KR102048419B1 - 액정 디스플레이 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는, 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인, 복수의 전원 라인 및 쉬프트 레지스터 로직이 하부 기판의 비 표시 영역에 형성된 액정 디스플레이 장치에 있어서, 하부 기판의 비 표시 영역에서 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 복수의 제1 링크 라인; 상기 복수의 제1 링크 라인을 덮도록 형성된 층간 절연막; 상기 층간 절연막 상에 형성된 복수의 제2 링크 라인 및 상기 쉬프트 레지스터 로직 영역의 외곽을 둘러싸도록 형성된 더미 라인; 상기 제2 링크 라인과 상기 더미 라인을 덮도록 형성된 보호층; 상기 보호층 상에 형성된 절연막; 및 상기 더미 라인과 중첩되는 영역의 절연막이 제거되어 형성된 복수의 쉴드 홀;을 포함하고, 상기 쉬프트 레지스터 로직 영역으로 유입되는 정전기를 상기 더미 라인 및 상기 쉴드 홀로 차단한다.

Description

액정 디스플레이 장치 {LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
본 발명은 액정 디스플레이 장치에 관한 것으로, 특히 제조 공정 중 하부 기판을 척(chuck)에서 박리 시 발생되는 정전기에 의해 절연막이 파괴되는 것을 방지한 액정 디스플레이 장치에 관한 것이다.
이동통신 단말기, 노트북 컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평판 디스플레이 장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 증대되고 있다.
평판 디스플레이 장치로는 액정 디스플레이 장치(Liquid Crystal Display apparatus), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 전계 방출 디스플레이 장치(Field Emission Display apparatus), 유기발광 다이오드 디스플레이 장치(OLED: Organic Light Emitting Diode Display apparatus) 등이 개발되었다.
이러한 평판 디스플레이 장치 중에서 액정 디스플레이 장치(LCD)는 양산 기술의 발전, 구동수단의 용이성, 저전력 소비, 고화질 구현 및 대화면 구현의 장점이 있어 휴대용으로 기기에 적합하며 적용 분야가 지속적으로 확대되고 있다.
액정 디스플레이 장치는 하부 기판(TFT 어레이 기판) 상에 박막트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor) 및 배선들을 형성하는 공정; 상부 기판(컬러필터 어레이 기판) 상에 컬러필터층 및 블랙매트릭스를 형성하는 공정; 상부기판과 하부 기판을 대향 합착하고, 그 사이에 액정을 주입하는 액정셀 공정; 상기 하부 기판에 구동 회로부를 연결하는 모듈 공정; 및 베젤(Bezel) 및 외부 케이스를 부착하는 공정을 수행하여 제조되게 된다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정 디스플레이 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 액정 디스플레이 장치(1)는 복수의 픽셀(Pixel)들이 매트릭스 형태로 배열된 액정 패널과, 액정 패널(1)을 구동하기 위한 구동 회로부(미도시)와, 액정 패널에 빛을 공급하는 백라이트 유닛(미도시)을 포함하여 구성된다. 도 1에서는 액정 패널을 제외한 구동 회로부 및 백라이트 유닛은 도시하지 않았다.
액정 패널은 화상이 표시되는 액티브 영역(10)과 비 표시 영역(20)을 포함한다. 액티브 영역(10)에는 복수의 게이트 라인(gate line)과 복수의 데이터 라인(data line)이 교차하도록 형성되어 복수의 픽셀이 정의되어 있다. 복수의 픽셀에는 전계를 인가하기 위한 픽셀 전극과 공통 전극 및 박막트랜지스터가 형성되어 있다.
도 2는 하부 기판의 비 표시 영역을 나타내는 도면이고, 도 3은 하부 기판을 척(chuck)에서 박리 시 발생되는 정전기에 의해 절연막이 파괴되는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 하부 기판의 비 표시 영역에는 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인(30), 복수의 전원 라인(40)이 형성되어 있고, 쉬프트 레지스터 로직(50)이 GIP(gate in panel) 방식으로 형성되어 있다.
도 3을 참조하면, 비 표시 영역에 형성된 라인들은 듀얼 링크 구조로 형성되며, 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 제1 링크 라인들(31) 및 소스/드레인과 동일 레이어에 형성된 제2 링크 라인들(32)로 구성되어 있다.
