KR101915982B1 - Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure - Google Patents

Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure Download PDF

Info

Publication number
KR101915982B1
KR101915982B1 KR1020180086357A KR20180086357A KR101915982B1 KR 101915982 B1 KR101915982 B1 KR 101915982B1 KR 1020180086357 A KR1020180086357 A KR 1020180086357A KR 20180086357 A KR20180086357 A KR 20180086357A KR 101915982 B1 KR101915982 B1 KR 101915982B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceiling
bar
upper mold
mold bar
ceiling frame
Prior art date
Application number
KR1020180086357A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
손창규
정찬헌
이의석
이승환
유영범
차현석
강경래
서현옥
지경철
최혜진
이경수
Original Assignee
(주)삼우종합건축사사무소
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)삼우종합건축사사무소 filed Critical (주)삼우종합건축사사무소
Priority to KR1020180086357A priority Critical patent/KR101915982B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101915982B1 publication Critical patent/KR101915982B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/18—Means for suspending the supporting construction
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/18—Means for suspending the supporting construction
    • E04B2009/186—Means for suspending the supporting construction with arrangements for damping vibration

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

The present invention relates to a prefabricated system ceiling for a clean room having a variable height structure. If the height of the ceiling needs to be changed in the system ceiling for the clean room to which a logistics automation system is applied, it is possible to overcome a step formed thereby to smoothly operate OHT or other logistics carrier equipment. The prefabricated system ceiling comprises a reference ceiling frame and a variable ceiling frame installed below a portion of the reference ceiling frame. The reference ceiling frame is made up of a carrying channel supported by a first hanger bar whose top is fixed to a slab and an upper mold bar supported by a second hanger bar whose top is fixed to the carrying channel. The variable ceiling structure includes a lower mold bar on which a rail for the logistics carrier equipment can be installed, and a plurality of truss suspension members for supporting the lower mold bar by the upper mold bar of the reference ceiling frame. The truss suspension member and the upper mold bar are formed in a detachable structure.

Description

가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천장{PREFABRICATED SYSTEM CEILING OF CLEAN ROOM WITH THE VARIABLE HEIGHT STRUCTURE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceiling for a clean room having a variable height structure,

본 발명은 천장의 높이에 변화가 있는 크린룸용 시스템 천장의 구조에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 물류자동화시스템(AMHS, Automated Material Handling System)이 적용되는 크린룸의 시스템 천장에서 천장의 높이를 달리해야 할 필요가 있는 경우 이에 의해 형성된 단차를 극복하여 OHT(Overhead Hoist Transport)의 원활한 운행을 가능하게 함으로서 반도체 생산공정이 효율적으로 이루어질 수 있도록 하는 크린룸용 시스템 천장의 구조에 관한 것이다. The present invention relates to a structure of a system ceiling for a clean room having a change in height of a ceiling, and more particularly, to a ceiling of a clean room system to which an automated material handling system (AMHS) The present invention relates to a structure of a system ceiling for a clean room in which a semiconductor manufacturing process can be efficiently performed by allowing an overhead hoist transport (OHT) to be smoothly operated.

크린룸이라 함은 미립자 등을 제어하여 그 농도가 요구되는 청정도 이내가 되도록 하고, 필요에 따라 온도, 습도, 조도, 실내압 등의 환경조건에 대하여도 제어 및 관리가 이루어지는 실을 의미하는 것으로서, 첨단기술산업에서 성능 및 생산수율을 향상시키기 위한 생산공정의 핵심적인 공간이다.The clean room means a room in which the concentration is controlled within a required degree of cleanliness by controlling fine particles and the like and environmental conditions such as temperature, humidity, roughness, room pressure and the like are controlled and managed as required. It is a key space in the production process to improve performance and production yield in high technology industries.

이와 같이 고청정도가 요구되는 크린룸은 Leak의 신뢰성 확보, 필터유효면적의 극대화, 개보수의 용이성 등을 위해 천장에 설치되는 각 요소를 합리적이고 효율적으로 구성시킨 시스템 천장을 적용하는 것이 일반적이다.In order to secure the reliability of the leak, maximize the effective area of the filter, and ease of repair, clean rooms that require high cleanliness are generally applied with a system ceiling in which each element installed on the ceiling is constructed rationally and efficiently.

다른 한편으로 크린룸에서는 다양한 생산공정 및 물류이동이 동시에 또는 순차적으로 이루어지기 때문에 이들을 위한 다수의 설비가 배치된다.On the other hand, in a clean room, a number of facilities are arranged for the various production processes and the movement of the goods, since they are carried out simultaneously or sequentially.

예컨대 반도체의 제조는 웨이퍼공정, 산화공정, 포토공정, 삭각공정, 박막공정, 배선공정, EDS공정, 패키징 공정의 순으로 이루어지며, 이들 공정을 위한 각 설비들 사이는 운반체가 이동하면서 다수의 웨이퍼를 운반하여 각 공정이 순조롭게 이루어질 수 있게 한다. 그런데 운반 중량의 증대는 수동 운전에 의한 운반을 쉽지 않게 하는 바, 이러한 운반의 자동화를 위한 물류자동화시스템이 적극적으로 도입되었다.For example, semiconductor manufacturing is performed in the order of a wafer process, an oxidation process, a photolithography process, an etching process, a thin film process, a wiring process, an EDS process, and a packaging process. So that each process can be performed smoothly. However, the increase of the transportation weight makes the transportation by the manual operation not easy, and the logistics automation system for automating such transportation is actively introduced.

상기 물류자동화시스템의 가장 대표적인 것으로는, 천장에 레일을 설치하고 상기 레일을 따라 각 설비들 사이에 웨이퍼 운반용의 OHT(Overhead Hoist Transport)를 설치한 OHT시스템이라는 반송시스템이 있다. 상기 OHT는 먼지와 진동의 발생을 최소화시키면서 최대한 빠르고 정확하게 각 설비들 사이로 이동해야 한다.A most typical example of the above-mentioned logistics automation system is a conveying system called OHT system in which a rail is installed on a ceiling and an overhead hoist transport (OHT) for wafer transfer is installed between each facility along the rail. The OHT must move between each facility as quickly and accurately as possible, minimizing the occurrence of dust and vibration.

물류자동화시스템이 설치되는 시스템 천정은 도 1에 도시된 바와 같이, 슬래브(100)에 정착된 1차행거바에 의해 지지되는 케링찬넬(211)과, 상기 케링찬넬(211)에 상단이 고정된 2차행거바에 의해 몰드바가 지지되며, 상기 몰드바의 하부에는 레일이 설치되고 웨이퍼를 운반하는 OHT는 상기 레일을 따라 이동하면서 각 공정의 설비들에 웨이퍼를 운반한다. 몰드바 상부에는 다수 개의 FFU(Fan Filter Unit)가 일정한 간격으로 설치되며 케링찬넬(211)과 몰드바 사이 공간에는 배관 및 덕트가 더 설치될 수 있다.As shown in FIG. 1, a system ceiling in which a logistics automation system is installed includes a carring channel 211 supported by a primary hanger bar fixed to a slab 100, A mold bar is supported by a car hanger bar. A rail is installed at a lower portion of the mold bar, and an OHT carrying a wafer moves the wafer along the rail and carries the wafer to facilities of each process. A plurality of FFUs (Fan Filter Units) are installed at regular intervals on the upper part of the mold bar, and a pipe and a duct are further installed in the space between the molding channel 211 and the mold bar.

한편 반도체 생산라인 중 일부 공정의 기술적 수단의 선택에 따라 일부 구간에서는 물류자동화시스템이 보다 낮은 높이의 공간에 설치될 필요가 있게 되며, 이 경우 부득이하게 크린룸 내의 시스템 천장에 단차가 발생할 수 밖에 없다.Meanwhile, according to the selection of the technical means of some of the semiconductor production lines, the logistics automation system needs to be installed in a lower height space in some sections. In this case, unavoidably, steps in the system ceiling in the clean room are inevitable.

그런데 이와 같이 단차가 진 시스템 천장을 상기한 동일한 구조로 구성시키게 되면, 도 2에 도시된 바와 같이 낮은 곳에 위치한 몰드바(이하 '하부몰드바(340)'라 함)에 대한 2차 행거바의 행잉 길이가 길어지면서 나머지 부분(이하 '상부몰드바(221)'라 함)과의 일체성을 상실하게 된다. 따라서 하부몰드바(340)에 설치된 레일을 따라 OHT가 이동하거나 멈추게 되면 관성에 의한 충격하중으로 시스템 천장에 출렁거림이 발생하여 OHT의 정상적인 작동을 불가능하게 할 뿐 아니라, 시스템 천장의 전체에 대한 구조적 안정성이 떨어지게 된다. 이와 더불어 상기한 도 2의 천장구조는 구조형상의 변경이 어렵기 때문에 공정의 기술수단 변경에 쉽게 대응할 수도 없는 문제점이 있다.However, when the system ceiling having such a stepped portion is constructed with the same structure as described above, it is possible to reduce the number of steps of the second hanger bar for a mold bar (hereinafter referred to as "lower mold bar 340" The hanging length becomes long and the integral with the remaining portion (hereinafter referred to as " upper mold bar 221 ") is lost. Therefore, when the OHT moves or stops along the rail provided on the lower mold bar 340, the system ceiling is caused by the impact load due to the inertia, so that the normal operation of the OHT can not be performed, The stability becomes poor. In addition, the ceiling structure shown in FIG. 2 has a problem in that it is difficult to change the structure of the ceiling structure and thus can not easily cope with the change of the technical means of the process.

KRKR 10-104223810-1042238 B1B1 KRKR 10-165507910-1655079 B1B1

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단차가 형성되어야 하는 시스템 천장에 물류자동화시스템을 적용하여 OHT를 운행하더라도 진동이 발생거나 천장구조에 변형이 발생할 여지가 없으며, 지진 등의 외부 충격에 대하여도 구조를 유지시킬 수 있는 시스템 천장의 구조를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a system for automating a logistics automation system in a system ceiling in which a step is to be formed, And to provide a structure of a system ceiling that can maintain the structure of the system.

또한 본 발명은 구조변경이 용이하여 공정 내지 기술적 수단의 변경에 따라 쉽게 대응할 수 있어 범용성을 가지는 시스템 천장의 구조를 제공하고자 한다.Further, the present invention provides a structure of a system ceiling which is easy to change in structure, and can be easily responded to changes in process or technical means, thereby having versatility.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 의하면, 기준천정틀과, 상기 기준천정틀 일부분의 하부에 설치되는 가변천정틀로 이루어지는 것으로서, 상기 기준천정틀은 상단이 슬래브에 정착된 제1행거바에 의해 지지되는 케링찬넬과, 상단이 케링찬넬에 정착된 제2행거바에 의해 지지되는 상부몰드바로 이루어지고, 상기 가변천정틀은 하부에 물류반송장치용 레일이 설치될 수 있는 하부몰드바와, 상기 하부몰드바가 기준천정틀의 상부몰드바에 의해 지지되도록 하는 다수 개의 트러스현수재로 이루어지되, 상기 트러스현수재와 상부몰드바는 탈부착구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정이 제공된다.According to a most preferred embodiment of the present invention for solving the above-mentioned problems, a reference ceiling frame and a variable ceiling frame installed below a part of the reference ceiling frame, wherein the reference ceiling frame has an upper end fixed to the slab A lower mold which is supported by a second hanger bar whose upper end is fixed to a carring channel and which is supported by a first hanger bar, The truss suspension member and the upper mold bar are detachably attached to each other, and the lower mold bar is supported by the upper mold bar of the reference roof frame. A prefabricated system ceiling is provided.

이때 상기 트러스현수재는 일정한 간격으로 설치되는 수직재와, 서로 인접한 수직재 사이에 설치되는 사재 및, 이들 수직재 내지 사재를 상부몰드바와 일체화시키는 연결브라켓으로 이루어지되. 상기 연결브라켓에는 상부몰드바와 결합 및 분리 가능하도록 구성된 탈부착수단이 구비될 수 있다. 또 상기 연결브라켓은, 하나 이상의 다리부를 구비한 연결몸체와, 연결몸체의 상면에 설치되는 상방나사봉으로 이루어지고, 상기 연결브라켓의 다리부에 수직재 또는 사재의 상단부가 고정 결합되며, 상기 상방나사봉이 상부몰드바에 구비된 체결공에 삽입된 상태에서 상부몰드바의 상부로부터 돌출된 상방나사봉에 고정너트를 체결 및 해지시킴으로써 트러스현수재가 상부몰드바로부터 탈부착되게 할 수 있다.In this case, the truss suspenders are composed of a vertical member installed at regular intervals, a work material provided between adjacent vertical members, and a connecting bracket for integrating the vertical members or work pieces into the upper mold bar. The connection bracket may be provided with a detachable unit configured to be detachably coupled to and detachable from the upper mold bar. The connecting bracket may include a connecting body having one or more legs, an upper or lower bar provided on the upper surface of the connecting body, an upper end of a vertical member or a workpiece fixedly coupled to the leg of the connecting bracket, The truss suspending member can be detached from the upper mold bar by fastening and releasing the fixing nut to the upper portion or the projecting bar projecting from the upper portion of the upper mold bar in a state where the rod is inserted into the fastening hole provided in the upper mold bar.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 슬래브와 상부몰드바 사이에 내진보강용 강관기둥이 설치되는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정이 제공된다. 이때 상기 강관기둥의 하단에는 하방나사봉이 구비된 고정브라켓이 설치되고, 상기 하방나사봉은 커플러에 의해 상방나사봉과 일체로 연결되도록 할 수 있다. 아울러 상기 고정브라켓에는 스프링댐퍼장치가 내장되게 하여 슬래브를 통해 전달되는 축하중의 진동에너지가 흡수되게 할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a ceiling system for a clean room for a clean room having a variable height structure, characterized in that a steel pipe column is provided between the slab and the upper mold bar. At this time, a fixing bracket having a downward threaded rod is provided at the lower end of the steel pipe column, and the lower threaded rod can be integrally connected with the upper threaded rod by a coupler. In addition, a spring damper device is built in the fixing bracket so that vibration energy of the axial load transmitted through the slab can be absorbed.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 제1행거바와 제2행거바 중 적어도 어느 하나는 좌굴방지를 위한 내진보강재에 의해 보강되는 것을 특징으로 하는 크린룸용 조립식 시스템 천정이 제공된다. 이때 상기 내진보강재는, 한 쌍의 보강커버가 볼트체결되어 제1행거바 또는 제2행거바를 감싸도록 구성될 수 있으며, 상기 보강커버는 내면에 행거바가 삽입되는 반원형 요홈이 구비된 보강몸체와, 상기 보강몸체의 양 측단에서 수직으로 돌출되는 수직리브로 구성될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, at least one of the first hanger bar and the second hanger bar is reinforced by an anti-seismic reinforcement for buckling prevention. The reinforcing cover may include a reinforcing body having a semicylindrical groove in which a hanger bar is inserted. The reinforcing body may include a pair of reinforcing covers, And vertical ribs vertically protruding from both ends of the reinforcing body.

