KR102144892B1 - Shower head fastening device - Google Patents

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Abstract

샤워헤드 체결장치를 개시한다. 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치는, 캐소드의 체결홈에 안착되는 베이스부와, 상기 베이스부의 상부로 돌출되고 중앙을 상하방향으로 관통하는 관통홀이 형성되는 돌출부를 포함하는 부시; 상기 돌출부가 끼워지는 삽입홈을 포함하는 고정부와, 상기 베이스부 외면의 적어도 일부를 감싸도록 상기 고정부의 하측에서 연장되는 연장부를 포함하는 고정구; 및 상기 돌출부가 끼워지는 중공을 포함하고, 상하면이 각각 상기 베이스부 및 고정부에 접촉하는 접촉링을 포함할 수 있다.A showerhead fastening device is disclosed. A showerhead fastening device according to an embodiment includes: a bush including a base portion seated in a fastening groove of a cathode, and a protrusion having a through hole protruding upward and penetrating a center of the base portion; A fixture including a fixing part including an insertion groove into which the protrusion is fitted, and an extension part extending from a lower side of the fixing part to surround at least a part of an outer surface of the base part; And a contact ring including a hollow into which the protrusion is fitted, and the upper and lower surfaces thereof contacting the base portion and the fixing portion, respectively.

Description

샤워헤드 체결장치{SHOWER HEAD FASTENING DEVICE}Shower head fastening device {SHOWER HEAD FASTENING DEVICE}

아래의 실시예는 샤워헤드 체결장치에 관한 것이다.The following embodiments relate to a showerhead fastening device.

반도체 소자는, 기판 상부에 반도체막, 도전막 또는 절연막을 형성하고, 이를 프로파일에 따라 식각함으로써 제조된다. 최근에는 반도체 소자의 제조 공정에서, 플라즈마 기술을 이용하여 식각 공정을 수행함으로써, 공정 효율을 증대시키고 있다.A semiconductor device is manufactured by forming a semiconductor film, a conductive film, or an insulating film on a substrate and etching it according to a profile. Recently, in the manufacturing process of a semiconductor device, an etching process is performed using plasma technology, thereby increasing process efficiency.

플라즈마를 이용한 식각 공정은 밀폐된 챔버 내에서 수행된다. 챔버 내에 기판이 안착되면 반응 가스를 챔버 내로 공급하고, 챔버에 고주파 전원을 인가하여 반응 가스를 플라즈마 상태로 변환하게 된다. The etching process using plasma is performed in a closed chamber. When the substrate is seated in the chamber, a reactive gas is supplied into the chamber, and a high-frequency power is applied to the chamber to convert the reactive gas into a plasma state.

한편, 챔버 내부에는 플라즈마 발생을 위한 캐소드가 설치되는데, 상기 캐소드는 기판이 안착되는 애노드와 수평하게 설치되도록 챔버 내벽에 체결된다. 종래에는 캐소드의 일면에 체결홈을 형성하고, 체결홈에 체결구를 삽입 설치함으로써, 캐소드를 챔버 내부에 고정시켰다. 그러나, 챔버 내부에는 고온의 온도와 압력이 가해지기 때문에, 상기 체결구가 파손되는 문제가 발생하였다.Meanwhile, a cathode for generating plasma is installed inside the chamber, and the cathode is fastened to the inner wall of the chamber so as to be horizontally installed with the anode on which the substrate is mounted. Conventionally, by forming a fastening groove on one side of the cathode and inserting and installing a fastener into the fastening groove, the cathode was fixed inside the chamber. However, since a high temperature and pressure are applied inside the chamber, there is a problem that the fastener is damaged.

따라서, 교체가 용이하면서도 재활용이 가능한 샤워헤드 체결장치가 요구되는 실정이다.Therefore, there is a need for a showerhead fastening device that is easy to replace and can be recycled.

일 실시 예에 따른 목적은, 조립 및 분해가 간단하고, 손상이 발생했을 때 교체가 용이한 샤워헤드 체결장치를 제공하는 것이다.An object according to an embodiment is to provide a showerhead fastening device that is easy to assemble and disassemble, and that can be easily replaced when damage occurs.

일 실시 예에 따른 목적은, 플라즈마 처리 과정에서의 크랙 발생율을 저감할 수 있는 샤워헤드 체결장치를 제공하는 것이다.An object according to an embodiment is to provide a showerhead fastening device capable of reducing a crack generation rate in a plasma treatment process.

일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치는, 캐소드의 체결홈에 안착되는 베이스부와, 상기 베이스부의 상부로 돌출되고 중앙을 상하방향으로 관통하는 관통홀이 형성되는 돌출부를 포함하는 부시; 상기 돌출부가 끼워지는 삽입홈을 포함하는 고정부와, 상기 베이스부 외면의 적어도 일부를 감싸도록 상기 고정부의 하측에서 연장되는 연장부를 포함하는 고정구; 및 상기 돌출부가 끼워지는 중공을 포함하고, 상하면이 각각 상기 베이스부 및 고정부에 접촉하는 접촉링을 포함할 수 있다.A showerhead fastening device according to an embodiment includes: a bush including a base portion seated in a fastening groove of a cathode, and a protruding portion protruding upward from the base portion and having a through hole penetrating the center in a vertical direction; A fixture including a fixing part including an insertion groove into which the protrusion is fitted, and an extension part extending from a lower side of the fixing part to surround at least a part of an outer surface of the base part; And a contact ring including a hollow into which the protrusion is fitted, and the upper and lower surfaces thereof contacting the base portion and the fixing portion, respectively.

일 측에 있어서, 상부에서 바라본 상태를 기준으로 상기 베이스부의 외면은 마주보는 한 쌍의 제1라인을 포함할 수 있다.In one side, the outer surface of the base portion may include a pair of first lines facing each other based on a state viewed from above.

일 측에 있어서, 상부에서 바라본 상태를 기준으로 상기 고정구의 외면은 마주보는 한 쌍의 제2라인을 포함할 수 있다.In one side, the outer surface of the fixture may include a pair of second lines facing each other based on a state viewed from the top.

일 측에 있어서, 상기 샤워헤드 체결장치가 상기 체결홈에 삽입된 상태를 기준으로, 상기 제1라인 및 제2라인은 서로 수직할 수 있다.In one side, the first line and the second line may be perpendicular to each other based on a state in which the showerhead fastening device is inserted into the fastening groove.

일 측에 있어서, 상기 연장부는, 상기 한 쌍의 제1라인 중 적어도 하나를 따라 상기 베이스부의 외주면을 감싸도록 연장될 수 있다.In one side, the extension part may extend along at least one of the pair of first lines to surround the outer peripheral surface of the base part.

일 측에 있어서, 상기 연장부는, 상기 베이스부의 하면까지 연장되는 길이를 가질 수 있다.In one side, the extension portion may have a length extending to a lower surface of the base portion.

일 측에 있어서, 상기 베이스부를 기준으로, 상기 고정부 및 돌출부의 상면의 위치는 동일할 수 있다.In one side, the positions of the upper surfaces of the fixing part and the protruding part may be the same based on the base part.

일 측에 있어서, 상기 접촉링은 상기 베이스부의 상면 전체를 커버할 수 있다.In one side, the contact ring may cover the entire upper surface of the base part.

일 측에 있어서, 상기 부시 및 고정구는 상이한 열팽창계수를 가지는 서로 다른 재질을 포함할 수 있다.In one side, the bush and the fixture may include different materials having different coefficients of thermal expansion.

일 측에 있어서, 상기 샤워헤드 체결장치는, 일측은 상기 관통홀에 삽입되고, 타측은 플라즈마 챔버에 고정되는 연결구를 더 포함할 수 있다.In one side, the showerhead fastening device may further include a connector inserted into the through hole on one side and fixed to the plasma chamber on the other side.

일 실시 예에 따른 캐소드의 체결홈에 삽입되는 샤워헤드 체결장치는, 베이스부와, 상기 베이스부의 중앙에서 상부로 돌출되는 돌출부와, 상기 베이스부 및 돌출부를 상하방향으로 관통하는 관통홀을 포함하고, 제1재질을 포함하는 부시; 돌출부가 삽입 관통되는 중공을 포함하고, 상기 베이스부의 상면에 안착되며, 상기 제1재질과 다른 열팽창계수를 가지는 제2재질을 포함하는 접촉링; 및 상기 접촉면의 상면에 안착되고 상기 돌출부의 외측면을 감싸는 고정부와, 상기 고정부의 하측에서 상기 베이스부 외측면의 일부를 감싸도록 연장되는 연장부를 포함하는 고정구를 포함할 수 있다.A showerhead fastening device inserted into a fastening groove of a cathode according to an embodiment includes a base part, a protrusion protruding upward from the center of the base part, and a through hole penetrating the base part and the protrusion in a vertical direction, , A bush comprising a first material; A contact ring including a hollow through which a protrusion is inserted, is seated on an upper surface of the base, and includes a second material having a coefficient of thermal expansion different from that of the first material; And a fixture including a fixing part seated on an upper surface of the contact surface and surrounding an outer surface of the protrusion, and an extension part extending from a lower side of the fixing part to surround a part of the outer surface of the base part.

일 측에 있어서, 상기 제1재질은 스테인리스스틸(Steel Use Stainless)을 포함하고, 상기 제2재질은 알루미늄(Aluminum)을 포함할 수 있다.In one side, the first material may include stainless steel, and the second material may include aluminum.

일 측에 있어서, 상부에서 바라본 상태를 기준으로, 상기 베이스부는 평행한 한 쌍의 제1라인을 포함하는 타원 형태의 외면 형상을 가지고, 상기 연장부는 상기 한 쌍의 제1라인 중 하나의 제1라인에 대응하는 베이스부의 외주면을 감쌀 수 있다.In one side, based on a state viewed from the top, the base portion has an oval-shaped outer surface shape including a pair of parallel first lines, and the extension portion has a first one of the pair of first lines. It is possible to wrap the outer peripheral surface of the base portion corresponding to the line.

일 측에 있어서, 상부에서 바라본 상태를 기준으로, 상기 고정부는 상기 제1라인에 수직한 한 쌍의 제2라인을 포함하는 타원 형태의 외면 형상을 가지고, 상기 한 쌍의 제1라인 사이의 간격은, 상기 한 쌍의 제2라인 사이의 간격과 동일할 수 있다.In one side, based on a state viewed from the top, the fixing portion has an outer surface shape of an oval shape including a pair of second lines perpendicular to the first line, and the gap between the pair of first lines May be the same as the spacing between the pair of second lines.

일 측에 있어서, 상기 체결홈은 상기 베이스부가 위치하는 제1체결부분과, 상기 제1체결부분의 상부에 형성되고 상기 고정부가 위치하는 제2체결부분을 포함하고, 상기 제2체결부분은 상기 고정부에 대응하는 형상을 가질 수 있다.In one side, the fastening groove includes a first fastening part in which the base part is located, and a second fastening part formed above the first fastening part and in which the fixing part is located, and the second fastening part is the It may have a shape corresponding to the fixing part.

일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치는, 조립 및 분해가 간단하고, 손상이 발생했을 때 교체가 용이할 수 있다.The showerhead fastening device according to an embodiment may be simple to assemble and disassemble, and may be easily replaced when damage occurs.

일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치는, 열팽창계수가 상이한 복수의 재질로 형성됨으로써, 플라즈마 처리 과정에서의 크랙 발생율을 저감시킬 수 있다.The showerhead fastening device according to an exemplary embodiment may be formed of a plurality of materials having different coefficients of thermal expansion, thereby reducing a crack generation rate in a plasma treatment process.

일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the showerhead fastening device according to an embodiment are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 분해 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 단면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 부시의 평면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 부시의 단면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 접촉링의 평면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 접촉링의 단면도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 고정구의 평면도이다.
도 9는 일 실시 예에 따른 고정구의 단면도이다.
도 10은 일 실시 예에 따른 캐소드 체결홈에 부시가 끼워지는 상태를 나타내는 상태도이다.The following drawings attached to the present specification illustrate a preferred embodiment of the present invention, and serve to further understand the technical idea of the present invention together with the detailed description of the present invention. It is limited and should not be interpreted.
1 is an exploded perspective view of a showerhead fastening device according to an embodiment.
2 is a perspective view of a showerhead fastening device according to an embodiment.
3 is a cross-sectional view of a showerhead fastening device according to an embodiment.
4 is a plan view of a bush according to an embodiment.
5 is a cross-sectional view of a bush according to an embodiment.
6 is a plan view of a contact ring according to an embodiment.
7 is a cross-sectional view of a contact ring according to an embodiment.
8 is a plan view of a fixture according to an embodiment.
9 is a cross-sectional view of a fixture according to an embodiment.
10 is a state diagram illustrating a state in which a bush is fitted into a cathode fastening groove according to an exemplary embodiment.

이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, embodiments will be described in detail through exemplary drawings. In adding reference numerals to elements of each drawing, it should be noted that the same elements have the same numerals as possible even if they are indicated on different drawings. In addition, in describing an embodiment, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function interferes with the understanding of the embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In addition, in describing the constituent elements of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a) and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but another component between each component It should be understood that may be “connected”, “coupled” or “connected”.

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in one embodiment and components including common functions will be described using the same name in other embodiments. Unless otherwise stated, descriptions in one embodiment may be applied to other embodiments, and detailed descriptions in the overlapping range will be omitted.

도 1은 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 분해 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 사시도이다. 도 3은 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치의 단면도이다.1 is an exploded perspective view of a showerhead fastening device according to an embodiment, and FIG. 2 is a perspective view of a showerhead fastening device according to an embodiment. 3 is a cross-sectional view of a showerhead fastening device according to an embodiment.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치(1)는 플라즈마 발생을 위한 캐소드(C)를 플라즈마 챔버 내부 패널(P)에 고정시킬 수 있다. 샤워헤드 체결장치(1)는 캐소드(C)에 형성된 체결홈(h)에 삽입 고정되고, 일측이 패널(P)을 관통하여 연결됨으로써, 캐소드(C)를 패널에 체결시킬 수 있다. 샤워헤드 체결장치(1)는 부시(100), 접촉링(110), 고정구(120) 및, 연결구를 포함할 수 있다. 부시(100), 접촉링(110) 및 고정구(120)는, 서로 연결됨으로써 도 2와 같은 조립 형태를 가질 수 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 샤워헤드 체결장치(1)가 조립된 상태를 기준으로, 각 구성들의 위치 관계를 설명하도록 한다.1 to 3, the showerhead fastening device 1 according to an embodiment may fix a cathode C for generating plasma to a panel P inside a plasma chamber. The showerhead fastening device 1 is inserted and fixed in the fastening groove h formed in the cathode C, and one side is connected through the panel P, so that the cathode C can be fastened to the panel. The showerhead fastening device 1 may include a bush 100, a contact ring 110, a fixture 120, and a connector. The bush 100, the contact ring 110, and the fixture 120 may be connected to each other to have an assembly shape as shown in FIG. 2. Hereinafter, for convenience of explanation, the positional relationship of each component will be described based on the state in which the showerhead fastening device 1 is assembled.

도 4는 일 실시 예에 따른 부시의 평면도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 부시의 단면도이다.4 is a plan view of a bush according to an embodiment, and FIG. 5 is a cross-sectional view of a bush according to an embodiment.

부시(100)는 캐소드(C)의 체결홈(h)에 삽입될 수 있다. 부시(100)는 제1재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1재질은 스테인리스 스틸(steel use stainless)일 수 있다. 부시(100)는 베이스부(101), 돌출부(102) 및 관통홀(103)을 포함할 수 있다.Bush 100 may be inserted into the fastening groove (h) of the cathode (C). The bush 100 may be formed of a first material. For example, the first material may be stainless steel (steel use stainless). The bush 100 may include a base portion 101, a protrusion portion 102 and a through hole 103.

베이스부(101)는 캐소드(C)의 체결홈(h)에 안착될 수 있다. 다시 말해, 샤워헤드 체결장치(1)가 체결홈(h)에 삽입된 상태를 기준으로, 베이스부(101)의 바닥면은 체결홈(h)의 바닥면에 접촉할 수 있다. 베이스부(101)는 상부에서 바라본 상태를 기준으로 마주보는 한 쌍의 라인을 포함하는 타원 형태의 외면 형상을 가질 수 있다. 이하에서는, 베이스부(101)의 외면을 형성하는 한 쌍의 라인을 '제1라인(L1)'이라 지칭하도록 한다.The base portion 101 may be seated in the fastening groove (h) of the cathode (C). In other words, based on the state in which the showerhead fastening device 1 is inserted into the fastening groove h, the bottom surface of the base unit 101 may contact the bottom surface of the fastening groove h. The base portion 101 may have an outer surface shape of an oval shape including a pair of lines facing each other based on a state viewed from the top. Hereinafter, a pair of lines forming the outer surface of the base portion 101 will be referred to as a'first line L1'.

돌출부(102)는 베이스부(101)의 중앙에서 상부로 돌출될 수 있다. 상부에서 바라본 상태에서, 돌출부(102)는 베이스부(101)보다 작은 면적을 가질 수 있다. 이 경우, 돌출부(102)는 현이 잘린 원 형태의 외면 형상을 가질 수 있다. 상기 현은, 상부에서 바라본 상태에서 베이스부(101)의 제1라인(L1)과 수직할 수 있다.The protrusion 102 may protrude upward from the center of the base unit 101. When viewed from the top, the protrusion 102 may have a smaller area than the base portion 101. In this case, the protrusion 102 may have an outer surface shape of a circle with a string cut off. The string may be perpendicular to the first line L1 of the base unit 101 when viewed from the top.

관통홀(103)은 돌출부(102)의 중앙을 상하방향으로 관통하도록 형성될 수 있다. 관통홀(103)은 베이스부(101)를 관통하도록 연장 형성될 수 있다. 다시 말해서, 관통홀(103)은 돌출부(102) 및 베이스부(101)를 동시에 관통하도록 형성될 수 있다.The through hole 103 may be formed to penetrate the center of the protrusion 102 in the vertical direction. The through hole 103 may be formed to extend through the base portion 101. In other words, the through hole 103 may be formed to simultaneously penetrate the protruding portion 102 and the base portion 101.

관통홀(103)에는 후술하는 연결구(도면부호)가 삽입될 수 있다. 관통홀(103)의 내주면에는 상기 연결구와의 체결이 가능하도록 나사산이 형성될 수 있다. 이 경우, 관통홀(103)의 상단부는 연결구의 용이한 삽입이 가능하도록 내측으로 하향 경사지도록 형성될 수 있다.In the through hole 103, a connector (reference numeral) to be described later may be inserted. A thread may be formed on the inner circumferential surface of the through hole 103 to enable fastening with the connector. In this case, the upper end of the through hole 103 may be formed to be inclined downward inward so that the connector can be easily inserted.

도 6은 일 실시 예에 따른 접촉링의 평면도이고, 도 7은 일 실시 예에 따른 접촉링의 단면도이다.6 is a plan view of a contact ring according to an exemplary embodiment, and FIG. 7 is a cross-sectional view of a contact ring according to an exemplary embodiment.

도 6 및 도 7을 참조하면, 접촉링(110)은 베이스부(101)의 상면에 안착될 수 있다. 접촉링(110)은 내부를 관통하는 중공(111)을 포함할 수 있다. 상기 중공(111)은 돌출부(102)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 접촉링(110)의 중공(111)에는 부시(100)의 돌출부(102)가 삽입 관통될 수 있다. 따라서, 중공(111)에 돌출부(102)가 끼워진 상태에서, 접촉링(110)의 하면은 베이스부(101)의 상면에 접촉될 수 있다. 접촉링(110)의 외면은 베이스부(101)의 상면에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 따라서, 접촉링(110)이 베이스부(101)의 상면에 안착된 상태에서, 접촉링(110)은 베이스부(101)의 상면 전체를 커버할 수 있다. 접촉링(110)은 제1재질과 열팽창 계수가 상이한 제2재질, 예를 들어, 알루미늄(aluminum) 재질로 형성될 수 있다.6 and 7, the contact ring 110 may be seated on the upper surface of the base unit 101. The contact ring 110 may include a hollow 111 penetrating the inside. The hollow 111 may have a shape corresponding to the protrusion 102. The protrusion 102 of the bush 100 may be inserted through the hollow 111 of the contact ring 110. Accordingly, in a state in which the protrusion 102 is fitted in the hollow 111, the lower surface of the contact ring 110 may contact the upper surface of the base unit 101. The outer surface of the contact ring 110 may have a shape corresponding to the upper surface of the base portion 101. Accordingly, while the contact ring 110 is seated on the upper surface of the base unit 101, the contact ring 110 may cover the entire upper surface of the base unit 101. The contact ring 110 may be formed of a second material having a different coefficient of thermal expansion than the first material, for example, an aluminum material.

도 8은 일 실시 예에 따른 고정구의 평면도이고, 도 9는 일 실시 예에 따른 고정구의 단면도이다.8 is a plan view of a fastener according to an embodiment, and FIG. 9 is a cross-sectional view of a fastener according to an embodiment.

도 8 및 도 9를 참조하면, 고정구(120)는 부시(100)에 연결됨으로써, 체결홈(h) 내에서의 부시(100) 위치를 고정시키고, 부시(100)가 체결홈(h)으로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 고정구(120)는 제1재질 및 제2재질과 열팽창 계수가 상이한 제3재질, 예를 들어, 베스펠(vespel) 재질로 형성될 수 있다. 고정구(120)는 고정부(121) 및 연장부(122)를 포함할 수 있다.8 and 9, the fixture 120 is connected to the bush 100, thereby fixing the position of the bush 100 in the fastening groove (h), the bush 100 from the fastening groove (h) You can prevent churn. The fixture 120 may be formed of a first material and a third material having a different coefficient of thermal expansion than the second material, for example, a vespel material. The fixture 120 may include a fixing portion 121 and an extension portion 122.

고정부(121)는 돌출부(102)의 외면을 감쌀 수 있다. 고정부(121)는, 돌출부(102)가 끼워지도록, 중앙에 형성되는 삽입홈(123)을 포함할 수 있다. 상기 삽입홈(123)은 돌출부(102)의 외면에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 삽입홈(123)에 돌출부(102)가 끼워진 상태, 다시 말해, 샤워헤드 체결장치(1)가 조립된 상태에서, 고정부(121)의 하면은 접촉링(110)의 상면에 접촉할 수 있다. 따라서, 고정부(121) 및 베이스부(101)는 접촉링(110)의 양면에 각각 접촉된 상태로 서로 이격될 수 있다. 이 경우, 베이스부(101)를 기준으로 고정부(121) 및 돌출부(102)의 상면의 위치는 동일할 수 있다. 다시 말해서, 돌출부(102)의 높이는 고정부(121) 및 접촉링(110)의 두께를 합친 높이와 동일할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 샤워헤드 체결장치(1)가 조립된 상태에서, 샤워헤드 체결장치(1)의 상면은 단차지지 않을 수 있다.The fixing part 121 may wrap the outer surface of the protruding part 102. The fixing part 121 may include an insertion groove 123 formed in the center so that the protrusion 102 is fitted. The insertion groove 123 may have a shape corresponding to the outer surface of the protrusion 102. In a state in which the protrusion 102 is inserted into the insertion groove 123, that is, in a state in which the showerhead fastening device 1 is assembled, the lower surface of the fixing part 121 may contact the upper surface of the contact ring 110 . Accordingly, the fixing portion 121 and the base portion 101 may be spaced apart from each other while being in contact with both surfaces of the contact ring 110. In this case, the positions of the upper surfaces of the fixing portion 121 and the protruding portion 102 may be the same based on the base portion 101. In other words, the height of the protrusion 102 may be the same as the combined height of the fixing portion 121 and the contact ring 110. According to this structure, when the showerhead fastening device 1 is assembled, the upper surface of the showerhead fastening device 1 may not be stepped.

고정부(121)는 상부에서 바라본 상태를 기준으로, 마주보는 한 쌍의 라인을 포함하는 타원 형태의 외면 형상을 가질 수 있다. 이하에서는, 고정부(121)의 외면을 형성하는 한 쌍의 라인을 '제2라인(L2)'이라 지칭하도록 한다. The fixing part 121 may have an outer surface shape of an oval shape including a pair of lines facing each other based on a state viewed from the top. Hereinafter, a pair of lines forming the outer surface of the fixing part 121 will be referred to as a'second line L2'.

조립된 샤워헤드 체결장치(1)가 체결홈(h)에 삽입된 상태를 기준으로, 베이스부(101)의 외면을 이루는 제1라인(L1)과, 고정부(121)의 외면을 이루는 제2라인(L2)은 도 1과 같이 서로 수직할 수 있다. 상부에서 바라본 상태를 기준으로, 고정부(121)의 외면을 이루는 제2라인(L2) 사이의 폭은, 베이스부(101)의 외면을 이루는 제1라인(L1) 사이의 폭과 동일할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 샤워헤드 체결장치(1)가 조립된 상태에서, 제2라인(L2)을 연결하는 돌출부(102)의 외면 부위는 베이스부(101)의 상부 바깥으로 돌출될 수 있다.Based on the state in which the assembled showerhead fastening device 1 is inserted into the fastening groove h, the first line L1 constituting the outer surface of the base unit 101 and the first line L1 constituting the outer surface of the fixing unit 121 The two lines L2 may be perpendicular to each other as shown in FIG. 1. Based on the state viewed from the top, the width between the second lines (L2) forming the outer surface of the fixing portion (121) may be the same as the width between the first lines (L1) forming the outer surface of the base portion (101). have. According to this structure, when the showerhead fastening device 1 is assembled, the outer surface portion of the protrusion 102 connecting the second line L2 may protrude outside the upper portion of the base unit 101.

연장부(122)는 고정부(121)의 하측에서 베이스부(101) 외측면의 일부를 감싸도록 연장될 수 있다. 연장부(122)는 베이스부(101)의 외면을 형성하는 한 쌍의 제1라인(L1) 중 적어도 하나의 제1라인(L1)을 따라 하향 연장됨으로써, 제1라인(L1)에 대응하는 베이스부(101)의 외주면을 감쌀 수 있다. 이 경우, 연장부(122)는 베이스부(101)의 하면까지 연장되는 길이를 가질 수 있다.The extension part 122 may extend from the lower side of the fixing part 121 to surround a part of the outer surface of the base part 101. The extension part 122 extends downward along at least one first line L1 of the pair of first lines L1 forming the outer surface of the base part 101, thereby corresponding to the first line L1. It is possible to wrap the outer circumferential surface of the base portion 101. In this case, the extension part 122 may have a length extending to the lower surface of the base part 101.

이와 같은 구조에 의하면, 고정구(120)는 연장부(122)를 통해, 베이스부(101)의 외주면을 감쌈으로써, 캐소드(C)에 형성된 체결홈(h)에서 충격에 의해 부시(100)가 진동하거나 흔들리는 것을 방지할 수 있다.According to such a structure, the fastener 120 wraps the outer circumferential surface of the base portion 101 through the extension portion 122, so that the bush 100 is impacted in the fastening groove h formed in the cathode (C). It can prevent vibration or shaking.

다시, 도 1을 참조하면, 연결구는 캐소드(C)를 플라즈마 챔버에 고정시킬 수 있다. 연결구는 일측은 부시(100)에 형성된 관통홀(103)에 삽입 고정되고, 타측은 플라즈마 챔버에 고정될 수 있다. 예를 들어, 연결구는 플라즈마 챔버의 패널(P)을 관통하여 부시(100)의 관통홀(103)에 삽입될 수 있다.Again, referring to FIG. 1, the connector may fix the cathode C to the plasma chamber. One side of the connector may be inserted and fixed into the through hole 103 formed in the bush 100 and the other side may be fixed to the plasma chamber. For example, the connector may pass through the panel P of the plasma chamber and may be inserted into the through hole 103 of the bush 100.

도 10은 일 실시 예에 따른 캐소드 체결홈에 부시(100)가 끼워지는 상태를 나타내는 상태도이다.10 is a state diagram illustrating a state in which the bush 100 is fitted into a cathode fastening groove according to an exemplary embodiment.

도 10을 참조하면, 캐소드(C)에 형성되는 체결홈(h)은 삽입된 샤워헤드 체결장치(1)가 이탈하는 것을 방지하는 형태로 형성될 수 있다. 체결홈(h)은 베이스부(101)가 위치하는 제1체결부분(h1)과, 제1체결부분(h1)의 상부에 형성되고 고정부(121)가 위치하는 제2체결부분(h2)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제2체결부분(h2)은 고정부(121)의 외면 형상에 대응하는 형상으로 형성되고, 제1체결부분(h1)은 샤워헤드 체결장치(1)를 상부에서 바라본 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 10, the fastening groove h formed in the cathode C may be formed in a shape that prevents the inserted showerhead fastening device 1 from being separated. The fastening groove (h) is a first fastening portion (h1) where the base portion 101 is located, and a second fastening portion (h2) formed on the top of the first fastening portion (h1) and where the fixing portion 121 is located. It may include. In this case, the second fastening part h2 is formed in a shape corresponding to the shape of the outer surface of the fixing part 121, and the first fastening part h1 corresponds to the shape of the showerhead fastening device 1 viewed from above. It can be formed into a shape.

구체적으로, 체결홈(h)에 부시(100)가 삽입되어 정위치에 안착되는 경우, 베이스부(101)는 제1체결부분(h1)에 위치하게 되고, 베이스부(101)의 상부는 제1체결부분(h1)의 상단에 형성되는 단턱에 걸리는 배치 상태를 가질 수 있다. 고정부(121)는 제2체결부분(h2)에 대응하는 형상을 가지기 때문에, 고정구(120)가 부시(100)에 체결되는 경우, 고정구(120)는 부시(100)가 체결홈(h) 내에서 이동하거나 회전하지 않도록 부시(100)의 위치를 고정시키고, 결과적으로 부시(100)가 체결홈(h)에서 이탈하는 것을 방지하게 된다. 이 경우, 고정구(120)의 연장부(122)는 제1체결부분(h1)의 내주면 및 베이스부(101)의 외면 사이 공간에 위치함으로써, 제1체결부분(h1) 내에서의 베이스부(101)의 위치 안정성을 향상시킬 수 있다.Specifically, when the bush 100 is inserted into the fastening groove (h) and seated in the correct position, the base portion 101 is positioned in the first fastening portion h1, and the upper portion of the base portion 101 is One can have an arrangement state that is caught on the stepped jaw formed on the upper end of the fastening portion h1. Since the fixing portion 121 has a shape corresponding to the second fastening portion (h2), when the fastener 120 is fastened to the bush 100, the fastener 120 is the bush 100 is a fastening groove (h) The position of the bush 100 is fixed so that it does not move or rotate within, and as a result, the bush 100 is prevented from being separated from the fastening groove h. In this case, the extension part 122 of the fixture 120 is located in the space between the inner circumferential surface of the first fastening part h1 and the outer surface of the base part 101, so that the base part ( 101) position stability can be improved.

정리하면, 일 실시 예에 따른 샤워헤드 체결장치(1)는, 부시(100)에 끼움 결합되는 고정구(120)를 통해 체결홈(h) 내에서의 부시(100)의 위치를 고정시키기 때문에, 조립 및 분리가 간단하고, 부품 손상이 발생했을 때 용이하게 교체될 수 있다.In summary, since the showerhead fastening device 1 according to an embodiment fixes the position of the bush 100 in the fastening groove h through the fastener 120 fitted to the bush 100, It is simple to assemble and disassemble, and can be easily replaced when parts are damaged.

또한, 샤워헤드 체결장치(1)는 부시(100), 접촉링(110) 및 고정구(120) 각자가 서로 다른 열팽창계수를 가지는 재질로 형성되고, 특히, 고정구(120)가 부시(100)에 직접 접촉하지 않고, 접촉링(110)을 통해 간접적으로 접촉되기 때문에, 플라즈마 공정에서 발생하는 열에 따라 체결구에 크랙이 발생하는 문제점을 방지할 수 있다. In addition, the showerhead fastening device 1 is formed of a material having a different coefficient of thermal expansion, each of the bush 100, the contact ring 110, and the fixture 120, and in particular, the fixture 120 is attached to the bush 100. Since they are not in direct contact but indirectly contacted through the contact ring 110, it is possible to prevent a problem in that a crack occurs in the fastener due to heat generated in the plasma process.

이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described with reference to the limited drawings, various modifications and variations are possible from the above description to those of ordinary skill in the art. For example, the described techniques are performed in a different order from the described method, and/or components such as the described structure, device, etc. are combined or combined in a form different from the described method, or in other components or equivalents. Even if substituted or substituted by, appropriate results can be achieved.

1: 샤워헤드 체결장치
100: 부시
110: 접촉링
120: 고정구
130: 연결구1: shower head fastener
100: bush
110: contact ring
120: fixture
130: connector

Claims (15)

캐소드의 체결홈에 안착되는 베이스부와, 상기 베이스부의 상부로 돌출되고 중앙을 상하방향으로 관통하는 관통홀이 형성되는 돌출부를 포함하는 부시;
상기 돌출부가 끼워지는 삽입홈을 포함하는 고정부와, 상기 베이스부 외면의 적어도 일부를 감싸도록 상기 고정부의 하측으로부터 상기 베이스부의 하면까지 연장되는 연장부를 포함하는 고정구; 및
상기 돌출부가 끼워지는 중공을 포함하고 상하면이 각각 상기 베이스부 및 고정부에 접촉하는 접촉링을 포함하고,
상부에서 바라본 상태를 기준으로, 상기 베이스부의 외면은 마주보는 한 쌍의 제1라인을 포함하고, 상기 고정부의 외면은 마주보는 한 쌍의 제2라인을 포함하고,
상기 부시 및 고정부가 체결된 상태에서, 상기 제1라인 및 제2라인은 서로 수직하고, 상기 연장부는 상기 한 쌍의 제1라인 중 적어도 하나의 제1라인을 형성하는 베이스부의 외주면을 감싸는, 샤워헤드 체결장치.
A bush including a base portion seated in the fastening groove of the cathode, and a protrusion having a through hole protruding upward and penetrating the center of the base portion;
A fixture including a fixing part including an insertion groove into which the protrusion is fitted, and an extension part extending from a lower side of the fixing part to a lower surface of the base part so as to surround at least a part of an outer surface of the base part; And
A contact ring comprising a hollow into which the protrusion is fitted, and the upper and lower surfaces thereof contacting the base portion and the fixing portion, respectively,
Based on the state viewed from the top, the outer surface of the base unit includes a pair of first lines facing each other, and the outer surface of the fixing unit includes a pair of second lines facing each other,
In a state in which the bush and the fixing part are fastened, the first line and the second line are perpendicular to each other, and the extension part covers the outer circumferential surface of the base part forming at least one first line among the pair of first lines. Head fastening device.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 베이스부를 기준으로, 상기 고정부 및 돌출부의 상면의 위치는 동일한, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 1,
With respect to the base portion, the position of the upper surface of the fixing portion and the protruding portion are the same, showerhead fastening device.
제1항에 있어서,
상기 접촉링은 상기 베이스부의 상면 전체를 커버하는, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 1,
The contact ring covers the entire upper surface of the base part, a showerhead fastening device.
제1항에 있어서,
상기 부시 및 고정구는 상이한 열팽창계수를 가지는 서로 다른 재질을 포함하는, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 1,
The bush and the fixture are made of different materials having different coefficients of thermal expansion, showerhead fastening device.
제1항에 있어서,
일측은 상기 관통홀에 삽입되고, 타측은 플라즈마 챔버에 고정되는 연결구를 더 포함하는, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 1,
One side is inserted into the through hole, the other side further comprises a connector fixed to the plasma chamber, showerhead fastening device.
캐소드의 체결홈에 삽입되는 샤워헤드 체결장치에 있어서,
상부에서 바라본 상태를 기준으로 평행한 한 쌍의 제1라인을 포함하는 외면 형상을 가지는 베이스부와, 상기 베이스부의 중앙에서 상부로 돌출되는 돌출부와, 상기 베이스부 및 돌출부를 상하방향으로 관통하는 관통홀을 포함하고, 제1재질을 포함하는 부시;
돌출부가 삽입 관통되는 중공을 포함하고, 상기 베이스부의 상면에 안착되며, 상기 제1재질과 다른 열팽창계수를 가지는 제2재질을 포함하는 접촉링;
상부에서 바라본 상태를 기준으로 상기 한 쌍의 제1라인에 수직한 한 쌍의 제2라인을 포함하는 외면 형상을 가지고 상기 접촉링의 상면에 안착되며 상기 돌출부의 외측면을 감싸는 고정부와, 상기 고정부의 하측에서 상기 베이스부 외측면의 일부를 감싸도록 연장되고 상기 한 쌍의 제1라인 중 하나의 제1라인에 대응하는 상기 베이스부의 외주면을 감싸는 연장부를 포함하는 고정구를 포함하는, 샤워헤드 체결장치.
In the showerhead fastening device inserted into the fastening groove of the cathode,
A base part having an outer surface shape including a pair of first lines parallel to the state viewed from the top, a protruding part protruding upward from the center of the base part, and a penetration penetrating the base part and the protruding part in the vertical direction A bush including a hole and comprising a first material;
A contact ring including a hollow through which a protrusion is inserted, is seated on an upper surface of the base, and includes a second material having a coefficient of thermal expansion different from that of the first material;
A fixing part having an outer surface shape including a pair of second lines perpendicular to the pair of first lines based on a state viewed from the top and being seated on the upper surface of the contact ring and surrounding the outer surface of the protrusion, the A showerhead including a fixture extending from a lower side of the fixing part to surround a part of the outer surface of the base part and including an extension part covering the outer circumferential surface of the base part corresponding to one first line of the pair of first lines Fastening device.
제11항에 있어서,
상기 제1재질은 스테인리스스틸(Steel Use Stainless)을 포함하고,
상기 제2재질은 알루미늄(Aluminum)을 포함하는, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 11,
The first material includes stainless steel (Steel Use Stainless),
The second material comprises aluminum (Aluminum), showerhead fastening device.
삭제delete 제11항에 있어서,
상기 한 쌍의 제1라인 사이의 폭은, 상기 한 쌍의 제2라인 사이의 폭과 동일한, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 11,
A showerhead fastening device, wherein the width between the pair of first lines is the same as the width between the pair of second lines.
제14항에 있어서,
상기 체결홈은,
상기 베이스부가 위치하는 제1체결부분과, 상기 제1체결부분의 상부에 형성되고 상기 고정부가 위치하는 제2체결부분을 포함하고,
상기 제2체결부분은 상기 고정부에 대응하는 형상을 가지는, 샤워헤드 체결장치.
The method of claim 14,
The fastening groove,
A first fastening part in which the base part is located, and a second fastening part formed on the first fastening part and in which the fixing part is located,
The second fastening portion has a shape corresponding to the fixing portion, showerhead fastening device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102464459B1 (en) * 2020-12-22 2022-11-09 (주)원세미콘 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101257726B1 (en) * 2012-05-15 2013-04-24 하나실리콘(주) Cathode fastener of plasma chamber
KR101514397B1 (en) * 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) Bush assembly cathode Electrode Plate

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130077123A (en) * 2011-12-29 2013-07-09 현대중공업 주식회사 Cabin fixing structure for cabin tilting type excavator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101257726B1 (en) * 2012-05-15 2013-04-24 하나실리콘(주) Cathode fastener of plasma chamber
KR101514397B1 (en) * 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) Bush assembly cathode Electrode Plate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220148024A (en) * 2021-04-28 2022-11-04 주식회사 월덱스 Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate
KR102562444B1 (en) 2021-04-28 2023-08-02 주식회사 월덱스 Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate

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