KR102009870B1 - Apparatus for correcting image of nondestructive testing equipment - Google Patents

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김재현
주진식
이병노
이남호
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한국원자력연구원
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Abstract

According to the present invention, an image correction device of a nondestructive inspection equipment comprises: a filter case which is installed in an emission part where radiation is emitted from the nondestructive inspection equipment such that radiation passes through the emission part; a filter unit composed of a plurality of movable module structures, arranged inside the filter case, evenly distributing an amount of radiation detected by a detector, and absorbing and removing radiation energy lower than a set value; and a driving unit connected to the filter unit and moving the filter unit. Therefore, the present invention has an effect of increasing the quality of the radiation detection image.

Description

비파괴검사설비의 영상교정장치{APPARATUS FOR CORRECTING IMAGE OF NONDESTRUCTIVE TESTING EQUIPMENT}Image calibration equipment for non-destructive inspection equipment {APPARATUS FOR CORRECTING IMAGE OF NONDESTRUCTIVE TESTING EQUIPMENT}

본 발명은 비파괴검사설비의 영상교정장치로서, 방사선으로 이용하여 획득하는 검출영상을 교정하는 비파괴검사설비의 영상교정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an image calibration apparatus of a non-destructive inspection facility, and to an image calibration apparatus of a non-destructive inspection facility for correcting a detection image obtained by using radiation.

종래 비파괴검사설비는, 도 1에 도시된 바와 같이, 하나의 방사선원(10)과 복수 개의 픽셀(20a)로 이루어진 검출기(20)를 사용하는데, 균일한 방사선량(방사선 세기)의 영상을 획득하기 위해서 방사선원(10)의 타겟을 중심으로 하여 검출기(20)까지 동일한 거리를 유지하도록, 복수 개 픽셀(20a)로 이루어진 검출기(20)가 원호의 모양으로 설치 및 제작된다.Conventional non-destructive inspection equipment, as shown in Figure 1, using a detector 20 consisting of one radiation source 10 and a plurality of pixels 20a, to obtain an image of a uniform radiation dose (radiation intensity) In order to maintain the same distance to the detector 20 centering on the target of the radiation source 10, a detector 20 composed of a plurality of pixels 20a is installed and manufactured in the shape of an arc.

참고로, 도 1에서 복수 개의 픽셀(20a) 사이에 일정 간격 이격되어 표시된 복수 개의 점은, 복수 개의 픽셀(20a)에서 일부가 생략된 것을 의미한다.For reference, in FIG. 1, a plurality of dots displayed at predetermined intervals between the plurality of pixels 20a may mean that a part of the plurality of pixels 20a is omitted.

그러나, 실제로 방사선원(10)과 검출기(20) 간에 동일한 거리를 유지하고 있다 하더라도 검출기(20)에서 검출되는 방사선량(방사선 세기)는, 도 2에 도시된 바와 같이 중앙부분의 픽셀(20a)이 가장 많고(방사선 세기가 강하고), 가장자리의 픽셀(20a)로 갈수록 적어지는(방사선 세기가 약해지는), 가우시안 곡선을 가지게 된다.However, even though the distance between the radiation source 10 and the detector 20 is actually maintained at the same distance, the radiation amount (radiation intensity) detected by the detector 20 is equal to that of the pixel 20a in the center portion as shown in FIG. It has the Gaussian curve which is the most (the radiation intensity is strong) and decreases (the radiation intensity becomes weak) toward the edge pixel 20a.

이러한 현상은 검출기(20)의 각 픽셀(20a)에서 검출되는 방사선량이 다르다는 것을 의미하며, 이로 인해 투과 영상의 화질 불균형을 발생시킨다.This phenomenon means that the amount of radiation detected in each pixel 20a of the detector 20 is different, which causes an unbalance in image quality of the transmitted image.

또한, 낮은 에너지 영역의 방사선이 검출기(20)에 조사되는데, 이는 검출 영상의 노이즈 역할을 하여 영상의 질을 떨어뜨리는 문제점을 발생시킨다.In addition, the radiation of the low energy region is irradiated to the detector 20, which acts as a noise of the detected image, causing a problem of degrading the quality of the image.

일본 공개특허공보 제1994-086832호Japanese Unexamined Patent Publication No. 1994-86869

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 검출기에서 검출되는 방사선량을 균등하게 분포시키고, 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거하는 비파괴검사설비의 영상교정장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and to provide an image calibration apparatus of a non-destructive inspection equipment for evenly distributing the amount of radiation detected by the detector, absorbing and removing radiation energy lower than the set value. Its purpose is.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치는, 비파괴검사설비에서 방사선이 방출되는 방출부에, 상기 방사선이 통과되도록 설치된 필터케이스; 상기 필터케이스의 내부에 배치되며, 검출기에서 검출되는 방사선량을 균등하게 분포시키고, 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거하도록, 복수 개의 이동식 모듈구조로 구성된 필터유닛; 및 상기 필터유닛에 연결되며, 상기 필터유닛을 이동시키는 구동유닛;을 포함한다.In order to achieve the above object, the image calibration apparatus of the non-destructive inspection facility according to an embodiment of the present invention, the discharge unit in which the radiation is emitted from the non-destructive inspection facility, the filter case is installed so that the radiation passes; A filter unit disposed inside the filter case and configured to have a plurality of movable module structures so as to evenly distribute the radiation dose detected by the detector and to absorb and remove radiation energy lower than a set value; And a driving unit connected to the filter unit and moving the filter unit.

