KR102023642B1 - Fine particle measurement device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 미세 입자 측정 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 미세 입자를 전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 분류하고 특정 크기의 미세 입자만을 추출하여 그 개수를 측정하는 미세 입자 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fine particle measuring apparatus, and more particularly, to a fine particle measuring apparatus for classifying fine particles using a difference in electric mobility in an electric field, extracting only fine particles of a specific size, and measuring the number thereof.
일반적으로 반도체 공정이나 LCD 공정과 같은 고도의 정밀도가 요구되는 공정은 제품의 청결상태가 유지될 수 있도록 클린룸과 같은 청정 설비 내에서 진행되고 있으며, 제품 불량의 치명적인 요인인 오염입자를 검출하기 위하여 입자를 측정할 수 있는 다양한 형태의 입자 측정장치를 구축하여 사용하고 있다.In general, processes requiring high precision, such as semiconductor processes or LCD processes, are conducted in clean facilities such as clean rooms to maintain product cleanliness, and to detect contaminants that are fatal factors of product defects. Various types of particle measuring devices that can measure particles are being used.
이러한 입자 측정장치로는 측정 가능한 입자의 크기나 측정 방식 등에 따라 다양하게 분류될 수 있다. 예를 들어, 광학적인 측정방법을 이용한 입자 측정장치, 기체역학적인 측정방법을 이용한 입자 측정장치, 전기적 측정방법을 이용한 입자 측정장치로 크게 분류될 수 있다.Such a particle measuring device may be classified into various types according to the size or measuring method of the particles that can be measured. For example, the particle measuring apparatus may be classified into a particle measuring apparatus using an optical measuring method, a particle measuring apparatus using a gas dynamic measuring method, and a particle measuring apparatus using an electrical measuring method.
광학적 입자 측정장치의 대표적인 일례가 대한민국 공개특허공보 제58063호(2011.06.01.)에 개시된 광 흡수방식 입자 측정장치이다. 이는 입자에 의해 흡수 소멸된 빛의 양을 검출하여 챔버 내에서 유동하는 입자의 분포 상태를 측정하는 것을 특징으로 한다.A typical example of an optical particle measuring device is a light absorption type particle measuring device disclosed in Korean Unexamined Patent Publication No. 58063 (2011.06.01.). It is characterized by detecting the amount of light absorbed and extinguished by the particles, and measuring the distribution of particles flowing in the chamber.
그러나 이와 같은 종래 광 흡수방식을 이용한 입자 측정장치는 가격이 고가이며, 반도체의 선폭이 작아짐에 따라 제어해야 하는 오염입자의 크기도 계속해서 작아지는 추세에서 미세한 크기의 오염입자까지 정확하게 검출할 수 있을 정도로 높은 측정 정밀도를 갖는 시스템 구축에는 한계가 있다.However, the particle measuring apparatus using the conventional light absorption method is expensive, and as the line width of the semiconductor becomes smaller, the size of the polluted particles to be controlled is also kept decreasing so that it is possible to accurately detect the polluted particles having a small size. There is a limit to the construction of a system with high measurement accuracy.
이에 반해 전기적 측정방식을 이용한 입자 측정장치는, 전자건을 이용하여 입자를 하전시키고, 하전된 입자가 전기력에 반응하는 성질을 이용하여 입자를 크기에 따라 분류하고 측정하는 방식이므로, 종래의 광 흡수방식이나 기체역학적인 측정방식에 비해 높은 측정 정밀도를 갖는다. On the contrary, since the particle measuring device using the electric measuring method charges the particles using an electron gun and classifies and measures the particles according to the size by using the property of the charged particles reacting to the electric force, conventional light absorption is achieved. It has a higher measurement accuracy than the method or the gas dynamic measurement method.
그러나 종래 전기적 측정방식의 입자 측정장치 대부분은 구성이 복잡하면서도 대형이다. 때문에 사용 환경이 제한적이고 제품 양산성이 떨어지는 단점이 있다. 또한 복잡한 구성 때문에 제품의 분해/조립이 어려워 유지 보수가 용이하지 못하며, 제작 단가가 비싸 가격 경쟁력이 떨어지는 단점이 있다.However, most of the particle measuring apparatuses of the conventional electrical measurement method are complicated and large in size. Therefore, the use environment is limited and the product mass production is disadvantageous. In addition, due to the complex configuration of the product is difficult to disassemble / assemble, maintenance is not easy, and the manufacturing cost is expensive, there is a disadvantage that the price competitiveness.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 미세 입자를 전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 분류하고 측정함으로써 높은 측정 정확도를 갖는 미세 입자 측정 장치를 제공하고자 하는 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is to provide a fine particle measuring apparatus having a high measurement accuracy by classifying and measuring the fine particles using the electric mobility difference in the electric field.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 각 구성부의 모듈화를 통해 장치 소형화를 달성하고, 분해/조립이 용이하며 제작 비용 및 유지 보수 비용을 절감시킬 수 있는 미세 입자 측정 장치를 제공하고자 하는 것이다.Another technical problem to be solved by the present invention is to provide a small particle measuring apparatus that can achieve the device miniaturization through the modularization of each component, easy disassembly / assembly, and can reduce the production cost and maintenance cost.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 사용 환경에 구애를 받지 않고 원하는 장소에서 실시간으로 공기 중 미세 입자를 측정할 수 있는 미세 입자 측정 장치를 제공하고자 하는 것이다. Another technical problem to be solved by the present invention is to provide a fine particle measuring apparatus that can measure the fine particles in the air in real time at a desired place irrespective of the use environment.
과제의 해결 수단으로서 본 발명의 실시 예에 따르면, According to the embodiment of the present invention as a means of solving the problem,
유입되는 미세 입자를 하전시키는 하전 유닛;A charging unit for charging the incoming fine particles;
전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 미세 입자만을 분류하여 추출하는 분류 유닛; 및A classification unit configured to classify and extract only fine particles having a specific size among charged fine particles using the electric mobility difference in the electric field; And
상기 분류 유닛으로부터 추출된 특정 크기의 미세 입자 개수를 측정하는 계수 유닛;을 포함하는 미세 입자 측정 장치를 제공한다. It provides a fine particle measuring apparatus comprising a; counting unit for measuring the number of fine particles of a specific size extracted from the classification unit.
과제의 해결 수단으로서 본 발명의 다른 실시 예에 따르면, According to another embodiment of the present invention as a means of solving the problem,
유입되는 미세 입자를 하전시키는 하전 유닛;A charging unit for charging the incoming fine particles;
전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 미세 입자를 분류하여 추출하는 분류 유닛;A classification unit for classifying and extracting fine particles of a specific size from charged fine particles using the electric mobility difference in the electric field;
상기 분류 유닛으로부터 추출된 특정 크기의 미세 입자 개수를 측정하는 계수 유닛;A counting unit for measuring the number of fine particles of a particular size extracted from the sorting unit;
상기 분류 유닛과 계수 유닛을 둘러싸도록 구비되는 도전성 금속 재질의 차폐 유닛; 및A shielding unit made of a conductive metal provided to surround the sorting unit and the counting unit; And
상기 차폐 유닛을 에워싸는 절연성 수지 재질의 외부 하우징;을 포함하는 미세 입자 측정 장치를 제공한다.It provides a fine particle measuring device comprising a; an outer housing made of an insulating resin surrounding the shield unit.
여기서, 상기 하전 유닛은 코로나 방전(Corona discharge)을 형성시켜 상기 미세 입자의 표면에 양(+)의 전하를 하전시키도록 구성될 수 있다.Here, the charging unit may be configured to charge a positive charge on the surface of the fine particles by forming a corona discharge.
본 발명의 실시 예에 적용된 상기 하전 유닛은 바람직하게, The charging unit applied to the embodiment of the present invention is preferably,
절연성 수지 재질의 유닛 하우징;A unit housing made of an insulating resin material;
상기 유닛 하우징의 중앙에 수평 방향으로 배치되는 단면이 원형 또는 각형인 막대 형상의 제1 전극;A rod-shaped first electrode having a circular or rectangular cross section disposed in a horizontal direction in the center of the unit housing;
상기 제1 전극과 간격을 두고 제1 전극의 좌우 측방에 평행하게 이격 배치되는 평판 형상의 제2 전극;을 포함하며,And a flat plate-shaped second electrode spaced apart from the first electrode in parallel to the left and right sides of the first electrode.
