KR101982229B1 - Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force - Google Patents

Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force Download PDF

Info

Publication number
KR101982229B1
KR101982229B1 KR1020180145886A KR20180145886A KR101982229B1 KR 101982229 B1 KR101982229 B1 KR 101982229B1 KR 1020180145886 A KR1020180145886 A KR 1020180145886A KR 20180145886 A KR20180145886 A KR 20180145886A KR 101982229 B1 KR101982229 B1 KR 101982229B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
wheel
magnetic force
magnetic
guide rail
Prior art date
Application number
KR1020180145886A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김형용
Original Assignee
김형용
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김형용 filed Critical 김형용
Priority to KR1020180145886A priority Critical patent/KR101982229B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101982229B1 publication Critical patent/KR101982229B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0235—Containers
    • B65G2201/0258—Trays, totes or bins

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

The present invention relates to a substrate transfer apparatus driven by magnetic force, having a simple structure and capable of reducing a cost through reduction of the number of components. The substrate transfer apparatus driven by magnetic force includes: a tray having a plurality of magnetic force moving units on a lower surface; a guide rail providing a path through which the tray is transferred; and a cleaning unit provided on a side surface of the tray and removing particles capable of occurring during transfer of the tray.

Description

자력 구동식 기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE DRIVED BY MAGNETIC FORCE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate transfer apparatus,

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 특히 구조가 간단하며 부품수 감소를 통한 코스트 절감이 가능한 자력 구동식 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a magnetically driven substrate transfer apparatus capable of reducing a cost by reducing the number of parts, and in particular, a structure.

종래의 기판 이송 장치는 챔버의 하측에 마련된 구동롤러와 트레이의 하부가 접촉되고, 구동 롤러의 회전력에 의해 트레이를 이동시키는 구조로 이루어진다. 따라서, 구동 롤러와 트레이 하부의 마찰력이 증가함에 따라 파티클이 발생하는 문제가 있었다. 파티클은 이송되는 기판에 부착되어 표시장치의 불량을 발생시키고, 고사양/고성능 디바이스 개발에 따라 디바이스의 불량을 발생시키는 원인이 된다.In the conventional substrate transfer apparatus, the lower portion of the tray is brought into contact with the driving roller provided below the chamber, and the tray is moved by the rotational force of the driving roller. Therefore, there is a problem that particles are generated as the frictional force between the driving roller and the lower portion of the tray increases. Particles are adhered to the transferred substrate to cause defects in the display device, which causes defective devices due to development of high-performance / high-performance devices.

이러한 점에 착안하여, 등록특허 제10-1848849호는 트레이를 자기 부상시켜 이송함으로써 파티클의 발생을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고 있다.In view of this point, Japanese Patent Registration No. 10-1848849 provides a substrate transfer device capable of preventing the generation of particles by transferring the tray by magnetic levitation.

도 6을 참조하면, 상기 특허에 따른 기판 이송 장치는 자기 부상부(21, 22)에 의해 트레이(10)를 자기 부상시킨 후 자기 회전부(24)가 일 방향으로 회전하여 자기 부상된 트레이(10)를 일 방향으로 이동시키게 되는 구조를 가진다.Referring to FIG. 6, in the substrate transfer apparatus according to the patent, the tray 10 is magnetically levitated by the magnetic levitation portions 21 and 22, and the magnetic rotary portion 24 rotates in one direction to form the magnetically levitated tray 10 Is moved in one direction.