본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치는, 복수 개의 이동식 모듈구조인 필터유닛이 구성됨으로써, 검출기에서 검출되는 방사선량을 정밀하게 균등분포시키고, 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거함으로써, 방사선 검출영상의 품질을 증대시킬 수 있는 효과를 가진다.The image calibration apparatus of the non-destructive inspection facility according to the present invention comprises a filter unit having a plurality of mobile module structures, thereby accurately and evenly distributing the radiation dose detected by the detector, and absorbing and removing radiation energy lower than the set value, It has the effect of increasing the quality of the radiation detection image.

도 1은 비파괴검사설비를 나타낸 측면도이다.
도 2는 다수의 검출기에서의 방사선량을 나타낸 그래프이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치 내부를 나타낸 평면도 및 정면도이다.
도 5 및 도 6은 도 3의 비파괴검사설비의 영상교정장치에서 방사선량균등필터의 복수 개의 균등필터모듈이 이동되어 위치변경된 것을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7 및 도 8은 도 3의 비파괴검사설비의 영상교정장치에서 에너지저감필터의 복수 개의 흡수필터모듈이 이동되어 위치변경된 것을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a side view showing a non-destructive inspection equipment.
2 is a graph showing the radiation dose in a plurality of detectors.
3 and 4 are a plan view and a front view showing the inside of the image calibration apparatus of the non-destructive inspection equipment according to the present invention.
5 and 6 are views schematically showing that a plurality of uniform filter modules of a radiation dose equalization filter are moved and repositioned in the image calibration apparatus of the non-destructive inspection facility of FIG. 3.
7 and 8 are views schematically showing that a plurality of absorption filter modules of an energy saving filter are moved and repositioned in the image calibration apparatus of the non-destructive inspection facility of FIG. 3.

이하, 본 발명의 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명하기로 한다. 각 도면의 구성요소들에 도면부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail. In the reference numerals to the components of each drawing, it is noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치 내부를 나타낸 평면도 및 정면도이며, 도 5 및 도 6은 도 3의 비파괴검사설비의 영상교정장치에서 방사선량균등필터의 복수 개의 균등필터모듈이 이동되어 위치변경된 것을 나타낸 도면이고, 도 7 및 도 8은 도 3의 비파괴검사설비의 영상교정장치에서 에너지저감필터의 복수 개의 흡수필터모듈이 이동되어 위치변경된 것을 나타낸 도면이다.3 and 4 are a plan view and a front view showing the inside of the image calibration device of the non-destructive testing equipment according to the present invention, Figures 5 and 6 are a plurality of uniformity of the radiation dose equalization filter in the image calibration device of the non-destructive testing equipment of FIG. 7 and 8 are views showing that the plurality of absorption filter modules of the energy saving filter are moved and changed in the image calibration apparatus of the non-destructive inspection facility of FIG. 3.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치는 필터케이스(100), 필터유닛(200), 및 구동유닛(300)을 포함한다.Referring to the drawings, the image calibration apparatus of the non-destructive inspection equipment according to the present invention includes a filter case 100, a filter unit 200, and a drive unit 300.

여기에서, 상기 필터케이스(100)는 비파괴검사설비에서 방사선이 방출되는 방출부(11)에 설치된다. 참고로, 상기 방출부(11)는 팬콜리메이터 등이 활용될 수 있다.Here, the filter case 100 is installed in the emission section 11 that the radiation is emitted from the non-destructive inspection equipment. For reference, the discharge unit 11 may be utilized, such as a pan collimator.

이러한 필터케이스(100)는 방출부(11)의 방출홀(슬릿)(11a)을 통해 방출된 방사선이 통과할 수 있도록, 방출부(11)의 방출홀(11a)과 접하는 부분인 방출홀(11a) 측의 부분에는 제1 통과홀(100b)이 형성되고, 방출홀(11a)의 반대측 부분에는 제2 통과홀(100c)이 형성된다.The filter case 100 may include a discharge hole which is a part in contact with the discharge hole 11a of the discharge part 11 so that radiation emitted through the discharge hole (slit) 11a of the discharge part 11 may pass. A first through hole 100b is formed in the portion on the side of 11a), and a second through hole 100c is formed in the portion opposite to the discharge hole 11a.

이때, 상기 제1 통과홀(100b) 및 제2 통과홀(100c)은 방출홀(11a)보다 크기가 커서 방출홀(11a)을 통해 방출된 방사선이 필터케이스(100)에 의해 간섭되지 않고 계속적으로 나아가서 검출기(도 1의 20)까지 이를 수 있도록 한다.In this case, the first through hole 100b and the second through hole 100c are larger than the emission hole 11a so that the radiation emitted through the emission hole 11a is not interfered by the filter case 100. And to reach the detector (20 in FIG. 1).

