KR101935394B1 - Apparatus for testing leak of product, and equipment having the apparatus - Google Patents
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Abstract
제품 테스트 장치는 내부에 테스트 될 제품이 수납되는 수납공간이 형성되며, 외부에 대하여 개방 또는 밀폐되는 테스트 용기; 상기 수납공간의 압력을 대기압보다 낮은 압력으로 조절하여 상기 제품에 형성된 크랙의 내부에 채워진 기체를 제거하는 기체 제거 유닛; 상기 크랙의 내부에 채워진 상기 기체가 제거된 상기 제품에 테스트 용액을 공급하는 용액 공급 유닛; 상기 테스트 용액을 상기 테스트 용기로부터 배출시키는 드레인 유닛; 및 상기 테스트 용기로 상기 제품을 로딩 및 언로딩 하는 제품 이송 유닛을 포함한다.The test apparatus comprises: a test container having a storage space for accommodating a product to be tested therein and being opened or closed to the outside; A gas removing unit for regulating the pressure of the storage space to a pressure lower than the atmospheric pressure to remove the gas filled in the cracks formed in the product; A solution supply unit for supplying a test solution to the product in which the gas filled in the crack is removed; A drain unit for discharging the test solution from the test container; And a product transfer unit for loading and unloading the product into the test container.
Description
본 발명은 제품 테스트 장치 및 이를 갖는 제품 테스트 설비에 관한 것이다.The present invention relates to a product testing apparatus and a product testing apparatus having the same.
일반적으로 매우 복잡하고 정밀한 공정에 의하여 제조된 제품, 예를 들어, 반도체 패키지와 같은 제품은 몰딩 수지 내부에 반도체 칩 및 배선들이 배치된 상태이기 때문에 몰딩 수지에 형성된 미세한 크랙 등에 의한 반도체 칩 및 배선 불량을 파악하기 매우 어렵다.In general, a product such as a semiconductor package manufactured by a very complicated and precise process has a problem in that since semiconductor chips and wirings are disposed inside the molding resin, It is very difficult to grasp.
대한민국 공개특허공보 제10-2006-0008562호, 반도체 기판의 신뢰성 평가 방법, (21006년 1월 27일 공개)에는 절연막 내의 결함의 존재 여부와 그 위치를 검출하기 위해, 텅스텐 금속으로 이루어진 금속배선을 덮는 절연막이 형성된 기판을 결함 검출용 케미컬에 딥핑 시키고, 절연막 내에 크랙 또는 공극이 존재할 경우, 케미컬이 결함을 통해 상기 절연막 내부로 침투됨으로써 텅스텐 배선을 부식시키는데, 이와 같이 케미컬에 의한 금속배선의 부식 여부를 관찰하여 절연막의 불량 여부를 판단하는 기술이 개시되어 있다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2006-0008562 discloses a method for evaluating reliability of a semiconductor substrate (published on Jan. 27, 21, 2006), in order to detect the presence and the position of defects in an insulating film, a metal wiring made of tungsten metal The substrate on which the insulating film is formed is dipped in the defect detecting chemical, and when cracks or vacancies exist in the insulating film, the chemical penetrates into the insulating film through the defect, thereby corroding the tungsten wiring. To judge whether the insulating film is defective or not.
그러나 상기 반도체 기판의 신뢰성 평가 방법에 의하여 반도체 기판을 결함 검출용 케미컬에 딥핑 시키더라도 케미컬이 크랙 내부로 쉽게 침투되지 못하는 문제점 및 테스트 시간이 크게 증가되는 문제점을 갖는데, 이는 크랙이나 공극 내부에 이미 공기가 배치되고 이 공기로 인해 케미컬이 쉽게 침투되지 못하기 때문이다.However, even if the semiconductor substrate is dipped into the defect detecting chemical by the reliability evaluation method of the semiconductor substrate, there is a problem that the chemical can not easily penetrate into the crack and the test time is greatly increased. And the air can not easily penetrate the chemical.
