KR102063226B1 - Servo valve - Google Patents

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KR102063226B1
KR102063226B1 KR1020180108153A KR20180108153A KR102063226B1 KR 102063226 B1 KR102063226 B1 KR 102063226B1 KR 1020180108153 A KR1020180108153 A KR 1020180108153A KR 20180108153 A KR20180108153 A KR 20180108153A KR 102063226 B1 KR102063226 B1 KR 102063226B1
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KR
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piston
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closing
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KR1020180108153A
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임재훈
윤만영
배지웅
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주식회사 비엠티
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Abstract

The present invention relates to a servo valve which can precisely adjust a discharge flow rate. The servo valve comprises: a valve body unit having an inlet unit into which a fluid is introduced and an outlet unit from which the fluid is discharged; an inlet port enabling the inlet unit to communicate with the outlet unit in the valve body unit; an opening and closing unit disposed in the inlet port and selectively opening and closing the inlet port; and a drive unit opening a through hole formed in the opening and closing unit to discharge a predetermined rate of flow or moving the opening and closing unit to open the inlet port. Accordingly, the inlet port can be controlled to be opened by opening the through hole formed in the opening and closing unit or moving the opening and closing unit to precisely adjust the discharge flow rate.

Description

서보 밸브{SERVO VALVE}Servo Valve {SERVO VALVE}

본 발명은 서보 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배출유량을 정밀하게 조절할 수 있는 서보 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a servovalve, and more particularly, to a servovalve capable of precisely adjusting the discharge flow rate.

지구온난화 물질인 CFC 및 H(C)FC 계열의 냉매의 사용이 금지되면서 이산화탄소(CO2), 암모니아(NH3)와 같은 자연냉매를 적용하는 냉동기 혹은 열펌프 시스템에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.As the use of CFC and H (C) FC series refrigerants, which are global warming substances, is being banned, studies on freezers or heat pump systems applying natural refrigerants such as carbon dioxide (CO 2 ) and ammonia (NH 3 ) are being actively conducted. have.

즉, HCFC 및 HFC 계열의 화학 냉매를 대체하여 이산화탄소(CO2), 암모니아(NH3)를 냉매로 적용하여 친환경성과 에너지 절약을 달성할 수 있는 제품과 솔루션 개발에 연구가 이루어 지고 있다. 그 중 하나로, 이산화탄소(CO2), 암모니아(NH3)를 냉매로 적용한 냉각시스템에 적용되는 밸브에 대한 개발이 이루어 지고 있다.In other words, research is being conducted to develop products and solutions that can achieve eco-friendliness and energy saving by applying carbon dioxide (CO 2 ) and ammonia (NH 3 ) as refrigerants instead of HCFC and HFC series chemical refrigerants. One of them is the development of a valve applied to a cooling system using carbon dioxide (CO 2 ), ammonia (NH 3 ) as a refrigerant.

미국등록특허 제7669609호(이하 '특허문헌 1'이라 지칭)에는 이산화탄소, 암모니아 등과 같은 냉매를 이용하는 냉각시스템에 적용되는 범용 냉각 밸브가 개시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 범용 냉각 밸브는 유입구(23)와 배출구(25) 사이에 밸브 포트(24)가 형성되어 있고, 상기 밸브 포트(24)에 피스톤(33)이 삽입되어 있다. 이러한 구성으로, 상기 피스톤(33)이 상측으로 이동하여 상기 밸브 포트(24)를 개방하면 상기 유입구(23)와 배출구(25)가 연통되어 유체가 유동하게 되고, 상기 피스톤(33)이 하측으로 이동하여 상기 밸브 포트(24)를 폐쇄하여 유체의 유동을 차단하게 된다.US Patent No. 7669609 (hereinafter referred to as 'Patent Document 1') discloses a general-purpose cooling valve applied to a cooling system using a refrigerant such as carbon dioxide and ammonia. As shown in FIG. 1, in the conventional general-purpose cooling valve, a valve port 24 is formed between an inlet 23 and an outlet 25, and a piston 33 is inserted into the valve port 24. . In this configuration, when the piston 33 moves upward to open the valve port 24, the inlet 23 and the outlet 25 communicate with each other, and the fluid flows, and the piston 33 moves downward. It moves and closes the valve port 24 to block the flow of the fluid.

이러한, 특허문헌 1의 범용 냉각 밸브는 하나의 밸브 포트(24) 즉, 하나의 유동 유로가 형성되어 있고, 상기 피스톤(33)의 이동하여 상기 밸브 포트(24)가 개방되면 동일한 유량의 유체가 유동하게 된다. In the general-purpose cooling valve of Patent Document 1, one valve port 24, that is, one flow passage is formed, and when the piston 33 moves and the valve port 24 is opened, fluid having the same flow rate Will flow.

일반적으로 냉각시스템에서 복수의 밸브가 설치되고, 특정 설치 위치 및 용도에 따라 정밀한 유량 제어가 필요한 경우가 있다. 이 경우, 상기한 특허문헌 1의 범용 냉각 밸브는 하나의 냉각 밸브를 모든 위치에 그대로 사용할 수 없다. 즉, 서로 다른 사양의 냉각 밸브를 복수개가 필요하게 되므로 설비의 제작 및 유지 보수의 시간 및 비용이 증가하게 되는 문제가 있다.Generally, a plurality of valves are installed in a cooling system, and precise flow rate control may be required depending on a specific installation position and application. In this case, the above-mentioned general purpose cooling valve of patent document 1 cannot use one cooling valve in all positions as it is. That is, since a plurality of cooling valves having different specifications are required, there is a problem in that the time and cost of manufacturing and maintaining the facility are increased.

미국등록특허 제7669609호 (2010.03.02)United States Patent No. 7669609 (2010.03.02)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 개폐부에 형성된 관통홀을 개방하거나 개폐부를 이동시켜 유입구를 개방하도록 제어하여 배출유량을 정밀하게 조절할 수 있는 서보 밸브를 제공하는 데에 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, the object to provide a servo valve that can precisely control the discharge flow rate by controlling the opening of the inlet by opening the through-hole formed in the opening or closing portion or moving the opening and closing portion There is this.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서보 밸브는, 유체가 유입되는 유입부와 유체가 배출되는 배출부가 형성된 밸브 바디부; 상기 밸브 바디부의 내부에서 상기 유입부와 상기 배출부를 연통하는 유입구; 상기 유입구에 배치되고, 선택적으로 상기 유입구를 개폐하는 개폐부; 및 일정 유량이 토출되도록 상기 개폐부에 형성된 관통홀을 개방하거나, 상기 개폐부를 이동시켜 상기 유입구를 개방하도록 동작하는 구동부;를 포함한다. In order to achieve the above object, a servo valve according to an exemplary embodiment of the present invention includes a valve body part having an inlet part through which fluid is introduced and a discharge part through which fluid is discharged; An inlet communicating with the inlet and the outlet in the valve body; An opening and closing portion disposed at the inlet and selectively opening and closing the inlet; And a driving unit operable to open the through hole formed in the opening and closing portion so as to discharge a predetermined flow rate, or move the opening and closing portion to open the inlet.

보다 구체적으로, 상기 개폐부는, 중심에 상기 관통홀이 형성되고, 상기 유입구를 개폐하는 개폐 플레이트; 및 상기 개폐 플레이트와 상기 밸브 바디부 사이에 배치되고, 상기 개폐 플레이트가 상기 유입구에 밀착되게 탄성력을 인가하는 개폐부 탄성부재;를 포함할 수 있다. More specifically, the opening and closing portion, the through-hole is formed in the center, opening and closing plate for opening and closing the inlet; And an opening and closing part elastic member disposed between the opening and closing plate and the valve body part and applying an elastic force to the opening and closing plate to be in close contact with the inlet.

