KR102098867B1 - Imprinting apparatus and imprinting method - Google Patents

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Abstract

임프린팅 장치는 마스터 기판 및 폴리머 필름 사이에 압력을 인가하여, 상기 마스터 기판에 형성된 패턴을 상기 폴리머 필름에 전사시킨다. 상기 임프린팅 장치는 복수의 코일들을 포함하며, 상기 복수의 코일들에 의해 유도된 전자기장에 의해 상기 마스터 기판의 표면이 가열된다. 상기 복수의 코일들의 위치는 상기 마스터 기판에 대응하여 변경된다.The imprinting device applies a pressure between the master substrate and the polymer film to transfer the pattern formed on the master substrate to the polymer film. The imprinting device includes a plurality of coils, and the surface of the master substrate is heated by an electromagnetic field induced by the plurality of coils. The positions of the plurality of coils are changed corresponding to the master substrate.

Description

임프린팅 장치 및 임프린팅 방법{IMPRINTING APPARATUS AND IMPRINTING METHOD}Imprinting device and imprinting method {IMPRINTING APPARATUS AND IMPRINTING METHOD}

본 발명은 코일을 통한 유도가열을 이용하는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an imprinting apparatus and an imprinting method using induction heating through a coil.

나노 단위의 미세패턴을 임프린팅 하기 위해서는 패턴이 형성된 마스터 기판을 폴리머 필름 상에 압착하게 된다.In order to imprint the nano-pattern fine pattern, the master substrate on which the pattern is formed is pressed onto the polymer film.

필름 상에 인가되는 압력의 크기를 줄이기 위해서 코일에 형성된 자기장을 통해서 미세패턴을 유도가열하기도 한다.In order to reduce the amount of pressure applied on the film, the micropattern may be induction heated through a magnetic field formed in the coil.

이 때, 가열대상이 되는 마스터 기판의 크기가 변하는 경우, 코일이 마스터 기판을 균일하게 가열하지 못하는 문제점이 발생한다.At this time, when the size of the master substrate to be heated changes, a problem occurs that the coil does not uniformly heat the master substrate.

또한, 정밀도 높은 임프린팅 공정을 위해서는 가열된 코일의 온도가 균일해야 되는데, 코일이 배치된 위치에 따라 가열되는 온도가 서로 다른 문제점이 발생한다.In addition, for a high-precision imprinting process, the temperature of the heated coil must be uniform, but different temperatures occur depending on the position where the coil is disposed.

본 발명은 코일을 이용하여 미세 패턴이 형성된 마스터 기판이 균일한 온도를 갖도록 가열하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to heat a master substrate on which a fine pattern is formed using a coil to have a uniform temperature.

또한, 본 발명은 다양한 크기의 마스터 기판을 가열할 수 있는 임프린팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide an imprinting device capable of heating a master substrate of various sizes.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 지지면을 제공하는 제1 몸체부 및 상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하며 상하 방향으로 움직일 수 있는 제2 몸체부를 포함할 수 있다. The imprinting mechanism according to an embodiment of the present invention may include a first body portion that provides a support surface and a second body portion that provides a pressing surface that faces the support surface and is movable in the vertical direction.

상기 제1 몸체부는 복수의 코일코어들, 복수의 코일선들, 복수의 제1 지지봉들, 및 복수의 제2 지지봉들을 포함할 수 있다.The first body portion may include a plurality of coil cores, a plurality of coil wires, a plurality of first support rods, and a plurality of second support rods.

상기 복수의 코일코어들은 매트릭스 형태로 배열되고, 각각에 상기 상하 방향과 직교하는 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 상하 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의될 수 있다.The plurality of coil cores are arranged in a matrix form, and a first through hole formed in a first direction orthogonal to the vertical direction and a second through hole formed in a second direction orthogonal to the vertical direction and the first direction, respectively. Can be defined.

상기 복수의 코일선들은 각각이 상기 복수의 코일코어들을 둘러쌀 수 있다.Each of the plurality of coil wires may surround the plurality of coil cores.

상기 복수의 제1 지지봉들은 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과할 수 있다.Each of the plurality of first support rods may pass through first through holes of corresponding coil cores among the plurality of coil cores.

