KR102042669B1 - 전자기적 성질 검측 장비용 샘플 마운트 어셈블리 - Google Patents

전자기적 성질 검측 장비용 샘플 마운트 어셈블리 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 제1자극을 띄는 제1자극체 및 상기 제1자극체에 대하여 이격되어 제2자극을 띄는 제2자극체가 구비된 전자석을 포함하는 전자기적 성질 검측 장비에 이용되는 샘플마운트어셈블리로서, 검측 대상이 되는 샘플이 장착되는 샘플홀더; 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대하여 제1자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 제1변조코일; 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대하여 제2자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 제2변조코일; 및 상기 샘플홀더가 장착되거나 탈거될 수 있으며, 상기 제1변조코일 또는 상기 제2변조코일을 지지하는 마운트바디(mount body); 를 포함하되, 상기 마운트바디의 내측에는 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대한 전자기적 성질 검측이 이루어지는 검측공간이 마련되어 있고, 상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착되면 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측공간 상의 검측위치에 위치될 수 있으므로 변조코일을 전자석 전극에 감지 않아도 되기 때문에 맴돌이 전류가 문제되지 아니하며, 노이즈 전압의 발생이 억제되므로 스핀전류 검측과 역스핀홀 전압측정의 정확성이 증대되는 기술이 개시된다.

Description

전자기적 성질 검측 장비용 샘플 마운트 어셈블리{Sample Mount Assembly of Electromagnetic Property Measurement Equipment}
본 발명은 외부의 자기장 영향을 받는 샘플의 전자기적 특성을 검측하기 위한 전자기적 성질 검측 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자석이 구비된 전자기적 성질 검측 장비 내에 위치된 샘플의 전자기적 성질 검측 정확성을 향상시켜주기 위한 샘플 마운트 어셈블리에 관한 것이다.
오늘날 각종 전자기 소자를 이용한 다양한 기기의 개발과 보급의 영향으로 인간의 삶의 편의를 상당히 증진시켜주고 있다. 이처럼 인간의 삶의 편의를 증진시켜줄 각종 전자기기를 개발하기 위하여 기기에 이용되는 소자에 대한 전자기적 특성에 대한 연구와 개발이 필수적으로 요구된다.
소자샘플에 대하여 강자성 공명신호나 역스핀홀 전압과 같은 전자기적 특성을 연구하기 위하여 상당히 높은 자기장을 형성시킬 수 있는 전자석이 구비된 전자기적 성질 검측 장비가 많이 이용되고 있다. 도 1에는 종래기술에 따른 전자기적 성질 검측장비의 예시적인 형태가 개략적으로 도시되었다.
도 1에 도시된 바와 같은 종래의 전자기적 성질 검측장비는 전자석(7)의 전자석전극(8)에 변조코일(5)이 각기 배치되어 있고, 두 전자석전극(8) 사이에 신호선(2)과 전압측정패드(3)이 마련된 기판(4)이 배치되고, 이 기판(4)의 상측에 샘플(1)이 배치되며, 인근에 자기장센서(6)이 배치된 구조를 갖추고 있었다.
강자성 공명신호조사를 위해서는 외부자기장을 형성하는 전자석(7)에 변조코일(5)을 전자석 전극(8)에 감아서 교류자기장을 형성시켰었다.
하지만, 변조코일(5)을 직접 전자석 전극(8)에 감아서 사용하므로 추가적으로 전자석 전극(8)에 에디전류(eddy current)가 형성되는데 이러한 에디전류는 목표로 하는 자기장의 크기를 형성시키는데 장애요소가 된다는 문제점이 있었으며, 전자석(7)에는 열발생(hysteresis loss)의 문제가 생긴다.
그리고, 이러한 종래의 전자기적 성질 검측 장비를 이용하여 종래에는 자기장센서(6)을 전자석전극(8)의 부근에 위치시켜서 값을 측정하였기에 상대적으로 시료 부근에서의 외부자기장의 크기값과는 차이가 있었다.
기존에는 강자성공명이라는 현상을 이용하여 스핀전류를 생성시켰으며, 스핀전류를 계측하기 위해서 역스핀홀 현상을 이용하였었다. 강자성 공명이 발생하는 시점에 역스핀홀 전압신호를 측정하기 위해서 종래에는 기판(4)에 신호선(2), 전압측정패드(3), 샘플(1) 모두 미세공정을 통해서 제작해야 한다는 번거로움이 있었다.
또한 역스핀홀전압을 측정하기 위해서 외부자기장의 방향과 시료의 전압측정방향 사이에 특정한 각도를 설정하여 주고 이방성 자기저항으로부터 발생되는 전압을 측정하여서 역스핀홀전압값을 추출하게 되는데, 이는 측정하고자 하는 본래의 신호에 노이즈전압신호가 항상 개입된다는 문제점 등이 있었으며 이러한 문제점들을 해결할 수 있는 기술이 요구되고 있었다.
대한민국 등록특허 10-1230423 대한민국 등록특허 10-0419005
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 강저자성 공명 계측시 멤돌이 전류 또는 에디전류로 인한 측정상의 장애를 극복하여 샘플에 대한 전자기적 성질을 검측의 정확성을 증진시킬 수 있는 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리는 제1자극을 띄는 제1자극체 및 상기 제1자극체에 대하여 이격되어 제2자극을 띄는 제2자극체가 구비된 전자석을 포함하는 전자기적 성질 검측 장비에 이용되는 샘플마운트어셈블리로서, 검측 대상이 되는 샘플이 장착되는 샘플홀더; 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대하여 제1자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 제1변조코일; 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대하여 제2자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 제2변조코일; 및 상기 샘플홀더가 장착되거나 탈거될 수 있으며, 상기 제1변조코일 또는 상기 제2변조코일을 지지하는 마운트바디(mount body); 를 포함하되, 상기 마운트바디의 내측에는 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대한 전자기적 성질 검측이 이루어지는 검측공간이 마련되어 있고, 상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착되면 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측공간 상의 검측위치에 위치될 수 있는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 제1자기장벡터 및 상기 제2자기장벡터의 합이 지향하는 방향이 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 형성되는 자기장의 방향에 평행한 방향이 되도록 상기 제1변조코일에 의하여 상기 제1자기장벡터방향으로 자기장이 형성되고 상기 제2변조코일에 의하여 상기 제2자기장벡터방향으로 자기장이 형성되는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 제1변조코일 및 상기 제2변조코일이 적어도 일부분에서 서로 교차하는 형태를 갖추도록 상기 마운트바디에 상기 제1변조코일 및 상기 제2변조코일이 설치된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 제1변조코일이 상기 마운트바디에 정착될 수 있도록 상기 마운트바디에는 제1코일홈이 형성되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 제2변조코일이 상기 마운트바디에 정착될 수 있도록 상기 마운트바디에 제2코일홈이 형성되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 마운트바디에는 상기 검측위치 상에 위치된 상기 샘플의 상태를 확인하기 위한 뷰포트가 형성되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 마운트바디의 일측 또는 타측에는, 상기 제1자극체 또는 상기 제2자극체가 상기 마운트바디의 상기 검측공간 내에 위치하고 있는 상기 샘플 측으로 근접할 수 있도록 자극체인입구가 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 외부로부터 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체 사이로 상기 마운트바디가 진입하여 상기 샘플에 대한 검측이 이루어질 수 있는 지점에 위치할 수 있도록 이동을 보조할 수 있는 마운트바디지지수단이 상기 마운트바디에 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 샘플홀더의 적어도 일부분이 상기 마운트바디의 내측으로 인입되어 상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착될 수 있도록 상기 마운트바디에는 샘플홀더인입구가 마련되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측위치에서 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 형성된 자기력선의 방향 또는 수평방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 설정하는 것을 보조하기 위한 기울기보조수단이 상기 마운트바디에 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 마운트바디 또는 상기 샘플홀더에 의하여 지지되고, 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 상기 샘플에 인가되는 자기장의 세기 또는 크기를 검측하는 자기센서; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 샘플홀더는, 상기 샘플에 대한 접지와 신호전달을 위하여 상측면에 접지와 신호선이 패턴되어 있으며, 상측면에 상기 샘플이 배치되는 접지-신호-접지판; 상기 접지-신호-접지판과 체결되어 상기 접지-신호-접지판을 지지하는 샘플홀더바디; 및 일측이 상기 접지-신호-접지판에 배치된 상기 샘플의 상측에 접하면서 상기 샘플을 홀딩시키며, 타측이 상기 샘플홀더바디에 힌지결합된 샘플홀더암; 을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 샘플홀더는, 상기 접지-신호-접지판의 상측면에 배치된 상기 샘플이 상기 접지-신호-접지판 상에서 이탈되지 않도록 상기 샘플홀더암의 일부분이 상기 샘플의 상측에 접한 상태를 유지시켜주기 위하여 상기 샘플홀더암의 일측과 상기 접지-신호-접지판을 결합시켜주는 고정볼트; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 샘플홀더는, 상기 샘플홀더바디에 장착될 수 있으며, 일측에 장착되는 상기 자기센서를 지지하는 자기센서바(magnetic sensor bar); 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 자기센서바의 일측에 장착된 상기 자기센서가 상기 샘플의 하측에 위치될 수 있도록 상기 자기센서바가 삽입될 수 있는 자기센서바인입구가 상기 샘플홀더바디에 형성되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 자기센서바인입구에 삽입된 상기 자기센서바의 길이방향 중심축이 상기 샘플홀더의 길이방향 중심축과 일치하며, 상기 샘플이 상기 자기센서바의 중심축을 중심으로 하여 소정의 각도로 회전될 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 샘플홀더바디의 타측에는 상기 샘플이 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체 사이에 형성된 자기력선의 방향에 대하여 소정의 각도로 기울어질 수 있도록 상기 샘플홀더바디의 타측에는 상기 자기센서바를 중심으로 하여 상기 샘플홀더바디를 회전시킬 수 있는 샘플홀더손잡이; 가 마련되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 샘플홀더의 적어도 일부분이 상기 마운트바디의 내측으로 인입되면서 상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착될 수 있도록 상기 마운트바디에는 샘플홀더인입구가 마련되어 있고, 상기 샘플홀더인입구로 삽입되어 상기 마운트바디에 장착된 상기 샘플홀더는 상기 샘플홀더인입구 내에서 회전될 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측위치에서 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 형성된 자기력선의 방향 또는 수평방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 설정하는 것을 보조하기 위한 기울기보조수단이 상기 마운트바디와 상기 샘플홀더바디에 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리는, 변조코일을 전자석 전극에 감지 않아도 되기 때문에 맴돌이 전류가 문제되지 아니하며, 노이즈 전압의 발생이 억제되므로 스핀전류 검측과 역스핀홀 전압측정의 정확성이 증대되는 효과가 있다.
