KR102162884B1 - 영상표시장치의 제조방법 - Google Patents

영상표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

표시영역과, 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역을 포함하는 영상표시장치의 제조방법에 있어서, 기판 하부에 무기막층을 형성하는 단계와; 상기 기판 상부에 박막트랜지스터 및 패드를 형성하는 단계와; 상기 박막트랜지스터 상부에 화소전극을 형성하는 단계와; 상기 기판 하부의 무기막층을 패터닝하여 베젤패턴을 형성하는 단계를 포함하는 영상표시장치의 제조방법을 제공한다.

Description

영상표시장치의 제조방법{method of manufacturing Image display device}
본 발명은 영상표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히 영상표시장치를 제조하기 위한 포토 공정 시 CD(Critical Dimension) 편차에 의한 화면 얼룩을 방지할 수 있는 영상표시장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회가 발전함에 따라 디스플레이 분야에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있으며, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비 전력화 등의 특징을 지닌 여러 평판 표시 장치(Flat Panel Display device), 예를들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device), 유기발광 다이오드 디스플레이장치(Organic Light Emitting Diode Display device) 등이 연구되고 있다.
이 중 액정표시장치는 상하부의 투명 절연 기판인 컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정층을 형성하고, 액정 물질에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시키고, 이를 통하여 컬러 필터 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하는 표시 장치로, 응답속도가 빠른 장점이 있다.
이와 같은 액정표시장치는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)를 스위칭 소자로 이용한다.
일반적인 액정 표시 장치는 영상이 표시되는 표시영역과 표시영역을 감싸는 비표시영역을 포함하는 표시패널과, 상기 표시패널 상부에 서로 교차하며 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선을 포함한다.
그리고, 비표시영역 일면에 다수의 게이트 집적회로가 본딩되어 부착되고, 게이트 집적회로와 수직방향으로 비표시영역의 다른 일면에 데이터 집적회로가 본딩되어 부착된다.
이때, 게이트 집적회로와 전기적으로 연결되는 인쇄회로기판은 게이트 집적회로 및 데이터 집적회로에 제어신호 및 데이터 신호를 인가하며, 어레이 기판 배면으로 젖혀진다.
따라서, 일반적인 액정표시장치는 일면에 부착된 인쇄회로기판이 배면으로 젖혀짐에 따라 베젤부를 축소하는데 제한이 생기는 문제가 발생한다.
이때, 화소영역에는 게이트 전극과 소스 및 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터와 어레이 기판 상부로 표시영역 전면에 화소전극이 형성된다.
이때, 화소전극은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성 금속으로 형성된다.
그리고, 게이트 및 데이터 배선은 게이트 전극 및 소스 전극과 연결되고, 다수의 화소전극은 드레인 전극과 연결된다.
이와 같은 일반적인 액정표시장치용 어레이 기판은 대면적에 다수개가 동시에 형성된다.
그리고, 어레이 기판의 제조 과정에서 다수의 증착 공정과, 포토 공정, 식각 공정을 거치게 되는데, 포토 공정은 세부적으로 감광막 도포, 노광, 현상 및 식각 단계를 거쳐 진행된다.
여기서, 포토 공정은 포토레지스트(Photoresist: PR)가 빛을 받으면 화학 반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여, 얻고자 하는 패턴(pattern)의 마스크(mask)를 사용하여 빛을 선택적으로 포토레지스트에 조사함으로써 마스크의 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 공정을 말한다.
그런데, 액정 표시 장치의 하부 기판인 어레이 기판은, 포토공정 중 박막을 증착하고 마스크를 이용하여 노광하는 노광공정을 여러 번 반복하기 때문에, 노광공정에 따른 CD(Critical Dimension) 편차가 발생되어 어레이 기판 상에서 얼룩으로 보이게 되는 문제점이 빈번히 발생한다.
이하 도면을 참조하여, 일반적인 액정표시장치용 어레이 기판을 제조하는 과정에서, 노광기에서 반사되는 빛의 단차에 의해 얼룩이 발생하는 것을 설명한다.
도 1은 일반적인 액정표시장치 어레이 기판의 노광공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 노광기는 기판(10)을 고정하는 척(20)과, 기판(10) 상부에 형성되는 포토레지스트(13)과, 척(20) 상부로 기판(10)에 조사되는 빛과, 척(20)과 빛 사이에 위치하는 마스크(30)로 구성된다.
이때, 척(20)은 기판(10)을 상/하로 옮기는 핀(22)과, 상기 핀(22)의 이동경로가 되는 핀홀(24)과, 기판(10)을 진공으로 흡착하는 진공홀(26)과, 기판을 지지하는 지지대(28)를 포함한다.
이와 같은 구성에 따른 노광공정은 기판(10) 상부에 금속(미도시)과 유기물(미도시) 및 무기물(미도시)를 증착하고 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트(13)에 빛을 노광하여 현상함으로 다수의 패턴(미도시)를 형성한다.
그런데, 기판(10) 상부로 조사되는 빛은 화소전극(미도시)과 같이 빛이 투과되는 층과, 척의 진공홀(26)과, 핀홀(24)에서 반사되는 반사율이 각각 다르기 때문에 조사되는 빛의 에너지 변화가 일어나 사용자가 원하는 대로 노광되지 않고, 얼룩과 같은 문제가 발생하여 미세한 패턴을 형성하기 어렵다.
좀 더 상세하게 설명하면, 기판(10) 상부에 조사되는 빛은 기판(10) 상부의 투명 도전층(13)에서 제1 반사율에 의해 반사되는 제1 반사(A)와, 척(20)에서 제2 반사율에 의해 반사되는 제2 반사(B)와, 척(20)의 진공홀(26)에서 제3 반사율에 의해 반사되는 제3 반사(C)로 나뉜다.
이에 따라, 기판(10) 상부에 조사되는 빛의 에너지 변화로 인해 사용자가 원하는 대로 노광되지 않고, 기판(10) 상부에서 얼룩으로 보이게 되는 문제가 발생하여 미세한 패턴을 형성하기 어렵다.
그리고, 얼룩은 화소 전극과 공통 전극간의 CD(Critical Dimension) 편차를 유발한다.
전극간의 CD 편차는 액정 표시 장치의 구동 중 화소 전극과 공통 전극 사이의 필드(fileld) 차이를 발생시켜 휘도가 불균일해지는 문제가 발생한다.
본 발명에서는 위와 같이 투명한 금속층과, 노광기 척의 반사율 때문에 얼룩이 발생하여 미세패턴을 형성하기 어려운 문제와, 얼룩으로 인해 발생하는 전극간의 CD 편차로 인해 휘도가 불균일해지는 문제를 해결하고자 한다.
위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은 표시영역과, 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역을 포함하는 영상표시장치의 제조방법에 있어서, 기판 하부에 무기막층을 형성하는 단계와; 상기 기판 상부에 박막트랜지스터 및 패드를 형성하는 단계와; 상기 박막트랜지스터 상부에 화소전극을 형성하는 단계와; 상기 기판 하부의 무기막층을 패터닝하여 베젤패턴을 형성하는 단계를 포함하는 영상표시장치의 제조방법을 제공한다.
이때, 상기 무기막층을 형성하는 단계는 실란(SiH4) 중 어느 하나를 포함하는 무기물질을 암모니아(NH3) 가스, 인화수소(PH3) 가스, 질소(N2) 가스, 수소(H2) 가스 중 하나 이상을 반응가스로 하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 반응가스는, 상기 실란(SiH4)과 상기 암모니아(NH3) 가스의 혼합비를 1:2로 하고, 상기 실란(SiH4)과 상기 질소(N2) 가스의 혼합비를 1:2로 한다.