본 발명은 가변천정틀을 기준천정틀의 상부몰드바와 구조적으로 일체화되기 때문에 물류반송장치의 정지, 출발, 회전 등의 움직임에 의한 충격을 기준천정틀이 함께 분담하게 되고, 이로 인하여 가변천정들에 설치된 레일에 수평변위가 발생하지 아니하여 물류반송장치의 정확한 작동이 지속적으로 유지될 수 있다.Since the variable ceiling frame is structurally integrated with the upper mold bar of the reference ceiling frame, the reference ceiling frame is shared by the impact caused by the motion of stopping, starting, rotating, etc. of the product transporting device, Since no horizontal displacement occurs in the installed rail, the correct operation of the goods conveyance apparatus can be continuously maintained.

또한 본 발명은 상기 가변천정틀이 기준천정틀로부터 탈부착 가능하도록 구성되어 있어 천정고의 용이한 변경을 크린룸 내부공간 활용의 극대화를 도모하게 한다.In addition, since the variable ceiling frame is detachable from the reference ceiling frame, the present invention can maximize utilization of the space inside the clean room by easily changing the ceiling.

또한 본 발명은 강관기둥 및 내진보강재에 의해 가변천정틀을 포함한 시스템 천정구조 자체의 강성이 증가될 뿐 아니라, 스프링댐퍼장치에 의한 진동에너지의 흡수작용으로 지진 등 불측의 외부 하중이 작용하더라도 레일 및 그 밖의 설비들이 쉽게 파손되지 않고 안정된 시스템 천정의 구조를 유지시킬 수 있어 내구성이 대폭 증대된다.Further, according to the present invention, not only the rigidity of the system ceiling structure itself including the variable ceiling frame is increased by the steel pipe column and the seismic reinforcement, but also the vibration energy absorbing action by the spring damper device, Other facilities are not easily damaged and the structure of the stable system ceiling can be maintained, which greatly increases durability.

도 1은 본 발명의 가변천정틀을 적용시키 위한 시스템 천정의 내부를 상하부에서 각 바라본 사시도이다.
도 2는 상기 시스템 천정의 일부를 단차지게 한 경우 발생되는 시스템 천정의 출렁임을 설명하는 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 가변천정틀을 구성하는 트러스현수재의 형상을 나타낸 사시도이다.
도 5는 상기 트러스현수재에 구비되는 연결브라켓의 각 실시예에 관한 단면도이다.
도 6은 상기 연결브라켓이 상부몰드바와 결합된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7은 내진보강용 강관기둥이 설치된 본 발명의 또 다른 실시예의 시스템 천정 구조의 사시도이다.
도 8은 상기 강관기둥와 슬래브 사이의 결합관계를 나타낸 각 단면도이다.
도 9는 상기 강관기둥과 연결브라켓의 연결구조에 관한 각 단면도이다.
도 10은 스프링댐퍼장치가 내장된 강관기둥 하부의 고정브라켓에 관한 단면도이다.
도 11은 행거바가 내진보강재로 보강된 본 발명의 또 다른 실시예의 시스템 천정 구조의 사시도이다.
도 12는 행거바에 내진보강재가 설치된 상태의 사시도 및 그 분해도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of an interior of a system ceiling for applying the variable ceiling frame of the present invention, as viewed from above and below; FIG.
FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating a system ceiling generated when a part of the system ceiling is stepped. FIG.
3 is a perspective view of a system ceiling for a clean room having a variable height structure according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a shape of a truss suspension member constituting the variable ceiling frame of the present invention.
5 is a cross-sectional view of each of the connecting brackets of the truss suspenders according to the embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating the connection bracket coupled to the upper mold bar.
7 is a perspective view of a system ceiling structure according to another embodiment of the present invention in which a steel pipe column for an advanced steel pipe is installed.
Fig. 8 is a cross-sectional view showing a coupling relation between the steel pipe column and the slab.
Fig. 9 is a cross-sectional view showing a connection structure between the steel pipe column and the connection bracket.
10 is a cross-sectional view of a fixing bracket in a lower portion of a steel pipe with a spring damper device incorporated therein.
11 is a perspective view of a system ceiling structure according to another embodiment of the present invention in which a hanger bar is reinforced with an earthquake-resistant reinforcement.
12 is a perspective view and an exploded view thereof in a state where an earthquake-resistant reinforcement is installed on the hanger bar.

이하에서는 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명을 설명함에 있어 공지의 구성을 구체적으로 설명함으로 인하여 본 발명의 기술적 사상을 흐리게 하거나 불명료하게 하는 경우에는 위 공지의 구성에 관한 설명을 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, in order to obscure or obscure the technical idea of the present invention due to the detailed description of the known structure in describing the present invention, the description of the structure of the above known structure will be omitted.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정을 개념적으로 도시한 것이다.FIG. 3 conceptually illustrates a ceiling system for a clean room having a variable height structure according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 조립식 시스템 천정은 기준천정틀(200)과 가변천정틀(300)로 이루어지며, 상기 가변천정틀(300)은 기준천정틀(200)로부터 탈부착이 가능하도록 구성되어, 반도체 생산라인 중 일부 공정의 기술적 수단의 선택에 따라 물류반송장치의 설치 높이를 변경할 수 있게 함으로써 크린룸 내부 공간의 효율적인 활용을 도모할 수 있도록 한다.The assembled system ceiling of the present invention comprises a reference ceiling frame 200 and a variable ceiling frame 300. The variable ceiling frame 300 is configured to be detachable from the reference ceiling frame 200, The installation height of the logistics conveying device can be changed according to the selection of the technical means of some processes, thereby making it possible to efficiently utilize the inner space of the clean room.

기준천정틀(200)은 케링찬넬(211)에 의한 상부프레임(210)과 그 하부에 위치한 상부몰드바(221)에 의한 하부프레임(220)으로 이루어진다.The reference ceiling frame 200 is made up of an upper frame 210 by a culling channel 211 and a lower frame 220 by an upper mold bar 221 located below the upper frame 210.

케링찬넬(211)은 상단이 슬래브(100)에 의해 정착된 제1행거바(212)에 의해 지지되고, 상부몰드바(221)는 상단이 케링찬넬(211)에 정착된 제2행거바(222)에 의해 지지된다. 상기 케링찬넬(211)의 상부에 상부프레임(210)의 흔들림을 방지하기 위한 가새부재(213)가 더 설치될 수 있다.The upper end of the casting channel 211 is supported by the first hanger bar 212 fixed by the slab 100 and the upper mold bar 221 is supported by the second hanger bar 211 fixed to the casting channel 211 222, respectively. A brace member 213 for preventing the upper frame 210 from being shaken may further be installed on the upper part of the carring channel 211.

이러한 기준천정틀(200)에는 상부몰드바(221)를 이용하여 FFU(Fan Filter Unit등의 송풍장치, OHT등의 물류반송장치용 레일이 설치될 수 있으며, 그 외 필요에 따라 스프링쿨러 등의 다양한 설비가 설치될 수 있다.In this reference ceiling frame 200, an FFU (a fan unit such as a fan filter unit or a rail for a product transporting device such as an OHT can be installed using the upper mold bar 221, and a sprinkler Various facilities can be installed.

가변천정틀(300)은 물류자동화시스템이 기준천정틀(200)보다 낮은 높이의 공간에 설치될 필요가 있는 경우 그 구간만큼 기준천정틀(200) 일부분의 하부에 설치되는 것으로서, 하부에 물류반송장치용 레일(341)이 설치될 수 있는 하부몰드바(340)와, 상기 하부몰드바(340)가 기준천정틀(200)의 상부몰드바(221)에 지지되도록 하는 다수 개의 트러스현수재(310)로 이루어진다.When the logistics automation system needs to be installed in a space lower in height than the reference ceiling frame 200, the variable ceiling frame 300 is installed at a lower portion of a part of the reference ceiling frame 200 by the interval, A lower mold bar 340 on which a rail 341 for the apparatus can be installed and a plurality of truss suspensions (not shown) for supporting the lower mold bar 340 on the upper mold bar 221 of the reference ceiling frame 200 310).

이때 상기 트러스현수재(310)로 하여금 상부몰드바(221)에 대하여 탈부착이 가능한 구조로 구성되게 함으로써 필요에 따라 가변천정틀(300)을 탈부착하여 천정고를 달리 하게 한다.At this time, the truss suspension member 310 is configured to be detachable with respect to the upper mold bar 221, so that the variable ceiling frame 300 can be detachably attached to the ceiling plate as needed.

이러한 트러스현수재(310)는 일정한 간격으로 설치되는 수직재(311)와, 서로 인접한 두 수직재(311) 사이에 설치되는 사재(312) 및, 이들 수직재(311) 내지 사재(312)를 상부몰드바(221)와 일체화시키는 연결브라켓(320)으로 이루어진다.The truss suspension 310 includes a vertical member 311 installed at regular intervals, a workpiece 312 installed between two vertical members 311 adjacent to each other, and vertical members 311 to 312, And a connecting bracket 320 for integrating the connecting bracket 221 with the connecting bracket 320.

상기 연결브라켓(320)은 연결몸체(321)와, 상기 연결몸체(321)의 상면에 설치되는 상방나사봉(322)으로 이루어진다.The connection bracket 320 includes a connection body 321 and an upper or lower bar 322 provided on the upper surface of the connection body 321.

연결몸체(321)는 수직재(311) 내지 사재(312)의 상단부를 고정시키기 위한 다리부(321a)가 구비되며, 상기 다리부(321a)는 이에 고정되어야 하는 수직재(311) 내지 사재(312)의 수에 대응하여 하나 이상 구비된다. The connecting body 321 is provided with a leg portion 321a for fixing the upper end of the vertical member 311 to the workpiece 312. The leg portion 321a includes a vertical member 311 to a workpiece 312, At least one of which corresponds to the number of pixels.

본 발명의 트러스현수재(310)는 사재(312)가 수직재(311)를 중심으로 대칭이 되도록 길이방향으로 연속 설치되는 방식으로 구성된다. 따라서 트러스현수재(310)가 상부몰드바(221)에 접하게 되는 상부는 도 4에 도시된 바와 같이 다양한 형상을 가지게 된다. 즉 중앙부에서는 수직재(311)를 중심으로 사재(312)가 양측에서 접한 형상을 가지며, 그 양쪽으로 수직재(311)만 접한 형상, 수직재(311)의 일측에 사재(312)가 접한 형상 및, 사재(312)만 접한 형상을 순차로 가진다. 도 5는 이러한 연결브라켓(320)의 각 실시예를 예시한 것이다.The truss suspension 310 of the present invention is constructed in such a manner that the workpiece 312 is continuously installed in the longitudinal direction so as to be symmetrical with respect to the vertical member 311. Therefore, the upper portion where the truss suspension member 310 contacts the upper mold bar 221 has various shapes as shown in FIG. In other words, at the central portion, the workpiece 312 has a shape in contact with both sides of the vertical member 311. The shape of the workpiece 312 is such that the workpiece 312 is in contact with one side of the vertical member 311, (312). Fig. 5 illustrates each embodiment of such a connection bracket 320. Fig.

상방나사봉(322)은 연결브라켓(320)이 상부몰드바(221)와 결합 및 분리 가능하도록 외면에 수나사가 구비되어 고정너트(331)에 의해 체결 및 해지될 수 있도록 한다. 예컨대 상부몰드바(221)에는 연결브라켓(320)이 설치되는 위치에 체결공(221a)이 구비되는데, 도 6에 도시된 바와 같이 상방나사봉(322)을 상기 체결공(221a)에 삽입시켜 상부몰드바(221)의 상부로 돌출시킨 후, 여기에 고정너트(331)를 체결하면 연결브라켓(320)이 상부몰드바(221)에 고정되면서 기준천정틀(200)에 가변천정틀(300)이 설치된다. 이와 반대로 가변천정틀(300)이 설치된 기준천정틀(200)에서 상기 고정너트(331)를 해지하여 상부몰드바(221)로부터 연결브라켓(320)을 분리시키면 트러스현수재(310)가 이탈하면서 기준천정틀(200)에서 가변천정틀(300)이 제거된다. 상방나사봉(322)의 상부몰드바(221) 하부에는 상기 고정너트(331)에 대응하는 지지너트(332)가 더 구비되게 할 수도 있다.The upper or lower bar 322 is provided with a male screw on the outer surface so that the connection bracket 320 can be engaged with and detached from the upper mold bar 221 and can be tightened and released by the fixing nut 331. For example, the upper mold bar 221 is provided with a fastening hole 221a at a position where the connection bracket 320 is installed. As shown in FIG. 6, the upper and lower rods 322 are inserted into the fastening holes 221a The connecting bracket 320 is fixed to the upper mold bar 221 and the variable ceiling frame 300 is attached to the reference ceiling frame 200, ) Is installed. In contrast, when the fixing nut 331 is released from the reference ceiling frame 200 provided with the variable ceiling frame 300 and the connecting bracket 320 is separated from the upper mold bar 221, the truss suspension 310 is detached The variable ceiling frame 300 is removed from the reference ceiling frame 200. A supporting nut 332 corresponding to the fixing nut 331 may be provided below the upper mold bar 221 of the upper or lower bar 322.

이와 같이 연결브라켓(320)은 트러스현수재(310)와 상부몰드바(221)를 구조적으로 일체화시킴으로써 가변천정틀(300)이 기준천정틀(200)의 하부프레임(220)과 일체로 거동하게 한다. 따라서 가변천정틀(300)에 설치된 물류반송장치의 움직임 변화에 따른 충격은 기준천정틀(200)의 하부프레임(220)으로도 분산되므로 가변천정틀(300)의 흔들림은 그만큼 줄어들게 된다.The connecting bracket 320 thus structurally integrates the truss suspenders 310 and the upper mold bar 221 so that the variable top frame 300 moves integrally with the lower frame 220 of the reference top frame 200 do. Therefore, the impact due to the movement change of the product transport apparatus installed in the variable ceiling frame 300 is dispersed also in the lower frame 220 of the reference ceiling frame 200, so that the fluctuation of the variable ceiling frame 300 is reduced accordingly.

한편 가변천정틀(300)은 케링찬넬(211)에 상단이 고정된 제2행거바(222)에 의해 지지될 뿐이므로, 제2행거바(222)의 수직하중에 대한 부담은 보다 크게 증가한다. 아울러 가변천정틀(300)이 고정 설치된 하부프레임(220)과 케링찬넬(211)로 구성되는 상부프레임(210)이 상기 제2행거바(222)만으로 연결되어 있어 구조적 일체성이 부족한 바, 지진 등의 큰 하중이 발생하게 되는 경우 제1, 2행거바(212,222)에 좌굴 등의 변형이 발생할 여지가 있게 된다.On the other hand, since the variable ceiling frame 300 is only supported by the second hanger bar 222 whose upper end is fixed to the casting channel 211, the burden on the vertical load of the second hanger bar 222 is further increased . The upper frame 210 composed of the lower frame 220 having the variable ceiling frame 300 fixed thereon and the casing channel 211 is connected only with the second hanger bar 222. As a result, The first and second hanger bars 212 and 222 may be deformed such as buckling or the like.

따라서 본 발명의 또 다른 실시예에서는 가변천정틀(300) 등의 하중을 분담하면서 시스템 천정 자체에 내진강성이 증대될 수 있도록 상기 시스템 천정 내부에 내진보강용 강관기둥(400)을 더 구성시킬 수 있다.Therefore, in another embodiment of the present invention, it is possible to further constitute a steel pipe column 400 for internal advanced steel in the system ceiling so that the earthquake stiffness of the system ceiling itself can be increased while sharing the load of the variable ceiling frame 300 have.

도 7은 강관기둥(400)이 설치된 본 발명의 시스템 천정 구조의 일 실시예를 개념적으로 나타낸 것이다.7 conceptually illustrates an embodiment of the system ceiling structure of the present invention in which a steel pipe column 400 is installed.

상기의 내진보강용 강관기둥(400)은 슬래브(100)와 상부몰드바(221) 사이에 설치되면서, 케링찬넬(211)에 의한 상부프레임(210)과 몰드바에 의한 하부프레임(220)이 구조적인 일체성을 확보할 수 있게 한다. 즉 상부프레임(210)과 하부프레임(220)은 강관기둥(400)과 함께 일체화된 사각의 입체구조를 형성하여 외부의 충격하중을 분담하여 저항한다. 아울러 상기 강관기둥(400)은 수직 및 수평의 양 방향에 대한 하중을 분담함으로써 제1, 2행거바(212,222)의 변형을 방지한다.The steel pipe column 400 is installed between the slab 100 and the upper mold bar 221 so that the upper frame 210 by the carring channel 211 and the lower frame 220 by the mold bar So that it can secure the integrity. That is, the upper frame 210 and the lower frame 220 together with the steel pipe column 400 form a rectangular three-dimensional structure to resist external impact load. In addition, the steel pipe column 400 shares the load in both the vertical and horizontal directions to prevent deformation of the first and second hanger bars 212 and 222.

이때 강관기둥(400)의 상하부 중 적어도 어느 하나는 힌지접합구조를 가지도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 힌지접합구조는 제작된 강관기둥(400)의 길이 및 강관기둥(400)이 위치해야 할 상하의 각 위치에 대한 오차가 발생하더라도 그에 대한 별도의 보정 작업을 하지 않고서도 강관기둥(400)의 설치작업이 쉽게 진행될 수 있게 한다.At this time, it is preferable that at least one of the upper and lower portions of the steel pipe column 400 has a hinge joint structure. This hinge joint structure can prevent the installation of the steel pipe column 400 from occurring even if the length of the manufactured steel pipe column 400 and an error between the upper and lower angular positions at which the steel pipe column 400 should be located, Allows the task to proceed easily.

도 8은 강관기둥(400)의 상부가 슬래브(100)에 힌지접합구조로 설치되는 것의 실시예를 설명한 것으로서, (a)는 상기 힌지접합구조를 도시한 것이고, (b)는 이를 이용하여 강관기둥(400)을 슬래브(100)에 고정시키는 과정의 일 실시예를 단계별로 도시한 것이다.8A and 8B illustrate an embodiment in which the upper part of the steel pipe column 400 is installed on the slab 100 in a hinge-joining structure. FIG. 8A illustrates the hinge joint structure, And FIG. 5 is a perspective view illustrating a process of fixing the column 400 to the slab 100 according to an embodiment of the present invention.

예컨대 도 8의 (b)에서 설명하고 있는 바와 같이, 슬래브(100)에 앵커볼트(101)를 미리 매입시키고, 강관기둥(400)의 상단에 나사체결방식으로 힌지캡(413)을 씌워 상힌지체(412)를 먼저 힌지 고정시킨 후, 강관기둥(400)의 길이 및 설치각도를 조절하면서 상기 상힌지체(412)의 베이스플레이트(411)를 상기 앵커볼트(101)에 체결함으로써 강관기둥(400)의 설치작업은 곧바로 완료된다.An anchor bolt 101 is previously embedded in the slab 100 and a hinge cap 413 is placed on the upper end of the steel pipe column 400 by a screw fastening method, The base plate 411 of the upper support body 412 is fastened to the anchor bolt 101 by adjusting the length and the installation angle of the steel pipe column 400, The installation work is completed immediately.

또한 상기의 강관기둥(400)은 그 하부가 앞서 설명한 트러스현수재(310)의 연결브라켓(320)에 연결되게 함으로써, 가변천정틀(300)의 하중이 직접 강관기둥(400)에 의해 지지되게 하여 상부몰드바(221) 및 제2행거바(222)의 부담을 줄여주고, 트러스현수재(310)와 상부몰드바(221) 및 강관기둥(400)의 사이의 구조적 일체성을 보다 크게 확보하면서 응력전달을 명확하게 할 수 있다.The lower part of the steel pipe column 400 is connected to the connection bracket 320 of the truss suspension 310 described above so that the load of the variable top frame 300 is directly supported by the steel pipe column 400 Thereby reducing the burden on the upper mold bar 221 and the second hanger bar 222 and ensuring greater structural integrity between the truss suspension 310 and the upper mold bar 221 and the steel pipe column 400 The stress transfer can be clarified.

이를 위한 본 발명의 일 실시예에서는 강관기둥(400)의 하단에는 하방나사봉(424)이 구비된 고정브라켓(420)이 더 설치된다. 상기 고정브라켓(420)은 앞서 설명한 강관기둥(400) 상부와 유사하게 상힌지체(422)와 하힌지체(423)가 핀결합된 힌지접합구조인 것이 바람직하며 아래의 도 9에서는 이를 예로 하여 도시한 것이다.In this embodiment of the present invention, a fixing bracket 420 having a downwardly threaded rod 424 is further installed at the lower end of the steel pipe column 400. It is preferable that the fixing bracket 420 is a hinge joint structure in which the upper support member 422 and the hinge support member 423 are coupled to each other in a manner similar to the upper portion of the steel pipe column 400 described above, will be.

도 9는 상기의 힌지접합구조를 이용한 강관기둥(400)과 연결브라켓(320) 간의 연결구조를 설명하는 것으로, (a)는 힌지접합구조의 고정브라켓(420)이 강관기둥(400)의 하단에 설치된 상태를 도시한 것이고, (b)는 상기 고정브라켓(420)과 연결브라켓(320)이 연결된 상태를 도시한 것이다.9A and 9B illustrate a connection structure between the steel pipe column 400 and the connection bracket 320 using the hinge joint structure. In FIG. 9A, the fixing bracket 420 of the hinge- (B) shows a state where the fixing bracket 420 and the connection bracket 320 are connected to each other.

강관기둥(400) 하단의 고정브라켓(420), 보다 구체적으로 하힌지체(423)에 구비된 하방나사봉(424)은 커플러(333)를 통해 연결브라켓(320)에 구비된 상방나사봉(322)과 일체로 연결된다. 따라서 하방나사봉(424)은 상부몰드바(221)와의 체결시 커플러(333)와의 체결이 가능하도록 그 길이가 설정되어야 한다.The fixing bracket 420 at the lower end of the steel pipe column 400 and more specifically the lower screw thread 424 provided at the hinge support body 423 are fixed to the connection bracket 320 via the coupler 333 by the upper portion of the connecting bracket 320, ). Therefore, the length of the downwardly threaded rod 424 must be set so as to be able to be coupled with the coupler 333 when fastened to the upper mold bar 221.

상기와 같은 고정브라켓(420)의 힌지접합구조는 강관기둥(400)이 정확하게 수직 설치되지 않더라도 후술하는 하방나사봉(424)과 상방나사봉(322)의 연결상태가 일직선을 유지할 수 있도록 하여 커플러(333)에 의한 연결을 가능하게 한다.The hinge joint structure of the fixing bracket 420 may be such that the connection state of the downwardly threaded rod 424 and the upwardly threaded rod 322 can be maintained in a straight line even if the steel pipe column 400 is not vertically installed exactly, (333).

강관기둥(400)의 상하부 중 적어도 어느 한 곳에는 스프링댐퍼장치(430)가 더 구비될 수 있다. 상기 스프링댐퍼장치(430)는 슬래브(100)를 통하여 전달되는 축방향의 진동에너지를 흡수함으로써 물류반송장치용 레일(341)에 미치는 지진의 영향을 최소화시킨다.The spring pipe damper device 430 may be further provided at least one of the upper and lower portions of the steel pipe column 400. The spring damper device 430 absorbs the axial vibration energy transmitted through the slab 100, thereby minimizing the influence of the earthquake on the rail 341 for the goods conveyance device.

도 10은 강관기둥(400)의 하부에 설치된 힌지접합구조의 고정브라켓(420)에 스프링댐퍼장치(430)를 내장시킨 것을 예로 하여 도시한 것이다.10 shows an example in which the spring damper device 430 is embedded in the fixing bracket 420 of the hinge joint structure provided at the lower part of the steel pipe column 400.

스프링댐퍼장치(430)는, 도 10에 도시된 바와 같이 지지체(431)와 스프링수단(432) 및 이들을 감싸주는 보호커버(433)로 이루어지며, 이때 연결브라켓(320)의 상방나사봉(322)과의 결합을 위한 하방나사봉(424)은 상기 보호커버(433)의 하단에 부착 설치된다.10, the spring damper device 430 includes a support 431 and a spring means 432 and a protective cover 433 for covering the spring 431 and the spring 432. The spring damper device 430 is installed above the connection bracket 320, The lower cover 424 is attached to the lower end of the protective cover 433. [

상기 지지체(431)는 강관기둥(400)과 함께 상하로 거동하면서 스프링수단(432)에 진동에너지를 전달한다. 이러한 지지체(431)는 고정브라켓(420)의 하힌지체(423)에 고정된 지지대(431a)와, 상기 지지대(431a)의 선단에 부착된 판상의 지지판(431b)으로 이루어진다.The support 431 moves up and down with the steel pipe column 400 to transmit vibration energy to the spring means 432. The support 431 includes a support 431a fixed to the hinge support 423 of the fixing bracket 420 and a plate support plate 431b attached to the tip of the support 431a.

이와 같이 구성된 지지체(431)는 스프링수단(432)에 의해 진동이 제어되는데, 상기 스프링수단(432)은 지지판(431b)의 상부에 위치하는 제1스프링(432a)과 지지판(431b)의 하부에 위치하는 제2스프링(432b)으로 구성된다. 따라서 지진 등에 의한 진동발생시 지지체(431)가 보호커버(433) 내면과 직접 충돌하는 것이 방지되어 보호커버(433)에 충격이 가해지지 않게 된다.The support member 431 thus configured is controlled in its vibration by the spring means 432. The spring means 432 includes a first spring 432a located on the upper side of the support plate 431b and a lower spring 432b on the lower side of the support plate 431b And a second spring 432b positioned thereon. Therefore, when vibration occurs due to an earthquake or the like, the support body 431 is prevented from directly colliding with the inner surface of the protective cover 433, so that the protective cover 433 is not impacted.

시스템 천정의 내진보강을 위한 본 발명의 또 다른 실시예에서는 제1행거바(212)와 제2행거바(222) 중 적어도 어느 하나는 좌굴방지를 위한 내진보강재(500)로 보강한다. 이러한 행거바(212,222)에 대한 내진보강재(500)의 보강은 앞서 설명한 강관기둥(400)의 내진보강과는 별개로 이루어진다. 따라서 상기한 행거바(212,222)에 대한 내진보강은 강관기둥(400)의 설치와 함께 이루어질 수 있고, 강관기둥(400)의 설치 없이도 이루어질 수 있다.At least one of the first hanger bar 212 and the second hanger bar 222 is reinforced by an anti-seismic reinforcement 500 for preventing buckling in another embodiment of the present invention for seismic strengthening of the system ceiling. The reinforcement of the seismic reinforcement material 500 with respect to the hanger bars 212 and 222 is performed separately from the seismic reinforcement of the steel pipe column 400 described above. Therefore, the above-described seismic strengthening of the hanger bars 212 and 222 can be performed together with the installation of the steel pipe pillar 400 and can be performed without installing the steel pipe pillar 400.

도 11은 강관기둥(400)의 설치와 함께 제2행거바(222)를 내진보강재(500)로 보강시킨 본 발명의 시스템 천정 구조를 개념적으로 나타낸 것이고, 도 12는 상기 내진보강재(500)를 설명하기 위한 것으로서, (a)는 행거바(212,222)가 내진보강재(500)에 의해 보강된 상태의 사시도이고, (b)는 이들을 분리시킨 단면도이다.11 schematically shows the system ceiling structure of the present invention in which the second hanger bar 222 is reinforced with the seismic strengthening material 500 together with the installation of the steel pipe column 400. Fig. (A) is a perspective view in a state where the hanger bars 212 and 222 are reinforced by the seismic strengthening material 500, and (b) is a sectional view in which the hanger bars 212 and 222 are separated.

내진보강재(500)는 도 12에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 보강커버(510)가 볼트체결되는 구조로 이루어진다. 즉 한 쌍의 보강커버(510)가 제1행거바(212) 또는 제2행거바(222)의 외면을 감싸아 기둥과 같은 축부재의 역할을 함으로써, 상기 행거바(212,222)들이 그 내부에서 좌굴 등의 변형이 발생하는 것을 방지한다.As shown in FIG. 12, the anti-seismic reinforcement 500 has a structure in which a pair of reinforcement covers 510 are bolted together. That is, a pair of reinforcing covers 510 surrounds the outer surfaces of the first hanger bar 212 or the second hanger bar 222 and serves as a shaft member such as a column, so that the hanger bars 212, Thereby preventing deformation such as buckling.

이러한 보강커버(510)는 내면에 행거바(212,222)가 삽입되는 반원형 요홈(511a)이 구비된 보강몸체(511)와, 상기 보강몸체(511)의 양 측단에서 수직으로 돌출되는 수직리브(512)로 이루어진다. 상기 수직리브(512)는 보강몸체(511)의 구성에 의해 불가피하게 형성되는 약축을 보강하여 어느 일방향이 취약해지는 것을 방지한다.The reinforcing cover 510 includes a reinforcing body 511 having a semicylindrical groove 511a to which the hanger bars 212 and 222 are inserted and a vertical rib 512 projecting vertically from both ends of the reinforcing body 511 ). The vertical ribs 512 reinforce the weak axes inevitably formed by the structure of the reinforcing body 511 to prevent any one direction from being weakened.

이상에서 본 발명은 구체적인 실시 예를 참조하여 상세히 설명하였으나, 상기 실시 예는 본 발명을 이해하기 쉽도록 하기 위한 예시에 불과한 것이므로, 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이를 다양하게 변형하여 실시할 수 있을 것임은 자명한 것이다. 따라서 그러한 변형 예들은 청구범위에 기재된 바에 의해 본 발명의 권리범위에 속한다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is obvious that it will be possible to carry out various modifications thereof. It is therefore intended that such modifications are within the scope of the invention as set forth in the claims.

100; 슬래브 101; 앵커볼트
200: 기준천정틀 210; 상부프레임
211; 케링찬넬 212; 제1행거바
213; 가새부재 221; 상부몰드바
221a; 체결공 220; 하부프레임
222; 제2행거바 300; 가변천정틀
310; 트러스현수재 311; 수직재
312; 사재 320; 연결브라켓
321; 연결몸체 321a; 다리부
322; 상방나사봉 331; 고정너트
332; 지지너트 333; 커플러
340; 하부몰드바 341; 물류반송장치용 레일
400; 강관기둥 411; 베이스플레이트
412,422; 상힌지체 413; 힌지캡
420; 고정브라켓 423; 하힌지체
424; 하방나사봉 430; 스프링댐퍼장치
431; 지지체 431a; 지지대
431b; 지지판 432; 스프링수단
432a; 제1스프링 432b; 제2스프링
433; 보호커버 500; 내진보강재
510; 보강커버 511; 보강몸체
511a; 요홈 512; 수직리브100; Slab 101; Anchor bolt
200: Reference ceiling frame 210; Upper frame
211; Kering channel 212; The first hanger bar
213; A brace member 221; Upper mold bar
221a; Tightening ball 220; Bottom frame
222; A second hanger bar 300; Variable ceiling frame
310; Truss suspension 311; vertical
312; Workpiece 320; Connection bracket
321; A connection body 321a; Leg
322; Upper and Lower Bars 331; Fixed nut
332; Support nut 333; Coupler
340; Lower mold bar 341; Rails for logistics conveyor
400; Steel pipe columns 411; Base plate
412, 422; An upper support 413; Hinge cap
420; A fixing bracket 423; Hahn lag
424; Downward screw 43; Spring damper device
431; Support 431a; support fixture
431b; A support plate 432; Spring means
432a; A first spring 432b; The second spring
433; Protective cover 500; Seismic reinforcement
510; A reinforcing cover 511; Reinforcing body
511a; Grooves 512; Vertical rib

Claims (9)

크린룸의 시스템 천정에 있어서,
기준천정틀(200)과, 상기 기준천정틀(200) 일부분의 하부에 설치되는 가변천정틀(300)로 이루어지는 것으로서,
상기 기준천정틀(200)은 상단이 슬래브(100)에 정착된 제1행거바(212)에 의해 지지되는 케링찬넬(211)과, 상단이 케링찬넬(211)에 정착된 제2행거바(222)에 의해 지지되는 상부몰드바(221)로 이루어지고,
상기 가변천정틀(300)은 하부에 물류반송장치용 레일(341)이 설치될 수 있는 하부몰드바(340)와, 상기 하부몰드바(340)가 기준천정틀(200)의 상부몰드바(221)에 의해 지지되도록 하는 다수 개의 트러스현수재(310)로 이루어지며,
상기 트러스현수재(310)는 일정한 간격으로 설치되는 수직재(311)와, 서로 인접한 수직재(311) 사이에 설치되는 사재(312) 및, 이들 수직재(311) 내지 사재(312)를 상부몰드바(221)와 일체화시키는 연결브라켓(320)으로 이루어지되,
상기 연결브라켓(320)은, 하나 이상의 다리부(321a)를 구비한 연결몸체(321)와, 연결몸체(321)의 상면에 설치되는 상방나사봉(322)으로 이루어지고, 상기 연결브라켓(320)의 다리부(321a)에 수직재(311) 또는 사재(312)의 상단부가 고정 결합되며, 상기 상방나사봉(322)이 상부몰드바(221)에 구비된 체결공(221a)에 삽입된 상태에서 상부몰드바(221)의 상부로부터 돌출된 상방나사봉(322)에 고정너트(331)를 체결 및 해지시킴으로써 트러스현수재(310)가 상부몰드바(221)로부터 탈부착되는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.In the system ceiling of a clean room,
A reference ceiling frame 200 and a variable ceiling frame 300 installed below a part of the reference ceiling frame 200,
The reference ceiling frame 200 includes a carring channel 211 whose upper end is supported by a first hanger bar 212 fixed to the slab 100 and a second hanger bar 211 fixed to the carring channel 211 And an upper mold bar 221 supported by the upper mold bar 222,
The variable ceiling frame 300 includes a lower mold bar 340 on which a rail 341 for a goods conveyance device can be installed and a lower mold bar 340 on which an upper mold bar And a plurality of truss suspension members 310 for supporting the truss suspension members 310,
The truss suspension 310 includes a vertical member 311 disposed at a predetermined interval and a workpiece 312 disposed between adjacent vertical members 311. The vertical members 311 to 312 are connected to the upper mold bar And a connecting bracket (320) for integrating the connecting bracket (221)
The connection bracket 320 includes a connection body 321 having one or more legs 321a and an upper or lower bar 322 provided on the upper surface of the connection body 321. The connection bracket 320 The upper end of the vertical member 311 or the workpiece 312 is fixedly coupled to the leg portion 321a of the upper mold bar 221 and the upper and lower barbs 322 are inserted into the fastening holes 221a provided in the upper mold bar 221 Is characterized in that the truss suspension member (310) is detachably attached to the upper mold bar (221) by fastening and releasing the fixing nut (331) to the upper portion or the barrel (322) projecting from the upper portion of the upper mold bar (221) Prefabricated system ceiling for clean room with height structure. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 슬래브(100)와 상부몰드바(221) 사이에는 내진보강용 강관기둥(400)이 설치되는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.The method according to claim 1,
And a steel pipe column (400) is provided between the slab (100) and the upper mold bar (221). 제4항에 있어서,
상기 강관기둥(400)의 하단에는 하방나사봉(424)이 구비된 고정브라켓(420)이 설치되고, 상기 하방나사봉(424)은 커플러(333)에 의해 상방나사봉(322)과 일체로 연결되는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.5. The method of claim 4,
A fixing bracket 420 having a downwardly threaded rod 424 is provided at the lower end of the steel tube column 400 and the lower threaded rod 424 is integrally formed with the upper and lower ends of the barrel 322 by a coupler 333. [ Wherein the ceiling is connected to the ceiling of the ceiling. 제5항에 있어서,
상기 고정브라켓(420)에는 스프링댐퍼장치(430)가 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.6. The method of claim 5,
Wherein the fixing bracket (420) has a spring damper device (430) built in. The ceiling of the assembled system for a clean room has a variable height structure. 제1항에 있어서,
상기 제1행거바(212)와 제2행거바(222) 중 적어도 어느 하나는 좌굴방지를 위한 내진보강재(500)에 의해 보강되는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first hanger bar (212) and the second hanger bar (222) is reinforced by an anti-seismic reinforcement (500) for buckling prevention. 제7항에 있어서,
상기 내진보강재(500)는, 한 쌍의 보강커버(510)가 볼트체결되어 제1행거바(212) 또는 제2행거바(222)를 감싸도록 구성되는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.8. The method of claim 7,
The earthquake-resistant reinforcement 500 is constructed such that a pair of reinforcing covers 510 are bolted together to enclose the first hanger bar 212 or the second hanger bar 222. Ceiling mounted system. 제8항에 있어서,
상기 보강커버(510)는 내면에 제1행거바(212) 또는 제2행거바(222)가 삽입되는 반원형 요홈(511a)이 구비된 보강몸체(511)와, 상기 보강몸체(511)의 양 측단에서 수직으로 돌출되는 수직리브(512)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가변높이 구조를 가진 크린룸용 조립식 시스템 천정.9. The method of claim 8,
The reinforcing cover 510 includes a reinforcing body 511 having a semicircular groove 511a to which the first hanger bar 212 or the second hanger bar 222 is inserted, And a vertical rib (512) vertically protruding from a side edge of the vertical rib (512).
KR1020180086357A 2018-07-25 2018-07-25 Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure KR101915982B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180086357A KR101915982B1 (en) 2018-07-25 2018-07-25 Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180086357A KR101915982B1 (en) 2018-07-25 2018-07-25 Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101915982B1 true KR101915982B1 (en) 2018-11-07

Family

ID=64363030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180086357A KR101915982B1 (en) 2018-07-25 2018-07-25 Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101915982B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210133741A (en) 2020-04-29 2021-11-08 삼성전자주식회사 Prefabricated system ceiling for clean room with reinforcement easy and horizontal adjusting and variable height structure
KR20210133742A (en) 2020-04-29 2021-11-08 삼성전자주식회사 Prefabricated system ceiling for clean room with double variable height structure

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014012974A (en) * 2012-07-05 2014-01-23 Taisei Corp Multiple ceiling structure

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014012974A (en) * 2012-07-05 2014-01-23 Taisei Corp Multiple ceiling structure

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210133741A (en) 2020-04-29 2021-11-08 삼성전자주식회사 Prefabricated system ceiling for clean room with reinforcement easy and horizontal adjusting and variable height structure
KR20210133742A (en) 2020-04-29 2021-11-08 삼성전자주식회사 Prefabricated system ceiling for clean room with double variable height structure
KR102387045B1 (en) 2020-04-29 2022-04-15 삼성전자(주) Prefabricated system ceiling for clean room with double variable height structure
KR102449019B1 (en) * 2020-04-29 2022-09-29 삼성전자(주) Prefabricated system ceiling for clean room with reinforcement easy and horizontal adjusting and variable height structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101924172B1 (en) Aseismic reinforced structure for system ceiling of the clean room
KR101915982B1 (en) Prefabricated system ceiling of clean room with the variable height structure
KR101691489B1 (en) Pipe module and construction method thereof
KR101899515B1 (en) Module rack mounting structure of semiconductor fab utility
JP5391836B2 (en) Module structure and plant construction method
JP4195497B2 (en) Stage equipment
KR20170100610A (en) Assembly system for modular industrial plants
KR20050013666A (en) Cold box sheet metal jacket
US10640335B2 (en) Cantilevered crane system for a factory work station
JP2016530145A (en) Elevated transport device with support framework module
KR101977904B1 (en) rail guide support apparatus for transport robot
JP2018204937A (en) Construction method of air conditioner and support device
JP2001141263A (en) Outdoor machine unit and method of constructing outdoor machine unit
RU2651346C2 (en) Overhead conveying apparatus for mounting on the ceiling of an assembly plant
KR100706870B1 (en) Hanging type double layer clean room structure for micro-vibration control of semiconductor, lcd, etc. fabrication buildings
KR102387045B1 (en) Prefabricated system ceiling for clean room with double variable height structure
KR102449019B1 (en) Prefabricated system ceiling for clean room with reinforcement easy and horizontal adjusting and variable height structure
KR102077751B1 (en) Connection sructure between steel column and long span steel girder
KR102453738B1 (en) storage shelf
KR200268195Y1 (en) A clamping unit for a floor panel supporting frame of clean room
JP5761595B2 (en) Module structure, module construction method
KR100395712B1 (en) The method and structure of supplimentang support material for cleanroom floor panel
KR100442909B1 (en) Access floor assembly for vibartion isolation
KR101865792B1 (en) Building structure constructed by the prefabrication method and temporary structure for the prefabrication method and constructing process by the prefabrication method
KR102351056B1 (en) Self-driving transport lifting device and the Construction method using the device

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant