KR101948847B1 - Antistatic structure and method of fabricating the same - Google Patents
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Abstract
Description
대전 방지 구조체 및 이의 제조 방법{Antistatic structure and method of fabricating the same}[0001] Antistatic structure and method for fabricating the same [0002]
반도체, 디스플레이 및 통신 기술이 발전함에 따라 스마트폰, 태블릿 PC, 및 대면적 TV와 같은 다양한 전자 제품이 개발되고 이의 시장은 급속도로 팽창하고 있다. 이들 전자 제품에 대한 신뢰성, 성능 및 소모 전력과 같은 품질 관점의 향상을 위해 제품 제조 중이나 제품 완성 후 구동에 영향을 미치는 정전기에 의한 오류나 고장을 방지하기 위해 정전기 제거에 관한 요구도 함께 증대되고 있다. With the development of semiconductors, displays and communication technologies, a variety of electronic products such as smart phones, tablet PCs, and large-area TVs are being developed and their market is rapidly expanding. In order to improve the quality viewpoints such as reliability, performance, and power consumption for these electronic products, there is also a demand for static elimination in order to prevent faults or failures due to static electricity, which affects driving of the product during product manufacturing and after completion of the product.
정전기를 제거하는 일반적인 방식은, 적절한 전기 저항을 갖는 도전성 구조체를 대전 방지가 필요한 능동 소자, 수동 소자, 센서 또는 디스플레이와 같은 전자 부품, 인쇄회로기판 또는 다른 구성 요소(이하에서는 이를 통칭하여 전기 전자 부품이라 한다)에 형성하여 상기 도전성 구조체를 통해 대전된 전하를 제거하는 방식이다. 그러나, 상기 도전성 구조체로서 금속처럼 전기 저항이 매우 낮은 도체를 사용할 경우에는 다량의 전하들이 한꺼번에 이동하여 전기 스파크 또는 감전과 같은 사고를 초래할 수 있다. 따라서, 정전기 제거에 사용되는 도체는 일반적으로 105 내지 109 Ω의 저항 값을 갖는다. A general method for removing static electricity is to use a conductive structure having an appropriate electrical resistance as an active element, an passive element, an electronic component such as a sensor or a display, a printed circuit board or other components (hereinafter collectively referred to as " ) To remove the charged electricity through the conductive structure. However, when a conductor having a very low electrical resistance such as a metal is used as the conductive structure, a large amount of charges move at the same time, resulting in an accident such as an electric spark or an electric shock. Therefore, the conductor used for static elimination generally has a resistance value of 10 5 to 10 9 Ω.
이러한 정전기의 효과적 제거를 위해 다양한 대전 방지 구조체에 대한 연구 및 개발이 이루어지고 있다. 일반적인 대전 방지 구조체는 수지 계통의 절연체에 소정의 전기 전도성 분말이 분산된 소재들이다. 대표적으로 테프론 수지나 고무계 수지에 전기 전도성 분말인 탄소 입자나 금속 분말을 혼합하여 소정의 전기 전도성을 구현한 수지계 대전 방지 소재들이 있다. 이들 수지계 대전 방지 소재는 합리적인 가격, 성형성 및 가공성을 가지고 있기 때문에 널리 사용되고 있다. 그러나, 종래의 수지계 대전 방지 소재는 내마모성과 내열성이 측면에서 약점을 가지고 있고 사용에 따라 저항 값이 증가하는 경시 변화를 가지므로 고신뢰성이 필요한 영역이나 혹독한 환경에서는 그 사용이 제한되고 있으며, 통상적으로 이러한 영역이나 환경에서는 세라믹계 대전 방지 소재들이 상기 수지계 대전 방지 소재를 대신하여 사용되고 있다. Various anti-static structures have been researched and developed for effective removal of such static electricity. A general antistatic structure is a material in which a predetermined electrically conductive powder is dispersed in an insulator of a resin system. Typically, there are resin-based antistatic materials in which a predetermined electrical conductivity is achieved by mixing carbon particles or metal powder, which is an electrically conductive powder, with a Teflon resin or a rubber-based resin. These resin-based antistatic materials are widely used because they have a reasonable price, formability and processability. However, conventional resin-based antistatic materials have weaknesses in terms of abrasion resistance and heat resistance, and have a long-term change with an increase in resistance value depending on use. Therefore, their use is limited in areas requiring high reliability or in harsh environments, In such an area or environment, ceramic antistatic materials are used instead of the resin-based antistatic material.
상기 세라믹계 대전 방지 소재들은 주로 알루미나 매트릭스에 카본을 첨가하여 전기 전도성을 부여하는 방법이 사용된다. 그러나, 상기 카본을 첨가하여 제조되는 세라믹계 대전 방지 소재들은, 카본이 쉽게 산화되므로 성형을 위해 공기 중에서 소성하지 못하는 단점이 있다. 또한, 상기 세라믹계 대전 방지 소재들은 수지계 대전 방지 소재와 달리 금속 기재위에 용사 코팅과 같은 방법으로 코팅하기 어려워 그 적용이 제한되는 문제가 있다. The ceramic-based antistatic materials are mainly prepared by adding carbon to the alumina matrix to impart electrical conductivity. However, the ceramic-based antistatic materials produced by adding the carbon have a disadvantage that they can not be fired in the air for molding because the carbon is easily oxidized. In addition, unlike resin-based antistatic materials, the ceramic-based antistatic materials are difficult to coat on a metal substrate in the same manner as a spray coating, and thus their application is limited.