그리고, 상기 반응가스는, 상기 실란(SiH4)과 상기 암모니아(NH3) 가스의 혼합비를 1:4로 하고, 상기 실란(SiH4)과 상기 질소(N2) 가스의 혼합비를 1:4로 한다.
그리고, 상기 반응가스는, 상기 실란(SiH4)과 상기 인화수소(PH3) 가스의 혼합비를 1:2이고 상기 실란(SiH4)과 상기 암모니아(NH3) 가스의 혼합비를 1:2로 하고, 상기 실란(SiH4)과 상기 질소(N2) 가스의 혼합비를 1:2로 한다.
그리고, 상기 베젤패턴을 형성하는 단계는, 상기 무기막층을 상기 표시영역을 노출하도록 패터닝하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 기판 상부에 공통전극과, 액정층을 형성하는 단계를 더 포함한다.
그리고, 상기 기판 상부에 구동 박막트랜지스터와, 스토리지 캐패시터와, 유기발광 다이오드를 형성하는 단계를 더 포함한다.
본 발명은 영상표시장치의 기판 하부에, 무기막을 증착함으로써, 노광기 척에서 발생하는 반사를 방지하는 효과가 있다.
그리고, 무기막 증착 시 가스혼합비율을 변경하여 무기막의 색상을 변경하고, 노광공정이 완료된 기판 하부의 무기막을 패터닝하여 베젤부 미감을 향상시키는 효과가 있다.
그리고, 액정표시장치의 베젤부를 축소할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 액정표시장치를 노광공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치 어레이 기판을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치 어레이 기판의 노광공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4a 내지 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법을 단계별로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 영상표시장치에 대해 자세히 설명한다.
이하, 설명하는 본 발명 일 실시예에 따른 액정표시장치는, 다른 실시예에서 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device), 유기발광 다이오드 디스플레이장치(Organic Light Emitting Diode Display device) 중 어느 하나를 포함하는 영상표시장치로 변경될 수 있으며, 동일한 효과를 가질 수 있다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판(110) 상부에는, 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(T)가 형성되며, 박막 트랜지스터(T) 상부에는 각 화소 영역(P)에 화소 전극(152)이 형성된다.
도시하지 않았지만, 어레이 기판(110)은 상부 또는 하부에 광원을 포함하는 백라이트 유닛(back light unit)과 컬러필터(color filter) 기판이 부착되어 화상을 표시할 수 있다.
이때, 화상이 표시되는 영역을 표시영역이라 하며, 표시영역은 비표시영역으로 둘러싸여 있다.
한편, 박막 트랜지스터(T)는 게이트 전극(115)과, 게이트 전극(115) 상부의 게이트 절연막(120), 액티브층(123), 액티브층(123) 상부에 서로 이격된 소스 전극(125)과 드레인 전극(126), 보호막(130)으로 형성된다.
그리고, 보호막(130) 상부로 평탄화막(140)이 형성되고, 평탄화막(140) 상부에는 화소전극(150)이 형성된다.
이때, 화소 전극(150)과 박막 트랜지스터(T)는 드레인 콘택홀(127)을 통해 전기적으로 접촉한다.
그리고, 화소 전극(150) 은, 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO), 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO) 또는 투명산화전도막(TCO) 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성 금속 중 하나로 형성될 수 있다.
한편, 어레이 기판(110)의 패드부(pad)에는, 어레이 기판(110) 일단으로 게이트 전극(115)과 동일층에 동일 물질로 형성되는 패드 하부 전극(116)과, 패드 하부 전극(116) 상부로 패드 콘택홀(129)를 통해 패드 하부 전극(116)과 전기적으로 접촉하는 패드 상부 전극(151)이 형성된다.
이때, 화소영역(P) 및 패드부(pad)의 외각으로 화소영역(P)을 감싸는 베젤부(B)에는 어레이 기판(110) 하부로 베젤패턴(212)이 형성된다.