아울러, 상기 필터케이스(100)는 내부에 필터유닛(200)이 배치되어, 필터유닛(200)이 방사선을 선택적으로 간섭하게 위치변경될 수 있도록 적정한 내부공간(100a)을 가진다.In addition, the filter case 100 has a filter unit 200 disposed therein, and has a suitable internal space 100a so that the filter unit 200 can be repositioned to selectively interfere with radiation.

그리고, 상기 필터유닛(200)은 필터케이스(100)의 내부에 배치되는데, 검출기에서 검출되는 방사선량을 균등하게 분포시키고, 이에 더하여 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거하도록 구성된다.In addition, the filter unit 200 is disposed inside the filter case 100, and is configured to evenly distribute the amount of radiation detected by the detector, and to absorb and remove radiation energy lower than the set value.

구체적으로, 상기 필터유닛(200)은 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)를 구비할 수 있다.Specifically, the filter unit 200 may include a radiation dose equalization filter 210 and an energy reduction filter 220.

만약, 검출기의 복수 개 픽셀(도 1의 20a)에서 검출되는 방사선량(방사선 세기)이 서로 다른 경우, 검출영상의 명암이 부분별로 서로 다르게 됨에 따라, 방사선 검출영상의 품질이 떨어지게 되는데 이러한 점을 방지하기 위해, 상기 필터유닛(200)은 방사선량균등필터(210)를 구비하여 검출기의 복수 개 픽셀에서 검출되는 방사선량을 균등하게 분포시킨다.If the radiation dose (radiation intensity) detected in a plurality of pixels (20a of FIG. 1) of the detector is different from each other, as the contrast of the detection image is different for each part, the quality of the radiation detection image is deteriorated. In order to prevent this, the filter unit 200 includes a radiation dose equalization filter 210 to evenly distribute the radiation dose detected in the plurality of pixels of the detector.

또한, 검출기에 낮은 에너지 영역의 방사선이 조사되는 경우, 낮은 에너지 영역의 방사선이 노이즈가 되어 방사선 검출영상의 품질을 떨어뜨리게 됨에 따라 이를 방지하기 위해, 상기 필터유닛(200)은 에너지저감필터(220)를 구비하여 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거한다.In addition, when the radiation of the low energy region is irradiated to the detector, in order to prevent the radiation of the low energy region becomes noise to reduce the quality of the radiation detection image, the filter unit 200 is the energy reduction filter 220 ) Absorbs and removes radiation energy lower than the set value.

나아가, 이러한 필터유닛(200)의 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)는, 방사선량 균등분포와 낮은 방사선에너지 흡수제거를 보다 더 정밀하게 조절할 수 있도록, 복수 개의 이동식 모듈구조로 구성된다.Furthermore, the radiation dose equalization filter 210 and the energy reduction filter 220 of the filter unit 200 have a plurality of movable module structures to more precisely control the radiation dose equalization and low radiation energy absorption removal. It is composed.

구체적인 구조를 살펴보면, 상기 방선량균등필터는 복수 개가 상기 필터케이스(100)의 내부에서 방사선의 방출방향으로 적층되고 방사선의 방출방향의 수직방향으로 적층되어, 각각 위치가변되는 균등필터모듈(211)을 가진다.Looking at a specific structure, a plurality of radiation dose equalization filter is laminated in the emission direction of the radiation in the interior of the filter case 100 and stacked in the vertical direction of the emission direction of the equal filter module 211, each position is changed. Has

즉, 상기 방사선량균등필터(210)는 복수 개의 균등필터모듈(211)을 구비하는데, 상기 균등필터모듈(211)은 복수 개가 방사선의 방출방향으로 적층된 적층구조를 이루고, 이와 함께 방사선 방출방향의 수직방향으로도 적층된 적층구조를 이루게 되며, 복수 개 각각이 독립적으로 이동되어 각각 위치가 변할 수 있는 구조를 이루게 된다.That is, the radiation dose equalization filter 210 includes a plurality of equalization filter modules 211, and the equalization filter module 211 has a laminated structure in which a plurality of layers are laminated in a direction of radiation emission, and together with the radiation emission direction. The laminated structure is also stacked in the vertical direction of, and each of the plurality is independently moved to form a structure that can be changed each position.

이와 같이 균등필터모듈(211)이 도 3에 도시된 바와 같이, 복수 개가 방사선의 방출방향으로 적층된 적층구조로 이루어짐으로써, 만약 검출기에서 검출되는 방사선량이 많아서 방사선량을 줄이고 싶으면, 많은 수의 균등필터모듈(211)을 방사선의 방출루트 측으로 이동시켜 방사선을 필터링하면 되고, 만약 검출기에서 검출되는 방사선량이 적어서 방사선량을 늘리고 싶으면, 방사선을 필터링하고 있는 균등필터모듈(211)의 수를 줄여서, 즉 방사선의 방출루트에 위치된 복수 개의 균등필터모듈(211) 중에서 일부를 방사선의 방출루트로부터 이탈되도록 이동시키면 된다.As shown in FIG. 3, the equal filter module 211 has a laminated structure in which a plurality of layers are laminated in the emission direction, so that if the amount of radiation detected by the detector is large and the amount of radiation is to be reduced, a large number of equalities are obtained. The filter module 211 is moved to the emission route of radiation to filter the radiation, and if the amount of radiation detected by the detector is small and the radiation dose is desired, the number of uniform filter modules 211 filtering the radiation is reduced, that is, Some of the plurality of uniform filter modules 211 positioned at the emission route of the radiation may be moved away from the emission route of the radiation.

아울러, 균등필터모듈(211)은 도 4에 도시된 바와 같이, 방사선 방출방향의 수직방향으로도 적층된 적층구조로 이루어짐으로써, 검출기의 복수 개 픽셀(도 1의 20a)마다 다르게 방사선량이 조절될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4, the equal filter module 211 has a stacked structure stacked in the vertical direction of the radiation emission direction, so that the radiation dose can be adjusted differently for each of the plurality of pixels (20a of FIG. 1) of the detector. Can be.

일례로서, 검출기의 복수 개 픽셀 중에서 중앙부분의 픽셀 측으로 갈수록 방사선량이 많이 검출된다면, 도 5에 도시된 바와 같이 방사선 방출방향의 수직방향으로 복수 개가 배치된 균등필터모듈(211) 중에서 중앙부분으로 갈수록 더 많은 균등필터모듈(211)이 방사선의 방출루트 측으로 이동되어 방사선을 필터링함으로써, 검출기의 복수 개 픽셀 중에서 중앙부분의 픽셀 측으로 갈수록 방사선량을 더 많이 줄임에 따라, 검출기의 복수 개 픽셀 전체적으로 균등하게 방사선량이 검출될 수 있도록 할 수 있다.As an example, if the radiation dose is detected toward the pixel of the center portion of the plurality of pixels of the detector, as shown in Figure 5 toward the center portion of the uniform filter module 211 is arranged in the vertical direction of the radiation emission direction As the equalization filter module 211 moves toward the emission route of the radiation to filter the radiation, the radiation dose is reduced more toward the central pixel side among the plurality of pixels of the detector, so that the entire plurality of pixels of the detector are evenly distributed. The radiation dose can be detected.

다른 일례로서, 검출기의 복수 개 픽셀 중에서 중앙부분이 아닌 일정부분의 픽셀 측으로 갈수록 방사선량이 많이 검출된다면, 도 6에 도시된 바와 같이 방사선 방출방향의 수직방향으로 복수 개가 배치된 균등필터모듈(211) 중에서 검출기의 일정부분 픽셀 측으로 가는 방사선의 방출루트 측으로 더 많은 균등필터모듈(211)이 이동되어 방사선을 필터링함에 따라, 검출기의 복수 개 픽셀 중에서 일정부분의 픽셀 측으로 갈수록 방사선량을 더 많이 줄임에 따라, 검출기의 복수 개 픽셀 전체적으로 균등하게 방사선량이 검출될 수 있도록 할 수 있다.As another example, if a large amount of radiation is detected toward the pixel portion of the detector instead of the central portion of the plurality of pixels of the detector, as illustrated in FIG. 6, a plurality of uniform filter modules 211 are disposed in the vertical direction of the radiation emission direction. As more uniform filter modules 211 are moved to the emission route side of the radiation toward the pixel portion of the detector to filter the radiation, the radiation dose decreases more toward the pixel portion of the plurality of detectors. In this case, the radiation dose can be uniformly detected throughout the plurality of pixels of the detector.

종국적으로, 상기 균등필터모듈(211)이 복수 개가 필터케이스(100)의 내부에서 방사선의 방출방향으로 적층된 구조를 지닌 조건에서는 방사선량을 정밀하게 조절할 수 있고, 이에 더하여 복수 개가 방사선 방출방향의 수직방향으로 적층된 구조를 지닌 조건에서는, 검출기의 복수 개 픽셀 중에서 방사선량이 많이 검출된 픽셀에서의 방사선량을 필터링하여 줄임으로써, 검출기의 복수 개 픽셀 전체적으로 검출되는 방사선량을 균등하게 분포시킬 수 있다.Finally, in the condition that the uniform filter module 211 has a structure in which a plurality of the stacked filter layers are stacked in the emission direction of the inside of the filter case 100, the radiation dose may be precisely adjusted, and in addition, the plurality of the uniform filter modules 211 may be in the radiation emission direction. In a condition having a stacked structure in the vertical direction, by reducing the amount of radiation in a pixel in which a large amount of radiation is detected among the plurality of pixels of the detector, the amount of radiation detected throughout the plurality of pixels of the detector can be evenly distributed. .

참고로, 도 3 및 도 4에서 복수 개의 균등필터모듈(211) 사이에서, 일정 간격 이격되어 표시된 복수 개의 점은, 복수 개 균등필터모듈(211)의 일부가 생략된 것을 의미한다.For reference, in FIG. 3 and FIG. 4, a plurality of dots displayed at regular intervals between the plurality of equal filter modules 211 means that a part of the plurality of equal filter modules 211 is omitted.

한편, 상기 에너지저감필터(220)는 복수 개가 필터케이스(100)의 내부에서 방사선의 방출방향으로 적층되어, 각각 위치가변되는 흡수필터모듈(221)을 가진다.On the other hand, the energy reduction filter 220 has a plurality of absorption filter module 221 is stacked in the radiation direction of the radiation in the interior of the filter case 100, respectively.

