KR102162597B1 - 데이터 분석 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

데이터 분석 장치 및 방법이 제공된다. 데이터 분석 장치는 척의 안착면에 안착된 제1 기판의 누적된 제1 안착점으로 구성된 제1 좌표 데이터와 상기 척의 안착면에 안착된 제2 기판의 누적된 제2 안착점으로 구성된 제2 좌표 데이터를 입력 받는 입력부와, 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 이용하여 산포 분석 모델을 생성하는 모델 생성부와, 상기 생성된 산포 분석 모델을 이용하여 상기 제1 좌표 데이터의 입력 이후에 입력된 상기 제2 좌표 데이터에 대한 산포 분석을 수행하는 분석부, 및 상기 산포 분석 결과를 출력하는 출력부를 포함한다.

Description

데이터 분석 장치 및 방법{Apparatus and method for analyzing data}
본 발명은 데이터 분석 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치를 제조할 때에는, 사진, 식각, 애싱, 이온주입, 박막증착, 세정 등 다양한 공정이 실시된다. 여기서, 사진공정은 도포, 노광, 그리고 현상 공정을 포함한다. 기판 상에 감광액을 도포하고(즉, 도포 공정), 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광하며(즉, 노광 공정), 기판의 노광처리된 영역을 선택적으로 현상한다(즉, 현상 공정).
기판에 대한 공정 처리를 위하여 기판이 공정 유닛에 입력될 수 있다. 공정 유닛은 정전척(Electro Static Chuck; ESC)과 같은 고정 수단을 구비할 수 있다. 기판에 대한 공정 처리는 기판이 고정 수단에 고정된 상태에서 수행될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 공정 유닛의 고정 수단에 배치된 기판의 위치를 분류하는 데이터 처리 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 데이터 분석 장치의 일 면(aspect)은, 척의 안착면에 안착된 제1 기판의 누적된 제1 안착점으로 구성된 제1 좌표 데이터와 상기 척의 안착면에 안착된 제2 기판의 누적된 제2 안착점으로 구성된 제2 좌표 데이터를 입력 받는 입력부와, 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 이용하여 산포 분석 모델을 생성하는 모델 생성부와, 상기 생성된 산포 분석 모델을 이용하여 상기 제1 좌표 데이터의 입력 이후에 입력된 상기 제2 좌표 데이터에 대한 산포 분석을 수행하는 분석부, 및 상기 산포 분석 결과를 출력하는 출력부를 포함한다.
상기 제1 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 상기 제1 안착점의 좌표를 포함한다.
상기 모델 생성부는 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 서포트 벡터 머신(SVM; Support Vector Machine)으로 트레이닝하여 상기 산포 분석 모델을 생성한다.
상기 모델 생성부는, 상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제1 좌표 평면을 생성하고, 상기 제1 좌표 평면상에 매핑된 상기 제1 안착점을 이용하여 상기 산포 분석 모델을 생성한다.
상기 모델 생성부는 상기 제1 안착점의 상기 제1 좌표 평면의 중심에 대한 거리별 하이퍼플레인(hyperplane)을 산출하여 상기 산포 분석 모델을 생성한다.
상기 모델 생성부는, 상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키고, 상기 1사분면에 매핑된 제1 안착점을 이용하여 상기 1사분면상에서 상기 하이퍼플레인을 산출한다.
상기 모델 생성부는, 상기 제1 좌표 평면의 2사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 세로축을 기준으로 대칭 이동시키고, 상기 제1 좌표 평면의 3사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 원점을 기준으로 대칭 이동시키며, 상기 제1 좌표 평면의 4사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 가로축을 기준으로 대칭 이동시킴으로써 상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시킨다.
상기 제2 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 상기 제2 기판의 제2 안착점을 포함한다.
상기 분석부는, 상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제2 좌표 평면을 생성하고, 상기 제2 좌표 평면에 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 매핑하며, 상기 제2 좌표 평면상에 매핑된 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 이용하여 상기 산포 분석을 수행한다.
