KR102088258B1 - Apparatus for measuring flow rate - Google Patents

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KR102088258B1
KR102088258B1 KR1020180131648A KR20180131648A KR102088258B1 KR 102088258 B1 KR102088258 B1 KR 102088258B1 KR 1020180131648 A KR1020180131648 A KR 1020180131648A KR 20180131648 A KR20180131648 A KR 20180131648A KR 102088258 B1 KR102088258 B1 KR 102088258B1
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민병광
전석환
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엠케이프리시젼 주식회사
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Abstract

Provided in the present invention is a flow rate measuring device which comprises: a first body unit including a first introduction port and a first discharge port, a first sub flow path connecting the first introduction port to the first discharge port, and a first tube array arranged in the first sub flow path; a second body unit including a second introduction port and a second discharge port, a second sub flow path connecting the second introduction port to the second discharge port, and a second tube array arranged in the second sub flow path; and a sensor unit which includes a third introduction port and a third discharge port, and a sensor flow path connecting the third introduction port to the third discharge port, and measures the flow rate of fluid passing through the sensor flow path. Here, the first body unit further comprises a first flow path connecting an inlet side of the first sub flow path to the second introduction port. The second body unit further comprises a second flow path connecting an inlet side of the second sub flow path to the third introduction port. Therefore, the range of a flow rate to be measured can be controlled.

Description

유량 측정 장치{APPARATUS FOR MEASURING FLOW RATE}Flow measuring device {APPARATUS FOR MEASURING FLOW RATE}

본 발명은 유량 측정 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 질량유량계(Mass Flow Meter 및 Mass Flow Controller) 및 에 관한 것이다. The present invention relates to a flow measurement device, and more particularly to a mass flow meter (Mass Flow Meter and Mass Flow Controller) and.

연료 또는 기체의 유량을 측정하기 위한 장치로서, 질량유량계(Mass Flow Meter, MFM)는 연료 또는 기체가 공급되는 메인 유동채널과 메인 유동채널에서 분기된 바이패스 채널이 형성되어 있고, 바이패스 채널 내부에 유량을 측정하기 위한 센서가 배치되고, 바이패스 채널의 입구단과 출구단은 메인 유동채널과 연결되어 있다.As a device for measuring the flow rate of fuel or gas, the mass flow meter (MFM) has a main flow channel through which fuel or gas is supplied, and a bypass channel branched from the main flow channel, and inside the bypass channel A sensor for measuring the flow rate is arranged, and the inlet end and the outlet end of the bypass channel are connected to the main flow channel.

이는 센서가 계측할 수 있는 질량유량은 물리적으로 고정되어 있기 때문에 센서가 계측하지 못하는 유량측정을 위함이다.This is to measure the flow rate that the sensor cannot measure because the mass flow rate that the sensor can measure is physically fixed.

즉, 유체의 유량을 측정하는 센서는 측정가능 한 범위의 유량이 정해져 있어, 많은 유량이 센서 측으로 유입되면 유량을 측정하기 어려운 문제가 있었다.That is, the sensor for measuring the flow rate of the fluid has a problem that the flow rate in a measurable range is determined, and if a large amount of flow rate flows into the sensor, it is difficult to measure the flow rate.

따라서, 상기와 같은 문제점을 극복할 수 있는 유랑측정장치가 요구되는 실정이다.Therefore, there is a need for a flow measurement device capable of overcoming the above problems.

본 발명은 센서 유로로 유입되는 유체의 측정하고자 하는 유량 범위를 조절 할 수 있는 유량 측정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a flow rate measuring device capable of adjusting a flow range to be measured of a fluid flowing into a sensor flow path.

상기 목적을 달성하기 위하여, 제1 유입포트 및 제1 배출포트, 제1 유입포트와 제1 배출포트를 연결하는 제1 서브유로, 제1 서브 유로 내에 배치된 제1 튜브 어레이를 포함하는 제1 바디부; 제2 유입포트 및 제2 배출포트, 제2 유입포트와 제2 배출포트를 연결하는 제2 서브유로, 제2 서브 유로 내에 배치된 제2 튜브 어레이를 포함하는 제2 바디부; 및 제3 유입포트 및 제3 배출포트, 제3 유입포트와 제3 배출포트를 연결하는 센서 유로를 포함하며, 센서 유로를 통과하는 유체의 유량을 측정하기 위한 센서부; 를 포함하며, 제1 바디부는, 제1 서브유로의 유입 측과 제2 유입포트를 연결하는 제1 유로를 갖고, 제2 바디부는, 제2 서브유로의 유입 측과 제3 유입포트를 연결하는 제2 유로를 갖는, 유량 측정 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the first inlet port and the first outlet port, the first inlet port connecting the first inlet port and the first outlet port, the first including the first tube array disposed in the first sub-channel Body part; A second body part including a second inlet port and a second outlet port, a second sub-channel connecting the second inlet port and the second outlet port, and a second tube array disposed in the second sub-channel; And a sensor flow path connecting the third inlet port and the third outlet port, the third inlet port and the third outlet port, and a sensor unit for measuring the flow rate of the fluid passing through the sensor flow path; The first body portion includes a first flow path connecting the inflow side of the first sub-channel and the second inflow port, and the second body portion connects the inflow side of the second sub-channel and the third inflow port. A flow rate measuring device having a second flow path is provided.

또한, 제2 바디부는, 센서 유로를 통과하는 유체가 제2 서브유로로 합류하도록, 제2 서브유로의 배출 측과 제3 배출포트를 연결하는 제3 유로를 갖는 것을 포함한다.In addition, the second body portion includes having a third flow path connecting the discharge side of the second sub flow path and the third discharge port so that the fluid passing through the sensor flow path joins the second sub flow path.

또한, 제1 바디부는, 제2 서브유로를 통과하는 유체가 제1 서브유로로 합류하도록 제1 서브유로의 배출 측과 제2 배출포트를 연결하는 제4 유로를 갖는 것을 포함한다.In addition, the first body portion includes having a fourth flow path connecting the discharge side of the first sub flow path and the second discharge port so that the fluid passing through the second sub flow path joins the first sub flow path.

또한, 제1 튜브 어레이는, 제1 서브유로의 유입 측과 배출 측 사이에 배치되고, 제1 튜브 어레이는 복수 개의 제1 튜브를 포함하며, 제1 튜브의 개수에 따라 제1 유로로 유입되는 유체의 유량이 조절되도록 마련되는 것을 포함한다.In addition, the first tube array is disposed between the inlet side and the outlet side of the first sub-channel, and the first tube array includes a plurality of first tubes and flows into the first flow path according to the number of first tubes. And provided to control the flow rate of the fluid.

또한, 제2 튜브 어레이는, 복수 개의 제2 튜브를 포함하며, 제2 튜브의 개수에 따라 제2 유로로 유입되는 유체의 유량이 조절되도록 마련되는 것을 포함한다.In addition, the second tube array includes a plurality of second tubes, and is provided to adjust the flow rate of the fluid flowing into the second flow path according to the number of second tubes.

또한, 유량 측정 장치는, 제1 배출포트로 배출되는 유체의 유량을 조절하도록 마련된 유량 제어부를 추가로 포함한다.In addition, the flow measurement device further includes a flow control unit provided to adjust the flow rate of the fluid discharged to the first discharge port.

또한, 유량 제어부는, 제4 유입포트 및 제4 배출포트와, 제4 배출포트로 배출되는 유체의 유량을 조절하도록 마련된 밸브를 포함하고, 제1 바디에는, 제1 서브유로의 배출 측과 제4 유입포트를 연결하는 제5 유로 및 제1 배출포트와 제4 배출포트를 연결하는 제6 유로가 마련되는 것을 포함한다.In addition, the flow control unit includes a fourth inlet port and a fourth discharge port, and a valve provided to adjust the flow rate of the fluid discharged to the fourth discharge port, and the first body includes: a discharge side and a first sub-flow channel 4 includes a fifth flow path connecting the inflow port and a sixth flow path connecting the first discharge port and the fourth discharge port.

본 발명에 따르면, 제1 및 제2 튜브 어레이를 이용하여 센서 유로로 유입되는 유체의 측정하고자 하는 유량 범위를 효과적으로 조절할 수 있다.According to the present invention, it is possible to effectively control the flow rate range to be measured of the fluid flowing into the sensor flow path using the first and second tube arrays.

즉, 센서 유로로 유입되는 유량을 조절할 수 있는 효과가 있다.That is, it is possible to control the flow rate flowing into the sensor flow path.

또한, 본 발명에 따르면, 제1 및 제2 서브유로 내에 배치된 제1 및 제2 튜브 어레이는 층류 소자의 역할을 함으로써, 센서 유로 측으로 보다 안정적으로 유체를 분기시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, according to the present invention, the first and second tube arrays disposed in the first and second sub-paths act as a laminar flow element, so that the fluid can be stably branched toward the sensor flow path.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치의 결합도이다.
도 2는 도 1의 단면도 이다.
도 3은 도 1의 분해 사시도 이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치의 유체의 흐름을 설명하기 위해 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치의 결합도이다.
도 6는 도5의 단면도이다.
도 7 및 도 8은 도 5의 분해사시도 이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치의 유체의 흐름을 설명하기 위해 나타낸 도면이다.1 is a combined view of a flow measurement device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of FIG. 1.
3 is an exploded perspective view of FIG. 1.
4 is a view illustrating a flow of fluid in a flow measurement device according to a first embodiment of the present invention.
5 is a combined view of a flow measurement device according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of FIG. 5.
7 and 8 are exploded perspective views of FIG. 5.
9 is a view illustrating a flow of fluid in a flow measurement device according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to ordinary or lexical meanings, and the inventor appropriately explains the concept of terms to explain his or her invention in the best way. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meanings and concepts consistent with the technical spirit of the present invention.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.In addition, irrespective of the reference numerals, the same or corresponding components will be given the same or similar reference numerals, and redundant description thereof will be omitted. For convenience of description, the size and shape of each component member may be exaggerated or reduced. Can be.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the embodiments and the drawings described in this specification are only the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all of the technical spirit of the present invention, and at the time of this application, various alternatives are possible. It should be understood that there may be equivalents and variations.

본 발명은 유량 측정 장치(10)에 관한 것으로, 보다 구체적으로 질량유량계(Mass Flow Meter 및 Mass Flow Controller)에 관한 것이다.The present invention relates to a flow measurement device 10, and more particularly to a mass flow meter (Mass Flow Meter and Mass Flow Controller).

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치의 결합도, 도 2는 도 1의 단면도, 도 3은 도 1의 분해 사시도 이다.1 is a combined view of a flow measurement device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 1, and FIG. 3 is an exploded perspective view of FIG. 1.

이하에서는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치(10)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the flow rate measuring device 10 according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3.

본 발명의 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치(10)는 질량유량계(Mass Flow Meter)에 관한 것이다.The flow rate measuring device 10 according to the first embodiment of the present invention relates to a mass flow meter.

본 발명의 유량 측정 장치(10)는, 제1 유입포트(110) 및 제1 배출포트(120), 제1 유입포트(110)와 제1 배출포트(120)를 연결하는 제1 서브유로(130), 제1 서브 유로(130) 내에 배치된 제1 튜브 어레이(200)를 포함하는 제1 바디부(100)를 포함한다.The flow rate measuring device 10 of the present invention, the first inlet port 110 and the first outlet port 120, the first inlet port 110 and the first sub-channel connecting the first outlet port 120 ( 130, and a first body portion 100 including a first tube array 200 disposed in the first sub-channel 130.

또한, 제2 유입포트(310) 및 제2 배출포트(320), 제2 유입포트(310)와 제2 배출포트(320)를 연결하는 제2 서브유로(330), 제2 서브유로(330) 내에 배치된 제2 튜브 어레이(400)를 포함하는 제2 바디부(300)를 포함한다.In addition, the second sub-channel 330 and the second sub-channel 330 connecting the second inlet port 310 and the second outlet port 320, the second inlet port 310 and the second outlet port 320 ), The second body part 300 including the second tube array 400.

또한, 제3 유입포트(510) 및 제3 배출포트(520), 제3 유입포트(510)와 제3 배출포트(520)를 연결하는 센서 유로(530)를 포함하며, 센서 유로(530)를 통과하는 유체의 유량을 측정하기 위한 센서부(500)를 포함한다.In addition, it includes a sensor flow path 530 connecting the third inlet port 510 and the third discharge port 520, the third inlet port 510 and the third discharge port 520, the sensor flow path 530 It includes a sensor unit 500 for measuring the flow rate of the fluid passing through.

이에 더하여, 상기 제1 바디부(100)는, 제1 서브유로(130)의 유입 측과 제2 유입포트(310)를 연결하는 제1 유로(140)를 갖고, 제2 바디부(300)는, 제2 서브유로(330)의 유입 측과 제3 유입포트(510)를 연결하는 제2 유로(340)를 갖는다.In addition to this, the first body part 100 has a first flow path 140 connecting the inflow side of the first sub-channel 130 and the second inflow port 310, and the second body part 300 Has a second flow path 340 connecting the inflow side of the second sub flow path 330 and the third inflow port 510.

또한, 상기 제2 바디부(300)는, 센서 유로(530)를 통과하는 유체가 제2 서브유로(330)로 합류하도록, 제2 서브유로(330)의 배출 측과 제3 배출포트(520)를 연결하는 제3 유로(350)를 갖을 수 있다.In addition, the second body part 300, the discharge side and the third discharge port 520 of the second sub-channel 330, so that the fluid passing through the sensor flow path 530 joins the second sub-channel 330 ) May have a third flow path 350.

또한, 상기 제1 바디부(100)는, 제2 서브유로(330)를 통과하는 유체가 제1 서브유로(130)로 합류하도록 제1 서브유로(130)의 배출 측과 제2 배출포트(320)를 연결하는 제4 유로(150)를 갖을 수 있다.In addition, the first body portion 100, the discharge side and the second discharge port of the first sub-channel 130 so that the fluid passing through the second sub-channel 330 to join the first sub-channel (130) ( 320) may be connected to the fourth flow path 150.

