KR102063539B1 - A System for Detecting a Fluid Situation with a Ultrasonic Sensor and a Method for the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법에 관한 것이고, 구체적으로 유체가 흐르는 도관에 설치된 초음파 센서로부터 탐지된 정보로부터 도관을 흐르는 유체의 상태를 탐지하는 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법에 관한 것이다. 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법은 유체를 저장 또는 공급하는 1 용기(S)와 2 용기(P) 사이에 설치되어 유체를 이송시키는 도관(T)에 설치되는 초음파 센서(10); 및 초음파 센서(10)의 작동을 제어하는 제어 모듈(C)을 포함하고, 상기 초음파 센서(10)로부터 발생된 초음파는 도관(T)을 관통하여 전송된다. The present invention relates to a fluid state detection system by an ultrasonic sensor and a detection method thereof, and specifically, to a fluid state detection by an ultrasonic sensor detecting a state of a fluid flowing through a conduit from information detected from an ultrasonic sensor installed in a conduit through which a fluid flows. A system and its detection method. Fluid state detection system by the ultrasonic sensor and its detection method is an ultrasonic sensor 10 installed between the one vessel (S) and the two vessels (P) for storing or supplying the fluid is installed in the conduit (T) for transferring the fluid (10) ; And a control module (C) for controlling the operation of the ultrasonic sensor (10), wherein the ultrasonic waves generated from the ultrasonic sensor (10) are transmitted through the conduit (T).

Description

초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법{A System for Detecting a Fluid Situation with a Ultrasonic Sensor and a Method for the Same} System for Detecting a Fluid Situation with a Ultrasonic Sensor and a Method for the Same

본 발명은 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법에 관한 것이고, 구체적으로 유체가 흐르는 도관에 설치된 초음파 센서로부터 탐지된 정보로부터 도관을 흐르는 유체의 상태를 탐지하는 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a fluid state detection system by an ultrasonic sensor and a detection method thereof, and specifically, to a fluid state detection by an ultrasonic sensor detecting a state of a fluid flowing through a conduit from information detected from an ultrasonic sensor installed in a conduit through which a fluid flows. A system and its detection method.

다양한 종류의 유체가 도관을 통하여 이송 또는 공급될 수 있고, 유체가 미리 결정된 조건에 따라 이송 또는 공급되는지 여부가 감시될 필요가 있다. 유체는 기체 또는 액체가 될 수 있고, 유체 상태 탐지에 의하여 도관의 상태, 유체의 이송 속력, 유체에서 발생된 기포, 도관에서 유체의 흐름이 유지되는지 여부가 감시될 수 있다. 유체의 유동 상태를 감시하는 다양한 방법이 이 분야에 개시되어 있고, 예를 들어 특허공개번호 제10-2005-0112753호는 반도체 제조 공정에 사용되는 케미컬을 사용하는 처리 장치에 지속적으로 케미컬을 공급할 수 있는 케미컬 공급 장치에 적용되는 케미컬의 양을 측정할 수 있는 수단에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 제10-2009-0048101호는 약액의 수위를 정확히 측정할 수 있는 약액 공급 장치에 대하여 개시한다. Various types of fluids may be conveyed or supplied through the conduits, and it is necessary to monitor whether the fluids are delivered or supplied according to predetermined conditions. The fluid may be a gas or a liquid, and the fluid state detection may monitor the condition of the conduit, the speed of transport of the fluid, the bubbles generated in the fluid, and whether the flow of fluid in the conduit is maintained. Various methods of monitoring the flow state of a fluid are disclosed in the art, and for example, Patent Publication No. 10-2005-0112753 can continuously supply chemicals to processing devices that use chemicals used in semiconductor manufacturing processes. A means for measuring the amount of chemical applied to a chemical supply apparatus is disclosed. In addition, Patent Publication No. 10-2009-0048101 discloses a chemical liquid supply device that can accurately measure the level of the chemical liquid.

공급이 되는 유체의 종류 또는 적용되는 장치에 따라 이송 또는 공급 도관에 유체가 유동되고 있는지 여부 또는 유동되는 유체에 기포 또는 이와 유사한 이물질에 포함되어 있는지 여부가 탐지될 필요가 있다. 그러나 선행기술 또는 공지기술은 이와 같이 도관을 통하여 흐르는 유체의 상태를 탐지할 수 있는 방법에 대하여 개시하지 않는다. Depending on the type of fluid being supplied or the device applied, it may be necessary to detect whether the fluid is flowing in the conveying or supplying conduit or whether it is contained in bubbles or similar foreign matter. However, the prior art or the prior art does not disclose a method for detecting the state of the fluid flowing through the conduit as such.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention is to solve the problems of the prior art has the following object.

선행기술 1: 특허공개번호 제10-2005-0112753호(삼성전자주식회사, 2005년12월01일 공개) 케미컬 공급 장치 및 그의 공급 방법Prior Art 1: Patent Publication No. 10-2005-0112753 (Samsung Electronics Co., Ltd., December 01, 2005) Chemical supply device and its supply method 선행기술 2: 특허공개번호 제10-2009-0048101호(세메스 주식회사, 2009년05월13일 공개) 약액 공급 장치Prior Art 2: Patent Publication No. 10-2009-0048101 (Semes Co., Ltd., published May 13, 2009) Chemical supply device

본 발명의 목적은 유체의 이송 또는 공급을 위한 도관에 설치된 초음파 센서로부터 전송된 탐지 정보에 기초하여 유체의 유동 상태를 탐지할 수 있는 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a fluid state detection system and an detection method thereof by an ultrasonic sensor capable of detecting a flow state of a fluid based on detection information transmitted from an ultrasonic sensor installed in a conduit for transport or supply of a fluid. .