이와 같은 베젤패턴(212)는 실란(SiH4), 무기막으로 형성된다.
이때, 베젤패턴(212)은 형성 시 암모니아(NH3) 가스, 인화수소(PH3) 가스, 질소(N2) 가스, 수소(H2) 가스 중 하나를 반응가스로 사용하며, 반응가스의 혼합비에 따라 다양한 색상으로 형성될 수 있다. 반응가스에 대한 설명은 추후에 다시 설명하도록 하겠다.
이와 같이 액정표시장치의 하부에 다양한 색상의 무기막으로 베젤패턴(212)을 형성하면, 베젤부(B)의 미감을 향상시킬 수 있다.
또한, 패드부(pad)에 부착되는 구동회로(미도시)가 배면으로 젖혀지지 않고, 액정표시장치의 상부에 위치하는 액정표시장치에 있어서, 베젤패턴(212)을 형성함으로 인해 다른 공정을 거치지 않고 베젤부(B)를 효과적으로 가릴 수 있는 장점이 있다.
그리고, 비표시영역 일면에는 다수의 게이트 집적회로가 본딩되어 부착되고, 게이트 집적회로와 수직방향으로 비표시영역의 다른 일면에 데이터 집적회로가 본딩되어 부착된다.
이때, 게이트 집적회로는 내부에 구동회로가 실장된 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되는데, 인쇄회로기판은 게이트 집적회로 및 데이터 집적회로에 제어신호 및 데이터 신호를 인가한다.
이와 같은 인쇄회로기판은 패드부(pad)에 부착되어 어레이 기판(110) 상부에 위치한다.
따라서, 인쇄회로기판이 액정표시장치 배면으로 젖혀지는 종래의 액정표시장치에 비해 베젤부(B)를 축소할 수 있는 효과가 있다.
이와 같은 본 발명의 액정표시장치용 어레이 기판은 대면적에 다수개가 동시에 형성된다.
그리고, 어레이 기판의 제조 과정에서 다수의 증착 공정과, 포토 공정, 식각 공정을 거치게 되는데, 포토 공정은 세부적으로 감광막 도포, 노광, 현상 및 식각 단계를 거쳐 진행된다.
이때, 베젤패턴(212)을 이루는 무기막이 노광단계에서 어레이 기판(110)에 노광되는 빛을 흡수할 수 있다.
이하 노광 공정을 도면을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치 어레이 기판의 노광공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 노광기는 하부에 무기막층(112)이 형성된 어레이 기판(110)을 고정하는 척(120)과, 어레이 기판(110) 상부에 형성되는 포토레지스트(113)과, 척(120) 상부로 어레이 기판(110)에 조사되는 빛과, 척(120)과 빛 사이에 위치하는 마스크(130)로 구성된다.
이때, 척(120)은 어레이 기판(110)을 상/하로 옮기는 핀(122)과, 상기 핀(122)의 이동경로가 되는 핀홀(124)과, 어레이 기판(110)을 진공으로 흡착하는 진공홀(126)과, 어레이 기판을 지지하는 지지대(128)를 포함한다.
이때, 어레이 기판(110) 하부의 무기막층(112)이 척(120)과 마주보며 위치한다.
한편, 무기막층(112)은 수소 또는 질소와 결합된 실리콘을 함유하는 무기물질로 형성되며, 예를들어, 실란(SiH4)암모니아(NH3) 가스, 인화수소(PH3) 가스, 질소(N2) 가스, 수소(H2) 가스 중 하나를 포함 하는 가스 플라즈마(plasma) 처리 또는 가스 분위기에서 열처리를 통해 형성된다.
이때, 가스의 혼합 비에 따라 무기막층(112)의 색이 달라진다. 암모니아(NH3) 가스와 질소(N2) 가스의 비율이 증가할수록 노란색에서 금색으로 색상이 변하고, 인화수소(PH3) 가스의 비율이 증가하면 보라색으로 변한다.
예를들어, 암모니아(NH3) 가스와 질소(N2) 가스를 혼합하여 사용하는 경우, 실란(SiH4)과 암모니아(NH3) 가스의 혼합비가 1:2이고, 실란(SiH4)과 질소(N2) 가스의 혼합비가 1:2이면 무기막층(112)은 노란색으로 형성된다.
그리고, 실란(SiH4)과 암모니아(NH3) 가스의 혼합비가 1:4이고, 실란(SiH4)과 질소(N2) 가스의 혼합비가 1:4이면 무기막층(112)은 금색으로 형성된다.
또한, 인화수소(PH3) 가스와, 암모니아(NH3) 가스 및 질소(N2) 가스를 혼합하여 사용하는 경우, 실란(SiH4)과 인화수소(PH3) 가스의 혼합비가 1:2이고, 실란(SiH4)과 암모니아(NH3) 가스의 혼합비가 1:2이고, 실란(SiH4)과 질소(N2) 가스의 혼합비가 1:2이면 무기막층(112)은 보라색으로 형성된다.
이와 같이 무기막층(112)의 색상은 반응가스와, 반응가스의 혼합비율에 의해 다양하게 변경될 수 있다.
이하 전술한 노광공정을 이용한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법을 도면을 참조하여 설명한다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법을 단계별로 도시한 도면이다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 어레이 기판(110) 하부에 무기막층(112)을 형성한다.
이때, 무기막층(112)은 수소 또는 질소와 결합된 실리콘을 함유하는 무기물질로 형성되며, 예를들어, 실란(SiH4)그 다음 도 4b에 도시한 바와 같이, 어레이 기판(110) 상부의 화소영역(P)에 게이트 전극(115)과, 게이트 전극(115) 상부의 게이트 절연막(120), 액티브층(123), 액티브층(123) 상부에 서로 이격된 소스 전극(125)과 드레인 전극(126), 보호막(130)을 포함하는 박막트랜지스터(T)와, 박막트랜지스터(T) 상부에 드레인 콘택홀(127)을 통해 박막트랜지스터(T)와 전기적으로 접촉하는 화소 전극(152)이 형성된다.
그리고, 어레이 기판(110)의 패드부(pad)에는, 어레이 기판(110) 일단으로 게이트 전극과 동일층에 동일 물질로 형성된 패드 하부 전극(116)과, 패드 하부 전극(116) 상부로 패드 콘택홀(129)를 통해 패드 하부 전극(116)과 전기적으로 접촉하는 패드 상부 전극(151)이 형성된다.
이때, 박막트랜지스터(T) 및 패드부(pad)는 포토공정을 통해 형성되며, 다수의 증착 공정과, 포토 공정, 식각 공정으로 형성된다.
그리고, 포토 공정은 세부적으로 감광막 도포, 노광, 현상 및 식각 단계를 거쳐 진행된다.
이와 같은, 포토공정을 진행할 때, 어레이 기판(110) 상부에 (미도시)과 유기물(미도시) 및 무기물(미도시)를 증착하고 포토레지스트(미도시)를 도포한다.
그리고, 어레이 기판(110)을 노광기(도 3의 120) 상부에 위치시키고, 상부의 마스크(도 3의 130)를 통해 노광되는 빛으로 포토레지스트를 노광하여 현상함으로 박막트랜지스터(T) 및 패드부(pad)를 형성한다.
이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치 상부에서 노광되는 빛은 어레이 기판(110) 하부에 위치한 무기막층(112)에서 흡수되어 빛의 반사를 방지할 수 있다.
따라서, 한편, 도시하지 않았지만, 기판 상부로 공통전극과 액정층을 형성하여 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판을 완성할 수 있다.
그리고, 도 4c에 도시한 바와 같이, 박막트랜지스터(T) 및 패드부(pad)가 형성된 어레이 기판(110)을 뒤집어 어레이 기판(110) 하부에 형성된 무기막층(112)를 패터닝 하여 베젤패턴(212)을 형성한다.
이와 같이, 베젤패턴(212)을 형성하면, 어레이 기판(110)에서 비표시영역을 베젤패턴(212)으로 가릴 수 있다.
따라서, 어레이 기판(110) 하부에 다양한 색상의 무기막으로 베젤패턴(212)을 형성하면, 베젤부(B)의 미감을 향상시킬 수 있다.
그리고, 도시하지 않았지만 어레이 기판(110)은 상부 또는 하부에 광원을 포함하는 백라이트 유닛(back light unit)과 컬러필터(color filter) 기판이 부착되어 화상을 표시할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는, 어레이 기판 하부에, 무기막층을 증착함으로써, 노광기 척에서 발생하는 반사를 방지하는 효과가 있다.
그리고, 무기막층 증착 시 가스혼합비율을 변경하여 무기막층의 색상을 다양한 색상으로 형성하면, 노광공정이 완료된 기판 하부의 무기막을 패터닝하여 형성되는 베젤패턴으로 인해 베젤부의 미감이 향상되는 효과가 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 : 어레이 기판 112 : 무기막층
115 : 게이트 전극 116 : 패드하부전극
120 : 게이트 절연막 123 : 액티브층
125 : 소스전극 126 : 드레인 전극
130 : 보호막 140 : 평탄화막
150 : 화소전극 151 : 패드상부전극

Claims (9)

  1. 표시영역과, 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시영역을 포함하는 영상표시장치의 제조방법에 있어서,
    어레이 기판 하부에 무기막층을 형성하는 단계와;
    상기 어레이 기판 상부에 박막트랜지스터 및 패드를 형성하는 단계와;
    상기 박막트랜지스터 상부에 화소전극을 형성하는 단계와;
    상기 어레이 기판 하부의 무기막층을 패터닝하여 베젤패턴을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 베젤패턴을 형성하는 단계에서, 상기 무기막층은 상기 표시영역을 노출하도록 패터닝되고 상기 베젤패턴은 화소영역 및 패드부 외각의 베젤부에 형성되는 것을 특징으로 하는 영상표시장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 무기막층을 형성하는 단계는 실란(SiH4)인 무기물질과 암모니아(NH3) 가스, 인화수소(PH3) 가스, 질소(N2) 가스, 수소(H2) 가스 중 하나 이상인 반응가스를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 영상표시장치의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반응가스는, 상기 실란(SiH4)과 상기 암모니아(NH3) 가스의 혼합비를 1:2로 하고, 상기 실란(SiH4)과 상기 질소(N2) 가스의 혼합비를 1:2로 하는 영상표시장치의 제조방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 반응가스는, 상기 실란(SiH4)과 상기 암모니아(NH3) 가스의 혼합비를 1:4로 하고, 상기 실란(SiH4)과 상기 질소(N2) 가스의 혼합비를 1:4로 하는 영상표시장치의 제조방법.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 반응가스는, 상기 실란(SiH4)과 상기 인화수소(PH3) 가스의 혼합비를 1:2이고 상기 실란(SiH4)과 상기 암모니아(NH3) 가스의 혼합비를 1:2로 하고, 상기 실란(SiH4)과 상기 질소(N2) 가스의 혼합비를 1:2로 하는 영상표시장치의 제조방법.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 어레이 기판 상부에 공통전극과, 액정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 영상표시장치의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 어레이 기판 상부에 구동 박막트랜지스터와, 스토리지 캐패시터와, 유기발광 다이오드를 형성하는 단계를 더 포함하는 영상표시장치의 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    컬러필터 기판을 상기 어레이 기판과 부착하는 단계를 더 포함하는 영상표시장치의 제조방법.
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