KR101927102B1 - 컴팩트형 기판 건조 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 레일(100); 회전 중심축(210)을 중심으로 회전하며 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200); 상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300); 상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700); 상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 포함하는 기판 건조 장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 기판 가공장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 컴팩트하게 형성되어 설치 장소 공간을 최대한 활용할 수 있는 인쇄 회로 기판의 건조 장치에 관한 것이다.
이미 알려진 것처럼, 인쇄 회로 기판은 에칭 처리 등의 화학 처리에 의해서 패턴 배선이 형성되고 이 패턴 배선에 의한 복수의 전자 부품을 상호 접속하는 것이다. 이러한 인쇄 회로 기판을 제작하기 위한 하나의 장치로서 전자 부품을 장착하기 위한 구멍을 형성하고 도금 처리를 한 후, 인쇄 회로 기판의 표면을 세척한 후 기판을 건조하는 기판 건조 장치가 있다.
이러한 기판 건조 장치는 수평 이송되는 프린트 기판을 건조 처리하기 때문에, 에어 블로우 공정(불로어에 의해 남은 수분을 날리는 공정), 온풍 건조 공정의 각 공정을 실행하는 장치가 수평이고 직선적으로 배치되고 있다.
프린트 기판은 위 각 공정을 실행하는 장치에 차례로 이송되면서 건조가 이루어진다.
그러나 이와 같은 각 공정을 실행하는 장치는 수평이며 직선적으로 배치되어 큰 공간을 차지하게 된다.
또한, 에어 블로우 공정 및 온풍 건조 공정 각 장치에는 바람을 발생시키는 블로어(송풍기)를 설치해야 되므로 소비 전력이 커지고 비용이 증가한다.
이에 본 발명은 다수의 기판을 수평으로 이송시키는 이송 수단과 상기 이송 수단에 상기 기판을 수직으로 이동하게 하는 벨트를 설치하여 다수의 기판을 동시에 건조하도록 해서 공간 절약화, 전력 절약화 및 저비용을 구현하고자 한다.
기판 건조 장치와 관련하여 등록 특허 10-1350885호와 10-1342618호가 있으나 이러한 장치들은 다수의 기판을 수평방향 움직임과 수직 방향 움직임을 하게 하는 것과는 차이가 있다.
본 발명은 다수의 기판이 함께 수평 움직임과 수직 움직임이 이루어지면서 건조할 수 있도록 하여 공간 절약화 및 공정 단순화를 이루고자 한다.
본 발명에 따르면, 레일(100); 회전 중심축(210)을 중심으로 회전하며 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200); 상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300); 상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700); 상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 포함하고, 상기 레일(100)에는 롤러(200)가 지나가는 속도를 측정하는 센서부(240)가 설치되고, 상기 회전 중심축(220)은 롤러의 안쪽에서는 체인(220)과 연결되고 롤러의 바깥쪽에서는 경사진 2개의 바(230)에 의해서 이송 플레이트(310)와 연결되고, 상기 이송 수단(300)은 이송 플레이트(310), 상기 이송 플레이트(310)의 전면부에 설치된 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390), 상기 4개의 쌍 각각에서 움직이는 4개의 벨트(321, 341, 361, 381), 및 상기 8개의 벨트 풀리가 각각 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394), 상기 이송 플레이트(310)의 후면부의 하부에 설치되는 3개의 쌍을 이루는 6개의 벨트 풀리(328, 348, 349, 368, 369, 388), 상기 3개의 쌍 각각에서 움직이는 3개의 벨트(323, 343,363)를 포함하고, 상기 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)와 상기 벨트 풀리가 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 4개는 이송 플레이트(310)의 하부에 설치되고 나머지 4개는 상부에 설치되며, 하부에 설치된 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)와 상부에 설치된 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)가 쌍을 이룸과 동시에 상부 및 하부에 설치된 벨트 풀리들은 수평 방향에서 서로 나란히 형성되고, 상기 3개의 벨트에 의하여 상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 하부에 설치된 회전축(324, 344, 364, 384)이 동시에 회전하고, 상기 하부에 설치된 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)중 앞면에서 보았을때 제일 왼쪽에 있는 제1 회전축(324)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제1벨트 풀리(328)가 설치되며, 상기 회전축(324)의 단부는 모터(800)의 축과 커플링(329)에 의해서 연결되고, 상기 4개의 회전축중 앞면에서 보았을때 가장 오른쪽에 있는 제4 회전축(384)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제6 벨트 풀리(388)가 설치되며, 상기 4개의 회전축 중 제1 회전축(324)의 바로 옆의 제2 회전축(344)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제2 내지 제3 벨트 풀리(348, 349)가 설치되고, 상기 4개의 회전축 중 제4 회전축(384)의 바로 옆의 제3 회전축(364)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제4 내지 제5 벨트 풀리(369, 368)가 설치되고, 제1 벨트 풀리(328)와 제2벨트 풀리(348), 제3 벨트 풀리(349)와 제4벨트 풀리(369), 제5벨트 풀리(368)와 제6벨트 풀리(388)가 각각 벨트(323, 343, 363)에 의해 연결되어 쌍을 이루며, 상기 건조부(400)는 상부의 개구(410), 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 상기 압축 공기 분사 노즐(420) 아래에 설치된 온풍기(430)를 포함하고, 상기 8개의 회전축 각각은 외주에는 쌍을 이루는 베어링(325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b)과 상기 베어링을 덮으며 이송 플레이트(310)에 고정되는 브라켓(327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b)에 의하여 이송플레이(310)에 상대적인 회전이 이루어질 수 있고, 상기 4개의 벨트의 단부 각각에는 기판 고정부((322, 342, 362, 382)가 설치되어 4개의 기판이 동시에 이송 플레이트(310)에 대하여 수직으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치가 제공될 수 있다.
본 발명에서는 다수의 기판이 함께 수평 움직임과 수직 움직임이 이루어질 수 있도록 하여 적은 시간에 많은 기판을 건조시킬 수 있다.
또한, 기판이 수평 움직임과 수직 움직임이 모두 이루어지므로 장치가 설치되는 장소의 공간을 최대한 이용할 수 있게 되었다.
도 1은 본 발명의 기판 건조 장치의 전체 도면이다.
도 2는 본 발명의 기판 이송 부분에 대한 확대 도면이다.
도 3a 내지 도 3d는 도 2에서 표시된 화살표 방향에서 본 투시도면이다.
도 4는 본 발명 이송 레일부의 확대 사시도이다.
도 5는 본 발명의 기판 건조부의 확대도이다.
도 2는 본 발명의 기판 이송 부분에 대한 확대 도면이다.
도 3a 내지 도 3d는 도 2에서 표시된 화살표 방향에서 본 투시도면이다.
도 4는 본 발명 이송 레일부의 확대 사시도이다.
도 5는 본 발명의 기판 건조부의 확대도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 기판 건조 장치의 전체 도면으로, 레일(100), 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200), 상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300), 상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700), 상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 도시하고 있다.
상기 건조부(400)는 상부의 개구(410), 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 상기 압축 공기 분사 노즐(420) 아래에 설치된 온풍기(430)를 포함한다.
또한, 상기 기판 건조 장치는 압축 공기 분사 노즐(420)에 배관(620)을 통해 압축 공기를 공급하는 압축기(600)와 상기 온풍기(430)에 전력을 공급하는 전원부(500)를 추가로 포함하고 있으며, 배관(620)에는 밸브(610)가 설치되어 공급되는 압축 공기를 제어할 수 있다.
도 2는 본 발명의 기판 이송 부분에 대한 확대 도면이며 도 3a 내지 도 3d는 도 2에서 표시된 화살표 방향에서 본 투시도이다.
레일(100)을 따라 이송하는 롤러(200)는 회전 중심축(210)을 중심으로 회전한다.
상기 회전 중심축(220)은 롤러의 안쪽에서는 체인(220)과 연결되고 롤러의 바깥쪽에서는 경사진 2개의 바(230)에 의해서 이송 플레이트(310)와 연결되어 있다.
상기 이송 수단(300)은 이송 플레이트(310)의 전면부에 설치된 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)가 설치되고, 상기 4개의 쌍 각각에서는 4개의 벨트(321, 341, 361, 381)가 작동된다.
상기 8개의 벨트 풀리는 각각 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)에 체결되어 있다.
상기 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)와 상기 벨트 풀리가 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 4개는 이송 플레이트(310)의 하부에 설치되고 나머지 4개는 상부에 설치되며, 하부에 설치된 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)와 상부에 설치된 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)가 쌍을 이룬다.
상부 및 하부에 설치된 벨트 풀리들은 수평 방향에서 서로 나란하다.
상기 하부에 설치된 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)중 앞면에서 보았을때 제일 왼쪽에 있는 제1 회전축(324)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제1벨트 풀리(328)가 설치되며, 상기 회전축(324)의 단부는 모터(800)의 축과 커플링(329)에 의해서 연결된다.
상기 모터는 브라켓(810)에 의하여 이송 플레이트(310)에 고정된다.
상기 모터(800)가 회전하면 제1회전축(324)이 회전하면서, 전면부 쪽의 벨트 풀리(320)와 후면 쪽의 제1 벨트 풀리(328)가 회전한다.
벨트 풀리(320)가 회전하면 쌍을 이루는 벨트 풀리(330)도 회전하면서 벨트(321)의 길이가 조절되어 벨트(321)에 연결된 기판(700)도 위 아래로 움직인다.
제1 벨트 풀리(328)가 회전하면 벨트(323)가 움직여서 제2벨트 풀리(348)가 회전하고 이로 인하여 제2회전축(344)도 회전한다.
제2 회전축(344)가 회전함에 따라, 전면부의 풀리(340)가 회전하고 벨트(341)도 풀리(350)을 경유하면 위 아래로 움직인다.
따라서, 풀리(341)에 연결된 기판도 위 아래로 움직인다.
제2회전축(344)이 회전할때 또한, 제3 벨트 풀리(349)가 회전하고 제3벨트 풀리(349)와 연결된 제4 벨트 풀리(369)도 회전하고 이와 연결된 제3회전축(364)이 회전한다.
제3회전축(364)이 회전함에 따라 제5벨트 풀리(368)와 전면부의 벨트 풀리(360)가 회전한다.
벨트 풀리(360)가 회전함에 따라 이와 연결된 벨트(361)가 풀리(370)를 경유하며 길이가 조정되고 이로 인하여 벨트(361)와 연결된 기판도 위 아래로 움직인다.
제5 벨트 풀리(368)가 회전함에 따라 벨트((363)에 의해 제6 벨트 풀리(388)가 회전하고 이로 인하여 제4 회전축(383)와 이와 연결된 벨트 풀리(380)가 회전한다.
벨트 풀리(380)가 회전함에 따라 벨트(381)가 벨트 풀리(390)을 경유하며 길이가 조정되고 이로 인하여 벨트(381)에 연결된 기판도 위 아래로 움직인다.
이와 같이 모터(8000)의 작동에 의하여 벨트 풀리(320)와 제1 벨트 풀리(328)가 회전하고 제1 벨트 풀리(328)와 벨트에 의해 연결된 제2벨트 풀리(348)가 회전하고, 순차적으로 제3 내지 제6 벨트 풀리가 회전하면서 하부의 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)가 회전하고 상기 회전축과 연결된 전면부의 하부에 설치된 4개의 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)도 회전한다.
상기 전면부의 하부에 설치된 4개의 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)가 회전하면서, 4개의 벨트(321, 341, 361, 381)는 상부의 4개의 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)을 경유하면서 길이가 조정되고 이로 인하여 4개의 벨트(321, 341, 361, 381) 각각에 연결된 4개의 기판이 동시에 상하로 움직인다.
상기 8개의 회전축 각각의 외주에는 쌍을 이루는 베어링(325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b)과 상기 베어링을 덮으며 이송 플레이트(310)에 고정되는 브라켓(327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b)이 설치되어, 각각의 회전축은 베어링에 지지되며 이송 플레이트(310)에 상대적인 회전이 이루어진다.
상기 이송 플레이트(310) 전면부에 설치된 4개의 벨트의 단부 각각에는 기판 고정부((322, 342, 362, 382)가 설치되어 벨트의 길이가 조정됨에 따라 기판이 위 아래로 움직일 수 있다.
상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394) 각각에는 쌍을 이루는 나사산부(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)와 각각의 나사산부에 체결되는 너트(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)에 의하여 회전축을 베어링에 대하여 축방향 움직임을 고정할 수 있다.
도 4에 도시된 것과 같이 상기 레일(100)에는 센서부(240)가 설치되어 롤러(200)의 이동 속도를 측정할 수 있다.
보다 자세하게는 상기 센서부(240)는 제1 수평바(241), 상기 제1 수평바와 평행한 제2 수평바(242), 상기 제1 수평바와 제2 수평바를 연결하는 수직바, 상기 제1수평파 및 제2수평바에 설치된 발광 소자(244) 및 수광 소자(245)를 포함하고, 상기 롤러(200)의 회전 중심축(210)은 상기 발광 소자와 수광 소자 사이를 지나간다.
또한, 상기 센서부(240)에 의해 측정한 롤러의 속도에 기초하여 윤활유 공급부(250)는 윤활유를 롤러에 공급할 수 있다.
도 5에 도시된 것과 같이, 4개의 기판(700)이 동시에 아래로 움직이면서 건조부(400)의 상부 개구(410)를 통해 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 온풍기(430)를 지나가고 다시 올라오면서 건조부(400)를 빠져 나온후 이송한다.
상기 압축 공기 분사 노즐은 기판에 있는 물방울들을 불어서 날려 보내고 온풍기는 기판의 축축함을 건조시키는 작용을 한다.
이와 같이 동시에 4개의 기판을 수직 방향으로 이송시키면서 건조작업을 하게 되므로, 공간 활용과 공정을 줄여 저비용을 초래할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로 본 발명이 속하는 기술분야에서 통 상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것 이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래 의 특허청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 레일 200: 롤러
300: 이송 수단 310: 이송 플레이트
400: 건조부 500: 전원
600:압축기 210: 회전 중심축
220: 체인
320, 330, 340, 350, 360, 370. 380. 390: 벨트 풀리
321. 341, 361, 381: 벨트
300: 이송 수단 310: 이송 플레이트
400: 건조부 500: 전원
600:압축기 210: 회전 중심축
220: 체인
320, 330, 340, 350, 360, 370. 380. 390: 벨트 풀리
321. 341, 361, 381: 벨트
Claims (2)
- 레일(100);
회전 중심축(210)을 중심으로 회전하며 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200);
상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300);
상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700);
상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 포함하고,
상기 레일(100)에는 롤러(200)가 지나가는 속도를 측정하는 센서부(240)가 설치되고,
상기 회전 중심축(220)은 롤러의 안쪽에서는 체인(220)과 연결되고 롤러의 바깥쪽에서는 경사진 2개의 바(230)에 의해서 이송 플레이트(310)와 연결되고,
상기 이송 수단(300)은 이송 플레이트(310), 상기 이송 플레이트(310)의 전면부에 설치된 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390), 상기 4개의 쌍 각각에서 움직이는 4개의 벨트(321, 341, 361, 381), 및 상기 8개의 벨트 풀리가 각각 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394), 상기 이송 플레이트(310)의 후면부의 하부에 설치되는 3개의 쌍을 이루는 6개의 벨트 풀리(328, 348, 349, 368, 369, 388), 상기 3개의 쌍 각각에서 움직이는 3개의 벨트(323, 343,363)를 포함하고,
상기 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)와 상기 벨트 풀리가 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 4개는 이송 플레이트(310)의 하부에 설치되고 나머지 4개는 상부에 설치되며,
하부에 설치된 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)와 상부에 설치된 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)가 쌍을 이룸과 동시에 상부 및 하부에 설치된 벨트 풀리들은 수평 방향에서 서로 나란히 형성되고,
상기 3개의 벨트에 의하여 상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 하부에 설치된 회전축(324, 344, 364, 384)이 동시에 회전하고,
상기 하부에 설치된 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)중 앞면에서 보았을때 제일 왼쪽에 있는 제1 회전축(324)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제1벨트 풀리(328)가 설치되며, 상기 회전축(324)의 단부는 모터(800)의 축과 커플링(329)에 의해서 연결되고,
상기 4개의 회전축중 앞면에서 보았을때 가장 오른쪽에 있는 제4 회전축(384)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제6 벨트 풀리(388)가 설치되며,
상기 4개의 회전축 중 제1 회전축(324)의 바로 옆의 제2 회전축(344)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제2 내지 제3 벨트 풀리(348, 349)가 설치되고,
상기 4개의 회전축 중 제4 회전축(384)의 바로 옆의 제3 회전축(364)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제4 내지 제5 벨트 풀리(369, 368)가 설치되고,
제1 벨트 풀리(328)와 제2벨트 풀리(348), 제3 벨트 풀리(349)와 제4벨트 풀리(369), 제5벨트 풀리(368)와 제6벨트 풀리(388)가 각각 벨트(323, 343, 363)에 의해 연결되어 쌍을 이루며,
상기 건조부(400)는 상부의 개구(410), 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 상기 압축 공기 분사 노즐(420) 아래에 설치된 온풍기(430)를 포함하고,
상기 8개의 회전축 각각은 외주에는 쌍을 이루는 베어링(325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b)과 상기 베어링을 덮으며 이송 플레이트(310)에 고정되는 브라켓(327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b)에 의하여 이송플레이(310)에 상대적인 회전이 이루어질 수 있고,
상기 4개의 벨트의 단부 각각에는 기판 고정부((322, 342, 362, 382)가 설치되어 4개의 기판이 동시에 이송 플레이트(310)에 대하여 수직으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치. - 제1항에 있어서,
상기 기판 건조 장치는 압축 공기 분사 노즐(420)에 압축 공기를 공급하는 압축기(600)와 상기 온풍기(430)에 전력을 공급하는 전원부(500)를 추가로 포함하고,
상기 레일(100)에는 센서부(240)에서 측정한 롤러(200)의 이동 속도에 기초하여 윤활유를 공급하는 윤활유 공급부(250)가 설치되어 있고,
상게 센서부(240)는 제1 수평바(241), 상기 제1 수평바와 평행한 제2 수평바(242), 상기 제1수평바와 제2수평바를 연결하는 수직바, 상기 제1 수평바 및 제2수평바에 설치된 발광 소자(244) 및 수광 소자(245)를 포함하고,
상기 롤러(200)의 회전 중심축(210)은 상기 발광 소자와 수광 소자 사이를 지나가는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
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2018
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KR101331507B1 (ko) | 2010-08-09 | 2013-11-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법 |
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