그러나, 트레이(10)가 하측으로 연장된 연장 영역을 포함하는 이송 베이스(12)를 포함하고, 자기 부상부(21, 22)가 복수개의 마그넷으로 이루어지므로 인력 또는 척력의 제어가 어려우며, 또한 자기 부상부(21, 22)가 여전히 간격을 유지하도록 하는 간격 유지 수단(23)을 필요로 하므로 완전한 비접촉 방식으로 기판을 이송하지 못한다. 또한, 자기 회전 수단(24)의 회전 운동이 자기 이송 수단(26)에 의해 직선 운동으로 변환되어 자기 부상된 트레이(10)를 이동시키게 하고 있어, 불필요한 부품수의 증가를 초래하는 문제점이 있었다.However, since the tray 10 includes the transfer base 12 including the extended region extending downward, and the magnetic levitation portions 21 and 22 are made of a plurality of magnets, it is difficult to control the attraction or repulsion, It is necessary to provide the gap maintaining means 23 that allows the floating portions 21 and 22 to still maintain the gap, so that the substrate can not be transported in a completely non-contact manner. Further, the rotational motion of the magnetic rotating means 24 is converted into linear motion by the magnetic transfer means 26 to move the tray 10 magnetically levitated, which causes an increase in the number of unnecessary parts.

등록특허 제10-1848849호Patent No. 10-1848849

본 발명의 목적은 구조가 간단하며 부품수 감소를 통한 코스트 절감이 가능한 자력 구동식 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetically driven substrate transport apparatus which is simple in structure and capable of cost reduction by reducing the number of parts.

본 발명의 일측면에 따르면, 자력에 의해 구동되는 자력 구동식 기판 이송 장치에 있어서, 자력에 의해 구동되는 자력 구동식 기판 이송 장치에 있어서,
하부면에 복수개로 이루어지는 자력 이동부를 구비하는 트레이;
상기 트레이가 이송되는 경로를 제공하는 가이드 레일; 및
상기 트레이의 측면에 구비되어 상기 트레이의 이송 중에 발생할 수 있는 파티클을 제거하기 위한 클리닝유닛을 포함하며,
상기 가이드 레일은 상기 트레이의 측면과 마주하는 제1 면 및 상기 트레이의 하부면과 마주하는 제2 면을 각각 구비하고,
상기 자력 이동부는,
자성체로 이루어지며, 상기 가이드 레일의 표면에서 이동하는 바퀴부; 및
상기 바퀴에 회전력을 전달하는 구동모터를 포함하고, 상기 바퀴부는 자력에 의해 휠을 구동시키는 마그네틱 휠로 구성되고, 상기 구동모터는 BLDC모터(Brushless DC Motor)로 구성되며,
상기 클리닝유닛은,
상기 트레이의 전체 길이에 대응하는 길이로 형성되고,
비산되는 파티클을 흡입하는 하나의 흡입구; 및 압축공기를 경사지게 분사하는 두개의 제1 및 제2 분사구를 포함하는데, 상기 제1 및 제2 분사구는 서로 협동하여 상기 비산되는 파티클이 상기 흡입구 측으로 집중되게 하고,
상기 제1 및 제2 분사구는 상기 흡입구를 사이에 두고 상기 흡입구와 일체로 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a magnetically driven substrate transfer device driven by a magnetic force, the magnetically driven substrate transfer device being driven by a magnetic force,
A tray having a plurality of magnetic force moving parts on a lower surface thereof;
A guide rail for providing a path through which the tray is transported; And
And a cleaning unit provided on a side surface of the tray for removing particles that may occur during transportation of the tray,
Wherein the guide rails each have a first surface facing a side surface of the tray and a second surface facing a lower surface of the tray,
The magnetic-
A wheel part made of a magnetic material and moving on the surface of the guide rail; And
And a driving motor for transmitting a rotational force to the wheel, wherein the wheel is constituted by a magnetic wheel for driving the wheel by a magnetic force, the driving motor is constituted by a BLDC motor (Brushless DC Motor)
The cleaning unit includes:
A length corresponding to the entire length of the tray,
One suction port for sucking scattered particles; And two first and second ejection openings which obliquely inject compressed air, the first and second ejection openings cooperating with each other to cause the scattered particles to be concentrated toward the inlet side,
And the first and second ejection openings are formed integrally with the suction opening with the suction opening therebetween.

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

본 발명에 의하면, 구조가 단순하므로 부품수 감소를 통한 코스트 절감이 가능한 효과가 있다.According to the present invention, since the structure is simple, it is possible to reduce the cost by reducing the number of components.

또한, 기판이 안착된 트레이를 자력 구동 방식으로 이송하며 트레이의 측방에 파티클을 제거하기 위한 클리닝유닛을 추가로 제공함으로써 트레이 이송 중에 발생될 수 있는 파티클을 제거하는 효과가 있다.In addition, there is an effect of removing particles that can be generated during the tray transfer, by providing a cleaning unit for transferring the tray on which the substrate is mounted by magnetic force driving and for removing particles on the side of the tray.

도 1은 본 발명에 따른 자력 구동식 기판 이송 장치의 개략적인 구성도이고,
도 2는 도 1에 따른 클리닝유닛의 단면도이고,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝유닛의 단면도이고,
도 4는 도 1에 따른 트레이의 평면도이고,
도 5는 도 1에 따른 가이드 레일의 일부를 나타내는 도면이며,
도 6은 종래기술에 따른 기판 이송 장치의 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a magnetically driven substrate transfer apparatus according to the present invention,
Fig. 2 is a sectional view of the cleaning unit according to Fig. 1,
3 is a cross-sectional view of a cleaning unit according to another embodiment of the present invention,
Figure 4 is a plan view of the tray according to Figure 1,
Fig. 5 is a view showing a part of the guide rail according to Fig. 1,
6 is a configuration diagram of a conventional substrate transfer apparatus.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성과 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, the structure and operation of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 자력 구동식 기판 이송 장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 따른 클리닝유닛의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝유닛의 단면도이고, 도 4는 도 1에 따른 트레이의 평면도이며, 도 5는 도 1에 따른 가이드 레일의 일부를 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of a cleaning unit according to another embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the cleaning unit according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a plan view of the tray according to FIG. 1, and FIG. 5 is a view showing a part of the guide rail according to FIG.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 비접촉식 기판 이송 장치는 트레이(100), 상기 트레이(100)의 하부에 마련되어 상기 트레이(100)의 이송을 가이드하는 가이드 레일(200), 및 클리닝유닛(300)을 포함하여 구성된다.1, a non-contact type substrate transfer apparatus according to the present invention includes a tray 100, a guide rail 200 provided below the tray 100 to guide the transfer of the tray 100, (300).

상기 트레이(100)는 내부가 빈 사각의 틀 형상으로 마련되어 기판(도시안됨)이 장착된다. 즉, 트레이(100)는 소정 길이를 갖는 네개의 바가 상하좌우에 소정 간격 이격되어 마련되고 바의 가장자리가 서로 접촉됨으로써 중앙부가 빈 사각의 틀 형상으로 제작될 수 있다. 또한, 트레이(100)에는 기판이 탈부착될 수 있도록 기판을 클램핑하는 클램프가 복수 마련될 수 있다. 여기서, 기판은 액정표시장치를 포함한 평판표시장치를 제작하기 위한 다양한 기판일 수 있다.The tray 100 is provided with a hollow rectangular frame, and a substrate (not shown) is mounted. That is, the tray 100 is provided with four bars having predetermined lengths spaced vertically and horizontally by a predetermined distance, and the edges of the bars are brought into contact with each other, so that the center portion can be formed into a hollow rectangular frame. Further, the tray 100 may be provided with a plurality of clamps for clamping the substrate so that the substrate can be detached. Here, the substrate may be various substrates for manufacturing a flat panel display device including a liquid crystal display device.

또한, 상기 트레이(100)는 하부면에 복수개로 이루어지는 자력 이동부(120)(후술됨)를 구비하고 있다.In addition, the tray 100 includes a plurality of magnetic force moving parts 120 (described later) on the lower surface thereof.

상기 가이드 레일(200)은 상기 트레이(100)가 이송되는 경로를 제공할 수 있다. 상기 가이드 레일(200)은 일정한 간격으로 서로 이격된 한 쌍의 가이드 레일(200)로 구성될 수 있다. 상기 한 쌍의 가이드 레일(100)은 서로 나란하게 연장할 수 있다. 따라서, 상기 트레이(100)은 한 쌍의 가이드 레일(200)에 의하여 지지되면서 이송될 수 있으며, 상기 가이드 레일(200)의 연장 방향을 따라서 이송될 수 있다.The guide rail 200 may provide a path through which the tray 100 is transported. The guide rails 200 may be formed of a pair of guide rails 200 spaced apart from each other at regular intervals. The pair of guide rails 100 may extend in parallel with each other. Accordingly, the tray 100 can be transported while being supported by the pair of guide rails 200, and can be transported along the extending direction of the guide rails 200.

또한, 상기 트레이(100)는 측면에 상기 트레이(100)의 이송 중에 발생할 수 있는 파티클을 제거하기 위한 클리닝유닛(300)을 구비하고 있다.In addition, the tray 100 has a cleaning unit 300 for removing particles that may occur during transportation of the tray 100 on a side surface thereof.

도 2를 참조하면, 상기 클리닝유닛(300)은 분사구(310) 및 흡입구(320)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the cleaning unit 300 may include an injection port 310 and a suction port 320.

상기 클리닝유닛(300)은 트레이(100)의 측면에 설치되어 트레이(100)의 전체 길이에 대응하는 길이로 형성되거나, 트레이(100)의 일부 길이에 대응하는 길이로 형성될 수도 있다.The cleaning unit 300 may be provided on the side of the tray 100 and may have a length corresponding to the entire length of the tray 100 or may have a length corresponding to a length of the tray 100.

상기 분사구(310)는 압축공기를 경사지게 분사하여 클리닝처리를 수행하고, 상기 흡입구(320)는 상기 분사구(310)로부터 분사된 압축공기에 의해 비산되는 파티클을 흡입하는 구조를 가진다.The jetting port 310 performs a cleaning process by obliquely spraying compressed air and the suction port 320 has a structure for sucking particles scattered by the compressed air jetted from the jetting port 310.

상기 분사구(310)는 트레이(100)에 대해 압축공기를 경사지게 분사하는 것이 바람직하다. 따라서, 트레이(100)의 이송 중에 발생할 수 있는 파티클이 외부로 비산하기 전에 제거하므로 트레이(100) 측으로 재유입되는 것을 방지할 수 있다.The jetting port 310 preferably discharges the compressed air obliquely to the tray 100. Accordingly, the particles that may be generated during transportation of the tray 100 are removed before they are scattered to the outside, and thus the particles can be prevented from flowing back to the tray 100 side.

바람직하게, 클리닝유닛(300)은 분사구(310) 및 흡입구(320)를 둘다 포함함으로써 분사 및 흡입이 동시에 발생하는 방식으로 파티클을 제거하도록 구성될 수 있다. 이때, 파티클이 외부로 비산하기 전에 제거하기 위해서, 상기 분사구(310)는 외측에 위치하고, 흡입구(320)는 내측에 위치하는 것이 바람직하다.Preferably, the cleaning unit 300 can be configured to remove particles in a manner that both injection and suction occur simultaneously by including both the injection port 310 and the suction port 320. At this time, in order to remove the particles before they are scattered to the outside, it is preferable that the jetting port 310 is located on the outer side and the suction port 320 is located on the inner side.

또한, 클리닝유닛(300)의 분사구(310)는 분사구(310)에서 분사된 압축공기가 가이드 레일(200) 측으로 유입되지 않도록 분사구(310)의 출구보다 하측으로 연장되게 형성된 연장부(330)를 더 포함할 수 있다. 이러한 연장부(330)는 분사구(310)에서 분사된 압축공기가 흡입구(320) 측으로 집중되게 하여 파티클의 제거효율을 증진시킬 수 있다.The injection port 310 of the cleaning unit 300 has an extension part 330 extended downward from the outlet of the injection port 310 so that the compressed air injected from the injection port 310 is not introduced into the guide rail 200 . The extended portion 330 can concentrate the compressed air jetted from the jetting port 310 toward the suction port 320 to improve the removal efficiency of the particles.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝유닛의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a cleaning unit according to another embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 클리닝유닛(400)은 제1 분사구(410)와, 흡입구(420)와, 제2 분사구(430)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 3, the cleaning unit 400 includes a first jetting port 410, an inlet port 420, and a second jetting port 430.

상기 제1 분사구(410) 및 상기 제2 분사구(430)는 분사구(310)와 유사하게 압축공기를 경사지게 분사하여 클리닝처리를 수행하고, 상기 흡입구(420)는 상기 흡입구(320)와 유사하게 상기 제1 분사구(410) 및 상기 제2 분사구(430)로부터 분사된 압축공기에 의해 비산되는 파티클을 흡입하는 구조를 가진다.The first injection port 410 and the second injection port 430 perform a cleaning process by inclinedly injecting compressed air similar to the injection port 310. The suction port 420 is connected to the suction port 320, And has a structure for sucking particles scattered by compressed air injected from the first jetting port (410) and the second jetting port (430).

즉, 도 2에서의 클리닝유닛(300)과 비교할 때, 상기 흡입구(420)를 중심으로 양쪽에 제1 분사구(410) 및 제2 분사구(430)가 위치하는 점에서 차이를 가진다. 이러한 경우, 제1 분사구(410) 및 제2 분사구(430)가 서로 협력하는 식으로 압축공기를 분사하게 됨으로써 파티클이 외부로 비산하지 못하도록 하고, 결과적으로 흡입구(320) 측으로 더욱 집중되게 하여 파티클의 제거효율을 증진시킬 수 있는 것이다.That is, as compared with the cleaning unit 300 in FIG. 2, there is a difference in that the first injection port 410 and the second injection port 430 are located on both sides of the suction port 420. In this case, compressed air is injected in such a manner that the first jetting port 410 and the second jetting port 430 cooperate with each other, thereby preventing the particles from scattering to the outside and consequently being more concentrated toward the suction port 320, The removal efficiency can be improved.

도 4를 참조하면, 상기 자력 이동부(120)는, 자성체로 이루어지며, 상기 가이드 레일(200)의 표면에서 이동하는 바퀴부(122)와, 상기 바퀴부(122)에 주행을 위한 회전력을 전달하는 구동모터(124)를 포함하여 구성될 수 있다. 즉, 상기 구동모터(124)에는 바퀴부(122)가 연계되어 트레이(100)를 이동시킬 수 있게 구성된다.4, the magnetic force moving unit 120 includes a wheel 122 which is made of a magnetic material and moves on the surface of the guide rail 200, and a rotating force for driving the wheel 122 And a driving motor 124 for transmitting the driving force. That is, the driving motor 124 is configured to move the tray 100 in conjunction with the wheels 122.

상기 바퀴부(122)는 가이드 레일(200)의 표면에서 회전하며 이동하는 것으로, 금속재질로 이루어지는 가이드 레일(200)에 부착된 상태를 유지하며 이동할 수 있도록 자성체로 이루어질 수 있다.The wheel part 122 rotates on the surface of the guide rail 200 and may be made of a magnetic material so as to be able to move while being attached to the guide rail 200 made of a metal material.

바람직하게, 상기 바퀴부(122)는 자력에 의해 휠을 구동시키는 마그네틱 휠의 형태로 구성될 수 있다.Preferably, the wheel portion 122 may be configured in the form of a magnetic wheel that drives the wheel by a magnetic force.

상기 구동모터(124)는 상기 바퀴부(122)에 회전력을 전달하기 위한 것으로, 회전력을 제공하여 상기 바퀴부(122)를 회전시킬 수 있는 다양한 형태의 모터가 사용될 수 있다.The driving motor 124 is used to transmit the rotational force to the wheel 122. Various types of motors that can rotate the wheel 122 by providing a rotational force may be used.

바람직하게, 상기 구동모터(124)는 BLDC모터(Brushless DC Motor)로 구성할 수 있다. BLDC모터는 브러쉬가 없는 모터로서 일반 DC모터에 비하여 수명이 연장되고, 속도, 힘, 거리 제어가 가능한 지능형 모터이다.The driving motor 124 may be a brushless DC motor. BLDC motors are brushless motors, which are intelligent motors with longer life, speed, force and distance control than ordinary DC motors.

도 5를 참조하면, 상기 가이드 레일(200)의 서로 마주하는 측면은 계단 구조를 가질 수 있으며, 실질적으로 트레이(100)의 측면과 마주하는 제1 면(120) 및 트레이(100)의 하부면과 마주하는 제2 면(220)을 각각 구비할 수 있다.5, the opposite side surfaces of the guide rails 200 may have a stepped structure, and may have a first surface 120 substantially facing a side surface of the tray 100, And a second surface 220 facing the first surface 220.

또한, 상기 가이드 레일(200)의 내부에는 상기 트레이(100)의 이송 중에 발생되는 파티클을 흡입하여 배출시키기 위한 흡입 라인부가 더 구비될 수 있다.In addition, the guide rail 200 may further include a suction line unit for sucking and discharging particles generated during transportation of the tray 100.

상기 흡입라인부는 복수개의 흡입구(230), 상기 흡입구(230)로부터 연장되는 흡입라인(240), 및 상기 흡입라인(240)에 흡인력을 제공하는 흡입부(P)를 포함하여구성된다.The suction line unit includes a plurality of suction ports 230, a suction line 240 extending from the suction port 230, and a suction unit P for providing a suction force to the suction line 240.

상기 흡입 라인(240)은 상기 트레이(100)과 상기 가이드 레일(200)이 접하는 영역에 인접하도록 형성된 흡입구(230)로부터 연장될 수 있다. 또한 흡입 라인(240)의 일측은 흡입부(P)와 연결될 수 있다. 상기 흡입구(230)는 복수개로 형성될 수 있으며, 상기 복수개의 흡입구(230)는 상기 트레이(100)의 이송 방향을 따라서 배열될 수 있다.The suction line 240 may extend from an inlet 230 formed adjacent to an area where the tray 100 and the guide rail 200 are in contact with each other. One side of the suction line 240 may be connected to the suction portion P. [ The plurality of suction ports 230 may be arranged along the conveying direction of the tray 100.

상기 흡입부(P)는 트레이(100)이 상기 가이드 레일(200)을 따라서 이동하는 동안, 상기 가이드 레일(200) 주변에서 발생할 수 있는 파티클을 흡입하여 제거할 수 있도록 흡인력을 제공한다. 흡입부(P)는 가이드 레일(200) 내부에 형성된 흡입 라인(240)을 통하여 가이드 레일(200)의 주변으로 흡입력을 인가할 수 있다. 흡입부(P)는 가이드 레일(200) 주변에서 발생되는 파티클을 제거함으로써, 상기 파티클이 기판에 고착되어 불량을 일으키는 것을 방지할 수 있다. 흡입부(P)는 흡입력을 발생시키기 위한 진공 펌프 및 상기 진공 펌프와 가이드 유닛(200) 내에 형성된 흡입라인(240)를 연결하는 배관을 포함할 수 있다.The suction unit P provides a suction force to suck and remove particles that may occur around the guide rails 200 while the tray 100 moves along the guide rails 200. The suction unit P can apply a suction force to the periphery of the guide rail 200 through the suction line 240 formed in the guide rail 200. [ The suction part P removes particles generated in the vicinity of the guide rail 200, thereby preventing the particles from sticking to the substrate and causing defects. The suction unit P may include a vacuum pump for generating a suction force and a pipe connecting the vacuum pump and the suction line 240 formed in the guide unit 200.

또한, 상기 가이드 유닛(200)에는 제1 면(210)에, 구체적으로는 흡입구(230)와 흡입구(230) 사이에 안내용 전자석(미도시)을 더 구비할 수 있다. 안내용 전자석은 트레이의 양측단(y축 방향양단)을 끌어 당기도록 트레이(100)의 양측단에 마주하게 설치된다. 이때, 안내용 전자석은 트레이(100)의 측면을 끌어당길 수 있도록 설치되어 트레이(100)가 폭 방향(y축 방향)으로 치우치지 않도록 한다.In addition, the guide unit 200 may further include an internal electromagnet (not shown) on the first surface 210, specifically between the inlet 230 and the inlet 230. The inner electromagnets are installed to face the opposite ends of the tray 100 so as to pull both ends (both ends in the y-axis direction) of the tray. At this time, the inner electromagnet is installed to pull the side of the tray 100 so that the tray 100 does not deviate in the width direction (y-axis direction).

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Various changes and modifications are possible.

100 : 트레이
122 : 바퀴부
124 : 구동모터
200 : 가이드 레일
300 : 클리닝유닛100: Tray
122:
124: drive motor
200: Guide rail
300: Cleaning unit

Claims (5)

자력에 의해 구동되는 자력 구동식 기판 이송 장치에 있어서,
하부면에 복수개로 이루어지는 자력 이동부를 구비하는 트레이;
상기 트레이가 이송되는 경로를 제공하는 가이드 레일; 및
상기 트레이의 측면에 구비되어 상기 트레이의 이송 중에 발생할 수 있는 파티클을 제거하기 위한 클리닝유닛을 포함하며,
상기 가이드 레일은 상기 트레이의 측면과 마주하는 제1 면 및 상기 트레이의 하부면과 마주하는 제2 면을 각각 구비하고,
상기 자력 이동부는,
자성체로 이루어지며, 상기 가이드 레일의 표면에서 이동하는 바퀴부; 및
상기 바퀴에 회전력을 전달하는 구동모터를 포함하고, 상기 바퀴부는 자력에 의해 휠을 구동시키는 마그네틱 휠로 구성되고, 상기 구동모터는 BLDC모터(Brushless DC Motor)로 구성되며,
상기 클리닝유닛은,
상기 트레이의 전체 길이에 대응하는 길이로 형성되고,
비산되는 파티클을 흡입하는 하나의 흡입구; 및 압축공기를 경사지게 분사하는 두개의 제1 및 제2 분사구를 포함하는데, 상기 제1 및 제2 분사구는 서로 협동하여 상기 비산되는 파티클이 상기 흡입구 측으로 집중되게 하고,
상기 제1 및 제2 분사구는 상기 흡입구를 사이에 두고 상기 흡입구와 일체로 구성되는 것을 특징으로 하는 자력 구동식 기판 이송 장치.A magnetically driven substrate transfer apparatus driven by a magnetic force,
A tray having a plurality of magnetic force moving parts on a lower surface thereof;
A guide rail for providing a path through which the tray is transported; And
And a cleaning unit provided on a side surface of the tray for removing particles that may occur during transportation of the tray,
Wherein the guide rails each have a first surface facing a side surface of the tray and a second surface facing a lower surface of the tray,
The magnetic-
A wheel part made of a magnetic material and moving on the surface of the guide rail; And
And a driving motor for transmitting a rotational force to the wheel, wherein the wheel is constituted by a magnetic wheel for driving the wheel by a magnetic force, the driving motor is constituted by a BLDC motor (Brushless DC Motor)
The cleaning unit includes:
A length corresponding to the entire length of the tray,
One suction port for sucking scattered particles; And two first and second ejection openings which obliquely inject compressed air, the first and second ejection openings cooperating with each other to cause the scattered particles to be concentrated toward the inlet side,
Wherein the first and second ejection openings are formed integrally with the suction port with the suction port interposed therebetween. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020180145886A 2018-11-23 2018-11-23 Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force KR101982229B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180145886A KR101982229B1 (en) 2018-11-23 2018-11-23 Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180145886A KR101982229B1 (en) 2018-11-23 2018-11-23 Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101982229B1 true KR101982229B1 (en) 2019-05-24

Family

ID=66680408

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180145886A KR101982229B1 (en) 2018-11-23 2018-11-23 Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101982229B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021053512A1 (en) * 2019-09-17 2021-03-25 Alcon Inc. Lens inspection module
KR20210063711A (en) * 2019-11-25 2021-06-02 세메스 주식회사 Rail cleaner
US11699599B2 (en) 2019-10-17 2023-07-11 Semes Co., Ltd. Substrate transfer apparatus and substrate treating apparatus

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011236489A (en) * 2010-05-13 2011-11-24 Shimadzu Corp Film deposition apparatus and dust collection method
KR101253499B1 (en) * 2006-12-26 2013-04-11 주식회사 케이씨텍 Chemical application module and chemical application device thereof
KR101522895B1 (en) * 2013-05-31 2015-06-01 세메스 주식회사 Apparatus and method treating substrate
KR20170055221A (en) * 2015-11-11 2017-05-19 삼성전자주식회사 Apparatus for transferring substrate
KR101739051B1 (en) * 2016-07-19 2017-05-25 디앤에이 주식회사 Substrate processing apparatus
KR101848849B1 (en) 2017-09-20 2018-04-13 한국알박(주) Apparatus for transferring substrate
KR20180059081A (en) * 2016-11-25 2018-06-04 세메스 주식회사 Magnetic levitation transfer apparatus

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101253499B1 (en) * 2006-12-26 2013-04-11 주식회사 케이씨텍 Chemical application module and chemical application device thereof
JP2011236489A (en) * 2010-05-13 2011-11-24 Shimadzu Corp Film deposition apparatus and dust collection method
KR101522895B1 (en) * 2013-05-31 2015-06-01 세메스 주식회사 Apparatus and method treating substrate
KR20170055221A (en) * 2015-11-11 2017-05-19 삼성전자주식회사 Apparatus for transferring substrate
KR101739051B1 (en) * 2016-07-19 2017-05-25 디앤에이 주식회사 Substrate processing apparatus
KR20180059081A (en) * 2016-11-25 2018-06-04 세메스 주식회사 Magnetic levitation transfer apparatus
KR101848849B1 (en) 2017-09-20 2018-04-13 한국알박(주) Apparatus for transferring substrate

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021053512A1 (en) * 2019-09-17 2021-03-25 Alcon Inc. Lens inspection module
US11499888B2 (en) 2019-09-17 2022-11-15 Alcon Inc. Lens inspection module
US11699599B2 (en) 2019-10-17 2023-07-11 Semes Co., Ltd. Substrate transfer apparatus and substrate treating apparatus
KR20210063711A (en) * 2019-11-25 2021-06-02 세메스 주식회사 Rail cleaner
KR102300633B1 (en) * 2019-11-25 2021-09-09 세메스 주식회사 Rail cleaner

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101982229B1 (en) Apparatus for transferring substrate drived by magnetic force
KR100707390B1 (en) Apparatus for carring glass
JP4876640B2 (en) Work conveying apparatus and work conveying method
KR101091095B1 (en) Module for cleaning a substrate and Apparatus for processing a substrate having the same
KR101271112B1 (en) Vaccum processing apparatus
KR20070023958A (en) Cutting system and cutting method for liquid crystal display panel
KR101848849B1 (en) Apparatus for transferring substrate
KR200339636Y1 (en) Transfer equipment rising air that be made flat panel materials
KR101353527B1 (en) Apparatus for transferring substrate
KR20210025776A (en) Overhead Hoist Transfer
JP2005067899A (en) Carrier system
JP2009256002A (en) Tabular body carrying device and its control method
KR102157973B1 (en) Foreign matter removal device and foreign matter removal method
KR200415595Y1 (en) A particle inhaling and filtering apparatus of cassette transfer line
KR101876979B1 (en) Cleaning device of Conveyor belt
KR101416593B1 (en) Substrate Transfer Device for Roller Shaft Sagging Prevention
TWI395701B (en) Transfer device of plate member and transfer method of plate member
JP2011207552A (en) Floating carrying device
KR102001970B1 (en) Apparatus for transferring substrate by a non-contact
KR101894476B1 (en) Substrate align and supply apparatus
KR101708710B1 (en) Apparatus for transferring substrate
JP5526879B2 (en) Floating transport device and roller drive unit
KR100548944B1 (en) Conveyor for plate-shaped members
WO2011148548A1 (en) Apparatus for transferring flat board
KR100269453B1 (en) Removing apparatus of tine plate by rising to the surface of air

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant