KR102133877B1 - Automatic replacement device for jig to boat for semiconductor package - Google Patents

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KR102133877B1
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boat
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신계철
김숙향
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에스에스오트론 주식회사
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Abstract

The present invention relates to an automatic replacement device of a jig and a boat for a semiconductor package capable of automatically replacing a plurality of semiconductor packages. The automatic replacement device comprises: a jig magazine loader part (100); a boat magazine loader part (200); a first transfer unit part (300); a second transfer part (400); a package picker part (500); a third transfer unit part (600); a fourth transfer unit part (700); a jig magazine unloader part (800); and a boat magazine unloader part (900).

Description

반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치 {Automatic replacement device for jig to boat for semiconductor package}Automatic replacement device for jig and boat for semiconductor package}

본 발명은 반도체의 대량생산 공정을 위한 지그에서 보트로 다수의 반도체패키지를 자동으로 교체할 수 있게 하면서 대량으로 반도체패키지의 공정작업을 빠른 속도로 수행하여 생산성을 대폭 향상되도록 하는 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치에 관한 것이다.The present invention is a jig for a semiconductor package that enables a large number of semiconductor packages to be automatically replaced by a boat from a jig for a mass production process of semiconductors, and greatly improves productivity by performing a process operation of the semiconductor package at a high speed. It is related to the automatic replacement of the boat.

일반적으로, 반도체패키지는 전자회로 및 배선이 형성된 단일소자, 집적회로 등의 반도체 칩을 먼지, 습기, 전기적 또는 기계적 부하 등의 외부 환경요인으로부터 보호하고, 반도체 칩의 성능을 최적화, 극대화하기 위한 것이며, 반도체패키지는 리드프레임, 인쇄회로기판 등에 회로가 형성되고 신호 입출력을 위한 단자가 마련되면서 봉합재로 수지 봉합하여 제작한다.In general, a semiconductor package is for protecting a semiconductor chip such as a single element with integrated electronic circuits and wiring and integrated circuits from external environmental factors such as dust, moisture, electrical or mechanical load, and optimizing and maximizing the performance of the semiconductor chip. , The semiconductor package is produced by forming a circuit on a lead frame, a printed circuit board, etc., and sealing the resin with a sealing material while providing terminals for signal input/output.

이러한 반도체패키지는 대량생산의 공정 수행을 위해 다수의 반도체패키지를 일정간격으로 배치하여 안착시키는 보트(Boat)는 반도체패키지의 각종 생산공정에 대응하여 형태, 크기, 재질 등이 각각 해당하는 생산공정에 맞게 제작됨에 따라 반도체패키지의 이송 기능인 지그에서 보트로 반도체패키지를 빠르게 교체하기 위한 방법들이 요구되고 있다.In order to perform the process of mass production, these semiconductor packages are placed in a fixed number of semiconductor packages at regular intervals, and the boats are seated in production processes in which shape, size, material, etc., respectively, correspond to various production processes of the semiconductor package. As it is manufactured properly, methods for rapidly replacing a semiconductor package from a jig which is a transfer function of a semiconductor package to a boat are required.

예를 들어, 종래 국내공개특허공보 제10-2016-014328호를 살펴보면, 서로 다른 종류의 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 트레이들이 다수 적재되는 제1 및 제2 적재 공간들을 갖는 트레이 적재부; 상기 제1 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제1 적재 공간에 적재된 제1 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제1 트레이를 상기 제1 적재 공간에 적재시키는 제1 트레이 이송부; 및 상기 제2 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제2 적재 공간에 적재된 제2 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제2 트레이를 상기 제2적재 공간에 적재시키는 제2 트레이 이송부를 포함하여 구성된 교체용 트레이 이송장치가 제시되어 있다.For example, looking at the conventional Korean Patent Publication No. 10-2016-014328, a tray loading unit having first and second loading spaces in which a plurality of first and second trays in which different types of semiconductor elements are mounted is loaded. ; The first tray is disposed between the first loading space and the test handler, and the first tray loaded in the first loading space is inserted into the test handler, or the first tray is loaded from the test handler into the first loading space. A first tray transfer part to make; And a second tray disposed between the second loading space and the test handler, and loading the second tray loaded in the second loading space into the test handler, or placing the second tray from the test handler into the second loading space. A replacement tray transport apparatus is provided, which includes a second tray transport section for loading.

그러나 종래에는 지그에 안착된 반도체패키지를 생산공정에 맞는 보트로 안착시키는 교체작업을 수작업으로 수행하기 때문에 수작업 특성상 작업시간이 오래 걸리고 번거로워 대량생산에 적합하지 않음으로 생산성이 현저히 떨어지는 문제점이 있었다.However, in the related art, since the replacement work for mounting the semiconductor package seated on the jig with a boat suitable for the production process is performed manually, it takes a long time and is cumbersome due to the characteristics of the manual work, so there is a problem in that productivity is remarkably reduced.

국내공개특허공보 제10-2016-0146328호가 제시되어 있다.Korean Patent Publication No. 10-2016-0146328 is proposed.

본 발명은 종래 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 지그에 안착된 다수의 반도체패키지를 생산공정에 맞는 보트로 안착시키는 교체작업을 자동화 방식의 장비를 이용해 자동교체할 수 있도록 하여 보트 교체 작업의 자동화에 의해 작업 시간을 대폭 단축하면서 다수의 반도체패키지를 동시에 대량생산 방식으로 교체하여 생산성을 향상되도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problems of the prior art, by allowing the automatic replacement of the replacement operation for mounting a plurality of semiconductor packages seated on a jig into a boat suitable for the production process by using an automatic type of equipment by the automation of the boat replacement operation The purpose is to improve productivity by replacing a large number of semiconductor packages at the same time, while significantly reducing the working time.

이와 같은 목적을 해결하기 위해 본 발명은;The present invention to solve this object;

다수의 반도체패키지가 안착된 지그를 매거진을 이용해 대량으로 연속 공급하는 지그 매거진 로더부와;A jig magazine loader unit for continuously supplying a large number of jigs on which a plurality of semiconductor packages are seated using a magazine;

다수의 빈보트를 매거진을 이용해 대량으로 연속 공급하는 보트 매거진 로더부와;A boat magazine loader unit continuously supplying a large number of empty boats using a magazine;

상기 지그 매거진 로더부를 통해 공급되는 지그를 패키지 픽커부의 위치로 이동시키는 제1 이송 유닛부와;A first transfer unit unit for moving the jig supplied through the jig magazine loader unit to a position of a package picker unit;

상기 보트 매거진 로더부를 통해 공급되는 빈보트를 패키지 픽커부의 위치로 이동시키는 제2 이송 유닛부와;A second transfer unit unit for moving the empty boat supplied through the boat magazine loader unit to a position of a package picker unit;

상기 제1 이송 유닛부를 통해 공급된 지그에서 반도체패키지를 픽업한 후 상기 제2 이송 유닛부를 통해 공급된 빈보트에 픽업한 반도체패키지를 이동시켜 안착하는 교체작업을 수행하는 패키지 픽커부와;A package picker unit for picking up the semiconductor package from the jig supplied through the first transfer unit, and then moving the semiconductor package picked up on the empty boat supplied through the second transfer unit to settle;

상기 패키지 픽커부의 교체작업을 통해 반도체패키지가 픽업되어 비워진 빈지그를 지그 매거진 언로더부의 위치로 이동시키는 제3 이송 유닛부와;A third transfer unit unit for moving the empty jig from which the semiconductor package is picked up and emptied to the position of the jig magazine unloader unit through the replacement work of the package picker unit;

상기 패키지 픽커부의 교체작업을 통해 반도체패키지가 안착된 보트를 보트 매거진 언로더부의 위치로 이동시키는 제4 이송 유닛부와;A fourth transfer unit unit moving the boat on which the semiconductor package is seated to the position of the unloader unit of the boat magazine through the replacement work of the package picker unit;

상기 제3 이송 유닛부를 통해 이동된 빈지그를 매거진에 적재시키는 지그 매거진 언로더부와;A jig magazine unloader unit for loading the empty jig moved through the third transfer unit unit into a magazine;

상기 제4 이송 유닛부를 통해 이동된 보트를 매거진에 적재시키는 보트 매거진 언로더부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치를 제공한다.Provided is a semiconductor package jig and an automatic replacement device for a boat, comprising a boat magazine unloader unit for loading a boat moved through the fourth transfer unit into a magazine.

이러한 본 발명에 따르면, 지그에 안착된 다수의 반도체패키지가 생산공정에 맞는 보트로 안착되는 교체작업이 자동화 방식의 장비를 통해 자동교체됨에 따라 보트 교체작업의 자동화에 의해 작업시간이 대폭 단축되고 다수의 반도체패키지가 동시에 대량생산 방식으로 교체되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.According to the present invention, as a number of semiconductor packages seated on a jig is replaced by a boat suitable for a production process, the replacement time is automatically replaced by an automatic type of equipment, and thus the operation time is greatly shortened by the automation of the boat replacement operation. The semiconductor package is replaced by a mass production method at the same time, thereby improving productivity.

도 1 내지 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체패키지용 지그 및 \보트 자동 교체장치에 대한 구성도.
도 10은 본 발명에 따른 반도체패키지용 지그 및 보트 자동 교체장치에 대한 작동 흐름도.1 to 9 is a block diagram of a jig and \ boat automatic replacement device for a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
10 is an operation flow chart for a jig and a boat automatic replacement device for a semiconductor package according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체패키지용 지그 및 보트 자동 교체장치를 첨부된 도면을 참고로 하여 이하 상세히 기술되는 실시 예들에 의해 그 특징들을 이해할 수 있을 것이다.The features of the jig and the boat automatic replacement device for a semiconductor package according to the present invention may be understood by embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

한편, 실시 예를 설명함에 있어 본 발명이 속하거나 속하지 아니한 기술분야에서 광범위하게 널리 알려져 사용되고 있는 구성요소에 대해서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 하며, 이는 불필요한 설명을 생략함과 더불어 이에 따른 본 발명의 요지를 더욱 명확하게 전달하기 위함이다.On the other hand, in describing the embodiments, detailed descriptions thereof will be omitted for components that are widely known and used in the technical field to which the present invention belongs or does not belong. This is to convey the point more clearly.

이하는, 본 발명의 기본 구성의 실시 예로서, 일 실시 예에 따른 반도체패키지용 지그 및 보트 자동 교체장치에 대한 각부 구성을 도 1 내지 도 9를 참고로 구체적으로 설명한다. 도 1은 자동 교체장치의 평면도, 도 2의 (a)는 제1푸셔, (b)는 제2푸셔의 구성도, 도 3의 (a)는 제1그리퍼, (b)는 제2그리퍼의 구성도, 도 4의 (a)는 제3그리퍼, (b)는 제4그리퍼의 구성도, 도 5의 (a)는 제1 이송 유닛부, (b)는 제2 이송 유닛부의 구성도, 도 6의 (a)는 제3 이송 유닛부, (b)는 제4 이송 유닛부의 구성도, 도 7은 커버픽커의 구성도, 도 8의 (a)는 제1트랜스퍼, (b)는 제2트랜스퍼의 구성도, 도 9는 제1픽커 및 제2픽커의 구성도이다.The following will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 9 for the configuration of each part of the jig and the boat automatic replacement device for a semiconductor package according to an embodiment as an embodiment of the basic configuration of the present invention. Fig. 1 is a plan view of an automatic replacement device, Fig. 2 (a) is a first pusher, (b) is a configuration of a second pusher, Fig. 3 (a) is a first gripper, (b) is a second gripper Fig. 4(a) is a third gripper, (b) is a fourth gripper, Fig. 5(a) is a first conveying unit part, (b) is a second conveying unit part, 6(a) is a third transfer unit portion, (b) is a fourth transfer unit portion, FIG. 7 is a cover picker configuration, FIG. 8(a) is a first transfer, and (b) is 2 is a configuration diagram of the transfer, and FIG. 9 is a configuration diagram of the first and second pickers.

이에 따른 반도체패키지용 지그 및 보트 자동 교체장치(1)를 개략적으로 살펴보면, 반도체패키지가 안착된 지그(11)를 매거진(30)을 이용해 대량 공급하는 지그 매거진 로더부(100); 빈보트(22)를 매거진(30)을 이용해 대량 공급하는 보트 매거진 로더부(200); 지그(11)를 패키지 픽커부(500)의 위치로 이동시키는 제1 이송 유닛부(300); 빈보트(22)를 패키지 픽커부(500)의 위치로 이동시키는 제2 이송 유닛부(400); 지그(11)에서 반도체패캐지를 픽업한 후 빈보트(22)에 안착시키는 패키지 픽커부(500); 빈지그(12)를 지그 매거진 언로더부(800)로 이동시키는 제3 이송 유닛부(600); 반도체패키지가 안착된 보트(21)를 보트 매거진 언로더부(900)로 이동시키는 제4 이송 유닛부(700); 빈지그(12)를 매거진(30)에 적재시키는 지그 매거진 언로더부(800); 반도체패키지가 안착된 보트(21)를 매거진(30)에 적재시키는 보트 매거진 언로더부(900);를 포함하여 구성된다.Looking at the schematic jig and automatic boat replacement device (1) for the semiconductor package according to this, the jig magazine loader unit 100 for supplying a large amount of the jig 11, the semiconductor package is seated using the magazine 30; Boat magazine loader unit 200 for supplying a large amount of the empty boat 22 using the magazine 30; A first transfer unit unit 300 moving the jig 11 to the position of the package picker unit 500; A second transfer unit unit 400 for moving the empty boat 22 to the position of the package picker unit 500; A package picker unit 500 for picking up the semiconductor package from the jig 11 and seating it on the empty boat 22; A third transfer unit unit 600 for moving the empty jig 12 to the jig magazine unloader unit 800; A fourth transfer unit unit 700 for moving the boat 21 on which the semiconductor package is mounted to the boat magazine unloader unit 900; A jig magazine unloader unit 800 for loading the empty jig 12 into the magazine 30; And a boat magazine unloader unit 900 for loading the boat 21 on which the semiconductor package is mounted on the magazine 30.

한편, 상기 지그 매거진 로더부(100); 보트 매거진 로더부(200); 제1 이송 유닛부(300); 제2 이송 유닛부(400); 패키지 픽커부(500); 제3 이송 유닛부(600); 제4 이송 유닛부(700); 지그 매거진 언로더부(800); 보트 매거진 언로더부(900);는 별도 제작된 프레임에 설치될 수 있다.On the other hand, the jig magazine loader unit 100; Boat magazine loader unit 200; A first transfer unit part 300; A second transfer unit part 400; A package picker unit 500; A third transfer unit part 600; A fourth transfer unit part 700; Jig magazine unloader unit 800; The boat magazine unloader unit 900 may be installed in a separately manufactured frame.

이와 같은 구성으로 이루어진 반도체패키지용 지그 및 보트 자동 교체장치(1)의 세부 구성을 첨부된 도면을 참고로 상세하게 살펴보면 다음과 같다.The detailed configuration of the jig and boat automatic replacement device 1 for a semiconductor package having such a configuration will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 상기 지그 매거진 로더부(100)는;First, the jig magazine loader unit 100;

다수의 반도체패키지가 안착된 지그(11)를 매거진(30)을 이용해 대량으로 연속 공급하기 위한 것이다.The purpose is to continuously supply a large quantity of the jig 11 on which a plurality of semiconductor packages are mounted using a magazine 30.

예를 들면, 상기 지그 매거진 로더부(100)는; 다수의 반도체패키지가 안착된 지그(11)가 적층된 매거진(30)을 연속 이송시켜 공급하고, 지그(11)가 비워진 매거진(30)을 회수하는 제1이송부(110); 상기 제1이송부(110)를 통해 공급된 매거진(30)을 픽업하고, 상기 픽업한 매거진(30)에서 지그(11)가 비워지면 상기 제1이송부(110)에 매거진(30)을 복귀시켜 회수되게 하는 제1그리퍼(120); 및 상기 제1그리퍼(120)를 통해 픽업한 매거진(30)에서 지그(11)를 제1 이송 유닛부(300)로 밀어 연속 투입되게 하는 제1푸셔(130);를 더 포함한다.For example, the jig magazine loader unit 100; A first transport unit 110 for continuously supplying and supplying a magazine 30 in which a plurality of semiconductor packages are seated, a jig 11 stacked, and recovering the magazine 30 in which the jig 11 is emptied; The magazine 30 supplied through the first transport unit 110 is picked up, and when the jig 11 is emptied from the picked-up magazine 30, the magazine 30 is returned to the first transport unit 110 for recovery. The first gripper 120 to be made; And a first pusher 130 that pushes the jig 11 from the magazine 30 picked up through the first gripper 120 to the first transfer unit 300 to be continuously input.

상기 제1이송부(110)는, 상하로 서로 반대방향의 이송 기능을 제공하는 컨베이어가 각각 마련된 형태로 제작된 상태에서 제1이송부(110)의 컨베이어에 매거진(30)이 순차적 투입되어 이송되는데, 상기 제1이송부(110)의 상부 컨베이어는 반도체패키지가 안착된 지그(11)가 다수 적층된 매거진(30)을 제1그리퍼(120) 측으로 연속 이동시켜 공급하고, 제1이송부(110)의 하부 컨베이어는 지그(11)가 비워진 매거진(30)을 회수하도록 외측방향으로 연속 이동 기능을 제공한다.The first transport unit 110, the magazine 30 is sequentially input and transported to the conveyor of the first transport unit 110 in a state in which the conveyors that provide the transport functions in opposite directions to each other are provided in the up and down direction. The upper conveyor of the first transport unit 110 is continuously supplied to the first gripper 120 by supplying a magazine 30 in which a plurality of stacked jigs 11 having semiconductor packages are stacked, and a lower portion of the first transport unit 110. The conveyor provides a continuous movement function in the outward direction so as to recover the magazine 30 in which the jig 11 is emptied.

이때, 상기 제1이송부(110)의 상부 컨베이어 및 하부 컨베이어는 발명의 설명을 위해 상하로 나누어 설명하였지만, 상기 제1이송부(110)를 통한 매거진(30)의 공급 및 회수 방향은 제1이송부(110)의 상하 중에서 선택적으로 변경할 수 있는 것이다.At this time, the upper conveyor and the lower conveyor of the first transport unit 110 have been described by dividing them up and down for explanation of the invention, but the supply and recovery direction of the magazine 30 through the first transport unit 110 is the first transport unit ( It can be selectively changed among 110).

상기 제1그리퍼(120)는, 제1이송부(110)에서 지그(11)가 적층된 매거진(30)의 공급 측에 위치되는데, 상기 제1그리퍼(120)는 제1실린더(121)를 통해 집게 형태로 매거진(30)의 상단 일측을 제1픽업판(122)이 집고, 상기 제1픽업판(122)의 하부로 구비된 제2픽업판(123)이 매거진(30)의 하단을 집어 제1이송부(110)로부터 매거진(30)을 픽업할 수 있게 하며, 상기 제1픽업판(122) 및 제2픽업판(123)이 구비된 픽업 측은 제1액추에이터(124)에 의해 상하 이동이 가능하고, 제1가이드(125)를 통해 전후 이동이 가능하여 자유로은 픽업 및 픽업 후 빈 매거진(30)의 회수를 가능하게 하며, 상기 제1이송부(110)를 통해 공급된 매거진(30)을 집어 제1푸셔(130)의 위치로 이동 공급시키고, 지그(11)가 비워진 매거진(30)을 제1이송부(110)에 다시 회수되게 한다.The first gripper 120 is located on the supply side of the magazine 30 in which the jig 11 is stacked in the first transfer unit 110, and the first gripper 120 is through the first cylinder 121. The first pick-up plate 122 picks up the upper side of the magazine 30 in the form of a tongs, and the second pick-up plate 123 provided as a lower portion of the first pick-up plate 122 picks up the bottom of the magazine 30 The magazine 30 can be picked up from the first transfer unit 110, and the pick-up side provided with the first pick-up plate 122 and the second pick-up plate 123 is moved up and down by the first actuator 124. Possible, it is possible to move back and forth through the first guide 125 to freely pick up and recover the empty magazine 30 after pickup, and pick up the magazine 30 supplied through the first transfer unit 110 The first pusher 130 is moved and supplied to the position, and the magazine 30 from which the jig 11 is emptied is returned to the first transfer unit 110 again.

이때, 상기 제1액추에이터(124)는 직선 이동 가이드를 위한 전동 액추에이터를 적용할 수 있고, 상기 제1가이드(125)는 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.At this time, the first actuator 124 may apply an electric actuator for a linear movement guide, and the first guide 125 guides linear movement by transmitting power of a cylinder or screw to a slide guide such as an LM guide. The rail to be applied can be applied.

상기 제1푸셔(130)는, 제1그리퍼(120)를 통해 매거진(30)이 공급되는 측으로 지그(11)가 매거진(30)으로부터 분리될 수 있는 방향에 위치되는데, 상기 제1푸셔(130)는 제2실린더(131)를 통해 저후 이동 작동하는 제1밀대(132)가 마련되고, 상기 제1밀대(132)는 전진 동작 과정에서 상기 제1그리퍼(120)를 통해 공급된 매거진(30)의 지그(11)를 밀고, 상기 제1밀대(132)를 통해 밀린 지그(11)는 제1 이송 유닛부(300)로 투입되게 된다.The first pusher 130 is located in a direction in which the jig 11 can be separated from the magazine 30 to the side where the magazine 30 is supplied through the first gripper 120, the first pusher 130 ) Is provided with a first push bar 132 that moves through the second cylinder 131, and the first push bar 132 is a magazine 30 supplied through the first gripper 120 during a forward operation process. ) The jig 11 is pushed, and the jig 11 pushed through the first push bar 132 is introduced into the first transfer unit 300.

한편, 상기 제1이송부(110)는 매거진(30)의 공급 및 지그(11)가 비워진 매거진(30)의 회수 공정을 반복적 수행하고, 상기 제1그리퍼(120)는 매거진(30)의 픽업 및 지그(11)가 비워진 매거진(30)을 제1이송부(110)로 회수시키는 공정을 반복적 수행하며, 상기 제1푸셔(130)는 매거진(30)에서 지그(11)를 밀어 제1 이송 유닛부(300)로 투입하는 공정을 반복적 수행하여 지그(11)를 제1 이송 유닛부(300)로 연속 공급하게 한다.On the other hand, the first transport unit 110 repeatedly performs the supply process of the magazine 30 and the recovery process of the magazine 30 in which the jig 11 is emptied, and the first gripper 120 picks up the magazine 30 and The process for recovering the magazine 30 from which the jig 11 is emptied to the first transfer unit 110 is repeatedly performed, and the first pusher 130 pushes the jig 11 from the magazine 30 to the first transfer unit unit By repeatedly performing the process of introducing 300, the jig 11 is continuously supplied to the first transfer unit 300.

그리고, 상기 보트 매거진 로더부(200)는;And, the boat magazine loader unit 200;

다수의 빈보트(22)를 매거진(30)을 이용해 대량으로 연속 공급하기 위한 것이다.It is intended to continuously supply a large number of empty boats 22 using a magazine 30.

예를 들면, 상기 보트 매거진 로더부(200)는; 빈보트(22)가 적층된 매거진(30)을 연속 이동시켜 공급하고, 빈보트(22)가 비워진 매거진(30)을 회수하는 제2이송부(210); 상기 제2이송부(210)를 통해 공급된 매거진(30)을 픽업하고, 상기 픽업한 매거진(30)에서 빈보트(22)가 비워지면 상기 제2이송부(210)에 매거진(30)을 복귀시켜 회수되게 하는 제2그리퍼(220); 및 상기 제2그리퍼(220)를 통해 픽업한 매거진(30)에서 빈보트(22)를 제2 이송 유닛부(400)로 밀어 연속 투입되게 하는 제2푸셔(230);를 더 포함한다.For example, the boat magazine loader unit 200; A second transfer unit 210 for continuously supplying the magazine 30 on which the empty boat 22 is stacked, and recovering the magazine 30 on which the empty boat 22 is emptied; Pick up the magazine 30 supplied through the second transfer unit 210, and when the empty boat 22 is emptied from the picked-up magazine 30, return the magazine 30 to the second transfer unit 210 A second gripper 220 to be recovered; And a second pusher 230 configured to continuously push the empty boat 22 from the magazine 30 picked up through the second gripper 220 to the second transfer unit 400.

상기 제2이송부(210)는, 상하로 서로 반대방향의 이송 기능을 제공하는 컨베이어가 각각 마련된 형태로 제작된 상태에서 제2이송부(210)의 컨베이어에 매거진(30)이 순차적 투입되어 이송되는데, 상기 제2이송부(210)의 상부 컨베이어는 반도체패키지의 안착을 위한 빈보트(22)가 다수 적층된 매거진(30)을 제2그리퍼(220) 측으로 연속 이동시켜 공급하고, 제2이송부(210)의 하부 컨베이어는 빈보트(22)가 비워진 매거진(30)을 회수하도록 외측방향으로 연속 이송 기능을 제공한다.The second transport unit 210, the magazine 30 is sequentially input and transported to the conveyor of the second transport unit 210 in a state in which the conveyors providing transport functions in opposite directions to each other are manufactured in the form of being provided. The upper conveyor of the second transfer unit 210 continuously supplies the magazine 30, in which a number of empty boats 22 for stacking semiconductor packages are stacked, to the second gripper 220, and supplies the second transfer unit 210. The lower conveyor of the empty boat 22 provides a continuous transfer function in the outward direction to recover the empty magazine 30.

이때, 상기 제2이송부(210)의 상부 컨베이어 및 하부 컨베이어는 발명의 설명을 위해 상하로 나누어 설명하였지만, 상기 제2이송부(210)를 통한 매거진(30)의 공급 및 회수 방향은 제2이송부(210)의 상하로 선택적으로 변경할 수 있는 것이다.At this time, the upper conveyor and the lower conveyor of the second conveying unit 210 were described by dividing them up and down for explanation of the invention, but the direction of supply and recovery of the magazine 30 through the second conveying unit 210 is the second conveying unit ( 210) can be selectively changed up and down.

상기 제2그리퍼(220)는, 제2이송부(210)에서 빈보트(22)가 적층된 매거진(30)의 공급 측에 위치되는데, 상기 제2그리퍼(220)는 제3실린더(221)를 통해 집게 형태로 매거진(30)의 상단 일측을 제3픽업판(222)이 집고, 상기 제3픽업판(222)의 하부로 구비된 제4픽업판(223)이 매거진(30)의 하단을 집어 제2이송부(210)로부터 매거진(30)을 픽업할 수 있게 하며, 상기 제3픽업판(222) 및 제4픽업판(223)이 구비된 픽업 측은 제2액추에이터(224)에 의해 상하 이동이 가능하고, 제2가이드(225)를 통해 전후 이동이 가능하여 자유로운 픽업 및 픽업 후 빈 매거진(30)의 회수를 가능하게 하며, 상기 제2이송부(210)를 통해 공급된 매거진(30)을 집어 제2푸셔(230)의 위치로 이동 공급시키고, 빈보트(22)가 비워진 매거진(30)을 제2이송부(210)에 다시 회수되게 한다.The second gripper 220 is located on the supply side of the magazine 30 in which the empty boat 22 is stacked in the second transfer unit 210, wherein the second gripper 220 is provided with the third cylinder 221. A third pick-up plate 222 picks up the upper side of the magazine 30 in the form of tongs, and a fourth pick-up plate 223 provided as a lower portion of the third pick-up plate 222 shows the bottom of the magazine 30. Pick up the magazine 30 to be picked up from the second transfer unit 210, and the pick-up side provided with the third pick-up plate 222 and the fourth pick-up plate 223 moves up and down by the second actuator 224 This is possible, and it is possible to move back and forth through the second guide 225 to allow free pick-up and recovery of the empty magazine 30 after pickup, and the magazine 30 supplied through the second transfer unit 210 Pick up and move to the position of the second pusher 230, and the empty boat 22, the empty magazine 30 is returned to the second transfer unit 210 again.

이때, 상기 제2액추에이터(224)는 직선 이동 가이드를 위한 전동 액추에이터를 적용할 수 있고, 상기제2가이드(225)는 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.At this time, the second actuator 224 may apply an electric actuator for a linear movement guide, and the second guide 225 transmits the power of a cylinder or electric screw to a slide guide such as an LM guide for linear movement. Guide rails can be applied.

상기 제2푸셔(230)는, 제2그리퍼(220)를 통해 매거진(30)이 공급되는 측으로 빈보트(22)가 매거진(30)으로부터 분리될 수 있는 방향에 위치되는데, 상기 제2푸셔(230)는 제4실린더(231)를 통해 전후 이동 작동하는 제2밀대(232)가 마련되고, 상기 제2밀대(232)는 전진 동작 과정에서 상기 제2그리퍼(220)를 통해 공급된 매거진(30)의 빈보트(22)를 밀고, 상기 제2밀대(232)를 통해 밀린 빈보트(22)는 제2 이송 유닛부(400)로 투입되게 된다.The second pusher 230 is located in a direction in which the empty boat 22 can be separated from the magazine 30 to the side where the magazine 30 is supplied through the second gripper 220, wherein the second pusher ( 230) is provided with a second pusher 232 that moves forward and backward through the fourth cylinder 231, and the second pusher 232 is a magazine supplied through the second gripper 220 during the forward operation process ( 30) the empty boat 22 is pushed, and the empty boat 22 pushed through the second push bar 232 is introduced into the second transfer unit unit 400.

한편, 상기 제2이송부(210)는 매거진(30)의 공급 및 빈보트(22)가 비워진 매거진(30)의 회수 공정을 반복적 수행하고, 상기 제2그리퍼(220)는 매거진(30)의 픽업 및 빈보트(22)가 비워진 매거진(30)을 제2이송부(210)로 회수시키는 공정을 반복적 수행하며, 상기 제2푸셔(230)는 매거진(30)에서 빈보트(22)를 밀어 제2 이송 유닛부(400)로 투입하는 공정을 반복적 수행하여 빈보트(22)를 제2 이송 유닛부(400)로 연속 공급하게 한다.On the other hand, the second transport unit 210 repeatedly performs the supply process of the magazine 30 and the recovery process of the magazine 30 where the empty boat 22 is emptied, and the second gripper 220 picks up the magazine 30 And the process of recovering the magazine 30 from which the empty boat 22 is emptied to the second transfer unit 210 repeatedly, and the second pusher 230 pushes the empty boat 22 from the magazine 30 to the second By repeatedly performing the process of inputting to the transfer unit 400, the empty boat 22 is continuously supplied to the second transfer unit 400.

그리고, 상기 제1 이송 유닛부(300)는;And, the first transfer unit 300 is;

상기 지그 매거진 로더부(100)를 통해 공급되는 지그(11)를 패키지 픽커부(500)의 위치로 이동시키기 위한 것이다.It is for moving the jig 11 supplied through the jig magazine loader unit 100 to the position of the package picker unit 500.

예를 들면, 상기 제1 이송 유닛부(300)는; 지그 매거진 로더부(100)를 통해 공급된 지그(11)를 픽업하여 제1레일(320)에 슬라이드 이동시키는 제1이송그리퍼(310); 및 상기 제1이송그리퍼(310)를 통해 슬라이드 이동되는 지그(11)를 패키지 픽커부(500)로 안내하는 제1레일(320)을 더 포함한다.For example, the first transfer unit 300 is; A first transfer gripper 310 that picks up the jig 11 supplied through the jig magazine loader unit 100 and slides it on the first rail 320; And a first rail 320 for guiding the jig 11 slided through the first transfer gripper 310 to the package picker unit 500.

상기 제1이송그리퍼(310)는, 지그 매거진 로더부(100)의 제1푸셔(130)가 지그(11)를 밀어 공급하는 위치에 구비되는데, 상기 제1이송그리퍼(310)는 제1그립실린더(311)를 통해 집게 형태로 지그(11)의 상하단 일측을 제1그립판(312) 및 제2그립판(313)이 각각 집어 지그 매거진 로더부(100)로부터 공급된 지그(11)를 픽업하여 제1레일(320)에 투입되게 하고, 상기 제1그립판(312) 및 제2그립판(313)의 후단에는 제1레일(320)에 투입된 지그(11)를 밀어 슬라이드 이동시키기 위한 제1밀판(314)이 구비되며, 상기 제1그립판(312), 제2그립판(313), 제1밀판(314)이 위치한 픽업 측은 제1그립가이드(315)를 통해 제1레일(320)을 따라 전후 이동이 가능하고 제2그립실린더(316)를 통해 승강 이동이 가능하다.The first feeder gripper 310 is provided at a position where the first pusher 130 of the jig magazine loader unit 100 pushes and supplies the jig 11, and the first feeder gripper 310 is the first gripper A first grip plate 312 and a second grip plate 313 each pick up the upper and lower ends of the jig 11 in the form of forceps through the cylinder 311, respectively, and the jig 11 supplied from the jig magazine loader unit 100 is picked up. Pick-up to be put on the first rail 320, and the rear end of the first grip plate 312 and the second grip plate 313 to slide the jig 11 inserted into the first rail 320 to move the slide A first rail 314 is provided, the first grip plate 312, the second grip plate 313, the first side of the pickup plate 314 is located on the first rail through the first grip guide 315 ( 320), it is possible to move back and forth through the second grip cylinder 316.

이때, 상기 제1그립가이드(315)는 제1그립판(312)과 제2그립판(313)을 통한 지그(11)의 픽업 공정을 수행한 후 제1밀판(314)이 제1레일(320)에 투입된 지그(11)를 슬라이드 이동되게 하는 이동 안내공정을 교차로 반복적 수행하는데, 상기 제2그립실린더(316)는 제1그립판(312)과 제2그립판(313) 및, 제1밀판(314)의 교차 공정 수행 중 제1그립판(312), 제2그립판(313), 제1밀판(314)이 구비된 픽업 측이 지그(11)의 전후 측을 번갈아 가면서 넘어 이동하면서 간섭이 없도록 승강 이동 기능을 제공한다.At this time, the first grip guide 315 performs the pickup process of the jig 11 through the first grip plate 312 and the second grip plate 313, and then the first mill plate 314 is the first rail ( 320) to repeatedly perform a movement guide process for causing the jig 11 to be slided in the intersection, wherein the second grip cylinder 316 includes a first grip plate 312, a second grip plate 313, and a first While performing the cross-process of the mill plate 314, the pick-up side provided with the first grip plate 312, the second grip plate 313, and the first mill plate 314 alternately moves over the front and rear sides of the jig 11, It provides the lift movement function so that there is no interference.

마찬가지로, 상기 제1그립가이드(315)는 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.Likewise, the first grip guide 315 may apply a rail that guides linear movement by transmitting power of a cylinder or an electric screw to a slide guide such as an LM guide.

상기 제1레일(320)은, 상기 제1이송그리퍼(310)가 직선 이동하는 방향에 구비되는데, 상기 제1이송그리퍼(310)를 사이에 두고 한 쌍의 제1고정레일(321) 및 제1가변레일(322)이 대향되어 마련되고, 상기 제1고정레일(321) 및 제1가변레일(322)의 상부로 마련된 제1단턱(323)에 지그(11)가 안착되면서 슬라이드 이동을 위한 공간을 제공한다.The first rail 320 is provided in a direction in which the first transfer gripper 310 moves in a straight line, and a pair of first fixed rails 321 and a first transfer gripper 310 interposed therebetween. 1 is a variable rail 322 is provided facing, the first fixed rail 321 and the first variable rail 322 is provided on top of the first stepped 323, the jig 11 is seated for slide movement Provide space.

여기서, 상기 제1가변레일(322)은 제1레일가이드(322a)를 통해 제1고정레일(321) 측으로 전후 이동될 수 있는데, 상기 제1가변레일(322)이 전후 이동되도록 동력을 제공하는 제1레일실린더(322b)가 연결되며, 상기 제1가변레일(322)의 전후 이동에 따라 제1고정레일(321) 사이의 간격이 임의 조절될 수 있다.Here, the first variable rail 322 may be moved back and forth toward the first fixed rail 321 through the first rail guide 322a, which provides power to move the first variable rail 322 back and forth. The first rail cylinder 322b is connected, and an interval between the first fixed rails 321 may be arbitrarily adjusted according to the front-rear movement of the first variable rail 322.

이때, 상기 제1가변레일(322)이 전후 이동되면서 제1고정레일(321) 사이의 간격이 임의 조절됨에 따라 공정별 다양한 폭으로 제작되는 지그(11)에 대응할 수 있게 된다.At this time, as the first variable rail 322 is moved back and forth, as the gap between the first fixed rails 321 is arbitrarily adjusted, it is possible to respond to the jig 11 manufactured in various widths for each process.

한편, 상기 제1레일가이드(322a)는 제1가변레일(322)의 하단부에 제1고정레일(321) 방향으로 구비되는 LM 가이드를 적용할 수 있고, 상기 제1레일실린더(322b)는 제1가변레일(322)의 전후 이동방향의 후단부에 구비되어 전후 이동을 위한 동력을 선택적 제공한다.On the other hand, the first rail guide (322a) may be applied to the LM guide provided in the direction of the first fixed rail 321 to the lower end of the first variable rail 322, the first rail cylinder (322b) is One variable rail 322 is provided at the rear end of the front-rear moving direction to selectively provide power for front-rear moving.

또한, 상기 제1 이송 유닛부(300)는; 지그(11)가 패키지 픽커부(500)로 이동되기 전에 상기 지그(11)에 덮어진 지그(11)의 커버를 지그(11)로부터 분리되게 픽업한 후 커버스택(332)으로 이동 적재시키는 커버픽커(330)를 더 포함한다.In addition, the first transfer unit 300 is; Before the jig 11 is moved to the package picker part 500, the cover of the jig 11 covered with the jig 11 is picked up separately from the jig 11, and then moved to the cover stack 332. It further includes a picker 330.

상기 커버픽커(330)는 제1레일(320)의 이송 방향에 제3액추에이터(333)가 직각으로 결합되어 구비되는데, 상기 커버픽커(330)는 공압에 의한 진공 흡착으로 대상을 픽업할 수 있는 기능의 제3픽커(331)가 제4액추에이터(334)를 통해 상기 제3액추에이터(333)에 연결되고, 상기 제3액추에이터(333)는 제3픽커(331)를 제1레일(320)과 커버스택(332) 사이에서 직선 왕복 이동되게 하고, 상기 제4액추에이터(334)는 제3픽커(331)의 픽업을 위해 승강 기능을 제공한다.The cover picker 330 is provided with a third actuator 333 coupled at a right angle to the transport direction of the first rail 320, wherein the cover picker 330 can pick up objects by vacuum adsorption by pneumatics. The third picker 331 of the function is connected to the third actuator 333 through a fourth actuator 334, and the third actuator 333 connects the third picker 331 with the first rail 320. A linear reciprocating movement is performed between the cover stacks 332, and the fourth actuator 334 provides a lift function for pickup of the third picker 331.

이때, 상기 제3액추에이터(333) 및 제4액추에이터(334)는 전동 액추에이터를 적용할 수 있고, 상기 제3픽커(331)는 제1레일(320)을 통해 슬라이드 이동되는 지그(11)에서 커버를 픽업하고, 상기 제3픽커(331)를 통해 픽업된 커버는 커버스택(332)에 이동 적재된다.At this time, the third actuator 333 and the fourth actuator 334 may be applied to the electric actuator, the third picker 331 is covered by a jig 11 that slides through the first rail 320 Pick up, and the cover picked up through the third picker 331 is moved to the cover stack 332.

또한, 상기 제 1 이송 유닛부(300)는; 지그(11)의 커버가 적재되는 커버스택(332)을 더 포함한다.In addition, the first transfer unit 300 is; It further includes a cover stack 332 on which the cover of the jig 11 is loaded.

상기 커버스택(332)은 커버픽커(330)가 지그(11)를 픽업하여 적재할 수 있는 측에 위치되는데, 상기 커버스택(332)은 승강 기능을 갖는 승강기로 제작되며, 커버픽커(330)를 통해 픽업된 지그(11)의 커버를 적재되게 하고, 적재된 지그(11)의 커버를 순차적으로 하나씩 하강시켜 지그(11) 커버의 연속 적재를 위한 공간을 제공하는 기능을 한다.The cover stack 332 is located on the side where the cover picker 330 can pick up and load the jig 11, the cover stack 332 is made of a lift having a lift function, the cover picker 330 Through this, the cover of the jig 11 picked up is stacked, and the cover of the stacked jig 11 is sequentially lowered one by one to provide a space for continuous stacking of the jig 11 cover.

이때, 상기 커버스택(332)에 다수의 지그(11) 커버가 적재되어 공간이 없게 되면 상기 커버스택(332)에 적재된 지그(11) 커버를 비워 적층 공간을 다시 형성시킨다.At this time, when a plurality of jig 11 covers are stacked on the cover stack 332 and there is no space, the cover of the jig 11 loaded on the cover stack 332 is emptied to form a stack space again.

한편, 상기 커버픽커(330)는 지그(11)에 커버가 안착된 상황에서 선택적 사용할 수 있고, 상기 커버픽커(330)를 사용하는 경우 제1레일(320)에 슬라이드 이동되는 지그(11)를 이동 중 일시 정지시키기 위한 구조를 마련할 수 있다.On the other hand, the cover picker 330 can be selectively used in a situation where the cover is seated on the jig 11, and when the cover picker 330 is used, the jig 11 slided on the first rail 320 is used. It is possible to provide a structure for temporarily stopping while moving.

그리고, 제2 이송 유닛부(400)는;And, the second transfer unit unit 400;

상기 보트 매거진 로더부(200)를 통해 공급되는 빈보트(22)를 패키지 픽커부(500)의 위치로 이동시키기 위한 것이다.It is for moving the empty boat 22 supplied through the boat magazine loader unit 200 to the position of the package picker unit 500.

예를 들면, 상기 제2 이송 유닛부(400)는; 보트 매거진 로더부(200)를 통해 공급된 빈보트(22)를 픽업하여 제2레일(420)에 슬라이드 이동시키는 제2이송그리퍼(410); 및 상기 제2이송그리퍼(410)를 통해 슬라이드 이동되는 빈보트(22)를 패키지 픽커부(500)로 안내하는 제2레일(420);을 더 포함한다.For example, the second transfer unit 400 is; A second transfer gripper 410 for picking up the empty boat 22 supplied through the boat magazine loader unit 200 and sliding it on the second rail 420; And a second rail 420 for guiding the empty boat 22 slided through the second transfer gripper 410 to the package picker unit 500.

상기 제2이송그리퍼(410)는, 보트 매거진 로더부(200)의 제2푸셔(230)가 빈보트(22)를 밀어 공급하는 위치에 구비되는데, 상기 제2이송그리퍼(410)는 제3그립실린더(411)를 통해 집게 형태로 빈보트(22)의 상하단 일측을 제3그립판(412) 및 제4그립판(413)이 각각 집어 보트 매거진 로더부(200)로부터 공급된 빈보트(22)를 픽업하여 제2레일(420)에 투입되게 하고, 상기 제3그립판(412) 및 제4그립판(413)의 후단에는 제2레일(420)에 투입된 빈보트(22)를 밀어 슬라이드 이동시키기 위한 제2밀판(414)이 구비되며, 상기 제3그립판(412), 제4그립판(413), 제2밀판(414)이 위치한 픽업 측은 제2그립가이드(415)를 통해 제2레일(420)을 따라 전후 이동이 가능하고, 제4그립실린더(416)를 통해 승강 이동이 가능하다.The second feed gripper 410 is provided at a position where the second pusher 230 of the boat magazine loader 200 pushes and supplies the empty boat 22, and the second feed gripper 410 is a third An empty boat supplied from the boat magazine loader unit 200 by the third grip plate 412 and the fourth grip plate 413 respectively picking up the upper and lower ends of the empty boat 22 in the form of forceps through the grip cylinder 411 22) to be picked up and put into the second rail 420, and push the empty boat 22 inserted into the second rail 420 to the rear ends of the third grip plate 412 and the fourth grip plate 413. A second sealing plate 414 for moving the slide is provided, and the pick-up side on which the third gripping plate 412, the fourth gripping plate 413, and the second sealing plate 414 are located is via the second gripping guide 415. It is possible to move back and forth along the second rail 420, and it is possible to move up and down through the fourth grip cylinder 416.

이때, 상기 제2그립가이드(415)는 제3그립판(412)과 제4그립판(413)을 통한 빈보트(22)의 픽업공정을 수행한 후 제2밀판(414)이 제2레일(420)에 투입된 빈보트(22)를 슬라이드이동되게 하는 이동 안내공정을 교차로 반복적 수행하는데, 상기 제4그립실린더(416)는 제3그립판(412)과 제4그립판(413) 및, 제2밀판(414)의 반복적인 교차 공정 수행 중 제3그립판(412), 제4그립판(413), 제2밀판(414)이 구비된 픽업 측이 빈보트(22)의 전후 측을 번갈아 가면서 넘어 이동하면서 간섭이 없도록 승강 이동 기능을 제공한다.At this time, the second grip guide 415 performs a pick-up process of the empty boat 22 through the third grip plate 412 and the fourth grip plate 413, and then the second mill plate 414 has a second rail. The movement guide process for causing the slide of the empty boat 22 inserted in the 420 to be repeatedly moved is performed alternately. The fourth grip cylinder 416 includes a third grip plate 412 and a fourth grip plate 413, and The pick-up side provided with the third gripping plate 412, the fourth gripping plate 413, and the second closing plate 414 during the repetitive cross-processing of the second sealing plate 414 moves the front and rear sides of the empty boat 22. It provides the lift movement function so that there is no interference while moving alternately.

마찬가지로, 상기 제2그립가이드(415) 역시 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.Likewise, the second grip guide 415 may also apply a rail that guides linear movement by transmitting power of a cylinder or electric screw to a slide guide such as an LM guide.

상기 제2레일(420)은, 상기 제2이송그리퍼(410)가 직선 이동하는 방향에 구비되는데, 상기 제2이송그리퍼(410)를 사이에 두고 한 쌍의 제2고정레일(421) 및 제2가변레일(422)이 대향되어 마련되고, 상기 제2고정레일(421) 및 제2가변레일(422)의 상부로 마련된 제2단턱(423)에 빈보트(22)가 안착되면서 슬라이드 이동을 위한 공간을 제공한다.The second rail 420 is provided in a direction in which the second transfer gripper 410 moves in a straight line. A pair of second fixed rails 421 and the second transfer gripper 410 are interposed therebetween. 2 The variable rails 422 are provided facing each other, and the empty boat 22 is seated on the second stepped 423 provided above the second fixed rail 421 and the second variable rail 422 to move the slide. Provide space for.

여기서, 상기 제2가변레일(422)은 제2레일가이드(422a)를 통해 제2고정레일(421) 측으로 전후 이동될 수 있는데, 상기 제2가변레일(422)이 전후 이동되도록 동력을 제공하는 제2레일실린더(422b)가 연결되며, 상기 제2가변레일(422)의 전후 이동에 따라 제2고정레일(421) 사이의 간격이 임의 조절될 수 있다.Here, the second variable rail 422 may be moved back and forth toward the second fixed rail 421 through the second rail guide 422a, which provides power to move the second variable rail 422 back and forth. The second rail cylinder 422b is connected, and an interval between the second fixed rails 421 may be arbitrarily adjusted according to the front-rear movement of the second variable rail 422.

이때, 상기 제2가변레일(422)이 전후 이동되면서 제2고정레일(421) 사이의 간격이 임의 조절됨에 따라 공정별 다양한 폭으로 제작되는 빈보트(22)의 폭에 대응할 수 있게 된다.At this time, as the second variable rail 422 is moved back and forth, the gap between the second fixed rails 421 is arbitrarily adjusted, so that it can correspond to the width of the empty boat 22 manufactured in various widths for each process.

한편, 상기 제2레일가이드(422a)는 제2가변레일(422) 하단부에 제2고정레일(421) 방향으로 구비되는 LM 가이드를 적용할 수 있고, 상기 제2레일실린더(422b)는 제2가변레일(422)의 전후 이동방향의 후단부에 구비되어 전후 이동을 위한 동력을 선택적 제공한다.On the other hand, the second rail guide (422a) may be applied to the LM guide provided in the direction of the second fixed rail 421 at the lower end of the second variable rail 422, the second rail cylinder (422b) is a second It is provided at the rear end of the variable rail 422 in the front-rear moving direction to selectively provide power for front-rear moving.

여기서, 상기 지그 매거진 로더부(100)와 제1 이송 유닛부(300) 및, 상기 보트 매거진 로더부(200)와 제2 이송 유닛부(400) 사이에는 자재 정보 인식을 위해 비전 검사를 수행하는 제1비전(v1)을 더 포함한다.Here, between the jig magazine loader unit 100 and the first transfer unit unit 300 and the boat magazine loader unit 200 and the second transfer unit unit 400, performing a vision inspection for material information recognition The first vision v1 is further included.

상기 제1비전(v1)은 디지털 카메라의 일종으로 촬영 대상의 데이터를 전기적 신호로 제공하는 기능을 하는데, 상기 제1비전(v1)은 지그 매거진 로더부(100)에서 제1 이송 유닛부(300)로 이동 공급되는 지그(11)의 저면부를 촬영 가능한 위치로 구비되고, 상기 보트 매거진 로더부(200)에서 제2 이송 유닛부(400)로 이동 공급되는 빈보트(22)의 저면부를 촬영 가능한 위치로 구비되며, 상기 제1비전(v1)을 통해 촬영한 데이터를 활용하여 지그 매거진 로더부(100)에서 공급되는 지그(11)의 정보, 상기 지그(11)에 안착된 반도체패키지의 정보를 인식하고, 더불어 상기 보트 매거진 로더부(200)에서 공급되는 빈보트(22)의 정보를 인식하며, 미리 저장된 데이터와 비교하여 이상 유무를 자동으로 판별할 수 있게 한다.The first vision (v1) is a type of digital camera that functions to provide data to be photographed as an electrical signal. The first vision (v1) is the first transfer unit unit 300 in the jig magazine loader unit 100 ) Is provided to a position capable of photographing the bottom surface of the jig 11 supplied to the movement, and the bottom surface of the empty boat 22 supplied to the second transport unit 400 from the boat magazine loader unit 200 is photographed. It is provided as a location, by utilizing the data taken through the first vision (v1) information of the jig 11 supplied from the jig magazine loader unit 100, the information of the semiconductor package seated on the jig 11 In addition, it recognizes the information of the empty boat 22 supplied from the boat magazine loader unit 200, and compares with previously stored data to automatically determine whether there is an abnormality.

이때, 상기 제1비전(v1)은 별도 모니터를 통해 촬영한 데이터를 출력할 수 있고, 촬영한 데이터를 활용하기 위해 별도 소프트웨어를 사용한다.At this time, the first vision v1 may output the photographed data through a separate monitor, and use separate software to utilize the photographed data.

그리고, 상기 패키지 픽커부(500)는;Then, the package picker unit 500;

상기 제1 이송 유닛부(300)를 통해 공급된 지그(11)에서 반도체패키지를 픽업한 후 상기 제2 이송 유닛부(400)를 통해 공급된 빈보트(22)에 픽업한 반도체패키지를 이동시켜 안착하는 교체작업을 수행하기 위한 것이다.After picking up the semiconductor package from the jig 11 supplied through the first transfer unit unit 300, the semiconductor package picked up by moving to the empty boat 22 supplied through the second transfer unit unit 400 is moved. It is intended to perform a seating replacement.

예를 들면, 상기 패키지 픽커부(500)는; 제1 이송 유닛부(300)를 통해 이동된 지그(11)가 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)에 각각 안착되어 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 픽업 위치로 대기시키는데, 상기 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)이 교차 이동하면서 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 픽업 작업 및 지그(11)의 공급 대기를 동시에 수행되게 하는 제1트랜스퍼(510)를 더 포함한다.For example, the package picker unit 500; The jig 11 moved through the first transfer unit 300 is seated on the first jig plate 511 and the second jig plate 512, respectively, of the first picker 530a and the second picker 530b. Waiting to the pick-up position, while the first jig plate 511 and the second jig plate 512 are cross-moving, the pickup operation of the first picker 530a and the second picker 530b and waiting for supply of the jig 11 It further includes a first transfer 510 to be performed at the same time.

상기 제1트랜스퍼(510)는 제1 이송 유닛부(300)를 통해 이동된 지그(11)의 공급 위치에 구비되는데, 상기 제1트랜스퍼(510)는 공급된 지그(11)가 각각 교대로 슬라이드 이동되면서 안착되게 하는 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)이 직선 이동을 위한 제5액추에이터(513)에 상호 반대 방향으로 각각 구비되고, 상기 제1지그판(511)은 제5실린더(514)를 통해 승강하고, 제2지그판(512)은 제6실린더(515)를 통해 승강 가능하다.The first transfer unit 510 is provided at a supply position of the jig 11 moved through the first transfer unit unit 300. In the first transfer unit 510, the supplied jig 11 slides alternately. The first jig plate 511 and the second jig plate 512 to be seated while being moved are respectively provided in opposite directions to the fifth actuator 513 for linear movement, and the first jig plate 511 is made of It is possible to elevate through the 5 cylinder 514, and the second jig plate 512 is elevable through the 6th cylinder 515.

이때, 상기 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)은 전동 액추에이터인인 제5액추에이터(513)를 통해 교차 이동하면서, 그 이동 과정에서 상기 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)이 서로 간섭이 없도록 상기 제5실린더(514) 및 제6실린더(515)가 서로 반대방향으로 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)을 상승 또는 하강시키는 회피 이동을 수행하고, 상기 제1지그판(511) 또는 제2지그판(512) 중 어느 하나의 지그(11)에서 반도체패키지가 픽업되어 지그(11)가 비워지면, 상기 반도체패키지가 픽업된 빈지그(12)를 후속 공정으로 투입시킨 후 그 자리에 다시 반도체패키지가 안착된 지그(11)를 안착시키는 공정을 반복적 수행하여 반도체패키지가 안착된 지그(11)의 대기 및 빈지그(12)의 후속 이동을 동시에 가능하게 한다.At this time, while the first jig plate 511 and the second jig plate 512 cross-move through the fifth actuator 513 which is an electric actuator, the first jig plate 511 and the second in the movement process The fifth cylinder 514 and the sixth cylinder 515 avoid the raising or lowering of the first jig plate 511 and the second jig plate 512 so that the jig plate 512 does not interfere with each other. When the movement is performed, and the semiconductor package is picked up from the jig 11 of either the first jig plate 511 or the second jig plate 512, and the jig 11 is emptied, the empty where the semiconductor package is picked up After the jig 12 is introduced as a subsequent process, the process of mounting the jig 11 having the semiconductor package seated thereon repeatedly is performed repeatedly, and the waiting and empty jig 12 of the jig 11 having the semiconductor package seated thereon is performed. Enable subsequent movements simultaneously.

또한, 상기 패키지 픽커부(500)는; 제2 이송 유닛부(400)를 통해 이동된 빈보트(22)가 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)에 각각 안착되어 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)를 통해 픽업된 반도체패키지의 안착 위치로 대기시키는데, 상기 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)이 교차 이동하면서 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 안착 작업 및 빈보트(22)의 공급 대기를 동시에 수행되게 하는 제2트랜스퍼(520)를 더 포함한다.In addition, the package picker unit 500; The empty boat 22 moved through the second transfer unit 400 is seated on the first boat plate 521 and the second boat plate 522, respectively, and the first picker 530a and the second picker 530b Waiting to the seating position of the semiconductor package picked up through, while the first boat plate 521 and the second boat plate 522 cross and move, the first picker 530a and the second picker 530b are seated and It further includes a second transfer 520 to simultaneously perform the waiting for supply of the empty boat 22.

상기 제2트랜스퍼(520)는 제2 이송 유닛부(400)를 통해 이동된 빈보트(22)의 공급 위치에 구비되는데, 상기 제2트랜스퍼(520)는 공급된 빈보트(22)가 각각 교대로 슬라이드 이동되면서 안착되게 하는 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)이 직선 이동을 위한 제6액추에이터(523)에 상호 반대 방향으로 각각 구비되고, 상기 제1보트판(521)은 제7실린더(524)를 통해 승강하고, 상기 제2보트판)은 제8실린더(525)를 통해 승강이 가능하다.The second transferer 520 is provided at a supply position of the empty boat 22 moved through the second transfer unit 400, wherein the supplied second empty boat 22 alternates. The first boat plate 521 and the second boat plate 522 to be seated while being moved to the slide are respectively provided in opposite directions to the sixth actuator 523 for linear movement, and the first boat plate 521 Is elevating through the seventh cylinder 524, and the second boat plate) is elevating through the eighth cylinder 525.

이때, 상기 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)은 전동 액추에이터의 일종인 제6액추에이터(523)를 통해 교차 이동하면서, 그 이동과정에서 상기 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)이 서로 간섭이 없도록 상기 제7실린더(524) 및 제8실린더(525)가 서로 반대방향으로 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)을 상승 및 하강시키는 회피 이동을 수행하게 하고, 상기 제1보트판(521) 또는 제2보트판(522) 중 어느 하나의 빈보트(22)에 반도체패키지가 안착되면, 상기 반도체패키지가 안착된 보트(21)를 후속 공정으로 투입시킨 후 그 자리에 다시 빈보트(22)를 안착시키는 공정을 반복적 수행하여 빈보트(22)의 대기 및 반도체패키지가 안착된 보트(21)의 후속 이동을 동시에 가능하게 한다.At this time, while the first boat plate 521 and the second boat plate 522 cross-move through the sixth actuator 523, which is a type of electric actuator, the first boat plate 521 and the first The seventh cylinder 524 and the eighth cylinder 525 raise and lower the first boat plate 521 and the second boat plate 522 in opposite directions so that the two boat plates 522 do not interfere with each other. The evacuation movement is performed, and when the semiconductor package is seated on either the empty boat 22 of the first boat plate 521 or the second boat plate 522, the boat 21 on which the semiconductor package is seated After inputting to the subsequent process, the process of seating the empty boat 22 again in its place is repeatedly performed to simultaneously allow the standby of the empty boat 22 and the subsequent movement of the boat 21 on which the semiconductor package is seated.

또한, 상기 패키지 픽커부(500)는; 제1 이송 유닛부(300)를 통해 공급된 지그(11)에서 반도체패키지를 픽업한 후 제2 이송 유닛부(400)를 통해 공급된 빈보트(22)에 반도체패키지를 이동시켜 안착하는 교체작업을 반복적 수행하는 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)를 더 포함한다.In addition, the package picker unit 500; After the semiconductor package is picked up from the jig 11 supplied through the first transfer unit unit 300, the semiconductor package is moved to the empty boat 22 supplied through the second transfer unit unit 400 for replacement. It further includes a first picker 530a and a second picker 530b that repeatedly perform.

상기 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)는 제1트랜스퍼(510)와 제2트랜스퍼(520)를 왕복 이동할 수 있는 위치에 구비되는데, 상기 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)는 공압에 의한 진공 흡착으로 대상을 픽업할 수 있는 흡착 구조를 갖고, 상기 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)는 각각 4개의 흡착 구조를 갖으면서 동시에 8개의 반도체패키지를 픽업할 수 있도록 하며, 상기 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 픽업을 통해 제1트랜스퍼(510)에 대기 중인 지그(11)에서 반도체패키지를 픽업한 후 제2트랜스퍼(520)에 안착되어 대기 중인 빈보트(22)에 안착시키는 교체 작업을 반복적 수행할 수 있게 한다.The first picker 530a and the second picker 530b are provided at positions where the first transferer 510 and the second transferer 520 can reciprocate, and the first picker 530a and the second picker (530a) 530b) has an adsorption structure capable of picking up objects by vacuum adsorption by pneumatic, and the first picker 530a and the second picker 530b each have four adsorption structures and simultaneously pick up eight semiconductor packages. And then picking up the semiconductor package from the jig 11 waiting for the first transferer 510 through the pickup of the first picker 530a and the second picker 530b, and then to the second transferer 520. It is possible to repeatedly perform a replacement operation for seating on the empty boat 22 which is seated and waiting.

이때, 상기 4개의 흡착 구조를 갖는 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)는 각각의 흡착 구조에 별도 실린더가 구비되면서 승가 이동을 가능하게 한다.At this time, the first picker 530a and the second picker 530b having the four adsorption structures are provided with separate cylinders in each adsorption structure to allow movement of the lifters.

한편, 상기 제1픽커(530a)는 제7액추에이터(531)에 연결되고, 상기 제2픽커(530b)는 제1픽커(530a)의 대칭 방향으로 제8액추에이터(532)에 연결되며, 상기 제7액추에이터(531) 및 제8액추에이터(532)는 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)를 각각 제1트랜스퍼(510)와 제2트랜스퍼(520)의 대기 위치로 왕복 이동되게 한다.Meanwhile, the first picker 530a is connected to the seventh actuator 531, and the second picker 530b is connected to the eighth actuator 532 in the symmetrical direction of the first picker 530a. The 7 actuators 531 and the 8 actuators 532 allow the first picker 530a and the second picker 530b to reciprocate to the standby positions of the first transferer 510 and the second transferer 520, respectively.

이때, 상기 제7액추에이터(531) 및 제8액추에이터(532)는 각각 일측단부가 제9액추에이터(533)의 양측에 직각 방향으로 연결되면서 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)가 서로 대향된 방향으로 전후 이동할 수 있게 하며, 상기 제7액추에이터(531), 제8액추에이터(532) 및 제9액추에이터(533)를 통해 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 픽업을 위한 자유로운 이동을 가능하게 한다.At this time, the seventh actuator 531 and the eighth actuator 532 are connected to the first picker 530a and the second picker 530b, respectively, as one end is connected at right angles to both sides of the ninth actuator 533, respectively. It is possible to move back and forth in opposite directions, and for picking up the first picker 530a and the second picker 530b through the seventh actuator 531, the eighth actuator 532, and the ninth actuator 533 It enables free movement.

마찬가지로, 상기 제7액추에이터(531), 제8액추에이터(532), 제9액추에이터(533) 역시 직선 이동을 안내하기 위한 전동 액추에이터를 적용할 수 있다.Likewise, the seventh actuator 531, the eighth actuator 532, and the ninth actuator 533 may also be applied with electric actuators for guiding linear movement.

여기서, 상기 패키지 픽커부(500)에는 픽업된 반도체패키지의 픽업위치에 대한 이상 유무를 비전 검사하는 제2비전(v2)을 더 포함한다.Here, the package picker unit 500 further includes a second vision (v2) for vision inspection of the presence or absence of the pickup location of the semiconductor package picked up.

상기 제2비전(v2)은 디지털 카메라의 일종으로 촬영 대상의 데이터를 전기적 신호로 제공하는 기능을 하는데, 상기 제2비전(v2)은 패키지 픽커부(500)를 통해 픽업된 반도체패키지의 하부를 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)에 픽업된 상태로 촬영하고, 상기 제2비전(v2)을 통해 촬영한 데이터를 활용하여 상기 패키지 픽커부(500)가 반도체패키지를 픽업한 상태의 픽업 위치에 대한 이상 유무를 미리 저장된 데이터와 비교하여 자동으로 판별할 수 있게 한다.The second vision (v2) is a type of digital camera that functions to provide data to be photographed as an electrical signal, and the second vision (v2) is a lower portion of the semiconductor package picked up through the package picker unit (500). A state in which the package picker unit 500 picks up the semiconductor package by photographing in a state picked up by the first picker 530a and the second picker 530b and utilizing the data captured through the second vision v2 It is possible to automatically determine whether there is an abnormality with respect to the pick-up location by comparing it with previously stored data.

이때, 상기 제2비전(v2)은 별도 모니터를 통해 촬영한 데이터를 출력할 수 있고, 촬영한 데이터를 활용하기 위해 별도 소프트웨어를 사용한다.At this time, the second vision (v2) may output the captured data through a separate monitor, and uses a separate software to utilize the captured data.

그리고, 상기 제3 이송 유닛부(600)는;And, the third transfer unit portion 600;

상기 패키지 픽커부(500)의 교체작업을 통해 반도체패키지가 픽업되어 비워진 빈지그(12)를 지그 매거진 언로더부(800)의 위치로 이동시키기 위한 것이다.It is for moving the empty jig 12 from which the semiconductor package is picked up and emptied through the replacement operation of the package picker unit 500 to the position of the jig magazine unloader unit 800.

예를 들면, 상기 제3 이송 유닛부(600)는; 패키지 픽커부(500)에서 반도체패키지가 픽업되어 비워진 빈지그(12)를 픽업하여 제3레일(620)에 슬라이드 이동시키는 제3이송그리퍼(610); 및 상기 제3이송그리퍼(610)를 통해 슬라이드 이동되는 빈지그(12)를 지그 매거진 언로더부(800)로 안내하는 제3레일(620);을 더 포함한다.For example, the third transfer unit portion 600; A third transfer gripper 610 for picking up and emptying the empty jig 12 from which the semiconductor package is picked up from the package picker 500 and slides it on the third rail 620; And a third rail 620 for guiding the empty jig 12 slided through the third transfer gripper 610 to the jig magazine unloader unit 800.

상기 제3이송그리퍼(610)는, 패키지 픽커부(500)에서 반도체패키지가 픽업되어 비워진 빈지그(12)를 픽업할 수 있는 위치에 구비되는데, 상기 제3이송그리퍼(610)는 제5그립실린더(611)를 통해 집게 형태로 빈지그(12)의 상하단 일측을 제5그립판(612) 및 제6그립판(613)이 각각 집어 픽업하여 제3레일(620)에 투입되게 하고, 상기 제5그립판(612) 및 제6그립판(613)의 후단에는 제3레일(620)에 투입된 빈지그(12)를 밀어 슬라이드 이동시키기 위한 제3밀판(614)이 구비되며, 상기 제5그립판(612), 제6그립판(613), 제3밀판(614)이 위치한 픽업 측은 제3그립가이드(615)를 통해 제3레일(620)을 따라 전후 이동이 가능하고 이 과정에서 제6그립실린더(616)를 통해 승강이 가능하게 된다.The third transfer gripper 610 is provided at a position where the semiconductor package is picked up from the package picker unit 500 to pick up the empty jig 12, and the third transfer gripper 610 is a fifth gripper. A fifth gripping plate 612 and a sixth gripping plate 613 are picked up and placed on the upper and lower ends of the bin jig 12 in the form of forceps through the cylinder 611 to be input to the third rail 620. The third gripping plate 614 is provided at the rear ends of the fifth gripping plate 612 and the sixth gripping plate 613 to slide the empty jig 12 inserted into the third rail 620 and move the slide. The pick-up side where the grip plate 612, the sixth grip plate 613, and the third hermetic plate 614 are located can be moved back and forth along the third rail 620 through the third grip guide 615. 6 It is possible to elevate through the grip cylinder (616).

이때, 상기 제3그립가이드(615)는 제5그립판(612)과 제6그립판(613)을 통한 빈지그(12)의 픽업 공정을 수행한 후 제3밀판(614)이 제3레일(620)에 투입된 빈지그(12)를 슬라이드 이동되게 하는 이동 안내공정을 교차로 반복적 수행하는데, 상기 제6그립실린더(616)는 제5그립판(612)과 제6그립판(613) 및, 제3밀판(614)의 반복적인 교차 공정 수행 중 상기 제5그립판(612), 제6그립판(613), 제3밀판(614)이 구비된 픽업 측이 빈지그(12)의 전후 측을 번갈아 가면서 넘어 이동하면서 간섭이 없도록 승강 이동 기능을 제공한다.At this time, the third grip guide 615 performs the pick-up process of the empty jig 12 through the fifth grip plate 612 and the sixth grip plate 613, and then the third mill plate 614 is the third rail. The moving guide process for repeatedly sliding the empty jig 12 input to the 620 is alternately performed. The sixth grip cylinder 616 includes a fifth grip plate 612 and a sixth grip plate 613, and The pick-up side provided with the fifth gripping plate 612, the sixth gripping plate 613, and the third closing plate 614 during the repeated crossing process of the third sealing plate 614 is the front and rear sides of the empty jig 12 It provides the lift movement function so that there is no interference while moving over alternately.

마찬가지로, 상기 제3그립가이드(615) 역시 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.Likewise, the third grip guide 615 may also apply a rail that guides linear movement by transmitting power of a cylinder or electric screw to a slide guide such as an LM guide.

상기 제3레일(620)은, 상기 제3이송그리퍼(610)가 직선 이동하는 방향에 구비되는데, 상기 제3이송그리퍼(610)를 사이에 두고 한 쌍의 제3고정레일(621) 및 제3가변레일(622)이 대향되어 마련되고, 상기 제3고정레일(621) 및 제3가변레일(622)의 상부로 마련된 제3단턱(623)에 빈지그(12)가 안착되면서 슬라이드 이동을 위한 공간을 제공한다.The third rail 620 is provided in a direction in which the third transfer gripper 610 moves in a straight line, and a pair of third fixed rails 621 and the third transfer gripper 610 interposed therebetween. Three variable rails 622 are provided facing each other, and the empty jig 12 is seated on the third stepped 623 provided above the third fixed rail 621 and the third variable rail 622 to move the slide. Provide space for.

여기서, 상기 제3가변레일(622)은 제3레일가이드(622a)를 통해 제3고정레일(621) 측으로 전후 이동될 수 있고, 상기 제3가변레일(622)이 전후 이동되도록 동력을 제공하는 제3레일실린더(622b)가 연결되며, 상기 제3가변레일(622)의 전후 이동에 따라 제3고정레일(621) 사이의 간격이 임의 조절될 수 있다.Here, the third variable rail 622 may be moved back and forth toward the third fixed rail 621 through the third rail guide 622a, and provide power to move the third variable rail 622 back and forth. The third rail cylinder 622b is connected, and an interval between the third fixed rails 621 may be arbitrarily adjusted according to the front-rear movement of the third variable rail 622.

이때, 상기 제3가변레일(622)이 전후 이동되면서 제3고정레일(621) 사이의 간격이 임의 조절됨에 따라 공정별 다양한 폭으로 제작되는 지그(11)에 대응할 수 있게 된다.At this time, as the third variable rail 622 is moved back and forth, as the gap between the third fixed rails 621 is arbitrarily adjusted, it is possible to respond to the jig 11 manufactured in various widths for each process.

한편, 상기 제3레일가이드(622a)는 제3가변레일(622)의 하단부에 제3고정레일(621) 방향으로 LM 가이드 형태로 구비되고, 상기 제3레일실린더(622b)는 제3가변레일(622)의 전후 이동방향의 후단부에 구비되어 전후 이동을 위한 동력을 선택적 제공한다.Meanwhile, the third rail guide 622a is provided in the form of an LM guide in the direction of the third fixed rail 621 at the lower end of the third variable rail 622, and the third rail cylinder 622b is a third variable rail It is provided at the rear end of the front-rear moving direction of 622 to selectively provide power for front-rear moving.

그리고, 상기 제4 이송 유닛부(700)는;Then, the fourth transfer unit 700 is;

상기 패키지 픽커부(500)의 교체작업을 통해 반도체패키지가 안착된 보트(21)를 보트 매거진 언로더부(900)의 위치로 이동시키기 위한 것이다.It is for moving the boat 21 on which the semiconductor package is seated to the position of the boat magazine unloader unit 900 through the replacement operation of the package picker unit 500.

예를 들면, 상기 제4 이송 유닛부(700)는; 패키지 픽커부(500)에서 반도체패키지가 안착된 보트를 픽업하여 제4레일(720)에 슬라이드 이동시키는 제4이송그리퍼(710); 및 상기 제4이송그리퍼(710)를 통해 슬라이드 이동되는 보트(21)를 보트 매거진 언로더부(900)로 안내하는 제4레일(720);을 더 포함한다.For example, the fourth transfer unit unit 700; A fourth transfer gripper 710 for picking up the boat on which the semiconductor package is mounted from the package picker unit 500 and sliding the slide on the fourth rail 720; And a fourth rail 720 for guiding the boat 21 slided through the fourth transfer gripper 710 to the boat magazine unloader unit 900.

상기 제4이송그리퍼(710)는, 패키지 픽커부(500)에서 반도체패키지가 안착된 보트(21)를 픽업할 수 있는 위치에 구비되는데, 상기 제4이송그리퍼(710)는 제7그립실린더(711)를 통해 집게 형태로 보트(21)의 상하단 일측을 제7그립판(712) 및 제8그립판(713)이 각각 집어 픽업하여 제4레일(720)에 투입되게 하고, 상기 제7그립판(712) 및 제8그립판(713)의 후단에는 제4레일(720)에 투입된 보트(21)를 밀어 슬라이드 이동시키기 위한 제4밀판(714)이 구비되며, 상기 제7그립판(712), 제8그립판(713), 제4밀판(714)이 위치한 픽업 측은 제4그립가이드(715)를 통해 제4레일(720)을 따라 전후 이동이 가능하고, 이 과정에서 제8그립실린더(716)를 통해 승강이 가능하게 된다.The fourth transfer gripper 710 is provided at a position to pick up the boat 21 on which the semiconductor package is mounted from the package picker unit 500. The fourth transfer gripper 710 includes a seventh grip cylinder 710 711) the seventh grip plate 712 and the eighth grip plate 713 respectively pick up and pick up the upper and lower sides of the boat 21 in the form of tongs, and put them into the fourth rail 720, and the seventh grip At the rear end of the plate 712 and the eighth grip plate 713, a fourth hermetic plate 714 is provided for sliding the boat 21 inserted into the fourth rail 720, and the seventh grip plate 712 ), the eighth grip plate 713 and the fourth mill plate 714 are located on the pick-up side can be moved back and forth along the fourth rail 720 through the fourth grip guide 715, in this process the eighth grip cylinder The elevation is possible through 716.

이때, 상기 제4그립가이드(715)는 제7그립판(712)과 제8그립판(713)을 통한 보트(21)의 픽업 공정을 수행한 후 제4밀판(714)이 제4레일(720)에 투입된 보트(21)를 슬라이드 이동되게 하는 이동 안내공정을 교차로 반복적 수행하는데, 상기 제8그립실린더(716)는 제7그립판(712)과 제8그립판(713) 및, 제4밀판(714)의 반복적인 교차 공정 수행 중 상기 제7그립판(712), 제8그립판(713), 제4그립판(413)이 구비된 픽업 측이 보트(21)의 전후 측을 번갈아 가면서 넘어 이동하면서 간섭이 없도록 승강 이동 기능을 제공한다.At this time, after the fourth grip guide 715 performs the pick-up process of the boat 21 through the seventh grip plate 712 and the eighth grip plate 713, the fourth sealing plate 714 has a fourth rail ( 720) to repeatedly perform a movement guide process for causing the boat 21 to be slide-moved, the eighth grip cylinder 716 includes a seventh grip plate 712, an eighth grip plate 713, and a fourth The pick-up side provided with the seventh grip plate 712, the eighth grip plate 713, and the fourth grip plate 413 alternately the front and rear sides of the boat 21 during the repetitive crossing process of the mill plate 714. It provides the lift movement function so that there is no interference as it moves over and over.

마찬가지로, 상기 제4그립가이드(715) 역시 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.Likewise, the fourth grip guide 715 may also apply a rail that guides linear movement by transmitting power of a cylinder or an electric screw to a slide guide such as an LM guide.

상기 제4레일(720)은, 상기 제4이송그리퍼(710)가 직선 이동하는 방향에 구비되는데, 상기 제4이송그리퍼(710)를 사이에 두고 한 쌍의 제4고정레일(721) 및 제4가변레일(722)이 대향되어 마련되고, 상기 제4고정레일(721) 및 제4가변레일(722)의 상부로 마련된 제4단턱(723)에 보트(21)가 안착되면서 슬라이드 이동을 위한 공간을 제공한다.The fourth rail 720 is provided in a direction in which the fourth transport gripper 710 moves in a straight line, and the fourth transport gripper 710 is interposed between the pair of fourth fixed rails 721 and the fourth rail. Four variable rails 722 are provided facing each other, and the boat 21 is seated on the fourth stepped rails 723 provided above the fourth fixed rails 721 and the fourth variable rails 722, so as to move the slides. Provide space.

여기서, 상기 제4가변레일(722)은 제4레일가이드(722a)를 통해 제4고정레일(721) 측으로 전후 이동될 수 있고, 상기 제4가변레일(722)이 전후 이동되도록 동력을 제공하는 제4레일실린더(722b)가 연결되며, 상기 제4가변레일(722)의 전후 이동에 따라 제4고정레일(721) 사이의 간격이 임의 조절될 수 있다.Here, the fourth variable rail 722 may be moved back and forth to the fourth fixed rail 721 through the fourth rail guide 722a, and provide power to move the fourth variable rail 722 back and forth. The fourth rail cylinder 722b is connected, and an interval between the fourth fixed rails 721 may be arbitrarily adjusted according to the front-rear movement of the fourth variable rail 722.

이때, 상기 제4가변레일(722)이 전후 이동되면서 제4고정레일(721) 사이의 간격이 임의 조절됨에 따라 공정별 다양한 폭으로 제작되는 지그(11)에 대응할 수 있게 된다.At this time, as the fourth variable rail 722 is moved back and forth, as the gap between the fourth fixed rails 721 is arbitrarily adjusted, it is possible to respond to the jig 11 manufactured in various widths for each process.

한편, 상기 제4레일가이드(722a)는 제4가변레일(722)의 하단부에 제4고정레일(721) 방향으로 LM 가이드 형태로 구비되고, 상기 제4레일실린더(722b)는 제4가변레일(722)의 전후 이동방향의 후단부에 구비되어 전후 이동을 위한 동력을 선택적 제공한다.Meanwhile, the fourth rail guide 722a is provided in the form of an LM guide in the direction of the fourth fixed rail 721 at the lower end of the fourth variable rail 722, and the fourth rail cylinder 722b is a fourth variable rail It is provided at the rear end of the forward-backward movement direction of 722 to selectively provide power for forward-backward movement.

여기서, 상기 제4 이송 유닛부(700)와 패키지 픽커부(500) 사이에는 반도체패키지가 안착된 보트(21)에서 반도체패키지가 안착된 정렬위치에 대한 이상 유무를 비전 검사하는 제3비전(v3)을 더 포함한다.Here, the third vision (v3) for vision inspection of the alignment position where the semiconductor package is seated on the boat 21 on which the semiconductor package is seated between the fourth transfer unit part 700 and the package picker part 500 ).

상기 제3비전(v3)은 디지털 카메라의 일종으로 촬영 대상의 데이터를 전기적 신호로 제공하는 기능을 하는데, 상기 제3비전(v3)은 패키지 픽커부(500)를 통해 반도체패키지가 안착된 보트(21)가 제4 이송 유닛부(700)로 투입되기 전에 보트(21)에 안착된 반도체패키지를 촬영하고, 상기 제3비전(v3)을 통해 촬영한 데이터를 활용하여 상기 보트(21)에 반도체패키지가 안착된 상태의 정렬위치에 대한 이상 유무를 미리 저장된 데이터와 비교하여 자동으로 판별할 수 있게 한다.The third vision (v3) is a type of digital camera that functions to provide data of an object to be photographed as an electrical signal. The third vision (v3) is a boat on which a semiconductor package is mounted through a package picker unit 500 ( Before the 21) is injected into the fourth transfer unit unit 700, the semiconductor package seated on the boat 21 is photographed, and the data captured through the third vision (v3) is used to semiconductor the boat 21. It is possible to automatically determine whether there is an abnormality with respect to the alignment position in which the package is seated by comparing with previously stored data.

이때, 상기 제3비전(v3)은 별도 모니터를 통해 촬영한 데이터를 출력할 수 있고, 출력한 데이터를 활용하기 위해 별도 소프트웨어를 사용하며, 보트(21)에 안착된 반도체패키지의 정렬위치에 대한 이상 유무의 판별 효율을 높이기 위해 입체 촬영이 가능한 3D 비전을 적용할 수 있다.At this time, the third vision (v3) can output the data taken through a separate monitor, using a separate software to utilize the output data, for the alignment position of the semiconductor package seated on the boat 21 In order to increase the discrimination efficiency of abnormality, a 3D vision capable of stereoscopic imaging may be applied.

그리고, 상기 지그 매거진 언로더부(800)는;And, the jig magazine unloader unit 800;

상기 제3 이송 유닛부(600)를 통해 이동된 빈지그(12)를 매거진(30)에 적재시키기 위한 것이다.It is for loading the empty jig (12) moved through the third transfer unit 600 to the magazine (30).

예를 들면, 상기 지그 매거진 언로더부(800)는; 공간이 비워진 매거진(30)을 제3 이송 유닛부(600)에서 빈지그(12)가 이동되는 측에 대기시키는데, 상기 대기 상태의 매거진(30)에 빈지그(12)가 적재되어 채워지면 이를 제3이송부(820)에 이동시켜 회수되게 하는 동시에 공간이 비워진 매거진(30)을 공급시키는 과정을 반복하는 제3그리퍼(810); 및 상기 제3그리퍼(810)에 공간이 비워진 매거진(30)을 연속 이동시켜 공급하고, 상기 제3그리퍼(810)를 통해 빈지그(12)가 적재된 매거진(30)을 회수하는 제3이송부(820);를 더 포함한다.For example, the jig magazine unloader unit 800; The empty space magazine 30 is waited on the side where the empty jig 12 is moved in the third transfer unit unit 600. When the empty jig 12 is loaded and filled in the waiting state magazine 30, it is A third gripper 810 that repeats the process of supplying the magazine 30 with empty space while simultaneously moving it to the third transfer unit 820 for recovery; And a third transfer unit for continuously supplying the magazine 30 with empty space to the third gripper 810, and recovering the magazine 30 loaded with the empty jig 12 through the third gripper 810. (820); further includes.

상기 제3그리퍼(810)는, 제3 이송 유닛부(600)에서 빈지그(12)가 이동 공급되는 측에 매거진(30)이 대기할 수 있도록 위치되는데, 상기 제3그리퍼(810)는 제9실린더(811)를 통해 집게 형태로 매거진(30)의 상단 일측을 제5픽업판(812)이 집고, 상기 제5픽업판(812)의 하부로 구비된 제6픽업판(813)이 매거진(30)의 하단을 집어 제3이송부(820)로부터 매거진(30)을 픽업할 수 있게 하며, 상기 제5픽업판(812) 및 제6픽업판(813)이 구비된 픽업 측은 제10액추에이터(814)에 의해 상하 이동이 가능하고, 동시에 제3가이드(815)를 통해 전후 이동이 가능하여 자유로운 픽업 및 픽업 후 빈지그(12)가 채워진 매거진(30)의 회수를 가능하게 하며, 상기 제3이송부(820)를 통해 공급된 매거진(30)을 집어 제3 이송 유닛부(600)의 빈지그(12)가 이동 공급되는 측에 공급대기시키고, 빈지그(12)가 채워진 매거진(30)을 제3이송부(820)에 회수되게 한다.The third gripper 810 is positioned to allow the magazine 30 to wait on the side where the empty jig 12 is moved and supplied in the third transfer unit part 600, wherein the third gripper 810 is the third gripper 810. 9 A fifth pick-up plate 812 picks up the upper side of the magazine 30 in the form of tongs through a cylinder 811, and a sixth pick-up plate 813 provided as a lower portion of the fifth pick-up plate 812 is a magazine Pick up the bottom of the (30) to allow the magazine 30 to be picked up from the third transfer unit 820, and the pick-up side provided with the fifth pick-up plate 812 and the sixth pick-up plate 813 is a tenth actuator ( It is possible to move up and down by 814), and at the same time, it is possible to move back and forth through the third guide 815 to allow free pick-up and recovery of the magazine 30 filled with the empty jig 12 after pick-up, and the third The magazine 30 supplied through the transfer unit 820 is picked up and supplied to the side where the empty jig 12 of the third transfer unit 600 is moved and supplied, and the magazine 30 filled with the empty jig 12 is The third transfer unit 820 to be recovered.

이때, 상기 제10액추에이터(814)는 직선 이동 가이드를 위한 전동 액추에이터를 적용할 수 있고, 상기 제3가이드(815)는 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.At this time, the tenth actuator 814 may apply an electric actuator for a linear movement guide, and the third guide 815 transmits the power of a cylinder or electric screw to a slide guide such as an LM guide to perform linear movement. Guide rails can be applied.

상기 제3이송부(820)는, 상하로 서로 반대방향의 이송 기능을 제공하는 컨베이어가 각각 마련된 형태로 제작된 상태에서 제3이송부(820)의 컨베이어에 매거진(30)이 순차적 투입되어 이송되는데, 상기 제3이송부(820)의 상부 컨베이어는 빈지그(12)의 삽입 공간을 갖는 빈 매거진(30)이 순차적 투입되어 제3그리퍼(810)의 픽업 측으로 연속 공급하고, 상기 제3이송부(820)의 하부 컨베이어는 빈지그(12)가 채워진 매거진(30)이 회수되도록 외부 방향으로 연속 이동 기능을 제공한다.The third transfer unit 820, the magazine 30 is sequentially input and transferred to the conveyor of the third transfer unit 820 in a state in which the conveyors providing the transfer functions in opposite directions to each other are provided in the up and down direction. The upper conveyor of the third transfer unit 820 is sequentially fed to the empty magazine 30 having an insertion space of the bin jig 12, and is continuously supplied to the pickup side of the third gripper 810, and the third transfer unit 820 The lower conveyor provides a continuous movement function in the outer direction so that the magazine 30 filled with the bin jig 12 is recovered.

그리고, 상기 보트 매거진 언로더부(900)는;And, the boat magazine unloader unit 900;

상기 제4 이송 유닛부(700)를 통해 이동된 보트(21)를 매거진(30)에 적재시키기 위한 것이다.It is for loading the boat (21) moved through the fourth transfer unit 700 to the magazine (30).

예를 들면, 상기 보트 매거진 언로더부(900)는; 공간이 비워진 매거진(30)을 제4 이송 유닛부(700)에서 보트(21)가 이동되는 측에 대기시키는데, 상기 대기 상태의 매거진(30)에 보트(21)가 적재되어 채워지면 이를 제4이송부(920)에 이동시켜 회수되게 하는 동시에 공간이 비줘진 매거진(30)을 공급시키는 과정을 반복하는 제4그리퍼(910); 및 상기 제4그리퍼(910)에 공간이 비워진 매거진(30)을 연속 이동시켜 공급하고, 상기 제4그리퍼(910)를 통해 보트(21)가 적재된 매거진(30)을 회수하는 제4이송부(920);를 더 포함한다.For example, the boat magazine unloader unit 900; The empty space magazine 30 is waited on the side where the boat 21 is moved in the fourth transfer unit unit 700. When the boat 21 is loaded and filled in the magazine 30 in the standby state, it is fourth. A fourth gripper 910 that repeats the process of supplying the magazine 30 to which space is freed at the same time as it is moved and recovered by the transfer unit 920; And a fourth conveying unit for continuously moving and supplying the magazine 30 with the space empty to the fourth gripper 910 and recovering the magazine 30 loaded with the boat 21 through the fourth gripper 910 ( 920).

상기 제4그리퍼(910)는, 제4 이송 유닛부(700)에서 보트(21)가 이동 공급되는 측에 매거진(30)이 대기할 수 있도록 위치되는데, 상기 제4그리퍼(910)는 제10실린더(911)를 통해 집게 형태로 매거진(30)의 상단 일측을 제7픽업판(912)이 집고, 상기 제7픽업판(912)의 하부로 구비된 제8픽업판(913)이 매거진(30)의 하단을 집어 제4이송부(920)로부터 매거진(30)을 픽업할 수 있게 하며, 상기 제7픽업판(912) 및 제8픽업판(913)이 구비된 측은 제11액추에이터(914)에 의해 상하 이동이 가능하고, 동시에 제4가이드(915)를 통해 전후 이동이 가능하여 자유로운 픽업 및 픽업 후 보트(21)가 채워진 매거진(30)의 회수를 가능하게 하며, 상기 제4이송부(920)를 통해 공급된 매거진(30)을 집에 제4 이송 유닛부(700)의 보트(21)가 이동 공급되는 측에 공급 대기시키고, 보트(21)가 채워진 매거진(30)을 제4이송부(920)에 회수되게 한다.The fourth gripper 910 is positioned to allow the magazine 30 to wait on the side where the boat 21 is moved and supplied from the fourth transfer unit unit 700. The fourth gripper 910 is the tenth A seventh pick-up plate 912 picks up the upper side of the magazine 30 in the form of forceps through the cylinder 911, and an eighth pick-up plate 913 provided as a lower portion of the seventh pick-up plate 912 is a magazine ( 30) to pick up the bottom of the magazine 30 from the fourth transfer unit 920, the seventh pick-up plate 912 and the eighth pick-up plate 913 is provided with the eleventh actuator 914 It is possible to move up and down by, and at the same time, it is possible to move back and forth through the fourth guide 915 to allow free pick-up and recovery of the magazine 30 filled with the boat 21 after pick-up, and the fourth transfer part 920 ) To supply the magazine 30 supplied to the house to the side where the boat 21 of the fourth transfer unit 700 moves and is supplied, and the magazine 30 filled with the boat 21 is transferred to the fourth transfer unit ( 920).

이때, 상기 제11액추에이터(914)는 직선 이동 안내를 위한 전동 액추에이터를 적용할 수 있고, 상기 제4가이드(915)는 LM 가이드와 같은 슬라이드 가이드에 실린더 또는 전동 스크류의 동력을 전달하여 직선 이동을 안내하는 레일을 적용할 수 있다.At this time, the eleventh actuator 914 may apply an electric actuator for guiding a linear movement, and the fourth guide 915 transmits power of a cylinder or electric screw to a slide guide such as an LM guide to perform linear movement. Guide rails can be applied.

상기 제4이송부(920)는, 상하로 서로 반대방향의 이송 기능을 제공하는 컨베이어가 각각 마련된 형태로 제작된 상태에서 제4이송부(920)의 컨베이어에 매거진(30)이 순차적 투입되어 이송되는데, 상기 제4이송부(920)의 상부 컨베이어는 보트(21)의 삽입 공간을 갖는 빈 매거진(30)이 순차적 투입되어 제4그리퍼(910)의 픽업 측으로 연속 공급하고, 상기 제4이송부(920)의 하부 컨베이어는 보트(21)가 채워진 매거진(30)이 회수되도록 외부 방향으로 연속 이동 기능을 제공한다.The fourth transport unit 920, the magazine 30 is sequentially input and transported to the conveyor of the fourth transport unit 920 in a state in which the conveyors providing transport functions in the opposite directions to each other are provided in the up and down direction. The upper conveyor of the fourth transfer unit 920 is sequentially fed to the empty magazine 30 having the insertion space of the boat 21 is continuously supplied to the pickup side of the fourth gripper 910, the fourth transfer unit 920 The lower conveyor provides a continuous movement function in the outer direction so that the magazine 30 filled with the boat 21 is recovered.

이하는, 본 발명의 작동 상태의 실시 예로서, 반도체패키지용 지그 및 보트 자동 교체장치를 도 ~~를 참고로 설명한다. 도 ~~는 자동 교체장치의 평면도이다.Hereinafter, as an embodiment of the operating state of the present invention, a jig and a boat automatic replacement device for a semiconductor package will be described with reference to FIGS. Figure ~ ~ is a plan view of the automatic replacement device.

이에 따르면, 전술한 구조로 이루어진 자동 교체장치(1)는 지그 매거진 로더부(100)에서 다수의 반도체패키지가 안착된 지그(11)가 하나 이상 적층되어 마련된 매거진(30)을 연속 공급하고, 보트 매거진 로더부(200)에서 반도체패키지의 안착을 위해 공간이 마련된 빈보트(22)를 연속 공급하여 지그(11)에 안착된 반도체패키지를 보트(21)로 안착시키는 교체 작업을 준비한다.According to this, the automatic replacement device 1 having the above-described structure continuously supplies the magazine 30 provided by stacking one or more jigs 11 in which a plurality of semiconductor packages are seated in the jig magazine loader unit 100, and the boat The magazine loader unit 200 continuously supplies the empty boat 22 provided with a space for the mounting of the semiconductor package to prepare a replacement operation for seating the semiconductor package mounted on the jig 11 with the boat 21.

이때, 상기 지그 매거진 로더부(100)를 통해 공급된 매거진(30)은 제1그리퍼(120) 및 제1푸셔(130)를 통해 지그(11)가 하나씩 분리되면서 제1 이송 유닛부(300) 측으로 연속 공급되고, 상기 제1 이송 유닛부(300)로 지그(11)가 공급되는 과정에서 제1비전(v1)을 이용해 공급된 지그(11) 및 반도체패키지의 정보를 확인하게 된다.At this time, the magazine 30 supplied through the jig magazine loader unit 100 is separated from the jig 11 through the first gripper 120 and the first pusher 130 one by one, the first transfer unit unit 300 It is continuously supplied to the side, and in the process of supplying the jig 11 to the first transfer unit unit 300, information of the supplied jig 11 and the semiconductor package is checked using the first vision v1.

또한, 상기 보트 매거진 로더부(200)를 통해 공급된 빈보트(22)는 제2그리퍼(220) 및 제2푸셔(230)를 통해 빈보트(22)가 하나씩 분리되면서 제2 이송 유닛부(400) 측으로 연속 공급되고, 상기 제2 이송 유닛부(400)로 빈보트(22)가 공급되는 과정에서 제1비전(v1)을 이용해 공급된 빈보트(22)의 정보를 확인하게 된다.In addition, the empty boat 22 supplied through the boat magazine loader unit 200 is separated from the empty boat 22 one by one through the second gripper 220 and the second pusher 230, the second transfer unit unit ( 400) is continuously supplied to the side, and the information of the empty boat 22 supplied using the first vision v1 is checked in the process of supplying the empty boat 22 to the second transfer unit part 400.

한편, 상기 제1 이송 유닛부(300)로 연속 공급되는 지그(11)는 제1이송그리퍼(310)를 통해 제1레일(320)을 따라 슬라이드 이동되면서 패키지 픽커부(500)의 제1트랜스퍼(510)에 마련된 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)에 각각 순차적 안착된다.Meanwhile, the jig 11 continuously supplied to the first transfer unit unit 300 slides along the first rail 320 through the first transfer gripper 310 while the first transfer of the package picker unit 500 is performed. The first jig plate 511 and the second jig plate 512 provided at 510 are sequentially seated, respectively.

이때, 상기 제1 이송 유닛부(300)를 통해 이송되는 지그(11)는 커버의 유무에 따라 커버픽커(330)를 통해 지그(11)에 안착된 커버를 자동 제거할 수 있다.At this time, the jig 11 transferred through the first transfer unit 300 may automatically remove the cover seated on the jig 11 through the cover picker 330 depending on the presence or absence of the cover.

또한, 상기 제2 이송 유닛부(400)로 연속 공급되는 빈보트(22)는 제2이송그리퍼(410)를 통해 제2레일(420)을 따라 슬라이드 이동되면서 패키지 픽커부(500)의 제2트랜스퍼(520)에 마련된 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)에 각각 순차적 안착된다.In addition, the empty boat 22 that is continuously supplied to the second transfer unit unit 400 slides along the second rail 420 through the second transfer gripper 410 while the second of the package picker unit 500 is moved. The first boat plate 521 and the second boat plate 522 provided on the transfer 520 are sequentially seated, respectively.

한편, 이 상태에서 상기 제1트랜스퍼(510)는 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)이 교차 작동하면서 공급된 지그(11)가 대기하는 한편, 픽업이 완료된 빈지그(12)를 후속 공정인 제3 이송 유닛부(600)로 투입시키는 공정을 동시에 수행하여 빠른 교체작업을 가능하게 한다.Meanwhile, in this state, while the first jig plate 511 and the second jig plate 512 cross-operate, the supplied first jig 11 waits while the first jig plate 511 and the second jig plate 512 intersect. ) Is performed at the same time to process the step of introducing the subsequent process into the third transfer unit 600 to enable rapid replacement.

또한, 상기 제2트랜스퍼(520)는 제2보트판(522) 및 제2보트판(522)이 교차 작동하면서 공급된 빈보트(22)가 대기하는 한편, 반도체패키지가 안착된 빈보트(22)를 후속 공정인 제4 이송 유닛부(700)로 투입시키는 공정을 동시에 수행하여 빠른 교체작업을 가능하게 한다.In addition, the second transfer 520, while the second boat plate 522 and the second boat plate 522 cross-operated, while the supplied empty boat 22 waits, while the semiconductor package is seated empty boat 22 ) Is performed at the same time to process the process of introducing the subsequent process into the fourth transfer unit 700 to enable rapid replacement.

여기서 상기 패키지 픽커부(500)의 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)는 제1트랜스퍼(510)에 안착된 지그(11)에서 반도체패키지를 픽업한 후 제2트랜스퍼(520)로 이동시키며, 상기 패키지 픽커부(500)의 픽업 이동 중 제2비전(v2)을 통해 반도체패키지의 픽업 상태에 대한 이상 유무를 자동 검사하게 된다.Here, the first picker 530a and the second picker 530b of the package picker unit 500 pick up the semiconductor package from the jig 11 seated on the first transferer 510 and then to the second transferer 520. During the pickup movement of the package picker unit 500, the semiconductor package is automatically checked for an abnormality in the pickup state through the second vision v2.

이때, 상기 제1트랜스퍼(510)에서 반도체패키지가 픽업되어 비워진 빈지그(12)는 제3 이송 유닛부(600)에 제3이송그리퍼(610)를 통해 이동되고, 상기 제3 이송 유닛부(600)에 이동된 빈지그(12)는 제3레일(620)을 따라 지그 매거진 언로더부(800)로 공급된다.In this case, the empty jig 12 in which the semiconductor package is picked up and emptied from the first transfer unit 510 is moved to the third transfer unit unit 600 through the third transfer gripper 610, and the third transfer unit unit ( The empty jig 12 moved to 600 is supplied to the jig magazine unloader 800 along the third rail 620.

또한, 상기 패키지 픽커부(500)를 통해 픽업된 반도체패키지는 제2트랜스퍼(520)에 대기 중인 빈보트(22)에 안착되는데, 상기 제2트랜스퍼(520)에서 반도체패키지가 안착된 보트(21)는 제4 이송 유닛부(700)에 제4이송그리퍼(710)를 통해 이동되고, 상기 제4 이송 유닛부(700)에 이동된 보트(21)는 제4레일(720)을 따라 보트 매거진 언로더부(900)로 공급된다.In addition, the semiconductor package picked up through the package picker unit 500 is seated on the empty boat 22 waiting on the second transferer 520, the boat 21 on which the semiconductor package is seated on the second transferer 520 ) Is moved through the fourth transfer gripper 710 to the fourth transfer unit 700, and the boat 21 moved to the fourth transfer unit 700 is a boat magazine along the fourth rail 720 It is supplied to the unloader unit 900.

한편, 상기 지그 매거진 언로더부(800)로 공급된 빈지그(12)는 대기 중인 매거진(30)에 순차적 삽입되면서 매거진(30)이 빈지그(12)로 채워지면 이를 제3그리퍼(810) 및 제3이송부(820)를 이용해 반출하여 작업을 완료하며, 상기 보트 매거진 언로더부(900)로 공급된 보트(21)는 대기 중인 매거진(30)에 순차적 삽입되면서 매거진(30)이 보트(21)로 채워지면 이를 제4그리퍼(910) 및 제4이송부(920)를 이용해 반출하여 작업을 완료하고, 전술한 공정을 반복하면서 자동 교체작업을 대량 수행하게 한다.Meanwhile, the empty jig 12 supplied to the jig magazine unloader 800 is sequentially inserted into the waiting magazine 30, and when the magazine 30 is filled with the empty jig 12, it is the third gripper 810. And the third transfer unit 820 is carried out to complete the work, the boat magazine supplied to the boat magazine unloader unit 900 is sequentially inserted into the waiting magazine 30, the magazine 30 is a boat ( When filled with 21), this is carried out by using the fourth gripper 910 and the fourth transfer unit 920 to complete the operation, and to perform a large amount of automatic replacement work while repeating the above-described process.

이상 설명한 바와 같이. 본 발명은 특정의 바람직한 실시 예를 예시한 설명과 도면으로 표현하였으나, 여기서 사용하는 용어들은 본 발명을 용이하게 설명하기 위함이며, 이 용어들에 대한 의미 한정이나, 특허청구범위에 기재된 범위를 제한하기 위함이 아니며,As described above. The present invention has been described with a description and drawings exemplifying certain preferred embodiments, but the terms used herein are for easy description of the present invention, and the meaning of these terms is limited or the scope described in the claims is limited. Not for the sake of

본 발명은 상기한 실시 예에 따른 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경 및 개조, 수정 등이 가능할 수 있음을 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.The present invention is capable of various changes, modifications, modifications, and the like by those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit and scope of the invention indicated by the claims according to the above-described embodiments. Anyone can easily see that they can.

1; 자동 교체장치 100; 지그 매거진 로더부
110; 제이송부 120; 제1그리퍼
130; 제1푸셔 200; 보트 매거진 로더부
210; 제2이송부 220; 제2그리퍼
230; 제2푸셔 300; 제1 이송 유닛부
310; 제1이송그리퍼 320; 제1레일
400; 제 이송 유닛부 410; 제2이송그리퍼
420; 제2레일 500; 패키지 픽커부
510; 제1트랜스퍼 520; 제2트랜스퍼
530a; 제1픽커 530b; 제2픽커
600; 제3 이송 유닛부 610; 제3이송그리퍼
620; 제3레일 700; 제4 이송 유닛부
710; 제4이송그리퍼 720; 제4레일
800; 지그 매거진 언로더부 810; 제3그리퍼
820; 제3이송부 900; 보트 매거진 언로더브
910; 제4그리퍼 920; 제4이송부One; Automatic replacement device 100; Jig magazine loader section
110; Jay transport unit 120; 1st gripper
130; First pusher 200; Boat Magazine Loader
210; A second transfer unit 220; 2nd gripper
230; A second pusher 300; First transfer unit
310; A first transfer gripper 320; Rail 1
400; A first transfer unit 410; 2nd transfer gripper
420; Second rail 500; Package picker part
510; A first transfer 520; 2nd transfer
530a; First picker 530b; 2nd picker
600; A third transfer unit section 610; 3rd transfer gripper
620; Third rail 700; 4th transfer unit part
710; 4th transfer gripper 720; 4th rail
800; Jig magazine unloader section 810; 3rd Gripper
820; A third transfer unit 900; Boat Magazine Unload
910; Fourth gripper 920; 4th transfer unit

Claims (5)

다수의 반도체패키지가 안착된 지그(11)를 매거진(30)을 이용해 대량으로 연속 공급하는 지그 매거진 로더부(100)와;
다수의 빈보트(22)를 매거진(30)을 이용해 대량으로 연속 공급하는 보트 매거진 로더부(200)와;
상기 지그 매거진 로더부(100)를 통해 공급되는 지그(11)를 패키지 픽커부(500)의 위치로 이동시키는 제1 이송 유닛부(300)와;
상기 보트 매거진 로더부(200)를 통해 공급되는 빈보트(22)를 패키지 픽커부(500)의 위치로 이동시키는 제2 이송 유닛부(400)와;
상기 제1 이송 유닛부(300)를 통해 공급된 지그(11)에서 반도체패키지를 픽업한 후 상기 제2 이송 유닛부(400)를 통해 공급된 빈보트(22)에 픽업한 반도체패키지를 이동시켜 안착하는 교체작업을 수행하는 패키지 픽커부(500)와;
상기 패키지 픽커부(500)의 교체작업을 통해 반도체패키지가 픽업되어 비워진 빈지그(12)를 지그 매거진 언로더부(800)의 위치로 이동시키는 제3 이송 유닛부(600)와;
상기 패키지 픽커부(500)의 교체작업을 통해 반도체패키지가 안착된 보트(21)를 보트 매거진 언로더부(900)의 위치로 이동시키는 제4 이송 유닛부(700)와;
상기 제3 이송 유닛부(600)를 통해 이동된 빈지그(12)를 매거진(30)에 적재시키는 지그 매거진 언로더부(800)와;
상기 제4 이송 유닛부(700)를 통해 이동된 보트(21)를 매거진(30)에 적재시키는 보트 매거진 언로더부(900)를 포함하여 구성되고,
상기 제1 이송 유닛부(300)는 지그(11)가 패키지 픽커부(500)로 이동되기 전에 상기 지그(11)에 덮어진 지그(11)의 커버를 지그(11)로부터 분리되게 픽업한 후 커버스택(332)으로 이동 적재시키는 커버픽커(330)를 더 포함한 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치.A jig magazine loader unit 100 for continuously supplying a large number of jigs 11 on which a plurality of semiconductor packages are seated using a magazine 30;
A boat magazine loader unit 200 for continuously supplying a large number of empty boats 22 using a magazine 30;
A first transfer unit unit 300 for moving the jig 11 supplied through the jig magazine loader unit 100 to a position of the package picker unit 500;
A second transfer unit unit 400 for moving the empty boat 22 supplied through the boat magazine loader unit 200 to the position of the package picker unit 500;
After picking up the semiconductor package from the jig 11 supplied through the first transfer unit unit 300, the semiconductor package picked up by moving to the empty boat 22 supplied through the second transfer unit unit 400 is moved. A package picker unit 500 that performs a seating replacement operation;
A third transfer unit part 600 for moving the empty jig 12 from which the semiconductor package is picked up and emptied through the replacement operation of the package picker part 500 to the position of the jig magazine unloader part 800;
A fourth transfer unit unit 700 for moving the boat 21 on which the semiconductor package is seated to the position of the boat magazine unloader unit 900 through the replacement operation of the package picker unit 500;
A jig magazine unloader unit 800 for loading the empty jig 12 moved through the third transfer unit unit 600 into a magazine 30;
It comprises a boat magazine unloader unit 900 for loading the boat 21, which is moved through the fourth transfer unit 700 to the magazine 30,
After the jig 11 is moved to the package picker unit 500, the first transfer unit unit 300 picks up the cover of the jig 11 covered with the jig 11 to be separated from the jig 11 An automatic replacement device for a jig and a boat for a semiconductor package, which further includes a cover picker 330 that is moved to the cover stack 332. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 패키지 픽커부(500)는 제1 이송 유닛부(300)를 통해 이동된 지그(11)가 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)에 각각 안착되어 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 픽업 위치로 대기시키는데, 상기 제1지그판(511) 및 제2지그판(512)이 교차 이동하면서 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 픽업 작업 및 지그(11)의 공급 대기를 동시에 수행되게 하는 제1트랜스퍼(510)를 더 포함한 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치.According to claim 1,
In the package picker unit 500, the jig 11 moved through the first transfer unit unit 300 is seated on the first jig plate 511 and the second jig plate 512, respectively, and the first picker 530a And waiting for the pick-up position of the second picker 530b, while the first jig plate 511 and the second jig plate 512 cross-move, picking up the first picker 530a and the second picker 530b. And a first transfer unit 510 to simultaneously perform the waiting for supply of the jig 11, an automatic replacement device for a jig and a boat for a semiconductor package. 제1항에 있어서,
상기 패키지 픽커부(500)는 제2 이송 유닛부(400)를 통해 이동된 빈보트(22)가 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)에 각각 안착되어 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)를 통해 픽업된 반도체패키지의 안착 위치로 대기시키는데, 상기 제1보트판(521) 및 제2보트판(522)이 교차 이동하면서 제1픽커(530a) 및 제2픽커(530b)의 안착 작업 및 빈보트(22)의 공급 대기를 동시에 수행되게 하는 제2트랜스퍼(520)를 더 포함한 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치.According to claim 1,
In the package picker part 500, the empty boat 22 moved through the second transfer unit part 400 is seated on the first boat plate 521 and the second boat plate 522, respectively, and the first picker 530a ) And the second picker (530b) to the standby position of the semiconductor package picked up, the first boat plate 521 and the second boat plate 522 as the cross movement of the first picker (530a) and the second An automatic replacement device for a jig and a boat for a semiconductor package, which further includes a second transfer 520 to simultaneously perform the seating operation of the picker 530b and the waiting for supply of the empty boat 22. 제1항에 있어서,
상기 지그 매거진 로더부(100)와 제1 이송 유닛부(300) 및, 상기 보트 매거진 로더부(200)와 제2 이송 유닛부(400) 사이에는 자재 정보 인식을 위해 비전 검사를 수행하는 제1비전(v1)이 마련되고,
상기 패키지 픽커부(500)에는 픽업된 반도체패키지의 픽업위치에 대한 이상 유무를 비전 검사하는 제2비전(v2)이 마련되며,
상기 패키지 픽커부(500)와 제4 이송 유닛부(700) 사이에는 반도체패키지가 안착된 보트(21)에서 반도체패키지가 안착된 정렬위치에 대한 이상 유무를 비전 검사하는 제3비전(v3)을 더 포함한 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치.According to claim 1,
Between the jig magazine loader unit 100 and the first transfer unit unit 300, and the boat magazine loader unit 200 and the second transfer unit unit 400, the first to perform a vision inspection for material information recognition Vision (v1) is prepared,
The package picker unit 500 is provided with a second vision (v2) for vision inspection of the presence or absence of the pickup location of the semiconductor package picked up,
Between the package picker unit 500 and the fourth transfer unit unit 700, a third vision (v3) for vision inspection of the alignment position where the semiconductor package is seated on the boat 21 on which the semiconductor package is seated is provided. Automatic replacement device for jigs and boats for semiconductor packages.
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