KR101949306B1 - Electrode assembly for plasma cleaning - Google Patents

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KR101949306B1
KR101949306B1 KR1020170155643A KR20170155643A KR101949306B1 KR 101949306 B1 KR101949306 B1 KR 101949306B1 KR 1020170155643 A KR1020170155643 A KR 1020170155643A KR 20170155643 A KR20170155643 A KR 20170155643A KR 101949306 B1 KR101949306 B1 KR 101949306B1
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백태일
박윤철
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주식회사제4기한국
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Abstract

The present invention relates to a cleaning device using plasma and, more specifically, to an electrode assembly for plasma cleaning, which is capable of easily coupling a plug installed in a movable electrode unit to a socket installed in a vacuum chamber, and includes a vacuum chamber and the movable electrode unit capable of moving in the vacuum chamber. According to the electrode assembly for plasma cleaning which includes the vacuum chamber and the movable electrode unit capable of moving in the vacuum chamber, an insulation space is attached to an inner wall of a door of the vacuum chamber and an anode socket plate having an anode socket installed thereon and a cathode socket plate having a cathode socket installed thereon are coupled to a rear wall of the door of the vacuum chamber. An anode plug and a cathode plug connected to the anode socket and the cathode sock are installed on a rear surface of the movable electrode unit.

Description

플라즈마 세정용 전극 조립체{ELECTRODE ASSEMBLY FOR PLASMA CLEANING}ELECTRODE ASSEMBLY FOR PLASMA CLEANING [0002]

본 발명은 플라즈마를 이용한 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공챔버와, 상기 진공챔버 내로 이동가능한 이동형 전극유니트를 구비하는 플라즈마 세정용 전극 조립체에 있어서, 이동형 전극유니트에 설치된 프러그와 진공챔버에 설치된 소켓을 용이하게 체결할 수 있는 플라즈마 세정용 전극 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma cleaning apparatus, and more particularly, to a plasma cleaning electrode assembly having a vacuum chamber and a movable electrode unit movable into the vacuum chamber, And more particularly, to a plasma cleaning electrode assembly which can easily fasten installed sockets.

도1에 종래의 플라즈마 세정용 전극 조립체와 관련된 일반적인 프라즈마 세정장치를 보인 예시도가 나타나 있다.FIG. 1 shows an example of a conventional plasma cleaning apparatus related to a conventional plasma cleaning electrode assembly.

도1에 따르면, 진공챔버(110) 내를 이동하는 수평전극체(300)가 가이드레일(140)을 따라 이동하고, 수평전극체(300)의 후면에는 캐소드플러그(352)와 아노드플러그(350)가 다수개 설치되고, 진공챔버(110)의 후벽면에는 상기 플러그들과 대응하는 캐소드소켓(132)과 아노드소켓(130)이 다수개 설치되어 있다. 작업은 수평전극체를 진공챔버내로 밀어서 수평전극체의 플러그 들을 진공챔버 후벽면에 설치된 소켓에 삽입 고정시킨 후, 도어를 닫고 통전하여 세정작업을 실시한다.1, the horizontal flat plate 300 moving in the vacuum chamber 110 moves along the guide rail 140, and a cathode plug 352 and an anode plug (not shown) are mounted on the rear surface of the horizontal flat plate 300, And a plurality of cathode sockets 132 and anode sockets 130 corresponding to the plugs are installed on the rear wall of the vacuum chamber 110. The work is carried out by pushing the horizontal polar body into the vacuum chamber, inserting the plugs of the horizontal polar body into the socket provided on the wall surface of the vacuum chamber, closing the door, conducting electricity and cleaning.

이와 같이 구성된 세정장치는 후벽면에 소켓이 다수 고정 설치되어 있는데, 소켓을 다수개 설치하기 위하여는 진공챔버 내의 진공상태를 유지하기 위한 밀폐력을 유지하는 것이 필수적이다. 그러나 각각의 소켓마다 밀폐장치를 설치하여야 하는 관계로 시간과 제조 단가를 상승시키는 문제가 있고, 소켓을 교체하여야 하는 경우 하나 하나 교체해야 하는 관계로 그 공정이 복잡하여지는 문제가 있고, 소켓에 플러그의 삽탈이 용이하지 아니하여 사람이 수평전극체를 밀고 당기는데 무리한 힘을 가하게 되어 기기의 손상이 유발되는 문제 등이 있다. In order to install a plurality of sockets, it is necessary to maintain the sealing force for maintaining the vacuum state in the vacuum chamber. However, there is a problem of increasing the time and manufacturing cost due to the necessity of installing a sealing device for each socket, and there is a problem that the process is complicated due to the need to replace one socket each time the socket is to be replaced. It is not easy to insert or pull out the polar body, so that a force is exerted on the person to push and pull the polar body in the horizontal direction, causing damage of the apparatus.

