KR102064720B1 - 기판 본딩 접합장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제1경성기판이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 상하이동시키도록 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 전후진이동시키도록 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 제1경성기판을 이송시키는 제1이송부 ; 상기 한쌍의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 한쌍의 상부 가압헤드를 각각 회전시키는 한쌍의 제4엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제4이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제4이송대를 한쌍의 제5엑추에이터에 의해서 각각 전후진이동시키도록 조립되는 한쌍의 제5이송대를 갖추며, 상기 한쌍의 제5이송대를 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 각각 좌우이동시킬 수 있도록 조립되는 제6이송대를 갖추며, 상기 제6이송대를 제7엑추에이터에 의해서 상하이동시키도록 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판을 정렬시키는 정렬부 ; 및 한쌍의 연성기판을 영상으로 각각 취득하도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 한쌍의 카메라부를 갖추고, 상기 한쌍의 카메라부를 구비하는 한쌍의 카메라고정바와 결합되는 한쌍의 카메라블럭을 갖추고, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 각각 좌우이동시킬 수 있도록 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판에 형성되는 정렬마크를 확인하는 비전부를 포함한다.

Description

기판 본딩 접합장치{Substrate Bonding Apparatus}
본 발명은 기판들간을 본딩하여 접합하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 티콘 기판과 같은 경성기판과 한쌍의 연성기판의 각 일단을 본딩 접합하는 공정을 자동화할 수 있는 기판 본딩 장치에 관한 것이다.
근래 디스플레이패널을 포함하는 디스플레이장치는 점차 대형화 및 박형화되고 있으며, 발광방식도 플라즈마, LCD 방식에서 점차 유기EL 방식으로 변화되고 있는 추세에 있다.
이러한 디스플레이장치는 디스플레이패널과 이를 구동하기 위한 구동부를 포함하고, 상기 구동부에는 파워서플라이와 메인보드를 구비하고, 상기 구동부의 파워서플라이와 메인보드는 디스플레이패널과 기판구조물을 매개로 하여 연결된다.
이러한 기판구조물(P)은 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 파워서플라이와 메인보드를 포함하는 구동부(M)에 탑재되어 전기적으로 연결되어 티콘(T-CON)PCB 와 같은 제1경성기판(10)과, 상기 디스플레이패널(D)에 탑재되어 전기적으로 연결되는 도터 PCB 와 같은 제2경성기판(20) 및 상기 제1경성기판과 제2경성기판과의 사이를 전기적으로 연결하는 플렉서블 PCB 와 같은 한쌍의 연성기판(30)을 포함한다.
상기 제1경성기판(10)은 LCD 모니터, 노트북, TV 등 10인치 이상 대형 디스플레이 패널에 탑재되어 구동칩에 전송되는 데이터 양을 조절하고 화질을 개선해주는 디스플레이용 반도체인 타이밍 콘트롤러 피씨비(Timing Controller PCB)로 구비된다.
상기 제2경성기판(20)은 디스플레이패널에 구비되는 패널기판에 음성기능이나 비디오 특성을 향상시키는 새로운 기능을 추가하기 위해서 별도의 전자회로를 탑재하여 패널기판 위에 증설되는 도터 피씨비(daughter PCB)로 구비된다.
상기 연성기판(30)은 가요성 필름소재로 이루어져 상기 제1,2경성기판의 접합부위와 각각 탭(TAP : Tape Automated Bonding)공정에 의해서 전기적으로 접합연결되는 플렉서블 PCB로 구비된다.
이러한 제1경성기판에 형성되는 단자패드와 상기 연성기판의 일단에 형성되는 단자패드를 서로 일대일로 대응시켜 본딩접합하는 작업을 자동으로 정밀하게 수행하기 위한 본딩접합장치를 절실하게 요구되었다.
(특허문헌 1) KR10-1796930 B1
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 티콘 기판과 같은 경성기판의 한쌍의 단자패드와 한쌍의 연성기판의 각 일단에 형성된 단자패드를 본딩접합하는 공정을 자동화할 수 있는 기판 본딩 접합장치를 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서, 본 발명의 바람직한 실시예는, 제1경성기판의 단자패드에 한쌍의 연성기판의 일측단을 본딩 접합하는 장치에 있어서, 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 제1경성기판을 이송시키는 제1이송부 ; 상기 한쌍의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 한쌍의 상부 가압헤드를 각각 회전시키는 한쌍의 제4엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제4이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제4이송대를 한쌍의 제5엑추에이터에 의해서 y축방향으로 각각 전후진이동시키도록 상기 한쌍의 제4이송대가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제5이송대를 갖추며, 상기 한쌍의 제5이송대를 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 제5이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제6이송대를 갖추며, 상기 제6이송대를 제7엑추에이터에 의해서 z축 방향으로 상하이동시키도록 상기 제6이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판을 정렬시키는 정렬부 ; 및 상기 한쌍의 상부 가압헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판을 영상으로 각각 취득하도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 한쌍의 카메라부를 갖추고, 상기 한쌍의 카메라부를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라고정바와 결합되어 지지하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추고, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판에 형성되는 정렬마크를 확인하는 비전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩 접합장치를 제공한다.