최근에 들어, Full-HD(Full High Definition)급 이상의 고해상 및 인-셀 터치(In-cell Touch) 또는 하이브리드 터치(Hybrid Touch)의 기능이 구비된 액정 디스플레이 장치의 요구가 증가하고 있다.
고해상도 및 고품질 터치 성능을 구비한 액정 디스플레이 장치는 절연막(60)의 재료로 포토아크릴(PAC: Photo Acryl)을 적용하고 있다.
포토아크릴(PAC)로 절연막(60)을 형성하면 소자의 기생 커패시턴스(capacitance)를 줄여 회로부의 소비 전력을 감소시키는 효과가 있다. 또한, 하부 기판에 인-셀 방식으로 터치 전극을 형성하거나, 하이브리드 방식으로 터치 전극을 형성하는 경우에 시정수에 의한 딜레이 영향을 줄일 수 있기 때문에 포토아크릴(PAC)로 절연막(60)을 형성하고 있다.
그러나, 제조 공정 중 하부 기판을 척(80, chuck)에서 박리할 때 대전된 전하가 절연막(60)을 경유하여 임피던스가 낮은 메탈 라인들을 따라 링크 라인 영역 및 GIP 영역에 정전기가 유입되게 된다.
하부 기판의 하면에 생긴 박리 대전을 따라서 유도 대전이 생기고, 이로 인해 정전기가 발생하게 된다. 이와 같이, 링크 라인 영역 및 GIP 영역에 정전기가 발생되면 층간 절연막(70)이 파괴되고, 이로 인해 구동 불량이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하부 기판을 척(chuck)에서 박리 시 발생되는 정전기에 의해 절연막이 파괴되는 것을 방지할 수 있는 액정 디스플레이 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하부 기판의 하면에 발생된 유도 대전에 의한 정전기가 링크 영역 및 GIP 영역으로 유입되는 것을 방지할 수 있는 액정 디스플레이 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는, 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인, 복수의 전원 라인 및 쉬프트 레지스터 로직이 하부 기판의 비 표시 영역에 형성된 액정 디스플레이 장치에 있어서, 하부 기판의 비 표시 영역에서 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 복수의 제1 링크 라인; 상기 복수의 제1 링크 라인을 덮도록 형성된 층간 절연막; 상기 층간 절연막 상에 형성된 복수의 제2 링크 라인 및 상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역의 외곽을 둘러싸도록 형성된 더미 라인; 상기 제2 링크 라인과 상기 더미 라인을 덮도록 형성된 보호층; 상기 보호층 상에 형성된 절연막; 및 상기 더미 라인과 중첩되는 영역의 절연막이 제거되어 형성된 복수의 쉴드 홀을 포함하고, 상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역으로 유입되는 정전기를 상기 더미 라인 및 상기 쉴드 홀로 차단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는, 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인, 복수의 전원 라인 및 쉬프트 레지스터 로직이 하부 기판의 비 표시 영역에 형성된 액정 디스플레이 장치에 있어서, 하부 기판의 비 표시 영역에서 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 복수의 제1 링크 라인; 상기 복수의 제1 링크 라인을 덮도록 형성된 층간 절연막; 상기 층간 절연막 상에 형성된 복수의 제2 링크 라인; 상기 제2 링크 라인을 덮도록 형성된 보호층; 상기 보호층 상에 형성된 절연막; 및 상기 쉬프트 레지스터 로직 외곽의 절연막이 제거되어 형성된 트렌치를 포함하고, 상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역으로 유입되는 정전기를 상기 트렌치로 차단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는 하부 기판을 척(chuck)에서 박리 시 발생되는 정전기에 의해 절연막이 파괴되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는 하부 기판의 하면에 발생된 유도 대전에 의한 정전기가 링크 영역 및 GIP 영역으로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는 포토아크릴로 절연막을 형성한 구조뿐만 아니라, SiNx 또는 SiO2로 절연막을 형성한 구조에서도 링크 영역 및 GIP 영역에서의 정전기 파괴를 방지할 수 있다.
이 밖에도, 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 이점들이 새롭게 파악될 수도 있을 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정 디스플레이 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 하부 기판의 비 표시 영역을 나타내는 도면이다.
