KR102014280B1

KR102014280B1 - 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치

Info

Publication number: KR102014280B1
Application number: KR1020140072869A
Authority: KR
Inventors: 김태식; 김용진; 오정훈
Original assignee: 주식회사 원익아이피에스
Priority date: 2014-06-16
Filing date: 2014-06-16
Publication date: 2019-08-26
Also published as: KR20150144139A

Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관한 것이다.
본 발명은, 일단에 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와; 타단에 외부전극단자가 결합되며 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와; 제1연결부재의 타단 및 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와; 제1연결부재 및 제2연결부재의 타단에서 제1전극단자를 사이에 두고 제1연결부재 및 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체를 개시한다.

Description

커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치 {Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same}

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관한 것이다.

기판처리장치는, 밀폐된 처리공간을 가지는 공정챔버와, 공정챔버 내에 설치된 기판지지대에 기판을 안착시킨 상태에서 증착, 에칭 등의 기판처리를 수행하는 장치이다.

한편 공정챔버 내에 설치되는 기판지지대는, 기판의 가열을 위한 히터, 온도센서, 플라즈마 형성을 위한 하부전극 등의 내부부재가 설치될 수 있으며, 이러한 내부부재는, 전원공급, 제어 등을 위하여 외부에 설치된 장치들과 연결될 필요가 있다.

따라서 기판지지대는, 하측으로 연장되는 중공형 샤프트 내부에서 하단으로 연장시켜 공정챔버의 외부로 제1전극단자를 노출시켜 커넥터 조립체에 의하여 외부전극단자와 전기적으로 연결한다.

한편 공정챔버 내에서 기판처리가 수행될 때 고온환경으로 인하여 제1전극단자 등이 열변형이 발생될 수 있으며 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결시 열변형을 고려하여 연결될 필요가 있다.

또한 제1전극단자는 중공형 샤프트 등에 브레이징을 통하여 고정되는데 외부전극단자와의 결합시 충격에 의하여 브레이징이 파손되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여, 기판처리장치의 내부에 설치된 제1전극단자와 외부장치와 연결된 외부전극단자를 연결하는 커넥터 조립체를 간소화하여 그 연결작업이 용이하며 외부충격을 최소화할 수 있는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 기판처리장치의 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자와, 외부전원과의 전기적으로 연결되는 상기 외부전극단자를 전기적으로 연결하는 커넥터 조립체로서, 일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와; 타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와; 상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와; 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체를 개시한다.

상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함할 수 있다.

상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함할 수 있다.

상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성할 수 있다.

상기 커넥터 조립체는, 상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성될 수 있다.

본 발명은 또한 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서, 기판이 안착되는 안착플레이트와; 상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와; 상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와; 상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와; 상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며; 상기 커넥터 조립체는, 일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와, 타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와, 상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대를 개시한다.

상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.

상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며, 상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함할 수 있다.

상기 절연부재는 상기 삽입공에 삽입된 상기 체결부재에 대응되는 위치에 상기 체결부재가 외부로 노출되도록 관통부가 형성될 수 있다.

상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함할 수 있다.

상기 회전방지수단은, 상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고, 상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 나머지 하나가 상기 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성될 수 있다.

상기 회전방지수단은 상기 절연부재의 삽입공의 상기 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과, 제1연결부재와 상기 제2연결부재가 결합된 상태에서 상기 커넥터 조립체의 길이방향에 대한 수직 단면이 상기 삽입공의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함 수 있다.

본 발명은 또한 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와; 상기와 같은 구성을 가지는 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.

본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결된 제1전극단자를 외부장치와 전기적으로 연결된 외부전극단자를 연결함에 있어서, 외부전극단자와 연결된 제1연결부재와 제2연결부재 사이에 제1전극단자를 두고 체결부재에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재를 결합시킴으로써 제1전극단자 및 제2자의 전기적 연결 및 분리구조가 간단하고 편리한 이점이 있다.

특히 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재 및 제2연결부재가 제1전극단자의 길이방향을 따라서 설치됨으로써 횡방향 폭을 최소화함으로써, 다수의 커넥터 조립체들이 설치되는 등 협소한 공간 내에서도 사용이 가능한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재에 의하여 제1전극단자의 일부가 노출되도록 하고, 제1전극단자의 노출된 부분을 제2연결부재가 커버하면서 제1연결부재와 결합됨으로써 조립 및 분리가 편리한 이점이 있다.