즉, 상기 에너지저감필터(220)는 복수 개의 흡수필터모듈(221)을 구비하는데, 상기 흡수필터모듈(221)은 복수 개가 방사선의 방출방향으로 적층된 적층구조를 이루며, 복수 개 각각이 독립적으로 이동되어 각각 위치가 변할 수 있는 구조를 이루게 된다.That is, the energy reduction filter 220 includes a plurality of absorption filter modules 221. The absorption filter module 221 has a stack structure in which a plurality of layers are stacked in a direction of emission of radiation, and each of the plurality of absorption filters is formed independently. It is moved to form a structure that can be changed in each position.

이와 같이 흡수필터모듈(221)이 도 7에 도시된 바와 같이, 복수 개가 방사선의 방출방향으로 적층된 적층구조로 이루어짐으로써, 만약 흡수제거하고자 하는 방사선에너지의 수치가 높으면(검출영상에서 노이즈를 많이 제거하고자 한다면) 많은 수의 흡수필터모듈(221)을 방사선의 방출루트 측으로 이동시켜 방사선을 필터링하면 되고, 만약 흡수제거하고자 하는 방사선에너지의 수치가 낮으면(검출영상에서 노이즈를 적게 제거하고자 한다면) 적은 수의 흡수필터모듈(221)을 방사선의 방출루트 측으로 이동시켜 방사선을 필터링하면 된다.As shown in FIG. 7, the absorption filter module 221 has a laminated structure in which a plurality of layers are laminated in the emission direction, so that if the value of radiation energy to be absorbed and removed is high (a lot of noise is detected in the detected image). If you want to remove) move a large number of absorption filter module 221 to the emission route of radiation to filter the radiation, if the value of the radiation energy to be absorbed is low (if you want to remove less noise from the detected image) A small number of absorption filter modules 221 may be moved to the emission route of radiation to filter the radiation.

그리고, 상기 에너지저감필터(220)와 방사선량균등필터(210)는, 방사선의 방출방향으로 순차적으로 배치되는 것이 바람직하다.In addition, the energy reduction filter 220 and the radiation dose equalization filter 210 are preferably arranged in the radiation direction of the radiation sequentially.

즉, 상기 에너지저감필터(220)가 방사선의 방출방향으로 먼저 배치되고, 이어서 방사선량균등필터(210)가 배치될 수 있다.That is, the energy reduction filter 220 may be disposed first in the emission direction of the radiation, and then the radiation dose equalization filter 210 may be disposed.

다시 말해, 상기 에너지저감필터(220)와 방사선량균등필터(210)는 방출부(11)로부터 방출되는 방사선이 에너지저감필터(220)에 의해 필터링된 후, 방사선량균등필터(210)에 의해 필터링되도록 하는 배치구조를 이룰 수 있다.In other words, the energy reduction filter 220 and the radiation dose equalization filter 210 are filtered by the energy reduction filter 220 after the radiation emitted from the emitter 11 is discharged by the radiation dose equalization filter 210. You can achieve a batch structure that allows filtering.

만약, 이와 반대로 방사선이 방사선량균등필터(210)에 의해 필터링된 다음 에너지저감필터(220)에 의해 필터링된다면, 방사선량균등필터(210)에 의해 균등하게 분포된 방사선량을 가진 방사선이 에너지저감필터(220)에 의해 필터링되면서 일정 부분이 비균등하게 될 수 있기 때문에, 본 발명과 같이 검출영상에서 노이즈로 구현되는 낮은 방사선에너지를 먼저 에너지저감필터(220)에 의해 제거한 후, 마지막으로 방사선량균등필터(210)에 의해 방사선량을 균등하게 분포시키는 것이 바람직하다.On the contrary, if the radiation is filtered by the radiation dose equalization filter 210 and then filtered by the energy reduction filter 220, the radiation having the radiation dose evenly distributed by the radiation dose equalization filter 210 is reduced in energy. Since a certain portion may be uneven while being filtered by the filter 220, the low radiation energy implemented as noise in the detection image as described in the present invention is first removed by the energy reduction filter 220, and finally the radiation dose It is preferable to distribute the radiation dose evenly by the equal filter 210.

한편, 상기 구동유닛(300)은 상술된 필터유닛(200)에 연결되며, 필터유닛(200)을 이동시키도록 구성된다.On the other hand, the drive unit 300 is connected to the above-described filter unit 200, it is configured to move the filter unit 200.

이러한 구동유닛(300)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 구동연결바(310)와 필터구동부재(320)를 구비할 수 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the driving unit 300 may include a driving connecting bar 310 and a filter driving member 320.

구체적으로, 상기 구동연결바(310)는 복수 개가 제공되는데, 복수 개의 균등필터모듈(211) 각각과 연결되고, 복수 개의 흡수필터모듈(221) 각각과 연결된다.Specifically, a plurality of drive connection bars 310 are provided, which are connected to each of the plurality of equal filter modules 211 and are connected to each of the plurality of absorption filter modules 221.

즉, 구동연결바(310)는 한 개가 균등필터모듈(211) 한 개와 연결되고, 다른 한 개가 흡수필터모듈(221) 한 개와 연결됨으로써, 복수 개의 균등필터모듈(211) 및 복수 개의 흡수필터모듈(221)과 대응되게 복수 개가 마련된다.That is, one driving connection bar 310 is connected to one of the equalization filter module 211, the other is connected to one of the absorption filter module 221, a plurality of equal filter module 211 and a plurality of absorption filter module. A plurality of pieces is provided to correspond to 221.

이와 같이 구동연결바(310)는 일단부가 균등필터모듈(211) 또는 흡수필터모듈(221)과 연결되고, 필터케이스(100)를 관통하여 외부로 연장됨으로써, 필터케이스(100)의 외부에 배치된 필터구동부재(320)와 타단부가 연결된다.As such, the driving connection bar 310 has one end connected to the equalization filter module 211 or the absorption filter module 221 and extends through the filter case 100 to the outside to be disposed outside the filter case 100. The filter driving member 320 and the other end are connected.

참고로, 도 3 및 도 4에서 복수 개의 필터구동부재(320) 사이에서, 일정 간격 이격되어 표시된 복수 개의 점은, 복수 개 필터구동부재(320)의 일부가 생략된 것을 의미한다.For reference, among the plurality of filter driving members 320 in FIGS. 3 and 4, the plurality of dots displayed at predetermined intervals may mean that some of the plurality of filter driving members 320 are omitted.

그리고, 상기 필터구동부재(320)는 필터케이스(100)의 일측 외면에 설치되며, 복수 개의 구동연결바(310) 각각을 독립적으로 이동시키도록 구성된다.In addition, the filter driving member 320 is installed on one outer surface of the filter case 100, and is configured to independently move each of the plurality of driving connection bars 310.

이때, 상기 필터구동부재(320)는 복수 개의 구동연결바(310) 각각을 독립적으로 이동시키도록 구성되면 될 뿐, 본 발명에 의해 구체적인 구조가 한정되지 않고 모터, 실린더 등 종래의 어떠한 구동부재도 활용될 수 있음은 물론이다.At this time, the filter driving member 320 is only to be configured to move each of the plurality of driving connecting bar 310 independently, the specific structure is not limited by the present invention, any conventional drive member such as a motor, a cylinder Of course, it can be utilized.

또한, 상기 구동연결바(310)는 비록 도면 상으로는 길이가 짧게 보이지만, 이에 한정되지 않고 균등필터모듈(211) 및 흡수필터모듈(221)이 방출홀을 통과한 방사선을 필터링하도록 방사선 방출루트 측으로 이동시킬 수 있는 충분한 길이를 가짐은 물론이다.In addition, although the driving connecting bar 310 may be short in length on the drawing, the driving connection bar 310 is not limited thereto, and the equalization filter module 211 and the absorption filter module 221 move toward the radiation emission route to filter the radiation passing through the emission hole. Of course it has a sufficient length to make.

이에 더하여, 상기 구동유닛(300)은 원위치푸쉬부재(330)와 원위치구동부재(340)를 더 구비할 수 있다.In addition, the driving unit 300 may further include an in-situ push member 330 and an in-situ driving member 340.

여기에서, 상기 원위치푸쉬부재(330)는 필터케이스(100)의 내부에서 배치되어, 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)를 필터케이스(100)의 일측 방향으로 밀어내도록 구성된다.Here, the in-situ push member 330 is disposed inside the filter case 100 and configured to push the radiation dose equalization filter 210 and the energy reduction filter 220 in one direction of the filter case 100. .

이러한 원위치푸쉬부재(330)는 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)를 모두 푸쉬할 수 있도록, 도면에 도시된 바와 같이 T자 형상을 취할 수 있지만 이에 한정되지 않고 안정적이면서도 원활하게 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)를 동시에 푸쉬할 수 있는 구조라면 어떠한 구조도 취할 수 있음은 물론이다.The in-situ push member 330 may take a T-shape as shown in the drawing to push both the radiation dose equalization filter 210 and the energy reduction filter 220, but is not limited thereto and is stable and smooth. As long as the radiation dose equalization filter 210 and the energy saving filter 220 can be pushed simultaneously, any structure can be taken.

또한, 상기 원위치구동부재(340)는 필터케이스(100)의 타측 외면에 설치되며, 원위치푸쉬부재(330)와 연결되어 원위치푸쉬부재(330)를 왕복이동시키도록 구성된다. 이때, 상기 원위치구동부재(340)는 원위치푸쉬부재(330)를 왕복이동시키도록 구성되면 될 뿐, 본 발명에 의해 구체적인 구조가 한정되지 않고 모터, 실린더 등 종래의 어떠한 구동부재도 활용될 수 있음은 물론이다.In addition, the home position driving member 340 is installed on the other outer surface of the filter case 100, is connected to the home position push member 330 is configured to reciprocate the home position push member 330. At this time, the home position drive member 340 only needs to be configured to reciprocate the home position push member 330, the specific structure is not limited by the present invention can be used any conventional drive member, such as a motor, a cylinder. Of course.

이와 같이 구성되는 원위치푸쉬부재(330)와 원위치구동부재(340)는, 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220) 모두를 동시에 방사선 방출루트에서 벗어나도록 필터케이스(100)의 일측으로 푸쉬할 수 있음에 따라, 본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치가 사용된 후, 즉 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)로 방사선이 필터링된 후 방사선량균등필터(210)와 에너지저감필터(220)를 빠른 시간내에 용이하게 원위치로 복귀시키는 초기화를 구현할 수 있다.The in-situ push member 330 and the in-situ driving member 340 configured as described above move both the radiation dose equalization filter 210 and the energy reduction filter 220 to one side of the filter case 100 so as to deviate from the radiation emission route at the same time. As it can be pushed, after the image correction apparatus of the non-destructive inspection equipment according to the present invention is used, that is, the radiation dose uniformity filter 210 after the radiation is filtered by the radiation dose uniformity filter 210 and the energy reduction filter 220 ) And the energy saving filter 220 can be easily reset to the original position within a short time.

참고, 상기 원위치푸쉬부재(330)는 비록 도면 상으로는 길이가 짧게 보이지만, 이에 한정되지 않고 균등필터모듈(211) 및 흡수필터모듈(221)을 원위치로 이동시킬 수 있는 충분한 길이를 가짐은 물론이다.Note that, although the in-situ push member 330 looks short in the drawing, the present invention is not limited thereto, and the in-situ push member 330 may have a sufficient length to move the uniform filter module 211 and the absorption filter module 221 to their original positions.

나아가, 본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치는, 비록 도면에 도시되지는 않았지만 측정부재와 제어부재를 더 포함할 수 있다.Furthermore, the image calibration apparatus of the non-destructive inspection facility according to the present invention may further include a measuring member and a control member, although not shown in the drawing.

여기에서, 상기 측정부재는 검출기에 설치되어, 검출기에서 검출되는 방사선량을 측정한다.Here, the measuring member is installed in the detector to measure the amount of radiation detected by the detector.

또한, 상기 제어부재는 측정부재 및 필터구동부재(320)와 전기적으로 연계되어, 측정부재의 측정치를 따라 실시간으로 필터구동부재(320)를 제어하도록 구성된다.In addition, the control member is electrically connected to the measuring member and the filter driving member 320, and is configured to control the filter driving member 320 in real time according to the measured value of the measuring member.

이에 따라, 측정부재에 의하여 계속적으로 방사선량과 방사선에너지를 측정하고, 제어부재가 측정부재의 측정치를 수신하여 실시간으로 방사선량의 균등분포에 대한 체크와 설정치보다 낮은 방사선에너지 제거에 대한 체크를 하여, 이러한 데이터를 바탕으로 필터구동부재(320)를 제어함으로써, 검출기에 있어서의 방사선량의 균등분포와 함께 설정치보다 낮은 방사선에너지 제거를 실시간 및 자동으로 구현할 수 있다.Accordingly, the radiation member and the radiation energy are continuously measured by the measuring member, and the control member receives the measured value of the measuring member to check the distribution of the radiation dose in real time and to remove the radiation energy lower than the set value. By controlling the filter driving member 320 on the basis of such data, it is possible to realize real-time and automatic removal of radiation energy lower than the set value together with an even distribution of the radiation dose in the detector.

결과적으로, 본 발명에 따른 비파괴검사설비의 영상교정장치는, 복수 개의 이동식 모듈구조인 필터유닛(200)이 구성됨으로써, 검출기에서 검출되는 방사선량을 정밀하게 균등분포시키고, 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거함으로써, 방사선 검출영상의 품질을 증대시킬 수 있다.As a result, in the image calibration apparatus of the non-destructive inspection equipment according to the present invention, the filter unit 200 having a plurality of movable module structures is constituted so that the radiation dose detected by the detector can be accurately and evenly distributed, and the radiation energy lower than the set value. By absorbing and removing the, it is possible to increase the quality of the radiation detection image.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is intended by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

100 : 필터케이스 100a : (필터케이스의)내부공간
100b : 제1 통과홀 100c : 제2 통과홀
200 : 필터유닛 210 : 방사선량균등필터
211 : 균등필터모듈 220 : 에너지저감필터
221 : 흡수필터모듈 300 : 구동유닛
310 : 구동연결바 320 : 필터구동부재
330 : 원위치푸쉬부재 340 : 원위치구동부재100: filter case 100a: inner space (of the filter case)
100b: first passage hole 100c: second passage hole
200: filter unit 210: radiation dose equalization filter
211: equal filter module 220: energy saving filter
221: absorption filter module 300: drive unit
310: driving connecting bar 320: filter driving member
330: home position push member 340: home position driving member

Claims (6)

비파괴검사설비에서 방사선이 방출되는 방출부에, 상기 방사선이 통과되도록 설치된 필터케이스; 상기 필터케이스의 내부에 배치되며, 검출기에서 검출되는 방사선량을 균등하게 분포시키고, 설정수치보다 낮은 방사선에너지를 흡수하여 제거하도록, 복수 개의 이동식 모듈구조로 구성된 필터유닛; 및 상기 필터유닛에 연결되며, 상기 필터유닛을 이동시키는 구동유닛;을 포함하며,
상기 필터유닛은, 복수 개가 상기 필터케이스의 내부에서 상기 방사선의 방출방향으로 적층되고 상기 방사선의 방출방향의 수직방향으로 적층되어, 각각 위치가변되는 균등필터모듈을 가진 방사선량균등필터; 및 복수 개가 상기 필터케이스의 내부에서 상기 방사선의 방출방향으로 적층되어, 각각 위치가변되는 흡수필터모듈을 가진 에너지저감필터;를 구비하는 것을 특징으로 하는 비파괴검사설비의 영상교정장치.
A filter case installed so as to allow the radiation to pass through the emission portion where the radiation is emitted from the non-destructive inspection facility; A filter unit disposed inside the filter case and configured to have a plurality of movable module structures so as to evenly distribute the radiation dose detected by the detector and to absorb and remove radiation energy lower than a set value; And a driving unit connected to the filter unit and moving the filter unit.
The filter unit may include: a radiation dose equalization filter having a uniform filter module, a plurality of which are stacked in a direction in which the radiation is emitted and vertically in a direction in which the radiation is emitted, inside the filter case; And an energy reduction filter having a plurality of absorbing filter modules stacked in the emission direction of the radiation inside the filter case, the positions of which are respectively changed.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 에너지저감필터와 방사선량균등필터는, 상기 방사선의 방출방향으로 순차적으로 배치된 것을 특징으로 하는 비파괴검사설비의 영상교정장치.
The method of claim 1,
And the energy reduction filter and the radiation dose equalization filter are sequentially disposed in the emission direction of the radiation.
제1항에 있어서,
상기 구동유닛은,
복수 개의 상기 균등필터모듈 각각과 연결되고, 복수 개의 상기 흡수필터모듈 각각과 연결되며, 상기 필터케이스를 관통하는 복수 개의 구동연결바; 및
상기 필터케이스의 일측 외면에 설치되고 상기 구동연결바와 연결되며, 복수 개의 상기 구동연결바 각각을 독립적으로 이동시키는 필터구동부재;
를 구비하는 것을 특징으로 하는 비파괴검사설비의 영상교정장치.
The method of claim 1,
The drive unit,
A plurality of driving connecting bars connected to each of the plurality of equal filter modules and connected to each of the plurality of absorption filter modules and penetrating the filter case; And
A filter driving member installed at one outer surface of the filter case and connected to the driving connecting bar and independently moving each of the plurality of driving connecting bars;
Image calibration apparatus of non-destructive inspection equipment, characterized in that it comprises a.
제4항에 있어서,
상기 구동유닛은,
상기 필터케이스의 내부에서 배치되어, 상기 방사선량균등필터와 에너지저감필터를 상기 필터케이스의 일측 방향으로 밀어내는 원위치푸쉬부재; 및
상기 필터케이스의 타측 외면에 설치되며, 상기 원위치푸쉬부재와 연결되어 상기 원위치푸쉬부재를 왕복이동시키는 원위치구동부재;
를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 비파괴검사설비의 영상교정장치.
The method of claim 4, wherein
The drive unit,
An in-situ push member disposed in the filter case to push the radiation dose equalization filter and the energy reduction filter toward one side of the filter case; And
An in-situ driving member installed on the other outer surface of the filter case and connected to the in-situ push member to reciprocate the in-situ push member;
Image calibration apparatus of the non-destructive inspection equipment, characterized in that it further comprises.
제4항에 있어서,
상기 검출기에 설치되어, 상기 검출기에서 검출되는 방사선량을 측정하는 측정부재; 및
상기 측정부재 및 상기 필터구동부재와 전기적으로 연계되어, 상기 측정부재의 측정치를 따라 실시간으로 상기 필터구동부재를 제어하는 제어부재;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비파괴검사설비의 영상교정장치.
The method of claim 4, wherein
A measuring member installed in the detector to measure a radiation dose detected by the detector; And
A control member electrically connected to the measuring member and the filter driving member to control the filter driving member in real time according to the measured value of the measuring member;
Imaging apparatus of the non-destructive inspection equipment, characterized in that it further comprises.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60109043U (en) * 1983-12-27 1985-07-24 株式会社東芝 Radiation void rate meter
JPH03191850A (en) * 1989-12-20 1991-08-21 Aloka Co Ltd Component analyzing apparatus using x rays
JPH0686832A (en) 1992-09-07 1994-03-29 Hitachi Medical Corp Static radiation treatment apparatus
JP2009543083A (en) * 2006-07-11 2009-12-03 カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Apparatus for generating electromagnetic beam and method of operating apparatus
JP2017116282A (en) * 2015-12-21 2017-06-29 浜松ホトニクス株式会社 Radiation detection device, radiation inspection system, and radiation detection device adjustment method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60109043U (en) * 1983-12-27 1985-07-24 株式会社東芝 Radiation void rate meter
JPH03191850A (en) * 1989-12-20 1991-08-21 Aloka Co Ltd Component analyzing apparatus using x rays
JPH0686832A (en) 1992-09-07 1994-03-29 Hitachi Medical Corp Static radiation treatment apparatus
JP2009543083A (en) * 2006-07-11 2009-12-03 カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Apparatus for generating electromagnetic beam and method of operating apparatus
JP2017116282A (en) * 2015-12-21 2017-06-29 浜松ホトニクス株式会社 Radiation detection device, radiation inspection system, and radiation detection device adjustment method

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