에서 보이듯, 제1,2 수광부(도 6의 122,132)에 의해 측정된 수광세기값 중 최대값을 1이라고 하면 수광세기의 값이 1일 때, 강판 표면에 존재하는 산화층의 두께는 0nm이다(일 예로, 상기 수광세기값의 최대값은 경험식에 의해 산출될 수 있다.).As shown in FIG. 7, if the maximum value among the light-receiving intensity values measured by the first and second light-receiving units (122 and 132 in FIG. 6) is 1, when the value of the light-receiving intensity is 1, the thickness of the oxide layer present on the surface of the steel sheet is 0 nm. (For example, the maximum value of the received light intensity value may be calculated by an empirical formula.).

그러나 상호 반비례하는 수광세기값과 산화층 두께값은 산화층 두께값이 커질수록 수광세기값은 감소하는 것을 알 수 있다.However, it can be seen that the light-receiving intensity value and the oxide layer thickness value, which are inversely proportional to each other, decrease as the oxide layer thickness value increases.

그런데 통상 소둔공정에서 강판 표면에 존재하는 산화층 두께값이 30nm이상 60nm이하의 범위에 있는 경우 이를 불량으로 간주한다. 도 7을 참조하면, 산화층 두께값이 30nm이상 60nm이하일 때의 수광세기값은 상기 수광세기값의 최대값의 15%이상 30%이하의 범위의 값임을 알 수 있다.However, if the thickness value of the oxide layer existing on the surface of the steel sheet in the annealing process is in the range of 30 nm or more and 60 nm or less, it is regarded as defective. Referring to FIG. 7, it can be seen that the light-receiving intensity value when the thickness of the oxide layer is 30 nm or more and 60 nm or less is in the range of 15% or more and 30% or less of the maximum value of the light-receiving intensity value.

따라서, 제1,2 수광부(도 6의 122,132)가 측정한 수광세기값이 상기 수광세기값의 최대값의 15%이상 30%이하에 해당하는 어느 하나의 값일 경우 이를 불량으로 인지하도록 할 수 있다.Therefore, if the light-receiving intensity value measured by the first and second light-receiving units (122 and 132 in FIG. 6) is any one value corresponding to 15% or more and 30% or less of the maximum value of the light-receiving intensity value, it can be recognized as a defect. .

따라서 본 발명의 일 실시 예에서는 도 8에서 보이듯, 이송되는 대상물(101) 즉, 강판이 가열로의 벽(210a)의 내부에 구비된 버너(210b)에 의해 가열되어 가열로를 빠져나와 상기 가열로의 직후에 배치된 표면 측정 장치(100)의 측정수단(110)에 의해 산화막이 측정되게 할 수 있다.Therefore, in an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 8, the object to be transferred 101, that is, the steel plate is heated by the burner 210b provided inside the wall 210a of the heating furnace to exit the heating furnace and the heating. The oxide film can be measured by the measuring means 110 of the surface measuring device 100 disposed immediately after the furnace.

이때, 상기 측정수단(110)의 제1,2 수광부(도 6의 122,132)가 측정한 수광세기값이 수광세기값의 최대값의 15%이상 30%이하에 해당하는 어느 하나의 값인 것으로 상기 제어장치(230)에서 판단하면, 디스플레이수단(231)에 불량임을 표시하고, 상기 제어장치(230)를 통해 버너(210b)의 동작여부, 화염세기, 위치 중 적어도 어느 하나를 제어할 수 있다.At this time, the control as the first and second light-receiving units of the measuring means 110 (122, 132 in Fig. 6) measured as any one value corresponding to 15% or more and 30% or less of the maximum value of the light-receiving intensity value. If determined by the device 230, the display means 231 is displayed as a defect, and at least one of whether the burner 210b is operated, the flame intensity, and the position may be controlled through the control device 230.

보다 상세하게는 불량으로 표시되는 영역에 영향을 미치는 버너를 조절하여 산화막이 불량 수준으로 생성되는 것을 방지할 수 있다.
In more detail, it is possible to prevent the oxide film from being generated at a defective level by controlling the burner that affects the area marked as defective.

한편, 다른 측면으로서의 본 발명은 도 9에서 보이듯, 대상물의 표면 산화막의 두께를 측정하는 방법을 제공한다.Meanwhile, the present invention as another aspect provides a method of measuring the thickness of a surface oxide film of an object, as shown in FIG. 9.

