KR102037372B1 - Fluid pressure regulating valve system for cylinde - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유체를 운반할 수 있도록 이루어진 유체를 저장하는 실린더에 설치되어, 저장된 유체의 배출압력을 설정된 압력으로 배출하되, 배출되는 압력이 설정된 압력조건에서 배출이 이루어질 수 있도록 이루어진 실린더용 유체압력조정밸브체에 관한 것이다.
이러한 본 발명인 실린더용 유체압력조정밸브체는 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터와, 상기 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체의 일측 내에 수용되도록 이루어진 것이다.The present invention is installed in the cylinder for storing the fluid made to transport the fluid, discharge the discharge pressure of the stored fluid to the set pressure, the fluid pressure adjustment for the cylinder made to be discharged under the set pressure conditions It relates to a valve body.
Such a fluid pressure regulating valve body for a cylinder of the present invention adjusts a discharge pressure of a fluid in a cylinder to discharge a first regulator and a fluid having a set pressure adjusted by the first regulator to be set at a set condition. It includes a second regulator to be discharged only when the pressure, the first regulator and the second regulator is to be accommodated in one side of the valve body that is not inserted into the cylinder.

Description

실린더용 유체압력조정밸브체{Fluid pressure regulating valve system for cylinde}Fluid pressure regulating valve system for cylinde

본 발명은 유체를 운반할 수 있도록 이루어진 유체를 저장하는 실린더에 설치되어, 저장된 유체의 배출압력을 설정된 압력으로 배출하되, 배출되는 압력이 설정된 압력조건에서 배출이 이루어질 수 있도록 이루어진 실린더용 유체압력조정밸브체에 관한 것이다.The present invention is installed in the cylinder for storing the fluid made to transport the fluid, discharge the discharge pressure of the stored fluid to the set pressure, the fluid pressure adjustment for the cylinder made to be discharged under the set pressure conditions It relates to a valve body.

일반적으로 다양한 공업적인 공정과 용례에서 신뢰성 있는 공정 가스의 공급원이 필요하며, 특히 반도체 제조공정에서는 식각 공정 등과 같은 다양한 공정에서 공정을 수행하기 위한 가스가 필요하며, 이 가스 공급을 위하여 유체를 운반할 수 있도록 이루어진 유체를 저장하여 운반하는 실린더가 널리 사용되고 있다.In general, a variety of industrial processes and applications require a source of reliable process gas, and in particular, semiconductor manufacturing processes require a gas to perform the process in various processes such as an etching process, and to supply a fluid to supply the gas. Cylinders for storing and transporting fluids that can be made are widely used.

이러한 유체운반 및 저장을 위한 실린더에는 일정한 설정된 압력으로 배출할 수 있도록 하며, 배출 측의 압력조건에서만 가스가 배출될 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브체(유체압력조정밸브시스템)이 설치된다.The cylinder for transporting and storing the fluid is provided with a fluid pressure regulating valve body (fluid pressure regulating valve system) configured to discharge at a predetermined set pressure and to allow gas to be discharged only under the pressure condition of the discharge side.

특히, 공개특허 10-2008-0099342호인 '유체 저장 및 분배용 시스템 및 방법', 공개특허 10-2015-0059776호인 '압력 조절식 유체 보관 및 운반 용기의 스파이크 압력 방지 관리'의 특허문헌에 유체압력조정밸브체(유체압력조정밸브시스템) 기술이 제공되어 있다.In particular, the patent documents of 'Patent storage system and method for fluid storage and distribution', Patent Publication No. 10-2008-0099342, Patent Document 10-2015-0059776, 'Spike pressure prevention management of the pressure-controlled fluid storage and transport container' Control valve body (fluid pressure control valve system) technology is provided.

상기 종래기술로 제공된 유체압력조정밸브체에 관련한 기술에 대하여 도 8을 참조하여 설명하면, The technique related to the fluid pressure regulating valve body provided in the above-described prior art will be described with reference to FIG.

유체운반 및 저장을 위한 실린더(2)에는 저장된 유체(가스)를 설정된 압력으로 배출하되, 배출 측의 압력조건의 상태에서만 배출이 이루어지도록 유체압력조정밸브체(1)가 설치되며,The cylinder 2 for fluid transport and storage discharges the stored fluid (gas) at the set pressure, but the fluid pressure control valve body 1 is installed so that the discharge is performed only under the pressure condition of the discharge side.

설정된 압력으로 배출하되, 배출 측의 압력조건의 상태에서만 배출이 이루어지도록 하기 위한 상기 유체압력조정밸브체(1)에는 배출 측의 압력조건의 상태에서만 배출이 이루어지도록 하기 위한 제2 레귤레이터(1a)와, 실린더(2)에 저장된 유체(가스)를 설정된 압력으로 배출하도록 하는 제1 레귤레이터(1b)를 포함한다.A second regulator 1a for discharging at a set pressure, but for discharging only in a state of a pressure condition on the discharge side, in the fluid pressure regulating valve body 1 for discharging only under a state of discharge pressure. And a first regulator 1b for discharging the fluid (gas) stored in the cylinder 2 at a set pressure.

그러나, 종래에 제공되어 있는 유체압력조정밸브체(1)에 구비된 제1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)는 하부에 위치하여 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간에 수용됨으로써, 제1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)를 연결하는 연결관(1d) 및 이물질을 걸러내기 위한 미립자 필터(1c) 또한 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간에 수용된다.However, the first regulator 1b and the second regulator 1a, which are provided in the conventional fluid pressure regulating valve body 1, are accommodated in the inner space of the cylinder 2, which is located below and stores the fluid, The connecting pipe 1d connecting the first regulator 1b and the second regulator 1a and the particulate filter 1c for filtering foreign matter are also accommodated in the inner space of the cylinder 2 storing the fluid.

이와 같이 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간에 1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)와 연결관(1d) 및 미립자 필터(1c)가 설치됨으로써 유체를 저장할 수 있는 체적이 줄어드는 문제점이 있으며, 이는 많은 경제적 손실을 발생시키고 있다. 특히, 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간이 크지 않을 경우에는 내부공간 대비 1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)와 연결관(1d) 및 미립자 필터(1c)가 차지하는 공간이 커 저장되어 운반되는 유체의 양이 급격하게 감소할 수 있다.As such, the first regulator 1b, the second regulator 1a, the connection pipe 1d, and the particulate filter 1c are installed in the inner space of the cylinder 2 storing the fluid, thereby reducing the volume of the fluid. This is causing a lot of economic losses. In particular, when the inner space of the cylinder 2 storing the fluid is not large, the space occupied by the first regulator 1b, the second regulator 1a, the connection pipe 1d, and the particulate filter 1c is larger than the internal space. The amount of fluid conveyed can thus be drastically reduced.