그리고, 상기 구동부는, 상기 밸브 바디부의 내주면에 밀착되어 이동하는 피스톤; 상기 피스톤에 체결되어 함께 이동하고, 상기 개폐 플레이트의 관통홀에 삽입되며, 상기 피스톤에 의해 이동이 시작되면 상기 관통홀을 개방하고, 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키는 가동부재; 상기 피스톤의 상측 공간에 유체가 유입되어 상기 피스톤을 가압하도록 상기 유입부와 상기 피스톤의 상측 공간을 연통 시키고, 파일럿 밸브에 의해 개폐되는 작동유체 유입유로; 상기 피스톤의 상측 공간과 상기 배출부가 연통되게 상기 피스톤을 관통하여 형성된 밸런스 홀; 및 상기 밸브 바디부와 상기 피스톤 사이에 배치되고, 상기 가동부재가 상기 관통홀을 폐쇄하도록 탄성력을 인가하는 구동부 탄성부재;를 포함할 수도 있다. And, the drive unit, the piston moving in close contact with the inner peripheral surface of the valve body portion; A movable member which is fastened to the piston and moves together, is inserted into the through hole of the opening / closing plate, and opens the through hole when the movement is started by the piston, and presses and moves the opening / closing plate when moving by a certain distance; A working fluid inflow passage communicating with the inflow portion and the upper space of the piston to open and close the fluid so that fluid flows into the upper space of the piston and pressurizes the piston; A balance hole formed through the piston such that an upper space of the piston and the discharge part communicate with each other; And a driving part elastic member disposed between the valve body part and the piston and configured to apply an elastic force to the movable member to close the through hole.

여기서, 상기 가동부재는, 상기 피스톤에 체결되고, 상기 관통홀보다 큰 직경으로 마련되어 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키는 샤프트; 및 상기 샤프트보다 작은 직경으로 마련되어 상기 샤프트의 단부에 체결되는 디스크 몸체와, 상기 디스크 몸체에서 외측으로 확장 형성되어 상기 개폐 플레이트의 관통홀에 삽입 밀착되어 폐쇄하는 폐쇄부로 마련된 디스크;를 포함할 수도 있다. Here, the movable member, the shaft is fastened to the piston, provided with a larger diameter than the through hole to move by pressing the opening and closing plate when moving a predetermined distance; And a disk provided with a smaller diameter than the shaft and fastened to an end of the shaft, and a disk extending from the disk body to the outside and provided with a closing portion inserted into and closed by the through hole of the opening / closing plate. .

또는, 상기 가동부재는, 상기 피스톤에 체결되는 샤프트; 상기 샤프트보다 작은 직경으로 마련되어 상기 샤프트의 단부에 체결되는 디스크 몸체와, 상기 디스크 몸체에서 외측으로 확장 형성되어 상기 개폐 플레이트의 관통홀에 삽입 밀착되어 폐쇄하는 폐쇄부로 마련된 디스크; 및 부분적으로 상기 디스크 몸체를 감싸도록 상기 샤프트의 외주면에 체결되고, 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키는 가압부재;를 포함할 수도 있다.Or, the movable member, the shaft is fastened to the piston; A disk provided with a smaller diameter than the shaft and fastened to an end of the shaft, and a disk extending from the disk body to an outer side to be inserted into and closed by a through hole of the opening / closing plate; And a pressing member partially fastened to an outer circumferential surface of the shaft to surround the disk body, and pressing and moving the opening / closing plate when moving a predetermined distance.

여기서, 상기 가압부재는, 상기 개폐 플레이트를 가압시 상기 관통홀을 통하여 유입된 유체가 상기 배출부로 유동하도록, 상기 디스크 몸체를 감싸는 영역에서 방사상으로 관통 형성된 연통홀;을 더 포함할 수도 있다.Here, the pressing member may further include a communication hole radially penetrating in the area surrounding the disc body so that the fluid flowing through the through hole flows to the discharge portion when pressing the opening and closing plate.

나아가, 상기 가압부재는, 상기 개폐 플레이트와의 간격이 조절되도록 상기 샤프트에 체결되어, 상기 개폐 플레이트를 가압시 상기 관통홀과 상기 폐쇄부의 이격 간격을 조절하여 상기 관통홀을 통하여 배출되는 유량을 조절하도록 마련될 수도 있다.Further, the pressing member is fastened to the shaft so that the interval with the opening and closing plate is adjusted, and adjusts the flow rate discharged through the through hole by adjusting the separation interval of the through hole and the closing portion when pressing the opening and closing plate. It may be arranged to.

이 경우, 상기 개폐 플레이트는, 상기 관통홀의 둘레에서 상기 가압부재 측으로 돌출되어, 상기 가압부재의 내주면에 접촉하는 돌출 가이드부;를 더 포함할 수도 있다.In this case, the opening and closing plate may further include a protruding guide portion protruding toward the pressing member from the periphery of the through hole and contacting the inner circumferential surface of the pressing member.

그리고, 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브는 상기 개폐 플레이트를 감싸도록 상기 유입구에 배치되고, 상기 유입구를 통하여 유입되는 유체에 함유된 이물질을 필터링하는 필터부;를 더 포함할 수 있다.In addition, the servo valve according to the embodiment of the present invention may be disposed at the inlet to surround the opening and closing plate, the filter unit for filtering the foreign matter contained in the fluid flowing through the inlet;

또한, 상기 밸브 바디부에서 상기 피스톤의 상측에 배치되고, 사용자의 조작에 의해 상기 피스톤을 가압하여 이동시키는 수동 구동부;를 더 포함할 수도 있다.In addition, the valve body portion is disposed on the upper side of the piston, the manual drive unit for pressing and moving the piston by the user's operation; may further include.

보다 구체적으로, 상기 수동 구동부는, 상기 밸브 바디부에 체결되는 구동부 하우징; 상기 구동부 하우징에 회전되게 구비되고, 사용자의 조작에 의해 회전되는 조작부재; 및 상기 구동부 하우징의 내부에 배치되어 상기 밸브 바디부를 관통하고, 상기 조작부재의 회전에 대응하여 직선 이동하며, 상기 피스톤을 선택적으로 가압하는 가압로드;를 포함할 수 있다. More specifically, the manual drive unit, the drive housing coupled to the valve body portion; An operation member provided to be rotated in the driving unit housing and rotated by a user's operation; And a pressurizing rod disposed inside the driving unit housing and penetrating the valve body, linearly moving in response to the rotation of the operation member, and selectively pressing the piston.

여기서, 상기 수동 구동부는, 상기 가압로드와 상기 조작부재 중 적어도 어느 하나에 눈금이 표시되어 있어, 상기 가압로드가 상기 피스톤을 가압하여 이동시키는 거리를 확인하여 상기 관통홀과 상기 폐쇄부의 이격 간격을 조절하여 상기 관통홀을 통하여 배출되는 유량을 조절할 수도 있다.Here, the manual driving unit, a scale is displayed on at least one of the pressure rod and the operation member, the distance between the through-hole and the closing portion to determine the distance by which the pressure rod presses and moves the piston. It may be adjusted to adjust the flow rate discharged through the through hole.

나아가, 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브는 상기 밸브 바디부에서 상기 피스톤의 상측에 배치되고, 서로 다른 조건에 의해 동작하는 복수의 파일럿 밸브가 설치되는 파일럿 유닛 설치부;를 더 포함할 수도 있다. Furthermore, the servo valve according to an embodiment of the present invention may further include a pilot unit installation unit disposed above the piston in the valve body portion and having a plurality of pilot valves installed under different conditions. .

보다 구체적으로, 상기 파일럿 유닛 설치부는, 상기 밸브 바디부에 체결되고, 복수의 파일럿 밸브가 각각 삽입 체결되되 파일럿 밸브의 배출구와 연통되는 복수의 체결홈이 형성된 설치부 몸체; 상기 복수의 체결홈을 서로 연결시키고, 파일럿 밸브의 유입구와 연통되는 연결유로; 상기 작동유체 유입유로와 상기 연결유로를 연통시키는 작동유체 유입부; 및 상기 체결홈과 상기 피스톤의 상측 공간을 연통시키고, 파일럿 밸브의 동작에 의해 상기 피스톤의 상측 공간에 유체를 배출하는 작동유체 배출부;를 포함할 수도 있다. More specifically, the pilot unit installation portion, the installation portion body is fastened to the valve body portion, a plurality of pilot grooves are respectively inserted and fastened but the plurality of fastening grooves communicating with the outlet of the pilot valve is formed; A connection passage connecting the plurality of coupling grooves to each other and communicating with an inlet of a pilot valve; A working fluid inlet which communicates the working fluid inflow passage and the connection passage; And a working fluid discharge part communicating the fastening groove and the upper space of the piston and discharging the fluid into the upper space of the piston by an operation of a pilot valve.

본 발명에 의한 서보 밸브에 따르면, 개폐부에 형성된 관통홀을 개방하거나 개폐부를 이동시켜 유입구를 개방하도록 제어하여 배출유량을 정밀하게 조절할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.According to the servo valve according to the present invention, it is possible to obtain an effect of precisely adjusting the discharge flow rate by controlling the opening of the through hole formed in the opening and closing part or by moving the opening and closing part to open the inlet.