전술한 종래의 수지계 및 세라믹계 대전 방지 소재들은 모두 저항의 경시 변화(aging)에 따른 열화가 나타난다. 예를 들면, 초기에 106 Ω의 저항 값을 갖도록 설계된 소재가 사용 시간이 경과함에 따라 저항이 수십 내지 수백 배로 증가하는 현상이 나타난다. 이와 같이 전기 전도도의 열화가 나타나면 대전 방지 기능을 상실하여 신뢰성이 저하되는 문제가 나타난다.All of the above-mentioned conventional resin-based and ceramic-based antistatic materials exhibit deterioration due to aging of the resistance. For example, a material initially designed to have a resistance value of 10 6 Ω may increase in resistance by tens to hundreds of times over time. When the electrical conductivity deteriorates in this manner, the antistatic function is lost and the reliability is lowered.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 사용에 따른 경시적 열화를 극복하거나 감소시켜 고신뢰성을 가질 뿐만 아니라 금속을 포함하는 다양한 기재 상에 용이하게 코팅할 수 있고, 산화성 분위기에서도 용이하게 제조될 수 있는 세라믹계 대전 방지 구조체를 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a ceramic material which can overcome or deteriorate deterioration over time and can be easily coated on various substrates including metals as well as having high reliability, An antistatic structure is provided.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 전술한 이점을 갖는 세라믹계 대전 방지 구조체를 용이하고 경제적으로 제조할 수 있는 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic-based antistatic structure capable of easily and economically manufacturing a ceramic-based antistatic structure having the above-mentioned advantages.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹계 대전 방지 구조체는, 세라믹계 매트릭스 내에 LaCrO3 화합물을 포함한다. 일 실시예에서, 상기 세라믹계 매트릭스는, La2O3 화합물; Cr2O3 화합물; 및 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다. In order to solve the above problems, a ceramic-based antistatic structure according to an embodiment of the present invention includes a LaCrO 3 compound in a ceramic matrix. In one embodiment, the ceramic matrix comprises a La 2 O 3 compound; Cr 2 O 3 compound; And at least one of a Y 2 O 3 compound and an Al 2 O 3 compound.
상기 대전 방지 구조체의 저항 값은 103 내지 109 Ω의 범위 내일 수 있다. 상기 세라믹계 대전 방지 구조체는 소결체 또는 코팅층일 수 있다. The resistance value of the antistatic structure may be in the range of 10 3 to 10 9 Ω. The ceramic-based antistatic structure may be a sintered body or a coating layer.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹계 대전 방지 구조체는, 상기 세라믹계 대전 방지 구조체의 전체 100 중량 대비, 10 ~ 55 중량%를 갖는 La2O3 화합물; 5 ~ 30 중량%를 갖는 Cr2O3 화합물; 및 15 ~ 85 합산 중량%를 갖는 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물을 포함하며, 상기 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 각각 0 내지 85 중량%의 범위 내의 중량%를 가질 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a ceramic-based antistatic structure, comprising: a La 2 O 3 compound having 10 to 55 wt% based on 100 wt% of the ceramic antistatic structure; A Cr 2 O 3 compound having 5 to 30% by weight; And Y 2 O 3 compound and Al 2 O 3 compound having 15 to 85% by weight of total weight, wherein the Y 2 O 3 compound and Al 2 O 3 compound each have a weight percentage in the range of 0 to 85 wt% .
일 실시예에서, 상기 세라믹계 대전 방지 구조체 내에 반응 생성물인 LaCrO3 화합물이 형성될 수 있다. 상기 세라믹계 대전 방지 구조체는 소결체 또는 코팅층일 수 있다. In one embodiment, there is the ceramic-based structure of the reaction product in the antistatic LaCrO 3 compound can be formed. The ceramic-based antistatic structure may be a sintered body or a coating layer.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 대전 방지 구조체의 제조 방법은, La2O3 화합물의 제 1 전구체, Cr2O3 화합물의 제 2 전구체, 그리고 Y2O3 화합물 및 Al2O3 화합물 중 적어도 어느 하나를 포함하는 제 3 전구체를 준비하는 단계; 상기 제 1 내지 제 3 전구체를 혼합하여 혼합 전구체를 형성하는 단계; 상기 혼합 전구체를 고온 열처리하여 중간 반응체를 형성하는 단계; 및 상기 중간 반응체로부터 소성체 또는 코팅층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic antistatic structure, including: forming a first precursor of a La 2 O 3 compound, a second precursor of a Cr 2 O 3 compound, and a Y 2 O 3 compound And an Al 2 O 3 compound as a second precursor; Mixing the first to third precursors to form a mixed precursor; Subjecting the mixed precursor to high temperature heat treatment to form an intermediate reactant; And forming a sintered body or a coating layer from the intermediate reactant.
일 실시예에서, 상기 제 1 내지 제 3 전구체의 전체 100 중량 대비, 상기 제 1 전구체는, 10 ~ 55 중량%를 갖고, 상기 제 2 전구체는 5 ~ 30 중량%를 가지며, 상기 제 3 전구체는, 15 ~ 85 합산 중량%를 가지며, 상기 제 3 전구체의 상기 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 각각 0 내지 85 중량%의 범위 내의 중량%를 가질 수 있다. In one embodiment, the first precursor has 10 to 55 wt%, the second precursor has 5 to 30 wt%, and the third precursor has a ratio of And 15 to 85% by weight of the third precursor, and the Y 2 O 3 compound and Al 2 O 3 compound of the third precursor may each have a weight percentage in the range of 0 to 85% by weight.
상기 중간 반응체는 LaCrO3 화합물을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 소성체는, 상기 중간 반응체를 분쇄하여 분말 입자를 형성하는 단계; 상기 분말 입자를 바인더와 함께 혼합하여 중간 성형체를 형성하는 단계; 및 상기 중간 성형체를 고온 열처리하여 소결하는 단계에 의해 형성될 수 있다. 상기 코팅층은, 상기 중간 반응체를 분쇄하여 소입자를 형성하는 단계; 상기 소입자를 바인더와 함께 혼합하고 과립화 공정을 통하여 중입자를 형성하는 단계; 및 상기 중입자를 코팅 장치에 공급하여 기재 상에 코팅하는 단계에 의해 형성될 수 있다. The intermediate reaction member may comprise a LaCrO 3 compound. In one embodiment, the calcining body comprises: milling the intermediate reactant to form powder particles; Mixing the powder particles with a binder to form an intermediate molded body; And sintering the intermediate formed body by heat treatment at a high temperature. Wherein the coating layer comprises: milling the intermediate reactant to form small particles; Mixing the small particles together with a binder and forming granules through a granulation process; And supplying the dope to a coating apparatus and coating the coating on the substrate.
일 실시예에서, 상기 La2O3 화합물, Cr2O3 화합물 및 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물 중 적어도 어느 하나 사이의 소결된 혼합물이 상기 세라믹계 대전 방지 구조체의 세라믹계 매트릭스를 구성할 수 있다. 상기 대전 방지 구조체의 저항 값은 103 내지 109 Ω의 범위 내일 수 있다.In one embodiment, the sintered mixture between the La 2 O 3 compound, the Cr 2 O 3 compound, and the Y 2 O 3 compound and the Al 2 O 3 compound is a ceramic matrix of the ceramic antistatic structure Can be configured. The resistance value of the antistatic structure may be in the range of 10 3 to 10 9 Ω.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 란탄 산화물, 크롬 산화물과 이트륨 산화물 및 알루미늄 산화물 중 적어도 어느 하나의 산화물을 포함하는 세라믹계 매트릭스에 의해 사용에 따른 경시적 열화가 감소되어 고신뢰성을 가질 뿐만 아니라 금속을 포함하는 다양한 기재 상에 용이하게 코팅할 수 있고, 산화성 분위기에서도 용이하게 제조될 수 있는 세라믹계 대전 방지 구조체가 제공될 수 있다. 또한, 상기 세라믹계 매트릭스 내에 형성된 란탄크롬 산화물과 같은 중간 반응물은 고온 산화 분위기에서 또는 환원 분위기에서 높은 전기 전도도를 유지할 수 있으며, P 형 도전성을 나타내어 세라믹계 대전 방지 구조체가 우수한 전기 전도성과 내구성을 세라믹계 대전 방지 구조체를 제공할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the ceramic-based matrix containing at least one of oxides of lanthanum oxide, chromium oxide, yttrium oxide, and aluminum oxide is used to reduce deterioration over time, Based antistatic structure which can be easily coated on a variety of substrates including a metal substrate and can be easily produced even in an oxidizing atmosphere. In addition, the intermediate reactant such as lanthanum chromium oxide formed in the ceramic matrix can maintain high electrical conductivity in a high-temperature oxidation atmosphere or in a reducing atmosphere, and exhibits P-type conductivity, so that the ceramic antistatic structure has excellent electrical conductivity and durability An anti-electrification structure can be provided.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 전술한 이점을 갖는 세라믹계 대전 방지 구조체를 용이하고 경제적으로 제조할 수 있는 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a method for manufacturing a ceramic-based antistatic structure capable of easily and economically manufacturing a ceramic-based antistatic structure having the above-described advantages can be provided.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 2a 및 도 2b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 소성체인 세라믹계 대전 방지 구조체의 미세 전자 현미경 사진과 X선 회절 분석 스펙트럼이다.
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 용사 코팅된 대전 방지 코팅층의 미세 전자 현미경 사진과 X선 회절 분석 스펙트럼이다.1 is a flowchart showing a method of manufacturing a ceramic-based antistatic structure according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2A and 2B are a micro-electron micrograph and an X-ray diffraction analysis spectrum of the ceramic-based antistatic structure, which is a fired product manufactured according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are a micro-electron micrograph and an X-ray diffraction spectrum of the spray-coated antistatic coating layer prepared according to an embodiment of the present invention, respectively.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.The embodiments of the present invention are described in order to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified into various other forms, It is not limited to the embodiment. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be more faithful and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.
또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.In the drawings, the thickness and size of each layer are exaggerated for convenience and clarity of description, and the same reference numerals refer to the same elements in the drawings. As used herein, the term "and / or" includes any and all combinations of one or more of the listed items.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a," "an," and "the" include singular forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, " comprise "and / or" comprising "when used herein should be interpreted as specifying the presence of stated shapes, numbers, steps, operations, elements, elements, and / And does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, operations, elements, elements, and / or groups.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역 또는 부분을 다른 영역 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역 또는 부분을 지칭할 수 있다.Although the terms first, second, etc. are used herein to describe various elements, components, regions, and / or portions, these elements, components, regions, and / or portions should not be limited by these terms. It is self-evident. These terms are only used to distinguish one member, component, region or portion from another region or portion. Accordingly, the first member, component, region or portion described below may refer to a second member, component, region or portion without departing from the teachings of the present invention.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명된다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 부재들의 크기와 형상은 설명의 편의와 명확성을 위하여 과장될 수 있으며, 실제 구현시, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 부재 또는 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 된다.Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings schematically illustrating ideal embodiments of the present invention. In the drawings, for example, the size and shape of the members may be exaggerated for convenience and clarity of explanation, and in actual implementation, variations of the illustrated shape may be expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of members or regions illustrated herein.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.1 is a flowchart showing a method of manufacturing a ceramic-based antistatic structure according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, L2O3 화합물의 제 1 전구체, Cr2O3 화합물의 제 2 전구체, 그리고 Y2O3 화합물 전구체 및 Al2O3 화합물 전구체 중 적어도 어느 하나의 제 3 전구체를 준비한다(S10). 일 실시예에서, 상기 제 1 내지 제 3 전구체는 모두 고상 분말 형태일 수 있다. 상기 제 3 전구체는, Y2O3 화합물 전구체와 Al2O3 화합물 전구체 중 어느 한 종류의 전구체만을 포함할 수도 있으며, 소정 비율로 2 종류의 전구체를 모두 포함할 수 있다. 1, a first precursor of an L 2 O 3 compound, a second precursor of a Cr 2 O 3 compound, and a third precursor of at least one of a Y 2 O 3 compound precursor and an Al 2 O 3 compound precursor are prepared (S10). In one embodiment, the first to third precursors may all be in solid phase powder form. The third precursor may include only a precursor of any one of the Y 2 O 3 compound precursor and the Al 2 O 3 compound precursor, and may include both precursors at a predetermined ratio.
일 실시예에서, 상기 제 1 전구체 내지 제 3 전구체의 전체 100 중량 대비, 상기 제 1 전구체인 L2O3 화합물은 10 ~ 55 중량%를 갖고, 상기 제 2 전구체인 Cr2O3 화합물은 5 ~ 30 중량%를 가지며, 상기 제 3 전구체인 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 15 ~ 85 합산 중량%를 가질 수 있다. 일 실시예에서, 상기 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 각각 제 1 내지 제 3 전구체의 전체 중량 대비 0 내지 85 중량%를 가질 수 있다. In one embodiment, the L 2 O 3 compound as the first precursor is 10 to 55 wt%, and the Cr 2 O 3 compound as the second precursor is 5 To 30 wt%, and the third precursor, Y 2 O 3 compound and Al 2 O 3 compound, may have 15 to 85 wt% total weight. In one embodiment, the Y 2 O 3 compound and the Al 2 O 3 compound may each have 0 to 85% by weight based on the total weight of the first to third precursors.
상기 제 1 내지 제 3 전구체는 소정 비율로 혼합되어 혼합 전구체를 형성할 수 있다(S20). 상기 혼합 전구체는, 볼밀이나 공지의 적합한 믹서에 의해 상기 제 1 내지 제 3 전구체를 균일하게 혼합하는 것에 의해 제공될 수 있으며, 상기 혼합 과정에서 정제수나 알코올과 같은 적합한 분산매가 사용될 수 있다. 이후, 상기 혼합 전구체는 건조될 수 있다. The first to third precursors may be mixed at a predetermined ratio to form a mixed precursor (S20). The mixed precursor may be provided by uniformly mixing the first to third precursors with a ball mill or a known suitable mixer. In the mixing process, a suitable dispersion medium such as purified water or alcohol may be used. The mixed precursor may then be dried.
상기 건조된 혼합 전구체는 분말 상을 가질 수 있다. 상기 건조된 혼합 전구체에 대한 고온 열처리를 통해 상기 전구체 사이의 반응물을 포함하는 중간 반응체가 형성될 수 있다(S30). 상기 고온 열처리는 약 1,000 ℃ 내지 1,400 ℃의 범위 내에서 수행될 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 상기 고온 열처리를 통하여 La2O3 화합물의 제 1 전구체, Cr2O3 화합물의 제 2 전구체 사이에 반응이 일어날 수 있으며, 이에 의해 상기 반응물로서 LaCrO3 화합물이 형성될 수 있다. The dried mixed precursor may have a powder phase. Through the high-temperature heat treatment of the dried mixed precursor, an intermediate reactant containing the reactants between the precursors can be formed (S30). The high-temperature heat treatment may be performed within a range of about 1,000 ° C to 1,400 ° C, but the present invention is not limited thereto. In one embodiment, the high temperature heat treatment may cause a reaction between the first precursor of the La 2 O 3 compound and the second precursor of the Cr 2 O 3 compound, thereby forming a LaCrO 3 compound as the reactant .
상기 LaCrO3는 제 1 내지 제 3 전구체로부터 유래된 세라믹계 매트릭스 내에 분산 형성될 수 있다. 상기 세라믹계 매트릭스는 단일 상이거나 제 1 내지 제 3 전구체 간의 소결된 혼합물일 수 있으며 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. The LaCrO 3 may be dispersed in a ceramic matrix derived from the first to third precursors. The ceramic matrix may be a single phase or a sintered mixture of first to third precursors, but the present invention is not limited thereto.
상기 LaCrO3 화합물은 고온 산화 분위기에서 또는 환원 분위기에서 높은 전기 전도도를 유지할 수 있으며, P 형 도전성을 나타내어 세라믹계 대전 방지 구조체가 우수한 전기 전도성과 내구성을 확보하는 기초가 된다. 그에 따라, 제조될 세라믹계 대전 방지 구조체를 위하여 저항 값의 경시 변화가 적은 소재를 구현할 수 있게 된다. The LaCrO 3 compound can maintain a high electrical conductivity in a high-temperature oxidation atmosphere or in a reducing atmosphere, exhibits P-type conductivity, and is a basis for ensuring excellent electrical conductivity and durability of the ceramic antistatic structure. Accordingly, a material having a small change in resistance value over time can be realized for the ceramic-based antistatic structure to be manufactured.
전술한 것과 같이 고온 열처리에 의해 전구체들 간 반응이 이루어진 중간 반응체를 형성한 후, 상기 중간 반응체로부터 소성체를 형성한다(S40). 일 실시예에서, 상기 중간 반응체를 분쇄 공정을 통하여 분쇄하여 소정의 평균 입경을 갖는 분말 입자를 형성한다. 상기 분말 입자는 예를 들면, 0.5 ㎛ 내지 100 ㎛의 범위 내의 평균 직경을 가질 수 있다. 상기 분말 입자를 형성하기 위한 분쇄 공정은, 볼밀을 통해서 달성되거나 다른 공지의 분쇄기를 통하여 수행될 수도 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. After forming an intermediate reactant in which the precursors are reacted by the high-temperature heat treatment as described above, a sintered body is formed from the intermediate reactant (S40). In one embodiment, the intermediate reactant is pulverized through a pulverizing process to form powder particles having a predetermined average particle size. The powder particles may have an average diameter in the range of 0.5 mu m to 100 mu m, for example. The pulverizing step for forming the powder particles may be accomplished through a ball mill or other known pulverizer, but the present invention is not limited thereto.
상기 분말 입자는 소정의 바인더와 함께 혼합되고, 가압되어 소정의 중간 성형체를 형성할 수 있다. 상기 바인더는 예를 들면, 셀룰로오스계, 아크릴계, 또는 라텍스계의 유기 바인더가 사용될 수 있다. 상기 유기 바인더는 후술하는 소성체 형성을 위한 열처리 동안 완전히 연소되거나 불완전하게 연소되어 소성체 내에 카본 도펀트로서 기능하는 이점이 있다. 상기 중간 성형체는, 고온 열처리에 의한 소결 과정을 통하여 치밀화된 상기 소성체가 형성될 수 있다. The powder particles are mixed together with a predetermined binder and pressed to form a predetermined intermediate formed body. As the binder, for example, a cellulose-based, acrylic-based, or latex-based organic binder may be used. The organic binder is advantageous in that it is completely burned or incompletely burned during a heat treatment for forming a fired body to be described later and functions as a carbon dopant in the fired body. The compacted body may be formed by sintering by a high-temperature heat treatment.
다른 실시예에서, 상기 중간 반응체는, 분쇄 공정을 통하여 분쇄되어 소정의 평균 입경을 갖는 소입자가 형성될 수 있다. 상기 분쇄 공정은 비제한적 예로서, 볼밀 공정 또는 다른 분쇄 공정을 통해 수행될 수 있다. 상기 소입자는 예를 들면, 0.5 ㎛ 내지 100 ㎛의 범위 내의 평균 직경을 가질 수 있다. In another embodiment, the intermediate reactant may be pulverized through a pulverization process to form small particles having a predetermined average particle size. The milling process may be performed, for example, as a non-limiting example, through a ball mill process or other milling process. The small particles may have an average diameter in the range of, for example, 0.5 μm to 100 μm.
제조된 소입자는 바인더와 함께 혼합되고, 소정 과립화 공정을 통하여 중입자가 형성될 수 있다. 상기 과립화 공정은, 분무 건조기(spray drier)에 의해 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 소입자와 전술한 유기 바인더를 혼합한 후 분무 건조기를 통해 건조함으로써 과립화된 상기 중입자를 형성할 수 있다. 상기 중입자는, 용사 코팅 장치와 같은 코팅 장치에 공급되어 다양한 기재 상에 코팅되어 대전 방지 코팅층을 형성할 수 있다(S40). The prepared small particles are mixed together with the binder, and an intermediate particle can be formed through a predetermined granulation process. The granulation process may be performed by a spray drier. For example, the granules may be formed by mixing the small particles with the above-mentioned organic binder, followed by drying through a spray dryer. The dope may be supplied to a coating apparatus such as a spray coating apparatus and coated on various substrates to form an antistatic coating layer (S40).
상기 중간 반응체로부터 소입자를 거쳐 중입자를 형성하는 과정은 예시적이며, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 중간 반응체로부터 적합한 분쇄 공정을 거친 분말이 유기 바인더와 함께 혼합된 후 건조되어 소정의 코팅 장치에 제공될 수도 있다. 또한, 상기 대전 방지 코팅층은 필요에 따라 열처리될 수도 있다.The process of forming the intermediate member from the intermediate reactant through the small particles is illustrative, and the present invention is not limited thereto. For example, powders having been subjected to a suitable milling process from an intermediate reactant may be mixed with an organic binder, and then dried to be provided in a predetermined coating apparatus. In addition, the antistatic coating layer may be heat-treated if necessary.
제조된 소성체 형태의 대전 방지 구조체는 산화 분위기 또는 환원 분위기에 의존하지 않고, 적합한 전기 전도성을 확보할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따라 중입자 형태와 같이 분말화된 대전 방지 소재는 용사 코팅과 같은 방식으로 다양한 표면에 코팅될 수 있으며, 특히 알루미늄이나 스테인레스와 같은 금속 기재의 표면 상에 양호한 계면을 가지면서 코팅될 수 있다. 상기 용사 코팅은 비제한적으로 예로서 플라즈마 방식으로 수행될 수 있다.The resulting antistatic structure in the form of a sintered body does not depend on an oxidizing atmosphere or a reducing atmosphere and can ensure a suitable electrical conductivity. In addition, according to the embodiment of the present invention, the powdered antistatic material as in the form of an intaglio can be coated on various surfaces in the same manner as a spray coating, and in particular, has a good interface on the surface of a metal substrate such as aluminum or stainless steel Lt; / RTI > The spray coating may be performed in a plasma fashion, for example, but not exclusively.
실시예 1 Example 1
제 1 전구체인 10 중량%의 La2O3 화합물, 제 2 전구체인 5 중량%의 Cr2O3 화합물, 제 3 전구체인 80 중량%의 Y2O3 화합물과 5 중량%의 Al2O3 화합물을 준비한 후, 볼밀을 이용하여 24 시간 혼합하여 혼합 전구체를 형성하였다. 상기 혼합 전구체는, 건조되었으며, 1,200 ℃에서 2 시간 동안 열처리하여 상기 전구체들간 반응을 유도하였다. 이후 열처리되어 형성된 중간 반응체는 볼밀을 이용하여 1 ㎛의 평균 입경을 갖는 분말 입자로 분쇄되었다. 이후, 상기 분말 입자에 약간의 유기 바인더를 첨가하고 가압하여 중간 성형체를 만든 후 약 1,650 ℃에서 3 시간 동안 소결하여 치밀한 소성체를 얻었다. 이와 같이 얻어진 소성체는 약 109 Ω의 저항 값을 구현한다.Article of La 2 O 10% by weight of the precursor 3 compound, a 5% by weight of the second precursor Cr 2 O 3 compound, a third precursor of 80% by weight of Y 2 O 3 compound and 5% by weight of Al 2 O 3 After the compounds were prepared, they were mixed using a ball mill for 24 hours to form a mixed precursor. The mixed precursor was dried and heat-treated at 1,200 ° C for 2 hours to induce a reaction between the precursors. Thereafter, the intermediate reaction product formed by the heat treatment was pulverized into powder particles having an average particle size of 1 mu m using a ball mill. Then, a small amount of organic binder was added to the powder particles, and the resulting mixture was pressurized to form an intermediate compact, which was then sintered at about 1,650 DEG C for 3 hours to obtain a dense sintered compact. The thus obtained sintered body has a resistance value of about 10 9 Ω.
도 2a 및 도 2b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 소성체인 세라믹계 대전 방지 구조체의 미세 전자 현미경 사진과 X선 회절 분석 스펙트럼이다.FIGS. 2A and 2B are a micro-electron micrograph and an X-ray diffraction analysis spectrum of the ceramic-based antistatic structure, which is a fired product manufactured according to an embodiment of the present invention.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 소성체는 매우 치밀한 조직을 가짐을 알 수 있으며, LaCrO3 화합물이 형성된다. 도 2b를 참조하면, LaCrO3 화합물의 피크들이 관찰된다. 반응 잔류물인 La2O3 화합물, Cr2O3 화합물, Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 비정질 또는 매우 작은 나노 크기의 결정 입자로 존재할 수 있다. Referring to FIG. 2A, the sintered body of the present invention has a very dense structure, and a LaCrO 3 compound is formed. Referring to FIG. 2B, peaks of the LaCrO 3 compound are observed. The reaction residues La 2 O 3 compound, Cr 2 O 3 compound, Y 2 O 3 compound and Al 2 O 3 compound may exist as amorphous or very small nano-sized crystal grains.
실시예 2Example 2
상기 실시예 1 대비, 제 1 전구체인 La2O3 화합물을 55 중량%로 하고, 제 2 전구체인 Cr2O3 화합물을 30 중량%로 하고, 제 3 전구체인 Y2O3 화합물을 5 중량%와 Al2O3 화합물을 10 중량%로 조성비를 변경하고, 동일하게 혼합 전구체를 형성하고, 소성체를 제조하였다. 제조된 소성체는 약 103 Ω의 저항 값을 나타내었다. 마찬가지로 상기 소성체는, LaCrO3 화합물을 포함한다. Compared to Example 1, the La 2 O 3 compound as the first precursor was 55 wt%, the Cr 2 O 3 compound as the second precursor was 30 wt%, the Y 3 O 3 compound as the third precursor was 5 wt% % And an Al 2 O 3 compound in an amount of 10% by weight, and a mixed precursor was formed in the same manner to prepare a sintered body. The produced sintered body showed a resistance value of about 10 3 Ω. Similarly, the sintered body includes a LaCrO 3 compound.
실시예 3Example 3
제 1 전구체인 55 중량%의 La2O3 화합물, 제 2 전구체인 30 중량%의 Cr2O3 화합물과 제 3 전구체인 10 중량%의 Y2O3 혼합물 및 5 중량%의 Al2O3 화합물을 포함하는 혼합 전구체를 형성하였다. 상기 혼합 전구체는 제 1 내지 제 3 전구체를 볼밀을 이용하여 24 시간 혼합한 후 건조함으로써 형성되었다. 건조된 혼합 전구체를 1,200 ℃에서 2 시간 동안 열처리하여 전구체들 간의 반응을 유도하였다. 열처리된 분말을 볼밀을 이용하여 약 1 ㎛의 평균 입경을 갖는 소입자를 형성하고, 셀룰로오스계 바인더를 첨가하여 분무 건조기를 이용하여 직경이 약 100 ㎛ 정도의 중입자를 형성하였다. 상기 중입자를 플라즈마 용사 코팅 장비를 이용하여 고열로 분사하여 알루미늄 기재 상에 대전 방지 코팅층을 형성하였다. 상기 대전 방지 코팅층은 약 104 Ω의 저항 값을 나타내었다. A first precursor, a 55 wt% La 2 O 3 compound, a 30 wt% Cr 2 O 3 compound as a second precursor, a 10 wt% Y 2 O 3 mixture as a third precursor, and a 5 wt% Al 2 O 3 To form a mixed precursor comprising the compound. The mixed precursor was formed by mixing the first to third precursors using a ball mill for 24 hours and then drying. The dried mixed precursor was heat treated at 1,200 ° C for 2 hours to induce the reaction between the precursors. The heat-treated powder was formed into small particles having an average particle diameter of about 1 占 퐉 using a ball mill, and a cellulose binder was added thereto to form an intermediate particle having a diameter of about 100 占 퐉 using a spray drier. The intermediate layer was sprayed with high heat using a plasma spray coating equipment to form an antistatic coating layer on the aluminum substrate. The antistatic coating layer exhibited a resistance value of about 10 4 Ω.
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 용사 코팅된 대전 방지 코팅층의 미세 전자 현미경 사진과 X선 회절 분석 스펙트럼이다.3A and 3B are a micro-electron micrograph and an X-ray diffraction spectrum of the spray-coated antistatic coating layer prepared according to an embodiment of the present invention, respectively.
도 3a를 참조하면, 용사 코팅된 대전 방지 코팅층도 매우 치밀한 조직을 가짐을 알 수 있다. 또한, 도 3b를 참조하면, 대전 방지 코팅층에서도 결정질의 LaCrO3 화합물의 피크가 관찰된다. 용사 코팅은 고열의 용융 과정과 후행하는 급속 냉각 과정을 가지므로 나노 결정체가 다량 형성되며, 이는 도 3b의 30 ° (=2θ) 부근에서 관찰되는 봉우리 형태로 관찰된다. 이러한 봉우리 형태의 피크는 이트리아 나노 결정체와 다량의 알루미나 결정체를 반영한다.Referring to FIG. 3A, it can be seen that the spray-coated antistatic coating layer also has a very dense structure. Further, referring to FIG. 3B, a peak of the crystalline LaCrO 3 compound is also observed in the antistatic coating layer. Since the spray coating has a high-temperature melting process and a subsequent rapid cooling process, a large amount of nanocrystals are formed, which is observed in the form of peaks observed at 30 ° (= 2θ) in FIG. 3b. This peak-like peak reflects the yttria nanocrystals and large amounts of alumina crystals.
본 발명의 실시예에 따라 형성된 대전 방지 구조체, 즉 대전 방지 소결체 또는 대전 방지층은 전구체간 반응에 의해 형성된 우수한 전기 전도성을 갖는 산화물 계열의 LaCrO3 화합물을 포함함으로써 내열성을 가지면서도 저항 값의 경시 변화가 적은 대전 방지 코팅층을 구현할 수 있다. 또한, 제 1 내지 제 3 전구체 사이의 조성비를 조절하여 전기 저항 값을 약 103 내지 109 범위 내에서 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 열에 의한 열화가 없으므로 치밀한 소성체나 용사 코팅과 같은 방법을 통해 입체 또는 평면 형상 등 다양한 형상을 갖는 고밀도 및 고경도의 대전 방지 구조체가 제공될 수 있다. 이와 같이 본원 발명에 따른 방지 구조체가 갖는 고밀도 및 고경도는, 다양한 환경에서 사용되는 대전 방지 구조체가 내환경성과 내구성을 갖는 기초가 될 수 있다.The antistatic structure, that is, the antistatic sintered body or antistatic layer formed according to the embodiment of the present invention includes the oxide-based LaCrO 3 compound having excellent electrical conductivity formed by the reaction between the precursors, A small antistatic coating layer can be realized. Further, the first to the can be easily adjusted by adjusting the composition ratio between the third precursors for the electric resistance in the range from about 10 3 to 10 9. According to the embodiment of the present invention, since there is no deterioration due to heat, it is possible to provide an antistatic structure with high density and high hardness having various shapes such as a three-dimensional shape or a flat shape through a method such as dense sintered body or spray coating. As described above, the high density and the high hardness of the preventive structure according to the present invention can be used as the basis for the environmental resistance and durability of the antistatic structure used in various environments.
이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be clear to those who have knowledge.
Claims (15)
상기 세라믹계 매트릭스는,
La2O3 화합물;
Cr2O3 화합물; 및
Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물 중 적어도 어느 하나로부터 선택된 하나 또는 2 이상의 화합물을 포함하며,
상기 세라믹계 매트릭스는 비정질 또는 나노 크기의 결정립을 가지며,
상기 세라믹계 대전 방지 구조체는 P 형 도전성의 103 Ω내지 109 Ω 범위 내의 저항 값을 갖는 세라믹계 대전 방지 구조체.A ceramic-based antistatic structure in which a crystalline LaCrO 3 compound is formed in a ceramic matrix,
In the ceramic matrix,
La 2 O 3 compounds;
Cr 2 O 3 compound; And
At least one compound selected from Y 2 O 3 compounds and Al 2 O 3 compounds,
The ceramic matrix has amorphous or nano-sized crystal grains,
Wherein said ceramic-based antistatic structure has a resistance value within a range of 10 3 Ω to 10 9 Ω of P-type conductivity.
상기 세라믹계 대전 방지 구조체는 소결체 또는 코팅층인 세라믹계 대전 방지 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the ceramic antistatic structure is a sintered body or a coating layer.
10 ~ 55 중량%를 갖는 La2O3 화합물;
5 ~ 30 중량%를 갖는 Cr2O3 화합물; 및
15 ~ 85 합산 중량%를 갖는 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물을 포함하는 비정질 또는 나노 크기의 결정립을 갖는 세라믹계 매트릭스; 및
상기 세라믹계 매트릭스 내에 형성된 결정질의 LaCrO3 화합물을 포함하며,
상기 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 각각 0 내지 85 중량%의 범위 내의 중량%를 가지며,
상기 세라믹계 대전 방지 구조체는 P 형 도전성의 103 Ω 내지 109 Ω 범위 내의 저항 값을 갖는 세라믹계 대전 방지 구조체.As compared with the total of 100% by weight of the ceramic antistatic structure,
A La 2 O 3 compound having 10 to 55% by weight;
A Cr 2 O 3 compound having 5 to 30% by weight; And
A ceramic matrix having amorphous or nano-sized crystal grains including Y 2 O 3 compounds and Al 2 O 3 compounds having 15 to 85 combined weight percent; And
And a crystalline LaCrO 3 compound formed in the ceramic matrix,
The Y 2 O 3 compound and the Al 2 O 3 compound each have a weight percentage in the range of 0 to 85 wt%
Wherein said ceramic-based antistatic structure has a resistance value within a range of 10 3 Ω to 10 9 Ω of P-type conductivity.
상기 세라믹계 대전 방지 구조체는 소결체 또는 코팅층인 세라믹계 대전 방지 구조체.6. The method of claim 5,
Wherein the ceramic antistatic structure is a sintered body or a coating layer.
La2O3 화합물의 제 1 전구체, Cr2O3 화합물의 제 2 전구체, 그리고 Y2O3 화합물 및 Al2O3 화합물 중 적어도 어느 하나를 포함하는 제 3 전구체를 준비하는 단계;
상기 제 1 내지 제 3 전구체를 혼합하여 혼합 전구체를 형성하는 단계;
상기 혼합 전구체를 고온 열처리하여 중간 반응체를 형성하는 단계; 및
상기 중간 반응체로부터 소성체 또는 코팅층을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 제 1 내지 제 3 전구체의 전체 100 중량% 대비,
상기 제 1 전구체는, 10 ~ 55 중량%를 갖고,
상기 제 2 전구체는 5 ~ 30 중량%를 가지며,
상기 제 3 전구체는, 15 ~ 85 합산 중량%를 가지며,
상기 제 3 전구체의 상기 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물은 각각 0 내지 85 중량%의 범위 내의 중량%를 가지며,
상기 소성체 또는 코팅층은, 상기 La2O3 화합물, Cr2O3 화합물 및 Y2O3 화합물과 Al2O3 화합물 중 적어도 어느 하나 사이의 소결된 혼합물로 형성된 비정질 또는 나노 크기의 결정립을 갖는 세라믹계 매트릭스; 및
상기 세라믹계 매트릭스 내에 형성된 결정질의 LaCrO3 화합물을 포함하며,
상기 세라믹계 대전 방지 구조체는, P 형 도전성의 103 Ω 내지 109 Ω 범위 내의 저항 값을 갖는 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법.A method of manufacturing a ceramic-based antistatic structure,
Preparing a first precursor of a La 2 O 3 compound, a second precursor of a Cr 2 O 3 compound, and a third precursor comprising at least one of a Y 2 O 3 compound and an Al 2 O 3 compound;
Mixing the first to third precursors to form a mixed precursor;
Subjecting the mixed precursor to high temperature heat treatment to form an intermediate reactant; And
And forming a sintered body or a coating layer from the intermediate reactant,
The first precursor, the second precursor, and the third precursor,
Wherein the first precursor has 10 to 55 wt%
The second precursor has 5 to 30 wt%
Wherein the third precursor has 15-85 wt.% Total weight,
The Y 2 O 3 compound and the Al 2 O 3 compound of the third precursor each have a weight percentage in the range of 0 to 85 wt%
The sintered body or the coating layer may be formed of an amorphous or nano-sized crystal grains formed of a sintered mixture between the La 2 O 3 compound, Cr 2 O 3 compound, and Y 2 O 3 compound and Al 2 O 3 compound Ceramic matrix; And
And a crystalline LaCrO 3 compound formed in the ceramic matrix,
Wherein said ceramic-based antistatic structure has a resistance value of P-type conductivity within a range of 10 3 Ω to 10 9 Ω.
상기 중간 반응체는 상기 LaCrO3 화합물을 포함하는 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법.10. The method of claim 9,
The intermediate reactant A method for producing a ceramic-based anti-static structure including the LaCrO 3 compound.
상기 소성체는,
상기 중간 반응체를 분쇄하여 분말 입자를 형성하는 단계;
상기 분말 입자를 바인더와 함께 혼합하여 중간 성형체를 형성하는 단계; 및
상기 중간 성형체를 고온 열처리하여 소결하는 단계에 의해 형성되는 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법.10. The method of claim 9,
The sintered body may be,
Pulverizing the intermediate reactant to form powder particles;
Mixing the powder particles with a binder to form an intermediate molded body; And
And then sintering the intermediate formed body at a high temperature.
상기 코팅층은,
상기 중간 반응체를 분쇄하여 소입자를 형성하는 단계;
상기 소입자를 바인더와 함께 혼합하고 과립화 공정을 통하여 중입자를 형성하는 단계; 및
상기 중입자를 코팅 장치에 공급하여 기재 상에 코팅하는 단계에 의해 형성되는 세라믹계 대전 방지 구조체의 제조 방법. 10. The method of claim 9,
Wherein the coating layer comprises:
Pulverizing the intermediate reactant to form small particles;
Mixing the small particles together with a binder and forming granules through a granulation process; And
And supplying the intermediate member to a coating apparatus to coat the intermediate member on a substrate.
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| KR1020180046260A KR101948847B1 (en) | 2018-04-20 | 2018-04-20 | Antistatic structure and method of fabricating the same |
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