본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 측정 방법은 대상물과의 사이에 그레디언트(gradient)필터를 구비하는 광원부 및 수광부를 상호 나란하게 배치하여 상기 대상물의 표면 정보를 측정하는 측정단계(S310), 상기 광원부 및 상기 수광부에 연결되고, 디스플레이부를 구비하는 제어장치로 상기 수광부가 측정한 수광세기값 및 상기 대상물 표면의 영상정보를 획득하는 정보획득단계(S320) 및 상기 정보획득단계에서 획득한 수광세기값을 가지고 상기 제어장치를 통해 산화막의 두께를 연산하는 연산단계(S330)를 포함할 수 있다.In the method of measuring a surface according to an embodiment of the present invention, a measuring step (S310) of measuring surface information of the object by arranging a light source unit having a gradient filter and a light receiving unit in parallel with each other, the light source unit And an information acquisition step (S320) of acquiring the light-receiving intensity value measured by the light-receiving unit and image information on the surface of the object by a control device connected to the light-receiving unit and having a display unit, and the light-receiving intensity value acquired in the information acquisition step. It may include an operation step (S330) of calculating the thickness of the oxide film through the control device.

또 다른 일 실시 예에서는 상기 연산단계에서 연산한 산화막두께값을 상기 디스플레이부로 표시하는 디스플레이단계(S340)를 더 포함할 수 있다.In another embodiment, a display step (S340) of displaying the oxide film thickness value calculated in the calculating step on the display unit may be further included.

이때, 상기 연산단계(S330)는 수광세시값을 산화막의 두께로 환산하는 연산을 수행하게 되는데, 아래 수식에 의해 이를 연산할 수 있다.
At this time, in the operation step S330, an operation of converting the light-receiving cleaning value to the thickness of the oxide film is performed, which can be calculated by the following equation.

[수식]

Figure 112018096147718-pat00001

[Equation]
Figure 112018096147718-pat00001

이때, Y=산화막두께값, X=상기 수광부에서 측정한 수광세기이고,At this time, Y = oxide film thickness value, X = light reception intensity measured by the light receiving unit,

보정계수인 a=-151, b=285, c=-205, d=71이다.
The correction factors are a=-151, b=285, c=-205, and d=71.

그리고 상기 디스플레이단계는 상기 Y값이 30이상 60이하의 범위의 값일 때, 상기 디스플레이부로 불량임을 표시하는 불량표시단계(S341)를 포함할 수 있다.
In addition, when the Y value is in the range of 30 or more and 60 or less, the display step may include a defect display step S341 of indicating that the display is defective.

본 발명의 또 다른 일 실시 예에서, 상기 측정단계는, 상기 대상물의 일측 단부 방향으로 기울어진 상기 광원부 및 상기 수광부, 상기 대상물의 타측 단부 방향으로 기울어진 또 다른 상기 광원부 및 상기 수광부, 상기 대상물의 일측 단부 방향 및 상기 대상물의 타측 방향으로 기울어진 상기 그레디언트(gradient)필터로 상기 대상물의 표면 정보를 측정할 수 있다.In yet another embodiment of the present invention, the measuring step includes the light source unit and the light receiving unit inclined toward one end of the object, another light source unit and the light receiving unit inclined toward the other end of the object, and the object Surface information of the object may be measured with the gradient filter inclined toward one end direction and the other side of the object.

또 다른 일 실시 예에서는 도 10에서 보이듯, 상기 수광부가 측정한 수광세기값이 상기 수광세기값의 최대값의 15%이상 30%이하에 해당하는 어느 하나의 값인 경우, 상기 대상물을 가열하는 가열로에 구비된 버너의 동작여부, 화염세기, 위치 중 적어도 어느 하나를 제어하는 가열제어단계(S350)를 더 포함할 수 있다.In another embodiment, as shown in FIG. 10, when the light-receiving intensity value measured by the light-receiving unit is any one value corresponding to 15% or more and 30% or less of the maximum value of the light-receiving intensity value, a heating furnace for heating the object It may further include a heating control step (S350) of controlling at least one of whether or not the burner provided in the operation, flame intensity, and position.