바람직하게, 상기 제1이송대는 상기 제1경성기판이 배치되는 하부 가압헤드를 z축에서 회전시키는 제1엑추에이터가 탑재되는 제1수평대와, 상기 제2이송대의 일측에 구비되는 한쌍의 수직레일과 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 슬라이더를 갖추어 z축방향으로 상하이동가능하게 조립되는 제1수직대를 포함한다.
바람직하게, 상기 하부 가압헤드는 진공흡인라인과 연통되는 흡착홀을 바닥면에 형성하여 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 배치홈을 구비한다.
바람직하게, 상기 제2이송대는 상기 제2엑추에이터가 내부수용되는 내부공간을 갖는 제2수직대와, 상기 제1이송대의 수직대에 구비되는 한쌍의 슬라이더가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 레일을 갖는 제2수직대를 탑재하는 제2수평대를 포함한다.
바람직하게, 상기 상부 가압헤드는 진공흡인라인과 연통되는 흡착홀을 하부면에 구비하여 연성기판이 흡착고정되는 흡착헤드와, 상기 하부 가압헤드에 배치된 제1경성기판의 단자패드와 상기 한쌍의 연성기판의 각 단자패드를 서로 본딩접합하는 가열부를 하부면에 구비하는 본딩헤드를 포함한다.
바람직하게, 상기 제4이송대는 상기 연성기판을 흡착고정하는 상부 가압헤드를 z축에서 회전시키는 제4엑추에이터가 고정설치되는 제4수직대와, 상기 제5이송대에 구비되는 수평레일과 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더를 상부면에 갖추어 y축방향으로 전후진이동가능하게 조립되는 제4수평대를 포함한다.
바람직하게, 상기 제5이송대는 상기 제4이송대에 구비되는 한쌍의 슬라이더가 활주이동가능하게 조립되는 수평레일을 하부면에 구비하는 제5수평대와, 상기 제5엑추에이터가 일측에 고정설치되는 제5수평대를 상부면에 일체로 구비하는 제5수직대를 포함한다.
바람직하게, 상기 제6이송대는 상기 제5이송대의 제5수직대 일측면에 구비되는 한쌍의 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수평레일을 전면에 구비하고, 상기 제6엑추에이터가 일측단에 고정설치되는 메인이송판을 포함한다.
바람직하게, 상기 메인고정대는 상기 한쌍의 제6이송대를 전면에 x축 방향으로 좌우 왕복이동가능하게 구비하는 메인이송판의 후면에 구비되는 복수개의 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 수직레일을 전면에 구비하는 메인고정판과, 상기 메인고정판을 상부에 고정설치하고, 상기 메인이송판을 z축방향으로 상하 왕복이동시키는 제7엑추에이터를 고정설치한다.
바람직하게, 상기 카메라블럭은 상기 카메라고정바과 결합되어 위치고정하는 상부블럭과, 상기 상부블럭이 상하이동가능하게 조립되는 중간블럭 및 상기 중간블럭과 결합되고 상기 고정대의 상부면에 구비되는 안내레일에 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더를 갖추어 상기 제8엑추에이터의 수평스크류축과 결합되는 하부블럭을 포함한다.
바람직하게, 상기 한쌍의 연성기판을 상기 한쌍의 상부 가압헤드의 흡착헤드에 공급하는 제2이송부를 포함하고, 상기 제2이송부는 상기 한쌍의 연성기판이 각각 올려져 배치되는 한쌍의 기판적치대를 구비하는 한쌍의 기판이송대와, 상기 한쌍의 기판이송대가 활주이동 가능하게 조립되는 한쌍의 왕복대 및 상기 한쌍의 왕복대를 따라 상기 정렬부 측으로 한쌍의 기판이송대를 직선왕복이동시키는 구동력을 제공하는 제9엑추에이터를 포함한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
티콘 기판과 같은 제1경성기판의 단자패드와, 한쌍의 연성기판의 각 일단을 서로 본딩 접합하는 공정을 자동화함으로써 작업생산성을 높이고, 기판구조물을 대량으로 제품불량없이 정밀하게 제조할 수 있는 효과가 얻어진다.
도 1a 와 도 1b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치를 도시한 전체 사시도이다.
도 2a 와 도 2b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제1이송부, 정렬부 및 비전부를 도시한 사시도이다.
도 3a 와 도 3b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 정렬부와 비전부를 도시한 사시도이다.
도 4a 와 도 4b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제1이송부를 도시한 사시도이다.
도 5a 와 도 5b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 정렬부를 도시한 사시도이다.
도 6a 와 도 6b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 정렬부의 일측을 부분확대한 사시도이다.
도 7a 와 도 7b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 비전부를 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제2이송부를 도시한 사시도이다.
도 9a 와 도 9b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에서 연성기판을 비전하여 상부 가압헤드를 정렬하고, 본딩접합하는 공정을 도시한 개략도이다.
