KR102032928B1

KR102032928B1 - 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로

Info

Publication number: KR102032928B1
Application number: KR1020190010733A
Authority: KR
Inventors: 류시엽
Original assignee: 류시엽
Priority date: 2019-01-28
Filing date: 2019-01-28
Publication date: 2019-10-16

Abstract

본 발명은 적층 세라믹 콘덴서가 투입되는 소성로 챔버와, 상기 소성로 챔버로 불활성 가스를 주입하는 가스 주입관과, 상기 소성로 챔버 내부의 적층 세라믹 콘덴서 소성과정에서 발생되는 바인더 가스가 포함된 불활성 가스가 배출되는 가스 배출관과, 상기 가스 배출관에 연결되어 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 포집하는 바인더 가스 포집장치와, 상기 바인더 가스 포집장치와 가스 주입관 사이에 연결되어 바인더 가스가 제거된 불활성 가스를 재사용하기 위해 소성로 챔버로 주입하는 리턴 가스관과, 상기 리턴 가스관에 연결되어 리턴 가스관을 통과하는 가스 중 일부를 외부로 배기하는 가스 배기관으로 구성되어, 불활성 가스 사용량을 최소화하면서 소성로 챔버 내부의 바인더 가스 농도를 줄일 수 있다.

Description

적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로{SINTERING FURNACE FOR MULTI LAYER CERAMIC CAPACITOR}

본 발명은 적층 세라믹 콘덴서 제조시 소성 공정을 진행하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로에 관한 것이다.

일반적으로 적층 세라믹 콘덴서(Multilayer Ceramic Capacitor: MLCC)와 같은 세라믹 전자부품을 완제품으로 얻기 위한 절차 중 하나로서 소성로를 이용한 소성공정을 거쳐야 한다.

소성로는 등록특허공보 10-0844250(2008년 06월 30일)에 개시된 바와 같이, 소성용 성형체를 수용하는 소성로 챔버와, 소성로 챔버의 주위에 배치된 히터와, 소성로 챔버 내면에 배치되는 단열층을 포함하고, 소성로 챔버 내부에는 소성 공정에서 세라믹 제품의 고온 산화를 방지하기 위한 불활성 가스가 투입된다.

MLCC의 적층과정에서 접착제가 사용되며, 소성 과정에서 MLCC 내부에서 접착제에 포함된 바인더 가스가 기화되어 배출된다. 이에 따라 소성로 챔버 내부에는 불활성 가스 이외에 바인더 가스가 체류되며 일정기간이 흐른 후 바인더 가스의 포화로 인하여 발화에 의한 화재와 제품 불량발생이 발생하기 때문에 소성로 챔버 내부는 항상 일정 수준 이하의 바이더 가스 농도를 유지하여야 한다.

따라서, 종래에는 이러한 문제를 해결하기 위하여 바인더 가스 발생량을 대비하여 다량의 불활성 가스를 투입하며 투입량에 대비하여 동일 용량을 배기하는 데 이 경우 불활성 가스의 사용량이 증가하여 제조비용이 증가하는 문제가 있다.

또한, 바인더 가스가 포함된 불활성 가스의 과다 배기로 인하여 폐가스 처리비용의 상승이 증가하는 문제가 있다.

한국 등록특허공보 10-0844250(2008년 06월 30일)

따라서, 본 발명의 목적은 소성로 챔버 내부의 바인더 가스의 농도를 최소로 유지하여 바인더 가스의 농도가 높아짐에 따른 발화에 의한 화재와 제품 불량 발생을 방지할 수 있는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 소성로 챔버로 투입되는 불활성 가스 사용량을 줄일 수 있어 제조비용을 줄일 수 있는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 외부로 배출되는 바인더 가스량을 최소화할 수 있어 환경오염을 줄일 수 있고, 폐가스 처리하기 위한 처리비용을 줄일 수 있는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로는 적층 세라믹 콘덴서가 투입되는 소성로 챔버와, 상기 소성로 챔버로 불활성 가스를 주입하는 가스 주입관과, 상기 소성로 챔버 내부의 적층 세라믹 콘덴서 소성과정에서 발생되는 바인더 가스가 포함된 불활성 가스가 배출되는 가스 배출관과, 상기 가스 배출관에 연결되어 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 포집하는 바인더 가스 포집장치와, 상기 바인더 가스 포집장치와 가스 주입관 사이에 연결되어 바인더 가스가 제거된 불활성 가스를 재사용하기 위해 소성로 챔버로 주입하는 리턴 가스관과, 상기 리턴 가스관에 연결되어 리턴 가스관을 통과하는 가스 중 일부를 외부로 배기하는 가스 배기관을 포함한다.