또한, 1 레귤레이터(1b)를 이용한 배출되는 압력을 조정하거나, 제2 레귤레이터(1a)를 이용하여 배출이 이루어지도록 하기 위한 배출 측의 압력조건을 조정하고자 하는 경우와, 1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)의 파손으로 인한 교체의 경우, 실린더(2)에서 유체압력조정밸브체(1)를 분리한 후 실행이 이루어짐으로써 많은 어려움이 있으며, 설정된 압력의 조절은 사실상 불가능한 상태이다.In addition, when the pressure to be discharged using the first regulator 1b is adjusted, or when the pressure condition on the discharge side for adjusting the discharge is performed by using the second regulator 1a, the first regulator 1b and the first regulator 1b are made. In case of replacement due to breakage of the regulator 1a, it is difficult to carry out after the fluid pressure adjusting valve element 1 is removed from the cylinder 2, and the set pressure is virtually impossible.

또한, 1 레귤레이터(1b) 또는 제2 레귤레이터(1a)의 파손시 교체의 불편함과, 실린더(2)에서 유체압력조정밸브체(1)를 분리함으로 발생하는 다양한 문제점으로 인하여 통상적으로 유체압력조정밸브체(1) 일체를 교체를 하고 있는 실정에 있으며, 이로 인하여 유지보수비에 비용이 상승하는 문제점을 일으키고 있다.In addition, the fluid pressure is normally adjusted due to the inconvenience of replacement when the first regulator 1b or the second regulator 1a is damaged, and various problems caused by separating the fluid pressure regulating valve body 1 from the cylinder 2. There is a situation in which the valve body 1 is replaced, thereby causing a problem of an increase in the cost of maintenance.

(KR) 공개특허 10-2015-0059776(KR) Patent Publication 10-2015-0059776 (KR) 공개특허 10-2008-0099342(KR) Patent Publication 10-2008-0099342 (KR) 공개특허 10-2006-0007917(KR) Patent Publication 10-2006-0007917 (KR) 등록실용 20-0380316(KR) Registration Room 20-0380316

본 발명이 이러한 종래의 문제점을 해결하고자 하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to solve these conventional problems.

본 발명은 실린더 내에 수용되는 유체(가스) 압력조절로 보관 및 분배할 수 있도록 다수개의 레귤레이터(조정기)를 포함하되, 상기 레귤레이터가 밸브 몸체 내에 구비되어 실린더의 내부공간의 활용도를 높일 수 있도록 이루어진 실린더용 유체압력조정밸브체를 제공하고자 한다.The present invention includes a plurality of regulators (regulators) to be stored and distributed by the fluid (gas) pressure control accommodated in the cylinder, the regulator is provided in the valve body cylinder made to increase the utilization of the internal space of the cylinder To provide a fluid pressure regulating valve body.

또한, 다수개의 레귤레이터(조정기)의 교체가 용이하도록 함으로써 유지 보수가 용이하고, 보수 및 교체에 따른 비용을 절감할 수 있도록 이루어진 실린더용 유체압력조정밸브체를 제공하고자 한다.In addition, to facilitate the replacement of a plurality of regulators (regulators) to provide a fluid pressure regulating valve body for the cylinder made easy to maintain, and to reduce the cost of maintenance and replacement.

이러한 목적은 본 발명인 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터와, 상기 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체의 일측 내에 수용되도록 이루어진 실린더용 유체압력조정밸브체로 해결될 수 있다.The purpose of the present invention is to adjust the discharge pressure of the fluid in the cylinder of the present invention, the first regulator capable of discharging at the adjusted set pressure and the fluid of the set pressure adjusted by the first regulator can be discharged only at the pressure of the set condition Including a second regulator, but the first regulator and the second regulator can be solved by a cylinder fluid pressure control valve body configured to be accommodated in one side of the valve body is not inserted into the cylinder.

즉, 발명의 목적을 달성하고자 이루어지는 본 발명인 실린더용 유체압력조정밸브체는, 실린더의 입구에 결합되도록 이루어지며, 유체배출용 입구가 형성된 실린더 체결부와, 상기 유체배출용 입구와 제1 유로로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실과, 상시 제1 레귤레이터 설치실과 제2 유로로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실과, 상기 제2 레귤레이터 설치실과 제3 유로로 연통하는 개폐용 밸브 설치실과, 상기 개폐용 밸브 설치실과 제4 유로로 연통하는 유체배출통로와, 상기 유체배출용 입구와 제5 유로로 연통하는 안전변 설치실과, 상기 안전변 설치실과 제6 유로로 연통하는 충전포트실을 포함하는 밸브 몸체와;That is, the fluid pressure adjusting valve body for a cylinder of the present invention, which is intended to achieve the object of the invention, is made to be coupled to the inlet of the cylinder, the cylinder fastening portion is formed with the fluid discharge inlet, the fluid discharge inlet and the first flow path A first regulator installation chamber in communication, a second regulator installation chamber in communication with the first regulator installation chamber and a second flow passage at all times, an opening and closing valve installation chamber communicating with the second regulator installation chamber and a third flow passage, and the valve opening and closing valve installation chamber A valve body including a fluid discharge passage communicating with a fourth flow passage, a safety valve installation chamber communicating with the fluid discharge inlet and a fifth flow passage, and a filling port chamber communicating with the safety valve installation chamber and a sixth flow passage;

상기 제1 레귤레이터 설치실에 설치되어 실린더 내의 유체의 배출압력을 설정압력으로 배출하도록 조정하는 제1 레귤레이터를 포함하는 제1 레귤레이터부와;A first regulator unit installed in the first regulator installation chamber and including a first regulator configured to discharge the discharge pressure of the fluid in the cylinder to a set pressure;

상기 제2 레귤레이터 설치실에 설치되어 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력을 설정된 조건상태의 압력시 인출되게 조정하는 제2 레귤레이터를 포함하는 제2 레귤레이터부와;A second regulator unit installed in the second regulator installation chamber and including a second regulator for adjusting the set pressure adjusted by the first regulator to be drawn out when the pressure is set to a predetermined condition;

상기 개폐용 밸브 설치실에 설치되어 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브와;An opening / closing valve installed in the opening / closing valve installation room to block the flow of the flowing fluid;

상기 안전변 설치실에 설치된 안전변을 포함하는 한편,Including a safety valve installed in the safety valve installation chamber,

상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 내측에 삽입되지 않는 밸브 몸체의 일측 내에 수용되도록 이루어진다.The first regulator and the second regulator is made to be received in one side of the valve body that is not inserted into the cylinder.

상기 밸브 몸체의 일측에는 제1 레귤레이터 설치를 위한 내벽에 제1 레귤레이터 나사부와 제1 레귤레이터 캡 나사부가 형성된 제1 레귤레이터 설치실이 형성되며, 타측에는 제2 레귤레이터 설치를 위한 내벽에 제2 레귤레이터 나사부와 제2 레귤레이터 캡 나사부가 형성된 제2 레귤레이터 설치실이 형성되며, 상기 제1 레귤레이터 설치실은 제1 유로를 통하여 실린더와 연통하며, 상기 제1 레귤레이터 설치실과 제2 레귤레이터 설치실은 제2 유로로 연통하며, 상기 제2 레귤레이터 설치실은 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브가 설치되는 개폐용 밸브 설치실과 제3 유로로 연통하며,One side of the valve body is formed with a first regulator installation chamber formed with a first regulator screw portion and a first regulator cap screw portion on the inner wall for the first regulator installation, the other side is provided with a second regulator screw portion on the inner wall for the second regulator installation; A second regulator mounting chamber having a second regulator cap threaded portion is formed, and the first regulator mounting chamber communicates with the cylinder through a first flow path, and the first regulator mounting chamber and the second regulator mounting chamber communicate with a second flow path. The second regulator installation chamber is in communication with the opening and closing valve installation chamber in which the opening and closing valve that can block the flow of the fluid in the flow flow in a third flow path,

상기 제1 레귤레이터는 제1 레귤레이터 나사부에 나사결합되어 설치되고, 제1 레귤레이터 캡 나사부에는 제1 레귤레이터를 보호하는 제1 레귤레이터 캡이 나사결합되며,The first regulator is screwed to the first regulator threaded portion, the first regulator cap threaded portion is screwed to the first regulator cap for protecting the first regulator,

상기 제2 레귤레이터는 제2 레귤레이터 나사부에 나사결합되어 설치되고, 제2 레귤레이터 캡 나사부에는 제2 레귤레이터를 보호하는 제2 레귤레이터 캡이 나사결합된다.The second regulator is screwed into the second regulator screw portion, and the second regulator cap is screwed into the second regulator cap screw portion to protect the second regulator.

상기 제1 레귤레이터는, 외벽에 제1 레귤레이터 나사부가 형성된 제1 레귤레이터 몸체와; 상기 제1 레귤레이터 몸체에 형성된 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하는 압력조절체와; 상기 제1 레귤레이터 몸체 내부공간에 수용되어 압력조절체를 탄성지지하는 압력조절용 탄성체와; 상기 압력조절용 탄성체의 지지압력을 조절하는 지지압력조절봉과, 상기 지지압력조절봉의 위치를 고정하는 고정나사를 포함한다.The first regulator includes: a first regulator body having a first regulator threaded portion formed on an outer wall thereof; A pressure regulator including a poppet accommodated in an inner space formed in the first regulator body, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer; A pressure regulating elastic body accommodated in the first regulator body inner space to elastically support the pressure regulator; It includes a support pressure adjusting rod for adjusting the support pressure of the pressure control elastic body, and a fixing screw for fixing the position of the support pressure adjusting rod.

이와 같이 이루어진 본 발명인 실린더용 유체압력조정밸브체는, 제1, 2 레귤레이터(조정기)가 실린더 외측의 밸브 몸체에 위치함으로써 유체(가스)를 저장할 수 있는 실린더의 내부공간(체적)을 효율적으로 사용할 수 있어, 운반 및 저장에 따른 유체(가스)의 가격 상승을 방지할 수 있으며, 제1, 2 레귤레이터(조정기)의 교체 및 압력조절을 용이하게 할 수 있는 장점을 가진다.The fluid pressure regulating valve body for a cylinder according to the present invention, which is constituted as described above, is located in the valve body outside the cylinder so that the internal space (volume) of the cylinder capable of storing fluid (gas) can be used efficiently. It is possible to prevent the price increase of the fluid (gas) due to transportation and storage, and has the advantage of facilitating replacement and pressure control of the first and second regulators (regulators).

상기와 같이 제1, 2 레귤레이터(조정기)의 교체 및 압력조절을 용이함으로써, 제1, 2 레귤레이터(조정기)의 교체시 유체압력조정밸브체 일체를 교환하여 발생하는 경제적 손실을 방지할 수 있으며, 실린더에 저장된 유체(가스)의 배출되는 압력을 조절할 수 있으며, 배출 측의 배출압력조건의 압력을 조절할 수 있음으로써 그 사용범위를 넓힐 수 있는 장점을 가질 수 있다.As described above, by easily replacing the first and second regulators (regulators) and adjusting the pressure, it is possible to prevent economic losses caused by replacing the fluid pressure adjusting valve body when the first and second regulators (regulators) are replaced. The discharge pressure of the fluid (gas) stored in the cylinder can be adjusted, and by controlling the pressure of the discharge pressure condition of the discharge side can have the advantage of extending the range of use.

도 1은 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체가 실린더에 설치되는 상태를 표현한 개략도.
도 2는 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체의 단면개략도.
도 3은 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체의 다른 단면개략도.
도 4는 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체의 분리 단면개략도.
도 5는 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체의 제1 레귤레이터부에 대한 분리 단면개략도.
도 6은 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체의 제2 레귤레이터부에 대한 분리 단면개략도.
도 7은 본 발명의 실시 예를 나타낸 실린더용 유체압력조정밸브체의 유체(가스)의 유동상태를 나타낸 단면개략도.
도 8은 종래에 사용되고 있는 실린더와 실린더용 유체압력조정밸브체에 대한 단면개략도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic diagram showing a state in which a fluid pressure regulating valve body for a cylinder according to an embodiment of the present invention is installed in a cylinder.
Figure 2 is a schematic cross-sectional view of a fluid pressure regulating valve body for a cylinder showing an embodiment of the present invention.
Figure 3 is another cross-sectional schematic view of a fluid pressure regulating valve body for a cylinder showing an embodiment of the present invention.
Figure 4 is an exploded cross-sectional schematic view of a fluid pressure regulating valve body for a cylinder showing an embodiment of the present invention.
5 is an exploded cross-sectional schematic view of a first regulator portion of a fluid pressure regulating valve body for a cylinder according to an embodiment of the present invention;
6 is an exploded cross-sectional schematic view of a second regulator portion of a fluid pressure regulating valve body for a cylinder according to an embodiment of the present invention;
Figure 7 is a schematic cross-sectional view showing a flow state of the fluid (gas) of the fluid pressure regulating valve body for a cylinder showing an embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a sectional schematic view of a cylinder and a cylinder fluid pressure regulating valve body used in the related art.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 될 것이며, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to the common or dictionary meanings, the embodiments described in the specification and the configuration shown in the drawings are only the most preferred embodiments of the present invention. Since not only represents the technical spirit of the present invention, it should be understood that there may be various equivalents and modifications that may substitute them at the time of the present application.