도 3은 하부 기판을 척(chuck)에서 박리 시 발생되는 정전기에 의해 절연막이 파괴되는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치의 하부 기판의 비표시 영역을 나타내는 도면이다.
도 5는 하부 기판에 형성된 정전기가 링크 라인 및 GIP 영역에 유입되는 것을 방지한 구조를 설명하기 위한 제1 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치의 하부 기판의 비표시 영역을 나타내는 도면이다.
도 7은 하부 기판에 형성된 정전기가 링크 라인 및 GIP 영역에 유입되는 것을 방지한 구조를 설명하기 위한 제2 실시 예를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 실시 예를 설명함에 있어서 어떤 구조물(전극, 라인, 배선, 레이어, 컨택)이 다른 구조물 "상부에 또는 상에" 및 "하부에 또는 아래에" 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
도면을 참조한 설명에 앞서, 액정 디스플레이 장치는 액정층의 배열을 조절하는 방식에 따라 TN(Twisted Nematic) 모드, VA(Vertical Alignment) 모드, IPS(In Plane Switching) 모드, FFS(Fringe Field Switching) 모드 등 다양하게 개발되어 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치는 IPS 모드 또는 FFS 모드와 같이, 하부 기판 상에 화소 전극 및 공통 전극이 형성되는 구조를 가지는 액정 디스플레이 장치에 적용될 수 있다.
그러나, 이에 한정되지 않고, TN 모드, VA 모드와 같이, 하부 기판 상에 화소 전극이 형성되고, 상부 기판 상에 공통 전극이 형성되는 구조를 가지는 액정 디스플레이 장치에도 본 발명의 기술적 사항이 동일하게 적용될 수 있다.
본 발명은 액정 디스플레이 장치의 정전기 파괴 현상을 방지하는 것을 주요 내용으로 한다. 따라서, 액정 패널을 구동시키기 위한 구동 회로부 및 액정 패널에 빛을 공급하는 백라이트 유닛에 대한 상세한 설명과 도면은 생략될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치의 하부 기판의 비표시 영역을 나타내는 도면이고, 도 5는 하부 기판에 형성된 정전기가 링크 라인 및 GIP 영역에 유입되는 것을 방지한 구조를 설명하기 위한 제1 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 액정 패널의 하부 기판은 화상을 표시하기 위한 복수의 픽셀이 형성된 액티브 영역(표시 영역)과, 구동 회로부와 픽셀을 연결시키기 링크 라인 및 구동 회로부의 일부 구성이 형성된 비 표시 영역을 포함한다. 도 4 및 도 5에서는 액티브 영역은 도시되어 있지 않다.
하부 기판(110)의 비 표시 영역에는 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인(120), 복수의 전원 라인(130)이 형성되어 있고, 쉬프트 레지스터 로직(135)이 GIP(gate in panel) 방식으로 형성되어 있다.
비 표시 영역에 형성된 라인들은 듀얼 링크 구조로 형성되며, 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 제1 링크 라인들(122) 및 소스/드레인과 동일 레이어에 형성된 제2 링크 라인들(124)로 구성되어 있다.
제1 링크 라인들을 덮도록 층간 절연층(140)이 형성되어 있고, 층간 절연층(140) 상에 제2 링크 라인들(124)이 형성되어 있다.
정전기가 GIP 영역으로 유입되어 층간 절연막(140)이 파괴되는 것을 방지하기 위해서, GIP 영역의 외곽에 더미 라인(170)이 형성되어 있다. 더미 라인(170)은 소스/드레인 레이어에 형성되며, 더미 라인(170)은 GIP 영역을 둘러싸도록 형성되어 잇다.
GIP 영역 내부에 형성된 공통 전압 라인(120), 복수의 전원 라인(130) 및 쉬프트 레지스터 로직(135)과 GIP 영역 밖에 형성된 링크 라인들 사이에 더미 라인(170)이 형성된다. 더미 라인(170)에 의해 GIP 영역 내부와 외부가 물리적으로 분리된다.
제2 링크 라인들(124) 및 더미 라인(170)을 덮도록 보호층(150, PAS)이 형성되어 있다. 보호층(150) 상에는 포토아크릴(PAC) 물질로 절연막(160)이 2.0um~3.0um의 두께로 형성되어 있다.
