KR102156555B1 - Glass film laminate - Google Patents

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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

두께가 200㎛ 이하인 가요성을 갖는 유리 필름(3)과, 유리 필름(3)을 지지하는 지지 유리(2)의 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면(3a, 2a)의 표면 거칠기(Ra)를 2.0㎚ 이하로 하고, 그 양쪽 접합면(3a, 2a)을 면접촉시킴으로써 유리 필름(3)과 지지 유리(2)를 겹친 유리 필름 적층체(1)에 있어서, 지지 유리(2)의 접합면(2a)에 돌기(2b)가 형성되고, 또한 그 돌기(2b)의 접합면(2a)으로부터의 돌출 치수(H)를 0.3~5㎛로 했다.The surfaces of the bonding surfaces 3a and 2a, which are the surfaces on the side in contact with each other of the glass film 3 having flexibility having a thickness of 200 μm or less and the supporting glass 2 supporting the glass film 3 In the glass film laminate 1 in which the glass film 3 and the support glass 2 are stacked by making the roughness (Ra) 2.0 nm or less and making both the bonding surfaces 3a and 2a surface-contact, the support glass ( The protrusion 2b was formed on the bonding surface 2a of 2), and the protrusion dimension H of the protrusion 2b from the bonding surface 2a was 0.3 to 5 μm.

Figure 112015080127198-pct00002
Figure 112015080127198-pct00002

Description

유리 필름 적층체{GLASS FILM LAMINATE}Glass film laminated body {GLASS FILM LAMINATE}

본 발명은 두께가 200㎛ 이하인 가요성을 갖는 유리 필름과, 상기 유리 필름을 지지하는 지지 유리를 겹친 유리 필름 적층체에 관한 것이다.The present invention relates to a glass film laminate in which a flexible glass film having a thickness of 200 μm or less and a supporting glass supporting the glass film are stacked.

주지와 같이, 액정 패널은 박막 트랜지스터나 투명 전극이 패턴 형성된 TFT 기판과, BM, RGB, 포토 스페이서가 패턴 형성된 컬러 필터 기판의 2매의 유리 기판을 구비하고 있다. 양쪽 기판은 이것들의 둘레 가장자리부를 따라 도포된 밀봉재를 사이에 두고 접합되어 있고, 기판간에 있어서 밀봉재로 둘러싸이는 영역에는 액정 재료가 봉입되어 있다.As is well known, a liquid crystal panel includes two glass substrates: a TFT substrate on which a thin film transistor or transparent electrode is patterned, and a color filter substrate on which BM, RGB, and photo spacers are patterned. Both of the substrates are bonded with the sealing material applied along the periphery thereof, and a liquid crystal material is enclosed between the substrates in a region surrounded by the sealing material.

여기에서, 기판간의 간격인 셀 갭은 소정 치수로 균일하게 유지되는 것이 요구된다. 그러나, 기판 중에 기포나 이물이 혼입되어 있을 경우에는 기판의 표면에 볼록 형상으로 부풀어 오른 돌기가 형성되어, 셀 갭이 국소적으로 불균일한 상태로 된다. 이 돌기의 돌출 치수는 그 허용값이 대체로 0.3㎛ 미만으로 되어있고, 이것을 초과하면 액정 패널을 점등했을 때에 화상에 얼룩이나 흑점 등의 표시 불균일이 발생해 버린다. 또한, 유리의 표면에 유리가루 등의 이물이 부착되어서 돌기가 형성되었을 경우에는, 유리 기판의 표면에 회로를 형성하는 것 자체가 곤란해져서 불량이 된다. 그 때문에, 허용값을 초과하는 돌기가 형성된 불량인 기판은 제품용의 유리 기판으로서 채용할 수 없다.Here, the cell gap, which is the distance between the substrates, is required to be uniformly maintained in a predetermined dimension. However, when air bubbles or foreign substances are mixed in the substrate, protrusions bulging in a convex shape are formed on the surface of the substrate, and the cell gap is locally uneven. The protrusion dimension of this protrusion is generally less than 0.3 µm, and if this is exceeded, uneven display such as unevenness or black spots will occur in the image when the liquid crystal panel is lit. In addition, when a protrusion is formed by adhering to the surface of the glass a foreign matter such as glass powder, it becomes difficult to form a circuit on the surface of the glass substrate, resulting in a defect. Therefore, a defective substrate in which projections exceeding an allowable value are formed cannot be employed as a glass substrate for products.

그래서, 이 불량인 기판을 제품용의 유리 기판으로서가 아니라, 유리 필름 적층체의 지지 유리로서 이용하는 것이 검토되고 있다. 유리 필름 적층체는 박육화(예를 들면, 판 두께가 200㎛)된 가요성을 갖는 유리 필름과, 이것을 지지하는 지지 유리의 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면의 표면 거칠기(Ra)를 2.0㎚ 이하로 하고, 양쪽 접합면을 면접촉시킴으로써 유리 필름과 지지 유리를 겹친 것이다(특허문헌 1을 참조).Therefore, it has been studied to use this defective substrate not as a glass substrate for products, but as a supporting glass for a glass film laminate. The glass film laminate is a flexible glass film having a thickness of 200 μm (for example, a plate thickness of 200 μm), and the surface roughness of the bonded surface that is the side of each of the supporting glass that is in contact with each other. ) Is set to 2.0 nm or less, and the glass film and the supporting glass are stacked by making both bonding surfaces surface-contact (refer to Patent Document 1).

이 유리 필름 적층체에 의하면, 지지 유리와 겹침으로써 유리 필름의 휘기 쉬운 성질이 일시적으로 배제됨과 아울러, 양쪽 유리가 적절하게 밀착되어 일체인 것으로서 되게 된다. 이 때문에, 판유리 제품의 제조 공정에 있어서의 유리 필름의 취급이 매우 간편해진다. 또한, 양쪽 유리를 밀착시키기 위해서 접착제 등의 결합제를 사용할 필요가 없고, 소망의 타이밍에 유리 필름과 지지 유리를 용이하게 박리시키는 것이 가능하다.According to this glass film layered product, the flexible property of the glass film is temporarily eliminated by overlapping with the supporting glass, and both glasses are properly adhered to each other to form an integral one. For this reason, handling of the glass film in the manufacturing process of a plate glass product becomes very simple. Moreover, it is not necessary to use a binder such as an adhesive in order to adhere both glasses, and it is possible to easily peel the glass film and the supporting glass at a desired timing.

일본 특허공개 2011-183792호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2011-183792

여기에서, 불량인 기판을 지지 유리로 한 유리 필름 적층체를 이용하여 판유리 제품을 제조하는 형태 중 하나로서는, 이하와 같은 것을 들 수 있다. 즉, 액정 패널의 제조에 있어서 돌기를 갖는 불량인 유리 기판을 지지 유리로 한 유리 필름 적층체를 2체 준비하여 한쪽을 TFT 공정, 다른쪽을 컬러 필터 공정으로 유동하고, 양쪽 적층체에 있어서의 유리 필름 상에 회로를 형성하여 각각 TFT 기판, 컬러 필터 기판으로 한다. 그리고, 셀 공정에서 밀봉재를 도포하고, 액정 재료를 적하한 후, TFT 기판과 컬러 필터 기판이 대향하도록 양쪽 적층체를 접합시킨다. 그 후, 양쪽 적층체의 각각에 있어서 불량인 기판을 박리시켜, TFT 기판과 컬러 필터 기판의 2매의 유리 기판만이 접합된 상태로 한다.Here, the following are mentioned as one of the forms of manufacturing a plate glass product using the glass film laminated body which made the defective board|substrate as a supporting glass. That is, in the production of a liquid crystal panel, two glass film laminates using a defective glass substrate having a protrusion as a supporting glass were prepared, one of them was flowed through a TFT process and the other was a color filter process. A circuit is formed on a glass film, and it is set as a TFT substrate and a color filter substrate, respectively. Then, after applying a sealing material in the cell process and dropping the liquid crystal material, both laminates are bonded so that the TFT substrate and the color filter substrate face each other. After that, the defective substrates in each of both laminates are peeled off, so that only two glass substrates of a TFT substrate and a color filter substrate are bonded together.

이렇게 하면, 제품용으로서는 채용할 수 없는 불량인 기판을 지지 유리로서 유효하게 활용할 수 있는 것으로 상정되었다. 그러나, 이와 같은 형태에 의해 제조된 액정 패널의 일부는 불량인 기판에 형성된 허용값을 초과하는 돌기에 기인하여 상기 기판으로부터 박리시킨 후의 TFT 기판, 또는 컬러 필터 기판에 있어서 돌기와 겹쳐져 있던 부위에 볼록부가 잔존해 버릴 경우가 있다. 그 결과, 셀 갭이 국소적으로 불균일한 상태가 되어 완성된 액정 패널의 품질의 저하를 초래하거나, 제품으로서 사용할 수 없게 되거나 하는 문제가 있었다.In this way, it was assumed that a defective substrate that cannot be employed for a product can be effectively utilized as a supporting glass. However, some of the liquid crystal panels manufactured by such a form may have protrusions formed on the defective substrate due to the protrusions exceeding the allowable value, and thus the convex portion on the TFT substrate after being peeled off from the substrate or the portion overlapping the protrusion in the color filter substrate. It may be left behind. As a result, there is a problem in that the cell gap is locally uneven, resulting in a deterioration in the quality of the finished liquid crystal panel, or making it impossible to use as a product.

또한, 이와 같은 문제는 액정 패널용으로서 불량인 유리 기판을 유리 필름 적층체의 지지 유리로서 이용할 경우뿐만 아니라, 허용값을 초과하는 돌기가 형성되어 있음으로써 각종 디스플레이용, 센서용, 커버용 등으로서 채용할 수 없는 유리 기판을 지지 유리로서 이용했을 경우에도 마찬가지로 발생하고 있는 문제이다.In addition, such a problem is not only when using a defective glass substrate for a liquid crystal panel as a supporting glass of a glass film laminate, but also as a protrusion exceeding the permissible value, which is used for various displays, sensors, covers, etc. It is a problem similarly occurring even when a glass substrate that cannot be employed is used as a supporting glass.

상기 사정을 감안하여 이루어진 본 발명은 불량인 유리 기판을 지지 유리로 한 유리 필름 적층체를 이용하여 액정 패널을 제조할 경우에, 상기 액정 패널의 제조에 적합한 유리 필름 적층체를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention made in view of the above circumstances is to provide a glass film laminate suitable for manufacturing the liquid crystal panel in the case of manufacturing a liquid crystal panel using a glass film laminate having a defective glass substrate as a supporting glass. To

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명은 두께가 200㎛ 이하인 가요성을 갖는 유리 필름과, 그 유리 필름을 지지하는 지지 유리의 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면의 표면 거칠기(Ra)를 2.0㎚ 이하로 하고, 그 양쪽 접합면을 면접촉시킴으로써 상기 유리 필름과 상기 지지 유리를 겹친 유리 필름 적층체에 있어서, 상기 지지 유리의 접합면에 돌기가 형성되고, 또한 그 돌기의 접합면으로부터의 돌출 치수가 0.3~5㎛인 것으로 특징지어진다. 여기에서, 지지 유리에 대해서 「접합면의 표면 거칠기(Ra)」란, 접합면에 있어서 돌기가 형성된 부위를 제외하고 표면 거칠기를 측정했을 경우에 있어서의 Ra의 값을 말한다. 또한, 「돌출 치수」란, 접합면에 복수의 돌기가 형성되어 있을 경우에는 각 돌기의 돌출 치수 중 최대인 것을 말한다.The present invention invented in order to solve the above problems is the surface roughness of the bonding surface, which is the surface on the side in contact with each of a glass film having a thickness of 200 μm or less and a support glass supporting the glass film ( Ra) is 2.0 nm or less, and in a glass film laminate in which the glass film and the supporting glass are stacked by surface-contacting both bonding surfaces, a protrusion is formed on the bonding surface of the supporting glass, and the projections are joined It is characterized by having a protruding dimension from the plane of 0.3-5 μm. Here, with respect to the supporting glass, "surface roughness (Ra) of the bonding surface" refers to the value of Ra in the case where the surface roughness is measured excluding the portion where the projection is formed on the bonding surface. In addition, the "protrusion dimension" means the largest of the protrusion dimensions of each protrusion when a plurality of protrusions are formed on the bonding surface.

이와 같은 구성에 의하면, 유리 필름과 지지 유리를 박리시켰을 때에 유리 필름에 있어서 돌기와 겹쳐져 있던 부위에 볼록부가 잔존하는 것을 회피할 수 있고, 상기 유리 필름을 구비한 액정 패널에 대해서 그 품질의 저하를 방지하는 것이 가능했다. 이와 같은 효과가 얻어지는 것은 이하와 같은 이유에 의한 것으로 상정되고 있다. 즉, 돌기가 형성된 지지 유리 상에 유리 필름을 겹쳤을 경우, 돌기와 겹쳐진 부위에는 돌기 자체나, 돌기의 근방에 있어서 유리 필름과 지지 유리 사이에 들어간 기포에 의해 볼록부가 형성된다. 그러나, 유리 필름과 지지 유리를 박리시킨 후에 있어서는, 가요성을 갖는 유리 필름의 표면에 대기압이 균일하게 부하됨으로써 볼록부가 평탄, 또는 대략 평탄한 상태로 복원되어 있는 것으로 상정된다. 그리고, 볼록부를 이러한 상태로 복원할 수 있는 조건으로서 돌기의 접합면으로부터의 돌출 치수가 5㎛ 이하인 것이 조건으로 되어 있는 것으로 생각된다. 이상으로부터, 이 유리 필름 적층체에 의하면 바람직하게 액정 패널의 제조를 실시하는 것이 가능해진다.According to such a configuration, when the glass film and the supporting glass are peeled off, it is possible to avoid the remaining convex portions in the portion overlapping with the projections in the glass film, and to prevent the deterioration of the quality of the liquid crystal panel provided with the glass film. It was possible to do. It is assumed that such an effect is obtained due to the following reasons. That is, when the glass film is overlaid on the supporting glass on which the protrusions are formed, the protrusion itself is formed at the portion where the protrusion overlaps with the protrusion itself or by air bubbles that have entered between the glass film and the support glass in the vicinity of the protrusion. However, after peeling the glass film and the supporting glass, it is assumed that the convex portion is restored to a flat or substantially flat state by uniformly applying atmospheric pressure to the surface of the flexible glass film. It is considered that the protrusion dimension of the protrusion from the bonding surface is 5 mu m or less as a condition for restoring the convex portion to such a state. From the above, according to this glass film laminated body, it becomes possible to manufacture a liquid crystal panel preferably.

상기 구성에 있어서, 상기 지지 유리는 리사이클 사용품인 것이 바람직하다.In the above configuration, it is preferable that the support glass is a recycled product.

이렇게 하면, 이 지지 유리를 리사이클 사용하는 한 액정 패널의 제조에 바람직한 유리 필름 적층체를 반복 제작하는 것이 가능해진다. 또한, 리사이클 사용 함으로써 제조 비용의 고등(高騰)을 회피할 수 있다.In this way, as long as this supporting glass is recycled, it becomes possible to repeatedly produce a glass film laminate suitable for production of a liquid crystal panel. In addition, high production cost can be avoided by recycling.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

이상과 같이, 본 발명에 의한 유리 필름 적층체에 의하면 바람직하게 액정 패널의 제조를 실시하는 것이 가능해진다.As described above, according to the glass film laminate according to the present invention, it becomes possible to preferably manufacture a liquid crystal panel.

도 1a는 본 발명의 실시형태에 의한 유리 필름 적층체를 나타내는 종단 측면도이다.
도 1b는 도 1a에 있어서의 A부를 확대한 확대도이며, 지지 유리에 형성된 돌기의 근방을 나타내는 도면이다.
도 1c는 도 1b에 있어서의 Z1-Z1 단면을 나타내는 도면이다.
도 2a는 지지 유리에 형성된 돌기의 근방을 나타내는 도면이다.
도 2b는 도 2a에 있어서의 Z2-Z2 단면을 나타내는 도면이다.
도 3a는 본 발명의 실시형태에 의한 유리 필름 적층체를 사용한 액정 패널의 제조 공정을 나타내는 종단 측면도이다.
도 3b는 본 발명의 실시형태에 의한 유리 필름 적층체를 사용한 액정 패널의 제조 공정을 나타내는 종단 측면도이다.1A is a longitudinal side view showing a glass film laminate according to an embodiment of the present invention.
Fig. 1B is an enlarged view of an enlarged portion A in Fig. 1A, and is a view showing the vicinity of a protrusion formed on a supporting glass.
Fig. 1C is a diagram showing a cross section Z1-Z1 in Fig. 1B.
2A is a view showing the vicinity of a projection formed on a supporting glass.
Fig. 2B is a diagram showing a cross section Z2-Z2 in Fig. 2A.
3A is a longitudinal side view showing a manufacturing process of a liquid crystal panel using a glass film laminate according to an embodiment of the present invention.
3B is a longitudinal side view showing a manufacturing process of a liquid crystal panel using the glass film laminate according to the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 첨부의 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시형태에 있어서는 유리 필름 적층체의 지지 유리로서 액정 패널용의 유리 기판으로서는 채용할 수 없는 불량인 유리 기판을 사용하고 있다. 그러나, 후술하는 바와 같이 본 발명에 의한 유리 필름 적층체는 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in the embodiment described below, a defective glass substrate that cannot be adopted as a glass substrate for a liquid crystal panel is used as a supporting glass of a glass film laminate. However, as described later, the glass film laminate according to the present invention is not limited to such a configuration.

도 1a는 본 발명의 실시형태에 의한 유리 필름 적층체를 나타내는 종단 측면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 유리 필름 적층체(1)는 유리 필름(3)과, 상기 유리 필름(3)을 지지하는 지지 유리(2)의 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면(3a, 2a)의 표면 거칠기(Ra)를 2.0㎚ 이하로 하고, 양쪽 접합면(3a, 2a)을 면접촉시킴으로써 지지 유리(2)와 유리 필름(3)을 겹친 것이다. 또한, 지지 유리(2), 및 유리 필름(3)의 재질로서는 소다라임 유리, 무알칼리 유리 등의 다양한 재질의 것을 사용 가능하지만, 강도나 내구성의 관점에서 무알칼리 유리를 사용하는 것이 바람직하다.1A is a longitudinal side view showing a glass film laminate according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the glass film laminated body 1 is a laminated surface that is a side of the glass film 3 and the support glass 2 that supports the glass film 3, which are in contact with each other. The support glass 2 and the glass film 3 are stacked by making the surface roughness (Ra) of (3a, 2a) 2.0 nm or less, and making both bonding surfaces 3a and 2a surface-contact. Further, as the material of the supporting glass 2 and the glass film 3, various materials such as soda-lime glass and alkali-free glass can be used, but it is preferable to use an alkali-free glass from the viewpoint of strength and durability.

지지 유리(2)는 도 1b(도 1a의 A부를 확대한 확대도), 및 도 1c(도 1b에 있어서의 Z1-Z1 단면)에 나타내는 바와 같이, 유리 필름(3)과 접촉하는 측의 면이 되는 접합면(2a)에 상기 접합면(2a)으로부터의 돌출 치수(H)가 0.3~5㎛인, 허용값을 초과한 돌기(2b)가 형성되어 있어 액정 패널용의 유리 기판으로서는 채용할 수 없는 불량인 유리 기판(TFT 기판, 또는 컬러 필터 기판)이다. 이 돌기(2b)는 지지 유리(2) 중에 혼입된 기포(B)에 의해 접합면(2a)이 볼록 형상으로 부풀어 오름으로써 형성되어 있다. 여기에서, 접합면(2a)에 있어서의 표면 거칠기(Ra)는 돌기(2b)가 형성된 부위를 제외하고 표면 거칠기(산술 평균 거칠기)를 측정했을 경우에 있어서의 Ra의 값이다. 또한, 이 지지 유리(2)는 리사이클 사용품으로 되어 있어, 유리 필름 적층체(1)의 제작에 반복 사용된다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 지지 유리(2)로서 그 두께가 0.3~0.7㎜인 것을 사용하고 있다.The supporting glass 2 is a surface on the side in contact with the glass film 3 as shown in Fig. 1B (an enlarged view of the portion A in Fig. 1A) and Fig. 1C (Z1-Z1 cross section in Fig. 1B). A protrusion 2b exceeding the allowable value is formed on the bonding surface 2a, which has a protruding dimension (H) of 0.3 to 5 μm from the bonding surface 2a, which is not suitable for use as a glass substrate for liquid crystal panels. It is a glass substrate (TFT substrate or color filter substrate) which is a defect that cannot be used. This protrusion 2b is formed by bulging the bonding surface 2a into a convex shape by the air bubbles B mixed in the support glass 2. Here, the surface roughness Ra in the bonding surface 2a is a value of Ra in the case of measuring the surface roughness (arithmetic mean roughness) excluding the portion where the protrusion 2b is formed. In addition, this supporting glass 2 is a recycled product, and is repeatedly used in the production of the glass film laminate 1. In addition, in this embodiment, what has a thickness of 0.3-0.7 mm is used as the support glass 2.

또한, 본 실시형태에 있어서는 지지 유리(2) 중에 혼입된 기포(B)에 기인하여 돌기(2b)가 형성되어 있지만, 이 밖에 지지 유리(2) 중에 혼입된 이물이나, 도2a, 및 도 2b(도 2a에 있어서의 Z2-Z2 단면)에 나타내는 바와 같이, 접합면(2a)에 부착된 부착물(8)(예를 들면, 유리가루 등)에 기인하여 돌기(2b)가 형성될 경우도 있다. 또한, 도 1a에 있어서는 설명의 간편함을 위해 돌기(2b)를 하나만 도시하고 있지만, 실제로는 접합면(2a)에 다수의 돌기(2b)가 형성되는 것이 통상이다.Further, in the present embodiment, the protrusion 2b is formed due to the air bubbles B mixed in the support glass 2, but other foreign matters mixed in the support glass 2 and Figs. 2A and 2B. As shown in (Z2-Z2 cross section in Fig. 2A), the protrusion 2b may be formed due to the attachment 8 (for example, glass powder, etc.) attached to the bonding surface 2a. . In addition, although only one projection 2b is shown in FIG. 1A for simplicity of explanation, in reality, it is common for a plurality of projections 2b to be formed on the bonding surface 2a.

여기에서, 지지 유리(2)의 접합면(2a)에 대해서 10㎠당 형성되는 돌기(2b)의 개수로서는 2개 이하인 것이 바람직하고, 1개인 것이 가장 바람직하다. 또한, 돌기(2b)의 최대폭으로서는 10㎛~100㎛의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, 지지 유리(2)와 겹치는 유리 필름(3)의 두께가 100㎛를 초과할 경우에는, 돌기(2b)의 접합면(2a)으로부터의 돌출 치수(H)가 0.3㎛~2.5㎛의 범위 내인 것이 바람직하다.Here, the number of protrusions 2b formed per 10 cm 2 with respect to the bonding surface 2a of the supporting glass 2 is preferably 2 or less, and most preferably one. In addition, the maximum width of the protrusion 2b is preferably in the range of 10 µm to 100 µm. In addition, when the thickness of the glass film 3 overlapping with the support glass 2 exceeds 100 μm, the protrusion dimension H of the protrusion 2b from the bonding surface 2a is in the range of 0.3 μm to 2.5 μm. It is desirable to be internal.

유리 필름(3)은 그 판 두께가 200㎛ 이하로 되어 있고, 가요성을 갖고 있다. 그리고, 지지 유리(2) 상에 겹쳐진 유리 필름(3)에는 (1) 지지 유리(2)의 접합면(2a)에 형성된 돌기(2b)와, (2) 도 1b, 및 도 1c에 나타내는 돌기(2b)의 근방에 있어서, 양쪽 접합면(2a, 3a) 사이에 들어간 기포(도시 생략)의 (1), (2) 쌍방에 의해 볼록부(3b)가 형성되어 있다.The glass film 3 has a sheet thickness of 200 µm or less and has flexibility. In addition, in the glass film 3 superimposed on the support glass 2, (1) a protrusion 2b formed on the bonding surface 2a of the support glass 2, and (2) the protrusions shown in FIGS. 1B and 1C In the vicinity of (2b), the convex portion 3b is formed by both (1) and (2) of air bubbles (not shown) that have entered between the both bonding surfaces 2a and 3a.

여기에서, 유리 필름 적층체(1)에 있어서 유리 필름(3)과 지지 유리(2)의 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면(3a, 2a)의 표면 거칠기(Ra)가 2.0㎚ 이하로 되어있음으로써 양쪽 유리(2, 3) 사이에는 적당한 밀착력이 발생한다. 이 밀착력은 수소결합에 기인해서 발생하고 있는 것으로 상정되고 있다. 또한, 양쪽 유리(2, 3)를 밀착시키기 위해서 접착제 등의 결합제를 사용할 필요가 없고, 소망의 타이밍에 유리 필름(3)과 지지 유리(2)를 용이하게 박리시키는 것이 가능하다.Here, for each of the glass film 3 and the support glass 2 in the glass film laminate 1, the surface roughness Ra of the bonding surfaces 3a and 2a serving as the surfaces in contact with each other is 2.0 When it is less than nm, a suitable adhesion is generated between both glasses 2 and 3. It is assumed that this adhesion is caused by hydrogen bonding. Moreover, it is not necessary to use a binder such as an adhesive in order to adhere both glasses 2 and 3, and it is possible to easily peel the glass film 3 and the supporting glass 2 at a desired timing.

이하, 상기 유리 필름 적층체(1)를 사용하여 액정 패널을 제조할 경우의 제조 공정, 및 작용에 대해서 첨부의 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 액정 패널의 제조 공정에 있어서, 상기 유리 필름 적층체(1)에 구비된 유리 필름(3)은 TFT 기판이다.Hereinafter, a manufacturing process and an action when manufacturing a liquid crystal panel using the said glass film laminated body 1 are demonstrated with reference to the attached drawings. In addition, in the manufacturing process of a liquid crystal panel described below, the glass film 3 provided in the said glass film laminated body 1 is a TFT substrate.

우선, 상기 유리 필름 적층체(1)에 추가해서 새롭게 도 3a에 나타내는 바와 같은 지지 유리(6)와, 유리 필름으로서의 컬러 필터 기판(7)을 겹친 유리 필름 적층체(5)가 제작된다. 지지 유리(6)와 컬러 필터 기판(7) 각각은 유리 필름 적층체(1)에 있어서의 지지 유리(2)와 TFT 기판(3)과 마찬가지로, 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면(6a, 7a)의 표면 거칠기(Ra)가 2.0㎚ 이하로 되어있고, 지지 유리(6)와 컬러 필터 기판(7)이 적당하게 밀착되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 지지 유리(6)는 지지 유리(1)와 마찬가지로 액정 패널의 제품용으로서는 채용할 수 없는 불량인 유리 기판이며, 지지 유리(6)의 접합면(6a)에 형성된 돌기(6b)의 돌출 치수는 0.3~5㎛로 되어 있다. 또한, 이 지지 유리(6)는 리사이클 사용품이다.First, in addition to the glass film laminate 1, a glass film laminate 5 in which a support glass 6 as shown in FIG. 3A and a color filter substrate 7 as a glass film are newly stacked is produced. Each of the supporting glass 6 and the color filter substrate 7 is a bonding surface 6a that becomes a side in contact with each other, similar to the supporting glass 2 and the TFT substrate 3 in the glass film laminate 1 , 7a) has a surface roughness Ra of 2.0 nm or less, and the support glass 6 and the color filter substrate 7 are properly adhered to each other. In addition, in this embodiment, the supporting glass 6 is a defective glass substrate that cannot be adopted for a product of a liquid crystal panel, similar to the supporting glass 1, and is a protrusion formed on the bonding surface 6a of the supporting glass 6 The protruding dimension of (6b) is 0.3 to 5 μm. In addition, this support glass 6 is a recycled use product.

그리고, 2체의 유리 필름 적층체(1, 5)를, TFT 기판(3)과 컬러 필터 기판(7)이 대향하도록 밀봉재(4)(예를 들면, 자외선 경화 수지)를 사이에 두고 접합시킨다. 이 밀봉재(4)는 양쪽 기판(3, 7)의 둘레 가장자리부를 따라 도포되어 있고, TFT 기판(3)과 컬러 필터 기판(7) 사이에 있어서 밀봉재(4)로 둘러싸이는 영역에는 액정 재료(L)가 봉입된다.Then, the two glass film laminates 1 and 5 are bonded with a sealing material 4 (for example, an ultraviolet curing resin) so that the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7 face each other. . This sealing material 4 is applied along the circumferential edges of both substrates 3 and 7, and between the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7, the area surrounded by the sealing material 4 is a liquid crystal material (L). ) Is enclosed.

이때, 유리 필름 적층체(1)에 있어서의 TFT 기판(3)에는 지지 유리(2)(불량인 유리 기판)의 접합면(2a)에 형성된 돌기(2b)에 기인하여 볼록부(3b)가 형성되어 있다. 마찬가지로, 유리 필름 적층체(5)에 있어서의 컬러 필터 기판(7)에도 지지 유리(6)(불량인 기판)의 접합면(6a)에 형성된 돌기(6b)에 기인하여 볼록부(7b)가 형성되어 있다. 이러한 점에서, TFT 기판(3)과 컬러 필터 기판(7)의 간격인 셀 갭(S)은 국소적으로 불균일한 상태로 되어 있다.At this time, in the TFT substrate 3 in the glass film laminate 1, the convex portion 3b is formed due to the protrusion 2b formed on the bonding surface 2a of the supporting glass 2 (a defective glass substrate). Is formed. Similarly, in the color filter substrate 7 in the glass film laminate 5, the convex portion 7b is caused by the protrusion 6b formed on the bonding surface 6a of the supporting glass 6 (a defective substrate). Is formed. From this point of view, the cell gap S, which is the distance between the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7, is locally uneven.

그러나, 도 3b에 나타내는 바와 같이 2체의 유리 필름 적층체(1, 5) 각각에 있어서 지지 유리(2, 6)를 박리시켜 TFT 기판(3)과 컬러 필터 기판(7)의 2매의 기판만이 접합된 상태로 하면, 동 도면에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 볼록부(3b), 및 볼록부(7b)가 평탄, 또는 대략 평탄한 상태로 복원되어 양쪽 기판(3, 7)에 볼록부(3b, 7b)가 잔존하는 것을 회피할 수 있다.However, as shown in FIG. 3B, in each of the two glass film laminates 1 and 5, the supporting glasses 2 and 6 were peeled off to form two substrates of the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7 When the bays are in a bonded state, the convex portion 3b and the convex portion 7b are restored to a flat or substantially flat state, as shown by the dashed-dotted line in the drawing, and the convex portions on both substrates 3 and 7 are restored. It is possible to avoid (3b, 7b) remaining.

이와 같은 효과가 얻어지는 것은 이하와 같은 이유에 의한 것으로 상정되고 있다. 즉, 양쪽 기판(3, 7)과 지지 유리(2, 6)를 박리시킨 후에 있어서는, 가요성을 갖는 유리 필름인 양 기판(3, 7)의 표면에 대기압(P)이 균일하게 부하되어 볼록부(3b, 7b)가 변형되기 때문으로 상정된다. 그리고, 볼록부(3b, 7b)를 이와 같은 상태로 복원할 수 있는 조건으로서, 돌기(2b, 6b)의 접합면(2a, 6a)으로부터의 돌출 치수(H)가 5㎛ 이하인 것이 조건으로 되어 있는 것으로 생각된다.It is assumed that such an effect is obtained due to the following reasons. That is, after peeling off both the substrates 3 and 7 and the supporting glass 2 and 6, the atmospheric pressure P is uniformly applied to the surfaces of both the substrates 3 and 7, which are flexible glass films. It is assumed that the parts 3b and 7b are deformed. And, as a condition for restoring the convex portions 3b and 7b to such a state, it is a condition that the protrusion dimension H from the bonding surfaces 2a and 6a of the protrusions 2b and 6b is 5 μm or less. I think there is.

이상의 점으로부터, 유리 필름 적층체(1, 5)를 사용하여 액정 패널을 제조했을 경우에는 완성된 액정 패널을 점등했을 때에 화상에 얼룩이나 흑점 등의 표시 불균일이 발생하는 것이 회피되어, 상기 액정 패널의 품질의 저하를 방지할 수 있기 때문에 바람직하게 액정 패널의 제조를 실시하는 것이 가능해진다.From the above point of view, when a liquid crystal panel is manufactured using the glass film laminates 1 and 5, the occurrence of uneven display such as unevenness or black spots in the image is avoided when the finished liquid crystal panel is lit. Since deterioration of the quality of the liquid crystal can be prevented, it becomes possible to preferably manufacture a liquid crystal panel.

또한, 돌기(2b)가 유리가루의 부착에 의해 형성되어 있을 경우에는 돌기(2b)의 선단(최상부)이 뾰족한 형상이 되기 쉽기 때문에, 돌기(2b)와 TFT 기판(3)이 점접촉된 상태가 되기 쉽다. 또한, 접합면(2a)에 대해서 10㎠당 형성된 돌기(2b)의 개수가 2개 이하일 경우에는 TFT 기판(3)에 형성되는 볼록부(3b)의 수가 적게 억제된다. 또한, 돌기(2b)의 최대폭이 10㎛~100㎛의 범위 내일 경우에는, 돌기(2b)와 TFT 기판(3)의 접촉 면적이 충분히 작아진다. 그 때문에, 이것들의 경우에는 지지 유리(2)로부터 박리시킨 후의 TFT 기판(3)에 있어서 볼록부(3b)의 잔존을 더욱 바람직하게 방지하는 것이 가능하다.In addition, when the protrusion 2b is formed by adhesion of glass powder, the tip (top) of the protrusion 2b tends to be sharp, so that the protrusion 2b and the TFT substrate 3 are in point contact. It is easy to become. Further, when the number of protrusions 2b formed per 10 cm 2 with respect to the bonding surface 2a is 2 or less, the number of protrusions 3b formed on the TFT substrate 3 is suppressed to be small. Further, when the maximum width of the protrusion 2b is within the range of 10 μm to 100 μm, the contact area between the protrusion 2b and the TFT substrate 3 becomes sufficiently small. Therefore, in these cases, it is possible to more preferably prevent the remaining of the convex portion 3b in the TFT substrate 3 after peeling from the support glass 2.

또한, 유리 필름(3)의 두께와 돌기(2b)의 접합면(2a)으로부터의 돌출 치수(H)의 관계에 대해서, 상술한 바와 같이 유리 필름(3)의 두께가 100㎛를 초과할 경우에 돌출 치수(H)가 0.3㎛~2.5㎛의 범위 내이면 볼록부(3b)의 잔존을 보다 효과적으로 회피할 수 있다. 유리 필름(3)의 두께가 100㎛를 초과할 경우, 지지 유리(2)로부터 박리시킨 후의 TFT 기판(3)에 있어서 볼록부(3b)가 잔존할 우려가 있다. 그 때문에, 유리 필름(3)의 두께가 100㎛ 이하일 경우와 비교하여 돌출 치수(H)가 작은 것을 지지 유리(2)로서 채용하고, 돌기(2b)와 겹쳐진 볼록부(3b)의 돌출을 작게 억제해 두는 것이 바람직하다.In addition, regarding the relationship between the thickness of the glass film 3 and the protrusion dimension H of the protrusion 2b from the bonding surface 2a, as described above, when the thickness of the glass film 3 exceeds 100 μm If the protruding dimension H is in the range of 0.3 μm to 2.5 μm, the remaining of the convex portion 3b can be more effectively avoided. When the thickness of the glass film 3 exceeds 100 μm, there is a concern that the convex portion 3b remains in the TFT substrate 3 after peeling from the support glass 2. Therefore, compared to the case where the thickness of the glass film 3 is 100 µm or less, a product having a small protrusion dimension H is adopted as the supporting glass 2, and the protrusion of the protrusion 3b overlapping the protrusion 2b is reduced. It is desirable to keep it under control.

또한, 지지 유리(2, 6)(불량인 유리 기판)가 리사이클 사용품이기 때문에, 이들 지지 유리(2, 6)를 리사이클 사용하는 한 액정 패널의 제조에 바람직한 유리 필름 적층체(1, 5)를 반복 제작하는 것이 가능해진다. 또한, 리사이클 사용함으로써 제조 비용의 고등을 회피할 수도 있다.In addition, since the supporting glass 2, 6 (a defective glass substrate) is a recycled product, the glass film laminate (1, 5) suitable for manufacturing a liquid crystal panel as long as these supporting glasses 2, 6 are recycled and used. It becomes possible to repeatedly manufacture. In addition, it is possible to avoid high manufacturing costs by using recycling.

여기에서, 본 발명에 의한 유리 필름 적층체는 상기 실시형태에서 설명한 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 실시형태에 있어서는 밀봉재를 사이에 두고 접합되는 2체의 유리 필름 적층체의 쌍방에 허용값을 초과하는 돌기(돌출 치수가 0.3~5㎛)가 형성된 지지 유리를 사용하고 있다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니고, TFT 기판측의 유리 필름 적층체와 컬러 필터 기판측의 유리 필름 적층체 중 어느 한쪽에만 지지 유리로서 허용값을 초과하는 돌기(단, 접합면으로부터의 돌출 치수가 0.3~5㎛인 것에 한함)가 형성된 것을 사용해도 좋다.Here, the glass film laminate according to the present invention is not limited to the configuration described in the above embodiment. For example, in the above-described embodiment, a supporting glass in which protrusions exceeding an allowable value (protrusion dimensions of 0.3 to 5 µm) are formed on both of the two glass film laminates to be bonded through the sealing material is used. However, it is not limited to this, and only one of the glass film laminated body on the TFT substrate side and the glass film laminated body on the color filter substrate side exceeds the permissible value as a supporting glass (however, the projecting dimension from the bonding surface is It is also possible to use those formed with 0.3 to 5 μm).

또한, 상기 실시형태에 있어서는 액정 패널용으로서 채용할 수 없는 불량인 유리 기판을 지지 유리로서 사용하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 돌기가 형성되어 있음으로써 각종 디스플레이용, 센서용, 커버용 등으로서 채용할 수 없는 유리 기판을 지지 유리로서 사용해도 좋다.In addition, in the above embodiment, a defective glass substrate that cannot be employed for a liquid crystal panel is used as the supporting glass, but it is not limited thereto, and the projection is formed so that it is used for various displays, sensors, covers, etc. A glass substrate that cannot be employed may be used as the supporting glass.

실시예Example

본 발명의 실시예로서, 불량인 유리 기판을 지지 유리로서 이용한 유리 필름 적층체를 사용하여 4개의 조건 하(실시예 3개, 및 비교예 1개)에서 상기 실시형태에서 설명한 제조 공정과 마찬가지로 해서 액정 패널을 제작함과 아울러, 제작된 액정 패널에 대해서 품질의 양부를 검증했다. 이하에 검증의 실시 조건을 나타낸다.As an example of the present invention, by using a glass film laminate using a defective glass substrate as a supporting glass, under four conditions (3 Examples and 1 Comparative Example), in the same manner as in the manufacturing process described in the above embodiment In addition to producing the liquid crystal panel, the quality of the produced liquid crystal panel was verified. The implementation conditions of verification are shown below.

각 조건 하에서 사용한 유리 필름(본 검증에 있어서는 TFT 기판), 및 지지 유리(불량인 유리 기판)는 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 제의 무알칼리 유리(제품명: OA-10G)이며, 그 사이즈(가로 치수, 세로 치수, 두께 치수), 및 지지 유리의 접합면에 형성된 돌기의 접합면으로부터의 돌출 치수는 하기의 표 1과 같다.The glass film used under each condition (a TFT substrate in this verification) and a supporting glass (a defective glass substrate) are alkali-free glass (product name: OA-10G) manufactured by Nippon Denki Glass Co., Ltd., and their size (horizontal Dimensions, vertical dimensions, thickness dimensions), and protrusion dimensions of the protrusions formed on the bonding surface of the support glass from the bonding surface are shown in Table 1 below.

유리 필름, 및 지지 유리의 접합면에 있어서의 표면 거칠기(Ra)는 오버플로우 다운드로우법에 의해 성형한 유리를 미연마로 사용하거나, 또는 연마, 및 케미컬 에칭을 실시할 때에 있어서 에칭액의 농도, 액 온도, 처리 시간을 조정함으로써 제어했다.The surface roughness (Ra) of the bonding surface of the glass film and the supporting glass is determined by the concentration and liquid of the etchant when the glass formed by the overflow down-draw method is unpolished or when polishing and chemical etching are performed. It controlled by adjusting temperature and processing time.

표면 거칠기(Ra)의 측정에는 SII사 제, 주사형 프로브 현미경(NanoNaviII/S-image)을 사용하고, 주사 에리어: 2000㎚, 주사 주파수: 0.95㎐, 주사 데이터수 X(가로 방향): 256, Y(세로 방향): 256의 조건에서 측정을 행하였다. 그리고, 지지 유리와 유리 필름의 각각에 있어서 중앙부 1점과 모서리부 1점의 합계 2점에서 표면 거칠기(Ra)를 측정하고, 그 평균값을 표면 거칠기(Ra)로 했다.For the measurement of the surface roughness (Ra), a scanning probe microscope (NanoNaviII/S-image) manufactured by SII was used, a scanning area: 2000 nm, a scanning frequency: 0.95 Hz, and the number of scanning data X (horizontal direction): 256, Measurement was performed under the conditions of Y (vertical direction): 256. Then, in each of the supporting glass and the glass film, the surface roughness (Ra) was measured at two points in total of one point at the center portion and one point at the corner portion, and the average value was taken as the surface roughness (Ra).

그리고, 유리 필름과 지지 유리를 세정, 건조시킨 후, 상기 실시형태에서 설명한 제조 공정과 마찬가지로 해서 액정 패널을 4개의 조건별로 100매 제작했다. 그 후, 제작된 100매의 액정 패널 중, 점등시에 표시 불균일이 발생한 액정 패널의 매수를 카운트하고, 표시 불균일의 발생률을 산출해 냄으로써 품질의 양부를 판정했다. 하기의 표 1에 검증의 결과를 나타낸다.And after washing and drying a glass film and a supporting glass, it carried out similarly to the manufacturing process explained in the said embodiment, and produced 100 liquid crystal panels for each of four conditions. Thereafter, out of the produced 100 liquid crystal panels, quality was determined by counting the number of liquid crystal panels in which display unevenness occurred at the time of lighting, and calculating the incidence of display unevenness. The results of the verification are shown in Table 1 below.

Figure 112015080127198-pct00001
Figure 112015080127198-pct00001

표 1로부터 분명한 바와 같이, 비교예 1에서는 100%의 발생률로 액정 패널에 표시 불균일이 발생했다. 한편, 실시예 1~3에서는 표시 불균일의 발생율이 20%, 또는 0%로 되어 있어, 비교예에 대하여 고품질인 액정 패널을 제작할 수 있었다. 이것은 실시예 1~3에서는 상기 실시형태에서 설명한 바와 같이, 유리 필름(TFT 기판)을 지지 유리(불량인 유리 기판)로부터 박리시킨 후에 있어서 돌기와 겹쳐져 있던 부위에 형성된 볼록부가 대기압에 의해 평탄, 또는 대략 평탄한 상태로 복원되어 있기 때문으로 상정된다. 또한, 비교예 1과 실시예 1~3에 있어서의 돌기의 돌출 치수의 비교로부터, 볼록부가 이와 같은 상태로 복원되는 조건으로서 지지 유리에 있어서 돌기의 접합면으로부터의 돌출 치수가 5㎛ 이하인 것이 조건으로 되어 있는 것으로 생각된다.As is clear from Table 1, in Comparative Example 1, display unevenness occurred in the liquid crystal panel at an incidence rate of 100%. On the other hand, in Examples 1 to 3, the incidence rate of display unevenness was set to 20% or 0%, so that a high-quality liquid crystal panel could be produced with respect to the comparative example. In Examples 1 to 3, as described in the above embodiment, the convex portions formed in the portions overlapping with the projections after peeling the glass film (TFT substrate) from the supporting glass (defective glass substrate) are flat by atmospheric pressure, or approximately It is assumed that it has been restored to a flat state. In addition, from the comparison of the protrusion dimensions of the protrusions in Comparative Example 1 and Examples 1 to 3, as a condition for the protrusion to be restored to such a state, the protrusion dimension of the protrusion from the bonding surface of the supporting glass is 5 μm or less. I think it is.

이상의 점에서, 본 발명에 의한 유리 필름 적층체에 의하면 바람직하게 액정 패널의 제조를 실시하는 것이 가능해지는 것으로 추인된다.From the above point, according to the glass film laminated body according to the present invention, it is considered that it becomes possible to preferably manufacture a liquid crystal panel.

1 : 유리 필름 적층체 2 : 지지 유리(불량인 유리 기판)
2a : 접합면 2b : 돌기
3 : 유리 필름(TFT 기판) 3a : 접합면
3b : 볼록부 4 : 밀봉재
5 : 유리 필름 적층체 6 : 지지 유리
6a : 접합면 6b : 돌기
7 : 유리 필름(컬러 필터 기판) 7a : 접합면
7b : 볼록부 8 : 부착물
S : 셀 갭 H : 돌기의 접합면으로부터의 돌출 치수
L : 액정 재료 B : 기포
P : 대기압1: glass film laminate 2: support glass (defective glass substrate)
2a: bonding surface 2b: protrusion
3: glass film (TFT substrate) 3a: bonding surface
3b: convex portion 4: sealing material
5: glass film laminate 6: supporting glass
6a: bonding surface 6b: protrusion
7: glass film (color filter substrate) 7a: bonding surface
7b: convex portion 8: attachment
S: Cell gap H: Projection dimension from the junction surface of the protrusion
L: liquid crystal material B: air bubbles
P: atmospheric pressure

Claims (2)

두께가 200㎛ 이하인 가요성을 갖는 유리 필름과, 그 유리 필름을 지지하는 지지 유리의 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 접합면의 표면 거칠기(Ra)를 2.0㎚ 이하로 하고, 그 양쪽 접합면을 면접촉시킴으로써 상기 유리 필름과 상기 지지 유리를 겹친 유리 필름 적층체에 있어서,
상기 지지 유리의 접합면에 돌기가 형성되고, 또한 그 돌기의 접합면으로부터의 돌출 치수가 0.3~5㎛이고,
상기 지지 유리가 액정 패널용 유리 기판으로 채용할 수 없는 불량 유리 기판인 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.For each of a flexible glass film having a thickness of 200 µm or less and a supporting glass supporting the glass film, the surface roughness (Ra) of the bonding surface serving as the side in contact with each other is 2.0 nm or less, and both In the glass film laminated body in which the glass film and the support glass were stacked by making a bonding surface surface contact
A protrusion is formed on the bonding surface of the supporting glass, and the protrusion dimension of the protrusion from the bonding surface is 0.3 to 5 μm,
A glass film laminate, wherein the supporting glass is a defective glass substrate that cannot be employed as a glass substrate for a liquid crystal panel. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 유리는 리사이클 사용품인 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.The method of claim 1,
The glass film laminate, wherein the supporting glass is a recycled product.
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