본 발명은 유체(가스)를 저장하고 운반할 수 있도록 이루어진 실린더(압력용기)설치되어, 실린더 내에 저장되어 있는 유체(가스)를 배출 측의 설정된 압력 상태에서만에 배출이 이루어지도록 하되, 설정된 압력의 상태로 유체(가스)를 배출할 수 있도록 하는 실린더용 유체압력조정밸브체에 관한 것이다.The present invention is provided with a cylinder (pressure vessel) configured to store and transport a fluid (gas), so that the discharge is made only at the set pressure state of the discharge side of the fluid (gas) stored in the cylinder, The present invention relates to a fluid pressure regulating valve body for a cylinder for discharging fluid (gas) in a state.

즉, 본 발명은 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터와, 상기 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체의 일측 내에 수용되도록 이루어져 유체가 저장되어 운반되는 실린더 내부공간(체적)을 극대화시켜 유체의 운반 및 저장에 따른 가격상승을 방지하여, 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터의 압력조정, 수리 및 교체가 용이할 수 있도록 이루어진 실린더용 유체압력조정밸브체에 관한 것이다.That is, the present invention can be discharged only when the pressure of the set condition and the first regulator that can be discharged to the adjusted set pressure by adjusting the discharge pressure of the fluid in the cylinder, and the set pressure adjusted in the first regulator It includes a second regulator, wherein the first regulator and the second regulator is accommodated in one side of the valve body that is not inserted into the cylinder to maximize the inner space (volume) of the fluid is stored and transported to transport the fluid And it relates to a fluid pressure regulating valve body for the cylinder made to prevent the price increase due to storage, to facilitate the pressure adjustment, repair and replacement of the first regulator and the second regulator.

이러한 본 발명인 실린더용 유체압력조정밸브체에 관하여 실시 예를 나타낸 도면을 참조하여 설명한다.A fluid pressure regulating valve body for a cylinder of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3을 참조하면,1 to 3,

본 발명인 실린더용 유체압력조정밸브체(B)는 실린더(S)의 입구에 설치되도록 하측에 실린더 체결부(11)가 구비된 밸브 몸체(10)와, 밸브 몸체(10) 일측에 수용된 제1 레귤레이터(21)를 포함하는 제1 레귤레이터부(20)와, 밸브 몸체(10) 타측에 수용된 제2 레귤레이터(31)를 포함하는 제2 레귤레이터부(30)와, 밸브 몸체(10) 상측부에 설치되어 유체가 이동하는 유로를 차단할 수 있는 개폐용 밸브(40)와, 밸브 몸체(10) 일측에 설치되어 실린더 내부공간의 압력상승시 배출하여 안전을 도모하는 안전변(50)과, 밸브 몸체(10) 일측에 형성되어 실린더 내부공간에 유체를 충전할 때 사용하는 유체충전포트(70)와, 밸브 몸체(10) 일측에 형성되어 유체를 배출할 때 사용하는 유체배출포트(80)를 포함한다.The fluid pressure regulating valve body (B) for the present invention is provided with a valve body (10) having a cylinder fastening portion (11) at a lower side thereof so as to be installed at an inlet of the cylinder (S), and a first body accommodated at one side of the valve body (10). The first regulator part 20 including the regulator 21, the second regulator part 30 including the second regulator 31 housed on the other side of the valve body 10, and the upper part of the valve body 10. The valve 40 for opening and closing to block the flow path for fluid movement, and the safety valve 50 installed on one side of the valve body 10 to discharge when the pressure rises in the inner cylinder space for safety, and the valve body ( 10) includes a fluid filling port 70 formed at one side and used to fill a fluid in the cylinder inner space, and a fluid discharge port 80 formed at one side of the valve body 10 and used to discharge the fluid. .

상기 밸브 몸체(10)는, 실린더의 입구에 결합되도록 하측에 유체배출용 입구(15)가 형성된 실린더 체결부(11)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 유체를 안내하는 제1 유로(61)로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 상시 제1 레귤레이터 설치실(12)과 유체를 안내하는 제2 유로(62)로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실(13)과, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)과 유체를 안내하는 제3 유로(63)로 연통하는 개폐용 밸브 설치실(14)과, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)과 유체를 안내하는 제4 유로(64)로 연통하는 유체배출통로(81)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 유체를 안내하는 제5 유로(65)로 연통하는 안전변 설치실(17)과, 상기 유체배출용 입구(15)와 제6 유로(66)로 연통하는 충전포트실(18)을 포함한다.The valve body 10 has a cylinder fastening portion 11 having a fluid discharge inlet 15 formed at a lower side thereof so as to be coupled to an inlet of the cylinder, and a first flow path for guiding fluid with the fluid discharge inlet 15. The first regulator installation chamber 12 communicating with 61, the second regulator installation chamber 13 communicating with the first regulator installation chamber 12 and the second flow passage 62 for guiding fluid, and the first 2 valve mounting chamber 14 for communicating with the regulator installation chamber 13 and the third flow path 63 for guiding fluid, and fourth flow passage 64 for guiding fluid with the valve installation chamber 14 for opening and closing. ) And a safety valve installation chamber 17 communicating with the fluid discharge inlet 81 communicating with the fluid discharge inlet 15, the fifth flow passage 65 for guiding the fluid with the fluid discharge inlet 15, and the fluid discharge inlet 15. And a charging port chamber 18 communicating with the sixth flow path 66.

상기 제1 레귤레이터 설치실(12)은 제1 레귤레이터(21)가 수용되는 구성으로, 제1 레귤레이터(21)가 설치되고, 제1 레귤레이터(21)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(22)이 설치될 수 있도록 내벽에는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)가 형성된다.The first regulator installation chamber 12 has a configuration in which the first regulator 21 is accommodated. The first regulator 21 is installed, and the first regulator cap 22 for protecting the first regulator 21 is provided. The first regulator threaded portion 12-1 and the first regulator cap threaded portion 12-2 are formed on the inner wall to be installed.

상기 제2 레귤레이터 설치실(13)은 제2 레귤레이터(31)가 수용되는 구성으로, 제2 레귤레이터(31)가 설치되고, 제2 레귤레이터(31)를 보호하도록 하는 제2 레귤레이터 캡(32)이 설치될 수 있도록 내벽에는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)가 형성된다.The second regulator installation chamber 13 has a configuration in which the second regulator 31 is accommodated, and the second regulator 31 is installed, and the second regulator cap 32 for protecting the second regulator 31 is provided. The second regulator screw portion 13-1 and the second regulator cap screw portion 13-2 are formed on the inner wall to be installed.

상기 개폐용 밸브 설치실(14)은 제3 유로(63)로 안내되는 유체가 제4 유로(64)로 이동하는 것을 차단할 수 있도록 하는 개폐용 밸브(40)가 설치되는 구성이며, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되는 개폐용 밸브(40)는 유동중인 유체의 유동을 물리적으로 차단할 수 있도록 이루어진 구성으로, 수동 개폐용 밸브, 공압 개폐용 밸브, 전자기계적 개폐용 밸브(솔레노이드 밸브 등) 다양한 타입이 사용될 수 있다. The opening and closing valve installation chamber 14 is a configuration in which the opening and closing valve 40 to block the movement of the fluid guided to the third flow path (63) to the fourth flow path (64) is installed, the opening and closing The opening and closing valve 40 installed in the valve installation chamber 14 is configured to physically block the flow of the fluid in the flow, and is a manual opening and closing valve, a pneumatic opening and closing valve, an electromechanical opening and closing valve (solenoid valve, etc.). Various types can be used.

상기 제1 유로(61) 내지 제6 유로(66)는 유체를 안내하는 통로로 밸브 몸체(10) 내측에 형성된다.The first flow passage 61 to the sixth flow passage 66 are formed inside the valve body 10 as a passage for guiding the fluid.

상기 안전변 설치실(17)에는 실린더 내의 압력상승시 압력을 조절할 수 있도록 하기 위한 안전변(50)이 설치되고, 상기 충전포트실(18)에는 유체 충전을 위한 유체충전포트(70)가 형성되고, 상기 유체배출통로(81)에는 유체배출포트(80)가 형성된다.The safety valve mounting chamber 17 is provided with a safety valve 50 to adjust the pressure when the pressure rises in the cylinder, the filling port chamber 18 is formed with a fluid filling port 70 for filling the fluid, A fluid discharge port 80 is formed in the fluid discharge passage 81.

상기 유체배출용 입구(15) 또는 제1 유로(61) 상에는 고효율의 미립자용 입구쪽 필터(91)가 설치되고, 상기 유체배출통로(81)에는 고효율의 미립자용 배출쪽 필터(92)가 설치된다.On the fluid discharge inlet 15 or the first flow path 61, a high efficiency particle inlet filter 91 is installed, and the fluid discharge path 81 is provided with a high efficiency particle discharge filter 92. do.

유체 충전을 위한 충전 유로는 유체충전포트(70)가 형성된 충전포트실(18)과 안전변(50)이 설치되는 안전변 설치실(17)을 연통하도록 하는 제6 유로(66)와, 상기 안전변 설치실(17)과 유체배출용 입구(15)을 연통하도록 하는 제5 유로(65)로 이루어진다. 즉, 유체 충전을 위한 충전 유로는 안전변(50)이 설치되는 안전변 설치실(17)을 통과하도록 한다.The filling passage for filling the fluid includes a sixth flow passage 66 for communicating the filling port chamber 18 in which the fluid filling port 70 is formed, and the safety valve installation chamber 17 in which the safety valve 50 is installed, and the safety valve installation. And a fifth flow path 65 for communicating the seal 17 and the fluid discharge inlet 15. That is, the filling passage for filling the fluid passes through the safety valve installation chamber 17 in which the safety valve 50 is installed.

상기 제1 레귤레이터부(20)는 실린더에 저장된 유체를 설정된 압력으로 배출할 수 있도록 제1 레귤레이터 설치실(12)에 설치된 제1 레귤레이터(21)를 포함하여 이루어져 제1 유로(61)로 안내되는 유체의 압력을 설정된 압력으로 제2 유로(62)로 전달하는 구성이다(도 4와 도 5 참조).The first regulator 20 includes a first regulator 21 installed in the first regulator installation chamber 12 so as to discharge the fluid stored in the cylinder at a set pressure to be guided to the first flow path 61. It is a structure which delivers the pressure of a fluid to the 2nd flow path 62 by a predetermined pressure (refer FIG. 4 and FIG. 5).

이러한 제1 레귤레이터부(20)는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 나사결합으로 설치되는 제1 레귤레이터(21)와, 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)와 나사결합되어 제1 레귤레이터(21)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(22)으로 이루어진다.The first regulator part 20 is screwed with the first regulator 21 and the first regulator cap screw part 12-2, which are installed by screwing the first regulator screw part 12-1. A first regulator cap 22 to protect 21.

상기 제1 레귤레이터(21)는, 외벽에 제1 레귤레이터 나사부(21-1)가 형성되고 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제1 레귤레이터 몸체(23)와, 상기 제1 레귤레이터 몸체(23)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하는 압력조절체(24)와, 상기 제1 레귤레이터 몸체(23) 내부공간에 수용되어 압력조절체(24)를 탄성지지하는 압력조절용 탄성체(25)와, 상기 압력조절용 탄성체(25)의 지지압력을 조절하는 지지압력조절봉(26)과, 상기 지지압력조절봉(26)의 위치를 고정하는 고정나사(27)를 포함한다.The first regulator 21 includes a first regulator body 23 having a cap shape such that a first regulator screw portion 21-1 is formed on an outer wall and has an inner space, and the first regulator body 23 of the first regulator body 23. A pressure regulator 24 including a poppet, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer accommodated in an inner space, and accommodated in the inner space of the first regulator body 23. A pressure adjusting elastic body 25 for elastically supporting, a support pressure adjusting rod 26 for adjusting a supporting pressure of the pressure adjusting elastic body 25, and a fixing screw 27 for fixing a position of the supporting pressure adjusting rod 26. ).

상기 지지압력조절봉(26)을 이용하여 압력조절용 탄성체(25)의 탄성력을 조절함으로써 압력조절체(24)에 가해지는 탄성지지력을 조절함으로써 안내되는 유체의 압력을 조절할 수 있다. By adjusting the elastic force of the pressure adjusting elastic member 25 using the supporting pressure adjusting rod 26, the pressure of the guided fluid may be adjusted by adjusting the elastic supporting force applied to the pressure regulating member 24.

보통 지지압력조절봉(26)을 사용하여 압력조절용 탄성체(25)에 하중을 가하여 압력조절체(24)에 5~20psi 압력이 작용할 수 있도록 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that a pressure is applied to the pressure regulating body 24 by applying a load to the pressure regulating elastic body 25 using the support pressure adjusting rod 26.

또한, 상기 제1 레귤레이터(21)는 제1 레귤레이터 캡(22)을 분리한 후 제1 레귤레이터 설치실(12)에서 분리할 수 있으며, 이는 제1 레귤레이터(21)의 교체 및 압력조절이 자유롭도록 한다.In addition, the first regulator 21 may be detached from the first regulator installation chamber 12 after removing the first regulator cap 22, which may allow replacement of the first regulator 21 and pressure control freely. do.

상기 제2 레귤레이터부(30)는 배출 측의 압력이 설정상태의 압력일 때에 유로가 개방되어 제2 유로(62)로 안내되는 유체가 제3 유로(63)로 이동될 수 있도록 제2 레귤레이터 설치실(13)에 설치된 제2 레귤레이터(31)를 포함하여 이루어진 구성이다(도 4와 도 6 참조).The second regulator part 30 is provided with a second regulator so that when the pressure on the discharge side is the pressure in the set state, the flow path is opened so that the fluid guided to the second flow path 62 can be moved to the third flow path 63. It is the structure comprised including the 2nd regulator 31 provided in the chamber 13 (refer FIG. 4 and FIG. 6).

이러한 제2 레귤레이터부(30)는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 나사결합으로 설치되는 제2 레귤레이터(31)와, 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)와 나사결합되어 제2 레귤레이터(31)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(32)으로 이루어진다.The second regulator part 30 is screwed with the second regulator 31 and the second regulator cap screw portion 13-2, which are installed by screwing the second regulator screw part 13-1, and the second regulator ( 31 is provided with a first regulator cap 32 to protect it.

상기 제2 레귤레이터(31)는, 외벽에 제2 레귤레이터 나사부(31-1)가 형성되고 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제2 레귤레이터 몸체(33)와, 상기 제2 레귤레이터 몸체(33)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하여 설정압력에서 유체 유로를 개방하도록 하는 압력조절체(34)를 포함한다.The second regulator 31 has a second regulator body 33 having a cap shape such that a second regulator screw portion 31-1 is formed on an outer wall and has an inner space, and the second regulator body 33 And a pressure regulator 34 for opening the fluid flow path at a set pressure, including a poppet received in the inner space, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled with the poppet holding wafer.

보통 상기 제2 레귤레이터(31)는 유체배출포트(80) 측의 압력이 진공(250 Torr 이하)일때, 유체를 통과시키도록 설정된다. Usually, the second regulator 31 is set to pass the fluid when the pressure on the fluid discharge port 80 side is a vacuum (250 Torr or less).

또한, 상기 제2 레귤레이터(31)는 제2 레귤레이터 캡(32)을 분리한 후 제2 레귤레이터 설치실(32)에서 분리할 수 있으며, 이는 제2 레귤레이터(31)의 교체 및 압력조절이 자유롭도록 한다.In addition, the second regulator 31 may be separated from the second regulator installation chamber 32 after removing the second regulator cap 32, which allows the second regulator 31 to be freely replaced and pressure-controlled. do.

도 7은 실린더(S)에 저장된 유체가 유체를 안내하는 유로를 통해 이동하는 상태를 나타낸 것이다.7 shows a state in which the fluid stored in the cylinder (S) is moved through the flow path for guiding the fluid.

실린더(S)에 저장된 유체가 입구쪽 필터(91)를 통과한 후 제1 유로(61)로 안내되어 제1 레귤레이터 설치실(12)에 유입되면, 제1 레귤레이터(21)에 의하여 설정된 압력으로 변경된 후 제2 유로(62)로 안내된다.When the fluid stored in the cylinder S passes through the inlet filter 91 and is guided to the first flow path 61 and flows into the first regulator installation chamber 12, at a pressure set by the first regulator 21. After the change is guided to the second flow path (62).

유체배출포트(80) 측의 압력이 진공(250 Torr 이하)일때 제2 레귤레이터 (31)는 제2 유로(62)로 안내되는 유체를 제3 유로(63)로 안내한다.When the pressure at the fluid discharge port 80 side is a vacuum (250 Torr or less), the second regulator 31 guides the fluid guided to the second flow path 62 to the third flow path 63.

상기 제3 유로(63)로 안내되는 유체는 개폐용 밸브 설치실(14)를 통해 제4 유로(64)로 안내되며, 이때 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되는 개폐용 밸브(40)에 의하여 유로가 차단될 수 있다. The fluid guided to the third flow path 63 is guided to the fourth flow path 64 through the opening / closing valve installation chamber 14, and at this time, the opening / closing valve 40 installed in the opening / closing valve installation chamber 14. The flow path can be blocked by.

상기 제4 유로(64)로 안내되는 유체는 유체배출통로(81)를 통해 배출이 이루어진다.The fluid guided to the fourth flow path 64 is discharged through the fluid discharge passage 81.

B : 실린더용 유체압력조정밸브체
10 : 밸브 몸체 12 : 제1 레귤레이터 설치실
13 : 제2 레귤레이터 설치실
20 : 제1 레귤레이터부 21 : 제1 레귤레이터
30 : 제2 레귤레이터부 31 : 제1 레귤레이터
61, 62, 63, 64, 65, 66 : 유로B: Fluid pressure adjusting valve body for cylinder
10: valve body 12: first regulator mounting chamber
13: 2nd regulator installation room
20: first regulator portion 21: the first regulator
30: second regulator portion 31: the first regulator
61, 62, 63, 64, 65, 66: Euro

Claims (9)

삭제delete 실린더의 입구에 결합되도록 이루어지며, 유체배출용 입구(15)가 형성된 실린더 체결부(11)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 제1 유로(61)로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 상시 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 유로(62)로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실(13)과, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)과 제3 유로(63)로 연통하는 개폐용 밸브 설치실(14)과, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)과 제4 유로(64)로 연통하는 유체배출통로(81)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 제5 유로(65)로 연통하는 안전변 설치실(17)과, 상기 유체배출용 입구(15)와 제6 유로(66)로 연통하는 충전포트실(18)을 포함하는 밸브 몸체(10)와;
상기 제1 레귤레이터 설치실(12)에 설치되어 실린더 내의 유체의 배출압력을 설정압력으로 배출하도록 조정하는 제1 레귤레이터(21)를 포함하는 제1 레귤레이터부(20)와;
상기 제2 레귤레이터 설치실(13)에 설치되어 제1 레귤레이터(20)에서 조정된 설정압력을 설정된 조건상태의 압력시 인출되게 조정하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하는 제2 레귤레이터부(30)와;
상기 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되어 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브(40)와;
상기 안전변 설치실(17)에 설치된 안전변(50)을 포함하는 한편,
상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더 내측에 삽입되지 않는 밸브 몸체(10)의 일측 내에 수용되도록 이루어짐을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.It is made to be coupled to the inlet of the cylinder, the cylinder fastening portion 11, the fluid discharge inlet 15 is formed, and the first regulator installation chamber communicating with the fluid discharge inlet 15 and the first flow path 61 ( 12), the second regulator installation chamber 13, which is always in communication with the first regulator installation chamber 12, and the second flow passage 62, and the second regulator installation chamber 13 and the third flow passage 63. Opening / closing valve installation chamber 14 to communicate with, the fluid discharge passage 81 which communicates with the opening / closing valve installation chamber 14 and the 4th flow path 64, the said fluid discharge inlet 15, and 5th A valve body (10) comprising a safety valve installation chamber (17) communicating with the flow path (65), and a filling port chamber (18) communicating with the fluid discharge inlet (15) and the sixth flow path (66);
A first regulator unit 20 installed in the first regulator installation chamber 12 and including a first regulator 21 for adjusting a discharge pressure of the fluid in the cylinder to a set pressure;
The second regulator part 30 is installed in the second regulator installation chamber 13 and includes a second regulator 31 for adjusting the set pressure adjusted by the first regulator 20 to be drawn out when the pressure is set. Wow;
An opening / closing valve (40) installed in the opening / closing valve installation chamber (14) to block the flow of the flowing fluid;
Including the safety valve 50 installed in the safety valve installation chamber 17,
The first regulator (21) and the second regulator (31) is a fluid pressure regulating valve body for a cylinder, characterized in that it is made to be accommodated in one side of the valve body (10) that is not inserted into the cylinder. 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제1 레귤레이터(21)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체(10)의 일측 내에 수용되도록 이루어지며,
실린더의 외측에 위치하는 상기 밸브 몸체(10)에는 제1 레귤레이터(21)가 설치되는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 제2 레귤레이터(31)가 설치되는 제2 레귤레이터 설치실(13)이 형성되며,
상기 제1 레귤레이터 설치실(12)에 설치되는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)에 설치되는 제2 레귤레이터(31)는 실린더에서 밸브 몸체(10)를 분리하지 않은 상태에서 교체가능하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)는 각각의 제1, 2 레귤레이터 설치실(12, 13)에 설치된 제1, 2 레귤레이터 캡(22, 32) 분리만로 교체가 가능함을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.The first regulator 21 capable of adjusting the discharge pressure of the fluid in the cylinder to be discharged at the adjusted set pressure and the fluid having the set pressure adjusted at the first regulator 21 may be discharged only at the pressure of the set condition. It includes a second regulator 31 so that the first regulator 21 and the second regulator 31 is made to be received in one side of the valve body 10 is not inserted into the cylinder,
In the valve body 10 located outside the cylinder, a first regulator installation chamber 12 in which the first regulator 21 is installed, and a second regulator installation chamber 13 in which the second regulator 31 is installed are provided. Formed,
The first regulator 21 installed in the first regulator installation chamber 12 and the second regulator 31 installed in the second regulator installation chamber 13 do not separate the valve body 10 from the cylinder. Replaceable in the state, the first regulator 21 and the second regulator 31 is separated only the first and second regulator cap (22, 32) installed in each of the first and second regulator installation chamber (12, 13) The fluid pressure control valve body for a cylinder, characterized in that the replacement possible. 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제1 레귤레이터(21)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체(10)의 일측 내에 수용되도록 이루어지며,
상기 밸브 몸체(10)의 일측에는 실린더 내의 압력상승시 압력을 조절할 수 있도록 안전변(50)이 장착됨을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.The first regulator 21 capable of adjusting the discharge pressure of the fluid in the cylinder to be discharged at the adjusted set pressure and the fluid having the set pressure adjusted at the first regulator 21 may be discharged only at the pressure of the set condition. It includes a second regulator 31 so that the first regulator 21 and the second regulator 31 is made to be received in one side of the valve body 10 is not inserted into the cylinder,
One side of the valve body 10 is a cylinder fluid pressure control valve body, characterized in that the safety valve 50 is mounted to adjust the pressure when the pressure rises in the cylinder. 제2항에 있어서,
상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)는 각각의 제1, 2 레귤레이터 설치실(12, 13)에 설치된 제1, 2 레귤레이터 캡(22, 32) 분리만로 교체가 가능함을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.The method of claim 2,
The first regulator 21 and the second regulator 31 can be replaced only by removing the first and second regulator caps 22 and 32 installed in the first and second regulator installation chambers 12 and 13, respectively. A fluid pressure regulating valve body for a cylinder. 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제1 레귤레이터(21)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체(10)의 일측 내에 수용되도록 이루어지며,
상기 밸브 몸체(10)의 일측에는 제1 레귤레이터(21) 설치를 위한 내벽에 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)가 형성된 제1 레귤레이터 설치실(12)이 형성되며, 타측에는 제2 레귤레이터(31) 설치를 위한 내벽에 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)가 형성된 제2 레귤레이터 설치실(13)이 형성되며, 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)은 제1 유로(61)를 통하여 실린더와 연통하며, 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 레귤레이터 설치실(13)은 제2 유로(62)로 연통하며, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)은 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브(40)가 설치되는 개폐용 밸브 설치실(14)과 제3 유로(63)로 연통하며,
상기 제1 레귤레이터(21)는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)에 나사결합되어 설치되고, 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)에는 제1 레귤레이터(21)를 보호하는 제1 레귤레이터 캡(22)이 나사결합되며, 상기 제2 레귤레이터(31)는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)에 나사결합되어 설치되고, 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)에는 제2 레귤레이터(31)를 보호하는 제2 레귤레이터 캡(32)이 나사결합되는 한편,
상기 제1 레귤레이터(21)는,
외벽에 제1 레귤레이터 나사부(21-1)가 형성되고, 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제1 레귤레이터 몸체(23)와; 상기 제1 레귤레이터 몸체(23)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하는 압력조절체(24)와; 상기 제1 레귤레이터 몸체(23) 내부공간에 수용되어 압력조절체(24)를 탄성지지하는 압력조절용 탄성체(25)와; 상기 압력조절용 탄성체(25)의 지지압력을 조절하는 지지압력조절봉(26)과; 상기 지지압력조절봉(26)의 위치를 고정하는 고정나사(27)를 포함하고,
상기 제2 레귤레이터(31)는,
외벽에 제2 레귤레이터 나사부(31-1)가 형성되고, 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제2 레귤레이터 몸체(33)와; 상기 제2 레귤레이터 몸체(33)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하여 설정압력에서 유체 유로를 개방하도록 하는 압력조절체(34)를 포함함을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.The first regulator 21 capable of adjusting the discharge pressure of the fluid in the cylinder to be discharged at the adjusted set pressure and the fluid having the set pressure adjusted at the first regulator 21 may be discharged only at the pressure of the set condition. It includes a second regulator 31 so that the first regulator 21 and the second regulator 31 is made to be received in one side of the valve body 10 is not inserted into the cylinder,
The first regulator installation chamber 12 having a first regulator screw portion 12-1 and a first regulator cap screw portion 12-2 formed on an inner wall for installing the first regulator 21 on one side of the valve body 10. The second regulator mounting chamber 13 having the second regulator screw portion 13-1 and the second regulator cap screw portion 13-2 formed on the inner wall for installing the second regulator 31 is formed on the other side thereof. The first regulator installation chamber 12 communicates with the cylinder through the first flow passage 61, and the first regulator installation chamber 12 and the second regulator installation chamber 13 move to the second flow passage 62. The second regulator installation chamber 13 communicates with the opening / closing valve installation chamber 14 in which the opening / closing valve 40 capable of blocking the flow of the fluid in flow and the third flow path 63 are installed therein. ,
The first regulator 21 is screwed into the first regulator screw portion 12-1, and the first regulator cap 22 protects the first regulator 21 on the first regulator cap screw portion 12-2. ) Is screwed, the second regulator 31 is screwed to the second regulator screw portion (13-1) is installed, the second regulator cap screw portion (13-2) to protect the second regulator (31) While the second regulator cap 32 is screwed in,
The first regulator 21,
A first regulator body 21 formed on the outer wall and having a cap shape to have an inner space; A pressure regulator 24 including a poppet, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer accommodated in an inner space of the first regulator body 23; A pressure regulating elastic body 25 accommodated in an internal space of the first regulator body 23 to elastically support the pressure regulator 24; A support pressure adjusting rod (26) for adjusting a support pressure of the pressure adjusting elastic member (25); It includes a fixing screw 27 for fixing the position of the support pressure adjusting rod 26,
The second regulator 31,
A second regulator body 31 formed on the outer wall and having a cap shape so as to have an inner space; And a pressure regulator 34 for opening the fluid flow path at a set pressure, including a poppet accommodated in the internal space of the second regulator body 33, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer. A fluid pressure regulating valve body for a cylinder. 제2항에 있어서,
상기 제1 레귤레이터 설치실(12)의 내벽에는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와, 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)가 형성되고,
상기 제2 레귤레이터 설치실(13)의 내벽에는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와, 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)가 형성되며,
상기 제1 레귤레이터부(20)는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 나사결합으로 설치되는 제1 레귤레이터(21)와, 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)와 나사결합되어 제1 레귤레이터(21)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(22)을 포함하며,
상기 제2 레귤레이터부(30)는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 나사결합으로 설치되는 제2 레귤레이터(31)와, 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)와 나사결합되어 제2 레귤레이터(31)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(32)을 포함함을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.The method of claim 2,
The first regulator screw portion 12-1 and the first regulator cap screw portion 12-2 are formed on an inner wall of the first regulator mounting chamber 12,
The second regulator screw portion 13-1 and the second regulator cap screw portion 13-2 are formed on an inner wall of the second regulator mounting chamber 13,
The first regulator part 20 is screwed with the first regulator 21 and the first regulator cap screw part 12-2, which are installed by screwing the first regulator screw part 12-1. A first regulator cap 22 to protect 21,
The second regulator part 30 is screwed with the second regulator 31 screwed with the second regulator screw part 13-1 and the second regulator cap screw part 13-2, and the second regulator ( 31. A fluid pressure regulating valve body for a cylinder, characterized in that it comprises a first regulator cap (32) for protecting said protection. 제7항에 있어서,
상기 제1 레귤레이터(21)는,
외벽에 제1 레귤레이터 나사부(21-1)가 형성되고, 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제1 레귤레이터 몸체(23)와; 상기 제1 레귤레이터 몸체(23)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하는 압력조절체(24)와; 상기 제1 레귤레이터 몸체(23) 내부공간에 수용되어 압력조절체(24)를 탄성지지하는 압력조절용 탄성체(25)와; 상기 압력조절용 탄성체(25)의 지지압력을 조절하는 지지압력조절봉(26)과; 상기 지지압력조절봉(26)의 위치를 고정하는 고정나사(27)를 포함하고,
상기 제2 레귤레이터(31)는,
외벽에 제2 레귤레이터 나사부(31-1)가 형성되고, 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제2 레귤레이터 몸체(33)와;
상기 제2 레귤레이터 몸체(33)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하여 설정압력에서 유체 유로를 개방하도록 하는 압력조절체(34)를 포함함을 특징으로 하는 실린더용 유체압력조정밸브체.The method of claim 7, wherein
The first regulator 21,
A first regulator body 21 formed on the outer wall and having a cap shape to have an inner space; A pressure regulator 24 including a poppet, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer accommodated in an inner space of the first regulator body 23; A pressure regulating elastic body 25 accommodated in an internal space of the first regulator body 23 to elastically support the pressure regulator 24; A support pressure adjusting rod (26) for adjusting a support pressure of the pressure adjusting elastic member (25); It includes a fixing screw 27 for fixing the position of the support pressure adjusting rod 26,
The second regulator 31,
A second regulator body 31 formed on the outer wall and having a cap shape so as to have an inner space;
And a pressure regulator 34 for opening the fluid flow path at a set pressure, including a poppet accommodated in the internal space of the second regulator body 33, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer. A fluid pressure regulating valve body for a cylinder. 삭제delete
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