본 발명의 데이터 분석 방법의 일 면(aspect)은, 척의 안착면에 안착된 제1 기판의 누적된 제1 안착점으로 구성된 제1 좌표 데이터를 입력 받는 단계와, 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 이용하여 산포 분석 모델을 생성하는 단계와, 상기 척의 안착면에 안착된 제2 기판의 누적된 제2 안착점으로 구성된 제2 좌표 데이터를 입력 받는 단계와, 상기 생성된 산포 분석 모델을 이용하여 상기 제2 좌표 데이터에 대한 산포 분석을 수행하는 단계, 및 상기 산포 분석 결과를 출력하는 단계를 포함한다.
상기 제1 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 상기 제1 안착점의 좌표를 포함한다.
상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 서포트 벡터 머신(SVM; Support Vector Machine)으로 트레이닝하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계를 포함한다.
상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는, 상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제1 좌표 평면을 생성하는 단계, 및 상기 제1 좌표 평면상에 매핑된 상기 제1 안착점을 이용하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계를 포함한다.
상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는 상기 제1 안착점의 상기 제1 좌표 평면의 중심에 대한 거리별 하이퍼플레인(hyperplane)을 산출하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계를 포함한다.
상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는, 상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키는 단계, 및 상기 1사분면에 매핑된 제1 안착점을 이용하여 상기 1사분면상에서 상기 하이퍼플레인을 산출하는 단계를 포함한다.
상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키는 단계는, 상기 제1 좌표 평면의 2사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 세로축을 기준으로 대칭 이동시키는 단계와, 상기 제1 좌표 평면의 3사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 원점을 기준으로 대칭 이동시키는 단계, 및 상기 제1 좌표 평면의 4사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 가로축을 기준으로 대칭 이동시키는 단계를 포함한다.
상기 제2 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 제2 안착점을 포함한다.
상기 산포 분석을 수행하는 단계는, 상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제2 좌표 평면을 생성하는 단계와, 상기 제2 좌표 평면에 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 매핑하는 단계, 및 상기 제2 좌표 평면상에 매핑된 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 이용하여 상기 산포 분석을 수행하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 데이터 분석 장치의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 좌표 평면을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 안착점이 좌표 평면의 1사분면에 매핑되는 것을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판의 안착점이 좌표 평면의 1사분면에 매핑되는 방식을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 안착점이 좌표 평면의 중심에 대한 거리별로 분류되는 것을 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 하이퍼플레인이 산출되는 것을 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 하이퍼플레이인이 좌표 평면에 매핑된 것을 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 하이퍼플레인이 매핑된 좌표 평면에 산포 분석 대상인 기판의 안착점이 매핑된 것을 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 데이터 처리 방법을 나타낸 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 데이터 분석 장치의 블록도이다.
도 1을 참조하면, 데이터 분석 장치(100)는 입력부(110), 저장부(120), 제어부(130), 모델 생성부(140), 분석부(150) 및 출력부(160)를 포함하여 구성된다.
입력부(110)는 좌표 데이터를 입력 받는 역할을 수행한다. 본 발명에서 좌표 데이터는 척의 안착면에 안착된 기판의 안착점으로 구성된 것으로서, 척의 중심에 대한 안착점의 좌표를 포함할 수 있다. 안착점은 기판의 중심일 수 있다. 특히, 척에는 서로 다른 복수의 기판이 안착할 수 있는데, 좌표 데이터는 척의 안착면에 안착된 서로 다른 복수의 기판의 누적된 안착점으로 구성될 수 있다.
좌표 데이터는 제1 좌표 데이터 및 제2 좌표 데이터를 포함할 수 있다. 제1 좌표 데이터는 산포 분석 모델의 생성에 이용되고, 제2 좌표 데이터는 산포 분석에 이용될 수 있다. 이하, 제1 좌표 데이터를 구성하는 안착점을 제1 안착점이라 하고, 제2 좌표 데이터를 구성하는 안착점을 제2 안착점이라 한다.
모델 생성부(140)는 입력부(110)로 입력된 제1 좌표 데이터를 이용하여 산포 분석 모델을 생성하는 역할을 수행한다. 모델 생성부(140)는 제1 좌표 데이터를 서포트 벡터 머신(SVM; Support Vector Machine)으로 트레이닝하여 산포 분석 모델을 생성할 수 있다. 즉, 모델 생성부(140)는 제1 좌표 데이터를 구성하는 복수의 안착점을 서로 구별하는 하이퍼플레인(hyperplane)을 산출함으로써 산포 분석 모델을 생성할 수 있다.