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템 및 그의 탐지 방법은 유체를 저장 또는 공급하는 1 용기와 2 용기 사이에 설치되어 유체를 이송시키는 도관에 설치되는 초음파 센서; 및 초음파 센서의 작동을 제어하는 제어 모듈을 포함하고, 상기 초음파 센서로부터 발생된 초음파는 도관을 관통하여 전송된다. According to a preferred embodiment of the present invention, a fluid state detection system by an ultrasonic sensor and a detection method thereof include: an ultrasonic sensor installed in a conduit installed between one container and two containers for storing or supplying a fluid; And a control module for controlling the operation of the ultrasonic sensor, wherein the ultrasonic wave generated from the ultrasonic sensor is transmitted through the conduit.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 초음파 센서는 1, 2 용기 사이에 유체를 이송시키는 공급 튜브, 1, 2 용기의 압력을 조절하는 조절 튜브 또는 공급 용기로부터 외부로 유체를 이송시키는 배출 튜브에 설치되는 1, 2, 3, 4 초음파 센서를 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, the ultrasonic sensor includes a supply tube for transferring fluid between 1 and 2 containers, a control tube for regulating pressure of the 1 and 2 containers, or a discharge tube for transferring fluid from the supply container to the outside. It includes 1, 2, 3, 4 ultrasonic sensors that are installed.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 초음파 센서는 도관의 외부 둘레 면에 배치되는 송신 진동자; 및 송신 진동자와 마주보는 위치에 배치되는 수신 진동자로 이루어진다.According to another suitable embodiment of the present invention, an ultrasonic sensor comprises: a transmitting vibrator disposed on an outer circumferential surface of a conduit; And a reception vibrator disposed at a position facing the transmission vibrator.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 도관을 통하여 이송되는 유체의 상태를 탐지하는 방법에 있어서, 도관에서 초음파 센서의 배치 위치가 설정되고, 적어도 하나의 위치에 적어도 하나의 초음파 센서가 설치되는 단계; 적어도 하나의 초음파 센서 각각의 초음파의 발생 주기를 설정하고, 설정에 기초하여 초음파가 전송되어 수신되는 단계; 수신 초음파의 수신 감도를 분석하여 정상 상태인지 여부가 판단되는 단계; 및 판단 결과에 따라 경보가 발생되는 단계를 포함하고, 상기 수신 감도의 분석에 따라 도관을 통하여 유체가 공급되는지 여부, 공급되는 유체에 기포가 포함되어 있는지 여부 또는 도관에 의하여 연결된 서로 다른 유체 용기가 유체가 부족한 상태인지 여부 또는 도관 내에 미리 결정된 형태와 다른 형태의 유체가 존재하는지 여부가 탐지된다. According to another suitable embodiment of the present invention, there is provided a method of detecting a state of a fluid conveyed through a conduit, wherein an arrangement position of an ultrasonic sensor is set in the conduit, and at least one ultrasonic sensor is installed at at least one position. step; Setting a generation period of the ultrasonic waves of each of the at least one ultrasonic sensor, and transmitting and receiving the ultrasonic waves based on the setting; Analyzing the reception sensitivity of the received ultrasound to determine whether the device is in a normal state; And generating an alarm according to the determination result, wherein the fluid is supplied through the conduit according to the analysis of the reception sensitivity, whether the fluid supplied contains bubbles or different fluid containers connected by the conduit. It is detected whether the fluid is in a low state or whether there is a fluid of a different type from the predetermined form in the conduit.

본 발명에 따른 방법은 반도체 제조 공정에 적용되는 케미컬의 공급 과정에 적용되어 케미컬의 유동 상태의 감시가 가능하도록 한다. 예를 들어 사염화티타늄과 같은 케미컬이 저장 탱크로부터 공정 탱크로 공급되는 과정에 적용되어 공정 탱크로 미리 결정된 양의 사염화티타늄이 공급되어 케미컬의 공급 불량이 방지되도록 한다. 본 발명에 따른 방법은 다양한 종류의 이송 도관 또는 튜브에 적용될 수 있고, 유체의 종류에 관계없이 적용될 수 있으면서 유체에 포함되는 기포와 같은 이물질의 탐지가 가능하도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 방법은 공급 감시가 자동으로 이루어지도록 한다. The method according to the invention is applied to the supply of chemicals applied to the semiconductor manufacturing process to enable monitoring of the flow state of the chemicals. For example, a chemical, such as titanium tetrachloride, is applied to the process from the storage tank to the process tank so that a predetermined amount of titanium tetrachloride is supplied to the process tank to prevent a poor supply of the chemical. The method according to the present invention can be applied to various types of conveying conduits or tubes, and can be applied regardless of the type of fluid while allowing the detection of foreign matter such as bubbles contained in the fluid. In addition, the method according to the invention allows for automatic supply monitoring.

도 1은 본 발명에 따른 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 탐지 시스템이 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 탐지 시스템에 적용되는 초음파 센서 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 탐지 시스템의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 탐지 시스템에 적용 가능한 자동 조절 밸브의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 방법의 실시 예를 도시한 것이다. 1 illustrates an embodiment of a fluid state detection system by an ultrasonic sensor according to the present invention.
2 illustrates an embodiment to which a detection system according to the present invention is applied.
Figure 3 shows an embodiment of the ultrasonic sensor module applied to the detection system according to the present invention.
Figure 4 shows an embodiment of the operating structure of the detection system according to the present invention.
Figure 5 illustrates an embodiment of an automatic control valve applicable to the detection system according to the present invention.
6 illustrates an embodiment of a fluid state detection method by an ultrasonic sensor according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments set forth in the accompanying drawings, but the embodiments are provided for clarity of understanding and the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, and thus are not repeatedly described unless necessary for understanding of the invention, and well-known components are briefly described or omitted. It should not be understood to be excluded from the embodiment of.

도 1은 본 발명에 따른 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템의 실시 예를 도시한 것이다.1 illustrates an embodiment of a fluid state detection system by an ultrasonic sensor according to the present invention.

도 1을 참조하면, 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템은 유체를 저장 또는 공급하는 1 용기(S)와 2 용기(P) 사이에 설치되어 유체를 이송시키는 도관(T)에 설치되는 초음파 센서(10); 및 초음파 센서(10)의 작동을 제어하는 제어 모듈(C)을 포함하고, 상기 초음파 센서(10)로부터 발생된 초음파는 도관(T)을 관통하여 전송된다. Referring to FIG. 1, a fluid state detection system using an ultrasonic sensor includes an ultrasonic sensor installed in a conduit T installed between a first container S and a second container P for storing or supplying a fluid. 10); And a control module (C) for controlling the operation of the ultrasonic sensor (10), wherein the ultrasonic waves generated from the ultrasonic sensor (10) are transmitted through the conduit (T).

유체는 기체 또는 액체가 될 수 있고, 예를 들어 헬륨과 같은 기체 또는 사염화티타늄(TiCl4)과 같은 화합물(Chemical)이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 다양한 종류의 유체가 초음파 센서(10)에 의하여 탐지될 수 있고, 유체는 다양한 종류의 도관(T)에 의하여 1 용기(S)로부터 2 용기(P)로 이송될 수 있다. 도관(T)은 기체 또는 액체와 같은 유체의 이송이 가능한 다양한 규격 또는 다양한 소재로 만들어질 수 있고, 유체의 종류에 따라 금속 또는 합성수지와 같은 소재로 만들어질 수 있다. 그리고 도관(T)을 따라 1 용기(S)와 2 용기(P) 사이에 유체가 이송될 수 있다. The fluid may be a gas or a liquid, and may be, for example, a gas such as helium or a chemical such as titanium tetrachloride (TiCl 4 ), but is not limited thereto. Various kinds of fluids may be detected by the ultrasonic sensor 10, and the fluids may be transferred from one vessel S to two vessels P by various kinds of conduits T. The conduit T may be made of various standards or various materials capable of transporting a fluid such as gas or liquid, and may be made of a material such as metal or synthetic resin according to the type of fluid. The fluid may be transferred between the first vessel S and the second vessel P along the conduit T.