등록실용신안공보 등록번호 20-0384219호Registered Utility Model Registration No. 20-0384219

본 발명은 상기한 제반 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 소켓의 교체를 용이하게 하고, 소켓의 설치를 단순하게 하고, 소켓과 플러그의 삽탈을 스무스하게 함으로서 기기의 손상을 줄일 수 있는 플라즈마 세정용 전극 조립체를 제공함에 그 목적이 있다.Disclosure of the Invention The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a plasma cleaning method capable of easily replacing a socket, simplifying installation of a socket, And an object thereof is to provide an electrode assembly.

본 발명의 플라즈마 세정용 전극 조립체는, In the plasma cleaning electrode assembly of the present invention,

진공챔버와, 상기 진공챔버 내로 이동가능한 이동형 전극유니트를 구비하는 플라즈마 세정용 전극 조립체에 있어서,1. A plasma cleaning electrode assembly comprising: a vacuum chamber; and a movable electrode unit movable into the vacuum chamber,

상기 진공챔버의 도어 내벽에는 절연스페이서가 부착되어 있고, 후벽면에는 아노드소켓이 설치된 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓이 설치된 캐소드소켓플레이트가 결합되어 있으며,An insulating spacer is attached to an inner wall of the door of the vacuum chamber, and an anode socket plate having an anode socket and a cathode socket plate having a cathode socket are coupled to the rear wall,

상기 이동형 전극유니트의 후면에는 상기 아노드소켓과 캐소드소켓에 접속되는 아노드플러그와 캐소드플러그가 설치되어 있는 것을 특징으로 하며,And an anode plug and a cathode plug connected to the anode socket and the cathode socket are provided on a rear surface of the movable electrode unit,

또한, 상기 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓플레이트는 상기 진공챔버의 후벽면을 관통하며, 전원공급수단과 연결된 고정링에 의해 고정되며,The anode socket plate and the cathode socket plate penetrate the rear wall surface of the vacuum chamber and are fixed by a fixing ring connected to the power supply means,

상기 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓플레이트는 후면에 절연스페이서가 설치되어 있고, 상,하단에는 상기 고정링을 고정하도록 된 고정용 홀이 형성되어 있고,Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate are provided with insulating spacers on the rear surface thereof and fixing holes for fixing the stationary ring are formed on upper and lower ends thereof,

상기 아노드소켓과 캐소드소켓은 테이퍼 형 판스프링인 것을 특징으로 하며,Wherein the anode socket and the cathode socket are tapered plate springs,

상기 고정링은 헤드부와 몸체부로 이루어진 볼트타입으로 되어 있으며, 상기 헤드부에는 돌출부가 형성되어 있고, 몸체 단부에는 너트와 나사 결합되도록 나사산이 형성되어 있고, 상기 진공챔버 후벽면과 절연상태를 유지하도록 절연스페이서가 상기 몸체를 감싸고 있으며, 상기 후벽면과 상기 고정링 사이를 밀폐시키기 위하여 0-링이 설치되고, 절연부싱이 체결되며,The fixed ring is a bolt type comprising a head portion and a body portion. The head portion is formed with a protrusion. A screw thread is formed on an end portion of the body so as to be screwed to the nut. An insulating spacer is enclosing the body, an O-ring is installed to seal the space between the rear wall and the stationary ring, an insulating bushing is fastened,

상기 아노드소켓플레이트 및 상기 캐소드소켓플레이트에는 절연스페이서와 결합하기 위한 절연재료고정용 구멍이 형성되어 있으며,Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate are each provided with an insulating material fixing hole for coupling with the insulating spacer,

상기 0-링은 상기 고정링의 몸체와 절연스페이서를 밀폐시키는 2개의 0-링과, 상기 절연스페이서와 후벽면을 밀폐시키기 위한 측면0-링과 하부0-링으로 구성되며,The O-ring comprises two O-rings for sealing the body of the stationary ring and the insulating spacer, and a side O-ring and a bottom O-ring for sealing the insulating spacer and the rear wall,

상기 아노드소켓플레이트 및 상기 캐소드소켓플레이트는 재질이 도전성 재료인 것을 특징으로 한다.Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate are made of a conductive material.

본 발명에 따르면, 진공챔버의 후벽면에 소켓을 용이하게 설치할 수 있고, 소켓을 교체하여야 하는 경우에도 간단히 교체할 수 있으며, 플러그를 소켓에 스무스하게 삽탈하는 것이 가능하여 기기가 손상되는 것을 줄일 수 있는 작용효과가 있다.According to the present invention, it is possible to easily mount the socket on the rear wall surface of the vacuum chamber, to easily replace the socket even if the socket is to be replaced, to smoothly insert and detach the plug into the socket, There is a working effect.

도1은 일반적인 플라즈마 세정장치의 개략도
도2는 본 발명의 이동형 전극 지그 유니트의 예시도
도3은 본 발명의 이동형 전극 지그 유니트가 진공챔버에 조립되어 있는 상태를 나타내는 상태도
도4는 본 발명의 진공챔버의 후벽면을 나타낸 사시도
도5는 본 발명의 아노드 및 캐소드 소켓이 부착된 소켓플레이트의 개념도
도6은 본 발명의 고정링이 진공챔버의 후벽면에 결합되어 있는 상태를 나타내는 단면도
도7은 본 발명의 이동형 전극 지그 유니트의 구동을 나타내는 개념도이다.1 is a schematic view of a general plasma cleaning apparatus
2 is an exemplary view of the movable electrode jig unit of the present invention
3 is a state diagram showing a state in which the movable electrode jig unit of the present invention is assembled in a vacuum chamber
4 is a perspective view showing a rear wall surface of the vacuum chamber of the present invention.
5 is a conceptual diagram of a socket plate to which the anode and cathode sockets of the present invention are attached
6 is a cross-sectional view showing a state in which the holding ring of the present invention is coupled to the rear wall surface of the vacuum chamber
7 is a conceptual diagram showing the driving of the movable electrode jig unit of the present invention.

이하에 본 발명을 도면에 의거 상세히 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

도2에 본 발명의 이동형 전극 지그 유니트가 진공챔버 내에 조립된 상태가 나타나 있다. FIG. 2 shows a state in which the movable electrode jig unit of the present invention is assembled in a vacuum chamber.

도2에 따르면, 진공챔버(1)의 전면에는 도어(2)가 설치되고 후벽면(4)에는 아노드소켓플레이트(6) 및 캐소드소켓플레이트(7)가 고정링(8)에 의해 고정되어 있다.2, the door 2 is provided on the front surface of the vacuum chamber 1 and the anode socket plate 6 and the cathode socket plate 7 are fixed to the rear wall surface 4 by the fixing ring 8 have.

상기 진공챔버(1) 내에는 이동형 전극 지그 유니트(3)가 이동가능하도록 내장되어 있으며, 상기 이동형 전극지그 유니트(3)는 상기 아노드소켓플레이트(6) 및 캐소드소켓플레이트(7)와 결속되어 있다.The movable electrode jig unit 3 is movably housed in the vacuum chamber 1 and the movable electrode jig unit 3 is coupled with the anode socket plate 6 and the cathode socket plate 7 have.

상기 전극지그 유니트(3)에 대한 개략도가 도3에 도시되어 있다.A schematic view of the electrode jig unit 3 is shown in Fig.

도3에 따르면, 전극지그 유니트(3)는 다수개의 수평지그가 구비되며, 상기 수평지그는 에노드전극판과 캐소드전극판 사이에 위치하며, 상기 에노드전극판과 캐소드전극판은 상기 수평지그의 측면에 일정간격을 두고 쌍을 이루면서 입설되는 애노드전극(power전극) 연결용 고정봉과 캐소드전극(ground전극) 연결용 고정봉과 연결 설치된다. 이 때 상기 애노드전극 연결용 고정봉과 캐소드전극 연결용 고정봉은 적절히 절연된 상태로 후면에 배치되는 애노드플러그 및 케소드플러그와 연결되고, 상기 에노드플러그 및 캐소드플러그는 진공챔버의 후벽면에 고정된 애노드소켓플레이트 및 캐소드소켓플레이트의 소켓과 연결된다.3, the electrode jig unit 3 is provided with a plurality of horizontal jigs, and the horizontal jig is positioned between the anode electrode plate and the cathode electrode plate, and the anode electrode plate and the cathode electrode plate are connected to the horizontal jig And a fixing rod for connecting the anode electrode (power electrode) and a fixing electrode for connecting the cathode electrode (ground electrode), which are paired at regular intervals on the side surface of the anode. The anode plug and the cathode plug are connected to the anode plug and the cathode plug disposed on the rear surface in a properly insulated state, and the anode plug and the cathode plug are fixed to the rear wall surface of the vacuum chamber The anode socket plate and the cathode socket plate.

상기 애노드소켓플레이트와 캐소드소켓플레이트가 진공챔버(1)의 후벽면(4)에 장착된 상태도가 도4에 도시되어 있다.A state in which the anode socket plate and the cathode socket plate are mounted on the rear wall surface 4 of the vacuum chamber 1 is shown in Fig.

도4에 따르면, 후벽면(4) 내측에 아노드소켓플레이트(6)와 캐소드소켓플레이트(7)가 쌍을 이루면서 일정간격으로 설치되어 있고, 상기 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓플레이트가 후벽면을 관통하여 설치된 고정링(8)에 의해 상하로 연결 고정되어 있으며, 상기 소켓플레이트(6,7) 들의 전면에는 아노드소켓(61)과 캐소드소켓(71)이 설치되어 있다. 상기 소켓들(61,71)은 판스프링 타입의 소켓으로 되어 있다. 후면에는 전기 절연재인 스페이서(9)가 부착되어 후벽면과 절연상태를 유지하고 있다. 4, the anode socket plate 6 and the cathode socket plate 7 are paired and spaced apart from each other at a predetermined interval, and the anode socket plate and the cathode socket plate are connected to the rear wall surface And an anode socket 61 and a cathode socket 71 are provided on the front surfaces of the socket plates 6 and 7, respectively. The sockets 61 and 71 are made of a plate spring type socket. And a spacer 9, which is an electrical insulating material, is attached to the rear surface to maintain an insulated state from the rear wall.

도5에 상기 소켓플레이트의 구조에 대한 상세도가 도시되어 있다.Fig. 5 shows a detailed view of the structure of the socket plate.

도5에 따르면, 상기 소켓플레이트(6,7)는 상하단부에 플레이트를 고정하기 위한 고정용홀(62,72)이 형성되어 여기에 전원공급수단과 연결된 고정링(8)과 결합하도록 되어 있고, 전면에는 판스프링 소켓(61,71)이 다수 설치되어 있다. 후면에는 전기 절연재료로 된 스페이서(9)가 부착되어 있고, 상기 스페이서(9)는 상기 소켓플레이트(6,7)에 형성된 구멍을 통해 볼트로 부착되어 있다. 5, the socket plates 6 and 7 have fixing holes 62 and 72 for fixing the plate at the upper and lower ends thereof, respectively, and are adapted to engage with the fixing ring 8 connected to the power supply means, A plurality of leaf spring sockets (61, 71) are provided on the front surface. A spacer 9 made of an electrically insulating material is attached to the rear surface, and the spacer 9 is attached with a bolt through a hole formed in the socket plate 6, 7.

상기 고정링(8)은 전원공급수단과 연결된 상태로 후벽면(4)을 관통하여 설치되는데, 이에 대한 설치 단면도가 도6에 도시되어 있다.The stationary ring 8 is installed through the rear wall 4 in a state of being connected to a power supply means, and a mounting sectional view thereof is shown in FIG.

도6에 따르면, 고정링(8)은 볼트타입으로서 헤드부와 몸체부로 이루어지고, 헤드부(81) 중앙에는 상기 소켓플레이트(6,7)의 상하단부에 형성된 고정용홀(62,72)에 삽입고정되는 돌출부(82)가 돌출되어 있으며, 몸체부 선단에는 나사산이 형성되어 너트(83)로 체결되도록 되어 있다. 몸체부는 후벽면(4)과 절연상태를 유지하기 위하여 절연스페이서(84)가 장착되어 있고, 기밀을 유지하기 위하여 상기 절연스페이서(84)와 후벽면(4) 사이에는 측면 0-링(85-2)과 하면0-링(85-3)이 설치되고, 몸체부와 절연스페이서(84) 사이에는 2개의 0-링(85-1)이 설치되어 있다.6, the stationary ring 8 is a bolt type comprising a head portion and a body portion, and at the center of the head portion 81, fixing holes 62 and 72 formed at the upper and lower ends of the socket plates 6 and 7 A protrusion 82 to be inserted and fixed is protruded, and a thread is formed at the tip of the body so as to be fastened with a nut 83. The body portion is equipped with an insulating spacer 84 to maintain insulation with the rear wall surface 4 and a side O-ring 85-B is provided between the insulating spacer 84 and the rear wall surface 4 to maintain airtightness. Ring 85-1 is provided between the body portion and the insulating spacer 84, and two O-rings 85-1 are provided between the body portion and the insulating spacer 84. The O-

도7에 진공챔버 내에서 이동형 전극 유니트가 이동하면서 플러그가 소켓에 결합되는 상태를 나타내는 구동도가 나타나 있다.7 is a driving diagram showing a state in which the movable electrode unit is moved in the vacuum chamber and the plug is coupled to the socket.

도7에 따르면, 이동형 전극지그 유니트를 진공챔버 내로 이동시킨 다음 도어를 닫으면서 전극지그 유니트를 밀면, 전극지그 유니트가 앞으로 전진하면서 플러그(p전극, g전극)가 진공챔버 후벽면에 설치된 소켓(p전극용소켓, g전극용소켓)에 삽입된다. 이 때 상기 도어에는 절연스페이서가 부착되어 있어 도어와 전극지그 유니트사이에 절연상태가 유지된다.7, when the electrode-jig unit is advanced while the movable electrode-jig unit is moved into the vacuum chamber and the door is closed, the plug (p-electrode, g-electrode) a p-electrode socket, and a g-electrode socket). At this time, an insulating spacer is attached to the door, so that an insulation state is maintained between the door and the electrode jig unit.

이와 같이 구성된 본 발명의 작동관계에 대하여 설명한다.The operating relationship of the present invention thus constituted will be described.

먼저 이동형 전극지그 유니트(3)의 수평지그에 세정하고자 하는 대상물을 위치시킨 다음 상기 전극지그 유니트를 진공챔버(1) 내로 이동시킨다. 전극지그 유니트는 가이드 레일을 따라 전후진 한다. 전극지그 유니트가 진공챔버의 후벽면에 도착하면 도어를 닫는다. 도어를 닫으면 도어(2)에 부착된 절연스페이서(5)가 전극지그 유니트(3)를 밀어 플러그(31,32)를 소켓플레이트에 형성된 판스프링 소켓(61,71)에 부드럽게 삽입된다.First, an object to be cleaned is placed on the horizontal jig of the movable electrode jig unit 3, and then the electrode jig unit is moved into the vacuum chamber 1. The electrode jig unit moves back and forth along the guide rail. When the electrode jig unit reaches the rear wall surface of the vacuum chamber, the door is closed. The insulating spacer 5 attached to the door 2 pushes the electrode jig unit 3 so that the plugs 31 and 32 are smoothly inserted into the leaf spring sockets 61 and 71 formed on the socket plate.

그 다음에 통전을 하게 되면, 고정링(8)을 통해 애노드소켓플레이트 및 이동형 전극 유니트의 아노드전극판과 캐소드전극판으로 전압이 인가되고, 이에 따라 진공챔버 내부의 반응가스에 의해 플라즈마가 발생되고, 발생된 플라즈마를 이용하여 대상물을 세정한다.Then, when energization is performed, a voltage is applied to the anode electrode plate and the cathode electrode plate of the anode socket plate and the movable electrode unit through the stationary ring 8, whereby plasma is generated by the reaction gas inside the vacuum chamber And the object is cleaned using the generated plasma.

이때 고정링은 진공챔버의 후벽면과 절연스페이서로 절연되어 있고, 0-링에 의해 진공챔버 내의 완벽한 밀폐가 가능하다. 또한 소켓플레이트는 절연스페이서로 후벽면과 절연되어 있고, 도어에 부착된 절연스페이서에 의해 이동형 전극지그 유니트와 절연이 가능하다.At this time, the holding ring is insulated with the rear wall surface of the vacuum chamber and the insulating spacer, and the 0-ring enables perfect sealing in the vacuum chamber. The socket plate is insulated from the rear wall by an insulating spacer, and is insulated from the movable electrode jig unit by an insulating spacer attached to the door.

1: 진공챔버
2: 도어
3: 유니트
4: 후벽면
5: 절연스페이서
6: 아노드소켓플레이트
7: 캐소드소켓플레이트
8: 고정링
9: 스페이서1: Vacuum chamber
2: Door
3: Unit
4: rear wall surface
5: Insulation Spacer
6: anode socket plate
7: Cathode socket plate
8: Retaining ring
9: Spacer

Claims (8)

진공챔버와, 상기 진공챔버 내로 이동가능한 이동형 전극유니트를 구비하는 플라즈마 세정용 전극 조립체에 있어서,
상기 진공챔버의 도어 내벽에는 절연스페이서가 부착되어 있고, 후벽면에는 아노드소켓이 설치된 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓이 설치된 캐소드소켓플레이트가 결합되어 있으며,
상기 이동형 전극유니트의 후면에는 상기 아노드소켓과 캐소드소켓에 접속되는 아노드플러그와 캐소드플러그가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.1. A plasma cleaning electrode assembly comprising: a vacuum chamber; and a movable electrode unit movable into the vacuum chamber,
An insulating spacer is attached to an inner wall of the door of the vacuum chamber, and an anode socket plate having an anode socket and a cathode socket plate having a cathode socket are coupled to the rear wall,
And an anode plug and a cathode plug connected to the anode socket and the cathode socket are provided on a rear surface of the movable electrode unit. 제1항에 있어서,
상기 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓플레이트는 상기 진공챔버의 후벽면을 관통하며, 전원공급수단과 연결된 고정링에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate penetrate the rear wall surface of the vacuum chamber and are fixed by a fixing ring connected to the power supply means. 제2항에 있어서,
상기 아노드소켓플레이트와 캐소드소켓플레이트는 후면에 절연스페이서가 설치되어 있고, 상,하단에는 상기 고정링을 고정하도록 된 고정용 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.3. The method of claim 2,
Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate are provided with insulating spacers on the rear surface and fixing holes are formed on upper and lower ends to fix the fixing ring. 제1항에 있어서,
상기 아노드소켓과 캐소드소켓은 테이퍼 형 판스프링인 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the anode socket and the cathode socket are tapered plate springs. 제2항에 있어서,
상기 고정링은 헤드부와 몸체부로 이루어진 볼트타입으로 되어 있으며, 상기 헤드부에는 돌출부가 형성되어 있고, 몸체 단부에는 너트와 나사 결합되도록 나사산이 형성되어 있고,
상기 진공챔버 후벽면과 절연상태를 유지하도록 절연스페이서가 상기 몸체를 감싸고 있으며,
상기 후벽면과 상기 고정링 사이를 밀폐시키기 위하여 0-링이 설치되고, 절연부싱이 체결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.3. The method of claim 2,
The fixing ring is a bolt type comprising a head portion and a body portion. The head portion is provided with a protrusion. A screw thread is formed on the body portion to be screwed with the nut,
An insulating spacer surrounding the body so as to maintain an insulated state from the rear surface of the vacuum chamber,
And an O-ring is provided to seal between the rear wall surface and the fixing ring, and an insulating bushing is fastened. 제3항에 있어서,
상기 아노드소켓플레이트 및 상기 캐소드소켓플레이트에는 절연스페이서와 결합하기 위한 절연재료 고정용 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.The method of claim 3,
Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate are each provided with an insulating material fixing hole for coupling with the insulating spacer. 제5항에 있어서,
상기 0-링은 상기 고정링의 몸체와 절연스페이서를 밀폐시키는 2개의 0-링과, 상기 절연스페이서와 후벽면을 밀폐시키기 위한 측면0-링과 하부0-링으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체. 6. The method of claim 5 ,
The O-ring comprises two O-rings for sealing the body of the stationary ring and the insulating spacer, and a side O-ring and a bottom O-ring for sealing the insulating spacer and the rear wall surface. A cleaning electrode assembly. 제1항에 있어서,
상기 아노드소켓플레이트 및 상기 캐소드소켓플레이트는 재질이 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정용 전극 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the anode socket plate and the cathode socket plate are made of a conductive material.
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