여기서, 상기 제1 유로(140)와 제2 유입포트(310) 사이 및 제4 유로(150)와 제2 배출포트(320) 사이에는 각각 오링(141, 151)을 배치하여 실링할 수 있다.Here, between the first flow path 140 and the second inlet port 310 and between the fourth flow path 150 and the second discharge port 320, O-rings 141 and 151 may be disposed to seal.

한편, 상기 제1 바디부(100)는, 유체 이동 가능하게 마련된 제1 서브유로(130)가 내부에 형성된 제1 바디(101)를 포함한다.Meanwhile, the first body part 100 includes a first body 101 in which a first sub-channel 130 provided for fluid movement is formed therein.

상기 제1 바디(101)의 양 단부에 제1 유입포트(110)와 제1 배출포트(120)가 각각 장착될 수 있다.First inlet ports 110 and first outlet ports 120 may be mounted at both ends of the first body 101, respectively.

상기 제1 서브유로(130)의 내측에는 제1 튜브 어레이(200)가 배치될 수 있다.A first tube array 200 may be disposed inside the first sub-channel 130.

상기 제1 튜브 어레이(200)는, 복수 개의 제1 튜브(210), 상기 제1 튜브(210)를 제1 서브유로(130)내에 고정하기 위한 제1 및 제2 홀더(211,212)와 제1 유입포트(110)를 통과하는 유체의 적어도 일부를 제1 유로(140)로 분배하도록 마련된 제1 분배부재(220) 및 파형 스프링(Wave Spring, 230)을 포함한다.The first tube array 200 includes a plurality of first tubes 210 and first and second holders 211 and 212 for fixing the first tube 210 in the first sub-channel 130. It includes a first distribution member 220 and a wave spring (Wave Spring, 230) provided to distribute at least a portion of the fluid passing through the inlet port 110 to the first flow path (140).

상기 복수 개의 제1 튜브(210)는, 제1 서브유로(130)의 축 방향을 따라 연장 형성된 튜브(미세관)들이 다발로 구성될 수 있다.The plurality of first tubes 210 may be formed of bundles of tubes (microtubules) formed along the axial direction of the first sub-channel 130.

상기 제1 홀더(211)는 내측에 복수 개의 제1 튜브(210)가 삽입되도록 내측에는 중공이 형성되고, 외주면에는 제2 홀더(212)의 일단부가 걸려 고정되도록 외주면의 둘레방향을 따라 제1 돌출부(2111)가 마련될 수 있다. 여기서, 제1 돌출부(2111)는 일종의 걸림턱 역할을 할 수 있다.The first holder 211 is formed with a hollow inside so that a plurality of first tubes 210 are inserted inside, and a first along the circumferential direction of the outer circumferential surface so that one end of the second holder 212 is fixed to the outer circumferential surface. The protrusion 2111 may be provided. Here, the first protrusion 2111 may serve as a kind of locking jaw.

상기 제2 홀더(212)는 제1 홀더(211)의 외주면의 적어도 일부 영역을 둘러싸도록 내부에 중공이 형성될 수 있다. 일 예로, 중공 원통형을 형상을 갖을 수 있다.The second holder 212 may have a hollow formed therein to surround at least a portion of the outer circumferential surface of the first holder 211. As an example, the hollow cylinder may have a shape.

상기 복수 개의 제1 튜브(210)는 제1 홀더(211) 내측에 삽입되고, 제2 홀더(212)는 제1 홀더(211)의 외주면의 적어도 일부 영역을 둘러싸도록 장착될 수 있다.The plurality of first tubes 210 are inserted inside the first holder 211, and the second holder 212 may be mounted to surround at least a portion of the outer circumferential surface of the first holder 211.

여기서, 제2 홀더(212)는 제1 유입포트(110) 측에 배치되고, 일단부가 제1 홀더(211)의 제1 돌출부(2111)에 접촉되어 고정될 수 있다.Here, the second holder 212 is disposed on the first inlet port 110 side, and one end may be fixed by being in contact with the first protrusion 2111 of the first holder 211.

상기 제1 분배부재(220)는 내측에 유체가 이동 가능하도록 중공이 형성될 수 있고, 둘레 방향을 따라 소정간격 떨어져 형성된 복수의 제1 관통홀(2201)이 마련될 수 있다.The first distribution member 220 may be formed with a hollow so that the fluid can move inside, a plurality of first through-holes 2201 formed at predetermined intervals along the circumferential direction may be provided.

상기 제1 관통홀(2201)은 적어도 1개 이상이 마련될 수 있으며, 상기 제1 관통홀(2201)은 제1 유로(140)와 대응하는 위치에 배치될 수 있다.At least one of the first through-holes 2201 may be provided, and the first through-holes 2201 may be disposed at positions corresponding to the first flow paths 140.

따라서, 제1 유입포트(110)를 통과하는 유체 중 일부는 제1 관통홀(2201)을 통과하여 제1 유로(140)로 유동될 수 있다.Therefore, some of the fluid passing through the first inflow port 110 may flow through the first through hole 2201 and flow into the first flow path 140.

상기 제1 분배부재(220)의 일단부는 제2 홀더(212)의 타단부와 접촉하여 고정될 수 있으며, 일단부 측 적어도 일부 영역은 제1 홀더(211)의 적어도 일부 영역을 감싸도록 장착될 수 있다. One end of the first distribution member 220 may be fixed in contact with the other end of the second holder 212, and at least a portion of the one end side may be mounted to surround at least a portion of the first holder 211. You can.

상기 파형 스프링(230)은, 일 예로 와셔(washer)일 수 있으며, 제1 유입포트(110)와 제1 분배부재(220) 사이에 배치되어 제1 유입포트(110)와 제1 분배부재(220) 사이가 풀리지 않게 하여 제1 분배부재(220) 및 제1 튜브 어레이(200)를 단단히 고정하도록 마련될 수 있다. The corrugated spring 230 may be, for example, a washer, and is disposed between the first inlet port 110 and the first distribution member 220 to provide a first inlet port 110 and a first distribution member ( 220) may be provided to securely fix the first distribution member 220 and the first tube array 200 by not loosening the gap.

전술한 상기 제1 튜브 어레이(200)는 제1 서브유로(130)의 유입 측과 배출 측 사이에 배치될 수 있다. 특히, 복수 개의 제1 튜브(210)는 제1 유로(140)와 제4 유로(150) 사이 영역에 배치될 수 있다.The first tube array 200 described above may be disposed between the inlet side and the outlet side of the first sub-channel 130. In particular, the plurality of first tubes 210 may be disposed in a region between the first flow path 140 and the fourth flow path 150.

여기서, 상기 제1 서브유로(130)는 제1 홀더(211)에 마련된 제1 돌출부(2201)와 접촉되어 고정되도록 제1 단턱(131)이 마련될 수 있다.Here, the first sub-channel 130 may be provided with a first step 131 so as to be fixed in contact with the first protrusion 2201 provided in the first holder 211.

제1 단턱(131)은 제1 서브유로(130) 내주면의 둘레방향을 따라 내측으로 돌출되게 형성될 수 있다.The first stepped 131 may be formed to protrude inward along the circumferential direction of the inner peripheral surface of the first sub-channel 130.

여기서, 상기 제1 돌출부와 제1 단턱(131) 사이에는 오링(O-ring, 213)을 배치될 수 있다.Here, an O-ring 213 may be disposed between the first protrusion and the first step 131.

이에 더하여, 상기 제1 튜브 어레이(200)는, 제1 튜브(210)의 개수에 따라 제1 유로(140)로 유입되는 유체의 유량이 조절 될 수 있다.In addition to this, in the first tube array 200, the flow rate of the fluid flowing into the first flow path 140 may be adjusted according to the number of the first tubes 210.

보다 구체적으로, 상기 제1 튜브(210)의 개수가 증가하면 제1 유로(140)로 유입되는 유체의 유량은 감소하게 되고, 이와 반대로, 제1 튜브(210)의 개수가 감소하면 제1 유로(140)로 유입되는 유체의 유량은 증가하게 된다.More specifically, when the number of the first tubes 210 increases, the flow rate of the fluid flowing into the first flow path 140 decreases. Conversely, when the number of the first tubes 210 decreases, the first flow path The flow rate of the fluid flowing into the 140 is increased.

상기 제1 유로(140)와 복수 개의 제1 튜브(210) 사이의 유량 비율은, 제1 유로(140)의 단면적과 복수 개의 제1 튜브(210)의 단면적 비율과 동일하게 되므로, 복수 개의 제1 튜브(210)의 단면적이 커지면(개수가 증가하면) 제1 유로(140)로 유입되는 유량은 감소하게 된다. The flow rate ratio between the first flow path 140 and the plurality of first tubes 210 is the same as the ratio of the cross-sectional area of the first flow path 140 and the cross-sectional area of the plurality of first tubes 210. When the cross-sectional area of one tube 210 increases (the number increases), the flow rate flowing into the first flow path 140 decreases.

또한, 상기 제1 서브유로(130)는, 제1 바디(101)이 축 방향을 따라 연장 형성될 수 있으며, 상기 제1 서브유로(130)의 유입 측 및 배출 측과 각각 연결되는 제1 및 제4 유로(140, 150)는 제1 서브유로(130)와 수직 방향으로 연결될 수 있다.In addition, the first sub-channel 130, the first body 101 may be formed to extend along the axial direction, the first and the first side connected to the inlet and outlet sides of the first sub-channel 130, respectively The fourth flow paths 140 and 150 may be connected to the first sub flow path 130 in a vertical direction.

한편, 상기 제2 바디부(300)는, 유체 이동 가능하게 마련된 제2 서브유로(330)가 내부에 형성된 제2 바디(301) 및 제3 바디(302)를 포함한다.Meanwhile, the second body part 300 includes a second body 301 and a third body 302 having a second sub-channel 330 provided to be fluidly movable therein.

여기서, 상기 제2 바디(301)와 제3 바디(302)는 결합 장착되어 제2 바디부(300)를 형성할 수 있다.Here, the second body 301 and the third body 302 may be coupled and formed to form the second body part 300.

보다 구체적으로, 상기 제2 바디(301)는, 제2 유입포트(310)와 제2 서브유로(330)의 적어도 일부 영역이 유체 이동 가능하게 마련되어 제1 유로(140)로부터 유동된 유체가 유입될 수 있다.More specifically, in the second body 301, at least a portion of the second inlet port 310 and the second sub-channel 330 is fluidly movable so that fluid flowing from the first flow path 140 flows in. Can be.

또한, 상기 제3 바디(302)는, 제2 배출포트(320)와 제2 서브유로(330')의 적어도 일부 영역이 유체 이동 가능하게 마련되어 제2 배출포트(320)로 배출되는 유체가 제4 유로(150)로 유동될 수 있다.In addition, the third body 302, the second discharge port 320 and at least a portion of the second sub-channel 330 'is fluidly movable so that the fluid discharged to the second discharge port 320 is removed. It can be flowed into 4 flow paths 150.

보다 구체적으로, 상기 제3 바디(302)의 제2 서브유로(330')의 내측에는 제2 튜브 어레이(400)가 배치될 수 있다. More specifically, the second tube array 400 may be disposed inside the second sub-channel 330 ′ of the third body 302.

상기 제2 튜브 어레이(400)는, 복수 개의 제2 튜브(410), 상기 제2 튜브(410)를 제2 서브유로(330')내에 고정하기 위한 제3 및 제4 홀더(411,412)와 제2 유입포트(310)를 통과하는 유체의 적어도 일부를 제2 유로(340)로 분배하도록 마련된 제2 분배부재(420)를 포함한다.The second tube array 400 includes a plurality of second tubes 410 and third and fourth holders 411 and 412 for fixing the second tube 410 in the second sub-channel 330 '. 2 includes a second distribution member 420 provided to distribute at least a portion of the fluid passing through the inlet port 310 to the second flow path 340.

상기 복수 개의 제2 튜브(410)는, 제2 서브유로(330')의 축 방향을 따라 연장 형성된 튜브(미세관)들이 다발로 구성될 수 있다.The plurality of second tubes 410 may be formed of bundles of tubes (micro-tubes) extending along the axial direction of the second sub-channel 330 '.

상기 제3 홀더(411)는 내측에 복수 개의 제2 튜브(410)가 삽입되도록 내측에는 중공이 형성되고, 외주면에는 제4 홀더(412)의 일단부가 걸려 고정되도록 외주면의 둘레방향을 따라 제2 돌출부(4111)가 마련될 수 있다. 여기서, 제2 돌출부(4111)는 일종의 걸림턱 역할을 할 수 있다.The third holder 411 is formed with a hollow inside so that a plurality of second tubes 410 are inserted inside, and a second along the circumferential direction of the outer circumferential surface so that one end of the fourth holder 412 is fixed to the outer circumferential surface. A protrusion 4111 may be provided. Here, the second protrusion 4111 may serve as a kind of locking jaw.

상기 제4 홀더(412)는, 제3 홀더(411)의 외주면의 적어도 일부 영역을 둘러싸도록 내부에 중공이 형성될 수 있다. 일 예로, 중공 원통형을 형상을 갖을 수 있다.The fourth holder 412 may have a hollow formed therein to surround at least a portion of the outer circumferential surface of the third holder 411. As an example, the hollow cylinder may have a shape.

상기 복수 개의 제2 튜브(210)는 제3 홀더(411) 내측에 삽입되고, 제4 홀더(412)는 제3 홀더(411)의 외주면의 적어도 일부 영역을 둘러싸도록 장착될 수 있다.The plurality of second tubes 210 are inserted into the third holder 411, and the fourth holder 412 may be mounted to surround at least a portion of the outer circumferential surface of the third holder 411.

여기서, 제4 홀더(412)는 제2 유입포트(310) 측에 배치되고, 제4 홀더(412)의 일단부가 제3 홀더(411)의 제2 돌출부(4111)에 접촉되어 고정될 수 있다.Here, the fourth holder 412 is disposed on the side of the second inlet port 310, and one end of the fourth holder 412 may be fixed by being in contact with the second protrusion 4111 of the third holder 411. .

상기 제2 분배부재(420)는 내측에 유체가 이동 가능하도록 중공이 형성될 수 있고, 둘레 방향을 따라 소정간격 떨어져 형성된 복수의 제2 관통홀(4201)이 마련될 수 있다.The second distribution member 420 may have a hollow formed therein to allow fluid to move inside, and a plurality of second through holes 4201 formed at predetermined intervals along the circumferential direction may be provided.

상기 제2 관통홀(4201)은 적어도 1개 이상이 마련될 수 있으며, 상기 제2 관통홀(4201)은 제2 유로(340)와 대응하는 위치에 배치될 수 있다.At least one of the second through holes 4201 may be provided, and the second through holes 4201 may be disposed at positions corresponding to the second flow paths 340.

따라서, 제2 유입포트(310)를 통과하는 유체 중 일부는 제2 관통홀(4201)을 통과하여 제2 유로(340)로 유동될 수 있다.Therefore, some of the fluid passing through the second inlet port 310 may pass through the second through hole 4201 and flow into the second flow path 340.

상기 제2 분배부재(420)의 일단부는 제4 홀더(412)의 타단부와 접촉하여 고정될 수 있으며, 일단부 측 적어도 일부 영역은 제3 홀더(411)의 적어도 일부 영역을 감싸도록 장착될 수 있다. One end of the second distribution member 420 may be fixed in contact with the other end of the fourth holder 412, and at least a portion of one end side may be mounted to surround at least a portion of the third holder 411. You can.

전술한 상기 제2 튜브 어레이(400)는 제2 서브유로(330 및 330')의 유입 측과 배출 측 사이에 배치될 수 있다. 특히, 복수 개의 제2 튜브(410)와 제2 서브유로(330')의 사이에는 소정의 공간이 형성되어, 제3 유로(350)를 통과하는 유체가 상기 소정의 공간으로 유동되어 제2 서브 유로(330')로 합류될 수 있다. The second tube array 400 described above may be disposed between the inlet side and the outlet side of the second sub-channels 330 and 330 '. Particularly, a predetermined space is formed between the plurality of second tubes 410 and the second sub-channel 330 ', and the fluid passing through the third flow path 350 flows to the predetermined space, so that the second sub It can be joined into the flow path 330 '.

여기서, 상기 제2 서브유로(330') 즉, 제 3바디(302)에 마련된 제2 서브유로(330')에는 제3 홀더(411)에 마련된 제2 돌출부(4111)와 접촉되어 고정되도록 제2 단턱(331)이 마련될 수 있다.Here, the second sub-channel 330 ', that is, the second sub-channel 330' provided in the third body 302 is in contact with and fixed to the second protrusion 4111 provided in the third holder 411. Two stepped 331 may be provided.

상기 제2 단턱(331)은 제2 서브유로(330') 내주면의 둘레방향을 따라 내측으로 돌출되게 형성될 수 있다.The second stepped 331 may be formed to protrude inward along the circumferential direction of the inner peripheral surface of the second sub-channel 330 '.

여기서, 상기 제2 돌출부(4111)와 제2 단턱(311) 사이에는 오링(O-ring, 413)이 배치될 수 있다.Here, an O-ring (413) may be disposed between the second protrusion (4111) and the second stepped (311).

이에 더하여, 상기 제2 튜브 어레이(400)는, 제2 튜브(410)의 개수에 따라 제2 유로(340)로 유입되는 유체의 유량이 조절 될 수 있다.In addition to this, in the second tube array 400, the flow rate of the fluid flowing into the second flow path 340 may be adjusted according to the number of the second tubes 410.

보다 구체적으로, 상기 제2 튜브(410)의 개수가 증가하면 제2 유로(340)로 유입되는 유체의 유량은 감소하게 되고, 이와 반대로, 제2 튜브(410)의 개수가 감소하면 제2 유로(340)로 유입되는 유체의 유량은 증가하게 된다.More specifically, when the number of the second tubes 410 increases, the flow rate of the fluid flowing into the second flow path 340 decreases. On the contrary, when the number of the second tubes 410 decreases, the second flow path The flow rate of the fluid flowing into 340 is increased.

상기 제2 유로(340)와 복수 개의 제2 튜브(410) 사이의 유량 비율은, 제2 유로(340)의 단면적과 복수 개의 제2 튜브(410)의 단면적 비율과 동일하게 되므로, 복수 개의 제2 튜브(410)의 단면적이 커지면(개수가 증가하면) 제2 유로(340)로 유입되는 유량은 감소하게 된다. Since the flow rate ratio between the second flow path 340 and the plurality of second tubes 410 is the same as the cross-sectional area ratio of the second flow paths 340 and the plurality of second tubes 410, a plurality of flow rates 2 When the cross-sectional area of the tube 410 increases (the number increases), the flow rate flowing into the second flow path 340 decreases.

또한, 상기 제2 서브유로(330)는 대략 'ㄷ'자 형상을 갖을 수 있고, 특히, 제3 바디(302)의 축 방향을 따라 연장 형성되는 구간에서, 상기 제2 서브유로(330')의 유입 측 및 배출 측과 각각 연결되는 제2 및 제3 유로(340, 350)는 제2 서브유로(330')와 수직 방향으로 연결될 수 있다.In addition, the second sub-channel 330 may have an approximately 'U' shape, and in particular, in the section extending along the axial direction of the third body 302, the second sub-channel 330 ' The second and third flow paths 340 and 350 that are respectively connected to the inlet and outlet sides of the may be connected to the second sub-channel 330 'in a vertical direction.

여기서, 상기 제2 유로(340)와 제3 유입포트(510) 사이 및 제3 유로(350)와 제3 배출포트(520) 사이에는 각각 오링(341,35)을 배치하여 실링할 수 있다.Here, between the second flow path 340 and the third inlet port 510 and between the third flow path 350 and the third discharge port 520, the O-rings 341 and 35 may be disposed and sealed, respectively.

한편, 상기 센서부(500)는, 제3 유입포트(510) 및 제3 배출포트(520), 제3 유입포트(510)와 제3 배출포트(520)를 연결하는 센서 유로(530)를 포함한다.On the other hand, the sensor unit 500, the third inlet port 510 and the third outlet port 520, the third inlet port 510 and the sensor flow path 530 connecting the third outlet port 520 Includes.

상기 센서 유로(530) 상에는 유체의 유량을 측정하도록 센서가 마련되어 센서 유로(530)를 통과하는 유체의 유량을 측정할 수 있다.A sensor is provided on the sensor flow path 530 to measure the flow rate of the fluid, and the flow rate of the fluid passing through the sensor flow path 530 can be measured.

도 4는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치(10)의 유체의 흐름을 설명하기 위해 나타낸 도면이다.4 is a view illustrating a flow of fluid in the flow rate measuring device 10 according to the first embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 제1 유입포트(110)로 유체가 유입되면, 유입된 유체의 일부는 제1 서브유로(130) 유로 내에 배치된 제1 분배부재(220)의 제1 관통홀(2201)을 통과하여 제1 유로(140)로 유동된다.Referring to FIG. 4, when fluid is introduced into the first inflow port 110, a part of the introduced fluid is a first through hole 2201 of the first distribution member 220 disposed in the first sub-channel 130 flow path ) To flow into the first flow path 140.

이 때, 유입된 유체의 나머지 일부는 제1 튜브 어레이(200)를 통과하여 제1 서브유로(130)를 따라 유동한다.At this time, the remaining part of the introduced fluid passes through the first tube array 200 and flows along the first sub-channel 130.

상기 제1 유로(140)로 유동된 유체는 제2 유입포트(310)를 통과하여 제2 서브유로(330)를 따라 유동하고, 유동하는 유체의 일부는 제2 분배부재(420)의 제2 관통홀(4201)을 통과하여 제2 유로(340)로 유동된다.The fluid flowing through the first flow path 140 passes through the second inflow port 310 and flows along the second sub flow path 330, and a part of the flowing fluid is the second of the second distribution member 420. It passes through the through hole 4201 and flows into the second flow path 340.

이 때, 제2 서브유로(330)로 유입된 유체의 나머지 일부는 제2 튜브 어레이(400)를 통과하여 제2 서브유로(330')를 따라 유동한다.At this time, the remaining part of the fluid introduced into the second sub-channel 330 passes through the second tube array 400 and flows along the second sub-channel 330 '.

상기 제2 유로(340)로 유입된 유체는 제3 유입포트(510)를 통과하여 센서 유로(530)로 유동되어 센서에 의해 유체의 유량이 측정된다.The fluid flowing into the second flow path 340 passes through the third inflow port 510 and flows to the sensor flow path 530 to measure the flow rate of the fluid by the sensor.

상기와 같이 측정이 완료된 유체는 제3 배출포트(530)를 통과하여 제3 유로(350)로 유동하게 되고, 제3 유로(350)를 통과하는 유체는 제2 서브유로(330')로 유입되어 합류하게 된다.The fluid whose measurement is completed as described above passes through the third discharge port 530 and flows into the third flow path 350, and the fluid passing through the third flow path 350 flows into the second sub flow path 330 ′. And join.

특히, 제3 유로(350)를 통과한 유체는 복수 개의 제2 튜브(410)와 제2 서브유로(330') 내주면 사이 공간으로 유동된 후, 제2 서브유로(330')를 따라 유동하여 제2 튜브(410)를 통과한 유체와 합류하게 된다. In particular, the fluid that has passed through the third flow path 350 flows into a space between the inner surfaces of the plurality of second tubes 410 and the second sub flow path 330 ', and then flows along the second sub flow path 330'. The fluid that has passed through the second tube 410 is joined.

즉, 제3 유로(350)를 유동하여 제2 서브유로(330')로 유입된 유체와 제2 유입포트(310)로 유입되어 제2 유로(340)로 유입되지 않은 나머지 유체는 제2 배출포트(320)를 통과하여 제4 유로(150)로 유입된 후 제1 서브유로(130)에 합류된다.That is, the fluid flowing through the third flow path 350 and flowing into the second sub flow path 330 'and the second fluid flowing into the second flow port 310 and not flowing into the second flow path 340 are discharged secondly. After passing through the port 320 and flowing into the fourth flow path 150, the first sub flow path 130 is joined.

상기와 같이 유동된 유체는 제1 서브유로(130)와 유체이동 가능하게 연결된 제1 배출포트(120)를 통과하여 외부로 배출될 수 있다.The fluid flowed as described above may be discharged to the outside through the first discharge port 120 which is fluidly connected to the first sub-channel 130.

한편, 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치의 결합도, 도 6은 도 5의 단면도, 도 7 및 도 8은 도 5의 분해 사시도 이다.Meanwhile, FIG. 5 is a combined view of a flow measurement apparatus according to a second embodiment of the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view of FIG. 5, and FIGS. 7 and 8 are exploded perspective views of FIG. 5.

이하에서는, 도 5 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(20)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the flow rate measuring device 20 according to the second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 5 to 8.

본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(20)는 질량유량계(Mass Flow Controller)에 관한 것이다. 특히, 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(20)는 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치(20)에서 제1 배출포트(120)로 배출되는 유체의 유량을 조절하도록 마련된 유량 제어부(700)가 추가로 포함된 형태일 수 있다.The flow measurement device 20 according to the second embodiment of the present invention relates to a mass flow controller. In particular, the flow rate measurement device 20 according to the second embodiment is a flow rate control unit 700 provided to control the flow rate of the fluid discharged from the flow rate measurement device 20 according to the first embodiment to the first discharge port 120 It may be in the form included.

따라서, 이하에서는 전술한 제1 실시예에 따른 유량 측정 장치(10)에서 서술한 동일한 구성요소에 대해서는 그 설명을 생략한다.Therefore, hereinafter, the same components described in the flow rate measuring device 10 according to the first embodiment described above will be omitted.

본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(20)는 제1 배출포트(120)로 배출되는 유체의 유량을 조절하도록 마련된 유량 제어부(700)를 추가로 포함한다.The flow rate measuring device 20 according to the second embodiment of the present invention further includes a flow rate controller 700 provided to control the flow rate of the fluid discharged to the first discharge port 120.

상기 유량 제어부(700)는, 제4 유입포트(710), 제4 배출포트(720) 및 제4 배출포트(720)로 배출되는 유체의 유량을 조절하도록 마련된 밸브(737)를 포함한다.The flow control unit 700 includes a fourth inlet port 710, a fourth outlet port 720, and a valve 737 provided to control the flow rate of the fluid discharged to the fourth outlet port 720.

여기서, 제1 바디부(100)에는, 제1 서브유로(130)의 배출 측과 제4 유입포트(710)를 연결하는 제5 유로(160) 및 제1 배출포트(120)와 제4 배출포트(720)를 연결하는 제6 유로(170)가 추가로 마련될 수 있다.Here, in the first body portion 100, the fifth flow path 160 and the first discharge port 120 and the fourth discharge connecting the discharge side of the first sub-channel 130 and the fourth inlet port 710 A sixth flow path 170 connecting the port 720 may be additionally provided.

즉, 상기 제1 배출포트(120) 측의 제1 바디(101)는 길이 방향을 따라 연장형성 될 수 있으며, 제4 유로(140)를 통과하여 제1 서브유로(130)로 합류된 유체가 제1 서브유로(130)를 따라 유동하고, 제1 서브유로(130)와 유체이동 가능하게 연결된 제5 유로(160)를 따라 유동하여 유량 제어부(700)의 제4 유입포트(720)로 유체가 유입될 수 있다.That is, the first body 101 on the side of the first discharge port 120 may be extended along the longitudinal direction, and the fluid that has passed through the fourth flow path 140 and joined to the first sub flow path 130 may be The fluid flows along the first sub-channel 130 and flows along the fifth flow path 160 fluidly connected to the first sub-channel 130 to the fourth inlet port 720 of the flow control unit 700. Can be introduced.

여기서, 상기 유량 제어부(700)는 일 예로, 통상의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 상기 솔레노이드 밸브는 전자석을 원리로 동작하여, 솔레노이드 밸브로 인가되는 전류량을 제어함에 따라, 밸브의 개도가 조절되며, 그 결과 유량을 제어할 수 있다.Here, the flow control unit 700 may be, for example, a conventional solenoid valve. The solenoid valve operates on the principle of an electromagnet, and as the amount of current applied to the solenoid valve is controlled, the opening degree of the valve is adjusted, and as a result, the flow rate can be controlled.

상기 유량 제어부(700)는 밸브(737)의 개도를 조절하여 유체의 유량을 조절할 수 있다.The flow control unit 700 may adjust the opening of the valve 737 to control the flow rate of the fluid.

예를 들면, 상기 유량 제어부(700)는 전류가 인가되는 코어부를 포함할 수 있고, 코어부는 솔레노이드 케이스(731,732), 코어(733), 및 보빈(734)을 포함할 수 있다. For example, the flow control unit 700 may include a core portion to which current is applied, and the core portion may include a solenoid case 731,732, a core 733, and a bobbin 734.

상기 유량 제어부(700)는 제5 유로(160)와 연결되는 제4 유입포트(710) 및 제6 유로(170)와 연결되는 제4 배출포트(720)가 마련된 노즐부(738) 및 노즐부(738) 상에 배치되는 밸브(737)를 포함한다. 상기 밸브(737)는 노즐부(738)의 상부에 배치되어, 코어부로 전달된 전류량에 따라, 제4 배출포트(720)의 개도를 조절함으로써, 유체의 유량을 조절할 수 있다. 상기 밸브(737)는 자성을 띄는 플런저 및 스프링을 포함할 수 있고, 보빈(734)에 감긴 코일과의 인력으로 상승될 수 있다. The flow control unit 700 includes a fourth inlet port 710 connected to the fifth flow path 160 and a fourth discharge port 720 connected to the sixth flow path 170 and a nozzle portion 738 and a nozzle portion And a valve 737 disposed on 738. The valve 737 is disposed on the upper portion of the nozzle portion 738, and according to the amount of current delivered to the core portion, by adjusting the opening degree of the fourth discharge port 720, it is possible to control the flow rate of the fluid. The valve 737 may include a magnetic plunger and a spring, and may be lifted by attraction with a coil wound on the bobbin 734.

또한, 상기 유량 제어부(700)는, 밸브 하우징(735, 736)을 포함할 수 있다. 즉, 밸브(737)가 제4 배출포트(720)를 막고 있다가, 인력에 의해 상승하면서 유체가 제4 배출포트(720)를 통해 배출될 수 있다.In addition, the flow control unit 700 may include valve housings 735 and 736. That is, the valve 737 is blocking the fourth discharge port 720, and the fluid may be discharged through the fourth discharge port 720 while rising by the attraction force.

도 9는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(20)의 유체의 흐름을 설명하기 위해 나타낸 도면이다.9 is a view illustrating a flow of fluid in the flow measurement device 20 according to the second embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 제1 유입포트(110)로 유체가 유입되면, 유입된 유체의 일부는 제1 서브유로(130) 유로 내에 배치된 제1 분배부재(220)의 제1 관통홀(2201)을 통과하여 제1 유로(140)로 유동된다.Referring to FIG. 9, when fluid is introduced into the first inflow port 110, a part of the introduced fluid is a first through hole 2201 of the first distribution member 220 disposed in the first sub-channel 130 flow path ) To flow into the first flow path 140.

이 때, 유입된 유체의 나머지 일부는 제1 튜브 어레이(200)를 통과하여 제1 서브유로(130)를 따라 유동한다.At this time, the remaining part of the introduced fluid passes through the first tube array 200 and flows along the first sub-channel 130.

상기 제1 유로(140)로 유동된 유체는 제2 유입포트(310)를 통과하여 제2 서브유로(330)를 따라 유동하고, 유동하는 유체의 일부는 제2 분배부재(420)의 제2 관통홀(4201)을 통과하여 제2 유로(340)로 유동된다.The fluid flowing through the first flow path 140 passes through the second inflow port 310 and flows along the second sub flow path 330, and a part of the flowing fluid is the second of the second distribution member 420. It passes through the through hole 4201 and flows into the second flow path 340.

이 때, 제2 서브유로(330)로 유입된 유체의 나머지 일부는 제2 튜브 어레이(400)를 통과하여 제2 서브유로(330')를 따라 유동한다.At this time, the remaining part of the fluid introduced into the second sub-channel 330 passes through the second tube array 400 and flows along the second sub-channel 330 '.

상기 제2 유로(340)로 유입된 유체는 제3 유입포트(510)를 통과하여 센서 유로(530)로 유동되어 센서에 의해 유체의 유량이 측정된다.The fluid flowing into the second flow path 340 passes through the third inflow port 510 and flows to the sensor flow path 530 to measure the flow rate of the fluid by the sensor.

상기와 같이 측정이 완료된 유체는 제3 배출포트(530)를 통과하여 제3 유로(350)로 유동하게 되고, 제3 유로(350)를 통과하는 유체는 제2 서브유로(330')로 유입되어 합류하게 된다.The fluid whose measurement is completed as described above passes through the third discharge port 530 and flows into the third flow path 350, and the fluid passing through the third flow path 350 flows into the second sub flow path 330 ′. And join.

즉, 제3 유로(350)를 유동하여 제2 서브유로(330')로 유입된 유체와 제2 유입포트(310)로 유입되어 제2 유로(340)로 유입되지 않은 나머지 유체는 제2 배출포트(320)를 통과하여 제4 유로(150)로 유입된 후 제1 서브유로(130)에 합류된다.That is, the fluid flowing through the third flow path 350 and flowing into the second sub flow path 330 'and the second fluid flowing into the second flow port 310 and not flowing into the second flow path 340 are discharged secondly. After passing through the port 320 and flowing into the fourth flow path 150, the first sub flow path 130 is joined.

상기와 같이 유동된 유체는 제1 서브유로(130)와 유체이동 가능하게 연결된 제4 유입포트(710)로 유입된 후, 밸브에 의해 유체의 유량이 조절된 후, 제4 배출포트(720)로 배출되어 이와 연결된 제1 배출포트(120)를 통과하여 외부로 배출될 수 있다.The fluid flowing as described above flows into the fourth inlet port 710 that is fluidly connected to the first sub-channel 130, and after the flow rate of the fluid is adjusted by the valve, the fourth outlet port 720. It can be discharged to the outside through the first discharge port 120 connected to it.

상기에서 전술한 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(10,20)는 볼트(b)를 이용하여 제1 바디부, 제2 바디부, 센서부 및 유량 제어부를 결합할 수 있으며, 따로 도면부호를 표기하지 않았지만, 제1 바디부, 제2 바디부, 센서부 및 유량 제어부에는 볼트체결 가능하도록 볼트가 삽입되는 체결홀이 각각 마련되어 있어 볼트 체결함으로써, 유량 측정 장치(10)를 형성할 수 있다.The flow rate measuring devices 10 and 20 according to the above-described first and second embodiments of the present invention may combine the first body part, the second body part, the sensor part and the flow rate control part using bolts (b). Although not indicated, the first body part, the second body part, the sensor part, and the flow control part are provided with fastening holes into which bolts are inserted to enable fastening of bolts, thereby fastening bolts, thereby measuring the flow rate measuring device 10 ).

전술한 바와 같이, 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 유량 측정 장치(10, 20)는 제1 및 제2 튜브 어레이를 이용하여 센서 유로로 유입되는 유체의 측정하고자 하는 유량 범위를 효과적으로 조절할 수 있다.As described above, the flow rate measuring devices 10 and 20 according to the first and second embodiments of the present invention effectively use the first and second tube arrays to effectively measure the flow rate of the fluid flowing into the sensor flow path. Can be adjusted.

즉, 센서 유로로 유입되는 유량을 조절할 수 있는 효과가 있다.That is, it is possible to control the flow rate flowing into the sensor flow path.

또한, 본 발명에 따르면, 제1 및 제2 서브유로 내에 배치된 제1 및 제2 튜브 어레이는 층류 소자의 역할을 함으로써, 센서 유로 측으로 보다 안정적으로 유체를 분기시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, according to the present invention, the first and second tube arrays disposed in the first and second sub-paths act as a laminar flow element, so that the fluid can be stably branched toward the sensor flow path.

10, 20: 유량 측정 장치
100: 제1 바디부
200: 제1 튜브 어레이
300: 제2 바디부
400: 제2 튜브 어레이
500: 센서부
700: 유량 제어부10, 20: flow measurement device
100: first body
200: first tube array
300: second body part
400: second tube array
500: sensor unit
700: flow control

Claims (6)

제1 유입포트 및 제1 배출포트, 제1 유입포트와 제1 배출포트를 연결하는 제1 서브유로, 제1 서브 유로 내에 배치된 제1 튜브 어레이를 포함하는 제1 바디부;
제2 유입포트 및 제2 배출포트, 제2 유입포트와 제2 배출포트를 연결하는 제2 서브유로, 제2 서브 유로 내에 배치된 제2 튜브 어레이를 포함하는 제2 바디부; 및
제3 유입포트 및 제3 배출포트, 제3 유입포트와 제3 배출포트를 연결하는 센서 유로를 포함하며, 센서 유로를 통과하는 유체의 유량을 측정하기 위한 센서부; 를 포함하며,
제1 바디부는, 제1 서브유로의 유입 측과 제2 유입포트를 연결하는 제1 유로를 갖고,
제2 바디부는, 제2 서브유로의 유입 측과 제3 유입포트를 연결하는 제2 유로를 가지며,
제1 튜브 어레이는, 복수 개의 제1 튜브, 제1 튜브를 제1 서브유로 내에 고정하기 위한 제1 및 제2 홀더 및 제1 유입포트를 통과하는 유체의 적어도 일부를 제1 유로로 분배하도록 마련된 제1 분배부재를 포함하며,
제1 분배부재의 일단부는 제2 홀더의 타단부와 접촉하여 고정될 때, 일단부 측 적어도 일부 영역은 제1 홀더의 적어도 일부 영역을 감싸도록 장착되고,
제1 분배부재는 둘레 방향을 따라 소정간격 떨어져 형성된 복수의 제1 관통홀이 마련되며, 제1 관통홀은 제1 유로와 대응하는 위치에 배치되어, 제1 유입포트를 통과하는 유체 중 일부는 제1 관통홀을 통과하여 제1 유로로 유동하도록 마련된, 유량 측정 장치.A first body part including a first inlet port and a first outlet port, a first sub-channel connecting the first inlet port and the first outlet port, and a first tube array disposed in the first sub-channel;
A second body part including a second inlet port and a second outlet port, a second sub-channel connecting the second inlet port and the second outlet port, and a second tube array disposed in the second sub-channel; And
It includes a third inlet port and a third discharge port, a sensor flow path connecting the third inlet port and the third discharge port, the sensor unit for measuring the flow rate of the fluid passing through the sensor flow path; It includes,
The first body portion has a first flow path connecting the inflow side of the first sub-channel and the second inflow port,
The second body portion has a second flow path connecting the inflow side of the second sub-flow path and the third inflow port,
The first tube array is provided to distribute a plurality of first tubes, first and second holders for fixing the first tubes in the first sub-channel, and at least a portion of the fluid passing through the first inlet port to the first channel It includes a first distribution member,
When one end of the first dispensing member is fixed in contact with the other end of the second holder, at least a portion of the one end side is mounted to surround at least a portion of the first holder,
The first distribution member is provided with a plurality of first through holes formed at predetermined intervals along the circumferential direction, and the first through holes are disposed at positions corresponding to the first flow paths, so that some of the fluid passing through the first inlet port is A flow rate measuring device provided to flow through the first through hole to the first flow path. 제 1항에 있어서,
제2 바디부는, 센서 유로를 통과하는 유체가 제2 서브유로로 합류하도록, 제2 서브유로의 배출 측과 제3 배출포트를 연결하는 제3 유로를 갖는, 유량 측정 장치.According to claim 1,
The second body portion has a third flow path connecting the discharge side of the second sub flow path and the third discharge port so that the fluid passing through the sensor flow path joins the second sub flow path. 제 2항에 있어서,
제1 바디부는, 제2 서브유로를 통과하는 유체가 제1 서브유로로 합류하도록 제1 서브유로의 배출 측과 제2 배출포트를 연결하는 제4 유로를 갖는, 유량 측정 장치.The method of claim 2,
The first body portion has a fourth flow path connecting the discharge side of the first sub-channel and the second discharge port so that the fluid passing through the second sub-channel joins the first sub-channel. 제 1항에 있어서,
제1 튜브 어레이는, 제1 서브유로의 유입 측과 배출 측 사이에 배치되고,
제1 튜브의 개수에 따라 제1 유로로 유입되는 유체의 유량이 조절되도록 마련된, 유량 측정 장치.According to claim 1,
The first tube array is disposed between the inlet side and the outlet side of the first sub-channel,
The flow rate measuring device is provided to adjust the flow rate of the fluid flowing into the first flow path according to the number of first tubes. 제 1항에 있어서,
제2 튜브 어레이는, 복수 개의 제2 튜브를 포함하며, 제2 튜브의 개수에 따라 제2 유로로 유입되는 유체의 유량이 조절되도록 마련된, 유량 측정 장치.According to claim 1,
The second tube array includes a plurality of second tubes, and is provided to control the flow rate of the fluid flowing into the second flow path according to the number of second tubes. 제 1항에 있어서,
유량 측정 장치는, 제1 배출포트로 배출되는 유체의 유량을 조절하도록 마련된 유량 제어부를 추가로 포함하는, 유량 측정 장치.
According to claim 1,
The flow rate measuring device further includes a flow rate control unit provided to control the flow rate of the fluid discharged to the first discharge port.
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