이는 상기 제어장치에 의해 수행될 수 있으며, 상기 제어장치는 가열로 내부의 버너와 전기적, 물리적 연결이 되어 있어야 함은 당업자에게 자명할 것이다. 아울러, 가열제어단계(S350)를 통해 강판을 가열하는 버너를 조절하여 강판 표면에서 불량 수준의 두께를 가진 산화막이 측정되지 않도록 할 수 있다.
This can be performed by the control device, and it will be apparent to those skilled in the art that the control device must be electrically and physically connected to the burner inside the furnace. In addition, by controlling the burner that heats the steel sheet through the heating control step (S350), it is possible to prevent an oxide film having a thickness of a defective level on the surface of the steel sheet from being measured.

이상에서 설명한 사항은 본 발명의 일 실시 예에 관하여 설명한 것이며, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것이 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
The matters described above are described in relation to one embodiment of the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible within the scope not departing from the technical spirit of the present invention described in the claims. This will be apparent to those of ordinary skill in the art.

10, 101 : 대상물 20 : 노 벽
30 : 측정창 40 : 광원부
50 : 분석부 100 : 표면 측정 장치
110 : 측정수단 120 : 제1 측정유닛
121 : 제1 광원부 122 : 제1 수광부
130 : 제2 측정유닛 131 : 제2 광원부
132 : 제2 수광부 140 : 필터수단
150 : 측정프레임 200 : 소둔설비
210a : 벽 220 : 관찰창
230 : 제어장치10, 101: object 20: furnace wall
30: measurement window 40: light source
50: analysis unit 100: surface measuring device
110: measuring means 120: first measuring unit
121: first light source unit 122: first light receiving unit
130: second measurement unit 131: second light source unit
132: second light receiving unit 140: filter means
150: measuring frame 200: annealing equipment
210a: wall 220: observation window
230: control device

Claims (16)

측정 대상물에 대하여 광을 조사하고, 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 측정수단; 및 상기 측정수단과 상기 대상물 사이에 구비되어 광량을 보정하는 필터수단;을 포함하고, 상기 필터수단은, 상기 측정수단의 광원부와 상기 대상물 사이 및 상기 측정수단의 수광부와 상기 대상물 사이에 구비되되, 상기 측정수단은, 상기 대상물에 수직한 평면상에서 상기 대상물의 일측 단부를 향해 기울어진 제1 측정유닛; 및 상기 대상물의 타측 단부를 향해 기울어진 제2 측정유닛;을 포함하고, 상기 필터수단은, 상기 제1 측정유닛, 상기 제2 측정유닛과 상기 대상물 사이에 배치되어 광량 불균일을 보정하고, 상기 필터수단은, 그레디언트(gradient)필터인 표면 측정 장치로 상기 대상물의 표면 산화막의 두께를 측정하는 방법으로,
상기 대상물과의 사이에 상기 그레디언트(gradient)필터를 구비하는 상기 광원부 및 상기 수광부를 상호 나란하게 배치하여 상기 대상물의 표면 정보를 측정하는 측정단계;
상기 광원부 및 상기 수광부에 연결되고, 디스플레이부를 구비하는 제어장치로 상기 수광부가 측정한 수광세기값 및 상기 대상물 표면의 영상정보를 획득하는 정보획득단계;
상기 정보획득단계에서 획득한 수광세기값을 가지고 상기 제어장치를 통해 산화막의 두께를 연산하는 연산단계; 및
상기 연산단계에서 연산한 산화막두께값을 상기 디스플레이부로 표시하는 디스플레이단계;를 포함하고,
상기 연산단계는,
상기 산화막두께값(Y)(nm)을 Y=aX3+bX2+cX+d에 의해 연산하되, X는 상기 수광부에서 측정한 수광세기값(a.u.)이고, a, b, c, d는 각각 -151, 285, -205, 71이며,
상기 디스플레이단계는,
상기 산화막두께값(Y)이 30nm이상 60nm이하의 범위의 값일 때, 상기 디스플레이부로 불량임을 표시하는 불량표시단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 측정 방법.
Measuring means for irradiating light to a measurement object and measuring light reflected from the object; And a filter means provided between the measuring means and the object to correct the amount of light, wherein the filter means is provided between the light source part of the measuring means and the object, and between the light receiving part of the measuring means and the object, The measuring means includes: a first measuring unit inclined toward one end of the object on a plane perpendicular to the object; And a second measuring unit inclined toward the other end of the object, wherein the filter means is disposed between the first measuring unit, the second measuring unit and the object to correct light quantity non-uniformity, and the filter The means is a method of measuring the thickness of the surface oxide film of the object with a surface measuring device that is a gradient filter,
A measuring step of measuring surface information of the object by arranging the light source unit and the light receiving unit to be parallel to each other with the gradient filter;
An information acquisition step of acquiring a light-receiving intensity value measured by the light-receiving unit and image information on the surface of the object by means of a control device connected to the light source unit and the light receiving unit and including a display unit;
An operation step of calculating the thickness of the oxide film through the control device using the light-receiving intensity value obtained in the information acquisition step; And
A display step of displaying the oxide film thickness value calculated in the calculation step on the display unit,
The calculation step,
The oxide film thickness value (Y) (nm) is calculated by Y=aX3+bX2+cX+d, where X is the light-receiving intensity value (au) measured by the light-receiving unit, and a, b, c, and d are each- 151, 285, -205, 71,
The display step,
And a defect display step of indicating a defect by the display unit when the oxide film thickness (Y) is in the range of 30 nm or more and 60 nm or less.
 제1항에 있어서,
상기 제1 측정유닛은,
상기 대상물의 일측 단부를 향해 광을 조사하는 제1 광원부; 및
상기 제1 광원부에 나란하게 배치되어 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 제1 수광부;를 포함하고,
상기 제2 측정유닛은,
상기 대상물의 타측 단부를 향해 광을 조사하는 제2 광원부; 및
상기 제2 광원부에 나란하게 배치되어 상기 대상물로부터 반사된 광을 측정하는 제2 수광부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 측정 방법.
The method of claim 1,
The first measurement unit,
A first light source unit for irradiating light toward one end of the object; And
Including; a first light receiving unit disposed in parallel with the first light source unit to measure the light reflected from the object,
The second measuring unit,
A second light source unit for irradiating light toward the other end of the object; And
And a second light receiving unit disposed in parallel with the second light source unit to measure light reflected from the object.
 제2항에 있어서,
상기 필터수단은,
상기 제1 측정유닛과 상기 대상물 사이에서 상기 제1 측정유닛과 동일한 방향으로 기울어지고, 상기 제2 측정유닛과 상기 대상물 사이에서는 상기 제2 측정유닛과 동일한 방향으로 기울어진 것을 특징으로 하는 표면 측정 방법.
The method of claim 2,
The filter means,
Surface measurement method, characterized in that inclined between the first measurement unit and the object in the same direction as the first measurement unit, and between the second measurement unit and the object in the same direction as the second measurement unit .
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 측정단계는,
상기 대상물의 일측 단부 방향으로 기울어진 상기 광원부 및 상기 수광부, 상기 대상물의 타측 단부 방향으로 기울어진 또 다른 상기 광원부 및 상기 수광부, 상기 대상물의 일측 단부 방향 및 상기 대상물의 타측 방향으로 기울어진 상기 그레디언트(gradient)필터로 상기 대상물의 표면 정보를 측정하는 것을 특징으로 하는 표면 측정 방법.
The method of claim 1,
The measuring step,
The light source unit and the light receiving unit inclined toward one end of the object, the other light source unit and the light receiving unit inclined toward the other end of the object, the gradient inclined toward one end of the object and the other side of the object ( Gradient) surface measurement method, characterized in that measuring the surface information of the object with a filter.
 제1항에 있어서,
상기 수광부가 측정한 수광세기값이 상기 수광세기값의 최대값의 15%이상 30%이하에 해당하는 어느 하나의 값인 경우, 상기 대상물을 가열하는 가열로에 구비된 버너의 동작여부, 화염세기, 위치 중 적어도 어느 하나를 제어하는 가열제어단계;
를 더 포함하는 표면 측정 방법.
The method of claim 1,
When the light-receiving intensity value measured by the light receiving unit is any one value corresponding to 15% or more and 30% or less of the maximum value of the light-receiving intensity value, whether the burner provided in the heating furnace for heating the object is operated, flame intensity, A heating control step of controlling at least one of the positions;
Surface measurement method further comprising a.
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