KR101939679B1 - Control Device For Gas Or Chemical Supply - Google Patents

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Abstract

본 발명의 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치는 복수의 밸브 포터들에 각각 연결된 복수의 솔레노이드 밸브쌍들을 가지며, 상기 밸브 포터들을 통해 외부로부터 주입된 공정 가스 또는 케미컬을 반도체 공정 챔버로 공급하는 메인 블록; 적어도 하나 이상의 결합 모듈을 통해, 상기 메인 블록의 적어도 일부 솔레노이드 밸브쌍들과 결합되는 오아 밸브들을 가지며, 각 결합 모듈 내에서 포빗 거동에 따라 상기 공정 가스 또는 케미컬을 하나의 솔레노이드 밸브쌍과 하나의 오아 밸브를 통해 상기 공정 챔버에 공급하는 오아 블록; 및 상기 각 결합 모듈에 포함된 상기 포빗의 이동을 제어하기 위해 포빗 제어신호를 생성하고, 상기 포빗 제어신호를 점퍼 핀을 통해 상기 오아 블록에 공급하는 제어부를 포함한다.The gas or chemical supply control device of the present invention includes a main block having a plurality of solenoid valve pairs each connected to a plurality of valve pots and supplying process gas or chemicals injected from the outside through the valve pots to the semiconductor processing chamber; And at least one solenoid valve pair coupled to at least a portion of the solenoid valve pairs of the main block through at least one coupling module, wherein the process gas or chemical in each coupling module is coupled to one solenoid valve pair and one An OA block for supplying the process chamber with a valve; And a control unit for generating a forbidden control signal for controlling the movement of the cobbles included in each of the coupling modules and for supplying the forbidden control signal to the OA block through a jumper pin.

Description

가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치{Control Device For Gas Or Chemical Supply}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a control device for supplying gas or chemical,

본 발명은 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a control device for supplying gas or chemical.

반도체 제조장비 등의 각종 산업 시설에 가스 또는 케미컬 공급장치가 활용되고 있다. 일반적으로, 가스 또는 케미컬 공급장치는 고압의 가스 또는 케미컬이 저장되는 저장탱크와, 연결관을 통해 저장탱크에 연결되며 저장탱크로부터 유입되는 가스 또는 케미컬의 흐름을 제어하여 프로세스 라인을 통해 공정 챔버에 공급하는 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 포함한다.Gas or chemical supply devices are used in various industrial facilities such as semiconductor manufacturing equipment. Generally, a gas or chemical supply device is connected to a storage tank through which a high pressure gas or chemical is stored, a connection to a storage tank through a connection pipe and controls the flow of gas or chemicals entering the storage tank, And a control device for supplying a gas or a chemical.

가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치는 저장탱크로부터 유입되는 가스 또는 케미컬의 흐름을 제어하기 위해 솔레노이드 밸브를 구비한다. 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치는 솔레노이드 밸브를 제어하여 가스 또는 케미컬 공급 여부, 및 유출되는 가스 또는 케미컬의 압력, 유량 등을 제어할 수 있다.A gas or chemical supply control device is provided with a solenoid valve for controlling the flow of gas or chemicals flowing from the storage tank. The gas or chemical supply control device controls the solenoid valve to control whether the gas or chemical is supplied, and the pressure or flow rate of the outgoing gas or chemical.

도 1에는 종래 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(1)가 도시되어 있다. FIG. 1 shows a conventional gas or chemical feeding control apparatus 1.

도 1을 참조하면, 종래 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(1)에는 메인 밸브 블록(A) 이외에 예비 밸브 블록(B)이 더 포함되어 있다. 복수의 솔레노이드 밸브들로 이루어진 메인 밸브 블록(A)은 정상 조건에서 동작한다. 반면, 복수의 솔레노이드 밸브들로 이루어진 예비 밸브 블록(B)은 메인 밸브 블록(A)의 단선, 압력 저하 등과 같은 이상 조건에서 동작한다. 종래 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(1)는 다양한 센서를 활용하여 메인 밸브 블록(A)의 고장 유무를 검출한다. 메인 밸브 블록(A)에 문제가 생긴 경우, 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(1)는 메인 밸브 블록(A)의 고장 솔레노이드 밸브들을 차단하고, 예비 밸브 블록(B)의 솔레노이드 밸브들을 이용하여 공정 챔버에 가스 또는 케미컬을 공급한다. Referring to FIG. 1, a conventional gas or chemical supply control device 1 further includes a spare valve block B in addition to the main valve block A. The main valve block A composed of a plurality of solenoid valves operates under normal conditions. On the other hand, the spare valve block B composed of a plurality of solenoid valves operates under abnormal conditions such as disconnection of the main valve block A, pressure drop, and the like. The conventional gas or chemical supply control device 1 detects the failure of the main valve block A by using various sensors. If there is a problem with the main valve block A, the gas or chemical supply control device 1 blocks the failure solenoid valves of the main valve block A and uses the solenoid valves of the spare valve block B And supplies gas or chemical to the chamber.

이러한 종래 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(1)는 다음과 같은 문제가 있다.The conventional gas or chemical supply control device 1 has the following problems.

첫째, 메인 밸브 블록(A)과 예비 밸브 블록(B)은 격리되어 있고 차지하는 면적이 크기 때문에 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(1)를 콤팩트하게 설계하기가 어렵다.First, since the main valve block A and the spare valve block B are isolated and occupy a large area, it is difficult to design the control device 1 for gas or chemical supply compactly.

둘째, 예비 밸브 블록(B)을 구성하는 솔레노이드 밸브들은 설계 면적을 고려하여 한정되어 설계되기 때문에, 일단 설계되고 나면 예비 밸브 블록(B)의 솔레노이드 밸브 개수를 늘리기 어렵다.Secondly, since the solenoid valves constituting the spare valve block B are designed to be limited in consideration of the design area, it is difficult to increase the number of solenoid valves of the spare valve block B once designed.

셋째, 서로 격리된 메인 밸브 블록(A)과 예비 밸브 블록(B)은 에어 호스로 서로 연결되기 때문에 작업성이 저하되고, 연결 작업시 이탈의 위험성이 있다.Third, since the main valve block A and the auxiliary valve block B isolated from each other are connected to each other by an air hose, workability is deteriorated, and there is a risk of disengagement during connection work.

넷째, 예비 밸브 블록(B)은 단자대 배선을 통해 제어신호를 공급받는다. 단자대 배선이 메인 밸브 블록(A)에 연결되기 때문에, 메인 밸브 블록(A)의 동작 이상시 예비 밸브 블록(B)에 대한 제어신호 공급이 불가능할 수 있다. Fourth, the spare valve block B is supplied with a control signal through the terminal block wiring. Since the terminal block wiring is connected to the main valve block A, it may not be possible to supply the control signal to the spare valve block B when the main valve block A malfunctions.

따라서, 본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 밸브 블록이 차지하는 면적을 줄이면서도 작업성 및 기능성이 향상되도록 한 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a control device for gas or chemical supply, which can improve workability and functionality while reducing the area occupied by the valve block.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치는 복수의 밸브 포터들에 각각 연결된 복수의 솔레노이드 밸브쌍들을 가지며, 상기 밸브 포터들을 통해 외부로부터 주입된 공정 가스 또는 케미컬을 상기 반도체 공정 챔버로 공급하는 메인 블록; 적어도 하나 이상의 결합 모듈을 통해, 상기 메인 블록의 적어도 일부 솔레노이드 밸브쌍들과 결합되는 오아 밸브들을 가지며, 각 결합 모듈 내에서 포빗 거동에 따라 상기 공정 가스 또는 케미컬을 하나의 솔레노이드 밸브쌍과 하나의 오아 밸브를 통해 상기 공정 챔버에 공급하는 오아 블록; 및 상기 각 결합 모듈에 포함된 상기 포빗의 이동을 제어하기 위해 포빗 제어신호를 생성하고, 상기 포빗 제어신호를 점퍼 핀을 통해 상기 오아 블록에 공급하는 제어부를 포함한다.In order to achieve the above object, the gas or chemical supply control device of the present invention has a plurality of solenoid valve pairs connected to a plurality of valve pots, and the process gas or chemical injected from the outside through the valve pots is supplied to the semiconductor A main block for supplying the process chamber; And at least one solenoid valve pair coupled to at least a portion of the solenoid valve pairs of the main block through at least one coupling module, wherein the process gas or chemical in each coupling module is coupled to one solenoid valve pair and one An OA block for supplying the process chamber with a valve; And a control unit for generating a forbidden control signal for controlling the movement of the cobbles included in each of the coupling modules and for supplying the forbidden control signal to the OA block through a jumper pin.

상기 각 결합 모듈은, 상기 하나의 솔레노이드 밸브쌍에 속하는 제1 싱글 밸브와 제2 싱글 밸브; 상기 포빗 제어신호에 따라 제1 싱글 밸브의 유출구와 상기 제2 싱글 밸브의 유출구 사이의 기체 유동 경로에서 거동하는 상기 포빗; 및 상기 기체 유동 경로와 연결된 상기 하나의 오아 밸브를 포함한다.Wherein each of the coupling modules comprises: a first single valve and a second single valve belonging to the one solenoid valve pair; The forbits acting in a gas flow path between an outlet of the first single valve and an outlet of the second single valve in accordance with the forbidden control signal; And the one air valve connected to the gas flow path.

본 발명의 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치는 상기 제1 싱글 밸브와 상기 제2 싱글 밸브의 압력 변화를 감지하는 기체 압력 센서를 더 포함한다.The gas or chemical supply control device of the present invention further includes a gas pressure sensor for sensing a change in pressure of the first single valve and the second single valve.

상기 포빗은, 상기 제1 싱글 밸브와 상기 제2 싱글 밸브의 압력 변화가 없는 경우, 상기 기체 유동 경로의 중간에 위치되도록 거동이 제어된다.The behavior of the comb is controlled so as to be located in the middle of the gas flow path when there is no pressure change between the first single valve and the second single valve.

상기 포빗은, 상기 제1 싱글 밸브와 상기 제2 싱글 밸브 중 어느 하나의 압력 변화가 있는 경우, 압력 변화가 생긴 싱글 밸브의 유출구를 차단하도록 거동이 제어된다.The comb is controlled such that, when there is a pressure change of either the first single valve or the second single valve, the bundle shuts off the outlet of the single valve in which the pressure change has occurred.

상기 오아 블록은 상기 메인 블록에 중첩되어 결합된다.The OA block is superimposed on the main block.

본 발명은 다음과 같은 효과를 가진다.The present invention has the following effects.

첫째, 메인 블록과 오아 블록은 1 모듈로 일원화될 수 있기 때문에, 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 콤팩트하게 설계하기가 용이하다.First, since the main block and the OA block can be unified into one module, it is easy to design a gas or chemical supply control device compactly.

둘째, 오아 블록은 점퍼 핀 연결 구성을 취하기 때문에, 설계 이후에도 필요에 따라 오아 블록의 크기를 변경해야 할 경우 상대적으로 리모델링 작업이 쉬워지고, 또한 그 경우 신호 전달의 오류 발생 가능성도 획기적으로 낮아진다. Second, since the OA block adopts a jumper pin connection structure, when the OA block size is changed as needed after the design, the remodeling operation becomes relatively easy, and in that case, the possibility of error in signal transmission also drastically decreases.

셋째, 메인 블록은 D-SUB 코넥터 연결 구성을 취하고, 오아 블록은 점퍼 핀 연결 구성을 취하기 때문에, 작업성이 향상되고, 연결 작업시 이탈의 위험성이 없다.Third, since the main block adopts a D-SUB connector connection configuration and the OA block adopts a jumper pin connection configuration, workability is improved and there is no risk of separation during connection work.

도 1은 종래 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 보여주는 도면들이다.
도 4는 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치의 결합 모듈을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 결합 모듈의 동작 상태를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치의 배선 방식을 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic view of a conventional gas or chemical supply control device.
FIGS. 2 and 3 are views showing a control device for supplying a gas or a chemical according to the present invention.
4 is a view showing a coupling module of a control device for supplying a gas or a chemical according to the present invention.
5 is a view showing an operation state of the coupling module of FIG.
6 is a view for explaining a wiring method of a gas or chemical supply control device according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 보여주는 도면들이다.FIGS. 2 and 3 are views showing a control device for supplying a gas or a chemical according to the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)는 1 모듈로 일원화될 수 있는 메인 블록(100)과 오아 블록(200)을 포함하며, 이들(100,200)의 동작을 제어할 수 있는 제어부(20)를 더 포함할 수 있다.2 and 3, a gas or chemical supply control device 10 according to the present invention includes a main block 100 and an OA block 200 that can be unified into one module, And a control unit 20 for controlling the operation of the display unit 20.

메인 블록(100)은 복수의 솔레노이드 밸브들을 갖는다. 솔레노이드 밸브들은 솔레노이드 밸브쌍들(150)로 구현될 수 있으며, 각 솔레노이드 밸브쌍(150)은 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B)를 포함할 수 있다. 각 솔레노이드 밸브쌍(150)은 복수의 밸브 포터들(미도시) 각각에 연결되어, 밸브 포터로부터 주입되는 공정 가스 또는 케미컬을 반도체 공정 챔버(미도시)에 공급한다. 밸브 포터들은 연결관을 통해 저장탱크에 연결되며 저장탱크로부터 유입되는 공정 가스 또는 케미컬을 솔레노이드 밸브쌍들(150)에 공급한다. The main block 100 has a plurality of solenoid valves. The solenoid valves may be implemented with solenoid valve pairs 150, and each solenoid valve pair 150 may include a first single valve 150A and a second single valve 150B. Each solenoid valve pair 150 is connected to each of a plurality of valve pots (not shown) to supply a process gas or chemical injected from the valve pot to a semiconductor processing chamber (not shown). The valve pots are connected to the storage tank via a connection pipe and supply the process gas or chemical that enters the storage tank to the solenoid valve pairs 150. [

오아 블록(200)은 적어도 하나 이상의 솔레노이드 밸브를 갖는다. 본 발명에서는 이 솔레노이드 밸브를 오아 밸브(250)라 칭한다. 오아 블록(200) 내의 오아 밸브(250)는 적어도 하나 이상의 결합 모듈(230)을 통해, 메인 블록(100)의 적어도 일부 솔레노이드 밸브쌍들과 결합될 수 있다. The OA block 200 has at least one solenoid valve. In the present invention, this solenoid valve is referred to as an " on-off valve " The OA valve 250 in the OA block 200 may be coupled to at least some of the solenoid valve pairs of the main block 100 through at least one of the coupling modules 230. [

오아 블록(200) 내의 결합 모듈(230) 및 오아 밸브(250) 각각의 개수는 필요에 따라 1개 ~ N개(N은 2이상의 양의 정수) 중 어느 하나로 설계될 수 있다. 여기서, N은 메인 블록(100)을 구성하는 솔레노이드 밸브쌍들(150)의 개수이다. 오아 블록(200)은 메인 블록(100)에 중첩되어 결합되기 때문에, 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)에서 오아 블록(200)의 설치를 위해 별도 면적을 마련할 필요가 없으며, 따라서 컴팩트한 장치 구성이 가능한 이점이 있다. 다시 말해, 결합 모듈(230)과 오아 밸브(250) 개수를 솔레노이드 밸브쌍들(150)의 개수만큼 늘리더라도 이들(230, 250)로 인해 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 면적이 증가되지 않는다. The number of each of the coupling module 230 and the OA valve 250 in the OA block 200 may be designed to be any one of 1 to N (where N is a positive integer of 2 or more) as needed. Here, N is the number of solenoid valve pairs 150 constituting the main block 100. Since the OA block 200 is superimposed on and coupled to the main block 100, it is not necessary to provide a separate area for installing the OA block 200 in the gas or chemical supply control device 10, There is an advantage that the device can be configured. In other words, even if the number of the coupling module 230 and the on-off valve 250 is increased by the number of the solenoid valve pairs 150, the area of the gas or chemical supply control device 10 is increased It does not.

메인 블록(100)과 오아 블록(200)은 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 앞면(FS)에 설치될 수 있다. 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 뒷면(BS)에는 복수의 밸브 포터들이 설치될 수 있다. 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)에서, 메인 블록(100)의 솔레노이드 밸브쌍들(150)은 앞면(FS)을 관통하여 복수의 밸브 포터들에 각각 연결될 수 있다. 그리고, 오아 블록(200)을 구성하는 결합 모듈(230)은 스크류를 통해 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 앞면(FS)에 체결될 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 공지의 다양한 체결 방식을 통해 체결될 수 있다.The main block 100 and the OA block 200 may be installed on the front surface FS of the control device 10 for supplying a gas or a chemical. A plurality of valve pots may be installed on the back surface (BS) of the gas or chemical supply control device (10). In the gas or chemical supply control device 10, the solenoid valve pairs 150 of the main block 100 may be connected to the plurality of valve pots through the front surface FS, respectively. The coupling module 230 constituting the OA block 200 may be fastened to the front surface FS of the gas or chemical supply control apparatus 10 through a screw, but the present invention is not limited thereto, Lt; / RTI >

가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 뒷면(BS)에는 코넥터(미도시)와 점퍼 핀(미도시)이 설치될 수 있다. 코넥터는 전원부(미도시)에 연결되어 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 동작에 필요한 구동 전원을 인가한다. 점퍼 핀은 점퍼 배선을 통해 오아 블록(200)에 전기적으로 연결되어, 제어부(20)에서 생성된 포빗 제어신호를 오아 블록(200)에 공급한다. 구동되는 점퍼 핀의 개수는 오아 밸브(250)의 개수와 동일하게 설정될 수 있다. 도 2 및 도 3과 같이 오아 밸브(250)의 개수가 6개인 경우, 점퍼 핀 J1~J16 중에서, J1~J6만이 구동되도록 셋팅될 수 있다. 이러한 점퍼 핀 연결 구성에 따르면, 연결 작업성 및 신호 전달 기능성이 대폭 좋아진다. 따라서, 필요에 따라 오아 블록(200)의 크기를 변경해야 할 경우 상대적으로 리모델링 작업이 쉬워지고, 또한 그 경우 신호 전달의 오류 발생 가능성도 획기적으로 낮아진다. A connector (not shown) and a jumper pin (not shown) may be installed on the back surface (BS) of the gas or chemical supply control device 10. The connector is connected to a power supply unit (not shown) to apply drive power necessary for operation of the gas or chemical supply control device 10. The jumper pin is electrically connected to the OA block 200 through the jumper wiring, and supplies the OA block 200 with the forbidden control signal generated by the control unit 20. [ The number of jumper pins to be driven may be set equal to the number of the OA valves 250. [ As shown in FIGS. 2 and 3, when the number of the on-off valves 250 is six, only j1 to j6 among the jumper pins J1 to J16 can be set to be driven. This jumper pin connection configuration greatly improves the connection workability and signal transfer functionality. Therefore, if the size of the OA block 200 needs to be changed as needed, the remodeling operation becomes relatively easy, and in that case, the possibility of occurrence of error in signal transmission also drastically decreases.

제어부(20)는 각 결합 모듈에 포함된 포빗의 이동을 제어하기 위해 포빗 제어신호를 생성하고, 이 포빗 제어신호를 점퍼 핀을 통해 오아 블록(200)에 공급한다. 제어부(20)는 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)의 내부에 실장될 수 있다.The control unit 20 generates a forbidden control signal to control the movement of the cobbles included in each coupling module, and supplies the cobbling control signal to the OA block 200 through the jumper pins. The control unit 20 may be mounted inside the control unit 10 for supplying gas or chemical.

도 4는 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치의 결합 모듈을 보여주는 도면이다. 그리고, 도 5는 도 4의 결합 모듈의 동작 상태를 보여주는 도면이다.4 is a view showing a coupling module of a control device for supplying a gas or a chemical according to the present invention. FIG. 5 is a view showing an operation state of the coupling module of FIG. 4. FIG.

도 4를 참조하면, 오아 블록(200)에서 솔레노이드 밸브쌍들(150)과 오아 밸브(250)는 결합 모듈(230)에 의해 일원화된다.Referring to FIG. 4, in the OA block 200, the solenoid valve pairs 150 and the OA valve 250 are unified by a coupling module 230.

각 결합 모듈(230)은 솔레노이드 밸브쌍(150)에 속하는 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B), 제어부(20)로부터의 포빗 제어신호에 따라 제1 싱글 밸브(150A)의 유출구와 제2 싱글 밸브(150B)의 유출구 사이의 기체(가스 또는 케미컬) 유동 경로에서 거동하는 포빗, 및 기체 유동 경로와 연결된 하나의 오아 밸브(250)를 포함한다.Each coupling module 230 includes a first single valve 150A and a second single valve 150B belonging to the solenoid valve pair 150 and a second single valve 150B connected to the first single valve 150A in accordance with a forbid control signal from the controller 20. [ (Gas or chemical) flow path between the outlet and the outlet of the second single valve 150B, and an air valve 250 connected to the gas flow path.

각 결합 모듈(230)은 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B)의 압력 변화에 의한 포빗 거동에 따라 다르게 동작될 수 있다. 이를 위해, 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치(10)는 제1 및 제2 싱글 밸브(150A,150B)의 압력 변화를 감지하는 기체 압력 센서(미도시)를 더 포함할 수 있다. 기체 압력 센서는 제1 및 제2 싱글 밸브(150A,150B) 각각에 접속된 연결 배관에 설치될 수 있다.Each coupling module 230 can be operated differently according to the cobalt behavior due to the pressure change of the first single valve 150A and the second single valve 150B. To this end, the gas or chemical supply control device 10 may further include a gas pressure sensor (not shown) for sensing the pressure change of the first and second single valves 150A and 150B. The gas pressure sensor may be installed in a connection pipe connected to each of the first and second single valves 150A and 150B.

각 결합 모듈(230)에서, 포빗 거동에 따른 공정 가스 또는 케미컬 유출 과정을 설명하면 다음과 같다. The process gas or chemical outflow process according to the cobalt behavior in each coupling module 230 will be described below.

도 5를 참조하면, (A)와 같은 기본 상태에서는 제어부(20)로부터의 포빗 제어신호에 따라 제1 싱글 밸브(150A)의 유출구(X)와 제2 싱글 밸브(150B)의 유출구(Y)는 포빗에 의해 모두 차단된다.5, in the basic state as shown in (A), the outlet X of the first single valve 150A and the outlet Y of the second single valve 150B are controlled in accordance with the forbid control signal from the controller 20, Are all blocked by the fork.

그리고, (B)와 같이 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B)의 압력 변화가 없는 경우, 제어부(20)로부터의 포빗 제어신호에 의한 포빗 거동에 따라 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B) 모두로부터 공정 가스 또는 케미컬이 유출되며, 이 공정 가스 또는 케미컬이 오아 밸브(250)로 유입된다.When there is no pressure change between the first single valve 150A and the second single valve 150B as shown in (B), the first single valve 150A And the second single valve 150B, and the process gas or the chemical flows into the OA valve 250. In this case,

이 상태에서, (C)와 같이 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B) 중 어느 하나의 압력 변화가 있는 경우, 포빗은 제어부(20)로부터의 포빗 제어신호에 따라 압력 변화가 생긴 싱글 밸브의 유출구(예컨대, X)를 차단하도록 거동이 제어된다. 그 결과, 압력 변화가 없는 정상적인 싱글 밸브의 유출구(예컨대, Y)를 통해서만 공정 가스 또는 케미컬이 유출되며, 이 공정 가스 또는 케미컬이 오아 밸브(250)로 유입된다.In this state, when there is a pressure change of any one of the first single valve 150A and the second single valve 150B as shown in (C), the brush changes its pressure in accordance with the forbid control signal from the control unit 20 (E.g., X) of the single valve that is formed. As a result, the process gas or chemical flows out only through the outlet (for example, Y) of the normal single valve without pressure change, and this process gas or chemical flows into the OA valve 250.

다시 말해, 제1 싱글 밸브(150A)와 제2 싱글 밸브(150B) 중 어느 하나에 압력 변화가 생기면, 비 정상 압력을 나타내는 싱글 밸브의 출력은 포빗에 의해 차단되고, 정상 압력을 나타내는 싱글 밸브만 출력이 가능하게 제어된다.In other words, when a pressure change occurs in either the first single valve 150A or the second single valve 150B, the output of the single valve indicating the abnormal pressure is blocked by the fork, and only the single valve Output is controlled as much as possible.

도 6은 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치의 배선 방식을 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a wiring method of a gas or chemical supply control device according to the present invention.

도 6을 참조하면, PLC 전원부는 제어부(20)가 실장되는 PCB 보드와 코넥터를 통해 연결된다. 그리고, PCB 보드는 메인 블록(100)과 D-SUB 코넥터를 통해 연결된다. D-SUB 코넥터는 기존의 플랫 케이블에 비해 케이블 절연 보호에 보다 유리하다. 또한, 오아 블록(200)은 점퍼 핀을 통해 포빗 제어신호를 공급받음으로써, 메인 블록(100)과 동작이 연동된다. D-SUB 코넥터와 점퍼 핀은 모두 콘트롤 장치의 작업성 및 기능성 향상에 기여한다.Referring to FIG. 6, the PLC power supply unit is connected to the PCB board on which the controller 20 is mounted through a connector. The PCB board is connected to the main block 100 through a D-SUB connector. D-SUB connectors are more advantageous for protecting cable insulation than conventional flat cables. In addition, the OA block 200 receives operation of the main block 100 by receiving a control signal through the jumper pins. Both the D-SUB connector and jumper pins contribute to improving the operability and functionality of the control unit.

이러한 본 발명은 다음과 같은 효과를 가진다.The present invention has the following effects.

첫째, 메인 블록과 오아 블록은 1 모듈로 일원화될 수 있기 때문에, 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치를 콤팩트하게 설계하기가 용이하다.First, since the main block and the OA block can be unified into one module, it is easy to design a gas or chemical supply control device compactly.

둘째, 오아 블록은 점퍼 핀 연결 구성을 취하기 때문에, 설계 이후에도 필요에 따라 오아 블록의 크기를 변경해야 할 경우 상대적으로 리모델링 작업이 쉬워지고, 또한 그 경우 신호 전달의 오류 발생 가능성도 획기적으로 낮아진다. Second, since the OA block adopts a jumper pin connection structure, when the OA block size is changed as needed after the design, the remodeling operation becomes relatively easy, and in that case, the possibility of error in signal transmission also drastically decreases.

셋째, 메인 블록은 D-SUB 코넥터 연결 구성을 취하고, 오아 블록은 점퍼 핀 연결 구성을 취하기 때문에, 작업성이 향상되고, 연결 작업시 이탈의 위험성이 없다.Third, since the main block adopts a D-SUB connector connection configuration and the OA block adopts a jumper pin connection configuration, workability is improved and there is no risk of separation during connection work.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치는 밸브 블록이 차지하는 면적을 줄이면서도 작업성 및 기능성이 향상시킬 수 있다.\As described above, the gas or chemical supply control device according to the present invention can improve workability and functionality while reducing the area occupied by the valve block.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

10: 가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치 20: 제어부
100: 메인 블록 150: 솔레노이드 밸브쌍
200: 오아 블록 230: 결합 모듈
250: 오아 밸브 400: 점퍼 핀10: control device for supplying gas or chemical 20:
100: main block 150: solenoid valve pair
200: OA Block 230: Coupling Module
250: OA valve 400: Jumper pin

Claims (6)

가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치로서, 상기 장치는,
복수의 밸브 포터들에 각각 연결된 복수의 솔레노이드 밸브쌍들을 가지며, 상기 밸브 포터들을 통해 외부로부터 주입된 공정 가스 또는 케미컬을 반도체 공정 챔버로 공급하는 메인 블록;
둘 또는 그 초과의 결합 모듈들을 통해 상기 메인 블록의 적어도 일부 솔레노이드 밸브쌍들과 결합되는 둘 또는 그 초과의 오아 밸브들을 가지며, 각 결합 모듈 내에서 포빗 거동에 따라 상기 공정 가스 또는 케미컬을 하나의 솔레노이드 밸브쌍과 하나의 오아 밸브를 통해 상기 공정 챔버에 공급하는 둘 또는 그 초과의 오아 블록들; 및
상기 각 결합 모듈에 포함된 상기 포빗의 이동을 제어하기 위해 포빗 제어신호를 생성하고, 상기 포빗 제어신호를 점퍼 핀을 통해 상기 오아 블록에 공급하는 제어부;를 포함하고
상기 둘 또는 그 초과의 결합 모듈들은 상기 둘 또는 그 초과의 오아 밸브들에 일대일 대응하며, 상기 메인 블록에 커플링되는 상기 둘 또는 그 초과의 오아 블록들의 수가 증가하더라도 상기 콘트롤 장치의 크기는 유지되도록, 각각의 오아 블록은 상기 메인 블록이 차지하는 영역 내에서 상기 메인 블록에 직접적으로(directly) 그리고 분리가능하게(detachably) 커플링되는,
가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치.1. A control device for supplying gas or chemical, comprising:
A main block having a plurality of solenoid valve pairs each connected to a plurality of valve pots and supplying process gas or chemicals injected from the outside through the valve pots to the semiconductor process chamber;
Two or more OA valves coupled to at least some of the solenoid valve pairs of the main block via two or more of the coupling modules, wherein, in each coupling module, the process gas or chemical is supplied to one solenoid Two or more OA blocks supplying the process chamber with a valve pair and a single inlet valve; And
And a control unit for generating a forbidden control signal to control the movement of the cobalt included in each of the coupling modules and supplying the cobalt control signal to the OA block through a jumper pin
Wherein the two or more coupling modules correspond one to one to the two or more OA valves and that the size of the control device is maintained even if the number of the two or more OA blocks coupled to the main block increases Each OA block being directly and detachably coupled to the main block within an area occupied by the main block,
Control device for supplying gas or chemical. 제 1 항에 있어서,
상기 각 결합 모듈은,
상기 하나의 솔레노이드 밸브쌍에 속하는 제1 싱글 밸브와 제2 싱글 밸브;
상기 포빗 제어신호에 따라 제1 싱글 밸브의 유출구와 상기 제2 싱글 밸브의 유출구 사이의 기체 유동 경로에서 거동하는 상기 포빗; 및
상기 기체 유동 경로와 연결된 상기 하나의 오아 밸브;를 포함하는,
가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치.The method according to claim 1,
Each of the coupling modules includes:
A first single valve and a second single valve belonging to the one solenoid valve pair;
The forbits acting in a gas flow path between an outlet of the first single valve and an outlet of the second single valve in accordance with the forbidden control signal; And
And said one air valve connected to said gas flow path.
Control device for supplying gas or chemical. 제 2 항에 있어서,
상기 제1 싱글 밸브와 상기 제2 싱글 밸브의 압력 변화를 감지하는 기체 압력 센서를 더 포함하는,
가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치.3. The method of claim 2,
Further comprising a gas pressure sensor for sensing a change in pressure of the first single valve and the second single valve,
Control device for supplying gas or chemical. 제 3 항에 있어서,
상기 포빗은,
상기 제1 싱글 밸브와 상기 제2 싱글 밸브의 압력 변화가 없는 경우, 상기 기체 유동 경로의 중간에 위치되도록 상기 포빗의 거동이 제어되는,
가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치.The method of claim 3,
The comb-
Wherein the first single valve and the second single valve are arranged such that the behavior of the first and second valves is controlled so as to be positioned in the middle of the gas flow path,
Control device for supplying gas or chemical. 제 3 항에 있어서,
상기 포빗은,
상기 제1 싱글 밸브와 상기 제2 싱글 밸브 중 어느 하나의 압력 변화가 있는 경우, 압력 변화가 생긴 싱글 밸브의 유출구를 차단하도록 상기 포빗의 거동이 제어되는,
가스 또는 케미컬 공급용 콘트롤 장치. The method of claim 3,
The comb-
Wherein the behavior of the cobalt is controlled so as to block the outlet of the single valve in which a pressure change occurs when there is a pressure change of either the first single valve or the second single valve,
Control device for supplying gas or chemical. 삭제delete
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