KR101951177B1 - 전기활성 겔을 이용한 충격식 진동 액츄에이터 - Google Patents

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백승현
배한얼
박원형
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Abstract

본 발명은, 일단이 하우징에 고정된 전기활성 겔; 상기 전기활성 겔의 일측과 타측에 각각 결합되는 제1 전극과 제2 전극; 상기 전기활성 겔의 자유단의 일측과 타측으로부터 각각 떨어져 있는 제1 충격판과 제2 충격판; 상기 전기활성 겔의 자유단에 결합되며 상기 제1 충격판과 상기 제2 충격판의 사이에 위치하는 질량체; 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어 교류전원을 공급하는 전원공급부를 포함하며, 상기 제1 전극과 상기 제1 충격판은 상기 전원공급부의 제1 단자에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전극과 상기 제2 충격판은 상기 전원공급부의 제2 단자에 전기적으로 연결되는 충격식 진동 액츄에이터를 제공한다.
본 발명에 따르면, 전극 사이에서 진동하는 전기활성 겔에 질량체를 결합하여 전극 또는 충격판을 직접 타격하도록 함으로써 진동 액츄에이터의 진동 세기를 훨씬 강화할 수 있다. 또한 교류전원의 주파수를 조절함으로써 진동주파수를 넓은 범위에서 다양하게 조절할 수 있고, 전극에 인가되는 전류 및/또는 전압의 세기, 충격판 및/또는 전극 간의 간격. 탄성수단의 탄성계수 등을 조절 또는 선택함으로써 보다 다양한 형태의 진동을 발생시킬 수 있다.

Description

전기활성 겔을 이용한 충격식 진동 액츄에이터{Impact type vibration actuator using electroactive gel}
본 발명은 진동 액츄에이터에 관한 것으로서, 구체적으로는 전기활성 겔을 이용하는 충격식 진동 액츄에이터에 관한 것이다.
최근 들어 대부분의 휴대용 전자기기, 가상현실 기기, 원격조종용 매니퓰레이터(manipulator), 훈련용 시뮬레이터 등에는 사용자에게 다양하고 생생한 촉각피드백을 제공하기 위한 진동 액츄에이터가 설치되어 있다.
진동 액츄에이터에는 편심 모터 액츄에이터(ERM: Eccentric Rotating Mass), 선형 공진 액츄에이터(LRA: Linear Resonant Actuator), 압전소자 액츄에이터, 전기활성고분자 액츄에이터(Electroactive Polymer Actuator) 등과 같이 다양한 유형이 있다.
이 중에서 전기활성고분자 액츄에이터는 전기자극에 의해 팽창, 수축, 휨 현상 등을 재현성있게 나타낼 수 있는 전기활성고분자를 이용하는 것으로서, 응답속도가 빠르고 구동주파수 범위가 넓기 때문에 다양한 촉각피드백을 제공할 수 있다. 특히 고분자의 특성상 자유로운 형상으로 성형이 가능하고 내구성도 뛰어나기 때문에 액츄에이터 뿐만 아니라 인공근육, 인공심장, 스마트피부, 초정밀 기계 등의 분야에서도 큰 주목을 받고 있다.
그런데 종래의 전기활성고분자 액츄에이터는 전기활성고분자 자체의 진동이나 고분자에 결합된 질량체의 진동에만 의존하므로 진동 세기가 약한 단점이 있다.
한국공개특허 제10-2012-0100261호(2012.09.12 공개) 한국등록특허 제 10-1597026 호(2016.03.07 공고)
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 전기활성고분자를 이용한 진동 액츄에이터의 진동 세기를 종래보다 강화시키는 한편 보다 다양한 형태의 진동을 발생시키는데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 양상은. 일단이 하우징에 고정된 전기활성 겔; 상기 전기활성 겔의 일측과 타측에 각각 결합되는 제1 전극과 제2 전극; 상기 전기활성 겔의 자유단의 일측과 타측으로부터 각각 떨어져 있는 제1 충격판과 제2 충격판; 상기 전기활성 겔의 자유단에 결합되며 상기 제1 충격판과 상기 제2 충격판의 사이에 위치하는 질량체; 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어 교류전원을 공급하는 전원공급부를 포함하는 충격식 진동 액츄에이터를 제공한다.
본 발명의 일 양상에 따른 진동 액츄에이터에서, 상기 제1 전극과 상기 제1 충격판은 상기 전원공급부의 제1 단자에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전극과 상기 제2 충격판은 상기 전원공급부의 제2 단자에 전기적으로 연결될 수 있다.
또한 본 발명의 일 양상에 따른 진동 액츄에이터에서, 상기 제1 전극과 상기 제1 충격판은 일체로 형성되고, 상기 제2 전극과 상기 제2 충격판은 일체로 형성될 수 있다.
또한 본 발명의 일 양상에 따른 진동 액츄에이터에서, 상기 제1 충격판과 상기 제2 충격판에는 각각 탄성수단이 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 양상은, 일단과 타단의 고정부는 하우징에 고정되고, 양 고정부 사이에는 가동부가 형성된 전기활성 겔; 상기 가동부의 일측과 타측에 각각 결합된 질량체; 상기 가동부의 일측과 타측으로부터 각각 떨어져 있는 제1 전극과 제2 전극; 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어 교류전원을 공급하는 전원공급부를 포함하는 충격식 진동 액츄에이터를 제공한다.
본 발명의 다른 양상에 따른 진동 액츄에이터에서, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에는 각각 탄성수단이 연결될 수 있다.
또한 본 발명의 다른 양상에 따른 진동 액츄에이터에서, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에는 각각 상기 질량체가 충돌하는 충격판이 결합될 수 있다.
본 발명에 따르면, 전극 사이에서 진동하는 전기활성 겔에 질량체를 결합하여 전극 또는 충격판을 직접 타격하도록 함으로써 진동 액츄에이터의 진동 세기를 훨씬 강화할 수 있다. 또한 교류전원의 주파수를 조절함으로써 진동주파수를 넓은 범위에서 다양하게 조절할 수 있고, 전극에 인가되는 전류 및/또는 전압의 세기, 충격판 및/또는 전극 간의 간격. 탄성수단의 탄성계수 등을 조절 또는 선택함으로써 보다 다양한 형태의 진동을 발생시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액츄에이터의 개략 구성도
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액츄에이터의 동작을 나타낸 도면
도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액츄에이터의 변형예를 나타낸 도면
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액츄에이터의 개략 구성도
도 7 및 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액츄에이터의 동작을 나타낸 도면
도 9 및 도 10은 각각 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액츄에이터의 변형예를 나타낸 도면
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
참고로 본 명세서에서 하나의 구성요소(element)가 다른 구성요소와 연결, 결합, 또는 전기적으로 연결되는 경우는 다른 구성요소와 직접적으로 연결, 결합, 또는 전기적으로 연결되는 경우뿐만 아니라 중간에 다른 요소를 사이에 두고 간접적으로 연결, 결합, 또는 전기적으로 연결되는 경우도 포함한다. 또한 하나의 구성요소(element)가 다른 구성요소와 직접 연결, 결합, 또는 전기적으로 연결되는 경우는 중간에 다른 요소 없이 연결, 결합, 또는 전기적으로 연결되는 것을 의미한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 포함하는 것은 특별히 반대되는 기재가 없다면 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한 본 명세서에 첨부된 도면에는 이해의 편의를 위하여 실제와 다른 치수 또는 비율로 나타낸 부분이 있는데 이로 인해 본 발명의 범위가 제한적으로 해석되어서는 아니 됨은 물론이다.
제 1 실시예
본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액츄에이터(100)는 도 1의 개략 구성도에 나타낸 바와 같이, 일단이 하우징(102)에 고정된 전기활성 겔(130), 전기활성활 겔(130)의 일측과 타측에 각각 결합되는 제1 전극(111)과 제2 전극(112), 전기활성 겔(130)의 자유단의 일측과 타측으로부터 각각 소정 거리 떨어져 배치된 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122), 전기활성 겔(130)의 자유단에 결합되며 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122)의 사이에 위치하는 질량체(140)를 포함한다.
또한 전원공급부(300)와, 제1 전극(111)과 제1 충격판(121)을 전원공급부(300)의 제1 단자에 전기적으로 연결하는 제1 급전선(311)과, 제2 전극(112)과 제2 충격판(122)을 전원공급부(300)의 제2 단자에 전기적으로 연결하는 제2 급전선(312)을 포함한다.
전기활성 겔(130)은 전기활성고분자를 겔(Gel) 형태로 제조한 것으로서, 예를 들어 전기활성고분자의 일종인 PVC(Polyvinyl chloride)에 소정의 가소제를 혼합하여 제조할 수 있다. 구체적인 제조방법은 등록특허 제10-1664980호, 공개특허 제10-2017-0112480호 등에 소개된 바 있으므로 이를 참조하기로 한다.
제1 전극(111)과 제2 전극(112)은 전기활성 겔(130)에 구동전원을 인가하여 전기활성 겔(130)의 주기적이고 반복적인 변형을 유도한다.
제1 전극(111)과 제2 전극(112)은 금속재질일 수도 있고, 유연성을 갖는 전도성 고분자, 탄소나노튜브(CNT) 등일 수도 있다.
제1 전극(111)과 제2 전극(112)이 금속재질인 경우에는 하우징(102)에 대해 고정되는 것이 바람직하다. 제1 전극(111)과 제2 전극(112)이 유연성 전극인 경우에는 하우징(102)에 대해 고정되지 않을 수도 있다
제1 전극(111)과 제2 전극(112)은 전기활성 겔(130)의 각 측면의 전면에 걸쳐 결합되지 않고 각 측면의 일부분에만 결합되는 것이 바람직하다. 전극(111,112)에 의해 전기활성 겔(130)의 변형이 방해될 수 있기 때문이다. 다만 제1 전극(111)과 제2 전극(112)이 유연성 전극인 경우에는 전기활성 겔(130)의 각 측면의 전면에 결합될 수도 있다.
제1 충격판(121)과 제2 충격판(122)은 그 사이에서 진동하는 질량체(140)가 직접 충돌하는 요소이며, 그 재질은 특별히 한정되지 않는다. 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122)은 하우징(102)에 대해 고정되는 것이 바람직하지만, 후술하는 바와 같이 탄성수단(150)을 연결하여 약간의 탄성을 갖도록 설치될 수도 있다.
본 발명의 실시예에서는 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122)에도 각각 제1급전선(311)과 제2 급전선(312)를 통해 전원공급부(300)를 연결한다.
이렇게 하면 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122) 사이의 전기장에 의해 전기활성 겔(130)의 자유단 부근의 변형이 강화되므로 제1, 2 전극(111,112)에만 전원을 공급하는 경우에 비하여 훨씬 큰 변형을 발생시킬 수 있고 이를 통해 더 강한 진동을 발생시킬 수 있다.
질량체(140)는 제1 및 제2 충격판(121, 122)에 직접적으로 충돌하여 진동을 발생시키는 것으로서 그 재질은 특별히 한정되지 않는다. 질량체(140)의 재질이나 무게는 진동 액츄에이터(100)의 용도, 제1 및 제2 충격판(121, 122)의 재질 등을 고려하여 적절히 선택될 수 있다.
전원 공급부(300)는 제1 전극(111)과 제2 전극(112)에 교류전원을 제공하여 전기활성 겔(130)의 변형을 발생시키며, 교류전원은 정현파 또는 구형파의 형태로 제공될 수 있다. 또한 전원 공급부(300)는 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122)에도 교류전원을 제공함으로써 전기활성 겔(130)의 자유단의 변형을 강화할 수 있다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액츄에이터(100)의 동작을 설명한다.
먼저 도 2에 나타낸 바와 같이, 전원공급부(300)에서 공급되는 교류전원에 의해 제1 전극(111)과 제2 전극(112)이 각각 양극과 음극인 상태에서는, 전기활성 겔(130)이 제1 전극(111)쪽으로 변형됨에 따라 질량체(140)가 제1 충격판(121)에 충돌한다.
이어서 제1 전극(111)과 제2 전극(112)이 각각 음극과 양극으로 전환되면 전기활성 겔(130)이 반대쪽의 제2 전극(112)쪽으로 변형됨에 따라 질량체(140)는 제2 충격판(122)에 충돌한다.
제1 전극(111)과 제2 전극(112)에 교류전원(300)을 연결하여 전원을 공급하면 이러한 충돌이 전원주파수에 대응하여 교대로 반복되므로 강한 진동이 발생하게 된다.
충돌 주기는 교류전원(300)의 주파수에 따라 달라지므로 전원주파수를 변경하여 진동주파수를 변경할 수 있다. 한편 충돌속도 또는 충돌세기는 각 전극(111,112)이나 각 충격판(121.122)에 인가되는 전압 또는 전류의 세기, 충격판(121,122)의 간격 등에 따라 달라질 수 있다.
따라서 본 발명의 제1 실시예에 따르면 교류전원의 주파수, 전압/전류의 세기, 충격판(121,122)의 간격 등을 조절함으로써 매우 다양한 종류의 진동을 발생시킬 수 있다.
한편 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액츄에이터(100)는 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정될 수 있다.
일 예로서, 전술한 실시예에서는 제1 전극(111)과 제1 충격판(121), 제2 전극(112)과 제2 충격판(122)은 서로 분리되어 있으면서도 제1 전극(111)과 제1 충격판(121)은 제1 급전선(131)에 의해 등전위를 이루고, 제2 전극(112)과 제2 충격판(122)은 제2 급전선(132)에 의해 등전위를 이루는 것으로 나타나 있다.
그런데 반드시 이에 한정되는 것은 아니므로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 전극(111)과 제1 충격판(121)을 동일한 재질로 일체로 형성하고, 제2 전극(112)과 제2 충격판(122)을 동일한 재질로 일체로 형성할 수도 있다.
다른 예로서, 제1 충격판(121)과 제2 충격판(122)을 하우징(102)에 고정하지 않고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 스프링 등의 탄성수단(150)을 이용하여 하우징(102)에 대해 소정범위의 탄성변위를 갖도록 설치할 수도 있다.
이렇게 하면 질량체(140)가 충격판(121,122)에 충돌할 때 발생하는 충격량의 일부가 탄성수단(150)에 의해 흡수되므로 탄성수단(150)이 없는 경우에 비해 충격 세기가 달라진다. 특히 탄성수단(150)의 탄성계수에 따라 충격의 세기가 달라지므로 탄성수단(150)의 탄성계수를 적절히 선택하여 다양한 유형의 진동을 발생시킬 수 있다.
제 2 실시예
본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액츄에이터(200)는 도 6의 개략 구성도에 나타낸 바와 같이, 일단과 타단에 구비된 고정부(231)가 하우징(202)에 고정되고 양쪽 고정부(231)의 사이에 가동부(232)가 형성된 전기활성 겔(230), 전기활성활 겔(230)의 가동부(232)의 일측과 타측으로부터 각각 소정 거리 떨어져 배치된 제1 전극(211)과 제2 전극(212), 전기활성 겔(230)의 가동부(232)의 일측과 타측에 각각 결합된 질량체(240)를 포함한다.
또한 전원공급부(300)와, 제1 전극(211)을 전원공급부(300)의 제1 단자에 연결하는 제1 급전선(311)과, 제2 전극(212)을 전원공급부(300)의 제2 단자에 연결하는 제2 급전선(312)을 포함한다.
전기활성 겔(230)은 전기활성고분자를 겔(Gel) 형태로 제조한 것으로서, 구체적인 내용은 제1 실시예에서 전술한 설명을 참조하기로 한다. 도면에는 전기활성 겔(230)의 고정부(231)가 가동부(232) 보다 훨씬 큰 부피 또는 두께를 갖는 것으로 나타내었으나 이는 예시에 불과한 것이며 고정부(231)는 가동부(232)와 같거나 또는 작은 부피/두께를 가질 수도 있다.
제1 전극(211)과 제2 전극(212)은 전기활성 겔(130)의 가동부(232)의 양측에서 구동전원을 공급하여 전기활성 겔(130)의 주기적이고 반복적인 변형을 유도한다.
본 발명의 제2 실시예에서는 제1 전극(211)과 제2 전극(212)이 질량체(240)가 충돌하는 충격판의 역할을 하며, 따라서 제1 및 제2 전극(211,212)은 딱딱한 금속재질인 것이 바람직하다.
제1 전극(211)과 제2 전극(212)은 하우징(202)에 대해 고정되는 것이 바람직하지만 후술하는 바와 같이 탄성수단(250)이 연결될 수도 있다.
제1 전극(111)과 제2 전극(112)은 전기활성 겔(130)의 가동부(232)의 양측에 배치되는 것이 바람직하지만 이에 한정되는 것은 아니며 가동부(232)의 양측에서 고정부(231)의 양측까지 연장될 수도 있다,
질량체(240)는 제1 및 제2 전극(211, 212)에 직접적으로 충돌하여 진동을 발생시키는 것으로서 그 재질은 특별히 한정되지 않는다. 질량체(240)의 재질과 무게는 진동 액츄에이터(200)의 용도, 제1 및 제2 전극(211, 212)의 재질 등을 고려하여 적절히 선택될 수 있다.
전원 공급부(300)는 제1 전극(211)과 제2 전극(212)에 교류전원을 제공하여 전기활성 겔(230)의 변형을 유도하며, 교류전원은 정현파 또는 구형파의 형태로 제공될 수 있다.
이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액츄에이터(200)의 동작을 설명한다.
먼저 도 7에 나타낸 바와 같이, 전원공급부(300)에서 공급되는 교류전원에 의해 제1 전극(211)과 제2 전극(212)이 각각 양극과 음극인 상태에서는, 전기활성 겔(230)의 가동부(232)가 제1 전극(211)쪽으로 변형됨에 따라 질량체(240)가 제1 전극(211)에 충돌한다.
이어서 제1 전극(211)과 제2 전극(212)이 각각 음극과 양극으로 전환되면 전기활성 겔(230)의 가동부(232)가 반대쪽의 제2 전극(212)쪽으로 변형됨에 따라 질량체(240)는 제2 전극(212)에 충돌한다.
제1 전극(211)과 제2 전극(212)에 교류전원(300)을 연결하여 전원을 공급하면 이러한 충돌이 반복적으로 발생함으로써 강한 진동이 발생하게 된다.
진동주파수는 교류전원(300)의 전원주파수를 조절함으로써 변경할 수 있다. 충돌 속도 또는 세기는 각 전극(211,212)에 인가되는 전압/전류의 세기, 각 전극(211,212)과 질량체(240)의 간격 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서 본 발명의 제2 실시예에 따르면 교류전원의 주파수, 전압/전류의 세기, 질량체(240)와 전극(211,212) 간의 간격 등을 변경 또는 선택함으로써 매우 다양한 종류의 진동을 발생시킬 수 있다.
한편 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액츄에이터(200)는 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정될 수 있다.
일 예로서, 전술한 실시예에서는 제1 및 제2 전극(211,212)이 각각 하우징(202)에 고정된 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 도 9에 나타낸 바와 같이 제1 및 제2 전극(211,212)을 하우징(202)에 고정하지 않고, 스프링 등의 탄성수단(250)을 이용하여 하우징(202)에 대해 소정범위의 탄성변위를 갖도록 설치할 수도 있다. 이 경우 탄성수단(250)의 탄성계수를 적절히 선택하면 다양한 유형의 진동을 발생시킬 수 있다.
다른 예로서, 전술한 실시예에서는 질량체(240)가 제1 및 제2 전극(211,212)에 직접 충돌하는 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 및 제2 전극(211,212)의 표면에 질량체(240)가 직접 충돌하는 제1 및 제2 충격판(261.262)을 각각 결합할 수도 있다. 충격판(261,262)의 재질은 특별히 한정되지 않으며, 진동 액츄에이터(200)의 용도, 질량체(240)의 재질 등을 고려하여 적절히 선택될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 구체적인 적용 과정에서 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있으며, 변형 또는 수정된 실시예도 후술하는 특허청구범위에 개시된 본 발명의 기술적 사상을 포함한다면 본 발명의 권리범위에 속함은 물론이다.
100, 200: 진동 액츄에이터 102, 202: 하우징
111: 제1 전극 112: 제2 전극 121: 제1 충격판
122: 제2 충격판 130: 전기활성 겔 140: 질량체
150: 탄성수단 211: 제1 전극 212: 제2 전극
230: 전기활성 겔 231: 고정부 232: 가동부
240: 질량체 250: 탄성수단 261: 제1 충격판
262: 제2 충격판 300: 전원공급부 311.312: 급전선

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 일단이 하우징에 고정된 전기활성 겔;
    상기 전기활성 겔의 일측과 타측에 각각 결합되는 제1 전극과 제2 전극;
    상기 전기활성 겔의 자유단의 일측과 타측으로부터 각각 떨어져 있는 제1 충격판과 제2 충격판;
    상기 전기활성 겔의 자유단에 결합되며 상기 제1 충격판과 상기 제2 충격판의 사이에 위치하는 질량체;
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어 교류전원을 공급하는 전원공급부
    를 포함하며, 상기 제1 전극과 상기 제1 충격판은 상기 전원공급부의 제1 단자에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전극과 상기 제2 충격판은 상기 전원공급부의 제2 단자에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 충격식 진동 액츄에이터
  3. 일단이 하우징에 고정된 전기활성 겔;
    상기 전기활성 겔의 일측과 타측에 각각 결합되는 제1 전극과 제2 전극;
    상기 전기활성 겔의 자유단의 일측과 타측으로부터 각각 떨어져 있는 제1 충격판과 제2 충격판;
    상기 전기활성 겔의 자유단에 결합되며 상기 제1 충격판과 상기 제2 충격판의 사이에 위치하는 질량체;
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어 교류전원을 공급하는 전원공급부
    를 포함하며, 상기 제1 전극과 상기 제1 충격판은 일체로 형성되고, 상기 제2 전극과 상기 제2 충격판은 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 충격식 진동 액츄에이터
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제1 충격판과 상기 제2 충격판에는 각각 탄성수단이 연결된 것을 특징으로 하는 충격식 진동 액츄에이터
  5. 일단과 타단의 고정부는 하우징에 고정되고, 양 고정부 사이에는 가동부가 형성된 전기활성 겔;
    상기 가동부의 일측과 타측에 각각 결합된 질량체;
    상기 가동부의 일측과 타측으로부터 각각 떨어져 있는 제1 전극과 제2 전극;
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어 교류전원을 공급하는 전원공급부
    를 포함하는 충격식 진동 액츄에이터
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에는 각각 탄성수단이 연결된 것을 특징으로 하는 충격식 진동 액츄에이터
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에는 각각 상기 질량체가 충돌하는 충격판이 결합된 것을 특징으로 하는 충격식 진동 액츄에이터
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