KR102154685B1 - Laminator for Flexible Display using Electrostatic Force - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플렉서블 디스플레이의 플렉서블기판과 Ultra Thin Glass( 이하 'UTG'라 한다)를 상, 하 정전척(ESC)에 각각 접착시킨 다음, 서로 합착시키는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터에 관한 것이다.The present invention relates to a laminator for manufacturing a foldable display using electrostatic power, and in more detail, a flexible substrate of a flexible display and Ultra Thin Glass (hereinafter referred to as'UTG') are bonded to the upper and lower electrostatic chuck (ESC), respectively. Next, it relates to a laminator for manufacturing a foldable display using constant power to be bonded to each other.
최근에는 스마트폰의 대화면 디스플레이 구현이 가능한 접는 방식의 디스플레이(이하 '폴더블 디스플레이'라 한다)가 개발되어 적용되고 있는데, 이러한 폴더블 디스플레이를 제조할 때에는 플렉서블기판과 UTG(Ultra Thin Glass) 간의 접착 작업을 위해 정전척 방식의 라미네이터가 사용된다.Recently, a foldable display (hereinafter referred to as'foldable display') capable of implementing a large screen display of a smartphone has been developed and applied. When manufacturing such a foldable display, adhesion between the flexible substrate and UTG (Ultra Thin Glass) For the work, an electrostatic chuck type laminator is used.
상기와 같은 정전척 방식의 라미네이터의 종래 기술로는 공개특허공보 제2008-0058144호의 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법(이하 '특허문헌'이라 한다)이 개시되어 있다.As a conventional technique of the electrostatic chuck type laminator as described above, the electrostatic chuck of Korean Patent Application Publication No. 2008-0058144 and a bonding method of a flat panel display device using the same are disclosed (hereinafter referred to as “patent document”).
상기 특허문헌에 개시된 정전척을 이용한 합착방법은, 제 1 및 제 2 기판을 로딩하는 단계와, 제 1 정전 전극, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층, 상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 중첩되도록 형성된 제 2 정전 전극을 포함하는 정전척을 이용하여 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계와, 상기 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The bonding method using the electrostatic chuck disclosed in the patent document includes the steps of loading a first and a second substrate, a first electrostatic electrode, an intervening layer formed to cover the first electrostatic electrode, and the first Attaching the first and second substrates by moving an upper/lower stage using an electrostatic chuck including a second electrostatic electrode formed to overlap with the electrostatic electrode, and moving the upper/lower stages to the first and It characterized in that it comprises the step of bonding the second substrate.
상기와 같은 종래의 정전척을 이용한 라미네이터에는 플렉서블기판과 UTG(Ultra Thin Glass)가 안착되어 정전척 위에 위치시키는 밴딩가이드가 구비되고, 이러한 가이드를 통해 정전척 위에 플렉서블기판과 UTG가 위치된 다음, 정전력에 의해 정전척에 부착되도록 하고 있는데, 이와 같이 밴딩가이드에서 정전척으로 플렉서블기판과 UTG가 각각 부착되는 과정에서 위치가 변동되게 되고, 이에 의해 평면 대 평면 합착 방식인 폴더블 디스플레이 제조 과정에서 많은 불량품이 발생하게 되는 문제가 있다.In the laminator using the conventional electrostatic chuck as described above, a flexible substrate and UTG (Ultra Thin Glass) are mounted and a bending guide that is positioned on the electrostatic chuck is provided, and the flexible substrate and the UTG are positioned on the electrostatic chuck through this guide, The electrostatic chuck is attached to the electrostatic chuck by electrostatic power. As such, the positions of the flexible substrate and UTG are changed in the process of attaching the flexible substrate and the UTG from the bending guide to the electrostatic chuck. There is a problem that many defective products occur.
따라서 상, 하부 정전척에 플렉서블기판과 UTG를 각각 정확한 위치에 부착시킬 수 있도록 구조가 개선된 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터의 개발이 요구된다.Accordingly, there is a need to develop a laminator for manufacturing a foldable display using an improved structure so that a flexible substrate and a UTG can be attached to the upper and lower electrostatic chuck at correct positions, respectively.
본 발명은 상기와 같은 종래의 정전력을 이용한 라미네이터가 가지는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 밴딩가이드로부터 플렉서블기판과 UTG를 상, 하부 정전척에 각각 부착시킬 때, 위치변동 없이 정확한 위치에 부착시킬 수 있는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터를 제공하는 것이다.The present invention was conceived to solve the problems of the conventional laminator using static power as described above, and the problem to be solved by the present invention is when attaching the flexible substrate and the UTG to the upper and lower electrostatic chuck from the bending guide. , It is to provide a laminator for manufacturing a foldable display using constant power that can be attached to an exact position without changing the position.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터는, 상하로 승강 동작되면서 정전력을 통해 저면에 상기 UTG가 선택적으로 부착되는 상부정전척; 상기 상부정전척의 하부에 소정 간격 이격되어 상하로 승강 동작되도록 설치되면서 정전력을 통해 상면에 상기 플렉서블기판이 부착되는 하부정전척; 상기 상, 하부정전척의 일측에 위치되어 복수 개의 상기 UTG가 적재되는 제1 버퍼부; 상기 상, 하부정전척의 타측에 위치되어 복수 개의 상기 플렉서블기판이 적재되는 제2 버퍼부; 상기 제1, 2 버퍼부와 상기 상, 하부정전척을 수평으로 가로지르도록 설치되는 가이드레일; 상기 가이드레일에 설치되면서 상기 제1 버퍼부에 적재된 상기 UTG를 상기 상부정전척 쪽으로 이동시키는 제1 클램핑유닛; 및 상기 가이드레일에 설치되면서 상기 제2 버퍼부에 적재된 상기 플렉서블기판을 상기 하부정전척 쪽으로 이동시키는 제2 클램핑유닛을 포함하고, 상기 제1, 2 클램핑유닛에는, 상기 UTG 및 상기 플렉서블기판을 파지하는 상, 하부밴딩가이드가 구비되고, 상기 상부밴딩가이드를 통해 상기 UTG의 가운데 부분이 상기 상부정전척 쪽으로 만곡지게 구부러지고, 상기 하부밴딩가이드를 통해 상기 플렉서블기판의 가운데 부분이 상기 하부정전척 쪽으로 만곡지게 구부러진 상태에서 상기 상, 하부정전척에 부착되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The laminator for manufacturing a foldable display using constant power according to the present invention for solving the above problems includes: an upper electrostatic chuck to which the UTG is selectively attached to a bottom surface through constant power while being moved up and down; A lower electrostatic chuck installed at a lower portion of the upper electrostatic chuck to move up and down at a predetermined interval and to which the flexible substrate is attached to an upper surface through static power; A first buffer unit positioned at one side of the upper and lower electrostatic chuck to load the plurality of UTGs; A second buffer unit positioned on the other side of the upper and lower electrostatic chuck to load the plurality of flexible substrates; A guide rail installed to horizontally cross the first and second buffer units and the upper and lower electrostatic chuck; A first clamping unit installed on the guide rail and moving the UTG loaded in the first buffer unit toward the upper electrostatic chuck; And a second clamping unit installed on the guide rail and moving the flexible substrate loaded on the second buffer unit toward the lower electrostatic chuck, wherein the first and second clamping units include the UTG and the flexible substrate. The upper and lower bending guides to be gripped are provided, the center portion of the UTG is bent toward the upper electrostatic chuck through the upper bending guide, and the center part of the flexible substrate through the lower bending guide is the lower electrostatic chuck. It characterized in that it is configured to be attached to the upper and lower electrostatic chuck in a state that is bent to be bent toward the side.
그리고 본 발명은 상기 상, 하부밴딩가이드가 상기 UTG 및 상기 플렉서블기판이 안착되는 소정 폭의 안착부; 상기 안착부와 연결되면서 상기 UTG 및 상기 플렉서블기판의 양단 부분이 지지되는 소정 높이의 측벽부; 및 일단이 상기 측벽부와 연결되면서 타단이 상기 안착부에 안착된 상기 UTG 및 상기 플렉서블기판이 만곡지게 구부러지는 정도가 제한되도록 소정 각도로 경사지게 형성되는 경사가이드부를 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.In the present invention, the upper and lower banding guides may include a seat having a predetermined width on which the UTG and the flexible substrate are seated; A side wall portion having a predetermined height connected to the seating portion and supporting both ends of the UTG and the flexible substrate; And an inclination guide part formed to be inclined at a predetermined angle so that the degree of bending of the UTG and the flexible substrate in which one end is connected to the sidewall part and the other end is seated in the seating part is limited.
또한, 본 발명은 상기 경사가이드부의 상기 각도가 35 ~ 60°인 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition, the present invention is another characterized in that the angle of the inclined guide portion is 35 ~ 60 °.
이에 더해 본 발명은 상기 안착부, 상기 측벽부 및 상기 경사가이드부의 표면이 비점착 코팅되는 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition to this, the present invention is another feature in that the surface of the seating portion, the sidewall portion, and the inclined guide portion is non-adhesive coating.
그리고 본 발명은 상기 안착부, 상기 측벽부 및 상기 경사가이드부의 표면에 복수의 미세 홈이 가공되는 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition, the present invention is further characterized in that a plurality of fine grooves are processed on the surface of the seating portion, the sidewall portion, and the inclined guide portion.
본 발명에 따르면, 상, 하부밴딩가이드를 통해 UTG와 플렉서블기판의 가운데 부분이 상, 하부정전척 쪽으로 돌출되도록 만곡지게 구부려지게 되고, 이 상태로 상, 하부정전척의 정전력을 통해 UTG와 플렉서블기판의 가운데 부분이 먼저 부착된 다음, 양단 부분이 차례로 부착되게 되므로 UTG와 플렉서블기판을 정확한 위치에 부착시킬 수 있고, 그 결과 정전척을 사용하여 UTG와 플렉서블기판을 서로 정확하게 합착시킬 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, the UTG and the flexible substrate are bent to protrude toward the upper and lower electrostatic chuck through the upper and lower bending guides, and the UTG and the flexible substrate are in this state through the electrostatic power of the upper and lower electrostatic chuck. Since the middle part of the is attached first and then the both ends are attached in sequence, the UTG and the flexible substrate can be attached at the correct position, and as a result, the UTG and the flexible substrate can be accurately bonded to each other using an electrostatic chuck. .
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터의 예를 보인 구성도.
도 3(a, b)은 본 발명에 따른 상, 하부밴딩가이드의 예를 보인 도면.
도 4(a, b)는 본 발명에 따른 상, 하부밴딩가이드를 통해 UTG 및 플렉서블기판이 만곡지게 구부러지는 예를 보인 도면.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 상부밴딩가이드를 통해 UTG가 상부정전척에 부착되는 예를 보인 도면.
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 하부밴딩가이드를 통해 플렉서블기판이 하부정전척에 부착되는 예를 보인 도면.
도 9는 본 발명에 따른 상, 하부정전척에 부착된 UTG 및 플렉서블기판이 서로 합착되는 예를 보인 도면.1 and 2 are configuration diagrams showing an example of a laminator for manufacturing a foldable display using constant power according to the present invention.
Figure 3 (a, b) is a view showing an example of the upper and lower bending guide according to the present invention.
4(a, b) is a view showing an example in which the UTG and the flexible substrate are bent to be curved through the upper and lower bending guides according to the present invention.
5 and 6 are views showing an example in which UTG is attached to an upper electrostatic chuck through an upper bending guide according to the present invention.
7 and 8 are views showing an example in which a flexible substrate is attached to a lower electrostatic chuck through a lower bending guide according to the present invention.
9 is a view showing an example in which the UTG and the flexible substrate attached to the upper and lower electrostatic chuck according to the present invention are bonded to each other.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한 첨부도면에 따라 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail according to the accompanying drawings.
본 발명은 밴딩가이드로부터 플렉서블기판과 UTG를 상, 하부 정전척에 각각 부착시킬 때, 위치변동 없이 정확한 위치에 부착시킬 수 있는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터를 제공하고자 하는 것으로, 이러한 본 발명은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상부정전척(10), 하부정전척(20), 제1 버퍼부(30), 제2 버퍼부(40), 가이드레일(50), 제1 클램핑유닛(60) 및 제2 클램핑유닛(70)을 포함한다.The present invention is to provide a laminator for manufacturing a foldable display using constant power that can be attached to an exact position without change in position when attaching a flexible substrate and a UTG to an upper and lower electrostatic chuck from a bending guide, respectively. 1 and 2, the upper
상, 하부정전척(10, 20)은 정전력을 통해 UTG(1)와 플렉서블기판(2)이 부착되는 구성이다.The upper and lower
이러한 상, 하부정전척(10, 20)은 평행한 두 금속판을 마주보게 한 상태에서 전압을 가하여 +전극이 걸린 금속판은 +전하를 띠게 하고, -전극이 걸린 금속판은 -전하를 띠게 하여 대전된 두 금속판 사이에 정전력(Electrostatic Force)을 발생시키고, 이러한 정전력을 통해 상, 하부정전척(10, 20)에 안착되는 UTG(1) 및 플렉서블기판(2)이 고정되게 된다.These upper and lower
상기와 같은 상, 하부정전척(10, 20)은 정전기의 힘을 통해 UTG(1) 및 플렉서블기판(2)을 고정하게 되므로 기계 척 등과 같이 입자오염의 원인이 될 수 있는 요소가 없어 불량이 적고 정교한 합착이 가능하게 된다.Since the upper and lower
이러한 상, 하부정전척(10, 20)은 실린더유닛(도면부호 없음)을 통해 상하로 승강 가능하게 설치되고, 이를 통해 상, 하측에 서로 소정 간격 이격되어 설치되는 상, 하부정전척(10, 20)이 서로 마주하여 밀착되거나 또는 소정 거리 이격될 수 있다.These upper and lower
제1, 2 버퍼부(30, 40)는 타 공정을 통해 제조된 UTG(1)와 플렉서블기판(2)이 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)을 통해 낱개로 파지될 수 있도록 상하로 적재시키는 구성이다.The first and
이러한 제1, 2 버퍼부(30, 40)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상, 하부정전척(10, 20)을 기준으로 양측에 소정 간격 이격되어 따로 설치되고, 후술되는 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)을 통해 제1, 2 버퍼부(30, 40)에 적재된 UTG(1)와 플렉서블기판(2)이 각각 파지된 다음, 상, 하부정전척(10, 20) 쪽으로 이송되게 된다.These first and
가이드레일(50)은 제1, 2 버퍼부(30, 40)에 적재된 UTG(1)와 플렉서블기판(2)을 상, 하부정전척(10, 20)으로 이송시키는 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)의 이동을 안내하는 구성이다.The
이러한 가이드레일(50)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 제1, 2 버퍼부(30, 40)와 상, 하부정전척(10, 20)을 수평으로 가로지르도록 서로 소정 간격 이격되어 한 쌍이 설치된다.These
이때 가이드레일(50)은 정밀 이송에 적합한 리니어가이드(Linear guide)로 구성되고, 이를 통해 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)이 가이드레일(50)을 따라 이동되는 동안 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)에 파지된 UTG(1)와 플렉서블기판(2)의 위치가 임의로 변경되지 않게 된다.At this time, the
제1, 2 클램핑유닛(60, 70)은 가이드레일(50)에 설치되면서 제1, 2 버퍼부(30, 40)에 적재된 UTG(1) 및 플렉서블기판(2)을 상, 하부정전척(10, 20) 쪽으로 이송하는 구성이다.The first and second clamping units (60, 70) are installed on the guide rail (50) and the UTG (1) and the flexible substrate (2) loaded on the first and second buffer units (30, 40) are mounted on the upper and lower electrostatic chuck. It is a configuration that transfers toward (10, 20).
이러한 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)에는 가이드레일(50)을 따라 이송될 수 있도록 하는 모터 등의 구동장치(도시하지 않음)가 설치되고, 이러한 구동장치를 통해 가이드레일(50)을 따라 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)이 정밀하게 왕복 이송되며, 이를 통해 제1, 2 버퍼부(30, 40)에 적재된 UTG(1) 및 플렉서블기판(2)이 상, 하부정전척(10, 20) 쪽으로 이송되게 된다.These first and
이때 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)에는 UTG(1) 및 플렉서블기판(2)을 상, 하부정전척(10, 20)에 정확하게 부착시키기 위한 상, 하부밴딩가이드(61, 71)가 구비되고, 이하에서는 이러한 상, 하부밴딩가이드(61, 71)의 구성에 대하여 상세하게 설명한다.At this time, the first and second clamping units (60, 70) are provided with upper and lower bending guides (61, 71) for accurately attaching the UTG (1) and the flexible substrate (2) to the upper and lower electrostatic chuck (10, 20). It is provided, hereinafter, the configuration of the upper and
상부밴딩가이드(61)는 소정 간격 이격되어 한 쌍이 설치되면서 서로 마주보는 방향으로 근접되거나 또는 서로 반대되는 방향으로 소정 거리 이격되도록 수평 이동 가능하게 구성된다.The
그리고 도 3(a)에 도시된 바와 같이 UTG(1)의 단부가 안착되도록 수평으로 소정 폭 형성되는 안착부(61A)와, 일단이 상기 안착부(61A)와 연결되면서 타단이 수직으로 상향되는 소정 높이(H)를 가지도록 형성되어 UTG(1)의 단부가 지지되는 측벽부(61B)와, 일단이 측벽부(61B)와 연결되면서 타단이 소정 각도(A)로 경사지게 형성되는 경사가이드부(61C)를 포함한다.And, as shown in Fig. 3(a), a
여기서 상기 측벽부(61B)의 높이(H)는 UTG(1)의 두께에 대응되는 높이를 가지도록 형성되거나 또는 UTG(1)의 두께보다 0.1~0.5㎜ 높게 형성되고, 이를 통해 상부밴딩가이드(61)에 파지된 UTG(1)가 가이드레일(50)을 따라 이송되거나 또는 상부정전척(10)에 부착되는 동안에도 임의로 유동되지 않게 된다.Here, the height (H) of the side wall portion (61B) is formed to have a height corresponding to the thickness of the UTG (1) or is formed to be 0.1 to 0.5 mm higher than the thickness of the UTG (1), through which the upper bending guide ( Even while the UTG (1) gripped by 61) is transferred along the
또한, 경사가이드부(61C)의 각도(A)는 35 ~ 60°로 형성되고, 이를 통해 UTG(1)가 상부밴딩가이드(61)를 통해 가운데 부분이 만곡지게 구부러질 때, 단부가 경사가이드부(61C)의 각도(A) 범위 내에서 적절하게 변형되게 된다.In addition, the angle (A) of the
이때 경사가이드부(61C)가 35° 미만의 각도(A)로 형성되면 가운데 부분이 만곡지게 돌출되는 높이가 낮아 상부정전척(10)에 돌출된 가운데 부분을 먼저 부착시키는 효과를 기대하기가 어려워 바람직하지 못하고, 이와 반대로 경사가이드부(61C)가 60°를 초과한 각도(A)로 형성되면 가운데 부분이 과도하게 돌출되어 UTG(1)가 영구 변형되거나 또는 경사가이드부(61C)와 UTG(1) 사이의 공간으로 인해 UTG(1)가 불필요하게 유동되게 되면서 합착의 정확성이 떨어지게 되므로 바람직하지 못하다.At this time, if the
한편, 안착부(61A), 측벽부(61B) 및 경사가이드부(61C)는 표면을 따라 불소수지 등을 통해 비점착 코팅되거나 또는 표면에 복수의 미세 홈이 가공되고, 이에 의해 UTG(1)의 점착면(1A)이 안착부(61A)에 접촉된 상태로 안착되더라도 UTG(1)가 안착부(61A)에 쉽게 점착되지 않게 된다.On the other hand, the
상기와 같이 구성되는 제1 클램핑유닛(60)을 통해 UTG(1)가 파지되어 상부정전척(10)에 부착되는 과정을 설명하면, 제1 클램핑유닛(60)이 제1 버퍼부(30) 쪽으로 이송된 다음, 도 5에 도시된 바와 같이 상부밴딩가이드(61)가 서로 반대 방향으로 슬라이딩 이동되어 소정 간격 이격되도록 벌어지고, 이후 UTG(1)의 양단이 상부밴딩가이드(61)의 안착부(61A)와 측벽부(61B) 사이에 위치되도록 상부밴딩가이드(61)의 높이가 적절하게 조절된다.When explaining a process in which the
그런 다음, 상부밴딩가이드(61)가 서로 마주보는 방향으로 소정 거리 이동되면서 오므라들어 UTG(1)가 파지되고, 이 상태로 제1 클램핑유닛(60)이 가이드레일(50)을 따라 상부정전척(10)이 위치된 위치까지 이동된다.Then, the
그리고 도 6에 도시된 바와 같이 상부밴딩가이드(61)가 서로 근접되는 방향으로 소정 거리 이동되어 더욱 오므라들게 되고, 이를 통해 상부밴딩가이드(61)에 파지된 UTG(1)의 가운데 부분이 상부정전척(10) 쪽으로 상향 만곡지게 돌출되게 된다.And, as shown in Fig. 6, the
이후 상부밴딩가이드(61)가 소정 높이로 상승되어 UTG(1)의 가운데 부분을 상부정전척(10)에 부착시킨 다음, 상부밴딩가이드(61)가 서로 반대되는 방향으로 슬라이딩 이동되어 소정 간격 벌어지게 되고, 이를 통해 측벽부(61B)와 경사가이드부(61C)를 통한 UTG(1)의 구속이 해제된다.Thereafter, the
이렇게 상부밴딩가이드(61)에 의한 구속이 해제되고 나면 상부정전척(10)에서 작용하는 정전력에 의해 UTG(1)의 양단이 상부정전척(10)의 저면에 부착되어 위치 고정된다.After the restraint by the
하부밴딩가이드(71)는 상부밴딩가이드(61)와 같이 소정 간격 이격되어 한 쌍이 설치되면서 서로 마주보는 방향으로 근접되거나 또는 서로 반대되는 방향으로 소정 거리 이격되도록 수평 이동 가능하게 구성된다.The
그리고 도 3(b)에 도시된 바와 같이 플렉서블기판(2)의 단부가 안착되도록 수평으로 소정 폭 형성되는 안착부(71A)와, 일단이 상기 안착부(71A)와 연결되면서 타단이 수직으로 하향되는 소정 높이(H)를 가지도록 형성되어 플렉서블기판(2)의 단부가 지지되는 측벽부(71B)와, 일단이 측벽부(71B)와 연결되면서 타단이 소정 각도(A)로 경사지게 형성되는 경사가이드부(71C)를 포함하고, 이를 통해 하부밴딩가이드(71)는 상부밴딩가이드(61)의 상하측이 반대로 형성(상하가 뒤집힌)된 모양을 이루게 된다.And, as shown in Fig. 3(b), a
여기서 상기 측벽부(71B)의 높이(H)는 플렉서블기판(2)의 두께에 대응되는 높이를 가지도록 형성되거나 또는 플렉서블기판(2)의 두께보다 0.1~0.5㎜ 높게 형성되고, 이를 통해 하부밴딩가이드(71)에 파지된 플렉서블기판(2)이 가이드레일(50)을 따라 이송되거나 또는 하부정전척(20)에 부착되는 동안에도 임의로 유동되지 않게 된다.Here, the height H of the
또한, 경사가이드부(71C)는 상부밴딩가이드(61)의 경사가이드부(61C)와 같이 35 ~ 60°의 각도(A)로 형성되고, 이를 통해 플렉서블기판(2)이 하부밴딩가이드(71)를 통해 가운데 부분이 만곡지게 구부러질 때, 단부가 경사가이드부(71C)의 각도(A) 범위 내에서 적절하게 변형되게 된다.In addition, the
그리고 안착부(71A), 측벽부(71B) 및 경사가이드부(71C)는 표면을 따라 불소수지 등을 통해 비점착 코팅되거나 또는 표면에 복수의 미세 홈이 가공되고, 이를 통해 플렉서블기판(2)의 점착면(2A)이 안착부(71A)에 접촉된 상태로 안착되더라도 플렉서블기판(2)이 안착부(71A)에 쉽게 점착되지 않게 된다.In addition, the
상기와 같이 구성되는 제2 클램핑유닛(70)을 통해 플렉서블기판(2)이 파지되어 하부정전척(20)에 부착되는 과정을 설명하면, 제2 클램핑유닛(70)이 제2 버퍼부(40) 쪽으로 이송된 다음 도 7에 도시된 바와 같이 하부밴딩가이드(71)가 서로 반대되는 방향으로 수평 이송되어 소정 폭 이격되도록 벌어지고, 플렉서블기판(2)의 양단이 하부밴딩가이드(71)의 안착부(71A)와 측벽부(71B) 사이에 위치되도록 하부밴딩가이드(71)의 높이가 적절하게 조절된다.When explaining a process in which the
그런 다음, 하부밴딩가이드(71)가 서로 마주보는 방향으로 소정 거리 이동되면서 오므라들어 플렉서블기판(2)이 파지되고, 이 상태로 제2 클램핑유닛(70)이 가이드레일(50)을 따라 하부정전척(20)이 위치된 위치까지 이동된다.Then, the
그리고 도 8에 도시된 바와 같이 하부밴딩가이드(71)가 서로 근접되는 방향으로 소정 거리 이동되어 더욱 오므라들게 되고, 이를 통해 하부밴딩가이드(71)에 파지된 플렉서블기판(2)의 가운데 부분이 하부정전척(20) 쪽으로 하향 만곡지게 돌출되게 된다.In addition, as shown in FIG. 8, the lower bending guides 71 are moved a predetermined distance in a direction close to each other and are further constricted, and through this, the center portion of the
이후 하부밴딩가이드(71)가 소정 높이로 하강되어 플렉서블기판(2)의 가운데 부분을 하부정전척(20)에 부착시킨 다음, 하부밴딩가이드(71)가 서로 반대되는 방향으로 슬라이딩 이동되어 소정 간격 벌어지게 되고, 이를 통해 측벽부(71B)와 경사가이드부(71C)를 통한 플렉서블기판(2)의 구속이 해제된다.Thereafter, the
이렇게 하부밴딩가이드(71)에 의한 구속이 해제되고 나면 하부정전척(20)에서 작용하는 정전력에 의해 플렉서블기판(2)의 양단이 하부정전척(20)의 저면에 부착된다.After the restraint by the
한편, UTG(1)와 플렉서블기판(2)의 가운데 부분을 만곡지게 구부릴 때 그 방향이 상, 하부밴딩가이드(61, 71)는 안착부(61A, 71A)와 경사가이드부(61C, 71C)의 구조로 인해 상, 하부정전척(10, 20)을 각각 향하여 돌출되는 것으로 도시되고 설명되었으나, 이에 더해 UTG(1)와 플렉서블기판(2)을 구부릴 때 상, 하부정전척(10, 20)에 전원을 인가하여 UTG(1)와 플렉서블기판(2)에 소정의 정전력이 작용하도록 하고, 이를 통해 정전력의 끌어당기는 힘과 상, 하부밴딩가이드(61, 71)의 구조를 통해 UTG(1)와 플렉서블기판(2)의 구부러지는 방향이 상, 하부정전척(10, 20)을 각각 향하도록 더욱 확실하게 유도될 수 있다.On the other hand, when the central part of the UTG (1) and the flexible substrate (2) is bent in a curved direction, the upper and lower bending guides 61 and 71 are the
상기와 같이 상, 하부정전척(10, 20)에 각각 UTG(1)와 플렉서블기판(2)이 정전력을 통해 부착되고 나면, 도 9에 도시된 바와 같이 상부정전척(10)이 소정 높이로 하강되고, 하부정전척(20)이 소정 높이로 상승되면서 미리 설정된 소정 압력으로 UTG(1)와 플렉서블기판(2)이 서로 합착되며, 이렇게 합착이 완료되고 나면, 상, 하부정전척(10, 20)에 인가된 전원이 차단되어 정전력이 제거된 다음, 합착되어 제조되는 폴더블 디스플레이가 후속 공정으로 이송(배출)되게 된다.As described above, after the
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 상, 하부밴딩가이드를 통해 UTG와 플렉서블기판의 가운데 부분이 상, 하부정전척 쪽으로 돌출되도록 만곡지게 구부려지게 되고, 이 상태로 상, 하부정전척의 정전력을 통해 UTG와 플렉서블기판의 가운데 부분이 먼저 부착된 다음, 양단 부분이 차례로 부착되게 되므로 UTG와 플렉서블기판을 정확한 위치에 부착시킬 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, the center portion of the UTG and the flexible substrate is bent to protrude toward the upper and lower electrostatic chuck through the upper and lower bending guides, and in this state, through the electrostatic power of the upper and lower electrostatic chuck. Since the UTG and the flexible substrate are attached to the center portion first, and then the both ends are attached in sequence, the UTG and the flexible substrate can be attached to the correct position.
위에서는 설명의 편의를 위해 바람직한 실시예를 도시한 도면과 도면에 나타난 구성에 도면부호와 명칭을 부여하여 설명하였으나, 이는 본 발명에 따른 하나의 실시예로서 도면상에 나타난 형상과 부여된 명칭에 국한되어 그 권리범위가 해석되어서는 안 될 것이며, 발명의 설명으로부터 예측 가능한 다양한 형상으로의 변경과 동일한 작용을 하는 구성으로의 단순 치환은 통상의 기술자가 용이하게 실시하기 위해 변경 가능한 범위 내에 있음은 지극히 자명하다고 볼 것이다.In the above, for the convenience of explanation, the drawings showing the preferred embodiments and the configurations shown in the drawings have been described with reference numerals and names, but this is an embodiment according to the present invention and is It is limited and the scope of the rights should not be interpreted, and the simple substitution with a configuration that has the same effect as a change to a variety of predictable shapes from the description of the invention is within the range that can be changed for easy implementation by a skilled person. You will see it extremely self-evident.
1: UTG 1A: 점착면
2: 플렉서블기판 2A: 점착면
10: 상부정전척 20: 하부정전척
30: 제1 버퍼부 40: 제2 버퍼부
50: 가이드레일 60: 제1 클램핑유닛
61: 상부밴딩가이드 61A: 안착부
61B: 측벽부 61C: 경사가이드부
70: 제2 클램핑유닛 71: 하부밴딩가이드
71A: 안착부 71B: 측벽부
71C: 경사가이드부 A: 경사가이드부의 각도
C: 비점착 코팅부 H: 측벽부의 높이1:
2:
10: upper electrostatic chuck 20: lower electrostatic chuck
30: first buffer unit 40: second buffer unit
50: guide rail 60: first clamping unit
61: upper bending
61B:
70: second clamping unit 71: lower bending guide
71A: mounting
71C: inclined guide part A: angle of inclined guide part
C: non-adhesive coating portion H: height of sidewall
Claims (5)
상기 폴더블 라미네이터는,
상하로 승강 동작되면서 정전력을 통해 저면에 상기 UTG(1)가 선택적으로 부착되는 상부정전척(10);
상기 상부정전척(10)의 하부에 소정 간격 이격되어 상하로 승강 동작되도록 설치되면서 정전력을 통해 상면에 상기 플렉서블기판(2)이 부착되는 하부정전척(20);
상기 상, 하부정전척(10, 20)의 일측에 위치되어 복수 개의 상기 UTG(1)가 적재되는 제1 버퍼부(30);
상기 상, 하부정전척(10, 20)의 타측에 위치되어 복수 개의 상기 플렉서블기판(2)이 적재되는 제2 버퍼부(40);
상기 제1, 2 버퍼부(30, 40)와 상기 상, 하부정전척(10, 20)을 수평으로 가로지르도록 설치되는 가이드레일(50);
상기 가이드레일(50)에 설치되면서 상기 제1 버퍼부(30)에 적재된 상기 UTG(1)를 상기 상부정전척(10) 쪽으로 이동시키는 제1 클램핑유닛(60); 및
상기 가이드레일(50)에 설치되면서 상기 제2 버퍼부(40)에 적재된 상기 플렉서블기판(2)을 상기 하부정전척(20) 쪽으로 이동시키는 제2 클램핑유닛(70);
을 포함하고,
상기 제1, 2 클램핑유닛(60, 70)에는,
상기 UTG(1) 및 상기 플렉서블기판(2)을 파지하는 상, 하부밴딩가이드(61, 71)가 구비되고,
상기 상부밴딩가이드(61)를 통해 상기 UTG(1)의 가운데 부분이 상기 상부정전척(10) 쪽으로 만곡지게 구부러지고, 상기 하부밴딩가이드(71)를 통해 상기 플렉서블기판(2)의 가운데 부분이 상기 하부정전척(20) 쪽으로 만곡지게 구부러진 상태에서, 상기 상, 하부정전척(10, 20)에 부착되도록 구성되며,
상기 상, 하부밴딩가이드(61, 71)는,
상기 UTG(1) 및 상기 플렉서블기판(2)이 안착되는 소정 폭의 안착부(61A, 71A);
상기 안착부(61A, 71A)와 연결되면서 상기 UTG(1) 및 상기 플렉서블기판(2)의 양단 부분이 지지되는 소정 높이(H)의 측벽부(61B, 71B); 및
일단이 상기 측벽부(61B, 71B)와 연결되면서 타단이 상기 안착부(61A, 71A)에 안착된 상기 UTG(1) 및 상기 플렉서블기판(2)이 만곡지게 구부러지도록 소정 각도(A)로 경사지게 형성되는 경사가이드부(61C, 71C);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터.
In the foldable laminator for bonding the UTG (1) and the flexible substrate (2) to each other using an electrostatic chuck,
The foldable laminator,
An upper electrostatic chuck 10 to which the UTG 1 is selectively attached to a bottom surface through an electrostatic power while being moved up and down;
A lower electrostatic chuck 20 to which the flexible substrate 2 is attached to an upper surface through an electrostatic power while being installed at a lower portion of the upper electrostatic chuck 10 to be lifted and lowered at a predetermined interval;
A first buffer unit 30 positioned at one side of the upper and lower electrostatic chuck 10 and 20 to load the plurality of UTGs 1;
A second buffer unit 40 positioned on the other side of the upper and lower electrostatic chuck 10 and 20 to load the plurality of flexible substrates 2;
A guide rail 50 installed to horizontally cross the first and second buffer units 30 and 40 and the upper and lower electrostatic chuck 10 and 20;
A first clamping unit 60 installed on the guide rail 50 and moving the UTG 1 loaded on the first buffer unit 30 toward the upper electrostatic chuck 10; And
A second clamping unit (70) installed on the guide rail (50) and moving the flexible substrate (2) loaded in the second buffer unit (40) toward the lower electrostatic chuck (20);
Including,
In the first and second clamping units (60, 70),
Upper and lower bending guides 61 and 71 for holding the UTG 1 and the flexible substrate 2 are provided,
The middle portion of the UTG (1) is bent toward the upper electrostatic chuck 10 through the upper bending guide 61, and the center portion of the flexible substrate 2 through the lower bending guide 71 It is configured to be attached to the upper and lower electrostatic chuck 10 and 20 in a state that is curved toward the lower electrostatic chuck 20,
The upper and lower bending guides 61 and 71,
Mounting portions 61A and 71A having a predetermined width on which the UTG 1 and the flexible substrate 2 are mounted;
Side wall portions 61B and 71B having a predetermined height (H) connected to the seating portions 61A and 71A and supporting both ends of the UTG 1 and the flexible substrate 2; And
One end is connected to the side wall portions 61B and 71B, and the other end is inclined at a predetermined angle (A) so that the UTG 1 and the flexible substrate 2 seated on the seating portions 61A and 71A are bent to be curved. Inclined guide portions 61C and 71C to be formed;
A laminator for manufacturing a foldable display using constant power, comprising: a.
상기 경사가이드부(61C, 71C)의 상기 각도(A)는,
35 ~ 60°인 것을 특징으로 하는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터.
The method according to claim 1,
The angle (A) of the inclined guide portions 61C, 71C is,
A laminator for manufacturing a foldable display using constant power, characterized in that 35 to 60°.
상기 안착부(61A, 71A), 상기 측벽부(61B, 71B) 및 상기 경사가이드부(61C, 71C)는,
표면이 비점착 코팅되는 것을 특징으로 하는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터.
The method according to claim 1,
The seating portions 61A and 71A, the side wall portions 61B and 71B, and the inclined guide portions 61C and 71C,
A laminator for manufacturing a foldable display using static power, characterized in that the surface is non-adhesive coated.
상기 안착부(61A, 71A), 상기 측벽부(61B, 71B) 및 상기 경사가이드부(61C, 71C)는,
표면에 복수의 미세 홈이 가공되는 것을 특징으로 하는 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터.The method according to claim 1,
The seating portions 61A and 71A, the side wall portions 61B and 71B, and the inclined guide portions 61C and 71C,
A laminator for manufacturing a foldable display using constant power, characterized in that a plurality of fine grooves are processed on the surface.
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Date | Code | Title | Description |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |