KR102051569B1 - Method for manufacturing vacuum chuck member and vacuum chuck member manufactured thereby - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a manufacturing method of a vacuum chuck member and a vacuum chuck member manufactured thereby. The manufacturing method of the vacuum chuck member comprises the steps of: (a) preparing a porous material member consisting of resin materials; (b) cutting at least one surface of the material member; (c) heat-treating a cut surface of the material member to form a deformed material on the surface of the material member, wherein the deformed material is that a cutting residue is deformed by heat; and (d) detaching and removing the deformed material from the surface of the material member.

Description

진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재{Method for manufacturing vacuum chuck member and vacuum chuck member manufactured thereby}Method for manufacturing a vacuum chuck member and vacuum chuck member manufactured by the same {Method for manufacturing vacuum chuck member and vacuum chuck member manufactured thereby}

본 발명은 피처리물에 음압을 가하여 고정시키는 진공척장치에 사용되는 진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 수지재로 이루어진 다공성 재료부재를 이용하여 진공척부재를 제조하는 진공척부재의 제조방법과, 그에 의해 제조된 진공척부재에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a vacuum chuck member for use in a vacuum chuck device for fixing by applying a negative pressure to the object to be processed, and more particularly, to a vacuum chuck member manufactured by using a porous material member made of a resin material And a vacuum chuck member for producing a vacuum chuck member, and a vacuum chuck member manufactured thereby.

제품 생산과정은 생산 라인 상에서 여러 부품을 조립하거나, 조립된 부품을 이송하는 등의 공정을 포함하고 있다. 각 공정에서 개별 부품이나 이들의 조립품 등을 취급하기 위해서는 이들을 붙잡아 고정시키는 장치가 필요하며 이러한 장치 중 하나가 척장치이다. 척은 물체를 고정시켜 두거나 이동시키는 등의 다양한 작업에 사용된다.The production process involves the process of assembling the various parts on the production line or transferring the assembled parts. In order to handle individual parts or their assemblies in each process, a device for holding and fixing them is required, and one of these devices is a chuck device. Chuck is used for various tasks such as fixing or moving an object.

척장치는 취급하는 대상에 따라서 다양한 형태를 가질 수 있는데, 예를 들어 피처리물의 중량이 크고 경도가 높은 경우에는 기계적 고정구조를 이용한 대형 척이 사용될 수 있는 반면, 피처리물이 가볍고 보다 섬세한 취급이 필요한 경우에는 또 다른 방식의 척장치가 사용될 수 있다. 음압으로 대상을 흡입하여 고정하는 진공척장치는 가볍고 정밀한 대상을 섬세하게 취급하는데 보다 적합할 수 있다(대한민국등록특허 제10-1736824호 등).The chuck device may have various shapes depending on the object to be handled. For example, when the weight and the hardness of the workpiece are high, a large chuck using a mechanical fixing structure may be used, while the workpiece is lighter and more delicate. If this is necessary, another type of chuck device may be used. A vacuum chuck device for sucking and fixing an object by sound pressure may be more suitable for delicately handling a light and precise object (Korea Patent No. 10-1736824, etc.).

그러나 진공척장치의 경우에도 필요에 따라, 또는 공정에 보다 적합하게 개선이 필요할 수 있다. 예를 들어 표면이 극히 정밀하고, 두께도 매우 얇은 반도체 웨이퍼나 LCD 기판 등의 취급에 있어서는 대상과 밀착되는 부분의 재질 자체가 문제가 되어 종래의 금속이나 세라믹과 같은 재질을 그대로 사용하기는 어려운 문제가 발생할 수 있다. 그러한 경우 적절한 대체물을 찾기도 어려우며 재질이 달라지는 경우에는 종래 방식으로 원활히 가공하기 어려운 문제도 있어 이에 대한 해결책이 필요하였다. However, even in the case of a vacuum chuck device, improvements may be necessary as necessary or more suited to the process. For example, when handling semiconductor wafers or LCD substrates with extremely precise surfaces and very thin thicknesses, the material of the part in close contact with the object becomes a problem, and it is difficult to use a material such as a metal or ceramic as it is. May occur. In such a case, it is difficult to find a suitable substitute, and when the material is different, there is a problem that it is difficult to process smoothly in the conventional manner, and a solution for this was required.

대한민국등록특허공보 제10-1736824호, (2017. 05. 29), 명세서Republic of Korea Patent Publication No. 10-1736824, (2017. 05. 29), specification

본 발명의 기술적 과제는 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로 진공척장치에 사용되는 진공척부재를 수지재로 이루어진 다공성 재료부재를 이용하여 제조하는 진공척부재의 제조방법을 제공하는 것이다. The technical problem of the present invention is to provide a method of manufacturing a vacuum chuck member for manufacturing a vacuum chuck member used in a vacuum chuck device by using a porous material member made of a resin material.

또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는 본 발명의 제조방법에 의해 제조된 진공척부재를 제공하는 것이다.In addition, another technical problem of the present invention is to provide a vacuum chuck member manufactured by the manufacturing method of the present invention.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem of the present invention is not limited to the above-mentioned problem, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명에 의한 진공척부재의 제조방법은, (a) 수지재로 이루어진, 다공성 재료부재를 준비하는 단계; (b) 상기 재료부재의 적어도 일 면을 절삭하는 단계; (c) 상기 재료부재의 절삭된 면에 열처리하여, 절삭찌꺼기를 열로 변형시킨 변형물을 상기 재료부재 표면에 형성시키는 단계; 및 (d) 상기 재료부재 표면에서 상기 변형물을 이탈시켜 제거하는 단계를 포함한다.Method for producing a vacuum chuck member according to the present invention, (a) made of a resin material, preparing a porous material member; (b) cutting at least one surface of the material member; (c) heat-treating the cut surface of the material member to form a deformed material on the surface of the material member, the deformation of which is deformed by heat; And (d) leaving the deformable material off the surface of the material member.

상기 (c) 단계는, 상기 열로 상기 재료부재의 일부를 함께 변형시켜, 상기 절삭된 면의 적어도 일부를 돌출면으로 형성할 수 있다.In the step (c), a part of the material member may be deformed together with the heat to form at least a part of the cut surface as a protruding surface.

상기 돌출면은 상기 재료부재의 외측으로 볼록하게 돌출된 곡면으로 형성될 수 있다.The protruding surface may be formed as a curved surface protruding outwardly of the material member.

상기 (c) 단계의 열처리는, 상기 재료부재의 상기 절삭된 면이 아닌 나머지 표면 중 적어도 일부를 고정시킨 상태로 실시할 수 있다.The heat treatment of step (c) may be performed in a state in which at least some of the remaining surfaces other than the cut surface of the material member are fixed.

상기 나머지 표면 중 적어도 일부는 상기 절삭된 면의 이면과 상기 절삭된 면 사이의 면일 수 있다.At least some of the remaining surface may be a surface between the back surface of the cut surface and the cut surface.

상기 (c) 단계의 열처리는, 처리시간, 및 처리온도 중 적어도 어느 하나를 제어하여 상기 돌출면의 돌출정도를 조절할 수 있다.In the heat treatment of step (c), the degree of protrusion of the protruding surface may be adjusted by controlling at least one of a treatment time and a treatment temperature.

상기 (c) 단계의 열처리는, 140~400℃의 처리온도로, 0.2~2초의 처리시간 동안 실시하는 것일 수 있다.The heat treatment of step (c) may be performed for a treatment time of 0.2 to 2 seconds at a treatment temperature of 140 ~ 400 ℃.

상기 (c) 단계의 열처리는, 화염 및 열풍 중 적어도 어느 하나를 상기 절삭된 면에 가하는 것일 수 있다.The heat treatment of step (c) may be to apply at least one of a flame and hot air to the cut surface.

상기 (b) 단계의 절삭은, 상기 재료부재가 절삭되는 면이 외부로 노출된 상태로 케이싱의 수용공간에 삽입되어 고정된 상태에서 실시할 수 있다.The cutting of step (b) may be performed in a state where the material member is cut and inserted into the accommodation space of the casing while being exposed to the outside.

상기 케이싱은, 내측에 상기 수용공간과 연통되는 기체흡입로가 형성된 것일 수 있다.The casing may have a gas suction path formed therein in communication with the accommodation space.

상기 수지재는 폴리에틸렌 수지 또는 고무 중에서 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다.The resin material may include at least one selected from polyethylene resin or rubber.

상기 (b)단계의 절삭은 상기 재료부재의 적어도 일 면을 평면도공차 2~3㎛인 평면으로 형성하는 것일 수 있다.Cutting in step (b) may be to form at least one surface of the material member in a plane having a planar tolerance of 2 ~ 3㎛.

상기 (a) 단계의 상기 다공성 재료부재는 상기 다공성 재료부재가 수용되는 수용공간이 형성된 케이싱의 수용공간에 삽입되어 고정된 상태일 수 있다.The porous material member of the step (a) may be in a fixed state is inserted into the receiving space of the casing in which the receiving space for the porous material member is formed.

상기 (a) 단계의 준비는 상기 케이싱의 수용공간에 상기 다공성 재료부재를 삽입하여 고정하는 단계를 포함하는 다공성 재료부재 준비방법에 의해 실시될 수 있다.Preparation of the step (a) may be carried out by a porous material member preparation method comprising the step of inserting and fixing the porous material member in the receiving space of the casing.

상기 고정은 상기 케이싱의 상기 다공성 재료부재에 대한 가압, 레이저 또는 초음파에 의한 융착, 또는 접착제에 의한 접착 중에서 선택된 하나 이상에 의할 수 있다.The fixing may be by at least one selected from pressurization of the casing with the porous material member, fusion by laser or ultrasonic waves, or adhesion by adhesive.

또한, 본 발명에 의한 진공척부재는 본 발명의 제조방법에 의해 제조될 수 있다.In addition, the vacuum chuck member according to the present invention can be manufactured by the manufacturing method of the present invention.

본 발명에 의하면, 반도체 웨이퍼나 LCD 기판과 같이 표면이 극히 정밀하고 두께도 얇은 피처리물을 손상 없이 원활하게 취급 가능한 진공척 부재를 제조할 수 있다. 특히 재료 특성상 그라인딩이나 밀링 등의 작업 시 발생하는 찌꺼기들로 인해 기공이 막혀 척부재로 사용하기 매우 어려웠던 수지재의 다공성 재료를 매우 적절히 가공하여 문제없이 척부재로 사용 가능하게 하는 탁월한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 단순한 평면 형상의 구조에 한정되지 않고 공정에 적합한 형상으로 척부재의 구조를 매우 편리하고 정밀하게 조정할 수도 있어, 용도에 맞는 적합한 형태의 척부재를 원활하게 제공할 수 있다. 또한, 이와 같이 제조된 진공척부재로 상기와 같은 반도체 웨이퍼나 LCD 기판 등 표면이 극히 정밀하고 두께도 얇은 피처리물을 원활하게 취급할 수 있을 뿐만 아니라 공정에 알맞은 구조로 특별한 제조공정도 원활하게 진행할 수 있으므로, 제품 생산성도 크게 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 피처리물을 층상으로 접합하는 등의 공정에서도 본 발명에 의한 수지재로 이루어진 특정 형상의 진공척부재를 사용함으로써 표면 손상을 크게 줄일 수 있고 또한 접합면에서 발생하는 잉여 공기층으로 인한 보이드(VOID) 현상 등의 불량요소도 매우 효과적으로 제거하는 등 여러 가지 탁월한 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, it is possible to manufacture a vacuum chuck member which can smoothly handle an object such as a semiconductor wafer or an LCD substrate with an extremely precise and thin thickness without damage. In particular, due to the characteristics of the material, it is possible to obtain an excellent effect that can be used as a chuck member without any problem by processing the porous material of the resin material, which was very difficult to use as a chuck member due to clogging caused by grinding or milling work. . In addition, the structure of the chuck member can be adjusted very conveniently and precisely to a shape suitable for the process, without being limited to a simple planar structure, so that the chuck member can be smoothly provided according to the application. In addition, the vacuum chuck member manufactured as described above smoothly handles the to-be-processed objects such as semiconductor wafers and LCD substrates, and has a thin thickness, and has a structure suitable for the process to facilitate a special manufacturing process. Since it can advance, product productivity can also be improved significantly. For example, even in a process of joining one or more workpieces in a layered manner, by using a vacuum chuck member having a specific shape made of the resin material according to the present invention, surface damage can be greatly reduced, and an excess air layer generated at the joining surface. It is also possible to get rid of defects such as VOID phenomenon very effectively.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재를 서로 다른 방향으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 제조방법을 순차적으로 도시한 제조도면들이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 사용례를 도시한 사용상태도이다.
도 9는 도 3의 공정에 해당하는 절삭하기 전 재료부재의 표면사진이다.
도 10은 도 5의 공정에 해당하는 절삭 후 재료부재의 표면사진이다.
도 11은 도 6의 공정에 해당하는 열처리 후 재료부재의 표면사진이다.1 is a perspective view showing the vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention in different directions.
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention.
3 to 7 are manufacturing drawings sequentially showing a manufacturing method of a vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention.
8 is a state diagram showing the use of the vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention.
9 is a photograph of the surface of the material member before cutting corresponding to the process of FIG. 3.
10 is a photograph of the surface of a material member after cutting corresponding to the process of FIG. 5.
11 is a surface photograph of a material member after heat treatment corresponding to the process of FIG. 6.

본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 방법들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 단지 청구항에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, only the embodiments are to make the disclosure of the present invention complete and the ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 명세서에서 '피처리물'은 진공척부재를 통해 제공되는 음압(또는 흡입력)에 의해 진공척부재 일 측에 고정되는 처리대상을 말한다. 피처리물은 진공척부재를 이용하여 고정시킬 수 있는 한 제한되는 것은 아니나, 예를 들어, 적어도 일면에 절단면이 형성된 부품 등의 절단품, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 필름과 같은 여러 가지 박막제품을 포함할 수 있다. 또한, '부재'는 진공척 장치의 피처리물과 접촉하는 부위에 장착하여 사용 가능한 물품으로 예를 들어, 피처리물과 접촉하는 부위에 적용되는 패드와 같은 물품을 포함하는 의미일 수 있다. 또한, '진공척장치'는 반도체나 LCD 제조공정에서 사용되는 콜렉터(collector)나 픽앤플레이스(pick & place) 장비 등을 포함하는 의미이다.In the present specification, the 'treatment' refers to a treatment target fixed to one side of the vacuum chuck member by a negative pressure (or suction force) provided through the vacuum chuck member. The object to be processed is not limited as long as it can be fixed using a vacuum chuck member. For example, at least one thin film product such as a semiconductor wafer, a glass substrate, and a film, such as a cut product having a cut surface formed on at least one surface thereof, may be used. It may include. In addition, the 'member' may be an article that can be mounted on and used in contact with the object of the vacuum chuck device, and may include, for example, an article such as a pad applied to the part in contact with the object. In addition, the "vacuum vacuum device" means a collector or pick & place equipment used in the semiconductor or LCD manufacturing process.

이하, 도 1 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재에 대해 상세히 설명한다. 먼저 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예인 제조방법에 의해 제조 가능한 진공척부재의 일 실시예를 설명하고, 이후 진공척부재의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a vacuum chuck member and a vacuum chuck member manufactured by the method according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 11. First, an embodiment of a vacuum chuck member that can be manufactured by a manufacturing method of an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1, and then, a method of manufacturing a vacuum chuck member will be described.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재(1)는 전체적으로 방형의 외관을 가질 수 있으나, 이와 같은 형상으로 제한되지 않음은 물론이다. 또한, 진공척부재(1)는 도시된 바와 같이 독립된 상태로 존재함은 물론이고, 후술하는 도 8에 도시된 바와 같이 케이싱에 고정된 상태 등 다양한 상태로 존재할 수 있다. 진공척부재(1)는 수지재로 이루어지며, 아울러 다수의 기공(11)이 형성된 다공성의 구조로 되어 있다. 수지재는 금속이나 세라믹에 비해 부드러운 표면을 갖게 되므로, 피처리물의 표면에 손상을 피할 수 있게 된다. 이와 같은 수지재는 수지를 포함하여 이루어진 것으로, 수지 외의 성분이 포함되는 것을 배제하지 않는다. 또한, '수지를 포함하여 이루어진 것'은 '수지만으로 이루어진 것'을 배제하지 않는 의미이다. 수지는 수지로 지칭될 수 있는 것인 한 제한되지 않으며, 예를 들어, 합성수지 및/또는 천연수지일 수 있다. 이와 같은 수지는 바람직하게는 열가소성수지일 수 있다. 열가소성수지는 열을 가하여 성형한 후에도 다시 열을 가하면 형태를 변형시킬 수 있는 수지를 의미한다. 열가소성수지는 폴리에틸렌, 나일론, 폴리아세탈수지, 염화비닐수지, 폴리스타이렌, ABS수지, 아크릴수지 등을 포함한다. 또한 수지의 바람직한 예는 폴리에틸렌수지 또는 고무 중에서 선택된 하나 이상일 수 있다. 또한, 이와 같은 진공척부재는 본 발명의 제조방법에 의해, 원활한 통기가 가능하도록 형성될 수 있으므로, 기공(11)을 통해 보다 원활하게 흡입력을 전달하여 피처리물을 견고하게 고정시키는 것이 가능하다. 또한, 후술하는 사용례에서 다시 설명하겠지만, 진공척부재(1)는 곡면으로 이루어진 돌출면(10)을 이용하여 피처리물에 대한 각도를 바꿔가며 피처리물을 누르는 방식으로 사용할 수 있어 층상으로 접합되는 피처리물 사이의 접착면에서 발생하는 잔여 공기층으로 인한 보이드(void) 현상 등도 효과적으로 피할 수 있는 특징도 가지고 있다.Referring to Figure 1, the vacuum chuck member 1 according to an embodiment of the present invention may have an overall appearance of a square, but is not limited to such a shape, of course. In addition, the vacuum chuck member 1 may exist in an independent state as shown, as well as may be present in various states, such as a state fixed to the casing as shown in FIG. The vacuum chuck member 1 is made of a resin material, and also has a porous structure in which a plurality of pores 11 are formed. Since the resin material has a softer surface than metals or ceramics, damage to the surface of the workpiece can be avoided. Such a resin material is made of resin and does not exclude that components other than the resin are contained. In addition, "consisting of resin" does not exclude "consisting of resin only." The resin is not limited as long as it can be referred to as a resin, and may be, for example, a synthetic resin and / or a natural resin. Such a resin may preferably be a thermoplastic resin. Thermoplastic resin refers to a resin that can be deformed if the heat is applied again even after molding by applying heat. Thermoplastic resins include polyethylene, nylon, polyacetal resins, vinyl chloride resins, polystyrene, ABS resins, acrylic resins, and the like. In addition, a preferred example of the resin may be one or more selected from polyethylene resin or rubber. In addition, such a vacuum chuck member can be formed by the manufacturing method of the present invention, so as to enable a smooth ventilation, it is possible to transmit the suction force more smoothly through the pores 11 to firmly fix the workpiece. . In addition, as will be described later in the use example, the vacuum chuck member 1 can be used in a manner of pressing the workpiece by changing the angle with respect to the workpiece by using the protruding surface 10 made of a curved surface bonded in layers It also has a feature that can effectively avoid the void (void) phenomenon due to the remaining air layer generated on the adhesive surface between the object to be processed.

도시된 진공척부재(1)는 전체 넓이나, 두께, 곡면으로 이루어진 돌출면(10)의 곡률 등이 다양하게 조정될 수 있는 것으로 도 1은 예시적인 것일 뿐 도면에 의해 본 발명이 한정될 필요는 없으며, 본 실시예에서 피처리물과 접촉하는 접촉면이 곡면으로 이루어진 돌출면(10)으로 형성된 형태가 도시되었으나, 필요에 따라 곡률을 조정하여 이러한 곡면으로 이루어진 돌출면(10)이 없는 형태로 하는 것도 얼마든지 가능하므로 본 발명의 기술사상이 본 실시형태로 한정될 것은 아니다. 이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 제조방법에 대해 도 2 내지 도 11을 참조하여 좀 더 상세히 설명한다.Although the illustrated vacuum chuck member 1 has an overall width, the thickness, the curvature of the protruding surface 10 made of a curved surface, etc. can be variously adjusted, and FIG. 1 is merely illustrative, and the present invention is not limited by the drawings. None, in the present embodiment is shown a form in which the contact surface in contact with the processing object is formed of a protruding surface 10 made of a curved surface, if necessary to adjust the curvature to form a form without such a protruding surface 10 of the curved surface As many as possible, the technical idea of this invention is not limited to this embodiment. Hereinafter, a method of manufacturing a vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 11.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 3 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 제조방법을 순차적으로 도시한 제조도면들로, 도 3과 도 4는 각각 재료부재와 재료부재를 케이싱에 수용하여 준비하는 과정을 나타내고, 도 5, 도 6, 도 7은 각각 절삭과정, 열처리과정, 제거과정을 나타낸다. 또한, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공척부재의 사용례를 도시한 사용상태도이고, 도 9는 도 3의 공정에 해당하는 절삭하기 전 재료부재의 표면사진이고, 도 10은 도 5의 공정에 해당하는 절삭 후 재료부재의 표면사진이며, 도 11은 도 6의 공정에 해당하는 열처리 후 재료부재의 표면사진이다.Figure 2 is a flow chart for explaining the manufacturing method of the vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention, Figures 3 to 7 is a manufacturing sequentially showing the manufacturing method of the vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention 3 and 4 show a process of accommodating a material member and a material member in a casing, respectively, and FIGS. 5, 6, and 7 show a cutting process, a heat treatment process, and a removal process, respectively. In addition, Figure 8 is a state diagram showing the use of the vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention, Figure 9 is a photograph of the surface of the material member before cutting corresponding to the process of Figure 3, Figure 10 is Figure 5 A photograph of the surface of the material member after cutting corresponding to the process of FIG. 11 is a photograph of the surface of the material member after the heat treatment corresponding to the process of FIG. 6.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예인 진공척부재의 제조방법은 (a) 준비 단계, (b) 절삭 단계, (c) 열처리 단계, 및 (d) 변형물 제거 단계를 포함한다.Referring to FIG. 2, a method of manufacturing a vacuum chuck member according to an embodiment of the present invention includes (a) preparing, (b) cutting, (c) heat treatment, and (d) removing the deformable material.

(a) 준비 단계는 수지재로 이루어진, 다공성 재료부재를 준비하는 단계이고, (b) 절삭단계는 재료부재의 적어도 일 면을 절삭하는 단계이고, (c) 열처리단계는 재료부재의 절삭된 면에 열처리하여, 절삭찌꺼기를 열로 변형시킨 변형물을 재료부재 표면에 형성시키는 단계이며, (d) 변형물 제거단계는 재료부재 표면에서 변형물을 이탈시켜 제거하는 단계이다.(a) the preparation step is a step of preparing a porous material member made of a resin material, (b) the cutting step is a step of cutting at least one surface of the material member, (c) the heat treatment step is a cut surface of the material member Heat-treating to form the deformed deformation of the cutting debris on the material member surface, and (d) removing the deformable material is removing the deformable material from the material member surface.

(a) 단계에서 준비되는 다공성 재료부재는 수지재로 이루어지고, 도 3과 같은 다공성 재료부재(1a)일 수 있다. 재료부재(1a)는 본 발명의 제조과정을 거친 후 진공척부재(도 1의 1참조)가 되는 것으로서 실질적으로 진공척부재의 모체와 같다. 재료부재(1a)는 전술한 진공척부재와 같이 수지재로 이루어질 수 있다. 재료부재(1a)는 도시된 바와 같이 복수의 평면을 갖는 방형의 형태로 가공되어 준비될 수 있으며 그 넓이나 두께 또는 전체 형상 등은 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The porous material member prepared in step (a) is made of a resin material, it may be a porous material member (1a) as shown in FIG. The material member 1a becomes a vacuum chuck member (see 1 in FIG. 1) after the manufacturing process of the present invention, and is substantially the same as the mother of the vacuum chuck member. The material member 1a may be made of a resin material like the vacuum chuck member described above. As shown, the material member 1a may be prepared by being processed into a rectangular shape having a plurality of planes, and its width, thickness, or overall shape may be variously changed as necessary.

이러한 재료부재(1a)는 본 발명의 일 실시예에 따라 도 4와 같이 케이싱(2)에 고정된 상태로 후속하는 제조과정을 진행시킬 수 있다. 즉, 재료부재(1a)는 다공성 재료부재가 수용되는 수용공간이 형성된 케이싱(2)의 수용공간(21)에 삽입되어 고정된 상태일 수 있다. 이 때, (a) 단계의 준비는 케이싱(2)의 수용공간(21)에 재료부재(1a)를 삽입하여 고정하는 단계를 포함하는 다공성 재료부재 준비방법에 의해 실시될 수 있다. 케이싱(2)은 시판되는 것이거나 직접 제조된 것일 수 있다. 케이싱(2)은 공지의 방법(예를 들어 우레탄 수지 판의 절단과 절삭 및 필요에 따른 접착 또는 타공에 의한 가공방법, 사출방법 등)에 의해 도 4와 같은 형태로 제조될 수 있다. 또한, 고정 역시 공지의 방법(예를 들어, 케이싱(2)의 재료부재(1a)에 대한 가압, 레이저 또는 초음파에 의한 융착, 또는 접착제에 의한 접착 등)에 의할 수 있다. 예를 들어, 고정부(23)를 재료부재(1a) 측단부에 압박하여 고정하거나, 고정부(23)를 재료부재(1a) 측단부에 레이저 또는 초음파에 의해 융착시키거나, 고정부(23)를 재료부재(1a) 측단부에 접착제에 의해 접착함으로써, 재료부재(1a)를 케이싱(2)에 보다 견고하게 고정할 수도 있다. 또한, 케이싱(2)의 일 측, 바람직하게는 상면(도 4의 상면)에는 금속판을 형성하여, 내구성을 증가시킬 수도 있다. 이와 같이, 재료부재(1a)가 케이싱에 고정된 상태에서 후속하는 제조과정이 진행됨으로써, 보다 용이하게 진공척 부재를 제조할 수 있다. 또한, 케이싱(2)은 내측에 수용공간(21)과 연통되는 기체흡입로(22)가 형성된 것으로 진공척장치의 일부일 수 있다. 이와 같이 재료부재(1a)를 진공척장치의 일부인 케이싱(2)에 고정시킨 상태로 후속 과정을 진행함으로써, 최종적으로 제조된 진공척부재를 진공척장치에 별도 조립하는 과정이 생략될 수 있는 점에서 장점이 있다. 그러나, 케이싱에 재료부재의 고정은 준비단계에서만 이루어지는 것으로 한정되는 것은 아니며, 절삭단계, 열처리단계, 제거단계 각각에서 이루어질 수도 있음은 물론이다. 예를 들어, 절삭단계에서 케이싱에 준비된 재료부재의 고정이 이루어지고 그 이후 과정이 진행되거나, 열처리단계에서 케이싱에 절삭된 재료부재의 고정이 이루어지고 그 이후 과정이 진행되거나, 제거단계에서 케이싱에 열처리된 재료부재의 고정이 이루어지고 그 이후 과정이 진행되거나, 각각의 단계에서만 고정이 이루어진 상태에서 각각의 단계가 진행될 수도 있는 것이다.This material member (1a) can proceed to the subsequent manufacturing process in a fixed state to the casing (2) as shown in Figure 4 according to an embodiment of the present invention. That is, the material member 1a may be inserted into and fixed in the accommodation space 21 of the casing 2 in which the accommodation space for accommodating the porous material member is formed. At this time, the preparation of step (a) may be carried out by a method of preparing a porous material member including inserting and fixing the material member 1a in the accommodation space 21 of the casing (2). The casing 2 may be commercially available or manufactured directly. The casing 2 can be manufactured in the form as shown in FIG. 4 by a known method (for example, cutting and cutting of urethane resin plates and processing by adhesion or perforation, injection method, etc.). In addition, the fixing may also be by a known method (for example, pressing on the material member 1a of the casing 2, fusion by laser or ultrasonic waves, or adhesion by an adhesive, or the like). For example, the fixing part 23 is pressed to the side end of the material member 1a, or the fixing part 23 is fused by the laser or ultrasonic to the material end of the material member 1a, or the fixing part 23 ) Can be more firmly fixed to the casing 2 by adhering)) to the material member 1a side end portion with an adhesive. In addition, a metal plate may be formed on one side of the casing 2, preferably on the upper surface (upper surface of FIG. 4), thereby increasing durability. As described above, the subsequent manufacturing process is performed while the material member 1a is fixed to the casing, whereby the vacuum chuck member can be manufactured more easily. In addition, the casing 2 may be a part of the vacuum chuck device as a gas suction path 22 is formed in communication with the accommodation space 21 therein. As described above, the subsequent process is performed while the material member 1a is fixed to the casing 2 which is a part of the vacuum chuck device. Thus, the process of separately assembling the finally manufactured vacuum chuck member to the vacuum chuck device may be omitted. There is an advantage in However, the fixing of the material member to the casing is not limited to being made only in the preparation step, and may be made in each of the cutting step, the heat treatment step, and the removal step. For example, in the cutting step, the material member prepared in the casing is fixed and then the process is performed, or in the heat treatment step, the material member cut in the casing is fixed and the subsequent process is performed or the casing is removed. Fixation of the heat-treated material member is made and then the process proceeds, or each step may proceed in a state where the fixation is made only in each step.

이하에서는 (b) 내지 (d) 단계에 대하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the steps (b) to (d) will be described in more detail.

(b)단계의 절삭은,도시된 바와 같이, 재료부재(1a)가 절삭되는 면이 외부로 노출된 상태로 케이싱(2)의 수용공간(21)에 삽입되어 고정된 상태에서 실시할 수 있다(도 4, 도 5 참조). 이 때, 재료부재(1a)는 (b) 단계에서 절삭되는 면(도 3의 하면)을 제외한 나머지 부분이 수용공간(21)이 형성된 케이싱(2)에 삽입되어 고정될 수 있다. Cutting of step (b), as shown, can be carried out in a state in which the material is cut into the receiving space 21 of the casing (2) in a state in which the surface to be cut (1a) is exposed to the outside. (See FIG. 4, FIG. 5). In this case, the material member 1a may be inserted into and fixed to the casing 2 in which the accommodation space 21 is formed except for the surface (the lower surface of FIG. 3) to be cut in the step (b).

아울러 케이싱(2)은 재료부재의 절삭되는 면이 아닌 나머지 표면 중 적어도 일부, 바람직하게는 절삭되는 면의 이면과 절삭되는 면 사이의 면(도 4의 재료부재의 측면)을 가압하여 고정시킬 수 있다. 예를 들어, 재료부재(1a) 측단부와 밀착하는 고정부(23) 등으로 재료부재(1a)의 노출된 면(즉, 절삭이 진행되는 면)과 그 이면 사이의 면(예, 재료부재의 측면)을 고정함으로써, 절삭이 보다 안정적인 상태에서 이루어질 수 있다. 또한, 열처리시 노출된 면으로 변형을 집중시켜 곡면을 형성하는 데 유리하게 하는 역할도 할 수 있다. 이에 대해서는 후술하여 다시 설명한다. 또한, 재료부재의 절삭되는 면의 이면 역시 지지부(24) 등에 의해 지지되어, 수용공간(21)에 보다 견고하게 수용될 수 있다.In addition, the casing (2) can be fixed by pressing at least a portion of the remaining surface other than the cut surface of the material member, preferably a surface between the back surface of the cut surface and the cut surface (side of the material member of Figure 4). have. For example, the surface between the exposed surface of the material member 1a (i.e., the surface where the cutting proceeds) and the back surface thereof (e.g., the material member) by the fixing portion 23 which is in close contact with the side end of the material member 1a. By fixing the side of), the cutting can be made in a more stable state. In addition, it may also serve to advantageously form a curved surface by concentrating the deformation to the exposed surface during the heat treatment. This will be described later again. In addition, the back surface of the cut surface of the material member is also supported by the support 24, etc., it can be more firmly accommodated in the receiving space (21).

이후, 도 5와 같이 재료부재(1a)의 적어도 일 면을 절삭한다. 절삭되는 면은 피처리물과 접촉하는 면 전체를 포함하며 따라서 피처리물에 손상을 가하지 않고 균일한 압력이 전달되도록 정밀하게 가공된다. 절삭은 연삭, 연마 등을 포함하는 의미이며, 그라인더나 밀링머신 등의 절삭장치(A)를 이용하여 진행할 수 있다. 절삭에 의해, 절삭면을 평탄화하는 것이 가능하며, 이와 같은 절삭은 재료부재(1a)의 적어도 일 면을 평탄도공차 2~3㎛의 평면으로 형성하는 것일 수 있다. 즉, 절삭에 의해 표면의 두께 편차가 수 마이크로미터(㎛) 이내인 매우 정밀한 평면으로 가공할 수 있다. 다만, 이와 같이 절삭 가공하는 동안 재료부재(1a)의 표면에서 절삭찌꺼기(12)들이 발생하게 되며 이는 절삭장치(A)와의 마찰, 재료부재(1a)의 특성에 따른 정전기적 인력 등 여러 가지 요인에 의해 재료부재(1a)의 절삭된 면 표면이나 그 내측으로 인입되게 된다. 이러한 절삭찌꺼기(12)들은 매우 미세하므로, 재료부재(1a)에 형성된 기공(11)에 박혀 통기도를 저하시키는 원인이 된다. 이를 사진을 통해 살펴보면 다음과 같다.Thereafter, at least one surface of the material member 1a is cut as shown in FIG. 5. The surface to be cut includes the entire surface in contact with the workpiece, and thus is precisely machined to transmit a uniform pressure without damaging the workpiece. Cutting is a meaning including grinding, polishing, and the like, and can be performed using a cutting device A such as a grinder or a milling machine. By cutting, it is possible to flatten the cutting surface, and such cutting may be to form at least one surface of the material member 1a in a plane having a flatness tolerance of 2 to 3 µm. That is, by cutting, it can process into the very precise plane which the thickness variation of the surface is within several micrometers (micrometer). However, during the cutting process, the cutting residues 12 are generated on the surface of the material member 1a, which causes various factors such as friction with the cutting device A and electrostatic attraction according to the characteristics of the material member 1a. As a result, it is drawn into the cut surface surface of the material member 1a or the inside thereof. Since these cutting debris 12 is very fine, it is embedded in the pores 11 formed in the material member (1a) causes a decrease in air permeability. This is shown in the photo below.

도 9는 도 3의 공정에 해당하는 절삭하기 전 재료부재의 표면사진이고, 도 10은 도 5의 공정에 해당하는 절삭 후 재료부재의 표면사진으로, 현미경으로 확대하여 표면을 촬영한 것이다. 도 9의 깨끗한 표면에 비해 도 10의 절삭 후 표면은 기계가공된 흔적 위로 절삭찌꺼기들이 불규칙적으로 분포하고 있음을 보여준다. 이러한 상태에서 기공들은 절삭찌꺼기로 막혀 공기를 통과시키기 어렵게 된다.FIG. 9 is a photograph of the surface of the material member before cutting corresponding to the process of FIG. 3, and FIG. 10 is a photograph of the surface of the material member after cutting corresponding to the process of FIG. 5. Compared to the clean surface of FIG. 9, the post-cut surface of FIG. 10 shows irregularly distributed cutting debris over the machined traces. In this state, the pores are blocked by cutting chips, making it difficult to pass air.

이러한 문제는 도 6 및 도 7의 후속하는 제조과정을 통해서 매우 효과적으로 해소된다. 먼저 도 6과 같이, 재료부재(1a)의 절삭된 면에 열처리하여, 절삭찌꺼기를 열로 변형시킨 변형물(12')을 재료부재(1a) 표면에 형성시킨다. 절삭찌꺼기(12)는 크기가 미세하고, 재료부재(1a) 바디에 비해 열에 의해 형상이 쉽게 변형될 수 있으며, 그와 같은 과정에서 기공에 박힌 부분도 외부로 배출되는 것으로 보인다. 절삭찌꺼기가 기공에서 제거되는 원인을 명확히 알 수는 없으나, 미세한 절삭찌꺼기(12)는 열에 의해 용융되어 둥글게 뭉쳐질 수 있고 그와 같은 과정에서 표면장력 등이 작용하여 기공(11)에 박힌 부분도 외부로 배출되는 것으로 보인다. 또는 그 밖에도 다른 복합작용에 의해 절삭찌꺼기(12)들이 뭉친 상태로 재료부재(1a) 표면으로 배출되는 것일 수도 있다. 도 11은 도 6의 공정에 해당하는 열에 의해 절삭찌꺼기가 표면으로 배출된 상태의 재료부재의 표면사진으로 이러한 상태를 확인할 수 있다.This problem is very effectively solved through the subsequent manufacturing process of FIGS. 6 and 7. First, as shown in FIG. 6, heat treatment is performed on the cut surface of the material member 1a to form a deformation 12 ′ in which the cutting residues are thermally deformed on the surface of the material member 1a. The cutting debris 12 is fine in size and can be easily deformed by heat as compared to the material member 1a body, and in such a process, the parts stuck to the pores also appear to be discharged to the outside. Although it is not clear what causes the cutting residues to be removed from the pores, the fine cutting residues 12 may be melted by heat and aggregate together. In this process, the surface tension and the like may be embedded in the pores 11. It seems to be emitted to the outside. Alternatively, the cutting residues 12 may be discharged to the surface of the material member 1a in a state of being aggregated by another compounding action. FIG. 11 can confirm this state by the surface photograph of the material member in which the cutting residue is discharged to the surface by the heat corresponding to the process of FIG. 6.

이때 재료부재(1a)의 절삭된 면에 가해지는 열처리는 (가열)처리온도 및 (가열)처리시간 중 적어도 어느 하나의 조건이 조절될 수 있다. 예를 들어, 상기 (c) 단계의 열처리는 140~400℃의 처리온도로, 0.2~2초의 처리시간 동안 실시하는 것일 수 있다. 이와 같은 범위에서 특히 변형물을 용이하게 형성할 수 있으며, 후술하는 돌출면도 변형물과 함께 용이하게 형성할 수도 있다. 또한, (c) 단계의 열처리는, 화염 및 열풍 중 적어도 어느 하나를 상기 절삭된 면, 바람직하게는 절삭된 면의 일부분에 국소적으로 가하는 것일 수 있다. 화염은 토치 등에 의하고, 열풍은 열풍기 등에 의해 발생할 수 있다. 이와 같이, 국소적으로 처리온도나 처리시간 등을 조절하여 열을 제공할 수 있는 가열장치(B)를 사용하여 조건을 정밀하게 설정함으로써 절삭된 면에 적합한 정도의 열을 가할 수 있다. 특히 절삭찌꺼기(12)는 매우 미세하게 분쇄된 상태이므로, 재료부재(1a) 자체가 녹지 않는 온도에서 절삭찌꺼기(12)만을 용융시켜 뭉치도록 할 수 있다. 이와 같이 열을 가하여 절삭찌꺼기(12)를 변형시키는 방식으로 재료부재(1a) 표면에 고착되어 기공(11)을 막고 있는 절삭찌꺼기(12)들을 재료부재(1a) 표면으로 원활하게 배출시키는 것이 가능하다.At this time, the heat treatment applied to the cut surface of the material member 1a may be adjusted to at least one condition of (heating) treatment temperature and (heating) treatment time. For example, the heat treatment in step (c) may be performed at a treatment temperature of 140 to 400 ° C., for a treatment time of 0.2 to 2 seconds. In such a range, in particular, the deformation may be easily formed, and the protruding surface described later may also be easily formed together with the deformation. In addition, the heat treatment of step (c) may be to locally apply at least one of the flame and hot air to a portion of the cut surface, preferably a cut surface. The flame may be generated by a torch or the like and the hot air may be generated by a hot air fan or the like. In this way, heat can be applied to the cut surface by setting the conditions precisely using the heating device B that can locally provide the heat by adjusting the processing temperature, the processing time and the like. In particular, since the cutting debris 12 is very finely pulverized, only the cutting debris 12 may be melted and agglomerated at a temperature at which the material member 1a itself does not melt. In this way, the cutting residues 12 are fixed to the surface of the material member 1a by applying heat to smoothly discharge the cutting residues 12 blocking the pores 11 to the surface of the material member 1a. Do.

한편, (c)단계는 도 6과 같이 열로 재료부재(1a)의 일부를 함께 변형시켜, 절삭된 면의 적어도 일부를 돌출면으로 형성하는 과정도 동시에 진행하는 것일 수 있다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같은 변형물(12')을 열로 형성하는 동안 가해지는 열로 함께 돌출면(10)을 함께 형성할 수 있다. 따라서 서로 다른 목적을 갖는 두 공정을 하나의 공정으로 통합하여 진행할 수 있으므로 제조 효율도 크게 향상되는 효과를 얻을 수 있다. 이하, 돌출면(10)을 형성하는 과정에 대해 좀더 상세히 설명한다.On the other hand, step (c) may be a process of simultaneously deforming a portion of the material member (1a) with heat as shown in Figure 6, forming at least a portion of the cut surface as a protruding surface. That is, the protruding surface 10 may be formed together by the heat applied while the deformable 12 ′ as shown in FIG. 6 is formed by heat. Therefore, since the two processes having different purposes can be integrated into one process, the manufacturing efficiency can be greatly improved. Hereinafter, a process of forming the protruding surface 10 will be described in more detail.

돌출면(10)은 도시된 바와 같이 재료부재(1a)의 외측으로 볼록하게 돌출된 곡면으로 형성될 수 있다. (c) 단계의 열처리는 처리시간, 및 처리온도 중 적어도 어느 하나를 제어하여 이러한 돌출면(10)의 돌출정도를 조절할 수 있다. 특히 피처리물의 처리에 적합하도록 돌출정도(돌출면이 곡면으로 형성된 경우 곡률)를 바꿈으로써 예를 들어, 단차(예, 곡면의 높이 차; 도 6에서 곡면 중앙부의 최고점과 양단의 최저점 사이의 수직거리로 곡면이 돌출된 정도를 의미)가 바람직하게는 10㎛~50㎛, 보다 바람직하게는 10㎛~20㎛로 형성되도록 조정할 수 있다. 즉, 열을 가하는 온도, 시간을 조절하여 재료부재(1a)의 변형량을 조절하고 원하는 단차(예, 곡률)를 갖도록 재료부재(1a)를 변형할 수도 있다. 이러한 가공은 일반적인 그라인더나 고속 밀링가공 등으로는 불가능할 뿐만 아니라, 전술한 바와 같이 본 발명은 이러한 재료부재(1a)의 변형과정을 절삭찌꺼기(12)의 배출과정과 통합하여 함께 진행할 수 있으므로 제조공정의 경제성과 효과성 모두에서 매우 탁월함을 알 수 있다.The protruding surface 10 may be formed as a curved surface protruding outwardly of the material member 1a as shown. The heat treatment of step (c) may control at least one of the treatment time and the treatment temperature to adjust the degree of protrusion of the protruding surface 10. In particular, by varying the degree of protrusion (curvature when the protrusion is formed into a curved surface) to be suitable for the processing of the workpiece, for example, a step (e.g., a height difference of the surface; the vertical between the highest point in the center of the surface and the lowest point in both ends in FIG. 6). Means a degree where the curved surface protrudes by distance) is preferably 10 µm to 50 µm, more preferably 10 µm to 20 µm. That is, the material member 1a may be deformed to adjust the deformation amount of the material member 1a by adjusting the temperature and time of applying heat and to have a desired step (for example, curvature). This process is not only possible with a general grinder or high-speed milling, etc., as described above, the present invention can proceed with the process of integrating the deformation process of the material member (1a) with the discharge process of the cutting residue 12 as described above It can be seen that it is very excellent in both economic efficiency and effectiveness.

이와 같이 열처리하는 (c) 단계는, 재료부재(1a)의 절삭된 면이 아닌 나머지 표면 중 적어도 일부, 바람직하게는 절삭된 면의 이면과 절삭된 면 사이의 면을 가압하여 고정시킨 상태로 진행할 수 있다. 즉, 열을 가하는 면과 인접한 면에 대해서는 가압하여 변형을 억제시킨 상태를 유지함으로써, 열을 가하는 표면이 보다 손쉽게 외측으로 볼록하게 돌출되도록 유도할 수 있다. 이는 예를 들어, 전술한 바와 같이 재료부재(1a)의 절삭된 일 면 만을 노출시키고 나머지 부분은 케이싱(2) 내부에 수용하는 방식으로 구현할 수 있다. 즉, 전술한 바와 같이 케이싱(2) 측면의 고정부(23) 등의 구조로 재료부재(1a)의 절삭된 면과 인접한 면을 가압하여 고정함으로써 변형을 억제하고 노출되어 있는 절삭된 면이 보다 손쉽게 변형되도록 유도할 수 있다. 그에 따라 재료부재(1a)의 절삭된 면은 열에 의해 외측으로 돌출되며 곡면(10)으로 변형될 수 있다. 전술한 바와 같이 처리시간, 처리온도 중 적어도 어느 하나를 제어하여 변형량을 조절하고 돌출면(10)의 돌출정도(곡면의 경우 곡률)를 원하는 대로 맞출 수 있다. 이와 같은 방식으로 열을 가하여 절삭찌꺼기(12)를 재료부재(1a) 표면으로 배출하면서 재료부재(1a)의 절삭된 면 자체도 곡면으로 이루어진 돌출면(10)이 되도록 변형시킬 수 있다.The step (c) of the heat treatment may be performed in a state in which at least a portion of the remaining surfaces other than the cut surface of the material member 1a, preferably the surface between the cut surface and the cut surface is pressed and fixed. Can be. That is, by pressing the surface adjacent to the surface to which the heat is applied and maintaining the state of suppressing deformation, the surface to which the heat is applied can be induced to protrude outward more easily. This can be implemented, for example, by exposing only the cut one side of the material member 1a and accommodating the remaining part inside the casing 2 as described above. That is, as described above, by pressing and fixing a surface adjacent to the cut surface of the material member 1a with a structure such as a fixing portion 23 on the side of the casing 2, the deformation is suppressed and the cut surface is exposed. It can be induced to deform easily. Accordingly, the cut surface of the material member 1a protrudes outward by heat and may be deformed into the curved surface 10. As described above, the amount of deformation may be adjusted by controlling at least one of the processing time and the processing temperature, and the degree of protrusion (curvature in the case of the curved surface) of the protruding surface 10 may be adjusted as desired. By applying heat in this manner, the cutting residue 12 may be deformed to the protruding surface 10 formed of a curved surface while the cut surface 12 of the material member 1a is discharged to the surface of the material member 1a.

이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 재료부재(1a) 표면에서 변형물(12')을 이탈시켜 제거한다. 전술한 도 6의 과정에서 변형물(12')은 재료부재(1a) 표면 상에 부착되어 남아있으므로 이를 재료부재(1a) 표면에서 이탈시켜 제거함으로써 최종적으로 재료부재(1a)를 표면이 매끈하게 가공된 진공척부재로 형성할 수 있다. 특히 재료부재(1a) 표면에 뭉쳐진 변형물(12')은 커터(C)를 이용하여 덩어리 형태로 제거하는 것이 보다 바람직하다. 즉 절삭과 같은 가공과정이 다시 진행되면 분쇄된 찌꺼기들이 다시 기공(11)을 메울 염려가 있으므로, 재료부재(1a) 표면에 형성된 변형물(12')을 이탈시킬 때에는 커터(C)를 이용하는 방식과 같이 이를 분쇄하지 않고 절단하여 제거하는 방식에 의할 수 있다. 이러한 과정을 통해 변형물(12')이 모두 제거되면, 기공(11)을 통해 원활하게 흡입력을 제공할 수 있고, 또한 수지재로 이루어진 다공성 진공척부재가 완성되며, 아울러 이러한 진공척부재에 볼록하게 곡면으로 돌출된 돌출면도 원활하게 형성할 수 있다.Thereafter, as illustrated in FIG. 7, the deformable 12 ′ is removed from the surface of the material member 1a to be removed. In the above-described process of FIG. 6, since the deformable 12 ′ remains attached to the surface of the material member 1a, the deformable 12 ′ is removed from the surface of the material member 1a so that the surface of the material member 1a is finally smoothed. It can be formed into a processed vacuum chuck member. In particular, it is more preferable to remove the deformed product 12 'that is agglomerated on the surface of the material member 1a in the form of a lump by using the cutter C. In other words, if the processing process such as cutting is performed again, the crushed debris may fill the pores 11 again, so that the cutter C is used to separate the deformation 12 'formed on the surface of the material member 1a. It may be by a method of cutting and removing it without grinding. When all the deformations 12 'are removed through this process, the suction force can be smoothly provided through the pores 11, and a porous vacuum chuck member made of a resin material is completed, and convex to the vacuum chuck member. In addition, the protruding surface protruding to the curved surface can be formed smoothly.

이와 같이 제조된 진공척부재(1)는 도 8에 도시된 바와 같은 방식으로 사용할 수 있다. 예를 들어, 진공척부재(1)는 전술한 제조과정에 따라 케이싱(2)에 결합되어 있을 수 있다. 따라서 케이싱(2) 내측의 기체흡입로(22)를 통해 공기를 흡입함으로써(화살표 참조) 진공척부재(1)의 기공(11)들을 통해 음압을 형성하고 피처리물을 고정할 수 있다. 이때 진공척부재(1)는 예를 들어, 도 8의 (a)와 같이 수평 방향으로 정렬시켜 피처리물(D1)에 접촉시킬 수도 있고, 도 8의 (b)나 (c)와 같이 각도를 바꾸면서 피처리물(D1)의 일 측에서 타 측으로 움직이며 피처리물(D1)을 문지르는 것과 같은 효과를 줄 수도 있다. 그러한 경우, 접합층(D3)을 사이에 두고 하부에 위치한 다른 피처리물(D2)과의 사이에서 미쳐 빠져나가지 못한 공기 등이 만드는 잉여 공기층으로 인한 보이드(void) 현상도 효과적으로 피할 수 있다. 또한 그에 따라 종래 이러한 공기층의 발생을 억제하기 위해 과도하게 형성하였던 중간 접합층(D3)(예를 들어, 접착제나 실리콘 등이 도포된 것일 수 있다)의 두께도 현저하게 줄일 수 있는 바 공정이 보다 효율적으로 진행될 뿐만 아니라 최종 제품의 불량률도 크게 감소시킬 수 있다. 이와 같이 본 발명의 진공척부재(1)를 이용하여 섬세한 피처리물을 원활하게 취급하고 관련 공정도 용이하게 진행할 수 있다.The vacuum chuck member 1 thus manufactured may be used in the manner shown in FIG. 8. For example, the vacuum chuck member 1 may be coupled to the casing 2 according to the manufacturing process described above. Therefore, by sucking the air through the gas suction passage 22 inside the casing 2 (see arrow), it is possible to form a negative pressure through the pores 11 of the vacuum chuck member 1 and fix the object to be treated. At this time, the vacuum chuck member 1 may be aligned in the horizontal direction as shown in FIG. 8A to be in contact with the workpiece D1, and the angle as shown in FIGS. 8B and 8C. While changing to move from one side of the workpiece (D1) to the other side may have the same effect as rubbing the workpiece (D1). In such a case, the void phenomenon due to the excess air layer created by the air or the like which has not gone out between the other to-be-processed objects D2 positioned below the bonding layer D3 can be effectively avoided. In addition, the bar process can significantly reduce the thickness of the intermediate bonding layer D3 (for example, adhesive or silicon may be applied), which is excessively formed to suppress the occurrence of such an air layer. Not only does it work efficiently, it also significantly reduces the reject rate of the final product. As described above, the vacuum chuck member 1 of the present invention can be used to smoothly handle the delicate to-be-processed object and to easily proceed with the related process.

이하, 실험례를 통해서 본 발명의 효과를 좀더 상세히 설명한다. 이하 실험례의 설명에서 각 구성부는 전술한 구성부와 동일하므로 부호는 병기하지 않고 설명한다.Hereinafter, the effects of the present invention through the experimental example in more detail. In the following description of the experimental example, each component is the same as the component described above, and thus the reference numerals will be described without reference.

<실험례> 흡착력 실험Experimental Example

본 발명의 제조방법에 의해 제조된 실시예 1의 진공척부재에 대한 흡착력 확인 실험을 실시하였다. 비교를 위해, 참고예 1과 2를 준비하였다. 참고예 1은 도 4에 도시된 상태로 케이싱에 다공성 재료부재(폴리에틸렌 수지재)를 고정한 상태로 준비하였다. 참고예 2는 도 4에 도시된 상태로 케이싱에 다공성 재료부재(폴리에틸렌 수지재)를 고정한 상태에서 밀링기로 평면도공차 2~3㎛인 평면이 되도록 평탄화 작업을 수행하여, 준비하였다. 실시예 1은 도 4에 도시된 상태로 케이싱에 다공성 재료부재(폴리에틸렌 수지재)를 고정한 상태에서 밀링기로 평면도공차 2~3㎛인 평면이 되도록 평탄화한 후, 토치로 열처리(처리온도 140℃, 처리시간 0.5초)하여 표면에 변형물을 형성하고, 커터로 표면에 형성된 변형물을 제거하는 과정을 거쳐 준비하였다.The adsorption force confirmation experiment for the vacuum chuck member of Example 1 prepared by the production method of the present invention was carried out. For comparison, Reference Examples 1 and 2 were prepared. Reference Example 1 was prepared with the porous material member (polyethylene resin material) fixed to the casing in the state shown in FIG. 4. Reference Example 2 was prepared by performing a planarization operation so as to become a plane having a planar tolerance of 2 to 3 μm with a mill in a state where the porous material member (polyethylene resin material) is fixed to the casing in the state shown in FIG. 4. In Example 1, the porous material member (polyethylene resin) is fixed to the casing in the state shown in FIG. Time 0.5 seconds) to form a strain on the surface, it was prepared through a process of removing the strain formed on the surface with a cutter.

참고예 1, 2 및 실시예 1에 대하여 진공발생기로 기체흡입로를 통하여 진공을 형성한 후, 압력을 진공게이지로 측정하는 방법으로 흡착력 실험을 실시하였다.For Reference Examples 1, 2 and Example 1, after the vacuum was formed through the gas suction path with a vacuum generator, the adsorption force experiment was conducted by measuring the pressure with a vacuum gauge.

그 결과를 표 1에 나타내었다.The results are shown in Table 1.

부압(mmHg)Negative pressure (mmHg) 정압(mmHg)Positive pressure (mmHg) 참고예 1Reference Example 1 73.873.8 94.594.5 참고예 2Reference Example 2 81.481.4 94.994.9 실시예 1Example 1 73.873.8 94.794.7

표 1의 결과에서 보는 바와 같이, 폴리에틸렌 수지로 이루어진 다공성 재료부재에 대하여 절삭(평탄화)작업을 수행한 참고예 2는 절삭(평탄화)작업 이전의 다공성 재료부재인 참고예 1에 비해 부압이 크게 증가하는 것을 알 수 있다. 이는 절삭(평탄화)작업 중 발생한 절삭찌꺼기에 의해 기공이 막히는 현상에 의한 것으로 볼 수 있다. 반면, 절삭(평탄화)작업 이후 열처리와 제거까지 진행한 실시예 1의 경우는 절삭(평탄화)작업 이전 수준의 부압을 나타내는 것을 알 수 있다. 정압 대비 낮은 부압은 흡착력이 우수한 것을 나타내므로, 참고예 2에 비해 실시예 1의 흡착력이 우수함을 알 수 있다. 즉, 실시예 1의 경우 참고예 2와 같이 절삭(평탄화)작업을 수행하였음에도 절삭작업 이전 수준의 흡착력을 나타냄을 알 수 있다.As shown in the results of Table 1, the reference example 2 which performed the cutting (planarization) operation | work on the porous material member which consists of polyethylene resins increases the negative pressure significantly compared with the reference example 1 which is the porous material member before a cutting (planarization) operation. I can see that. This may be due to a phenomenon in which pores are blocked by cutting debris generated during cutting (flattening) operation. On the other hand, in the case of Example 1, which proceeds to heat treatment and removal after cutting (flattening), it can be seen that the negative pressure of the level before cutting (flattening) is shown. Since the lower negative pressure than the positive pressure indicates that the adsorption force is excellent, it can be seen that the adsorption force of Example 1 is superior to that of Reference Example 2. That is, in the case of Example 1, it can be seen that the cutting (flattening) operation as shown in Reference Example 2 shows the adsorption force of the level before the cutting operation.

이와 같은 실험결과로부터도, 본 발명에 의해 흡착력이 우수한 진공척부재를 제조할 수 있으며, 그와 같은 방법에 의해 제조된 진공척부재의 흡착력 역시 우수함을 알 수 있다.From these experimental results, it can be seen that the present invention can produce a vacuum chuck member having excellent adsorptive power, and the adsorptive power of the vacuum chuck member manufactured by such a method is also excellent.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

1: 진공척부재 1a: 재료부재
2: 케이싱 10: 돌출면
11: 기공 12: 절삭찌꺼기
12': 변형물 21: 수용공간
22: 기체흡입로 23: 고정부
24: 지지부 A: 절삭장치
B: 가열장치 C: 커터
D1, D2: 피처리물 D3: 접합층1: vacuum chuck member 1a: material member
2: casing 10: protrusion surface
11: pore 12: cutting residue
12 ': variant 21: receiving space
22: gas suction path 23: fixed part
24: support portion A: cutting device
B: heater C: cutter
D1, D2: Object to be processed D3: Bonding layer

Claims (12)

(a) 수지재로 이루어진, 다공성 재료부재를 준비하는 단계;
(b) 상기 재료부재의 적어도 일 면을 절삭하는 단계;
(c) 상기 재료부재의 절삭된 면에 열처리하여, 절삭찌꺼기를 열로 변형시킨 변형물을 상기 재료부재 표면에 형성시키는 단계; 및
(d) 상기 재료부재 표면에서 상기 변형물을 이탈시켜 제거하는 단계를 포함하는 진공척부재의 제조방법.(a) preparing a porous material member made of a resin material;
(b) cutting at least one surface of the material member;
(c) heat-treating the cut surface of the material member to form a deformed material on the surface of the material member, the deformation of which is deformed by heat; And
and (d) removing the deformed material from the surface of the material member to remove it. 제1항에 있어서,
상기 (c) 단계는,
상기 열로 상기 재료부재의 일부를 함께 변형시켜, 상기 절삭된 면의 적어도 일부를 돌출면으로 형성하는 진공척부재의 제조방법.The method of claim 1,
In step (c),
And deforming a portion of the material member together with the heat to form at least a portion of the cut surface as a protruding surface. 제2항에 있어서,
상기 돌출면은 상기 재료부재의 외측으로 볼록하게 돌출된 곡면으로 형성되는 진공척부재의 제조방법.The method of claim 2,
The protruding surface is a manufacturing method of a vacuum chuck member formed of a curved surface protruding outwardly of the material member. 제2항에 있어서,
상기 (c) 단계의 열처리는, 상기 재료부재의 상기 절삭된 면이 아닌 나머지 표면 중 적어도 일부를 고정시킨 상태로 실시하는 진공척부재의 제조방법.The method of claim 2,
The heat treatment of the step (c), the manufacturing method of the vacuum chuck member is carried out in a state in which at least a portion of the remaining surface other than the cut surface of the material member is fixed. 제2항에 있어서,
상기 (c) 단계의 열처리는, 처리시간, 및 처리온도 중 적어도 어느 하나를 제어하여 상기 돌출면의 돌출정도를 조절하는 진공척부재의 제조방법.The method of claim 2,
The heat treatment of step (c), the method of manufacturing a vacuum chuck member for controlling the degree of protrusion of the protruding surface by controlling at least one of the processing time and the processing temperature. 제1항에 있어서,
상기 (c) 단계의 열처리는, 140~400℃의 처리온도로, 0.2~2초의 처리시간 동안 실시하는 것인 진공척부재의 제조방법.The method of claim 1,
The heat treatment of the step (c) is a manufacturing method of the vacuum chuck member that is carried out at a treatment temperature of 140 ~ 400 ℃, for a treatment time of 0.2 ~ 2 seconds. 제1항에 있어서,
상기 (c) 단계의 열처리는, 화염 및 열풍 중 적어도 어느 하나를 상기 절삭된 면에 가하는 것인 진공척부재의 제조방법.The method of claim 1,
The heat treatment of the step (c), the method of manufacturing a vacuum chuck member to apply at least one of a flame and hot air to the cut surface. 제1항에 있어서,
상기 (b) 단계의 절삭은, 상기 재료부재가 절삭되는 면이 외부로 노출된 상태로 케이싱의 수용공간에 삽입되어 고정된 상태에서 실시하는 진공척부재의 제조방법.The method of claim 1,
The cutting of step (b) is carried out in a state where the material member is cut is inserted into the receiving space of the casing in the state exposed to the outside fixed to the vacuum chuck member manufacturing method. 제8항에 있어서,
상기 케이싱은, 내측에 상기 수용공간과 연통되는 기체흡입로가 형성된 것인 진공척부재의 제조방법.The method of claim 8,
The casing is a manufacturing method of the vacuum chuck member that is formed inside the gas suction passage communicating with the receiving space. 제1항에 있어서,
상기 수지재는 폴리에틸렌 수지 또는 고무 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 진공척부재의 제조방법.The method of claim 1,
The resin material is a manufacturing method of a vacuum chuck member comprising at least one selected from polyethylene resin or rubber. 제1항에 있어서,
상기 (b)단계의 절삭은 상기 재료부재의 적어도 일 면을 평면도공차 2~3㎛인 평면으로 형성하는 것인 진공척부재의 제조방법.The method of claim 1,
Cutting of step (b) is a method for producing a vacuum chuck member to form at least one surface of the material member in a plane having a planar tolerance of 2 ~ 3㎛. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 진공척부재.A vacuum chuck member manufactured by the manufacturing method of any one of claims 1 to 11.
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