KR102162085B1 - Organic light emitting display device and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 화소 영역 및 화소 영역을 둘러싸는 비화소 영역을 포함하는 제1 기판, 화소 영역 상에 위치하는 유기 발광 소자, 비화소 영역 상에 위치하는 실런트, 및 실런트 및 제1 기판의 에지 사이에 위치하는 지지층을 포함한다.An organic light emitting display device and a method of manufacturing the same are provided. An organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment includes a first substrate including a pixel area and a non-pixel area surrounding the pixel area, an organic light emitting device disposed on the pixel area, a sealant disposed on the non-pixel area, and And a support layer positioned between the sealant and the edge of the first substrate.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 {Organic light emitting display device and method for manufacturing the same}Organic light emitting display device and method for manufacturing the same

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same.

유기 발광 표시 장치(organic light emitting display device, OLED)는 애노드(anode) 전극과 캐소드(cathode) 전극으로부터 각기 제공되는 정공들과 전자들이 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 위치하는 유기층에서 결합하여 생성되는 광을 이용하여 영상, 문자 등의 정보를 나타낼 수 있는 표시 장치를 말한다.An organic light emitting display device (OLED) is a light generated by combining holes and electrons provided from an anode electrode and a cathode electrode in an organic layer positioned between the anode electrode and the cathode electrode. It refers to a display device capable of displaying information such as images and texts by using.

이러한 유기 발광 표시 장치는 일반적으로 모기판을 이용하여 제조된다. 구체적으로, 제1 모기판의 복수의 화소 영역 각각 상에 박막 트랜지스터 및 유기 발광 소자 등을 형성한 후, 제1 모기판과 대향하는 제2 모기판 및 복수의 화소 영역 각각을 둘러싸는 실런트로 박막 트랜지스터 및 유기 발광 소자 등을 밀봉한다. 그 후, 복수의 화소 영역 각각을 둘러싸는 실런트 외측의 절단 라인을 따라 제1 모기판 및 제2 모기판을 절단함으로써, 복수의 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있다.Such an organic light emitting display device is generally manufactured using a mother substrate. Specifically, after forming a thin film transistor and an organic light emitting device on each of the plurality of pixel regions of the first mother substrate, a second mother substrate facing the first mother substrate and a thin film with a sealant surrounding each of the plurality of pixel regions The transistor and the organic light emitting device are sealed. Thereafter, the first mother substrate and the second mother substrate are cut along a cutting line outside the sealant surrounding each of the plurality of pixel regions, thereby manufacturing a plurality of organic light emitting display devices.

그러나, 실런트의 외측의 절단 라인 부분에는 실런트 외에 제1 모기판 및 제2 모기판을 지지하는 층이 없다. 따라서, 절단 라인을 따라 제1 모기판 및 제2 모기판을 절단할 경우, 절단 라인 부분에서 발생하는 충격이 대부분 제1 모기판 및 제2 모기판에 전달되게 된다. 이와 같이, 절단 라인 부분에서 발생하는 충격이 대부분 제1 모기판 및 제2 모기판에 전달되게 된다면, 제1 모기판 및 제2 모기판에 크랙(Crack) 등의 손상이 생길 수 있고, 이러한 손상은 제1 모기판 및 제2 모기판으로부터 분리되어 형성되고, 유기 발광 표시 장치의 일부를 이루는 제1 기판 및 제2 기판에 잔존하게 되어, 유기 발광 표시 장치의 기계적 강도를 저하시키게 된다.However, there is no layer supporting the first mother substrate and the second mother substrate other than the sealant in the cut line portion outside the sealant. Accordingly, when the first mother substrate and the second mother substrate are cut along the cutting line, most of the impact generated at the cutting line portion is transmitted to the first mother substrate and the second mother substrate. In this way, if most of the impact generated at the cutting line is transmitted to the first mother substrate and the second mother substrate, damage such as cracks may occur in the first mother substrate and the second mother substrate, and such damage Is formed separately from the first mother substrate and the second mother substrate, and remains on the first and second substrates that form part of the organic light emitting display device, thereby reducing the mechanical strength of the organic light emitting display device.

또한, 절단 라인을 따라 제1 모기판 및 제2 모기판을 절단할 경우, 절단 라인 부분에서 발생하는 충격이 제1 모기판 및 제2 모기판을 통하여 실런트 내부로 전달되게 된다. 특히, 최근에는, 네로우 베젤(Narrow bezel)을 가지는 유기 발광 표시 장치를 얻기 위하여, 실런트와 절단 라인 사이의 거리를 짧게 설정하고 있다. 이와 같이, 실런트와 절단 라인 사이의 거리가 짧다면, 절단 라인 부분에서 발생하는 충격이 실런트 내부로 더욱 많이 전달되게 된다. 이와 같이, 실런트 내부로 충격이 전달된다면 실런트 내부에 위치하는 다양한 소자들, 예컨대, 박막 트랜지스터 및 유기 발광 소자 등이 손상될 수 있고, 이는 유기 발광 표시 장치의 표시 품질에 직접적인 영향을 미치게 된다.In addition, when the first mother substrate and the second mother substrate are cut along the cutting line, the impact generated at the cutting line portion is transmitted to the inside of the sealant through the first mother substrate and the second mother substrate. In particular, recently, in order to obtain an organic light-emitting display device having a narrow bezel, the distance between the sealant and the cutting line is set to be short. In this way, if the distance between the sealant and the cutting line is short, the impact generated in the cutting line portion is transmitted more into the sealant. In this way, if an impact is transmitted to the inside of the sealant, various elements located inside the sealant, such as a thin film transistor and an organic light emitting element, may be damaged, and this directly affects the display quality of the organic light emitting display device.

이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 높은 기계적 강도 및 표시 품질을 가지는 유기 발광 표시 장치를 제공하고자 하는 것이다.Accordingly, an object to be solved by the present invention is to provide an organic light emitting display device having high mechanical strength and display quality.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 높은 기계적 강도 및 표시 품질을 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.In addition, another object to be solved by the present invention is to provide a method of manufacturing an organic light emitting display device having high mechanical strength and display quality.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 화소 영역 및 화소 영역을 둘러싸는 비화소 영역을 포함하는 제1 기판, 화소 영역 상에 위치하는 유기 발광 소자, 비화소 영역 상에 위치하는 실런트, 및 실런트 및 제1 기판의 에지 사이에 위치하는 지지층을 포함한다.An organic light-emitting display device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a first substrate including a pixel area and a non-pixel area surrounding the pixel area, an organic light-emitting device positioned on the pixel area, and a non-pixel area And a support layer positioned between the sealant and the edge of the first substrate.

상기 지지층은, 제1 기판 상에 위치하는 제1 지지층, 및 제1 지지층 상에 위치하는 제2 지지층을 포함할 수 있다.The support layer may include a first support layer disposed on the first substrate and a second support layer disposed on the first support layer.

여기에서, 상기 유기 발광 표시 장치는 제1 기판 및 유기 발광 소자 사이에 개재되고, 유기 발광 소자와 연결되는 박막 트랜지스터, 및 박막 트랜지스터 및 유기 발광 소자 사이에 개재되는 평탄화층을 더 포함할 수 있고, 제1 지지층은 평탄화층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.Here, the organic light emitting display device may further include a thin film transistor interposed between the first substrate and the organic light emitting device and connected to the organic light emitting device, and a planarization layer interposed between the thin film transistor and the organic light emitting device, The first support layer may be made of the same material as the planarization layer.

또한, 상기 유기 발광 소자는, 평탄화층 상에 위치하고, 박막 트랜지스터와 연결되는 제1 전극, 제1 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및 유기 발광층 상에 위치하는 제2 전극을 포함할 수 있다.In addition, the organic light emitting device may include a first electrode positioned on the planarization layer and connected to the thin film transistor, an organic light emitting layer positioned on the first electrode, and a second electrode positioned on the organic light emitting layer.

또한, 상기 유기 발광 표시 장치는 평탄화층 상에 위치하고, 제1 전극의 일부를 노출시키는 화소 정의막을 더 포함할 수 있고, 제2 지지층은 화소 정의막과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.In addition, the OLED display may further include a pixel defining layer disposed on the planarization layer and exposing a portion of the first electrode, and the second supporting layer may be made of the same material as the pixel defining layer.

또한, 상기 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자 상에 위치하는 스페이서를 더 포함할 수 있고, 제2 지지층은 스페이서와 동일한 물질로 이루어질 수 있다.In addition, the organic light emitting display device may further include a spacer positioned on the organic light emitting device, and the second support layer may be made of the same material as the spacer.

한편, 상기 지지층은, 제2 지지층 상에 위치하는 제3 지지층을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the support layer may further include a third support layer positioned on the second support layer.

여기에서, 상기 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자 상에 위치하는 스페이서를 더 포함할 수 있고, 제3 지지층은 스페이서와 동일한 물질로 이루어질 수 있다.Here, the organic light emitting display device may further include a spacer positioned on the organic light emitting element, and the third support layer may be made of the same material as the spacer.

상기 유기 발광 표시 장치는 상기 제1 기판 상에 위치하는 제2 기판을 더 포함할 수 있고, 지지층은 제1 기판 및 제2 기판 사이에 개재될 수 있다.The organic light emitting display device may further include a second substrate positioned on the first substrate, and a support layer may be interposed between the first substrate and the second substrate.

여기에서, 상기 지지층은 제2 기판과 접촉할 수 있다.Here, the support layer may contact the second substrate.

상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 제1 모기판의 화소 영역 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 박막 트랜지스터 상에 평탄화층을 형성하는 단계, 및 화소 영역을 둘러싸는 제1 모기판의 비화소 영역 상에 제1 지지층을 형성하는 단계를 포함하되, 평탄화층 및 제1 지지층은 동시에 형성된다.A method of manufacturing an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention for achieving the above other problems includes forming a thin film transistor on a pixel region of a first mother substrate, forming a planarization layer on the thin film transistor, And forming a first support layer on a non-pixel region of the first mother substrate surrounding the pixel region, wherein the planarization layer and the first support layer are simultaneously formed.

여기에서, 상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 평탄화층 및 제1 지지층을 형성하는 단계 후에, 평탄화층 상에 박막 트랜지스터와 연결되는 제1 전극을 형성하는 단계, 제1 전극 상에 제1 전극의 일부를 노출시키는 화소 정의막을 형성하는 단계, 및 제1 지지층 상에 제2 지지층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있고, 화소 정의막 및 제2 지지층은 동시에 형성될 수 있다.Here, in the manufacturing method of the organic light emitting diode display, after forming a planarization layer and a first support layer, forming a first electrode connected to the thin film transistor on the planarization layer, and the first electrode on the first electrode. The method may further include forming a pixel defining layer exposing a portion, and forming a second supporting layer on the first supporting layer, and the pixel defining layer and the second supporting layer may be formed at the same time.

또한, 상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 화소 정의막 및 제2 지지층을 형성하는 단계 후에, 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계, 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계, 제2 전극 상에 스페이서를 형성하는 단계, 및 제2 지지층 상에 제3 지지층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있고, 스페이서 및 제3 지지층은 동시에 형성될 수 있다.In addition, the method of manufacturing the organic light emitting display device includes forming a pixel defining layer and a second support layer, forming an organic emission layer on the first electrode, forming a second electrode on the organic emission layer, and forming the second support layer. It may further include forming a spacer on the electrode and forming a third support layer on the second support layer, and the spacer and the third support layer may be formed at the same time.

또한, 상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 스페이서 및 제3 지지층을 형성하는 단계 후에, 일면 상에 실링 부재를 구비한 제2 모기판을 실링 부재가 화소 영역 및 제1 지지층 사이에 위치하도록 배치하는 단계, 실링 부재에 레이저 빔을 조사하여 실링 부재를 실런트로 변환하는 단계, 및 실런트의 외측을 따라 제1 모기판 및 제2 모기판을 절단하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, in the manufacturing method of the organic light emitting diode display, after the step of forming a spacer and a third supporting layer, a second mother substrate having a sealing member on one surface is disposed so that the sealing member is positioned between the pixel region and the first supporting layer. The step, converting the sealing member into a sealant by irradiating a laser beam on the sealing member, and cutting the first mother substrate and the second mother substrate along the outside of the sealant may further be included.

상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 평탄화층 및 제1 지지층을 형성하는 단계 후에, 평탄화층 상에 박막 트랜지스터와 연결되는 유기 발광 소자를 형성하는 단계, 유기 발광 소자 상에 스페이서를 형성하는 단계, 및 제1 지지층 상에 제2 지지층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있고, 스페이서 및 제2 지지층은 동시에 형성될 수 있다.The manufacturing method of the organic light emitting display device includes forming a planarization layer and a first support layer, forming an organic light emitting device connected to a thin film transistor on the planarization layer, forming a spacer on the organic light emitting device, and It may further include forming a second support layer on the first support layer, the spacer and the second support layer may be formed at the same time.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, there are at least the following effects.

즉, 유기 발광 표시 장치의 기계적 강도 및 표시 품질을 높일 수 있다.That is, the mechanical strength and display quality of the organic light emitting display device can be improved.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3 내지 도 10은 도 1의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 공정 단계별로 나타낸 단면도들이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.1 is a plan view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 1.
3 to 10 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the organic light emitting display device of FIG. 1 in each process step.
11 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention.
12 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms different from each other, and only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to completely inform the scope of the invention to those who have it, and the invention is only defined by the scope of the claims.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.When an element or layer is referred to as “on” another element or layer, it includes all cases where another layer or other element is interposed directly on or in the middle of another element. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, and the like are used to describe various components, it goes without saying that these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Therefore, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the technical idea of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다. 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.1 is a plan view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 기판(100), 버퍼층(120), 반도체 패턴(140), 게이트 절연막(160), 게이트 전극(180), 층간 절연막(200), 콘택홀(220), 소스 전극(240), 드레인 전극(260), 평탄화층(280), 비아홀(300), 제1 전극(320), 화소 정의막(340), 유기 발광층(360), 제2 전극(380), 스페이서(400), 덮개층(420), 제2 기판(440), 실런트(460), 더미 금속(480), 더미홀(500), 및 지지층(520)을 포함할 수 있다.1 and 2, an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first substrate 100, a buffer layer 120, a semiconductor pattern 140, a gate insulating layer 160, and a gate electrode 180. ), interlayer insulating layer 200, contact hole 220, source electrode 240, drain electrode 260, planarization layer 280, via hole 300, first electrode 320, pixel defining layer 340 , The organic emission layer 360, the second electrode 380, the spacer 400, the cover layer 420, the second substrate 440, the sealant 460, the dummy metal 480, the dummy hole 500, and A support layer 520 may be included.

본 명세서에서는 "유기 발광 표시 장치"를 예로 하여 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 유기 발광 표시 장치 외에 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display), FED 표시 장치(Field Emission Display), SED 표시 장치(Surface-conduction Electron-emitter Display), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display), 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Tube Display) 등이 사용될 수 있다.In the present specification, a "organic light emitting display device" is described as an example, but the present disclosure is not limited thereto. In other words, in addition to the organic light emitting display device, a liquid crystal display, an electrophoretic display, an organic light emitting display, a field emission display, and a SED display -conduction Electron-emitter Display), a plasma display, a cathode ray tube display, etc. may be used.

제1 기판(100)은 직육면체의 플레이트 형상일 수 있다. 제1 기판(100)의 일면은 평평할 수 있고, 상기 평평한 일면 상에 표시 장치를 이루는 다양한 구조물들이 형성될 수 있다.The first substrate 100 may have a rectangular parallelepiped plate shape. One surface of the first substrate 100 may be flat, and various structures constituting the display device may be formed on the flat surface.

제1 기판(100)은 투명 절연 기판을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(100)은 유리 기판, 석영 기판, 투명 수지 기판 등으로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 기판(100)은 고내열성을 갖는 고분자를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 기판(100)은, 폴리에테르술폰(PES, polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(cellulose triacetate), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP), 폴리아릴렌에테르 술폰(poly(aryleneether sulfone)) 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다. The first substrate 100 may include a transparent insulating substrate. For example, the first substrate 100 may be formed of a glass substrate, a quartz substrate, a transparent resin substrate, or the like. In addition, the first substrate 100 may include a polymer having high heat resistance. For example, the first substrate 100 may include polyethersulphone (PES), polyacrylate (PAR, polyacrylate), polyetherimide (PEI), polyethylene naphthalate (PEN, polyethyelenen napthalate), polyethylene terephthalate Polyethyeleneterepthalate (PET), polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide (PI), polycarbonate (PC), cellulose triacetate, cellulose acetate pro Cypionate (cellulose acetate propionate: CAP), polyaryleneether sulfone (poly (aryleneether sulfone)), and may include any one selected from the group consisting of a combination thereof.

제1 기판(100)은 가요성을 가질 수 있다. 즉, 제1 기판(100)은 롤링(rolling), 폴딩(folding), 벤딩(bending) 등으로 형태 변형이 가능한 기판일 수 있다.The first substrate 100 may have flexibility. That is, the first substrate 100 may be a substrate capable of being transformed in shape by rolling, folding, or bending.

제1 기판(100)은 화소 영역(10) 및 비화소 영역(20)을 포함할 수 있다.The first substrate 100 may include a pixel region 10 and a non-pixel region 20.

화소 영역(10)은 유기 발광 표시 장치를 실질적으로 구동하는 다양한 소자들, 예컨대, 유기 발광 소자 및 박막 트랜지스터 등이 위치한 영역일 수 있다. 또한, 화소 영역(10)은 화상이 표시되는 영역일 수 있다. 또한, 화소 영역(10)은 제1 기판(100)의 중심부에 위치한 영역일 수 있다.The pixel region 10 may be a region in which various elements that substantially drive the organic light emitting display, such as an organic light emitting element and a thin film transistor, are located. Also, the pixel area 10 may be an area in which an image is displayed. Also, the pixel region 10 may be a region located in the center of the first substrate 100.

비화소 영역(20)은 화소 영역(10)을 둘러쌀 수 있다. 비화소 영역(20)은 제1 기판(100)의 에지와 인접한 영역일 수 있다. 즉, 비화소 영역(20)은 제1 기판(100)의 가장자리부에 위치한 영역일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 비화소 영역(20)은 화소 영역(10)을 모두 둘러싸는 사각형 또는 원형의 도넛 형상일 수 있다. The non-pixel area 20 may surround the pixel area 10. The non-pixel region 20 may be a region adjacent to the edge of the first substrate 100. That is, the non-pixel area 20 may be an area located at the edge of the first substrate 100. In an exemplary embodiment, the non-pixel area 20 may have a rectangular or circular donut shape surrounding all of the pixel area 10.

버퍼층(120)은 제1 기판(100) 상에 위치할 수 있다. 또한, 버퍼층(120)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 및 비화소 영역(20) 상에 위치할 수 있다. 버퍼층(120)은 제1 기판(100)으로부터 금속 원자들, 불순물들 등이 확산되는 현상을 방지하는 기능을 수행할 수 있다. 또한, 버퍼층(120)은 제1 기판(100)의 표면이 균일하지 않을 경우, 제1 기판(100)의 표면의 평탄도를 향상시키는 역할도 수행할 수 있다. 이러한 버퍼층(120)은 실리콘 화합물로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 버퍼층(120)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 실리콘 산탄화물, 실리콘 탄질화물 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 버퍼층(120)은 실리콘 화합물을 포함하는 단층 구조 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 예를 들면, 버퍼층(120)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 산질화막, 실리콘 산탄화막 및/또는 실리콘 탄질화막을 포함할 수 있다. 이러한 버퍼층(120)은 제1 기판(100)의 표면 평탄도, 구성 물질 등에 따라 생략될 수도 있다.The buffer layer 120 may be located on the first substrate 100. Also, the buffer layer 120 may be positioned on the pixel region 10 and the non-pixel region 20 of the first substrate 100. The buffer layer 120 may function to prevent diffusion of metal atoms and impurities from the first substrate 100. In addition, when the surface of the first substrate 100 is not uniform, the buffer layer 120 may also serve to improve the flatness of the surface of the first substrate 100. The buffer layer 120 may be made of a silicon compound. For example, the buffer layer 120 may include silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxycarbide, silicon carbonitride, or the like. These may be used alone or in combination with each other. In other exemplary embodiments, the buffer layer 120 may have a single-layer structure or a multi-layer structure including a silicon compound. For example, the buffer layer 120 may include a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, a silicon oxycarbide film, and/or a silicon carbonitride film. The buffer layer 120 may be omitted depending on the flatness of the surface of the first substrate 100, materials, and the like.

반도체 패턴(140)은 버퍼층(120) 상에 형성될 수 있다. 또한, 반도체 패턴(140)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 위치할 수 있다. 반도체 패턴(140)은 비정질 반도체, 미세결정 반도체, 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 또한, 반도체 패턴(140)은 산화물 반도체로 이루어질 수도 있다. 또한, 반도체 패턴(140)은 불순물이 도핑되지 않은 채널부와, 채널부의 양 옆으로 p+ 도핑되어 형성된 소스부 및 드레인부를 포함할 수 있다. 이때, 도핑되는 이온 물질은 붕소(B)와 같은 P형 불순물로서, 예컨대 B2H6 등이 사용될 수 있다. 여기서, 이러한 불순물은 박막 트랜지스터의 종류에 따라 달라질 수 있다.The semiconductor pattern 140 may be formed on the buffer layer 120. Also, the semiconductor pattern 140 may be positioned on the pixel region 10 of the first substrate 100. The semiconductor pattern 140 may be formed of an amorphous semiconductor, a microcrystalline semiconductor, or a polycrystalline semiconductor, and preferably, may be formed of a polycrystalline semiconductor. In addition, the semiconductor pattern 140 may be formed of an oxide semiconductor. In addition, the semiconductor pattern 140 may include a channel portion that is not doped with impurities, and a source portion and a drain portion formed by p+ doping on both sides of the channel portion. In this case, the doped ionic material is a P-type impurity such as boron (B), for example, B 2 H 6, or the like may be used. Here, these impurities may vary depending on the type of thin film transistor.

게이트 절연막(160)은 버퍼층(120) 상에 반도체 패턴(140)을 커버하도록 형성될 수 있다. 게이트 절연막(160)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 및 비화소 영역(20) 상에 위치할 수 있다. 게이트 절연막(160)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 또는 금속 산화물 등으로 이루어질 수 있다. 게이트 절연막(160)에 사용될 수 있는 금속 산화물은, 하프늄 산화물(HfOx), 알루미늄 산화물(AlOx) 지르코늄 산화물(ZrOx), 티타늄 산화물(TiOx), 탄탈륨 산화물(TaOx) 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 게이트 절연막(160)은 반도체 패턴(140)의 프로파일(profile)을 따라 버퍼층(120) 상에 실질적으로 균일하게 형성될 수 있다. 게이트 절연막(160)은 상대적으로 얇은 두께를 가질 수 있으며, 게이트 절연막(160)에는 반도체 패턴(140)에 인접하는 단차부가 생성될 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 게이트 절연막(160)은 반도체 패턴(140)을 충분히 커버하면서 실질적으로 평탄한 상면을 가질 수 있다. 이 경우, 게이트 절연막(160)은 상대적으로 두꺼운 두께를 가질 수 있다.The gate insulating layer 160 may be formed on the buffer layer 120 to cover the semiconductor pattern 140. The gate insulating layer 160 may be positioned on the pixel region 10 and the non-pixel region 20 of the first substrate 100. The gate insulating layer 160 may be made of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or metal oxide. Metal oxides that may be used for the gate insulating layer 160 may include hafnium oxide (HfOx), aluminum oxide (AlOx), zirconium oxide (ZrOx), titanium oxide (TiOx), tantalum oxide (TaOx), and the like. These may be used alone or in combination with each other. The gate insulating layer 160 may be formed substantially uniformly on the buffer layer 120 along the profile of the semiconductor pattern 140. The gate insulating layer 160 may have a relatively thin thickness, and a step portion adjacent to the semiconductor pattern 140 may be formed in the gate insulating layer 160. According to other exemplary embodiments, the gate insulating layer 160 may sufficiently cover the semiconductor pattern 140 and have a substantially flat top surface. In this case, the gate insulating layer 160 may have a relatively thick thickness.

게이트 전극(180)은 게이트 절연막(160) 상에 형성될 수 있다. 게이트 전극(180)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 위치할 수 있다. 게이트 전극(180)은 게이트 절연막(160) 중에서 아래에 반도체 패턴(140)이 위치하는 부분 상에 형성될 수 있다. 게이트 전극(180)은 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 게이트 전극(180)은 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlNx), 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WNx), 구리(Cu), 구리를 함유하는 합금, 니켈(Ni), 크롬(Cr), 크롬 질화물(CrOx), 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 티타늄(Ti), 티타늄 질화물(TiNx), 백금(Pt), 탄탈륨(Ta), 탄탈륨 질화물(TaNx), 네오디뮴(Nd), 스칸듐(Sc), 스트론튬 루테늄 산화물(SrRuxOy), 아연 산화물(ZnOx), 인듐 주석 산화물(ITO), 주석 산화물(SnOx), 인듐 산화물(InOx), 갈륨 산화물(GaOx), 인듐 아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 게이트 전극(180)은 상술한 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물 또는 투명 도전성 물질로 이루어진 단층 구조를 가질 수 있다. 이와는 달리, 게이트 전극(180)은 전술한 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물 및/또는 투명 도전성 물질로 구성된 다층 구조로 형성될 수도 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 게이트 전극(180)은 반도체 패턴(140)에 비하여 실질적으로 작은 폭을 가질 수 있다. 예를 들면, 게이트 전극(180)은 채널부와 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 폭을 가질 수 있다. 또한, 게이트 전극(180)과 채널부는 서로 중첩될 수 있다. 그러나, 게이트 전극(180)의 치수 및/또는 채널부의 치수는 이들을 포함하는 스위칭 소자에 요구되는 전기적인 특성에 따라 변화될 수 있다.The gate electrode 180 may be formed on the gate insulating layer 160. The gate electrode 180 may be positioned on the pixel region 10 of the first substrate 100. The gate electrode 180 may be formed on a portion of the gate insulating layer 160 where the semiconductor pattern 140 is positioned below. The gate electrode 180 may include a metal, an alloy, a metal nitride, a conductive metal oxide, a transparent conductive material, or the like. For example, the gate electrode 180 is aluminum (Al), an alloy containing aluminum, aluminum nitride (AlNx), silver (Ag), an alloy containing silver, tungsten (W), tungsten nitride (WNx), and copper. (Cu), an alloy containing copper, nickel (Ni), chromium (Cr), chromium nitride (CrOx), molybdenum (Mo), alloy containing molybdenum, titanium (Ti), titanium nitride (TiNx) ), platinum (Pt), tantalum (Ta), tantalum nitride (TaNx), neodymium (Nd), scandium (Sc), strontium ruthenium oxide (SrRuxOy), zinc oxide (ZnOx), indium tin oxide (ITO), tin oxide (SnOx), indium oxide (InOx), gallium oxide (GaOx), indium zinc oxide (IZO), and the like. These may be used alone or in combination with each other. According to exemplary embodiments, the gate electrode 180 may have a single layer structure made of the above-described metal, alloy, metal nitride, conductive metal oxide, or transparent conductive material. Alternatively, the gate electrode 180 may be formed in a multilayer structure composed of the above-described metal, alloy, metal nitride, conductive metal oxide, and/or transparent conductive material. In example embodiments, the gate electrode 180 may have a substantially smaller width than the semiconductor pattern 140. For example, the gate electrode 180 may have a width that is substantially the same as or substantially similar to the channel portion. Also, the gate electrode 180 and the channel portion may overlap each other. However, the dimensions of the gate electrode 180 and/or the dimensions of the channel portion may be changed according to electrical characteristics required for a switching element including them.

층간 절연막(200)은 게이트 절연막(160) 상에 게이트 전극(180)을 덮도록 형성될 수 있다. 층간 절연막(200)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 및 비화소 영역(20) 상에 형성될 수 있다. 화소 영역(10) 상에 위치하는 층간 절연막(200)은 패터닝되지 않을 수 있지만, 비화소 영역(20) 상에 위치하는 층간 절연막(200)은 패터닝될 수 있다. 즉, 후술하겠지만, 비화소 영역(20) 상에 위치하는 층간 절연막(200)에는 더미홀(500)이 형성될 수 있다. 층간 절연막(200)은 게이트 전극(180)의 프로파일을 따라 게이트 절연막(160) 상에 실질적으로 균일한 두께로 형성될 수 있다. 따라서, 층간 절연막(200)에는 게이트 전극(180)에 인접하는 단차부가 생성될 수 있다. 층간 절연막(200)은 실리콘 화합물로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 층간 절연막(200)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 실리콘 탄질화물, 실리콘 산탄화물 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 또한, 층간 절연막(200)은 전술한 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 실리콘 탄질화물, 실리콘 산탄화물 등을 포함하는 단층 구조 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 또한, 층간 절연막(200)은 상술한 게이트 절연막(160)과 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 이러한 층간 절연막(200)은 후속하여 형성되는 소스 전극(240)과 드레인 전극(260)으로부터 게이트 전극(180)을 절연시키는 역할을 수행할 수 있다.The interlayer insulating layer 200 may be formed on the gate insulating layer 160 to cover the gate electrode 180. The interlayer insulating layer 200 may be formed on the pixel region 10 and the non-pixel region 20 of the first substrate 100. The interlayer insulating layer 200 positioned on the pixel region 10 may not be patterned, but the interlayer insulating layer 200 positioned on the non-pixel region 20 may be patterned. That is, as will be described later, the dummy hole 500 may be formed in the interlayer insulating layer 200 positioned on the non-pixel region 20. The interlayer insulating layer 200 may be formed to have a substantially uniform thickness on the gate insulating layer 160 along the profile of the gate electrode 180. Accordingly, a step portion adjacent to the gate electrode 180 may be formed in the interlayer insulating layer 200. The interlayer insulating layer 200 may be made of a silicon compound. For example, the interlayer insulating layer 200 may include silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon carbonitride, silicon oxycarbide, or the like. These may be used alone or in combination with each other. In addition, the interlayer insulating layer 200 may have a single-layer structure or a multi-layer structure including silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon carbonitride, silicon oxycarbide, and the like described above. Further, the interlayer insulating layer 200 may be made of substantially the same material as the gate insulating layer 160 described above. The interlayer insulating layer 200 may insulate the gate electrode 180 from the source electrode 240 and the drain electrode 260 that are subsequently formed.

층간 절연막(200)은 반도체 패턴(140)의 일부를 노출시키는 콘택홀(220)을 포함할 수 있다. 콘택홀(220)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 콘택홀(220)은 반도체 패턴(140)의 소스부 및 드레인부를 노출시킬 수 있다. 도 2에 도시된 예시적인 실시예와 같이, 반도체 패턴(140) 상에 게이트 절연막(160)이 위치할 경우, 콘택홀(220)은 게이트 절연막(160)을 관통하도록 형성될 수 있다. 콘택홀(220)은 기판의 일면에 수직인 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. The interlayer insulating layer 200 may include a contact hole 220 exposing a part of the semiconductor pattern 140. The contact hole 220 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. In an exemplary embodiment, the contact hole 220 may expose a source portion and a drain portion of the semiconductor pattern 140. As in the exemplary embodiment illustrated in FIG. 2, when the gate insulating layer 160 is positioned on the semiconductor pattern 140, the contact hole 220 may be formed to penetrate the gate insulating layer 160. The contact hole 220 may be formed to extend in a direction perpendicular to one surface of the substrate.

소스 전극(240)과 드레인 전극(260)은 층간 절연막(200) 상에 형성될 수 있다. 구체적으로, 소스 전극(240)과 드레인 전극(260)은 콘택홀(220)에 삽입될 수 있다. 즉, 소스 전극(240)과 드레인 전극(260)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260)은 게이트 전극(180)을 중심으로 소정의 간격으로 이격되며, 게이트 전극(180)에 인접하여 배치될 수 있다. 예를 들면, 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260)은 층간 절연막(200) 및 게이트 절연막(160)을 관통하여 반도체 패턴(140)의 소스부 및 드레인부에 각기 접촉될 수 있다. 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260)은 각기 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260)은 각기 알루미늄, 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물, 은, 은을 함유하는 합금, 텅스텐, 텅스텐 질화물, 구리, 구리를 함유하는 합금, 니켈, 크롬, 크롬 질화물, 몰리브데늄, 몰리브데늄을 함유하는 합금, 티타늄, 티타늄 질화물, 백금, 탄탈륨, 탄탈륨 질화물, 네오디뮴, 스칸듐, 스트론튬 루테늄 산화물, 아연 산화물, 인듐 주석 산화물, 주석 산화물, 인듐 산화물, 갈륨 산화물, 인듐 아연 산화물 등으로 이루어질 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 한편, 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260)은 각기 전술한 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등으로 이루어진 단층 구조 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 층간 절연막(200) 상에 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260)이 형성됨에 따라, 제1 기판(100) 상에는 유기 발광 표시 장치의 스위칭 소자로서 반도체 패턴(140), 게이트 절연막(160), 게이트 전극(180), 소스 전극(240), 및 드레인 전극(260)을 포함하는 박막 트랜지스터가 제공될 수 있다. 상술한 바와 같이, 박막 트랜지스터는 탑 게이트 방식의 박막 트랜지스터일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 바텀 게이트 방식의 박막 트랜지스터 등일 수도 있다.The source electrode 240 and the drain electrode 260 may be formed on the interlayer insulating layer 200. Specifically, the source electrode 240 and the drain electrode 260 may be inserted into the contact hole 220. That is, the source electrode 240 and the drain electrode 260 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. The source electrode 240 and the drain electrode 260 are spaced apart from each other at a predetermined interval around the gate electrode 180 and may be disposed adjacent to the gate electrode 180. For example, the source electrode 240 and the drain electrode 260 may pass through the interlayer insulating layer 200 and the gate insulating layer 160 and contact the source and drain portions of the semiconductor pattern 140, respectively. The source electrode 240 and the drain electrode 260 may each include a metal, an alloy, a metal nitride, a conductive metal oxide, a transparent conductive material, and the like. For example, the source electrode 240 and the drain electrode 260 are each of aluminum, an alloy containing aluminum, aluminum nitride, silver, an alloy containing silver, tungsten, tungsten nitride, copper, an alloy containing copper, and nickel. , Chromium, chromium nitride, molybdenum, alloy containing molybdenum, titanium, titanium nitride, platinum, tantalum, tantalum nitride, neodymium, scandium, strontium ruthenium oxide, zinc oxide, indium tin oxide, tin oxide, indium oxide , Gallium oxide, indium zinc oxide, and the like. These may be used alone or in combination with each other. Meanwhile, the source electrode 240 and the drain electrode 260 may each have a single-layer structure or a multi-layer structure made of the aforementioned metal, alloy, metal nitride, conductive metal oxide, transparent conductive material, or the like. As the source electrode 240 and the drain electrode 260 are formed on the interlayer insulating layer 200, the semiconductor pattern 140, the gate insulating layer 160, and the semiconductor pattern 140 as switching elements of the organic light emitting display device are formed on the first substrate 100. A thin film transistor including a gate electrode 180, a source electrode 240, and a drain electrode 260 may be provided. As described above, the thin film transistor may be a top gate type thin film transistor, but is not limited thereto, and may be a bottom gate type thin film transistor.

평탄화층(280)은 소스 전극(240) 및 드레인 전극(260) 상에 형성될 수 있다. 평탄화층(280)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 평탄화층(280)의 표면은 평평할 수 있다. 즉, 평탄화층(280)은 충분히 두껍게 형성되어, 화소가 위치하는 일면을 평탄하게 할 수 있다. 평탄화층(280)은 절연성 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 평탄화층(280)은 유기 물질, 예컨대, 폴리 이미드로 이루어질 수 있다. 또한, 평탄화층(280)은 단층 구조로 형성될 수 있지만, 적어도 두 개 이상의 절연막들을 포함하는 다층 구조로 형성될 수도 있다. The planarization layer 280 may be formed on the source electrode 240 and the drain electrode 260. The planarization layer 280 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. The surface of the planarization layer 280 may be flat. That is, the planarization layer 280 is formed to be sufficiently thick, so that one surface on which the pixel is located may be flattened. The planarization layer 280 may be made of an insulating material. In addition, the planarization layer 280 may be made of an organic material such as polyimide. Further, the planarization layer 280 may be formed in a single-layer structure, but may be formed in a multilayer structure including at least two or more insulating layers.

평탄화층(280)은 드레인 전극(260)의 일부를 노출시키는 비아홀(300)을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 비아홀(300)은 드레인 전극(260)의 중심부를 노출시킬 수 있다. 비아홀(300)은 기판의 일면에 수직인 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. The planarization layer 280 may include a via hole 300 exposing a portion of the drain electrode 260. In an exemplary embodiment, the via hole 300 may expose the central portion of the drain electrode 260. The via hole 300 may be formed to extend in a direction perpendicular to one surface of the substrate.

제1 전극(320)은 평탄화층(280) 상에 위치할 수 있다. 제1 전극(320)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 제1 전극(320)은 비아홀(300)에 삽입되어 드레인 전극(260)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 전극(320)은 애노드(anode) 전극 또는 캐소드(cathode) 전극일 수 있다. 제1 전극(320)이 애노드 전극일 경우, 제2 전극(380)은 캐소드 전극이 되며, 이하에서는 이와 같이 가정하고 실시예들이 예시적으로 설명된다. 다만, 제1 전극(320)이 캐소드 전극이고, 제2 전극(380)이 애노드 전극일 수도 있다. The first electrode 320 may be positioned on the planarization layer 280. The first electrode 320 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. The first electrode 320 may be inserted into the via hole 300 to be electrically connected to the drain electrode 260. The first electrode 320 may be an anode electrode or a cathode electrode. When the first electrode 320 is an anode electrode, the second electrode 380 becomes a cathode electrode, and embodiments are exemplarily described below with this assumption. However, the first electrode 320 may be a cathode electrode, and the second electrode 380 may be an anode electrode.

제1 전극(320)이 애노드 전극으로 사용될 경우, 제1 전극(320)은 일함수가 높은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 유기 발광 표시 장치가 배면 발광형 표시 장치일 경우, 제1 전극(320)은 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3 등의 물질이나, 이들의 적층막으로 형성될 수 있다. 유기 발광 표시 장치가 전면 발광형 표시 장치일 경우, 제1 전극(320)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, 또는 Ca 등으로 형성된 반사막을 더 포함할 수 있다. 제1 전극(320)은 이들 중 서로 다른 2 이상의 물질을 이용하여 2층 이상의 구조를 가질 수 있는 등의 다양한 변형이 가능하다.When the first electrode 320 is used as an anode electrode, the first electrode 320 may be made of a conductive material having a high work function. When the organic light-emitting display device is a bottom-emission display device, the first electrode 320 may be formed of a material such as ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 , or a laminated film thereof. When the organic light emitting display device is a top emission type display device, the first electrode 320 may further include a reflective film formed of Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, or Ca. Can include. The first electrode 320 can be modified in various ways, such as having a structure of two or more layers by using two or more different materials.

화소 정의막(340)은 제1 전극(320) 상에 형성될 수 있다. 화소 정의막(340)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 화소 정의막(340)은 제1 전극(320)의 일부 영역들을 노출시킬 수 있다. 화소 정의막(340)은 벤조사이클로부텐(Benzo Cyclo Butene, BCB), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리아마이드(poly amaide, PA), 아크릴 수지 및 페놀수지 등으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 물질을 포함하여 이루어지거나, 실리콘 질화물 등과 같은 무기 물질을 포함하여 이루어질 수도 있다. 화소 정의막(340)은 또한 검정색 안료를 포함하는 감광제로 이루어질 수 있는데, 이 경우 화소 정의막(340)은 차광 부재의 역할을 할 수 있다.The pixel defining layer 340 may be formed on the first electrode 320. The pixel defining layer 340 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. The pixel defining layer 340 may expose some areas of the first electrode 320. The pixel defining layer 340 includes at least one organic material selected from benzocyclobutene (BCB), polyimide (PI), poly amaide (PA), acrylic resin, phenol resin, etc. It may be made of, or may include an inorganic material such as silicon nitride. The pixel defining layer 340 may also be made of a photosensitive material including a black pigment. In this case, the pixel defining layer 340 may serve as a light blocking member.

유기 발광층(360)은 제1 전극(320) 상에 형성된다. 유기 발광층(360)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 유기 발광층(360)에 전류가 인가되면, 유기 발광층(360) 내의 전자와 정공이 재결합(recombination)하여 여기자(exciton)을 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생한다. The organic emission layer 360 is formed on the first electrode 320. The organic emission layer 360 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. When a current is applied to the organic emission layer 360, electrons and holes in the organic emission layer 360 recombine to form excitons, and light of a specific wavelength is generated by energy from the formed excitons.

유기 발광층(360)은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물로 이루어질 수 있다. 이러한 유기 발광층(360)은 정공 주입층(hole-injection layer, HIL), 정공 수송층(hole-transporting layer, HTL), 정공 저지층(hole blocking layer, HBL), 발광층(Emitting layer, EML), 전자 수송층(electron-transporting layer, ETL), 전자 주입층(electron-injection layer, EIL) 및 전자 저지층(electron blocking layer, EBL) 등을 포함할 수 있다.The organic emission layer 360 may be made of a low molecular weight organic material or a high molecular weight organic material. The organic emission layer 360 includes a hole-injection layer (HIL), a hole-transporting layer (HTL), a hole blocking layer (HBL), an emitting layer (EML), and electronic It may include an electron-transporting layer (ETL), an electron-injection layer (EIL), an electron blocking layer (EBL), and the like.

제2 전극(380)은 유기 발광층(360) 상에 형성될 수 있다. 제2 전극(380)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 제2 전극(380)이 캐소드 전극으로 사용될 경우, 제2 전극(380)은 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 전극(380)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, 또는 Ca 등으로 형성될 수 있다. 유기 발광층(360) 상에 제2 전극(380)이 형성됨에 따라, 제1 기판(100) 상에는 유기 발광 표시 장치의 표시 소자로서 제1 전극(320), 유기 발광층(360), 및 제2 전극(380)을 포함하는 유기 발광 소자가 제공될 수 있다.The second electrode 380 may be formed on the organic emission layer 360. The second electrode 380 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. When the second electrode 380 is used as a cathode electrode, the second electrode 380 may be made of a conductive material having a low work function. In an exemplary embodiment, the second electrode 380 may be formed of Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, or Ca. As the second electrode 380 is formed on the organic light emitting layer 360, the first electrode 320, the organic light emitting layer 360, and the second electrode as display elements of the organic light emitting display device on the first substrate 100 An organic light-emitting device including 380 may be provided.

스페이서(400)는 제2 전극(380) 상에 형성될 수 있다. 스페이서(400)는 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 스페이서(400)는 유기 발광층(360)과 중첩되지 않을 수 있다. 스페이서(400)는 제1 기판(100) 및 제2 기판(440) 사이의 거리를 유지시켜주는 기능을 수행할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 스페이서(400)는 벤조사이클로부텐(Benzo Cyclo Butene, BCB), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리아마이드(poly amaide, PA), 아크릴 수지 및 페놀수지 등으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 물질을 포함하여 이루어지거나, 실리콘 질화물 등과 같은 무기 물질을 포함하여 이루어질 수도 있다. 다른 예시적인 실시예에서, 스페이서(400)는 화소 정의막(340)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.The spacer 400 may be formed on the second electrode 380. The spacer 400 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. The spacer 400 may not overlap the organic emission layer 360. The spacer 400 may perform a function of maintaining a distance between the first substrate 100 and the second substrate 440. In an exemplary embodiment, the spacer 400 is at least one selected from benzocyclobutene (BCB), polyimide (PI), poly amaide (PA), acrylic resin, phenol resin, etc. It may be made of an organic material, or may be made of an inorganic material such as silicon nitride. In another exemplary embodiment, the spacer 400 may be made of the same material as the pixel defining layer 340.

덮개층(420)은 제2 전극(380) 및 스페이서(400) 상에 형성될 수 있다. 덮개층(420)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에 형성될 수 있다. 이러한 덮개층(420)은 외부의 수분이나 산소로부터 유기 발광 소자를 보호하여 유기 발광 소자의 열화를 방지하는 역할을 할 수 있다.The cover layer 420 may be formed on the second electrode 380 and the spacer 400. The cover layer 420 may be formed on the pixel region 10 of the first substrate 100. The cover layer 420 may serve to prevent deterioration of the organic light emitting device by protecting the organic light emitting device from external moisture or oxygen.

덮개층(420)은 유기막, 무기막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 무기막은 절연막인 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화질화막(SiOxNy)일 수 있으며, 또한, 상기 무기막은 LiF 막일 수 있다. 한편, 상기 유기막은 NPB(N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)benzidine),TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA, Alq3, Balq 또는 CBP를 함유하는 막일 수 있다. 덮개층(420)은 증발법, CVD 또는 스퍼터링법을 사용하여 형성할 수 있다. The cover layer 420 may be an organic layer, an inorganic layer, or multiple layers thereof. The inorganic layer may be an insulating layer such as a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a silicon oxynitride layer (SiOxNy), and the inorganic layer may be a LiF layer. Meanwhile, the organic film is a film containing NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)benzidine), TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA, Alq3, Balq, or CBP. I can. The cover layer 420 may be formed using an evaporation method, CVD, or sputtering method.

제2 기판(440)은 덮개층(420) 상에 위치할 수 있다. 제2 기판(440)은 덮개층(420)과 일정 거리 이격되어 있을 수 있다. 제2 기판(440)과 덮개층(420) 사이에는 질소 등이 충진되어 있을 수 있다. 제2 기판(440)은 제1 기판(100)과 대향할 수 있다. 제2 기판(440)은 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 및 비화소 영역(20)을 모두 커버하도록 위치할 수 있다. 또한, 제2 기판(440)은 제1 기판(100)과 완전히 중첩할 수 있다. 제2 기판(440)은 실런트(460)와 함께 유기 발광 소자 및 박막 트랜지스터 등을 봉지할 수 있다.The second substrate 440 may be positioned on the cover layer 420. The second substrate 440 may be spaced apart from the cover layer 420 by a predetermined distance. Nitrogen or the like may be filled between the second substrate 440 and the cover layer 420. The second substrate 440 may face the first substrate 100. The second substrate 440 may be positioned to cover both the pixel region 10 and the non-pixel region 20 of the first substrate 100. In addition, the second substrate 440 may completely overlap the first substrate 100. The second substrate 440 may encapsulate the organic light emitting device and the thin film transistor together with the sealant 460.

제2 기판(440)은 투명한 절연 유리 또는 플라스틱일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 외부 물질을 차단할 수 있는 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 기판(440)은 제1 기판(100)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. The second substrate 440 may be a transparent insulating glass or plastic, but is not limited thereto, and may be made of various materials capable of blocking external substances. In an exemplary embodiment, the second substrate 440 may be made of the same material as the first substrate 100.

실런트(460)는 제1 기판(100) 및 제2 기판(440) 사이에 개재될 수 있다. 또한, 실런트(460)는 제1 기판(100) 및 제2 기판(440)의 가장자리부에 위치할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 실런트(460)는 제1 기판(100)의 비화소 영역(20) 상에 위치할 수 있다. 또한, 실런트(460)는 제1 기판(100)의 화소 영역(10) 상에는 존재하지 않을 수 있다. 또한, 실런트(460)는 화소 영역(10) 및 지지층(520) 사이에 위치할 수 있다. 또한, 실런트(460)는 화소 영역(10)을 둘러쌀 수 있다. 이러한 실런트(460)는 유기 발광 소자 및 박막 트랜지스터 등을 봉지할 수 있다. 즉, 실런트(460)는 산소 및 수분 등이 유기 발광 소자 및 박막 트랜지스터 등으로 침투하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. The sealant 460 may be interposed between the first substrate 100 and the second substrate 440. Also, the sealant 460 may be positioned at the edge of the first substrate 100 and the second substrate 440. In an exemplary embodiment, the sealant 460 may be positioned on the non-pixel area 20 of the first substrate 100. Also, the sealant 460 may not be present on the pixel region 10 of the first substrate 100. Also, the sealant 460 may be positioned between the pixel region 10 and the support layer 520. Also, the sealant 460 may surround the pixel region 10. The sealant 460 may encapsulate the organic light emitting device and the thin film transistor. That is, the sealant 460 may effectively prevent oxygen and moisture from penetrating into the organic light emitting device and the thin film transistor.

더미 금속(480)은 제1 기판(100)의 비화소 영역(20) 상에 위치할 수 있다. 더미 금속(480)은 게이트 절연막(160) 및 층간 절연막(200) 사이에 개재될 수 있다. 구체적으로, 더미 금속(480)은 게이트 절연막(160) 및 층간 절연막(200)으로 둘러싸일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 더미 금속(480)은 게이트 전극(180)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 이러한 더미 금속(480)은 유기 발광 표시 장치의 기계적 강도를 증가시킴과 동시에, 실런트(460) 형성 공정 시 열전도가 활발하게 이루어질 수 있도록 할 수 있다.The dummy metal 480 may be located on the non-pixel region 20 of the first substrate 100. The dummy metal 480 may be interposed between the gate insulating layer 160 and the interlayer insulating layer 200. Specifically, the dummy metal 480 may be surrounded by the gate insulating layer 160 and the interlayer insulating layer 200. In an exemplary embodiment, the dummy metal 480 may be made of the same material as the gate electrode 180. The dummy metal 480 may increase the mechanical strength of the organic light emitting display device, and also enable thermal conduction to be actively performed during the sealant 460 forming process.

더미홀(500)은 제1 기판(100)의 비화소 영역(20) 상에 위치할 수 있다. 더미홀(500)은 층간 절연막(200)에 형성될 수 있다. 더미홀(500)은 서로 인접한 두 개의 더미 금속(480) 사이에 개재될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 더미홀(500)은 콘택홀(220)과 동시에 형성될 수 있다. 이러한 더미홀(500)은 실런트(460)의 접촉 면적을 증가시켜, 유기 발광 표시 장치의 전체적인 기계적 강도를 향상시킬 수 있다.The dummy hole 500 may be located on the non-pixel area 20 of the first substrate 100. The dummy hole 500 may be formed in the interlayer insulating layer 200. The dummy hole 500 may be interposed between two dummy metals 480 adjacent to each other. In an exemplary embodiment, the dummy hole 500 may be formed simultaneously with the contact hole 220. The dummy hole 500 may increase the contact area of the sealant 460 to improve overall mechanical strength of the organic light emitting display device.

지지층(520)은 제1 기판(100)의 비화소 영역(20) 상에 위치할 수 있다. 지지층(520)은 실런트(460) 및 제1 기판(100)의 에지 사이에 위치할 수 있다. 즉, 지지층(520)은 실런트(460)의 외측에 위치할 수 있다. 또한, 지지층(520)은 실런트(460)를 둘러쌀 수 있다. 또한, 지지층(520)은 제1 기판(100) 및 제2 기판(440) 사이에 개재될 수 있다. 또한, 지지층(520)은 층간 절연막(200)과 직접적으로 접촉할 수 있다.The support layer 520 may be positioned on the non-pixel region 20 of the first substrate 100. The support layer 520 may be positioned between the sealant 460 and the edge of the first substrate 100. That is, the support layer 520 may be located outside the sealant 460. In addition, the support layer 520 may surround the sealant 460. Further, the support layer 520 may be interposed between the first substrate 100 and the second substrate 440. Further, the support layer 520 may directly contact the interlayer insulating layer 200.

지지층(520)은 다층 구조를 가질 수 있다. 도 2에 도시된 예시적인 실시예에서, 지지층(520)은 세 개의 층으로 이루어지지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 두 개 또는 네 개의 층을 이루어질 수도 있다.The support layer 520 may have a multilayer structure. In the exemplary embodiment illustrated in FIG. 2, the support layer 520 includes three layers, but is not limited thereto, and may be formed of two or four layers.

지지층(520)과 제2 기판(440)은 서로 일정 거리 이격되어 있을 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 지지층(520)의 단부는 제2 기판(440)의 하면과 직접적으로 접촉할 수 있다. The support layer 520 and the second substrate 440 may be spaced apart from each other by a predetermined distance. However, the present invention is not limited thereto, and the end of the support layer 520 may directly contact the lower surface of the second substrate 440.

지지층(520)은 제1 지지층(520a), 제2 지지층(520b), 및 제3 지지층(520c)을 포함할 수 있다.The support layer 520 may include a first support layer 520a, a second support layer 520b, and a third support layer 520c.

제1 지지층(520a)은 층간 절연막(200) 상에 직접적으로 위치할 수 있다. 제1 지지층(520a)은 평탄화층(280)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 지지층(520a)은 평탄화층(280)과 동시에 형성될 수 있다. 또한, 제1 지지층(520a)의 두께는 평탄화층(280)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The first support layer 520a may be directly positioned on the interlayer insulating layer 200. The first support layer 520a may be made of the same material as the planarization layer 280. Also, the first support layer 520a may be formed simultaneously with the planarization layer 280. Further, the thickness of the first support layer 520a may be substantially the same as the thickness of the planarization layer 280, but is not limited thereto.

제2 지지층(520b)은 제1 지지층(520a) 상에 직접적으로 위치할 수 있다. 제2 지지층(520b)은 화소 정의막(340)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제2 지지층(520b)은 화소 정의막(340)과 동시에 형성될 수 있다. 또한, 제2 지지층(520b)의 두께는 화소 정의막(340)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The second support layer 520b may be directly positioned on the first support layer 520a. The second support layer 520b may be made of the same material as the pixel definition layer 340. Also, the second support layer 520b may be formed simultaneously with the pixel defining layer 340. Also, the thickness of the second support layer 520b may be substantially the same as the thickness of the pixel defining layer 340, but is not limited thereto.

제3 지지층(520c)은 제2 지지층(520b) 상에 직접적으로 위치할 수 있다. 제3 지지층(520c)은 스페이서(400)와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제3 지지층(520c)은 스페이서(400)와 동시에 형성될 수 있다. 또한, 제3 지지층(520c)의 두께는 스페이서(400)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The third support layer 520c may be directly positioned on the second support layer 520b. The third support layer 520c may be made of the same material as the spacer 400. Also, the third support layer 520c may be formed at the same time as the spacer 400. Also, the thickness of the third support layer 520c may be substantially the same as the thickness of the spacer 400, but is not limited thereto.

일반적으로, 유기 발광 표시 장치는 모기판을 이용하여 제조된다. 도 1 및 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치는 여러 공정이 진행된 모기판에서 분리되어 형성된 단위 제품이다. 즉, 도 1의 제2 기판(440)의 외곽선 및 도 2의 우측 끝단은 모기판에서 절단되어 형성될 수 있다.In general, organic light-emitting display devices are manufactured using a mother substrate. The organic light emitting display device shown in FIGS. 1 and 2 is a unit product formed by being separated from a mother substrate in which several processes have been performed. That is, the outline of the second substrate 440 of FIG. 1 and the right end of FIG. 2 may be formed by being cut from the mother substrate.

이 경우, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 모기판의 절단 공정에서 발생하는 충격을 지지층(520)이 흡수할 수 있다. 즉, 모기판의 절단 공정에서 발생하는 충격을 실런트(460) 및 지지층(520)이 나누어 흡수함으로써, 제1 기판(100) 및 제2 기판(440)에 손상이 발생하는 것을 최소화할 수 있다. 또한, 모기판의 절단 공정에서 발생하는 충격이 대부분 절단면과 인접하게 위치하는 지지층(520)에 전달되므로, 이러한 충격이 실런트(460) 내부로 전달되어 유기 발광 소자 또는 박막 트랜지스터를 손상시키는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 유기 발광 표시 장치의 기계적 강도 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.In this case, in the organic light emitting diode display according to the exemplary embodiment, the support layer 520 may absorb an impact generated during the cutting process of the mother substrate. That is, since the sealant 460 and the support layer 520 divide and absorb the impact generated in the cutting process of the mother substrate, damage to the first substrate 100 and the second substrate 440 can be minimized. In addition, since most of the impact generated in the cutting process of the mother substrate is transmitted to the support layer 520 located adjacent to the cut surface, such impact is transmitted to the inside of the sealant 460 to prevent damage to the organic light emitting device or the thin film transistor. I can. Accordingly, it is possible to improve the mechanical strength and display quality of the OLED display.

도 3 내지 도 10은 도 1의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 공정 단계별로 나타낸 단면도들이다. 설명의 편의 상, 도 2에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.3 to 10 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the organic light emitting display device of FIG. 1 in each process step. For convenience of explanation, elements that are substantially the same as those shown in the drawings shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

먼저, 도 3을 참조하면, 제1 모기판(100a)을 준비할 수 있다. 제1 모기판(100a)은 복수의 제1 기판(100)을 포함하는 원판일 수 있다. 즉, 제1 모기판(100a)은 제1 기판(100)과 실질적으로 동일한 물질로 이루어지되, 그 크기가 제1 기판(100)보다 클 수 있다.First, referring to FIG. 3, a first mother substrate 100a may be prepared. The first mother substrate 100a may be an original plate including a plurality of first substrates 100. That is, the first mother substrate 100a is made of substantially the same material as the first substrate 100, but may have a size larger than that of the first substrate 100.

제1 모기판(100a)을 준비한 후, 제1 모기판(100a) 상에 예비 버퍼층(120a), 반도체 패턴(140), 예비 게이트 절연막(160a), 게이트 전극(180), 더미 전극, 예비 층간 절연막(200a), 콘택홀(220), 더미홀(500), 소스 전극(240), 및 드레인 전극(260)을 형성할 수 있다. 즉, 제1 모기판(100a)의 화소 영역(10) 상에 박막 트랜지스터를 형성할 수 있다. 여기에서, 예비 버퍼층(120a), 예비 게이트 절연막(160a), 및 예비 층간 절연막(200a)은 각각 버퍼층(120), 게이트 절연막(160), 및 층간 절연막(200)의 전 단계 구조물일 수 있다. 즉, 버퍼층(120), 게이트 절연막(160), 및 층간 절연막(200)은 각각 예비 버퍼층(120a), 예비 게이트 절연막(160a), 및 예비 층간 절연막(200a)이 제1 모기판(100a)과 함께 절단됨으로써 형성될 수 있다. 또한, 게이트 전극(180)과 더미 전극은 동시에 형성될 수 있고, 콘택홀(220)과 더미홀(500) 역시 동시에 형성될 수 있다. After preparing the first mother substrate 100a, the preliminary buffer layer 120a, the semiconductor pattern 140, the preliminary gate insulating layer 160a, the gate electrode 180, the dummy electrode, and the preliminary interlayer are on the first mother substrate 100a. The insulating layer 200a, the contact hole 220, the dummy hole 500, the source electrode 240, and the drain electrode 260 may be formed. That is, a thin film transistor may be formed on the pixel region 10 of the first mother substrate 100a. Here, the preliminary buffer layer 120a, the preliminary gate insulating layer 160a, and the preliminary interlayer insulating layer 200a may be structures in the previous stages of the buffer layer 120, the gate insulating layer 160, and the interlayer insulating layer 200, respectively. That is, the buffer layer 120, the gate insulating layer 160, and the interlayer insulating layer 200 are each formed of a preliminary buffer layer 120a, a preliminary gate insulating layer 160a, and a preliminary interlayer insulating layer 200a, respectively, with the first mother substrate 100a and It can be formed by cutting them together. Also, the gate electrode 180 and the dummy electrode may be formed at the same time, and the contact hole 220 and the dummy hole 500 may also be formed at the same time.

다음으로, 도 4를 참조하면, 제1 모기판(100a)의 화소 영역(10) 상에 층간 절연막(200)을 형성하고, 제1 모기판(100a)의 비화소 영역(20) 상에 제1 지지층(520a)을 형성할 수 있다. 여기에서, 층간 절연막(200) 및 제1 지지층(520a)은 동시에 형성될 수 있다. 즉, 층간 절연막(200) 및 제1 지지층(520a)은 동일 공정에서 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 4, an interlayer insulating layer 200 is formed on the pixel region 10 of the first mother substrate 100a, and the non-pixel region 20 of the first mother substrate 100a is formed. 1 A support layer 520a may be formed. Here, the interlayer insulating layer 200 and the first support layer 520a may be formed at the same time. That is, the interlayer insulating layer 200 and the first support layer 520a may be formed in the same process.

다음으로, 도 5를 참조하면, 제1 모기판(100a)의 화소 영역(10) 상에 제1 전극(320) 및 화소 정의막(340)을 순차적으로 형성하고, 제1 모기판(100a)의 비화소 영역(20) 상에 제2 지지층(520b)을 형성할 수 있다. 여기에서, 화소 정의막(340) 및 제2 지지층(520b)은 동시에 형성될 수 있다. 즉, 화소 정의막(340) 및 제2 지지층(520b)은 동일 공정에서 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 5, a first electrode 320 and a pixel defining layer 340 are sequentially formed on the pixel region 10 of the first mother substrate 100a, and the first mother substrate 100a A second support layer 520b may be formed on the non-pixel region 20 of. Here, the pixel defining layer 340 and the second support layer 520b may be formed at the same time. That is, the pixel defining layer 340 and the second support layer 520b may be formed in the same process.

다음으로, 도 6을 참조하면, 제1 모기판(100a)의 화소 영역(10) 상에 유기 발광층(360) 및 제2 전극(380)을 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 6, an organic emission layer 360 and a second electrode 380 may be formed on the pixel region 10 of the first mother substrate 100a.

다음으로, 도 7을 참조하면, 제1 모기판(100a)의 화소 영역(10) 상에 스페이서(400)를 형성하고, 제1 모기판(100a)의 비화소 영역(20) 상에 제3 지지층(520c)을 형성할 수 있다. 여기에서, 스페이서(400) 및 제3 지지층(520c)은 동시에 형성될 수 있다. 즉, 스페이서(400) 및 제3 지지층(520c)은 동일 공정에서 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 7, a spacer 400 is formed on the pixel region 10 of the first mother substrate 100a, and a third spacer 400 is formed on the non-pixel region 20 of the first mother substrate 100a. A support layer 520c may be formed. Here, the spacer 400 and the third support layer 520c may be formed at the same time. That is, the spacer 400 and the third support layer 520c may be formed in the same process.

다음으로, 도 8을 참조하면, 제1 모기판(100a)의 화소 영역(10) 상에 덮개층(420)을 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 8, a cover layer 420 may be formed on the pixel region 10 of the first mother substrate 100a.

다음으로, 도 9를 참조하면, 일면 상에 실링 부재를 구비한 제2 모기판(440a)을 실링 부재가 화소 영역(10) 및 제1 지지층(520a) 사이에 위치하도록 배치할 수 있다. 여기에서, 제2 모기판(440a)은 복수의 제2 기판(440)을 포함하는 원판일 수 있다. 즉, 제2 모기판(440a)은 제2 기판(440)과 실질적으로 동일한 물질로 이루어지되, 그 크기가 제2 기판(440)보다 클 수 있다.Next, referring to FIG. 9, a second mother substrate 440a having a sealing member on one surface may be disposed so that the sealing member is positioned between the pixel region 10 and the first support layer 520a. Here, the second mother substrate 440a may be an original plate including a plurality of second substrates 440. That is, the second mother substrate 440a may be made of substantially the same material as the second substrate 440, but may have a size larger than that of the second substrate 440.

제2 모기판(440a)을 배치한 후에, 실링 부재에 레이저 빔(600)을 조사하여 실링 부재를 실런트(460)로 변환시킬 수 있다. 이때, 더미 금속(480)이 레이저 빔(600)에서 전달된 열의 전도를 활발하게 하여, 실런트(460)의 안정적인 형성을 도와줄 수 있다.After the second mother substrate 440a is disposed, the sealing member may be converted into a sealant 460 by irradiating a laser beam 600 onto the sealing member. In this case, the dummy metal 480 actively conducts heat transmitted from the laser beam 600, thereby helping to form the sealant 460 in a stable manner.

다음으로, 도 10을 참조하면, 절단 부재(700)를 이용하여 제1 모기판(100a) 및 제2 모기판(440a)을 절단할 수 있다. 여기에서, 절단 부재(700)는 스크라이빙 휠(Scribing wheel)일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 이때, 제1 모기판(100a) 및 제2 모기판(440a)뿐만 아니라 예비 버퍼층(120a), 예비 게이트 절연막(160a), 및 예비 층간 절연막(200a)도 절단될 수 있다. 이와 같이, 절단 부재(700)에 의하여 제1 모기판(100a), 제2 모기판(440a), 예비 버퍼층(120a), 예비 게이트 절연막(160a), 및 예비 층간 절연막(200a)이 절단되면, 제1 기판(100), 제2 기판(440), 버퍼층(120), 게이트 절연막(160), 및 층간 절연막(200)이 각각 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 10, the first mother substrate 100a and the second mother substrate 440a may be cut using the cutting member 700. Here, the cutting member 700 may be a scribing wheel, but is not limited thereto. At this time, not only the first mother substrate 100a and the second mother substrate 440a, but also the preliminary buffer layer 120a, the preliminary gate insulating film 160a, and the preliminary interlayer insulating film 200a may be cut. In this way, when the first mother substrate 100a, the second mother substrate 440a, the preliminary buffer layer 120a, the preliminary gate insulating film 160a, and the preliminary interlayer insulating film 200a are cut by the cutting member 700, A first substrate 100, a second substrate 440, a buffer layer 120, a gate insulating layer 160, and an interlayer insulating layer 200 may be formed, respectively.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 이러한 도 10의 절단 공정에서 발생하는 충격을 지지층(520)이 흡수할 수 있다. 이에 따라, 유기 발광 표시 장치의 기계적 강도 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, in the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the support layer 520 may absorb the impact generated in the cutting process of FIG. 10. Accordingly, it is possible to improve the mechanical strength and display quality of the OLED display.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 설명의 편의 상, 도 2에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.11 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention. For convenience of explanation, elements that are substantially the same as those shown in the drawings shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

도 11을 참조하면, 지지층(521)은 두 개의 층으로 이루어질 수 있다. 구체적으로, 지지층(521)은 제1 지지층(521a) 및 제2 지지층(521b)으로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 11, the support layer 521 may be formed of two layers. Specifically, the support layer 521 may include a first support layer 521a and a second support layer 521b.

제1 지지층(521a)은 층간 절연막(200) 상에 위치할 수 있다. 제1 지지층(521a)은 상술한 바와 같이 평탕화층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 지지층(521a)은 평탄화층(280)과 동시에 형성될 수 있다. 그러나, 제1 지지층(521a)의 두께는 평탄화층(280)의 두께와 상이할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 지지층(521a)의 두께는 평탄화층(280)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 이러한 두께 차이는 하프톤(Half-tone) 마스크를 이용하여 형성할 수 있다.The first support layer 521a may be positioned on the interlayer insulating layer 200. As described above, the first support layer 521a may be made of the same material as the flattening layer. Also, the first support layer 521a may be formed simultaneously with the planarization layer 280. However, the thickness of the first support layer 521a may be different from the thickness of the planarization layer 280. In an exemplary embodiment, the thickness of the first support layer 521a may be thicker than the thickness of the planarization layer 280. This difference in thickness can be formed by using a half-tone mask.

제2 지지층(521b)은 제1 지지층(521a) 상에 형성될 수 있다. 제2 지지층(521b)은 스페이서(400)와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제2 지지층(521b)은 스페이서(400)와 동시에 형성될 수 있다. 그러나, 제2 지지층(521b)의 두께는 스페이서(400)의 두께와 상이할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 지지층(521b)의 두께는 스페이서(400)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 이러한 두께 차이는 하프톤 마스크를 이용하여 형성할 수 있다.The second support layer 521b may be formed on the first support layer 521a. The second support layer 521b may be made of the same material as the spacer 400. Also, the second support layer 521b may be formed at the same time as the spacer 400. However, the thickness of the second support layer 521b may be different from the thickness of the spacer 400. In an exemplary embodiment, the thickness of the second support layer 521b may be thicker than the thickness of the spacer 400. This difference in thickness can be formed using a halftone mask.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 설명의 편의 상, 도 2에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.12 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention. For convenience of explanation, elements that are substantially the same as those shown in the drawings shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

도 12를 참조하면, 화소 정의막(341) 및 스페이서(401)는 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 화소 정의막(341) 및 스페이서(401)는 동일한 공정에서 일체로 형성될 수 있다. 이러한 화소 정의막(341) 및 스페이서(401)는 하프톤 마스크를 이용하여 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라, 그 상부에 위치하는 제2 전극(381) 및 덮개층(421)의 형상이 변할 수 있다.Referring to FIG. 12, the pixel defining layer 341 and the spacer 401 may be made of the same material. Also, the pixel defining layer 341 and the spacer 401 may be integrally formed in the same process. The pixel defining layer 341 and the spacer 401 may be simultaneously formed using a halftone mask. Accordingly, the shapes of the second electrode 381 and the cover layer 421 positioned thereon may be changed.

한편, 지지층(522)은 두 개의 층으로 이루어질 수 있다. 구체적으로, 지지층(522)은 제1 지지층(522a) 및 제2 지지층(522b)을 포함할 수 있다.Meanwhile, the support layer 522 may be formed of two layers. Specifically, the support layer 522 may include a first support layer 522a and a second support layer 522b.

제1 지지층(522a)은 층간 절연막(200) 상에 위치할 수 있다. 제1 지지층(522a)은 상술한 바와 같이 평탕화층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 지지층(522a)은 평탄화층(280)과 동시에 형성될 수 있다. 또한, 제1 지지층(522a)의 두께는 평탄화층(280)의 두께와 동일할 수 있다.The first support layer 522a may be positioned on the interlayer insulating layer 200. As described above, the first support layer 522a may be made of the same material as the flattening layer. Also, the first support layer 522a may be formed simultaneously with the planarization layer 280. Also, the thickness of the first support layer 522a may be the same as the thickness of the planarization layer 280.

제2 지지층(522b)은 제1 지지층(522a) 상에 위치할 수 있다. 제2 지지층(522b)은 화소 정의막(341) 및 스페이서(401)와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제2 지지층(522b)은 화소 정의막(341) 및 스페이서(401)와 동시에 형성될 수 있다. 여기에서, 제2 지지층(522b)의 두께는 화소 정의막(341)의 두께 및 스페이서(401)의 두께를 더한 값일 수 있다. The second support layer 522b may be positioned on the first support layer 522a. The second support layer 522b may be made of the same material as the pixel definition layer 341 and the spacer 401. Also, the second support layer 522b may be formed simultaneously with the pixel defining layer 341 and the spacer 401. Here, the thickness of the second support layer 522b may be a value obtained by adding the thickness of the pixel defining layer 341 and the thickness of the spacer 401.

이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention have been described above, but these are only examples, and do not limit the present invention, and those of ordinary skill in the field to which the present invention pertains will not depart from the essential characteristics of the embodiments of the present invention. It will be appreciated that various modifications and applications not illustrated above are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments of the present invention can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

10: 화소 영역 20: 비화소 영역
100: 제1 기판 100a: 제1 모기판
120: 버퍼층 120a: 예비 버퍼층
140: 반도체 패턴 160: 게이트 절연막
160a: 예비 게이트 절연막 180: 게이트 전극
200: 층간 절연막 200a: 예비 층간 절연막
220: 콘택홀 240: 소스 전극
260: 드레인 전극 280: 평탄화층
300: 비아홀 320: 제1 전극
340, 341: 화소 정의막 360: 유기 발광층
380, 381: 제2 전극 400, 401: 스페이서
420, 421: 덮개층 440: 제2 기판
440a: 제2 모기판 460: 실런트
480: 더미 금속 500: 더미홀
520, 521, 522: 지지층 520a, 521a, 522a: 제1 지지층
520b, 521b, 522b: 제2 지지층 520c: 제3 지지층
600: 레이저 빔 700: 절단 부재10: pixel area 20: non-pixel area
100: first substrate 100a: first mother substrate
120: buffer layer 120a: preliminary buffer layer
140: semiconductor pattern 160: gate insulating film
160a: preliminary gate insulating film 180: gate electrode
200: interlayer insulating film 200a: preliminary interlayer insulating film
220: contact hole 240: source electrode
260: drain electrode 280: planarization layer
300: via hole 320: first electrode
340, 341: pixel defining layer 360: organic emission layer
380, 381: second electrode 400, 401: spacer
420, 421: cover layer 440: second substrate
440a: second mosquito plate 460: sealant
480: dummy metal 500: dummy hole
520, 521, 522: support layer 520a, 521a, 522a: first support layer
520b, 521b, 522b: second support layer 520c: third support layer
600: laser beam 700: cutting member

Claims (15)

화소 영역 및 상기 화소 영역을 둘러싸는 비화소 영역을 포함하는 제1 기판;
상기 화소 영역 상에 위치하는 유기 발광 소자;
상기 제1 기판 및 상기 유기 발광 소자 사이에 개재되고, 상기 유기 발광 소자와 연결되는 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 및 상기 유기 발광 소자 사이에 개재되는 평탄화층;
상기 비화소 영역 상에 위치하는 실런트; 및
상기 실런트 및 상기 제1 기판의 에지 사이에 위치하는 지지층을 포함하되,
상기 지지층은 상기 제1 기판 상에 위치하는 제1 지지층 및 상기 제1 지지층 상에 위치하는 제2 지지층을 포함하고,
상기 제1 지지층은 상기 평탄화층과 동일한 물질로 이루어지는 유기 발광 표시 장치.A first substrate including a pixel area and a non-pixel area surrounding the pixel area;
An organic light-emitting device positioned on the pixel area;
A thin film transistor interposed between the first substrate and the organic light emitting device and connected to the organic light emitting device;
A planarization layer interposed between the thin film transistor and the organic light emitting device;
A sealant positioned on the non-pixel area; And
Including a support layer positioned between the sealant and the edge of the first substrate,
The support layer includes a first support layer disposed on the first substrate and a second support layer disposed on the first support layer,
The first support layer is made of the same material as the planarization layer. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 유기 발광 소자는,
상기 평탄화층 상에 위치하고, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제1 전극,
상기 제1 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및
상기 유기 발광층 상에 위치하는 제2 전극을 포함하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The organic light emitting device,
A first electrode located on the planarization layer and connected to the thin film transistor,
An organic emission layer positioned on the first electrode, and
An organic light-emitting display device comprising a second electrode on the organic emission layer. 제 4항에 있어서,
상기 평탄화층 상에 위치하고, 상기 제1 전극의 일부를 노출시키는 화소 정의막을 더 포함하되,
상기 제2 지지층은 상기 화소 정의막과 동일한 물질로 이루어지는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 4,
Further comprising a pixel defining layer disposed on the planarization layer and exposing a portion of the first electrode,
The second support layer is made of the same material as the pixel definition layer. 제 1항에 있어서,
상기 유기 발광 소자 상에 위치하는 스페이서를 더 포함하되,
상기 제2 지지층은 상기 스페이서와 동일한 물질로 이루어지는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
Further comprising a spacer positioned on the organic light emitting device,
The second support layer is made of the same material as the spacer. 제 1항에 있어서,
상기 지지층은,
상기 제2 지지층 상에 위치하는 제3 지지층을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The support layer,
The organic light emitting display device further includes a third support layer on the second support layer. 제 7항에 있어서,
상기 유기 발광 소자 상에 위치하는 스페이서를 더 포함하되,
상기 제3 지지층은 상기 스페이서와 동일한 물질로 이루어지는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 7,
Further comprising a spacer positioned on the organic light emitting device,
The third support layer is made of the same material as the spacer. 제 1항에 있어서,
상기 제1 기판 상에 위치하는 제2 기판을 더 포함하되,
상기 지지층은 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 개재되는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
Further comprising a second substrate positioned on the first substrate,
The support layer is interposed between the first substrate and the second substrate. 제 9항에 있어서,
상기 지지층은 상기 제2 기판과 접촉하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 9,
The supporting layer is in contact with the second substrate. 제1 모기판의 화소 영역 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 박막 트랜지스터 상에 평탄화층을 형성하는 단계; 및
상기 화소 영역을 둘러싸는 상기 제1 모기판의 비화소 영역 상에 제1 지지층을 형성하는 단계를 포함하되,
상기 평탄화층 및 상기 제1 지지층은 동시에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Forming a thin film transistor on the pixel region of the first mother substrate;
Forming a planarization layer on the thin film transistor; And
Forming a first support layer on a non-pixel region of the first mother substrate surrounding the pixel region,
A method of manufacturing an organic light emitting diode display in which the planarization layer and the first support layer are formed at the same time. 제 11항에 있어서,
상기 평탄화층 및 상기 제1 지지층을 형성하는 단계 후에,
상기 평탄화층 상에 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제1 전극을 형성하는 단계;
상기 제1 전극 상에 상기 제1 전극의 일부를 노출시키는 화소 정의막을 형성하는 단계; 및
상기 제1 지지층 상에 제2 지지층을 형성하는 단계를 더 포함하되,
상기 화소 정의막 및 상기 제2 지지층은 동시에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 11,
After the step of forming the planarization layer and the first support layer,
Forming a first electrode connected to the thin film transistor on the planarization layer;
Forming a pixel defining layer on the first electrode to expose a portion of the first electrode; And
Further comprising the step of forming a second support layer on the first support layer,
A method of manufacturing an organic light emitting diode display in which the pixel definition layer and the second support layer are formed simultaneously. 제 12항에 있어서,
상기 화소 정의막 및 상기 제2 지지층을 형성하는 단계 후에,
상기 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계;
상기 제2 전극 상에 스페이서를 형성하는 단계; 및
상기 제2 지지층 상에 제3 지지층을 형성하는 단계를 더 포함하되,
상기 스페이서 및 상기 제3 지지층은 동시에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 12,
After the step of forming the pixel defining layer and the second support layer,
Forming an organic emission layer on the first electrode;
Forming a second electrode on the organic emission layer;
Forming a spacer on the second electrode; And
Further comprising the step of forming a third support layer on the second support layer,
The method of manufacturing an organic light emitting diode display in which the spacer and the third support layer are formed at the same time. 제 13항에 있어서,
상기 스페이서 및 상기 제3 지지층을 형성하는 단계 후에,
일면 상에 실링 부재를 구비한 제2 모기판을 상기 실링 부재가 상기 화소 영역 및 상기 제1 지지층 사이에 위치하도록 배치하는 단계;
상기 실링 부재에 레이저 빔을 조사하여 상기 실링 부재를 실런트로 변환하는 단계; 및
상기 실런트의 외측을 따라 상기 제1 모기판 및 상기 제2 모기판을 절단하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 13,
After the step of forming the spacer and the third support layer,
Disposing a second mother substrate having a sealing member on one surface such that the sealing member is positioned between the pixel region and the first support layer;
Converting the sealing member into a sealant by irradiating a laser beam onto the sealing member; And
The method of manufacturing an organic light emitting display device further comprising cutting the first mother substrate and the second mother substrate along an outside of the sealant. 제 11항에 있어서,
상기 평탄화층 및 상기 제1 지지층을 형성하는 단계 후에,
상기 평탄화층 상에 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 유기 발광 소자를 형성하는 단계;
상기 유기 발광 소자 상에 스페이서를 형성하는 단계; 및
상기 제1 지지층 상에 제2 지지층을 형성하는 단계를 더 포함하되,
상기 스페이서 및 상기 제2 지지층은 동시에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 11,
After the step of forming the planarization layer and the first support layer,
Forming an organic light-emitting device connected to the thin film transistor on the planarization layer;
Forming a spacer on the organic light emitting device; And
Further comprising the step of forming a second support layer on the first support layer,
A method of manufacturing an organic light emitting diode display in which the spacer and the second support layer are formed at the same time.
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