제조 공정 중 하부 기판(110)을 척(chuck)에서 박리할 때 대전된 전하가 절연막(160)을 경유하여 임피던스가 낮은 메탈 라인들을 따라 링크 라인 영역 및 GIP 영역에 정전기가 유입될 수 있다.
본 발명에서는 정전기가 GIP 영역으로 유입되어 층간 절연막(140)이 파괴되는 것을 방지하기 위해서, GIP 영역의 외곽에 형성된 더미 라인(170)과 중첩되는 영역의 절연막(160)이 제거되어 복수의 쉴드 홀(162, shield hole)이 형성되어 있다.
복수의 쉴드 홀(162)은 더미 라인(170)을 따라서 일정 간격을 두고 형성되어 있다.
쉴드 홀(162)의 내부에는 투명 전도성 물질로 아일랜드 패턴의 투명 라인(165)이 형성되고, 더미 라인(170)과 투명 라인(165)이 컨택되어 있다.
더미 라인(170)과 투명 라인(165)의 컨택은 별도의 제조 공정이 수행되는 것이 아니며, 링크 라인들과 쉬프트 레지스터 로직을 컨택시키는 공정을 진행할 때 함께 더미 라인(170)과 투명 라인(165)도 컨택 된다.
하부 기판(110)을 척(chuck)에서 박리할 때 대전된 전하가 절연막(160)을 경유하여 임피던스가 낮은 메탈 라인들로 흐르게 되는데 복수의 쉴드 홀(162)에 의해 정전기가 떨어지게 된다.
또한, 쉴드 홀(162)과 중첩되도록 형성된 더미 라인(170)이 정전기가 GIP 영역 내부로 유입되는 것을 방지함으로써, 정전기에 의해 층간 절연막(140)이 파손되는 것을 방지한다.
앞의 설명에서는 GIP 영역 외곽에 더미 라인(170)을 형성하고, 포토아크릴 물질로 형성된 절연막(160) 중에서 더미 라인(170)과 중첩되는 영역의 부분이 제거되어 쉴드 홀(162)이 형성된 것으로 도시하고 설명하였으나 이는 본 발명의 여러 실시 예들 중에서 하나를 설명한 것이다.
본 발명의 다른 실시 예에서, 포토아크릴로 절연막을 형성한 구조뿐만 아니라, SiNx 또는 SiO2로 절연막을 형성한 구조에서도 더미 라인(170) 및 쉴드 홀(164)을 형성하여 링크 영역 및 GIP 영역에서의 정전기 파괴를 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 디스플레이 장치의 하부 기판의 비표시 영역을 나타내는 도면이고, 도 7은 하부 기판에 형성된 정전기가 링크 라인 및 GIP 영역에 유입되는 것을 방지한 구조를 설명하기 위한 제2 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 하부 기판(110)의 비 표시 영역에는 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인(120), 복수의 전원 라인(130)이 형성되어 있고, 쉬프트 레지스터 로직(135)이 GIP(gate in panel) 방식으로 형성되어 있다.
비 표시 영역에 형성된 라인들은 듀얼 링크 구조로 형성되며, 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 제1 링크 라인들(122) 및 소스/드레인과 동일 레이어에 형성된 제2 링크 라인들(124)로 구성되어 있다.
제1 링크 라인들을 덮도록 층간 절연층(140)이 형성되어 있고, 층간 절연층(140) 상에 제2 링크 라인들(124)이 형성되어 있다.
제2 링크 라인들(124)을 덮도록 보호층(150, PAS)이 형성되어 있다. 보호층(150) 상에는 포토아크릴(PAC) 물질로 절연막(160)이 2.0um~3.0um의 두께로 형성되어 있다.
제조 공정 중 하부 기판(110)을 척(chuck)에서 박리할 때 대전된 전하가 절연막(160)을 경유하여 임피던스가 낮은 메탈 라인들을 따라 링크 라인 영역 및 GIP 영역에 정전기가 유입될 수 있다.
정전기가 GIP 영역으로 유입되어 층간 절연막(140)이 파괴되는 것을 방지하기 위해서, GIP 영역의 외곽을 둘러싸도록 소정 폭(w)을 가지는 스트라이프 형태의 트렌치(164, trench)가 형성되어 있다.