도 1은 종래의 범용 냉각 밸브를 개략적으로 도시해 보인 단면도,
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브를 개략적으로 도시해 보인 단면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브에서 구동부가 동작하여 개폐부의 관통홀을 개방한 상태를 개략적으로 도시해 보인 단면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브에서 구동부가 동작하여 개폐부를 이동시켜 유입구를 개방한 상태를 개략적으로 도시해 보인 단면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브에 복수의 파일럿 밸브가 설치된 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면,
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브에서 가동부재의 다른 실시예를 개략적으로 도시해 보인 도면,
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브에서 필터부가 더 구비된 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면,
도 8은 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브에서 수동 구동부가 더 구비된 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional general purpose cooling valve,
2 is a cross-sectional view schematically showing a servo valve according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which a driving unit is operated to open a through hole of an opening and closing part in a servovalve according to an embodiment of the present invention;
Figure 4 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the inlet opening is opened by moving the opening and closing the drive unit in the servo valve according to an embodiment of the present invention,
5 is a view schematically illustrating a state in which a plurality of pilot valves are installed in a servo valve according to an embodiment of the present invention;
6 is a view schematically showing another embodiment of a movable member in a servo valve according to an embodiment of the present invention;
7 is a view schematically showing a state in which a filter unit is further provided in a servo valve according to an embodiment of the present invention;
8 is a view schematically showing a state in which a manual driving unit is further provided in the servovalve according to the embodiment of the present invention.

본 발명의 특징들에 대한 이해를 돕기 위하여, 이하 본 발명의 실시예와 관련된 서보 밸브에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다. In order to facilitate understanding of the features of the present invention, a servo valve related to an embodiment of the present invention will be described in more detail below.

이하 설명되는 실시예의 이해를 돕기 위하여 첨부된 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.In order to help understand the embodiments described below, in adding reference numerals to the components of the accompanying drawings, it is noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible even if displayed on different drawings. . In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a specific embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브를 개략적으로 도시해 보인 단면도이며, 도 3은 상기 서보 밸브에서 구동부가 동작하여 개폐부의 관통홀을 개방한 상태를 개략적으로 도시해 보인 단면도이고, 도 4는 상기 구동부가 더 이동하여 개폐부를 이동시켜 유입구를 개방한 상태를 개략적으로 도시해 보인 단면도이다. 그리고, 도 5는 상기 서보 밸브에 복수의 파일럿 밸브가 설치된 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면이다.2 is a cross-sectional view schematically showing a servo valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a through hole of an opening and closing part is opened by a driving unit operating in the servo valve. 4 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which the driving unit is further moved to move the opening and closing part to open the inlet. 5 is a diagram schematically illustrating a state in which a plurality of pilot valves are installed in the servovalve.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 서보 밸브(100)는 유체가 유입되는 유입부(210)와 유체가 배출되는 배출부(220)가 형성된 밸브 바디부(200)와, 상기 밸브 바디부(200)의 내부에서 상기 유입부(210)와 상기 배출부(220)를 연통하는 유입구(230)와, 상기 유입구(230)에 배치되고 선택적으로 상기 유입구(230)를 개폐하는 개폐부(300), 그리고 일정 유량이 토출되도록 상기 개폐부(300)에 형성된 관통홀(311)을 개방하거나 상기 개폐부(300)를 이동시켜 상기 유입구(230)를 개방하도록 동작하는 구동부를 포함한다. 2 to 5, the servo valve 100 according to the embodiment of the present invention includes a valve body part 200 having an inlet part 210 through which fluid is introduced and a discharge part 220 through which the fluid is discharged; An inlet port 230 communicating with the inlet part 210 and the outlet part 220 in the valve body 200, and disposed at the inlet port 230 and selectively opening and closing the inlet port 230; Opening and closing portion 300, and a driving unit for opening the inlet 230 by opening the through hole 311 formed in the opening and closing portion 300 or the moving portion 300 so that a predetermined flow rate is discharged.

보다 구체적으로, 상기 밸브 바디부(200)는 T자 형태로 마련되어 내부가 관통 형성되고, 유체가 유입되는 유입부(210)와 유체가 배출되는 배출부(220)가 양측면에 관통 형성되되 상기 밸브 바디부(200)의 내측 중간에 형성된 유입구(230)에 의해 서로 연통되게 형성된다.More specifically, the valve body 200 is formed in a T-shape is formed through the inside, the inlet 210 through which the fluid is introduced and the discharge portion 220 through which the fluid is discharged is formed through both sides of the valve It is formed to communicate with each other by the inlet 230 formed in the inner middle of the body portion 200.

여기서, 상기 유입부(210)는 외부 유체 유입라인과 연결되어 외부로부터 상기 밸브 바디부(200)에 유체를 공급받고, 상기 배출부(220)는 외부 유체 배출라인과 연결되어 상기 유입구(230)가 개방되는 경우 상기 밸브 바디부(200)에 유입된 유체를 외부로 배출하도록 서로 연통된다.Here, the inlet 210 is connected to an external fluid inlet line to receive fluid from the outside to the valve body 200, and the outlet 220 is connected to an external fluid outlet line to the inlet 230. When the opening is in communication with each other to discharge the fluid introduced into the valve body 200 to the outside.

그리고, 상기 밸브 바디부(200)는 도 2를 기준으로 관통된 상측에는 이하에서 설명되는 파일럿 유닛 설치부(500)가 체결된다. In addition, the valve unit 200 is fastened to the upper side through which the pilot unit installation unit 500 described below is fastened based on FIG. 2.

상기 개폐부(300)는 상기 유입구(230)에 배치되고, 상기 구동부의 동작에 의해 선택적으로 상기 유입구(230)를 개폐하도록 마련된다. The opening and closing part 300 is disposed in the inlet 230, and is provided to selectively open and close the inlet 230 by the operation of the driving unit.

보다 구체적으로, 상기 개폐부(300)는 중심에 상기 관통홀(311)이 형성되고 상기 유입구(230)를 개폐하는 개폐 플레이트(310)와, 상기 개폐 플레이트(310)와 상기 밸브 바디부(200) 사이에 배치되고 상기 개폐 플레이트(310)가 상기 유입구(230)에 밀착되게 탄성력을 인가하는 개폐부 탄성부재(320)를 포함한다. 그리고, 상기 개폐부(300)는 상기 개폐 플레이트(310)에서 상기 유입구(230)에 접촉하는 부위에 구비되어 상기 개폐 플레이트(310)가 상기 유입구(230)에 밀착되는 경우 밀착력 향상과 충격에 의한 소음을 방지하는 탄성재질의 실링부재(330)를 더 포함할 수 있다. More specifically, the opening and closing portion 300 has the through hole 311 is formed in the center and the opening and closing plate 310 for opening and closing the inlet 230, the opening and closing plate 310 and the valve body portion 200 It is disposed between the opening and closing plate 310 includes an opening and closing portion elastic member 320 for applying an elastic force in close contact with the inlet 230. In addition, the opening and closing part 300 is provided at a portion of the opening and closing plate 310 in contact with the inlet 230, when the opening and closing plate 310 is in close contact with the inlet 230, noise due to the improvement of adhesion and impact. It may further include a sealing member 330 of the elastic material to prevent.

이러한 구성으로, 상기 개폐부(300)는 도 2와 같이 상기 구동부가 동작하지 않은 상태에서는 상기 개폐부 탄성부재(320)의 탄성력에 의해 상기 개폐 플레이트(310)에 구비된 실링부재(330)가 상기 유입구(230)에 밀착되어 상기 유입구(230)를 폐쇄하고, 상기 구동부가 동작하여 이동을 시작하면 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)이 개방되어 미세 유량의 유체가 상기 관통홀(311)을 통하여 배출되고, 상기 구동부가 동작하여 더 이동하면 상기 개폐 플레이트(310)가 이동되어 상기 유입구(230)를 개방하여 보다 많은 유량의 유체를 상기 유입구(230)를 통하여 배출된다. In this configuration, the opening and closing part 300 is the sealing member 330 provided in the opening and closing plate 310 by the elastic force of the opening and closing elastic member 320 in the state that the driving unit is not operated as shown in FIG. The inlet 230 is closed in close contact with the 230, and when the driving unit starts to move, the through hole 311 of the opening / closing plate 310 is opened so that the fluid having a micro flow rate passes through the through hole 311. When discharged through, the drive unit is moved to move further the opening and closing plate 310 is moved to open the inlet 230 to discharge more fluid flow through the inlet (230).

즉, 상기 개폐 플레이트(310)가 상기 유입구(230)에 밀착되어 상기 유입구(230)가 개방되지 않은 상태에서 상기 개폐 플레이트(310)에 형성된 관통홀(311)을 통하여 1차적으로 미세 유량의 유체를 배출할 수 있고, 이후 상기 개폐 플레이트(310)를 이동시켜 상기 유입구(230)를 개방하여 2차적으로 보다 많은 유량의 유체를 배출할 수 있다.That is, the opening and closing plate 310 is in close contact with the inlet 230 so that the fluid having a micro flow rate is primarily through the through hole 311 formed in the opening and closing plate 310 in a state where the inlet 230 is not opened. After this, the opening and closing plate 310 may be moved to open the inlet port 230 to discharge the fluid at a higher flow rate secondarily.

상기 구동부는 미세 유량이 배출되도록 상기 개폐부(300)에 형성된 관통홀(311)을 개방하거나, 보다 많은 유량이 배출되도록 상기 개폐부(300)를 이동시켜 상기 유입구(230)를 개방하도록 동작한다. The driving unit operates to open the through hole 311 formed in the opening and closing portion 300 to discharge the fine flow rate, or move the opening and closing portion 300 to open the inlet 230 so as to discharge more flow rate.

보다 구체적으로, 상기 구동부는 상기 밸브 바디부(200)의 내주면에 밀착되어 이동하는 피스톤(410)과, 상기 피스톤(410)에 체결되어 함께 이동하고 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)에 삽입되며 상기 피스톤(410)에 의해 이동이 시작되면 상기 관통홀(311)을 개방하고 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트(310)를 가압하여 이동시키는 가동부재(420)와, 상기 피스톤(410)의 상측 공간에 유체가 유입되어 상기 피스톤(410)을 가압하도록 상기 유입부(210)와 상기 피스톤(410)의 상측 공간을 연통 시키도록 상기 밸브 바디부(200)에 형성되어 파일럿 밸브(10)에 의해 개폐되는 작동유체 유입유로(430)와, 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)과 상기 배출부(220)가 연통되게 상기 피스톤(410)을 관통하여 형성된 밸런스 홀(411), 그리고 상기 밸브 바디부(200)와 상기 피스톤(410) 사이에 배치되고 상기 가동부재(420)가 상기 관통홀(311)을 폐쇄하도록 탄성력을 인가하는 구동부 탄성부재(440)를 포함한다. More specifically, the driving unit is in close contact with the inner circumferential surface of the valve body 200, the piston 410 and the piston 410 is fastened to move together and the through hole 311 of the opening and closing plate 310 The moving member 420 is inserted into the movable member 420 to open the through hole 311 when the movement is started by the piston 410 and pressurizes the opening and closing plate 310 to move by a certain distance, and the piston 410 Fluid is introduced into the upper space of the pilot body 10 is formed in the valve body 200 to communicate the inlet portion 210 and the upper space of the piston 410 to pressurize the piston 410 A balance hole 411 formed through the piston 410 such that the working fluid inflow passage 430 opened and closed by the opening, the upper space 412 of the piston 410, and the discharge part 220 communicate with each other; The valve body 200 and the piston 410 The arrangement and comprises a driving elastic member 440 for applying an elastic force in the movable member 420 so as to close the through hole 311.

상기 피스톤(410)의 동작 상태를 살펴보면, 파일럿 밸브(10)에 의해 상기 작동유체 유입유로(430)가 개방되면 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)에 유입된 작동유체에 의해 상기 피스톤(410)이 가압되어 하측으로 이동하게 된다. 그리고, 파일럿 밸브(10)에 의해 상기 작동유체 유입유로(430)가 폐쇄되면 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)에는 더 이상 작동유체가 유입되지 않아 상기 피스톤(410)에 형성된 밸런스 홀(411)을 통하여 상측 공간(412)의 작동유체가 상기 배출부(220)로 배출되어 작동유체의 가압력이 제거되므로, 상기 구동부 탄성부재(440)의 탄성력에 의해 상기 피스톤(410)은 원래 위치로 복귀하게 된다. Looking at the operating state of the piston 410, when the working fluid inflow passage 430 is opened by a pilot valve 10, the piston (by the working fluid introduced into the upper space 412 of the piston 410) 410 is pressed to move downward. When the working fluid inflow passage 430 is closed by the pilot valve 10, the working fluid is no longer introduced into the upper space 412 of the piston 410 so that the balance hole formed in the piston 410 ( Since the working fluid of the upper space 412 is discharged to the discharge part 220 through 411 to remove the pressing force of the working fluid, the piston 410 is returned to its original position by the elastic force of the driving part elastic member 440. Will return.

여기서, 작동유체는 상기 유입부(210)를 통하여 유입된 유체와 동일한 것이나, 상기 피스톤(410)을 작동시키기 위하여 상기 작동유체 유입유로(430)를 통해 유입된 유체인바 별도로 지칭하였다.Here, the working fluid is the same as the fluid introduced through the inlet 210, but the fluid introduced through the working fluid inlet 430 to operate the piston 410 is referred to separately.

그리고, 상기 파일럿 밸브(10)는 다양한 종류 및 다양한 형태로 마련될 수 있어 도 2 내지 도 4에서는 이를 간략하게 도시하였고, 파일럿 밸브(10)의 구체적인 실시예는 도 5에 도시하였다.In addition, the pilot valve 10 may be provided in various types and in various forms, which is briefly illustrated in FIGS. 2 to 4, and a specific embodiment of the pilot valve 10 is illustrated in FIG. 5.

그리고, 상기 가동부재(420)는 상기 피스톤(410)에 체결되고 상기 관통홀(311)보다 큰 직경으로 마련되어 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트(310)를 가압하여 이동시키는 샤프트(421)와, 상기 샤프트(421)보다 작은 직경으로 마련되어 상기 샤프트(421)의 단부(423)에 체결되는 디스크 몸체(422)와 상기 디스크 몸체(422)에서 외측으로 확장 형성되어 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)에 삽입 밀착되어 폐쇄하는 폐쇄부(424)로 마련된 디스크를 포함한다.In addition, the movable member 420 is fastened to the piston 410 and provided with a diameter larger than the through hole 311, the shaft 421 for pressing and moving the opening and closing plate 310 when moving a predetermined distance, and the It is provided with a smaller diameter than the shaft 421 is fastened to the end 423 of the shaft 421 and is formed to extend outward from the disk body 422 to the through hole of the opening and closing plate 310 ( And a disk provided with a closing portion 424 inserted in close contact with 311.

여기서, 상기 폐쇄부(424)는 둘레를 따라 경사면을 가지도록 형성되고, 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)은 이에 대응되는 형상으로 마련되어, 상기 폐쇄부(424)가 상기 관통홀(311)에 삽입되면 밀착 체결되어 상기 관통홀(311)을 밀폐할 수 있다.Here, the closing part 424 is formed to have an inclined surface along the circumference, the through hole 311 of the opening and closing plate 310 is provided in a shape corresponding thereto, the closing part 424 is the through hole ( When inserted into the 311, it may be tightly coupled to seal the through hole 311.

이러한 구성으로, 상기 구동부의 동작을 살펴보면, 도 2에 도시된 바와 같이, 개폐 플레이트(310)가 유입구(230)를 폐쇄하고 있는 상태에서 상기 작동유체 유입유로(430)를 통하여 작동유체가 파일럿 밸브(10) 측으로 유입된다. In this configuration, referring to the operation of the driving unit, as shown in FIG. 2, the working fluid is pilot valves through the working fluid inlet flow path 430 in a state where the opening / closing plate 310 is closing the inlet port 230. It flows into the (10) side.

이때, 유입된 작동유체가 파일럿 밸브(10)를 동작시키는 조건, 예를 들어 설정된 압력 이상으로 유입되면 동작하는 조건에 해당하면 파일럿 밸브(10)가 동작하여 상기 작동유체 유입유로(430)를 개방하면 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)에 작동유체가 유입되고, 유입된 작동유체의 압력에 의해 상기 피스톤(410)이 하측으로 이동을 시작하게 되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 디스크 몸체(422)가 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)에 삽입되어 상기 디스크 몸체(422)와 상기 관통홀(311)의 사이를 통하여 1차적으로 미세 유량이 배출된다. 그리고, 상기 피스톤(410)이 하측으로 더 이동하여 상기 샤프트(421)의 단부(423)가 상기 개폐 플레이트(310)를 가압하여 하측으로 이동시키게 되어, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 개폐 플레이트(310)가 유입구(230)를 개방하여 2차적으로 보다 많은 유량을 배출할 수 있게 된다. At this time, if the operating fluid flows in a condition that operates the pilot valve 10, for example, when the pressure is greater than the set pressure, the pilot valve 10 is operated to open the working fluid inflow passage 430. When the working fluid is introduced into the upper space 412 of the piston 410, and the piston 410 starts to move downward by the pressure of the introduced working fluid, as shown in FIG. The disc body 422 is inserted into the through hole 311 of the opening and closing plate 310 to discharge the micro flow rate primarily between the disc body 422 and the through hole 311. Then, the piston 410 is further moved to the lower side so that the end 423 of the shaft 421 presses the opening and closing plate 310 to move downward, the opening and closing plate ( 310 may open the inlet 230 to discharge more of the secondary flow rate.

그리고, 유입된 작동유체가 파일럿 밸브(10)를 동작시키는 조건에 해당하지 않아 파일럿 밸브(10)가 다시 동작하여 상기 작동유체 유입유로(430)를 폐쇄하게 되면, 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)에 더 이상의 작동유체가 유입되지 않게 되고 상기 피스톤(410)에 형성된 밸런스 홀(411)을 통하여 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)에 저장되어 있던 작동유체는 상기 배출부(220) 측으로 유동하여 배출되고, 상기 구동부 탄성부재(440)의 탄성력에 의해 상기 피스톤(410)은 원래위치로 복귀하게 되고, 이때 상기 개폐 플레이트(310)도 개폐부 탄성부재(320)의 탄성력에 의해 상측으로 이동하여 상기 유입구(230)를 폐쇄하게 된다.When the introduced working fluid does not correspond to a condition for operating the pilot valve 10, the pilot valve 10 is operated again to close the working fluid inflow passage 430, and the upper space of the piston 410 is provided. The working fluid is no longer introduced into the 412 and the working fluid stored in the upper space 412 of the piston 410 through the balance hole 411 formed in the piston 410 is discharged to the 220. And flows to the side), and the piston 410 is returned to its original position by the elastic force of the driving unit elastic member 440, and the opening / closing plate 310 is also upward by the elastic force of the opening / closing elastic member 320. Moving to close the inlet 230.

그리고, 상기 밸브 바디부(200)에는 상기 구동부의 직선 이동을 가이드 하도록 가이드부(240)가 더 마련될 수 있다. The valve body part 200 may further include a guide part 240 to guide the linear movement of the driving part.

보다 구체적으로, 상기 가이드부(240)는 길이 방향의 단면이 H자 형태인 관 형상으로 마련되어 상기 밸브 바디부(200)에 삽입되되 상기 유입부(210)와 상기 배출부(220) 사이에 배치된다. 그리고, 상기 가이드부(240)는 상측 공간부(241)에 상기 피스톤(410)이 배치되어 상기 피스톤(410)의 직선 이동을 가이드 하고, 하측 공간부(242)는 상기 유입부(210)와 상기 배출부(220)를 연통하도록 측면에 배출구(243)가 마련되며, 상기 하측 공간부(242)의 단부가 상기 유입구(230)로 마련되어 상기 개폐 플레이트(310)가 여기에 밀착되게 마련될 수 있다. More specifically, the guide portion 240 is provided in a tubular shape having a cross section in the longitudinal direction of the H-shape is inserted into the valve body 200 is disposed between the inlet 210 and the outlet 220 do. In addition, the guide part 240 is the piston 410 is disposed in the upper space 241 to guide the linear movement of the piston 410, the lower space 242 and the inlet 210 A discharge port 243 is provided at a side surface to communicate the discharge part 220, and an end portion of the lower space part 242 is provided as the inlet port 230 so that the opening / closing plate 310 may be closely attached thereto. have.

그리고, 상기 가이드부(240)의 중심에 형성된 지지플랜지(244)에 상기 구동부 탄성부재(440)가 지지되며, 상기 지지플랜지(244)의 중심은 관통되어 있어 상기 가동부재(420)가 관통 삽입되어 상기 가동부재(420)의 직선 이동을 가이드 하도록 마련된다. 또한, 상기 가이드부(240)에는 상측 공간부(241)와 상기 배출부(220)를 연통하는 배출홀(245)이 형성되어 있어, 상기 피스톤(410)에 형성된 밸런스 홀(411)을 통하여 상기 상측 공간부(241)로 유입되는 작동유체를 상기 배출부(220)로 배출할 수 있다. The driving member elastic member 440 is supported by the support flange 244 formed at the center of the guide part 240, and the center of the support flange 244 is penetrated to allow the movable member 420 to be inserted therethrough. And is provided to guide the linear movement of the movable member 420. In addition, the guide portion 240 is formed with a discharge hole 245 communicating with the upper space portion 241 and the discharge portion 220, through the balance hole 411 formed in the piston 410 The working fluid flowing into the upper space part 241 may be discharged to the discharge part 220.

이러한 상기 가이드부(240)는 별도로 마련하여 상기 밸브 바디부(200)에 삽입 체결되거나, 상기 밸브 바디부(200)에 일체형으로 제작될 수도 있다.The guide part 240 may be provided separately and inserted into the valve body 200 or may be manufactured integrally with the valve body 200.

나아가, 도 5를 참조하면, 본 발명의 서보 밸브(100)에 서로 다른 조건에 의해 동작하는 복수의 파일럿 밸브(10)를 설치하기 위하여, 상기 밸브 바디부(200)에서 상기 피스톤(410)의 상측에 파일럿 유닛 설치부(500)가 구비될 수 있다.Furthermore, referring to FIG. 5, in order to install a plurality of pilot valves 10 operated under different conditions in the servovalve 100 of the present invention, the valve body 200 may be provided with the piston 410. Pilot unit installation unit 500 may be provided on the upper side.

보다 구체적으로, 상기 파일럿 유닛 설치부(500)는 상기 밸브 바디부(200)에 체결되고 복수의 파일럿 밸브(10)가 각각 삽입 체결되되 파일럿 밸브(10)의 배출구(12)와 연통되는 복수의 체결홈(511)이 형성된 설치부 몸체(510), 상기 복수의 체결홈(511)을 서로 연결시키고 파일럿 밸브(10)의 유입구(11)와 연통되는 연결유로(520), 상기 작동유체 유입유로(430)와 상기 연결유로(520)를 연통시키는 작동유체 유입부(530), 그리고 상기 체결홈(511)과 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)을 연통시키고 파일럿 밸브(10)의 동작에 의해 상기 피스톤(410)의 상측 공간에 유체를 배출하는 작동유체 배출부(540)를 포함한다.More specifically, the pilot unit installation unit 500 is fastened to the valve body 200 and a plurality of pilot valves 10 are inserted and fastened respectively, a plurality of communication with the outlet 12 of the pilot valve 10 An installation body 510 having a fastening groove 511, a connection flow passage 520 connecting the plurality of fastening grooves 511 to each other and communicating with the inlet 11 of the pilot valve 10, the working fluid inflow passage A working fluid inlet 530 for communicating the connection flow path 430 and the connection flow path 520, and an upper space 412 of the fastening groove 511 and the piston 410 communicate with each other to operate the pilot valve 10. It includes a working fluid discharge portion 540 for discharging the fluid to the upper space of the piston 410 by.

예를 들어, 도 5에서 좌측에 배치된 파일럿 밸브(10)가 압력 밸브로 마련되는 경우, 상기 작동유체 유입부(530)를 통하여 상기 파일럿 밸브(10)의 유입구(11)로 작동유체가 일정 압력 이상으로 유입되면 상기 파일럿 밸브(10)가 동작하여 상기 파일럿 밸브(10)의 유입구(11)와 배출구(12)가 연통되어 상기 파일럿 밸브(10)의 유입구(11)로 유입된 작동유체가 상기 배출구(12)를 통하여 상기 작동유체 배출부(540)로 배출된 후 상기 피스톤(410)의 상측 공간(412)으로 유입되어 상기 피스톤(410)을 가압 동작 시키도록 마련될 수 있다. 또는, 상기 파일럿 밸브(10)가 온도에 동작하도록 마련되는 경우 유입되는 작동유체가 일정 온도 이상이면 동작하도록 마련되거나, 외부의 전자 신호를 수신하여 동작하도록 마련될 수 있다. For example, when the pilot valve 10 disposed on the left side of FIG. 5 is provided as a pressure valve, the working fluid is fixed to the inlet 11 of the pilot valve 10 through the working fluid inlet 530. When the pressure is greater than the pressure, the pilot valve 10 is operated so that the inlet 11 and the outlet 12 of the pilot valve 10 communicate with each other and the working fluid introduced into the inlet 11 of the pilot valve 10 After being discharged to the working fluid discharge part 540 through the discharge port 12 may be provided to the upper space 412 of the piston 410 to pressurize the piston 410. Alternatively, when the pilot valve 10 is provided to operate at a temperature, the pilot valve 10 may be provided to operate when an inflow working fluid is above a predetermined temperature, or may be provided to operate by receiving an external electronic signal.

즉, 상기 파일럿 유닛 설치부(500)를 통하여 상기 서보 밸브(100)에 서로 다른 조건에 대응하여 동작하는 파일럿 밸브(10)를 설치하여 다양한 조건에 의해 서보 밸브(100)가 동작하도록 마련될 수 있다. That is, the pilot valve 10 may be installed to the servovalve 100 through the pilot unit installation unit 500 to operate the servovalve 100 under various conditions. have.

여기서, 상기 파일럿 밸브(10)는 상기 파일럿 유닛 설치부(500)에 나사 체결을 통하여 탈착할 수 있다. 따라서, 상기 파일럿 유닛 설치부(500)에 파일럿 밸브를 나사 체결한 후에 상기 파일럿 유닛 설치부(500)를 상기 밸브 바디부(200)에 체결할 수 있다. 또한, 상기 밸브 바디부(200)에서 상기 파일럿 유닛 설치부(500)를 분리시킨 후 상기 파일럿 유닛 설치부(500)에서 파일럿 밸브를 해체할 수도 있다.Here, the pilot valve 10 may be attached to and detached from the pilot unit installation unit 500 by screwing. Therefore, the pilot unit mounting portion 500 may be fastened to the valve body 200 after the pilot valve is screwed into the pilot unit mounting portion 500. In addition, the pilot unit mounting unit 500 may be separated from the valve body unit 200, and then the pilot unit may be disassembled from the pilot unit mounting unit 500.

나아가, 도 6은 상기 서보 밸브에서 가동부재의 다른 실시예를 개략적으로 도시해 보인 도면이다. 6 is a view schematically showing another embodiment of the movable member in the servo valve.

다른 실시예에 의한 가동부재는 상기 도 2를 참조하여 설명한 가동부재(420)에 가압부재가 더 추가된 구성이다. 여기서, 상기 가압부재가 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키도록 마련된다.The movable member according to another embodiment is a configuration in which a pressing member is further added to the movable member 420 described with reference to FIG. 2. Here, the pressing member is provided to move by pressing the opening and closing plate.

도 6을 참조하면, 다른 실시예에 의한 가동부재는 피스톤에 체결되는 샤프트(421)와, 상기 샤프트(421)보다 작은 직경으로 마련되어 상기 샤프트(421)의 단부(423)에 체결되는 디스크 몸체(422)와 상기 디스크 몸체(422)에서 외측으로 확장 형성되어 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)에 삽입 밀착되어 폐쇄하는 폐쇄부(424)로 마련된 디스크, 그리고 부분적으로 상기 디스크 몸체(422)를 감싸도록 상기 샤프트(421)의 외주면에 체결되고 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트(310)를 가압하여 이동시키는 가압부재(425)를 포함한다.Referring to FIG. 6, a movable member according to another embodiment may include a shaft 421 fastened to a piston and a disc body having a diameter smaller than that of the shaft 421 and fastened to an end 423 of the shaft 421. 422 and a disk extending outward from the disk body 422 and provided with a closing portion 424 which is inserted into and closes in the through-hole 311 of the opening and closing plate 310, and partially the disk body 422. It includes a pressing member 425 is fastened to the outer circumferential surface of the shaft 421 and wrapped to move the predetermined distance by pressing the opening and closing plate 310 to surround ().

그리고, 상기 가압부재(425)에는 상기 디스크 몸체(422)를 감싸는 영역에서 방사상으로 관통된 연통홀(426)이 형성된다. 따라서, 상기 가압부재(425)가 상기 개폐 플레이트(310)에 밀착하여 가압시 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)을 통하여 유입된 유체가 상기 연통홀(426)을 통하여 배출부로 유동하게 된다.In addition, the pressing member 425 has a communication hole 426 radially penetrated in an area surrounding the disk body 422. Therefore, when the pressing member 425 is in close contact with the opening and closing plate 310, the fluid introduced through the through hole 311 of the opening and closing plate 310 flows to the discharge part through the communication hole 426. do.

즉, 상기 가압부재(425)가 상기 개폐 플레이트(310)에 접촉되는 순간에는 상기 개폐 플레이트(310)는 유입구를 폐쇄한 상태이고, 상기 가압부재(425)가 상기 개폐 플레이트(310)에 밀착되어 상기 관통홀(311) 또한 폐쇄된 상태이므로, 상기 가압부재(425)가 상기 개폐 플레이트(310)에 접촉되는 순간에는 일시적으로 유체의 유동이 이루어지지 않게 된다. 따라서, 본 발명에서는 가압부재(425)에 연통홀(426)을 형성하여 이러한 현상을 방지할 수 있다.That is, at the moment when the pressing member 425 contacts the opening / closing plate 310, the opening / closing plate 310 is in a state in which the inlet is closed, and the pressing member 425 is in close contact with the opening / closing plate 310. Since the through hole 311 is also in a closed state, at the moment when the pressing member 425 contacts the opening / closing plate 310, the flow of the fluid is temporarily stopped. Therefore, in the present invention, by forming the communication hole 426 in the pressing member 425 can prevent this phenomenon.

나아가, 상기 가압부재(425)는 상기 개폐 플레이트(310)와의 간격이 조절되도록 상기 샤프트(421)에 나사 체결 방법 등에 의하여 체결될 수 있다. 이를 통하여, 상기 개폐 플레이트(310)를 가압시 상기 관통홀(311)과 상기 폐쇄부(424)의 이격 간격을 조절하여 상기 관통홀(311)을 통하여 배출되는 유체의 유량을 조절할 수 있다.In addition, the pressing member 425 may be fastened to the shaft 421 by a screw fastening method or the like so that the gap with the opening / closing plate 310 is adjusted. Through this, when the opening and closing plate 310 is pressed, the flow rate of the fluid discharged through the through hole 311 may be controlled by adjusting the separation interval between the through hole 311 and the closing part 424.

즉, 상기 가압부재(425)와 상기 개폐 플레이트(310)의 간격을 좁게 하면 상기 관통홀(311)과 상기 폐쇄부(424)의 이격 간격이 좁아지게 되어, 미세 유량을 배출하는 영역에서의 배출 간격 조절 범위가 작게 되므로, 미세 유량의 조절 범위가 작아지게 된다.That is, when the interval between the pressing member 425 and the opening / closing plate 310 is narrowed, the separation interval between the through hole 311 and the closing part 424 becomes narrow, and discharges in the area for discharging the fine flow rate. Since the interval adjustment range becomes small, the adjustment range of the fine flow rate becomes small.

반대로, 상기 가압부재(425)와 상기 개폐 플레이트(310)의 간격을 크게 하면, 상기 관통홀(311)과 상기 폐쇄부(424)의 이격 간격이 크게 되어, 미세 유량을 배출하는 영역에서의 배출 간격 조절 범위가 크게 되므로, 미세 유량의 조절 범위가 넓어지게 된다.On the contrary, when the interval between the pressing member 425 and the opening / closing plate 310 is increased, the separation interval between the through hole 311 and the closing part 424 becomes large, and discharged in the region for discharging the fine flow rate. Since the interval adjustment range becomes large, the adjustment range of the fine flow rate becomes wider.

따라서, 사용 조건에 따라 상기 샤프트(421)에 상기 가압부재(425) 체결시 상기 개폐 플레이트(310)와 상기 가압부재(425)의 간격을 조절하여 체결할 수 있다.Accordingly, when the pressing member 425 is fastened to the shaft 421 according to a use condition, the opening and closing plate 310 and the pressing member 425 may be adjusted and fastened.

나아가, 상기 가압부재(425)가 구비된 경우, 상기 개폐 플레이트(310)에는 상기 관통홀(311)의 둘레에서 상기 가압부재(425) 측으로 돌출되어, 상기 가압부재(425)의 내주면에 접촉하는 돌출 가이드부(312)가 형성될 수 있다. Furthermore, when the pressing member 425 is provided, the opening and closing plate 310 protrudes toward the pressing member 425 around the through hole 311, and contacts the inner circumferential surface of the pressing member 425. Protruding guide portion 312 may be formed.

이러한 구성으로, 상기 가압부재(425)가 이동하여 상기 개폐 플레이트(310)를 가압하여 이동하는 경우, 상기 돌출 가이드부(312)가 상기 가압부재(425)의 내주면에 접촉하고 있어 상기 개폐 플레이트(310)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다.In this configuration, when the pressing member 425 moves to press and move the opening / closing plate 310, the protruding guide part 312 is in contact with the inner circumferential surface of the pressing member 425 to open the opening / closing plate ( 310 can be prevented from shaking.

그리고, 도 7은 상기 서보 밸브에서 필터부가 더 구비된 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면이다.7 is a view schematically showing a state in which the filter unit is further provided in the servovalve.

도 7을 참조하면, 상기 필터부(600)는 개폐 플레이트(310)를 감싸도록 유입구(230)에 배치되고, 상기 유입구(230)를 통하여 유입되는 유체에 함유된 이물질을 필터링할 수 있다. Referring to FIG. 7, the filter unit 600 may be disposed at the inlet port 230 to surround the opening / closing plate 310, and may filter foreign substances contained in the fluid introduced through the inlet port 230.

즉, 상기 필터부(600)를 통해 상기 개폐 플레이트(310)로 유입되는 유체에 함유된 이물질을 필터링 하여, 미세 유량 조절시 상기 개폐 플레이트(310)의 관통홀(311)과 폐쇄부(424) 사이에 이물질이 끼이거나 쌓여 미세 유량 조절에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.That is, by filtering the foreign matter contained in the fluid flowing into the opening and closing plate 310 through the filter unit 600, the through-hole 311 and the closing portion 424 of the opening and closing plate 310 when fine flow rate control Foreign matter is trapped or accumulated in between to prevent adversely affecting the fine flow rate control.

도 8은 상기 서보 밸브에서 수동 구동부가 더 구비된 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면이다.8 is a diagram schematically illustrating a state in which a manual driving unit is further provided in the servovalve.

도 8을 참조하면, 상기 수동 구동부(700)는 밸브 바디부(200)에서 피스톤(410)의 상측에 배치되고, 사용자의 조작에 의해 상기 피스톤(410)을 가압하여 이동시키도록 마련된다. 즉, 보다 정밀한 미세 유량 조절이 필요하거나, 일정 유량을 연속적으로 토출할 필요가 있는 경우, 상기한 구동부를 동작시키지 않고, 사용자가 상기 수동 구동부(700)를 동작시켜 이를 보다 정밀하게 조절할 수 있다.Referring to FIG. 8, the manual driving part 700 is disposed above the piston 410 in the valve body part 200, and is provided to press and move the piston 410 by a user's manipulation. That is, when more precise fine flow rate control is required or when a certain flow rate needs to be continuously discharged, the user may operate the manual drive unit 700 to more precisely adjust it without operating the drive unit.

보다 구체적으로, 상기 수동 구동부(700)는 상기 밸브 바디부(200)에 체결되는 구동부 하우징(710)과, 상기 구동부 하우징(710)에 회전되게 구비되고 사용자의 조작에 의해 회전되는 조작부재(720), 그리고 상기 구동부 하우징(710)의 내부에 배치되어 상기 밸브 바디부(200)를 관통하고 상기 조작부재(720)의 회전에 대응하여 직선 이동하며 상기 피스톤(410)을 선택적으로 가압하는 가압로드(730)를 포함한다.More specifically, the manual driving unit 700 is a driving unit housing 710 which is fastened to the valve body 200 and the operation member 720 provided to be rotated in the driving unit housing 710 and rotated by a user's operation. And a pressure rod disposed inside the driving unit housing 710 to penetrate the valve body 200 and move linearly in response to the rotation of the operation member 720, and selectively pressurize the piston 410. 730.

여기서, 상기 가압로드(730)와 상기 조작부재(720) 중 적어도 어느 하나에 눈금(S)이 표시되어 있다.Here, the scale (S) is displayed on at least one of the pressure rod 730 and the operation member (720).

이러한 구성으로, 사용자가 상기 눈금(S)을 확인하면서 상기 조작부재(720)를 회전시키면 그에 대응하여 상기 가압로드(730)가 직선 이동하여 상기 피스톤(410)을 원하는 거리만큼 이동시켜 상기 관통홀(311)과 상기 폐쇄부(424)의 이격 간격을 조절하여 상기 관통홀(311)을 통하여 배출되는 유량을 정밀하게 조절할 수 있다.In such a configuration, when the user rotates the operation member 720 while checking the scale S, the pressure rod 730 moves linearly to move the piston 410 by a desired distance in response to the through hole. The flow rate discharged through the through hole 311 may be precisely adjusted by adjusting the separation interval between the 311 and the closing part 424.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is intended by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of the claims to be described.

10 : 파일럿 밸브
100 : 서보 밸브 200 : 밸브 바디부
210 : 유입부 220 : 배출부
230 : 유입구 240 : 가이드부
241 : 상측 공간부 242 : 하측 공간부
243 : 배출구 244 : 지지플랜지
245 : 배출홀 300 : 개폐부
310 : 개폐 플레이트 311 : 관통홀
312 : 돌출 가이드부
320 : 개폐부 탄성부재 330 : 실링부재
410 : 피스톤 411 : 밸런스 홀
412 : 상측 공간 420 : 가동부재
421 : 샤프트 422 : 디스크 몸체
423 : 단부 424 : 폐쇄부
425 : 가압부재 426 : 연통홀
430 : 작동유체 유입유로 440 : 구동부 탄성부재
500 : 파일럿 유닛 설치부 510 : 설치부 몸체
511 : 체결홈 520 : 연결유로
530 : 작동유체 유입부 540 : 작동유체 배출부
600 : 필터부 700 : 수동 구동부
710 : 구동부 하우징 720 : 조작부재
730 : 가압로드 S : 눈금10: pilot valve
100: servo valve 200: valve body portion
210: inlet 220: outlet
230: inlet 240: guide portion
241: upper space portion 242: lower space portion
243: outlet 244: support flange
245: discharge hole 300: opening and closing portion
310: opening and closing plate 311: through hole
312: protrusion guide portion
320: opening and closing portion elastic member 330: sealing member
410: piston 411: balance hole
412: upper space 420: movable member
421: shaft 422: disk body
423: end 424: closure
425: pressure member 426: communication hole
430: operating fluid inlet flow path 440: drive part elastic member
500: pilot unit mounting portion 510: mounting body
511: fastening groove 520: connection flow path
530: working fluid inlet 540: working fluid outlet
600: filter unit 700: manual drive unit
710 drive housing 720 operation member
730: pressure rod S: scale

Claims (13)

유체가 유입되는 유입부와 유체가 배출되는 배출부가 형성된 밸브 바디부;
상기 밸브 바디부의 내부에서 상기 유입부와 상기 배출부를 연통하는 유입구;
상기 유입구에 배치되고, 선택적으로 상기 유입구를 개폐하는 개폐부; 및
일정 유량이 토출되도록 상기 개폐부에 형성된 관통홀을 개방하거나, 상기 개폐부를 이동시켜 상기 유입구를 개방하도록 동작하는 구동부;를 포함하고,
상기 개폐부는,
중심에 상기 관통홀이 형성되고, 상기 유입구를 개폐하는 개폐 플레이트; 및
상기 개폐 플레이트와 상기 밸브 바디부 사이에 배치되고, 상기 개폐 플레이트가 상기 유입구에 밀착되게 탄성력을 인가하는 개폐부 탄성부재;를 포함하고,
상기 구동부는,
상기 밸브 바디부의 내주면에 밀착되어 이동하는 피스톤;
상기 피스톤에 체결되어 함께 이동하고, 상기 개폐 플레이트의 관통홀에 삽입되며, 상기 피스톤에 의해 이동이 시작되면 상기 관통홀을 개방하고, 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키는 가동부재;
상기 피스톤의 상측 공간에 유체가 유입되어 상기 피스톤을 가압하도록 상기 유입부와 상기 피스톤의 상측 공간을 연통 시키고, 파일럿 밸브에 의해 개폐되는 작동유체 유입유로;
상기 피스톤의 상측 공간과 상기 배출부가 연통되게 상기 피스톤을 관통하여 형성된 밸런스 홀; 및
상기 밸브 바디부와 상기 피스톤 사이에 배치되고, 상기 가동부재가 상기 관통홀을 폐쇄하도록 탄성력을 인가하는 구동부 탄성부재;
를 포함하는 서보 밸브.
A valve body part having an inlet part through which the fluid is introduced and a discharge part through which the fluid is discharged;
An inlet communicating with the inlet and the outlet in the valve body;
An opening and closing portion disposed at the inlet and selectively opening and closing the inlet; And
And a driving unit which opens the through hole formed in the opening and closing portion so as to discharge a predetermined flow rate, or moves the opening and closing portion to open the inlet.
The opening and closing portion,
The through hole is formed in the center, opening and closing plate for opening and closing the inlet; And
It is disposed between the opening and closing plate and the valve body portion, the opening and closing portion elastic member for applying an elastic force in close contact with the inlet;
The driving unit,
A piston moving in close contact with the inner circumferential surface of the valve body portion;
A movable member which is fastened to the piston and moves together, is inserted into the through hole of the opening / closing plate, and opens the through hole when the movement is started by the piston, and presses and moves the opening / closing plate when moving by a certain distance;
A working fluid inflow passage communicating with the inflow portion and the upper space of the piston to open and close the fluid so that fluid flows into the upper space of the piston and pressurizes the piston;
A balance hole formed through the piston such that an upper space of the piston and the discharge part communicate with each other; And
A driving part elastic member disposed between the valve body part and the piston and configured to apply an elastic force to the movable member to close the through hole;
Servo valve comprising a.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 가동부재는,
상기 피스톤에 체결되고, 상기 관통홀보다 큰 직경으로 마련되어 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키는 샤프트; 및
상기 샤프트보다 작은 직경으로 마련되어 상기 샤프트의 단부에 체결되는 디스크 몸체와, 상기 디스크 몸체에서 외측으로 확장 형성되어 상기 개폐 플레이트의 관통홀에 삽입 밀착되어 폐쇄하는 폐쇄부로 마련된 디스크;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 1,
The movable member,
A shaft which is fastened to the piston and provided with a diameter larger than the through hole to press and move the opening / closing plate when a predetermined distance moves; And
A disk provided with a smaller diameter than the shaft and fastened to an end of the shaft, and a disk extended to the outside of the disk body and closed to be inserted in close contact with the through hole of the opening / closing plate;
Servo valve comprising a.
제1항에 있어서,
상기 가동부재는,
상기 피스톤에 체결되는 샤프트;
상기 샤프트보다 작은 직경으로 마련되어 상기 샤프트의 단부에 체결되는 디스크 몸체와, 상기 디스크 몸체에서 외측으로 확장 형성되어 상기 개폐 플레이트의 관통홀에 삽입 밀착되어 폐쇄하는 폐쇄부로 마련된 디스크; 및
부분적으로 상기 디스크 몸체를 감싸도록 상기 샤프트의 외주면에 체결되고, 일정 거리 이동하면 상기 개폐 플레이트를 가압하여 이동시키는 가압부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 1,
The movable member,
A shaft fastened to the piston;
A disk provided with a smaller diameter than the shaft and fastened to an end of the shaft, and a disk extended to the outside of the disk body and closed to be inserted in close contact with the through hole of the opening / closing plate; And
A pressing member which is fastened to an outer circumferential surface of the shaft so as to partially surround the disk body and presses and moves the opening / closing plate when a certain distance is moved;
Servo valve comprising a.
제5항에 있어서,
상기 가압부재는,
상기 개폐 플레이트를 가압시 상기 관통홀을 통하여 유입된 유체가 상기 배출부로 유동하도록, 상기 디스크 몸체를 감싸는 영역에서 방사상으로 관통 형성된 연통홀;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 5,
The pressing member,
A communication hole radially penetrating in a region surrounding the disc body such that fluid flowing through the through hole flows to the discharge part when the opening plate is pressed;
Servo valve further comprising.
제5항에 있어서,
상기 가압부재는,
상기 개폐 플레이트와의 간격이 조절되도록 상기 샤프트에 체결되어, 상기 개폐 플레이트를 가압시 상기 관통홀과 상기 폐쇄부의 이격 간격을 조절하여 상기 관통홀을 통하여 배출되는 유량을 조절하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 5,
The pressing member,
It is fastened to the shaft so that the gap with the opening and closing plate, when pressing the opening and closing plate is characterized in that it is provided to adjust the flow rate discharged through the through hole by adjusting the separation interval between the through hole and the closing portion. Servo valve.
제5항에 있어서,
상기 개폐 플레이트는,
상기 관통홀의 둘레에서 상기 가압부재 측으로 돌출되어, 상기 가압부재의 내주면에 접촉하는 돌출 가이드부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 5,
The opening and closing plate,
A protruding guide part protruding toward the pressing member from the periphery of the through hole and contacting an inner circumferential surface of the pressing member;
Servo valve further comprising.
제1항에 있어서,
상기 개폐 플레이트를 감싸도록 상기 유입구에 배치되고, 상기 유입구를 통하여 유입되는 유체에 함유된 이물질을 필터링하는 필터부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 1,
A filter unit disposed at the inlet to surround the opening / closing plate and filtering foreign matter contained in the fluid flowing through the inlet;
Servo valve further comprising.
제4항에 있어서,
상기 밸브 바디부에서 상기 피스톤의 상측에 배치되고, 사용자의 조작에 의해 상기 피스톤을 가압하여 이동시키는 수동 구동부;를 더 포함하고,
상기 수동 구동부는,
상기 밸브 바디부에 체결되는 구동부 하우징;
상기 구동부 하우징에 회전되게 구비되고, 사용자의 조작에 의해 회전되는 조작부재; 및
상기 구동부 하우징의 내부에 배치되어 상기 밸브 바디부를 관통하고, 상기 조작부재의 회전에 대응하여 직선 이동하며, 상기 피스톤을 선택적으로 가압하는 가압로드;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 4, wherein
A manual drive unit disposed above the piston in the valve body part and configured to pressurize and move the piston by a user's operation;
The manual drive unit,
A drive part housing fastened to the valve body part;
An operation member provided to be rotated in the driving unit housing and rotated by a user's operation; And
A pressurizing rod disposed inside the driving unit housing and penetrating the valve body, linearly moving in response to rotation of the operation member, and selectively pressing the piston;
Servo valve comprising a.
제10항에 있어서,
상기 수동 구동부는,
상기 가압로드와 상기 조작부재 중 적어도 어느 하나에 눈금이 표시되어 있어, 상기 가압로드가 상기 피스톤을 가압하여 이동시키는 거리를 확인하여 상기 관통홀과 상기 폐쇄부의 이격 간격을 조절하여 상기 관통홀을 통하여 배출되는 유량을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 10,
The manual drive unit,
At least one of the pressure rod and the operation member is marked with a scale, and the pressure rod checks the distance by which the piston pushes and moves the piston to adjust the separation distance between the through hole and the closing part through the through hole. Servo valve, characterized in that the discharge rate can be adjusted.
제1항에 있어서,
상기 밸브 바디부에서 상기 피스톤의 상측에 배치되고, 서로 다른 조건에 의해 동작하는 복수의 파일럿 밸브가 설치되는 파일럿 유닛 설치부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 1,
A pilot unit installation unit disposed above the piston in the valve body unit and provided with a plurality of pilot valves operated under different conditions;
Servo valve further comprising.
제12항에 있어서,
상기 파일럿 유닛 설치부는,
상기 밸브 바디부에 체결되고, 복수의 파일럿 밸브가 각각 삽입 체결되되 파일럿 밸브의 배출구와 연통되는 복수의 체결홈이 형성된 설치부 몸체;
상기 복수의 체결홈을 서로 연결시키고, 파일럿 밸브의 유입구와 연통되는 연결유로;
상기 작동유체 유입유로와 상기 연결유로를 연통시키는 작동유체 유입부; 및
상기 체결홈과 상기 피스톤의 상측 공간을 연통시키고, 파일럿 밸브의 동작에 의해 상기 피스톤의 상측 공간에 유체를 배출하는 작동유체 배출부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
The method of claim 12,
The pilot unit mounting portion,
An installation part body fastened to the valve body part and having a plurality of fastening grooves respectively inserted into and fastened to each other and communicating with the outlet of the pilot valve;
A connection passage connecting the plurality of coupling grooves to each other and communicating with an inlet of a pilot valve;
A working fluid inlet which communicates the working fluid inflow passage and the connection passage; And
A working fluid discharge part communicating the fastening groove with the upper space of the piston and discharging the fluid into the upper space of the piston by an operation of a pilot valve;
Servo valve comprising a.
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