도 1은 종래의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리에서 마운트바디의 측단면을 개략적으로 나타낸 사시단면도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 일부분을 확대하여 개략적으로 나타낸 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리에서 자기센서바와 샘플 사이의 상대적 위치관계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 샘플홀더 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 샘플홀더의 측단면을 개략적으로 나타낸 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리에서 샘플에 대한 검측을 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 개념도이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리에서 마운트바디의 측단면을 개략적으로 나타낸 사시단면도면이며, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 일부분을 확대하여 개략적으로 나타낸 측단면도이고, 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리에서 자기센서바와 샘플 사이의 상대적 위치관계를 설명하기 위한 단면도이며, 도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 샘플홀더 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리의 샘플홀더의 측단면을 개략적으로 나타낸 측단면도이며, 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리에서 샘플에 대한 검측을 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 개념도이다.
이하 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 내지 도 9에서 참조되는 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리는 제1자극을 띄는 제1자극체 및 제1자극체에 대하여 이격되어 제2자극을 띄는 제2자극체가 구비된 전자석을 포함하는 전자기적 성질 검측장비에 이용되는 것으로서, 마운트바디, 제1변조코일, 제2변조코일 및 샘플홀더를 포함하여 이루어지며, 바람직하게는 자기센서(도면에 미도시)를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
제1자극과 제2자극은 각기 자기극인 N극 또는 S극에 해당된다. 제1자극이 N극이면 제2자극은 S극이며, 제1자극이 S극이면 제2자극은 N극이 된다. 제1자극체는 검측장비의 전자석에서 전류를 공급할 때 제1자극을 띄게 되는 부분인 단자체를 말하며, 제2자극체는 전류가 공급되었을 때 제2자극을 띄는 단자체를 의미한다.
샘플홀더는 검측 대상인 샘플(90)이 안정적으로 검측될 수 있도록 샘플(90)을 장착한다.
그리고, 제1변조코일(210)은 샘플홀더에 장착된 샘플(90)에 대하여 제1자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 것이고, 제2변조코일(230)은 샘플홀더에 장착된 샘플(90)에 대하여 제2자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 것이다.
마운트바디(200)에는 샘플홀더가 장착되거나 탈착될 수 있다. 따라서, 샘플이 장착된 샘플홀더를 마운트바디(200)에 장착시킨 후 전자기적 성질 검측장비 내에 배치시켜서 샘플(90)에 대한 검측이 이루어질 수 있다.
그리고 제1변조코일(210)과 제2변조코일(230)에 의해 형성되는 자기장이 안정적으로 샘플(90)에 자기력을 미칠 수 있도록 마운트바디(200)는 제1변조코일(210)과 제2변조코일(230)을 지지하여 준다.
자기센서는 샘플(90)에 인가되는 자기장의 세기 또는 크기를 검측하기 위한 것이다.
이하 도면을 참조하여 마운트바디(200), 제1변조코일(210), 제2변조코일(230), 샘플홀더 및 자기센서 등 각 구성에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다.
앞서 언급한 바와 같이 마운트바디(200)에는 샘플홀더가 장착 또는 탈거될 수 있다. 도 2 및 도 4에서는 마운트바디(200)에 샘플홀더가 장착된 형태를 개략적으로 나타내었으며, 도 3에서는 샘플홀더가 탈거된 마운트바디(200)의 측단면을 개략적으로 나타내었다. 도 3에 도시된 바와 같은 마운트바디(200)에 도 6에 도시된 샘플홀더가 장착이 되면 도 2 또는 도 4에 나타낸 바와 같은 샘플마운트어셈블리가 된다.
도면에서 참조되는 바와 같이 마운트바디(200)의 상측과 하측에는 전자기적 성질 검측장비 내에서 마운트바디(200)을 받쳐주면서 지지할 수 있는 마운트바디지지수단(250)이 마련되어 있는 것이 바람직하다.
특히 이러한 마운트바디지지수단(250)은, 외부로부터 전자기적 성질 검측장비의 제1자극체(미도시) 및 제2자극체(미도시) 사이로 마운트바디(200)가 진입하여 샘플(90)에 대한 검측이 이루어질 수 있는 지점에 위치할 수 있도록 이동을 보조할 수도 있는 것이 바람직하다. 이러한 마운트바디지지수단의 바람직한 예로서 보조바퀴(250)를 들을 수 있다.
그리고 마운트바디(200)는 도 2에서 참조되는 바와 같이 상측과 하측이 대칭적인 형태를 갖추고 있는 것이 바람직하다. 도 2에 도시된 바와 같이 마운트바디(200)가 상측과 하측이 가운데를 중심으로 대칭적인 형태를 갖추면 상측과 하측을 구별하지 않아도 되므로 이용상의 편의성이 좀 더 증대될 수 있다는 점에서 바람직하다.
도 3에서 참조되는 바와 같이 마운트바디(200)의 내측에는 샘플홀더에 장착된 샘플(90)에 대한 전자기적 성질 검측이 이루어지는 검측공간(280)이 마련되어 있다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같은 샘플홀더가 도 3에 도시된 바와 같은 마운트바디(200)에 장착되면,도 4에 도시된 바와 같이 샘플홀더에 장착된 샘플(90)이 검측공간(240) 상의 검측위치에 위치하게 된다.
여기서, 검측위치라 함은 샘플(90)에 대한 검측이 이루어질 때 검측공간(240) 내에서의 샘플(90)의 위치를 말한다.
그리고, 마운트바디(200)의 일측 또는 타측에는, 제1자극체 또는 제2자극체가 마운트바디(200)의 검측공간(240) 내에 위치하고 있는 샘플(90) 측으로 근접할 수 있도록 자극체인입구(270)가 마련된 것이 바람직하다.
이 자극체인입구(270)을 통해 제1자극체 또는 제2자극체가 검측공간(240) 내로 진입 또는 이탈될 수 있다. 따라서, 샘플(90)을 사이에 두고 있는 제1자극체 및 제2자극체 사이의 간격을 조절할 수 있는 선택의 범위를 확장시킬 수 있다는 장점이 있다.
제1자극체 및 제2자극체 사이의 간격의 크기에 따라서 전자석에 의해 인가되는 자기장의 최대값이 설정될 수 있으므로 제1자극체 및 제2자극체 사이의 간격을 조절될 수 있는 것이 바람직하다.
따라서, 도시된 바와 같이 자극체인입구(270)의 형태 이외에도 제1자극체 및 제2자극체가 마운트바디(200)내의 검측공간(240) 상으로 진입되어 제1자극체 및 제2자극체 사이의 간격을 조절할 수 있도록 마운트바디(200)의 일부분이 개방된 형태를 갖출 수도 있으며 이 또한 충분히 바람직하다고 할 수 있다.
그리고, 마운트바디(200)가 제1자극체 또는 제2자극체 사이에 진입할 때 마운트바디(200)가 제1자극체 또는 제2자극체에 걸리지 않고 진입할 수 있도록 가이드를 하기 위한 자극체인입가이드홈(275)이 마운트바디(200)에 마련되어 있는 것도 바람직하다.
그리고, 마운트바디(200)에는 제1변조코일(210)과 제2변조코일(230)이 정착된다.
즉, 제1변조코일(210)이 마운트바디(200)에 정착될 수 있도록 마운트바디(200)에는 제1코일홈(215)이 형성되어 있고, 제2변조코일(230)이 마운트바디(200)에 정착될 수 있도록 마운트바디(200)에 제2코일홈(235)이 형성되어 있다.
제1변조코일(210)은 제1코일홈을 따라 마운트바디(200)에 정착되며, 제2변조코일(230)은 제2코일홈을 따라 마운트바디(200)에 정착된다. 여기서 제1변조코일(210)이 제1코일홈을 따라 감긴 후 제1코일홈내에서 유격이 생기지 않도록 점착제 또는 접착제로 제1코일홈을 메꾸어 주는 것이 바람직하다. 마찬가지로 제2변조코일(230)이 제2코일홈을 따라 감긴 후 제2코일홈 내에서 유격이 생기지 않도록 접착재로 제2코일홈을 메꾸어 주는 것이 바람직하다.
외부로부터 제1변조코일(210)로 전력이 공급되면 제1자기장이 형성된다. 마찬가지로 외부로부터 제2변조코일(230)로 전력이 공급되면 제2자기장이 형성된다.
여기서, 제1자기장벡터 및 제2자기장벡터의 합이 지향하는 방향이 제1자극체 및 제2자극체에 의하여 형성되는 자기장의 방향에 대하여 평행한 방향이 되도록 제1변조코일(210)에 의하여 제1자기장벡터방향으로 제1자기장이 형성되고 제2변조코일(230)에 의하여 제2자기장벡터방향으로 제2자기장이 형성되는 것이 바람직하다.
아울러, 제1변조코일(210) 및 제2변조코일(230)이 적어도 일부분에서 서로 교차하는 형태를 갖추도록 마운트바디(200)에 제1변조코일(210) 및 제2변조코일(230)이 설치된 것이 바람직하다. 이를 위해 마운트바디(200)에서 제1코일홈(215)과 제2코일홈(235)의 적어도 일부분에서 서로 교차되는 형태가 되도록 제1코일홈(215)과 제2코일홈(235)이 형성된 것도 바람직하다.
특히, 검측위치에 위치한 샘플(90)의 상측 또는 하측에서 제1변조코일(210) 및 제2변조코일(230)이 서로 교차하는 형태를 갖춘 것이 좀 더 바람직하다.
그리고 후술할 샘플홀더에 장착된 샘플(90)이 제1변조코일(210) 및 제2변조코일(230)이 교차되는 두 지점과 동일한 선상에 배치되어 검측되는 것이 바람직하다. 조금 더 풀어서 설명하자면, 제1변조코일(210)과 제2변조코일(230)은 환형의 형태를 갖추고 있으므로 제1변조코일(210)과 제2변조코일(230)은 두 지점에서 교차하듯이 배치될 수 있다. 그리고 기하학적으로 공간 상의 두 지점은 하나의 직선 상에 놓인다. 따라서 샘플(90)이 제1변조코일(210) 및 제2변조코일(230)이 교차되는 두 지점을 지나는 하나의 직선 선상에 배치되고 검측이 이루어지는 것이 바람직하다는 것이다.