이와 같이 크랙이나 공극 내부에 결함 검출용 케미컬이 침투되지 못할 경우, 크랙과 같은 결함이 있음에도 이 결함을 정확하게 검출하지 못하는 치명적인 문제점이 발생 된다.If a defect detection chemical can not penetrate into cracks or voids, a fatal problem such as cracks can not be accurately detected even though there are defects such as cracks.
본 발명은 제품을 테스트 용액에 딥핑(deeping)하여 테스트 용액을 제품의 크랙 및 공극으로 침투시켜 제품 테스트를 수행할 때 테스트 용액이 크랙 및 공극으로 정확하게 침투될 수 있도록 하여 제품 테스트 정확도를 향상시키고 테스트에 소요되는 시간을 단축 시킨 제품 테스트 장치 및 이를 갖는 제품 테스트 설비를 제공한다.The present invention improves product test accuracy by allowing deep penetration of the test solution into cracks and voids when the product is tested by deepening the product into the cracks and voids of the product by deepening the product into the test solution, And a product testing apparatus having the product testing apparatus.
일실시예로서, 제품 테스트 장치는 내부에 테스트 될 제품이 수납되는 수납공간이 형성되며, 외부에 대하여 개방 또는 밀폐되는 테스트 용기; 상기 수납공간의 압력을 대기압보다 낮은 압력으로 조절하여 상기 제품에 형성된 크랙의 내부에 채워진 기체를 제거하는 기체 제거 유닛; 상기 크랙의 내부에 채워진 상기 기체가 제거된 상기 제품에 테스트 용액을 공급하는 용액 공급 유닛; 상기 테스트 용액을 상기 테스트 용기로부터 배출시키는 드레인 유닛; 및 상기 테스트 용기로 상기 제품을 로딩 및 언로딩 하는 제품 이송 유닛을 포함한다.In one embodiment, the product testing apparatus includes a test container in which a storage space for accommodating a product to be tested is formed, and which is opened or sealed to the outside; A gas removing unit for regulating the pressure of the storage space to a pressure lower than the atmospheric pressure to remove the gas filled in the cracks formed in the product; A solution supply unit for supplying a test solution to the product in which the gas filled in the crack is removed; A drain unit for discharging the test solution from the test container; And a product transfer unit for loading and unloading the product into the test container.
제품 테스트 장치의 상기 테스트 용기는 상기 제품이 수납되는 용기 몸체, 상기 용기 몸체에 대하여 개폐되는 커버 및 상기 수납공간을 밀봉하는 밀봉 부재를 포함한다.The test container of the product testing apparatus includes a container body accommodated with the product, a cover opened and closed with respect to the container body, and a sealing member sealing the storage space.
제품 테스트 장치의 상기 기체 제거 유닛은 상기 용기 몸체와 연결된 배관, 상기 배관에 연통되어 상기 수납공간의 압력을 상기 대기압보다 낮게 형성하여 상기 크랙에 포함된 상기 기체를 제거하는 진공 펌프 및 상기 수납공간 내부의 압력을 센싱하는 압력 센서를 포함한다.The gas elimination unit of the product testing apparatus includes a pipe connected to the container body, a vacuum pump communicating with the pipe to form the pressure of the storage space lower than the atmospheric pressure to remove the gas contained in the crack, And a pressure sensor that senses the pressure of the fluid.
제품 테스트 장치는 상기 용기 몸체에 수납된 상기 테스트 용액의 온도를 조절하는 히터 유닛을 더 포함한다.The product testing apparatus further includes a heater unit for regulating the temperature of the test solution stored in the container body.
일실시예로서, 제품 테스트 설비는 내부에 테스트 될 제품이 수납되는 수납공간이 형성되며, 외부에 대하여 개방 또는 밀폐되는 테스트 용기, 상기 수납공간의 압력을 대기압보다 낮은 압력으로 조절하여 상기 제품에 형성된 크랙의 내부에 채워진 기체를 제거하는 기체 제거 유닛, 상기 크랙의 내부에 채워진 상기 기체가 제거된 상기 제품에 테스트 용액을 공급하는 용액 공급 유닛, 상기 테스트 용액을 상기 테스트 용기로부터 배출시키는 드레인 유닛 및 상기 테스트 용기로 상기 제품을 로딩 및 언로딩 하는 제품 이송 유닛을 포함하는 제품 테스트 장치; 상기 제품이 수납된 제품 용기를 제공하는 로더; 상기 테스트 용기에서 테스트 된 상기 제품에 묻은 상기 테스트 용액을 세정하는 세척 유닛; 상기 세척 유닛에서 세척된 상기 제품을 건조하는 건조 유닛; 및 상기 건조 유닛에서 건조된 제품을 언로딩 하는 언로더를 포함한다.In one embodiment, the product test facility includes a test container having a storage space therein for receiving a product to be tested, the test container being opened or closed against the outside, a pressure sensor for controlling the pressure of the storage space to a pressure lower than atmospheric pressure, A solution removing unit for removing the gas filled in the crack, a solution supply unit for supplying the test solution to the product from which the gas filled in the crack is removed, a drain unit for discharging the test solution from the test container, A product testing apparatus including a product transfer unit for loading and unloading the product into a test container; A loader for providing a product container containing the product; A cleaning unit for cleaning the test solution adhered to the product tested in the test container; A drying unit for drying the product washed in the cleaning unit; And an unloader for unloading the dried product from the drying unit.
본 발명에 따른 제품 테스트 장치 및 이를 갖는 제품 테스트 설비는 제품에 형성된 크랙 또는 기공의 여부를 확인하기 위해 제품에 용액을 제공하는 신뢰성 테스트를 수행할 때 제품을 용액에 딥핑하기 이전에 제품을 대기압보다 낮은 진공압 환경에 노출시킨 후 진공압을 유지하면서 제품에 용액을 제공하여 제품에 형성된 크랙에 용액이 침투할 수 있도록 하여 신뢰성 테스트의 불량을 방지 또는 억제할 수 있다.The product testing apparatus and the product testing apparatus having the product testing apparatus according to the present invention are designed so that when performing a reliability test of providing a solution to a product in order to confirm whether cracks or pores are formed in the product, The solution is supplied to the product while maintaining the vacuum pressure after exposure to the low vacuum pressure environment so that the solution can penetrate into the crack formed in the product, thereby preventing or suppressing the failure of the reliability test.
본 발명에 따른 제품 테스트 장치 및 이를 갖는 제품 테스트 설비는 제품을 용액에 딥핑하여 크랙에 용액이 침투되는 시간을 종래 약 10분에서 약 5분 정도로 크게 단축 시킬 수 있는 효과를 갖는다.The product testing apparatus and the product testing apparatus having the product testing apparatus according to the present invention have the effect of dipping the product into the solution and greatly shortening the time for the solution to penetrate into the crack from about 10 minutes to about 5 minutes.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 장치를 도시한 단면도이다.
도 2 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 장치의 작동을 도시한 도면들이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제품 테스트 설비를 도시한 평면도이다.1 is a sectional view showing a product testing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2 to 7 are views showing the operation of the product testing apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a plan view showing a product testing facility according to another embodiment of the present invention.
이하 설명되는 본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention, which is set forth below, may be embodied with various changes and may have various embodiments, and specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.
또한 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 구분하여 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Also, the terms first, second, etc. may be used to distinguish between various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 장치를 도시한 단면도이다.1 is a sectional view showing a product testing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 제품 테스트 장치(600)는 테스트 용기(100), 기체 제거 유닛(200), 용액 공급 유닛(300), 드레인 유닛(400) 및 제품 이송 유닛(500)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a
테스트 용기(100)는 내부에 테스트 될 제품이 수납되는 수납 공간(110)을 갖는다. 본 발명의 일실시예에서, 테스트 용기(100)에 수납되는 테스트 될 제품(1)은, 예를 들어, 반도체 칩, 배선들 및 이들을 감싸는 몰드를 포함하는 반도체 패키지를 포함하고, 제품(1)은 메쉬망 형태를 갖는 제품 용기(2) 내에 수납될 수 있다.The
특히 반도체 패키지의 몰드에는 미세한 크랙, 기공 등이 형성될 수 있고, 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 장치(600)는 크랙 및 기공을 찾아내서 원인을 분석할 수 있도록 한다.In particular, fine cracks, pores and the like may be formed in the mold of the semiconductor package, and the
테스트 용기(100)는 용기 몸체(110), 커버(120) 및 밀봉 부재(130)를 포함한다.The
용기 몸체(110)는 다수개의 제품들 및 테스트 용액을 수납하기에 적합한 형상 및 사이즈를 갖는다.The
본 발명의 일실시예에서, 용기 몸체(110)는, 예를 들어, 상면이 개구 된 사각형 형상을 갖는 박스 형태로 형성될 수 있다. 또한, 용기 몸체(110)는 테스트 용액에 의하여 부식되거나 형상이 변형되지 않는 합성수지 소재 또는 금속 소재로 제조될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the
커버(120)는 용기 몸체(110)의 개구 된 상면을 개방 또는 폐쇄하여 용기 몸체(110) 내부가 외부로부터 밀폐 또는 개방될 수 있도록 한다. 예를 들어, 커버(120)는 용기 몸체(110)의 개구 된 상면에 대하여 일측으로 슬라이딩 되는 슬라이딩 도어를 포함할 수 있다.The
한편 커버(120)가 용기 몸체(110)의 개방된 상면을 폐쇄하였을 때 용기 몸체(110)의 내부가 용기 몸체(110)의 외부에 대하여 기밀하게 밀봉될 수 있도록 용기 몸체(110)에는 밀봉 부재(130)가 배치될 수 있다. 본 발명의 일실시예에서, 밀봉 부재(130)는, 예를 들어, 밀봉 링인 O-링을 포함할 수 있다.The
기체 제거 유닛(200)은 테스트 용기(100)의 내부에 배치된 제품의 형성될 수 있는 크랙 또는 기공에 포함된 기체 또는 기포를 제거한다.The
기체 제거 유닛(200)은 제품에 형성될 수 있는 크랙 또는 기공에 포함된 기체 또는 기포를 제거함으로써 후술 될 용액 공급 유닛으로부터 공급된 테스트 용액이 크랙 또는 기공의 내부로 원활하게 제공될 수 있도록 한다.The
기체 제거 유닛(200)은 배관(210), 진공펌프(220) 및 압력 센서(230)를 포함한다.The
배관(210)은 용기 몸체(110)의 일부와 연결되며, 배관(210)은 용기 몸체(110)의 측면에 연결된다.The
진공펌프(220)는 용기 몸체(110)에 연결되며, 진공펌프(220)는 용기 몸체(110) 내부의 유체, 예를 들면, 용기 몸체(110) 내부의 공기를 흡입하여 용기 몸체(110)의 외부로 배출한다.The
본 발명의 일실시예에서, 진공펌프(220)는 용기 몸체(110)의 내부를 약 50㎪ 내지 약 80㎪의 진공압을 형성한다.In one embodiment of the present invention, the
진공펌프(220)가 용기 몸체(110)의 내부를 약 50㎪ 미만의 진공압을 형성할 경우, 제품의 크랙 또는 기포 내부에 기체가 남아 있을 수 있고, 진공펌프(220)가 용기 몸체(110)의 내부에 약 80㎪이 초과하는 진공압을 형성할 경우, 진공압을 형성하는데 많은 에너지가 소모되고 용기 몸체(110), 진공펌프(220) 또는 배관(210)의 손상이 발생 될 수 있다.When the
본 발명의 일실시예에서, 진공펌프(220)와 연결된 배관(210)의 위치는 용기 몸체(110)의 내부로 제공되는 테스트 용액의 최고 수위보다 높은 위치에 배치되어 배관(210)으로 테스트 용액이 흘러들어가지 않도록 한다.The position of the
용액 공급 유닛(300)은 기체 제거 유닛(200)에 의하여 용기 몸체(110)의 내부에 기체가 제거된 상태에서 용기 몸체(110)의 내부로 테스트 용액을 제공한다.The
용액 공급 유닛(300)은 용액 탱크(310), 용액 공급 유닛(320) 및 배관(330)을 포함한다.The
용액 탱크(310)에는 용기 몸체(110)로 제공되는 용액이 수납되며, 용액 공급 유닛(320)은 지정된 양의 용액을 용기 몸체(110)로 제공하는 역할을 한다. 용액 공급 유닛(320)은, 예를 들어, 유체 펌프를 포함할 수 있다.The
용액 공급 유닛(320)에는 배관(330)의 일측단이 연결되며, 배관(330)의 타측단은 용기 몸체(110)에 연통되며, 용액 공급 유닛(320)은 용액 탱크(310)에 수납된 용액을 용기 몸체(110)로 제공한다.One end of the
드레인 유닛(400)은 용액 공급 유닛(320)에 의하여 용기 몸체(110)로 제공된 용액을 교환, 용액의 수위를 조절 또는 용액을 배출하는 역할을 한다.The
드레인 유닛(400)은 배관(410) 및 드레인 펌프(420)를 포함할 수 있다.The
배관(410)의 일측단은 용기 몸체(110)의 바닥판에 연결될 수 있고, 배관(410)의 타측단은 드레인 펌프(420)와 연결된다.One end of the
한편, 용액 공급 유닛(320)에서 용기 몸체(110)로 제공된 용액이 제품의 크랙 또는 기공에 보다 쉽게 침투할 수 있도록 용기 몸체(110)로 제공된 용액의 온도를 증가시키기 위해 용액을 가열할 수 있도록 용기 몸체(110)의 내부 중 바닥판과 인접한 부분에는 히터 유닛(450)이 배치될 수 있다.On the other hand, in order to increase the temperature of the solution supplied to the
용기 몸체(110)의 내부에 배치된 히터 유닛(450)은 용액을 약 60℃ 내지 약 120℃의 온도로 가열할 수 있다. 히터 유닛(450)은 선형(line type) 히터가 사용될 수 있다.The
한편, 기체 제거 유닛(200)을 통해 진공압이 형성된 용기 몸체(110)의 내부에 용액 공급 유닛(320)을 통해 용액을 제공한 후 제품에 발생 된 크랙 또는 기공으로 용액이 침투할 수 있도록 하기 위해, 본 발명의 일실시예에서는 용액 가압 유닛(470)을 포함할 수 있다.Meanwhile, after the solution is supplied through the
용액 가압 유닛(470)은 용액에 제품이 딥핑(deeping) 된 후 용액의 수면위에 대기압보다 높은 압력을 인가하여 용액에 압력을 가해 용액이 제품의 크랙 또는 기공으로 보다 원활하게 침투될 수 있도록 한다.The
용액 가압 유닛(470)은, 예를 들어, 유체 펌프(455), 배관(460) 및 밸브(465)를 포함할 수 있다.The
배관(460)은 진공 펌프(220)와 연결된 배관(210)에 연결되며, 배관(460) 및 진공펌프(220)에 연결된 배관(210)이 만나는 부분에는 밸브(465)가 형성된다. 밸브(465)는 배관(460,210) 중 어느 하나가 용기 몸체(110)와 연결될 수 있도록 한다.The
제품 이송 유닛(500)은 제품 용기(2)에 수납된 제품(1)을 용기 몸체(110)의 내부로 제공 및 용기 몸체(110)의 내부로부터 외부로 배출하는 역할을 한다.The
제품 이송 유닛(500)은 XY 평면에서 자유롭게 이동되며, 특히 제품 이송 유닛(500)은 Z 축 방향으로 이동이 가능한 로봇 암(510)을 포함한다.The
로봇 암(510)은 특히 X 축 방향 및 Z 축 방향으로 짧은 시간 내에 반복적으로 이동이 가능하여 제품 용기(2)를 그립(grip)한 상태에서 제품 용기(2)를 흔들 수 있다. The
이하, 도 2 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 장치의 작동을 설명하기로 한다.Hereinafter, operation of the product testing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 7. FIG.
먼저 도 2에 도시된 바와 같이 제품(1)의 신뢰성 테스트를 수행하기 위하여 테스트가 진행될 제품(1)은 메쉬망 형태로 제품(1)을 수납할 수 있는 공간이 형성된 제품 용기(2)에 수납되고, 제품 용기(2)는 제품 이송 유닛(500)의 로봇 암(510)에 의하여 커버(120)가 개방된 용기 몸체(110)의 내부에 배치된다.First, as shown in FIG. 2, in order to perform a reliability test of the
도 2에서 용기 몸체(110)의 내부는 커버(120)가 개방된 상태로 대기압이 형성되고, 용기 몸체(110)의 내부에는 테스트를 위한 용액 역시 제공되지 않은 상태이다.In FIG. 2, the inside of the
도 2에서 용기 몸체(110)의 내부에 커버(120)가 개방되어 제품(1)이 대기압에 노출될 경우 도 3에 도시된 바와 같이 제품(1)에 형성된 크랙(3)의 내부에는 기포(4)가 채워진다.2, when the
도 1을 다시 참조하면, 용기 몸체(110)의 내부에 제품(1)이 수납된 제품 용기(2)가 배치되면, 커버(120)가 닫히면서 용기 몸체(110)는 외부에 대하여 밀폐된 상태가 된다.1, when the
이어서, 기체 제거 유닛(200)의 진공 펌프(220)가 작동되어 용기 몸체(110)의 내부의 압력은 감소 되고, 용기 몸체(110)의 내부에는 최종적으로 약 80㎪ 정도의 진공압이 형성된다.Subsequently, the
이와 같이 용기 몸체(110)의 내부에 진공압이 형성되면, 도 4에 도시된 바와 같이 제품(1)의 크랙(3) 내부에 채워져 있던 기포(4)가 크랙(3)의 외부로 배출되고 크랙(3)의 내부에는 빈 공간이 형성된다.When vacuum pressure is formed inside the
이후 도 5에 도시된 바와 같이 용기 몸체(110)의 내부에 진공압이 형성된 후 진공압이 유지된 상태에서 용기 몸체(110)의 내부에는 용액 공급 유닛(300)을 통해 용액이 제공되고 제품(1)은 용액에 딥핑 된다.5, after the vacuum pressure is formed inside the
이때, 도 6에 도시된 바와 같이 기체 제거 유닛(200)에 의하여 용기 몸체(110)의 내부에 진공압을 형성하지 않은 상태에서 제품(1)을 용액의 내부에 딥핑할 경우, 제품(1)의 크랙(3)의 내부에 이미 기포(4)가 채워진 상태이기 때문에 크랙(3)의 내부로 용액이 침투하기 매우 어려우며, 용액의 외부에서 인위적으로 압력을 인가하더라도 크랙(3)의 내부로는 용액이 쉽게 침투할 수 없게 되며 이로 인해 제품에 크랙(3)이 존재함에도 불구하고 크랙(3)을 인식하지 못하게 된다.6, when the
반면, 도 7에 도시된 바와 같이 기체 제거 유닛(200)에 의하여 용기 몸체(110)의 내부에 진공압을 형성할 경우, 제품(1)에 형성된 크랙(3)에 채워져 있던 기포는 도 4에 도시된 바와 같이 외부로 배출되기 때문에 제품(1)에 형성된 크랙(3)으로는 용액이 어떠한 저항 없이 채워지고 되고, 용액에 의하여 크랙(3)의 존재를 명확하게 인식할 수 있다.On the other hand, when vacuum pressure is formed inside the
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제품 테스트 설비를 도시한 평면도이다. 도 8에 도시된 제품 테스트 설비의 제품 테스트 장비는 도 1 내지 도 7에 도시 및 설명된 제품 테스트 설비와 실질적으로 동일한 바 동일한 구성에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.8 is a plan view showing a product testing facility according to another embodiment of the present invention. The product test equipment of the product test equipment shown in Fig. 8 is substantially the same as the product test equipment shown and described in Figs. 1 to 7, and a duplicated description of the same configuration will be omitted.
도 8을 참조하면, 제품 테스트 설비(800)는 베이스(705), 로더(710), 제품 테스트 장치(600), 세척 유닛(720), 건조 유닛(730) 및 언로더(740)를 포함한다.8, the
베이스(705)는 로더(710), 제품 테스트 장치(600), 세척 유닛(720), 건조 유닛(730) 및 언로더(740)가 설치되는 공간을 제공한다. The
로더(710)는 테스트가 수행될 제품들이 수납된 제품 용기를 제공한다.The
제품 테스트 장치(600)는 로더(710)와 인접한 위치에 배치되며, 로더(710)로부터 제공된 제품은 도 1에 도시된 제품 테스트 장치(600)에서 용액에 딥핑되어 테스트가 수행된다.The
제품 테스트 장치(600)에서 테스트가 수행된 제품은 제품 테스트 장치(600)와 인접하게 배치된 세척 유닛(720)에서 세척이 수행된다. 세척 유닛(720)은, 예를 들어, 세정액으로 제품 테스트 장치(600)에서 제품에 묻은 용액을 제거한다.The product subjected to the test in the
세척 유닛(720)에서 세척된 제품은 세적 유닛(720)과 인접하게 배치된 건조 유닛(720)에서 건조된 후 언로더(740)로 이송된 후 후속 테스트 확인 공정으로 이송된다. The cleaned product in the
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 제품에 형성된 크랙 또는 기공의 여부를 확인하기 위해 제품에 용액을 제공하는 신뢰성 테스트를 수행할 때 제품을 용액에 딥핑하기 이전에 제품을 대기압보다 낮은 진공압 환경에 노출 시킨 후 진공압을 유지하면서 제품에 용액을 제공하여 제품에 형성된 크랙에 용액이 침투할 수 있도록 하여 신뢰성 테스트의 불량을 방지 또는 억제할 수 있다.As described in detail above, when performing a reliability test that provides a solution to a product to confirm whether cracks or pores are formed in the product, the product is exposed to a vacuum pressure environment lower than atmospheric pressure before dipping the product in the solution The solution can be supplied to the product while maintaining the vacuum pressure so that the solution can penetrate into the crack formed in the product, thereby preventing or suppressing the failure of the reliability test.
또한 본 발명은 제품을 용액에 딥핑하여 크랙에 용액이 침투되는 시간을 종래 약 10분에서 약 5분 정도로 크게 단축시킬 수 있는 효과를 갖는다.Further, the present invention has the effect of dipping the product into the solution and significantly shortening the time for the solution to penetrate into the cracks from about 10 minutes to about 5 minutes.
한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.It should be noted that the embodiments disclosed in the drawings are merely examples of specific examples for the purpose of understanding, and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.
100...테스트 용기 200...기체 제거 유닛
300...용액 공급 유닛 400...드레인 유닛
500...제품 이송 유닛100 ...
300 ...
500 ... Product transfer unit
Claims (5)
상기 수납공간의 압력을 대기압보다 낮은 압력으로 조절하여 상기 제품에 형성된 크랙의 내부에 채워진 기체를 제거하는 기체 제거 유닛;
상기 크랙의 내부에 채워진 상기 기체를 제거한 후, 상기 제품의 상기 크랙에 테스트 용액을 공급하는 용액 공급 유닛;
상기 테스트 용액을 상기 테스트 용기로부터 배출시키는 드레인 유닛;
상기 테스트 용기로 상기 제품을 로딩 및 언로딩 하는 제품 이송 유닛; 및
상기 테스트 용기에 결합되며 상기 제품이 상기 용액에 딥핑(deeping) 된 후, 상기 용액에 압력을 가해 상기 용액을 추가적으로 상기 제품의 크랙의 내부로 침투 시키는 용액 가압 유닛을 포함하는 제품 테스트 장치.A test container in which a storage space for storing a product to be tested is formed and which is opened or sealed to the outside;
A gas removing unit for regulating the pressure of the storage space to a pressure lower than the atmospheric pressure to remove the gas filled in the cracks formed in the product;
A solution supply unit for removing the gas filled in the cracks, and then supplying the test solution to the cracks of the product;
A drain unit for discharging the test solution from the test container;
A product transfer unit for loading and unloading the product into the test container; And
And a solution pressurizing unit coupled to the test vessel and having a solution pressurizing unit for applying pressure to the solution after the product is deeply dipped in the solution to further infiltrate the solution into the interior of the crack of the product.
상기 테스트 용기는 상기 제품이 수납되는 용기 몸체, 상기 용기 몸체에 대하여 개폐되는 커버 및 상기 수납공간을 밀봉하는 밀봉 부재를 포함하는 제품 테스트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the test container comprises a container body in which the product is housed, a cover opened and closed with respect to the container body, and a sealing member sealing the storage space.
상기 기체 제거 유닛은 상기 용기 몸체와 연결된 배관, 상기 배관에 연통되어 상기 수납공간의 압력을 상기 대기압보다 낮게 형성하여 상기 크랙에 포함된 상기 기체를 제거하는 진공 펌프 및 상기 수납공간 내부의 압력을 센싱하는 압력 센서를 포함하며,
상기 용액 가압 유닛은 상기 배관에 연결된 용액 가압 유닛용 배관, 상기 배관 및 상기 용액 가압 유닛용 배관이 만나는 부분에 형성된 밸브 및 상기 용액 가압 유닛용 배관에 유체를 제공하는 유체 펌프를 포함하는 제품 테스트 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the gas removal unit comprises: a pipe connected to the container body; a vacuum pump communicating with the pipe to form a pressure in the storage space lower than the atmospheric pressure to remove the gas contained in the crack; Pressure sensor,
Wherein the solution pressurizing unit includes a pipe for a solution pressurizing unit connected to the pipe, a valve formed at a portion where the pipe and the pipe for the solution pressurizing unit meet, and a fluid pump for supplying a fluid to the pipe for the solution pressurizing unit .
상기 용기 몸체에 수납된 상기 테스트 용액의 온도를 조절하는 히터 유닛을 더 포함하는 제품 테스트 장치.3. The method of claim 2,
And a heater unit for adjusting the temperature of the test solution stored in the container body.
상기 제품이 수납된 제품 용기를 제공하는 로더;
상기 테스트 용기에서 테스트 된 상기 제품에 묻은 상기 테스트 용액을 세정하는 세척 유닛;
상기 세척 유닛에서 세척된 상기 제품을 건조하는 건조 유닛; 및
상기 건조 유닛에서 건조된 제품을 언로딩 하는 언로더를 포함하는 제품 테스트 설비.A test container having a storage space for accommodating a product to be tested therein and being opened or closed with respect to the outside; a pressure sensor for controlling the pressure of the storage space to a pressure lower than the atmospheric pressure to remove the gas filled in the crack A crack removing unit, a solution supply unit for removing the gas filled in the crack and supplying the test solution to the crack of the product, a drain unit for discharging the test solution from the test container, A product transfer unit coupled to the test container for loading and unloading the product and a solution pressurizing unit for applying pressure to the solution after the product is deeply dipped in the solution to further infiltrate the solution into the crack of the product Include product testing equipment;
A loader for providing a product container containing the product;
A cleaning unit for cleaning the test solution adhered to the product tested in the test container;
A drying unit for drying the product washed in the cleaning unit; And
And an unloader for unloading the dried product in the drying unit.
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