KR102106443B1 - Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof - Google Patents

Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof Download PDF

Info

Publication number
KR102106443B1
KR102106443B1 KR1020130058854A KR20130058854A KR102106443B1 KR 102106443 B1 KR102106443 B1 KR 102106443B1 KR 1020130058854 A KR1020130058854 A KR 1020130058854A KR 20130058854 A KR20130058854 A KR 20130058854A KR 102106443 B1 KR102106443 B1 KR 102106443B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coating liquid
land portion
nozzle body
slit
nozzle
Prior art date
Application number
KR1020130058854A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140137812A (en
Inventor
김철홍
이준섭
전필구
황원형
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 삼성에스디아이 주식회사
Priority to KR1020130058854A priority Critical patent/KR102106443B1/en
Priority to MYPI2013701272A priority patent/MY176696A/en
Priority to CN201410053532.1A priority patent/CN104174547B/en
Publication of KR20140137812A publication Critical patent/KR20140137812A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102106443B1 publication Critical patent/KR102106443B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

슬릿 노즐 및 이를 이용한 슬릿 코팅 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 슬릿 노즐은 제1 노즐 몸체부; 및 도포액이 토출되는 슬릿 형상의 개구부가 형성되도록 이격부재를 사이에 두고 상기 제1 노즐 몸체부와 소정 간격 이격되도록 설치되는 제2 노즐 몸체부를 포함하되, 상기 제2 노즐 몸체부는 상기 제1 몸체부의 일 영역과 함께 상기 개구부를 형성하는 랜드부를 포함하며, 상기 도포액이 토출되는 방향의 상기 랜드부의 중앙부의 길이는 상기 랜드부의 양 끝단의 길이보다 길게 형성될 수 있다. 본 발명에 따르면, 슬릿 노즐 폭 방향으로의 토출액의 유속 불균일이 해소됨으로써, 기재의 코팅 불량을 최소화할 수 있는 효과가 있다.A slit nozzle and a slit coating device using the same are provided. The slit nozzle according to the present invention includes a first nozzle body portion; And a second nozzle body portion which is installed to be spaced apart from the first nozzle body portion by a predetermined distance so as to form a slit-shaped opening through which the coating liquid is discharged, wherein the second nozzle body portion is the first body. It includes a land portion forming the opening with a region of the portion, the length of the central portion of the land portion in the direction in which the coating liquid is discharged may be formed to be longer than the length of both ends of the land portion. According to the present invention, the uneven flow velocity of the discharge liquid in the slit nozzle width direction is eliminated, thereby minimizing the coating defect of the substrate.

Description

슬릿 노즐 및 이를 이용한 슬릿 코팅 장치{SLIT NOZZLE AND SLIT COATING APPARATUS USING THEREOF}Slit nozzle and slit coating device using the same {SLIT NOZZLE AND SLIT COATING APPARATUS USING THEREOF}

본 발명의 실시예들은 슬릿 노즐 및 이를 이용한 슬릿 코팅 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 슬릿 노즐에서 토출되는 도포액이 균일하게 토출될 수 있도록 하는 슬릿 노즐 및 이를 이용한 슬릿 코팅 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relates to a slit nozzle and a slit coating device using the same, and more particularly, to a slit nozzle and a slit coating device using the slit nozzle so that the coating liquid discharged from the slit nozzle can be uniformly discharged.

반도체 제조분야, 액정 표시장치 분야, 전지 분야 등 여러 산업에서 여러 형태 및 방식의 코팅장치가 존재한다. 그 중 생산속도를 높이는 동시에 품질면에서 우수한 코팅장치로서, 슬릿 형상의 노즐을 통하여 면 형태로 도포액을 균일하게 도포하는 슬릿 코팅 장치가 있다.Various types and methods of coating devices exist in various industries such as the semiconductor manufacturing field, the liquid crystal display device field, and the battery field. Among them, there is a slit coating device that uniformly applies a coating liquid in a surface form through a slit-shaped nozzle as an excellent coating device in terms of quality while increasing production speed.

슬릿 노즐 상에서 도포액의 투입은 슬릿 노즐의 중앙에서 이루어지게 된다. 이때 슬릿 노즐의 폭 길이에 따라 폭 방향에서의 도포액은 각 좌표에서마다 제각기 다른 운동을 하게 된다. 따라서, 슬릿 노즐 내에서의 도포액의 진행 방향이 무한히 길지 않다면 도포액의 토출압력은 폭 방향에 따라 불균일 하며, 이에 따라 토출액의 유속이 폭 방향을 따라 불균일 해지게 된다. 이러한 불균일은 기재 코팅의 공정 불량을 야기한다.The application of the coating liquid on the slit nozzle is made at the center of the slit nozzle. At this time, depending on the width length of the slit nozzle, the coating liquid in the width direction performs different movements at each coordinate. Therefore, if the traveling direction of the coating liquid in the slit nozzle is not infinitely long, the discharge pressure of the coating liquid is non-uniform along the width direction, and thus the flow rate of the discharge liquid becomes non-uniform along the width direction. This non-uniformity causes poor processing of the substrate coating.

또한, 상기와 같은 불균일은 슬릿 노즐의 폭의 길이가 길어지는 경우 더욱 심해지는 문제가 있다. 그러나, 코팅되는 기재의 생산량을 늘리기 위해서는 슬릿의 폭 방향의 길이가 증가되어야 하며, 따라서, 슬릿의 폭 방향의 길이 증가에 따라 발생하는 상기 토출액의 폭 방향의 유속 불균일 증가를 해소하는 것이 요구된다.In addition, the non-uniformity as described above has a problem that becomes more severe when the length of the width of the slit nozzle becomes longer. However, in order to increase the production amount of the coated substrate, the length in the width direction of the slit must be increased, and accordingly, it is required to eliminate the increase in the flow velocity non-uniformity in the width direction of the discharge liquid, which is caused by the increase in the length in the width direction of the slit. .

상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에서는 슬릿 노즐 폭 방향으로의 토출액의 유속 불균일을 해소할 수 있도록 하는 슬릿 노즐 및 이를 이용한 슬릿 코팅 장치를 제안하고자 한다.In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention is to propose a slit nozzle and a slit coating apparatus using the slit nozzle that can solve the flow rate non-uniformity of the discharge liquid in the slit nozzle width direction.

본 발명의 다른 목적들은 하기의 실시예를 통해 당업자에 의해 도출될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention may be derived by those skilled in the art through the following examples.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 제1 노즐 몸체부; 및 도포액이 토출되는 슬릿 형상의 개구부가 형성되도록 이격부재를 사이에 두고 상기 제1 노즐 몸체부와 소정 간격 이격되도록 설치되는 제2 노즐 몸체부를 포함하되, 상기 제2 노즐 몸체부는 상기 제1 몸체부의 일 영역과 함께 상기 개구부를 형성하는 랜드부를 포함하며, 상기 도포액이 토출되는 방향의 상기 랜드부의 중앙부의 길이는 상기 랜드부의 양 끝단의 길이보다 길게 형성되는 슬릿 노즐이 제공된다. According to a preferred embodiment of the present invention to achieve the above object, the first nozzle body portion; And a second nozzle body portion which is installed to be spaced apart from the first nozzle body portion by a predetermined distance so as to form a slit-shaped opening through which the coating liquid is discharged, wherein the second nozzle body portion is the first body. A slit nozzle is provided that includes a land portion forming the opening together with a region of the portion, and a length of the central portion of the land portion in a direction in which the coating liquid is discharged is longer than the lengths of both ends of the land portion.

상기 중앙부의 길이와 상기 양끝단의 길이의 차는 상기 도포액의 상기 랜드부 진입 전 폭 방향의 압력 차, 상기 도포액의 토출 평균 유속, 상기 개구부의 높이 및 상기 도포액의 절대점도 중 적어도 하나를 이용하여 결정되는 값일 수 있다.The difference between the length of the central portion and the length of the both ends is at least one of a pressure difference in the width direction before entering the land portion of the coating liquid, an average flow rate of discharge of the coating liquid, a height of the opening, and an absolute viscosity of the coating liquid. It may be a value determined using.

상기 토출 평균 유속은 상기 도포액의 도포두께, 상기 개구부의 높이 및 상기 도포액이 코팅되는 기재의 이동속도 중 적어도 하나를 이용하여 결정될 수 있다.The discharge average flow rate may be determined using at least one of a coating thickness of the coating liquid, a height of the opening, and a moving speed of the substrate on which the coating liquid is coated.

상기 랜드부의 폭 방향의 압력 차는 상기 도포액의 상기 랜드부의 중앙부 진입 전의 압력과, 상기 랜드부의 양끝단 진입전의 압력간의 차이를 의미할 수 있다.The pressure difference in the width direction of the land portion may mean a difference between the pressure before entering the central portion of the land portion of the coating liquid and the pressure before entering both ends of the land portion.

상기 랜드부의 폭 방향의 압력 차는 상기 랜드부의 기준 폭, 상기 기준 폭에 따른 폭 방향의 압력 차 및 상기 랜드부의 폭의 길이를 이용하여 결정될 수 있다.The pressure difference in the width direction of the land portion may be determined using a reference width of the land portion, a pressure difference in the width direction according to the reference width, and a length of the width of the land portion.

상기 제2 노즐 몸체부는 상기 도포액이 유입되는 유입구를 더 포함할 수 있다.The second nozzle body portion may further include an inlet through which the coating liquid flows.

상기 제2 노즐 몸체부는 상기 도포액을 일시적으로 저장하며, 상기 랜드부와 상기 유입구 사이에 형성되는 캐비티를 포함할 수 있다.The second nozzle body portion temporarily stores the coating liquid, and may include a cavity formed between the land portion and the inlet.

상기 도포액이 상기 캐비티로부터 유입되는 상기 랜드부의 중앙부는 상기 캐비티 방향으로 돌출되어 형성될 수 있다.상기 랜드부의 상기 캐비티로부터 상기 도포액이 유입되는 부분의 형상은 상기 제1 노즐 몸체부에서 바라보았을 때 삼각형, 사각형 또는 반타원 형상일 수 있다.The central portion of the land portion through which the coating liquid flows from the cavity may be formed to protrude in the cavity direction. When it may be triangular, square or semi-elliptical.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 기재를 이송시키는 롤러; 상기 롤러의 일측에 미리 설정된 간격만큼 이격되어 설치되는 슬릿 노즐; 및 상기 슬릿 노즐을 일정 높이에 위치하도록 지지하는 노즐 지지부를 포함하되, 상기 슬릿 노즐부는 제1 노즐 몸체부; 및 도포액이 토출되는 슬릿 형상의 개구부가 형성되도록 이격부재를 사이에 두고 상기 제1 노즐 몸체부와 소정 간격 이격되도록 설치되는 제2 노즐 몸체부를 포함하되, 상기 제2 노즐 몸체부는 상기 제1 몸체부의 일 영역과 함께 상기 개구부를 형성하는 랜드부를 포함하며, 상기 도포액이 토출되는 방향의 상기 랜드부의 중앙부의 길이는 상기 랜드부의 양끝단의 길이보다 길게 형성되는 슬릿 코팅 장치가 제공된다.According to another embodiment of the invention, the roller for transferring the substrate; A slit nozzle spaced apart at a predetermined interval on one side of the roller; And a nozzle support portion supporting the slit nozzle to be positioned at a predetermined height, wherein the slit nozzle portion includes a first nozzle body portion; And a second nozzle body portion which is installed to be spaced apart from the first nozzle body portion by a predetermined distance so as to form a slit-shaped opening through which the coating liquid is discharged, wherein the second nozzle body portion is the first body. A slit coating device is provided that includes a land portion forming the opening together with a region of the portion, and a length of the central portion of the land portion in the direction in which the coating liquid is discharged is longer than the length of both ends of the land portion.

본 발명에 따르면, 슬릿 노즐 폭 방향으로의 토출액의 유속 불균일이 해소됨으로써, 기재의 코팅 불량을 최소화할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the uneven flow velocity of the discharge liquid in the slit nozzle width direction is eliminated, thereby minimizing the coating defect of the substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 노즐의 사시도를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 노즐의 중앙 부분을 절개한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 노즐 몸체부의 평면도를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 노즐 몸체부의 평면도를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 노즐 몸체부의 평면도를 도시한 도면이다.1 is a view schematically illustrating a slit coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a perspective view of a slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of the center portion of the slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a second nozzle body part according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a plan view of a second nozzle body according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing a top view of a second nozzle body part according to an embodiment of the present invention.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 이하의 설명에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 전기적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 도면에서 본 발명과 관계없는 부분은 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will be clarified with reference to embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms. In the following description, when a part is connected to another part, it is only directly connected. It also includes the case where the other elements are electrically connected in between. In addition, in the drawings, parts not related to the present invention are omitted in order to clarify the description of the present invention, and like parts are given the same reference numerals throughout the specification.

이하, 첨부된 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a view schematically illustrating a slit coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 코팅 장치(100)는 롤러(110), 슬릿 노즐(120), 노즐 지지부(130) 및 도포액 공급부(140)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the slit coating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a roller 110, a slit nozzle 120, a nozzle support 130 and a coating solution supply unit 140.

롤러(110)는 도포액이 코팅되는 기재(102)를 일 방향으로 이동시킨다. 슬릿 노즐(120)은 롤러(110) 일측에 미리 설정된 간격만큼 이격되어 설치될 수 있다. 슬릿 노즐(120)은 기재(102)의 폭에 대응하는 길이를 가질 수 있으며, 슬릿 노즐(120)에 대해서는 도 2를 참조하여 보다 상세하게 후술 하기로 한다. 노즐 지지부(130)는 슬릿을 일정 높이에 위치하도록 지지하며, 도포액 공급부(140)는 슬릿 노즐(120)에 도포액을 공급한다.
The roller 110 moves the substrate 102 on which the coating liquid is coated in one direction. The slit nozzle 120 may be installed spaced apart at a predetermined interval on one side of the roller 110. The slit nozzle 120 may have a length corresponding to the width of the substrate 102, and the slit nozzle 120 will be described later in more detail with reference to FIG. 2. The nozzle support 130 supports the slit to be positioned at a certain height, and the coating liquid supply unit 140 supplies the coating liquid to the slit nozzle 120.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 노즐의 사시도를 도시한 도면이다.2 is a view showing a perspective view of a slit nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 슬릿 노즐(120)은 제1 노즐 몸체부(200), 도포액이 토출되는 슬릿 형상의 개구부(250)가 형성되도록 제1 노즐 몸체부(200)와 소정 간격 이격 되도록 설치되는 제2 노즐 몸체부(210)를 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 2, the slit nozzle 120 is installed so as to be spaced apart from the first nozzle body portion 200 so as to form a first nozzle body portion 200 and a slit-shaped opening 250 through which the coating liquid is discharged. It may include a second nozzle body portion 210.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 노즐의 중앙 부분을 절개한 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the center portion of the slit nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 제2 노즐 몸체부(210)는 이격부재(220)를 사이에 두고 제1 노즐 몸체부(200)와 소정 간격 이격된다.Referring to FIG. 3, the second nozzle body portion 210 is spaced apart from the first nozzle body portion 200 with a spacing member 220 therebetween.

제2 노즐 몸체부(210)는 제1 노즐 몸체부(200)의 일 영역과 함께 개구부(250)를 형성하는 평면의 랜드부(211)를 포함한다. 제2 노즐 몸체부(210)에는 도포액이 유입될 수 있는 유입구(213)가 형성된다. 랜드부(211)와 유입구(213) 사이에는 도포액이 임시 저장될 수 있는 저장 공간인 캐비티(215)가 형성된다.The second nozzle body part 210 includes a planar land part 211 forming an opening 250 together with a region of the first nozzle body part 200. The second nozzle body portion 210 is formed with an inlet 213 through which a coating liquid can be introduced. A cavity 215 is formed between the land portion 211 and the inlet 213, which is a storage space in which the coating liquid can be temporarily stored.

따라서, 유입구(213)를 통해 유입된 도포액은 캐비티(215)에 임시 저장되었다가 랜드부(211)를 따라 이동되어 개구부(250)를 통해 토출된다.
Accordingly, the coating liquid introduced through the inlet 213 is temporarily stored in the cavity 215 and then moved along the land portion 211 and discharged through the opening 250.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 노즐 몸체부의 평면도를 도시한 도면이다.4 is a plan view of a second nozzle body part according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 도포액은 제2 노즐 몸체부(210)의 중앙에 형성된 유입구(213)를 통해 투입되어 캐비티(215)안에서 퍼지므로 도포액의 랜드부(211) 진입전의 폭(A) 방향의 압력 차가 발생한다. 여기서, 랜드부(211) 진입전의 폭 방향의 압력 차는 도포액의 랜드부(211)의 중앙부의 진입 전의 압력(P1)과 랜드부(211)의 양끝단 진입전의 압력(P2)간의 차를 의미한다. 이때, 유입구(213)에서 랜드부(211) 중앙부까지의 거리가 랜드부(211) 양끝단까지의 거리보다 작으므로, 압력(P1)은 압력(P2) 보다 큰 값을 가지게 된다.4, the coating liquid is introduced through the inlet 213 formed in the center of the second nozzle body portion 210 and spreads in the cavity 215, so the width (A) before entering the land portion 211 of the coating liquid A pressure difference in the direction occurs. Here, the pressure difference in the width direction before entering the land portion 211 means a difference between the pressure P1 before entering the central portion of the land portion 211 of the coating liquid and the pressure P2 before entering the both ends of the land portion 211. do. At this time, since the distance from the inlet 213 to the center of the land portion 211 is smaller than the distance to both ends of the land portion 211, the pressure P1 has a larger value than the pressure P2.

이러한 폭 방향 압력 차에 의해 랜드부(211) 중앙부 진입 전의 도포액의 유속 및 랜드부(211) 양끝단의 진입 전의 도포액의 유속 차가 발생하며, 이로 인해 기재(102)의 코팅 불량이 발생하게 된다.
Due to the pressure difference in the width direction, a difference in flow velocity of the coating liquid before entering the central portion of the land portion 211 and a flow velocity of the coating liquid before entering the both ends of the land portion 211 are generated, thereby causing a coating failure of the substrate 102. do.

이러한 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 도포액이 토출되는 방향의 랜드부(211)의 중앙부의 길이(L1)는 랜드부(211)의 양 끝단의 길이(L2)보다 길게 형성된다. 즉, 도포액이 캐비티(215)에서 진입되는 랜드부(211)의 중앙부는 캐비티 방향으로 돌출되어 형성될 수 있다. 따라서, 랜드부(211)의 캐비티(215)로부터 도포액이 진입되는 부분의 형상은 제1 노즐 몸체부(200)에서 바라보았을 때 삼각형 형상일 수 있다.랜드부(211)의 중앙부의 길이(L1)가 양 끝단의 길이(L2)보다 길게 형성됨으로써, 랜드부(211) 진입전의 폭 방향의 압력 차로 인해 발생하는 폭 방향의 유속 불균일이 해소될 수 있다.In order to solve this problem, the length L1 of the central portion of the land portion 211 in the direction in which the coating liquid of the present invention is discharged is formed longer than the length L2 of both ends of the land portion 211. That is, the central portion of the land portion 211 through which the coating liquid enters the cavity 215 may be formed to protrude in the cavity direction. Accordingly, the shape of the portion where the coating liquid enters from the cavity 215 of the land portion 211 may be a triangular shape when viewed from the first nozzle body portion 200. The length of the central portion of the land portion 211 ( Since L1) is formed longer than the length L2 of both ends, the flow velocity unevenness in the width direction caused by the pressure difference in the width direction before entering the land portion 211 can be eliminated.

보다 상세하게, 랜드부(211)의 중앙부로 진입한 도포액은 랜드부(211)의 양끝단쪽으로 진입한 도포액 보다 토출될때까지 더 많이 진행하게 된다. 이로 인해, 중앙부로 진행하는 도포액의 압력 강하량이 양끝단부로 진행하는 도포액의 압력 강하량 보다 크게 되며, 이로 인해 랜드부(211) 진입전 폭 방향의 압력 차가 해소된다.
More specifically, the coating liquid entering the central portion of the land portion 211 proceeds more until discharged than the coating liquid entering both ends of the land portion 211. Due to this, the pressure drop amount of the coating liquid advancing to the central portion becomes larger than the pressure drop amount of the coating liquid advancing to both ends, and the pressure difference in the width direction before entering the land portion 211 is resolved.

이때, 폭 방향의 유속 불균일을 해소하기 위한 랜드부(211)의 중앙부의 길이(L1)과 랜드부(211)의 양끝단의 길이(L2)의 차는 도포액의 랜드부(211) 진입전 폭 방향의 압력 차, 도포액의 토출 평균 유속, 제1 노즐 몸체부(200)와 제2 노즐 몸체부(210)간의 이격된 간격인 개구부(250)의 높이(h) 및 도포액의 절대점도 중 적어도 하나를 이용하여 결정될 수 있으며, 하기의 수학식 1과 같이 표현될 수 있다.
At this time, the difference between the length (L1) of the center portion of the land portion 211 and the length (L2) of both ends of the land portion 211 for resolving the flow velocity non-uniformity in the width direction is the width before entering the land portion 211 of the coating liquid The pressure difference in the direction, the average flow rate of discharge of the coating liquid, the height (h) of the opening 250, which is the spaced apart distance between the first nozzle body portion 200 and the second nozzle body portion 210, and the absolute viscosity of the coating liquid It may be determined using at least one, and may be expressed as Equation 1 below.

[수학식 1][Equation 1]

Figure 112013045939637-pat00001
Figure 112013045939637-pat00001

여기서,

Figure 112013045939637-pat00002
은 랜드부(211) 중앙부의 길이(L1)와 양끝단의 길이(L2)의 차,
Figure 112013045939637-pat00003
는 도포액의 랜드부(211) 진입 전의 폭 방향의 압력 차,
Figure 112013045939637-pat00004
는 개구부의 높이(h)의 반(half) 값,
Figure 112013045939637-pat00005
는 도포액의 절대점도,
Figure 112013045939637-pat00006
는 도포액의 토출 평균 유속을 각각 의미한다.
here,
Figure 112013045939637-pat00002
The difference between the length (L1) of the central part of the land part (211) and the length (L2) of both ends,
Figure 112013045939637-pat00003
Is the pressure difference in the width direction before entering the land portion 211 of the coating liquid,
Figure 112013045939637-pat00004
Is the half value of the height (h) of the opening,
Figure 112013045939637-pat00005
Is the absolute viscosity of the coating solution,
Figure 112013045939637-pat00006
Means the discharge average flow rate of the coating liquid, respectively.

이때, 토출 평균 유속은 랜드부(211)에서 기재(102) 상으로 토출되는 도포액의 평균 유속을 의미하며, 기재(102) 상의 도포액의 도포두께, 개구부의 높이 및 기재(102)의 이동속도 중 적어도 하나를 이용하여 결정될 수 있으며, 하기의 수학식 2와 같이 표현될 수 있다.
At this time, the discharge average flow rate means the average flow rate of the coating liquid discharged from the land portion 211 onto the substrate 102, the coating thickness of the coating liquid on the substrate 102, the height of the opening and the movement of the substrate 102 It can be determined using at least one of the speed, it can be expressed as Equation 2 below.

[수학식 2][Equation 2]

Figure 112013045939637-pat00007
Figure 112013045939637-pat00007

여기서,

Figure 112013045939637-pat00008
는 도포액의 도포두께,
Figure 112013045939637-pat00009
는 기재(102)의 이동속도를 각각 의미한다. 본 발명에서는 기재(102)가 이동하는 슬릿 코팅장치를 예시하고 있어
Figure 112013045939637-pat00010
는 기재(102)의 이동속도로 정의되나, 고정된 기재(102) 상을 슬릿 노즐이 이동하며 코팅을 수행하는 코팅장치의 경우에는
Figure 112013045939637-pat00011
는 슬릿 노즐의 이동속도로 정의될 수 있다.
here,
Figure 112013045939637-pat00008
Is the coating thickness of the coating liquid,
Figure 112013045939637-pat00009
Denotes the moving speeds of the substrates 102, respectively. In the present invention, the slit coating device to which the substrate 102 moves is illustrated.
Figure 112013045939637-pat00010
Is defined as the moving speed of the substrate 102, but in the case of a coating device that performs a coating while the slit nozzle moves on the fixed substrate 102
Figure 112013045939637-pat00011
Can be defined as the moving speed of the slit nozzle.

도포액의 랜드부(211) 진입 전 폭 방향의 압력 차(

Figure 112013045939637-pat00012
)는 랜드부(211)의 중앙부의 진입전의 압력(P1)과 랜드부(211)의 양끝단 진입전의 압력(P2)의 측정을 통해 산출될 수 있다.Pressure difference in the width direction before entering the land portion 211 of the coating liquid (
Figure 112013045939637-pat00012
) May be calculated through measurement of the pressure P1 before entering the central portion of the land portion 211 and the pressure P2 before entering both ends of the land portion 211.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 폭 방향의 압력 차(

Figure 112013045939637-pat00013
)는 랜드부의 기준 폭, 상기 기준 폭에 따라 미리 산출된 폭 방향의 압력 차 및 실제 설계하려는 랜드부의 폭의 길이를 이용하여 결정될 수 있으며, 이는 하기의 수학식 3과 같이 표현될 수 있다.
According to another embodiment of the present invention, the pressure difference in the width direction (
Figure 112013045939637-pat00013
) May be determined using a reference width of the land portion, a pressure difference in a width direction calculated in advance according to the reference width, and a length of the width of the land portion to be actually designed, which can be expressed as Equation 3 below.

[수학식 3][Equation 3]

Figure 112013045939637-pat00014
Figure 112013045939637-pat00014

여기서,

Figure 112013045939637-pat00015
는 랜드부의 기준 폭,
Figure 112013045939637-pat00016
는 상기 기준 폭에 따른 폭 방향의 압력 차,
Figure 112013045939637-pat00017
는 실제 설계하려는 랜드부의 폭의 길이를 각각 의미한다.
here,
Figure 112013045939637-pat00015
Is the reference width of the land part,
Figure 112013045939637-pat00016
Is the pressure difference in the width direction according to the reference width,
Figure 112013045939637-pat00017
Means the length of each width of the land part to be actually designed.

일례로, 랜드부의 폭이 600mm인 슬릿 코팅 장치를 이미 사용하고 있고, 광폭 슬릿 코팅장치의 제조를 위해 랜드부의 폭을 1200mm로 증가시켜야 하는 경우, 랜드부의 폭이 600mm인 경우의 폭 방향의 압력 차를 이용하여 랜드부의 폭을 1200mm로 설계한 경우의 폭 방향의 압력 차를 예측할 수 있다. 따라서, 수학식 3을 이용하여 실제 슬릿 노즐을 제조하지 않고도 폭 방향의 압력 차를 예측할 수 있으며, 예측된 폭 방향의 압력 차 및 상기 수학식 1 및 2를 이용하여 폭 방향의 토출액의 유속 불균일이 해소될 수 있도록 하는 랜드부(211)의 중앙부의 길이와 양끝단의 길이의 차를 계산할 수 있다. For example, if a slit coating device having a land width of 600 mm is already used, and the width of the land portion needs to be increased to 1200 mm in order to manufacture a wide width slit coating device, the pressure difference in the width direction when the width of the land portion is 600 mm. Using it, it is possible to predict the pressure difference in the width direction when the width of the land portion is designed to be 1200 mm. Therefore, it is possible to predict the pressure difference in the width direction without manufacturing the actual slit nozzle using Equation 3, and the flow rate unevenness of the discharge liquid in the width direction using the predicted pressure difference in the width direction and Equations 1 and 2 above. The difference between the length of the central portion of the land portion 211 and the length of both ends can be calculated.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 노즐 몸체부의 평면도를 도시한 도면이다. 도 5 및 도 6에 도시된 제2 노즐 몸체부는 랜드부의 형상을 제외하고는 모두 동일한 구성으로서, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략한다.5 and 6 are views illustrating a plan view of a second nozzle body part according to an embodiment of the present invention. The second nozzle body parts shown in FIGS. 5 and 6 are all the same structure except for the shape of the land part, and a description of overlapping structures is omitted.

도 5를 참조하면, 랜드부(311)의 도포액이 진입되는 부분의 형상은 제1 노즐 몸체부에서 바라보았을 때 사각형 형상일 수 있다. 또한, 도 6을 참조하면, 랜드부(411)의 도포액이 진입되는 부분의 형상은 제1 노즐 몸체부에서 바라보았을 때 타원형 형상일 수 있다. 즉, 랜드부(211, 311, 411)의 형상은 랜드부 진입전 도포액의 폭 방향의 압력 차를 해소할 수 있도록 랜드부(211, 311, 411) 중앙부의 길이가 랜드부(211, 311, 411) 양끝단의 길이보다 길게 형성되며, 중앙부의 길이가 길게만 형성된다면 상기 도 4 내지 도 6외에도 다양한 형태의 랜드부의 형상이 구현될 수 있을 것이다.
Referring to FIG. 5, the shape of the portion where the coating liquid of the land portion 311 enters may be a square shape when viewed from the first nozzle body portion. In addition, referring to FIG. 6, the shape of the portion into which the coating liquid of the land portion 411 enters may be an oval shape when viewed from the first nozzle body portion. That is, the shape of the land portions 211, 311, 411 has a length of the central portion of the land portions 211, 311, 411 so that the pressure difference in the width direction of the coating liquid before entering the land portion can be resolved. , 411) It is formed longer than the length of both ends, and if the length of the central portion is formed only long, various shapes of the land portion may be implemented in addition to FIGS. 4 to 6.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.As described above, the present invention has been described by specific matters such as specific components and limited embodiments and drawings, but is provided to help a more comprehensive understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments , Anyone having ordinary knowledge in the field to which the present invention pertains can make various modifications and variations from these descriptions. Therefore, the spirit of the present invention is limited to the described embodiments, and should not be determined, and all claims that are equivalent to or equivalent to the claims, as well as the claims described below, will belong to the scope of the spirit of the present invention. .

100: 슬릿 코팅 장치 102: 기재
110: 롤러 120: 슬릿 노즐
130: 노즐 지지부 140: 도포액 공급부
200: 제1 노즐 몸체부 210: 제2 노즐 몸체부
211: 랜드부 213: 유입구
215: 캐비티 220: 이격부재100: slit coating device 102: substrate
110: roller 120: slit nozzle
130: nozzle support 140: coating liquid supply
200: first nozzle body portion 210: second nozzle body portion
211: land 213: inlet
215: cavity 220: spacer

Claims (14)

제1 노즐 몸체부; 및
도포액이 토출되는 슬릿 형상의 개구부가 형성되도록 이격부재를 사이에 두고 상기 제1 노즐 몸체부와 소정 간격 이격되도록 설치되는 제2 노즐 몸체부를 포함하되,
상기 제2 노즐 몸체부는 상기 제1 노즐 몸체부의 일 영역과 함께 상기 개구부를 형성하는 랜드부를 포함하며, 상기 도포액이 토출되는 방향의 상기 랜드부의 중앙부의 길이는 상기 랜드부의 양끝단의 길이보다 길게 형성되고,
상기 이격부재와 개구부는 제1, 제2 노즐 몸체부의 일단 및 타단 위치에 각각 형성되며,
상기 중앙부의 길이와 상기 양끝단의 길이의 차는, 상기 도포액의 상기 랜드부 진입 전 폭 방향의 압력 차, 상기 도포액의 토출 평균 유속, 상기 이격부재에 의해 정해지는 개구부의 높이 및 상기 도포액의 절대점도 중 적어도 하나를 이용하여 결정되는 값이고,
상기 제2 노즐 몸체부는 상기 도포액이 유입되는 유입구를 더 포함하며,
상기 제2 노즐 몸체부는 상기 도포액을 일시적으로 저장하며, 상기 랜드부와 상기 유입구 사이에 형성되는 캐비티로서, 이격부재의 단부와 랜드부의 단부 사이에서 랜드부와 수직한 방향을 따라 오목하게 인입된 단면을 갖고, 상기 오목하게 인입된 단면은, 이격부재의 단부로부터 랜드부의 중앙부 끝단 까지의 거리와 이격부재에 의해 정해지는 개구부의 높이가 형성하는 단면 보다 큰 면적을 갖는 캐비티를 포함하는 슬릿 노즐.A first nozzle body part; And
A second nozzle body portion is provided to be spaced apart from the first nozzle body portion with a spaced member therebetween so as to form a slit-shaped opening through which the coating liquid is discharged,
The second nozzle body portion includes a land portion forming the opening together with a region of the first nozzle body portion, and the length of the central portion of the land portion in the direction in which the coating liquid is discharged is longer than the length of both ends of the land portion. Is formed,
The separation member and the opening are respectively formed at the first and second end positions of the first and second nozzle bodies,
The difference between the length of the central portion and the length of the both ends is the pressure difference in the width direction before the land portion enters the coating liquid, the discharge average flow rate of the coating liquid, the height of the opening defined by the spacer, and the coating liquid Is determined using at least one of the absolute viscosity of
The second nozzle body portion further includes an inlet through which the coating liquid flows,
The second nozzle body portion temporarily stores the coating liquid, and is a cavity formed between the land portion and the inlet, and is recessed and concavely drawn in a direction perpendicular to the land portion between the end of the spacer member and the end of the land portion. A slit nozzle having a cross-section, wherein the concavely drawn cross-section includes a cavity having a larger area than the cross-section formed by the distance from the end of the spacer to the center end of the land and the height of the opening defined by the spacer. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 토출 평균 유속은 상기 도포액의 도포두께, 상기 개구부의 높이 및 상기 도포액이 코팅되는 기재의 이동속도 중 적어도 하나를 이용하여 결정되는 값인 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.According to claim 1,
The discharge average flow rate is a slit nozzle characterized in that it is determined using at least one of the coating thickness of the coating liquid, the height of the opening and the moving speed of the substrate on which the coating liquid is coated. 제1항에 있어서,
상기 랜드부의 폭 방향의 압력 차는 상기 도포액의 상기 랜드부의 중앙부 진입 전의 압력과, 상기 랜드부의 양끝단 진입전의 압력간의 차이를 의미하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.According to claim 1,
The pressure difference in the width direction of the land portion means a difference between a pressure before entering the central portion of the land portion of the coating liquid and a pressure before entering both ends of the land portion. 제1항에 있어서,
상기 랜드부의 폭 방향의 압력 차는 상기 랜드부의 기준 폭, 상기 기준 폭에 따른 폭 방향의 압력 차 및 상기 랜드부의 폭의 길이를 이용하여 결정되는 값인 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.According to claim 1,
The slit nozzle characterized in that the pressure difference in the width direction of the land portion is a value determined using a reference width of the land portion, a pressure difference in the width direction according to the reference width, and a length of the width of the land portion. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 캐비티로부터 상기 도포액이 유입되는 상기 랜드부의 중앙부는 상기 캐비티 방향으로 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.According to claim 1,
The slit nozzle, characterized in that the central portion of the land portion in which the coating liquid flows from the cavity is formed to protrude in the cavity direction. 제8항에 있어서,
상기 랜드부의 상기 캐비티로부터 상기 도포액이 유입되는 부분의 형상은 상기 제1 노즐 몸체부에서 바라보았을 때 삼각형, 사다리꼴 또는 반타원 형상인 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method of claim 8,
The slit nozzle is characterized in that the shape of the portion where the coating liquid flows from the cavity of the land portion is a triangular, trapezoidal or semi-elliptical shape when viewed from the first nozzle body. 기재를 이송시키는 롤러;
상기 롤러의 일측에 미리 설정된 간격만큼 이격되어 설치되는 슬릿 노즐; 및
상기 슬릿 노즐을 일정 높이에 위치하도록 지지하는 노즐 지지부를 포함하되,
상기 슬릿 노즐은
제1 노즐 몸체부; 및
도포액이 토출되는 슬릿 형상의 개구부가 형성되도록 이격부재를 사이에 두고 상기 제1 노즐 몸체부와 소정 간격 이격되도록 설치되는 제2 노즐 몸체부를 포함하되,
상기 제2 노즐 몸체부는 상기 제1 노즐 몸체부의 일 영역과 함께 상기 개구부를 형성하는 랜드부를 포함하며, 상기 도포액이 토출되는 방향의 상기 랜드부의 중앙부의 길이는 상기 랜드부의 양끝단의 길이보다 길게 형성되고,
상기 이격부재와 개구부는 제1, 제2 노즐 몸체부의 일단 및 타단 위치에 각각 형성되며,
상기 중앙부의 길이와 상기 양끝단의 길이의 차는, 상기 도포액의 상기 랜드부 진입 전 폭 방향의 압력 차, 상기 도포액의 토출 평균 유속, 상기 이격부재에 의해 정해지는 개구부의 높이 및 상기 도포액의 절대점도 중 적어도 하나를 이용하여 결정되는 값이고,
상기 제2 노즐 몸체부는 상기 도포액이 유입되는 유입구를 더 포함하며,
상기 제2 노즐 몸체부는 상기 도포액을 일시적으로 저장하며, 상기 랜드부와 상기 유입구 사이에 형성되는 캐비티로서, 이격부재의 단부와 랜드부의 단부 사이에서 랜드부와 수직한 방향을 따라 오목하게 인입된 단면을 갖고, 상기 오목하게 인입된 단면은, 이격부재의 단부로부터 랜드부의 중앙부 끝단 까지의 거리와 이격부재에 의해 정해지는 개구부의 높이가 형성하는 단면 보다 큰 면적을 갖는 캐비티를 포함하는 슬릿 코팅 장치.A roller for transferring the substrate;
A slit nozzle spaced apart at a predetermined interval on one side of the roller; And
It includes a nozzle support for supporting the slit nozzle to be positioned at a certain height,
The slit nozzle
A first nozzle body part; And
A second nozzle body portion is provided to be spaced apart from the first nozzle body portion with a spaced member therebetween so as to form a slit-shaped opening through which the coating liquid is discharged,
The second nozzle body portion includes a land portion forming the opening together with a region of the first nozzle body portion, and the length of the central portion of the land portion in the direction in which the coating liquid is discharged is longer than the length of both ends of the land portion. Is formed,
The spacer member and the opening are respectively formed at one end and the other end of the first and second nozzle body parts,
The difference between the length of the central portion and the length of the both ends is the pressure difference in the width direction before entering the land portion of the coating liquid, the discharge average flow rate of the coating liquid, the height of the opening defined by the spacer, and the coating liquid Is determined using at least one of the absolute viscosity of
The second nozzle body portion further includes an inlet through which the coating liquid flows,
The second nozzle body portion temporarily stores the coating liquid, and is a cavity formed between the land portion and the inlet, and is recessed and concavely drawn in a direction perpendicular to the land portion between the end of the spacer member and the end of the land portion. A slit coating device having a cross-section and the recessed cross-section includes a cavity having a larger area than the cross-section formed by the distance from the end of the spacer to the center end of the land and the height of the opening defined by the spacer. . 삭제delete 제10항에 있어서,
상기 토출 평균 유속은 상기 도포액의 도포두께, 상기 개구부의 높이 및 상기 도포액이 코팅되는 기재의 이동속도 중 적어도 하나를 이용하여 결정되는 값인 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅 장치.The method of claim 10,
The discharge average flow rate is a value determined using at least one of the coating thickness of the coating liquid, the height of the opening and the moving speed of the substrate on which the coating liquid is coated. 제10항에 있어서,
상기 랜드부의 폭 방향의 압력 차는 상기 도포액의 상기 랜드부의 중앙부 진입 전의 압력과, 상기 랜드부의 양끝단 진입전의 압력간의 차이를 의미하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅 장치.The method of claim 10,
The pressure difference in the width direction of the land portion means a difference between a pressure before entering the central portion of the land portion of the coating liquid and a pressure before entering both ends of the land portion. 제10항에 있어서,
상기 랜드부의 폭 방향의 압력 차는 상기 랜드부의 기준 폭, 상기 기준 폭에 따른 폭 방향의 압력 차 및 상기 랜드부의 폭의 길이를 이용하여 결정되는 값인 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅 장치.The method of claim 10,
The pressure difference in the width direction of the land portion is a value determined using a reference width of the land portion, a pressure difference in the width direction according to the reference width, and a length of the width of the land portion.
KR1020130058854A 2013-05-24 2013-05-24 Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof KR102106443B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130058854A KR102106443B1 (en) 2013-05-24 2013-05-24 Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof
MYPI2013701272A MY176696A (en) 2013-05-24 2013-07-19 Slit nozzle and slit coating apparatus using the same
CN201410053532.1A CN104174547B (en) 2013-05-24 2014-02-17 Gap nozzle and the slot coated equipment using the gap nozzle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130058854A KR102106443B1 (en) 2013-05-24 2013-05-24 Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140137812A KR20140137812A (en) 2014-12-03
KR102106443B1 true KR102106443B1 (en) 2020-05-04

Family

ID=51956054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130058854A KR102106443B1 (en) 2013-05-24 2013-05-24 Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102106443B1 (en)
CN (1) CN104174547B (en)
MY (1) MY176696A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11904264B2 (en) * 2019-03-18 2024-02-20 Ngk Insulators, Ltd. Method for producing honeycomb structure

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6697324B2 (en) * 2016-05-26 2020-05-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Nozzle cleaning device, coating device and nozzle cleaning method
KR20210061578A (en) 2019-11-20 2021-05-28 삼성에스디아이 주식회사 Rechargeable battery electrode manufacturing slot die
CN111701768B (en) * 2020-06-12 2021-06-15 东北大学 Adjustable slit jet nozzle

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004148228A (en) 2002-10-31 2004-05-27 Toppan Printing Co Ltd Method of designing die for coating device, and coating device
KR100867893B1 (en) 2007-08-10 2008-11-10 주식회사 디엠에스 Slit nozzle and coating apparatus having the same
CN102039255A (en) * 2011-01-28 2011-05-04 福建南平南孚电池有限公司 Coating device and method for forming pole piece of lithium battery

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4619139B2 (en) * 2005-01-19 2011-01-26 東京応化工業株式会社 Slit nozzle
KR101304418B1 (en) * 2006-02-03 2013-09-05 삼성디스플레이 주식회사 Slit coater for manufacturing display device and manufacturing method of display device using the same
JP5202838B2 (en) * 2006-12-12 2013-06-05 東京応化工業株式会社 Slit nozzle
KR101389181B1 (en) * 2007-03-29 2014-04-25 엘지디스플레이 주식회사 Slit coating apparatus and slit coating method
JP5831228B2 (en) * 2009-05-09 2015-12-09 コニカミノルタ株式会社 Application method
CN202238512U (en) * 2011-09-05 2012-05-30 东莞市群跃电子材料科技有限公司 Extrusion die head for coating light emitting diode (LED) soft light bar base material and solder mask protective film

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004148228A (en) 2002-10-31 2004-05-27 Toppan Printing Co Ltd Method of designing die for coating device, and coating device
KR100867893B1 (en) 2007-08-10 2008-11-10 주식회사 디엠에스 Slit nozzle and coating apparatus having the same
CN102039255A (en) * 2011-01-28 2011-05-04 福建南平南孚电池有限公司 Coating device and method for forming pole piece of lithium battery

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11904264B2 (en) * 2019-03-18 2024-02-20 Ngk Insulators, Ltd. Method for producing honeycomb structure

Also Published As

Publication number Publication date
CN104174547B (en) 2018-05-11
MY176696A (en) 2020-08-19
KR20140137812A (en) 2014-12-03
CN104174547A (en) 2014-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102106443B1 (en) Slit nozzle and slit coating apparatus using thereof
JP2016189007A5 (en)
JP6906194B2 (en) Battery plate manufacturing method and coating equipment
US20180304430A1 (en) Method and apparatus of symmetrically chamfering substrate
JP5672522B2 (en) Glass plate manufacturing method and apparatus
CN102811958A (en) Thin glass sheet manufacturing device and method
CN104007582B (en) The coating process of frame adhesive and substrate motherboard
CN105983511A (en) A coating device and a coating method
KR20170045217A (en) Device for manufacturing electrode plate for cell
KR102052061B1 (en) Slit nozzle shape determination apparatus and method therefor
JP2010005616A (en) Coating apparatus and coating method
CN105396755A (en) Adhesive dispensing machine head, adhesive dispensing machine and adhesive dispensing method
JP5899424B2 (en) Coating apparatus and coating method
KR20200039674A (en) Coating device and coating method
JP2020509401A (en) Packaging mask, packaging method and display panel.
JP2009011892A (en) Coating device
WO2017028446A1 (en) Crucible for oled evaporation source and manufacturing method therefor
JP6147521B2 (en) Levitation conveyance device, conveyance rail, and levitation conveyance method
CN103752450A (en) Spraying device
CN115245889A (en) Die head
US9434098B2 (en) Slot die for film manufacturing
CN105947580A (en) Belt conveyor
KR102204306B1 (en) Active slot-die coater
KR101429405B1 (en) slit die coating system for plat glass
CN202528546U (en) Spray device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right