1 용기(S)는 유체를 저장하는 저장 용기가 될 수 있고, 2 용기(P)는 1 용기(S)로부터 공급된 유체를 공정을 위하여 공급하는 공급 용기가 될 수 있다. 도관(T)은 1, 2 용기(S, P)를 연결하거나, 외부 공급 용기와 1 용기(S)를 연결하거나 또는 2 용기(P)와 예를 들어 공정 챔버와 같은 유체 적용 설비를 연결시킬 수 있다. 도관(T)은 기체 또는 액체와 같은 유체의 이송이 요구되는 다양한 경로에 설치될 수 있고, 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The first container S may be a storage container for storing the fluid, and the second container P may be a supply container for supplying the fluid supplied from the one container S for the process. The conduit (T) may connect one or two vessels (S, P), connect an external supply vessel and one vessel (S), or connect two vessels (P) with a fluid application facility such as, for example, a process chamber. Can be. Conduit T may be installed in various paths where transport of a fluid such as gas or liquid is required, and is not limited to the embodiments shown.

초음파 센서(10)는 도관(T)의 외부 둘레 면에 설치될 수 있고, 하나의 경로를 형성하는 하나의 도관(T)에 적어도 하나의 초음파 센서(10)가 설치될 수 있다. 초음파 센서(10)는 전기 에너지와 기계 에너지 사이의 변환을 위한 트랜스듀서를 포함할 수 있다. 또한 트랜스듀서는 예를 들어 수정, 전기석, 로셀염, 티탄산바륨 또는 인공세라믹(PZT)과 같은 소재로 이루어진 압전소자를 포함할 수 있고, 신호의 증폭을 위한 증폭기 또는 이와 유사한 신호 처리 소자를 포함할 수 있다. 초음파 센서(10)에서 발생된 초음파는 도관(T)을 관통하는 형태로 송신이 될 수 있고, 예를 들어 도관(T)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 또는 도관(T)의 연장 방향에 대하여 경사진 방향으로 초음파가 전송될 수 있다. 초음파 센서(10)는 송신과 수신이 동일한 진동자에 의하여 이루어지거나 또는 서로 다른 진동자에서 이루어질 수 있다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 도관(T)의 외부 둘레 면에 설치된 송신 진동자로 초음파가 송신되어 유체를 통과하고, 유체를 통과한 초음파는 송신 진동자의 맞은편에 설치된 수신 진동자에 의하여 수신될 수 있다. 그리고 이와 같이 유체를 투과하여 수신된 초음파를 분석하여 유체의 유동 상태가 탐지될 수 있다. 다만 초음파의 송신 또는 수신은 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The ultrasonic sensor 10 may be installed on an outer circumferential surface of the conduit T, and at least one ultrasonic sensor 10 may be installed in one conduit T forming one path. The ultrasonic sensor 10 may include a transducer for converting between electrical energy and mechanical energy. The transducer may also include a piezoelectric element made of a material such as quartz, tourmaline, roselle salt, barium titanate or artificial ceramics (PZT), and may include an amplifier or similar signal processing element for amplifying the signal. Can be. The ultrasonic waves generated by the ultrasonic sensor 10 may be transmitted in the form of penetrating the conduit T, for example, in a direction perpendicular to the extension direction of the conduit T or in the extension direction of the conduit T. Ultrasound may be transmitted in an inclined direction with respect to the. The ultrasonic sensor 10 may be transmitted and received by the same vibrator or may be performed by different vibrators. According to one embodiment of the invention, the ultrasonic wave is transmitted to the transmission vibrator installed on the outer circumferential surface of the conduit (T) and passes through the fluid, the ultrasonic wave passing through the fluid is received by the receiving vibrator installed opposite the transmission vibrator Can be. In this way, the flow state of the fluid may be detected by analyzing the ultrasonic waves received through the fluid. However, the transmission or reception of the ultrasound may be made in various ways and is not limited to the presented embodiments.

도관(T)의 둘레 면에 설치된 초음파 센서(10)는 유선 또는 무선으로 제어 모듈(C)과 연결될 수 있고, 제어 모듈(C)에 의하여 초음파 센서(10)의 작동이 제어될 수 있다. 또한 제어 모듈(C)은 초음파 센서(10)에 의하여 수신된 초음파를 분석하여 유체의 유동 상태를 판단할 수 있고, 유체에 예를 들어 기포와 같은 이물질이 포함되어 있는지 여부를 판단할 수 있다. 제어 모듈(C)은 감시 컴퓨터에 설치되거나, 용기(S, P) 또는 도관(T)이 배치된 영역의 외부에 배치된 감시 모듈에 설치될 수 있다. The ultrasonic sensor 10 installed on the circumferential surface of the conduit T may be connected to the control module C by wire or wirelessly, and the operation of the ultrasonic sensor 10 may be controlled by the control module C. In addition, the control module C may determine the flow state of the fluid by analyzing the ultrasonic waves received by the ultrasonic sensor 10, and may determine whether the fluid contains foreign substances such as bubbles. The control module C may be installed in the monitoring computer, or in the monitoring module arranged outside the area in which the containers S, P or conduits T are arranged.

제어 모듈(C)은 다양한 위치에 배치되어 적절한 방법으로 초음파 센서(10)와 데이터 통신이 가능하도록 연결될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The control module C may be disposed at various locations and connected to the ultrasonic sensor 10 in a suitable manner so as to enable data communication, and the present disclosure is not limited to the present embodiment.

초음파 센서(10)에 의하여 탐지가 가능한 유체는 기체, 액체 또는 이와 유사한 형태가 될 수 있고, 초음파 센서(10)에 의하여 유체가 도관(T)을 따라 유동되고 있는지 여부, 도관(T)을 따라 액체 또는 기체가 유동되는지 여부, 유체가 정해진 형태로 유동되고 있는지 여부 또는 이와 유사한 유동 상태가 탐지될 수 있다. 이와 같이 유동 상태는 다양한 유동 조건을 포함할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 탐지 시스템은 기체 또는 액체의 공급, 기체 또는 액체의 이송 또는 다양한 용도를 위한 유체 이송 장치, 설비 또는 시스템에 적용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 탐지 시스템은 반도체 제조 공정에 화합물을 제공하는 설비에 적용될 수 있다.The fluid detectable by the ultrasonic sensor 10 may be a gas, a liquid or the like, and whether the fluid is flowing along the conduit T by the ultrasonic sensor 10, along the conduit T Whether a liquid or gas is flowing, whether the fluid is flowing in a defined form, or a similar flow state can be detected. As such, the flow state may include various flow conditions. The detection system according to the invention can also be applied to fluid delivery devices, equipment or systems for the supply of gas or liquid, for the transport of gas or liquid or for various uses. For example, the detection system according to the present invention can be applied to a facility for providing a compound in a semiconductor manufacturing process.

도 2는 본 발명에 따른 탐지 시스템이 적용된 실시 예를 도시한 것이다. 2 illustrates an embodiment to which a detection system according to the present invention is applied.

도 2를 참조하면, 초음파 센서는 1, 2 용기 사이에 유체를 이송시키는 공급 튜브(24), 1, 2 용기(S, P)의 압력을 조절하는 조절 튜브(251, 252) 또는 공급 용기(23)로부터 외부로 유체를 이송시키는 배출 튜브(26)에 설치되는 1, 2, 3, 4 초음파 센서(11, 12, 13, 14)를 포함한다. Referring to FIG. 2, the ultrasonic sensor includes a supply tube 24 for transferring fluid between the first and second containers, a control tube 251 and 252 or a supply container for adjusting the pressure of the first and second containers S and P. 23, 1, 2, 3, 4 ultrasonic sensors 11, 12, 13, 14 installed in the discharge tube 26 to transfer the fluid from the outside.

반도체 제조를 위한 공정 챔버에 예를 들어 사염화티타늄(TiCl4)과 같은 메탈 증착을 위한 화합물을 공급하는 공급 설비에 탐지 시스템이 적용될 수 있다.The detection system may be applied to a supply facility that supplies a compound for metal deposition, such as titanium tetrachloride (TiCl 4 ), to a process chamber for semiconductor manufacturing.

수용 공간이 형성된 밀폐 공간(21)에 유체가 저장되는 저장 용기(22) 및 저장 용기(22)로부터 이송된 유체를 공정 과정에 제공하는 공급 용기(23)가 배치될 수 있다. 저장 용기(22)와 공급 용기(23)는 유체의 이송을 위한 공급 튜브(24)에 의하여 연결될 수 있고, 저장 용기(22)에 저장된 유체는 공급 용기(23)로 공급될 수 있다. 저장 용기(22)와 공급 용기(23)에 각각 1, 2 조절 튜브(251, 252)가 연결되고, 1, 2 조절 튜브(251, 252)를 통하여 헬륨 또는 이와 유사한 불활성 기체가 저장 용기(22)와 공급 용기(23)로 주입되어 용기(22, 23) 내부의 압력이 조절될 수 있다. 또한 공급 용기(23)와 공정 챔버를 연결하는 배출 튜브(26)가 설치될 수 있다.The storage container 22 in which the fluid is stored and the supply container 23 for supplying the fluid transferred from the storage container 22 to the process may be disposed in the sealed space 21 in which the receiving space is formed. The reservoir 22 and the supply vessel 23 may be connected by a supply tube 24 for the transfer of fluid, and the fluid stored in the reservoir 22 may be supplied to the supply vessel 23. 1 and 2 control tubes 251 and 252 are connected to the storage container 22 and the supply container 23, respectively, and helium or similar inert gas is supplied through the 1 and 2 control tubes 251 and 252. ) May be injected into the supply vessel 23 and the pressure in the vessels 22 and 23 may be adjusted. In addition, a discharge tube 26 connecting the supply vessel 23 and the process chamber may be installed.

저장 용기(22)로부터 공급 용기(23)로 공급되는 화합물 또는 유체의 양은 공급 용기(23)에 수용된 화합물의 양에 의하여 결정될 수 있고, 공급 용기(23)에서 화합물의 레벨은 미리 결정된 수준으로 유지될 필요가 있다. 공급 튜브(24)를 통한 유체의 공급 수준은 저장 용기(22)와 공급 용기(23) 내부의 압력에 의하여 조절될 수 있고, 예를 들어 공급 용기(23)의 내부 압력은 저장 용기(22)의 내부 압력에 비하여 낮은 수준으로 유지될 수 있다. 그리고 저장 용기(22)와 공급 용기(23)의 내부 압력을 조절하기 위하여 1, 2 조절 튜브(251, 252)를 통하여 헬륨과 같은 압력 조절 기체가 저장 용기(22)와 공급 용기(23)의 내부로 주입될 수 있다. 이와 같은 구조에서 공급 튜브(24) 및 배출 튜브(26)를 통하여 액체 형태의 화합물이 이송되고, 1, 2 조절 튜브(251, 252)를 통하여 기체가 이송될 수 있다. 그리고 저장 용기(22)와 공급 용기(23)의 레벨(L1, L2)이 정해진 수준으로 유지되어야 하고, 특히 공급 용기(23)의 레벨(L2)이 정해진 수준으로 유지되어야 한다. The amount of compound or fluid supplied from the storage vessel 22 to the supply vessel 23 can be determined by the amount of compound contained in the supply vessel 23, wherein the level of the compound in the supply vessel 23 is maintained at a predetermined level. Need to be. The level of supply of fluid through the feed tube 24 can be regulated by the pressure inside the reservoir 22 and the feed vessel 23, for example the pressure inside the feed vessel 23 is the reservoir 22. It can be maintained at a low level compared to the internal pressure of. In addition, pressure regulating gas such as helium is supplied to the storage vessel 22 and the supply vessel 23 through the first and second control tubes 251 and 252 to adjust the internal pressures of the storage vessel 22 and the supply vessel 23. It can be injected internally. In such a structure, the compound in liquid form may be transferred through the supply tube 24 and the discharge tube 26, and gas may be transferred through the first and second control tubes 251 and 252. And the level L1, L2 of the storage container 22 and the supply container 23 should be maintained at a predetermined level, and especially the level L2 of the supply container 23 should be maintained at a predetermined level.

본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 1 초음파 센서(11)가 공급 튜브(24)의 둘레 면에 설치될 수 있고, 또한 2, 3 초음파 센서(12, 13)가 조절 튜브(251, 252)에 배치될 수 있고, 추가로 4 초음파 센서(14)가 배출 튜브(26)에 배치될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, one ultrasonic sensor 11 may be installed on the circumferential surface of the supply tube 24, and the second and third ultrasonic sensors 12 and 13 may include the control tubes 251 and 252. 4 ultrasonic sensors 14 may be disposed in the discharge tube 26.

공급 튜브(24)에 설치된 1 초음파 센서(11)에 의하여 화합물이 이송되고 있는지 여부, 화합물이 정해진 압력으로 공급되고 있는지 여부 또는 화합물에 기포와 같은 이물질이 포함되어 있는지 여부가 탐지될 수 있다. 2, 3 초음파 센서(12, 13)에 의하여 기체가 공급되고 있는지 여부가 탐지될 수 있고, 특히 화합물이 1, 2 조절 튜브(251, 252)의 내부에 존재하는지 여부가 탐지될 수 있다. 이와 같은 화합물의 탐지는 저장 용기(22) 또는 공급 용기(23)의 내부에 수용된 화합물이 1, 2 조절 튜브(251, 252)의 내부로 유입되는지 여부를 탐지하기 위한 것이다. 그리고 4 초음파 센서(14)에 의하여 화합물의 이송 여부 또는 이송 압력이 탐지될 수 있고, 특히 화합물의 내부에 기포와 같은 이물질이 포함되어 있는지 여부가 탐지될 수 있다. 이와 같이 각각의 튜브(24, 251, 252, 26)에 각각 초음파 센서(11, 12, 13, 14)가 배치되어 액체 또는 기체의 유동 상태가 감시되는 것에 의하여 화합물의 공급 챔버에 대한 안전한 공급이 확보될 수 있다. 각각의 튜브(24, 251, 252, 26)에 적어도 하나의 초음파 센서(11, 12, 13, 14)가 배치될 수 있고, 본 발명은 초음파 센서(11, 12, 13, 14)의 설치 위치 또는 설치 개수에 의하여 제한되지 않는다. 또한 각각의 초음파 센서(11, 12, 13, 14)는 다양한 구조로 만들어질 수 있다. The 1 ultrasonic sensor 11 installed in the supply tube 24 may detect whether the compound is being transferred, whether the compound is being supplied at a predetermined pressure, or whether the compound contains foreign substances such as bubbles. It may be detected whether gas is being supplied by the two or three ultrasonic sensors 12, 13, and in particular whether the compound is present inside the one, two control tubes 251, 252. The detection of such a compound is for detecting whether the compound contained in the storage container 22 or the supply container 23 is introduced into the first and second control tubes 251 and 252. And 4 the ultrasonic sensor 14 can be detected whether the transport of the compound or the transfer pressure, in particular whether the foreign matter such as bubbles contained in the compound can be detected. In this way, the ultrasonic sensors 11, 12, 13, 14 are arranged in the respective tubes 24, 251, 252, and 26 so that the flow of the liquid or gas is monitored to ensure a safe supply of the compound supply chamber. Can be secured. At least one ultrasonic sensor 11, 12, 13, 14 may be arranged in each tube 24, 251, 252, 26, and the present invention provides an installation position of the ultrasonic sensor 11, 12, 13, 14. Or it is not limited by the number of installation. In addition, each of the ultrasonic sensors 11, 12, 13, and 14 may be made in various structures.

도 3은 본 발명에 따른 탐지 시스템에 적용되는 초음파 센서 모듈의 실시 예를 도시한 것이다. Figure 3 shows an embodiment of the ultrasonic sensor module applied to the detection system according to the present invention.

도 3을 참조하면, 초음파 센서(10)는 모듈 구조로 만들어질 수 있고, 초음파 트랜스듀서는 탐지 전자 칩 구조로 만들어질 수 있다. 구체적으로 초음파 트랜스듀서는 튜브(T)가 삽입되는 관통 홈(313)이 형성된 센서 몸체(31); 센서 몸체(31)의 서로 마주보는 위치에 배치된 송신 진동자(311)와 수신 진동자(312); 및 진동자로부터 발생된 초음파가 튜브(T)로 전송되도록 하는 결합 층을 포함할 수 있다. 또한 필요에 따라 송신 진동자(311)의 뒤쪽 면에 반사 초음파의 흡수를 위한 흡음 층이 배치될 수 있다. 초음파 트랜스듀서는 발생된 초음파가 튜브(T)의 내부로 전송되고, 전송된 초음파가 튜브(T)의 둘레 면을 경유하여 수신될 수 있는 적합한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 초음파 트랜스듀서는 튜브(T)에 장착될 수 있는 독립된 모듈 구조로 만들어질 수 있고, 모듈 구조의 초음파 센서(10)는 제어 기판(E)과 유선 또는 무선 통신을 통하여 전기 신호 또는 데이터의 전송이 가능하도록 전기적으로 연결될 수 있다. 제어 기판(E)에 작동의 제어를 위한 마이크로프로세서, 초음파 펄스의 발생을 위한 펄스 발생기(32); 펄스 형태의 초음파의 형태 또는 발생 주기를 설정하는 클록 유닛(33); 수신 진동자(312)로부터 수신되어 전기 신호로 변환된 신호를 증폭시키는 증폭기(35); 증폭기(35)에서 증폭이 된 신호를 디지털 신호로 변환하는 디지털 신호 처리 프로세서(36); 처리 프로세서(36)에서 처리된 신호로부터 수신 초음파를 수신 특성을 분석하는 탐지 분석 유닛(34); 탐지 분석 유닛(34)에서 분석된 탐지 결과를 출력하는 출력 유닛(37); 및 출력 유닛(37)에서 전송된 출력 신호를 스크린에서 표시 가능한 신호로 변환하는 윈도우 유닛(38)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the ultrasonic sensor 10 may be made of a modular structure, and the ultrasonic transducer may be made of a detection electronic chip structure. Specifically, the ultrasonic transducer includes a sensor body 31 having a through groove 313 into which the tube T is inserted; A transmission vibrator 311 and a reception vibrator 312 disposed at positions of the sensor body 31 facing each other; And a bonding layer that allows ultrasonic waves generated from the vibrator to be transmitted to the tube T. In addition, a sound absorbing layer for absorbing the reflected ultrasonic waves may be disposed on the rear surface of the transmitting vibrator 311 as necessary. The ultrasonic transducer can be made of a suitable structure in which the generated ultrasonic waves are transmitted to the inside of the tube T, and the transmitted ultrasonic waves can be received via the circumferential surface of the tube T, and are not limited to the presented embodiments. . The ultrasonic transducer may be made of an independent module structure that may be mounted on the tube T, and the ultrasonic sensor 10 of the module structure may transmit electrical signals or data through wired or wireless communication with the control board E. May be electrically connected as possible. A microprocessor for control of operation on the control board E, a pulse generator 32 for the generation of ultrasonic pulses; A clock unit 33 for setting the form or generation period of the ultrasonic wave in the form of a pulse; An amplifier 35 for amplifying a signal received from the reception vibrator 312 and converted into an electrical signal; A digital signal processing processor 36 for converting the signal amplified by the amplifier 35 into a digital signal; A detection analysis unit 34 that analyzes reception characteristics of received ultrasonic waves from the signal processed by the processing processor 36; An output unit 37 which outputs the detection result analyzed by the detection analysis unit 34; And a window unit 38 for converting the output signal transmitted from the output unit 37 into a signal that can be displayed on the screen.

제어 기판(E)은 초음파의 발생, 초음파의 전송, 초음파의 수신, 수신 초음파의 처리 또는 분석을 위한 다양한 소자 또는 부품을 포함할 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 또한 제어 기판(E)은 다양한 형태의 감시 장치 또는 관리 장치와 연결될 수 있고, 탐지 결과에 따라 경보를 발생시킬 수 있는 다양한 경보 발생 유닛과 연결될 수 있다. The control board E may include various elements or components for generating ultrasonic waves, transmitting ultrasonic waves, receiving ultrasonic waves, processing or analyzing received ultrasonic waves, and the present invention is not limited thereto. In addition, the control board E may be connected to various types of monitoring devices or management devices, and may be connected to various alarm generating units capable of generating alarms according to detection results.