한편 종래에는 제1전극단자 및 외부전극단자는 굽어진 'U'자 구조의 결합부재에 의하여 전기적으로 연결되었는데 결합구조의 분리시 결합시 결합부재가 변형된 상태에서 복원되지 않아 집게 등을 사용하여 분리 작업이 번거로운 문제점이 있으나, 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 체결부재의 분리를 통하여 제1연결부재 및 제2연결부재의 분리가 가능하여 분리작업이 용이한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결함으로써 제1전극단자의 열변형의 흡수가 가능하여 보다 안정적으로 제1전극단자 및 외부전극단자를 전기적으로 연결할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결함으로써, 체결부재의 간단한 조작에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합 및 분리시 제1전극단자 및 외부전극단자의 전기적 연결작업이 용이한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결하고, 제2연결부재에 제1연결부재의 타단이 길이방향으로 삽입되는 삽입부를 형성하여 볼트와 같은 체결부재에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재를 연결할 때 제1연결부재가 제2연결부재의 삽입부에 삽입됨으로써 체결부재의 반대쪽에서 제1결합부재 및 제2결합부재가 서로 벌어지는 것을 방지하여 제1전극단자 및 외부전극단자의 견고한 결합이 가능한 이점이 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는, 도 1의 기판처리장치 중 커넥터 조립체를 상세히 보여주는 일부단면도이다.
도 3은, 도 2의 커넥터 조립체를 보여주는 분해 사시도이다.
도 4는, 도 3의 커넥터 조립체의 변형예를 보여주는 분해 사시도이다.
도 5는, 도 1의 기판처리장치 중 기판지지대의 저면 일부를 보여주는 저면도이다.
도 6는, 도 5에서 Ⅴ-Ⅴ방향에서 본 단면도이다.
도 7은, 도 5에 도시된 커넥터 조립체를 보여주는 사시도이다.

이하 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 기판처리장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(100)와, 공정챔버(100) 내에 설치되어 기판(10)이 안착되는 기판지지대(200)와, 기판지지대(200)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스분사부(130)를 포함할 수 있다.

상기 공정챔버(100)는, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 일예로서, 상부가 개구된 챔버본체(110)와, 챔버본체(110)의 개구를 복개하는 상부리드(120)를 포함할 수 있다.

상기 챔버본체(110)는, 기판(10)의 도입 및 배출을 위한 하나 이상의 게이트(111)가 형성될 수 있다.

상기 가스분사부(130)는, 기판지지대(200)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 구성으로 샤워헤드 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 기판지지대(200)는, 공정챔버(100) 내에 설치되어 기판(10)을 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 기판지지대(200)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 안착되는 안착플레이트(210)와, 안착플레이트(210)의 하부에 연장되는 중공형 샤프트(220)를 포함할 수 있다.

상기 안착플레이트(210)는, 기판(10)이 안착되는 구성으로 기판(10)의 도입 및 배출이 가능하도록 관통되어 설치되어 상하로 이동되는 리프트핀(미도시)이 설치될 수 있다.

또한 상기 안착플레이트(210)는, 플라즈마 형성을 위하여 접지 또는 RF전원을 인가하기 위한 하부전극, 가열을 위한 히터, 온도센서 등 하나 이상의 내부부재가 설치될 수 있다.

상기 중공형 샤프트(220)는, 안착플레이트(210)의 하부에 연장되어 공정챔버(100)에 설치되는 구성으로, 기판지지대(200)의 구성에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

구체적으로, 상기 중공형 샤프트(220)는, 공정챔버(100)에 고정되어 설치되거나, 도 1에 도시된 바와 같이, 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 이동되도록 설치될 수 있다.

이때 상기 중공형 샤프트(220)는, 공정챔버(100)의 처리공간(S)의 밀폐를 위하여 벨로우즈(252) 등에 의하여 연결되어 처리공간(S)이 밀폐된 상태에서 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있다.

그리고 상기 벨로우즈(252)의 설치를 위하여, 벨로우즈(252)의 일단이 결합되는 중공형 샤프트(220)에 플렌지(253)가 결합되고, 벨로우즈(252)의 타단이 결합되는 지지부재(251) 등이 설치될 수 있다.

한편 상기 중공형 샤프트(220)는, 안착플레이트(210)에 설치된 하부전극, 히터, 온도센서 등의 내부부재가 외부장치와 전기적으로 연결될 수 있도록, 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자(310)가 하부에 노출되며, 제1전극단자(310)는 커넥터 조립체(400)에 의하여 외부전극단자(320)와 연결된다.

또한 상기 중공형 샤프트(220)는, 제1전극단자(310)의 안정적인 설치를 위하여 그 하단에 제1전극단자(310)가 고정되는 고정플렌지(230)가 설치될 수 있다.

그리고 상기 고정플렌지(230)는, 제1전극단자(310)의 안정적인 설치를 위하여 중공형 샤프트(220)의 하단에 제1전극단자(310)가 고정되는 구성으로, 플렌지(253)과 결합되고, 기판지지대(200) 전체를 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 승강이 가능하도록 승강장치(미도시)와 연결될 수 있다.

상기 고정플렌지(230)는, 중공형 샤프트(220)의 하단으로 연장되어 승강장치와 연결됨으로써 중공형 샤프트(220)를 승하강시켜 기판지지대(200) 전체를 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 승강되도록 한다.

그리고 중공형 샤프트(220)는, 제1전극단자(310), 외부전극단자(320), 커넥터 조립체(400), 절연부재(540) 등의 설치가 가능하도록 실린더 형상을 가지며 커넥터 조립체(400)의 체결부재(430) 등의 설치 또는 고정을 위하여 측면의 일부가 개방되도록 브리지(231)에 의하여 복수의 개구(232)들이 형성될 수 있다.

이하 본 발명에 따른 기판처리장치의 커넥터 조립체에 관하여 설명한다.

본 발명에 따른 기판처리장치의 커넥터 조립체(400)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판처리장치의 기판지지대(200)의 커넥터 조립체(400)로서, 기판처리장치 내에, 특히 기판지지대(200)에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자(310)와, 외부장치(미도시)와 전기적으로 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결함을 특징으로 한다.

상기 제1전극단자(310)는, 기판처리장치 내에, 특히 기판지지대(200)에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 구성으로 기판지지대(200)의 중공형 샤프트(220)의 길이방향으로 돌출된 로드 형상을 가진다.

그리고 상기 제1전극단자(310)는, 도 2 내지 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 원기둥, 다각기둥 등의 형상을 가질 수 있으며 후술하는 커넥터 조립체(400)에 삽입되는 부분에서 외경이 감소된 단차(315)가 형성될 수 있다.

이때 상기 단차(315)는, 제1전극단자(310)의 열변형을 고려하여 커넥터 조립체(400)에 삽입된 부분과 간격을 두고 설치됨이 바람직하다.

상기 외부전극단자(320)는, 커넥터 조립체(400)에 의하여 외부장치와 전기적으로 연결되는 구성으로서 전기케이블 등의 끝단이 될 수 있다.

한편 상기 제1전극단자(310)가 복수 개로 설치될 수 있으며, 복수 개의 제1전극단자(310)들에 대응되어 외부전극단자(320) 또한 복수개로 설치될 수 있다.

이때 상기 외부전극단자(320)를 이루는 복수의 케이블들은, 결합테이프 등의 결속부재(미도시)에 의하여 하나로 묶인 상태로 설치될 수 있다.

상기 커넥터 조립체(400)는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결하는 구성으로, 제1연결부재(410)와, 제2연결부재(420)와, 및 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 체결부재(430)와, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)가 이격되는 것을 방지하는 이격방지부를 포함한다.

상기 제1연결부재(410)는, 일단에 제1전극단자(310)가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 제1연결부재(410)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제2연결부재(420)과 결합됨으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결하게 된다.

구체적으로 상기 제1연결부재(410)는, 일단에서 제1전극단자(310)가 다양한 구조에 의하여 결합될 수 있다.

일예로서, 상기 제1연결부재(410)는, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1전극단자(310)와의 결합을 위하여 일단에서 제1전극단자(310)가 삽입되어 반대쪽으로 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되도록 길이방향으로 관통공(417)이 형성됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.

상기 관통공(417)은, 제1연결부재(410)의 일단에서 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되어 반대쪽으로 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되도록 하는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.

다른 예로서, 상기 제1연결부재(410)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면에 결합되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 결합부재(418)가 설치됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.

상기 결합부재(418)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킴으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 사이에 결합되는 구성으로 클램프, 이클립(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 부재가 사용될 수 있다.

상기 결합부재(418)가 클램프, 이클립(E-Clip), 서클립(Circlip) 등인 경우 도 4에 도시된 바와 같이, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)는 결합부재(418)가 삽입될 수 있는 요홈(419, 429)들이 형성됨이 바람직하다.

또한 상기 결합부재(418)는, 후술하는 이격방지부와의 구성을 고려하여 제1연결부재(410)와 일체로 형성되고 제2연결부재(420)의 일단이 삽입되는 구조로 형성될 수도 있음은 물론이다.

한편 상기 제1연결부재(410)는, 후술하는 체결부재(430)와의 결합을 위하여 타단에서 제1결합공(411)이 형성된다.

상기 제1결합공(411)은, 내주면에 암나사부(미도시)가 형성되는 등 체결부재(430)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 제1전극단자(310)의 길이방향과 수직을 이루는 방향으로 형성된다.

그리고 상기 제1결합공(411)이 형성된 주변 일부는, 볼트와 같은 체결부재(430)의 원활한 결합을 위하여 평평한 면으로 형성됨이 바람직하다.

상기 제2연결부재(420)는, 타단에 외부전극단자(320)가 결합되며 제1연결부재(410)에서 노출된 제1전극단자(310)의 외주면을 커버하도록 제1연결부재(410)와 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2연결부재(420)는, 외부전극단자(320)와 타단에서 다양한 구조에 의하여 결합될 수 있다.

일예로서, 상기 제2연결부재(420)는, 타단에서 외부전극단자(320)와의 결합을 위한 외부전극단자연결부(424)가 형성될 수 있다.

그리고 상기 외부전극단자연결부(424)는, 외부전극단자(320)의 끝단부분이 삽입되는 단자삽입공(424a)으로 구성될 수 있다.

이때 상기 단자삽입공(424a)은, 외부전극단자(320)가 삽입된 후 펜치 등에 의하여 납작하게 변형되어 외부전극단자(320)와 견고하게 결합될 수 있다.

또한 상기 외부전극단자연결부(424)는, 후술하는 절연부재(540)와의 결합구조를 고려하여 횡단면적의 크기가 제2연결부재(420)보다 작게, 즉, 제2연결부재(420)와 연결되는 부분에서 단차(425)가 형성됨이 바람직하다.

한편 상기 제2연결부재(420)는, 후술하는 체결부재(430)와의 결합을 위하여 타단에서 제1결합공(411)에 대응되는 위치에 제2결합공(421)이 형성된다.

상기 제2결합공(421)은, 내주면에 암나사부(미도시)가 형성되는 등 체결부재(430)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 제1결합공(411)와 같이 제1전극단자(310)의 길이방향과 수직을 이루는 방향으로 형성된다.

그리고 상기 제2결합공(421)이 형성된 주변 일부는, 볼트와 같은 체결부재(430)의 원활한 결합을 위하여 평평한 면으로 형성됨이 바람직하다.

한편 상기 제2연결부재(420)는, 일단부터 일정 길이까지 제1연결부재(410)와 함께 그 사이에 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되도록 이격방지부에 의하여 제1연결부재(410)와 결합된다.

여기서 상기 이격방지부는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 일단에서 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합된 상태를 유지시키는 구성으로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하다.

일예로서, 상기 이격방지부는, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1연결부재(410)의 일단에 형성되어 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되는 앞서 설명한 관통공(417)과, 제2연결부재(420)의 일단에 형성되는 고정단차부(422)와, 제1연결부재(410)의 일단에 형성되어 고정단차부(422)가 길이방향으로 삽입되는 고정홈부(412)를 포함할 수 있다.

상기 고정단차부(422)는, 제2연결부재(420)의 일단에 형성되어 제1연결부재(420)에 형성된 고정홈부(412)에 삽입되는 구조로 다양한 구조가 가능하다.