상기 복수의 제2 지지봉들은 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과할 수 있다.Each of the plurality of second support rods may pass through second through holes of corresponding coil cores among the plurality of coil cores.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하는 전원공급부를 더 포함할 수 있다.The imprinting mechanism according to an embodiment of the present invention may further include a power supply unit that provides AC power to the plurality of coil wires.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 코일코어들 중 적어도 일부는 상기 복수의 제1 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제1 방향으로 이동할 수 있다. 상기 코일코어들 중 적어도 적어도 일부는 상기 복수의 제2 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제2 방향으로 이동할 수 있다.In one embodiment of the present invention, at least some of the coil cores may move in the first direction along at least one of the plurality of first support rods. At least some of the coil cores may move in the second direction along at least one of the plurality of second support rods.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 제1 몸체부의 일측에 배치된 제1 상부 고정롤러, 상기 제1 몸체부의 타측에 배치된 제2 상부 고정롤러, 상기 제2 몸체부의 일측에 배치되고 상기 제1 상부 고정롤러와 마주하는 제1 하부 고정롤러, 및 상기 제2 몸체부의 타측에 배치되고 상기 제2 상부 고정롤러와 마주하는 제2 하부 고정롤러를 더 포함할 수 있다.An imprinting mechanism according to an embodiment of the present invention includes a first upper fixed roller disposed on one side of the first body portion, a second upper fixed roller disposed on the other side of the first body portion, and one side of the second body portion It may further include a first lower fixed roller facing the first upper fixed roller, and a second lower fixed roller disposed on the other side of the second body portion and facing the second upper fixed roller.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 제1 상부 고정롤러 및 상기 제1 하부 고정롤러에 인접하게 배치되는 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 상부 고정롤러 및 상기 제2 하부 고정롤러에 인접하게 배치되고 상기 제1 가이드 롤러와 같은 방향으로 회전하는 제2 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.An imprinting mechanism according to an embodiment of the present invention is adjacent to the first guide roller and the second upper fixed roller and the second lower fixed roller disposed adjacent to the first upper fixed roller and the first lower fixed roller. And a second guide roller rotating in the same direction as the first guide roller.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 상기 복수의 코일코어들 중 적어도 어느 하나의 일측에 배치되고 상기 복수의 제1 지지봉들 중 대응하는 제1 지지봉에 결합되는 상기 제1 고정부재 및 상기 복수의 코일코어들 중 상기 적어도 어느 하나의 타측에 배치되고 상기 복수의 제2 지지봉들 중 대응하는 제2 지지봉에 결합되는 제2 고정부재를 더 포함할 수 있다.An imprinting mechanism according to an embodiment of the present invention is disposed on at least one side of the plurality of coil cores and the first fixing member coupled to a corresponding first support rod among the plurality of first support rods and the A second fixing member disposed on the other side of the at least one of the plurality of coil cores and coupled to a corresponding second support rod among the plurality of second support rods may be further included.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 기구는 각각이 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 각각에 수용되는 복수의 가이드 부재들을 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 가이드 부재들 각각의 내부에는 제1 나사패턴이 형성될 수 있다.The imprinting mechanism according to an embodiment of the present invention may further include a plurality of guide members, each of which is accommodated in each of the first through hole and the second through hole. A first screw pattern may be formed inside each of the plurality of guide members.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 복수의 제1 지지봉들 및 상기 복수의 제2 지지봉들 각각에 상기 제1 나사패턴에 대응하는 제2 나사패턴이 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, a second screw pattern corresponding to the first screw pattern may be formed on each of the plurality of first support bars and the plurality of second support bars.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 대응하는 매트릭스 형태로 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며, 상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the second body portion further includes a plurality of temperature sensors arranged in a matrix form corresponding to the plurality of coil cores, and the power supply unit senses each of the plurality of temperature sensors. AC power having different sizes may be provided to the plurality of coil wires according to temperature.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 각각에 대응하도록 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며, 상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first body portion further includes a plurality of temperature sensors arranged to correspond to each of the plurality of coil cores, and the power supply unit is the temperature sensed by each of the plurality of temperature sensors Accordingly, AC power having different sizes may be provided to the plurality of coil wires.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 몸체부는 냉각수를 가이드 하는 파이프를 포함할 수 있다.In one embodiment of the invention, the second body portion may include a pipe for guiding the coolant.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 방법은 제1 몸체부가 제공하는 지지면에 적어도 일부분이 금속코팅층에 의해 커버되는 미세패턴이 형성된 마스터 기판을 배치하는 단계; 상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하는 제2 몸체부 및 상기 마스터 기판 사이에 폴리머 필름을 배치하는 단계; 상기 제1 몸체부는 각각에 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들, 각각이 상기 복수의 코일코어들을 에워싸는 복수의 코일선들, 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들, 및 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과하는 복수의 제2 지지봉들을 포함을 포함하며, 상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하여 상기 마스터 기판의 상기 금속코팅층을 가열하는 단계; 상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부가 상기 마스터 기판 및 상기 폴리머 필름에 압력을 인가하는 단계; 및 상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부의 거리가 멀어지는 단계를 포함할 수 있다.An imprinting method according to an embodiment of the present invention comprises the steps of disposing a master substrate on which a micropattern, at least part of which is covered by a metal coating layer, is formed on a support surface provided by the first body portion; Disposing a polymer film between the second body portion and the master substrate, which provides a pressing surface facing the support surface; The first body portion includes a plurality of coil cores each having a first through hole formed in a first direction and a second through hole formed in a second direction orthogonal to the first direction, each of the plurality of coil cores A plurality of coil wires enclosed, a plurality of first support rods, each passing through first through holes of corresponding coil cores of the plurality of coil cores, and each of the coil coils of the plurality of coil cores, 2 comprising a plurality of second support rods passing through the through-holes, and providing AC power to the plurality of coil wires to heat the metal coating layer of the master substrate; Applying pressure to the first body portion and the second body portion to the master substrate and the polymer film; And distances between the first body part and the second body part are increased.

본 발명의 일 실시예에 따르면 작은 크기의 압력만으로도 임프린팅 공정을 진행하여, 불량률을 줄이고 공정속도를 증가시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an imprinting process is performed with only a small pressure, thereby reducing a defect rate and increasing a process speed.

또한, 본 발명에 따르면 마스터 기판을 균일하게 가열하여, 공정의 정확성을 향상시킬 수 있다.In addition, according to the present invention, the master substrate can be uniformly heated to improve the accuracy of the process.

또한, 다양한 크기의 마스터 기판에 유연하게 대응할 수 있어서, 공정의 편의성을 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to flexibly respond to a master substrate of various sizes, thereby improving the convenience of the process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 도시한 것이다.
도 2는 도 1에서 코일코어들, 코일선들, 제1 지지봉들, 제2 지지봉들, 및 고정부재들을 예시적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어를 예시적으로 도시한 것이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스터 기판을 예시적으로 도시한 것이다.
도 4b는 도 4a의 I-I`을 따라 절단한 단면을 예시적으로 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 몸체부를 예시적으로 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 지지봉을 예시적으로 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 방법에 따른 순서도를 예시적으로 도시한 것이다.1 shows an imprinting device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 exemplarily shows coil cores, coil wires, first support rods, second support rods, and fixing members in FIG. 1.
3 exemplarily shows a coil core according to an embodiment of the present invention.
4A exemplarily shows a master substrate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4B exemplarily shows a cross-section taken along line II ′ in FIG.
6 exemplarily shows a second body part according to an embodiment of the present invention.
7 exemplarily shows a first support rod according to an embodiment of the present invention.
8 exemplarily shows a flowchart according to an imprinting method according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도면들에 있어서, 구성요소들의 비율 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.In the drawings, the proportions and dimensions of the components are exaggerated for effective description of technical content. “And / or” includes all combinations of one or more that the associated configurations may define.

"포함하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The term "comprises" is intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof described in the specification, one or more other features or numbers, steps, actions, or configurations. It should be understood that the existence or addition possibilities of elements, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(IPA)를 도시한 것이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어들(CC), 코일선들(CL), 제1 지지봉들(SB1), 제2 지지봉들(SB2), 및 고정부재들(FX)을 예시적으로 도시한 것이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어(CC)를 도시한 것이다.1 shows an imprinting device (IPA) according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 illustrates coil cores CC, coil wires CL, first support rods SB1, second support rods SB2, and fixing members FX according to an embodiment of the present invention. As shown. 3 shows a coil core (CC) according to an embodiment of the present invention.

임프린팅 장치(IPA)는 제1 몸체부(BD1), 제2 몸체부(BD2), 마스터 기판(MS), 고정 롤러들(RL1-H, RL2-H, RL1-L, RL2-L), 가이드 롤러들(GR1, GR2), 및 전원공급부(PW)를 포함할 수 있다.The imprinting device (IPA) includes a first body portion (BD1), a second body portion (BD2), a master substrate (MS), fixing rollers (RL1-H, RL2-H, RL1-L, RL2-L), Guide rollers (GR1, GR2), and may include a power supply (PW).

제1 몸체부(BD1)는 제1 하우징(HS1), 복수의 코일코어들(CC), 복수의 코일선들(CL), 복수의 제1 지지봉들(SB1), 복수의 제2 지지봉들(SB2), 및 고정부재들(FX)을 포함할 수 있다.The first body portion BD1 includes a first housing HS1, a plurality of coil cores CC, a plurality of coil wires CL, a plurality of first support rods SB1, and a plurality of second support rods SB2. ), And fixing members FX.

본 발명의 일 실시예에서, 제1 하우징(HS1)은 코일코어들(CC), 코일선들(CL), 지지봉들(SB1, SB2), 및 고정부재들(FX)을 수용할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first housing HS1 may accommodate coil cores CC, coil wires CL, support rods SB1, SB2, and fixing members FX.

제1 하우징(HS1)은 마스터 기판(MS)을 지지하기 위한 지지면을 제공할 수 있다.The first housing HS1 may provide a support surface for supporting the master substrate MS.

도 1 및 도 2를 참조하면, 코일코어들(CC)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 본 명세서에서는 5x5로 배열된 코일코어들(CC)을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않는다. 코일코어들(CC)의 개수 및 배열되는 형태는 필요에 따라 변경될 수 있다.1 and 2, the coil cores CC may be arranged in a matrix form. In this specification, the coil cores CC arranged in 5x5 are exemplarily illustrated, but are not limited thereto. The number and arrangement of coil cores CC may be changed as necessary.

본 발명의 일 실시예에서, 코일코어들(CC) 각각은 원기둥 형태를 가질 수 있다. 코일코어들(CC) 각각은 금속물질을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, each of the coil cores (CC) may have a cylindrical shape. Each of the coil cores CC may include a metal material.

코일선들(CL) 각각은 대응하는 코일코어(CC)를 둘러쌀 수 있다. 즉, 코일선들(CL) 각각은 대응하는 코일코어(CC)의 외곽면을 따라서 감겨 있다. Each of the coil wires CL may surround the corresponding coil core CC. That is, each of the coil wires CL is wound along the outer surface of the corresponding coil core CC.

코일선들(CL)에 교류전원이 제공되는 경우, 코일선들(CL) 각각의 내부 및 코일코어(CC)에는 유도자기장이 형성될 수 있다.When AC power is provided to the coil lines CL, an induction magnetic field may be formed in each of the coil lines CL and in the coil core CC.

도 3을 참조하면, 코일코어들(CC) 각각에는 제1 방향(DR1)으로 형성된 제1 관통홀(TH1) 및 제2 방향(DR2)으로 형성된 제2 관통홀(TH2)이 정의될 수 있다. 이 때, 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)은 서로 직교할 수 있다.Referring to FIG. 3, a first through hole TH1 formed in a first direction DR1 and a second through hole TH2 formed in a second direction DR2 may be defined in each of the coil cores CC. . In this case, the first direction DR1 and the second direction DR2 may be orthogonal to each other.

제1 지지봉들(SB1) 각각은 대응하는 코일코어들(CC)의 제1 관통홀들(TH1)에 삽입될 수 있다.Each of the first support rods SB1 may be inserted into the first through holes TH1 of the corresponding coil cores CC.

제2 지지봉들(SB2) 각각은 대응하는 코일코어들(CC)의 제2 관통홀들(TH2)에 삽입될 수 있다.Each of the second support rods SB2 may be inserted into the second through holes TH2 of the corresponding coil cores CC.

코일코어들(CC) 중 적어도 일부는 제1 지지봉들(SB1) 또는 제2 지지봉들(SB2)에 의해 가이드 되어, 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다.At least some of the coil cores CC are guided by the first support rods SB1 or the second support rods SB2, and may be moved in the first direction DR1 or the second direction DR2.

이에 따라, 코일코어들(CC)이 배치되는 전체적인 면적이 변경될 수 있다. 또한, 코일코어들(CC) 중 일부는 서로 가깝게 배치되고, 다른 일부는 서로 멀게 배치될 수 있다.Accordingly, the entire area in which the coil cores CC are disposed may be changed. In addition, some of the coil cores CC may be disposed close to each other, and the other portions may be disposed away from each other.

고정부재들(FX) 각각은 코일코어들(CC)에 인접하게 배치되고, 지지봉들(SB1, SB2) 중 대응하는 지지봉에 결합될 수 있다.Each of the fixing members FX is disposed adjacent to the coil cores CC and may be coupled to a corresponding support rod among the support rods SB1 and SB2.