상기 유닛 하우징의 상단의 도입관을 통해 유닛 하우징 내에서 서로 마주하는 상기 제2 전극 사이로 미세 입자가 도입되고, 반대편 하단의 주입관을 통해 하전된 미세 입자를 분류 유닛에 주입시키는 구성일 수 있다.The fine particles may be introduced between the second electrodes facing each other in the unit housing through the introduction tube at the upper end of the unit housing, and the charged fine particles may be injected into the sorting unit through the injection tube at the opposite lower end.
또한, 본 발명의 실시 예에 적용된 분류 유닛은, In addition, the classification unit applied to an embodiment of the present invention,
하전된 미세 입자가 일측에서 수평 방향으로 유입되는 층류형 공기를 따라 유동될 수 있도록 내부공간이 형성된 절연성 수지 재질의 전방 커버와, A front cover of an insulating resin material having an inner space formed therein so that the charged fine particles can flow along the laminar air flowing in a horizontal direction from one side;
상기 전방 커버의 후단에 소정 길이로 설치되며, 상기 층류형 공기의 층류 유동(Laminar flow)에 따라 타측으로 이동되는 미세 입자에 전기장을 가해 수직 방향에 대하여 가속시키는 평행한 한 쌍의 도전성 금속 전극;A pair of parallel conductive metal electrodes installed at a rear end of the front cover and having an electric field applied to the fine particles moved to the other side according to the laminar flow of the laminar flow to accelerate in a vertical direction;
상기 한 쌍의 금속 전극 각각에 연결되어 두 금속 전극 사이에 전위차를 발생시키기 위한 전기 에너지를 공급하는 전극 볼트와,An electrode bolt connected to each of the pair of metal electrodes to supply electrical energy for generating a potential difference between the two metal electrodes;
상기 전방 커버의 후단에 연결되어 상기 도전성 금속 전극을 에워싸 보호하며, 내부에는 층류형 공기의 유동에 따라 하전된 미세 입자가 유동되는 유로가 형성되고 상기 입자 배출구를 구비하는 절연성 수지 재질의 후방 커버를 포함하며,It is connected to the rear end of the front cover to surround the conductive metal electrode to protect the inside, there is formed a flow path through which the charged fine particles flow in accordance with the flow of laminar flow, the rear cover of insulating resin material having the particle outlet Including;
상기 전방 커버의 상면 일측에 하전된 미세 입자가 유입되는 하전 입자 유입구가 형성되고, 하전 입자 유입구로부터 사선 방향으로 소정 거리 이격된 상기 후방 커버의 하면에 하전 입자 배출구가 형성된 구성일 수 있다.A charged particle inlet through which charged fine particles flow into one side of an upper surface of the front cover may be formed, and a charged particle outlet may be formed on a lower surface of the rear cover spaced apart in a diagonal direction from the charged particle inlet.
상기 분류 유닛은 또한, 상기 전방 커버에 유입되는 공기로부터 와류를 제거하고 층류화하는 층류화 스크린을 더 포함할 수 있다.The sorting unit may also further comprise a laminar flow screen for removing and laminarizing vortices from air entering the front cover.
이때, 상기 층류화 스크린은 전방 커버에 유입되는 공기의 유동을 기준으로 상기 하전 입자 유입구 전방의 전방 커버 내에 설치될 수 있다.In this case, the laminarization screen may be installed in the front cover in front of the charged particle inlet on the basis of the flow of air flowing into the front cover.
또한, 상기 한 쌍의 금속 전극 중 하부 금속 전극의 말단 모서리와 상기 하전 입자 배출구의 일면이 동일 선상에 정렬되도록 구성될 수 있다.In addition, the distal edge of the lower metal electrode of the pair of metal electrodes and one surface of the charged particle discharge port may be configured to be aligned on the same line.
또한, 상기 한 쌍의 금속 전극은 수평 방향에 대하여 상하로 평행하게 대향 배치되는 평판 전극일 수 있다.In addition, the pair of metal electrodes may be flat plate electrodes that are disposed to face up and down parallel to the horizontal direction.
또한, 본 발명의 실시 예에 적용된 상기 계수 유닛은,In addition, the counting unit applied to an embodiment of the present invention,
상기 분류 유닛으로부터 추출된 미세 입자의 개수를 측정하는 입자 계수 전극을 포함하며, 상기 입자 계수 전극을 사이에 두고 절연성 수지 재질의 상부 케이스와 하부 케이스가 상부와 하부에서 결합되어 상기 입자 계수 전극의 계수부를 보호하도록 구성될 수 있다.And a particle counting electrode for measuring the number of fine particles extracted from the sorting unit, wherein an upper case and a lower case of an insulating resin material are interposed between the upper and lower parts with the particle counting electrode interposed therebetween to count the counting electrode. It can be configured to protect wealth.
여기서, 상기 상부 케이스의 상단 중앙에 계수 유닛 입구가 형성되고, 반대편 하부 케이스 하단 중앙에 계수 처리된 미세 입자가 빠져나가는 계수 유닛 출구가 형성되며, 상기 입구와 계수부, 그리고 출구를 직선으로 연결하는 하나의 유로가 구획되도록 상부 케이스와 하부 케이스의 내부에 통로가 형성될 수 있다.Here, a counting unit inlet is formed at the center of the upper end of the upper case, and a counting unit outlet is formed at the center of the lower lower side of the opposite case to allow the counted fine particles to exit, connecting the inlet, the counter and the outlet in a straight line. A passage may be formed inside the upper case and the lower case so that one flow path is partitioned.
또한, 상기 입자 계수 전극은, 링 모양의 입력단 내측에 금속 메시 필터가 설치된 구성의 상기 계수부 및 상기 입력단의 외면 일측에 전기적으로 연결되고 케이스 밖으로 연장되는 막대 형상의 출력단을 포함할 수 있다.In addition, the particle counting electrode may include a rod-shaped output end that is electrically connected to one side of the outer surface of the input unit and the counting unit having a metal mesh filter installed inside the ring-shaped input end and extends out of the case.
또한, 상기 입자 계수 전극은 금속 메시 필터를 이용하여 입자를 포집하고 입자가 가진 전하로부터 미소 전류를 출력하도록 구성될 수 있다.In addition, the particle counting electrode may be configured to capture particles using a metal mesh filter and output a small current from the charge the particles have.
또한, 본 발명의 다른 실시 예에서 상기 차폐 유닛과 외부 하우징 사이에 전기적인 절연을 위한 절연 공간이 형성될 수 있다.In another embodiment of the present invention, an insulation space for electrical insulation may be formed between the shield unit and the outer housing.
바람직하게는, 상기 절연 공간에 절연 분말이 채워질 수 있다.Preferably, the insulating powder may be filled in the insulating space.
과제의 해결 수단으로서 본 발명의 다른 측면에 따르면, According to another aspect of the present invention as a means of solving the problem,
전술한 미세 입자 측정 장치를 포함하는 공기 중 오염 물질 모니터링 시스템을 제공한다.It provides a pollutant monitoring system in the air including the fine particle measuring apparatus described above.
본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치에 의하면, 평판 전극을 사용함으로써 유로 내 위치에 상관 없이 전기장의 세기가 동일하게 유지되며, 세기가 동일한 전기장 내에서의 전기 이동도 차이를 이용하여 미세 입자를 분류하고 측정함으로써 실시간 입자 분류 및 측정의 정확도 향상에 기여할 수 있다.According to the fine particle measuring apparatus according to the embodiment of the present invention, by using the flat electrode, the intensity of the electric field is maintained the same regardless of the position in the flow path, the fine particles by using the electric mobility difference in the same electric field By classifying and measuring, we can contribute to improving the accuracy of real-time particle classification and measurement.
더욱이, 차폐 유닛과 외부 하우징을 통한 이중 차폐 구조로 인하여, 외부와의 완벽한 단절을 기할 수 있어 외부 정전기가 장치에 미치는 영향(노이즈)을 최소화할 수 있다. 그 결과, 입자 분류 유닛을 통한 크기에 따른 입자 분류 및 입자 계수 유닛을 통한 입자 계수의 정확도가 일층 향상되어 신뢰도 높은 미세 입자 측정 장치를 제공할 수 있다.Moreover, due to the double shielding structure through the shielding unit and the outer housing, perfect disconnection from the outside can be achieved to minimize the influence (noise) of the external static electricity on the device. As a result, the accuracy of particle sorting according to the size through the particle sorting unit and particle counting through the particle counting unit can be further improved to provide a highly reliable fine particle measuring apparatus.
또한, 각부 구성을 모듈화시킨 콤팩트한 구성임에 따라, 분해/조립이 용이하여 장치 유지 보수가 용이하며, 단순한 구조임에 따라 제품의 양산성 측면에서 유리한 장점과 제작 비용 절감 및 장치의 소형화를 달성할 수 있다는 장점이 있다. In addition, it is a compact structure that modularizes each part configuration, easy disassembly / assembly, easy to maintain the device, and simple structure achieves advantages in terms of mass production of the product, reduction in production cost and miniaturization of the device The advantage is that you can.
또한, 휴대성 및 접근성이 우수하여 특정 환경에 구애됨이 없이 다양한 환경(대기 오염도 측정, 반도체 공정의 미세 먼지 측정, 엔진 PM 측정 등)에서 사용이 가능하고, 모듈화에 의해 부분적인 분해 및 교체가 가능하므로, 다양한 목표 입경, 농도 등 필요한 성능과 용도 등 수요자의 요구에 맞춰 커스터마이징이 가능하여 단순한 구조와 낮은 제작 비용으로도 시장의 다양한 요구를 충족시킬 수 있다.In addition, it has excellent portability and accessibility, so it can be used in various environments (air pollution measurement, fine dust measurement of semiconductor process, engine PM measurement, etc.) without regard to a specific environment. Since it is possible, it can be customized according to the demands of the users such as performance and use required such as various target particle diameters and concentrations, so that it can meet various demands of the market with simple structure and low production cost.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 전체적인 구성을 도시한 결합 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 미세 입자 측정 장치의 부분 분리 사시도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 하전 유닛을 도시한 사시도.
도 4는 도 3의 하전 유닛의 측 단면도.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 분류 유닛을 도시한 사시도.
도 6은 도 5의 분류 유닛에서 후단 커버를 생략 도시한 도면.
도 7은 분류 유닛의 측 단면도.
도 8은 상기 분류 유닛에 의해 수행되는 입자 분류 및 추출 과정을 설명하기 위한 분류 유닛의 작동 개념도.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치에 적용된 계수 유닛의 사시도.
도 10은 도 9에 도시된 계수 유닛의 측 단면도.
도 11은 계수 유닛을 구성하는 입자 계수 전극을 도시한 사시도.1 is a perspective view showing the overall configuration of the fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially separated perspective view of the fine particle measuring device shown in FIG. 1. FIG.
Figure 3 is a perspective view showing a charging unit of the fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a side cross-sectional view of the charging unit of FIG. 3.
5 is a perspective view illustrating a classification unit of the apparatus for measuring fine particles according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating a rear cover omitted from the sorting unit of FIG. 5; FIG.
7 is a side sectional view of the sorting unit.
8 is an operational conceptual diagram of a classification unit for explaining the particle classification and extraction process performed by the classification unit.
9 is a perspective view of the counting unit applied to the fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
10 is a side sectional view of the counting unit shown in FIG. 9;
11 is a perspective view illustrating particle counting electrodes constituting the counting unit;
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.
본 명세서에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms "comprise" or "have" herein are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and that one or more other features It should be understood that it does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.
또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.In addition, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
더하여, 명세서에 기재된 "…부", "…유닛", "…모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.In addition, the terms “… unit”, “… unit”, “… module”, etc. described in the specification mean a unit that processes at least one function or operation, which may be implemented by hardware or software or a combination of hardware and software. Can be.
첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일도면 참조부호를 부여하기로 하며 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In the description with reference to the accompanying drawings, the same reference numerals are assigned to the same components, and duplicate description thereof will be omitted. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 전체적인 구성을 도시한 결합 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 미세 입자 측정 장치의 부분 분리 사시도이다.1 is a combined perspective view showing the overall configuration of a fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a partially separated perspective view of the fine particle measuring apparatus shown in FIG.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치(1)는, 측정 대상 미세 입자(P)를 하전시키는 하전 유닛(10)과 하전된 미세 입자(P)를 크기에 따라 분류하여 추출하는 분류 유닛(20), 그리고 추출된 미세 입자의 개수를 측정하는 계수 유닛(30)을 포함한다. 또한 분류 유닛(20)과 계수 유닛(30)을 외부 환경으로부터 보호하는 차폐 유닛(40)과 외부 하우징(50)을 구비한다.1 to 2, the fine
하전 유닛(10)은 일측에서 유입되는 측정 대상 미세 입자(P)를 하전시켜 상기 분류 유닛(20)에 주입하며, 분류 유닛(20)은 전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 미세 입자를 분류하여 추출한다. 그리고 계수 유닛(30)은 상기 분류 유닛(20)으로부터 추출되는 특정 크기의 미세 입자가 발생시키는 미소 전류로부터 그 개수를 정확하게 측정한다.The charging
차폐 유닛(40)은 도전성 금속 재질로서 상기 분류 유닛(20)과 계수 유닛(30)을 둘러싸도록 구비되어 이들 유닛의 내부와 외부를 전기적으로 차폐하여 외부 전자기장 또는 정전기 변화가 측정 정밀도에 영향을 미치지 않도록 하며, 외부 하우징(50)은 상기 차폐 유닛(40)을 에워싸는 절연성 수지 재질로 구성되어 상기 차폐 유닛(40)이 받는 외부 정전기의 영향을 최소화하고 장치를 보호하는 역할을 한다.The shielding
분류 유닛(20)은 하전된 미세 입자를 일측에서 일정 속도로 유입되는 층류유동(Laminar flow)에 실어 세기가 균일하게 유지되는 전기장 내에서 이동시킴으로써, 하전된 미세 입자(P)가 전기장을 이동할 때 그 전기장에 의해 전극이 마주하는 방향(종 방향)으로 가속되는 특성을 이용하여 다양한 크기의 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 입자만을 선별하고 분류하여 추출한다.The sorting
하전 유닛(10)을 통해 하전된 미세 입자(P)는 상기 분류 유닛(20) 상면 일측의 하전 입자 유입구(22)를 통해 분류 유닛(20) 내부로 유입되고 상기 층류 유동에 실려 타측으로 이동된다. 그리고 분류 유닛(20)을 통해 분류된 특정 크기의 미세 입자는 상기 하전 입자 유입구(22)로부터 사선 방향으로 소정 거리 이격된 분류 유닛(20)의 하면 타측의 하전 입자 배출구(27)를 통해 배출되고 계수 유닛(30)에 제공된다.The fine particles P charged through the charging
이를 위해 분류 유닛(20)의 상기 하전 입자 유입구(22) 측에 상기 하전 유닛(10)이 설치되며, 대향부 타측의 상기 하전 입자 배출구(27) 측에 상기 계수 유닛(30)이 설치된다. 하전 유닛(10)은 고전압을 인가하여 미세 입자의 표면에 코로나 방전(Corona discharge)에 의해 양(+)의 전하를 하전시키고, 계수 유닛(30)은 미세 입자가 가진 전하로터 발생하는 미소 전류를 감지하여 수량을 측정하도록 구성된다.To this end, the charged
본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 주요 구성을 구성 요소 별로 좀 더 구체적으로 살펴보기로 한다.Main components of the fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in more detail for each component.
하전 유닛Charged unit
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 하전 유닛을 도시한 사시도이며, 도 4는 도 3의 하전 유닛의 측 단면도이다.3 is a perspective view illustrating a charging unit of the fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a side cross-sectional view of the charging unit of FIG.