상기 바인더 가스 포집장치는 소성로 챔버 내부에서 배출되는 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 응축되는 온도로 냉각하여 액화 상태로 응축하는 것을 특징으로 한다.

바인더 가스가 응축되는 온도로 냉각하여 바인더 가스를 액체 상태로 만들어 포집하여 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 제거하는 것을 특징으로 한다.

상기 바인더 가스 포집장치는 하부에 가스 배기관이 연결되고, 상부에 리턴 가스관이 연결되는 하우징과, 상기 하우징 내부에 배치되고 냉각수가 통과하면서 바인더 가스가 포함된 불활성 가스와 열교환이 이루어지는 냉각수 튜브와, 상기 냉각수 튜브와 연결되어 냉각수를 냉각수 튜브로 주입함과 아울러 열교환을 완료한 냉각수가 배출되는 냉각수 공급장치를 포함한다.

상기 하우징은 하부에 액상 바인더 드레인부가 설치되어 하우징의 하부에 액상 바인더가 모아지면 외부로 배출하는 것을 특징으로 한다.

상기 냉각수 공급장치는 냉각수 튜브의 일단에 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급라인이 연결되는 냉각수 저장탱크와, 상기 냉각수 튜브의 타단에 연결되어 열교환을 완료한 냉각수를 배출하는 냉각수 배출라인과 냉각수 저장탱크 사이에 연결되어 냉각수를 냉각하는 라디에이터를 포함한다.

상기 바인더 가스 포집장치는 상기 가스 배출관으로 배출되는 가스의 온도에 따라 냉각수량을 조절하여 가스의 냉각 온도를 일정하게 유지하는 냉각수량 조절부를 더 포함하고, 상기 냉각수량 조절부는 상기 가스 배출관에 설치되어 가스 배출관의 통과하는 가스의 온도를 측정하는 제1온도센서와, 상기 리턴 가스관에 설치되어 하우징에서 배출되는 가스의 온도를 측정하는 제2온도센서와, 상기 냉각수 공급라인에 설치되어 냉각수량을 조절하는 쿨링 컨트롤 밸브와, 제1온도센서와 제2온도센서에서 인가되는 신호에 따라 쿨링 컨트롤 밸브를 제어하는 제어부를 포함한다.

상기 가스 배기관은 제1파이프, 제2파이프 및 제3파이프가 분기되어 연결되고, 상기 제1파이프에는 제1파이프를 수동으로 개폐하는 수동밸브가 설치되고, 상기 제2파이프에는 소성로 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지하도록 소성로 챔버의 압력에 따라 제2파이프의 개폐량을 조절하는 압력 컨트롤 밸브가 설치되며, 상기 제3파이프에는 제어부에서 인가되는 신호에 따라 제3파이프를 자동으로 개폐하는 자동밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.

상기 가스 주입관을 통해 소성로 챔버로 주입되는 가스량의 10%가 주입되고, 상기 리턴 가스관을 통해 소성로 챔버로 주입되는 가스량의 90%가 주입되며, 상기 가스 배기관으로 리턴 가스관을 통과하는 가스량의 10%가 배기되는 것을 특징으로 한다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로는 바인더 가스를 포집하는 바인더 가스 포집장치를 구비하여 소성로 챔버 내부로 주입되는 불활성 가스를 재사용할 수 있어 소성로 챔버로 주입하는 불활성 가스량을 증가시켜 소성로 챔버 내부의 바인더 가스의 농도를 최소로 유지하여 바인더 가스의 농도가 높아짐에 따른 발화에 의한 화재와 제품 불량 발생을 방지할 수 있다.

또한, 소성로 챔버로 투입되는 불활성 가스를 재사용함으로써, 불활성 가스의 사용량을 줄일 수 있어 제조비용을 줄일 수 있다.

또한, 바인더 가스를 포집하여 외부로 배출되는 바인더 가스량을 최소화할 수 있어 환경오염을 줄일 수 있고, 폐가스 처리하기 위한 처리비용을 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소성로의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수량 조절부의 블럭도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소성로의 구성도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 소성로는 소성을 위한 적층 세라믹 콘덴서가 투입되는 소성로 챔버(10)와, 소성로 챔버(10)로 불활성 가스를 주입하는 가스 주입관(20)과, 소성로 챔버(10) 내부의 바인더 가스가 포함된 불활성 가스를 배출하는 가스 배출관(30)과, 가스 배출관(30)에 연결되어 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 포집하는 바인더 가스 포집장치(40)와, 바인더 가스가 제거된 불활성 가스를 재사용하기 위해 소성로 챔버(10)로 주입하도록 가스 주입관(20)과 연결되는 리턴 가스관(50)과, 리턴 가스관(50)에 연결되어 리턴 가스관(50)을 통과하는 가스 중 일부를 외부로 배기하는 가스 배기관(60)을 포함한다.

적층 세라믹 콘덴서의 제조공정을 살펴보면, 티탄산바륨 (BaTiO3) 등의 유전체 분말 및 바인더 수지를 함유하는 유전체 그린 시트의 표면상에 도전성 분말, 바인더 수지 및 유기 용제 등을 함유하는 내부 전극용 페이스트를 전극 패턴으로 인쇄한 것을 다층으로 적층하고 내부 전극과 유전체 그린 시트를 다층으로 적층한 적층체를 제조한다. 그리고, 이 적층체를 가열 압착하고 일체화하여 압착체를 형성한다. 그리고, 압착체를 절단하여 산화성 분위기 또는 불활성 분위기 중에서 탈유기 바인더 처리를 실시한 후 소성을 실시하여 소성 칩을 얻는다. 이어서, 소성 칩의 양단부에 외부 전극용 페이스트를 도포하고, 소성 후 외부 전극 표면에 니켈 도금 등을 실시하여 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다.

본 실시예에 따른 소성로는 적층 세라믹 콘덴서의 소성 공정에 사용되는 것으로, 소성 공정시 열을 가하게 되면 유기 용제 및 바인더 수지에 포함된 용매가 휘발되어 바인더 가스가 발생되고, 이렇게 발생된 바인더 가스가 소성로 챔버(10) 내부에 채워지면서 농도가 높아지면 적층 세라믹 콘덴서의 품질이 저하되고, 발화에 의한 화재가 발생될 수 있다.

이러한 문제를 방지하기 위해 기존에는 불활성 가스를 주입하면서 동일량을 배기하여 소성로 챔버(10) 내부의 바인더 가스의 농도를 낮추었다. 하지만, 이 경우 불활성 가스의 사용량이 증가하여 비용이 증가하게 된다.

본 실시예서는 바인더 가스가 포함된 불활성 가스가 배출되는 가스 배출관(30)에 바인더 가스 포집장치(40)를 설치하여, 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 제거한 후 소성로 챔버(10)로 재주입함으로써, 불활성 가스를 재사용할 수 있어 불활성 가스 사용량을 줄일 수 있고, 소성로 챔버(10) 내부로 주입되는 불활성 가스 사용량을 늘려서 소성로 챔버 내부의 바인더 가스 농도를 최소화할 수 있다.

바인더 가스 포집장치(40)는 바인더 가스는 일정 온도 이하가 되면 가스 상태에서 액체 상태로 응축되는 것을 이용하여 바인더 가스가 포함된 불활성 가스를 냉각하는 열교환 시스템이다.

바인더 가스 포집장치(40)는 하부에 가스 배출관(30)이 연결되고, 상부에 리턴 가스관(50)이 연결되는 하우징(42)과, 하우징(42) 내부에 배치되고 냉각수가 통과하면서 바인더 가스가 포함된 불활성 가스와 열교환하여 바인더 가스를 응축하는 냉각수 튜브(44)와, 냉각수 튜브(44)와 연결되어 냉각수를 냉각수 튜브(44)로 주입함과 아울러 열교환을 완료한 냉각수가 배출되는 냉각수 공급장치(46)를 포함한다.

하우징(42)은 수직으로 세워지게 배치되고, 그 상부에 냉각수 공급장치(46)가 연결되고, 하부에는 응축된 액상의 바인더가 하우징(42) 하부에 일정량 모아지면 외부로 배출하는 바인더 드레인 장치(48)가 설치된다.

그리고 하우징(42)의 하부 측면에 가스 배출관(30)이 연결되고 하우징(42)의 상부 측면에 리턴 가스관(50)이 연결되어 하우징(42)의 하부로 바인더 가스가 포함된 불활성 가스가 유입되고, 하우징(42)의 상측방향으로 이동되면서 냉각수 튜브(44)와 열교환되어 바인더 가스가 응축되어 액상화되면 하측방향으로 흘러내려 하우징(42)의 하부에 모이게 된다. 그리고 바인더 가스가 제거된 불활성 가스는 하우징(42)의 상부에 연결되는 리턴 가스관(50)을 통해 배출된다.

냉각수 튜브(44)는 냉각 효율과 바인더 응축 현상을 고려하여 쉘엔튜브 타입(Shell & Tube type)의 U-자 형태로 이루어지며, 튜브 중간에는 가스의 흐름을 방해하여 냉각효율을 높이기 위한 베플판(Baffle Plate)을 설치될 수 있다.

이와 같은 냉각수 튜브(44)는 통과하는 가스와 충분히 열교환이 이루어질 수 있는 어떠한 구조도 적용이 가능하다.

냉각수 공급장치(46)는 냉각수 튜브(44)의 일단에 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급라인(72)이 연결되는 냉각수 저장탱크(78)와, 냉각수 튜브(44)의 타단에 연결되어 열교환을 완료한 냉각수를 배출하는 냉각수 배출라인(74)과 냉각수 저장탱크(78) 사이에 연결되어 냉각수를 냉각하는 라디에이터(76)를 포함할 수 있다.

냉각수의 온도는 바인더 가스가 충분히 응축될 수 있는 온도를 유지한다.

가스 배출관(30)으로 배출되는 가스의 온도는 일정하지 않다. 따라서, 가스 배출관(30)으로 배출되는 온도에 따라 냉각 수량을 조절하여 가스의 냉각온도를 일정하게 유지하여 바인더 가스의 응축 성능을 유지하기 위한 냉각수량 조절부가 구비된다.

냉각수량 조절부는 도 2에 도시된 바와 같이, 가스 배출관(30)에 설치되어 가스 배출관(30)의 통과하는 가스의 온도를 측정하는 제1온도센서(32)와, 리턴 가스관(50)에 설치되어 하우징(42)에서 배출되는 가스의 온도를 측정하는 제2온도센서(34)와, 냉각수 공급라인(72)에 설치되어 냉각수량을 조절하는 쿨링 컨트롤 밸브(36)와, 제1온도센서(32)와 제2온도센서(34)에서 인가되는 신호에 따라 쿨링 컨트롤 밸브(36)를 제어하는 제어부(38)를 포함한다.

이와 같이, 냉각수량 조절부는 소성로 챔버(10)에서 배출되는 가스의 온도와 바인더 가스 포집장치(40)를 통과하면서 냉각된 가스의 온도를 각각 측정하여 그 신호가 제어부(38)로 인가되면 제어부(38)는 설정치와 비교하여 쿨링 컨트롤 밸브(36)를 제어하여 가스의 온도에 따라 냉각수량을 조절함으로써, 바인더 가스의 응축성능을 향상시킨다.

리턴 가스관(50)에는 리턴 가스관(50)을 통과하는 가스 중 일부가 외부로 배출되는 가스 배기관(60)이 연결되고, 가스 배기관(60)으로 배기되는 가스량은 가스 주입관(20)을 통해 소성로 챔버(10)로 주입되는 새 가스량과 동일하다.

즉, 가스 주입관(20)으로 주입되는 새 가스량과 가스 배기관(60)으로 배기되는 가스량을 동일하게 하여 소성로 챔버(10) 내부의 불활성 가스량을 일정하게 유지한다.

가스 배기관(60)에는 제1파이프(62), 제2파이프(64) 및 제3파이프(66)가 분기되어 연결되고, 제1파이프(62)에는 제1파이프(62)를 수동으로 개폐하는 수동밸브(82)가 설치되고, 제2파이프(64)에는 소성로 챔버(10) 내부의 압력을 일정하게 유지하도록 소성로 챔버(10) 내부의 압력에 따라 제2파이프(64)의 개폐량을 조절하는 압력 컨트롤 밸브(84)가 설치되고, 제3파이프(66)에는 제3파이프(66)를 자동으로 개방하는 자동밸브(86)가 설치된다.

수동밸브(82)는 가스 배기관을 수동으로 개폐하는 밸브이고, 자동밸브(86)는 화재 등 소성로 챔버(10) 내부의 압력이 급격하게 증가할 경우 제어부에서 인가되는 신호에 따라 제2파이프(64)를 자동으로 개방하여 급격히 올라가는 압력을 배출함으로 장비의 파손을 방지한다.

소성로 챔버(10)의 일정한 온도와 불활성 가스 분위기 및 외부로부터의 산소 차단 등의 목적으로 소성로 내부는 일정한 수준이상(일예로 10~100mmAq)의 압력 유지를 필요로 한다.

따라서 소성로 챔버(10)에 일정 수준의 불활성 가스 공급이 필요하며 또한 압력 컨트롤 밸브(84)가 급기량에 맞추어 배기량을 조절함으로써, 소성로 챔버 내부의 일정 압력을 유지한다.

소성로 챔버(10)에는 압력 측정센서가 설치되어 압력 측정센서가 제어부로 신호를 인가하면 제어부는 압력 컨트롤 밸브(84)를 제어하여 소성로 챔버(10) 내부의 압력을 일정하게 유지한다.

이와 같이, 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 소성로의 작용을 살펴보면, 가스 주입관(20)을 통해 소성로 챔버(10)로 새로운 불활성 가스가 전체 주입량의 10%가 주입된다. 그리고 리턴 가스관(50)을 통해 소성로 챔버(10)로 주입되는 가스량의 90%가 주입된다.

이와 같이, 소성로 챔버(10)로 주입되는 새 불활성 가스의 주입량이 전체 주입량의 10%이기 때문에 새 가스 주입량을 최소화할 수 있고 이에 따라 가스 사용량을 줄일 수 있어 비용을 줄일 수 있다.

또한, 소성로 챔버(10)로 주입되는 가스량을 기존의 3배 정도로 증가시킴으로서, 소성로 챔버 내부에 머무르는 바인더 가스량을 최소로 줄일 수 있어 제품의품질을 향상시키고 바인더 가스에 농도 증가로 인한 화재를 방지한다.

그리고, 가스 배출관(30)을 통해 바인더 가스가 포함된 불활성 가스가 배출된다. 이렇게 배출된 가스는 바인더 가스 포집장치(40)를 통과하면서 바인더 가스가 제거되고, 리턴 파이프(50)를 통해 소성로 챔버(10)로 주입되어 재사용된다.

그리고, 리턴 파이프(50)로 배출되는 가스 중 10%는 가스 배기관(60)을 통해 외부로 배기된다. 이와 같이, 외부로 배기되는 가스량을 최소로 줄일 수 있어 폐가스 배기에 따른 환경오염을 최소화하고, 폐가스 처리 설비를 최소화할 수 있어 제조비용을 줄일 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.

10: 소성로 챔버 20: 가스 주입관
30: 가스 배출관 40: 바인더 가스 포집장치
42: 하우징 44: 냉각수 튜브
46: 냉각수 공급장치 50: 리턴 가스관
60: 가스 배기관

Claims

적층 세라믹 콘덴서가 투입되는 소성로 챔버;
상기 소성로 챔버로 불활성 가스를 주입하는 가스 주입관;
상기 소성로 챔버 내부의 적층 세라믹 콘덴서 소성과정에서 발생되는 바인더 가스가 포함된 불활성 가스가 배출되는 가스 배출관;
상기 가스 배출관에 연결되어 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 포집하는 바인더 가스 포집장치;
상기 바인더 가스 포집장치와 가스 주입관 사이에 연결되어 바인더 가스가 제거된 불활성 가스를 재사용하기 위해 소성로 챔버로 주입하는 리턴 가스관; 및
상기 리턴 가스관에 연결되어 리턴 가스관을 통과하는 가스 중 일부를 외부로 배기하는 가스 배기관을 포함하고,
상기 가스 배기관은 제1파이프, 제2파이프 및 제3파이프가 분기되어 연결되고, 상기 제1파이프에는 제1파이프를 수동으로 개폐하는 수동밸브가 설치되고,
상기 제2파이프에는 소성로 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지하도록 소성로 챔버의 압력에 따라 제2파이프의 개폐량을 조절하는 압력 컨트롤 밸브가 설치되며,
상기 제3파이프에는 제어부에서 인가되는 신호에 따라 제3파이프를 자동으로 개폐하는 자동밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.
제1항에 있어서,
상기 바인더 가스 포집장치는 소성로 챔버 내부에서 배출되는 불활성 가스에 포함된 바인더 가스를 응축되는 온도로 냉각하여 액화 상태로 응축하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.
제1항에 있어서,
상기 바인더 가스 포집장치는 하부에 가스 배기관이 연결되고, 상부에 리턴 가스관이 연결되는 하우징;
상기 하우징 내부에 배치되고 냉각수가 통과하면서 바인더 가스가 포함된 불활성 가스와 열교환이 이루어지는 냉각수 튜브; 및
상기 냉각수 튜브와 연결되어 냉각수를 냉각수 튜브로 주입함과 아울러 열교환을 완료한 냉각수가 배출되는 냉각수 공급장치;를 포함하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.
제3항에 있어서,
상기 하우징은 하부에 액상 바인더 드레인부가 설치되어 하우징의 하부에 액상 바인더가 모아지면 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.
제3항에 있어서,
상기 냉각수 공급장치는 냉각수 튜브의 일단에 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급라인이 연결되는 냉각수 저장탱크; 및
상기 냉각수 튜브의 타단에 연결되어 열교환을 완료한 냉각수를 배출하는 냉각수 배출라인과 냉각수 저장탱크 사이에 연결되어 냉각수를 냉각하는 라디에이터;를 포함하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.
제5항에 있어서,
상기 바인더 가스 포집장치는 상기 가스 배출관으로 배출되는 가스의 온도에 따라 냉각수량을 조절하여 가스의 냉각 온도를 일정하게 유지하는 냉각수량 조절부를 더 포함하고,
상기 냉각수량 조절부는 상기 가스 배출관에 설치되어 가스 배출관의 통과하는 가스의 온도를 측정하는 제1온도센서와,
상기 리턴 가스관에 설치되어 하우징에서 배출되는 가스의 온도를 측정하는 제2온도센서와,
상기 냉각수 공급라인에 설치되어 냉각수량을 조절하는 쿨링 컨트롤 밸브와,
제1온도센서와 제2온도센서에서 인가되는 신호에 따라 쿨링 컨트롤 밸브를 제어하는 제어부를 포함하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.
삭제
제1항에 있어서,
상기 가스 주입관을 통해 소성로 챔버로 주입되는 가스량의 10%가 주입되고, 상기 리턴 가스관을 통해 소성로 챔버로 주입되는 가스량의 90%가 주입되며, 상기 가스 배기관으로 리턴 가스관을 통과하는 가스량의 10%가 배기되는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서 제조용 소성로.