GIP 영역의 외곽과 중첩되는 부분의 절연막(160)이 제거되어 GIP 영역의 외곽을 둘러싸도록 스트라이프 형태의 트렌치(164, trench)가 형성된다.
GIP 영역의 공통 전압 라인(120), 복수의 전원 라인(130) 및 쉬프트 레지스터 로직(135)과 GIP 영역 밖의 링크 라인들 사이에 트렌치(164)가 형성되어 외부에서 유입된 정전기가 GIP 영역 내부로 유입되는 것을 차단한다.
하부 기판(110)을 척(chuck)에서 박리할 때 대전된 전하가 절연막(160)을 경유하여 임피던스가 낮은 메탈 라인들로 흐르게 되는데, 트렌치(164)에 의해 GIP 영역의 내부와 외부를 물리적으로 분리시켜 정전기가 GIP 영역 내부로 유입되는 것을 차단함으로써, 정전기에 의해 층간 절연막(140)을 파손시키는 것을 방지한다.
앞의 설명에서는 포토아크릴 물질로 형성된 절연막(160) 중에서 GIP 영역 외곽 부분이 제거되어 트렌치(164)가 형성된 것으로 도시하고 설명하였으나 이는 본 발명의 여러 실시 예들 중에서 하나를 설명한 것이다.
본 발명의 다른 실시 예에서, 포토아크릴로 절연막을 형성한 구조뿐만 아니라, SiNx 또는 SiO2로 절연막을 형성한 구조에서도 트렌치(164)를 형성하여 링크 영역 및 GIP 영역에서의 정전기 파괴를 방지할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당 업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110: 하부 기판 120: 공통 전압 라인
130: 전원 라인 135: 쉬프트 레지스터 로직
122: 제1 링크 라인 124: 제2 링크 라인
140: 층간 절연층 150: 보호층
160: 절연막 162: 쉴드 홀
164: 트렌치 170: 더미 라인

Claims (7)

  1. 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인, 복수의 전원 라인 및 쉬프트 레지스터 로직이 하부 기판의 비 표시 영역에 형성된 액정 디스플레이 장치에 있어서,
    하부 기판의 비 표시 영역에서 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 복수의 제1 링크 라인;
    상기 복수의 제1 링크 라인을 덮도록 형성된 층간 절연막;
    상기 층간 절연막 상에 형성된 복수의 제2 링크 라인 및 상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역의 외곽을 둘러싸도록 형성된 더미 라인;
    상기 제2 링크 라인과 상기 더미 라인을 덮도록 형성된 보호층;
    상기 보호층 상에 형성된 절연막; 및
    상기 더미 라인과 중첩되는 영역의 절연막이 제거되어 형성된 복수의 쉴드 홀을 포함하고,
    상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역으로 유입되는 정전기를 상기 더미 라인 및 상기 쉴드 홀로 차단하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 쉴드 홀은 상기 더미 라인을 따라서 일정 간격을 두고 형성된 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 더미 라인은 소스/드레인과 동일 레이어에 형성된 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 쉴드 홀의 내부에는 투명 전도성 물질로 아일랜드 패턴의 투명 라인이 형성되고,
    상기 더미 라인과 상기 투명 라인이 컨택된 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  5. 복수의 링크 라인, 복수의 공통 전압 라인, 복수의 전원 라인 및 쉬프트 레지스터 로직이 하부 기판의 비 표시 영역에 형성된 액정 디스플레이 장치에 있어서,
    상기 하부 기판의 비 표시 영역에서 게이트 라인과 동일 레이어에 형성된 복수의 제1 링크 라인;
    상기 복수의 제1 링크 라인을 덮도록 형성된 층간 절연막;
    상기 층간 절연막 상에 형성된 복수의 제2 링크 라인;
    상기 제2 링크 라인을 덮도록 형성된 보호층;
    상기 보호층 상에 형성된 절연막; 및
    상기 쉬프트 레지스터 로직의 외곽에 형성된 절연막이 제거되어 형성된 트렌치를 포함하고,
    상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역으로 유입되는 정전기를 상기 트렌치로 차단하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 트렌치는 상기 쉬프트 레지스터 로직이 형성된 영역의 외곽을 둘러싸도록 형성된 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  7. 제5 항 또는 제6 항에 있어서,
    상기 트렌치는 소정 폭을 가지는 스트라이프 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
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