하전 유닛(10)은 앞서도 언급한 바와 같이, 고전압을 인가하여 측정 대상 미세 입자의 표면에 코로나 방전을 통해 정확한 양의 양(+)의 전하를 가함과 동시에, 코로나 방전에 의해 양(+)의 전하가 하전된 미세 입자를 분류 유닛(20)에 주입하는 역할을 한다. 이를 위해 하전 유닛(10)의 고전압 전극은 미도시된 외부의 고전압 변환회로와 전기적으로 연결된다.As mentioned above, the charging
도 3 및 도 4를 참조하면, 하전 유닛(10)은 절연성 수지 재질의 유닛 하우징(12)에 설치되는 두 전극을 포함한다. 하나는 상기 유닛 하우징(12)의 중앙에 수평 방향으로 배치되는 단면이 원형 또는 각형인 막대 형상의 제1 전극(14)이고, 다른 하나는 상기 제1 전극(14)과 간격을 두고 제1 전극(14)의 좌우 측방에 평행하게 이격 배치되는 평판(Plate) 형상의 제2 전극(16)이다.3 and 4, the charging
제1 전극(14)은 도전성 금속, 예컨대 구리(Cu)로 이루어진 방전 전극이며, 제2 전극(16)은 도전성 금속, 예컨대 구리(Cu)로 이루어진 접지 전극이다. 방전 전극인 제1 전극(14)과 접지 전극에 해당하는 제2 전극(16)은 미도시된 고전압 변환회로에 전기적으로 연결되며, 상기 고전압 변환회로로부터 인가되는 전압의 크기를 조절(가변 전압)하여 미세 입자에 대한 하전 량과 분포도를 조절할 수 있다. The
이때, 제1 전극(14)과 제2 전극(16)에 가해지는 전압은 측정 대상 입자의 크기나 성질 또는 장치 적용분야에 따라 1000 ~ 10000V 범위에서 가변될 수 있다. In this case, the voltage applied to the
막대형 제1 전극(14)을 사이에 두고 평행한 한 쌍의 제2 전극(16)이 상호 마주하도록 이격되어 배치됨으로써, 고전압의 직류(DC) 전압이 제1 전극(14)에 인가된 때 상기 제1 전극(14)의 외면부에 코로나 방전(Corona discharge) 발생되며, 코로나 방전에 따라 생성된 이온이 유입된 미세 입자의 표면에 부착됨으로써 미세 입자(P)에 양(+)의 전하가 하전될 수 있다.When a pair of parallel
좀 더 구체적으로, 고전압의 직류(DC) 전압이 제1 전극(14)에 가해지면, 제1 전극(14) 주변의 코로나 범위에서 전자가 가속되고, 가속된 전자가 공기의 분자와 충돌하여 공기 분자가 이온과 전자로 분리된다. 이때 생성된 이온이 제1 전극(14)과 제2 전극(16)의 사이를 통과하는 미세 입자(P)에 부착됨으로써 하전 입자를 형성하게 되는 것이다. More specifically, when a high-voltage direct current (DC) voltage is applied to the
제1 전극(14)과 제2 전극(16)이 설치되는 절연체인 상기 유닛 하우징(12) 상단의 도입관(17)을 통해 유닛 하우징(12) 내에서 서로 마주하도록 평행하게 배치되는 상기 제2 전극(16) 사이로 미세 입자(P)가 도입되며, 하전된 미세 입자(P)는 유닛 하우징(12) 하단에 형성되는 주입관(18)을 통해 후술하는 분류 유닛(20)에 주입된다.The second disposed in parallel to face each other in the
한편, 유닛 하우징(12)은 도면의 예시와 같이, 2분할된 구성의 전방과 후방 하우징(12a, 12b)이 볼트(부호 생략)로 연결되어, 경우에 따라 상기 볼트를 풀어 전방과 후방 하우징(12a, 12b)을 상호 분리시킴으로써 내부 구성에 대한 유지 보수를 행할 수 있는 구성일 수 있다.On the other hand, the
분류 유닛Sorting unit
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치의 분류 유닛을 도시한 사시도이며, 도 6은 도 5의 분류 유닛에서 후단 커버를 생략 도시한 도면이다. 그리고 도 7은 분류 유닛의 측 단면도이다.FIG. 5 is a perspective view illustrating a classifying unit of a fine particle measuring apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view illustrating a rear end cover of the classifying unit of FIG. 5. 7 is a side cross-sectional view of the sorting unit.
분류 유닛(20)은 전술한 바와 같이, 하전된 미세 입자를 일측에서 일정 속도로 유입되는 층류형 공기에 실어 균일한 세기로 유지되는 전기장을 이동시킴으로써, 하전된 미세 입자가 전기장을 이동할 때 그 전기장에 의해 전극이 마주하는 방향(종 방향)으로 가속되는 특성을 이용하여 다양한 크기의 하전된 미세 입자 중에서도 특정 크기의 입자만을 선별하고 분류하여 추출한다.As described above, the sorting
도 5 내지 도 7과 같이, 분류 유닛(20)은 하전된 미세 입자가 일측에서 수평 방향으로 유입되는 층류형 공기를 따라 유동될 수 있도록 내부공간(210)이 형성된 절연성 수지 재질의 전방 커버(21)와, 전방 커버(21)의 후단에 소정 길이로 설치되며 층류 유동에 따라 타측으로 이동되는 미세 입자에 전기장을 가해 수직 방향에 대하여 가속시키는 평행한 한 쌍의 도전성 금속 전극(24a, 24b)을 포함한다.5 to 7, the sorting
전방 커버(21)의 상면 일측에는 하전 입자 유입구(22)가 형성된다. 하전 입자 유입구(22)는 분류 유닛(20)의 폭 방향에 대해 균일한 분포로 하전된 미세 입자가 상기 내부공간(210)으로 주입되도록, 전방 커버(21)의 폭 방향에 대해 가늘고 긴 슬릿 형태로 형성될 수 있으며, 하전 입자 유입구(22)에 전술한 하전 유닛(10)의 주입관(18)이 삽입되는 구조로 전방 커버(21)에 하전 유닛(10)이 볼트로 결합될 수 있다. The charged
전방 커버(21)의 내부에는 상기 내부공간(210)이 형성되며 일측(도면상 좌측)에는 상기 내부공간(210)과 통하는 공기 도입관(212)이 형성된다. 공기 도입관(212)을 통해 일정한 속도로 전방 커버(21)의 외부에서 내부로 공기(Air)가 도입되며, 도입된 공기는 상기 내부공간(210)의 적소에 배치되는 층류화 스크린(23)을 통해 층류화 되고 하전된 미세 입자와 혼합된 후 하전된 미세 입자를 싣고 타측으로 이동한다. The
층류화 스크린(23)은 상기 공기 도입관(212)을 통해 전방 커버(21)에 도입되는 공기(Air)로부터 와류를 제거하고 층류화하는 역할을 한다. 층류화 스크린(23)은 전방 커버(21)에 유입되는 공기의 유동을 기준으로 하전 입자 유입구(22) 전방의 내부공간(210)에 설치되며, 테두리를 구획하는 외곽 프레임 내측에 미소 두께를 갖는 복수의 가로바를 소정의 간격으로 상하 이격 배치시킨 그릴 형태일 수 있다.The
한 쌍의 도전성 금속 전극(24a, 24b)은 상기 전방 커버(21)의 후단에 소정 길이로 연장되는 형태로 설치된다. 구체적으로는, 도면의 예시와 같이 장방향으로 길게 뻗은 평판 형태로 수평 방향에 대하여 상하로 평행하게 대향 배치되는 구조로 설치된다.The pair of
이때 상기 한 쌍의 금속 전극(24a, 24b)은 전방 커버 상하부 및 후방 커버 상하부 외측에서 체결되는 복수의 볼트(B)에 의해 일단과 타단이 각각 전방 커버(21)와 후방 커버(26)의 내측 상하면에 견고하게 고정되는 형태로 조립될 수 있으며, 상기 한 쌍의 금속 전극(24a, 24b) 중 하부 금속 전극(24b)의 말단 모서리와 상기 하전 입자 배출구(27)의 일면이 동일 선상에 정렬되도록 구성될 수 있다.At this time, the pair of
한 쌍의 금속 전극(24a, 24b) 각각에는 대응되는 금속 전극(24a, 24b) 간 전위차 발생을 위한 전기 에너지를 공급하는 전극 볼트(25a, 25b)가 연결되되, 각각의 전극 볼트(25a, 25b)는 외부 전원에 전기적으로 연결되어 대응되는 금속 전극(24a, 24b)에 전기 에너지를 공급한다. 여기서 한 쌍의 금속 전극(24a, 24b) 중 상부 금속 전극(24a, 24b)은 전원 전극(+)이며, 대향부 하부 금속 전극(24a, 24b)은 접지 전극(-)일 수 있다. Each of the pair of
이와 같은 구성에 따라, 전원 전극인 상부 금속 전극(24a, 24b)에 전원(전기 에너지)이 인가되면, 두 금속 전극(24a, 24b) 사이에 전위차가 발생하게 되며, 그에 따라 두 금속 전극(24a, 24b)이 평행하게 마주하는 전구간에 걸쳐 균일한 세기의 전기장이 형성된다.According to such a configuration, when a power source (electrical energy) is applied to the
여기서 전기장을 형성시키기 위하여 금속 전극(24a, 24b)에 인가되는 전압은 금속 전극 사이의 아크 방전을 방지하기 위해 0 ~ 2000V 범위로 설정하는 것이 바람직하며, 추출 및 측정 대상 미세 입자의 크기에 따라 상기 범위(0 ~ 2000V) 가변적으로 인가될 수 있다.In this case, the voltage applied to the
금속 전극(24a, 24b)에 걸리는 전압은 추출 및 측정 대상 미세 입자의 크기에 따라 0 ~ 2000V 사이에서 조절될 수 있다.The voltage applied to the
도면부호 26은 전방 커버(21) 후단에 결합되는 후방 커버를 가리킨다. 후방 커버(26)는 절연성 수지 재질로 형성되고 상기 도전성 금속 전극(24a, 24b)을 에워싸 보호하도록 전방 커버(21)의 후단에 연결된다.
후방 커버(26)의 내측 상면과 하면에 상기 금속 전극(24a, 24b)이 상하 대면하는 구조로 설치되며, 내부에는 상기 층류형 공기의 유동에 따라 하전된 미세 입자가 유동되는 유로(260)가 형성된다. The
전방 커버(21)의 상면 일측의 전술한 하전 입자 유입구(22)로부터 사선 방향으로 소정 거리 이격된 상기 후방 커버(26)의 하면에 상기 하전 입자 배출구(27)가 형성된다. 이때 하전 입자 유입구(22)와 하전 입자 배출구(27) 사이의 수평 방향 거리는 장치의 적용 분야나 사용 환경, 수요자 요구 등에 달라질 수 있으므로 특정 수치로 한정되는 것은 아니다.The charged
바람직하게는, 추출 및 측정 대상 입자의 크기와 분류 성능을 결정하는 주요 요소인 분류 유닛(20)의 전체적인 길이는 금속 전극(24a, 24b)과 후방 커버(26)의 길이를 달리함으로써 다양한 적용 분야 및 요구에 대응이 가능하다.Preferably, the overall length of the sorting
한편, 후방 커버(26)의 후단부에는 전방 커버(21)의 전술한 공기 도입관(212)과 대향되도록 공기 배출관(262)이 형성된다. 이에 따라 공기 도입관(212)을 통해 일정한 속도로 전방 커버(21)의 외부에서 내부로 도입된 공기는, 전술한 층류화 스크린(23)을 통해 층류화 된 뒤 하전된 미세 입자를 싣고 상기 공기 배출관 측으로 이동하고, 공기 배출관(262)을 통해 분류 유닛(20) 밖으로 빠져 나간다.On the other hand, the
도 8은 상기 분류 유닛에 의해 수행되는 입자 분류 및 추출 과정을 설명하기 위한 분류 유닛의 작동 개념도이다.8 is an operational conceptual diagram of the classification unit for explaining the particle classification and extraction process performed by the classification unit.
도 8을 참조하면, 하전된 미세 입자가 층류형 공기에 실려 두 금속 전극(24a, 24b) 사이의 전기장을 수평 방향으로 이동할 때, 두 금속 전극(24a, 24b) 사이의 상기 전기장에 의하여 두 금속 전극(24a, 24b)이 마주하는 방향(도면상 수직 방향)으로 가속성을 가지게 된다. 이때 미세 입자의 크기 및 전기력의 크기에 따라 수직 방향에 대한 입자의 종단 속도는 달라진다.Referring to FIG. 8, when charged fine particles are loaded in laminar flow air to move an electric field between two
즉 하전된 미세 입자가 층류형 공기에 실려 두 금속 전극(24a, 24b) 사이를 수평 방향으로 이동하는 도중 전기장에 의하여 종 방향(상부 금속 전극과 하부 금속 전극을 수직으로 연결하는 방향)으로 가속되며, 이에 따라 하전된 미세 입자는 도면의 예시와 같이 전기장 내에서 상기 하전 입자 유입구(22)에서 하전 입자 배출구(27)를 향하여 사선 방향으로 하향 유동되는 흐름을 가지게 된다.That is, the charged fine particles are loaded in the laminar flow and are accelerated in the longitudinal direction (the direction in which the upper metal electrode and the lower metal electrode are connected vertically) by the electric field while moving in the horizontal direction between the two
이 과정에서 하전된 미세 입자의 일부는 상기 하전 입자 배출구(27)에 도달하기 전에 하부 금속 전극(24b) 측으로 낙하하게 되고, 다른 일부는 하전 입자 배출구(27)를 지나 낙하하게 된다. 그리고 다양한 크기의 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 입자만이 상기 하전 입자 배출구(27) 위치에 도달함으로써 분류 유닛(20) 밖으로 추출된다.In this process, some of the charged fine particles fall to the
이때 금속 전극(24a, 24b)에 걸리는 전압의 크기가 달라지면, 하전된 미세 입자가 전기장 내에서 받는 종 방향(상부 금속 전극과 하부 금속 전극을 수직으로 연결하는 방향) 가속도 또한 달라지게 되고, 그 결과 전기장 내에서 상기 하전 입자 배출구(27)에 도달하는 미세 입자의 크기가 달라지게 된다. In this case, when the magnitude of the voltage applied to the
본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치는 이 점에 착안하여, 금속 전극(24a, 24b)에 걸리는 전압 조정을 통한 전기장의 세기 조절을 통하여, 원하는 전기 이동도(Z)를 갖는 특정 크기의 입자만을 분류하고 추출하여 후술하는 계수 유닛(30)을 통해 그 수량을 측정함으로써, 측정 대상 입자 중 특정 크기를 갖는 입자의 농도를 정확히 파악하고자 하는 것이다.The fine particle measuring apparatus according to the embodiment of the present invention, in view of this point, by adjusting the intensity of the electric field through the voltage adjustment applied to the metal electrodes (24a, 24b), of a specific size having a desired electric mobility (Z) By classifying and extracting only the particles and measuring the quantity through the
참고로, 앞서 언급한 전기 이동도(Z)는 하기 수학식 1로 계산될 수 있다.For reference, the aforementioned electrical mobility Z may be calculated by
[수학식 1][Equation 1]
Z = UΔ2/LVZ = UΔ 2 / LV
여기서, U는 분류 유닛(20)에 수평 방향으로 도입되는 공기의 이동속도, Δ는 분류 유닛(20) 내 한 쌍의 금속 전극(24a, 24b) 사이의 거리, L은 하전 입자 유입구(22)와 하전 입자 배출구(27) 사이의 수평 방향 거리, V는 전압이다.Here, U is the moving speed of the air introduced into the sorting
계수 유닛Counting unit
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치에 적용된 계수 유닛의 사시도이며, 도 10은 도 9에 도시된 계수 유닛의 측 단면도이다. 그리고 도 11은 계수 유닛을 구성하는 입자 계수 전극(32)을 도시한 사시도이다.9 is a perspective view of a counting unit applied to a fine particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a side cross-sectional view of the counting unit shown in FIG. 9. 11 is a perspective view showing the
도 9 내지 도 11을 참조하면, 계수 유닛(30)은 상기 분류 유닛(20)에서 추출된 미세 입자의 개수를 측정하는 입자 계수 전극(32)을 포함하며, 상기 입자 계수 전극(32)을 사이에 두고 상부와 하부에서 절연성 수지 재질의 상부 케이스(34)와 하부 케이스(36)가 결합되어 상기 입자 계수 전극(32)의 계수부(320)를 내부에 수용하도록 구성될 수 있다.9 to 11, the
상부 케이스(34)의 상단 중앙에는 전술한 하전 입자 배출구(27)와 연통되는 계수 유닛 입구(35)가 형성된다. 그리고 반대편 하부 케이스(36) 하단 중앙에 계수 처리된 미세 입자가 빠져나가는 계수 유닛 출구(37)가 형성된다. 또한 입구(35)와 계수부(320), 그리고 출구(37)를 직선으로 연결하는 하나의 유로가 구획되도록 상부 케이스(34)와 하부 케이스(36)의 내부에 통로(부호 생략)가 형성된다. At the center of the upper end of the
이와 같은 구성에 따라, 분류 유닛(20)을 통해 분류되고 추출된 특정 크기의 미세 입자는 계수 유닛 입구(35)를 통해 계수 유닛(30) 내부에 공급되며, 상부 케이스(34)와 하부 케이스(36)의 경계부에 설치되는 계수부(320)를 통과한 뒤 상기 입구 반대편의 계수 유닛 출구(37)를 통해 계수 유닛(30) 밖으로 배출된다. 이 과정에서 계수부(320)를 통한 소정의 계수 처리에 의하여 그 수량이 측정된다. According to this configuration, fine particles of a specific size sorted and extracted through the sorting
계수 처리를 위한 핵심 부품인 입자 계수 전극(32)은 도 11의 도시와 같이, 계수부(320)와 출력단(326)으로 이루어진 구성일 수 있다.The
계수부(320)는 바람직하게, 링 모양의 도전성 금속 재질의 입력단(322) 내측에 입력단(322)과 전기적으로 연결되는 도전성 금속 메시 필터(324)가 설치된 구성일 수 있으며, 출력단(326)은 상기 입력단(322)의 외면 일측에 전기적으로 연결되고 케이스 밖으로 연장되는 막대형 구조로서 도전성 금속일 수 있다.The
이와 같은 구성의 계수 유닛(30)은, 하전된 미세 입자가 상기 금속 메시 필터(324)를 통과할 때 발생하는 미소 전류를 감지하여 그 개수를 측정하는 원리로 작동된다. 즉 금속 메시 필터(324)로 하전된 미세 입자를 포집하고, 하전 입자와 금속 메시 필터(324) 간 물리적인 접촉에 따른 전하의 이동 및 그에 따른 미소 전류를 감지하여 입자의 개수를 측정한다.The
한편, 계수 유닛(30)을 통과하는 입자가 가진 전하와 그로부터 발생하는 미소 전류는 그 크기가 매우 작다. 때문에 외부의 전자기장 또는 정전기 변화가 측정 정밀도에 큰 영향을 미칠 수 있다. 따라서 본 발명은 도전성 금속 재질로 된 전술한 차폐 유닛(40)을 이용해 분류 유닛(20)과 상기 계수 유닛(30)을 완전히 둘러싸도록 구성하여 외부 노이즈로부터의 영향을 최소화하는 것이다.On the other hand, the charge of the particles passing through the
다른 한편, 도시하진 않았으나 차폐 유닛과 외부 하우징 사이에 전기적인 절연을 위한 절연 공간을 형성하거나, 그 절연 공간에 절연 분말을 채우면 더욱 완벽한 차폐 성능이 발휘되므로 입자 분류 및 측정의 정확도 향상에 더욱 유리하다.On the other hand, although not shown, forming an insulating space for electrical insulation between the shielding unit and the outer housing or filling the insulating powder with the insulating powder provides more perfect shielding performance, which is more advantageous for improving particle classification and measurement accuracy. .
이상의 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치에 의하면, 평판 전극을 사용함으로써 유로 내 위치에 상관 없이 전기장의 세기가 동일하게 유지되며, 세기가 동일한 전기장 내에서의 전기 이동도 차이를 이용하여 미세 입자를 분류하고 측정함으로써 실시간 입자 분류 및 측정의 정확도 향상에 기여할 수 있다.According to the fine particle measuring apparatus according to the embodiment of the present invention, by using a flat electrode, the intensity of the electric field is maintained the same regardless of the position in the flow path, and fine by using the electric mobility difference in the same electric field By classifying and measuring particles, we can contribute to improving the accuracy of real-time particle classification and measurement.
더욱이, 차폐 유닛과 외부 하우징을 통한 이중 차폐 구조로 인하여, 외부와의 완벽한 단절을 기할 수 있어 외부 정전기가 장치에 미치는 영향(노이즈)을 최소화할 수 있다. 그 결과, 입자 분류 유닛을 통한 크기에 따른 입자 분류 및 입자 계수 유닛을 통한 입자 계수의 정확도가 일층 향상되어 신뢰도 높은 미세 입자 측정 장치를 제공할 수 있다.Moreover, due to the double shielding structure through the shielding unit and the outer housing, perfect disconnection from the outside can be achieved to minimize the influence (noise) of the external static electricity on the device. As a result, the accuracy of particle sorting according to the size through the particle sorting unit and particle counting through the particle counting unit can be further improved to provide a highly reliable fine particle measuring apparatus.
또한, 각부 구성을 모듈화시킨 콤팩트한 구성임에 따라, 분해/조립이 용이하여 장치 유지 보수가 용이하며, 단순한 구조임에 따라 제품의 양산성 측면에서 유리한 장점과 제작 비용 절감 및 장치의 소형화를 달성할 수 있다는 장점이 있다. In addition, it is a compact structure that modularizes each part configuration, easy disassembly / assembly, easy to maintain the device, and simple structure achieves advantages in terms of mass production of the product, reduction in production cost and miniaturization of the device The advantage is that you can.
또한, 휴대성 및 접근성이 우수하여 특정 환경에 구애됨이 없이 다양한 환경에서 사용이 가능하고, 모듈화에 의해 부분적인 분해 및 교체가 가능하므로, 다양한 목표 입경, 농도 등 필요한 성능과 용도 등 수요자의 요구에 맞춰 커스터마이징이 가능하여 단순한 구조와 낮은 제작 비용으로도 시장의 다양한 요구를 충족시킬 수 있다.In addition, since it is excellent in portability and accessibility, it can be used in various environments without regard to a specific environment, and it can be partially disassembled and replaced by modularization. It can be customized to meet various market demands with its simple structure and low manufacturing cost.
이상에서와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 미세 입자 측정 장치는, 대기 오염도 측정, 반도체 공정에서 제품 불량의 치명적인 요인인 오염입자를 검출하고 측정하는 반도체 공정의 미세 입자 측정, 엔진이 발생시키는 대기 오염물질인 PM(Particulate matter) 측정 등 다양한 환경에 다양한 형태로 적용이 가능하다.The fine particle measuring apparatus according to the embodiment of the present invention as described above, the air pollution measurement, the measurement of the fine particles of the semiconductor process to detect and measure the contaminating particles, which is a fatal factor of product defects in the semiconductor process, air pollution generated by the engine It can be applied in various forms to various environments such as PM (Particulate matter) measurement.
이상의 본 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.In the detailed description of the present invention, only specific embodiments thereof have been described. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the description, but rather includes all modifications, equivalents, and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Should be.
1 : 미세 입자 측정 장치
10 : 하전 유닛 12 : 유닛 하우징
14 : 제1 전극 16 : 제2 전극
17 : 도입관 18 : 주입관
20 : 분류 유닛 21 : 전방 커버
22 : 하전 입자 유입구 23 : 층류화 스크린
24a, 24b : 금속 전극 25a, 25b : 전극 볼트
26 : 후방 커버 27 : 하전 입자 배출구
30 : 계수 유닛 32 : 입자 계수 전극
34 : 상부 케이스 35 : 계수 유닛 입구
36 : 하부 케이스 37 : 계수 유닛 출구
210 : 내부공간 212 : 공기 도입관
262 : 공기 배출관
320 : 계수부 322 : 입력단
324 : 금속 메시 필터 326 : 출력단1: fine particle measuring device
10: charge unit 12: unit housing
14: first electrode 16: second electrode
17: introduction tube 18: injection tube
20: sorting unit 21: front cover
22: charged particle inlet 23: laminar flow screen
24a, 24b:
26: rear cover 27: charged particle outlet
30: counting unit 32: particle counting electrode
34: upper case 35: counting unit entrance
36: lower case 37: counting unit outlet
210: internal space 212: air inlet pipe
262: air discharge pipe
320: counting unit 322: input terminal
324: metal mesh filter 326: output stage
Claims (16)
전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 미세 입자만을 분류하여 추출하는 분류 유닛; 및
상기 분류 유닛으로부터 추출된 특정 크기의 미세 입자 개수를 측정하는 계수 유닛;을 각각 모듈화시킨 구성을 포함하며,
상기 하전 유닛은,
절연성 수지 재질의 유닛 하우징;
상기 유닛 하우징의 중앙에 수평 방향으로 배치되는 단면이 원형 또는 각형인 막대 형상의 제1 전극;
상기 제1 전극과 간격을 두고 제1 전극의 좌우 측방에 평행하게 이격 배치되는 평판 형상의 제2 전극;을 포함하며,
상기 유닛 하우징의 상단의 도입관을 통해 유닛 하우징 내에서 서로 마주하는 상기 제2 전극 사이로 미세 입자가 도입되고, 반대편 하단의 주입관을 통해 하전된 미세 입자를 분류 유닛에 주입시키고,
상기 분류 유닛은,
하전된 미세 입자가 일측에서 수평 방향으로 유입되는 층류형 공기를 따라 유동될 수 있도록 내부공간이 형성된 절연성 수지 재질의 전방 커버와,
상기 전방 커버의 후단에 소정 길이로 설치되며, 상기 층류형 공기의 층류 유동(Laminar flow)에 따라 타측으로 이동되는 미세 입자에 전기장을 가해 수직 방향에 대하여 가속시키는 평행한 한 쌍의 도전성 금속 전극과,
상기 한 쌍의 금속 전극 각각에 연결되어 두 금속 전극 사이에 전위차를 발생시키기 위한 전기 에너지를 공급하는 전극 볼트와,
상기 전방 커버의 후단에 연결되어 상기 도전성 금속 전극을 에워싸 보호하며, 내부에는 층류형 공기의 유동에 따라 하전된 미세 입자가 유동되는 유로가 형성된 절연성 수지 재질의 후방 커버와,
상기 전방 커버의 상면 일측에 하전된 미세 입자가 유입되는 하전 입자 유입구가 형성되고, 하전 입자 유입구로부터 사선 방향으로 소정 거리 이격된 상기 후방 커버의 하면에 하전 입자 배출구가 형성되되,
상기 하전 입자 유입구는 하전 입자가 균일한 분포로 전방 커버 내부로 유입될 수 있도록 상기 전방 커버의 폭 방향에 대해 가늘고 긴 슬릿 형태로 형성되는 미세 입자 측정 장치.
A charging unit for charging the incoming fine particles;
A classification unit configured to classify and extract only fine particles having a specific size among charged fine particles using the electric mobility difference in the electric field; And
A counting unit for measuring the number of fine particles of a specific size extracted from the sorting unit; each comprising a modularized configuration,
The charging unit,
A unit housing made of an insulating resin material;
A rod-shaped first electrode having a circular or rectangular cross section disposed in a horizontal direction in the center of the unit housing;
And a flat plate-shaped second electrode spaced apart from the first electrode in parallel to the left and right sides of the first electrode.
Fine particles are introduced between the second electrodes facing each other in the unit housing through an introduction tube at the upper end of the unit housing, and charged fine particles are injected into the sorting unit through an injection tube at the opposite lower end.
The sorting unit,
A front cover of an insulating resin material having an inner space formed therein so that the charged fine particles can flow along the laminar air flowing in a horizontal direction from one side;
A pair of parallel conductive metal electrodes installed at a rear end of the front cover and having an electric field applied to the fine particles moved to the other side according to the laminar flow of the laminar flow to accelerate in a vertical direction; ,
An electrode bolt connected to each of the pair of metal electrodes to supply electrical energy for generating a potential difference between the two metal electrodes;
A rear cover made of an insulating resin material connected to a rear end of the front cover to surround and protect the conductive metal electrode, and having an inner flow path through which charged fine particles flow according to the flow of laminar air;
A charged particle inlet is formed on one side of the upper surface of the front cover, the charged particle inlet is formed, the charged particle outlet is formed on the lower surface of the rear cover spaced apart from the charged particle inlet in a diagonal direction,
The charged particle inlet is fine particle measuring apparatus is formed in the shape of a long slender with respect to the width direction of the front cover so that the charged particles flow into the front cover in a uniform distribution.
전기장 내 전기 이동도 차이를 이용하여 하전된 미세 입자 중 특정 크기의 미세 입자를 분류하여 추출하는 분류 유닛;
상기 분류 유닛으로부터 추출된 특정 크기의 미세 입자 개수를 측정하는 계수 유닛;
상기 분류 유닛과 계수 유닛을 둘러싸도록 구비되는 도전성 금속 재질의 차폐 유닛; 및
상기 차폐 유닛을 에워싸는 절연성 수지 재질의 외부 하우징;을 각각 모듈화시킨 구성을 포함하며,
상기 하전 유닛은,
절연성 수지 재질의 유닛 하우징;
상기 유닛 하우징의 중앙에 수평 방향으로 배치되는 단면이 원형 또는 각형인 막대 형상의 제1 전극;
상기 제1 전극과 간격을 두고 제1 전극의 좌우 측방에 평행하게 이격 배치되는 평판 형상의 제2 전극;을 포함하며,
상기 유닛 하우징의 상단의 도입관을 통해 유닛 하우징 내에서 서로 마주하는 상기 제2 전극 사이로 미세 입자가 도입되고, 반대편 하단의 주입관을 통해 하전된 미세 입자를 분류 유닛에 주입시키고,
상기 분류 유닛은,
하전된 미세 입자가 일측에서 수평 방향으로 유입되는 층류형 공기를 따라 유동될 수 있도록 내부공간이 형성된 절연성 수지 재질의 전방 커버와,
상기 전방 커버의 후단에 소정 길이로 설치되며, 상기 층류형 공기의 층류 유동(Laminar flow)에 따라 타측으로 이동되는 미세 입자에 전기장을 가해 수직 방향에 대하여 가속시키는 평행한 한 쌍의 도전성 금속 전극과,
상기 한 쌍의 금속 전극 각각에 연결되어 두 금속 전극 사이에 전위차를 발생시키기 위한 전기 에너지를 공급하는 전극 볼트와,
상기 전방 커버의 후단에 연결되어 상기 도전성 금속 전극을 에워싸 보호하며, 내부에는 층류형 공기의 유동에 따라 하전된 미세 입자가 유동되는 유로가 형성된 절연성 수지 재질의 후방 커버와,
상기 전방 커버의 상면 일측에 하전된 미세 입자가 유입되는 하전 입자 유입구가 형성되고, 하전 입자 유입구로부터 사선 방향으로 소정 거리 이격된 상기 후방 커버의 하면에 하전 입자 배출구가 형성되되,
상기 하전 입자 유입구는 하전 입자가 균일한 분포로 전방 커버 내부로 유입될 수 있도록 상기 전방 커버의 폭 방향에 대해 가늘고 긴 슬릿 형태로 형성되는 미세 입자 측정 장치.
A charging unit for charging the incoming fine particles;
A classification unit for classifying and extracting fine particles of a specific size from charged fine particles using the electric mobility difference in the electric field;
A counting unit for measuring the number of fine particles of a particular size extracted from the sorting unit;
A shielding unit made of a conductive metal provided to surround the sorting unit and the counting unit; And
And an external housing made of an insulating resin material surrounding the shielding unit.
The charging unit,
A unit housing made of an insulating resin material;
A rod-shaped first electrode having a circular or rectangular cross section disposed in a horizontal direction in the center of the unit housing;
And a flat plate-shaped second electrode spaced apart from the first electrode in parallel to the left and right sides of the first electrode.
Fine particles are introduced between the second electrodes facing each other in the unit housing through an introduction tube at the upper end of the unit housing, and charged fine particles are injected into the sorting unit through an injection tube at the opposite lower end.
The sorting unit,
A front cover of an insulating resin material having an inner space formed therein so that the charged fine particles can flow along the laminar air flowing in a horizontal direction from one side;
A pair of parallel conductive metal electrodes installed at a rear end of the front cover and having an electric field applied to the fine particles moved to the other side according to the laminar flow of the laminar flow to accelerate in a vertical direction; ,
An electrode bolt connected to each of the pair of metal electrodes to supply electrical energy for generating a potential difference between the two metal electrodes;
A rear cover made of an insulating resin material connected to a rear end of the front cover to surround and protect the conductive metal electrode, and having an inner flow path through which charged fine particles flow according to the flow of laminar air;
A charged particle inlet is formed on one side of the upper surface of the front cover, the charged particle inlet is formed, the charged particle outlet is formed on the lower surface of the rear cover spaced apart from the charged particle inlet in a diagonal direction,
The charged particle inlet is fine particle measuring apparatus is formed in the shape of a long slender with respect to the width direction of the front cover so that the charged particles flow into the front cover in a uniform distribution.
상기 하전 유닛은 코로나 방전(Corona discharge)을 형성시켜 상기 미세 입자의 표면에 양(+)의 전하를 하전시키는 미세 입자 측정 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The charging unit is a fine particle measuring device for forming a corona discharge (Corona discharge) to charge a positive charge on the surface of the fine particles.
상기 전방 커버에 유입되는 공기로부터 와류를 제거하고 층류화하는 층류화 스크린;을 더 포함하는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 1,
And a laminar flow screen for removing laminar flow and laminarization from air introduced into the front cover.
상기 층류화 스크린이 전방 커버에 유입되는 공기의 유동을 기준으로 상기 하전 입자 유입구 전방의 전방 커버 내에 설치되는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 6,
And the laminar flow screen is installed in the front cover in front of the charged particle inlet on the basis of the flow of air flowing into the front cover.
상기 한 쌍의 금속 전극 중 하부 금속 전극의 말단 모서리와 상기 하전 입자 배출구의 일면이 동일 선상에 정렬되는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 1,
The fine particle measuring device of the pair of metal electrodes, the distal edge of the lower metal electrode and one surface of the charged particle discharge port is aligned on the same line.
상기 한 쌍의 금속 전극은 수평 방향에 대하여 상하로 평행하게 대향 배치되는 평판 전극인 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 1,
The pair of metal electrodes is a fine particle measuring device that is a flat plate electrode arranged in parallel up and down with respect to the horizontal direction.
상기 계수 유닛은,
상기 분류 유닛으로부터 추출된 미세 입자의 개수를 측정하는 입자 계수 전극을 포함하며, 상기 입자 계수 전극을 사이에 두고 상부와 하부에서 절연성 수지 재질의 상부 케이스와 하부 케이스가 결합되어 상기 입자 계수 전극의 계수부를 보호하도록 구성되는 미세 입자 측정 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The counting unit,
And a particle counting electrode for measuring the number of fine particles extracted from the sorting unit, wherein the upper and lower cases of an insulating resin material are coupled between upper and lower portions with the particle counting electrode interposed therebetween to count the counting particles. Fine particle measuring device configured to protect the part.
상기 상부 케이스의 상단 중앙에 계수 유닛 입구가 형성되고, 반대편 하부 케이스 하단 중앙에 계수 처리된 미세 입자가 빠져나가는 계수 유닛 출구가 형성되며,
상기 입구와 계수부, 그리고 출구를 직선으로 연결하는 하나의 유로가 구획되도록 상부 케이스와 하부 케이스의 내부에 통로가 형성되는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 10,
A counting unit inlet is formed at the center of the upper end of the upper case, and a counting unit outlet is formed at the center of the bottom of the opposite lower case to allow the fine particles to be discharged.
And a passage is formed inside the upper case and the lower case so that one flow path connecting the inlet, the counter, and the outlet in a straight line is partitioned.
상기 입자 계수 전극은,
링 모양의 입력단 내측에 금속 메시 필터가 설치된 구성의 상기 계수부; 및
상기 입력단의 외면 일측에 전기적으로 연결되고 케이스 밖으로 연장되는 막대 형상의 출력단;를 포함하는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 10,
The particle counting electrode,
The counting unit having a metal mesh filter installed inside a ring-shaped input end; And
And a rod-shaped output end electrically connected to one side of an outer surface of the input end and extending out of the case.
상기 입자 계수 전극은 금속 메시 필터를 이용하여 입자를 포집하고 입자가 가진 전하로부터 미소 전류를 출력하는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 12,
The particle counting electrode collects the particles using a metal mesh filter and outputs a minute current from the charge of the particles.
상기 차폐 유닛과 외부 하우징 사이에 전기적인 절연을 위한 절연 공간이 형성되는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 2,
An apparatus for measuring fine particles, wherein an insulation space for electrical insulation is formed between the shield unit and the outer housing.
상기 절연 공간에 절연 분말이 채워지는 미세 입자 측정 장치.
The method of claim 14,
An apparatus for measuring fine particles, in which an insulating powder is filled in the insulating space.
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KR1020190003034A KR102023642B1 (en) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | Fine particle measurement device |
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KR1020190003034A KR102023642B1 (en) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | Fine particle measurement device |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100614101B1 (en) * | 2005-09-15 | 2006-08-22 | 한국과학기술연구원 | Particle counter |
KR100622076B1 (en) * | 2005-06-15 | 2006-09-11 | 한국과학기술연구원 | Low current ammeter for measuring charged aerosols |
JP4710787B2 (en) * | 2006-10-06 | 2011-06-29 | 株式会社島津製作所 | Particle classifier |
KR101528773B1 (en) * | 2014-05-16 | 2015-06-15 | 연세대학교 산학협력단 | Apparatus for Real Time Detecting Bio Particle and Non-Bio Particle in Atmospheric Air, and Method for Detecting Bio Particle and Non-Bio Particle Using the Same |
KR101585024B1 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-13 | 주식회사 이엘 | Cartridge Type Particle Measuring Apparatus |
US20170350862A1 (en) * | 2016-06-06 | 2017-12-07 | Cambridge Enterprise Limited | Particle measurement apparatus |
-
2019
- 2019-01-10 KR KR1020190003034A patent/KR102023642B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100622076B1 (en) * | 2005-06-15 | 2006-09-11 | 한국과학기술연구원 | Low current ammeter for measuring charged aerosols |
KR100614101B1 (en) * | 2005-09-15 | 2006-08-22 | 한국과학기술연구원 | Particle counter |
JP4710787B2 (en) * | 2006-10-06 | 2011-06-29 | 株式会社島津製作所 | Particle classifier |
KR101585024B1 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-13 | 주식회사 이엘 | Cartridge Type Particle Measuring Apparatus |
KR101528773B1 (en) * | 2014-05-16 | 2015-06-15 | 연세대학교 산학협력단 | Apparatus for Real Time Detecting Bio Particle and Non-Bio Particle in Atmospheric Air, and Method for Detecting Bio Particle and Non-Bio Particle Using the Same |
US20170350862A1 (en) * | 2016-06-06 | 2017-12-07 | Cambridge Enterprise Limited | Particle measurement apparatus |
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