KR102086390B1 - Probe pin - Google Patents

Probe pin Download PDF

Info

Publication number
KR102086390B1
KR102086390B1 KR1020190139968A KR20190139968A KR102086390B1 KR 102086390 B1 KR102086390 B1 KR 102086390B1 KR 1020190139968 A KR1020190139968 A KR 1020190139968A KR 20190139968 A KR20190139968 A KR 20190139968A KR 102086390 B1 KR102086390 B1 KR 102086390B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
elastic
contact
longitudinal direction
elastic portion
probe pin
Prior art date
Application number
KR1020190139968A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박병규
Original Assignee
주식회사 플라이업
박병규
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 플라이업, 박병규 filed Critical 주식회사 플라이업
Priority to KR1020190139968A priority Critical patent/KR102086390B1/en
Priority to CN202010070131.2A priority patent/CN111562412B/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102086390B1 publication Critical patent/KR102086390B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2825—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere in household appliances or professional audio/video equipment

Abstract

The present invention relates to a probe pin. More specifically, provided is the probe pin used for conduction inspection and operation characteristic inspection in a manufacturing process of an electronic component. According to the present invention, the probe pin comprises: an elastic portion (100) extending and contracting along a longitudinal direction; a first contact portion (200) formed at one end in the longitudinal direction of the elastic portion (100); and a second contact portion (300) formed on the other end in the longitudinal direction of the elastic portion (100).

Description

프로브 핀{Probe pin}Probe pin

본 발명은 프로브 핀에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품의 제조공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사에 사용되는 프로브 핀에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to probe pins, and more particularly, to probe pins used for conduction inspection and operation characteristic inspection in the manufacturing process of electronic components.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자부품모듈에서는, 그 제조공정에 있어서 도통검사 및 동작 특성검사 등이 행해지며, 이러한 검사를 실시하기 위하여 프로브 핀을 사용하여 전자부품모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속한다. In an electronic component module such as a camera or a liquid crystal panel, conduction inspection and operation characteristic inspection are performed in the manufacturing process thereof. In order to perform such inspection, a probe pin is used to connect with a main board installed in the electronic component module. The inspection unit and an electrode unit such as an FPC contact electrode or a mounted board-to-board connector.

즉, 전자부품모듈 내의 전극부와 검사장치를 접속하는 데 있어, 프로브 핀을 활용하여 전극부와 검사장치를 전기적으로 접속할 수 있으며, 이때 프로브 핀은 전자부품모듈의 전극 단자와 검사장치의 사이에서 적절한 접촉압력을 통해 안정적으로 접촉될 수 있다. That is, in connecting the electrode unit and the inspection apparatus in the electronic component module, the electrode pin and the inspection apparatus can be electrically connected by using a probe pin, wherein the probe pin is connected between the electrode terminal of the electronic component module and the inspection apparatus. The contact can be made stable through an appropriate contact pressure.

한편, 안정적인 접촉을 위하여 종래에는, 스프링을 포함하는 포고핀이 사용되었으나, 이 경우 검사 대상물과 검사장치 사이의 통전 경로가 증가하여 전기저항이 증가되고 이에 따라 고전력이 요구되는 문제점이 있다.On the other hand, for the stable contact in the past, the pogo pin including a spring was used, in this case, there is a problem that the electrical resistance is increased by increasing the conduction path between the inspection object and the inspection device and accordingly high power.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 본 발명의 문제점을 해결하기 위하여, 검사 대상물과 검사장치 사이의 접촉 신뢰성이 높으면서도, 접촉 저항이 낮은 프로브 핀을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a probe pin having a low contact resistance while having high contact reliability between an inspection object and an inspection apparatus in order to solve the problems of the present invention as described above.

본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와; 상기 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와; 상기 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함하는 프로브 핀을 개시한다.The present invention has been created to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, the elastic portion 100 to stretch along the longitudinal direction; A first contact part 200 formed at one end in the longitudinal direction of the elastic part 100; A probe pin including a second contact portion 300 formed at the other end in the longitudinal direction of the elastic portion 100 is disclosed.

상기 탄성부(100)는, 상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 상기 제1탄성부(400) 및 상기 제2탄성부(500) 사이에서 상기 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 제3탄성부(600)를 포함할 수 있다.The elastic portion 100, the first elastic portion 400 extending in a direction crossing the first contact portion 200 and the longitudinal direction and formed in a direction away from the first contact portion 200 and the A second elastic portion 500 extending in a direction crossing the second contact portion 300 and the longitudinal direction and spaced apart from the first contact portion 200, the first elastic portion 400, and the The second elastic part 500 may include a third elastic part 600 formed in a direction approaching the first contact part 200.

상기 제1탄성부(400)는, 상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(410)와, 일단이 상기 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(420)를 포함할 수 있다.The first elastic portion 400, the first straight portion 410 extending in the direction orthogonal to the first contact portion 200 and the longitudinal direction, one end is connected to the first straight portion 410 The other end may include an arc-shaped first curved portion 420 connected to one end of the third elastic portion 600.

상기 제1탄성부(400)는, 상기 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되도록 형성되는 돌출부(430)를 추가로 포함할 수 있다.The first elastic portion 400 may further include a protrusion 430 formed to protrude downward from the bottom of the first straight portion 410.

상기 제2탄성부(500)는, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 상기 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함할 수 있다.The second elastic portion 500 may include a second straight portion 510 extending in a direction orthogonal to the second contact portion 300 and the longitudinal direction, and one end thereof being connected to the second straight portion 510. The other end may include an arc-shaped second curved portion 520 connected to the other end of the third elastic portion 600.

상기 제3탄성부(600)는, 상기 제1탄성부(400)로부터 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제1접속부(610)와, 상기 제2탄성부(500)로부터 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제2접속부(620)와, 상기 제1접속부(610) 및 상기 제2접속부(620) 사이에 접속되는 원호형의 제3만곡부(630)를 포함할 수 있다.The third elastic part 600 extends from the first elastic part 400 in a direction crossing the longitudinal direction and is connected to the first connection part 610 and the length from the second elastic part 500. It may include a second connecting portion 620 extending in the direction crossing the direction and connected, and the third curved portion 630 of the arc-shaped connected between the first connecting portion 610 and the second connecting portion 620. have.

상기 제1접속부(610)는, 상기 제1탄성부(400)로부터 상기 제1접촉부(200)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.The first connecting portion 610 may be formed to extend in a direction from the first elastic portion 400 toward the first contact portion 200.

상기 제2접속부(620)는, 상기 제2탄성부(500)로부터 상기 제2접촉부(300)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.The second connection part 620 may be formed to extend in a direction from the second elastic part 500 toward the second contact part 300.

상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)으로 형성될 수 있다.The elastic part 100 may be formed of a pair of band-shaped elastic pieces 110 and 120 disposed with a gap therebetween.

상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 연결하는 적어도 하나의 브릿지(130)를 포함할 수 있다.The elastic part 100 may include at least one bridge 130 that connects the pair of elastic pieces 110 and 120 having a band shape with a gap therebetween.

