KR102148748B1 - An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference - Google Patents

An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference Download PDF

Info

Publication number
KR102148748B1
KR102148748B1 KR1020180154840A KR20180154840A KR102148748B1 KR 102148748 B1 KR102148748 B1 KR 102148748B1 KR 1020180154840 A KR1020180154840 A KR 1020180154840A KR 20180154840 A KR20180154840 A KR 20180154840A KR 102148748 B1 KR102148748 B1 KR 102148748B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
module
ray
inspection object
moved
Prior art date
Application number
KR1020180154840A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200068180A (en
Inventor
김형철
최봉진
장용한
고영복
이정융
조현상
Original Assignee
(주)자비스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)자비스 filed Critical (주)자비스
Priority to KR1020180154840A priority Critical patent/KR102148748B1/en
Publication of KR20200068180A publication Critical patent/KR20200068180A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102148748B1 publication Critical patent/KR102148748B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/043—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using fluoroscopic examination, with visual observation or video transmission of fluoroscopic images
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/04—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/629—Specific applications or type of materials welds, bonds, sealing compounds

Abstract

본 발명은 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 검사 과정에서 간섭을 발생시킬 수 있는 구조를 회피하면서 검사 이미지가 획득되도록 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈(13); 이송 모듈(13)로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단(M2); 회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈(15); 및 방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈(17)을 포함한다.The present invention relates to an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection that allows an inspection image to be obtained while avoiding a structure that may cause interference in an inspection process. An X-ray inspection apparatus for interference avoidance inspection includes a transfer module 13 for transferring an inspection object; Rotation driving means (M2) for rotating the inspection object from the transfer module 13; An x-ray module 15 that is rotated by the rotation driving means M2 and emits X-rays to the inspection object moved to the inspection position; And a detector module 17 that is fixed at a predetermined position or rotatable in order to obtain an X-ray image for different angles of the emitted X-rays.

Description

간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치{An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference}An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference}

본 발명은 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 검사 과정에서 간섭을 발생시킬 수 있는 구조를 회피하면서 검사 이미지가 획득되도록 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection that allows an inspection image to be obtained while avoiding a structure that may cause interference in an inspection process.

엑스레이 검사는 투과 두께에 따른 이미지의 명암 차이를 이용하여 다양한 산업 제품의 비파괴 검사에 적용될 수 있다. 예를 들어 엑스레이 검사는 전자기판, 칩, 배터리 또는 식품의 불량 또는 이물질의 존재 여부의 검사에 적용될 수 있다. 검사를 위하여 검사 부위가 결정되어야 하고 그리고 검사 부위에 엑스레이가 투과되어 해당 부위에 대한 엑스레이 투과 이미지가 얻어져야 한다. 그리고 이미지로부터 검사 대상의 불량 여부가 판단될 수 있다. 그러므로 검사 부위에 대한 정확한 투과 이미지를 얻을 수 있어야 하는 것이 검사의 기본 조건이 된다. 그러나 검사대상에 따라 구조적인 간섭 부위가 형성될 수 있고, 검사대상의 검사 부위에 대한 정확한 검사 이미지를 획득하기 위하여 이와 같은 간섭 부위가 회피될 수 있는 방법이 선택되어야 한다. 엑스레이 검사 장치와 관련된 선행기술에 해당하는 특허공개번호 제10-2017-0012525호는 전자 기판의 솔더링 범프의 엑스레이 검사 방법에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 제10-2016-0006054호는 기판에 검사대상이 밀집하게 분포된 검사 부위에 대한 결함 검사가 가능하도록 하는 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법에 대하여 개시한다. 제시된 선행기술은 구조적으로 간섭을 발생시키는 검사대상에서 간섭을 회피하면서 검사대상의 이미지가 획득될 수 있는 방법에 대하여 개시하지 않는다. X-ray inspection can be applied to non-destructive inspection of various industrial products by using the difference in image contrast according to the transmission thickness. For example, X-ray inspection can be applied to inspection of defects in electronic boards, chips, batteries, or food or the presence of foreign substances. For the examination, an examination area must be determined, and an X-ray transmission image of the area must be obtained by transmitting an X-ray to the examination area. Further, it may be determined from the image whether or not the inspection object is defective. Therefore, it is the basic condition of the inspection to be able to obtain an accurate transmission image of the inspection area. However, a structural interference portion may be formed depending on the inspection object, and a method in which such interference portions can be avoided must be selected in order to obtain an accurate inspection image of the inspection portion of the inspection object. Patent Publication No. 10-2017-0012525, which corresponds to a prior art related to an X-ray inspection apparatus, discloses an X-ray inspection method of soldering bumps on an electronic board. In addition, Patent Publication No. 10-2016-0006054 discloses an X-ray inspection method of a densely inspected portion of a substrate, which enables defect inspection of an inspection portion in which an inspection object is densely distributed on the substrate. The presented prior art does not disclose a method in which an image of an inspection object can be acquired while avoiding interference in an inspection object that causes structural interference.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention has the following objects to solve the problems of the prior art.

선행기술 1: 특허공개번호 제10-2017-0012525호((주)자비스, 2017년02월02일 공개) 전자 기판의 엑스레이 검사 방법Prior Art 1: Patent Publication No. 10-2017-0012525 (Xavis Inc., published on February 2, 2017) X-ray inspection method of electronic board 선행기술 2: 특허공개번호 제10-2016-0006054호((주)자비스, 2016년01월18일 공개) 기판의 밀집 검사 부위의 엑스레이 검사 방법Prior Art 2: Patent Publication No. 10-2016-0006054 (Xavis Co., Ltd., published on January 18, 2016) X-ray inspection method of dense inspection area of substrate

본 발명의 목적은 간섭 구조를 가진 검사대상에서 간섭을 피하면서 검사 부위의 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of inspecting an inspection site while avoiding interference in an inspection object having an interference structure.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈; 이송 모듈로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단; 회전 구동 수단에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈; 및 방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈을 포함한다.According to a preferred embodiment of the present invention, an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection includes a transfer module for transferring an inspection object; Rotation driving means for rotating the inspection object from the transfer module; An x-ray module that is rotated by the rotation driving means to emit X-rays to the inspection object moved to the inspection position; And a detector module that is fixed at a predetermined position or rotatable in order to acquire X-ray images for different angles of the emitted X-rays.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 모듈은 상하 또는 좌우 이동이 가능한 엑스레이 고정 모듈에 결합된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the x-ray module is coupled to an x-ray fixing module capable of vertical or horizontal movement.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 디텍터 모듈은 조절 모듈에 의하여 회전된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the detector module is rotated by the adjustment module.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 대상은 검사 지그에 고정되어 이동된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the inspection object is fixed and moved to the inspection jig.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 지그는 이송 모듈로부터 분리되어 회전된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the inspection jig is rotated separately from the transfer module.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 대상을 이송 모듈에 적재하는 로딩 모듈을 더 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, it further includes a loading module for loading the inspection object into the transport module.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 서로 다른 각도는 10 내지 90 °가 된다.According to another suitable embodiment of the invention, the different angles are between 10 and 90 degrees.