특히 상기 고정단차부(422)는, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 기둥형상임을 고려하여, 외주면 일부가 절개된 형상을 이룰 수 있다.

이때 고정홈부(412)는, 고정단차부(422)의 형성을 위하여 절개된 부분에 대응되는 형상을 가지는 부분에 대응되어 형성됨으로써 고정단차부(422)가 원활하게 삽입될 수 있다.

상기 고정홈부(412)는, 고정단차부(422)에 대하여 길이방향으로 삽입될 수 있는 구성이면 어떠한 구조도 가능하다.

일예로서, 상기 고정홈부(412)는, 앞서 설명한 관통공(417)이 형성된 부분에서 고정단차부(422)가 삽입되는 구조로 형성될 수 있다.

또 다른 예로서, 도시되지는 않았지만, 상기 고정홈부(412)는, 제1결합부재(410)에서 돌출되어 고정단차부(422)가 끼워질 수 있는 구조로도 형성될 수 있다.

다른 예로서, 상기 이격방지부는, 앞서 설명한 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합예로서 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면에 결합되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 결합부재(418)가 설치됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.

상기 결합부재(418)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킴으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 사이에 결합되는 구성으로 클램프, 이클릭(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 부재가 사용될 수 있다.

상기와 같은 이격방지부의 구성에 의하여, 후술하는 체결부재(430)에 의하여 타단에서 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 서로 결합될 때 체결부재(430)의 반대쪽에서 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 서로 벌어지는 것을 방지하게 된다.

한편 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 서로 결합된 상태에서, 원기둥, 타원기둥, 다각기둥 등의 기둥형상을 가진다.

즉, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 각각 기둥형상에서 길이방향으로 절개된 일부의 형상을 가진다.

이러한 구조와 관련하여, 상기 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성할 수 있다.

그리고 상기 커넥터 조립체(400)는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합면에 제1전극단자(310)가 면접촉되도록 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 중 적어도 어느 하나에 제1전극단자(310)가 삽입되는 홈부(413, 423)가 형성될 수 있다.

구체적으로, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420) 중 적어도 어느 하나는, 제1전극단자(310)의 끝단부분의 일부가 삽입될 수 있도록 제1전극단자(310)의 길이방향 형상의 일부에 대응되는 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)가 형성될 수 있다.

즉, 상기 제1전극단자(310)와 삽입되며 제1전극단자(310)와 면접촉하도록 제1연결부재(410)에 형성된 제1홈부(413)와, 제1전극단자(310)와 삽입되며 제1전극단자(310)와 면접촉하도록 제2연결부재(420)에 형성된 제2홈부(423) 중 적어도 어느 하나가 형성될 수 있다.

상기 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)는, 제1전극단자(310)의 길이방향 형상의 일부에 대응되어 형성됨으로써 제1전극단자(310)가 삽입되는 공간을 형성한다.

이때 상기 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)에 의하여 형성되는 삽입공간은, 제1전극단자(310)가 삽입된 상태에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420가 서로 마주보는 면이 간격을 두고 설치될 수 있을 정도로 형성됨이 바람직하다.

한편 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 체결부재(430)에 의하여 결합될 때 제1전극단자(310)를 견고하게 고정할 수 있도록 체결부재(430)에 의하여 결합되기 전에 서로 마주보는 면들이 간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다.

상기와 같이, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 체결부재(430)에 의하여 결합되기 전에 서로 마주보는 면들이 간격을 두고 설치되게 되면 체결부재(430)의 결합에 의하여 제2결합부(426) 및 제1결합부(426) 사이의 간격이 좁아지는 쪽으로 힘을 가하여 제1전극단자(310)를 견고하게 고정할 수 있게 된다.

상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410)의 타단 및 제2연결부재(420)의 타단에 각각 형성된 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 체결하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

구체적으로, 상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410)의 제1결합부(416) 및 제2연결부재(420)의 제2결합부(426) 각각에 제1전극단자(310)의 끝단과 간격을 두고 관통형성된 형성된 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되어 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킬 수 있다.

이때 상기 체결부재(430)는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421) 중 적어도 어느 하나에 형성된 암나사부(미도시)와 나사결합되는 볼트를 포함할 수 있다.

또한 상기 체결부재(430)는, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되는 핀부재(미도시) 및 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입된 상태에서 핀부재를 고정하는 핀고정부재(미도시)를 포함할 수 있다.

또한 상기 체결부재(430)는, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되는 볼트(미도시) 및 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입된 상태에서 볼트와 나사결합되는 너트(미도시)를 포함할 수 있다.

한편 상기 체결부재(430)는, 볼트 또는 핀을 포함하는 경우를 들어 설명하였으나 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면을 둘러싸는 클램프, 이클릭(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 체결부재가 사용될 수 있음은 물론이다.

한편 상기 제1결합부재(410), 제2결합부재(420) 및 체결부재(430)는, 그 재질이 니켈, 니켈합금 등의 도전성 재질이 사용될 수 있다.

한편 상기 기판지지대(200)에는 복수 개의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자(320)들 각각에 대응되는 외부전극단자(320)들이 설치될 수 있으며, 복수의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자들(320)들의 결합을 위한 복수의 커넥터 조립체(400)들이 설치될 수 있다.

그리고 상기 복수 개의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자(320)들을 각각 결합하는 복수개의 커넥터 조립체(400)들은, 상호 전기적 절연 및 외부충격으로부터의 보호를 위하여 절연부재(540)에 끼워진 상태로 기판지지대(200)의 중공 샤프트(220)에 결합될 수 있다.

상기 절연부재(540)는, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)들의 상호 전기적 절연 을 위하여 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 절연부재(540)는, 커넥터 조립체(400)에 의하여 결합된 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)의 수 및 위치에 대응되어 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입되는 복수의 삽입공(541)들이 내측에 형성된다.

상기 삽입공(541)은, 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입되도록 관통형성되며, 외부전극단자(320)에 결합된 제1연결부재(410)가 외부로 이동되는 것을 방지하기 위하여 외부전극단자연결부(424)에 형성된 단차(425)에 걸림되는 걸림단차(545)가 형성됨이 바람직하다.

상기와 같이, 상기 삽입공(541)에 외부전극단자연결부(424)에 형성된 단차(425)에 걸림되는 걸림단차(545)가 형성되면 절연부재(540)의 삽입공(541)에 커넥터 조립체(400)가 삽입된 상태에서 절연부재(540)가 중공형 샤프트(220)에 결합됨으로써 커넥터 조립체(400)는 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에 위치되게 된다.

또한 상기 절연부재(540)는, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입된 후 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)에 대하여 체결부재(430)를 결합시킬 수 있도록 측면에 체결부재(430)가 노출될 수 있도록 복수의 관통부(543)들이 형성된다.

그리고 상기 절연부재(540)는, 전기적 절연을 위하여 PTFE 등의 엔지니어링 플라스틱 재질이 사용될 수 있다.

그리고 상기 절연부재(540)가 중공형 샤프트(220)의 설치시 그를 가이드하기 위하여 하나 이상의 가이드부재(510)가 설치될 수 있다.

또한 상기 절연부재(540)는, 중공형 샤프트(220)의 하단부분에 볼트 등에 의하려 결합될 수 있도록 복수의 볼트결합공(542)들이 형성된다.

한편 상기 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입된 후 중공형 샤프트(220)의 하단부분에 결합되는 과정에서 커넥터 조립체(400)에 의하여 결합된 커넥터 조립체(400)의 위치가 틀어져 중공형 샤프트(220)에 대한 제1전극단자(310)의 결합부분을 파손하거나 체결부재(430)가 삽입되는 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)의 위치가 변경되어 체결부재(430)의 체결이 어려워지는 문제점이 있다.

따라서 상기 커넥터 조립체(400)가 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입될 때 삽입위치의 변경을 방지하기 위하여, 커넥터 조립체(400)는 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서 회전되지 않도록 설치, 즉 회전방지구조가 구비됨이 바람직하다.

상기 회전방지구조는, 삽입공(541)의 길이방향에 대한 수직방향의 단면형상에 형성된 제1각진 부분과, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 중 적어도 하나의 외주면에 형성되며 삽입공(541)의 각진 부분에 대응되는 제2각진 부분을 포함하거나, 삽입공(541)에 대한 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 삽입구조가 키홈을 가질 수 있다.

구체적인 예로서, 상기 회전방지구조는, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 횡단면이 원형일 때 키 및 키홈에 의하여 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서의 커넥터 조립체(400)의 회전을 방지할 수 있다.

즉, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 길이방향을 따라서 키 또는 키홈이 형성되고, 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에 키 또는 키홈에 대응되는 키홈 또는 키가 형성될 수 있다.

다른 예로서, 상기 회전방지구조는, 커넥터 조립체(400) 또는 절연부재(540)의 삽입공(541) 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고, 커넥터 조립체(400) 또는 절연부재(540)의 삽입공(541) 중 나머지 하나가 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성될 수 있다.

또 다른 방법으로, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 횡단면의 형상 및 이에 대응되는 절연부재(540)의 삽입공(541)의 횡단면 형상을 타원형, 다각형 등과 같이 회전될 수 없는 형상으로 형성함으로써 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서의 커넥터 조립체(400)의 회전을 방지할 수 있다.

즉, 상기 회전방지구조는, 절연부재(540)의 삽입공(541)의 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과, 제1연결부재(410)와 제2연결부재(420)가 결합된 상태에서 커넥터 조립체(400)의 길이방향에 대한 수직 단면이 삽입공(541)의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함할 수 있다.

한편 상기와 같은 커넥터 조립체는 다음과 같은 순서에 의하여 커넥터 조립체(400) 및 절연부재(540)가 설치될 수 있다.

상기 외부전극단자(420)가 연결된 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 체결부재(430)에 의하여 느슨하게 결합된 상태에서 커넥터 조립체(400)는, 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입된다.

그리고 상기 커넥터 조립체(400)가 삽입된 절연부재(540)는, 중공형 샤프트(220)에 볼트 등에 의하여 결합되며, 절연부재(540)의 결합 후에 느슨하게 결합된 체결부재(430)는 관통부(543)을 통하여 드라이버 등과 같은 도구에 의하여 회전됨으로써 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)에 대하여 견고하게 결합된다.

한편 본 발명의 실시예는, 기판지지대에 설치된 내부부재에 연결된 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결에 관하여 설명하고 있으나, 본 발명에 따른 커넥터 조립체는, 기판처리장치 내부에 설치된 내부부재에 연결되는 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결에 모두 적용될 수 있음은 물론이다.

더 나아가, 본 발명에 따른 커넥터 조립체는, 길이방향으로 연결될 필요가 있는 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결에도 적용가능함은 물론이다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

310 : 제1전극단자 320 : 외부전극단자
400 : 커넥터 조립체
410 : 제1연결부재 420 : 제2연결부재
430 : 체결부재

Claims

기판처리장치의 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자와, 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자를 전기적으로 연결하는 커넥터 조립체로서,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 도전성 재질의 제1연결부재와;
타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 도전성 재질의 제2연결부재와;
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와;
상기 체결부재에 의한 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 타단 결합 시 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단이 서로 벌어지는 것을 방지하기 위하여 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태로 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.
청구항 1에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.
청구항 1에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.
청구항 1에 있어서,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.
청구항 1에 있어서,
상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.
밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서,
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 도전성 재질의 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 도전성 재질의 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 체결부재에 의한 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 타단 결합 시 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단이 서로 벌어지는 것을 방지하기 위하여 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태로 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
청구항 6에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
청구항 6에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
청구항 6에 있어서,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
청구항 6에 있어서,
상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
청구항 6에 있어서,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서,
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태로 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하며,
상기 절연부재는 상기 삽입공에 삽입된 상기 체결부재에 대응되는 위치에 상기 체결부재가 외부로 노출되도록 관통부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
청구항 11에 있어서,
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서,
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하며,
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하며,
상기 회전방지수단은,
상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고,
상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 나머지 하나가 상기 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서,
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하며,
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하며,
상기 회전방지수단은
상기 절연부재의 삽입공의 상기 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과,
제1연결부재와 상기 제2연결부재가 결합된 상태에서 상기 커넥터 조립체의 길이방향에 대한 수직 단면이 상기 삽입공의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.
밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와;
상기 공정챔버에 설치되어 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와;
청구항 6 내지 청구항 15 중 어느 하나의 항에 따른 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.