이러한 배치의 확인을 위해 마운트바디(200)에 뷰포트(260)가 마련되며, 제1변조코일(210) 및 제2변조코일(230)이 교차하는 지점과 샘플(90)의 위치를 뷰포트(260)를 통해 확인할 수 있다.
즉, 마운트바디(200)에는 검측위치 상에 위치된 샘플(90)의 상태를 확인하기 위한 뷰포트(view port)(260)가 형성되어 있는 것 또한 바람직하다. 마운트바디(200)에 마련된 뷰포트(260)을 통하여 샘플(90)의 상태를 육안으로 확인할 수 있으므로 바람직하다는 것이다.
그리고, 샘플홀더의 적어도 일부분이 마운트바디(200)의 내측으로 인입되어 샘플홀더가 마운트바디(200)에 장착될 수 있도록 마운트바디(200)에는 샘플홀더인입구(280)가 마련되어 있는 것이 바람직하다. 마운트바디(200)의 샘플홀더인입구(280)를 통해 샘플홀더에 장착된 샘플(90)이 검측공간(240)으로 인입되며, 샘플홀더인입구(280)가 샘플홀더가 마운트바디(200)에 자리잡을 수 있도록 지지해주므로, 샘플(90)이 검측위치에 안정적으로 배치될 수 있게 된다.
그리고, 샘플홀더에 장착된 샘플(90)이 검측위치에서 제1자극체 및 제2자극체에 의하여 형성된 자기력선의 방향 또는 수평방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 설정하는 것을 보조하기 위한 기울기보조수단이 마운트바디(200)에 마련된 것 또한 바람직하다. 이러한 기울기보조수단의 바람직한 일 예로 일정 각도마다 표시된 눈금(363)을 들을 수 있다. 여기서 일정각도는 후술할 자기센서바(도 2, 도 6 또는 도 7의 400)의 중심축을 중심으로 하는 각도를 말한다.
아울러 샘플홀더에도 마운트바디(200)의 기울기보조수단에 대응되어 기울기보조수단이 마련되며, 마운트바디(200)에 마련된 기울기보조수단인 각도표시 눈금(363)에 대응하여 샘플홀더의 기울기보조수단으로서 눈금(360)이 표시된 것이 바람직하다.
그리고, 샘플홀더에 마련된 눈금(360)은 샘플(90)의 상측면에 대하여 수직 또는 수평으로 표시되며, 마운트바디(200)에 표시된 눈금(363)을 통해 샘플(90)이 기울어지는 각도가 어느 정도 되는지 확인 또는 샘플(90)이 전자석에 의한 자기력선의 방향에 대한 기울기 각도 값의 설정을 할 수 있게 된다.
따라서, 샘플(90)이 외부 자기장과 이루는 각도에 따른 강자성 공명신호 혹은 역스핀홀 전압 신호 측정을 위한 샘플(90)의 기울기각도 설정 또는 조정이 가능하게 된다.
아울러, 본 발명의 전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리에 더 포함될 수 있는 자기센서는 마운트바디(200) 또는 샘플홀더에 의하여 지지된다. 본 발명의 실시 예에서 자기센서는 도면에서 참조되는 바와 같이 샘플홀더 내측에 배치되어 지지되는 형태를 설명한다. 자기센서는 제1자극체 및 제2자극체에 의하여 샘플(90)에 인가되는 자기장의 세기 또는 크기를 검측한다.
이러한 자기센서는 후술할 자기센서바(400)에 장착되어 샘플(90) 근처에 위치하게 된다. 따라서, 샘플(90)에 대한 검측이 이루어지는 검측위치에서의 자기장의 세기 등을 정확히 측정할 수 있게 된다.
샘플홀더는 접지-신호-접지(ground-signal-ground)판(340), 샘플홀더바디(310) 및 샘플홀더암(330)을 포함하여 이루어진다.
접지-신호-접지판(340)은 샘플(90)에 대한 접지와 신호전달을 위하여 상측면에 접지(344)와 신호선(342)이 패턴되어 있다. 즉, 도면에서 참조되는 바와 같이 신호선(342)을 가운데에 두고 양 옆에 접지(344)선이 배치되도록 패턴되어 있다. 샘플(90)의 하측면이 접지(344)-신호(342)-접지(344)의 상측에 접하도록 접지-신호-접지판(340)의 상측면에 샘플(90)이 배치된다.
그리고 접지-신호-접지 연결커넥터(345)가 접지-신호-접지판(340)과 전기적 연결이 되도록 샘플홀더바디(310)에 구비된 것이 바람직하다. 접지-신호-접지 연결커넥터(345)는 신호선(342)과 접지(344)와 각기 따로 연결되어 있다. 접지-신호-접지판(340)의 패턴은 50옴(ohm) 매칭이 되게 디자인된 것도 바람직하다.
샘플홀더바디(sample holder body)(310)는 접지-신호-접지판(340)과 체결되어 접지-신호-접지판(340)을 지지한다. 그리고 이러한 샘플홀더바디(310)에는 샘플홀더암(330)이 구비된다.
샘플홀더암(sample holder arm)(330)은 일측이 접지-신호-접지판(340)에 배치된 샘플(90)의 상측에 접하면서 샘플(90)을 홀딩시킨다. 그리고 샘플홀더암(330)의 타측이 샘플홀더바디(310)에 힌지결합(337)되어 있다.
따라서 힌지결합(337)축을 중심으로 소정의 각도 범위내에서 샘플홀더바디(310) 및 접지-신호-접지판(340)에 대하여 벌어지거나 접혀지는 움직임이 가능하며, 샘플홀더암(330)이 샘플홀더바디(310) 및 접지-신호-접지판(340)에 대하여 접혀지면서 샘플(90)을 접지-신호-접지판(340)에 고정되도록 눌러주게 된다.
이처럼, 샘플홀더암(330)이 샘플(90)을 접지-신호-접지판(340)에 고정되도록 눌러주는 상태를 안정적으로 유지하기 위한 고정볼트(335)가 샘플홀더에 더 포함되는 것 또한 바람직하다.
고정볼트(335)는 접지-신호-접지판(340)의 상측면에 배치된 샘플(90)이 접지-신호-접지판(340) 상에서 이탈되지 않도록 샘플홀더암(330)의 일부분이 샘플(90)의 상측에 접한 상태를 유지시켜주기 위하여 상기 샘플홀더암(330)의 일측과 상기 접지-신호-접지판(340)을 결합시켜준다.
이러한 고정볼트(335)가 샘플홀더암(330)의 일측과 상기 접지-신호-접지판(340)을 결합시켜주기 위하여 샘플홀더암(330)의 일측과 접지-신호-접지판(340)에는 고정볼트체결구(333)가 마련되어 있는 것이 바람직하다. 고정볼트(335)가 고정볼트체결구(333)에 삽입되어 체결되면서 샘플홀더암(330)의 일측과 접지-신호-접지판(340)이 결합된다.
이처럼 샘플홀더암(330)과 고정볼트(335)에 의해 샘플(90)이 접지-신호-접지판(340) 상에 안정적으로 고정될 수 있으며, 따라서 역스핀홀 전압측정 시 노이즈 전압신호 발생을 억제시킬 수 있으며, 샘플(90)의 기울기 각도에 따른 신호 조사시 안정적인 신호계측이 이루어질 수 있다.
앞서 언급한 바 있는 자기센서바(magnetic sensor bar; 400) 또한 샘플홀더에 더 포함될 수 있으며 바람직하다.
자기센서바(400)의 일측에는 자기센서가 장착되며, 자기센서바(400)는 자기센서를 지지한다. 이러한 자기센서바(400)는 샘플홀더바디(310)에 장착될 수 있다.
여기서, 자기센서바(400)의 일측에 장착된 자기센서가 샘플(90)의 하측에 위치될 수 있도록 자기센서바(400)가 삽입될 수 있는 자기센서바인입구(370)가 샘플홀더바디(310)에 형성되어 있는 것이 바람직하다.
그리고 도 8에서 참조되는 바와 같이, 자기센서바인입구(370)에 삽입된 자기센서바(400)의 길이방향 중심축이 샘플홀더의 길이방향 중심축과 일치하며, 샘플(90)이 자기센서바(400)의 중심축을 중심으로 하여 소정의 각도로 회전될 수 있는 것이 바람직하다.
즉, 샘플홀더의 회전에 의하여 샘플(90)이 소정의 각도로 기울어지더라도 자기센서는 독립적으로 외부 자기장의 값을 계측하여야 하므로 항상 고정되어 있는 것이 바람직하다. 따라서 샘플(90)이 회전하더라도 자기센서는 고정되어 있을 수 있도록 도 8에 도시된 바와 같이 서로 분리되어 독립적인 것이 바람직하다.
따라서, 도 8에서 참조되는 바와 같이 자기센서바(400)를 중심으로 샘플(90) 또는 샘플홀더를 회전시켜주기 위하여 샘플홀더에 샘플홀더손잡이(350)가 마련되어 있는 것이 바람직하다.
다시 말해서, 샘플홀더바디(310)의 타측에는 샘플(90)이 제1자극체 및 제2자극체 사이에 형성된 자기력선의 방향에 대하여 소정의 각도로 기울어질 수 있도록 샘플홀더바디(310)의 타측에는 자기센서바(400)를 중심으로 하여 샘플홀더바디(310)를 회전시킬 수 있도록 샘플홀더손잡이(350)가 마련되어 있는 것이 바람직하다는 것이다.
샘플홀더손잡이(350)를 이용하여 자기센서바(400)를 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 샘플홀더를 돌려줄 수 있으며. 이와 같이 샘플홀더가 자기센서바(400)를 중심으로 소정의 각도로 회전됨에 따라 샘플(90) 또한 자기센서바(400)를 중심으로 하여 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다.
따라서, 전자석의 자기력선 방향에 대한 샘플(90)의 기울기 변화에 따른 샘플(90)의 전자기적 성질 변화를 검측하는 것 또한 충분히 가능하다.
그리고, 앞서 언급하였지만, 도면에서 참조되는 바와 같이, 샘플홀더의 적어도 일부분이 마운트바디(200)의 내측으로 인입되면서 샘플홀더가 마운트바디(200)에 장착될 수 있도록 마운트바디(200)에는 샘플홀더인입구(280)가 마련되어 있다. 샘플홀더인입구(280)로 삽입되어 마운트바디(200)에 장착된 샘플홀더가 샘플홀더인입구(280) 내에서 회전될 수 있는 것이 바람직하다.
그리고, 샘플홀더에 장착된 샘플(90)이 검측위치에서 제1자극체 및 제2자극체에 의하여 형성된 자기력선의 방향 또는 수평방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 설정하는 것을 보조하기 위한 기울기보조수단이 마운트바디(200)와 샘플홀더바디(310)에 마련된 것이 바람직하다.
이러한 기울기보조수단의 바람직한 일 예로서 도면에서 참조되는 바와 같은 눈금(363)을 들을 수 있다. 샘플홀더손잡이(350)를 통해 샘플홀더를 돌려주면서 샘플홀더와 마운트바디(200)에 표시된 눈금(363)을 이용하여 어느 정도의 각도로 샘플(90)을 기울이고 있는지 파악될 수 있으므로 바람직하다.
그리고 도 9에서 참조되는 바와 같이 샘플(90)은 외부의 볼트미터나 FMR(ferromagnetic resonance) 기기와 같은 외부의 신호처리기 측과 전기적으로 연결되어 검측이 이루어지는 것이 바람직하다. 샘플홀더바디(310)에는 도면에 정확히 표시되지는 않고 개념적으로 표시되었으나 외부의 볼트미터나 FMR 기기와 같은 외부의 신호처리기와 샘플(90)이 전기적으로 연결될 수 있도록 선(wire)이 연결되어 있다.
참고적으로, 선과 샘플(90) 사이의 연결은 샘플(90)에서 통전가능한 접착제를 통해 접합되는 것이 바람직하며, 접착제에 의한 접착부위가 샘플(90)의 수평배치에 영향을 주지 않도록 접지-신호-접지판(340) 또는 샘플홀더바디(310)에 접착부위를 수용할 수는 홈이나 홀이 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 홈이나 홀이 마련되어 있으면 시료의 오염 방지에 도움이 되며, 아울러 샘플(90)이 접지-신호-접지판(340)과 평행하게 배치되는데 방해가 되지 않으므로 바람직하다.
또는 접지-신호-접지판(340)과 샘플(90) 사이에 얇은 두께의 수평층 또는 수평막이 마련되어 있는 것도 바람직하다. 즉, 수평층 또는 수평막은 접지-신호-접지판(340)과 샘플(90)이 수평 또는 평행하게 배치될 수 있도록 보조한다.
이처럼 샘플(90)과 접지-신호-접지판(340)이 수평 또는 평행하게 배치되면 역스핀홀 전압신호 측정 시에 노이즈 전압신호가 중첩되어 측정되는 것이 억제될 수 있으므로 바람직하다.
또한 수평층 또는 수평막은 샘플(90)의 역스핀홀 전압신호 측정 시에 외부에서 공급되는 요소를 제거하고 순수 샘플(90) 내부에서 일어나는 신호만을 계측하기 위해서 접지-신호-접지판(340)의 신호선(342)과 분리하는 용도로 활용될 수도 있다.
이와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 전자기적 성질 검측 장비용 샘플 마운트 어셈블리는 외부의 신호처리기(600)에서 노이즈가 억제된 역스핀홀 전압 신호를 얻을 수 있으며, 노이즈가 저감된 강자성 공명신호를 얻을 수 있다는 장점이 있다.
그리고, 변조코일을 전자석 전극에 감지 않아도 되기 때문에 앞서 언급한 맴돌이 전류 문제 등을 해결할 수 있다는 장점도 있으며, 역스핀홀 전압 측정을 위한 샘플의 오염가능성을 낮출 수도 있으며, 노이즈 전압의 발생을 억제시킬 수 있으므로 스핀전류 검측의 정확성을 증진시켜줄 수도 있다는 장점도 있다.
나아가 기존의 전자석에 맴돌이전류의 영향이 없으므로 전자석 자체 재료 물성에 따른 히스테리시스 로스 현상(hysteresis loss effect) 또는 열발생이 억제된다는 장점도 있다.
또한 기존의 전자기적 성질 검측장비에 그대로 활용하여 정확한 계측이 가능하다는 장점도 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
90 : 샘플 200 : 마운트바디
210 : 제1변조코일 230 : 제2변조코일
240 : 검측공간 250 : 보조바퀴
270 : 자극체인입구 275 : 자극체인입가이드홈
280 : 샘플홀더인입구 310 : 샘플홀더바디
330 : 샘플홀더암 333 : 고정볼트체결구
335 : 고정볼트 340 : 접지-신호-접지판
342 : 신호선, 신호패턴 344 : 접지
345 : 접지-신호-접지연결커넥터 370 : 자기센서바 인입구
400 : 자기센서바 600 : 외부신호처리기

Claims (19)

  1. 제1자극을 띄는 제1자극체 및 상기 제1자극체에 대하여 이격되어 제2자극을 띄는 제2자극체가 구비된 전자석을 포함하는 전자기적 성질 검측 장비에 이용되는 샘플마운트어셈블리로서,
    검측 대상이 되는 샘플이 장착되는 샘플홀더;
    상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대하여 제1자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 제1변조코일;
    상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대하여 제2자기장벡터방향으로 자기장을 형성시켜주기 위한 제2변조코일; 및
    상기 샘플홀더가 장착되거나 탈거될 수 있으며, 상기 제1변조코일 또는 상기 제2변조코일을 지지하는 마운트바디(mount body); 를 포함하되,
    상기 마운트바디의 내측에는 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플에 대한 전자기적 성질 검측이 이루어지는 검측공간이 마련되어 있고,
    상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착되면 상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측공간 상의 검측위치에 위치되고,
    상기 샘플 홀더와 상기 샘플은 상기 마운트바디에 장착되어 상기 마운트바디에 대해 상기 샘플홀더의 외주면을 따라 상대적으로 원회전을 하고,
    상기 제1 변조 코일과 상기 제2 변조 코일은 상기 제1 자극체와 상기 제2 자극체로부터 분리되고,
    상기 제1 변조 코일과 상기 제2 변조 코일의 적어도 일부분은 상기 마운트바디에서 서로 교차하는 형태를 갖추도록 설치되고,
    상기 제1자기장벡터 및 상기 제2자기장벡터의 합이 지향하는 방향이 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 형성되는 자기장의 방향에 평행한 방향이 되도록 상기 제1변조코일에 의하여 상기 제1자기장벡터방향으로 자기장이 형성되고 상기 제2변조코일에 의하여 상기 제2자기장벡터방향으로 자기장이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제1변조코일이 상기 마운트바디에 정착될 수 있도록 상기 마운트바디에는 제1코일홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제2변조코일이 상기 마운트바디에 정착될 수 있도록 상기 마운트바디에 제2코일홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 마운트바디에는 상기 검측위치 상에 위치된 상기 샘플의 상태를 확인하기 위한 뷰포트가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 마운트바디의 일측 또는 타측에는,
    상기 제1자극체 또는 상기 제2자극체가 상기 마운트바디의 상기 검측공간 내에 위치하고 있는 상기 샘플 측으로 근접할 수 있도록 자극체인입구가 마련된 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  8. 제 1항에 있어서,
    외부로부터 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체 사이로 상기 마운트바디가 진입하여 상기 샘플에 대한 검측이 이루어질 수 있는 지점에 위치할 수 있도록 보조할 수 있는 마운트바디지지수단이 상기 마운트바디에 마련된 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측 장비용 샘플마운트어셈블리.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 샘플홀더의 적어도 일부분이 상기 마운트바디의 내측으로 인입되어 상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착될 수 있도록
    상기 마운트바디에는 샘플홀더인입구가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측위치에서 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 형성된 자기력선의 방향 또는 수평방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 설정하는 것을 보조하기 위한 기울기보조수단이 상기 마운트바디에 마련된 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 마운트바디 또는 상기 샘플홀더에 의하여 지지되고,
    상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 상기 샘플에 인가되는 자기장의 세기 또는 크기를 검측하는 자기센서; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 샘플홀더는,
    상기 샘플에 대한 접지와 신호전달을 위하여 상측면에 접지와 신호선이 패턴되어 있으며, 상측면에 상기 샘플이 배치되는 접지-신호-접지판;
    상기 접지-신호-접지판과 체결되어 상기 접지-신호-접지판을 지지하는 샘플홀더바디; 및
    일측이 상기 접지-신호-접지판에 배치된 상기 샘플의 상측에 접하면서 상기 샘플을 홀딩시키며, 타측이 상기 샘플홀더바디에 힌지결합된 샘플홀더암; 을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 샘플홀더는,
    상기 접지-신호-접지판의 상측면에 배치된 상기 샘플이 상기 접지-신호-접지판 상에서 이탈되지 않도록 상기 샘플홀더암의 일부분이 상기 샘플의 상측에 접한 상태를 유지시켜주기 위하여 상기 샘플홀더암의 일측과 상기 접지-신호-접지판을 결합시켜주는 고정볼트; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 샘플홀더는,
    상기 샘플홀더바디에 장착될 수 있으며, 일측에 장착되는 상기 자기센서를 지지하는 자기센서바(magnetic sensor bar); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 자기센서바의 일측에 장착된 상기 자기센서가 상기 샘플의 하측에 위치될 수 있도록 상기 자기센서바가 삽입될 수 있는 자기센서바인입구가 상기 샘플홀더바디에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 자기센서바인입구에 삽입된 상기 자기센서바의 길이방향 중심축이 상기 샘플홀더의 길이방향 중심축과 일치하며,
    상기 샘플이 상기 자기센서바의 중심축을 중심으로 하여 소정의 각도로 회전될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 샘플홀더바디의 타측에는 상기 샘플이 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체 사이에 형성된 자기력선의 방향에 대하여 소정의 각도로 기울어질 수 있도록 상기 샘플홀더바디의 타측에는 상기 자기센서바를 중심으로 하여 상기 샘플홀더바디를 회전시킬 수 있는 샘플홀더손잡이; 가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 샘플홀더의 적어도 일부분이 상기 마운트바디의 내측으로 인입되면서 상기 샘플홀더가 상기 마운트바디에 장착될 수 있도록 상기 마운트바디에는 샘플홀더인입구가 마련되어 있고,
    상기 샘플홀더인입구로 삽입되어 상기 마운트바디에 장착된 상기 샘플홀더는 상기 샘플홀더인입구 내에서 회전될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 샘플홀더에 장착된 상기 샘플이 상기 검측위치에서 상기 제1자극체 및 상기 제2자극체에 의하여 형성된 자기력선의 방향 또는 수평방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지도록 설정하는 것을 보조하기 위한 기울기보조수단이 상기 마운트바디와 상기 샘플홀더바디에 마련된 것을 특징으로 하는,
    전자기적 성질 검측장비용 샘플마운트어셈블리.
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