KR102158828B1 - Cylindrical shelf device and method of assembling a driving unit of the same - Google Patents
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Abstract
원통형 선반 장치는 측면 둘레를 따라 대상물을 적재하며, 하단부에 종동 기어를 가지며 회전가능하도록 구비되는 원통형 선반과, 상기 원통형 선반이 회전 가능하도록 상기 원통형 선반을 지지하며, 상기 종동 기어를 일부 노출하는 지지부재와, 상기 지지부재에 의해 노출된 상기 종동 기어와 맞물리는 구동 기어를 가지며, 상기 구동 기어를 회전시켜 상기 원통형 선반을 회전시키는 구동 유닛과, 상기 원통형 선반에 구비되며, 상기 원통형 선반의 원점을 확인하기 위한 기준 마크와, 상기 지지부재에 구비되며, 상기 기준 마크를 감지하기 위한 센서 및 상기 센서가 상기 기준 마크를 감지한 상태에서 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정하여 상기 원통형 선반의 회전을 차단하는 고정 핀을 포함할 수 있다. The cylindrical lathe device loads the object along the circumference of the side, has a driven gear at the lower end and is rotatably provided, and supports the cylindrical lathe so that the cylindrical lathe is rotatable, and supports partially exposing the driven gear. A drive unit having a member and a drive gear meshing with the driven gear exposed by the support member, and a drive unit for rotating the cylindrical shelf by rotating the drive gear, and provided on the cylindrical shelf, the origin of the cylindrical shelf A reference mark for checking, a sensor for detecting the reference mark, and a sensor for detecting the reference mark, and a rotation of the cylindrical shelf by fixing the cylindrical shelf to the support member It may include a locking pin to block.
Description
본 발명은 원통형 선반 장치 및 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 측면 둘레를 따라 다수의 대상물을 적재하는 원통형 선반 장치 및 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cylindrical lathe device and a method for assembling a drive unit of the cylindrical lathe device, and more particularly, to a cylindrical lathe device for loading a plurality of objects along a circumference of a side surface and a method for assembling a drive unit of the cylindrical lathe device.
반도체 장치 제조 공정에서 웨이퍼들이 수납된 캐리어나 레티클들이 수납된 레티클 포드와 같은 대상물들은 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 상기 스토커는 상기 대상물이 안착되는 로드 포트 및 상기 대상물들이 적재되는 선반을 구비할 수 있다. In a semiconductor device manufacturing process, objects such as a carrier containing wafers or a reticle pod containing reticles may be stored in a stocker. The stocker may include a load port on which the object is mounted and a shelf on which the object is mounted.
상기 선반은 격자 형태를 갖거나 원통 형태를 가질 수 있다. 상기 원통형 선반의 경우 측면 둘레를 따라 상기 대상물들이 적재되며, 구동 유닛에 의해 회전하면서 상기 대상물들을 수납할 수 있다. The shelf may have a lattice shape or a cylindrical shape. In the case of the cylindrical shelf, the objects are loaded along the circumference of the side, and the objects may be accommodated while rotating by a driving unit.
상기 구동 유닛의 모터를 교체하는 등의 여러 이유로 상기 구동 유닛을 상기 원통형 선반으로부터 분리할 수 있다. 상기 구동 유닛이 상기 원통형 선반으로부터 분리된 상태에서 상기 원통형 선반을 수작업으로 회전시키는 경우, 상기 원통형 선반에 구비된 종동 기어의 원점이 회전한다. 상기 종동 기어에서 상기 원점 위치를 확인하기 어려우므로, 상기 구동 유닛의 구동 기어를 상기 원통형 선반에 구비된 종동 기어의 상기 원점에 정확하게 결합하기 어렵다. The drive unit can be separated from the cylindrical shelf for various reasons, such as replacing the motor of the drive unit. When the cylindrical lathe is manually rotated while the drive unit is separated from the cylindrical lathe, the origin of the driven gear provided in the cylindrical lathe rotates. Since it is difficult to confirm the position of the origin in the driven gear, it is difficult to accurately couple the drive gear of the drive unit to the origin of the driven gear provided in the cylindrical lathe.
본 발명은 구동 유닛의 구동 기어를 원통형 선반에 구비된 종동 기어의 원점에 정확하게 결합할 수 있는 원통형 선반 장치를 제공한다. The present invention provides a cylindrical lathe device capable of accurately coupling a drive gear of a drive unit to an origin of a driven gear provided on a cylindrical lathe.
본 발명은 구동 유닛의 구동 기어를 원통형 선반에 구비된 종동 기어의 원점에 정확하게 결합할 수 있는 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법을 제공한다. The present invention provides a method of assembling a drive unit of a cylindrical lathe apparatus capable of accurately coupling a drive gear of a drive unit to an origin of a driven gear provided on a cylindrical lathe.
본 발명에 따른 원통형 선반 장치는, 측면 둘레를 따라 대상물을 적재하며, 하단부에 종동 기어를 가지며 회전가능하도록 구비되는 원통형 선반과, 상기 원통형 선반이 회전 가능하도록 상기 원통형 선반을 지지하며, 상기 종동 기어를 일부 노출하는 지지부재와, 상기 지지부재에 의해 노출된 상기 종동 기어와 맞물리는 구동 기어를 가지며, 상기 구동 기어를 회전시켜 상기 원통형 선반을 회전시키는 구동 유닛과, 상기 원통형 선반에 구비되며, 상기 원통형 선반의 원점을 확인하기 위한 기준 마크와, 상기 지지부재에 구비되며, 상기 기준 마크를 감지하기 위한 센서 및 상기 센서가 상기 기준 마크를 감지한 상태에서 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정하여 상기 원통형 선반의 회전을 차단하는 고정 핀을 포함할 수 있다. The cylindrical lathe device according to the present invention includes a cylindrical lathe that loads an object along a side circumference, has a driven gear at a lower end, and is rotatably provided, and supports the cylindrical lathe so that the cylindrical lathe is rotatable, and the driven gear And a drive unit that has a support member partially exposing and a drive gear meshing with the driven gear exposed by the support member, and a drive unit for rotating the cylindrical shelf by rotating the drive gear, and provided on the cylindrical shelf, the A reference mark for confirming the origin of the cylindrical shelf, a sensor provided on the support member, and a sensor for detecting the reference mark, and the cylindrical shelf is fixed to the support member while the sensor detects the reference mark. It may include a fixing pin that blocks the rotation of the cylindrical shelf.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 고정 핀의 하단은 상기 지지부재에 구비되는 고정 브래킷에 의해 고정되며, 상기 고정 핀의 상단은 상기 원통형 선반에 형성된 핀 홀에 삽입될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the lower end of the fixing pin is fixed by a fixing bracket provided on the support member, and the upper end of the fixing pin may be inserted into a pin hole formed in the cylindrical shelf.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동 유닛은 상기 구동 기어와 상기 종동 기어가 맞물리는 제1 위치와 상기 구동 기어와 상기 종동 기어의 맞물림이 해제되는 제2 위치 사이를 이동 가능하도록 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the driving unit may be provided to be movable between a first position where the driving gear and the driven gear are engaged and a second position where the engagement of the driving gear and the driven gear is released. I can.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동 유닛은, 상기 구동 기어와, 상기 구동 기어와 연결되며, 상기 구동 기어를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 모터와, 상기 구동 기어와 연결된 상기 구동 모터를 고정하는 고정 부재 및 상기 고정 부재를 지지하며, 상기 구동 기어가 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이를 이동하도록 상기 고정 부재의 이동을 가이드하는 가이드 부재를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the drive unit includes the drive gear, a drive motor connected to the drive gear and providing a driving force for rotating the drive gear, and the drive motor connected to the drive gear. And a guide member that supports the fixing member and guides the movement of the fixing member so that the driving gear moves between the first position and the second position.
본 발명에 따른 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법은, 측면 둘레를 따라 대상물들이 적재되는 원통형 선반을 회전시키면서 상기 원통형 선반을 회전 가능하도록 지지하는 지지부재에 구비된 센서로 상기 원통형 선반에 구비되어 상기 원점을 확인하기 위한 기준 마크를 감지하는 단계와, 상기 원점 센서가 상기 기준 마크를 감지하면 상기 원통형 선반의 회전을 정지시키는 단계와, 상기 원통형 선반의 회전이 정지된 상태에서 상기 원통형 선반의 회전을 차단하기 위해 고정 핀으로 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정하는 단계 및 상기 종동 기어와 맞물리는 구동 기어를 갖는 구동 유닛을 상기 구동 기어와 상기 종동 기어의 맞물림이 해제되는 제2 위치에서 상기 구동 기어와 상기 종동 기어가 맞물리는 제1 위치로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. The method of assembling a driving unit of a cylindrical shelf device according to the present invention is provided in the cylindrical shelf with a sensor provided in a support member that supports the cylindrical shelf so as to be rotatable while rotating the cylindrical shelf on which objects are loaded along the circumference of the side. Detecting a reference mark for confirming the origin, stopping rotation of the cylindrical shelf when the origin sensor detects the reference mark, and rotating the cylindrical shelf while the rotation of the cylindrical shelf is stopped. Fixing the cylindrical shelf to the support member with a fixing pin in order to block the drive unit and the drive unit having a drive gear meshing with the driven gear at a second position where the engagement between the drive gear and the driven gear is released. And moving to a first position where the driven gear meshes.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법은, 상기 고정 핀으로 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정하는 단계 이전에, 상기 지지부재에 구비된 상기 고정 핀을 고정하는 고정 브래킷과 상기 원통형 선반에 형성된 핀 홀을 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the method of assembling the driving unit of the cylindrical shelf device includes fixing the fixing pin provided on the support member before the step of fixing the cylindrical shelf to the support member with the fixing pin. It may further include the step of aligning the fixing bracket and the pin hole formed in the cylindrical shelf.
본 발명에 따른 원통형 선반 장치는 상기 센서로 상기 기준 마크를 감지함으로써 상기 원통형 선반에서 상기 종동 기어의 원점을 용이하게 확인할 수 있다. 또한, 상기 센서가 상기 기준 마크를 감지한 상태에서 상기 고정 핀으로 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정한다. 상기 원통형 선반의 회전을 차단함으로써 상기 종동 기어의 상기 원점을 상기 구동 기어와 맞물릴 수 있는 상기 제1 위치에 고정할 수 있다. The cylindrical lathe device according to the present invention can easily check the origin of the driven gear on the cylindrical lathe by sensing the reference mark with the sensor. Further, while the sensor detects the reference mark, the cylindrical shelf is fixed to the support member with the fixing pin. By blocking the rotation of the cylindrical lathe, the origin of the driven gear may be fixed to the first position capable of engaging the driving gear.
상기 종동 기어의 상기 원점이 상기 제1 위치에 고정된 상태에서 상기 구동 기어를 상기 종동 기어에 결합한다. 그러므로, 상기 구동 기어를 상기 종동 기어의 상기 원점에 신속하고 정확하게 결합할 수 있다. The drive gear is coupled to the driven gear while the origin of the driven gear is fixed to the first position. Therefore, it is possible to quickly and accurately couple the drive gear to the origin of the driven gear.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 원통형 선반 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 구동 유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 1 is a schematic side view for explaining a cylindrical lathe device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic front view for describing the driving unit shown in FIG. 1.
3 is a flowchart illustrating a method of assembling a driving unit of a cylindrical lathe device according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual size for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 원통형 선반 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 구동 유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다. 1 is a schematic side view for explaining a cylindrical lathe apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic front view for explaining the driving unit illustrated in FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 원통형 선반 장치(100)는 원통형 선반(110), 지지부재(120), 구동 유닛(130), 기준 마크(140), 센서(142), 고정 핀(150), 고정 브래킷(152)을 포함할 수 있다. 1 and 2, the
상기 원통형 선반(110)은 측면 둘레를 따라 대상물(10)을 적재하며, 하단부에 종동 기어(116)를 가지며 회전 가능하도록 구비된다. 상기 대상물(10)은 웨이퍼들이 수납된 캐리어, 레티클들이 수납된 레티클 포드 등일 수 있다. The
구체적으로, 상기 원통형 선반(110)은 전체적으로 원통 형태를 가지며, 선반부(112)와 회전부(114)를 포함할 수 있다. Specifically, the
상기 선반부(112)는 대략 원통 형태를 가지며, 둘레를 따라 다수의 수납홈(113)들을 갖는다. 상기 수납홈(113)들은 다층으로 배치될 수 있다. The
상기 회전부(114)는 대략 원통 형태를 가지며, 상기 선반부(112)의 하부면에 상기 선반부(112)를 지지하도록 구비된다. 상기 회전부(114)는 상기 선반부(112)와 일체로 형성되거나, 상기 선반부(112)와 결합될 수 있다. The rotating
상기 회전부(114)의 지름은 상기 선반부(112)의 지름보다 작을 수 있다. 따라서, 상기 기준 마크(140)와 후술하는 핀 홀(118)을 상기 선반부(112)의 하부면에 구비할 수 있다. The diameter of the rotating
상기 회전부(114)의 둘레를 따라 상기 종동 기어(116)가 구비될 수 있다. The driven
상기 지지부재(120)는 상기 원통형 선반(110)이 회전 가능하도록 상기 원통형 선반(110)을 지지한다. 상기 지지부재(120)는 상기 원통형 선반(110)을 지지하는 베어링을 포함할 수 있다. The
상기 지지부재(120)는 상기 종동 기어(116)의 일부를 노출한다. 이때, 상기 노출된 종동 기어(116)는 상기 지지부재(120)의 측면으로 돌출될 수 있다. The
상기 구동 유닛(130)은 상기 지지부재(120)에 의해 노출된 상기 종동 기어(116)와 맞물리는 구동 기어(132)를 가지며, 상기 구동 기어(132)를 회전시켜 상기 원통형 선반(110)을 회전시킨다. The
구체적으로, 상기 구동 유닛(130)은 상기 구동 기어(132), 구동 모터(134), 고정 부재(136) 및 가이드 부재(138)를 포함할 수 있다. Specifically, the driving
상기 구동 기어(132)는 상기 종동 기어(116)와 맞물리며, 상기 종동 기어(116)를 회전시킬 수 있다. The
상기 구동 모터(134)는 상기 구동 기어(132)와 연결되며, 상기 구동 기어(132)를 회전시키기 위한 구동력을 제공한다. 예를 들면, 상기 구동 모터(134)는 상기 구동 기어(132)의 상방에 배치될 수 있다. The
상기 고정 부재(136)는 상기 구동 모터(134)를 고정한다. 상기 구동 기어(132)가 상기 구동 모터(134)에 연결되어 있으므로, 상기 고정 부재(136)는 상기 구동 모터(134)와 상기 구동 기어(132)를 동시에 고정할 수 있다. The fixing
상기 가이드 부재(138)는 상기 고정 부재(136)의 하부면에 구비되며, 상기 고정 부재(136)를 지지한다. 상기 구동 기어(132)가 제1 위치와 제2 위치 사이를 이동하도록 상기 가이드 부재(138)는 상기 고정 부재(136)의 이동을 가이드한다. The
상기 제1 위치는 상기 구동 기어(132)와 상기 종동 기어(116)가 맞물리는 위치이다. 상기 제1 위치에서 상기 구동 모터(134)의 구동력이 상기 원통형 선반(110)으로 전달될 수 있다. 즉, 상기 구동 기어(132)가 회전함에 따라 상기 종동 기어(116)가 회전할 수 있다. The first position is a position where the
상기 제2 위치는 상기 구동 기어(132)와 상기 종동 기어(116)의 맞물림이 해제되는 위치이다. 상기 제2 위치에서 상기 구동 모터(134)의 구동력이 상기 원통형 선반(110)으로 전달되지 않는다. 즉, 상기 구동 기어(132)가 회전하더라도 상기 종동 기어(116)가 회전하지 않는다. The second position is a position where the engagement of the
예를 들면, 상기 가이드 부재(138)는 상기 고정 부재(136)의 수평 이동을 가이드할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치는 상기 수평 방향으로 이격될 수 있다. For example, the
이와 달리 도시되지는 않았지만, 상기 가이드 부재(138)는 상기 고정 부재(136)의 수직 이동을 가이드할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치는 상기 수직 방향으로 이격될 수 있다. Although not shown otherwise, the
상기 기준 마크(140)는 상기 원통형 선반(110)에 구비된다. 예를 들면, 상기 기준 마크(140)는 상기 선반부(112)의 하부면에 구비될 수 있다. 상기 기준 마크(140)는 상기 종동 기어(116)에서 상기 구동 기어(132)와 맞물리기 위한 원점을 확인하는데 이용된다. The
예를 들면, 상기 기준 마크(140)는 반사판일 수 있다. 다른 예로, 상기 기준 마크(140)는 발광부일 수 있다. For example, the
상기 센서(142)는 상기 지지부재(120)의 상부면에 구비되며, 상기 기준 마크(140)를 감지한다. The
상기 기준 마크(140)가 상기 반사판인 경우, 상기 센서(142)는 발광부와 수광부가 일체로 된 광 센서일 수 있다. 상기 센서(142)에서 상기 기준 마크(140)를 향해 광을 조사하고, 상기 기준 마크(140)로부터 반사되는 광을 수신함으로써 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 수 있다. When the
상기 기준 마크(140)가 상기 발광부인 경우, 상기 센서(142)는 수광부일 수 있다. 상기 센서(142)는 상기 기준 마크(140)에서 조사된 광을 수신함으로써 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 수 있다. When the
한편, 상기 기준 마크(140)가 수광부이고, 상기 센서(142)가 발광부일 수도 있다. Meanwhile, the
상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 때, 상기 종동 기어(116)의 상기 원점은 상기 구동 기어(132)와 맞물리기 위한 상기 제1 위치에 위치할 수 있다. When the
상기 고정 핀(150)은 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지한 상태, 즉, 상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 위치한 상태에서 상기 원통형 선반(110)을 상기 지지부재(120)에 고정한다. The fixing
구체적으로, 상기 고정 핀(150)의 하단은 상기 지지부재(120)의 상부면에 구비되는 고정 브래킷(152)에 의해 고정될 수 있다. 상기 고정 핀(150)의 상단은 상기 원통형 선반(110)에 형성된 상기 핀 홀(118)에 삽입될 수 있다. 예를 들면, 상기 핀 홀(118)은 상기 선반부(112)의 하부면에 형성될 수 있다. Specifically, the lower end of the fixing
상기 고정 핀(150)이 상기 원통형 선반(110)을 상기 지지부재(120)에 고정하므로, 상기 원통형 선반(110)의 회전을 차단할 수 있다. 따라서, 상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 고정될 수 있다.Since the fixing
상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 고정된 상태에서 상기 구동 기어(132)가 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하여 상기 종동 기어(116)와 맞물릴 수 있다. 따라서, 상기 구동 기어(132)를 상기 종동 기어(116)의 원점에 신속하고 정확하게 결합할 수 있다. When the origin of the driven
한편, 상기 고정 핀(150)은 상기 구동 기어(132)를 상기 종동 기어(116)에 결합할 때만 사용된다. 상기 경우가 아닐 때에는 상기 고정 핀(150)은 상기 고정 브래킷(152) 및 상기 핀 홀(118)로부터 분리되어 별도로 보관될 수 있다. Meanwhile, the fixing
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 3 is a flowchart illustrating a method of assembling a driving unit of a cylindrical lathe device according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 상기 원통형 선반 장치(100)에서 구동 유닛(130)을 조립하기 위한 방법은 다음과 같다.3, a method for assembling the
먼저, 상기 원통형 선반(110)을 회전시키면서 상기 지지부재(120)에 구비된 센서(142)로 상기 원통형 선반(110)에 구비된 상기 기준 마크(140)를 감지한다. (S110)First, while rotating the
이때, 상기 구동 유닛(130)은 상기 원통형 선반(110)으로부터 분리되어 있다. 즉, 상기 구동 기어(132)가 상기 제2 위치에 위치한다. In this case, the driving
상기 구동 유닛(130)은 상기 원통형 선반(110)으로부터 분리되어 있으므로, 상기 원통형 선반(110)은 수작업으로 회전할 수 있다. Since the
일 예로, 상기 센서(142)에서 상기 기준 마크(140)로 광을 조사하고 상기 기준 마크(140)로부터 반사되는 광을 수신함으로써 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 수 있다. 다른 예로, 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)에서 조사된 광을 수신하거나, 상기 기준 마크(140)가 상기 센서(142)에서 조사된 광을 수신함으로써 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 수도 있다. For example, the
상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지하면 상기 원통형 선반(110)의 회전을 정지시킨다. (S120)When the
상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 때, 상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 위치한다. 상기 종동 기어(115)의 상기 원점이 이동하지 않도록 상기 원통형 선반(110)의 회전을 정지시킨다. When the
다음으로, 상기 고정 브래킷(152)과 상기 핀 홀(118)을 정렬한다. (S130)Next, the fixing
상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 일정한 범위에서 감지하므로, 상기 센서(142)가 상기 기준 마크(140)를 감지할 때, 상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 정확하게 위치하지 못하고 약간 어긋날 수 있다. Since the
상기 원통형 선반(110)을 수작업으로 회전시켜 상기 고정 브래킷(152)과 상기 핀 홀(118)을 정렬한다. 따라서, 상기 종동 기어(116)의 상기 원점을 상기 제1 위치에 정확하게 위치시킬 수 있다. The
상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 위치한 상태에서 상기 고정 핀(150)으로 상기 원통형 선반(110)을 상기 지지부재(120)에 고정한다. (S140)In a state where the origin of the driven
구체적으로, 상기 고정 핀(150)의 하단은 상기 지지부재(120)의 상부면에 구비되는 고정 브래킷(152)에 의해 고정되고, 상기 고정 핀(150)의 상단은 상기 원통형 선반(110)에 형성된 상기 홈(118)에 삽입될 수 있다. 따라서, 상기 원통형 선반(110)의 회전을 차단하여 상기 종동 기어(116)의 상기 원점을 상기 제1 위치에 고정할 수 있다.Specifically, the lower end of the fixing
이후, 상기 구동 유닛(130)을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동시킨다. (S150)Thereafter, the driving
상기 종동 기어(116)의 상기 원점이 상기 제1 위치에 고정된 상태에서 상기 구동유닛(130)이 이동함에 따라 상기 구동 기어(132)가 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동한다. 따라서, 상기 구동 기어(132)가 상기 종동 기어(116)의 원점과 맞물릴 수 있다. 그러므로, 상기 구동 기어(132)를 상기 종동 기어(116)의 원점에 신속하고 정확하게 결합할 수 있다. As the
상술한 바와 같이, 상기 원통형 선반 장치 및 상기 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법에 따르면, 상기 구동 유닛을 상기 원통형 선반에 결합할 때 상기 구동 기어를 상기 종동 기어의 원점에 신속하고 정확하게 결합할 수 있다. 따라서, 상기 원통형 선반 장치의 신뢰성과 효율성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the method of assembling the cylindrical lathe device and the driving unit of the cylindrical lathe device, when the driving unit is coupled to the cylindrical lathe, the driving gear can be quickly and accurately coupled to the origin of the driven gear. . Therefore, it is possible to improve the reliability and efficiency of the cylindrical lathe device.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.
100 : 원통형 선반 장치 110 : 원통형 선반
120 : 지지부재 130 : 구동 유닛
140 : 기준 마크 142 : 센서
150 : 고정 핀 152 : 고정 브래킷
10 : 대상물100: cylindrical lathe device 110: cylindrical lathe
120: support member 130: drive unit
140: reference mark 142: sensor
150: fixing pin 152: fixing bracket
10: object
Claims (6)
상기 원통형 선반이 회전 가능하도록 상기 원통형 선반을 지지하며, 상기 종동 기어를 일부 노출하는 지지부재;
상기 지지부재에 의해 노출된 상기 종동 기어와 맞물리는 구동 기어를 가지며, 상기 구동 기어를 회전시켜 상기 원통형 선반을 회전시키는 구동 유닛;
상기 원통형 선반에 구비되며, 상기 원통형 선반의 원점을 확인하기 위한 기준 마크;
상기 지지부재에 구비되며, 상기 기준 마크를 감지하기 위한 센서; 및
상기 센서가 상기 기준 마크를 감지한 상태에서 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정하여 상기 원통형 선반의 회전을 차단하는 고정 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 선반 장치.A cylindrical shelf that loads an object along a side circumference, has a driven gear at a lower end, and is rotatably provided;
A support member that supports the cylindrical shelf so that the cylindrical shelf is rotatable, and partially exposes the driven gear;
A drive unit having a drive gear engaged with the driven gear exposed by the support member, and rotating the cylindrical lathe by rotating the drive gear;
A reference mark provided on the cylindrical shelf and for confirming the origin of the cylindrical shelf;
A sensor provided on the support member and configured to detect the reference mark; And
And a fixing pin for blocking rotation of the cylindrical shelf by fixing the cylindrical shelf to the support member while the sensor senses the reference mark.
상기 구동 기어;
상기 구동 기어와 연결되며, 상기 구동 기어를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 모터;
상기 구동 기어와 연결된 상기 구동 모터를 고정하는 고정 부재; 및
상기 고정 부재를 지지하며, 상기 구동 기어가 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이를 이동하도록 상기 고정 부재의 이동을 가이드하는 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 선반 장치. The method of claim 3, wherein the drive unit,
The drive gear;
A driving motor connected to the driving gear and providing a driving force for rotating the driving gear;
A fixing member for fixing the drive motor connected to the drive gear; And
And a guide member that supports the fixing member and guides the movement of the fixing member so that the driving gear moves between the first position and the second position.
상기 센서가 상기 기준 마크를 감지하면 상기 원통형 선반의 회전을 정지시키는 단계;
상기 원통형 선반의 회전이 정지된 상태에서 상기 원통형 선반의 회전을 차단하기 위해 고정 핀으로 상기 원통형 선반을 상기 지지부재에 고정하는 단계; 및
구동 유닛이 상기 원통형 선반의 하단부에 구비되는 종동 기어와 맞물리는 구동 기어를 구비하고, 상기 구동 유닛을 상기 구동 기어와 상기 종동 기어의 맞물림이 해제되는 제2 위치에서 상기 구동 기어와 상기 종동 기어가 맞물리는 제1 위치로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법. A step of detecting a reference mark for confirming the origin of the cylindrical shelf by being provided on the cylindrical shelf with a sensor provided on the support member for rotatably supporting the cylindrical shelf while rotating the cylindrical shelf on which objects are loaded along the circumference of the side ;
Stopping rotation of the cylindrical shelf when the sensor detects the reference mark;
Fixing the cylindrical shelf to the support member with a fixing pin to block the rotation of the cylindrical shelf while the rotation of the cylindrical shelf is stopped; And
The drive unit is provided with a drive gear engaged with a driven gear provided at the lower end of the cylindrical lathe, and the drive unit is the drive gear and the driven gear at a second position in which the engagement between the drive gear and the driven gear is released. A method of assembling a drive unit of a cylindrical lathe device comprising the step of moving to an engaging first position.
상기 지지부재에 구비된 상기 고정 핀을 고정하는 고정 브래킷과 상기 원통형 선반에 형성된 핀 홀을 정렬하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 선반 장치의 구동 유닛 조립 방법. The method of claim 5, prior to the step of fixing the cylindrical shelf to the support member with the fixing pin,
A method of assembling a driving unit of a cylindrical lathe device, further comprising aligning a pin hole formed on the cylindrical shelf with a fixing bracket for fixing the fixing pin provided on the support member.
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124680A (en) | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Yamaha Motor Co Ltd | Chucking nozzle changing device for surface-mounting device |
US20020094257A1 (en) | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Babbs Daniel A. | Workpiece sorter operating with modular bare workpiece stockers and/or closed container stockers |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124680A (en) | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Yamaha Motor Co Ltd | Chucking nozzle changing device for surface-mounting device |
KR100648238B1 (en) | 2000-09-27 | 2006-11-24 | 에이에스엠 인터내셔널 엔.브이. | Wafer handling system |
US20020094257A1 (en) | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Babbs Daniel A. | Workpiece sorter operating with modular bare workpiece stockers and/or closed container stockers |
JP5951021B2 (en) | 2012-08-23 | 2016-07-13 | 富士機械製造株式会社 | Component mounter |
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