고정부재들(FX)은 코일코어들(CC)이 지지봉들(SB1, SB2)이 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 움직이는 것을 방지할 수 있다. 예를들어, 고정부재(FX)는 암나사 형태를 가져서, 고정부재(FX)를 회전시켜서 코일코어들(CC)을 이동시키거나 고정시킬 수 있다. 이 때, 지지봉들(SB1, SB2)의 적어도 일부분에는 고정부재(FX)의 암나사 패턴에 대응하는 수나사 패턴이 형성될 수 있다.The fixing members FX may prevent the coil cores CC from moving in the support directions SB1 and SB2 in the first direction DR1 or the second direction DR2. For example, the fixing member FX may have a female screw shape, and move or fix the coil cores CC by rotating the fixing member FX. At this time, a male thread pattern corresponding to the female thread pattern of the fixing member FX may be formed on at least a portion of the support rods SB1 and SB2.

제2 몸체부(BD2)는 제2 하우징(HS2) 및 파이프(PP)를 포함할 수 있다.The second body part BD2 may include a second housing HS2 and a pipe PP.

제2 몸체부(BD2)는 제1 몸체부(BD1) 하부에 배치될 수 있다. 제2 몸체부(BD2)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 직교하는 제3 방향(DR3, 또는 상하"?*)으로 이동하여, 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치되는 물체에 압력을 인가할 수 있다. 이에따라, 제2 하우징(HS2)은 다른 물체에 압력을 인가하는 압력면을 제공할 수 있다.The second body part BD2 may be disposed under the first body part BD1. The second body part BD2 moves in a third direction (DR3, or up and down "? *) Orthogonal to the first direction DR1 and the second direction DR2, so that the first body part BD1 and the second It is possible to apply pressure to an object disposed between the body parts BD2.Therefore, the second housing HS2 can provide a pressure surface for applying pressure to another object.

파이프(PP)는 제2 몸체부(BD2)의 내부를 관통하는 형태로 실장될 수 있다. 파이프(PP)는 냉각매질(예를들어, 냉각수)이 통과하는 통로를 제공할 수 있다. 임프린팅 장치(IPA) 중 적어도 일부분이 가열되는 경우, 파이프(PP)에 흐르는 냉각수를 이용하여, 임프린팅 장치(IPA)의 온도를 낮출 수 있다. The pipe PP may be mounted in a form penetrating the inside of the second body portion BD2. The pipe PP may provide a passage through which a cooling medium (eg, cooling water) passes. When at least a portion of the imprinting device (IPA) is heated, the temperature of the imprinting device (IPA) can be lowered by using cooling water flowing in the pipe (PP).

도 1에서는 제1 몸체부(BD1)가 제2 몸체부(BD2)보다 상부에 배치되는 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않는다. 본 발명의 다른 실시예에서는 제2 몸체부(BD2)가 제1 몸체부(BD1)보다 상부에 배치될 수 있다. In FIG. 1, the first body portion BD1 is exemplarily disposed above the second body portion BD2, but is not limited thereto. In another embodiment of the present invention, the second body portion BD2 may be disposed above the first body portion BD1.

제1 상부 고정롤러(RL1-H)는 제1 몸체부(BD1)의 일측에 인접하게 배치되고, 제2 상부 고정롤러(RL2-H)는 제1 몸체부(BD1)의 타측에 인접하게 배치될 수 있다. The first upper fixed roller RL1-H is disposed adjacent to one side of the first body portion BD1, and the second upper fixed roller RL2-H is disposed adjacent to the other side of the first body portion BD1. Can be.

제1 상부 고정롤러(RL1-H)와 제2 상부 고정롤러(RL2-H)는 가이드바(GB)에 의해 제1 몸체부(BD1)에 고정될 수 있다. 단, 이에 제한되는 것은 아니며, 제1 상부 고정롤러(RL1-H)와 제2 상부 고정롤러(RL2-H)는 가이드바(GB)가 아닌 별도의 구성요소에 의해 제1 몸체부(BD1)에 인접하게 고정될 수 있다.The first upper fixed roller RL1-H and the second upper fixed roller RL2-H may be fixed to the first body portion BD1 by a guide bar GB. However, the present invention is not limited thereto, and the first upper fixed roller RL1-H and the second upper fixed roller RL2-H are first body parts BD1 by separate components other than the guide bar GB. Can be fixed adjacent to.

제1 하부 고정롤러(RL1-L)는 제2 몸체부(BD2)의 일측에 인접하게 배치되고, 제2 하부 고정롤러(RL2-L)는 제2 몸체부(BD2)의 타측에 인접하게 배치될 수 있다.The first lower fixed roller RL1-L is disposed adjacent to one side of the second body portion BD2, and the second lower fixed roller RL2-L is disposed adjacent to the other side of the second body portion BD2. Can be.

제1 상부 고정롤러(RL1-H)와 제1 하부 고정롤러(RL1-L) 사이에 인가되는 압력 및 제2 상부 고정롤러(RL2-H)와 제2 하부 고정롤러(RL2-L) 사이에 인가되는 압력에 의해 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치되는 폴리머 필름(PF)이 고정될 수 있다. 즉, 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2)에 의해 폴리머 필름(PF)과 마스터 기판(MS)이 압착될 때, 고정롤러들(RL1-H, RL1-L, RL2-H, RL2-L)에 의해서 폴리머 필름(PF)이 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 움직이는 것이 방지될 수 있다.Pressure applied between the first upper fixed roller RL1-H and the first lower fixed roller RL1-L and between the second upper fixed roller RL2-H and the second lower fixed roller RL2-L. The polymer film PF disposed between the first body portion BD1 and the second body portion BD2 may be fixed by the applied pressure. That is, when the polymer film PF and the master substrate MS are compressed by the first body portion BD1 and the second body portion BD2, the fixed rollers RL1-H, RL1-L, RL2-H , RL2-L) may prevent the polymer film PF from moving in the first direction DR1 or the second direction DR2.

제1 가이드 롤러(GR1)는 제1 상부 고정롤러(RL1-H) 및 제1 하부 고정롤러(RL1-L)에 인접하게 배치될 수 있다. 제2 가이드 롤러(GR2)는 제2 상부 고정롤러(RL2-H) 및 제2 하부 고정롤러(RL2-L)에 인접하게 배치될 수 있다. The first guide roller GR1 may be disposed adjacent to the first upper fixed roller RL1-H and the first lower fixed roller RL1-L. The second guide roller GR2 may be disposed adjacent to the second upper fixed roller RL2-H and the second lower fixed roller RL2-L.

제1 가이드 롤러(GR1) 및 제2 가이드 롤러(GR2)는 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치되는 폴리머 필름(PF)을 가이드 할 수 있다. 제1 가이드 롤러(GR1)와 제2 가이드 롤러(GR2)는 서로 같은 방향으로 회전될 수 있다.The first guide roller GR1 and the second guide roller GR2 may guide the polymer film PF disposed between the first body portion BD1 and the second body portion BD2. The first guide roller GR1 and the second guide roller GR2 may be rotated in the same direction.

전원공급부(PW)는 외부로부터 제공받은 전력을 코일선들(CL)에 교류전원 형태로 제공할 수 있다. 전원공급부(PW)는 코일선들(CL)에 전체적으로 동일한 교류전원을 제공하거나, 필요에 따라 코일선들(CL)에 서로 다른 크기의 교류전원을 제공할 수 있다. 도 1에서는 전원공급부(PW)와 코일선들(CL)을 연결하는 배선들은 편의상 도시되지 않았다. The power supply unit PW may provide power supplied from the outside in the form of AC power to the coil wires CL. The power supply unit PW may provide the same AC power as a whole to the coil wires CL, or may provide AC power of different sizes to the coil wires CL as necessary. In FIG. 1, wires connecting the power supply unit PW and the coil wires CL are not shown for convenience.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스터 기판(MS)을 예시적으로 도시한 것이다. 도 4b는 도 4a의 I-I`을 따라 절단한 단면을 예시적으로 도시한 것이다.Figure 4a is an exemplary view of a master substrate (MS) according to an embodiment of the present invention. FIG. 4B exemplarily shows a cross-section taken along line I-I` of FIG. 4A.

마스터 기판(MS)은 베이스부(BS), 패턴부(PT), 및 금속코팅층(CT)을 포함할 수 있다.The master substrate MS may include a base portion BS, a pattern portion PT, and a metal coating layer CT.

베이스부(BS)의 일면에 임프린팅의 대상의 형상을 결정하는 패턴부(PT)가 배치될 수 있다. 패턴부(PT)를 구성하는 배선들 각각의 두께는 수 나노미터 내지 수 마이크로 미터 일 수 있다.A pattern portion PT for determining the shape of the object for imprinting may be disposed on one surface of the base portion BS. The thickness of each of the wires constituting the pattern portion PT may be several nanometers to several micrometers.

금속코팅층(CT)은 베이스부(BS)의 일면상에 배치되며, 패턴부(PT)를 커버할 수 있다. The metal coating layer CT is disposed on one surface of the base portion BS and may cover the pattern portion PT.

금속코팅층(CT)은 코일선들(CL) 및 코일코어들(CC)에 유도된 전자기장에 의해 가열된다. 가열된 금속코팅층(CT)을 이용하면 적은 압력을 이용하더라도 폴리머 필름(PF)에 임프린팅 공정이 수월하게 진행될 수 있다.The metal coating layer CT is heated by an electromagnetic field induced in the coil wires CL and the coil cores CC. If the heated metal coating layer CT is used, the imprinting process can be easily performed on the polymer film PF even if a small pressure is used.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 코일코어(CC), 가이드 부재들(GS1, GS2), 및 지지봉들(SB1-1, SB2-1)을 도시한 것이다.Figure 5 shows the coil core (CC), guide members (GS1, GS2), and support rods (SB1-1, SB2-1) according to an embodiment of the present invention.

제1 가이드 부재(GS1)는 제1 관통홀(TH1)에 삽입되는 구성요소이고, 제2 가이드 부재(GS2)는 제2 관통홀(TH2)에 삽입되는 구성요소이다. The first guide member GS1 is a component that is inserted into the first through hole TH1, and the second guide member GS2 is a component that is inserted into the second through hole TH2.

제1 가이드 부재(GS1) 및 제2 가이드 부재(GS2) 각각의 내부에는 제1 나사패턴(SCR1)이 형성될 수 있다.A first screw pattern SCR1 may be formed inside each of the first guide member GS1 and the second guide member GS2.

제1 지지봉(SB1-1)은 제1 가이드 부재(GS1)에 삽입되고, 제2 지지봉(SB2-1)은 제2 가이드 부재(GS2)에 삽입될 수 있다. The first support rod SB1-1 may be inserted into the first guide member GS1, and the second support rod SB2-1 may be inserted into the second guide member GS2.

제1 지지봉(SB1-1) 및 제2 지지봉(SB2-1) 각각의 외면에는 제1 나사패턴(SCR1)에 대응하는 제2 나사패턴(SCR2)이 형성될 수 있다.A second screw pattern SCR2 corresponding to the first screw pattern SCR1 may be formed on outer surfaces of each of the first support bar SB1-1 and the second support bar SB2-1.

본 발명의 일 실시예에서, 제1 가이드 부재(GS1) 또는 제1 지지봉(SB1-1)을 회전하여 제1 방향(DR1) 상에서 코일코어들(CC) 간의 이격거리를 조절할 수 있다. 또한, 제2 가이드 부재(GS2) 또는 제2 지지봉(SB2-1)을 회전하여 제2 방향(DR2) 상에서 코일코어들(CC) 간의 이격거리를 조절할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the separation distance between the coil cores CC in the first direction DR1 may be adjusted by rotating the first guide member GS1 or the first support rod SB1-1. Further, the separation distance between the coil cores CC in the second direction DR2 may be adjusted by rotating the second guide member GS2 or the second support rod SB2-1.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 몸체부(BD2-1)를 예시적으로 도시한 것이다.6 exemplarily shows a second body part BD2-1 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에서, 제2 몸체부(BD2-1)는 복수의 온도센서들(TS)을 더 포함할 수 있다. 온도센서들(TS)은 코일코어들(CC)의 배열에 대응하여 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the second body portion BD2-1 may further include a plurality of temperature sensors TS. The temperature sensors TS may be arranged in a matrix form corresponding to the arrangement of the coil cores CC.

온도센서들(TS)은 임프린팅 공정 중에 코일코어들(CC) 또는 코일선들(CL)의 온도를 각각 측정할 수 있다. The temperature sensors TS may respectively measure the temperature of the coil cores CC or coil wires CL during the imprinting process.

임프린팅 장치(IPA)는 측정된 온도에 따라, 전원공급부(PW)가 코일선들(CL)에 제공하는 전원의 크기를 조절할 수 있다. 예를들어, 온도가 낮다고 센싱된 부분에 대응하는 코일선(CL)에는 큰 세기를 갖는 교류전원을 제공하고, 온도가 높다고 센싱된 부분에 대응하는 코일선(CL)에는 작은 세기를 갖는 교류전원을 제공할 수 있다. 이와 같은 조절을 통해서, 임프린팅 장치(IPA)는 마스터 기판(MS)의 금속코팅층(CT)을 균일하게 가열할 수 있다.The imprinting device IPA may adjust the size of the power provided by the power supply unit PW to the coil wires CL according to the measured temperature. For example, an AC power having a large intensity is provided to a coil line CL corresponding to a portion sensed as having a low temperature, and an AC power having a small intensity to a coil line CL corresponding to a portion sensed as having a high temperature. Can provide Through such adjustment, the imprinting apparatus IPA can uniformly heat the metal coating layer CT of the master substrate MS.

본 발명의 다른 실시예에서는, 온도센서들(TS)이 제1 몸체부(BD1)에 실장될 수 있다. 이 경우, 온도센서들(TS) 각각은 코일코어들(CC) 중 대응하는 코일코어(CC)에 인접하게 배치될 수 있다.In another embodiment of the present invention, the temperature sensors TS may be mounted on the first body portion BD1. In this case, each of the temperature sensors TS may be disposed adjacent to the corresponding coil core CC among the coil cores CC.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 지지봉(SB1-2)을 예시적으로 도시한 것이다.7 exemplarily shows a first support rod (SB1-2) according to an embodiment of the present invention.

제1 지지봉(SB1-2)의 표면에는 눈금(MK) 표시될 수 있다. 사용자는 제1 지지봉(SB1-2)의 표면에 형성된 눈금(MK)을 통해 코일코어들(CC) 간의 이격거리를 측정할 수 있다. A scale MK may be displayed on the surface of the first support rod SB1-2. The user can measure the separation distance between the coil cores CC through the scale MK formed on the surface of the first support rod SB1-2.

도 7에서는 제1 지지봉(SB1-2)만 예시적으로 도시하였으나, 제2 지지봉에도 눈금(MK)이 표시될 수 있다.In FIG. 7, only the first support rod SB1-2 is exemplarily illustrated, but the scale MK may also be displayed on the second support rod.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 방법(S10)에 따른 순서도를 예시적으로 도시한 것이다.8 exemplarily shows a flowchart according to an imprinting method S10 according to an embodiment of the present invention.

임프린팅 방법(S10)은 마스터 기판 배치 단계(S100), 코일위치 조절 단계(S200), 폴리머 필름 배치단계(S300), 유도가열단계(S400), 압력인가 단계(S500), 및 분리단계(S600)를 포함할 수 있다.The imprinting method (S10) includes a master substrate placement step (S100), a coil position adjustment step (S200), a polymer film placement step (S300), an induction heating step (S400), a pressure application step (S500), and a separation step (S600). ).

마스터 기판 배치 단계(S100)에서 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2) 사이에 마스터 기판(MS)이 배치될 수 있다. The master substrate MS may be disposed between the first body portion BD1 and the second body portion BD2 in the master substrate placement step S100.

코일위치 조절 단계(S200)에서 마스터 기판(MS)의 크기에 대응하여, 코일코어들(CC) 중 적어도 일부의 위치가 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 변경될 수 있다.Corresponding to the size of the master substrate MS in the coil position adjustment step S200, the position of at least a portion of the coil cores CC may be changed to the first direction DR1 or the second direction DR2.

폴리머 필름 배치단계(S300)에서 폴리머 필름(PF)은 마스터 기판(MS) 및 제2 몸체부(BD2) 사이에 배치될 수 있다.In the polymer film arrangement step S300, the polymer film PF may be disposed between the master substrate MS and the second body part BD2.

유도가열단계(S400)에서 코일선들(CL) 및 코일코어들(CC)에 형성된 유도 자기장에 의해 마스터 기판(MS)의 금속코팅층(CT)이 가열될 수 있다.In the induction heating step S400, the metal coating layer CT of the master substrate MS may be heated by an induction magnetic field formed in the coil wires CL and the coil cores CC.

압력인가 단계(S500)에서 제1 몸체부(BD1) 및 제2 몸체부(BD2) 중 적어도 어느 하나가 이동하고, 이에 따라, 폴리머 필름(PF) 및 마스터 기판(MS)은 제1 몸체부(BD1) 및 제2 몸체부(BD2)으로부터 압력을 인가받게 된다. 이 과정에서, 마스터 기판(MS)에 형성된 패턴부(PT)의 모양에 대응한 형상이 폴리머 필름(PF)에 전사된다.At least one of the first body part BD1 and the second body part BD2 moves in the pressure application step S500, and accordingly, the polymer film PF and the master substrate MS are provided with the first body part ( The pressure is applied from the BD1) and the second body portion BD2. In this process, a shape corresponding to the shape of the pattern portion PT formed on the master substrate MS is transferred to the polymer film PF.

분리단계(S600)에서 제1 몸체부(BD1)와 제2 몸체부(BD2)는 서로 멀어지고, 이에 따라, 패턴이 전사된 폴리머 필름(PF)이 마스터 기판(MS)으로부터 분리될 수 있다.In the separation step S600, the first body portion BD1 and the second body portion BD2 are separated from each other, and accordingly, the patterned polymer film PF may be separated from the master substrate MS.

본 발명의 일 실시예에서, 임프린팅 방법(S10)은 마스터 기판 배치 단계(S100)와 유도가열단계(S400) 사이에 실시되는 사전 가열단계(미도시)를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the imprinting method S10 may further include a preheating step (not shown) performed between the master substrate placement step S100 and the induction heating step S400.

사전 가열단계에서는 코일선들(CL) 및 코일코어들(CC)에 형성된 유도 자기장을 이용하여 마스터 기판(MS)의 금속코팅층(CT)을 가열하여, 금속코팅층(CT)을 어닐링 할 수 있다. 사전 가열단계에서 가열된 금속코팅층(CT)의 온도는 유도가열단계(S400)에서 가열된 금속코팅층(CT)의 온도보다 높을 수 있다.In the pre-heating step, the metal coating layer CT of the master substrate MS may be heated by using an induction magnetic field formed in the coil wires CL and the coil cores CC to anneal the metal coating layer CT. The temperature of the metal coating layer CT heated in the pre-heating step may be higher than the temperature of the metal coating layer CT heated in the induction heating step S400.

실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although described with reference to examples, those skilled in the art can understand that various modifications and changes can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. There will be. Also, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, and all technical spirit within the scope of the following claims and equivalents thereof should be interpreted as being included in the scope of the present invention. .

IPA: 임프린팅 장치 BD1: 제1 몸체부
BD2: 제2 몸체부 CC: 코일코어
CL: 코일선 SB1: 제1 지지봉
SB2: 제2 지지봉 PW: 전원공급부
PP: 파이프 RL1-H: 제1 상부 고정롤러
RL2-H: 제2 상부 고정롤러 RL1-L: 제1 하부 고정롤러
RL2-L: 제2 하부 고정롤러 GR1: 제1 가이드 롤러
GR2: 제2 가이드 롤러IPA: Imprinting device BD1: First body part
BD2: Second body part CC: Coil core
CL: Coil wire SB1: First support rod
SB2: Second support rod PW: Power supply
PP: Pipe RL1-H: First upper fixed roller
RL2-H: Second upper fixed roller RL1-L: First lower fixed roller
RL2-L: Second lower fixed roller GR1: First guide roller
GR2: Second guide roller

Claims (15)

지지면을 제공하는 제1 몸체부; 및
상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하며, 상하 방향으로 움직일 수 있는 제2 몸체부를 포함하고,
상기 제1 몸체부는,
매트릭스 형태로 배열되고, 각각에 상기 상하 방향과 직교하는 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 상하 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들;
각각이 상기 복수의 코일코어들을 둘러싸는 복수의 코일선들;
각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들; 및
각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과하는 복수의 제2 지지봉들을 포함하는 임프린팅 기구.A first body portion providing a support surface; And
It provides a pressing surface facing the support surface, and includes a second body portion that can move in the vertical direction,
The first body portion,
A plurality of coils arranged in a matrix form, each of which is defined by a first through hole formed in a first direction perpendicular to the vertical direction and a second through hole formed in a second direction perpendicular to the vertical direction and the first direction Cores;
A plurality of coil wires each surrounding the plurality of coil cores;
A plurality of first support rods, each passing through first through holes of corresponding coil cores among the plurality of coil cores; And
An imprinting mechanism, each of which includes a plurality of second support rods passing through second through holes of corresponding coil cores among the plurality of coil cores. 제1 항에 있어서
상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하는 전원공급부를 더 포함하는 임프린팅 기구.The method of claim 1
An imprinting mechanism further comprising a power supply for providing AC power to the plurality of coil wires. 제2 항에 있어서,
상기 코일코어들 중 적어도 일부는 상기 복수의 제1 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제1 방향으로 이동할 수 있고,
상기 코일코어들 중 적어도 일부는 상기 복수의 제2 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라서, 상기 제2 방향으로 이동할 수 있는 임프린팅 기구.According to claim 2,
At least some of the coil cores may move in the first direction along at least one of the plurality of first support rods,
At least some of the coil cores along at least one of the plurality of second support rods, an imprinting mechanism that can move in the second direction. 제3 항에 있어서,
상기 제1 몸체부의 일측에 배치된 제1 상부 고정롤러;
상기 제1 몸체부의 타측에 배치된 제2 상부 고정롤러;
상기 제2 몸체부의 일측에 배치되고, 상기 제1 상부 고정롤러와 마주하는 제1 하부 고정롤러; 및
상기 제2 몸체부의 타측에 배치되고, 상기 제2 상부 고정롤러와 마주하는 제2 하부 고정롤러를 더 포함하는 임프린팅 기구.According to claim 3,
A first upper fixed roller disposed on one side of the first body portion;
A second upper fixed roller disposed on the other side of the first body portion;
A first lower fixed roller disposed on one side of the second body portion and facing the first upper fixed roller; And
An imprinting mechanism disposed on the other side of the second body portion, and further comprising a second lower fixed roller facing the second upper fixed roller. 제4 항에 있어서,
상기 제1 상부 고정롤러 및 상기 제1 하부 고정롤러에 인접하게 배치되는 제1 가이드 롤러; 및
상기 제2 상부 고정롤러 및 상기 제2 하부 고정롤러에 인접하게 배치되고, 상기 제1 가이드 롤러와 같은 방향으로 회전하는 제2 가이드 롤러를 더 포함하는 임프린팅 기구.According to claim 4,
A first guide roller disposed adjacent to the first upper fixed roller and the first lower fixed roller; And
An imprinting mechanism further comprising a second guide roller disposed adjacent to the second upper fixed roller and the second lower fixed roller and rotating in the same direction as the first guide roller. 제3 항에 있어서,
상기 복수의 코일코어들 중 적어도 어느 하나의 일측에 배치되고, 상기 복수의 제1 지지봉들 중 대응하는 제1 지지봉에 결합되는 제1 고정부재; 및
상기 복수의 코일코어들 중 상기 적어도 어느 하나의 타측에 배치되고, 상기 복수의 제2 지지봉들 중 대응하는 제2 지지봉에 결합되는 제2 고정부재를 더 포함하는 임프린팅 기구.According to claim 3,
A first fixing member disposed on one side of at least one of the plurality of coil cores and coupled to a corresponding first support rod among the plurality of first support rods; And
An imprinting mechanism further comprising a second fixing member disposed on the other side of the at least one of the plurality of coil cores and coupled to a corresponding second support rod among the plurality of second support rods. 제3 항에 있어서,
각각이 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 각각에 수용되는 복수의 가이드 부재들을 더 포함하고,
상기 복수의 가이드 부재들 각각의 내부에는 제1 나사패턴이 형성된 임프린팅 기구.According to claim 3,
Each of which further includes a plurality of guide members accommodated in each of the first through hole and the second through hole,
An imprinting mechanism having a first screw pattern formed inside each of the plurality of guide members. 제7 항에 있어서,
상기 복수의 제1 지지봉들 및 상기 복수의 제2 지지봉들 각각에 상기 제1 나사패턴에 대응하는 제2 나사패턴이 형성된 임프린팅 기구.The method of claim 7,
An imprinting mechanism in which a second screw pattern corresponding to the first screw pattern is formed on each of the plurality of first support bars and the plurality of second support bars. 제3 항에 있어서,
상기 제2 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 대응하는 매트릭스 형태로 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며,
상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공하는 임프린팅 기구.According to claim 3,
The second body portion further includes a plurality of temperature sensors arranged in a matrix form corresponding to the plurality of coil cores,
The power supply unit is an imprinting mechanism that provides AC power having different sizes to the plurality of coil wires according to the temperature sensed by each of the plurality of temperature sensors. 제3 항에 있어서,
상기 제1 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 각각에 대응하도록 배열되는 복수의 온도센서들을 더 포함하며,
상기 전원공급부는 상기 복수의 온도센서들 각각이 센싱한 온도에 따라 상기 복수의 코일선들에 서로 다른 크기를 갖는 교류전원을 제공하는 임프린팅 기구.According to claim 3,
The first body portion further includes a plurality of temperature sensors arranged to correspond to each of the plurality of coil cores,
The power supply unit is an imprinting mechanism that provides AC power having different sizes to the plurality of coil wires according to the temperature sensed by each of the plurality of temperature sensors. 제3 항에 있어서,
상기 제2 몸체부는 냉각수를 가이드 하는 파이프를 포함하는 임프린팅 기구.According to claim 3,
The second body portion imprinting mechanism comprising a pipe for guiding the coolant. 제1 몸체부가 제공하는 지지면에 적어도 일부분이 금속코팅층에 의해 커버되는 미세패턴이 형성된 마스터 기판을 배치하는 단계;
상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하는 제2 몸체부 및 상기 마스터 기판 사이에 폴리머 필름을 배치하는 단계;
상기 제1 몸체부는 각각에 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들, 각각이 상기 복수의 코일코어들을 에워싸는 복수의 코일선들, 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들, 및 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제2 관통홀들을 통과하는 복수의 제2 지지봉들을 포함하며, 상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하여 상기 마스터 기판의 상기 금속코팅층을 가열하는 단계;
상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부가 상기 마스터 기판 및 상기 폴리머 필름에 압력을 인가하는 단계; 및
상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부의 거리가 멀어지는 단계를 포함하는 임프린팅 방법.Disposing a master substrate on which a micropattern at least partially covered by a metal coating layer is formed on a support surface provided by the first body portion;
Disposing a polymer film between the second body portion and the master substrate, which provides a pressing surface facing the support surface;
The first body portion includes a plurality of coil cores each having a first through hole formed in a first direction and a second through hole formed in a second direction orthogonal to the first direction, each of the plurality of coil cores Enclosing a plurality of coil wires, each of a plurality of first support rods passing through the first through-holes of the corresponding coil cores of the plurality of coil cores, and each of the plurality of coil cores of the corresponding coil cores 2 comprising a plurality of second support rods passing through the through-holes, and providing AC power to the plurality of coil wires to heat the metal coating layer of the master substrate;
Applying pressure to the first body portion and the second body portion to the master substrate and the polymer film; And
Imprinting method comprising the step of increasing the distance between the first body portion and the second body portion. 제12 항에 있어서,
상기 코일코어들 중 적어도 일부분이 상기 복수의 제1 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라 상기 제1 방향으로 이동되거나, 상기 코일코어들 중 적어도 일부분이 상기 복수의 제2 지지봉들 중 적어도 어느 하나를 따라 상기 제2 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하는 임프린팅 방법.The method of claim 12,
At least a portion of the coil cores is moved in the first direction along at least one of the plurality of first support rods, or at least a portion of the coil cores is along at least one of the plurality of second support rods The imprinting method further comprising the step of moving in the second direction. 제13 항에 있어서,
상기 제2 몸체부는 상기 복수의 코일코어들에 대응하게 배치된 복수의 온도센서들을 포함하고, 상기 복수의 온도센서들을 이용하여 상기 복수의 코일코어들 각각의 온도를 센싱하며,
상기 복수의 코일코어들 중 센싱된 온도가 제1 도인 코일코어에는 제1 교류전원을 제공하고,
상기 복수의 코일코어들 중 센싱된 온도가 상기 제1 도보다 낮은 제2 도인 코일코어에는 상기 제1 교류전원보다 큰 제2 교류전원을 제공하는 임프린팅 방법 The method of claim 13,
The second body portion includes a plurality of temperature sensors disposed corresponding to the plurality of coil cores, and senses the temperature of each of the plurality of coil cores using the plurality of temperature sensors,
A first AC power supply is provided to the coil core having a sensed temperature of the plurality of coil cores having a first degree,
Imprinting method of providing a second AC power larger than the first AC power to the coil core having a second temperature lower than the first degree among the plurality of coil cores 제13 항에 있어서,
상기 복수의 코일선들에 교류전원을 제공하여 상기 마스터 기판의 상기 금속코팅층을 어닐링하는 단계를 더 포함하는 임프린팅 방법.The method of claim 13,
And providing an AC power to the plurality of coil wires to anneal the metal coating layer of the master substrate.
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