도 4는 본 발명에 따른 탐지 시스템의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다. Figure 4 shows an embodiment of the operating structure of the detection system according to the present invention.

도 4를 참조하면, 제어 유닛(41)에 의하여 초음파 센서의 전체 작동이 제어될 수 있고, 제어 유닛(41)은 각각의 초음파 센서(11, 12, 1N)의 작동을 제어하는 작동 제어 유닛(42)으로 각각의 초음파 센서(11 내지 1N)의 작동 조건을 전송할 수 있다. 작동 제어 유닛(42)은 각각의 튜브(T1 내지 TN)에 설치된 각각의 초음파 센서(11 내지 1N)의 작동 조건을 설정할 수 있고, 각각의 초음파 센서(11 내지 1N)는 미리 결정된 주기로 펄스 형태의 초음파를 발생시킬 수 있고, 예를 들어 이송되는 유체의 종류, 튜브(T1 내지 TN)의 소재 또는 구조에 따라 펄스의 형태 또는 주파수가 적절하게 선택될 수 있다. 작동 제어 유닛(42)의 작동 제어에 따라 발생되어 각각의 튜브(T1 내지 TN)로 전송된 초음파는 유체 및 도관을 통하여 전송되어 수신 진동자에 의하여 수신되어 수신 처리 유닛(43)으로 전송될 수 있다. 수신 처리 유닛(43)은 수신된 신호를 전기 신호로 변환하고, 변환된 신호를 증폭하고, 디지털 신호로 변환하여 유체 상태 분석 유닛(44)으로 전송할 수 있다. Referring to FIG. 4, the entire operation of the ultrasonic sensors can be controlled by the control unit 41, and the control unit 41 controls the operation of the respective ultrasonic sensors 11, 12, 1N (operation control unit ( 42 may transmit the operating conditions of each of the ultrasonic sensors 11 to 1N. The operation control unit 42 can set the operating conditions of each of the ultrasonic sensors 11 to 1N installed in each of the tubes T1 to TN, and each of the ultrasonic sensors 11 to 1N has a pulse shape at a predetermined cycle. Ultrasonic waves may be generated, and the shape or frequency of the pulse may be appropriately selected depending on, for example, the type of fluid to be transferred, the material or the structure of the tubes T1 to TN. Ultrasonic waves generated according to the operation control of the operation control unit 42 and transmitted to the respective tubes T1 to TN may be transmitted through the fluid and the conduit, received by the reception vibrator, and transmitted to the reception processing unit 43. . The reception processing unit 43 may convert the received signal into an electrical signal, amplify the converted signal, convert it into a digital signal, and transmit the converted signal to the fluid state analysis unit 44.

초음파는 매질의 종류, 매질의 밀도 또는 매질의 상태에 따라 서로 다른 전달 특성을 나타내고, 예를 들어 각각의 튜브(T1 내지 TN)를 통하여 이송되는 유체의 종류, 유체의 이송 속력, 온도 또는 유체의 밀도에 따라 서로 다른 전달 특성을 가질 수 있다. 유체 상태 분석 유닛(44)은 초음파의 전달 속도, 수신 비율, 경계면에서 반사 특성을 탐지할 수 있고 그에 기초하여 각각의 튜브(T1 내지 TN)에서 유체의 유동 상태를 탐지할 수 있다. 유체의 종류, 온도, 압력, 튜브(T1 내지 TN)의 소재, 두께, 직경 또는 이와 유사한 매질 특성에 따른 초음파의 전달 특성에 대한 특성 데이터베이스(441)가 미리 준비될 수 있다. 유체 상태 분석 유닛(44)은 수신 처리 유닛(43)으로부터 전송된 수신 초음파 특성을 특성 데이터베이스(441)에 저장된 데이터와 비교하여 각각의 튜브(T1 내지 TN)의 내부에 유체의 유동 상태를 분석할 수 있다. 그리고 분석 결과가 제어 유닛(41)으로 전송될 수 있다. Ultrasonic waves exhibit different transfer characteristics depending on the type of medium, the density of the medium or the state of the medium, for example the type of fluid transferred through each of the tubes T1 to TN, the speed of fluid transfer, temperature or Depending on the density can have different transfer characteristics. The fluid state analysis unit 44 may detect the propagation speed, the reception rate, and the reflection characteristic of the ultrasonic waves, and may detect the flow state of the fluid in each of the tubes T1 to TN based thereon. A characteristic database 441 may be prepared in advance for the transmission characteristics of the ultrasonic wave according to the type of fluid, temperature, pressure, material, thickness, diameter of the tubes T1 to TN, or similar medium characteristics. The fluid state analysis unit 44 compares the received ultrasonic characteristics transmitted from the reception processing unit 43 with the data stored in the characteristic database 441 to analyze the flow state of the fluid inside the respective tubes T1 to TN. Can be. The analysis result can then be sent to the control unit 41.

제어 유닛(41)은 분석 결과로부터 각각의 튜브(T1 내지 TN)에서 유체의 유동 상태의 정상 여부를 판단할 수 있고, 필요에 따라 경보 유닛(45)을 작동시켜 경보를 발생시킬 수 있다. 예를 들어 공급 튜브를 통하여 화합물이 이송되지 않거나, 조절 튜브의 내부로 화합물이 유입되었거나, 배출 튜브로 이송되는 화합물에 기포가 존재하는 것으로 탐지된 경우 경보를 발생시킬 수 있다. 그리고 이에 의하여 화합물의 공급 및 용기 내부로 기체의 유입 상태가 실시간으로 감시될 수 있다. 또한 분석 결과에 따라 자동으로 개폐 밸브가 작동되도록 할 수 있다. The control unit 41 may determine whether the flow state of the fluid in each of the tubes T1 to TN is normal from the analysis result, and may activate the alarm unit 45 to generate an alarm if necessary. For example, an alarm may be triggered if no compound is transported through the feed tube, if a compound is introduced into the control tube, or if a bubble is present in the compound being transported to the discharge tube. And by this the supply of the compound and the state of inflow of gas into the vessel can be monitored in real time. In addition, the valve can be operated automatically according to the analysis result.

도 5는 본 발명에 따른 탐지 시스템에 적용 가능한 자동 조절 밸브의 실시 예를 도시한 것이다. Figure 5 illustrates an embodiment of an automatic control valve applicable to the detection system according to the present invention.

저장 용기로부터 공급 용기로 화합물이 공급되지 않는 것으로 탐지되면, 저장 용기의 내부로 화합물이 채워지거나 또는 저장 용기가 교체될 필요가 있다. 저장 용기의 교체를 위하여 조절 튜브를 통한 저장 용기에 대한 기체의 공급이 중단될 필요가 있다. 기체 공급의 중단은 자동으로 이루어질 수 있다. If it is detected that no compound is supplied from the storage container to the supply container, the compound needs to be filled into the storage container or the storage container needs to be replaced. The supply of gas to the storage vessel via the control tube needs to be stopped for replacement of the storage vessel. Interruption of the gas supply can occur automatically.

도 5를 참조하면, 자동 조절 밸브는 밸브 몸체(51); 밸브 몸체(51)에 결합된 개폐 수단(52); 밸브의 유동 경로를 개폐시키는 잠금 유닛(53); 잠금 유닛(53)의 이동을 유도하는 유도 유닛(55); 유도 유닛(55)을 고정시키면서 잠금 유닛(53)이 정해진 경로를 따라 이동되도록 하는 이동 유도 부재(54); 및 잠금 유닛(53)의 이동을 위한 기체를 주입시키는 주입 탭(56)을 포함할 수 있다. 유도 유닛(55)에 잠금 유닛(53)의 이동을 유도하는 유도 경로(552)가 형성될 수 있고, 유도 유닛(55)은 결합 브래킷(551)에 의하여 이동 유도 부재(54)에 결합될 수 있다. 주입 탭(56)을 통하여 기체가 주입되거나, 배출되면 잠금 유닛(53)이 유도 경로(552)를 따라 이동될 수 있고 이에 따라 자동 조절 밸브의 유동 경로가 개폐될 수 있다. Referring to FIG. 5, the automatic regulating valve includes a valve body 51; Opening and closing means (52) coupled to the valve body (51); A locking unit 53 for opening and closing the flow path of the valve; An induction unit 55 for inducing movement of the locking unit 53; A movement inducing member 54 which allows the locking unit 53 to move along a predetermined path while fixing the induction unit 55; And an injection tab 56 for injecting gas for movement of the locking unit 53. An induction path 552 may be formed in the induction unit 55 to induce the movement of the locking unit 53, and the induction unit 55 may be coupled to the movement induction member 54 by a coupling bracket 551. have. When gas is injected or discharged through the injection tab 56, the locking unit 53 can be moved along the induction path 552, thereby opening and closing the flow path of the automatic control valve.

초음파 센서가 조절 튜브에 배치되어 저장 용기의 교체 과정에서 또는 교체된 이후 기체의 주입 상태가 탐지될 수 있고, 탐지 결과에 따라 자동 조절 밸브의 작동이 조절될 수 있다. An ultrasonic sensor may be placed in the control tube to detect the injection state of the gas during or after the replacement of the reservoir and the operation of the automatic control valve may be adjusted according to the detection result.

도 6은 본 발명에 따른 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 방법의 실시 예를 도시한 것이다. 6 illustrates an embodiment of a fluid state detection method by an ultrasonic sensor according to the present invention.

도 6을 참조하면, 도관을 통하여 이송되는 유체의 상태를 탐지하는 방법에 있어서, 도관에서 초음파 센서의 배치 위치가 설정되고, 적어도 하나의 위치에 적어도 하나의 초음파 센서가 설치되는 단계(P61); 적어도 하나의 초음파 센서 각각의 초음파의 발생 주기를 설정하고, 설정에 기초하여 초음파가 전송되어 수신되는 단계(P62); 수신 초음파의 수신 감도를 분석하여 정상 상태인지 여부가 판단되는 단계(P64); 및 판단 결과에 따라 경보가 발생되는 단계(P66)를 포함하고, 상기 수신 감도의 분석에 따라 도관을 통하여 유체가 공급되는지 여부, 공급되는 유체에 기포가 포함되어 있는지 여부 또는 도관에 의하여 연결된 서로 다른 유체 용기가 유체가 부족한 상태인지 여부 또는 도관 내에 미리 결정된 형태와 다른 형태의 유체가 존재하는지 여부가 탐지된다. Referring to FIG. 6, in the method of detecting a state of a fluid conveyed through a conduit, an arrangement position of an ultrasonic sensor is set in the conduit, and at least one ultrasonic sensor is installed at at least one position (P61); Setting a generation period of the ultrasonic waves of each of the at least one ultrasonic sensor, and based on the setting, ultrasonic waves are transmitted and received (P62); Analyzing the reception sensitivity of the received ultrasound to determine whether the device is in a normal state (P64); And a step (P66) of generating an alarm according to the determination result, wherein whether the fluid is supplied through the conduit according to the analysis of the reception sensitivity, whether the fluid is contained in the supplied fluid, or different from each other connected by the conduit. It is detected whether the fluid container is in a state of fluid shortage or whether a fluid of a different type from the predetermined form exists in the conduit.

위에서 설명된 것처럼, 초음파 센서는 기체 또는 액체의 유동 상태를 탐지하는 기능을 가질 수 있고, 유체의 이송을 위한 도관의 다양한 위치에 초음파 센서가 배치될 수 있다(P61). 초음파 센서는 송신 진동자와 수신 진동자로 이루어질 수 있고, 송신 진동자에서 발생된 초음파는 도관 및 유체를 통하여 전달되어 일부는 반사가 되고 나머지는 수신 진동자에 수신될 수 있다. 초음파는 펄스 형태가 될 수 있고, 송신 주기가 결정될 수 있다. 설정된 주기에 따라 초음파가 전송되어 수신이 되면(P63), 매질에 따른 초음파의 전달 특성이 분석될 수 있다(P64). 그리고 분석 결과에 따라 정상 상태로 판단되면(YES), 다른 주기의 초음파가 송신 및 수신이 될 수 있다(P63). 이에 비하여 정상 상태가 아니라면(NO), 유동 상태가 표시되면서 경보가 발생될 수 있다(P67). 또한 필요에 따라 공급 밸브가 작동되어 유체의 공급이 조절될 수 있다(P66). As described above, the ultrasonic sensor may have a function of detecting the flow state of the gas or liquid, and the ultrasonic sensor may be disposed at various positions of the conduit for transporting the fluid (P61). The ultrasonic sensor may be composed of a transmitting vibrator and a receiving vibrator, and the ultrasonic waves generated by the transmitting vibrator may be transmitted through the conduit and the fluid so that some of them may be reflected and others may be received by the receiving vibrator. The ultrasonic waves may be in the form of pulses and the transmission period may be determined. When the ultrasound is transmitted and received according to the set period (P63), the transmission characteristics of the ultrasound according to the medium may be analyzed (P64). If it is determined in the normal state according to the analysis result (YES), ultrasonic waves of another cycle may be transmitted and received (P63). On the contrary, if it is not the normal state (NO), an alarm may be generated while the flow state is displayed (P67). In addition, the supply valve may be operated as necessary to adjust the supply of the fluid (P66).

초음파 센서에 의한 유체의 탐지는 다양한 과정을 통하여 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. Detection of the fluid by the ultrasonic sensor can be made through various processes and is not limited to the presented embodiments.

본 발명에 따른 반도체 제조 공정에 적용되는 케미컬의 공급 과정에 적용되어 케미컬의 유동 상태의 감시가 가능하도록 한다. 예를 들어 사염화티타늄과 같은 케미컬이 저장 탱크로부터 공정 탱크로 공급되는 과정에 적용되어 공정 탱크로 미리 결정된 양의 사염화티타늄이 공급되어 케미컬의 공급 불량이 방지되도록 한다. 본 발명에 따른 방법은 다양한 종류의 이송 도관 또는 튜브에 적용될 수 있고, 유체의 종류에 관계없이 적용될 수 있으면서 유체에 포함되는 기포와 같은 이물질의 탐지가 가능하도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 방법은 공급 감시가 자동으로 이루어지도록 한다. It is applied to the supply process of the chemical applied to the semiconductor manufacturing process according to the present invention to enable monitoring of the flow state of the chemical. For example, a chemical, such as titanium tetrachloride, is applied to the process from the storage tank to the process tank so that a predetermined amount of titanium tetrachloride is supplied to the process tank to prevent a poor supply of the chemical. The method according to the present invention can be applied to various types of conveying conduits or tubes, and can be applied regardless of the type of fluid while allowing the detection of foreign matter such as bubbles contained in the fluid. In addition, the method according to the invention allows for automatic supply monitoring.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. Although the present invention has been described in detail with reference to the presented embodiments, those skilled in the art may make various modifications and modifications without departing from the spirit of the present invention with reference to the presented embodiments. . The invention is not limited by the invention as such variations and modifications but only by the claims appended hereto.

10: 초음파 센서 11, 12, 13, 14, 1N: 초음파 센서
21: 밀폐 공간 22: 저장 용기
23: 공급 용기 24: 공급 튜브
26: 배출 튜브 31: 센서 몸체
32: 펄스 발생기 33: 클록 유닛
34: 탐지 분석 유닛 35: 증폭기
36: 처리 프로세서 37: 출력 유닛
38: 윈도우 유닛 41: 제어 유닛
42: 작동 제어 유닛 43: 수신 처리 유닛
44: 유체 상태 분석 유닛 45: 경보 유닛
51: 밸브 몸체 52: 개폐 수단
53: 잠금 유닛 54: 이동 유도 부재
55: 유도 유닛 56: 주입 탭
251, 252: 1, 2 조절 튜브 311: 송신 진동자
312: 수신 진동자 313: 관통 홈
441: 특성 데이터베이스 551: 결합 브래킷
552: 유도 경로 C: 제어 모듈
E: 제어 기판 L1, L2: 레벨
P: 2 용기 S: 1 용기
T: 도관 T1 내지 TN: 튜브10: ultrasonic sensor 11, 12, 13, 14, 1N: ultrasonic sensor
21: sealed space 22: storage container
23: supply container 24: supply tube
26: discharge tube 31: sensor body
32: pulse generator 33: clock unit
34: detection analysis unit 35: amplifier
36: processing processor 37: output unit
38: window unit 41: control unit
42: operation control unit 43: reception processing unit
44: fluid state analysis unit 45: alarm unit
51: valve body 52: opening and closing means
53: locking unit 54: moving guide member
55: guide unit 56: injection tap
251, 252: 1, 2 control tube 311: transmit oscillator
312: receiving oscillator 313: through groove
441: Properties Database 551: Joining Bracket
552: induction path C: control module
E: control board L1, L2: level
P: 2 containers S: 1 containers
T: conduit T1 to TN: tube

Claims (4)

유체를 저장 또는 공급하는 1 용기(S)와 2 용기(P) 사이에 설치되어 유체를 이송시키는 도관(T)에 설치되는 초음파 센서(10); 및
초음파 센서(10)의 작동을 제어하는 제어 모듈(C)을 포함하고,
상기 초음파 센서(10)로부터 발생된 초음파는 도관(T)을 관통하여 전송되고,
상기 1 용기(22)로부터 상기 2 용기(23)로 공급되는 유체의 양은 상기 2 용기(23)에 수용된 화합물의 양에 의해 결정되고 상기 2 용기(23)의 유체의 레벨은 미리 결정된 수준으로 유지되며, 상기 도관(T)를 통한 유체의 공급 수준은 상기 1 용기(22) 및 상기 2 용기(23)의 내부 압력에 의하여 조절되며, 상기 1, 2 용기(S, P)의 압력을 각각 조절하도록 압력 조절 기체를 주입하는 조절 튜브(251, 252) 및 상기 2 용기(23)로부터 외부로 유체를 이송시키는 배출 튜브(26)를 더 포함하고,
상기 초음파 센서(10)는 도관(T)의 둘레 면에 설치되는 1 초음파 센서(11), 조절 튜브(251, 252)에 배치된 2, 3 초음파 센서(12, 13) 및 배출 튜브(26)에 배치되는 4 초음파 센서(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템. An ultrasonic sensor 10 installed between the first container S for storing or supplying the fluid and the second container P for installing the fluid; And
It includes a control module (C) for controlling the operation of the ultrasonic sensor 10,
Ultrasound generated from the ultrasonic sensor 10 is transmitted through the conduit (T),
The amount of fluid supplied from the first vessel 22 to the second vessel 23 is determined by the amount of compound contained in the second vessel 23 and the level of the fluid in the second vessel 23 is maintained at a predetermined level. The supply level of the fluid through the conduit T is controlled by the internal pressures of the first vessel 22 and the second vessel 23, and the pressures of the first and second vessels S and P are respectively adjusted. Further comprising control tubes 251 and 252 for injecting pressure regulating gas and a discharge tube 26 for transferring fluid from the two vessels 23 to the outside,
The ultrasonic sensor 10 includes one ultrasonic sensor 11 installed on the circumferential surface of the conduit T, two or three ultrasonic sensors 12 and 13 disposed on the control tubes 251 and 252, and the discharge tube 26. Fluid state detection system by the ultrasonic sensor, characterized in that it comprises four ultrasonic sensors (14) disposed in. 삭제delete 청구항 1에 있어서, 초음파 센서(10)는 도관(T)의 외부 둘레 면에 배치되는 송신 진동자(311); 및 송신 진동자(311)와 마주보는 위치에 배치되는 수신 진동자(312)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 센서에 의한 유체 상태 탐지 시스템. The ultrasonic sensor 10 of claim 1, further comprising: a transmission vibrator 311 disposed on an outer circumferential surface of the conduit T; And a reception vibrator 312 disposed at a position facing the transmission vibrator 311. 삭제delete
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