도 10 은 일반적으로 제1경성기판과 제2경성기판과의 사이를 연성기판으로 접합연결한 기판구조물을 도시한 개략도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 본딩접합장치(1000)는 도 1a 와 도 1b 에 도시한 바와 같이, 제1경성기판(10)의 단자패드와 한쌍의 연성기판(30)의 각 일단을 서로 중첩시켜 본딩접합할 수 있도록 제1이송부(100), 정렬부(200), 비전부(300)를 포함한다.
상기 제1이송부(100)는 도 2a 내지 도 4b 에 도시한 바와 같이, 한쌍의 단자패드에 플럭스가 각각 도포된 제1경성기판(10)을 상기 정렬부의 한쌍의 상부 가압헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판과 각각 접합할 수 있도록 접합위치로 이송시키는 것으로, 이러한 제1이송부(100)는 제1이송대(110), 제2이송대(120) 및 제3이송대(130)를 포함한다.
상기 제1이송대(110)는 상기 제1경성기판(10)이 올려져 배치되는 하부 가압헤드(112)를 z축에서 일정각도 회전시키는 제1엑추에이터(111)가 상부면에 탑재되는 제1수평대(118)를 갖추고, 상기 제2이송대(120)의 일측에 구비되는 한쌍의 수직레일(127)과 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 슬라이더(117)를 갖추어 z축방향으로 상하이동가능하게 조립되는 제1수직대(119)를 포함한다.
상기 하부 가압헤드(112)는 진공흡인라인과 연통되는 흡착홀(114)을 바닥면에 형성하여 상기 제1경성기판(10)이 올려져 배치되는 배치홈(113)을 구비하는 금속판재로 이루어짐으로써, 상기 제1경성기판은 상기 배치홈에서 진공흡착력에 의해서 본딩접합 공정동안 확고히 위치고정된다.
상기 제2이송대(120)는 하부 가압헤드가 배치되는 제1이송대(110)를 제2엑추에이터(121)의 구동력에 의해서 z축방향으로 상하 왕복이동시키도록 상기 제1이송대(110)의 제1수직대와 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 제2이송대(120)는 상기 제2엑추에이터(121)가 내부수용되는 내부공간을 갖는 제2수직대(129)를 갖추고 상기 제1이송대의 제1수직대에 구비되는 한쌍의 슬라이더(117)가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일(127)을 갖는 제2수직대(129)가 상부면에 탑재되는 제2수평대(128)를 포함한다.
상기 제2수직대(129)의 개방된 상부는 덮개프레임(129a)과 덮개판(129b)에 의해서 덮어져 밀폐된다.
상기 제2수직대의 내부공간에 구비되는 제2엑추에이터(121)는 구동축 선단에 구비되는 구동풀리(122)와 벨트부재(123)를 매개로 연결되는 피동풀리(124)와 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 피동풀리를 선단에 구비되는 수직스크류축과 나사결합되는 이동블럭(125)은 상기 제1이송대(110)의 제1수직대(119)와 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 제1이송대는 상기 제2엑추에이터의 회전구동시 상기 구동풀리,벨트부재 및 피동풀리를 통하여 상기 수직스크류축에 전달되는 정방향 또는 역방향의 회전구동력에 의해서 상기 수직스크류축과 나사결합되는 이동블럭이 상하이동됨으로써, 상기 제2이송대에 대하여 제1이송대를 하부 가압헤드와 더불어 z축 방향으로 상하 왕복이동시킬 수 있다.
상기 제3이송대(130)는 상기 제2이송대(120)를 제3엑추에이터(131)의 구동력에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대(120)의 제2수평대(128)가 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 제3이송대(130)는 상기 제2이송대(120)의 제2수평대(128) 하부면에 형성되는 안내홈과 활주이동가능하게 조립되는 수평안내대(137)를 갖는 상부베이스(138)를 갖추고, 상기 제3엑추에이터(131)가 일단에 고정설치되는 상부베이스(138)를 상부면에 탑재하는 하부베이스(139)를 포함한다.
상기 제3엑추에이터(131)는 상기 제3이송대(130)의 제2수평대(128)에 구비되는 이동블럭의 암나사부와 나사결합되는 수평스크류축(132)을 회전구동시키는 모터부재로 구비된다.
이에 따라, 상기 제2이송대는 상기 제3엑추에이터의 회전구동시 상기 수평스크류축과 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 상부베이스의 수평안내대(137)를 따라 y축 방향으로 전후진 왕복이동되는 것이다.
상기 제3이송대(130)의 하부베이스(139)는 x축방향으로 길게 구비되는 메인안내레일(109)상에 왕복이동가능하게 조립됨으로써 미도시된 구동원에 의해서 상기 메인안내레일(109)을 따라 왕복이동되는 것이다.
한편, 상기 제1엑추에이터(111)의 작동시 하부 가압헤드(112)의 회전이동을 감지할수 있도록 상기 하부 가압헤드에 구비되어 이와 더불어 회전되는 제1감지판(116)을 감지하는 제1감지센서(116a)를 상기 제1이송대(110)의 제1수직대(119)의 상단에 고정설치한다.
상기 제2엑추에이터(121)의 작동시 z축방향으로 상하이동되는 제1이송대(110)의 상하이동을 감지할 수 있도록 상기 제1이송대의 제1수직대의 일측에 구비되어 이와 더불어 이동되는 제2감지판(126)을 감지하는 제2감지센서(126a)를 제2이송대의 제2수직대(129)의 일측에 구비하고, 상기 제3엑추에이터(131)의 작동시 y축방향으로 전후진 이동되는 제2이송대(120)의 전후진이동을 감지할수 있도록 상기 제2이송대의 제2수평대(128)의 일측에 구비되어 이와 더불어 이동되는 제3감지판(136)을 감지하는 제3감지센서(136a)를 제3이송대의 상부베이스(138)에 구비한다.
여기서, 상기 제2감지센서 및 제3감지센서는 센서이동용 안내레일에 각각 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
상기 정렬부(200)는 도 2a 내지 도 3b 및 도 5a, 도 5b 에 도시한 바와 같이, 상기 하부 가압헤드에 배치된 제1경성기판(10)의 단자패드와 한쌍의 연성기판의 일측단을 일대일 대응시켜 본딩접합하도록 상기 제1경성기판에 대하여 한쌍의 연성기판을 정렬하는 것으로, 이러한 정렬부(200)는 한쌍의 제4이송대(210), 한쌍의 제5이송대(220), 제6이송대(230) 및 메인고정대(240)를 포함한다.
상기 한쌍의 제4이송대(210) 중 어느 하나의 이송대는 상기 한쌍의 연성기판(30) 중 어느 하나의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 상부 가압헤드(216)를 z축에서 일정각도 회전시키는 제4엑추에이터(211)가 고정설치되는 제4수직대(218)를 갖추고, 상기 제5이송대(220)에 구비되는 수평레일(227)과 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더(217)를 상부면에 갖추어 y축방향으로 전후진 이동가능하게 조립되는 제4수평대(219)를 포함한다.
상기 상부 가압헤드(216)는 진공흡인라인과 연통되는 흡착홀(212)을 하부면에 구비하여 한쌍의 연성기판(30)이 각각 흡착되는 흡착헤드(213)를 갖추고, 상기 상부 가압헤드(112)에 배치된 제1경성기판(10)의 단자패드와 상기 연성기판의 각 단자패드를 서로 일대일 본딩접합하는 가열부(214)를 하부면에 구비하는 본딩헤드(215)를 포함한다.
상기 상부 가압헤드(216)는 흡착헤드(213)에 흡착고정하여 본딩접합하고자 하는 연성기판(30)의 길이에 맞추어 위치고정된 본딩헤드(215)에 대하여 흡착헤드(213)를 y축방향으로 수평이동시켜 멀어지게 하거나 내측으로 수평이동되어 근접하게 하도록 상기 본딩헤드에 구비되어 상기 흡착헤드를 수평방향으로 이동시키는 수평실린더를 구비할 수 있다.
이에 따라, 상기 하부 가압헤드의 배치홈에 배치된 제1경성기판의 한쌍의 단자패드와 상기 상부 가압헤드의 흡착헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판의 각 일단에 구비된 단자패드를 각각 일대일 대응시킨 상태에서 상기 하부 가압헤드에 대하여 상부 가압헤드를 하강시킴으로써 서로 일대일 대응하는 단자패드들간의 접합부위에 가열부를 열압착하여 상기 제1경성기판에 구비되는 한쌍의 단자패드와 상기 한쌍의 연성기판의 각 일단에 구비되는 단자패드를 각각 본딩접합하는 것이다.
여기서, 상기 제4엑추에이터(211)와 상부 가압헤드(216)와의 사이에는 플럭스가 도포된 제1경성기판의 단자패드와 한쌍의 연성기판의 각 단부에 형성된 단자패드와의 본딩접합을 위해서 하강되는 상부 가압헤드의 가열부와 본딩접합부위간의 접촉시 발생하는 충격력을 흡수하며 상기 가열부에 의한 본딩접합시 직하부의 가압력을 일정시간 유지할 수 있도록 상기 제4엑추에이터의 구동축과 상부단이 결합되어 고정설치되고, 상기 상부 가압헤드와 하부작동단이 결합되는 가압실린더(211a)를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 한쌍의 제5이송대(220) 중 하나의 이송대는 상기 제4이송대(210)를 제5엑추에이터(221)의 구동력에 의해서 y축방향으로 전후진 왕복이동시키도록 상기 제4이송대(210)의 제4수평대(219)에 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 제5이송대(220)는 상기 제4이송대(210)에 구비되는 한쌍의 슬라이더(217)가 활주이동가능하게 조립되는 수평레일(227)을 하부면에 구비하는 제5수평대(228)와, 상기 제5엑추에이터(221)가 일측에 고정설치되는 제5수평대(228)를 상부면에 일체로 구비하는 제5수직대(229)를 포함한다.
상기 제5엑추에이터(221)는 상기 제5이송대(220)의 제5수평대에 고정설치되는 전,후방 지지블럭(222,223)에 회전가능하게 지지되는 수평스크류축(225)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수평스크류축(225)에 나사결합되는 이동블럭(224)은 상기 제4이송대(210)의 제4수평대(219)와 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 제4이송대는 상기 제5엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수평스크류축과 나사결합되는 이동블럭에 전달되는 회전구동력에 의해서 상기 수평스크류축과 나사결합되는 이동블럭이 전후진이동됨으로써, 상기 제5이송대의 수평레일을 따라 y축 방향으로 전후진 왕복이동되는 것이다.
상기 한쌍의 제6이송대(230)중 어느 하나의 이송대는 상기 제5이송대(220)를 제6엑추에이터(231)의 구동력에 의해서 x축방향으로 좌우수평이동시키도록 상기 제5이송대(220)의 제5수직대(229)가 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 제6이송대(230)는 상기 제5이송대(220)의 제5수직대(229) 일측면에 구비되는 한쌍의 슬라이더(238)와 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수평레일(237)을 전면에 구비하고, 상기 제6엑추에이터(231)가 일측단에 고정설치되는 대략 사각판상의 메인이송판(239)을 포함한다.
상기 제6엑추에이터(231)는 상기 제6이송대(230)의 메인이송판(239)의 전면에 고정설치되는 다른 전,후방 지지블럭(232,233)에 회전가능하게 지지되는 다른 수평스크류축(235)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수평스크류축(235)에 나사결합되는 다른 이동블럭(234)은 상기 제5이송대(220)의 제5수직대(229)와 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 제5이송대는 상기 제6엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수평스크류축과 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 메인이송판의 수평레일을 따라 x축 방향으로 좌우 왕복이동되는 것이다.
상기 메인고정대(240)는 상기 한쌍의 제5이송대(220)를 전면에 x축 방향으로 좌우 수평왕복이동가능하게 구비하는 제6이송대(230)의 메인이송판(239)을 제7엑추에이터(241)의 회전구동력에 의해서 z축방향으로 상하 왕복이동시키도록 상기 제6이송대의 메인이송판(239)이 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 메인고정대(240)는 상기 메인이송판(239)의 후면에 구비되는 복수개의 슬라이더(238)와 활주이동가능하게 조립되는 수직레일(247)을 전면에 일체로 구비하는 메인고정판(248)을 갖추고, 상기 메인고정판을 상부에 고정설치하고, 상기 메인이송판(239)을 z축방향으로 상하 왕복이동시키는 제7엑추에이터(241)를 고정설치하는 메인프레임(249)을 포함한다.
상기 제7엑추에이터(241)는 상기 메인고정판(248)의 후면에 고정설치되는 전방지지블럭(242)에 회전가능하게 지지되는 수직스크류축(244)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수직스크류축(244)에 나사결합되는 이동블럭(245)은 상기 메인이동판의 후면에 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 메인이송판은 상기 제7엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수직스크류축과 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 메인고정판의 수직레일을 따라 z축 방향으로 상기 제4,5 및 6이송대와 더불어 상하 왕복이동된다.
한편, 상기 제5엑추에이터(221)의 작동시 y축방향으로 전후진 이동되는 제4이송대(210)의 전후진이동을 감지할 수 있도록 상기 제5엑추에이터의 수평스크류축(225)에 나사결합된 이동블럭(224)과 더불어 이동되는 제5감지판(226)을 감지하는 제5감지센서(226a)를 상기 제5이송대(220)의 일측에 구비하고, 상기 제6엑추에이터(231)의 작동시 x축방향으로 좌우 이동되는 제5이송대(220)의 좌우 이동을 감지할 수 있도록 상기 제6엑추에이터의 수평스크류축(235)에 나사결합된 이동블럭(234)과 더불어 이동되는 제6감지판(236)을 감지하는 제6감지센서(236a)를 제6이송대의 메인이송판에 고정설치한다.
여기서, 상기 제5감지센서 및 제6감지센서는 센서이동용 안내레일에 각각 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
상기 비전부(300)는 도 3a, 도 3b 및 도 7a, 도 7b 에 도시한 바와 같이 상기 한쌍의 연성기판(30)에 형성되는 복수개의 정렬마크(M3)를 영상으로 취득하여 확인할 수 있도록 한쌍의 카메라부(311,312), 한쌍의 카메라블럭(320)및 한쌍의 제8엑추에이터(331)를 구비하는 고정대(330)를 포함한다.
상기 한쌍의 카메라부(311,312) 중 어느 하나의 카메라부는 상기 한쌍의 상부 가압헤드(216)의 흡착헤드(213)에 흡착고정된 한쌍의 연성기판중 대응하는 어는 하나의 연성기판을 영상으로 취득하여 확인하는 비전카메라로 이루어짐으로써 상기 연성기판의 양측단에 형성되는 정렬마크(M3)를 확인하는 것이다.
이러한 한쌍의 카메라부(311,312)는 연성기판의 양측단에 형성되는 정렬마크(M3)를 각각 확인할 수 있도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지고, 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 카메라부는 좌우양측에 서로 나란하게 구비되는 한쌍의 바부재로 이루어지는 좌우한쌍의 카메라고정바(313,314)의 선단에 각각 고정설치된다.