분석부(150)는 모델 생성부(140)에 의하여 생성된 산포 분석 모델을 이용하여 제2 좌표 데이터에 대한 산포 분석을 수행할 수 있다. 전술한 바와 같이, 산포 분석 모델은 하이퍼플레인을 포함할 수 있다. 분석부(150)는 해당 하이퍼플레인과 제2 좌표 데이터를 구성하는 안착점을 하나의 좌표 평면에 매핑하고, 하이퍼플레인과 안착점간의 위치 관계를 참조하여 산포 분석을 수행할 수 있다.
출력부(160)는 분석부(150)에 의하여 수행된 산포 분석 결과를 출력하는 역할을 수행한다. 출력부(160)는 시각적 또는 청각적 방식으로 산포 분석 결과를 출력할 수 있다. 예를 들어, 출력부(160)는 제2 좌표 데이터를 구성하는 안착점과 하이퍼플레인을 화면에 디스플레이할 수 있다. 또한, 하이퍼플레인이 이용되어 판단된 산포도가 일정 크기를 초과하는 경우 출력부(160)는 경보음을 출력할 수도 있다.
저장부(120)는 입력부(110)를 통하여 입력된 좌표 데이터, 모델 생성부(140)에 의하여 생성된 산포 분석 모델 및 분석부(150)에 의하여 산출된 산포 분석 결과를 임시 또는 영구적으로 저장하는 역할을 수행한다.
제어부(130)는 입력부(110), 저장부(120), 모델 생성부(140), 분석부(150) 및 출력부(160)에 대한 전반적인 제어를 수행할 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 9를 참조하여 산포 분석 모델이 생성되는 과정을 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 좌표 평면을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 안착점이 좌표 평면의 1사분면에 매핑되는 것을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판의 안착점이 좌표 평면의 1사분면에 매핑되는 방식을 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 안착점이 좌표 평면의 중심에 대한 거리별로 분류되는 것을 나타낸 도면이고, 도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 하이퍼플레인이 산출되는 것을 나타낸 도면이며, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 하이퍼플레이인이 좌표 평면에 매핑된 것을 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 모델 생성부(140)는 산포 분석 모델을 생성하기 위하여 좌표 평면(210)을 생성하고, 생성된 좌표 평면(210)에 안착점을 매핑할 수 있다.
좌표 평면(210)은 가로축(X) 및 세로축(Y)을 포함할 수 있다. 좌표 평면(210)은 척(CH)의 안착면에 대응하고, 그 중심(O)은 척(CH)의 중심에 대응하는 것일 수 있다. 제1 좌표 데이터를 구성하는 제1 안착점(310)은 좌표 평면(210)에 매핑될 수 있다. 모델 생성부(140)는 좌표 평면(210)상에 매핑된 제1 안착점(310)을 이용하여 산포 분석 모델을 생성할 수 있다.
본 발명에서 좌표 평면(210, 220)은 모델 생성부(140) 및 분석부(150)에 의하여 생성될 수 있다. 모델 생성부(140)는 산포 분석 모델을 생성하기 위하여 좌표 평면(210)을 생성하고, 분석부(150)는 산포 분석을 수행하기 위하여 좌표 평면(220)을 생성할 수 있다.
이하, 모델 생성부(140)에 의하여 생성되는 좌표 평면을 제1 좌표 평면(210)이라 하고, 분석부(150)에 의하여 생성되는 좌표 평면을 제2 좌표 평면(220)(도 10 및 도 11 참조)이라 한다.
도 3을 참조하면, 모델 생성부(140)는 제1 좌표 평면(210)에 매핑된 제1 안착점(310)을 제1 좌표 평면(210)의 1사분면(Q1)에 매핑시킬 수 있다.
모델 생성부(140)는 제1 좌표 평면(210)의 원점(O)과 제1 안착점(310)간의 거리가 그대로 유지되도록 하면서 제1 안착점(310)을 1사분면(Q1)에 매핑시킬 수 있다. 도 4를 참조하여 설명하면, 모델 생성부(140)는 제1 좌표 평면(210)의 2사분면(Q2)에 매핑된 안착점(P2)을 제1 좌표 평면(210)의 세로축(Y)을 기준으로 대칭 이동시키고, 제1 좌표 평면(210)의 3사분면(Q3)에 매핑된 안착점(P3)을 제1 좌표 평면(210)의 원점(O)을 기준으로 대칭 이동시키며, 제1 좌표 평면(210)의 4사분면(Q4)에 매핑된 안착점(P4)을 제1 좌표 평면(210)의 가로축(X)을 기준으로 대칭 이동시킴으로써 제1 안착점(310)을 제1 좌표 평면(210)의 1사분면(Q1)에 매핑시킬 수 있다.
모델 생성부(140)는 1사분면(Q1)에 매핑된 제1 안착점(310)을 이용하여 1사분면(Q1)상에서 하이퍼플레인을 산출할 수 있다.
도 5를 참조하면, 모델 생성부(140)는 1사분면(Q1)에 매핑된 제1 안착점(310)을 원점(O)에 대한 거리별로 복수 개로 분할할 수 있다.
예를 들어, 모델 생성부(140)는 복수의 제1 안착점(310)을 3개의 그룹(G1, G2, G3)으로 분할할 수 있는데, 도 5는 2개의 분할선(410, 420)에 의하여 복수의 제1 안착점(310)이 3개의 그룹(G1, G2, G3)으로 분할된 것을 도시하고 있다. 그러나, 본 발명의 모델 생성부(140)에 의하여 분할되는 제1 안착점(310)의 그룹의 수가 3개로 한정되는 것은 아니며, 작업 환경에 따라 2개로 분할되거나 4개 이상으로 분할될 수도 있다. 이하, 복수의 제1 안착점(310)이 3개의 그룹(G1, G2, G3)으로 분할된 것을 위주로 설명하기로 한다. 또한, 3개의 그룹(G1, G2, G3) 중 원점(O)에 가장 가까운 그룹을 제1 그룹(G1)이라 하고, 원점(O)에서 가장 먼 그룹을 제3 그룹(G3)이라 하며, 제1 그룹(G1)과 제3 그룹(G3)의 사이에 있는 그룹을 제2 그룹(G2)이라 한다.
도 6 내지 도 9를 참조하면, 모델 생성부(140)는 제1 안착점(310)의 제1 좌표 평면(210)의 중심(O)에 대한 거리별 하이퍼플레인을 산출하여 산포 분석 모델을 생성할 수 있다.
모델 생성부(140)는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 그룹(G1)과 제2 그룹(G2)을 이용하여 하이퍼플레인(510)을 산출하고, 도 7에 도시된 바와 같이 제1 그룹(G1), 제2 그룹(G2) 및 제3 그룹(G3)을 이용하여 하이퍼플레인(520)을 산출하며, 도 8에 도시된 바와 같이 제2 그룹(G2)과 제3 그룹(G3)을 이용하여 하이퍼플레인(530)을 산출할 수 있다.
하이퍼플레인(510, 520, 530)은 각 그룹에 포함된 안착점 중 그룹간 경계에 인접한 안착점이 이용되어 산출될 수 있다. 즉, 그룹간 경계에 인접한 각 그룹의 안착점의 사이에 존재하는 경계선으로서, 각 그룹의 안착점에서 가장 먼 형상을 갖는 경계선이 하이퍼플레인(510, 520, 530)으로서 산출될 수 있는 것이다.
도 9를 참조하면, 모델 생성부(140)는 제1 안착점(310)의 제1 좌표 평면(210)의 중심(O)에 대한 3개의 거리별 하이퍼플레인(510, 520, 530)을 산출하여 산포 분석 모델을 생성할 수 있다. 이하, 제1 그룹(G1)과 제2 그룹(G2)에 의하여 산출된 하이퍼플레인을 제1 하이퍼플레인(510)이라 하고, 제1 그룹(G1), 제2 그룹(G2) 및 제3 그룹(G3)에 의하여 산출된 하이퍼플레인을 제2 하이퍼플레인(520)이라 하며, 제2 그룹(G2)과 제3 그룹(G3)에 의하여 산출된 하이퍼플레인을 제3 하이퍼플레인(530)이라 한다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 하이퍼플레인이 매핑된 좌표 평면에 산포 분석 대상인 기판의 안착점이 매핑된 것을 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 분석부(150)는 제2 좌표 평면(220)을 생성하고, 제2 좌표 평면(220)에 하이퍼플레인(510, 520, 530) 및 제2 안착점(320)을 매핑하며, 제2 좌표 평면(220)상에 매핑된 하이퍼플레인(510, 520, 530) 및 제2 안착점(320)을 이용하여 산포 분석을 수행할 수 있다.
도 10은 제1 하이퍼플레인(510)의 경계 내에 제2 안착점(320)이 포함된 것을 도시하고 있다. 분석부(150)는 원점(O)에 가장 가깝게 형성된 제1 하이퍼플레인(510)의 경계 내에 제2 안착점(320) 모두가 포함되어 있기 때문에 해당 안착점의 산포가 양호한 것으로 판단할 수 있다.
도 11은 제3 하이퍼플레인(530)의 경계를 벗어나도록 제2 안착점(320)이 제2 좌표 평면(220)에 매핑된 것을 도시하고 있다. 분석부(150)는 원점(O)에서 가장 멀게 형성된 제3 하이퍼플레인(530)의 경계를 벗어나도록 제2 안착점(320)이 분포되어 있기 때문에 해당 안착점의 산포가 불량한 것으로 판단할 수 있다.
분석부(150)에 의한 분석 결과가 출력부(160)를 통하여 출력된 이후에 모델 생성부(140)는 제2 안착점(320)을 이용하여 산포 분석 모델을 갱신할 수 있다. 즉, 모델 생성부(140)는 제1 안착점(310) 및 제2 안착점(320)을 모두 이용하여 산포 분석 모델을 다시 생성하는 것이다. 그리고, 분석부(150)는 갱신된 산포 분석 모델을 이용하여 이후에 입력되는 안착점에 대한 산포 분석을 수행할 수 있다. 산포 분석 모델의 갱신 및 갱신된 산포 분석 모델을 이용한 산포 분석은 반복적으로 수행될 수 있다.
사용자는 산포 분석 모델의 갱신 및 갱신된 산포 분석 모델이 이용되어 출력된 산포 분석 결과를 참조하여 척(CH)에 안착하는 기판의 안착점에 대한 산포 경향을 확인할 수 있다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 데이터 처리 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 12를 참조하면, 데이터 처리 방법은 제1 좌표 데이터를 입력 받는 단계(S610), 산포 분석 모델을 생성하는 단계(S620), 제2 좌표 데이터를 입력 받는 단계(S630), 산포를 분석하는 단계(S640) 및 산포 분석 결과를 출력하는 단계(S650)를 포함할 수 있다.
여기서, 산포 분석 모델을 생성하는 단계는 제1 좌표 평면(210)을 생성하는 단계, 제1 안착점(310)을 제1 좌표 평면(210)의 1사분면(Q1)에 매핑시키는 단계, 1사분면(Q1)에 매핑된 제1 안착점(310)을 이용하여 1사분면(Q1)상에서 하이퍼플레인(510, 520, 530)을 산출하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 산포를 분석하는 단계는 제2 좌표 평면(220)을 생성하는 단계, 제2 좌표 평면(220)에 하이퍼플레인(510, 520, 530)과 제2 안착점(320)을 매핑하는 단계, 및 제2 좌표 평면(220)상에 매핑된 하이퍼플레인(510, 520, 530) 및 제2 안착점(320)을 이용하여 산포 분석을 수행하는 단계를 포함할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 데이터 처리 장치 110: 입력부
120: 저장부 130: 제어부
140: 모델 생성부 150: 분석부
160: 출력부 210: 제1 좌표 평면
220: 제2 좌표 평면 310: 제1 안착점
320: 제2 안착점 410, 420: 분할선
510: 제1 하이퍼플레인 520: 제2 하이퍼플레인
530: 제3 하이퍼플레인

Claims (18)

  1. 척의 안착면에 안착된 제1 기판의 누적된 제1 안착점으로 구성된 제1 좌표 데이터와 상기 척의 안착면에 안착된 제2 기판의 누적된 제2 안착점으로 구성된 제2 좌표 데이터를 입력 받는 입력부;
    상기 입력된 제1 좌표 데이터를 이용하여 산포 분석 모델을 생성하는 모델 생성부;
    상기 제1 좌표 데이터가 이용되어 생성된 산포 분석 모델을 이용하여 상기 제1 좌표 데이터의 입력 이후에 입력되고, 상기 제1 좌표 데이터와는 상이한 상기 제2 좌표 데이터에 대한 산포 분석을 수행하는 분석부; 및
    상기 산포 분석 결과를 출력하는 출력부를 포함하되,
    상기 모델 생성부는,
    상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제1 좌표 평면을 생성하고,
    상기 제1 좌표 평면상에 매핑된 상기 제1 안착점의 상기 제1 좌표 평면의 중심에 대한 거리별 복수의 하이퍼플레인(hyperplane)을 산출하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 데이터 분석 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 상기 제1 안착점의 좌표를 포함하는 데이터 분석 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 모델 생성부는 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 서포트 벡터 머신(SVM; Support Vector Machine)으로 트레이닝하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 데이터 분석 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 모델 생성부는,
    상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키고,
    상기 1사분면에 매핑된 제1 안착점을 이용하여 상기 1사분면상에서 상기 하이퍼플레인을 산출하는 데이터 분석 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 모델 생성부는,
    상기 제1 좌표 평면의 2사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 세로축을 기준으로 대칭 이동시키고,
    상기 제1 좌표 평면의 3사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 원점을 기준으로 대칭 이동시키며,
    상기 제1 좌표 평면의 4사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 가로축을 기준으로 대칭 이동시킴으로써 상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키는 데이터 분석 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 상기 제2 기판의 제2 안착점을 포함하는 데이터 분석 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 분석부는,
    상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제2 좌표 평면을 생성하고,
    상기 제2 좌표 평면에 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 매핑하며,
    상기 제2 좌표 평면상에 매핑된 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 이용하여 상기 산포 분석을 수행하는 데이터 분석 장치.
  10. 척의 안착면에 안착된 제1 기판의 누적된 제1 안착점으로 구성된 제1 좌표 데이터를 입력 받는 단계;
    상기 입력된 제1 좌표 데이터를 이용하여 산포 분석 모델을 생성하는 단계;
    상기 척의 안착면에 안착된 제2 기판의 누적된 제2 안착점으로 구성된 제2 좌표 데이터를 입력 받는 단계;
    상기 제1 좌표 데이터가 이용되어 생성된 산포 분석 모델을 이용하여 상기 제1 좌표 데이터와는 상이한 상기 제2 좌표 데이터에 대한 산포 분석을 수행하는 단계; 및
    상기 산포 분석 결과를 출력하는 단계를 포함하되,
    상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는,
    상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제1 좌표 평면을 생성하는 단계; 및
    상기 제1 좌표 평면상에 매핑된 상기 제1 안착점의 상기 제1 좌표 평면의 중심에 대한 거리별 복수의 하이퍼플레인(hyperplane)을 산출하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계를 포함하는 데이터 분석 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 상기 제1 안착점의 좌표를 포함하는 데이터 분석 방법.
  12. 제10 항에 있어서,
    상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는 상기 입력된 제1 좌표 데이터를 서포트 벡터 머신(SVM; Support Vector Machine)으로 트레이닝하여 상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계를 포함하는 데이터 분석 방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제10 항에 있어서,
    상기 산포 분석 모델을 생성하는 단계는,
    상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키는 단계; 및
    상기 1사분면에 매핑된 제1 안착점을 이용하여 상기 1사분면상에서 상기 하이퍼플레인을 산출하는 단계를 포함하는 데이터 분석 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 1사분면에 매핑시키는 단계는,
    상기 제1 좌표 평면의 2사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 세로축을 기준으로 대칭 이동시키는 단계;
    상기 제1 좌표 평면의 3사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 원점을 기준으로 대칭 이동시키는 단계; 및
    상기 제1 좌표 평면의 4사분면에 매핑된 안착점을 상기 제1 좌표 평면의 가로축을 기준으로 대칭 이동시키는 단계를 포함하는 데이터 분석 방법.
  17. 제10 항에 있어서,
    상기 제2 좌표 데이터는 상기 척의 중심에 대한 제2 안착점을 포함하는 데이터 분석 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 산포 분석을 수행하는 단계는,
    상기 안착면에 대응하고, 그 중심이 상기 척의 중심에 대응하는 제2 좌표 평면을 생성하는 단계;
    상기 제2 좌표 평면에 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 매핑하는 단계; 및
    상기 제2 좌표 평면상에 매핑된 상기 하이퍼플레인 및 상기 제2 안착점을 이용하여 상기 산포 분석을 수행하는 단계를 포함하는 데이터 분석 방법.
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