KR101918220B1

KR101918220B1 - Loading apparatus for pcb

Info

Publication number: KR101918220B1
Application number: KR1020180015849A
Authority: KR
Inventors: 강승희; 김현민
Original assignee: (주)대한스프레이시스템; 김현민
Priority date: 2018-02-08
Filing date: 2018-02-08
Publication date: 2019-02-08

Abstract

The present invention relates to a loading/unloading device for a substrate capable of inputting a cart. More specifically, the loading/unloading device for a substrate capable of inputting a cart sequentially loads or unloads substrates and materials in a state that a cart is input into the loading/unloading device without a need to move the materials separately from the cart in which the substrates and the materials for substrates such as slip sheets are loaded, thereby easily delivering, keeping and loading/unloading the materials for substrates. To this end, the loading/unloading device for a substrate capable of inputting a cart comprises: a cart capable of moving in a state in which a plurality of materials for substrates are loaded; a main body including a cart input portion which is formed so that the cart can enter, and a loading portion which is provided on one side of the cart input portion and in which loaded materials or materials to be unloaded wait; a cart lifting unit including a lifting means which has a lifting plate for lifting the cart by being inserted into a lower portion of the bottom plate of the cart so as to raise the loaded material to the height of the loading portion, and a fixing means which aligns and fixes the materials loaded on the cart and the cart supported by the lifting plate to a right position; and a transfer unit provided to reciprocate between the cart input portion and the loading portion, and transferring the cart or the material of the loading portion by vacuum suction.

Description

대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치{LOADING APPARATUS FOR PCB}[0001] LOADING APPARATUS FOR PCB [0002]

본 발명은 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 및 간지와 같은 기판용 자재가 적층된 대차에서 자재들을 별도로 옮길 필요 없이 대차 자체를 로딩/언로딩 장치에 투입한 상태에서 기판 및 자재를 순차적으로 로딩 또는 언로딩하여, 기판용 자재들의 운반 및 보관, 로딩/언로딩을 보다 쉽게 할 수 있는 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a loading / unloading apparatus for a substrate, and more particularly, to a loading / unloading apparatus for a substrate, and more particularly to a loading / unloading apparatus for a substrate, And more particularly, to a substrate loading / unloading apparatus capable of loading / unloading substrates and materials sequentially in a loaded state, and capable of loading / unloading / loading / unloading substrates.

PCB 등의 통상적인 기판은 노광, 에칭 등의 공정을 통해 패턴이 완성된 전자회로 기판 제품이 되고, 이후 각종 칩 등의 전자부품 실장 등의 공정을 거쳐 전자 제품으로 사용할 수 있도록 제작된다.A typical substrate such as a PCB is an electronic circuit board product in which a pattern is completed through processes such as exposure and etching, and is manufactured to be used as an electronic product through processes such as packaging of electronic components such as various chips.

이러한 기판은 자동화 기술이 발전되면서 자동화 라인을 통해 운반 및 공정이 이루어지는 바, 이렇게 자동화 라인에 기판을 투입하거나 공정이 완료된 기판을 배출하는 것을 로딩/언로딩 작업이라고 한다.Such a substrate is transported and processed through an automated line as the automation technology is developed. Such a loading / unloading operation is a process of loading a substrate into an automation line or discharging a processed substrate.

이에 기판의 로딩/언로딩 작업을 안전하고 신속하게 실시할 수 있도록 다양한 설비의 개발 및 사용이 이루어지고 있다.Accordingly, various facilities have been developed and used so that the loading / unloading operation of the substrate can be carried out safely and quickly.

등록특허 제10-0976391호, 등록특허 제10-0976390호, 등록특허 제10-0976388호, 공개특허 제10-2018-0002004호 등에서 확인할 수 있는 바와 같이, 기판용 로딩/언로딩 장치는 대부분 진공, 흡착을 통해 기판을 이송하는데, 이렇게 공정 투입 전 또는 공정 완료 후의 기판은 대차에 적층 보관된 상태로 운반이 이루어지는 바, 종래의 로딩/언로딩 장치는 작업자가 로딩/언로딩 장치에 구비된 카세트나 캐리어 등에 기판을 수작업으로 투입 또는 배출해줘야 하기 때문에 불필요한 인건비의 낭비를 초래하고 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.As can be seen in the registered patent No. 10-0976391, the registered patent No. 10-0976390, the registered patent No. 10-0976388, the patent No. 10-2018-0002004, the loading / unloading device for the substrate is mostly vacuum The substrate is transported in a state where the substrates are stacked and stored in a truck before or after the process is put in. The conventional loading / unloading apparatus is a system in which a worker loads a cassette The substrate must be manually inserted into or discharged from a carrier or the like, which results in unnecessary waste of labor and deteriorates the productivity.

특히 다수개의 기판을 대차에 적층시키기 위해선, 기판 파손을 방지하기 위해 기판들 사이에 간지를 끼워야 하는 바, 종래의 로딩/언로딩 장치에 있어 기판의 투입 및 배출을 작업자가 수작업으로 진행할 경우, 간지의 취급 및 처리 등의 번거로움이 있어, 작업성이 매우 떨어지는 문제점이 있다.Particularly, in order to stack a plurality of substrates on a truck, it is necessary to sandwich the boards between the substrates in order to prevent breakage of the substrate. In the conventional loading / unloading apparatus, There is a problem in that the workability is very poor.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems,

대차에 적층된 기판들 또는 대차에 적층할 기판들을 작업자가 수작업으로 일일이 옮기지 않고, 대차를 이용해 기판들의 로딩 및 언로딩 작업을 모두 자동화시켜, 불필요한 인건비의 낭비를 방지하고 생산성, 작업성을 향상시킬 수 있도록, 대차 투입부, 상기 대차 투입부 상에서 대차를 승하강시키는 대차 승강유닛, 대차 투입부와 적재부 사이를 왕복 이동하여 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하는 기판용 로딩/언로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is possible to automate both loading and unloading of substrates by using bogies without manually moving the substrates stacked on the bogie or the substrates to be stacked on the bogie to prevent waste of unnecessary labor costs and improve productivity and workability A loading / unloading apparatus for loading / unloading a substrate, the loading / unloading apparatus including a loading / unloading unit for loading / unloading the loading / unloading unit on the loading / unloading unit, and a transferring unit for moving the loading / .

특히 본 발명은 기판 적층에 사용되는 기판 및 간지를 순차적으로 자동 적층하여 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있도록, 대차 투입부가 제1 투입부와 제2 투입부로 이루어지고, 이송유닛에 기판용 제1 픽커와 간지용 제2 픽커가 구비되어 있는 기판용 로딩/언로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Particularly, the present invention provides a blanket feeding part comprising a first feeding part and a second feeding part to prevent the substrate from being broken by sequentially laminating the substrate and the sheet to be used in the substrate stacking, And an object of the present invention is to provide a loading / unloading apparatus for a substrate provided with a picker and a second picker for a separator.

또한 본 발명은 투입된 대차 및 대차에 적층되는 기판용 자재들을 정위치에 정렬되도록 고정시켜, 이송 작업 중에 자재들이 추락하거나 자재의 흡착 실패가 발생하지 않도록, 대차 승강유닛의 고정수단으로써, 대차의 가이드바에 접촉하여 대차의 전후진을 안내하는 안내롤러, 대차를 정지시키는 스토퍼, 대차를 승강판에 고정시키는 고정 실린더, 자재들의 전면부와 양 측면부를 가압하여 고정시키는 정렬부재를 포함하는 기판용 로딩/언로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention can also be used as a fixing means of a truck lift unit so as to fix materials for a substrate stacked on a loaded truck and a truck so as to be aligned in a predetermined position so that materials do not fall down during transportation, A loading / unloading unit for loading / unloading a substrate including a guide roller for guiding the forward / backward movement of the carriage in contact with the bar, a stopper for stopping the carriage, a fixed cylinder for fixing the carriage to the lifting plate, And an unloading device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치는,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a loading / unloading apparatus for a substrate,

다수개의 기판용 자재가 적층된 상태로 이동 가능한 대차;A bogie capable of moving in a state in which a plurality of substrate materials are laminated;

상기 대차가 출입 가능하게 형성된 대차 투입부와, 상기 대차 투입부의 일측에 설치되어 로딩된 또는 언로딩될 자재가 대기하는 적재부를 구비한 본체;A main body having a bogie loading portion formed to allow the bogie to be put in and out, and a loading portion installed at one side of the bogie loading portion and waiting for a material to be loaded or unloaded;

적층된 자재를 상기 적재부 높이에 맞추도록 대차의 바닥판 하부로 삽입되어 대차를 상승시키는 승강판을 구비한 승강수단, 상기 승강판에 지지된 대차 및 대차에 적층된 자재들을 정위치에 정렬하여 고정하는 고정수단을 포함하는 대차 승강유닛;A lifting unit inserted into the lower portion of the bottom plate of the truck so as to adjust the stacked materials to the height of the stacking unit to elevate the truck, materials stacked on the truck and the truck supported by the lifting plate are aligned A car lift unit including a fixing means for fixing the cargo lift unit;

상기 대차 투입부와 상기 적재부 사이를 왕복 이동하게 설치되고, 상기 대차 또는 상기 적재부의 자재를 진공 흡착하여 이송하는 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.And a transfer unit installed to reciprocate between the loading unit and the loading unit, and transferring the material of the loading unit or the loading unit by vacuum suction.

그리고 본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치에서,In the loading / unloading apparatus for a substrate,

상기 대차 투입부는 상기 적재부와 일렬로 배열된 제1 투입부와 제2 투입부로 이루어져, 상기 제1 투입부에는 기판용 대차가 투입되며, 상기 제2 투입부에는 간지용 대차가 투입되고,Wherein the bogie putting portion comprises a first putting portion and a second putting portion which are arranged in line with the stacking portion, a boarding bogie is inserted into the first putting portion, a bogie bogie is inserted into the second putting portion,

상기 이송유닛은 상기 제1 투입부와 상기 적재부 사이를 왕복 이동하여 기판을 이송하는 제1 픽커와, 상기 제1 투입부와 상기 적재부 사이를 왕복 이동하여 간지를 이송하는 제2 픽커로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.Wherein the transfer unit comprises a first picker for transferring the substrate by reciprocating between the first loading unit and the loading unit, and a second picker for reciprocating between the first loading unit and the loading unit to transfer the kanji .

또한 본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치에서,Further, in the loading / unloading apparatus for a substrate,

상기 대차는 바닥판의 저면 양측에 대차의 전후진 방향으로 결합된 가이드바를 포함하고,Wherein the bogie comprises guide bars coupled to both sides of the bottom of the bottom plate in the forward and backward directions of the bogie,

상기 고정수단은 투입되는 대차의 가이드바 내측면에 접촉하여 대차의 전후진을 안내하도록 상기 승강판의 양 측면에 구비된 안내롤러, 투입되는 대차를 정지시키도록 상기 승강판의 상면 전단부에 구비된 스토퍼, 정지된 대차의 가이드바 내측면을 가압하여 대차가 승강판에 고정되도록 상기 승강판의 양 측면에 구비되고 내외측으로 전후진 작동하는 가압 피스톤을 구비한 고정 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.The fixing means is provided on the front side of the upper surface of the lifting plate so as to stop the guide rollers provided on both side surfaces of the lifting plate so as to guide the forward and backward movement of the bogie in contact with the inner side surface of the guide bar of the loaded bogie. And a stationary cylinder provided on both side surfaces of the lifting plate so as to press the side surface of the guide bar of the stationary truck and fixed to the lifting plate, and a pressure piston which operates forward and rearward inward and outward .

나아가 본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치에서,Furthermore, in the loading / unloading apparatus for a substrate,

상기 고정수단은 대차에 적층된 자재들의 전면부와 양 측면부를 가압하여 자재들이 정렬 후 고정되도록 상기 승강판과 함께 승하강하며 승강판의 상면 전방 및 양 측방에서 내외측으로 전후진 작동하는 정렬부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The fixing means includes an aligning member that moves up and down together with the lifting plate so that the materials are aligned and fixed after pressing the front and both side portions of the materials stacked on the rack, and moving forward and backward from the top surface and both sides of the lifting plate .

본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치는.The loading / unloading apparatus for a substrate, which is capable of loading a blanket according to the present invention, comprises:

대차에서 기판용 자재들을 직접 자동으로 로딩 또는 언로딩할 수 있으므로, 작업자가 기판을 수작업으로 옮길 필요가 없어, 인건비를 줄임은 물론, 생산성 및 작업성을 향상시킬 수 있고,The substrate material can be automatically loaded or unloaded directly from the bogie so that it is not necessary for the operator to manually move the substrate and the labor cost can be reduced and the productivity and workability can be improved,

기판과 함께 기판의 안전한 적층 보관을 위한 간지까지 자동으로 분리 및 적층 가능할 뿐만 아니라,Not only is it possible to automatically separate and laminate the substrate together with the substrate for safe lamination storage of the substrate,

대차 및 기판용 자재들을 정위치에 정렬, 고정된 상태에서 대차의 승하강 및 자재들의 로딩/언로딩 작업이 이루어져, 작업 안전성이 매우 뛰어난 효과가 있다.The bogie and the board materials are aligned in the fixed position, and the bogie up and down bogie and the loading / unloading of the bogie are performed in a fixed state.

도 1은 내지 도 3은 본 발명의 삼면도.
도 4는 본 발명의 대차를 도시한 삼면도.
도 5는 본 발명의 적재부를 도시한 삼면도.
도 6은 본 발명의 고정수단을 도시한 삼면도.
도 7은 도 6의 고정수단을 촬영한 사진도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제1, 제2 픽커를 도시한 삼면도.
도 10은 본 발명의 고정볼트를 도시한 단면도들.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a three-sided view of the present invention.
Fig. 4 is a three-sided view showing the bogie of the present invention. Fig.
Fig. 5 is a three-sided view showing the loading section of the present invention. Fig.
Figure 6 is a three-sided view of the securing means of the present invention.
Fig. 7 is a photograph of the fixing means of Fig. 6 taken. Fig.
Fig. 8 and Fig. 9 are three views showing the first and second pickers of the present invention. Fig.
10 is a sectional view showing a fixing bolt of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. While the present invention has been described in connection with certain embodiments, it is obvious that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

각 도면에서 동일한 참조부호, 특히 십의 자리 및 일의 자리 수, 또는 십의 자리, 일의 자리 및 알파벳이 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 기능을 갖는 부재를 나타내고, 특별한 언급이 없을 경우 도면의 각 참조부호가 지칭하는 부재는 이러한 기준에 준하는 부재로 파악하면 된다.In the drawings, the same reference numerals are used for the same reference numerals, and in particular, the numerals of the tens and the digits of the digits, the digits of the tens, the digits of the digits and the alphabets are the same, Members referred to by reference numerals can be identified as members corresponding to these standards.

또 각 도면에서 구성요소들은 이해의 편의 등을 고려하여 크기나 두께를 과장되게 크거나(또는 두껍게) 작게(또는 얇게) 표현하거나, 단순화하여 표현하고 있으나 이에 의하여 본 발명의 보호범위가 제한적으로 해석되어서는 안 된다.In the drawings, the components are expressed by exaggeratingly larger (or thicker) or smaller (or thinner) in size or thickness in consideration of the convenience of understanding, etc. However, It should not be.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. In the present application, the term " comprising " or " consisting of ", or the like, refers to the presence of a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.It is to be understood that the first to second aspects described in the present specification are merely referred to in order to distinguish between different components and are not limited to the order in which they are manufactured, It may not match.

본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치를 설명함에 있어 편의를 위하여 엄밀하지 않은 대략의 방향 기준을 도 1을 참고하여 특정하면, 중력이 작용하는 방향을 하측으로 하여 보이는 방향 그대로 상하좌우를 정하고, 다른 도면과 관련된 발명의 상세한 설명 및 청구범위에서도 다른 특별한 언급이 없는 한 이 기준에 따라 방향을 특정하여 기술한다.In describing a substrate loading / unloading apparatus capable of loading a blanket according to the present invention, when an unambiguous approximate direction reference is specified with reference to FIG. 1 for convenience, the direction in which gravity acts is referred to as a downward direction The directions are specified in accordance with these standards unless otherwise specified in the description of the invention and claims in connection with other drawings.

이하에서는 본 발명에 따른 대차 투입이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a substrate loading / unloading apparatus capable of loading a carrier according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 기판용 로딩/언로딩 장치는 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 크게 대차(10A)(10B), 대차 투입부(21)와 적재부(22)를 구비한 본체(20), 승강수단(30A)과 고정수단(30B)을 구비한 대차 승강유닛(30), 기판용 자재(기판(P) 및 간지(S))를 이송하는 이송유닛(40)을 포함한다.1 to 8, a loading / unloading apparatus for a substrate according to the present invention includes a main body 20 (20A, 20B) including a main body 10A, 10B, a loading part 21 and a loading part 22, A car lift unit 30 having elevating means 30A and fixing means 30B and a transfer unit 40 for transferring the substrate material (substrate P and sheet S).

먼저 상기 대차(10A)(10B)는 다수개의 기판용 자재가 적층된 상태로 이동 가능한 것으로, 상면에 기판(P) 및/또는 간지(S)들이 적층되는 바닥판(11)과, 상기 바닥판(11)의 저면에 구비된 바퀴(12) 및 상기 바닥판(11)의 후단부 상측으로 연결된 손잡이부(13)를 포함하며, 일반적인 물품 이송에 사용되는 대차와 대동소이하다.The bogie 10A and 10B can move in a state where a plurality of substrate materials are laminated and include a bottom plate 11 on which an upper substrate P and / or a lower substrate S are stacked, A wheel 12 provided on a bottom surface of the bottom plate 11 and a handle 13 connected to an upper side of the rear end of the bottom plate 11 and a carriage used for general article transfer.

다만 본 발명의 대차(10A)(10B)는 상기 바닥판(11)의 저면 양측에 대차(10A)(10B)의 전후진 방향으로 결합된 가이드바(14)를 구비하여, 가이드바(14)가 후술하는 고정수단(30B)의 안내롤러(32) 및 고정 실린더(34)와 함께 대차(10A)(10B)의 정위치 정렬 및 고정에 사용된다.The bogies 10A and 10B of the present invention are provided with guide bars 14 coupled to both sides of the bottom of the bottom plate 11 in the forward and backward directions of the bogie 10A and 10B, Is used for aligning and fixing the carriage 10A, 10B together with the guide roller 32 and the fixed cylinder 34 of the fixing means 30B described later.

다음으로 상기 본체(20)는 상기 대차(10A)(10B)가 출입 가능하게 형성된 대차 투입부(21)와, 상기 대차 투입부(21)의 일측에 설치되어 로딩된 또는 언로딩될 자재가 대기하는 적재부(22)를 포함한다.Next, the main body 20 is provided with a bogie loading part 21 formed to allow the bogies 10A and 10B to be put in and out, and a material installed on one side of the bogie loading part 21 to be loaded or unloaded, (Not shown).

상기 본체(20)는 프레임 구조물로써, 전면이 개구되어 출입구가 형성된 대차 투입부(21)를 갖고, 대차 투입부(21)의 일측에 적재부(22)가 연결되어 있다.The main body 20 is a frame structure having a bogie loading portion 21 having a front opening and an entrance port and a loading portion 22 connected to one side of the bogie loading portion 21.

특히 상기 대차 투입부(21)는 상기 적재부(22)와 좌우 일렬로 배열된 제1 투입부(21A)와 제2 투입부(21B)로 이루어져, 상기 제1 투입부(21A)에는 기판용 대차(이하 제1 대차(10A)로 통칭함.)가 투입되며, 상기 제2 투입부(21B)에는 간지용 대차(이하 제2 대차(10B)로 통칭함.)가 투입된다.Particularly, the bogie putting portion 21 comprises a first putting portion 21A and a second putting portion 21B which are arranged in a row in the left-right direction with the loading portion 22, (Collectively referred to as a first truck 10A) and a second truck 21B (hereinafter referred to as a second truck 10B) are inserted into the second loading portion 21B.

상기 적재부(22)는 기판 제작 공정에 필요한 자동화 라인의 일부로써 기판용 자재 이송이 가능한 다양한 종류의 장치(예를 들어 컨베이어 벨트)가 사용될 수 있는데,The loading unit 22 may be a variety of apparatuses (for example, a conveyor belt) capable of transferring a substrate material as part of an automated line necessary for a substrate manufacturing process,

본 발명의 적재부(22)는 자재의 안전한 안착 및 정렬, 이송이 가능하도록 이송롤러(23)와 정렬 베어링(24) 및 안내바(25)로 적재부(22)를 구성하였다.The loading section 22 of the present invention constitutes the loading section 22 with the conveying roller 23, the alignment bearing 24 and the guide bar 25 so that the material can be securely seated, aligned, and conveyed.

구체적으로 상기 적재부(22)는 베드 상에 이송 방향(좌우 횡방향)으로 회전하는 다수개의 이송롤러(23)가 모터에 의해 동시 회전하도록 연결되어 있으며, 이송롤러(23)들은 이송 방향으로 소정 간격 이격하여 구비된다.Specifically, the loading section 22 is connected to the bed by a plurality of conveying rollers 23 rotating in the conveying direction (right and left transverse direction) so as to rotate simultaneously with the motor, and the conveying rollers 23 are conveyed in the conveying direction Spaced apart from each other.

이러한 이송롤러(23)는 길이방향으로 소정 간격 이격된 복수개의 이송링(23a)을 구비하여, 이송링(23a)들의 상면부가 자재 안착부를 형성한다.The conveying roller 23 has a plurality of conveying rings 23a spaced apart from each other in the longitudinal direction so that the upper surface of the conveying rings 23a forms a material receiving portion.

그리고 상기 적재부(22)는 이송롤러(23)들 사이에 이송롤러(23)의 회전 방향과 직교되는 방향(전후 종방향)으로 공회전 가능하게 설치된 복수개의 정렬 베어링(24)을 포함하고, 상기 각 열의 정렬 베어링(24)들은 실린더(24a)에 의해 승하강되는 연결바(24b)에 구비되어 이송롤러(23)들의 상부면으로 상하 출몰 가능하게 구비된다.The stacking unit 22 includes a plurality of alignment bearings 24 provided between the transporting rollers 23 so as to be capable of idling in a direction perpendicular to the rotating direction of the transporting rollers 23 The alignment bearings 24 in each row are provided on the connecting bars 24b raised and lowered by the cylinders 24a and are vertically retractable on the upper surface of the conveying rollers 23. [

또한 상기 적재부(22)는 상기 이송롤러(23)들의 상부 양측에 이송방향으로 연장 연결된 안내바(25)가 구비되고, 양측 안내바(25)는 각각 실린더(25a)에 의해 이송롤러(23)의 길이방향으로 좌우 전후진 가능하게 구비된다.The loading section 22 is provided with a guide bar 25 extending on both sides of the conveying rollers 23 in the conveying direction and the both guide bars 25 are conveyed by the conveying rollers 23 In the longitudinal direction.

따라서 상기 정렬 베어링(24)이 상승한 상태에서 자재(보다 엄밀하게는 기판)가 정렬 베어링(24)의 상면부에 안착되어 있을 때 상기 안내바(25)의 좌우 위치 조정이 이루어져, 자재가 정위치로 정렬되고,Therefore, when the material (more strictly, the substrate) is seated on the upper surface portion of the alignment bearing 24 in the state in which the alignment bearing 24 is raised, the lateral adjustment of the guide bar 25 is performed, Lt; / RTI >

상기 정렬 베어링(24)이 하강한 상태에서 이송롤러(23)의 회전에 의해 자재가 이송(즉, 로딩 시 기판이 적재부(22)에서 자동화 라인으로, 언로딩 시 기판이 자동화 라인에서 적재부(22)로 이송됨.)된다.In the state in which the aligning bearing 24 is lowered, the material is conveyed by the rotation of the conveying roller 23 (that is, the substrate is moved from the loading section 22 to the automated line at the time of loading, (Conveyed to the second housing 22).

이어서 상기 대차 승강유닛(30)은 적층된 자재를 상기 적재부(22) 높이에 맞추도록 대차(10A)(10B)의 바닥판(11) 하부로 삽입되어 대차(10A)(10B)를 상승시키는 승강판(31)을 구비한 승강수단(30A), 상기 승강판(31)에 지지된 대차(10A)(10B) 및 대차(10A)(10B)에 적층된 자재들을 정위치에 정렬하여 고정하는 고정수단(30B)을 포함한다.The car elevating and lowering unit 30 is inserted into the lower portion of the bottom plate 11 of the truck 10A or 10B to raise the truck 10A or 10B so as to align the stacked material with the height of the loading unit 22 The stacking units 10A and 10B supported on the lifting plate 31 and the stacked materials on the trucks 10A and 10B are aligned and fixed in a predetermined position And fixing means 30B.

상기 승강수단(30A)은 대차(10A)(10B)의 바닥판(11)을 지지하는 승강판(31)을 LM 가이드(31a)로 승하강시켜 자재의 이송으로 인해 높이가 변화되는 것에 맞춰 대차(10A)(10B)의 높이를 조절하여, 적재된 자재의 최상층을 적재부(22)의 높이에 항상 맞춘 상태에서 자재의 이송이 이루어지도록 한다.The elevating means 30A elevates and descends the lifting plate 31 supporting the bottom plate 11 of the trucks 10A and 10B with the LM guide 31a so as to adjust the height of the lifting plate 31, (10A, 10B) so that the uppermost layer of the stacked material is always aligned with the height of the stacking section (22).

상기 고정수단(30B)은 대차(10A)(10B)를 대차 투입부(21)의 승강 위치에 정확하게 정지시킴은 물론, 바닥판(11)에 적재된 자재들을 쓰러지지 않고 정확하게 적재되도록 하여, 이송의 정확도를 높일 수 있도록 한다.The fixing means 30B not only stops the trucks 10A and 10B accurately at the elevation position of the truck loading section 21 but also accurately stacks the materials loaded on the bottom plate 11 without collapsing, So that the accuracy can be increased.

구체적으로 먼저 상기 고정수단(30B)은 투입되는 대차(10A)(10B)의 가이드바(14) 내측면에 접촉하여 대차(10A)(10B)의 전후진을 안내하도록 상기 승강판(31)의 양 측면에 구비된 안내롤러(32), 투입되는 대차(10A)(10B)를 정지시키도록 상기 승강판(31)의 상면 전단부에 구비된 스토퍼(33), 정지된 대차(10A)(10B)의 가이드바(14) 내측면을 가압하여 대차(10A)(10B)가 승강판(31)에 고정되도록 상기 승강판(31)의 양 측면에 구비되고 내외측으로 전후진 작동하는 가압 피스톤(34a)을 구비한 고정 실린더(34)를 포함한다.Specifically, first, the fixing means 30B is brought into contact with the inner side surface of the guide bar 14 of the loaded truck 10A or 10B to guide the front and rear of the truck 10A or 10B. A stopper 33 provided on the upper surface of the lifting plate 31 to stop the guide rollers 32 provided on both sides and the bogies 10A and 10B to be inserted, And pressurizing the inner side surfaces of the guide bars 14 of the press rollers 10A and 10B so as to be fixed to the lift plate 31. The pressurizing pistons 34a (Not shown).

상기 안내롤러(32)는 승강판(31)의 양 측면에 각각 대차(10A)(10B)의 전후진 방향으로 복수개 구비되어 대차(10A)(10B)를 정위치로 안내한다.The guide rollers 32 are provided on both side surfaces of the lifting plate 31 in the forward and backward directions of the trucks 10A and 10B to guide the trucks 10A and 10B in a fixed position.

상기 스토퍼(33)는 대차(10A)(10B)의 바닥판(11) 전면에 접촉하여 스토퍼(33)를 정위치에 정지되도록 한다.The stopper 33 is brought into contact with the entire surface of the bottom plate 11 of the truck 10A or 10B so that the stopper 33 is stopped at a predetermined position.

상기 고정 실린더(34)는 승강판(31)의 양 측면에 각각 대차(10A)(10B)의 전후진 방향으로 복수개 구비되며, 가압 피스톤(34a)이 인입 작동한 상태에서 대차(10A)(10B)의 출입을 가능하게 하고, 대차(10A)(10B)가 스토퍼(33)에 의해 정지된 상태에서 가압 피스톤(34a)을 인출 작동시켜 가이드바(14) 가압을 통해 대차(10A)(10B)가 전후좌우로 움직이지 않고 승강판(31)의 상면에 정위치로 고정 유지되도록 한다.The fixed cylinders 34 are provided on both sides of the lifting plate 31 in the forward and backward directions of the bogie 10A and 10B respectively and the bogie 10A and 10B And the pressure piston 34a is pulled out while the carriage 10A or 10B is stopped by the stopper 33 and the carriage 10A or 10B is pressed through the guide bar 14, So as not to move back and forth and to be fixed at a predetermined position on the upper surface of the lifting plate 31.

또한 상기 고정수단(30B)은 대차(10A)(10B)에 적층된 자재들의 전면부와 양 측면부를 가압하여 자재들이 정렬 후 고정되도록 상기 승강판(31)과 함께 승하강하며 승강판(31)의 상면 전방 및 양 측방에서 내외측으로 전후진 작동하는 정렬부재(35)(36)를 포함한다.The fixing means 30B presses the front and both side portions of the stacked materials on the trucks 10A and 10B to move up and down together with the lift plate 31 so that the materials are aligned and fixed, And an alignment member (35) (36) moving forward and backward inward and outward from the upper surface and both sides of the upper surface of the frame.

전면 제1 정렬부재(35)는 실린더(35a)에 의해 대차 투입부(21)의 전방에서 내외측으로 전후진 가능하게 설치되는 것으로, 수직방향으로 입설되어 좌우 회전 가능한 롤러 타입의 제1 정렬부재(35)가 승강판(31)의 전방 양측에 설치된다.The first front aligning member 35 is provided so as to be movable inward and outward from the front side of the bogie putting-in portion 21 by a cylinder 35a. The first front aligning member 35 includes a roller-type first aligning member 35 are provided on both sides of the front side of the lifting plate 31.

그리고 양 측면 제2 정렬부재(36)는 LM가이드(36a)에 의해 대차 투입부(21)의 양 측방에서 내외측으로 전후진하여 간격 조절이 가능하게 설치되는 것으로, 수직방향으로 입설되어 전후 회전 가능한 롤러 타입의 제2 정렬부재(36)가 승강판(31)의 측방에 대차(10A)(10B)의 전후진 방향으로 복수개 설치된다.The both side second alignment members 36 are arranged to be adjustable in spacing by forward and backward inward and outward from both sides of the bogie insertion portion 21 by means of the LM guide 36a and are arranged in the vertical direction, A plurality of roller-type second alignment members 36 are provided on the side of the lifting plate 31 in the forward and backward directions of the trucks 10A, 10B.

이러한 제1, 제2 정렬부재(35)(36)는 승강수단(30A)의 LM 가이드(31a)에 연결되어 승강판(31)과 함께 승하강된다.The first and second alignment members 35 and 36 are connected to the LM guide 31a of the elevating means 30A and ascend and descend together with the lift plate 31. [

따라서 본 발명의 고정수단(30B)은 안내롤러(32) 및 스토퍼(33)에 의해 대차(10A)(10B)가 승강판(31)위로 정위치에 정지된 상태에서 고정 실린더(34)를 통해 대차(10A)(10B)의 고정이 이루어지고, 대차(10A)(10B)가 고정된 상태에서 제1, 제2 정렬부재(35)(36)가 내측으로 전진 작동하여 바닥판(11)에 적재된(또는 적재될) 자재들의 전면 및 양 측면을 가압하여 자재들을 정위치에 정렬시킨다.Therefore, the fixing means 30B of the present invention is arranged such that the bogies 10A, 10B are stopped by the guide roller 32 and the stopper 33 in the fixed position above the lifting plate 31, The first and second alignment members 35 and 36 are moved inward to move to the bottom plate 11 while the carriage 10A and 10B are fixed and the carriage 10A and 10B are fixed, The front and both sides of the loaded (or loaded) materials are pressed to align the materials in place.

이때 제1 정렬부재(35)에 의해 자재들이 후방으로 밀리나, 대차(10A)(10B)의 후단부에 손잡이부(13)가 입설되어 있어, 바닥판(11)의 자재들은 전후면이 제1 정렬부재(35)와 손잡이부(13)에 의해 지지되어, 결국 자재들의 전후좌우 4면이 모두 승강판(31)의 정위치로 가압되어 자재들의 정렬 및 고정이 이루어진다.At this time, the materials are pushed rearward by the first aligning member 35, but the handle 13 is disposed at the rear end of the carriage 10A, 10B, so that the materials of the bottom plate 11 So that the front, rear, left, and right sides of the materials are all pressed to the correct position of the lifting plate 31 to align and fix the materials.

그리고 상기 이송유닛(40)은 자재들을 적재부(22)(로딩) 또는 대차(10A)(10B)(언로딩)로 이송하는 것으로,The transfer unit 40 transfers the materials to the loading unit 22 (loading) or the loading units 10A, 10B (unloading)

상기 제1 투입부(21A)와 상기 적재부(22) 사이를 왕복 이동하여 기판(P)을 이송하는 제1 픽커(41)와, 상기 제1 투입부(21A)와 상기 제2 투입부(21B) 사이를 왕복 이동하여 간지를 이송하는 제2 픽커(42)로 구성된다.A first picker 41 that reciprocates between the first loading portion 21A and the loading portion 22 to transfer the substrate P and a second loading portion 21A that is provided between the first loading portion 21A and the second loading portion And a second picker 42 for reciprocating between the first and second pickers 21A and 21B.

상기 제1, 제2 픽커(41)(42)는 대차 투입부(21)의 상측에 좌우 수평방향으로 결합된 가이드프레임(43)에 슬라이딩 결합되어 좌우 수평 이동하는 이동블록(44)에 구비되며, 각 픽커(41)(42)는 실린더(44a)를 통해 이동블록(44)에서 승하강 가능하다는 점에서 대동소이하다.The first and second pickers 41 and 42 are provided on a moving block 44 which is slidably coupled to a guide frame 43 coupled horizontally to the left and right on the upper side of the loading part 21, And each of the pickers 41 and 42 is movable up and down by the moving block 44 through the cylinder 44a.

다만 제1 픽커(41)는 원형 드럼 또는 사각통 타입의 승강형 제1 흡착부(41a)를 구비하고, 상기 제1 흡착부(41a)가 제1 승강부재(41b)에서 스프링(41b)에 의해 하측으로 탄성 지지되어, 제1 픽커(41)의 하강 흡착 시 제1 흡착부(41a)와 기판(P)사이의 충격 흡수가 가능한 반면에,The first picker 41 is provided with a circular drum or a rectangular barrel type first suction portion 41a and the first suction portion 41a is connected to the spring 41b by the first elevation member 41b So that shock absorption between the first adsorption part 41a and the substrate P is possible during the downward attraction of the first picker 41. On the other hand,

제2 픽커(42)는 간지(S)의 전체 면적을 균일하게 흡착할 수 있도록, 고무 패드 타입의 고정형 제2 흡착부(42a)가 간지(S)와 대응하는 형상으로 배열 결합된 제2 승강부재(4b)들에 복수개 구비되어, 제2 픽커(42)의 하강 흡착 시 제2 흡착부(42a)와 기판(P)의 충격 흡수가 별도로 이루어지지 않는 점에서 차이가 있다.The second picker 42 is provided with a second pad 42a of a rubber pad type which is arranged in a shape corresponding to the separator S so as to be able to uniformly absorb the entire area of the separator S, There is a difference in that the second adsorbing portion 42a and the substrate P are not separately absorbed by the members 4b when the second picker 42 is lowered and adsorbed.

이때 상기 제2 픽커(42)는 간지(S)의 전체 사이즈에 따라 제2 흡착부(42a)들의 간격 및 위치 조절이 가능하도록, 각 제2 흡착부(42a)들은 제2 승강부재(4b)들에 힌지 결합된 위치조정바(43c)에 슬라이딩 결합되어 구비된다.At this time, the second picker 42 is provided with the second lift member 4b so that the interval and the position of the second suction portions 42a can be adjusted according to the entire size of the separator S, The positioning bar 43c hinged to the positioning bar 43c.

이하에서는 상기한 구성의 기판용 로딩/언로딩 장치의 구체적인 작동을 설명한다.Hereinafter, a specific operation of the substrate loading / unloading apparatus having the above-described structure will be described.

먼저 기판(P)을 자동화 라인에 로딩하는 작업을 설명하면,First, the operation of loading the substrate P into the automated line will be described.

우선 기판(P)들이 적재된 제1 대차(10A) 및 빈(간지가 적재되지 않은) 제2 대차(10B)를 각각, 제1 투입부(21A) 및 제2 투입부(21B)에 투입하며, 이때 제1 대차(10A)의 기판(P)들 사이에는 간지(S)가 끼워져 있다.The first truck 10A on which the boards P are loaded and the second truck 10B on which a bin is not loaded are put into the first loading section 21A and the second loading section 21B, At this time, a separator S is sandwiched between the substrates P of the first truck 10A.

제1, 제2 대차(10A)(10B)가 각 투입부(21A)(21B)에서 안내롤러(32) 및 스토퍼(33)에 의해 정지되면, 고정 실린더(34)가 작동하여 대차(10A)(10B)의 바닥판(11)을 승강판(31)에 고정시킨 후, 제1 투입부(21A)의 제1, 제2 정렬부재(35)(36)가 전진 작동하여 제1 대차(10A)에 적재된 기판(P)들을 정위치에 정렬시킨다.When the first and second trucks 10A and 10B are stopped by the guide roller 32 and the stopper 33 at the respective loading portions 21A and 21B, the fixed cylinder 34 is operated to move the truck 10A, The first and second aligning members 35 and 36 of the first inputting portion 21A are moved forward by the forward movement of the first loading unit 10A after the bottom plate 11 of the first loading unit 10B is fixed to the lifting plate 31, (Not shown).

그리고 대차(10A)(10B) 및 기판(P) 정렬이 완료되면 상기 승강수단(30A)이 작동하여, 제1 대차(10A)는 기판(P)의 최상층이, 제2 대차(10B)는 바닥판(11)의 상면이 각각 적재부(22)의 높이에 맞춰지도록 상승한다.When the alignment of the bogies 10A and 10B and the substrate P is completed, the elevating means 30A operates so that the first bogie 10A is the uppermost layer of the substrate P and the second bogie 10B is the bottom The upper surface of the plate 11 ascends so as to be aligned with the height of the stacking portion 22, respectively.

대차(10A)(10B) 상승이 완료되면, 이송유닛(40)이 작동하여 제1, 제2 픽커(41)(42)가 각각 제1, 제2 투입부(21A)(21B) 상부 위치로 이동한 후, 각 픽커(41)(42)가 함께 하강하며, 이때 제1 픽커(41)는 제1 흡착부(41a)를 통해 제1 대차(10A)에 적재된 기판(P)을 진공 흡착한다.When the raising of the carriage 10A (10B) is completed, the transfer unit 40 is operated so that the first and second pickers 41 and 42 are moved to the upper positions of the first and second loading units 21A and 21B, The first picker 41 vacuum-sucks the substrate P loaded on the first truck 10A through the first adsorption unit 41a, and then, do.

그리고 제1, 제2 픽커(41)(42)가 상승 후 일측으로 수평 이동하면, 제1 픽커(41)는 적재부(22) 상부에 위치하게 되고, 제2 픽커(42)는 제1 투입부(21A) 상부에 위치하게 된다.When the first and second pickers 41 and 42 are moved horizontally to one side, the first picker 41 is positioned above the loading section 22 and the second picker 42 is positioned above the first As shown in FIG.

이 상태에서 제1, 제2 픽커(41)(42)가 하강한 후, 제1 픽커(41)는 기판(P)의 진공 흡착을 해제하여 기판(P)을 적재부(22)로 로딩하고, 제2 픽커(42)는 제2 흡착부(42a)를 통해 제1 대차(10A)의 간지(S)를 진공 흡착한다.After the first and second pickers 41 and 42 descend in this state, the first picker 41 releases the vacuum suction of the substrate P to load the substrate P onto the loading unit 22 And the second picker 42 vacuum-sucks the gills S of the first truck 10A through the second suction portion 42a.

이때 적재부(22)는 정렬 베어링(24)을 상승시켜 기판(P)이 정렬 베어링(24) 위에 안착한 상태에서 안내바(25)의 전후진을 통해 기판(P)을 이송롤러(23)들의 중앙에 위치하도록 정렬한 후, 정렬 베어링(24)이 하강한 상태에서 이송롤러(23)들이 회전하여 로딩된 기판(P)을 자동화 라인으로 투입한다.At this time, the loading section 22 lifts the alignment bearings 24 to move the substrate P to the conveying rollers 23 through the forward and backward movement of the guide bars 25 while the substrate P is seated on the alignment bearings 24. [ The aligning bearing 24 is lowered, and the conveying rollers 23 are rotated to feed the loaded substrate P into the automated line.

이렇게 기판(P)의 로딩 및 간지(S)의 흡착 완료 후, 제1, 제2 픽커(41)(42)가 상승한 다음 제1, 제2 투입부(21A)(21B) 상부로 복귀한 상태에서, 제1, 제2 픽커(41)(42)가 하강하고, 제1 픽커(41)는 간지(S)가 제거된 기판(P)을 진공 흡착하고, 제2 픽커(42)는 간지(S)의 진공 흡착을 해제하여 간지(S)를 제2 대차(10B)에 적재하며, 이때 제2 투입부(21B)의 정렬부재(35)(36)들이 작동하여 적재되는 간지(S)들을 정위치에 정렬 및 고정한다.After the loading of the substrate P and the completion of adsorption of the separator S, the first and second pickers 41 and 42 are raised and then returned to the upper portions of the first and second loading portions 21A and 21B The first and second pickers 41 and 42 descend and the first picker 41 vacuum-adsorbs the substrate P from which the interleaving sheet S has been removed and the second picker 42 is separated from the substrate P S are loaded on the second carriage 10B while the alignment members 35 and 36 of the second input portion 21B are operated to load the separators S Align and fix in place.

이러한 일련의 작동이 반복되면 제1 대차(10A)에 적재된 기판(P)의 로딩 및 간지(S)의 제거가 동시에 이루어지며, 이때 승강수단(30A)은 기판(P) 및 간지(S) 이송에 따른 최상층의 높이 변화에 따라 각 대차(10A)(10B)의 높이를 조절하여 픽커(41)(42)들에 의한 기판(P) 및 간지(S)의 이송이 안정적으로 이루어지도록 한다.When this series of operations is repeated, the loading of the substrate P and the removal of the separator S are carried out at the same time. At this time, the elevating means 30A separates the substrate P and the separator S, The height of each carriage 10A and 10B is adjusted according to the height change of the uppermost layer according to the conveyance so that the conveyance of the substrate P and the kanji S by the pickers 41 and 42 is stably performed.

그리고 기판(P)의 로딩이 완료되면 각 투입부(21A)(21B)의 승강판(31)이 하강한 후 고정수단(30B)이 해제되고, 작업자는 빈 제1 대차(10A) 및 간지(S)들이 적재된 제2 대차(10B)를 대차 투입부(21)에서 빼내 다음 작업을 바로 진행할 수 있다.When the loading of the substrate P is completed, the fixing means 30B is released after the lifting plate 31 of each of the charging units 21A and 21B descends, and the worker moves the empty first carriage 10A and the separator S can be taken out from the truck insertion portion 21 and the next operation can be started immediately.

다음으로 공정이 완료된 기판(P)을 자동화 라인에서 언로딩하는 작업을 설명하면,Next, the operation of unloading the processed substrate P from the automated line will be described.

우선 빈(기판(P) 및 간지(S)가 적재되지 않은) 제1 대차(10A) 및 간지(S)들이 적재된 제2 대차(10B)를 각각, 제1 투입부(21A) 및 제2 투입부(21B)에 투입한다.The first truck 10A on which the bin (the board P and the board S are not loaded) and the second truck 10B on which the boards S are loaded are respectively connected to the first loading portion 21A and the second loading portion 21B Into the charging section 21B.

제1, 제2 대차(10A)(10B)가 각 투입부(21A)(21B)에서 안내롤러(32) 및 스토퍼(33)에 의해 정지되면, 고정 실린더(34)가 작동하여 대차(10A)(10B)의 바닥판(11)을 승강판(31)에 고정시킨 후, 제2 투입부(21B)의 제1, 제2 정렬부재(35)(36)가 전진 작동하여 제2 대차(10B)에 적재된 간지(S)들을 정위치에 정렬시킨다.When the first and second trucks 10A and 10B are stopped by the guide roller 32 and the stopper 33 at the respective loading portions 21A and 21B, the fixed cylinder 34 is operated to move the truck 10A, The first and second aligning members 35 and 36 of the second loading portion 21B are moved forward by the forward movement of the second loading unit 10B after the bottom plate 11 of the second loading unit 21B is fixed to the lifting plate 31, ) To the correct position.

그리고 대차(10A)(10B) 및 간지(S) 정렬이 완료되면 상기 승강수단(30A)이 작동하여, 제1 대차(10A)는 바닥판(11)의 상면이, 제2 대차(10B)는 간지(S)의 최상층이 각각 적재부(22)의 높이에 맞춰지도록 상승한다.When the alignment of the bogie 10A and 10B and the separator S is completed, the elevating means 30A operates so that the upper surface of the bottom plate 11 of the first bogie 10A, the upper surface of the second bogie 10B, The uppermost layer of the separable sheet S rises so as to be aligned with the height of the stacking portion 22, respectively.

대차(10A)(10B) 상승이 완료되면, 이송유닛(40)이 작동하여, 제1 픽커(41)는 적재부(22) 상부 위치로, 제2 픽커(42)는 제1 투입부(21A) 상부 위치로 이동한 후, 각 픽커(41)(42)가 함께 하강하며, 이때 제1 픽커(41)는 적재부(22)에 이송된 기판(P)을 진공 흡착한다.When the elevation of the carriage 10A (10B) is completed, the conveying unit 40 operates to move the first picker 41 to the upper position of the loading unit 22 and the second picker 42 to the first loading unit 21A The first picker 41 vacuum-sucks the substrate P conveyed to the loading section 22 by the first picker 41 and the second picker 41. At this time,

한편 제1 픽커(41)의 기판(P) 흡착 전, 적재부(22)는 자동화 라인에서 이송된 기판(P)을 정렬 베어링(24) 및 안내바(25)를 통해 정위치로 정렬시켜, 제1 픽커(41)의 기판(P) 흡착이 정확하게 이루어지도록 한다.On the other hand, before the adsorption of the substrate P by the first picker 41, the loading section 22 aligns the substrate P transferred from the automated line through the alignment bearing 24 and the guide bar 25 in place, So that the first picker 41 is accurately adsorbed to the substrate P.

그리고 제1, 제2 픽커(41)(42)가 상승 후 타측으로 수평 이동하면, 제1 픽커(41)는 제1 투입부(21A) 상부에 위치하게 되고, 제2 픽커(42)는 제2 투입부(21B) 상부에 위치하게 된다.When the first and second pickers 41 and 42 are moved upward and then horizontally moved to the other side, the first picker 41 is positioned above the first loading portion 21A, 2 input portion 21B.

이 상태에서 제1, 제2 픽커(41)(42)가 하강한 후, 제1 픽커(41)는 기판(P)의 진공 흡착을 해제하여 기판(P)을 제1 대차(10A)에 언로딩하고, 제2 픽커(42)는 제2 흡착부(42a)를 통해 제2 대차(10B)의 간지(S)를 진공 흡착한다.After the first and second pickers 41 and 42 descend in this state, the first picker 41 releases the vacuum adsorption of the substrate P to unload the substrate P to the first carriage 10A And the second picker 42 vacuum-sucks the gills S of the second truck 10B through the second adsorption section 42a.

이렇게 기판(P)의 언로딩 및 간지(S)의 흡착 완료 후, 제1, 제2 픽커(41)(42)가 상승한 다음, 제1 픽커(41)가 적재부(22) 상부로, 제2 픽커(42)가 제2 투입부(21B) 상부로 복귀한 상태에서, 제1, 제2 픽커(41)(42)가 하강하고, 제1 픽커(41)는 이송롤러(23)에 의해 이송된 기판(P)을 진공 흡착하고, 제2 픽커(42)는 간지(S)의 진공 흡착을 해제하여 제1 대차(10A)의 기판(P) 위에 간지(S)를 적재하며, 이때 제1 투입부(21A)의 정렬부재(35)(36)들이 작동하여 적재되는 기판(P) 및 간지(S)들을 정위치에 정렬 및 고정한다.After the first and second pickers 41 and 42 have been lifted up after the unloading of the substrate P and the adsorption of the separator S, The first and second pickers 41 and 42 are lowered while the second picker 42 is returned to the upper portion of the second feeding portion 21B and the first picker 41 is conveyed by the conveying roller 23 The second picker 42 releases the vacuum adsorption of the separator S to load the separator S on the substrate P of the first separator 10A, The aligning members 35 and 36 of the first feeding portion 21A are actuated to align and fix the substrate P and the interleaving media S to be stacked in place.

이러한 일련의 작동이 반복되면 제1 대차(10A)에 기판(P)의 언로딩 및 간지(S)의 투입이 동시에 이루어지며, 이때 승강수단(30A)은 대차(10A)(10B)들의 높이를 변화시켜 기판(P) 및 간지(S)의 이송이 안정적으로 이루어짐은 상기한 바와 같다.When this series of operations is repeated, the unloading of the substrate P and the insertion of the separator S are simultaneously performed on the first truck 10A. At this time, the elevating means 30A adjusts the height of the trucks 10A, The transfer of the substrate P and the separator S is performed stably in the same manner as described above.

그리고 기판(P)의 언로딩이 완료되면 승강판(31)의 하강 후 고정수단(30B)의 해제를 통해, 작업자는 기판(P)과 간지(S)가 순차적으로 적재된 제1 대차(10A) 및 빈 제2 대차(10B)를 대차 투입부(21)에서 빼내 다음 작업을 바로 진행할 수 있다.When the unloading of the substrate P is completed, the operator lifts the lift plate 31 and releases the fixing means 30B, so that the worker can lift the first carriage 10A And the empty second truck 10B are taken out from the truck insertion portion 21, and the next operation can be started immediately.

한편 상기 대차(10A)(10B)는 내부가 비어있는 프레임(11a)들을 사각 형상으로 결합 후 프레임(11a)들의 상하면에 상판(11b)과 하판(11c)을 조립하여 바닥판(11)이 형성되는 바, 하판(11c)에 가이드바(14)를 볼트 결합할 경우 볼트의 나사산이 바닥판(11) 내부에 위치하게 되어 너트의 사용이 불가능해 가이드바(14)의 결합이 견고하게 유지될 수 없다.On the other hand, the trucks 10A and 10B have a structure in which the bottom plate 11 is formed by assembling the upper plate 11b and the lower plate 11c on the upper and lower surfaces of the frames 11a after the frames 11a, When the guide bar 14 is bolted to the lower plate 11c, the thread of the bolt is located inside the bottom plate 11, so that the nut can not be used and the coupling of the guide bar 14 is firmly maintained I can not.

특히 하판(11c)(또는 프레임(11a))은 그 두께가 매우 얇기 때문에 볼트 체결을 위채 체결공에 나사산을 형성하기 어려운 바, 본 발명은 너트 일체형 고정볼트(50)를 도입하여, 상기한 문제점을 해결한다.In particular, since the bottom plate 11c (or the frame 11a) has a very thin thickness, it is difficult to form a screw thread in the fastening hole by bolt fastening. The present invention introduces the nut fastening bolt 50, .

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 너트 일체형 고정볼트(50)는 사각 형상으로 일측에 헤드부(51a)를 구비한 볼트몸체(51)와, 상기 볼트몸체(51)와 동일한 사이즈를 갖는 사각 형상으로 상기 볼트몸체(51)의 타단부에서 좌우로 회전 가능하게 결합된 너트몸체(52)와, 상기 볼트몸체(51)와 상기 너트몸체(52) 사이에 개재되며 상기 너트몸체(52)의 모서리부가 상기 볼트몸체(51)의 모서리부와 엇갈리도록 너트몸체(52)를 일방향(시계 반대방향)으로 회전하게 탄성 지지하는 탄성체(53)로 이루어져,10, the bolt-integrated fixing bolt 50 of the present invention has a bolt body 51 having a rectangular shape and a head portion 51a at one side thereof and a bolt body 51 having the same size as the bolt body 51 A nut body 52 rotatably coupled to the other end of the bolt body 51 in a rectangular shape and a nut body 52 interposed between the bolt body 51 and the nut body 52, And an elastic body 53 for elastically supporting the nut body 52 so as to rotate in one direction (counterclockwise direction) so that the corner portion of the bolt body 51 is offset from the edge of the bolt body 51,

상기 너트몸체(52)를 사각 형상의 볼트 체결공에 끼운 상태에서 상기 볼트몸체(51)를 타방향(시계방향)으로 회전시킨 후 가압하면, 볼트몸체(51)가 체결공에 끼워지면서, 체결공에서 이탈한 너트몸체(52)가 일방향으로 회전 복귀되어 너트로 변환되는 것을 특징으로 한다.When the bolt body 51 is rotated in the other direction (clockwise direction) in the state where the nut body 52 is inserted into the rectangular bolt fastening hole and then the bolt body 51 is inserted into the fastening hole, And the nut body 52 which is detached from the ball is rotated and returned in one direction to be converted into a nut.

구체적으로 상기 볼트몸체(51)는 외주면에 나사산이 형성되지 않는 육면체 형상으로 일면에 일반 볼트와 유사하게 공구홈이 형성된 헤드부(51a)를 갖는다.Specifically, the bolt body 51 has a hexagonal shape in which no thread is formed on the outer circumferential surface, and a head portion 51a having a tool groove similar to a normal bolt on one side.

그리고 상기 볼트몸체(51)는 타면에 돌출 연결된 회전축(51a)을 구비하고, 상기 회전축(51a)은 상기 너트몸체(52)를 관통하여 걸림 결합되어, 볼트몸체(51)와 너트몸체(52)가 상호 회전 가능하게 결합된다.The bolt body 51 has a rotation shaft 51a protruding from the other surface and the rotation shaft 51a is engaged with the nut body 52 to be engaged with the bolt body 51 and the nut body 52, Are rotatably coupled to each other.

또한 상기 너트몸체(52)는 상기 볼트몸체(51)와 동일한 사이즈(전후좌우 폭 너비 및 두께)가 동일한 육면체 형상으로, 상기 회전축(51a)이 끼워져 결합된다.Further, the nut body 52 has a hexahedron shape having the same size (width, width, and width) as the bolt body 51, and the rotation shaft 51a is fitted and coupled.

상기 볼트몸체(51)와 너트몸체(52)는 상기 회전축(51a)의 둘레에 수용홈이 형성되며, 상기 수용홈에 상기 탄성체(53)가 구비된다.The bolt body 51 and the nut body 52 are formed with receiving grooves around the rotation shaft 51a and the elastic bodies 53 are provided in the receiving grooves.

상기 탄성체(53)는 일단(53a)이 상기 볼트몸체(51)에 결합되고 타단(53b)이 상기 너트몸체(52)에 결합되어, 양단(53a)(53b)이 벌어지는 방향으로 탄성력이 발휘되는 일종의 토션 스프링이다.One end 53a of the elastic body 53 is coupled to the bolt body 51 and the other end 53b of the elastic body 53 is coupled to the nut body 52 so that elasticity is exerted in a direction in which both ends 53a and 53b are extended It is a kind of torsion spring.

도면에 도시되지 않았으나 회전축(51a)과 너트몸체(52) 사이에는 너트몸체(52)의 회전각을 제한하는 걸림돌기가 구비된다.Although not shown in the drawings, a locking protrusion for restricting the rotation angle of the nut body 52 is provided between the rotary shaft 51a and the nut body 52. [

이러한 고정볼트(50)는 볼트몸체(51)(또는 너트몸체(52))에 외압이 가해지지 않은 상태에서, 상기 탄성체(53)의 탄성력으로 인해 볼트몸체(51)와 너트몸체(52)가 서로 반대방향으로 회전하게 되며, 이때 걸림돌기에 의해 회전각이 제한되어, 볼트몸체(51) 및 너트몸체(52)의 각 모서리부는 평면 기준으로 서로 엇갈리게 교차 배열된다.The bolt body 51 and the nut body 52 are fixed to each other by the elastic force of the elastic body 53 in a state in which no external pressure is applied to the bolt body 51 (or the nut body 52) At this time, the angle of rotation is limited by the locking protrusions, so that the respective corner portions of the bolt body 51 and the nut body 52 are alternately arranged on the plane basis.

그리고 가이드바(14)의 결합부(14a)를 바닥판(11)의 하판(11c)에 조립하기 위해, 상기 너트몸체(52)를 결합부(14a) 및 바닥판(11)에 구비된 사각형의 볼트 체결공(미도시)에 끼우면, 모서리부의 엇갈림 구조로 인해 볼트몸체(51)가 체결공에 삽입되지 않고 걸리게 된다.In order to assemble the engaging portion 14a of the guide bar 14 to the lower plate 11c of the bottom plate 11, the nut body 52 is inserted into the engaging portion 14a and a square The bolt body 51 is caught without being inserted into the fastening hole due to the staggered structure of the corner portion.

이 상태에서 드라이버 등의 공구로 헤드부(51a)를 일방향으로 회전시키면, 탄성체(53)의 양단(53a)(53b)이 압축되면서 볼트몸체(51)가 체결공의 사각 구조에 맞춰져, 헤드부(51a)를 누르면 볼트몸체(51)가 체결공에 끼워진다.In this state, when the head portion 51a is rotated in one direction by a tool such as a driver, both ends 53a and 53b of the elastic body 53 are compressed so that the bolt body 51 is aligned with the square structure of the fastening hole, The bolt body 51 is inserted into the fastening hole by pressing the screw hole 51a.

이렇게 볼트몸체(51)가 체결공에 끼워지면, 너트몸체(52)가 체결공에서 이탈되고, 너트몸체(52)의 회전을 제한하는 외압이 해소됨에 따라 상기 탄성체(53)의 양단(53a)(53b)이 벌어지도록 탄성력이 작용하게 되어, 너트몸체(52)가 원위치로 회전 복귀하면서 모서리부가 볼트몸체(51)와 엇갈리게 된다.When the bolt body 51 is fitted into the fastening hole, the nut body 52 is detached from the fastening hole and both ends 53a of the elastic body 53 are deformed as the external pressure limiting the rotation of the nut body 52 is eliminated. The nut body 52 is rotated and returned to its original position so that the corner portion of the nut body 52 is offset from the bolt body 51. As a result,

상기 고정볼트(50)의 체결을 완료하면, 헤드부(51a)와 너트몸체(52) 사이에 결합부(14a)와 하판(11c)이 걸림 결합되어 고정볼트(50)가 체결공에서 분리되지 않아, 결합부(14a)와 하판(11c), 즉 가이드바(14)와 바닥판(11)의 결합을 쉽고 견고하게 할 수 있다.When the fastening of the fastening bolt 50 is completed, the engaging portion 14a and the lower plate 11c are engaged with each other between the head portion 51a and the nut body 52 so that the fastening bolt 50 is separated from the fastening hole The joining portion 14a and the lower plate 11c, that is, the joining of the guide bar 14 and the bottom plate 11, can be easily and firmly joined.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 대차 이용이 가능한 기판용 로딩/언로딩 장치를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능하고, 이러한 수정, 변경 및 치환은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Substitutions should be construed as falling within the scope of protection of the present invention.

P : 기판 S : 간지
10A, 10B : 대차 11 : 바닥판
12 : 바퀴 13 : 손잡이부
14 : 가이드바 20 : 본체
21 : 대차 투입부 22 : 적재부
23 : 이송롤러 24 : 정렬 베어링
25 : 안내바 30 : 대차 승강유닛
30A : 승강수단 30B : 고정수단
31 : 승강판 32 : 안내롤러
33 : 스토퍼 34 : 고정 실린더
35, 36 : 정렬부재 40 : 이송유닛
41, 42 : 픽커 43 : 가이드프레임
44 : 이동블록 50 : 고정볼트
51 : 볼트몸체 52 : 너트몸체
53 : 탄성체P: Substrate S: Kanji
10A, 10B: truck 11: bottom plate
12: Wheel 13: Handle portion
14: Guide bar 20: Body
21: Batch charging section 22:
23: Feed roller 24: Alignment bearing
25: guide bar 30: truck lift unit
30A: elevating means 30B: fixing means
31: lifting plate 32: guide roller
33: stopper 34: fixed cylinder
35, 36: alignment member 40: conveying unit
41, 42: Picker 43: Guide frame
44: Moving block 50: Fixing bolt
51: bolt body 52: nut body
53: elastomer

Claims

다수개의 기판용 자재가 적층된 상태로 이동 가능한 대차(10A)(10B);
상기 대차(10A)(10B)가 출입 가능하게 형성된 대차 투입부(21)와, 상기 대차 투입부(21)의 일측에 설치되어 로딩된 또는 언로딩될 자재가 대기하는 적재부(22)를 구비한 본체(10);
적층된 자재를 상기 적재부(22) 높이에 맞추도록 대차(10A)(10B)의 바닥판(11) 하부로 삽입되어 대차(10A)(10B)를 상승시키는 승강판(31)을 구비한 승강수단(30A), 상기 승강판(31)에 지지된 대차(10A)(10B) 및 대차(10A)(10B)에 적층된 자재들을 정위치에 정렬하여 고정하는 고정수단(30B)을 포함하는 대차 승강유닛(30);
상기 대차 투입부(21)와 상기 적재부(22) 사이를 왕복 이동하게 설치되고, 상기 대차(10A)(10B) 또는 상기 적재부(22)의 자재를 진공 흡착하여 이송하는 이송유닛(40);을 포함하되,

상기 대차(10A)(10B)는 바닥판(11)의 저면 양측에 대차(10A)(10B)의 전후진 방향으로 결합된 가이드바(14)를 포함하고,
상기 고정수단(30B)은 투입되는 대차(10A)(10B)의 가이드바(14) 내측면에 접촉하여 대차(10A)(10B)의 전후진을 안내하도록 상기 승강판(31)의 양 측면에 구비된 안내롤러(32), 투입되는 대차(10A)(10B)를 정지시키도록 상기 승강판(31)의 상면 전단부에 구비된 스토퍼(33), 정지된 대차(10A)(10B)의 가이드바(14) 내측면을 가압하여 대차(10A)(10B)가 승강판(31)에 고정되도록 상기 승강판(31)의 양 측면에 구비되고 내외측으로 전후진 작동하는 가압 피스톤(34a)을 구비한 고정 실린더(34)를 포함하고,
상기 고정 실린더(34)는 승강판(31)의 양 측면에 각각 대차(10A)(10B)의 전후진 방향으로 복수개 구비되며, 가압 피스톤(34a)이 인입 작동한 상태에서 대차(10A)(10B)의 출입을 가능하게 하고, 대차(10A)(10B)가 스토퍼(33)에 의해 정지된 상태에서 가압 피스톤(34a)을 인출 작동시켜 가이드바(14) 가압을 통해 대차(10A)(10B)가 전후좌우로 움직이지 않고 승강판(31)의 상면에 정위치로 고정 유지되는 것을 특징으로 하는 기판용 로딩/언로딩 장치.
Bogies (10A) and (10B) capable of being moved in a state in which a plurality of substrates are laminated;
And a loading section 22 installed on one side of the loading section 21 and waiting for a material to be loaded or unloaded A main body 10;
And a lifting plate 31 which is inserted into the lower portion of the bottom plate 11 of the truck 10A and 10B so as to raise the stacked material to the height of the stacking portion 22 and lifts the trucks 10A and 10B, And a fixing means 30B for fixing and stacking the materials stacked on the trucks 10A and 10B in a correct position. The means 30A, the trucks 10A and 10B supported by the lift plate 31, An elevating unit (30);
A transfer unit 40 installed to reciprocate between the loading unit 21 and the loading unit 22 and transferring the materials of the loading unit 22 or the loading unit 22 by vacuum suction, &Lt; / RTI >

The trucks 10A and 10B include guide bars 14 coupled to both sides of the bottom of the bottom plate 11 in the forward and backward directions of the trucks 10A and 10B,
The fixing means 30B is provided on both sides of the lifting plate 31 so as to guide the forward and backward movement of the trucks 10A and 10B in contact with the inner side surfaces of the guide bars 14 of the loaded trucks 10A and 10B A stopper 33 provided on the upper surface of the lifting plate 31 to stop the guide rollers 32 and the loaded trucks 10A and 10B, And a pressing piston 34a provided on both sides of the lifting plate 31 so as to be fixed to the lifting plate 31 by pressurizing the inner side surface of the bar 14 so that the trucks 10A and 10B are fixed to the lifting plate 31, A fixed cylinder 34,
The fixed cylinders 34 are provided on both sides of the lifting plate 31 in the forward and backward directions of the bogie 10A and 10B respectively and the bogie 10A and 10B And the pressure piston 34a is pulled out while the carriage 10A or 10B is stopped by the stopper 33 and the carriage 10A or 10B is pressed through the guide bar 14, Unloading apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the holding plate is fixed to an upper surface of the lifting plate (31) in a fixed position without moving back and forth.

제 1 항에 있어서,
상기 대차 투입부(21)는 상기 적재부(22)와 일렬로 배열된 제1 투입부(21A)와 제2 투입부(21B)로 이루어져, 상기 제1 투입부(21A)에는 기판용 대차(10A)(10B)가 투입되며, 상기 제2 투입부(21B)에는 간지용 대차(10A)(10B)가 투입되고,
상기 이송유닛(40)은 상기 제1 투입부(21A)와 상기 적재부(22) 사이를 왕복 이동하여 기판을 이송하는 제1 픽커(41)와, 상기 제1 투입부(21A)와 상기 제2 투입부(21B) 사이를 왕복 이동하여 간지를 이송하는 제2 픽커(42)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 로딩/언로딩 장치.
The method according to claim 1,
The bogie putting part 21 is composed of a first putting part 21A and a second putting part 21B which are arranged in line with the loading part 22. The first putting part 21A is provided with a boarding bogie 10A) 10B are inserted into the second loading portion 21B, the interleaving bogies 10A, 10B are inserted into the second loading portion 21B,
The transfer unit 40 includes a first picker 41 that reciprocates between the first loading unit 21A and the loading unit 22 to transfer the substrate, And a second picker (42) which reciprocates between the two feeding portions (21B) and feeds the sheet.

제 1 항에 있어서,
상기 고정수단(30B)은 대차(10A)(10B)에 적층된 자재들의 전면부와 양 측면부를 가압하여 자재들이 정렬 후 고정되도록 상기 승강판(31)과 함께 승하강하며 승강판(31)의 상면 전방 및 양 측방에서 내외측으로 전후진 작동하는 정렬부재(35)(36)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 로딩/언로딩 장치.The method according to claim 1,
The fixing means 30B presses the front and both side portions of the stacked materials on the trucks 10A and 10B to move up and down together with the lifting plate 31 so that the materials are aligned and fixed, And an alignment member (35) (36) running forward and backward inward and outward from the top surface and both sides of the loading / unloading apparatus.

제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 대차(10A)(10B)는 내부가 비어있는 프레임(11a)들을 사각 형상으로 결합 후 프레임(11a)들의 상하면에 상판(11b)과 하판(11c)을 조립하여 바닥판(11)이 형성되고, 하판(11c)에 상기 가이드바(14)를 볼트 결합하여 이루어지되,
상기 가이드바(14)를 결합시키는 너트 일체형 고정볼트(50)는,
사각 형상으로 일측에 헤드부(51a)를 구비한 볼트몸체(51)와, 상기 볼트몸체(51)와 동일한 사이즈를 갖는 사각 형상으로 상기 볼트몸체(51)의 타단부에서 좌우로 회전 가능하게 결합된 너트몸체(52)와, 상기 볼트몸체(51)와 상기 너트몸체(52) 사이에 개재되며 상기 너트몸체(52)의 모서리부가 상기 볼트몸체(51)의 모서리부와 엇갈리도록 너트몸체(52)를 일방향으로 회전하게 탄성 지지하는 탄성체(53)로 이루어져,
상기 너트몸체(52)를 사각 형상의 볼트 체결공에 끼운 상태에서 상기 볼트몸체(51)를 타방향으로 회전시킨 후 가압하면, 볼트몸체(51)가 체결공에 끼워지면서, 체결공에서 이탈한 너트몸체(52)가 일방향으로 회전 복귀되어 너트로 변환되는 것을 특징으로 하는 기판용 로딩/언로딩 장치.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The bottom plate 11 is formed by assembling the upper plate 11b and the lower plate 11c on the upper and lower surfaces of the frames 11a after the frames 10A and 10B have the hollowed frames 11a joined in a rectangular shape , And the guide bar (14) is bolted to the lower plate (11c)
The nut-integral fixing bolt (50) for coupling the guide bar (14)
A bolt body 51 having a rectangular shape and a head portion 51a at one side and a bolt body 51 having a rectangular shape having the same size as the bolt body 51 and rotatably coupled to the other end of the bolt body 51 And a nut body (52) interposed between the bolt body (51) and the nut body (52) so that a corner of the nut body (52) is offset from an edge of the bolt body And an elastic body 53 for elastically supporting the elastic body 53 in one direction,
When the bolt body 51 is rotated in the other direction in the state where the nut body 52 is inserted into the rectangular bolt fastening hole and then the bolt body 51 is inserted into the fastening hole, And the nut body (52) is rotated and returned in one direction to be converted into a nut.