상기 한쌍의 카메라블럭(320)중 어느 하나의 카메라블럭은 상기 한쌍의 카메라부를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라고정바(313,314)와 결합되어 지지하는 블럭구조물이다.
이러한 카메라블럭(320)은 상기 카메라고정바(313,314)와 결합되어 위치고정하는 상부블럭(321)을 갖추고, 상기 상부블럭(321)이 상하이동가능하게 조립되는 중간블럭(322)을 갖추며, 상기 고정대의 상부면에 구비되는 수평한 안내레일(337)에 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더(327)를 갖추고, 상기 제8엑추에이터의 수평스크류축과 결합되는 하부블럭(323)을 포함한다.
상기 한쌍의 제8엑추에이터(331) 중 어느 하나의 엑추에이터는 상기 고정대에 고정설치되는 전방지지블럭(332)에 선단이 회전가능하게 지지되는 수평스크류축(335)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수평스류축과 나사결합되는 이동블럭을 상기 카메라블럭의 하부블럭에 일체로 구비한다.
이에 따라, 상기 카메라블럭은 상기 제8엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수평스크류축과 카메라블럭의 하부블럭에 구비되는 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 고정대의 안내레일을 따라 x축 방향으로 상기 카메라부와 더불어 좌우 왕복이동된다.
그리고, 상기 한쌍의 카메라부(311,312)에 인접하는 한쌍의 카메라블럭에는 상기 상부 가압헤드의 흡착헤드에 흡착고정된 연성기판에 빛을 비추어 조명할 수 있도록 조명카메라(316,317)를 각각 구비하는 것이 바람직하다.
상기 비전부(300)는 상기 하부 가압헤드(112)에 배치되는 제1경성기판(10)에 형성되는 정렬마크(M1)를 영상으로 취득하는 상부 비전카메라(319)를 구비하며, 상기 상부 비전 카메라에서 취득되는 영상정보를 기준으로 하여 제1연성기판에 형성되는 한쌍의 단자패드들간의 간격중심(C1)을 확인할 수 있다.
상기 상부 비전카메라(319)는 상기 하부 가압헤드의 직상부에 배치되도록 상기 메인고정판에 고정설치되는 카메라프레임의 길이중간에 구비되는 것이 바람직하다.
상기 제8엑추에이터(331)의 작동시 x축방향으로 좌우 이동되는 카메라블럭(320)의 좌우이동을 감지할 수 있도록 상기 제8엑추에이터의 수평스크류축(335)에 나사결합된 하부블럭(323)과 더불어 이동되는 제8감지판(326)을 감지하는 제8감지센서(326a)를 상기 고정대(330)의 일측에 구비한다.
여기서, 상기 제8감지센서는 센서이동용 안내레일에 각각 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
상기 제2이송부(400)는 도 1a, 도 1b 및 도 8 에 도시한 바와 같이, 상기 상부 가압헤드(216)의 흡착헤드(213)에 흡착고정하도록 단자패드를 덮도록 피복된 보호필름이 제거된 한쌍의 연성기판(30)을 동시에 이송하여 공급하는 것이다.
상기 제2이송부(400)는 상기 한쌍의 연성기판(30)이 각각 올려져 배치되는 한쌍의 기판적치대(410)를 구비하는 한쌍의 기판이송대(415)를 포함하고, 상기 한쌍의 기판이송대가 활주이동 가능하게 조립되는 한쌍의 왕복대(420)를 포함하며, 상기 한쌍의 왕복대를 따라 상기 정렬부 측으로 한쌍의 기판이송대(415)를 직선왕복이동시키는 구동력을 제공하는 제9엑추에이터(421)를 포함한다.
상기 한쌍의 왕복대(420)는 상기 정렬부의 상부 가압헤드와 일대일 대응하도록 배치되며, 상기 한쌍의 기판이송대(415)는 상기 한쌍의 기판적치대에 올려진 한쌍의 연성기판(30)을 상기 상부 가압헤드의 흡착헤드까지 이송하도록 상기 제9엑추에이터의 구동력에 의해서 상기 왕복대(420)를 따라 y축방향으로 왕복이동되는 것이다.
그리고, 상기 제2이송부는 상기 왕복대(420)의 직상부에 기판이송대가 왕복이동되는 y축방향을 가로지르는 x축방향으로 수평하게 배치되는 지지프레임(430)을 구비하고, 상기 한쌍의 왕복대와 대응하는 지지프레임의 길이중간에는 상기 제9엑추에이터의 구동력에 의해서 한쌍의 기판적치대와 더불어 y축방향으로 이동되는 한쌍의 연성기판(30)을 감지하면서 영상을 취득하는 기판감지용 비전카메라(431)를 포함한다.
이에 따라 상기 제9엑추에이터의 구동력에 의해서 기판이송대는 왕복대를 따라 정렬부의 상부 가압헤드 측으로 이송되고, 상기 상부 가압헤드의 직하부까지 이동된 기판적치대에 올려진 연성기판은 제4엑추에이터에 의해서 승하강되는 상부 가압헤드의 흡착헤드에 흡착되어 분리되고, 연성기판이 분리된 기판이송대는 다른 연성기판을 적재할 수 있도록 원위치로 복귀된다.
한편, 상기 한쌍의 연성기판(30)을 흡착헤드에 흡착고정한 상부 가압헤드(216)는 도 9a 와 도 9b 에 도시한 바와 같이, 상기 정렬부의 카메라부(311,312)에서 취득되는 연성기판의 정렬마크(M3)와, 상부 비전카메라(319)에서 확인되는 제1연성기판에 형성되는 한쌍의 단자패드들간의 간격중심(C1)을 기준으로 하여 상기 제4엑에이터에 의해서 z축에서 회전이동되고, 제5추에이터에 의해서 y축으로 전후진이동되며, 상기 제6엑추에이터에 의해서 y축으로 좌우이동되면서 서로 인접하는 한쌍의 연성기판이 나란하도록 정렬된다.
이러한 경우, 상기 한쌍의 연성기판들간의 간격중심(C2)은 상기 제1경성기판(10)에 형성되는 한쌍의 단자패드들간의 간격중심(C1)과 서로 일치되기 때문에 상기 한쌍의 연성기판의 각 단자패드와 상기 제1경성기판(10)의 단자패드를 서로 중첩시켜 본딩접합하는 공정을 정확하게 수행할 수 있는 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
10 : 제1경성기판
20 : 제2경성기판
30 : 연성기판
100 : 제1이송부
110,120,130 : 제1,2 및 3이송대
200 : 정렬부
210,220,230 : 제4,5 및 6이송대
240 : 메인고정대
300 : 비전부
312,312 : 카메라부
319 : 상부 비전카메라
320 : 카메라블럭
400 : 제2이송부
410 : 기판적치대
420 : 왕복대

Claims (11)

  1. 제1경성기판의 단자패드에 한쌍의 연성기판의 일측단을 본딩 접합하는 장치에 있어서, 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 제1경성기판을 이송시키는 제1이송부 ;
    상기 한쌍의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 한쌍의 상부 가압헤드를 각각 회전시키는 한쌍의 제4엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제4이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제4이송대를 한쌍의 제5엑추에이터에 의해서 y축방향으로 각각 전후진이동시키도록 상기 한쌍의 제4이송대가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제5이송대를 갖추며, 상기 한쌍의 제5이송대를 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 제5이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제6이송대를 갖추며, 상기 제6이송대를 제7엑추에이터에 의해서 z축 방향으로 상하이동시키도록 상기 제6이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판을 정렬시키는 정렬부 ; 및
    상기 한쌍의 상부 가압헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판을 영상으로 각각 취득하도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 한쌍의 카메라부를 갖추고, 상기 한쌍의 카메라부를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라고정바와 결합되어 지지하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추고, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판에 형성되는 정렬마크를 확인하는 비전부를 포함하고,
    상기 제6이송대는 상기 제5이송대의 제5수직대 일측면에 구비되는 한쌍의 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수평레일을 전면에 구비하고, 상기 제6엑추에이터가 일측단에 고정설치되는 메인이송판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  2. 제1경성기판의 단자패드에 한쌍의 연성기판의 일측단을 본딩 접합하는 장치에 있어서, 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 제1경성기판을 이송시키는 제1이송부 ;
    상기 한쌍의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 한쌍의 상부 가압헤드를 각각 회전시키는 한쌍의 제4엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제4이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제4이송대를 한쌍의 제5엑추에이터에 의해서 y축방향으로 각각 전후진이동시키도록 상기 한쌍의 제4이송대가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제5이송대를 갖추며, 상기 한쌍의 제5이송대를 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 제5이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제6이송대를 갖추며, 상기 제6이송대를 제7엑추에이터에 의해서 z축 방향으로 상하이동시키도록 상기 제6이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판을 정렬시키는 정렬부 ; 및
    상기 한쌍의 상부 가압헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판을 영상으로 각각 취득하도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 한쌍의 카메라부를 갖추고, 상기 한쌍의 카메라부를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라고정바와 결합되어 지지하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추고, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판에 형성되는 정렬마크를 확인하는 비전부를 포함하고,
    상기 메인고정대는 상기 한쌍의 제6이송대를 전면에 x축 방향으로 좌우 왕복이동가능하게 구비하는 메인이송판의 후면에 구비되는 복수개의 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 수직레일을 전면에 구비하는 메인고정판과, 상기 메인고정판을 상부에 고정설치하고, 상기 메인이송판을 z축방향으로 상하 왕복이동시키는 제7엑추에이터를 고정설치하는 메인프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  3. 제1경성기판의 단자패드에 한쌍의 연성기판의 일측단을 본딩 접합하는 장치에 있어서, 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 제1경성기판을 이송시키는 제1이송부 ;
    상기 한쌍의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 한쌍의 상부 가압헤드를 각각 회전시키는 한쌍의 제4엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제4이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제4이송대를 한쌍의 제5엑추에이터에 의해서 y축방향으로 각각 전후진이동시키도록 상기 한쌍의 제4이송대가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제5이송대를 갖추며, 상기 한쌍의 제5이송대를 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 제5이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제6이송대를 갖추며, 상기 제6이송대를 제7엑추에이터에 의해서 z축 방향으로 상하이동시키도록 상기 제6이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판을 정렬시키는 정렬부 ; 및
    상기 한쌍의 상부 가압헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판을 영상으로 각각 취득하도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 한쌍의 카메라부를 갖추고, 상기 한쌍의 카메라부를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라고정바와 결합되어 지지하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추고, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판에 형성되는 정렬마크를 확인하는 비전부를 포함하고,
    상기 카메라블럭은 상기 카메라고정바과 결합되어 위치고정하는 상부블럭과, 상기 상부블럭이 상하이동가능하게 조립되는 중간블럭 및 상기 중간블럭과 결합되고 상기 고정대의 상부면에 구비되는 안내레일에 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더를 갖추어 상기 제8엑추에이터의 수평스크류축과 결합되는 하부블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  4. 제1경성기판의 단자패드에 한쌍의 연성기판의 일측단을 본딩 접합하는 장치에 있어서, 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 제1경성기판을 이송시키는 제1이송부 ;
    상기 한쌍의 연성기판을 하부면에 각각 흡착고정하는 한쌍의 상부 가압헤드를 각각 회전시키는 한쌍의 제4엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제4이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제4이송대를 한쌍의 제5엑추에이터에 의해서 y축방향으로 각각 전후진이동시키도록 상기 한쌍의 제4이송대가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제5이송대를 갖추며, 상기 한쌍의 제5이송대를 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 제5이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제6이송대를 갖추며, 상기 제6이송대를 제7엑추에이터에 의해서 z축 방향으로 상하이동시키도록 상기 제6이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판을 정렬시키는 정렬부 ; 및
    상기 한쌍의 상부 가압헤드에 흡착고정된 한쌍의 연성기판을 영상으로 각각 취득하도록 한쌍의 비전카메라로 이루어지는 한쌍의 카메라부를 갖추고, 상기 한쌍의 카메라부를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라고정바와 결합되어 지지하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추고, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판에 형성되는 정렬마크를 확인하는 비전부를 포함하고,
    상기 한쌍의 연성기판을 상기 한쌍의 상부 가압헤드의 흡착헤드에 공급하는 제2이송부를 포함하고,
    상기 제2이송부는 상기 한쌍의 연성기판이 각각 올려져 배치되는 한쌍의 기판적치대를 구비하는 한쌍의 기판이송대와, 상기 한쌍의 기판이송대가 활주이동 가능하게 조립되는 한쌍의 왕복대 및 상기 한쌍의 왕복대를 따라 상기 정렬부 측으로 한쌍의 기판이송대를 직선왕복이동시키는 구동력을 제공하는 제9엑추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제1이송대는 상기 제1경성기판이 배치되는 하부 가압헤드를 z축에서 회전시키는 제1엑추에이터가 탑재되는 제1수평대와, 상기 제2이송대의 일측에 구비되는 한쌍의 수직레일과 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 슬라이더를 갖추어 z축방향으로 상하이동가능하게 조립되는 제1수직대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 하부 가압헤드는 진공흡인라인과 연통되는 흡착홀을 바닥면에 형성하여 상기 제1경성기판이 올려져 배치되는 배치홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제2이송대는 상기 제2엑추에이터가 내부수용되는 내부공간을 갖는 제2수직대와, 상기 제1이송대의 수직대에 구비되는 한쌍의 슬라이더가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 레일을 갖는 제2수직대를 탑재하는 제2수평대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 상부 가압헤드는 진공흡인라인과 연통되는 흡착홀을 하부면에 구비하여 연성기판이 흡착고정되는 흡착헤드와, 상기 하부 가압헤드에 배치된 제1경성기판의 단자패드와 상기 한쌍의 연성기판의 각 단자패드를 서로 본딩접합하는 가열부를 하부면에 구비하는 본딩헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제4이송대는 상기 연성기판을 흡착고정하는 상부 가압헤드를 z축에서 회전시키는 제4엑추에이터가 고정설치되는 제4수직대와, 상기 제5이송대에 구비되는 수평레일과 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더를 상부면에 갖추어 y축방향으로 전후진이동가능하게 조립되는 제4수평대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제5이송대는 상기 제4이송대에 구비되는 한쌍의 슬라이더가 활주이동가능하게 조립되는 수평레일을 하부면에 구비하는 제5수평대와, 상기 제5엑추에이터가 일측에 고정설치되는 제5수평대를 상부면에 일체로 구비하는 제5수직대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
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KR101021337B1 (ko) * 2007-09-06 2011-03-14 이문효 플렉시블기판용 필름부착장치
KR101113004B1 (ko) 2010-02-22 2012-02-24 세호로보트 주식회사 보강부재의 부착장치
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