본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 예를 들어 배터리 관리 시스템의 전자 기판에 형성된 납땜(soldering)의 검사가 가능하도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 간섭 구조를 가진 부위에 대한 검사 과정에서 임의의 각도로 검사 대상을 회전시키는 것에 의하여 검사에 적합한 이미지가 획득되도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 대한 다양한 각도의 검사 이미지를 획득하는 것에 의하여 검사 대상의 정밀한 검사가 가능하도록 한다. The x-ray inspection apparatus for interference avoidance inspection according to the present invention enables inspection of soldering formed on an electronic board of a battery management system, for example. The x-ray inspection apparatus according to the present invention allows an image suitable for inspection to be obtained by rotating the inspection object at an arbitrary angle during inspection of a portion having an interference structure. The x-ray inspection apparatus according to the present invention enables precise inspection of an inspection object by acquiring inspection images of various angles with respect to the inspection object.

도 1은 본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 검사 대상의 투입 및 배출 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 정상 또는 불량 검사대상의 처리 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치의 작동 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 대상이 투입되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사대상이 검사 위치로 이송되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 결과에 따라 검사 대상이 처리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. 1 illustrates an embodiment of an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection according to the present invention.
2 shows an embodiment of an input and discharge structure of an object to be inspected applied to an X-ray inspection apparatus according to the present invention.
3 is a diagram illustrating an embodiment of a processing structure of a normal or defective inspection object applied to the X-ray inspection apparatus according to the present invention.
4 shows an embodiment of an operation process of the x-ray inspection apparatus according to the present invention.
5 is a diagram illustrating an embodiment of a process in which an object to be examined is input in the X-ray examination apparatus according to the present invention.
6 illustrates an embodiment of a process in which an object to be inspected is transferred to an inspection position in the x-ray inspection apparatus according to the present invention.
7 illustrates an embodiment of a process in which an examination is performed in an x-ray examination apparatus according to the present invention.
8 illustrates an embodiment of a process in which an object to be examined is processed according to an examination result in the x-ray examination apparatus according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. In the following, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the embodiments are for a clear understanding of the present invention, and the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so if they are not necessary for the understanding of the invention, they will not be described repeatedly, and well-known components will be briefly described or omitted, but the present invention It should not be understood as being excluded from the embodiment of.

도 1은 본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다. 1 illustrates an embodiment of an X-ray inspection apparatus for an interference avoidance inspection according to the present invention.

도 1을 참조하면, 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 이송을 위한 이송 모듈(13); 이송 모듈(13)로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단(M2); 회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈(15); 및 방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈(17)을 포함한다. Referring to FIG. 1, an X-ray inspection apparatus for interference avoidance inspection includes a transfer module 13 for transferring an inspection object; Rotation driving means (M2) for rotating the inspection object from the transfer module 13; An x-ray module 15 that is rotated by the rotation driving means M2 and emits X-rays to the inspection object moved to the inspection position; And a detector module 17 that is fixed at a predetermined position or rotatable in order to obtain an X-ray image for different angles of the emitted X-rays.

검사 대상은 배터리 관리 시스템의 전자기판 또는 이와 유사한 판 형상의 기판이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 다양한 형상을 가지는 검사 대상이 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 의하여 검사가 될 수 있다. 검사 대상에서 검사 부위가 설정될 수 있고, 검사 부위의 위쪽 또는 측면에 간섭 구조가 형성될 수 있고, 이에 따라 검사 대상에 대하여 수직이 되는 방향으로 투과된 수직 엑스레이 이미지에 의한 검사가 어려울 수 있다. 또는 검사 부위 자체의 구조로 인하여 수직 엑스레이 이미지로부터 정확한 검사가 어렵거나, 서로 다른 방향으로부터 투과된 방향 엑스레이 이미지에 의하여 검사 대상에 대한 검사가 이루어질 필요가 있다. 이와 같은 경우 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 의하여 다양한 방향으로 투과된 엑스레이 이미지가 얻어질 수 있고, 이에 의하여 검사 대상에 대한 정확한 검사가 이루어질 수 있다. 다만 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 임의의 방향에 대한 검사가 가능하고 이에 의하여 제한되지 않는다. The object to be inspected may be an electronic board of the battery management system or a similar plate-shaped board, but is not limited thereto. Inspection objects having various shapes may be inspected by the X-ray inspection apparatus according to the present invention. An inspection portion may be set in the inspection object, and an interference structure may be formed on the top or side of the inspection portion, and accordingly, inspection by a vertical X-ray image transmitted in a direction perpendicular to the inspection object may be difficult. Alternatively, due to the structure of the inspection site itself, it is difficult to perform an accurate inspection from a vertical X-ray image, or it is necessary to perform an inspection on the inspection object using a direction X-ray image transmitted from different directions. In this case, an X-ray image transmitted in various directions may be obtained by the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and thus an accurate inspection of the object to be inspected can be performed. However, the X-ray inspection apparatus according to the present invention can be inspected in an arbitrary direction and is not limited thereto.

이송 모듈(13)에 의하여 검사 대상이 이송될 수 있고, 이송 모듈(13)은 컨베이어 유닛(131) 및 컨베이어 유닛(131)의 구동을 위한 모터와 같은 컨베이어 구동 수단(M3)을 포함할 수 있다. 검사 대상은 판 형상, 박스 형상, 원통 형상 또는 이와 유사한 다양한 형상이 될 수 있고, 검사 대상 전체가 검사 부위가 되거나 또는 검사 대상의 일부가 검사 부위가 될 수 있다. 검사 대상은 컨베이어 유닛(131)에 직접 로딩이 되어 이송이 되거나, 검사 지그에 로딩이 되어 검사 지그의 이송에 의하여 검사 대상이 이송될 수 있다. 이송 모듈(13)에 의하여 검사 대상이 검사 위치로 이송되면, 검사 대상 또는 검사 지그가 회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전될 수 있다. 검사 대상 또는 검사 지그는 검사 스테이션(14)에 적재될 수 있고,검사 스테이션(14)은 분리 유닛(141)의 작동에 의하여 이송 모듈(13)로부터 분리될 수 있다. 예를 들어 분리 유닛(141)은 컨베이어 유닛(131)의 아래쪽에 배치되면서 검사 스테이션(14)을 상하로 이동시킬 수 있는 이동 실린더가 될 수 있다. 분리 유닛(141)에 의하여 검사 스테이션(14)이 이송 모듈(13)로부터 위쪽 방향으로 이동되어 분리되면, 회전 구동 수단(M2)에 의하여 검사 대상 또는 검사 스테이션(14)이 회전될 수 있다. 이에 의하여 검사 대상은 이송 모듈(13)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 회전되어 검사 위치로 이동될 수 있다. 이후 검사 대상으로 엑스레이 모듈(15)에 의하여 엑스레이가 방출될 수 있다. The inspection object may be transferred by the transfer module 13, and the transfer module 13 may include a conveyor unit 131 and a conveyor driving means M3 such as a motor for driving the conveyor unit 131. . The inspection object may have a plate shape, a box shape, a cylindrical shape, or various shapes similar thereto, and the entire inspection object may be an inspection area, or a part of the inspection object may be an inspection area. The inspection object may be directly loaded onto the conveyor unit 131 and transferred, or loaded onto an inspection jig and transferred by the transfer of the inspection jig. When the inspection object is transferred to the inspection position by the transfer module 13, the inspection object or the inspection jig may be rotated by the rotation driving means M2. The inspection object or inspection jig can be loaded on the inspection station 14, and the inspection station 14 can be separated from the transfer module 13 by the operation of the separation unit 141. For example, the separating unit 141 may be a moving cylinder that can move the inspection station 14 up and down while being disposed under the conveyor unit 131. When the inspection station 14 is moved upward from the transfer module 13 by the separation unit 141 and separated, the inspection object or the inspection station 14 may be rotated by the rotation driving means M2. Accordingly, the inspection object may be rotated in a direction perpendicular to the extending direction of the transfer module 13 and moved to the inspection position. Thereafter, X-rays may be emitted by the X-ray module 15 as an inspection object.

엑스레이 모듈(15)은 검사 위치로 엑스레이를 방출할 수 있는 다양한 위치에 배치될 수 있지만 바람직하게 이송 모듈(13)의 위쪽에 배치될 수 있다. 엑스레이 모듈(15)은 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합될 수 있고, 엑스레이 고정 모듈(11)은 이송 모듈(13)에 대하여 상하로 또는 좌우로 이동 가능한 구조를 가질 수 있다. 엑스레이 고정 모듈(11)은 이송 모듈(13)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 평면을 가지는 판 형상이 될 수 있고, 아래쪽 부분에 이송 방향과 동일 또는 유사한 방향으로 연장되는 고정 랙(112)을 포함할 수 있다. 고정 랙(112)에 엑스레이 모듈(15)이 고정될 수 있고, 엑스레이 모듈(15)로부터 방출된 엑스레이는 이송 모듈(13) 또는 이송 모듈(13)에 대하여 경사진 방향으로 방출될 수 있다. 선택적으로 고정 랙(112)은 회전 가능한 구조를 가질 수 있다. 엑스레이 고정 모듈(11)의 뒤쪽에 엑스레이 고정 모듈(11)과 평행하도록 연장되는 가이드 유닛(111)이 설치될 수 있고, 가이드 유닛(111)에 한 쌍의 가이드 레일(113a, 113b)이 설치될 수 있다. 엑스레이 고정 모듈(11)은 모터와 같은 이동 구동 수단(M1)의 작동에 의하여 한 쌍의 가이드 레일(113a, 113b)을 따라 좌우로 이동될 수 있다. 또한 엑스레이 고정 모듈(11)은 상하 이동 모듈(12)에 의하여 상하로 이동될 수 있다. 구체적으로 가이드 유닛(111)의 아래쪽 부분에 이동 실린더 또는 구동 모터를 포함하는 상하 이동 모듈(12)이 설치될 수 있고, 상하 이동 모듈(12)의 작동에 의하여 가이드 유닛(111)이 상하로 이동되면서 이와 함께 엑스레이 고정 모듈(11)이 상하로 이동될 수 있다. 고정 랙(112)과 마주보는 위치에 한쪽 가장자리가 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합된 설치 유닛(114)이 형성될 수 있고, 설치 유닛(114)에 디텍터 모듈(17)이 결합될 수 있다. 구체적으로 설치 유닛(114)에 조절 모듈(16)이 결합될 수 있고, 조절 모듈(16)은 설치 유닛(114)에 결합되는 판 형상의 균형 유닛(163); 균형 유닛(163)에 회전 가능하도록 결합되는 조절 커플러(161); 및 조절 커플러(161)의 회전 각도를 조절하는 모터와 같은 구동 수단(M4)을 포함할 수 있다. 그리고 조절 커플러(161)의 한쪽 끝에 디텍터 모듈(17)이 결합될 수 있고, 조절 커플러(161)의 작동에 회전에 의하여 디텍터 모듈(17)이 다양한 각도로 회전될 수 있다. The X-ray module 15 may be disposed in various positions capable of emitting X-rays to the inspection position, but may be preferably disposed above the transfer module 13. The x-ray module 15 may be coupled to the x-ray fixing module 11, and the x-ray fixing module 11 may have a structure capable of moving vertically or horizontally with respect to the transfer module 13. The X-ray fixing module 11 may be in a plate shape having a plane perpendicular to the extension direction of the transfer module 13, and includes a fixing rack 112 extending in the same or similar direction to the transfer direction at a lower portion. can do. The X-ray module 15 may be fixed to the fixed rack 112, and the X-rays emitted from the X-ray module 15 may be emitted in a direction inclined with respect to the transfer module 13 or the transfer module 13. Optionally, the fixed rack 112 may have a rotatable structure. A guide unit 111 extending parallel to the x-ray fixing module 11 may be installed at the rear of the x-ray fixing module 11, and a pair of guide rails 113a and 113b may be installed on the guide unit 111. I can. The X-ray fixing module 11 may be moved left and right along a pair of guide rails 113a and 113b by an operation of a moving driving means M1 such as a motor. In addition, the X-ray fixing module 11 may be moved vertically by the vertical movement module 12. Specifically, a vertical movement module 12 including a moving cylinder or a drive motor may be installed at a lower portion of the guide unit 111, and the guide unit 111 moves vertically by the operation of the vertical movement module 12 As a result, the X-ray fixing module 11 may be moved up and down. An installation unit 114 having one edge coupled to the X-ray fixing module 11 may be formed at a position facing the fixing rack 112, and the detector module 17 may be coupled to the installation unit 114. Specifically, the adjustment module 16 may be coupled to the installation unit 114, and the adjustment module 16 includes a plate-shaped balance unit 163 coupled to the installation unit 114; An adjustment coupler 161 rotatably coupled to the balance unit 163; And it may include a driving means (M4) such as a motor for adjusting the rotation angle of the adjustment coupler 161. In addition, the detector module 17 may be coupled to one end of the adjustment coupler 161, and the detector module 17 may be rotated at various angles by rotation of the adjustment coupler 161.

검사 대상이 이송 모듈(13)로부터 분리되어 회전되면서 검사 위치로 이동될 수 있고, 검사 대상의 위쪽 면에 디텍터 모듈(17)이 위치할 수 있다. 선택적으로 디텍터 모듈(17)은 미리 결정된 위치에 고정될 수 있고, 엑스레이 모듈(15)에 대한 방향 각도가 조절될 수 있는 구조로 설치될 수 있다. 엑스레이 모듈(15)의 작동에 의하여 엑스레이가 검사 대상으로 방출되어 디텍터 모듈(17)에 의하여 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 검사 대상의 회전에 의하여 하나 또는 그 이상의 방향에 대한 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 그리고 이와 같이 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 여부가 판단될 수 있다. The test object may be separated from the transfer module 13 and rotated to move to the test position, and the detector module 17 may be positioned on the upper surface of the test target. Optionally, the detector module 17 may be fixed to a predetermined position, and may be installed in a structure in which a direction angle to the x-ray module 15 can be adjusted. X-rays may be emitted to an inspection target by the operation of the x-ray module 15 and an X-ray image may be obtained by the detector module 17. X-ray images in one or more directions may be obtained by rotation of the object to be examined. In addition, it may be determined whether the object to be examined is normal from the obtained X-ray image.

엑스레이 모듈(15)에 대한 검사 대상의 위치 및 디텍터 모듈(17)의 상대적인 위치는 다양한 방법으로 결정될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The position of the object to be examined with respect to the X-ray module 15 and the relative position of the detector module 17 may be determined in various ways, and are not limited to the exemplary embodiments presented.

검사를 위한 구성 요소는 다양한 형태의 검사 프레임(F1)에 설치될 수 있고, 검사 프레임(F1)은 밀폐 구조로 만들어질 수 있다. 또한 이송 모듈(13)은 이송 프레임(F2)에 설치될 수 있고, 이송 모듈(13)은 검사 프레임(F1)을 관통하는 형태로 설치될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. Components for inspection may be installed in various types of inspection frame F1, and inspection frame F1 may be made in a sealed structure. In addition, the transfer module 13 may be installed in the transfer frame F2, and the transfer module 13 may be installed in a form penetrating the inspection frame F1, but is not limited thereto.

도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 검사 대상의 투입 및 배출 구조의 실시 예를 도시한 것이다. 2 shows an embodiment of an input and discharge structure of an object to be inspected applied to an X-ray inspection apparatus according to the present invention.

엑스레이 모듈과 디텍터 모듈이 설치되는 검사실(21)은 밀폐 구조가 될 수 있고, 검사실(21)의 외부에 제어 패널 또는 디스플레이를 포함하는 검사 제어 모듈(22)이 배치될 수 있다. 검사실(21)의 한쪽 부분에 로딩 모듈(23)이 배치될 수 있고, 로딩 모듈(23)은 상하 가이드(231)에 따라 상하 이동이 가능한 구조를 가질 수 있다. 로딩 모듈(23)은 검사실(21)의 외부에 배치될 수 있고, 위에서 설명된 이송 모듈과 연결될 수 있다. 검사 대상은 적절한 이송 수단에 의하여 로딩 모듈(23)의 위치로 이동될 수 있고, 로딩 모듈(23)이 위쪽으로 이동되면서 검사 대상을 분리할 수 있다. 로딩 모듈(23)은 검사 스테이션 또는 이와 유사한 검사 대상의 고정을 위한 수단을 포함할 수 있고, 검사 스테이션에 검사 대상이 고정되면 로딩 모듈(23)이 검사실(21)의 내부로 이동될 수 있다. 이후 검사실(21)의 내부에서 검사 대상이 검사되고, 검사 과정이 검사 제어 모듈(22)에 의하여 제어되면서 디스플레이와 같은 표시 수단에 표시가 될 수 있다. 검사가 완료된 검사 대상은 배출 모듈(24)로 이송될 수 있고, 배출 모듈(24)에 검사가 완료된 검사 대상의 이송을 유도하는 이송 유도 모듈(25)이 배치될 수 있다. 또한 배출 모듈(24)에 검사 대상의 공정 과정에 투입하는 그립 모듈이 배치될 수 있고, 그립 모듈은 적어도 하나의 링크 부재로 이루어진 링크 유닛(261) 및 검사 대상을 고정하는 그립 유닛(262)을 포함할 수 있다. The examination room 21 in which the X-ray module and the detector module are installed may have a closed structure, and an examination control module 22 including a control panel or a display may be disposed outside the examination room 21. The loading module 23 may be disposed in one portion of the examination room 21, and the loading module 23 may have a structure capable of moving up and down according to the up and down guides 231. The loading module 23 may be disposed outside the examination room 21 and may be connected to the transfer module described above. The inspection object can be moved to the position of the loading module 23 by an appropriate transfer means, and the inspection object can be separated while the loading module 23 is moved upward. The loading module 23 may include a means for fixing an inspection station or similar inspection object, and when the inspection object is fixed to the inspection station, the loading module 23 can be moved into the interior of the inspection chamber 21. Thereafter, the inspection object is inspected inside the inspection room 21, and the inspection process is controlled by the inspection control module 22, and may be displayed on a display means such as a display. The inspection object for which the inspection is completed may be transferred to the discharge module 24, and a transfer induction module 25 for guiding the transfer of the inspection object for which the inspection has been completed may be disposed in the discharge module 24. In addition, a grip module that is injected into the process of the inspection object may be disposed in the discharge module 24, and the grip module includes a link unit 261 made of at least one link member and a grip unit 262 for fixing the inspection object. Can include.

검사실(21)은 엑스레이의 외부 누출을 방지하기 위한 밀폐 구조를 가질 수 있고, 적절한 차폐 수단에 의하여 검사 대상이 검사실(21)의 내부로 투입되거나, 배출되도록 할 수 있다. The examination room 21 may have a sealed structure to prevent external leakage of X-rays, and an object to be tested may be introduced into or discharged into the interior of the examination room 21 by an appropriate shielding means.

도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용되는 정상 또는 불량 검사대상의 처리 구조의 실시 예를 도시한 것이다. 3 is a diagram illustrating an embodiment of a processing structure of a normal or defective inspection object applied to the X-ray inspection apparatus according to the present invention.

도 3을 참조하면, 검사실(21)은 차폐 구조로 만들어지면서 입구 및 출구에 각각 검사 대상의 출입을 위한 제1, 2 셔터(31, 33)가 형성될 수 있다. 검사 대상은 제1 셔터(31)의 앞쪽에 위치하여 검사를 위한 대기 상태가 되면 제1 셔터(31)가 열릴 수 있고, 유도 모듈(32)이 작동될 수 있다. 유도 모듈(32)은 검사실(21)의 안쪽에 배치되거나, 이송 모듈(13)을 따라 이동 가능한 구조를 가질 수 있다. 유도 모듈(32)의 앞쪽에 검사 대상이 고정되는 고정 지그(324)가 형성될 수 있고, 고정 지그(324)의 뒤쪽 중앙에 회전 커플러(321)가 형성되고, 회전 커플러(321)에 회전 부재(322)의 한쪽 끝이 결합될 수 있다. 회전 커플러(321)와 회전 부재(322)는 예를 들어 유니버설 조인트 결합 또는 이와 유사한 회전 결합이 될 수 있고, 회전 부재(322)의 다른 끝에 회전 조인트(323)가 결합되어 유도 모듈(32)이 검사실(21)의 내부 구조물 또는 이송 모듈(13)에 결합될 수 있다. 회전 조인트(323)에 의하여 회전 부재(322)가 제1 방향으로 회전될 수 있고, 회전 커플러(321)에 의하여 고정 지그(324)가 제1 방향과 동일하거나, 서로 다른 제2 방향으로 회전될 수 있다. 제1 셔터(31)가 열리면 유도 모듈(32)이 작동되어 고정 지그(324)가 제1 셔터(31)의 외부로 이동되어 검사 대상을 검사실(21)의 내부로 이동시킬 수 있다. 이송 모듈(13)은 검사실(21)의 내부로부터 외부로 연장될 수 있고, 제1 셔터(31)의 맞은 편 부분에 제2 셔터(33)가 설치될 수 있다. 유도 모듈(32)은 이송 모듈(13)을 따라 이동되어 검사 위치로 검사 대상을 이동시킬 수 있다. 검사 위치에서 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 검사 대상에 대한 엑스레이 이미지가 획득되어 검사 대상의 정상 여부가 결정될 수 있다. 검사가 완료되면 검사실(21)의 제2 셔터(33)가 열릴 수 있고, 검사 대상의 검사실(31)의 외부로 배출될 수 있다. 검사실(21)의 외부로 검사대상이 배출되면 제2 셔터(33)가 닫히고, 검사 결과에 따라 검사 대상은 서로 다른 경로로 배출될 수 있다. 예를 들어 불량으로 판정된 검사 대상은 그립 유닛(262)에 의하여 불량 배출 경로(34)에 적재되어 배출될 수 있다. 검사 결과에 따라 검사 대상은 다양한 경로로 배출될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. Referring to FIG. 3, while the examination room 21 is made of a shielding structure, first and second shutters 31 and 33 may be formed at the entrance and exit, respectively, for entrance and exit of the object. When the object to be inspected is located in front of the first shutter 31 and is in a standby state for inspection, the first shutter 31 may be opened and the induction module 32 may be operated. The induction module 32 may be disposed inside the examination room 21 or may have a structure movable along the transfer module 13. A fixing jig 324 to which an inspection object is fixed may be formed in the front of the induction module 32, a rotation coupler 321 is formed at the rear center of the fixing jig 324, and a rotation member in the rotation coupler 321 One end of 322 can be joined. The rotary coupler 321 and the rotary member 322 may be, for example, universal joint coupling or similar rotary coupling, and the rotary joint 323 is coupled to the other end of the rotary member 322 so that the induction module 32 is It may be coupled to the internal structure of the examination room 21 or the transfer module 13. The rotation member 322 may be rotated in the first direction by the rotation joint 323, and the fixing jig 324 may be rotated in the same or different second direction as the first direction by the rotation coupler 321. I can. When the first shutter 31 is opened, the induction module 32 is operated so that the fixing jig 324 is moved to the outside of the first shutter 31 to move the test object into the test room 21. The transfer module 13 may extend from the inside of the examination room 21 to the outside, and the second shutter 33 may be installed at a portion opposite the first shutter 31. The induction module 32 may be moved along the transfer module 13 to move the inspection object to the inspection position. At the inspection position, an X-ray image of the inspection object is acquired by the X-ray tube and the detector, and it may be determined whether the inspection object is normal. When the test is completed, the second shutter 33 of the test room 21 may be opened, and may be discharged to the outside of the test room 31 to be tested. When the test object is discharged to the outside of the test room 21, the second shutter 33 is closed, and the test target may be discharged through different paths according to the test result. For example, an inspection object determined to be defective may be loaded onto the defective discharge path 34 by the grip unit 262 and discharged. Depending on the test result, the test object may be discharged through various routes and is not limited to the presented embodiment.

도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치의 작동 과정의 실시 예를 도시한 것이다. 4 shows an embodiment of an operation process of the x-ray inspection apparatus according to the present invention.

도 4를 참조하면, 엑스레이 검사 방법은 검사 지그가 이동되고, 유도 실린더가 이동 준비를 하는 단계(P41); 검사 지그에 검사 대상이 적재되어 검사 대상이 검사실로 투입되고, 엑스레이 모듈의 작동이 개시되는 단계(P42); 유도 실린더가 컨베이어 유닛에 의하여 이동되어 회전이 되어 검사 위치로 이동되는 단계(P43); 엑스레이 모듈의 작동에 의하여 검사 대상에 대한 엑스레이 이미지가 획득되는 단계(P44); 엑스레이 모듈의 작동이 중단되고 유도 실린더가 컨베이어 유닛에 의하여 검사실의 외부로 이동되는 단계(P45); 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 또는 불량 여부가 판단되는 단계(P46); 및 판단 결과에 따라 검사 대상이 서로 다른 경로로 배출되는 단계(P47)를 포함한다. Referring to Figure 4, the X-ray inspection method includes the steps of moving the inspection jig and preparing the induction cylinder to move (P41); A step (P42) in which an inspection object is loaded on the inspection jig, the inspection object is introduced into the inspection room, and the operation of the X-ray module is started (P42); The induction cylinder is moved by the conveyor unit and rotated to move to the inspection position (P43); Obtaining an X-ray image of the object to be examined by the operation of the X-ray module (P44); The operation of the X-ray module is stopped and the guide cylinder is moved to the outside of the examination room by the conveyor unit (P45); Determining whether the object to be inspected is normal or defective from the obtained X-ray image (P46); And a step (P47) of discharging the inspection object through different paths according to the determination result.

검사 지그에 적절한 적재 수단에 의하여 검사 대상이 적재될 수 있고, 검사 지그가 밀폐 구조를 가지는 검사실의 내부로 이동될 수 있다(P42). 또는 유도 실린더에 검사 지그가 결합될 수 있고, 검사 지그가 검사실의 외부로 이동되어 검사 대상을 검사실의 내부로 투입시킬 수 있다(P42). 유도 실린더는 컨베이어 유닛을 따라 이동될 수 있고, 이에 따라 검사 대상이 이동될 수 있다. 유도 실린더는 예를 들어 상하로 이동 가능하면서 이와 동시에 회전 가능한 구조를 가질 수 있다. 유도 실린더의 이동 및 회전에 따라 검사 대상이 검사 위치로 이동될 수 있다(P43). 검사 위치는 컨베이어 유닛에 의한 이동 경로로부터 분리되어 위치할 수 있고, 검사 대상은 평면에 대하여 경사진 방향을 향할 수 있다. 엑스레이 모듈의 작동에 의하여 엑스레이 이미지가 획득될 수 있고(P44), 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 또는 불량 여부가 판단될 수 있다(P46). 이후 판단 결과에 따라 검사 대상은 적절한 배출 경로를 따라 이동될 수 있고(P47), 아래에서 이와 같은 과정에 대하여 구체적으로 설명된다. The inspection object can be loaded by an appropriate loading means on the inspection jig, and the inspection jig can be moved into the interior of the inspection room having a closed structure (P42). Alternatively, the test jig may be coupled to the induction cylinder, and the test jig may be moved to the outside of the test room to introduce the test object into the test room (P42). The induction cylinder can be moved along the conveyor unit, and the inspection object can be moved accordingly. The induction cylinder may have, for example, a structure that can move up and down and rotate at the same time. According to the movement and rotation of the induction cylinder, the inspection object may be moved to the inspection position (P43). The inspection position may be located separate from the moving path by the conveyor unit, and the inspection object may face a direction inclined with respect to the plane. An X-ray image may be obtained by the operation of the X-ray module (P44), and it may be determined whether the object to be inspected is normal or defective from the obtained X-ray image (P46). Thereafter, according to the determination result, the object to be inspected may be moved along an appropriate discharge path (P47), and this process will be described in detail below.

도 5는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 대상이 투입되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.5 is a diagram illustrating an embodiment of a process in which an object to be examined is input in the X-ray examination apparatus according to the present invention.

도 5를 참조하면, 좌측은 검사 대상이 검사 지그에 적재되는 과정을 나타낸 것이고, 우측은 유도 실린더에 의하여 검사 대상이 적재된 검사 지그가 검사 위치로 이동되는 과정을 나타낸 것이다. 검사 대상은 검사를 위하여 검사실의 앞쪽에 대기할 수 있고(P511), 검사 지그가 이동되어 검사 대상의 위치로 이동될 수 있고 검사 지그에 형성된 스토퍼가 열릴 수 있다. 이와 함께 검사실의 제1 셔터가 열리고 유도 실린더가 이동되어 검사 지그의 위치로 이동될 수 있다(P521). 검사 대상이 검사 지그에 투입되고(P512), 유도 실린더의 이동에 따른 개시 신호가 발생되어 검사 지그로 전송되면 검사 지그가 정렬이 되고, 완료 신호를 유도 실린더로 전송할 수 있다(P513). 유도 실린더가 상승되어 검사 지그와 결합되고, 다시 유도 실린더가 검사실의 내부로 이동되면서 검사 대상이 검사실의 내부로 이동될 수 있고, 이후 스토퍼가 닫히면 아래에서 설명되는 검사 과정이 개시될 수 있다. Referring to FIG. 5, the left side shows the process of loading the inspection object onto the inspection jig, and the right side shows the process of moving the inspection jig loaded with the inspection object to the inspection position by an induction cylinder. The object to be inspected may wait in front of the inspection room for inspection (P511), the inspection jig can be moved to be moved to the position of the inspection object, and a stopper formed in the inspection jig can be opened. In addition, the first shutter of the examination room is opened and the guide cylinder is moved to move to the position of the examination jig (P521). When the inspection object is put into the inspection jig (P512), and a start signal according to the movement of the induction cylinder is generated and transmitted to the inspection jig, the inspection jig is aligned, and a completion signal can be transmitted to the induction cylinder (P513). The guide cylinder is raised to be coupled with the inspection jig, and the guide cylinder is moved back to the inside of the inspection room, so that the inspection object can be moved to the inside of the inspection room, and when the stopper is closed, the inspection process described below can be started.

도 6은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사대상이 검사 위치로 이송되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. 6 illustrates an embodiment of a process in which an object to be inspected is transferred to an inspection position in the x-ray inspection apparatus according to the present invention.

도 6을 참조하면, 검사 지그가 결합된 유도 실린더가 이송 모듈에서 이송되도록 정렬되면, 제1 셔터가 닫히고 이에 의하여 검사실이 차폐가 될 수 있다(P61). 유도 실린더가 이송 모듈을 따라 검사 위치로 이송될 수 있고, 이와 함께 엑스레이 모듈이 켜질 수 있다(P62). 유도 실린더가 이송 모듈에 의하여 정해진 위치로 이동되면 유도 실린더가 상승이 되면서 검사 지그가 이송 모듈로부터 분리될 수 있다. 이후 유도 실린더가 회전이 되어 검사 대상이 검사 위치로 이동될 수 있다(P63). 그리고 검사 위치에서 엑스레이 모듈 및 디텍터에 의하여 엑스레이 이미지가 획득될 수 있고, 하나의 검사 대상에 대하여 서로 다른 방향 각도로 다수 개의 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 또한 하나의 검사 대상에 대하여 서로 다른 부위에 대한 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다(P64). 이와 같은 방법으로 적어도 하나의 엑스레이 이미지가 획득되면 엑스레이 모듈이 작동이 중단되고(off), 유도 실린더가 회전이 되고, 다시 하강이 되어 검사 지그가 이송 모듈에 위치할 수 있다(P66). 이와 같이 검사 지그 또는 유도 실린더가 이송 가능한 상태가 되면 컨베이어 유닛의 작동에 의하여 검사 대상이 검사실의 외부로 배출될 수 있다(P67). 검사 대상의 배출을 위하여 제2 셔터가 개방될 수 있고, 유도 실린더가 검사실의 외부로 이동되면 제2 셔터가 닫힐 수 있다. 이후 엑스레이 이미지에 의하여 검사 대상의 정상 여부가 판단될 수 있다. Referring to FIG. 6, when the guide cylinder to which the test jig is coupled is aligned to be transferred by the transfer module, the first shutter is closed, thereby shielding the test room (P61). The induction cylinder can be transferred to the inspection position along the transfer module, and the X-ray module can be turned on together with the transfer module (P62). When the induction cylinder is moved to a predetermined position by the transfer module, the inspection jig can be separated from the transfer module as the guide cylinder is raised. Thereafter, the induction cylinder is rotated so that the test object may be moved to the test position (P63). In addition, an X-ray image may be obtained by an X-ray module and a detector at an examination position, and a plurality of X-ray images may be obtained at different angles with respect to one examination object. In addition, X-ray images of different regions may be obtained for one examination object (P64). When at least one X-ray image is acquired in this way, the operation of the X-ray module is stopped (off), the induction cylinder is rotated, and lowered again, so that the inspection jig may be positioned in the transfer module (P66). In this way, when the inspection jig or the guide cylinder is in a transferable state, the inspection object may be discharged to the outside of the inspection room by the operation of the conveyor unit (P67). The second shutter may be opened to discharge the test object, and when the induction cylinder is moved to the outside of the test room, the second shutter may be closed. Thereafter, it may be determined whether the object to be examined is normal based on the X-ray image.

도 7은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. 7 illustrates an embodiment of a process in which an examination is performed in an x-ray examination apparatus according to the present invention.

도 7을 참조하면, 제2 셔터가 열리면, 이송 모듈을 따라 유도 실린더가 검사실의 외부로 이동될 수 있다(P71). 검사가 완료된 검사 대상이 검사실 외부로 이동되면 획득된 엑스레이 이미지로부터 검사 대상의 정상 여부가 판정될 수 있다(P72). 만약 검사 대상의 판정 과정(P73)에서 정상으로 판정되면(YES), 정상 배출 경로를 통하여 검사 대상이 배출될 수 있다(P74). 이에 비하여 불량으로 판정이 되면(NO), 불량 배출 경로로 배출될 수 있다(P75). 그리고 이와 같은 검사 대상의 배출 경로로 이동을 위하여 검사 대상이 검사 지그로부터 분리가 될 수 있다. Referring to FIG. 7, when the second shutter is opened, the induction cylinder may be moved to the outside of the examination room along the transfer module (P71). When the inspection object on which the inspection has been completed is moved outside the inspection room, it may be determined whether the inspection object is normal from the acquired X-ray image (P72). If it is determined as normal (YES) in the determination process P73 of the inspection object, the inspection object may be discharged through the normal discharge path (P74). On the contrary, if it is determined as defective (NO), it may be discharged through a defective discharge path (P75). In addition, the inspection object can be separated from the inspection jig in order to move to the discharge path of the inspection object.

도 8은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에서 검사 결과에 따라 검사 대상이 처리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. 8 illustrates an embodiment of a process in which an object to be examined is processed according to an examination result in the x-ray examination apparatus according to the present invention.

도 8을 참조하면, 검사 완료가 되면 분리를 위한 준비 신호가 발생될 수 있고(P811), 검사 지그의 분리 위치에서 컨베이어 유닛이 정지될 수 있다(P812). 이와 함께 유도 실린더가 작동 준비가 되고(P821), 작동 준비 신호를 검사 지그의 작동을 위한 제어 모듈로 전송할 수 있다(P822). 이에 따라 검사 지그를 고정하고 있는 스토퍼가 개방이 되고(P813), 검사 지그의 분리 준비가 완료되었는지 여부가 판단될 수 있다(P814). 만약 분리 준비를 위한 준비가 완료되지 않았다면(NO), 준비 신호의 발생 단계로 이행될 수 있다(P811). 이에 비하여 분리 준비가 완료되었다면, 유도 실린더가 상승이 되고, 위에서 설명된 그립 모듈에 의하여 검사 대상이 검사 지그로부터 분리되거나, 검사 지그 자체가 유도 실린더로부터 분리할 수 있다. 이후 유도 실린더가 다시 대기 상태가 되기 위하여 후진될 수 있다(P84). 이와 같이 분리된 검사 대상은 정상 배출 경로 또는 불량 배출 경로에 적재될 수 있고, 완료 신호를 발생시킬 수 있다. 그리고 이와 같이 배출 경로에 대한 적재가 완료되면 완료 신호를 발생시킬 수 있다(P85). 이에 따라 다시 검사 대상의 검사실에 대한 투입 과정이 진행될 수 있다(P83).Referring to FIG. 8, when the inspection is completed, a preparation signal for separation may be generated (P811), and the conveyor unit may be stopped at the separation position of the inspection jig (P812). Along with this, the induction cylinder is ready to operate (P821), and an operation ready signal can be transmitted to the control module for operating the inspection jig (P822). Accordingly, the stopper fixing the inspection jig is opened (P813), and it may be determined whether the preparation for separation of the inspection jig is completed (P814). If the preparation for separation preparation is not completed (NO), it may proceed to the stage of generating the preparation signal (P811). On the other hand, if the preparation for separation is complete, the guide cylinder is raised, and the inspection object can be separated from the inspection jig by the grip module described above, or the inspection jig itself can be separated from the guide cylinder. After that, the induction cylinder may be retracted to become a standby state again (P84). The separated inspection object may be loaded on a normal discharge path or a defective discharge path, and may generate a completion signal. And when the loading of the discharge path is completed, a completion signal may be generated (P85). Accordingly, the process of inputting the test object to the test room may be performed again (P83).

검사가 완료된 검사 대상의 처리는 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.The processing of the inspection object for which the inspection has been completed may be performed in various ways and is not limited to the presented embodiments.

본 발명에 따른 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 예를 들어 배터리 관리 시스템의 전자 기판에 형성된 납땜(soldering)의 검사가 가능하도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 간섭 구조를 가진 부위에 대한 검사 과정에서 임의의 각도로 검사 대상을 회전시키는 것에 의하여 검사에 적합한 이미지가 획득되도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 대한 다양한 각도의 검사 이미지를 획득하는 것에 의하여 검사 대상의 정밀한 검사가 가능하도록 한다. The x-ray inspection apparatus for interference avoidance inspection according to the present invention enables inspection of soldering formed on an electronic board of a battery management system, for example. The x-ray inspection apparatus according to the present invention allows an image suitable for inspection to be obtained by rotating the inspection object at an arbitrary angle during inspection of a portion having an interference structure. The x-ray inspection apparatus according to the present invention enables precise inspection of an inspection object by acquiring inspection images of various angles with respect to the inspection object.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. The present invention has been described in detail above with reference to the presented embodiments, but those of ordinary skill in this field will be able to make various modifications and modifications without departing from the technical spirit of the present invention with reference to the presented embodiments. . The present invention is not limited by such modifications and variations of the invention, but is limited by the claims appended below.

11: 엑스레이 고정 모듈 12: 상하 이동 모듈
13: 이송 모듈 14: 검사 스테이션
15: 엑스레이 모듈 16: 조절 모듈
17: 디텍터 모듈 21: 검사실
22: 검사 제어 모듈 23: 로딩 모듈
24: 배출 모듈 25: 이송 유도 모듈
31, 33: 제1, 2 셔터 32: 유도 모듈
34: 불량 배출 경로 111: 가이드 유닛
112: 고정 랙 113a, 113b: 가이드 레일
114: 설치 유닛 131: 컨베이어 유닛
141: 분리 유닛 161: 조절 커플러
163: 균형 유닛 231: 상하 가이드
261: 링크 유닛 262: 그립 유닛
321: 회전 커플러 322: 회전 부재
323: 회전 조인트 324: 고정 지그
F1: 검사 프레임 F2: 이송 프레임
M1: 이동 구동 수단 M2: 회전 구동 수단
M3: 컨베이어 구동 수단 M4: 구동 수단11: X-ray fixing module 12: Up and down movement module
13: Transfer module 14: Inspection station
15: x-ray module 16: control module
17: detector module 21: laboratory
22: inspection control module 23: loading module
24: discharge module 25: feed induction module
31, 33: first, second shutter 32: induction module
34: bad discharge path 111: guide unit
112: fixed rack 113a, 113b: guide rail
114: installation unit 131: conveyor unit
141: separation unit 161: adjustment coupler
163: balance unit 231: up and down guide
261: link unit 262: grip unit
321: rotation coupler 322: rotation member
323: rotary joint 324: fixed jig
F1: Inspection frame F2: Feed frame
M1: movement drive means M2: rotation drive means
M3: conveyor drive means M4: drive means

Claims (7)

검사 대상의 이송을 위한 컨베이어 유닛(131)을 포함하는 이송 모듈(13);
이송 모듈(13)로부터 검사 대상을 회전시키는 회전 구동 수단(M2);
회전 구동 수단(M2)에 의하여 회전이 되어 검사 위치로 이동된 검사 대상으로 엑스레이를 방출하는 엑스레이 모듈(15); 및
방출된 엑스레이의 서로 다른 각도에 대한 엑스레이 이미지의 획득을 위하여 정해진 위치에 고정되거나, 회전 가능한 디텍터 모듈(17)을 포함하고,
엑스레이 모듈(15)은 상하 또는 좌우 이동이 가능한 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합되고, 상기 엑스레이 고정 모듈(11)은 이송 모듈(13)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 평면을 가지는 판 형상으로 이루어지고,
디텍터 모듈(17)은 조절 모듈(16)에 의하여 회전되고, 상기 조절 모듈(16)은 엑스레이 고정 모듈(11)에 결합된 설치 유닛(114)에 결합되고,
검사 대상은 검사 스테이션(14)에 적재되는 검사 지그에 고정되어 이동되고,
컨베이어 유닛(131)의 아래쪽에 배치되면서 검사 스테이션(14)을 상하로 이동시킬 수 있는 이동 실린더가 되는 분리 유닛(141)을 더 포함하고, 상기 분리 유닛(141)에 의하여 검사 스테이션(14)이 이송 모듈(13)로부터 위쪽 방향으로 이동되어 분리된 후 상기 회전 구동 수단(M2)에 의하여 검사 스테이션(14)이 회전됨으로써 상기 검사 대상이 회전되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치. A transfer module 13 including a conveyor unit 131 for transferring an inspection object;
Rotation driving means (M2) for rotating the inspection object from the transfer module 13;
An x-ray module 15 which is rotated by the rotation driving means M2 and emits X-rays to the inspection object moved to the inspection position; And
It includes a detector module 17 that is fixed or rotatable at a predetermined position in order to acquire an X-ray image for different angles of the emitted X-rays,
The x-ray module 15 is coupled to an x-ray fixing module 11 capable of vertical or horizontal movement, and the x-ray fixing module 11 is formed in a plate shape having a plane perpendicular to the extending direction of the transfer module 13. under,
The detector module 17 is rotated by the control module 16, the control module 16 is coupled to the installation unit 114 coupled to the X-ray fixing module 11,
The inspection object is fixed and moved to the inspection jig loaded in the inspection station 14,
It further comprises a separation unit 141, which is disposed under the conveyor unit 131 and becomes a moving cylinder capable of moving the inspection station 14 up and down, and the inspection station 14 by the separation unit 141 X-ray inspection apparatus for interference avoidance inspection, characterized in that the inspection object is rotated by rotating the inspection station (14) by the rotation driving means (M2) after being separated by being moved upward from the transfer module (13). 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서, 검사 대상을 이송 모듈(13)에 적재하는 로딩 모듈(23)을 더 포함하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치.The x-ray inspection apparatus according to claim 1, further comprising a loading module (23) for loading the inspection object into the transfer module (13). 청구항 1에 있어서, 서로 다른 각도는 10 내지 90°가 되는 것을 특징으로 하는 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치. The x-ray inspection apparatus of claim 1, wherein different angles are 10 to 90°.
KR1020180154840A 2018-12-05 2018-12-05 An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference KR102148748B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180154840A KR102148748B1 (en) 2018-12-05 2018-12-05 An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180154840A KR102148748B1 (en) 2018-12-05 2018-12-05 An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200068180A KR20200068180A (en) 2020-06-15
KR102148748B1 true KR102148748B1 (en) 2020-08-27

Family

ID=71081509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180154840A KR102148748B1 (en) 2018-12-05 2018-12-05 An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102148748B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112229858A (en) * 2020-11-02 2021-01-15 衡阳市瑞启新能源有限公司 Quality inspection equipment of quality inspection assembly line for lithium battery production and quality inspection method thereof

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101181845B1 (en) * 2011-12-22 2012-09-11 주식회사 쎄크 Automatic x-ray inspection apparatus for surface mount technology in-line

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101717678B1 (en) * 2010-01-28 2017-03-20 주식회사 쎄크 Inline computed tomography inspection system and method using the same
KR101654825B1 (en) 2014-07-08 2016-09-22 (주)자비스 Method for Inspecting Compact Parts Formed on Substrate in Defect Inspection
KR101657982B1 (en) * 2014-09-15 2016-09-30 (주)자비스 Apparatus for Investigating LED Package with X-ray
KR101654818B1 (en) * 2014-12-01 2016-09-22 (주)자비스 Tray Module for X-Ray Instigation and Apparatus for Investigating Object with X-ray by Lateral Direction Emission
KR102137186B1 (en) 2017-01-20 2020-07-23 (주)자비스 Method for Inspecting a Electronic Board with X-ray

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101181845B1 (en) * 2011-12-22 2012-09-11 주식회사 쎄크 Automatic x-ray inspection apparatus for surface mount technology in-line

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200068180A (en) 2020-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101975562B1 (en) An X-ray Inspecting Apparatus Capable of Investigating a Inner Defect and a Welding Part
US8983030B2 (en) Inspection machine for printed circuit board
WO2017022890A1 (en) X-ray inspection device for battery inspection and battery inspection method thereby
KR101246958B1 (en) Specimen inspecting apparatus using multi-line senser camera and multi-light
CN102331429A (en) Substrate inspection device and substrate inspection method
KR101374634B1 (en) inline X-ray shielding door unit and X-ray inspecting system having the same
KR101654818B1 (en) Tray Module for X-Ray Instigation and Apparatus for Investigating Object with X-ray by Lateral Direction Emission
US10545101B2 (en) Inspection apparatus
KR102148748B1 (en) An X-Ray Investigating Apparatus for Avoiding an Interference
CN108833907A (en) Dual camera test device and test method
KR102000955B1 (en) X-Ray Apparatus for Inspecting a Plural of Objects Simultaneously and Method for the Same
WO2009121051A2 (en) X-ray inspection systems and methods
KR101673544B1 (en) An Apparatus for Inspecting Batteries Automatically in Succession
KR20210111189A (en) A Plural Conveying Paths Type of an X-ray Investigating Apparatus
KR100748108B1 (en) apparatus and method for inspecting CRT panel
KR102270832B1 (en) An X-ray Apparatus for Detecting a Flaw of an Object with a Structure of Multi-Investigating Point and Multi-Exit Passage
KR101719470B1 (en) The electronic component testing apparatus and testing method
WO2016024648A1 (en) Apparatus for inspecting large-area plane
KR20160014760A (en) Changable Type of Apparatus for Inspection with X-ray Having Module Structure
KR102381642B1 (en) An X-Ray Apparatus for Investigating a Wafer and a Method for a Wafer Using the Same
KR102242093B1 (en) An apparatus for inspecting metal mask
KR101657982B1 (en) Apparatus for Investigating LED Package with X-ray
WO2021085680A1 (en) X-ray apparatus for wafer inspection and x-ray inspection method thereby
JP2002296204A (en) X-ray inspection device and method
WO2017155258A2 (en) X-ray inspection apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right