KR102157826B1 - A plunger device of the mass flow meter - Google Patents

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KR102157826B1
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민병광
이상진
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엠케이프리시젼 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a plunger device of a mass flow meter, which maximizes the durability of a valve spring by mitigating the impact of the valve spring caused by collision of the valve spring coupled to a lower surface of a plunger body with a housing when the plunger body is moved to an upper portion of the housing to open a valve, by coupling the plunger spring to an upper surface of the plunger body provided in a mass flow meter. To this end, the plunger device of a mass flow meter, which opens and closes a first flow path formed in a gas supply unit and a second flow path formed in a nozzle, and is accommodated in a housing coupled to the gas supply unit and the nozzle, comprises: a plunger body accommodated in a housing; a valve spring coupled to a lower portion of the plunger body, and opening and closing first and second flow paths; and a plunger spring coupled to an upper surface of the plunger body. The housing includes: a first space unit accommodated with at least a portion of the plunger body and the plunger spring; and a second space unit connected to a lower portion of the first space unit, having the diameter greater than that of the first space unit, and accommodated with the other portion of the plunger body and the valve spring.

Description

질량유량계의 플런져 장치{A plunger device of the mass flow meter}A plunger device of the mass flow meter

본 발명은 질량유량계의 플런져 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 질량유량계에 구비되는 플런져 몸체의 상면에 플런져 스프링을 결합시킴으로써, 플런져 몸체가 하우징의 상부로 이동하여 밸브를 개방할 때, 플런져 몸체의 하면과 결합된 밸브 스프링과 하우징의 충돌에 의하여 발생하는 밸브 스프링의 충격을 완화시켜 밸브 스프링의 내구성을 극대화하는 질량유량계의 플런져 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plunger device of a mass flow meter, and more particularly, by coupling a plunger spring to an upper surface of a plunger body provided in the mass flow meter, when the plunger body moves to the upper portion of the housing to open the valve. , The present invention relates to a plunger device of a mass flow meter that maximizes the durability of a valve spring by mitigating the impact of a valve spring caused by collision between a valve spring coupled with a lower surface of a plunger body and a housing.

일반적으로 알려진 질량유량계(MFC)는 반도체 장치의 제조, 특히 에칭 및 기상 증착 공정에 사용되는 인체에 유해하고 대기에 노출되었을 때 고반응성을 갖는 유독성 또는 고반응성 가스와 같은 유체의 질량 유동률을 제어하기 위한 반도체 공정의 정밀유량조절기로 주로 사용되었다.The commonly known mass flow meter (MFC) is used to control the mass flow rate of a fluid such as a toxic or highly reactive gas that is harmful to the human body and is highly reactive when exposed to the atmosphere used in the manufacture of semiconductor devices, particularly in etching and vapor deposition processes. It was mainly used as a precision flow controller for semiconductor processes.

최근에는 각 연구소, 실험실 및 산업 플랜트 등으로 확산되어, 산업 전분야에 걸쳐 공기, 산소 등을 비롯한 모든 가스 플랜트의 유량지시 및 유량제어의 목적으로 사용되고 있다.In recent years, it has spread to each research institute, laboratory, and industrial plant, and is used for the purpose of flow rate indication and flow control of all gas plants including air, oxygen, etc. throughout the entire industry.

이러한 질량유량계에는 일반적으로 가스와 같은 유체가 흐를 수 있는 유로가 형성되며, 상기 유로를 개폐시키는 밸브를 사용한다.In this mass flow meter, a flow path through which a fluid such as gas can flow is generally formed, and a valve that opens and closes the flow path is used.

질량유량계에서 사용 가능한 여러 종류의 밸브 중 하나인 솔레노이드 밸브는 전기적 신호를 받아 유량이나 공기의 흐름을 제어하는 장치로서, 전자석코일에 펄스신호가 가해지면 플런져가 전자석코일에 흡입되면서, 이에 일체로 형성된 밸브가 개방되어 작동 유체의 흐름 경로를 개방시키게 되는 것이다. A solenoid valve, one of several types of valves that can be used in mass flow meters, is a device that receives an electrical signal and controls the flow or air flow.When a pulse signal is applied to the electromagnet coil, the plunger is sucked into the electromagnet coil, The formed valve is opened to open the flow path of the working fluid.

이때, 플런져가 상하로 이동함에 따라 상기 플런져와 결합된 밸브 스프링과 상기 플런져를 수용하는 하우징이 충돌함에 따라 밸브 스프링이 손상되어 파손되는 문제가 있다.At this time, as the plunger moves up and down, there is a problem that the valve spring coupled with the plunger collides with the housing accommodating the plunger, thereby damaging and breaking the valve spring.

대한민국 등록특허공보 제10-1308082호 (발명의 명칭: 질량유량계, 공고일: 2013.09.12.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1308082 (Name of invention: mass flowmeter, date of announcement: 2013.09.12.)

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 질량유량계에 구비되는 플런져 몸체의 상면에 플런져 스프링을 결합시킴으로써, 플런져 몸체가 하우징의 상부로 이동하여 밸브를 개방할 때, 플런져 몸체의 하면과 결합된 밸브 스프링과 하우징의 충돌에 의하여 발생하는 밸브 스프링의 충격을 완화시켜 밸브 스프링의 내구성을 극대화하는 질량유량계의 플런져 장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved in the present invention is by coupling the plunger spring to the upper surface of the plunger body provided in the mass flowmeter, so that when the plunger body moves to the upper part of the housing and opens the valve, It is to provide a plunger device of a mass flow meter that maximizes the durability of the valve spring by mitigating the impact of the valve spring caused by the collision between the valve spring and the housing.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 가스 공급부에 형성된 제1 유로 및 노즐에 형성된 제2 유로를 개폐하고, 상기 가스 공급부 및 상기 노즐과 결합된 하우징 내부에 수용되는 질량유량계의 플런져 장치에 있어서, 상기 하우징 내부에 수용되는 플런져 몸체와, 상기 플런져 몸체 하부에 결합되며, 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 개폐하는 밸브 스프링과, 상기 플런져 몸체 상면에 결합되는 플런져 스프링을 포함하되, 상기 하우징은 상기 플런져 몸체의 적어도 일부분 및 상기 플런져 스프링이 수용되는 제1 공간부와, 상기 제1 공간부의 하부와 연결되되, 상기 제1 공간부의 직경보다 큰 직경으로 형성되고, 상기 플런져 몸체의 타부분 및 상기 밸브 스프링이 수용되는 제2 공간부를 포함하고, 상기 플런져 스프링은 판 스프링으로 구성되며, 상기 플런져 스프링은 상기 플런져 몸체 상면을 기준으로 중심부보다 가장자리부가 위쪽 방향 더 돌출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 질량유량계의 플런져 장치를 제공한다.In order to solve the above-described problem, the present invention opens and closes the first flow path formed in the gas supply unit and the second flow path formed in the nozzle, and provides a plunger device of a mass flow meter accommodated in a housing coupled to the gas supply unit and the nozzle. In addition, a plunger body accommodated in the housing, a valve spring coupled to a lower portion of the plunger body, opening and closing the first flow path and the second flow path, and a plunger spring coupled to an upper surface of the plunger body. Including, wherein the housing is connected to at least a portion of the plunger body and a first space portion in which the plunger spring is accommodated, and is connected to a lower portion of the first space portion, and is formed with a diameter larger than that of the first space portion, The other portion of the plunger body and a second space portion in which the valve spring is accommodated, the plunger spring is composed of a leaf spring, and the plunger spring has an edge portion above the center of the plunger body upper surface It provides a plunger device of a mass flow meter, characterized in that formed to protrude further in the direction.

여기서, 상기 플런져 몸체의 상면 중심부와 상기 플런져 스프링의 중심부는 용접에 의해 결합되고, 상기 플런져 몸체의 중심부와 이격되어 배치되며, 상기 플런져 몸체의 상면에 결합되는 제1 플런져 스프링 지지부를 더 포함하며, 상기 제1 플런져 스프링 지지부는 상기 플런져 스프링의 가장자리부를 지지할 수 있다.Here, the center of the upper surface of the plunger body and the center of the plunger spring are coupled by welding, are disposed to be spaced apart from the center of the plunger body, and a first plunger spring support unit coupled to the upper surface of the plunger body Further comprising, the first plunger spring support portion may support the edge portion of the plunger spring.

또한, 하단은 상기 플런져 몸체와 결합되고, 상단은 상기 플런져 스프링과 결합되어 상기 플런져 스프링을 지지하는 제2 플런져 스프링 지지부를 더 포함할 수 있다In addition, a lower end may further include a second plunger spring support portion coupled to the plunger body, and an upper end coupled to the plunger spring to support the plunger spring.

본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치는 플런져 몸체의 상면에 플런져 스프링을 결합시킴으로써, 플런져 몸체가 하우징의 상부로 이동하여 밸브를 개방할 때, 플런져 몸체의 하면과 결합된 밸브 스프링과 하우징의 충돌에 의하여 발생하는 밸브 스프링의 충격을 완화시켜 밸브 스프링의 내구성을 극대화할 수 있는 이점이 있다.The plunger device of the mass flowmeter according to the present invention connects the plunger spring to the upper surface of the plunger body, so that when the plunger body moves to the upper portion of the housing and opens the valve, the valve spring coupled with the lower surface of the plunger body There is an advantage of maximizing the durability of the valve spring by mitigating the impact of the valve spring caused by the collision between the and the housing.

도 1은 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치가 구비되는 질량유량계를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제1 실시예를 도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 질량유량계의 플런져 장치의 이동에 따른 제1 유로 및 제2 유로의 개폐를 설명한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제2 실시예를 도시한 도면이다.1 is a view showing a mass flow meter equipped with a plunger device of a mass flow meter according to the present invention.
2 is a view showing a first embodiment of the plunger device of the mass flow meter according to the present invention.
3 is a view illustrating opening and closing of the first flow path and the second flow path according to the movement of the plunger device of the mass flow meter of FIG. 1.
4 and 5 are views showing a second embodiment of a plunger device for a mass flow meter according to the present invention.

이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above-described problem to be solved may be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiments, the same names and the same reference numerals are used for the same components, and additional descriptions thereof will be omitted below.

도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제1 실시예를 설명하면 다음과 같다.1 to 3, a first embodiment of a plunger device of a mass flow meter according to the present invention will be described as follows.

본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치를 설명하기에 앞서, 질량유량계의 플런져 장치가 장착되는 질량유량계를 설명하면 다음과 같다.Prior to describing the plunger device of the mass flow meter according to the present invention, a mass flow meter in which the plunger device of the mass flow meter is mounted will be described as follows.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 질량유량계는 코어(100), 하우징(200), 가스 공급부(300), 노즐부(400) 및 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치를 포함한다.As shown in FIG. 1, the mass flow meter includes a core 100, a housing 200, a gas supply unit 300, a nozzle unit 400, and a plunger device of the mass flow meter according to the present invention.

상기 코어(100)는 보빈에 전기를 통과시킬 때 전자석이 되어, 자력을 이용해 상기 하우징(200) 내부의 공간에서 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치를 상측으로 들어올리는 역할을 한다.The core 100 becomes an electromagnet when passing electricity through the bobbin, and serves to lift the plunger device of the mass flow meter according to the present invention upward from the space inside the housing 200 using magnetic force.

상기 가스 공급부(300)는 가스가 이동하는 제1 유로(310)가 형성되어 있으며, 상기 노즐에는 상기 가스가 이동하는 제2 유로(410)가 형성되어 있고, 상기 하우징(200)은 상기 제1 유로(310)와 상기 제2 유로(410)를 이동하는 가스가 외부로 유출되지 않도록 하는 동시에 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치가 이동하는 공간이 형성된다.The gas supply unit 300 has a first flow path 310 through which gas moves, and a second flow path 410 through which the gas moves is formed in the nozzle, and the housing 200 includes the first flow path 310. A space in which the gas flowing through the flow path 310 and the second flow path 410 does not flow to the outside is prevented, and a space in which the plunger device of the mass flowmeter according to the present invention moves is formed.

즉, 상기 제1 유로(310)를 이동한 가스는 상기 하우징(200)의 내부 공간을 거쳐 상기 제2 유로(410)로 이동한다. 따라서, 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치가 상기 코어(100)에 의하여 상하이동할 때, 상기 제1 유로(310)와 상기 제2 유로(410)는 개방 및 폐쇄되어 가스의 흐름을 조절한다. That is, the gas that has moved through the first flow path 310 moves to the second flow path 410 through the inner space of the housing 200. Therefore, when the plunger device of the mass flowmeter according to the present invention moves up and down by the core 100, the first flow path 310 and the second flow path 410 are opened and closed to control the flow of gas. .

다시, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제1 실시예를 설명하면 다음과 같다.Again, referring to FIGS. 1 to 3, a first embodiment of a plunger device of a mass flowmeter according to the present invention will be described as follows.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제1 실시예는 플런져 몸체(500), 밸브 스프링(600), 플런져 스프링(700) 및 제1 플런져 스프링 지지부(800)를 포함한다.1 to 3, the first embodiment of the plunger device of the mass flow meter according to the present invention is a plunger body 500, a valve spring 600, a plunger spring 700, and a first plunger. It includes a lunger spring support (800).

상기 플런져 몸체(500)는 상기 하우징(200) 내부에 수용되어 상기 코어(100)의 자력에 의하여 상하로 이동한다. 이때, 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제1 실시예에 따른 상기 플런져 몸체(500)가 수용되는 상기 하우징(200)은 제1 공간부(210)와 제2 공간부(220)를 포함한다.The plunger body 500 is accommodated in the housing 200 and moves up and down by the magnetic force of the core 100. At this time, the housing 200 in which the plunger body 500 according to the first embodiment of the plunger device of the mass flowmeter according to the present invention is accommodated includes a first space part 210 and a second space part 220 Includes.

상기 제1 공간부(210)는 상기 플런져 몸체(500)의 적어도 일부분 및 후술하게 될 상기 플런져 스프링(700)이 수용되며, 상기 제2 공간부(220)는 상기 제1 공간부(210)의 하부와 연결되되, 상기 제1 공간부(210)의 직경보다 큰 직경으로 형성되고, 상기 플런져 몸체(500)의 타부분 및 후술하게 될 상기 밸브 스프링(600)이 수용되며, 상기 제1 공간부(210)와 상기 제2 공간부(220)에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.The first space part 210 accommodates at least a portion of the plunger body 500 and the plunger spring 700 to be described later, and the second space part 220 includes the first space part 210 ) Is connected to the lower portion of the first space portion 210, is formed to have a diameter larger than that of the first space portion 210, and accommodates the other portion of the plunger body 500 and the valve spring 600 to be described later, A detailed description of the first space part 210 and the second space part 220 will be described later.

상기 밸브 스프링(600)은 판 스프링으로 구성되어 상기 플런져 몸체(500) 하부에 결합되며, 상기 제2 공간부(220)에 수용되고, 상기 제1 유로(310) 및 상기 제2 유로(410)를 개폐한다. 이때, 상기 밸브 스프링(600)의 직경은 상기 제1 공간부(210)의 직경보다 큰 직경으로 형성된다.The valve spring 600 is composed of a leaf spring, is coupled to the lower portion of the plunger body 500, is accommodated in the second space portion 220, the first flow path 310 and the second flow path 410 ) To open and close. In this case, the diameter of the valve spring 600 is formed to be larger than the diameter of the first space portion 210.

이에 따라, 상기 플런져 몸체(500)가 상기 코어(100)에 의하여 상측으로 이동할 때, 상기 플런져 몸체(500)와 함께 상측으로 이동하다가 상기 제2 공간부(220)의 단부와 접촉함으로써 상기 플런져 몸체(500)의 이동을 제한한다.Accordingly, when the plunger body 500 moves upward by the core 100, it moves upward with the plunger body 500 and then contacts the end of the second space part 220, so that the It limits the movement of the plunger body 500.

이후, 상기 밸브 스프링(600)은 코어(100)가 자력을 잃을 때, 상기 플런져 몸체(500)가 중력에 의하여 하부로 이동하거나 또는 스프링의 복원력(탄성력)을 이용하여 상기 제1 유로(310)와 상기 제2 유로(410)를 폐쇄함으로써 가스의 이동을 제한할 수 있다.Thereafter, when the core 100 loses its magnetic force, the valve spring 600 moves the plunger body 500 downward by gravity or the first flow path 310 using the restoring force (elastic force) of the spring. ) And the second flow path 410 may be closed to limit the movement of gas.

상기 플런져 스프링(700)은 상기 플런져 몸체(500)의 상면에 결합되며, 상기 제1 공간부(210)에 수용되며, 본 실시예에 따른 질량유량계의 플런져 장치에서 상기 플런져 몸체(500)의 상면 중심부와 상기 플런져 스프링(700)의 중심부는 용접 또는 접착 등에 의해 결합된다.The plunger spring 700 is coupled to the upper surface of the plunger body 500, is accommodated in the first space part 210, and in the plunger device of the mass flow meter according to the present embodiment, the plunger body ( The center of the upper surface of 500) and the center of the plunger spring 700 are coupled by welding or bonding.

상기 제1 플런져 스프링 지지부(800)는 상기 플런져 몸체(500)의 중심부와 이격되어 배치되며, 상기 제1 플런져 스프링 지지부(800)는 상기 플런져 몸체(500)의 상면에 결합되어 상기 플런져 스프링(700)을 지지하여 상기 플런져 스프링(700)의 가장자리부가 위쪽 방향을 향하도록 한다.The first plunger spring support 800 is disposed to be spaced apart from the center of the plunger body 500, and the first plunger spring support 800 is coupled to the upper surface of the plunger body 500 The plunger spring 700 is supported so that the edge of the plunger spring 700 faces upward.

이때, 상기 제1 플런져 스프링 지지부(800)는 환형상으로 형성되어 상기 플런져 스프링(700)을 전체적으로 지지할 수도 있고, 또는 복수개로 구성되어 방사형으로 상기 플런져 몸체(500) 상면에 결합됨으로써 상기 플런져 스프링(700)을 영역별로 지지할 수 있다. At this time, the first plunger spring support portion 800 may be formed in an annular shape to support the plunger spring 700 as a whole, or consist of a plurality of the plunger spring support portion 800 by radially coupled to the upper surface of the plunger body 500 The plunger spring 700 may be supported for each area.

상기 제1 플런져 스프링 지지부(800)의 형상 또는 갯수가 변경되어도, 상기 제1 플런져 스프링 지지부(800)가 상기 플런져 스프링(700)을 지지함에 따라 상기 플런져 스프링(700)의 가장자리부는 중심부보다 위쪽 방향으로 돌출되도록 형성된다.Even if the shape or number of the first plunger spring support part 800 is changed, as the first plunger spring support part 800 supports the plunger spring 700, the edge of the plunger spring 700 It is formed so as to protrude upwardly than the center.

한편, 상기 플런져 몸체(500)가 상기 코일(100)의 자력에 의하여 상기 하우징(100) 내부에서 상측으로 이동할 때, 상기 플런져 몸체(500)는 정확하게 수직방향으로 이동하지 않고, 좌우로 진동하며 상측으로 이동하게 된다.On the other hand, when the plunger body 500 moves upward from the inside of the housing 100 by the magnetic force of the coil 100, the plunger body 500 does not accurately move in the vertical direction but vibrates left and right. And move upward.

이때, 상기 플런져 몸체(500)의 상면과 결합된 상기 플런져 스프링(700)의 가장자리부가 상기 제1 공간부(210) 상면에 먼저 접촉하고, 이후 상기 플런져 몸체(500)가 상기 제1 공간부(210) 내측으로 이동함에 따라, 상기 밸브 스프링(600)이 상기 제2 공간부(220) 상면에 접촉하게 된다.At this time, the edge portion of the plunger spring 700 coupled with the upper surface of the plunger body 500 first contacts the upper surface of the first space 210, and then the plunger body 500 As the space part 210 moves inside, the valve spring 600 comes into contact with the upper surface of the second space part 220.

즉, 상기 코어(100)의 자력에 의하여 상기 플런져 몸체(500)가 상측으로 이동해 상기 제1 유로(310) 및 상기 제2 유로(410)를 개방할 때, 상기 플런져 스프링(700)과 상기 제1 공간부(210) 상면의 접촉이 상기 밸브 스프링(600)과 제2 공간부(220) 상면의 접촉보다 먼저 이루어지게 된다. That is, when the plunger body 500 moves upward by the magnetic force of the core 100 to open the first flow path 310 and the second flow path 410, the plunger spring 700 and The contact between the upper surface of the first space part 210 is made before the contact between the upper surface of the valve spring 600 and the second space part 220.

따라서, 상기 플런져 몸체(500)의 하면과 결합된 상기 밸브 스프링(600)과 상기 하우징(200)의 충돌에 의하여 발생하는 상기 밸브 스프링(600)의 충격을 완화시킴으로써 상기 밸브 스프링(600)이 손상되어 파손되는 것을 방지할 수 있게 되므로, 상기 밸브 스프링(600)의 내구성을 극대화할 수 있게 된다.Therefore, by reducing the impact of the valve spring 600 caused by the collision between the valve spring 600 and the housing 200 coupled to the lower surface of the plunger body 500, the valve spring 600 Since it is possible to prevent damage and damage, it is possible to maximize the durability of the valve spring 600.

도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제2 실시예를 설명하면 다음과 같다.4 and 5, a second embodiment of the plunger device of the mass flow meter according to the present invention will be described as follows.

본 발명의 제2 실시예에 따른 질량유량계의 플런져 장치에서 하우징이 제1 공간부와 제2 공간부를 포함하고, 상기 플런져 몸체(500')가 상기 코어의 자력에 의하여 상하이동함으로써 상기 제1 유로와 제2 유로를 개폐하는 내용은 상술한 본 발명에 따른 질량유량계의 플런져 장치의 제1 실시예와 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략한다.In the plunger device of the mass flow meter according to the second embodiment of the present invention, the housing includes a first space part and a second space part, and the plunger body 500 ′ is moved upside down by the magnetic force of the core. Since the contents of opening and closing the first flow path and the second flow path are the same as those of the first embodiment of the plunger device of the mass flowmeter according to the present invention, a description thereof is omitted.

다만, 본 발명의 제2 실시예에 따른 질량유량계의 플런져 장치는 상술한 제1 실시예와 달리 제2 플런져 스프링 지지부(900a, 900b)를 포함한다. 또한, 상기 플런져 스프링(700')은 상기 제2 플런져 스프링 지지부(900a, 900b)에 의하여 상기 플런져 몸체(500')와 결합된다.However, the plunger device of the mass flowmeter according to the second embodiment of the present invention includes second plunger spring support portions 900a and 900b, unlike the first embodiment described above. Further, the plunger spring 700 ′ is coupled to the plunger body 500 ′ by the second plunger spring support portions 900a and 900b.

구체적으로, 상기 제2 플런져 스프링 지지부(900a, 900b)는 하단은 상기 플런져 몸체(500')와 결합되고, 상단은 상기 플런져 스프링(700')과 결합되어 상기 플런져 스프링(700')을 지지한다. 상기 제2 플런져 스프링 지지부(900a, 900b)는 도 4에서와 같이 한개의 부품으로 구성되어 상기 플런져 스프링(700')을 지지할 수도 있고, 도 5에서와 같이 복수개의 부품으로 구성되어 상기 플런져 스프링(700')을 지지할 수도 있다.Specifically, the second plunger spring support portion 900a, 900b has a lower end coupled to the plunger body 500', and an upper end coupled to the plunger spring 700' so that the plunger spring 700' ) Support. The second plunger spring support (900a, 900b) may be configured as a single component as shown in FIG. 4 to support the plunger spring (700'), or as a plurality of components as shown in FIG. It may also support the plunger spring 700'.

이로 인하여, 상기 코어의 자력에 의하여 상기 플런져 몸체(500')가 상측으로 이동해 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 개방할 때, 상기 플런져 스프링(700')과 상기 제1 공간부 상면의 접촉이 상기 밸브 스프링(600')과 제2 공간부 상면의 접촉보다 먼저 이루어지게 된다. Accordingly, when the plunger body 500 ′ moves upward by the magnetic force of the core to open the first flow path and the second flow path, the plunger spring 700 ′ and the upper surface of the first space The contact of is made before the contact between the valve spring 600' and the upper surface of the second space.

따라서, 상기 플런져 몸체(500')의 하면과 결합된 상기 밸브 스프링(600')과 상기 하우징의 충돌에 의하여 발생하는 상기 밸브 스프링(600')의 충격을 완화시킴으로써 상기 밸브 스프링(600')이 손상되어 파손되는 것을 방지할 수 있게 되므로, 상기 밸브 스프링(600')의 내구성을 극대화할 수 있게 된다.Accordingly, the valve spring 600 ′ by reducing the impact of the valve spring 600 ′ caused by the collision between the valve spring 600 ′ coupled to the lower surface of the plunger body 500 ′ and the housing. Since it can be prevented from being damaged and damaged, durability of the valve spring 600' can be maximized.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various modifications are implemented by those of ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. It is possible and such modifications are within the scope of the present invention.

100: 코어
200: 하우징
210: 제1 공간부
220: 제2 공간부
300: 가스 공급부
310: 제1 유로
400: 노즐부
410: 제2 유로
500, 500': 플런져 몸체
600, 600': 밸브 스프링
700, 700': 플런져 스프링
800: 제1 플런져 스프링 지지부
900a, 900b: 제2 플런져 스프링 지지부100: core
200: housing
210: first space portion
220: second space part
300: gas supply
310: first euro
400: nozzle part
410: second euro
500, 500': plunger body
600, 600': valve spring
700, 700': plunger spring
800: first plunger spring support
900a, 900b: second plunger spring support

Claims (3)

가스 공급부에 형성된 제1 유로 및 노즐에 형성된 제2 유로를 개폐하고, 상기 가스 공급부 및 상기 노즐과 결합된 하우징 내부에 수용되는 질량유량계의 플런져 장치에 있어서,
상기 하우징 내부에 수용되는 플런져 몸체;
상기 플런져 몸체 하부에 결합되며, 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 개폐하는 밸브 스프링;
상기 플런져 몸체 상면에 결합되는 플런져 스프링;을 포함하되,
상기 하우징은,
상기 플런져 몸체의 적어도 일부분 및 상기 플런져 스프링이 수용되는 제1 공간부; 및
상기 제1 공간부의 하부와 연결되되, 상기 제1 공간부의 직경보다 큰 직경으로 형성되고, 상기 플런져 몸체의 타부분 및 상기 밸브 스프링이 수용되는 제2 공간부;를 포함하고,
상기 플런져 스프링은 판 스프링으로 구성되며,
상기 플런져 스프링은 상기 플런져 몸체 상면을 기준으로 중심부보다 가장자리부가 위쪽 방향 더 돌출되도록 형성되고,
상기 플런져 몸체의 상면 중심부와 상기 플런져 스프링의 중심부는 용접에 의해 결합되고,
상기 플런져 몸체의 중심부와 이격되어 배치되며, 상기 플런져 몸체의 상면에 결합되는 제1 플런져 스프링 지지부를 더 포함하며,
상기 제1 플런져 스프링 지지부는 상기 플런져 스프링의 가장자리부를 지지하는 것을 특징으로 하는 질량유량계의 플런져 장치.In the plunger device of a mass flow meter accommodated in a housing coupled to the gas supply unit and the nozzle by opening and closing the first flow path formed in the gas supply unit and the second flow path formed in the nozzle,
A plunger body accommodated in the housing;
A valve spring coupled to a lower portion of the plunger body and opening and closing the first flow path and the second flow path;
Including; a plunger spring coupled to the upper surface of the plunger body,
The housing,
A first space in which at least a portion of the plunger body and the plunger spring are accommodated; And
And a second space connected to the lower portion of the first space, formed to have a diameter larger than the diameter of the first space, and accommodating the other part of the plunger body and the valve spring,
The plunger spring is composed of a leaf spring,
The plunger spring is formed so that an edge portion protrudes more upward than a center portion based on an upper surface of the plunger body,
The center of the upper surface of the plunger body and the center of the plunger spring are coupled by welding,
The plunger body further comprises a first plunger spring support that is disposed to be spaced apart from the center of the plunger body and coupled to the upper surface of the plunger body,
The plunger device of a mass flowmeter, wherein the first plunger spring support part supports an edge of the plunger spring. 가스 공급부에 형성된 제1 유로 및 노즐에 형성된 제2 유로를 개폐하고, 상기 가스 공급부 및 상기 노즐과 결합된 하우징 내부에 수용되는 질량유량계의 플런져 장치에 있어서,
상기 하우징 내부에 수용되는 플런져 몸체;
상기 플런져 몸체 하부에 결합되며, 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 개폐하는 밸브 스프링;
상기 플런져 몸체 상면에 결합되는 플런져 스프링;을 포함하되,
상기 하우징은,
상기 플런져 몸체의 적어도 일부분 및 상기 플런져 스프링이 수용되는 제1 공간부; 및
상기 제1 공간부의 하부와 연결되되, 상기 제1 공간부의 직경보다 큰 직경으로 형성되고, 상기 플런져 몸체의 타부분 및 상기 밸브 스프링이 수용되는 제2 공간부;를 포함하고,
상기 플런져 스프링은 판 스프링으로 구성되며,
상기 플런져 스프링은 상기 플런져 몸체 상면을 기준으로 중심부보다 가장자리부가 위쪽 방향 더 돌출되도록 형성되고,
하단은 상기 플런져 몸체와 결합되고, 상단은 상기 플런져 스프링과 결합되어 상기 플런져 스프링을 지지하는 제2 플런져 스프링 지지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 질량유량계의 플런져 장치.In the plunger device of a mass flow meter accommodated in a housing coupled to the gas supply unit and the nozzle by opening and closing the first flow path formed in the gas supply unit and the second flow path formed in the nozzle,
A plunger body accommodated in the housing;
A valve spring coupled to a lower portion of the plunger body and opening and closing the first flow path and the second flow path;
Including; a plunger spring coupled to the upper surface of the plunger body,
The housing,
A first space in which at least a portion of the plunger body and the plunger spring are accommodated; And
And a second space connected to the lower portion of the first space, formed to have a diameter larger than the diameter of the first space, and accommodating the other part of the plunger body and the valve spring,
The plunger spring is composed of a leaf spring,
The plunger spring is formed so that an edge portion protrudes more upward than a center portion based on an upper surface of the plunger body,
A plunger device of a mass flowmeter, further comprising: a lower end coupled to the plunger body, and an upper end coupled to the plunger spring to support the plunger spring. 삭제delete
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KR20080007479A (en) * 2005-04-26 2008-01-21 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 Valve assembly having articulating rigid seating surface
JP3151299U (en) * 2009-04-06 2009-06-18 株式会社鷺宮製作所 Pressure operated control valve
KR101308082B1 (en) 2011-06-28 2013-09-12 엠케이프리시젼 주식회사 Mass Flow Meter and Controller

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