본 발명에 따른 프로브 핀은, 길이방향으로 신축가능한 탄성부를 포함함으로써, 검사장치와 검사대상물 사이의 다양한 환경에서도 안정된 접촉을 유지하여, 접촉신뢰성이 높은 이점이 있다.Probe pin according to the present invention, by including an elastic portion stretchable in the longitudinal direction, maintaining a stable contact even in various environments between the inspection apparatus and the inspection object, there is an advantage of high contact reliability.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 길이방향으로 신축가능한 탄성부를 포함함으로써, 다양한 검사대상물에도 적용이 가능하여 범용성이 뛰어난 이점이 있다.In addition, the probe pin according to the present invention, by including an elastic portion that can be stretched in the longitudinal direction, can be applied to a variety of inspection objects there is an advantage of excellent versatility.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 검사장치와 검사대상물 사이의 접촉 상황에서 접촉경로를 최단거리로 유지함으로써 접촉신뢰성은 높이면서도 접촉저항은 낮은 이점이 있다.In addition, the probe pin according to the present invention has the advantage of high contact reliability and low contact resistance by maintaining the contact path at the shortest distance in the contact situation between the inspection apparatus and the inspection object.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 종래 사용되는 포고핀에 비해 뛰어난 내구성을 가지며, 보다 구체적으로 종래 포고핀이 10만 내지 15만회의 압축 및 팽창이 수행되는 경우 스프링 탄성력이 저하되어 그 내구성이 저하되나, 본 발명에 따른 프로브 핀은 탄성부를 이용하여 80만회 내지 120만회의 압축 및 팽창의 반복 수행에도 내구성이 유지되는 이점이 있다.In addition, the probe pin according to the present invention has excellent durability compared to the conventionally used pogo pin, more specifically, when the conventional pogo pin is subjected to compression and expansion of 100,000 to 150,000 times, the spring elastic force is lowered and its durability is improved. Although deteriorated, the probe pin according to the present invention has the advantage that durability is maintained even after repeated compression and expansion of 800,000 to 1.2 million times using the elastic portion.

도 1은, 본 발명에 따른 프로브핀이 구비되는 검사 장치의 모습을 보여주는 사시도이다.
도 2는, 도 1의 검사 장치의 구성을 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은, 도 1의 검사 장치의 모습을 보여주는 단면도이다.
도 4는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 일예를 보여주는 측면도이다.
도 5는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 6은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 7은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.1 is a perspective view showing a state of a test apparatus provided with a probe pin according to the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the inspection device of FIG. 1. FIG.
3 is a cross-sectional view showing a state of the inspection device of FIG. 1.
4 is a side view illustrating an example of a probe pin used in the inspection apparatus of FIG. 1.
FIG. 5 is a side view showing another embodiment of a probe pin used in the inspection device of FIG. 1. FIG.
6 is a side view showing another embodiment of a probe pin used in the inspection device of FIG. 1.
FIG. 7 is a side view showing another embodiment of a probe pin used in the inspection device of FIG. 1. FIG.

이하 본 발명에 따른 프로브 핀 및 그를 가지는 회로 검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a probe pin and a circuit inspection apparatus having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상부에 복수의 수용홈(710)들이 일렬로 배열되어 형성되는 소켓부(700)와; 상기 복수의 수용홈(710)들에 장착되는 복수의 프로브 핀(1)들과; 상기 소켓부(700)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 본체부(800)를 포함한다.Circuit inspection apparatus according to the present invention, as shown in Figures 1 to 3, the socket portion 700 formed by arranging a plurality of receiving grooves 710 in the upper portion; A plurality of probe pins (1) mounted in the plurality of receiving grooves (710); The main body 800 is coupled to the socket part 700, and an opening 810 corresponding to the plurality of receiving grooves 710 is formed to expose at least a portion of the probe pin 1 upward. do.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 본체부(800)의 상부에 상하방향으로 이동가능하도록 결합되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 커버부(900)를 포함할 수 있다.In addition, the circuit inspection apparatus according to the present invention is coupled to the upper portion of the main body 800 so as to be movable in the vertical direction, the cover portion for exposing at least a portion of the probe pin (1) upward through the shandong through pressure 900 may be included.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 소켓부(700)의 하측면에 탈착가능하도록 구비되며, 프로브 핀(1)의 일단에 접촉되어 검사 대상물를 검사하기 위한 기판을 추가로 포함할 수 있다.In addition, the circuit inspection apparatus according to the present invention is provided to be detachable on the lower side of the socket portion 700, and may further include a substrate for contacting one end of the probe pin (1) to inspect the inspection object.

본 발명에 따른 검사 대상물은, 전기적 접촉을 통해 사용되는 전자부품이면 어떠한 구성도 가능하다.The inspection object according to the present invention may have any configuration as long as it is an electronic component used through electrical contact.

예를 들면, 상기 검사 대상물은, FPC(Flexible Printed Circuit), FFC(Flexible, Flat Cable), 모바일 등에 사용되는 카메라 모듈, LCD, OLED, B2B 커넥터 등의 검사를 위하여 사용될 수 있다.For example, the inspection object may be used for inspection of a camera module used in a flexible printed circuit (FPC), a flexible, flat cable (FFC), a mobile, an LCD, an OLED, a B2B connector, and the like.

상기 소켓부(700)는, 상부에 복수의 수용홈(710)들이 일렬로 배열되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The socket portion 700 is a configuration in which a plurality of accommodation grooves 710 are arranged in a line at the top, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 소켓부(700)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되는 관통홈(721)이 형성되는 베이스(720)와, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되는 복수의 수용홈(710)이 형성되도록 베이스(720)의 상부면에 구비되는 수용부(730)를 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 2, the socket part 700 includes a base 720 having a through hole 721 through which at least a portion of the probe pin 1 is exposed downward, and a plurality of probes. It may include a receiving portion 730 provided on the upper surface of the base 720 so that the plurality of receiving grooves 710 on which the pins 1 are mounted.

즉, 상기 소켓부(700)는, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되며, 본체부(800)와의 탈착이 가능하도록 함으로써, 복수의 프로브 핀(1)들 중 일부가 불량 또는 손상된 경우 본체부(800)로부터 분리하여 프로브 핀(1)들 중 일부 또는 전부를 교체할 수 있다.That is, the socket part 700 may be mounted with a plurality of probe pins 1 and may be detachable from the main body part 800, so that some of the plurality of probe pins 1 may be defective or damaged. Some or all of the probe pins 1 may be replaced by detaching from 800.

상기 베이스(720)는, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되는 관통홈(721)이 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The base 720 is a configuration in which a through groove 721 through which at least a portion of the probe pin 1 is exposed downward is formed, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 베이스(720)는, 판상의 플레이트로서, 관통홈(721)이 장착되는 프로브 핀(1)들에 대응되도록 형성되어, 후술하는 프로브 핀(1)의 제2접촉부(300)가 하측으로 노출되도록 할 수 있다.For example, the base 720 is a plate-shaped plate, formed to correspond to the probe pins 1 on which the through grooves 721 are mounted, and the second contact portion 300 of the probe pin 1 to be described later. Can be exposed downward.

이를 통해, 상기 베이스(720)는, 하측에 구비되는 검사를 위한 기판, 즉 PCB와 전기적으로 접촉될 수 있다.Through this, the base 720 may be in electrical contact with the substrate for inspection, that is, the PCB provided on the lower side.

한편, 상기 베이스(720)는, 적어도 하나, 바람직하게는 모서리에 4개의 베이스볼트공(722)이 형성되어, 후술하는 본체부(800)와 볼트결합을 통해 결합할 수 있다.On the other hand, the base 720, at least one, preferably four base bolt holes 722 are formed in the corner, it can be coupled through the bolt coupling with the main body portion 800 to be described later.

상기 수용부(730)는, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되는 복수의 수용홈(710)이 형성되도록 베이스(720)의 상부면에 구비되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The accommodating part 730 is configured to be provided on the upper surface of the base 720 so that a plurality of accommodating grooves 710 on which the plurality of probe pins 1 are mounted may be formed.

예를 들면, 상기 수용부(730)는, 베이스(720)의 상부면에 상측으로 돌출되어 형성되며, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착될 수 있도록 일렬로 배열되어 형성되는 복수의 수용홈(710)들을 포함할 수 있다.For example, the accommodating part 730 is formed to protrude upward from the upper surface of the base 720, and a plurality of accommodating grooves formed in a row so as to be mounted on the plurality of probe pins 1 ( 710.

한편, 상기 수용부(730)는, 수용홈(710)의 바닥면에 후술하는 프로브 핀(1)의 제2직선부(510)가 면접촉되어 지지되는 지지면(731)이 형성될 수 있다.On the other hand, the receiving portion 730 may be formed on the bottom surface of the receiving groove 710, the support surface 731 is supported by the second straight portion 510 of the probe pin 1 to be described in surface contact. .

또한, 상기 수용부(730)는, 일렬로 배열되는 복수의 수용홈(710)들의 배열방향에 대하여 수직방향으로 한 쌍의 프로브 핀(1)이 서로 대칭되어 삽입되도록 복수의 수용홈(710)들의 배열방향으로 수용홈(710)을 가로질러 구비되는 차단부(732)를 포함할 수 있다.In addition, the accommodating part 730 includes a plurality of accommodating grooves 710 such that a pair of probe pins 1 are symmetrically inserted into each other in a direction perpendicular to an arrangement direction of the accommodating grooves 710 arranged in a line. It may include a blocking portion 732 provided across the receiving groove 710 in the arrangement direction of the.

상기 본체부(800)는, 소켓부(700)의 상측에서 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The main body 800 is coupled to the upper side of the socket 700, the opening 810 corresponding to the plurality of receiving grooves 710 is formed so that at least a portion of the probe pin 1 is exposed upward. As the configuration to be made, various configurations are possible.

예를 들면, 상기 본체부(800)는, 소켓부(700)의 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 바디부(820)와, 바디부(820)의 하측면에 베이스(720)가 삽입되도록 형성되는 제1단차부(830)와, 제1단차부(830)에 연장되어 수용부(730)가 삽입되도록 형성되는 제2단차부(840)를 포함할 수 있다.For example, the body part 800 may include a body part 820 having an opening 810 corresponding to the plurality of receiving grooves 710 of the socket part 700, and a lower part of the body part 820. The first step portion 830 is formed to be inserted into the base 720 on the side, and the second step portion 840 is extended to the first step portion 830 is formed so that the receiving portion 730 is inserted. Can be.

즉, 상기 본체부(800)는, 소켓부(700)의 상측에서 결합되며, 일렬로 배열되는 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 평면 상 직사각형 형상의 개구부(810)가 형성되는 바디부(820)를 포함하고, 이때, 수용부(730)와 베이스(720)가 각각 삽입되도록 각각에 대응되는 제2단차부(840) 및 제1단차부(830)가 하부면에 형성될 수 있다.That is, the body portion 800 is coupled to the upper side of the socket portion 700, the body portion corresponding to the plurality of receiving grooves 710 arranged in a line to form an opening 810 of the rectangular shape on the plane 820, and the second step portion 840 and the first step portion 830 corresponding to each of the receiving portion 730 and the base 720 may be formed on the lower surface thereof. .

상기 바디부(820)는, 소켓부(700)에 상측에서 결합되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The body portion 820 is configured to be coupled to the socket portion 700 from above, and various configurations are possible.

상기 바디부(820)는, 소켓부(700)의 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 크기의 개구부(810)가 형성될 수 있으며, 소켓부(700), 보다 상세하게는 베이스(720)와 볼트결합을 위한 바디볼트공(821)이 베이스볼트공(722)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다.The body 820 may have an opening 810 having a size corresponding to the plurality of receiving grooves 710 of the socket 700, the socket 700, and more specifically, the base 720. ) And a body bolt hole 821 for bolting may be formed at a position corresponding to the base bolt hole 722.

이를 통해, 상기 바디부(820)는, 베이스(720)와 볼트결합을 통해 결합될 수 있으며, 볼트를 통해 결합되는 바 소켓부(700)와 쉽게 탈착될 수 있다.Through this, the body portion 820 may be coupled to the base 720 through bolt coupling, and may be easily detached from the bar socket portion 700 coupled through the bolt.

상기 제1단차부(830)는, 바디부(820)의 하측면에 베이스(720)가 삽입되도록 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first stepped part 830 is configured to insert the base 720 on the lower surface of the body part 820, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제1단차부(830)는, 베이스(720)의 저면과 바디부(820)의 저면이 수평을 이루도록, 베이스(720)의 두께에 대응되도록 바디부(820)의 하측면에 형성될 수 있으며, 이로써 베이스(720)가 삽입되어 본체부(800)와 결합될 때, 저면이 수평을 이룰 수 있다.For example, the first step portion 830 may have a lower surface of the body portion 820 so as to correspond to a thickness of the base 720 so that the bottom surface of the base 720 and the bottom surface of the body portion 820 are horizontal. It may be formed in, so that when the base 720 is inserted and combined with the main body 800, the bottom surface may be horizontal.

상기 제2단차부(840)는, 제1단차부(830)에 연장되어 수용부(730)가 삽입되도록 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The second stepped portion 840 is configured to extend to the first stepped portion 830 to be inserted into the accommodation portion 730, and may be configured in various ways.

예를 들면, 상기 제2단차부(840)는, 소켓부(700)의 상측으로 돌출되어 형성되는 수용부(730)에 대응되는 크기로 형성되어, 수용부(730)가 삽입되도록 제1단차부(830)에 연장되어 형성될 수 있다.For example, the second stepped part 840 is formed to have a size corresponding to the receiving part 730 protruding upward from the socket part 700, so that the first step is inserted into the receiving part 730. It may be formed to extend to the portion 830.

또한, 상기 제2단차부(840)는, 프로브 핀(1)이 장착된 상태의 수용부(730)가 삽입됨으로써, 후술하는 제1직선부(410)의 상부면에 면접촉되어 지지할 수 있다.In addition, the second step portion 840 may be supported by surface contact with the upper surface of the first straight portion 410 to be described later by inserting the receiving portion 730 in the state where the probe pin 1 is mounted. have.

상기 커버부(900)는, 본체부(800)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The cover portion 900 is installed to be movable in the vertical direction from the upper side of the main body portion 800, and is configured to expose at least a portion of the probe pin 1 to the upper side through the shandong through pressure, various configurations This is possible.

예를 들면, 상기 커버부(900)는, 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 복수의 개구홈(911)들이 형성되는 커버플레이트(910)와, 커버플레이트(910)와 본체부(800) 사이에 구비되어 압축 및 복원력을 통해 커버플레이트(910)를 상하로 이동하도록 하는 복수의 탄성체(920)들을 포함할 수 있다.For example, the cover part 900 includes a cover plate 910 in which a plurality of opening grooves 911 are formed corresponding to the plurality of receiving grooves 710, the cover plate 910, and the main body part 800. ) May be provided between the plurality of elastic bodies 920 to move the cover plate 910 up and down through compression and restoring force.

상기 커버플레이트(910)는, 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 복수의 개구홈(911)들이 형성되어, 상하이동 시, 복수의 수용홈(710)들에 장착되어 설치되는 복수의 프로브 핀(1)의 상측 일부가 노출되도록 하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The cover plate 910 is formed with a plurality of opening grooves 911 corresponding to the plurality of receiving grooves 710, and a plurality of probes mounted and installed in the plurality of receiving grooves 710 in Shanghai. As a configuration for exposing a portion of the upper side of the pin 1, various configurations are possible.

상기 커버플레이트(910)는, 상측에 검사 대상물이 위치하며, 검사 대상물이 위치함에 따른 가압으로 하측으로 이동하여, 노출된 프로브 핀(1)의 상측 일부가 검사 대상물의 전극부에 접촉하는 구성일 수 있다.The cover plate 910 is a configuration in which the test object is positioned on the upper side, and moves downward to pressurize according to the position of the test object, so that a part of the upper side of the exposed probe pin 1 contacts the electrode part of the test object. Can be.

따라서, 상기 커버플레이트(910)는, 검사 대상물과의 접촉이 수반되는 바, 절연재질로 구비될 수 있다.Therefore, the cover plate 910 may be provided with an insulating material, which is accompanied by contact with the inspection object.

또한, 상기 커버플레이트(910)는, 본체부(800)에 볼트 결합되는 볼트(930)가 관통되도록 형성되는 커버볼트공(912)을 포함할 수 있다.In addition, the cover plate 910 may include a cover bolt hole 912 formed to penetrate the bolt 930 is bolted to the main body portion 800.

즉, 상기 커버플레이트(910)는, 볼트(930)가 커버볼트공(912)을 관통하여 본체부(800)에 결합되며, 이때 상하이동 가능하도록, 커버볼트공(912)이 볼트(930)의 직경보다 크게 형성될 수 있다.That is, the cover plate 910, the bolt 930 penetrates through the cover bolt hole 912 and is coupled to the main body 800, so that the cover bolt hole 912 is a bolt 930 so as to be movable. It may be formed larger than the diameter of.

상기 복수의 탄성체(920)들은, 커버플레이트(910)가 상하이동 가능하도록, 커버플레이트(910)와 본체부(800) 사이에 구비되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The plurality of elastic bodies 920 are provided between the cover plate 910 and the main body 800 so that the cover plate 910 can be moved, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 복수의 탄성체(920)들은, 본체부(800)의 상면 또는 커버플레이트(910)의 하부면 중 적어도 하나에 일부가 삽입되도록 구비되며, 검사 대상물의 자중 또는 사용자의 가압에 따라 커버플레이트(910)가 하측으로 이동하는 경우 압축되고, 외력이 제거된 경우에는 복원력에 따라 커버플레이트(910)를 상측으로 이동시키는 구성일 수 있다.For example, the plurality of elastic bodies 920 may be partially inserted into at least one of an upper surface of the main body 800 or a lower surface of the cover plate 910, and may depend on the weight of the inspection object or the pressure of the user. When the cover plate 910 moves downward, the cover plate 910 may be compressed, and when the external force is removed, the cover plate 910 may be moved upward according to the restoring force.

한편, 상기 복수의 탄성체(920)들은, 직사각형 형상의 커버플레이트(910) 및 본체부(800)의 모서리에 각각 구비될 수 있다.Meanwhile, the plurality of elastic bodies 920 may be provided at edges of the cover plate 910 and the main body 800 having a rectangular shape.

한편, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 하나의 본체부(800)에 복수의 소켓부(700) 및 커버부(900)가 결합될 수 있으며, 이때, 각 소켓부(700)의 수용부(730) 높이를 조절하여 단차를 가지고 형성되는 하나의 본체부(800)에 적용될 수 있다.Meanwhile, in the circuit inspection apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 1, a plurality of socket parts 700 and a cover part 900 may be coupled to one main body 800, wherein each socket The height of the receiving part 730 of the part 700 may be applied to one main body 800 formed with a step.

상기 복수의 프로브 핀(1)들은, 복수의 수용홈(710)들에 장착되어, 상측에서 검사 대상물의 전극부와 전기적으로 접촉되고, 하측에서 검사를 위한 기판, PCB와 접촉되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The plurality of probe pins 1 are mounted in the plurality of receiving grooves 710, and are electrically contacted with the electrode part of the inspection object from the upper side, and contacted with the substrate and the PCB for inspection from the lower side. Configuration is possible.

본 발명에 따른 프로브 핀은, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와, 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와; 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함한다.As shown in FIGS. 4 to 7, the probe pin according to the present invention includes an elastic portion 100 that stretches along the longitudinal direction and a first contact portion 200 formed at one end in the longitudinal direction of the elastic portion 100. )Wow; And a second contact portion 300 formed at the other end in the longitudinal direction of the elastic portion 100.

상기 탄성부(100)는, 길이방향을 따라 신축하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The elastic portion 100 is configured to stretch along the longitudinal direction, it is possible to various configurations.

예를 들면, 상기 탄성부(100)는, 제1접촉부(200)와 제2접촉부(300)를 연결하는 길이방향에 대하여, 제1접촉부(200)와 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 제2접촉부(300)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 제1탄성부(400) 및 제2탄성부(500) 사이에서 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 제3탄성부(600)를 포함할 수 있다.For example, the elastic part 100 extends in the direction crossing the first contact part 200 with respect to the longitudinal direction connecting the first contact part 200 and the second contact part 300, and the first contact part. A first elastic part 400 formed in a direction spaced apart from the 200, a second elastic part 400 extending in a direction crossing the longitudinal direction, and formed in a direction spaced apart from the first contact part 200; The second elastic part 500 and the first elastic part 400 and the second elastic part 500 may include a third elastic part 600 formed in a direction approaching the first contact part 200. .

상기 제1탄성부(400)는, 제1접촉부(200)와 제2접촉부(300)를 연결하는 길이방향에 대하여, 제1접촉부(200)와 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first elastic part 400 extends in the direction crossing the first contact part 200 with respect to the longitudinal direction connecting the first contact part 200 and the second contact part 300, and the first contact part 200. As the configuration formed in the direction away from the), various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제1탄성부(400)는, 제1접촉부(200)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(410)와 일단이 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(420)를 포함할 수 있다.For example, the first elastic portion 400 is connected to the first straight portion 410 and one end thereof extending in a direction orthogonal to the first contact portion 200 in the longitudinal direction. The other end may include an arc-shaped first curved portion 420 connected to one end of the third elastic portion 600.

또한, 상기 제1탄성부(400)는, 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되도록 형성되는 돌출부(430)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the first elastic portion 400 may further include a protrusion 430 formed to protrude downward from the bottom of the first straight portion 410.

상기 제1직선부(410)는, 제1접촉부(200)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first straight portion 410 is configured to extend in a direction orthogonal to the first contact portion 200 in the longitudinal direction, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제1직선부(410)는, 제1접촉부(200)의 하측 끝단에서 굽어져 수평방향으로 형성될 수 있으며, 이를 통해 상부면이 본체부(800)에 면접촉되어 설치될 수 있다.For example, the first straight portion 410 may be bent at the lower end of the first contact portion 200 to be formed in a horizontal direction, through which the upper surface may be installed in surface contact with the main body portion 800. Can be.

상기 제1직선부(410)는, 신축성 있는 재질로 형성될 수 있으며, 제1접촉부(200)의 하측으로의 가압 시, 제1접촉부(200)와 접속되는 일단이 하측으로 하강하고, 제1만곡부(420)와 접속되는 타단이 유지됨으로써 전체적으로 길이방향에 대하여 신축하도록 할 수 있다.The first straight portion 410 may be formed of an elastic material, and when pressurized to the lower side of the first contact portion 200, one end connected to the first contact portion 200 descends downward, and the first By maintaining the other end connected to the curved portion 420 it can be made to stretch in the longitudinal direction as a whole.

한편, 상기 제1직선부(410)는, 접속면이 제1접촉부(200)와 길이방향에 평행하도록 접속될 수 있으며, 다른 예로서 접속면이 제1접촉부(200)와 길이방향에 직교하도록 접속될 수 있고, 접속면이 제1접촉부(200)와 길이방향에 경사를 가지고 교차하도록 접속될 수도 있다.On the other hand, the first straight portion 410 may be connected such that the connection surface is parallel to the first contact portion 200 in the longitudinal direction, as another example so that the connection surface orthogonal to the first contact portion 200 in the longitudinal direction It may be connected, or the connection surface may be connected to cross the first contact portion 200 inclined in the longitudinal direction.

상기 제1만곡부(420)는, 일단이 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first curved portion 420 is an arc-shaped configuration in which one end is connected to the first straight portion 410 and the other end is connected to one end of the third elastic portion 600, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제1만곡부(420)는, 제1직선부(410)의 제1접촉부(200)와의 접속되는 일단의 반대측 타단에서 연장형성되며, 가상의 중심이 제1직선부(410)의 하측에 위치하도록 원호형으로 형성될 수 있다.For example, the first curved portion 420 extends from the other end of the one end connected to the first contact portion 200 of the first straight portion 410, and the virtual center thereof is the first straight portion 410. It may be formed in an arc shape so as to be located below.

이때, 상기 제1만곡부(420)는, 탄성부(100)의 전체적인 길이방향에 대한 신축을 위하여, 제1직선부(410)가 가압에 따른 변형 시 경사지기 유리하도록 형성될 수 있으며, 이를 위하여 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상일 수 있다.In this case, the first curved portion 420 may be formed to be inclined advantageously when the first straight portion 410 is deformed due to pressure, for stretching in the overall longitudinal direction of the elastic portion 100. The central angle may be 180 degrees or more with respect to the virtual center.

상기 돌출부(430)는, 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The protrusion 430 is configured to protrude downward from the bottom of the first straight portion 410, and may have various configurations.

예를 들면, 상기 돌출부(430)는, 제1직선부(410)의 저면에 제1접촉부(200)와 근거리에서 상대적으로 완만한 경사를 가지고 형성되는 제1돌출면(431)과, 제1돌출면(431)으로부터 연장되며 상대적으로 큰 경사를 가지고 형성되는 제2돌출면(432)을 포함할 수 있다.For example, the protruding portion 430 may include a first protruding surface 431 formed on the bottom of the first linear portion 410 with a relatively gentle inclination at a short distance from the first contact portion 200, and a first projection surface 431. It may include a second protruding surface 432 extending from the protruding surface 431 and formed with a relatively large inclination.

즉, 상기 돌출부(430)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 측면 상 제1접촉부(200)측에 이격되는 방향으로 갈수록 하측으로 돌출되는 제1돌출면(431)과, 제1돌출면(431)으로부터 연장되어 제1접촉부(200) 측에 이격되는 방향으로 갈수록 제1직선부(410) 측으로 복원되는 제2돌출면(432)을 포함할 수 있다.That is, the protrusion 430, as shown in Figure 6, the first protruding surface 431 and the first protruding surface protruding toward the lower side toward the first contact portion 200 side on the side toward the first projection ( It may include a second protruding surface 432 extending from the 431 and restored toward the first straight portion 410 toward the direction spaced apart from the first contact portion 200 side.

이때의 제1돌출면(431)은, 길이방향과 평행인 가상의 선에 대하여 상대적으로 큰 사잇각을 가질 수 있으며, 제2돌출면(432)은, 길이방향과 평행인 가상의 선에 대하여 상대적으로 작은 사잇각을 가질 수 있다.At this time, the first projection surface 431 may have a relatively large angle with respect to the imaginary line parallel to the longitudinal direction, and the second projection surface 432 is relative to the imaginary line parallel to the longitudinal direction. Can have a small angle.

즉, 상기 제1돌출면(431)은, 상대적으로 완만한 경사를 가지며, 제2돌출면(432)은 상대적으로 큰 경사를 가지도록 형성될 수 있다.That is, the first protrusion 431 may have a relatively gentle slope, and the second protrusion 432 may be formed to have a relatively large slope.

상기 제2탄성부(500)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The second elastic part 500 extends in a direction crossing the second contact part 300 in the longitudinal direction and is formed in a direction spaced apart from the first contact part 200, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제2탄성부(500)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함할 수 있다.For example, the second elastic portion 500 includes a second straight portion 510 extending in a direction orthogonal to the second contact portion 300 in a longitudinal direction, and one end thereof connected to the second straight portion 510. And the other end thereof may include an arc-shaped second curved portion 520 connected to the other end of the third elastic portion 600.

또한, 상기 제2탄성부(500)는, 전술한 돌출부(430)에 대응되는 구성으로서, 제2직선부(510)의 상부면에서 상측으로 제3탄성부(600)를 향하여 형성되는 돌출부분(미도시)을 추가로 포함할 수 있다.In addition, the second elastic portion 500 is a configuration corresponding to the above-described protrusion 430, and a protrusion formed upward from the upper surface of the second straight portion 510 toward the third elastic portion 600. It may further include (not shown).

상기 제2직선부(510)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The second straight portion 510 extends in a direction orthogonal to the second contact portion 300 in the longitudinal direction, and various configurations are possible.

상기 제2직선부(510)는, 길이방향에 대하여 제1직선부(410)와 같은 방향으로 연장되어 형성될 수 있으며, 소켓부(700)의 수용부(730)의 지지면(731)에 면접촉되어 안착될 수 있다.The second straight portion 510 may extend in the same direction as the first straight portion 410 with respect to the longitudinal direction, and may be formed on the support surface 731 of the receiving portion 730 of the socket portion 700. It may be seated in surface contact.

상기 제2직선부(510)는, 제1접촉부(200)의 가압 시, 신축을 위하여 지지되는 구성으로서, 신축 가능한 재질일 수 있으나 단단한 재질이어도 무방하다.The second straight portion 510 is a structure that is supported for stretching when the first contact portion 200 is pressed, and may be a stretchable material, but may be a hard material.

즉, 상기 제2직선부(510)는, 수용부(730)의 지지면(731)에 지지되어 제1탄성부(400) 및 제3탄성부(600)가 길이방향으로 신축하도록 일측을 지지하는 구성일 수 있다.That is, the second straight portion 510 is supported by the support surface 731 of the receiving portion 730 to support one side such that the first elastic portion 400 and the third elastic portion 600 stretch in the longitudinal direction. It may be a configuration.

한편, 상기 제2직선부(510)는, 제1직선부(410)와 같이 제2접촉부(300)와의 접속면이 길이방향에 평행하도록 접속될 수 있으며, 다른 예로서, 접속면이 제2접촉부(300)와 길이방향에 직교 또는 경사를 가지고 교차하도록 접속될 수 있다.On the other hand, the second straight portion 510, like the first straight portion 410 may be connected so that the connection surface with the second contact portion 300 is parallel to the longitudinal direction, as another example, the connection surface is the second The contact portion 300 may be connected to cross at an orthogonal or inclined length direction.

상기 제2만곡부(520)는, 일단이 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The second curved portion 520 is an arc-like configuration, one end of which is connected to the second straight portion 510 and the other end of which is connected to the other end of the third elastic portion 600, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제2만곡부(520)는, 제2직선부(510)의 제2접촉부(300)와의 접속되는 일단의 반대측 타단에서 연장형성되며, 가상의 중심이 제2직선부(510)의 하측에 위치하도록 원호형으로 형성될 수 있다.For example, the second curved portion 520 extends from the other end of the one end connected to the second contact portion 300 of the second straight portion 510, and the virtual center thereof is the second straight portion 510. It may be formed in an arc shape so as to be located below.

이때, 상기 제2만곡부(520)는, 탄성부(100)의 전체적인 길이방향에 대한 신축을 위하여, 후술하는 제2접속부(620)가 가압에 따른 변형 시 경사지기 유리하도록 형성될 수 있으며, 이를 위하여 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상일 수 있다.In this case, the second curved portion 520 may be formed so that the second connecting portion 620, which will be described later, is inclined when deformed due to pressure for expansion and contraction in the overall longitudinal direction of the elastic portion 100. For this reason, the center angle of the virtual center may be 180 degrees or more.

상기 제3탄성부(600)는, 제1탄성부(400) 및 제2탄성부(500) 사이에서 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The third elastic portion 600 is formed in a direction approaching the first contact portion 200 between the first elastic portion 400 and the second elastic portion 500, it is possible to have a variety of configurations.

예를 들면, 상기 제3탄성부(600)는, 제1탄성부(400)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제1접속부(610)와, 제2탄성부(500)와 길이방향에 교차하는 방향으로 접속하는 제2접속부(620)와, 제1접속부(610) 및 제2접속부(620) 사이에 접속되는 원호형의 제3만곡부(630)를 포함할 수 있다.For example, the third elastic portion 600 may extend from the first elastic portion 400 in a direction crossing the longitudinal direction and be connected to the first connection portion 610 and the second elastic portion 500. It may include a second connecting portion 620 connected in a direction crossing the direction, and an arc-shaped third curved portion 630 connected between the first connecting portion 610 and the second connecting portion 620.

상기 제1접속부(610)는, 제1탄성부(400)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first connection portion 610 is configured to extend from the first elastic portion 400 in a direction crossing the longitudinal direction, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제1접속부(610)는, 일단이 제3만곡부(630)와 접속하고 타단이 제1만곡부(420)와 접속하도록 형성되며, 길이방향에 교차하는 방향으로 경사를 가지고 형성될 수 있다.For example, the first connecting portion 610 may be formed such that one end is connected to the third curved portion 630 and the other end is connected to the first curved portion 420, and has an inclination in a direction crossing the longitudinal direction. Can be.

보다 구체적으로, 상기 제1접속부(610)는, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1만곡부(420)로부터 제3만곡부(630)로 갈수록 상측으로 올라가는 경사를 가질 수 있다.More specifically, as illustrated in FIGS. 4 to 7, the first connection portion 610 may have an inclination that rises upward from the first curved portion 420 to the third curved portion 630.

즉, 상기 제1접속부(610)는, 제1탄성부(400)로부터 제1접촉부(200)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.That is, the first connection part 610 may be formed to extend in a direction from the first elastic part 400 toward the first contact part 200.

이를 통해, 상기 제1접속부(610)는, 탄성부(100)의 압축 시 제3만곡부(630)가 제1직선부(410) 및 제2직선부(510)와 접촉되도록 함으로써, 전체적인 전기저항을 줄일 수 있다.Through this, the first connecting portion 610, the third curved portion 630 is in contact with the first linear portion 410 and the second linear portion 510 during compression of the elastic portion 100, the overall electrical resistance Can be reduced.

상기 제2접속부(620)는, 제2탄성부(500)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The second connection portion 620 is a configuration in which the second elastic portion 500 extends in a direction crossing the longitudinal direction and is connected, and various configurations are possible.

예를 들면, 상기 제2접속부(620)는, 일단이 제3만곡부(630)와 접속하고 타단이 제1만곡부(420)와 접속하도록 형성되며, 길이방향에 교차하는 방향으로 경사를 가지고 형성될 수 있다.For example, the second connection portion 620 may be formed such that one end thereof is connected to the third curved portion 630 and the other end thereof is connected to the first curved portion 420 and has an inclination in a direction crossing the longitudinal direction. Can be.

보다 구체적으로, 상기 제2접속부(620)는, 제2만곡부(520)로부터 제3만곡부(630)로 갈수록 하측으로 내려가는 경사를 가질 수 있다.More specifically, the second connector 620 may have an inclination downward toward the third curved portion 630 from the second curved portion 520.

즉, 상기 제2접속부(620)는, 제2탄성부(500)로부터 제2접촉부(300)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.That is, the second connection part 620 may be formed to extend in a direction from the second elastic part 500 toward the second contact part 300.

이를 통해, 상기 제2접속부(620)는, 탄성부(100)의 압축 시 제3만곡부(630)가 제2직선부(510)와 접촉되도록 함으로써, 전기저항을 줄일 수 있다.As a result, the second connecting portion 620 may reduce the electrical resistance by making the third curved portion 630 contact with the second straight portion 510 when the elastic portion 100 is compressed.

상기 제3만곡부(630)는, 제1접속부(610) 및 제2접속부(620) 사이에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The third curved portion 630 is an arc-shaped configuration that is connected between the first connection portion 610 and the second connection portion 620, and can be configured in various ways.

예를 들면, 상기 제3만곡부(630)는, 제1접속부(610)와 제2접속부(620) 사이에서 원호형으로 형성될 수 있으며, 가상의 중심을 기준으로 중심각이 180도 이상이 되도록 형성될 수 있다.For example, the third curved portion 630 may be formed in an arc shape between the first connecting portion 610 and the second connecting portion 620, and the center angle is formed to be 180 degrees or more based on the virtual center. Can be.

한편, 상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)으로 형성될 수 있다.On the other hand, the elastic portion 100 may be formed of a pair of elastic pieces (110, 120) in the shape of a band disposed with a gap between each other.

또한, 상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 연결하는 적어도 하나의 브릿지(130)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the elastic part 100 may further include at least one bridge 130 that connects the pair of elastic pieces 110 and 120 in a band shape with a gap therebetween.

상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들은, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상으로 탄성부(100)를 이루는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The pair of elastic pieces 110 and 120 are configured to form the elastic portion 100 in a band shape with a gap therebetween, and various configurations are possible.

상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들은, 신축 가능한 재질로서, 길이방향의 신축성을 증대시키기 위하여 서로 간극을 두고 배치될 수 있다.The pair of elastic pieces (110, 120), as a stretchable material, may be arranged with a gap from each other to increase the stretch in the longitudinal direction.

상기 브릿지(130)는, 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 가로질러 연결하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The bridge 130 is configured to connect across a pair of elastic pieces (110, 120), various configurations are possible.

예를 들면, 상기 브릿지(130)는, 서로 간극을 가지고 배치되는 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 가로질러 서로 연결할 수 있으며, 이를 통해 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이에 형성되는 간극을 차단할 수 있다.For example, the bridge 130 may be connected to each other across a pair of elastic pieces (110, 120) arranged with a gap between each other, through which a pair of elastic pieces (110, 120) The gap formed in between can be blocked.

한편, 상기 브릿지(130)는, 복수개 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 도 6에 도시된 바와 같이, 제1직선부(410)와 제2접속부(620)에 각각 형성될 수 있다.The bridge 130 may be formed in plural, and more specifically, as shown in FIG. 6, the bridge 130 may be formed in the first straight portion 410 and the second connection portion 620, respectively.

이를 통해, 검사 대상물과 검사를 위한 기판 사이의 접촉경로를 짧게하여 전기저항을 감소할 수 있다.Through this, it is possible to shorten the contact path between the inspection object and the substrate for inspection to reduce the electrical resistance.

상기 제1접촉부(200)는, 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first contact portion 200 is formed at one end in the longitudinal direction of the elastic portion 100, various configurations are possible.

특히, 상기 제1접촉부(200)는, 적어도 일부가 커버부(900)의 상측으로 노출됨으로써, 상측에 위치하는 검사 대상물의 전극부와 접촉되어 통전될 수 있다.In particular, the first contact portion 200 may be in contact with the electrode portion of the inspection object positioned on the upper side of the first contact portion 200 by being exposed to the upper side of the cover portion 900 to be energized.

상기 제1접촉부(200)는, 탄성부(100)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(210)와, 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사 대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(220)을 포함할 수 있다.The first contact part 200 is formed at the end of the first connection part 210 and the first connection part 210 which extends upward from one end of the elastic part 100 to the electrode part of the test object. The first contact surface 220 may be included.

상기 제1연결부(210)는, 탄성부(100)의 일단, 보다 구체적으로는 제1직선부(410)로부터 상측으로 연장되어 형성될 수 있다.The first connection portion 210 may be formed to extend upward from one end of the elastic portion 100, more specifically, the first straight portion 410.

이때, 상기 제1연결부(210)는, 적어도 일부가 간극을 가지는 띠형상으로 형성될 수 있다.In this case, the first connecting portion 210 may be formed in a band shape having at least a portion of the gap.

상기 제1접촉면(220)은, 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사 대상물의 전극부와 접촉되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The first contact surface 220 is formed at the end of the first connection portion 210 to be in contact with the electrode portion of the inspection object, various configurations are possible.

일예로, 상기 제1접촉면(220)은, 'U'자 형태의 홈을 가지도록 형성됨으로써, 검사 대상물의 전극부와 안정적인 접촉을 유도할 수 있다.For example, the first contact surface 220 may be formed to have a groove having a 'U' shape, thereby inducing stable contact with the electrode part of the inspection object.

한편, 다른 예로서, 상기 제1접촉면(220)은, 측면 상 경사를 가지도록 형성될 수 있으며, 중심이 볼록한 형상으로 형성될 수도 있다.On the other hand, as another example, the first contact surface 220 may be formed to have a slope on the side, it may be formed in a convex shape of the center.

상기 제2접촉부(300)는, 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The second contact portion 300 is formed at the other end in the longitudinal direction of the elastic portion 100, various configurations are possible.

특히 상기 제2접촉부(300)는, 적어도 일부가 소켓부(700)의 하측으로 노출됨으로써, 하측에 위치하는 검사를 위한 기판 또는 PCB와 접촉되어 통전되도록 할 수 있다.In particular, the second contact portion 300 may be exposed to the lower side of the socket portion 700, so that the second contact portion 300 is in contact with the substrate or PCB for inspection located on the lower side to be energized.

상기 제2접촉부(300)는, 탄성부(100)의 타단에서 하측으로 연장되어 형성되는 제2연결부(310)와, 제2연결부(310)의 끝단에 형성되어 기판 또는 PCB와 접촉되는 제2접촉면(320)을 포함할 수 있다.The second contact part 300 may include a second connection part 310 extending downward from the other end of the elastic part 100 and a second contact part 310 formed at an end of the second connection part 310 to be in contact with the substrate or the PCB. The contact surface 320 may be included.

또한, 상기 제2접촉부(300)는, 제2연결부(310)를 기준으로 제2직선부(510)의 반대측으로 연장형성되는 연장부(330)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the second contact part 300 may further include an extension part 330 extending to the opposite side of the second straight part 510 based on the second connection part 310.

상기 제2연결부(310)는, 탄성부(100)의 타단, 보다 구체적으로는 제2직선부(510)로부터 하측으로 연장되어 형성될 수 있다.The second connection portion 310 may be formed extending from the other end of the elastic portion 100, more specifically, from the second straight portion 510.

상기 제2접촉면(320)은, 제2연결부(310)의 끝단에 형성되어 검사를 위한 기판과 접촉되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다. The second contact surface 320 is formed at the end of the second connector 310 to be in contact with the substrate for inspection, and various configurations are possible.

일예로, 상기 제2접촉면(320)은, 'U'자 형태의 홈을 가지도록 형성됨으로써, 검사 대상물의 전극부와 안정적인 접촉을 유도할 수 있다.For example, the second contact surface 320 may be formed to have a groove having a 'U' shape, thereby inducing stable contact with the electrode part of the inspection object.

한편, 다른 예로서, 상기 제2접촉면(320)은, 측면 상 경사를 가지도록 형성될 수 있으며, 중심이 볼록한 형상으로 형성될 수도 있다.On the other hand, as another example, the second contact surface 320 may be formed to have a slope on the side, it may be formed in a convex shape of the center.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.Since the above has just been described with respect to some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, as is well known the scope of the present invention should not be construed as limited to the above embodiments, the present invention described above It will be said that both the technical idea and the technical idea which together with the base are included in the scope of the present invention.

100: 탄성부 200: 제1접촉부
300: 제2접촉부 400: 제1탄성부
500: 제2탄성부 600: 제3탄성부
700: 소켓부 800: 본체부
900: 커버부100: elastic portion 200: first contact portion
300: second contact portion 400: first elastic portion
500: second elastic portion 600: third elastic portion
700: socket portion 800: main body portion
900: cover part

Claims (10)

길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와;
상기 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와;
상기 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함하며,
상기 탄성부(100)는,
상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 상기 제1탄성부(400) 및 상기 제2탄성부(500) 사이에서 상기 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 제3탄성부(600)를 포함하며,
상기 제1탄성부(400)는,
상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(410)를 포함하며,
상기 제1탄성부(400)는,
상기 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되도록 형성되는 돌출부(430)를 포함하며,
상기 돌출부(430)는,
측면 상 상기 제1접촉부(200)측에 이격되는 방향으로 갈수록 하측으로 돌출되는 제1돌출면(431)과, 상기 제1돌출면(431)으로부터 연장되어 제1접촉부(200) 측에 이격되는 방향으로 갈수록 상기 제1직선부(410) 측으로 복원되고 상기 제1접촉부(200)와의 사이각도가 상기 제1돌출면(431)보다 크게 형성되는 제2돌출면(432)을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.An elastic portion 100 stretched along the longitudinal direction;
A first contact portion 200 formed at one end in the longitudinal direction of the elastic portion 100;
It includes a second contact portion 300 formed at the other end in the longitudinal direction of the elastic portion 100,
The elastic portion 100,
A first elastic portion 400 extending in a direction crossing the first contact portion 200 and the length direction and spaced apart from the first contact portion 200, the second contact portion 300, and the Between the second elastic portion 500 and the first elastic portion 400 and the second elastic portion 500 extending in a direction crossing the longitudinal direction and formed in a direction spaced apart from the first contact portion 200. A third elastic part 600 formed in a direction approaching the first contact part 200,
The first elastic portion 400,
It includes a first straight portion 410 extending in a direction perpendicular to the first contact portion 200 and the longitudinal direction,
The first elastic portion 400,
It includes a protrusion 430 formed to protrude downward on the bottom of the first straight portion 410,
The protrusion 430,
The first protruding surface 431 and the first protruding surface 431 protruding downward toward the side spaced apart from the side of the first contact portion 200 on the side surface of the first protruding surface 431 are spaced apart from the first contact portion 200 side. The second projection surface 432 is restored to the first linear portion 410 toward the direction and the angle between the first contact portion 200 is larger than the first projection surface 431 is characterized in that it comprises a To the probe pin. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1탄성부(400)는,
일단이 상기 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.The method according to claim 1,
The first elastic portion 400,
And an arc-shaped first curved portion (420) having one end connected to the first straight portion (410) and the other end connected to one end of the third elastic portion (600). 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제2탄성부(500)는,
상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 상기 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.The method according to claim 1,
The second elastic portion 500,
The second straight portion 510 extending in the direction orthogonal to the second contact portion 300 and the longitudinal direction, one end is connected to the second straight portion 510 and the other end is the third elastic portion 600 And a second curved portion 520 of an arc shape connected to the other end of the probe pin. 청구항 5에 있어서,
상기 제3탄성부(600)는,
상기 제1탄성부(400)로부터 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제1접속부(610)와, 상기 제2탄성부(500)로부터 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제2접속부(620)와, 상기 제1접속부(610) 및 상기 제2접속부(620) 사이에 접속되는 원호형의 제3만곡부(630)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.The method according to claim 5,
The third elastic portion 600,
A first connection portion 610 extending from the first elastic portion 400 in a direction crossing the longitudinal direction and connected to the first connection portion 610 extending from the second elastic portion 500 in a direction crossing the longitudinal direction And a second curved portion (630) connected between the second connecting portion (620) and the first connecting portion (610) and the second connecting portion (620). 청구항 6에 있어서,
상기 제1접속부(610)는,
상기 제1탄성부(400)로부터 상기 제1접촉부(200)를 향하는 방향으로 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.The method according to claim 6,
The first connector 610 is,
Probe pin, characterized in that extending in the direction from the first elastic portion 400 toward the first contact portion (200). 청구항 6에 있어서,
상기 제2접속부(620)는,
상기 제2탄성부(500)로부터 상기 제2접촉부(300)를 향하는 방향으로 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.The method according to claim 6,
The second connection unit 620,
Probe pin, characterized in that extending in the direction from the second elastic portion 500 toward the second contact portion (300). 청구항 1에 있어서,
상기 탄성부(100)는,
서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.The method according to claim 1,
The elastic portion 100,
Probe pin, characterized in that formed by a pair of elastic pieces (110, 120) of the strip-shaped spaced apart from each other. 청구항 9에 있어서,
상기 탄성부(100)는,
서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 연결하는 적어도 하나의 브릿지(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
The method according to claim 9,
The elastic portion 100,
And at least one bridge (130) for connecting the pair of elastic pieces (110, 120) in the form of bands spaced apart from each other.
KR1020190139968A 2019-11-05 2019-11-05 Probe pin KR102086390B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190139968A KR102086390B1 (en) 2019-11-05 2019-11-05 Probe pin
CN202010070131.2A CN111562412B (en) 2019-11-05 2020-01-21 Probe and circuit inspection device provided with same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190139968A KR102086390B1 (en) 2019-11-05 2019-11-05 Probe pin

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200026182A Division KR20210054432A (en) 2020-03-02 2020-03-02 Probe pin and Apparatus for inspecting circuit using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102086390B1 true KR102086390B1 (en) 2020-03-09

Family

ID=69801925

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190139968A KR102086390B1 (en) 2019-11-05 2019-11-05 Probe pin

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102086390B1 (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111579833A (en) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 Probe and connector suitable for high-current high-speed signal test
KR20200133366A (en) * 2018-05-22 2020-11-27 오므론 가부시키가이샤 Probe pin
KR102242276B1 (en) * 2020-08-21 2021-04-20 주식회사 플라이업 Apparatus for inspecting circuit using the same
KR102256652B1 (en) * 2020-11-26 2021-05-27 주식회사 세인블루텍 A probe pin and a test socket using the probe pin
CN113866464A (en) * 2021-09-22 2021-12-31 深圳凯智通微电子技术有限公司 Probe and integrated circuit test equipment
KR20220009084A (en) 2020-07-15 2022-01-24 (주)엠투엔 Probe pin, method for manufaturing the same and probe card including the same
KR20230123094A (en) 2022-02-15 2023-08-23 (주)마이크로투나노 Cantilever-type probe pin having a multi-layered structure, method for manufacturing the same
KR20230163336A (en) * 2021-06-15 2023-11-30 (주)포인트엔지니어링 Supporting plate for electrical test socket, socket pin for electrical test socket, and electrical test socket

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090029838A (en) * 2006-08-18 2009-03-23 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 Conductive contactor and conductive contactor unit
JP2009300190A (en) * 2008-06-11 2009-12-24 Japan Electronic Materials Corp Probe
US20110050263A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-03 Fujitsu Component Limited Probe and method of manufacturing probe
JP2011523040A (en) * 2008-05-08 2011-08-04 コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ Vertical microcontact probe with variable stiffness structure
JP2014013184A (en) * 2012-07-04 2014-01-23 Micronics Japan Co Ltd Cantilever type probe assembly and probe card or probe unit equipped with the same
US20140065893A1 (en) * 2010-12-03 2014-03-06 Ardent Concepts Inc. Compliant Electrical Contact
KR20190085834A (en) * 2018-01-11 2019-07-19 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus
KR20190085830A (en) * 2018-01-11 2019-07-19 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus
KR20190085835A (en) * 2018-01-11 2019-07-19 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus
KR20190095867A (en) * 2018-02-07 2019-08-16 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090029838A (en) * 2006-08-18 2009-03-23 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 Conductive contactor and conductive contactor unit
JP2011523040A (en) * 2008-05-08 2011-08-04 コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ Vertical microcontact probe with variable stiffness structure
JP2009300190A (en) * 2008-06-11 2009-12-24 Japan Electronic Materials Corp Probe
US20110050263A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-03 Fujitsu Component Limited Probe and method of manufacturing probe
US20140065893A1 (en) * 2010-12-03 2014-03-06 Ardent Concepts Inc. Compliant Electrical Contact
JP2014013184A (en) * 2012-07-04 2014-01-23 Micronics Japan Co Ltd Cantilever type probe assembly and probe card or probe unit equipped with the same
KR20190085834A (en) * 2018-01-11 2019-07-19 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus
KR20190085830A (en) * 2018-01-11 2019-07-19 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus
KR20190085835A (en) * 2018-01-11 2019-07-19 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus
KR20190095867A (en) * 2018-02-07 2019-08-16 오므론 가부시키가이샤 Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200133366A (en) * 2018-05-22 2020-11-27 오므론 가부시키가이샤 Probe pin
KR102442364B1 (en) 2018-05-22 2022-09-14 오므론 가부시키가이샤 probe pin
CN111579833A (en) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 Probe and connector suitable for high-current high-speed signal test
CN111579833B (en) * 2020-05-18 2022-12-23 武汉精毅通电子技术有限公司 Probe and connector suitable for high-current high-speed signal test
KR20220009084A (en) 2020-07-15 2022-01-24 (주)엠투엔 Probe pin, method for manufaturing the same and probe card including the same
KR102242276B1 (en) * 2020-08-21 2021-04-20 주식회사 플라이업 Apparatus for inspecting circuit using the same
KR102256652B1 (en) * 2020-11-26 2021-05-27 주식회사 세인블루텍 A probe pin and a test socket using the probe pin
KR20230163336A (en) * 2021-06-15 2023-11-30 (주)포인트엔지니어링 Supporting plate for electrical test socket, socket pin for electrical test socket, and electrical test socket
KR102645307B1 (en) 2021-06-15 2024-03-08 (주)포인트엔지니어링 Supporting plate for electrical test socket, socket pin for electrical test socket, and electrical test socket
CN113866464A (en) * 2021-09-22 2021-12-31 深圳凯智通微电子技术有限公司 Probe and integrated circuit test equipment
KR20230123094A (en) 2022-02-15 2023-08-23 (주)마이크로투나노 Cantilever-type probe pin having a multi-layered structure, method for manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102086390B1 (en) Probe pin
US6572396B1 (en) Low or zero insertion force connector for printed circuit boards and electrical devices
JP2683320B2 (en) Contact connection device
KR20020096892A (en) Socket for electricparts
CN111562412B (en) Probe and circuit inspection device provided with same
KR930007338A (en) Inspection electrode unit for printed wiring boards, inspection apparatus including the same, and inspection method for printed wiring boards
CN106841691B (en) Pin and semiconductor package testing system
KR102086391B1 (en) Apparatus for inspecting circuit suing the same
KR102197313B1 (en) Probe pin and test socket using the same
KR101999320B1 (en) Test socket comprising pogo pin and test apparatus comprising the test socket
KR101469217B1 (en) Apparatus for test of semi conductor device
JP7314633B2 (en) Probe pins, inspection fixtures and inspection units
KR102191759B1 (en) Probe pin and test socket using the same
JP4213455B2 (en) Socket for electrical parts
KR20210054432A (en) Probe pin and Apparatus for inspecting circuit using the same
KR102242276B1 (en) Apparatus for inspecting circuit using the same
KR101974816B1 (en) Leaf spring type connection pin
KR102429358B1 (en) Probe pin and apparatus for inspecting circuit having the same
KR102196098B1 (en) Socket Assembly for Testing Electronic Module
JP2004150927A (en) Probing device
US9116172B2 (en) Connector for actuator of camera
CN114076887A (en) Circuit inspection device
KR20060069396A (en) Examination apparatus for printed circuit board
JP7309219B2 (en) Probe terminals, evaluation sockets, and device evaluation methods
KR101363368B1 (en) Examination apparatus of printed circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
A107 Divisional application of patent
GRNT Written decision to grant