KR101938185B1

KR101938185B1 - Apparatus for generating multi-wavelength light with single light source

Info

Publication number: KR101938185B1
Application number: KR1020170043128A
Authority: KR
Inventors: 이재명
Original assignee: 한국산업기술대학교 산학협력단
Priority date: 2017-04-03
Filing date: 2017-04-03
Publication date: 2019-04-11
Also published as: KR20180112343A

Abstract

본 발명은 검사 대상물 상의 동일 위치에 대하여 다른 파장의 광을 조사하여 검사를 수행하는 테스트 장치에 장착되는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치에 관한 것으로, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부; 상기 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및 상기 광 스위칭부에서 출력된 광 및 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함한다.The present invention relates to a multi-wavelength light generating device using one light source mounted on a test apparatus for performing inspection by irradiating light of a different wavelength to the same position on an object to be inspected, the multi-wavelength light generating apparatus comprising: a broadband light source unit for outputting light of a wide band; A band that receives light output from the broadband light source through a circulator and transmits light corresponding to the first band and reflects light corresponding to a second band excluding the first band to the circulator A selection unit; An optical switching unit for blocking or transmitting light transmitted through the band selection unit; And an optical coupling unit for receiving the light output from the optical switching unit and the light reflected by the band selection unit through the circulator, and coupling the input light.

Description

하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치{APPARATUS FOR GENERATING MULTI-WAVELENGTH LIGHT WITH SINGLE LIGHT SOURCE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a multi-wavelength light generator using a single light source,

본 발명은 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 검사 대상물 상의 동일 위치에 대하여 다른 파장의 광을 조사하여 검사를 수행하는 테스트 장치에 장착되는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a multi-wavelength light generating device using a single light source, and more particularly to a multi-wavelength light generating device using a single light source mounted on a testing device for performing inspection by irradiating light of a different wavelength to the same position on an object to be inspected And a light generating device.

반도체 검사 장비 등 다양한 검사 장치에 있어서, 검사 대상물 상의 동일한 위치에 상이한 파장의 광을 조사해야 하는 경우가 있는데, 이를 위하여 서로 다른 파장 대역을 갖는 복수개의 광원을 구비하고, 광섬유 등을 이용하여 약 수백㎛의 지름을 가지는 조사면에 각 광원이 조사하는 광을 조사하게 된다.In a variety of inspection apparatuses such as a semiconductor inspection apparatus, there is a case where light of a different wavelength is irradiated to the same position on the object to be inspected. For this purpose, a plurality of light sources having different wavelength bands are provided, The light irradiated by each light source is irradiated onto the irradiation surface having a diameter of 占 퐉.

도 1은 종래의 반도체 검사 장치의 광학부의 구조를 개략적으로 나타낸 도면으로, 도 1에 도시된 바와 같은 종래의 광학부는, 백색광을 생성하는 백색 광원(10), 적색광을 생성하는 적색 광원(20), 일단으로 백색 광원(10) 또는 적색 광원(20)으로부터의 광을 수광하고 타단으로 광을 조사하는 광섬유(Optical Fiber)(30)를 구비하여, 약 수백㎛×수백㎛의 면적을 가지는 검사 대상물의 광수신단(40)에 대하여 가시 대역(약 400 ~ 700nm)의 광 또는 적색 대역의 광(약 610 ~ 700nm)을 출력한다.1, a conventional optical unit as shown in FIG. 1 includes a white light source 10 for generating white light, a red light source 20 for generating red light, And an optical fiber 30 for receiving light from the white light source 10 or the red light source 20 at one end and irradiating the light at the other end to form an optical fiber 30 having an area of about several hundreds of micrometers x several hundreds of micrometers, (About 400 to 700 nm) or red light (about 610 to 700 nm) with respect to the light receiving end 40 of the light receiving section 40.

그러나, 상술한 종래의 반도체 검사 장치용 광학부에 의하면, 백색 광원과 적색 광원을 따로 구비해야 하므로, 복수개의 광원에서 조사되는 광을 동일 위치에 조사하기 위하여 광섬유와 같은 복잡한 구조가 필요하며, 검사 대상물의 광수신단을 기준으로 상이한 광원에 의해 제공되는 광의 조도를 조정하기 어려운 문제점이 있다.
However, according to the conventional optical unit for a semiconductor inspection apparatus, since a white light source and a red light source must be separately provided, a complicated structure such as an optical fiber is required for irradiating the light irradiated from a plurality of light sources at the same position, There is a problem in that it is difficult to adjust the illuminance of the light provided by the different light sources based on the light receiving end of the object.

대한민국등록특허 제10-0597071호Korea Patent No. 10-0597071

본 발명의 목적은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 광대역을 가지는 단일 광원의 특정 대역을 반사 또는 투과함으로써 상이한 파장의 광을 조사할 수 있는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a multi-wavelength light generator using one light source capable of emitting light of different wavelengths by reflecting or transmitting a specific band of a single light source having a wide band have.

또한, 본 발명의 목적은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 다양한 대역을 가지는 검사용 광에 대하여 각 대역별로 광량을 조절할 수 있는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 제공하는데 있다.
It is another object of the present invention to provide a multi-wavelength light generator using one light source capable of adjusting the light amount of each band for inspection light having various bands in order to solve the problems of the related art.

상기 목적을 달성하기 위한 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치의 제1 실시예는, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부; 상기 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및 상기 광 스위칭부에서 출력된 광 및 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함한다.In order to achieve the above object, a first embodiment of a multi-wavelength light generator using one light source includes a broadband light source unit for outputting a wide-band light; A band that receives light output from the broadband light source through a circulator and transmits light corresponding to the first band and reflects light corresponding to a second band excluding the first band to the circulator A selection unit; An optical switching unit for blocking or transmitting light transmitted through the band selection unit; And an optical coupling unit for receiving the light output from the optical switching unit and the light reflected by the band selection unit through the circulator, and coupling the input light.

상기 목적을 달성하기 위한 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치의 제2 실시예는, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제2 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부; 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및 상기 광 스위칭부에서 출력된 광 및 상기 대역 선택부를 투과한 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함한다.In order to achieve the above object, a second embodiment of a multi-wavelength light generator using one light source includes a broadband light source for outputting light of a wide band; A band that receives light output from the wideband light source unit through a circulator and transmits light corresponding to a second band and reflects light corresponding to a first band other than the second band to the circulator A selection unit; An optical switching unit receiving light reflected by the band selection unit through the circulator and blocking or transmitting the input light; And an optical coupling unit for receiving the light output from the optical switching unit and the light transmitted through the band selection unit, and coupling the input light.

상기 목적을 달성하기 위한 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치의 제3 실시예는, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제3 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하고, 상기 제3 대역을 제외한 나머지 대역에 해당하는 광을 투과하는 제1 대역 선택부; 상기 제1 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 제1 광 스위칭부; 상기 제1 대역 선택부를 투과한 광을 입력받아, 제4 대역에 해당하는 광을 투과하는 제2 대역 선택부; 상기 제2 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 제2 광 스위칭부; 상기 서큘레이터를 통하여 상기 제1 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 차단 또는 투과하는 제3 광 스위칭부; 및 상기 제1 광 스위칭부, 상기 제2 광 스위칭 부 및 상기 제3 광 스위칭부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함한다.In order to achieve the above object, a third embodiment of a multi-wavelength light generator using one light source includes a broadband light source unit for outputting a wide-band light; A first band selection unit which receives light output from the wideband light source unit through a circulator, reflects light corresponding to a third band to the circulator, and transmits light corresponding to the remaining bands except for the third band, ; A first optical switching unit for blocking or transmitting light transmitted through the first band selection unit; A second band selector for receiving light transmitted through the first band selector and transmitting light corresponding to the fourth band; A second optical switch for blocking or transmitting light transmitted through the second band selector; A third optical switching unit receiving the light reflected by the first band selection unit through the circulator and blocking or transmitting the input light; And an optical coupling unit for receiving the light output from the first optical switching unit, the second optical switching unit, and the third optical switching unit and coupling the input light.

상기 목적을 달성하기 위한 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치의 제4 실시예는, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부; 상기 대역 선택부를 투과한 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제1 가변 광 감쇠부; 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제2 가변 광 감쇠부; 상기 제1 가변 광 감쇠부 및 상기 제2 가변 광 감쇠부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부; 및 상기 광 결합부를 통하여 상기 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 상기 제1 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제1 대역의 광을 차단하고, 상기 제2 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제2 대역의 광량을 조절하는 광량조절부를 포함한다.To achieve the above object, a fourth embodiment of the multi-wavelength light generator using one light source includes a broadband light source unit for outputting light of a wide band; A band that receives light output from the broadband light source through a circulator and transmits light corresponding to the first band and reflects light corresponding to a second band excluding the first band to the circulator A selection unit; A first variable optical attenuator which variably attenuates light transmitted through the band selection unit; A second variable optical attenuator for receiving light reflected by the band selection unit through the circulator and variably attenuating light with respect to the input light; An optical coupler for receiving the light output from the first variable optical attenuator and the second variable optical attenuator and for coupling the input light; And controlling the first variable optical attenuation unit to block the light of the first band when the light of the second band is outputted through the optical coupling unit and to control the second variable light attenuation unit, And a light amount adjusting unit for adjusting the light amount of the light source.

상기 목적을 달성하기 위한 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치의 제5 실시예는, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제2 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부; 상기 대역 선택부를 투과한 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제1 가변 광 감쇠부; 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제2 가변 광 감쇠부; 상기 제1 가변 광 감쇠부 및 상기 제2 가변 광 감쇠부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부; 및 상기 광 결합부를 통하여 상기 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 상기 제2 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제1 대역의 광을 차단하고, 상기 제1 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제2 대역의 광량을 조절하는 광량조절부를 포함한다.
In order to achieve the above object, a fifth embodiment of a multi-wavelength light generator using one light source includes a broadband light source unit for outputting a wide-band light; A band that receives light output from the wideband light source unit through a circulator and transmits light corresponding to a second band and reflects light corresponding to a first band other than the second band to the circulator A selection unit; A first variable optical attenuator which variably attenuates light transmitted through the band selection unit; A second variable optical attenuator for receiving light reflected by the band selection unit through the circulator and variably attenuating light with respect to the input light; An optical coupler for receiving the light output from the first variable optical attenuator and the second variable optical attenuator and for coupling the input light; And controlling the second variable light attenuation unit to cut off the light of the first band when the light of the second band is outputted through the optical coupling unit and to control the first variable light attenuation unit, And a light amount adjusting unit for adjusting the light amount of the light source.

본 발명은 광대역을 가지는 단일 광원을 구비하고, 단일 광원에서 생성하는 광의 특정 대역을 반사 또는 투과함으로써 상이한 파장의 광을 조사하고, 이를 통하여 별도의 광경로 제공을 위한 구조물을 구비하지 않고도 동일 위치에 상이한 대역의 광을 조사할 수 있는 효과를 갖는다.The present invention has a single light source having a wide bandwidth and can reflect or transmit a specific band of light generated from a single light source to irradiate light of different wavelengths and provide the same light without having a structure for providing a separate light path therethrough It is possible to irradiate light of different band.

또한, 본 발명은 다양한 대역을 가지는 광에 대하여 각 대역별로 광량을 조절함으로써, 검사 대상물에 각 대역에 대응하는 정확한 광량으로 검사용 광을 조사할 수 있는 효과를 갖는다.
In addition, the present invention has an effect of irradiating light to be inspected with an accurate light quantity corresponding to each band to an object to be inspected, by adjusting the light quantity of each band for light having various bands.

도 1은 종래의 반도체 검사 장치의 광학부의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예 및 제5 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면이다.1 is a schematic view showing the structure of an optical part of a conventional semiconductor inspection apparatus.
2 is a view illustrating a multi-wavelength light generating device using one light source according to the first embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating a multi-wavelength light generating device using one light source according to a second embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a multi-wavelength light generating device using one light source according to the third embodiment of the present invention.
5 is a view showing a multi-wavelength light generating device using one light source according to the fourth and fifth embodiments of the present invention.

개시된 기술에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 개시된 기술의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 개시된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. The description of the disclosed technique is merely an example for structural or functional explanation and the scope of the disclosed technology should not be construed as being limited by the embodiments described in the text. That is, the embodiments are to be construed as being variously embodied and having various forms, so that the scope of the disclosed technology should be understood to include equivalents capable of realizing technical ideas.

한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present application should be understood as follows.

“제1”, “제2” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms " first ", " second ", and the like are used to distinguish one element from another and should not be limited by these terms. For example, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected to the other element, but there may be other elements in between. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. On the other hand, other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It is to be understood that the singular " include " or "have" are to be construed as including the stated feature, number, step, operation, It is to be understood that the combination is intended to specify that it is present and not to preclude the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.

각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.Each step may take place differently from the stated order unless explicitly stated in a specific order in the context. That is, each step may occur in the same order as described, may be performed substantially concurrently, or may be performed in reverse order.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 개시된 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
All terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the disclosed technology belongs, unless otherwise defined. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted to be consistent with meaning in the context of the relevant art and can not be construed as having ideal or overly formal meaning unless expressly defined in the present application.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면으로, 본 발명의 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치는, 광대역 광원부(100), 3포트 서큘레이터(200), 대역 선택부(300), 광 스위칭부(400) 및 광 결합부(500)를 포함한다.FIG. 2 is a view illustrating a multi-wavelength light generating device using one light source according to a first embodiment of the present invention. The multi-wavelength light generating device using one light source of the present invention includes a broadband light source 100, A port selector 200, a band selection unit 300, an optical switching unit 400, and an optical coupling unit 500.

광대역 광원부(100)는, 광대역의 광을 3포트 서큘레이터(200)의 제1 포트를 향해 출력한다. 광대역 광원부(100)는, 반도체 소자 등의 표면 뿐 아니라 막질의 내부에 존재하는 다양한 불량을 검출할 수 있도록 넓은 범위의 파장과 피검 소자의 내부까지 진행할 정도로 충분한 세기를 갖는 광원인 것이 바람직하며, 레이저 생성 플라즈마 광원(Laser produced plasma light source), 고출력 발광 다이오드 등이 사용될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The broadband light source unit (100) outputs the broadband light toward the first port of the three-port circulator (200). The broadband light source unit 100 is preferably a light source having a wide range of wavelength so as to detect various defects existing inside the film quality as well as a surface of a semiconductor device or the like and sufficient intensity to progress to the inside of the device under test, A laser produced plasma light source, a high output light emitting diode, and the like may be used, but the present invention is not limited thereto.

3포트 서큘레이터(Circulator)(200)는, 한 단자에 입력된 신호를 바로 옆 단자에 출력시켜 주는 원형 구조의 수동 비가역 장치(Passive non-reciprocal device)로, 3개의 포트(Port)가 원형으로 배치되어, 광대역 광원부(100)로부터 출력된 광을 제1 포트로 입력받고, 제1 포트로 입력된 광을 제2 포트를 통하여 대역 선택부(300)로 출력하며, 대역 선택부(300)에서 반사된 광을 제2 포트로 입력받고, 제2 포트로 입력된 광을 제3 포트를 통하여 광 결합부(500)로 출력한다.The three-port circulator 200 is a passive non-reciprocal device having a circular structure that outputs a signal input to one terminal to the adjacent terminal. The three-port circulator 200 has three ports And receives the light output from the broadband light source unit 100 through the first port and outputs the light input through the first port to the band selection unit 300 through the second port, Receives the reflected light to the second port, and outputs the light input to the second port to the optical coupling unit 500 through the third port.

대역 선택부(300)는, 광대역 광원부(100)에서 출력되는 광을 3포트 서큘레이터(200)의 제2 포트를 통하여 입력받고, 입력된 광 중 제1 대역에 해당하는 광을 광 스위칭부(400)를 향하여 투과하고, 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 3포트 서큘레이터(200)의 제2 포트로 반사한다. 여기서, 제2 대역은 적색 대역(약 610 ~ 700nm)이고, 제1 대역은 가시 대역 중 적색 대역을 제외한 대역(약 400 ~ 610nm)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The band selection unit 300 receives the light output from the wideband light source unit 100 through the second port of the three-port circulator 200 and outputs the light corresponding to the first band of the input light to the optical switching unit 400, and reflects the light corresponding to the second band, which is the remaining band excluding the first band, to the second port of the three-port circulator 200. Here, the second band is a red band (about 610 to 700 nm), and the first band may be a band (about 400 to 610 nm) excluding the red band of the visible band, but is not limited thereto.

여기서, 대역 선택부(300)는, 광섬유 브래그 격자(Fiber Bragg Grating, FBG) 구조의 반사형 필터(filter)일 수 있다. FBG는, 광섬유 코어의 굴절률이 광섬유 축을 따라 ㎛ 단위로 주기적으로 변화되도록 구비되고, 이를 통하여 광섬유를 통과하는 여러 파장의 광 신호 중 특정 파장의 광만을 투과 또는 반사시키게 된다. FBG는 광섬유에 가해지는 인장력이나 온도 변화에 따라 선택된 파장의 광을 반사 또는 투과하는 특성이 있으므로, 대역 선택부(300)의 반사 및 투과 대역의 조정 시, 광섬유에 적용되는 온도 등 물리량을 제어하여 FBG의 광섬유 길이, 즉, 굴절률 변화 주기에 해당하는 길이를 변화시킴으로써 투과 또는 반사되는 광의 대역을 조정할 수 있다.Here, the band selection unit 300 may be a reflection type filter having a fiber Bragg grating (FBG) structure. The FBG is provided such that the refractive index of the optical fiber core is periodically changed in the unit of μm along the optical fiber axis, thereby transmitting or reflecting only light of a specific wavelength among optical signals of various wavelengths passing through the optical fiber. Since the FBG has a characteristic of reflecting or transmitting light of a selected wavelength in accordance with a tensile force or a temperature change applied to the optical fiber, when controlling the reflection and transmission band of the band selection unit 300, a physical quantity such as a temperature applied to the optical fiber is controlled The length of the optical fiber of the FBG, that is, the length corresponding to the refractive index change period, can be adjusted to adjust the band of the transmitted or reflected light.

광 스위칭부(400)는, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 대역 선택부(300)를 투과한 광, 즉, 제1 대역의 광을 차단 또는 투과하는 스위칭 동작을 수행한다. 여기서, 광 스위칭부(400)로, 대역 선택부(300)가 FBG인 경우 광섬유의 일단을 기계적으로 이동시켜 광경로를 차단 또는 제공하는 방식의 물리 스위치, 마이크로 미러를 이용하여 입력광을 반사시키거나 통과시키는 방식의 반사 스위치 등을 채용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The optical switching unit 400 performs a switching operation for blocking or transmitting light transmitted through the band selection unit 300, that is, light of the first band, under the control of a user or a separate control unit (not shown) . Here, when the band selection unit 300 is an FBG, the optical switching unit 400 reflects input light using a physical switch or a micro mirror in which one end of the optical fiber is mechanically moved to block or provide an optical path. Or a reflection switch for allowing the light to pass therethrough, but the present invention is not limited thereto.

광 결합부(500)는, 2×1 컴바이너(Combiner)로, 광 스위칭부(400)에서 출력된 광 및 3포트 서큘레이터(200)의 제3 포트를 통하여 대역 선택부(300)에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합함으로써, 검사 대상물인 소자를 검사하기 위한 광을 생성한다. 이때, 광 스위칭부(400)가 차단되는 경우, 광 결합부(500)의 입력단에는 대역 선택부(300)에서 반사된 광만이 입력되므로, 광 결합부(500)는, 대역 선택부(300)에서 반사된 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 한편, 광 스위칭부(400)가 도통되는 경우, 광 결합부(500)의 입력단에는 대역 선택부(300)에서 반사된 광 및 대역 선택부(300)를 투과한 광이 입력되므로, 광 결합부(500)는, 대역 선택부(300)에서 반사된 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광 및 대역 선택부(300)를 투과한 대역인 제1 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역을 제외한 나머지 대역(약 400 ~ 610nm)의 광을 결합한 광, 예를 들면 가시 대역(약 400 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다.
The optical coupler 500 is a 2 × 1 combiner which combines the light output from the optical switching unit 400 and the third port of the 3-port circulator 200 Receives the reflected light, and combines the input light to generate light for inspecting an element to be inspected. When the optical switching unit 400 is turned off, only the light reflected from the band selecting unit 300 is input to the input terminal of the optical coupling unit 500, For example, light of a red band (about 610 to 700 nm) toward the object to be inspected. When the optical switching unit 400 is turned on, the light reflected from the band selection unit 300 and the light transmitted through the band selection unit 300 are input to the input terminal of the optical coupling unit 500, For example, a red band (about 610 nm to 700 nm) and a band that has passed through the band selection unit 300, which are the bands reflected by the band selection unit 300, For example, visible light (about 400 to 700 nm) is incident on the object to be inspected, for example, light combining the light of the remaining band (about 400 to 610 nm) excluding the red light, for example, visible light (about 400 to 700 nm).

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면으로, 본 발명의 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치는, 광대역 광원부(100), 3포트 서큘레이터(210), 대역 선택부(310), 광 스위칭부(410) 및 광 결합부(510)를 포함한다.FIG. 3 is a view illustrating a multi-wavelength light generating device using one light source according to a second embodiment of the present invention. The multi-wavelength light generating device using one light source of the present invention includes a broadband light source 100, A port selector 200, a band selector 310, an optical switching unit 410, and an optical coupler 510.

광대역 광원부(100)는, 광대역의 광을 3포트 서큘레이터(210)의 제1 포트를 향해 출력한다. 광대역 광원부(100)는, 도 2에 도시된 바와 같은 제1 실시예의 구성요소와 실질적으로 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.The broadband light source unit (100) outputs the broadband light toward the first port of the three-port circulator (210). Since the broadband light source unit 100 is substantially the same as the components of the first embodiment as shown in FIG. 2, a detailed description thereof will be omitted.

3포트 서큘레이터(210)는, 한 단자에 입력된 신호를 바로 옆 단자에 출력시켜 주는 원형 구조의 수동 비가역 장치로, 3개의 포트가 원형으로 배치되어, 광대역 광원부(100)로부터 출력된 광을 제1 포트로 입력받고, 제1 포트로 입력된 광을 제2 포트를 통하여 대역 선택부(310)로 출력하며, 대역 선택부(310)에서 반사된 광을 제2 포트로 입력받고, 제2 포트로 입력된 광을 제3 포트를 통하여 광 스위칭부(410)로 출력한다.The three-port circulator 210 is a circular passive irreversible device for outputting a signal input to one terminal to the adjacent terminal. The three ports are arranged in a circle, and the light output from the wide- And outputs the light inputted to the first port to the band selection unit 310 through the second port, the light reflected from the band selection unit 310 to the second port, And outputs the light inputted to the port to the optical switching unit 410 through the third port.

대역 선택부(310)는, 광대역 광원부(100)에서 출력되는 광을 3포트 서큘레이터(210)의 제2 포트를 통하여 입력받고, 입력된 광 중 제2 대역에 해당하는 광을 광 결합부(510)를 향하여 투과하고, 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 3포트 서큘레이터(210)의 제2 포트로 반사한다. 여기서, 제2 대역은 적색 대역(약 610 ~ 700nm)이고, 제1 대역은 가시 대역 중 적색 대역을 제외한 대역(약 400 ~ 610nm)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The band selection unit 310 receives the light output from the wideband light source unit 100 through the second port of the three-port circulator 210 and outputs light corresponding to the second band of the input light to the optical coupling unit 510, and reflects the light corresponding to the first band, which is the remaining band excluding the second band, to the second port of the three-port circulator 210. [ Here, the second band is a red band (about 610 to 700 nm), and the first band may be a band (about 400 to 610 nm) excluding the red band of the visible band, but is not limited thereto.

여기서, 대역 선택부(310)는, 광섬유 브래그 격자 구조의 투과형 필터일 수 있다. FBG는, 광섬유 코어의 굴절률이 광섬유 축을 따라 ㎛ 단위로 주기적으로 변화되도록 구비되고, 이를 통하여 광섬유를 통과하는 여러 파장의 광 신호 중 특정 파장의 광만을 투과 또는 반사시키게 된다. FBG는 광섬유에 가해지는 인장력이나 온도 변화에 따라 선택된 파장의 광을 반사 또는 투과하는 특성이 있으므로, 대역 선택부(310)의 반사 및 투과 대역의 조정 시, 광섬유에 적용되는 온도 등 물리량을 제어하여 FBG의 광섬유 길이, 즉, 굴절률 변화 주기에 해당하는 길이를 변화시킴으로써 투과 또는 반사되는 광의 대역을 조정할 수 있다.Here, the band selection unit 310 may be a transmission type filter having an optical fiber Bragg grating structure. The FBG is provided such that the refractive index of the optical fiber core is periodically changed in the unit of μm along the optical fiber axis, thereby transmitting or reflecting only light of a specific wavelength among optical signals of various wavelengths passing through the optical fiber. Since the FBG has a characteristic of reflecting or transmitting light of a selected wavelength according to a tensile force or a temperature change applied to the optical fiber, when controlling the reflection and transmission band of the band selection unit 310, a physical quantity such as a temperature applied to the optical fiber is controlled The length of the optical fiber of the FBG, that is, the length corresponding to the refractive index change period, can be adjusted to adjust the band of the transmitted or reflected light.

광 스위칭부(410)는, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 대역 선택부(310)에서 반사된 광, 즉, 제1 대역의 광을 차단 또는 투과하는 스위칭 동작을 수행한다. 여기서, 광 스위칭부(410)로, 광경로를 차단 또는 제공하는 방식의 물리 스위치, 마이크로 미러를 이용하여 입력광을 반사시키거나 통과시키는 방식의 반사 스위치 등을 채용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The optical switching unit 410 performs a switching operation for blocking or transmitting light reflected by the band selection unit 310, that is, light of the first band, under the control of a user or a separate control unit (not shown) . Here, the optical switch 410 may employ a physical switch for blocking or providing an optical path, a reflection switch for reflecting or passing input light using a micromirror, but is not limited thereto.

광 결합부(510)는, 2×1 컴바이너로, 광 스위칭부(410)에서 출력된 광 및 대역 선택부(310)를 투과한 광을 입력받고, 입력된 광을 결합함으로써, 검사 대상물인 소자를 검사하기 위한 광을 생성한다. 이때, 광 스위칭부(410)가 차단되는 경우, 광 결합부(510)의 입력단에는 대역 선택부(310)를 투과한 광만이 입력되므로, 광 결합부(510)는, 대역 선택부(310)를 투과한 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 한편, 광 스위칭부(410)가 도통되는 경우, 광 결합부(510)의 입력단에는 대역 선택부(310)를 투과한 광 및 대역 선택부(310)에서 반사된 광이 모두 입력되므로, 광 결합부(510)는, 대역 선택부(310)를 투과한 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광 및 대역 선택부(310)에서 반사된 대역인 제1 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역을 제외한 나머지 대역(약 400 ~ 610nm)의 광을 결합한 광, 예를 들면 가시 대역(약 400 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다.
The optical coupling unit 510 is a 2 × 1 combiner that receives the light output from the optical switching unit 410 and the light transmitted through the band selection unit 310 and combines the input light, And generates light for inspecting the phosphor element. In this case, when the optical switching unit 410 is cut off, only the light transmitted through the band selection unit 310 is input to the input end of the optical coupling unit 510. Thus, the optical coupling unit 510 includes the band selection unit 310, For example, red light (about 610 nm to 700 nm) toward the object to be inspected. When the optical switching unit 410 is turned on, both the light transmitted through the band selection unit 310 and the light reflected from the band selection unit 310 are input to the input terminal of the optical coupling unit 510, The first and second wavelength bands of the first and second wavelength bands of the first and second wavelength bands are transmitted to the first and second wavelength bands, For example, visible light (about 400 to 700 nm), to the object to be inspected, by combining light of one band, for example, light of the remaining band (about 400 to 610 nm) excluding the red band.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면으로, 본 발명의 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치는, 광대역 광원부(100), 3포트 서큘레이터(220), 제1 대역 선택부(320), 제1 광 스위칭부(420) 및 광 결합부(520)를 포함한다.FIG. 4 is a diagram illustrating a multi-wavelength light generator using one light source according to a third embodiment of the present invention. The multi-wavelength light generator using one light source of the present invention includes a broadband light source 100, And includes a port circulator 220, a first band selection unit 320, a first optical switching unit 420, and an optical coupling unit 520.

광대역 광원부(100)는, 광대역의 광을 3포트 서큘레이터(220)의 제1 포트를 향해 출력한다. 광대역 광원부(100)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 제1 실시예 및 제2 실시예의 구성요소와 실질적으로 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.The broadband light source unit (100) outputs broadband light toward the first port of the three-port circulator (220). The broadband light source unit 100 is substantially the same as the components of the first embodiment and the second embodiment as shown in Figs. 2 and 3, and thus a detailed description thereof will be omitted.

3포트 서큘레이터(220)는, 한 단자에 입력된 신호를 바로 옆 단자에 출력시켜 주는 원형 구조의 수동 비가역 장치로, 3개의 포트가 원형으로 배치되어, 광대역 광원부(100)로부터 출력된 광을 제1 포트로 입력받고, 제1 포트로 입력된 광을 제2 포트를 통하여 제1 대역 선택부(320)로 출력하며, 제1 대역 선택부(320)에서 반사된 광을 제2 포트로 입력받고, 제2 포트로 입력된 광을 제3 포트를 통하여 제3 광 스위칭부(440)로 출력한다.The three-port circulator 220 is a circularly-shaped passive irreversible device for outputting a signal input to one terminal to the adjacent terminal. The three ports are arranged in a circular shape, and the light output from the wide- And outputs the light received from the first port to the first band selector 320 through the second port and the light reflected from the first band selector 320 to the second port And outputs the light input to the second port to the third optical switching unit 440 through the third port.

제1 대역 선택부(320)는, 광대역 광원부(100)에서 출력되는 광을 3포트 서큘레이터(220)의 제2 포트를 통하여 입력받고, 입력된 광 중 제3 대역을 제외한 대역에 해당하는 광을 제1 광 스위칭부(420)로 투과하고, 제3 대역에 해당하는 광을 3포트 서큘레이터(220)의 제2 포트로 반사한다. 여기서, 제3 대역은 적색 대역(약 610 ~ 700nm)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first band selection unit 320 receives the light output from the wideband light source unit 100 through the second port of the three-port circulator 220 and receives the light corresponding to the band excluding the third band Port circulator 220 to the first port of the three-port circulator 220. The third port of the three-port circulator 220 is connected to the second port of the three- Here, the third band may be a red band (about 610 to 700 nm), but is not limited thereto.

여기서, 제1 대역 선택부(320)는, 광섬유 브래그 격자 구조의 반사형 필터일 수 있다. FBG는, 광섬유 코어의 굴절률이 광섬유 축을 따라 ㎛ 단위로 주기적으로 변화되도록 구비되고, 이를 통하여 광섬유를 통과하는 여러 파장의 광 신호 중 특정 파장의 광만을 투과 또는 반사시키게 된다. FBG는 광섬유에 가해지는 인장력이나 온도 변화에 따라 선택된 파장의 광을 반사 또는 투과하는 특성이 있으므로, 제1 대역 선택부(320)의 반사 및 투과 대역의 조정 시, 광섬유에 적용되는 온도 등 물리량을 제어하여 FBG의 광섬유 길이, 즉, 굴절률 변화 주기에 해당하는 길이를 변화시킴으로써 투과 또는 반사되는 광의 대역을 조정할 수 있다.Here, the first band selection unit 320 may be a reflection type filter having an optical fiber Bragg grating structure. The FBG is provided such that the refractive index of the optical fiber core is periodically changed in the unit of μm along the optical fiber axis, thereby transmitting or reflecting only light of a specific wavelength among optical signals of various wavelengths passing through the optical fiber. Since the FBG has a characteristic of reflecting or transmitting light of a selected wavelength in accordance with a tensile force or a temperature change applied to the optical fiber, it is preferable that the FBG has a physical quantity such as a temperature applied to the optical fiber when adjusting the reflection and transmission band of the first band selector 320 The length of the optical fiber of the FBG, that is, the length corresponding to the refractive index change period, can be controlled to adjust the band of the transmitted or reflected light.

제1 광 스위칭부(420)는, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 제1 대역 선택부(320)를 투과한 광, 즉, 광대역의 광 중 제3 대역을 제외한 광을 차단 또는 투과하는 스위칭 동작을 수행한다. 여기서, 제1 광 스위칭부(420)로, 제1 대역 선택부(320)가 FBG인 경우 광섬유의 일단을 기계적으로 이동시켜 광경로를 차단 또는 제공하는 방식의 물리 스위치, 마이크로 미러를 이용하여 입력광을 반사시키거나 통과시키는 방식의 반사 스위치 등을 채용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first optical switching unit 420 may convert the light transmitted through the first band selection unit 320 under the control of a user or a separate control unit (not shown), that is, light excluding the third band Blocking or transmission switching operation. Here, when the first band selector 320 is an FBG, the first optical switch 420 may be provided with a physical switch or a micromirror that mechanically moves one end of the optical fiber to block or provide an optical path, A reflective switch that reflects or transmits light, or the like, but is not limited thereto.

제2 대역 선택부(330)는, 제1 대역 선택부(320)를 투과한 광을 입력받고, 입력된 광 중 제4 대역에 해당하는 광을 투과하고, 제1 대역 선택부(320)를 투과한 광 중 제4 대역을 제외한 나머지 대역에 해당하는 광을 반사한다. 여기서, 제4 대역은 청색 대역(약 400 ~ 475nm)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 여기서, 제2 대역 선택부(330)는, 제1 대역 선택부(320)와 마찬가지로, 광섬유 브래그 격자 구조의 반사형 필터일 수 있다.The second band selection unit 330 receives the light transmitted through the first band selection unit 320 and transmits the light corresponding to the fourth band among the input lights, And reflects light corresponding to the remaining bands except the fourth band among the transmitted light. Here, the fourth band may be a blue band (about 400 to 475 nm), but is not limited thereto. Here, the second band selection unit 330 may be a reflection type filter having an optical fiber Bragg grating structure, like the first band selection unit 320.

제2 광 스위칭부(430)는, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 제2 대역 선택부(330)를 투과한 광, 즉, 제4 대역의 광을 차단 또는 투과하는 스위칭 동작을 수행한다. 여기서, 제2 광 스위칭부(430)는, 제1 광 스위칭부(420)와 마찬가지로, 물리 스위치, 반사 스위치일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The second optical switching unit 430 switches the light passing through the second band selection unit 330, that is, the light of the fourth band, under the control of the user or a separate control unit (not shown) And performs an operation. Here, the second optical switching unit 430 may be a physical switch or a reflection switch as in the first optical switching unit 420, but is not limited thereto.

제3 광 스위칭부(440)는, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 제1 대역 선택부(320)에서 반사된 광, 즉, 제3 대역의 광을 차단 또는 투과하는 스위칭 동작을 수행한다. 여기서, 제3 광 스위칭부(440)는, 제1 광 스위칭부(420) 및 제2 광 스위칭부(430)와 마찬가지로, 물리 스위치, 반사 스위치일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The third optical switching unit 440 switches the light reflected from the first band selector 320, that is, the light of the third band, under the control of the user or a separate controller (not shown) And performs an operation. Here, the third optical switching unit 440 may be a physical switch or a reflection switch like the first optical switching unit 420 and the second optical switching unit 430, but is not limited thereto.

광 결합부(520)는, 3×1 컴바이너로, 제1 광 스위칭부(420), 제2 광 스위칭부(430) 및 제3 광 스위칭부(440)에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합함으로써, 검사 대상물인 소자를 검사하기 위한 광을 생성한다.The optical coupler 520 is a 3 × 1 combiner and receives the light output from the first optical switching unit 420, the second optical switching unit 430, and the third optical switching unit 440, By combining the input light, light for inspecting an element to be inspected is generated.

이때, 제1 광 스위칭부(420) 및 제2 광 스위칭부(430)가 차단되는 경우, 광 결합부(520)의 입력단에는 제3 광 스위칭부(440)를 투과한 광만이 입력되므로, 광 결합부(520)는, 제1 대역 선택부(320)에서 반사된 대역인 제3 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 한편, 제2 광 스위칭부(430)만 도통되고, 제1 광 스위칭부(420) 및 제3 광 스위칭부(440)가 차단되는 경우, 광 결합부(520)의 입력단에는 제2 대역 선택부(330)를 투과한 광만이 입력되므로, 광 결합부(520)는, 제2 대역 선택부(320)를 투과한 대역인 제4 대역의 광, 예를 들면, 청색 대역(약 400 ~ 475nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 또한, 제2 광 스위칭부(430)만 차단되고 제1 광 스위칭부(420) 및 제3 광 스위칭부(440)가 도통되는 경우, 광 결합부(520)의 입력단에는 제1 대역 선택부(320)에서 반사된 광 및 제1 대역 선택부(320)를 투과한 광이 입력되므로, 광 결합부(520)는, 제1 대역 선택부(320)에서 반사된 대역인 제3 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광 및 제1 대역 선택부(320)를 투과한 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역을 제외한 나머지 대역(약 400 ~ 610nm)의 광을 결합한 광, 예를 들면 가시 대역(약 400 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다.
At this time, when the first optical switching unit 420 and the second optical switching unit 430 are cut off, only the light transmitted through the third optical switching unit 440 is inputted to the input end of the optical coupling unit 520, The coupling unit 520 irradiates the light of the third band, for example, the red band (about 610 to 700 nm) toward the object to be inspected, which is the band reflected by the first band selector 320. When the first optical switching unit 420 and the third optical switching unit 440 are cut off, only the second optical switching unit 430 is turned on. In the input end of the optical coupling unit 520, The optical coupler 520 may transmit the light of the fourth band, for example, the blue band (about 400 to 475 nm), which is the band transmitted through the second band selector 320, To the object to be inspected. When only the second optical switching unit 430 is turned off and the first optical switching unit 420 and the third optical switching unit 440 are turned on, the input terminal of the optical coupling unit 520 is connected to the first band selection unit 320 and the light transmitted through the first band selector 320 are inputted to the optical coupler 520. The optical coupler 520 receives the light of the third band, which is the band reflected by the first band selector 320, For example, light in the red band (about 610 to 700 nm) and light in the band transmitted through the first band selector 320, for example, light in the remaining band (about 400 to 610 nm) excluding the red band For example, light of a visible band (about 400 to 700 nm) toward the object to be inspected.

도 5는 본 발명의 제4 실시예 및 제5 실시예에 따른 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치를 도시한 도면으로, 본 발명의 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치는, 광대역 광원부(100), 3포트 서큘레이터(230), 대역 선택부(340), 제1 가변 광감쇠부(610), 제2 가변 광감쇠부(620) 및 광 결합부(530)를 포함한다.5 is a diagram illustrating a multi-wavelength light generating device using one light source according to the fourth and fifth embodiments of the present invention. In the multi-wavelength light generating device using one light source of the present invention, A third variable optical attenuator 620 and an optical coupler 530. The third variable optical attenuator 620 and the third variable optical attenuator 620 are connected to each other through a coupler 100, a three-port circulator 230, a band selector 340, a first variable optical attenuator 610,

광대역 광원부(100)는, 광대역의 광을 3포트 서큘레이터(230)의 제1 포트를 향해 출력한다. 광대역 광원부(100)는, 도 2에 도시된 바와 같은 제1 실시예의 구성요소와 실질적으로 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.The broadband light source unit (100) outputs the broadband light toward the first port of the three-port circulator (230). Since the broadband light source unit 100 is substantially the same as the components of the first embodiment as shown in FIG. 2, a detailed description thereof will be omitted.

3포트 서큘레이터(230)는, 한 단자에 입력된 신호를 바로 옆 단자에 출력시켜 주는 원형 구조의 수동 비가역 장치로, 3개의 포트가 원형으로 배치되어, 광대역 광원부(100)로부터 출력된 광을 제1 포트로 입력받고, 제1 포트로 입력된 광을 제2 포트를 통하여 대역 선택부(340)로 출력하며, 대역 선택부(340)에서 반사된 광을 제2 포트로 입력받고, 제2 포트로 입력된 광을 제3 포트를 통하여 제2 가변 광감쇠부(620)로 출력한다.The three-port circulator 230 is a circular passive irreversible device for outputting a signal input to one terminal to the adjacent terminal. The three ports are arranged in a circle, and the light output from the wide- And outputs the light inputted to the first port to the band selection unit 340 through the second port, the light reflected from the band selection unit 340 to the second port, And outputs the light input to the port to the second variable optical attenuator 620 through the third port.

대역 선택부(340)는, 광대역 광원부(100)에서 출력되는 광을 3포트 서큘레이터(230)의 제2 포트를 통하여 입력받고, 입력된 광 중 제1 대역에 해당하는 광을 제1 가변 광감쇠부(610)를 향하여 투과하고, 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 3포트 서큘레이터(230)의 제2 포트로 반사한다. 여기서, 제2 대역은 적색 대역(약 610 ~ 700nm)이고, 제1 대역은 가시 대역 중 적색 대역을 제외한 대역(약 400 ~ 610nm)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The band selection unit 340 receives the light output from the wideband light source unit 100 through the second port of the three-port circulator 230 and outputs light corresponding to the first band of the input light to the first variable light And reflects the light corresponding to the second band, which is the other band excluding the first band, to the second port of the three-port circulator 230. [ Here, the second band is a red band (about 610 to 700 nm), and the first band may be a band (about 400 to 610 nm) excluding the red band of the visible band, but is not limited thereto.

여기서, 대역 선택부(340)는, 광섬유 브래그 격자 구조의 반사형 필터일 수 있다. FBG는, 광섬유 코어의 굴절률이 광섬유 축을 따라 ㎛ 단위로 주기적으로 변화되도록 구비되고, 이를 통하여 광섬유를 통과하는 여러 파장의 광 신호 중 특정 파장의 광만을 투과 또는 반사시키게 된다. FBG는 광섬유에 가해지는 인장력이나 온도 변화에 따라 선택된 파장의 광을 반사 또는 투과하는 특성이 있으므로, 대역 선택부(340)의 반사 및 투과 대역의 조정 시, 광섬유에 적용되는 온도 등 물리량을 제어하여 FBG의 광섬유 길이, 즉, 굴절률 변화 주기에 해당하는 길이를 변화시킴으로써 투과 또는 반사되는 광의 대역을 조정할 수 있다.Here, the band selection unit 340 may be a reflection type filter having an optical fiber Bragg grating structure. The FBG is provided such that the refractive index of the optical fiber core is periodically changed in the unit of μm along the optical fiber axis, thereby transmitting or reflecting only light of a specific wavelength among optical signals of various wavelengths passing through the optical fiber. Since the FBG has a characteristic of reflecting or transmitting light of a selected wavelength depending on a tensile force or a temperature change applied to the optical fiber, the FBG controls physical quantities such as temperature applied to the optical fiber when adjusting the reflection and transmission band of the band selection unit 340 The length of the optical fiber of the FBG, that is, the length corresponding to the refractive index change period, can be adjusted to adjust the band of the transmitted or reflected light.

또한, 대역 선택부(340)는, 광대역 광원부(100)에서 출력되는 광을 3포트 서큘레이터(230)의 제2 포트를 통하여 입력받고, 입력된 광 중 제2 대역에 해당하는 광을 제1 가변 광감쇠부(610)를 향하여 투과하고, 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 3포트 서큘레이터(210)의 제2 포트로 반사할 수도 있다. 여기서, 제2 대역은 적색 대역(약 610 ~ 700nm)이고, 제1 대역은 가시 대역 중 적색 대역을 제외한 대역(약 400 ~ 610nm)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The band selection unit 340 receives the light output from the wideband light source unit 100 through the second port of the three-port circulator 230 and outputs light corresponding to the second band of the input light to the first port Port reflector 610 and reflect the light corresponding to the first band, which is the remaining band excluding the second band, to the second port of the three-port circulator 210. [ Here, the second band is a red band (about 610 to 700 nm), and the first band may be a band (about 400 to 610 nm) excluding the red band of the visible band, but is not limited thereto.

즉, 대역 선택부(340)는, 광섬유 브래그 격자 구조의 투과형 필터일 수 있다. FBG는, 광섬유 코어의 굴절률이 광섬유 축을 따라 ㎛ 단위로 주기적으로 변화되도록 구비되고, 이를 통하여 광섬유를 통과하는 여러 파장의 광 신호 중 특정 파장의 광만을 투과 또는 반사시키게 된다. FBG는 광섬유에 가해지는 인장력이나 온도 변화에 따라 선택된 파장의 광을 반사 또는 투과하는 특성이 있으므로, 대역 선택부(340)의 반사 및 투과 대역의 조정 시, 광섬유에 적용되는 온도 등 물리량을 제어하여 FBG의 광섬유 길이, 즉, 굴절률 변화 주기에 해당하는 길이를 변화시킴으로써 투과 또는 반사되는 광의 대역을 조정할 수 있다.That is, the band selection unit 340 may be a transmission type filter having an optical fiber Bragg grating structure. The FBG is provided such that the refractive index of the optical fiber core is periodically changed in the unit of μm along the optical fiber axis, thereby transmitting or reflecting only light of a specific wavelength among optical signals of various wavelengths passing through the optical fiber. Since the FBG has a characteristic of reflecting or transmitting light of a selected wavelength depending on a tensile force or a temperature change applied to the optical fiber, the FBG controls physical quantities such as temperature applied to the optical fiber when adjusting the reflection and transmission band of the band selection unit 340 The length of the optical fiber of the FBG, that is, the length corresponding to the refractive index change period, can be adjusted to adjust the band of the transmitted or reflected light.

제1 가변 광감쇠부(610)는, 가변 광감쇠기(Variable optical attenuator, VOA)로, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 대역 선택부(340)를 투과한 광, 즉, 제1 대역의 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 수행한다. 여기서, 제1 가변 광감쇠부(610)는, Micro Electro Mechanical Systems(MEMS), 미세유체역학(Microfluidic), Planar Lightwave Circuit(PLC), 자기광학효과, 액정 기술 등을 이용하여 구현할 수 있다.The first variable optical attenuator 610 is a variable optical attenuator (VOA), which transmits light that has passed through the band selector 340 under the control of a user or a separate control unit (not shown) And performs variable light attenuation with respect to the light of the first band. Here, the first variable optical attenuator 610 may be implemented using micro electro mechanical systems (MEMS), microfluidics, planar lightwave circuits (PLC), magneto-optical effects, liquid crystal technology, or the like.

제2 가변 광감쇠부(620)는, 제1 가변 광감쇠부(610)와 동일한 구조의 가변 광감쇠기로, 사용자 또는 별도의 제어부(도시되지 않음)의 제어에 의하여 대역 선택부(340)에서 반사된 광, 즉, 제2 대역의 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 수행한다.The second variable optical attenuator 620 is a variable optical attenuator having the same structure as the first variable optical attenuator 610 and is controlled by a user or a separate control unit And variably performs the light attenuation with respect to the reflected light, that is, the light of the second band.

이때, 대역 선택부(340)가 투과형 필터인 경우, 제1 가변 광감쇠부(610)는 대역 선택부(340)를 투과한 제2 대역의 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 수행하고, 제2 가변 광감쇠부(620)는 대역 선택부(340)에서 반사된 제1 대역의 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 수행할 수 있다.At this time, when the band selection unit 340 is a transmission type filter, the first variable light attenuation unit 610 variably attenuates light of the second band transmitted through the band selection unit 340, The variable optical attenuator 620 can variably attenuate the light of the first band reflected by the band selector 340.

광 결합부(530)는, 2×1 컴바이너로, 제1 가변 광감쇠부(610)에서 출력된 광 및 제2 가변 광감쇠부(620)에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합함으로써, 검사 대상물인 소자를 검사하기 위한 광을 생성한다.The optical coupling unit 530 receives the light output from the first variable light attenuation unit 610 and the light output from the second variable light attenuation unit 620 in a 2 × 1 combiner, Thereby generating light for inspecting the element to be inspected.

광량 조절부(700)는, 대역 선택부(340)가 반사형 필터인 경우, 광 결합부(530)를 통해 제2 대역의 광을 출력하기 위하여, 제1 가변 광 감쇠부(610)를 제어하여 제1 대역의 광을 차단하고, 제2 가변 광 감쇠부(620)를 제어하여 제2 대역의 광량을 조절한다. 또한, 광량 조절부(700)는, 대역 선택부(340)가 투과형 필터인 경우, 광 결합부(530)를 통해 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 제2 가변 광 감쇠부(620)를 제어하여 제1 대역의 광을 차단하고, 제1 가변 광 감쇠부(610)를 제어하여 제2 대역의 광량을 조절한다.The light amount controller 700 controls the first variable optical attenuator 610 to output light of the second band through the optical coupler 530 when the band selector 340 is a reflection type filter. And controls the amount of light in the second band by controlling the second variable light attenuation unit 620. [ When the band selection unit 340 is a transmission type filter, the light amount control unit 700 controls the second variable light attenuation unit 620 and the second variable light attenuation unit 620 when the light of the second band is output through the optical coupling unit 530. [ And controls the amount of light in the second band by controlling the first variable light attenuation unit 610. [

이때, 대역 선택부(340)가 반사형 필터인 경우, 제1 가변 광감쇠부(610)가 차단되면, 광 결합부(530)의 입력단에는 대역 선택부(340)에서 반사된 광만이 입력되므로, 광 결합부(530)는, 대역 선택부(340)에서 반사된 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 여기서, 광량 조절부(700)는, 제2 가변 광 감쇠부(620)를 제어하여 적색 대역의 광량을 조절할 수 있다. 한편, 제1 가변 광감쇠부(610)가 도통되는 경우, 광 결합부(530)의 입력단에는 대역 선택부(340)에서 반사된 광 및 대역 선택부(340)를 투과한 광이 입력되므로, 광 결합부(530)는, 대역 선택부(340)에서 반사된 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광 및 대역 선택부(340)를 투과한 대역인 제1 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역을 제외한 나머지 대역(약 400 ~ 610nm)의 광을 결합한 광, 예를 들면 가시 대역(약 400 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 여기서, 광량 조절부(700)는, 제1 가변 광감쇠부(610) 및 제2 가변 광 감쇠부(620)를 제어하여 가시 대역의 광량을 조절할 수 있다. At this time, when the band selection unit 340 is a reflection type filter, only the light reflected from the band selection unit 340 is input to the input end of the optical coupling unit 530 when the first variable light attenuation unit 610 is cut off The optical coupling unit 530 irradiates the light of the second band, for example, the red band (about 610 nm to 700 nm) toward the object to be inspected, which is the band reflected by the band selector 340. Here, the light amount adjusting unit 700 may control the second variable light attenuating unit 620 to adjust the light amount of the red light. Meanwhile, when the first variable optical attenuator 610 is turned on, the light reflected from the band selector 340 and the light transmitted through the band selector 340 are input to the input terminal of the optical coupler 530, The optical coupling unit 530 receives the light of the second band which is the band reflected by the band selection unit 340, for example, the light of the red band (about 610 to 700 nm) For example, visible light (about 400 to 700 nm), toward the object to be inspected, by combining light of the first band (for example, light having a wavelength of 400 to 610 nm) excluding the red band . Here, the light amount adjusting unit 700 may control the amount of light of the visible band by controlling the first variable light attenuating unit 610 and the second variable light attenuating unit 620.

한편, 대역 선택부(340)가 투과형 필터인 경우, 제2 가변 광 감쇠부(620)가 차단되면, 광 결합부(530)의 입력단에는 대역 선택부(340)를 투과한 광만이 입력되므로, 광 결합부(530)는, 대역 선택부(340)를 투과한 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 여기서, 광량 조절부(700)는, 제1 가변 광 감쇠부(610)를 제어하여 적색 대역의 광량을 조절할 수 있다. 한편, 제2 가변 광 감쇠부(620)가 도통되는 경우, 광 결합부(530)의 입력단에는 대역 선택부(340)에서 반사된 광 및 대역 선택부(340)를 투과한 광이 입력되므로, 광 결합부(530)는, 대역 선택부(340)를 투과한 대역인 제2 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역(약 610 ~ 700nm)의 광 및 대역 선택부(340)에서 반사된 대역인 제1 대역의 광, 예를 들면, 적색 대역을 제외한 나머지 대역(약 400 ~ 610nm)의 광을 결합한 광, 예를 들면 가시 대역(약 400 ~ 700nm)의 광을 검사 대상물을 향해 조사하게 된다. 여기서, 광량 조절부(700)는, 제1 가변 광감쇠부(610) 및 제2 가변 광 감쇠부(620)를 제어하여 가시 대역의 광량을 조절할 수 있다.
When the band selector 340 is a transmission filter and the second variable optical attenuator 620 is cut off, only the light transmitted through the band selector 340 is input to the input terminal of the optical coupler 530, The optical coupling unit 530 irradiates the light of the second band, for example, the red band (about 610 to 700 nm), which is the band transmitted through the band selection unit 340, toward the object to be inspected. Here, the light amount controller 700 may control the first variable light attenuator 610 to adjust the amount of light in the red band. Meanwhile, when the second variable optical attenuator 620 is turned on, the light reflected from the band selector 340 and the light transmitted through the band selector 340 are input to the input terminal of the optical coupler 530, The optical coupling unit 530 is configured to mix the light of the second band that is the band transmitted through the band selection unit 340, for example, the light of the red band (about 610 to 700 nm) For example, visible light (about 400 to 700 nm), toward the object to be inspected, by combining light of the first band (for example, light having a wavelength of 400 to 610 nm) excluding the red band . Here, the light amount adjusting unit 700 may control the amount of light of the visible band by controlling the first variable light attenuating unit 610 and the second variable light attenuating unit 620.

이러한 개시된 기술인 방법 및 장치는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 개시된 기술의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
Although the disclosed method and apparatus have been described with reference to the embodiments shown in the drawings for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. I will understand that. Accordingly, the true scope of protection of the disclosed technology should be determined by the appended claims.

100: 광대역 광원부
200, 210: 3포트 서큘레이터
300, 310: 대역 선택부
320: 제1 대역 선택부
330: 제2 대역 선택부
400, 410: 광 스위칭부
430: 제2 광 스위칭부
440: 제3 광 스위칭부
500, 510, 520, 530: 광 결합부
610: 제1 가변 광감쇠부
620: 제2 가변 광감쇠부
700: 광량 조절부100: broadband light source part
200, 210: Three-port circulator
300, 310: band selection unit
320: first band selector
330: second band selector
400, 410: Optical switching unit
430: second optical switching unit
440: third optical switching unit
500, 510, 520, 530: optical coupling part
610: first variable light attenuator
620: a second variable light attenuator
700:

Claims

광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;
서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;
상기 대역 선택부를 투과한 제1 대역에 해당하는 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및
상기 광 스위칭부에서 출력된 제1 대역에 해당하는 광 및 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 제2 대역에 해당하는 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함하며,
상기 광 결합부에서 결합된 광은, 상기 광 스위칭부가 투과하는 경우에는 제1 대역과 제2 대역에 걸친 파장 범위의 광이고, 상기 광 스위칭부가 차단하는 경우에는 제2 대역의 파장 범위의 광인 것을 특징으로 하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치.
A broadband light source for outputting a broadband light;
A band that receives light output from the broadband light source through a circulator and transmits light corresponding to the first band and reflects light corresponding to a second band excluding the first band to the circulator A selection unit;
An optical switching unit for blocking or transmitting light corresponding to the first band transmitted through the band selection unit; And
And an optical coupling unit for receiving light corresponding to a first band outputted from the optical switching unit and light corresponding to a second band reflected from the band selection unit through the circulator,
The light coupled in the optical coupling unit is light in a wavelength range over the first and second bands when the optical switching unit transmits the light and is light in the wavelength range of the second band when the optical switching unit blocks Wavelength light source using one light source.

광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;
서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제2 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;
상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및
상기 광 스위칭부에서 출력된 광 및 상기 대역 선택부를 투과한 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치.
A broadband light source for outputting a broadband light;
A band that receives light output from the wideband light source unit through a circulator and transmits light corresponding to a second band and reflects light corresponding to a first band other than the second band to the circulator A selection unit;
An optical switching unit receiving light reflected by the band selection unit through the circulator and blocking or transmitting the input light; And
And an optical coupling unit for receiving the light output from the optical switching unit and the light transmitted through the band selection unit, and coupling the input light.

광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;
서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제3 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하고, 상기 제3 대역을 제외한 나머지 대역에 해당하는 광을 투과하는 제1 대역 선택부;
상기 제1 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 제1 광 스위칭부;
상기 제1 대역 선택부를 투과한 광을 입력받아, 제4 대역에 해당하는 광을 투과하는 제2 대역 선택부;
상기 제2 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 제2 광 스위칭부;
상기 서큘레이터를 통하여 상기 제1 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 차단 또는 투과하는 제3 광 스위칭부; 및
상기 제1 광 스위칭부, 상기 제2 광 스위칭 부 및 상기 제3 광 스위칭부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치.
A broadband light source for outputting a broadband light;
A first band selection unit which receives light output from the wideband light source unit through a circulator, reflects light corresponding to a third band to the circulator, and transmits light corresponding to the remaining bands except for the third band, ;
A first optical switching unit for blocking or transmitting light transmitted through the first band selection unit;
A second band selector for receiving light transmitted through the first band selector and transmitting light corresponding to the fourth band;
A second optical switch for blocking or transmitting light transmitted through the second band selector;
A third optical switching unit receiving the light reflected by the first band selection unit through the circulator and blocking or transmitting the input light; And
And an optical coupling unit for receiving the light output from the first optical switching unit, the second optical switching unit, and the third optical switching unit and coupling the input light.

광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;
서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;
상기 대역 선택부를 투과한 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제1 가변 광 감쇠부;
상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제2 가변 광 감쇠부;
상기 제1 가변 광 감쇠부 및 상기 제2 가변 광 감쇠부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부; 및
상기 광 결합부를 통하여 상기 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 상기 제1 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제1 대역의 광을 차단하고, 상기 제2 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제2 대역의 광량을 조절하는 광량조절부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치.
A broadband light source for outputting a broadband light;
A band that receives light output from the broadband light source through a circulator and transmits light corresponding to the first band and reflects light corresponding to a second band excluding the first band to the circulator A selection unit;
A first variable optical attenuator which variably attenuates light transmitted through the band selection unit;
A second variable optical attenuator for receiving light reflected by the band selection unit through the circulator and variably attenuating light with respect to the input light;
An optical coupler for receiving the light output from the first variable optical attenuator and the second variable optical attenuator and for coupling the input light; And
Wherein the first variable optical attenuator is configured to block the light of the first band and to control the second variable optical attenuator to output the light of the second band when the light of the second band is output through the optical coupling unit, And a light amount adjusting unit for adjusting the amount of light.

광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;
서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제2 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;
상기 대역 선택부를 투과한 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제1 가변 광 감쇠부;
상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제2 가변 광 감쇠부;
상기 제1 가변 광 감쇠부 및 상기 제2 가변 광 감쇠부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부; 및
상기 광 결합부를 통하여 상기 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 상기 제2 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제1 대역의 광을 차단하고, 상기 제1 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제2 대역의 광량을 조절하는 광량조절부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치.A broadband light source for outputting a broadband light;
A band that receives light output from the wideband light source unit through a circulator and transmits light corresponding to a second band and reflects light corresponding to a first band other than the second band to the circulator A selection unit;
A first variable optical attenuator which variably attenuates light transmitted through the band selection unit;
A second variable optical attenuator for receiving light reflected by the band selection unit through the circulator and variably attenuating light with respect to the input light;
An optical coupler for receiving the light output from the first variable optical attenuator and the second variable optical attenuator and for coupling the input light; And
Wherein the second variable optical attenuator controls the second variable optical attenuator to block the light of the first band when the light of the second band is outputted through the optical coupling unit, And a light amount adjusting unit for adjusting the amount of light.