KR102118337B1 - Diaphragm Pump - Google Patents

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KR102118337B1
KR102118337B1 KR1020200005744A KR20200005744A KR102118337B1 KR 102118337 B1 KR102118337 B1 KR 102118337B1 KR 1020200005744 A KR1020200005744 A KR 1020200005744A KR 20200005744 A KR20200005744 A KR 20200005744A KR 102118337 B1 KR102118337 B1 KR 102118337B1
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Abstract

The present invention relates to a diaphragm pump which can certainly prevent breakage of a pipeline or a pump caused by an abnormally high pressure in an independent manner without additional piping work. In particular, in the diaphragm pump of the present invention, a relief valve is monolithically formed at a pump head by using a valve block as a medium, such that the installation work of an additional pipe for installing the relief valve is not necessary. Furthermore, in a case where the relief valve is opened by an abnormally high pressure, a high-pressure fluid which is discharged may be recovered to a storage tank through a high-pressure fluid recovery passage in the valve block, a high-pressure fluid recovery hole in the pump head, and a fluid entrance hole of a suction connector. Therefore, an additional pipe for the return of the high-pressure fluid is not necessary, thereby certainly preventing breakage of a pipeline or a pump caused by an abnormally high temperature in an independent manner without additional piping work.

Description

다이어프램 펌프 {Diaphragm Pump}Diaphragm Pump {Diaphragm Pump}

본 발명은, 다이어프램 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 이상 고압에 의한 관로나 펌프의 파손을, 별도의 배관작업 없이 자체적으로 확실하게 방지할 수 있는 다이어프램 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a diaphragm pump, and more particularly, to a diaphragm pump capable of reliably preventing damage to a pipeline or a pump due to abnormal high pressure, without additional piping work.

다이어프램 펌프는 모터의 회전운동을 캠 등의 기구를 통해 다이어프램의 직선 왕복운동으로 변환시킴으로써 유체를 펌핑하는 장치로, 토출 유량의 변동이 적기 때문에 액상의 화학 약품이나 약제 등의 정량 주입에 일반적으로 사용되고 있다.A diaphragm pump is a device that pumps a fluid by converting the rotational motion of a motor into a linear reciprocating motion of a diaphragm through a mechanism such as a cam, and is generally used for quantitative injection of liquid chemicals or pharmaceuticals due to little fluctuation in discharge flow rate. have.

도 1은 다이어프램 펌프의 기본적인 구성 및 작동 원리를 설명하기 위한 개략적인 도면으로, 펌프 헤드(100)의 개구부에는 다이어프램(110)이 서포트 링(120)에 압착되어 설치되어 펌프실(130)을 형성하게 되며, 동체(102)의 하부 및 상부에는 흡입공(105) 및 토출공(106)이 형성되어 있다.Figure 1 is a schematic diagram for explaining the basic configuration and operating principle of the diaphragm pump, the diaphragm 110 is installed in the opening of the pump head 100 is compressed by being installed on the support ring 120 to form the pump chamber 130 In the lower and upper parts of the body 102, suction holes 105 and discharge holes 106 are formed.

흡입공(105) 및 토출공(106)은 각각 체크볼(140)에 의해 개방 또는 폐쇄되는 바, 펌프 헤드(100)에 형성된 흡입공(105)의 흡입단부 및 토출측 커넥터(160) 단부에는, 도 1c에 도시되어 있는 바와 같은 십자홈 형상의 개방측 밸브시트(141)가 형성되어 있으며, 펌프 헤드(100)에 형성된 토출공(106)의 토출단부 및 흡입측 커넥터(150) 단부에는 테이퍼형의 폐쇄측 밸브시트(142)가 형성되어 있다.The suction hole 105 and the discharge hole 106 are opened or closed by the check ball 140, respectively, and the suction end portion and the discharge side connector 160 end of the suction hole 105 formed in the pump head 100, A cross-groove-shaped open-side valve seat 141 as shown in FIG. 1C is formed, and the discharge end of the discharge hole 106 formed in the pump head 100 and the end of the suction-side connector 150 are tapered. The closed-side valve seat 142 is formed.

이와 같이 구성되는 일반적인 다이어프램 펌프의 작동을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.The operation of the general diaphragm pump configured as described above is schematically described below.

펌프를 구동시키기 위해 모터(미도시)를 구동시키면, 모터의 회전운동은 편심캠 등의 기구에 의해 다이어프램 샤프트(111)의 왕복운동으로 바뀌게 되어, 다이어프램(110)은 전후진 작동하게 된다. When the motor (not shown) is driven to drive the pump, the rotational motion of the motor is changed to the reciprocating motion of the diaphragm shaft 111 by a mechanism such as an eccentric cam, and the diaphragm 110 operates backward and forward.

도 1a는 다이어프램이 후진 작동되어 있는 상태 즉, 흡입 행정을 나타내며, 도 1b는 다이어프램이 전진 작동되어 있는 상태 즉, 토출 행정을 나타내고 있다.1A shows a state in which the diaphragm is in the reverse operation, that is, a suction stroke, and FIG. 1B shows a state in which the diaphragm is in the forward operation, that is, a discharge stroke.

흡입 행정시에는, 다이어프램의 후진 작동에 의해 펌프실 내부에 형성되는 부압에 의해 흡입측 및 토출측 체크볼(140)이 모두 펌프 헤드(100)의 중심 방향으로 이동되는 데, 펌프 헤드(100)의 흡입공(105) 흡입단부에는 개방측 밸브시트(141)가 형성되어 있어서 유체가 십자홈을 따라 펌프실(130) 내로 흡입되며, 토출공(106)은 체크볼(140)에 의해 폐쇄된다.During the suction stroke, both the suction side and the discharge side check ball 140 are moved toward the center of the pump head 100 by the negative pressure formed inside the pump chamber by the reverse operation of the diaphragm, and the suction of the pump head 100 An opening-side valve seat 141 is formed at the suction end of the ball 105 so that the fluid is sucked into the pump chamber 130 along the cross groove, and the discharge hole 106 is closed by the check ball 140.

다음의 토출 행정에서는, 다이어프램의 전진 작동에 의해, 체크볼(140)이 모두 펌프 헤드(100)의 외측 방향으로 이동하게 되므로, 흡입공(105)은 폐쇄되고 토출공(106)만 개방되어 펌프실 내의 유체가 토출측 커넥터(160)에 형성되어 있는 십자홈을 따라 외부로 토출된다.In the next discharge stroke, the check ball 140 is all moved in the outward direction of the pump head 100 by the forward operation of the diaphragm, so the suction hole 105 is closed and only the discharge hole 106 is opened to open the pump chamber. The fluid inside is discharged to the outside along the cross groove formed in the discharge-side connector 160.

이와 같은 동작 원리에 의하면, 다이어프램 펌프는, 펌핑 작용이 흡입 행정 및 토출 행정으로 구분되어 단속적으로 이루어지기 때문에, 토출되는 유량에 맥동 현상이 발생한다는 단점이 있기는 하나, 다이어프램의 후진 작동시 펌프실의 용적 변화에 해당되는 일정량의 유체가 펌프실로 유입되고, 다이어프램의 전진 작동시에는 흡입공측의 체크볼에 의해 유입 액체의 역류가 방지되어, 일단 펌프실로 유입된 액체는 반드시 토출되므로, 장시간으로 볼 때는 평균적인 토출량이 거의 일정하다는 장점이 있어서, 반도체 제조 공정에 사용되는 황산, 불산, 질산, 염산 등의 부식성이 강한 화공 약품 등의 정량 주입에 널리 사용되고 있다.According to this operating principle, the diaphragm pump has a disadvantage that a pulsation phenomenon occurs in the flow rate to be discharged because the pumping action is divided and divided into a suction stroke and a discharge stroke. When a certain amount of fluid corresponding to the volume change flows into the pump chamber, and when the diaphragm moves forward, backflow of the incoming liquid is prevented by the check ball on the suction side, and once the liquid flowing into the pump chamber is discharged, Since it has the advantage that the average discharge amount is almost constant, it is widely used for quantitative injection of chemicals, such as sulfuric acid, hydrofluoric acid, nitric acid, and hydrochloric acid, which are used in semiconductor manufacturing processes.

그런데, 반도체 등의 공정 라인은 유체를 단순히 펌핑 아웃(pumping out)하는 것이 아니라, 라인 곳곳에 각종 밸브 및 노즐 등이 설치되는 바, 밸브의 오작동이나 노즐이 막히는 경우 등 관로에 이상이 생기는 경우 토출측에 큰 압력이 작용하게 되며, 동력이 허락하는 한(다이어프램 샤프트의 전진력) 펌프실 내부의 압력이 증대되며, 이를 이론적으로 말하면, 화공 약품과 같은 비압축성 유체의 폐쇄 운전인 경우에는 실린더 내부의 압력이 거의 무한대로 상승할 가능성이 있다는 것을 의미한다.However, process lines such as semiconductors do not simply pump out fluid, but various valves and nozzles are installed in various places in the line, and when the valve malfunctions or the nozzle is clogged, discharge side occurs. The pressure inside the cylinder increases when the power permits (the forward force of the diaphragm shaft) increases, and theoretically, the pressure inside the cylinder in the case of closed operation of incompressible fluids such as chemicals It means there is a possibility of going up almost infinitely.

그러나, 압력이 무한대로 상승하기 전에 펌프 부근에서 강도가 가장 작은 곳, 예를 들어 다이어프램이나 토출측 배관, 또는 헤드 커버 등이 파열되거나, 다이어프램을 누르려고 하는 전동기에 과부하가 걸려 소손되는 등의 문제점이 발생할 수 있다.However, before the pressure rises to infinity, there are problems such as where the strength is the smallest in the vicinity of the pump, for example, a diaphragm or discharge pipe, or a head cover, etc., or an electric motor that is trying to press the diaphragm is burned and burned. Can occur.

따라서, 다이아프램 펌프가 적용되는 공정 라인에는 릴리이프 밸브(안전 밸브)가 거의 필수적으로 설치되고 있다.Therefore, a relief valve (safety valve) is almost essentially installed in a process line to which a diaphragm pump is applied.

도 2는 화학 공정라인에 통상적으로 적용되고 있는 릴리이프 밸브(220)의 설치 구조를 나타내는 도면으로서, 릴리이프 밸브(220)는 다이어프램 펌프의 토출측 관로에 설치되어 관로내 유체의 압력이 소정치 이상이 되는 경우 스프링이 압축되며 자동적으로 개방되어, 펌프실 내부의 고압 유체가 리턴 파이프(230)를 통해 저장조(240)로 회수되도록 함으로서, 유체의 이상 압력 상승을 방지하게 된다.2 is a view showing the installation structure of the relief valve 220 that is commonly applied to the chemical process line, the relief valve 220 is installed on the discharge side pipe of the diaphragm pump, the pressure of the fluid in the pipe is above a predetermined value In this case, the spring is compressed and automatically opened, so that the high pressure fluid inside the pump chamber is returned to the storage tank 240 through the return pipe 230, thereby preventing the abnormal pressure rise of the fluid.

리턴 파이프(230)는, 도 2에 이점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 흡입측 배관에 연결되는 경우도 있다.The return pipe 230 may be connected to the suction-side piping, as indicated by the dashed line in FIG. 2.

미설명 부호 200은 맥동을 감소시키기 위한 에어챔버, 201은 압력계, 202는 유체의 역류를 방지하기 위한 배압밸브, 241은 드레인 밸브를 나타낸다.Reference numeral 200 denotes an air chamber for reducing pulsation, 201 a pressure gauge, 202 a back pressure valve for preventing backflow of fluid, and 241 a drain valve.

국내 등록특허공보 제10-0291161호(2001년 03월 08일)Domestic registered patent publication No. 10-0291161 (March 08, 2001)

그런데, 도 2와 같이 릴리이프 밸브를 관로에 설치하는 경우, 화학 약품에 대한 내부식성을 갖는 PVC재의 파이프를 각종 연결구를 사용하여 PVC 용접하는 작업이 몹시 번거로울 뿐만 아니라 비용이 많이 들며, 용접 부위의 손상시 위험성 있는 화공 약품의 누설 가능성이 커진다는 문제점이 있었다.However, when the relief valve is installed in the pipeline as shown in FIG. 2, it is not only cumbersome but also expensive to weld the PVC pipe of the PVC material having corrosion resistance to chemicals using various connectors, and is expensive. There was a problem that the possibility of leakage of dangerous chemicals in case of damage increases.

이를 개선하기 위한 방안으로, 본 발명자는, 릴리이프 밸브를 토출측 배관에 설치하지 않고 다이어프램 펌프의 펌프 헤드 측면에 직접 설치하여, 펌프실의 압력이 릴리이프 밸브의 밸브체에 작용하도록 하는 구성을 제안하여 등록 받은 바 있다.(특허등록 제10-0291161호)In order to improve this, the present inventor proposes a configuration in which the relief valve is directly installed on the side of the pump head of the diaphragm pump without being installed on the discharge side piping, so that the pressure in the pump chamber acts on the valve body of the relief valve. It has been registered (Patent Registration No. 10-0291161)

본 발명자의 위 발명에 따르면, 릴리이프 밸브(220)가 펌프 헤드(100)에 일체로 설치된 상태로 제품화되어 출하되므로, 사용처에서의 공정 라인 설치 작업시, 펌프 토출측 배관에 릴리이프 밸브를 별도로 설치하는 작업을 생략할 수 있게 되며, 그에 따라, 관로 설치 작업을 간소화 할 수 있으며, 누설 가능성 있는 개소를 감소시킬 수 있는 유용한 발명이었다.According to the above invention of the present inventor, since the relief valve 220 is commercialized and shipped in a state integrally installed in the pump head 100, a relief valve is separately installed in the pump discharge side piping when the process line is installed at the place of use. It was possible to omit the work to be done, and accordingly, it was a useful invention to simplify the pipeline installation work and to reduce the possibility of leakage.

그러나, 고압 유체를 저압측으로 리턴 시키는 리턴 파이프(230)가 도 3에 도시된 바와 같이 흡입측 배관에 연결되거나, 도 2에 도시된 바와 같이 저장조(240)에 연결되어야 한다는 단점이 있었으며, 다이어 프램 펌프 자체에 문제가 발생하여 펌프를 수리하거나 교체해야 하는 경우, 리턴 파이프(230) 연결 부분을 분해한 후 펌프를 분해하여야 하므로 펌프의 교체/수리 작업이 번거롭다는 문제점이 있었다.However, there was a drawback that the return pipe 230 for returning the high pressure fluid to the low pressure side should be connected to the suction side piping as shown in FIG. 3, or be connected to the reservoir 240 as shown in FIG. 2, and the diaphragm If the pump itself needs to be repaired or replaced due to a problem, the pump must be disassembled after disassembling the connection part of the return pipe 230, and thus there is a problem in that the replacement/repair of the pump is cumbersome.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이상 고압에 의한 관로나 펌프의 파손을, 별도의 배관작업 없이 자체적으로 확실하게 방지할 수 있는 다이어프램 펌프를 제공하는 데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a diaphragm pump capable of reliably preventing the damage of a pipeline or a pump due to abnormal high pressure, without additional piping work, to solve the above problems.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 다이어프램 펌프는, 원통형으로 형성되어, 일측에는 펌프실이 형성되어 있고, 상기 펌프실의 상부 및 하부에는 상기 펌프실과 연결되는 흡입구와 토출구가 각각 형성되어 있으며, 타측에는 상기 펌프실과 연통되는 펌핑압력 전달공과 상기 흡입구와 연통되는 고압유체 복귀공이 형성되어 있는 펌프 헤드와; 상기 펌프실의 개구부에 결합되는 다이어프램과; 상기 다이어프램을 전후진 작동시키기 위한 구동수단과; 일측은 개구되어 있으며, 타측에는 다수개의 관통공이 형성되어 있는 원통형의 밸브 바디와, 상기 밸브 바디 내부에 유동가능하게 배치되는 체크볼과, 상기 밸브 바디의 상기 개구부에 배치되는 밸브 시트를 구비하는 밸브 조립체로서, 상기 관통공쪽이 상기 펌프실을 향하도록 상기 흡입구에 배치되되, 상기 밸브 시트가 상기 고압유체 복귀공보다 펌프 헤드 중심쪽에 위치하도록 배치되는 흡입밸브 조립체와, 상기 밸브 시트쪽이 상기 펌프실을 향하도록 상기 토출구에 배치되는 토출밸브 조립체와; 상기 토출구에 결합되며, 상기 토출밸브 조립체로부터 토출되는 유체의 토출 통로를 제공하는 유체 토출공이 형성되어 있는 토출측 커넥터와; 상기 흡입구에 결합되며, 흡입 유체의 유입 통로를 제공하면서, 상기 고압유체 복귀공과 연통되어 상기 펌프실 내부에 이상 고압이 발생하는 경우 고압유체의 유출 통로를 제공하는 유체 출입공이 형성되어 있는 흡입측 커넥터와; 상기 펌프 헤드의 상기 타측에 결합되며, 외측면에는 릴리이프 밸브 설치공이 형성되어 있고, 상기 펌프헤드에 결합되는 내측면에는 상기 펌프 헤드의 펌핑압력 전달공과 연통되며 상기 릴리이프 밸브 설치공 측으로 개방되어 있어서 릴리이프 밸브의 밸브체에 의해 개방 또는 폐쇄되는 밸브 개폐공을 구비하며, 상기 밸브 개폐공과 상기 펌프 헤드의 고압유체 복귀공을 연결하는 고압유체 복귀통로를 구비하는 밸브 블록과; 상기 릴리이프 밸브 설치공에 결합되며, 스프링의 탄성력에 의해 상기 밸브 개폐공에 가압 밀착되며, 상기 펌프실 내부의 압력이 소정치 이상인 경우 상기 밸브 개폐공을 개방하는 밸브체를 구비하는 릴리이프 밸브;를 구비하는 것을 특징으로 한다.The diaphragm pump according to the present invention for achieving the above object is formed in a cylindrical shape, a pump chamber is formed on one side, and suction and discharge ports connected to the pump chamber are formed at upper and lower portions of the pump chamber, respectively. A pump head having a pumping pressure transmission hole in communication with the pump chamber and a high pressure fluid return hole in communication with the suction port; A diaphragm coupled to the opening of the pump chamber; Driving means for operating the diaphragm forward and backward; One side is open, and the other side is a valve having a cylindrical valve body having a plurality of through holes formed therein, a check ball disposed to be flowable inside the valve body, and a valve seat disposed in the opening of the valve body As an assembly, the suction valve assembly is disposed at the suction port so that the through-hole side faces the pump chamber, and the valve seat is positioned at the center of the pump head rather than the high-pressure fluid return hole, and the valve seat side faces the pump chamber. A discharge valve assembly disposed at the discharge port so as to; A discharge-side connector coupled to the discharge port and having a fluid discharge hole that provides a discharge passage for fluid discharged from the discharge valve assembly; It is coupled to the suction port, while providing an inlet passage for the suction fluid, and the suction side connector is formed with a fluid inlet for providing an outlet passage of the high pressure fluid when an abnormal high pressure occurs in the pump chamber in communication with the high pressure fluid return hole and ; It is coupled to the other side of the pump head, a relief valve installation hole is formed on the outer surface, and an inner surface coupled to the pump head communicates with the pumping pressure transmission hole of the pump head and is opened toward the relief valve installation hole. A valve block having a valve opening/closing hole opened or closed by a valve body of a relief valve, and having a high pressure fluid return passage connecting the valve opening/closing hole and the high pressure fluid return hole of the pump head; A relief valve coupled to the relief valve installation hole, pressurized close to the valve opening hole by an elastic force of a spring, and having a valve body that opens the valve opening hole when the pressure inside the pump chamber is greater than or equal to a predetermined value; It characterized in that it comprises.

본 발명은, 다이어프램 펌프의 흡입 밸브는 펌프실 내부의 압력이 일정치 이상인 경우 내부 압력에 의해 체크볼이 밸브 시트에 밀착되어 폐쇄상태를 유지하게 되며, 펌프실 내부에 이상 고압이 발생하여 릴리이프 밸브를 통해 배출되는 유체를, 폐쇄 상태인 흡입 밸브의 외측으로 유도한다면, 유도된 고압 유체는 흡입 밸브를 개방하기 보다는 상대적으로 압력이 낮는 외부측으로 방출될 수 있다는 점에 착안하고, 정상 작동시에는 릴리이프 밸브가 스프링에 의해 폐쇄 상태로 유지되므로, 흡입 밸브 외측으로부터 릴리이프 밸브에 연결되는 공간이 펌프의 흡입, 토출 작용에 전혀 영향을 끼치지 않는다는 다양한 실험 결과를 바탕으로 하여 이루어진 발명으로서, In the present invention, the intake valve of the diaphragm pump maintains a closed state by the check ball being in close contact with the valve seat by the internal pressure when the pressure inside the pump chamber is equal to or higher than a certain value, and an abnormal high pressure is generated inside the pump chamber to release the relief valve. Given that the fluid discharged through the outside of the intake valve that is closed, the induced high pressure fluid may be discharged to the outside with a relatively low pressure rather than opening the intake valve, and relief in normal operation. As the valve is kept closed by a spring, an invention made on the basis of various experimental results that the space connected to the relief valve from the outside of the suction valve does not affect the suction and discharge actions of the pump at all.

본 발명의 다이어프램 펌프에 따르면, 릴리이프 밸브가 밸브 블록을 매개로 펌프 헤드에 일체로 형성되어 있어서 릴리이프 밸브 설치를 위한 별도의 배관이나 그 설치 작업이 필요 없으며, 이상 고압에 의해 릴리이프 밸브가 개방되는 경우, 배출되는 고압 유체를 밸브 블록 내부의 고압유체 복귀통로, 펌프 헤드 내부의 고압유체 복귀공, 흡입측 커넥터의 유체 출입공을 통해 저장조로 복귀시킬 수 있으므로, 고압 유체의 리턴을 위한 별도의 배관 또한 필요없어서, 이상 고압에 의한 관로나 펌프의 파손을, 별도의 배관 작업 없이 자체적으로 확실하게 방지할 수 있게 된다.According to the diaphragm pump of the present invention, since the relief valve is integrally formed in the pump head via the valve block, there is no need for a separate piping or installation work for the relief valve installation, and the relief valve is operated by abnormal high pressure. When opened, the discharged high pressure fluid can be returned to the reservoir through the high pressure fluid return passage inside the valve block, the high pressure fluid return hole inside the pump head, and the fluid inlet of the suction side connector. Since the piping of is also unnecessary, damage to the pipeline or the pump due to abnormal high pressure can be reliably prevented by itself without additional piping work.

본 발명에서, 펌프 헤드 내부의 고압유체 복귀공과 흡입측 커넥터의 유체 출입공의 연결 구조는 고압유체 복귀공을 통해 복귀되는 유체가 유체 출입공으로 유도될 수 있는 구성이면 어떠한 구조라도 무방하나, 흡입측 커넥터의 내측 단부 부분에, 흡입구의 벽으로부터 소정 간격 이격되는 작은 직경의 단차부를 형성하고, 단차부에 유체 출입공과 연통되는 유통공을 다수 형성하여 구성하는 것이 바람직하다.In the present invention, the connection structure between the high pressure fluid return hole inside the pump head and the fluid inlet hole of the suction side connector may be any structure as long as the fluid returned through the high pressure fluid return hole can be guided to the fluid inlet hole, but the suction side It is preferable to form a step portion of a small diameter spaced a predetermined distance from the wall of the suction port at the inner end portion of the connector, and to form a plurality of flow holes communicating with the fluid entry/exit hole in the step portion.

한편, 본 발명은, 본 발명자의 선등록 특허 제10-0291161호에 개시되어 있는 맥동 감소형 다이어프램 펌프, 다시 말해, 펌프실이 격벽에 의해 제1 펌프실과 제2 펌프실로 구획되고, 제2 펌프실에 원통형 격벽으로 구획되는 균압실이 형성되어 있는 다이어프램 펌프에도 동일한 원리로 적용될 수 있는 바, On the other hand, in the present invention, the pulsation-reducing diaphragm pump disclosed in the inventor's pre-registered patent No. 10-0291161, that is, the pump chamber is divided into a first pump chamber and a second pump chamber by partition walls, and the second pump chamber The same principle can be applied to a diaphragm pump in which a pressure equalizing chamber partitioned by a cylindrical partition is formed.

본 발명의 이 방식에 따른 다이어프램 펌프는, 원통형으로 형성되어, 일측에는 제1 펌프실이 타측에는 제2 펌프실이 분할벽에 의해 분리 형성되어 있고, 상기 제1 펌프실과 제2 펌프실은 상기 분할벽의 상부에 형성된 토출로에 의해 연통되어 있으며, 상기 제1 펌프실의 하부에는 흡입구가 형성되어 있고, 상기 제2 펌프실의 상부에는 토출구가 형성되어 있으며, 하부가 개구되어 있는 원통형으로 형성되며 제2 펌프실의 내부에 배치되어 그 내부에 압축 공기가 수용되는 균압실을 형성하는 원통형 격판을 상기 제2 펌프실의 내부에 구비하고, 상기 원통형 격판의 개구부 하부에는 상기 흡입구와 연통되는 고압유체 복귀공이 형성되어 있는 펌프 헤드와; 상기 제1 펌프실의 개구부에 결합되는 다이어프램과; 상기 다이어프램을 전후진 작동시키기 위한 구동수단과; 일측은 개구되어 있으며, 타측에는 다수개의 관통공이 형성되어 있는 원통형의 밸브 바디와, 상기 밸브 바디 내부에 유동가능하게 배치되는 체크볼과, 상기 밸브 바디의 상기 개구부에 배치되는 밸브 시트를 구비하는 밸브 조립체로서, 상기 관통공쪽이 상기 제1 펌프실을 향하도록 상기 흡입구에 배치되되, 상기 밸브 시트가 상기 고압유체 복귀공보다 펌프 헤드 중심쪽에 위치하도록 배치되는 흡입밸브 조립체와, 상기 밸브 시트쪽이 상기 제2 펌프실을 향하도록 상기 토출구에 배치되는 토출밸브 조립체와; 상기 토출구에 결합되며, 상기 토출밸브 조립체로부터 토출되는 유체의 토출 통로를 제공하는 유체 토출공이 형성되어 있는 토출측 커넥터와; 상기 흡입구에 결합되며, 흡입 유체의 유입 통로를 제공하면서, 상기 고압유체 복귀공과 연통되어 상기 제2 펌프실 내부에 이상 고압이 발생하는 경우 고압유체의 유출 통로를 제공하는 유체 출입공이 형성되어 있는 흡입측 커넥터와; 상기 펌프 헤드의 상기 제2 펌프실의 개구부측에 결합되며, 외측면에는 릴리이프 밸브 설치공이 형성되어 있고, 상기 펌프헤드에 결합되는 내측면에는 상기 펌프 헤드의 제2 펌프실과 연통되며 상기 릴리이프 밸브 설치공 측으로 개방되어 있어서, 릴리이프 밸브의 밸브체에 의해 개방 또는 폐쇄되는 밸브 개폐공을 구비하며, 상기 밸브 개폐공과 상기 고압유체 복귀공을 연결하는 고압유체 복귀통로를 구비하는 밸브 블록과; 상기 릴리이프 밸브 설치공에 결합 되며, 스프링의 탄성력에 의해 상기 밸브 개폐공에 가압 밀착되며, 상기 펌프실 내부의 압력이 소정치 이상인 경우 상기 밸브 개폐공을 개방하는 밸브체를 구비하는 릴리이프 밸브;를 구비하는 것을 특징으로 한다.The diaphragm pump according to this method of the present invention is formed in a cylindrical shape, and a first pump chamber is formed on one side and a second pump chamber is formed on the other side by a dividing wall, and the first pump chamber and the second pump chamber are formed of the dividing wall. It is communicated by a discharge path formed on the upper portion, a suction port is formed at the lower portion of the first pump chamber, a discharge port is formed at the upper portion of the second pump chamber, and a cylindrical shape is formed with an opening at the lower portion of the second pump chamber. A pump having a cylindrical diaphragm disposed therein to form a pressure equalizing chamber in which compressed air is accommodated, inside the second pump chamber, and a high pressure fluid return hole communicating with the suction port is formed below the opening of the cylindrical diaphragm. Head; A diaphragm coupled to the opening of the first pump chamber; Driving means for operating the diaphragm forward and backward; One side is open, and the other side is a valve having a cylindrical valve body having a plurality of through holes formed therein, a check ball disposed to be flowable inside the valve body, and a valve seat disposed in the opening of the valve body As an assembly, the inlet valve assembly is disposed at the suction port so that the through-hole side faces the first pump chamber, and the valve seat is disposed so that the valve seat is positioned at the center of the pump head rather than the high-pressure fluid return hole, and the valve seat side is the first 2 a discharge valve assembly disposed at the discharge port to face the pump chamber; A discharge side connector coupled to the discharge port and having a fluid discharge hole that provides a discharge passage for fluid discharged from the discharge valve assembly; It is coupled to the suction port, while providing an inlet passage for the intake fluid, the suction side is formed with a fluid inlet for providing an outlet passage for the high pressure fluid when an abnormal high pressure occurs in the second pump chamber in communication with the high pressure fluid return hole. A connector; It is coupled to the opening side of the second pump chamber of the pump head, a relief valve installation hole is formed on the outer surface, and the relief valve is in communication with the second pump chamber of the pump head on the inner surface coupled to the pump head. A valve block which is open toward the installation hole and has a valve opening hole which is opened or closed by a valve body of a relief valve, and a high pressure fluid return passage connecting the valve opening hole and the high pressure fluid return hole; A relief valve coupled to the relief valve installation hole, pressurized close to the valve opening hole by an elastic force of a spring, and having a valve body that opens the valve opening hole when the pressure inside the pump chamber is equal to or greater than a predetermined value; It characterized in that it comprises.

위의 특징적 구성을 갖는 맥동 감소형 다이어프램 펌프 또한, 이상 고압에 의해 릴리이프 밸브가 개방되는 경우, 배출되는 고압 유체가 밸브 블록 내부의 고압유체 복귀통로, 펌프 헤드 내부의 고압유체 복귀공, 흡입측 커넥터의 유체 출입공을 통해 저장조로 복귀된다는 점에서는 앞서의 발명과 그 작동 원리를 같이하며, 제 2 펌프실이 개방되어 있는 구조이므로, 펌핑압력 전달공을 형성할 필요 없이, 제2 펌프실의 개구부에 밸브 블록을 결합하면, 제2 펌프실의 압력이 밸브 개폐공을 통해 릴리이프 밸브의 밸브체에 전달된다는 점에서 앞서의 발명과 차이가 있다. The pulsation-reducing diaphragm pump having the above-mentioned characteristic configuration also, when the relief valve is opened by abnormal high pressure, the high pressure fluid discharged is a high pressure fluid return passage inside the valve block, a high pressure fluid return hole inside the pump head, and a suction side In the point of returning to the storage tank through the fluid access hole of the connector, the same principle as that of the previous invention and the second pump chamber is open, so there is no need to form a pumping pressure transmission hole, and the opening of the second pump chamber Combining the valve block is different from the previous invention in that the pressure of the second pump chamber is transmitted to the valve body of the relief valve through the valve opening/closing hole.

한편, 고압유체 복귀공을 제1 및 제2 펌프실의 외측 하부에 형성하는 것도 가능하나, 이 경우, 고압유체 복귀공을 형성하기 위한 벽체를 제공하기 위해서는 펌프 헤드의 직경이 커지게 된다. On the other hand, it is also possible to form the high pressure fluid return hole outside the first and second pump chambers, but in this case, the diameter of the pump head becomes large to provide a wall for forming the high pressure fluid return hole.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 원통형 격판 하부의 개구부 공간을 활용함으로서, 펌프 헤드의 직경을 크게 형성하지 않고도 고압유체 복귀공을 형성하는 데 있다.According to another feature of the present invention, by utilizing the opening space under the cylindrical plate, to form a high pressure fluid return hole without forming a large diameter of the pump head.

이를 위해, 제 2 펌프실의 원통형 격판의 개구부 하부 공간에 복귀 블록부를 형성하고, 고압유체 복귀공을 이 복귀 블록부에 형성하는 것이 바람직하다.To this end, it is preferable to form a return block portion in the lower space of the opening of the cylindrical diaphragm of the second pump chamber, and to form a high pressure fluid return hole in the return block portion.

또한, 바람직하게, 고압유체 복귀공은 상기 펌프 헤드 분할벽의 상기 원통형 격판의 개구부 하부 공간에 대응되는 부분에 형성되며, 원통형 격판의 개구부 하부 공간에는 고압유체 복귀공과 고압유체 복귀통로를 연결하는 복귀 파이프가 배치된다.In addition, preferably, the high pressure fluid return hole is formed in a portion corresponding to the lower space of the opening of the cylindrical plate of the pump head partition wall, and a return connecting the high pressure fluid return hole and the high pressure fluid return passage to the lower space of the opening of the cylindrical plate Pipes are laid out.

본 발명의 다이어프램 펌프에 따르면, 이상 고압에 의한 관로나 펌프의 파손을, 별도의 배관 작업 없이 자체적으로 확실하게 방지할 수 있게 된다.According to the diaphragm pump of the present invention, damage to the pipeline or the pump due to abnormal high pressure can be reliably prevented by itself without additional piping work.

그에 따라, 공정 관로의 설치 구조및 작업을 단순화하여 비용을 절감시킬 수 있고, 관로내 용접 개소를 줄임으로서, 위험성 있는 화공 약품의 누출 가능성을 줄일 수 있으며, 다이어프램 펌프 자체에 문제가 발생하여 펌프를 수리하거나 교체해야 하는 경우, 리턴 파이프 연결 부분을 분해한 후 펌프를 분해할 필요 없이 펌프를 분해할 수 있으므로, 펌프 교체/수리 작업을 용이하게 할 수 있게 된다.Accordingly, it is possible to reduce the cost by simplifying the installation structure and work of the process pipeline, and reducing the possibility of leakage of dangerous chemicals by reducing the welding point in the pipeline, and the diaphragm pump itself has a problem, so the pump If repair or replacement is required, the pump can be disassembled without disassembling the pump after disassembling the return pipe connection, thereby facilitating pump replacement/repair.

도 1a 및 도 1b는 종래의 다이어프램 펌프의 구조 및 동작을 설명하기 위한 요부 단면도.
도 1c는 십자홈 형상의 개방측 밸브 시트의 평면도.
도 2는 화학 공정 라인에 통상적으로 적용되고 있는 릴리이프 밸브의 설치 구조를 나타내는 배관도.
도 3은 릴리이프 밸브가 펌프실 측면에 결합되어 있는 종래 다이어프램 펌프가 적용되는 경우의 배관도.
도 4는 본 발명에 일실시예에 따른 다이어프램 펌프의 종단면도로서, 도 4a는 흡입 상태, 도 4b는 토출 상태, 도 4c는 펌프실 내부에 이상 고압이 작용하여 릴리이프 밸브가 개방된 상태를 각각 나타내는 단면도.
도 5는 흡입측 커넥터와 흡입밸브 조립체의 일부 절개 사시도.
도 6은 본 발명에 다른 실시예에 따른 다이어프램 펌프의 종단면도.
도 7은 고압유체 복귀공의 일 실시예를 나타내는 펌프 헤드 사시도.
도 8은 고압유체 복귀공의 다른 실시예를 나타내는 펌프 헤드 사시도.1A and 1B are sectional views of main parts for explaining the structure and operation of a conventional diaphragm pump.
1C is a plan view of an open-side valve seat in the form of a cross groove.
Figure 2 is a piping diagram showing the installation structure of a relief valve that is commonly applied to a chemical process line.
Figure 3 is a piping diagram when a conventional diaphragm pump is applied with a relief valve coupled to the side of the pump chamber.
Figure 4 is a longitudinal sectional view of a diaphragm pump according to an embodiment of the present invention, Figure 4a is a suction state, Figure 4b is a discharge state, Figure 4c is a relief valve is opened by abnormal high pressure inside the pump chamber, respectively Sectional view.
5 is a partially cut-away perspective view of the suction-side connector and the suction valve assembly.
6 is a longitudinal sectional view of a diaphragm pump according to another embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of a pump head showing one embodiment of a high pressure fluid return hole.
8 is a pump head perspective view showing another embodiment of the high pressure fluid return hole.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 일실시예에 따른 다이어프램 펌프의 종단면도로서, 도 4a는 흡입 상태, 도 4b는 토출 상태, 도 4c는 펌프실 내부에 이상 고압이 작용하여 릴리이프 밸브가 개방된 상태를 각각 나타내며, 도 5는 흡입측 커넥터와 흡입밸브 조립체의 일부 절개 사시도를 나타내는 바, 이하 설명에서, 종래와 동일한 구성으로서 본 발명을 이해하는 데 있어서 중요하지 않은 사항은 그 설명을 생략하기로 한다.Figure 4 is a longitudinal sectional view of a diaphragm pump according to an embodiment of the present invention, Figure 4a is a suction state, Figure 4b is a discharge state, Figure 4c is a relief valve is opened by abnormal high pressure inside the pump chamber, respectively FIG. 5 shows a partially cut-away perspective view of the suction-side connector and the suction valve assembly. In the following description, the same configuration as the prior art, and the matter that is not important in understanding the present invention will be omitted.

본 실시예의 다이어프램 펌프는, 펌프실(11)이 형성되어 있는 펌프 헤드(10), 펌프실(11)의 개구부에 결합되는 다이어프램(21), 상기 다이어프램을 전후진 작동시키기 위한 모터(도시 안함), 캠(도시 인함), 다이어프램 샤프트(22) 등으로 이루어지는 구동수단, 흡입밸브 조립체(30) 및 흡입측 커넥터(40), 토출밸브 조립체(50) 및 토출측 커넥터(60), 펌프헤드(10)에 결합되며 릴리이프밸브(80)가 설치되는 밸브 블록(70)을 구비한다.The diaphragm pump of this embodiment includes a pump head 10 in which a pump chamber 11 is formed, a diaphragm 21 coupled to an opening of the pump chamber 11, a motor (not shown) for operating the diaphragm forward and backward, and a cam (Not shown), driving means made of diaphragm shaft 22, etc., coupled to suction valve assembly 30 and suction-side connector 40, discharge valve assembly 50 and discharge-side connector 60, pump head 10 And the relief valve 80 is provided with a valve block 70 is installed.

펌프 헤드(10)는 원통형으로 형성되어, 일측에는 펌프실(11)이 형성되어 있고, 펌프실(11)의 상부 및 하부에는 펌프실(11)과 연결되는 흡입구(12)와 토출구(13)가 각각 형성되어 있으며, 펌프실 반대측에는 펌프실(11)과 연통되는 펌핑압력 전달공(14)과 흡입구(12)와 연통되는 고압유체 복귀공(15)이 형성되어 있다.The pump head 10 is formed in a cylindrical shape, and a pump chamber 11 is formed on one side, and suction ports 12 and discharge ports 13 connected to the pump chamber 11 are formed at upper and lower portions of the pump chamber 11, respectively. And the high pressure fluid return hole 15 communicating with the pumping pressure transmission hole 14 communicating with the pump chamber 11 and the suction port 12 on the opposite side of the pump chamber.

흡입구(12)와 토출구(13)의 내측에는 흡입밸브 조립체(30)와 토출밸브 조립체(50)가 각각 결합되며, 각 밸브 조립체의 외측으로는 외부 관로에 연결되는 흡입측 커넥터(40)와 토출측 커넥터(60)가 각각 결합된다.The suction valve assembly 30 and the discharge valve assembly 50 are respectively coupled to the inside of the suction port 12 and the discharge port 13, and the suction side connector 40 and the discharge side connected to an external pipeline to the outside of each valve assembly Connectors 60 are each coupled.

도 5에 도시된 바와 같이, 흡입밸브 조립체(30)는, 일측은 개구되어 있으며, 타측에는 다수개의 관통공(31a)이 형성되어 있는 원통형의 밸브 바디(31)와, 밸브 바디(31) 내부에 유동가능하게 배치되는 체크볼(32)과, 밸브 바디(31)의 개구부에 결합되는 밸브 시트(33)를 구비하며, 체크볼(32)이 밸브 시트(33)에 밀착되면 폐쇄 상태, 체크볼(32)이 관통공(31a)쪽으로 이동되면, 관통공(31a)을 통해 유체가 유동 가능한 개방 상태가 된다.As shown in Figure 5, the suction valve assembly 30, one side is open, the other side of the cylindrical valve body 31 is formed with a plurality of through-holes 31a, and the valve body 31 inside It is provided with a check ball 32 is arranged to be flowable, and the valve seat 33 is coupled to the opening of the valve body 31, when the check ball 32 is in close contact with the valve seat 33, the closed state, check When the ball 32 is moved toward the through hole 31a, the fluid becomes an open state capable of flowing through the through hole 31a.

흡입밸브 조립체(30)는 관통공(31a) 쪽이 펌프실(11)을 향하고, 밸브 시트(33) 쪽이 외부를 향하도록 흡입구(12)에 결합되어, 펌프실의 압력이 낮아지면(흡입 행정) 체크볼(32)이 펌프실(11) 쪽, 다시 말해 관통공(31a) 쪽으로 이동하여 개방 상태가 되고, 펌프실의 압력이 높아지면(토출 행정) 체크볼(32)이 펌프실(11) 바깥쪽, 다시 말해 밸브 시트(33) 쪽으로 이동하여 폐쇄 상태가 된다.The suction valve assembly 30 is coupled to the suction port 12 such that the through hole 31a faces the pump chamber 11 and the valve seat 33 side faces outward, and when the pressure in the pump chamber decreases (suction stroke) When the check ball 32 moves toward the pump chamber 11, that is, through hole 31a, and becomes open, when the pressure in the pump chamber is increased (discharge stroke), the check ball 32 is outside the pump chamber 11, In other words, it moves toward the valve seat 33 and is closed.

한편, 흡입밸브 조립체(30)는 밸브 시트(33), 다시 말해, 밸브 개폐부가 고압유체 복귀공(15) 보다 펌프 헤드 중심쪽에 위치하도록 배치된다.On the other hand, the intake valve assembly 30 is disposed so that the valve seat 33, that is, the valve opening and closing portion is located in the center of the pump head than the high pressure fluid return hole 15.

토출밸브 조립체(50)도 그 구성은 흡입밸브 조립체(30)와 동일하며, 밸브 시트쪽이 펌프실(11)을 향하도록 토출구(13)에 배치된다.The discharge valve assembly 50 also has the same configuration as the suction valve assembly 30, and is disposed in the discharge port 13 so that the valve seat side faces the pump chamber 11.

전술한 바와 같이, 각 밸브 조립체의 외측으로는 외부 관로에 연결되는 흡입측 커넥터(40)와 토출측 커넥터(60)가 각각 결합되는 바, 토출측 커넥터(60)는 토출구에 결합되며, 중공 원통형으로 형성되어 그 중공부는 토출밸브 조립체(50)로부터 토출되는 유체의 토출 통로를 제공하는 유체 토출공(61) 역할을 하게 된다.As described above, the suction-side connector 40 and the discharge-side connector 60, which are connected to the external conduit, are respectively coupled to the outside of each valve assembly, and the discharge-side connector 60 is coupled to the discharge port and formed in a hollow cylinder shape. The hollow portion serves as a fluid discharge hole 61 providing a discharge passage of fluid discharged from the discharge valve assembly 50.

흡입측 커넥터(40)는 흡입구(12)에 결합되며, 중공 원통형으로 형성되어 그 중공부는, 도 4a에 도시된 바와 같이, 정상적인 흡입 행정시에는 흡입 유체의 유입 통로를 제공하면서, 고압유체 복귀공(15)과 연통되어 있어서, 펌프실(11) 내부에 이상 고압이 발생하는 경우, 도 4c에 도시된 바와 같이, 고압유체의 유출 통로를 제공하는 유체 출입공(41)의 역할을 하게 된다.The suction-side connector 40 is coupled to the suction port 12 and is formed in a hollow cylindrical shape, as shown in FIG. 4A, while providing an inlet passage for suction fluid during normal suction stroke, the high-pressure fluid return hole Since it is in communication with (15), when an abnormal high pressure is generated inside the pump chamber 11, as shown in FIG. 4C, it serves as a fluid inlet 41 that provides an outlet passage for the high pressure fluid.

고압유체 복귀공(15)과 유체 출입공(41)의 연결 구조는, 고압유체 복귀공(15)을 통해 복귀되는 유체가 유체 출입공(41)으로 유도될 수 있는 구성이면 어떠한 구조라도 무방하나, 본 실시예의 경우, 도 5에 도시된 바와 같이, 흡입측 커넥터(40)의 내측 단부 부분에, 흡입구(12)의 벽으로 부터 소정 간격 이격되는 작은 직경의 단차부(42)를 형성하고, 단차부(42)에 유체 출입공(41)과 연통되는 유통공(43)을 다수 형성하여 구성한 예를 나타낸다.The connection structure between the high pressure fluid return hole 15 and the fluid access hole 41 may be any structure as long as the fluid returned through the high pressure fluid return hole 15 can be guided to the fluid entrance hole 41. , In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 5, in the inner end portion of the suction-side connector 40, a small diameter step portion 42 spaced a predetermined distance from the wall of the suction port 12 is formed, An example in which a plurality of distribution holes 43 communicating with the fluid entry hole 41 is formed in the stepped portion 42 is formed.

밸브 블록(70)은, 펌프 헤드(11)의 다이어프램(21) 설치면의 반대쪽 면에 결합되는 데, 외측면에는 릴리이프 밸브 설치공(71)이 형성되어 있고, 펌프헤드(11)에 결합되는 내측면에는 펌프 헤드(11)의 펌핑압력 전달공(14)과 연통되며 릴리이프 밸브 설치공(71) 측으로 개방되어 있어서 릴리이프 밸브(80)의 밸브체(83)에 의해 개방 또는 폐쇄되는 밸브 개폐공(72)이 형성되어 있고, 밸브 개폐공(72)과 펌프 헤드(11)에 형성되어 있는 고압유체 복귀공(15)을 연결하는 고압유체 복귀통로(73)가 형성되어 있다. The valve block 70 is coupled to the opposite side of the diaphragm 21 installation surface of the pump head 11, and a relief valve installation hole 71 is formed on the outer surface, and is coupled to the pump head 11 On the inner surface to be communicated with the pumping pressure transmission hole 14 of the pump head 11 and opened toward the relief valve installation hole 71, it is opened or closed by the valve body 83 of the relief valve 80. A valve opening hole 72 is formed, and a high pressure fluid return passage 73 is formed to connect the valve opening hole 72 and the high pressure fluid return hole 15 formed in the pump head 11.

릴리이프밸브(80)는, 밸브 바디(81), 스프링(82), 밸브체(83)를 구비하는 통상적인 릴리이프 밸브의 구조 및 작동 원리와 다를 바 없으며, 본 실시예의 경우, 밸브체(83)가 푸쉬 플레이트(83a), 탄성 밀봉플레이트(83b) 및 체크볼(83c)로 구성된 예를 나타내는 바, 펌프의 정상 작동시에는 스프링(82)의 탄성력에 의해 탄성 밀봉플레이트(83b)가 밸브 개폐공(72)에 가압 밀착되어 있는 상태가 유지되며, 펌프실(11) 내부의 압력이 소정치 이상으로 상승하는 경우, 밸브체(83) 전체가 스프링(82)을 압축하며 이동하게 되며, 그에 따라 밸브 개폐공(72)이 개방됨으로서, 펌프실(11) 내부의 고압 유체가 밸브 블록(70)의 고압유체 복귀통로(73), 펌프 헤드(11)의 고압유체 복귀공(15) 및 흡입측 커넥터(40)의 유체 출입공(41)을 순차적으로 통과하여, 외부 즉, 저장조로 복귀됨으로서 펌프실(11)의 압력상승을 방지할 수 있게 된다.Relief valve 80, the valve body 81, the spring 82, the valve body 83 is provided with the same structure and operation principle of the relief valve, and in this embodiment, the valve body ( 83) shows an example consisting of a push plate 83a, an elastic sealing plate 83b, and a check ball 83c. During normal operation of the pump, the elastic sealing plate 83b is valved by the elastic force of the spring 82. The state in which the pressure is in close contact with the opening/closing hole 72 is maintained, and when the pressure inside the pump chamber 11 rises above a predetermined value, the entire valve body 83 moves while compressing the spring 82, thereby Accordingly, as the valve opening/closing hole 72 is opened, the high pressure fluid inside the pump chamber 11 has a high pressure fluid return passage 73 of the valve block 70, a high pressure fluid return hole 15 of the pump head 11, and a suction side It is possible to prevent the pressure rise of the pump chamber 11 by sequentially passing through the fluid inlet hole 41 of the connector 40 and returning to the outside, that is, the storage tank.

위에 설명한 바와 같이, 펌프실(11) 내부의 압력이 소정치 이상으로 상승하여 밸브 개폐공(72)이 개방되는 경우, 펌프실(11) 내부 압력에 의해 흡입밸브 조립체(30)의 체크볼(32)이 밸브 시트(33)에 밀착되어 폐쇄상태를 유지하게 되므로, 고압유체 복귀공(15)을 통해 유입되는 고압 유체는 상대적으로 압력이 낮는 외부측 즉, 흡입측 커넥터(40)의 유체 출입공(41)을 통해 저장조로 방출되며, 정상 작동시에는 릴리이프 밸브(80)가 스프링(82)의 탄성력에 의해 폐쇄 상태로 유지되므로, 흡입밸브 조립체(30) 외측으로부터 릴리이프 밸브(80)에 연결되는 공간은 펌프의 흡입, 토출 작용에 전혀 영향을 끼치지 않게 된다. As described above, when the pressure inside the pump chamber 11 rises above a predetermined value and the valve opening hole 72 is opened, the check ball 32 of the suction valve assembly 30 by the pressure inside the pump chamber 11 Since it is in close contact with the valve seat 33 and maintains a closed state, the high-pressure fluid flowing through the high-pressure fluid return hole 15 has a relatively low pressure, that is, the fluid entry/exit of the suction-side connector 40 41) is discharged to the reservoir, and in normal operation, since the relief valve 80 is kept closed by the elastic force of the spring 82, it is connected to the relief valve 80 from the outside of the suction valve assembly 30 The resulting space does not affect the suction and discharge actions of the pump at all.

미설명 부호 73a는 고압유체 복귀통로(73) 형성시의 가공홀을 밀봉하기 위한 밀봉 캡, 84는 압력세팅 스크류, 85는 압력세팅 스크류의 임의 조작을 방지하기 위한 보호캡을 각각 나타낸다. Reference numeral 73a denotes a sealing cap for sealing a machining hole when the high pressure fluid return passage 73 is formed, 84 a pressure setting screw, and 85 a protective cap for preventing any manipulation of the pressure setting screw.

이하, 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다.Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 8.

본 실시예는, 펌프 헤드(10)의 펌프실이 분할벽(11c)에 의해 제1 펌프실(11a)과 제2 펌프실(11b)로 구획되고, 제2 펌프실(11b)에 원통형 격판(17)으로 구획되는 균압실(18)이 형성되어 있는 종래의 맥동 감소형 다이어프램 펌프에 본 발명이 적용된 실시예를 나타낸다.In this embodiment, the pump chamber of the pump head 10 is divided into a first pump chamber 11a and a second pump chamber 11b by a partition wall 11c, and a cylindrical plate 17 is provided in the second pump chamber 11b. It shows an embodiment in which the present invention is applied to a conventional pulsation-reducing diaphragm pump in which a divided equalization chamber 18 is formed.

먼저, 종래 맥동 감소형 다이어프램 펌프의 구성 및 작용을 개략적으로 설명하며, 앞서의 실시예와 동일 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 적용하여 설명하기로 한다.First, the configuration and operation of a conventional pulsation-reducing diaphragm pump will be briefly described, and the same reference numerals will be applied to the same components as in the previous embodiment.

동작 상태에서 제2 펌프실(11b)의 원통형 격판(17) 외부의 공간과 원통형 격판(23) 내측 하부에는 펌핑 대상 유체가 채워지게 되며, 격판 내측 상부 공간 즉, 균압실(18)에는 압축공기가 채워지게 되는 바, 균압실(18)에 채워져 있는 공기는 가스켓 및 하부의 유체에 의해 외부와 완전히 차단됨으로써 항상 일정량의 공기량을 유지하게 된다.In the operating state, a space outside the cylindrical plate 17 of the second pump chamber 11b and an inner lower portion of the cylindrical plate 23 are filled with the fluid to be pumped, and compressed air is supplied to the upper space inside the plate, that is, the equalization chamber 18. As it is filled, the air filled in the equalization chamber 18 is completely blocked from the outside by the gasket and the fluid at the bottom, thereby maintaining a constant amount of air.

토출 행정시에는 토출측 체크볼(52)이 토출밸브 조립체(50)의 밸브시트(53)로부터 이탈되어 상방으로 이동된다. 따라서, 토출밸브 조립체(50)가 개방됨과 동시에 이전의 흡입 행정시 제1 펌프실(11a)내에 유입되어 있던 유체가 토출로(16)를 통해 제2 펌프실(11b) 내부로 토출된다. During the discharge stroke, the discharge-side check ball 52 is moved away from the valve seat 53 of the discharge valve assembly 50. Accordingly, the discharge valve assembly 50 is opened and the fluid introduced into the first pump chamber 11a during the previous suction stroke is discharged into the second pump chamber 11b through the discharge path 16.

이에 따라, 제2 펌프실(11a)내부의 유체 압력이 상승하여 균압실(18)의 공기가 더욱 압축되며 원통형 격판(17) 내부의 유체의 수위가 상승하게 된다.Accordingly, the fluid pressure inside the second pump chamber 11a increases, and the air in the equalization chamber 18 is further compressed, and the level of the fluid inside the cylindrical plate 17 rises.

즉, 토출로(16)를 통해 제2 펌프실(11b) 내부로 유입되는 유체 전체가 토출측 커넥터(60)의 유체 토출공(61)을 통해 토출되는 것이 아니고, 그중 일부는 원통형 격판(17) 내부에 있는 유체의 수위상승 및 공기의 압력 증가에 기여하게 되므로 토출 유량의 급격한 변동이 방지된다.That is, the entire fluid flowing into the second pump chamber 11b through the discharge path 16 is not discharged through the fluid discharge hole 61 of the discharge-side connector 60, and some of them are inside the cylindrical plate 17 Since it contributes to the rise of the water level and the increase of the pressure in the air, the rapid fluctuation of the discharge flow rate is prevented.

이어지는 흡입 행정시에는 토출밸브 조립체(50)가 제2 펌프실(11b) 내부에 있는 유체가 제1 펌프실(11a)로 역류되는 것이 방지됨과 동시에, 제1 펌프실(11a)로부터 제2 펌프실(11b)로의 유체 토출이 정지된다. During the subsequent intake stroke, the discharge valve assembly 50 is prevented from flowing back the fluid inside the second pump chamber 11b into the first pump chamber 11a, and at the same time, from the first pump chamber 11a to the second pump chamber 11b. Fluid discharge to the furnace is stopped.

그러나, 이전의 토출 행정시 압축되었던 균압실(23) 내의 공기압에 의해 제2 펌프실(11b) 내부의 유체는 토출측 커넥터(60)의 유체 토출공(61)을 통해 지속적으로 토출됨과 동시에 원통형 격판(17) 내부의 유체의 수위는 점차 감소하게 된다. 따라서, 흡입행정시에도 제2 펌프실로부터 토출되는 토출 유량은 급격히 감소되지 않고 제1 펌프실의 토출 행정시와 거의 균등하게 된다.However, the fluid inside the second pump chamber 11b is continuously discharged through the fluid discharge hole 61 of the discharge-side connector 60 by the air pressure in the equalization chamber 23 that was compressed during the previous discharge stroke, and at the same time, the cylindrical plate ( 17) The level of fluid in the interior gradually decreases. Therefore, even during the suction stroke, the discharge flow rate discharged from the second pump chamber is not abruptly reduced and becomes almost equal to the discharge stroke of the first pump chamber.

위의 특징적 구성을 갖는 맥동 감소형 다이어프램 펌프에 본 발명을 적용한 본 실시예에 있어서, 이상 고압에 의해 릴리이프 밸브(80)가 개방되는 경우, 배출되는 고압 유체가 밸브 블록(70) 내부의 고압유체 복귀통로(73), 펌프 헤드 내부의 고압유체 복귀공(15), 흡입측 커넥터(40)의 유체 출입공(41)을 통해 저장조로 복귀된다는 점에서는 앞서의 실시예와 그 구성 및 작동 원리를 같이 하며, 제 2 펌프실(11b)이 개방되어 있는 구조이므로, 앞서 실시예의 펌핑압력 전달공(14)을 형성할 필요 없이, 제2 펌프실(11b)의 개구부에 밸브 블록(70)을 결합하면, 제2 펌프실(11b)의 압력이 밸브 개폐공(72)을 통해 릴리이프 밸브(80)의 밸브체에 전달된다는 점에서 앞서의 실시예와 차이가 있다. In the present embodiment in which the present invention is applied to a pulsation-reducing diaphragm pump having the above characteristic configuration, when the relief valve 80 is opened by abnormal high pressure, the high pressure fluid discharged is high pressure inside the valve block 70 The previous embodiment and its configuration and operation principle in that it is returned to the reservoir through the fluid return passage 73, the high pressure fluid return hole 15 inside the pump head, and the fluid entrance hole 41 of the suction-side connector 40 Since the second pump chamber 11b is open, the valve block 70 is coupled to the opening of the second pump chamber 11b without having to form the pumping pressure transmission hole 14 of the previous embodiment. , It is different from the previous embodiment in that the pressure of the second pump chamber 11b is transmitted to the valve body of the relief valve 80 through the valve opening/closing hole 72.

앞서, 릴리이프밸브(80)는, 밸브 바디(81), 스프링(82), 밸브체(83)를 구비하는 통상적인 릴리이프 밸브 구조 및 원리와 다를 바 없다 하였는 데, 본 실시예의 경우, 릴리이프밸브(80)의 밸브체(83)가 푸쉬 플레이트(83a), 탄성 밀봉플레이트(83b), 체크볼(83c) 외에 체크볼을 안정적으로 지지하기 위한 체크볼 지지체(83d)를 더 구비한 예를 나타낸다.Earlier, the relief valve 80, the valve body 81, the spring 82, and the valve body 83 is provided with the same relief valve structure and principle, and in this embodiment, in the case of the lily The valve body 83 of the IF valve 80 is further provided with a push plate 83a, an elastic sealing plate 83b, a check ball 83c, and a check ball support 83d for stably supporting the check ball Indicates.

한편, 고압유체 복귀공(15)은, 앞서의 실시예와 유사하게 제1 및 제2 펌프실의 외측 하부에 형성하는 것도 가능하나, 이 경우, 고압유체 복귀공(15)을 형성하기 위한 벽체를 제공하기 위해서는 펌프 헤드의 직경이 커지게 된다.On the other hand, the high pressure fluid return hole 15, it is also possible to form in the lower portion outside the first and second pump chamber similar to the previous embodiment, in this case, a wall for forming the high pressure fluid return hole 15 In order to provide, the diameter of the pump head becomes large.

도 7은 도 6의 실시예에 적용된 펌프 헤드의 사시도로서, 원통형 격판(17) 하부의 개구부(17a) 공간을 활용함으로서, 펌프 헤드의 직경을 크게 형성하지 않고도 고압유체 복귀공(15)을 형성할 수 있도록 한 예를 나타내는 바, 원통형 격판(17)의 개구부(17a) 하부의 공간에 복귀 블럭부(18)를 형성하고, 고압유체 복귀공(15)을 이 복귀 블록부(18)에 형성한 예를 나타낸다.7 is a perspective view of the pump head applied to the embodiment of FIG. 6, by utilizing the space of the opening 17a under the cylindrical plate 17, forming a high pressure fluid return hole 15 without greatly forming the diameter of the pump head As an example to be able to do this, a return block portion 18 is formed in a space under the opening portion 17a of the cylindrical plate 17, and a high-pressure fluid return hole 15 is formed in the return block portion 18. An example is shown.

복귀 블록부(18)는 펌프 헤드(10)에 일체로 형성하는 것도 가능하나, 별도의 부품으로 형성하여 볼트나 접착제로 결합하는 것도 가능하다.The return block portion 18 may be formed integrally with the pump head 10, but may also be formed as a separate component and coupled with a bolt or adhesive.

도 8은 원통형 격판(17) 하부의 개구부(17a) 공간을 고압유체 복귀공 형성에 활용하는 다른 실시예로서, 펌프 헤드(11)의 분할벽(11c)의 원통형 격판의 개구부 하부 공간에 대응되는 부분에 고압유체 복귀공(15a)를 형성하고, 원통형 격판의 개구부 하부 공간에는 고압유체 복귀공(15a)과 고압유체 복귀통로(73)를 연결하는 복귀 파이프(19)를 배치한 실시예를 나타낸다.8 is another embodiment that utilizes the space of the opening 17a under the cylindrical plate 17 to form the high-pressure fluid return hole, which corresponds to the space under the opening of the cylindrical plate of the partition wall 11c of the pump head 11 It shows an embodiment in which a high pressure fluid return hole (15a) is formed in a portion, and a return pipe (19) connecting the high pressure fluid return hole (15a) and the high pressure fluid return passage (73) is disposed in the lower space of the opening of the cylindrical plate. .

미설명 부호 19a는 오링을 나타낸다.Unexplained reference numeral 19a denotes an O-ring.

이상, 본 발명을 설명의 편의상 특정 형식의 다이어프램 펌프를 예를 들어 설명하였지만, 본 발명은 기타 형식의 다이어프램 펌프 및 흡입 및 송출이 단속적으로 이루어짐으로 인해 유량의 맥동이 발생하는 기타 형식의 펌프에 적용될 수 있음은 당연하다.As described above, although the present invention has been described as a specific type of diaphragm pump for convenience of description, the present invention can be applied to other types of diaphragm pumps and other types of pumps in which pulsation of flow occurs due to intermittent suction and discharge. It is natural that you can.

또한 상기한 실시예는 본 발명의 예시적인 실시예에 불과하므로, 청구범위에 명기된 본 발명의 정신과 범위 내에서 여러 가지로 변형 또는 변경이 가능하다.In addition, the above-described embodiment is only an exemplary embodiment of the present invention, and various modifications or changes are possible within the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims.

10: 펌프 헤드 11: 펌프실
30: 흡입밸브 조립체 40: 흡입측 커넥터
50: 토출밸브 조립체 60: 토출측 커넥터
70: 밸브 블록 80: 릴리이프밸브
14: 펌핑압력 전달공 15: 고압유체 복귀공
41: 유체 출입공 72: 밸브 개폐공
73: 고압유체 복귀통로10: pump head 11: pump room
30: suction valve assembly 40: suction side connector
50: discharge valve assembly 60: discharge side connector
70: valve block 80: relief valve
14: pumping pressure transmission hole 15: high pressure fluid return hole
41: fluid entrance 72: valve opening
73: high pressure fluid return passage

Claims (7)

원통형으로 형성되어, 일측에는 펌프실이 형성되어 있고, 상기 펌프실의 상부 및 하부에는 상기 펌프실과 연결되는 흡입구와 토출구가 각각 형성되어 있으며, 타측에는 상기 펌프실과 연통되는 펌핑압력 전달공과 상기 흡입구와 연통되는 고압유체 복귀공이 형성되어 있는 펌프 헤드와;
상기 펌프실의 개구부에 결합되는 다이어프램과;
상기 다이어프램을 전후진 작동시키기 위한 구동수단과;
일측은 개구되어 있으며, 타측에는 다수개의 관통공이 형성되어 있는 원통형의 밸브 바디와, 상기 밸브 바디 내부에 유동가능하게 배치되는 체크볼과, 상기 밸브 바디의 상기 개구부에 배치되는 밸브 시트를 구비하는 밸브 조립체로서,
상기 관통공쪽이 상기 펌프실을 향하도록 상기 흡입구에 배치되되, 상기 밸브 시트가 상기 고압유체 복귀공보다 펌프 헤드 중심쪽에 위치하도록 배치되는 흡입밸브 조립체 및 상기 밸브 시트쪽이 상기 펌프실을 향하도록 상기 토출구에 배치되는 토출밸브 조립체와;
상기 토출구에 결합되며, 상기 토출밸브 조립체로부터 토출되는 유체의 토출 통로를 제공하는 유체 토출공이 형성되어 있는 토출측 커넥터와;
상기 흡입구에 결합되며, 흡입 유체의 유입 통로를 제공하면서, 상기 고압유체 복귀공과 연통되어 상기 펌프실 내부에 이상 고압이 발생하는 경우 고압유체의 유출 통로를 제공하는 유체 출입공이 형성되어 있는 흡입측 커넥터와;
상기 펌프 헤드의 상기 타측에 결합되며, 외측면에는 릴리이프밸브 설치공이 형성되어 있고, 상기 펌프헤드에 결합되는 내측면에는 상기 펌프 헤드의 펌핑압력 전달공과 연통되며 상기 릴리이프밸브 설치공 측으로 개방되어 있어서 릴리이프 밸브의 밸브체에 의해 개방 또는 폐쇄되는 밸브 개폐공을 구비하며, 상기 밸브 개폐공과 상기 펌프 헤드의 고압유체 복귀공을 연결하는 고압유체 복귀통로를 구비하는 밸브 블록과;
상기 릴리이프밸브 설치공에 결합 되며, 스프링의 탄성력에 의해 상기 밸브 개폐공에 가압 밀착되어 상기 펌프실 내부의 압력이 소정치 이상인 경우 상기 밸브 개폐공을 개방하는 밸브체를 구비하는 릴리이프 밸브;를 구비하고,
상기 흡입측 커넥터의 내측 단부 부분에, 상기 흡입구의 벽으로 부터 소정 간격 이격되는 작은 직경의 단차부가 형성되어 있으며, 상기 단차부에는 상기 유체 출입공과 연통되는 유통공이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 펌프.It is formed in a cylindrical shape, and a pump chamber is formed at one side, and suction and discharge ports connected to the pump chamber are formed at upper and lower portions of the pump chamber, and at the other side, a pumping pressure transmission hole communicating with the pump chamber is in communication with the suction port. A pump head having a high pressure fluid return hole;
A diaphragm coupled to the opening of the pump chamber;
Driving means for operating the diaphragm forward and backward;
One side is open, and the other side is a valve having a cylindrical valve body having a plurality of through holes formed therein, a check ball disposed to be flowable inside the valve body, and a valve seat disposed in the opening of the valve body As an assembly,
Arranged in the intake port so that the through-hole side faces the pump chamber, the intake valve assembly is disposed such that the valve seat is positioned at the center of the pump head rather than the high-pressure fluid return hole, and the outlet side is disposed so that the valve seat side faces the pump chamber. Discharge valve assembly disposed;
A discharge side connector coupled to the discharge port and having a fluid discharge hole that provides a discharge passage for fluid discharged from the discharge valve assembly;
It is coupled to the suction port, while providing an inlet passage for the suction fluid, and the suction side connector is formed with a fluid inlet for providing an outlet passage of the high pressure fluid when an abnormal high pressure occurs in the pump chamber in communication with the high pressure fluid return hole and ;
It is coupled to the other side of the pump head, a relief valve installation hole is formed on the outer surface, and an inner surface coupled to the pump head communicates with the pumping pressure transmission hole of the pump head and is opened toward the relief valve installation hole. A valve block having a valve opening/closing hole opened or closed by a valve body of a relief valve, and having a high pressure fluid return passage connecting the valve opening/closing hole and the high pressure fluid return hole of the pump head;
A relief valve coupled to the relief valve installation hole, and provided with a valve body that opens and closes the valve opening hole when the pressure inside the pump chamber is higher than a predetermined value by being pressed close to the valve opening hole by an elastic force of a spring; Equipped,
In the inner end portion of the suction-side connector, a step portion of a small diameter spaced a predetermined distance from the wall of the suction port is formed, wherein the step portion is provided with at least one distribution hole communicating with the fluid access hole. Diaphragm pump. 삭제delete 원통형으로 형성되어, 일측에는 제1 펌프실이 타측에는 제2 펌프실이 분할벽에 의해 분리 형성되어 있고, 상기 제1 펌프실과 제2 펌프실은 상기 분할벽의 상부에 형성된 토출로에 의해 연통되어 있으며, 상기 제1 펌프실의 하부에는 흡입구가 형성되어 있고, 상기 제2 펌프실의 상부에는 토출구가 형성되어 있으며, 하부가 개구되어 있는 원통형으로 형성되며 제2 펌프실의 내부에 배치되어 그 내부에 압축 공기가 수용되는 균압실을 형성하는 원통형 격판을 상기 제2 펌프실의 내부에 구비하고, 상기 원통형 격판의 개구부 하부에는 상기 흡입구와 연통되는 고압유체 복귀공이 형성되어 있는 펌프 헤드와;
상기 제1 펌프실의 개구부에 결합되는 다이어프램과;
상기 다이어프램을 전후진 작동시키기 위한 구동수단과;
일측은 개구되어 있으며, 타측에는 다수개의 관통공이 형성되어 있는 원통형의 밸브 바디와, 상기 밸브 바디 내부에 유동가능하게 배치되는 체크볼과, 상기 밸브 바디의 상기 개구부에 배치되는 밸브 시트를 구비하는 밸브 조립체로서,
상기 관통공쪽이 상기 제1 펌프실을 향하도록 상기 흡입구에 배치되되, 상기 밸브 시트가 상기 고압유체 복귀공보다 펌프 헤드 중심쪽에 위치하도록 배치되는 흡입밸브 조립체 및 상기 밸브 시트쪽이 상기 제2 펌프실을 향하도록 상기 토출구에 배치되는 토출밸브 조립체와;
상기 토출구에 결합되며, 상기 토출밸브 조립체로부터 토출되는 유체의 토출 통로를 제공하는 유체 토출공이 형성되어 있는 토출측 커넥터와;
상기 흡입구에 결합되며, 흡입 유체의 유입 통로를 제공하면서, 상기 고압유체 복귀공과 연통되어 상기 제2 펌프실 내부에 이상 고압이 발생하는 경우 고압유체의 유출 통로를 제공하는 유체 출입공이 형성되어 있는 흡입측 커넥터와;
상기 펌프 헤드의 상기 제2 펌프실의 개구부측에 결합되며, 외측면에는 릴리이프밸브 설치공이 형성되어 있고, 상기 펌프헤드에 결합되는 내측면에는 상기 펌프 헤드의 제2 펌프실과 연통되며 상기 릴리이프밸브 설치공 측으로 개방되어 있어서, 릴리이프 밸브의 밸브체에 의해 개방 또는 폐쇄되는 밸브 개폐공을 구비하며, 상기 밸브 개폐공과 상기 고압유체 복귀공을 연결하는 고압유체 복귀통로를 구비하는 밸브 블록과;
상기 릴리이프밸브 설치공에 결합 되며, 스프링의 탄성력에 의해 상기 밸브 개폐공에 가압 밀착되어 상기 펌프실 내부의 압력이 소정치 이상인 경우 상기 밸브 개폐공을 개방하는 밸브체를 구비하는 릴리이프 밸브;를 구비하고,
상기 흡입측 커넥터의 내측 단부 부분에, 상기 흡입구의 벽으로 부터 소정 간격 이격되는 작은 직경의 단차부가 형성되어 있으며, 상기 단차부에는 유체 출입공과 연통되는 유통공이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 펌프.It is formed in a cylindrical shape, and a first pump chamber is formed on one side and a second pump chamber is formed on the other side by a partition wall, and the first pump chamber and the second pump chamber are communicated by a discharge path formed on an upper portion of the partition wall, A suction port is formed at a lower portion of the first pump chamber, a discharge port is formed at an upper portion of the second pump chamber, and a lower end is formed in a cylindrical shape and is disposed inside the second pump chamber to receive compressed air therein. A pump head having a cylindrical diaphragm forming a pressure equalization chamber inside the second pump chamber, and a high pressure fluid return hole communicating with the suction port formed under the opening of the cylindrical diaphragm;
A diaphragm coupled to the opening of the first pump chamber;
Driving means for operating the diaphragm forward and backward;
One side is open, and the other side is a valve having a cylindrical valve body having a plurality of through holes formed therein, a check ball disposed to be flowable inside the valve body, and a valve seat disposed in the opening of the valve body As an assembly,
The inlet valve assembly and the valve seat side facing the second pump chamber are disposed at the suction port so that the through hole side faces the first pump chamber, and the valve seat is positioned at the center of the pump head rather than the high pressure fluid return hole. A discharge valve assembly disposed at the discharge port so as to;
A discharge side connector coupled to the discharge port and having a fluid discharge hole that provides a discharge passage for fluid discharged from the discharge valve assembly;
It is coupled to the suction port, while providing an inlet passage for the intake fluid, the suction side is formed with a fluid inlet for providing an outlet passage for the high pressure fluid when an abnormal high pressure occurs in the second pump chamber in communication with the high pressure fluid return hole. A connector;
It is coupled to the opening side of the second pump chamber of the pump head, a relief valve installation hole is formed on the outer surface, and the relief valve is in communication with the second pump chamber of the pump head on the inner surface coupled to the pump head. A valve block which is open toward the installation hole and has a valve opening hole which is opened or closed by a valve body of a relief valve, and a high pressure fluid return passage connecting the valve opening hole and the high pressure fluid return hole;
A relief valve coupled to the relief valve installation hole, and provided with a valve body that opens and closes the valve opening hole when the pressure inside the pump chamber is higher than a predetermined value by being pressed close to the valve opening hole by an elastic force of a spring; Equipped,
A diaphragm characterized in that a step portion of a small diameter spaced a predetermined distance from the wall of the suction port is formed at an inner end portion of the suction-side connector, and at least one distribution hole communicating with a fluid access hole is formed in the step portion. Pump. 삭제delete 제 3항에 있어서,
상기 고압유체 복귀공은, 상기 제1 및 제2 펌프실의 외측 하부에 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 펌프.According to claim 3,
The high pressure fluid return hole, the diaphragm pump, characterized in that formed in the outer bottom of the first and second pump chamber. 제 3항에 있어서,
상기 고압유체 복귀공은, 상기 제 2 펌프실의 상기 원통형 격판의 개구부 하부 공간에 돌출 형성되는 복귀 블록부에 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 펌프.According to claim 3,
The high pressure fluid return hole, the diaphragm pump, characterized in that formed in the return block portion protrudingly formed in the lower space of the opening of the cylindrical plate of the second pump chamber. 제 3항에 있어서,
상기 고압유체 복귀공은, 상기 펌프 헤드 분할벽의 상기 원통형 격판의 개구부 하부 공간에 대응되는 부분에 형성되며, 상기 원통형 격판의 개구부 하부 공간에는 상기 고압유체 복귀공과 상기 고압유체 복귀통로를 연결하는 복귀 파이프가 배치되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 펌프.According to claim 3,
The high pressure fluid return hole is formed in a portion corresponding to the lower space of the opening of the cylindrical plate of the pump head partition wall, and a return connecting the high pressure fluid return hole and the high pressure fluid return passage to the lower space of the opening of the cylindrical plate Diaphragm pump characterized in that the pipe is arranged.
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