KR101912395B1 - relief valve for semiconductor manufacturing process - Google Patents

relief valve for semiconductor manufacturing process Download PDF

Info

Publication number
KR101912395B1
KR101912395B1 KR1020180027230A KR20180027230A KR101912395B1 KR 101912395 B1 KR101912395 B1 KR 101912395B1 KR 1020180027230 A KR1020180027230 A KR 1020180027230A KR 20180027230 A KR20180027230 A KR 20180027230A KR 101912395 B1 KR101912395 B1 KR 101912395B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sealing
opening
fluid
stopper
spring
Prior art date
Application number
KR1020180027230A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김영호
Original Assignee
태광후지킨 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 태광후지킨 주식회사 filed Critical 태광후지킨 주식회사
Priority to KR1020180027230A priority Critical patent/KR101912395B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101912395B1 publication Critical patent/KR101912395B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F16K17/044—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded with more than one spring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/36—Valve members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K25/00—Details relating to contact between valve members and seats
    • F16K25/005—Particular materials for seats or closure elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

The present invention relates to a relief valve for a semiconductor manufacturing process, which prevents a particle generated by friction among components from flowing into a fluid supplied therein to reduce a defect rate of manufactured products so as to enhance productivity. According to the present invention, the relief valve for a semiconductor manufacturing process comprises: a valve body part including an inlet for receiving the fluid and an outlet for discharging the fluid, and having an opening/closing flow path formed on the lower side of a guide hole formed in a central part to selectively discharge the fluid in accordance with an opening/closing state; an elevating closing part including a sealing mounting part coupled to a sealing part for sealing the inlet and a sealing support part upwardly extended from the sealing mounting part to be selectively elevated along the inner circumference of the guide hole, and elevated to selectively open/close the opening/closing flow path; an elastic support part disposed on the upper side of the elevating sealing part, and elastically supporting the sealing support part to a lower side to seal the inlet corresponding to a preset pressure; and a bellows part to surround the outside of the sealing support part, wherein a bottom part is connected to an edge of the sealing mounting part and a top part is connected to an edge of a lower opening side of the guide hole, such that prevents a particle generated in elevation of the elevating sealing part is prevented from flowing into the fluid supplied when the opening/closing flow path is opened.

Description

반도체 제조 공정용 릴리프 밸브{relief valve for semiconductor manufacturing process}[0001] The present invention relates to a relief valve for a semiconductor manufacturing process,

본 발명은 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브 내부에 유입되는 유체에 구성부품 간의 마찰로 발생하는 파티클의 혼입을 방지하여 생산제품의 불량률이 감소됨에 따라 생산성이 향상된 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a relief valve for a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a relief valve for a semiconductor manufacturing process, To a process relief valve.

일반적으로, 릴리프 밸브(relief valve)는 관로를 통해 유입되는 유체의 압력이 기설정된 압력을 초과하면 유체의 일부 또는 전량을 외부로 배출시켜 관로 내의 압력을 기설정된 압력 이하로 유지하는 압력 설정용 밸브를 말한다.In general, a relief valve is a valve for setting a pressure of a fluid to be supplied to a pressure setting valve for discharging a part or all of the fluid to the outside to maintain the pressure in the conduit below a predetermined pressure when the pressure of the fluid flowing through the conduit exceeds a predetermined pressure .

여기서, 상기 릴리프 밸브는 반도체 제조 설비의 클린룸(clean room) 등과 같은 다양한 산업 분야에 적용되고 있다. 이러한 반도체 제조 설비의 클린룸에는 반도체 웨이퍼의 수납용기 등에 초저온의 질소가스 등을 공급하기 위해 초저온 내지 고압의 유체에도 적용 가능한 릴리프 밸브가 사용된다. Here, the relief valve is applied to various industrial fields such as a clean room of a semiconductor manufacturing facility. In a clean room of such a semiconductor manufacturing facility, a relief valve that can be applied to ultra-low temperature or high pressure fluids is used to supply ultra-low temperature nitrogen gas or the like to a storage container of a semiconductor wafer.

도 1은 종래의 릴리프 밸브(1)를 나타낸 단면도이다.1 is a sectional view showing a conventional relief valve 1. Fig.

상세히, 종래의 릴리프 밸브(1)는 바디부(2), 디스크(3) 및 스템(4)을 포함하여 구비된다. 이때, 상기 바디부(2)에는 유체가 유입되는 유입구(2a) 및 유체가 배출되는 배출구(2b)가 형성되며, 상기 유입구(2a) 및 상기 배출구(2b)가 상호 연통되어 선택적으로 유체가 유입되는 개폐유로(2c)가 내부에 형성된다. 그리고, 상기 디스크(3)는 상기 개폐유로(2c)를 선택적으로 개폐하도록 상기 유입구(2a)측에 배치되며, 상기 스템(4)은 상기 디스크(3)와 연결되어 상기 개폐유로(2c)의 내부에 배치된다.In detail, the conventional relief valve 1 is provided including the body portion 2, the disk 3, and the stem 4. [ The inlet 2a and the outlet 2b are formed in the body 2. The inlet 2a and the outlet 2b are communicated with each other to selectively flow fluid And an opening / closing passage 2c is formed therein. The disc 3 is disposed on the inlet 2a side to selectively open and close the opening and closing passage 2c and the stem 4 is connected to the disc 3 to open and close the opening and closing passage 2c. Respectively.

이때, 상기 스템(4)은 상기 바디부(2)에 형성된 스템삽입홀(2d)에 삽입될 수 있으며, 상기 바디부(2)의 상부에 구비된 탄성스프링(5)에 의해 상부가 하측으로 탄발 지지된다. 이를 통해, 상기 디스크(3)는 상기 스템(4)에 작용하는 상기 탄성스프링(5)의 탄발지지력에 의해 하측으로 가압될 수 있으며, 상기 유입구(2a)의 밀폐된 상태가 유지될 수 있다.At this time, the stem 4 can be inserted into a stem insertion hole 2d formed in the body part 2, and the upper part of the stem 4 is downwardly moved by the elastic spring 5 provided on the upper part of the body part 2 . Accordingly, the disk 3 can be pressed downward by the elastic force of the elastic spring 5 acting on the stem 4, and the sealed state of the inlet 2a can be maintained.

여기서, 상기 유입구(2a)를 통해 작용하는 유체의 압력이 기설정된 압력을 초과하여 상기 탄성스프링(5)의 탄발지지력을 극복하게 되면, 상기 디스크(3)가 상측으로 이동되어 상기 개폐유로(2c)가 개방될 수 있다. 또한, 상기 개폐유로(2c)로 유입된 유체가 상기 배출구(2b)를 통해 배출되며, 상기 배출구(2b)를 통해 배출된 유체는 재사용되도록 순환라인을 통해 이송될 수 있다.When the pressure of the fluid acting through the inlet 2a exceeds a predetermined pressure and overcomes the elastic force of the elastic spring 5, the disc 3 is moved upward to move the opening / closing passage 2c Can be opened. In addition, the fluid introduced into the opening / closing passage 2c is discharged through the discharge port 2b, and the fluid discharged through the discharge port 2b can be transferred through the circulation line to be reused.

그러나, 종래의 릴리프 밸브(1)는 상기 디스크(3)가 상하이동됨에 따라 상기 스템(4) 및 바디부(2)가 상호 접촉되는 부분에 마찰로 인한 마모가 발생하여 내구성이 저하되는 문제점이 있었다. 또한, 상기 스템(4)은 상기 개폐유로(2c)의 개방시 내부로 유입된 유체에 접촉되어 변형 내지 부식이 발생하는 문제점이 있었다.However, in the conventional relief valve 1, as the disk 3 is moved up and down, abrasion due to friction occurs at a portion where the stem 4 and the body portion 2 are in contact with each other, there was. In addition, the stem (4) is in contact with the fluid introduced into the interior of the opening / closing flow path (2c) when the opening (2c) is opened.

이에 따라, 마찰로 인한 마모를 최소화하고 유체와의 직접적인 접촉을 방지하고자 상기 스템(4)의 외면에 윤활제를 도포하였으나, 오랜 시간 동안 반복적인 사용시 상기와 같은 문제점들을 근본적으로 해결하기 어려운 문제점이 있었다.Accordingly, lubricant is applied to the outer surface of the stem 4 in order to minimize wear due to friction and to prevent direct contact with the fluid, but it is difficult to fundamentally solve the above-mentioned problems when repeatedly used for a long time .

더욱이, 종래의 릴리프 밸브(1)가 일정 수준의 청정도를 요구하는 반도체 제조 설비의 클린룸에 사용되는 경우, 상기 스템(4) 및 바디부(2)의 마모시 발생하는 파티클(particle)과 상기 윤활제가 상기 개폐유로(2c)에 유입된 유체에 혼입되어 배출됨에 따라 상기 클린룸 내부의 공기오염이 심화되었다. 이러한 공기 중의 파티클이 반도체 웨이퍼 상부에 안착되면 반도체의 생산수율을 저해하는 심각한 문제점이 있었다.Particularly when the conventional relief valve 1 is used in a clean room of a semiconductor manufacturing facility requiring a certain degree of cleanliness, particles generated during abrasion of the stem 4 and the body part 2, As the lubricant is mixed with the fluid introduced into the opening / closing passage 2c and discharged, the air contamination inside the clean room is intensified. If the particles in the air are seated on the semiconductor wafer, there is a serious problem that the production yield of the semiconductor is deteriorated.

한국 등록특허 제10-0629623호Korean Patent No. 10-0629623

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 밸브 내부에 유입되는 유체에 구성부품 간의 마찰로 발생하는 파티클의 혼입을 방지하여 생산제품의 불량률이 감소됨에 따라 생산성이 향상된 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브를 제공하는 것을 해결과제로 한다. In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a relief valve for a semiconductor manufacturing process which is improved in productivity due to prevention of mixing of particles generated due to friction between components, And the like.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 유체가 유입되는 유입구 및 유체가 배출되는 배출구가 형성되며, 중앙부에 형성되는 가이드공의 하측에 개폐상태에 따라 유체가 선택적으로 배출되는 개폐유로가 내부에 형성된 밸브몸체부; 상기 유입구를 밀폐하는 실링부가 결합되는 실링장착부와, 상기 실링장착부로부터 상향 연장되어 상기 가이드공의 내주를 따라 선택적으로 승강되도록 배치된 실링지지부를 포함하며, 상기 유입구를 통해 작용하는 유체의 압력이 기설정된 압력을 초과하면 상기 개폐유로가 개방되도록 상향 이동되는 승강밀폐부; 상기 승강밀폐부의 상측에 배치되며 상기 유입구가 상기 기설정된 압력에 대응하여 밀폐되도록 상기 실링지지부를 하측으로 탄발 지지하는 탄성지지부; 및 상기 실링지지부의 외측을 감싸도록 구비되되 하단부가 상기 실링장착부의 테두리와 연결되고 상단부가 상기 가이드공의 하부 개구측 테두리와 연결되어 상기 개폐유로의 개방시 유입된 유체에 상기 승강밀폐부의 승강 이동시 발생되는 파티클의 혼입을 방지하는 벨로우즈부를 포함하며, 상기 밸브몸체부는 내부에 상기 개폐유로가 형성되며 상단부가 개구되며 내주 테두리에 걸림단턱이 형성된 베이스몸체부와, 상기 베이스몸체부의 개구측에 삽입되어 착탈식으로 결합되며 내부에 상기 탄성지지부가 배치되도록 형성된 스프링장착홈과 연통되는 돌기삽입홀이 하단부에 관통 형성되는 상부몸체부와, 상기 실링장착부를 하측으로 지지하도록 상기 상부몸체부의 상단부에 결합되는 고정몸체부와, 반경방향 외측으로 돌출되되 상기 걸림단턱 및 상기 상부몸체부의 하단부 사이에 클램핑 고정되는 걸림장착부가 구비되며, 내주에 상기 가이드공이 형성되되 하단부에 상기 벨로우즈부의 상단부가 용접 결합되는 가이드몸체부를 포함하며, 상기 탄성지지부는 상하방향으로 탄성복원력을 제공하도록 배치되는 스프링부와, 상기 스프링부의 하측에 구비되는 승강지지부를 포함하며, 상기 실링지지부에는 끝단부가 라운드진 외면 프로파일로 형성되되 상기 돌기삽입홀을 관통하여 상기 스프링장착홈의 내측으로 배치되는 라운드돌기부가 상향 돌출되고, 상기 승강지지부의 하단부에는 상기 돌기삽입홀과 대향 배치되되 상기 라운드돌기부의 끝단부가 형합 밀착되는 라운드형합홈이 형성되며, 상기 실링지지부의 외주에는 상측으로 갈수록 중앙부를 향해 상향 경사진 스토퍼단턱이 형성되며, 상기 밸브몸체부에는 상기 스토퍼단턱이 걸림되도록 상측에 대향 배치되며 상기 돌기삽입홀의 하부 개구측 테두리부에 스토퍼걸림부가 형성되되, 상기 스토퍼단턱 및 상기 스토퍼걸림부는 상기 개폐유로의 폐쇄시 0.5~1.5mm 간격으로 상호 이격되며, 상기 실링부는 폴리이미드 수지 재질로 형성되고, 상기 실링장착부의 하단부에는 상기 실링부의 외면 프로파일에 대응되는 내면 프로파일을 갖는 장착홈이 함몰 형성되며, 상기 장착홈의 개구측 테두리에는 내주를 따라 반경방향 내측으로 걸림부가 돌출됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an inflow port through which a fluid flows and an outlet through which a fluid is discharged, and an open / close flow path through which fluid is selectively discharged under a guide hole formed at a central portion, A valve body portion formed; And a seal supporting portion extending upward from the sealing mounting portion and arranged to be selectively lifted and lowered along the inner periphery of the guide hole, wherein the pressure of the fluid acting through the inlet is larger than the pressure of the fluid flowing through the inlet, A lifting / closing part which is moved upward to open the opening / closing passage when the set pressure is exceeded; An elastic supporter disposed above the lifting and hermetically sealing part and elastically supporting the sealing support part downward so that the inflow port is closed corresponding to the predetermined pressure; And an upper end portion connected to a lower opening side edge of the guide hole to guide the fluid introduced when the opening / closing flow path is opened to the upper portion of the ceiling mounting portion when the lifting / And a bellows part for preventing the particles from being mixed, wherein the valve body part has a base body part formed with the opening / closing channel therein and having an upper end opened and an engagement step at an inner circumferential edge, An upper body portion which is detachably coupled and has a projection insertion hole communicating with a spring mounting groove formed therein so as to dispose the elastic supporting portion therein, the lower body portion being fixed to the upper end portion of the upper body portion to support the sealing mounting portion downward; A body portion, and a radially outwardly protruding engagement step, And a guide body part having a guide hole formed on an inner circumference thereof and welded to an upper end of the bellows part at a lower end thereof, wherein the elastic support part provides an elastic restoring force in a vertical direction Wherein the spring supporting portion is provided at a lower side of the spring portion, and the sealing support portion has a rounded outer profile formed at an end thereof, A protruding portion protruding upward and a lower end of the elevating support portion being formed with a round recess for opposing the protrusion insertion hole and having an end portion of the protrusion protruding and coming into close contact therewith, A photo stopper step is formed, Wherein the stopper stopper is provided at a lower opening side edge portion of the projection insertion hole, and the stopper stopper and the stopper stopper are spaced from each other by 0.5 to 1.5 mm intervals Wherein the sealing part is formed of a polyimide resin material and a mounting groove having an inner profile corresponding to an outer profile of the sealing part is formed at a lower end of the sealing mounting part, The relief valve for a semiconductor manufacturing process is characterized in that the latching portion is protruded radially inward along the latching portion.

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

상기의 해결 수단을 통하여, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브는 다음과 같은 효과를 제공한다.Through the above solution, the relief valve for the semiconductor manufacturing process according to the present invention provides the following effects.

첫째, 상기 벨로우즈부는 밸브몸체부에 형성된 가이드공의 내주를 따라 선택적으로 승강되도록 배치된 실링지지부를 감싸도록 구비됨에 따라 유체와의 접촉으로 인한 실링지지부의 부식을 방지하면서도 구성부품 간의 마찰로 발생하는 파티클이 유체에 혼입됨을 방지하므로 제품의 내구성 및 생산성이 더욱 향상될 수 있다.First, the bellows part is provided to surround the sealing support part arranged to be selectively lifted and lowered along the inner circumference of the guide hole formed in the valve body part, thereby preventing corrosion of the sealing support part due to contact with fluid, The durability and the productivity of the product can be further improved because the particles are prevented from being mixed into the fluid.

둘째, 일정 수준의 청정도를 요구하는 클린룸과 같은 생산설비에 상기 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브가 적용되는 경우 상기 벨로우즈부에 의해 구성부품 간의 마찰로 발생하는 파티클이 유체에 혼입됨이 방지되므로 생산설비의 공기오염으로 인한 해당 생산제품의 불량률이 감소될 수 있다.Secondly, when the relief valve for the semiconductor manufacturing process is applied to a production facility such as a clean room requiring a certain level of cleanliness, the bellows prevents the particles generated due to the friction between the components from being mixed into the fluid, The defective rate of the corresponding product due to the air pollution of the product can be reduced.

셋째, 상기 실링지지부에 상향 돌출된 라운드돌기부가 편심되어 비틀어지더라도 승강지지부의 중앙에 형성된 라운드형합홈에 상호 형합 밀착되는 라운드진 프로파일로 형성됨에 따라 외면에 전체적으로 균일하게 탄성지지부의 탄성복원력이 전달되므로 제품의 구동신뢰성이 더욱 향상될 수 있다.Third, even if the round projecting portion protruding upward from the sealing support portion is eccentrically twisted, it is formed into a round profile that is in close contact with the round recesses formed at the center of the lifting support portion. Therefore, the elastic restoring force of the elastic support portion is uniformly distributed The driving reliability of the product can be further improved.

넷째, 상기 승강밀폐부는 유입구측 유체에 의해 고압력이 작용하더라도 외주에 형성된 스토퍼단턱이 상측에 기설정된 간격 이내로 대향 배치된 스토퍼걸림부에 걸림되어 상향 이동거리가 제한됨에 따라 벨로우즈부의 과도한 수축에 의한 변형 내지 각 용접부의 파손 등이 방지되므로 제품의 내구성이 더욱 향상될 수 있다.Fourthly, even if a high pressure is applied by the fluid at the inlet port, the upward and downward closing seals are caught by the stopper latches disposed opposite to each other within a predetermined distance on the upper side so that the upward movement distance is limited, The damage of each welding part is prevented, so that the durability of the product can be further improved.

도 1은 종래의 릴리프 밸브를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브를 나타낸 단면도.
도 3은 도 2의 A부분을 나타낸 확대도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브가 작동되는 상태를 나타낸 단면도.
도 5는 도 4의 B부분을 나타낸 확대도.1 is a sectional view showing a conventional relief valve;
2 is a cross-sectional view of a relief valve for a semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged view showing part A of Fig.
4 is a cross-sectional view illustrating a state in which a relief valve for a semiconductor manufacturing process is operated according to an embodiment of the present invention;
5 is an enlarged view showing part B of Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브를 상세히 설명한다.Hereinafter, a relief valve for a semiconductor manufacturing process according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브를 나타낸 단면도이고, 도 3은 도 2의 A부분을 나타낸 확대도이며, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브가 작동되는 상태를 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4의 B부분을 나타낸 확대도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a relief valve for a semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is an enlarged view showing part A of FIG. Fig. 5 is an enlarged view showing a portion B of Fig. 4; Fig.

도 2 내지 도 5에서 보는 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브(100)는 밸브몸체부(10), 승강밀폐부(20), 탄성지지부(30) 그리고 벨로우즈부(40)를 포함하여 구비된다.2 through 5, the relief valve 100 for semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention includes a valve body 10, an elevating and lowering sealing portion 20, an elastic supporting portion 30, (40).

여기서, 상기 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브(100)는 반도체 제조 설비의 클린룸 등과 같은 생산설비에 사용되는 유체를 이송하는 관로 등에 설치될 수 있다. 이때, 관로를 통해 유입되는 유체의 압력이 기설정된 압력을 초과하면 유체의 일부 또는 전량을 외부로 배출시켜 관로 내의 압력을 기설정된 압력 이하로 유지할 수 있다.Here, the relief valve 100 for the semiconductor manufacturing process may be installed in a pipe for transferring a fluid used in a production facility such as a clean room of a semiconductor manufacturing facility. At this time, if the pressure of the fluid flowing through the pipeline exceeds a predetermined pressure, part or all of the fluid may be discharged to the outside to maintain the pressure in the pipeline below a predetermined pressure.

상세히, 상기 밸브몸체부(10)는 유체가 유입되는 유입구(11a) 및 유체가 배출되는 배출구(11b)가 형성되며, 중앙부에 형성되는 가이드공(15)의 하측에 개폐상태에 따라 유체가 선택적으로 배출되는 개폐유로(12)가 내부에 형성된다.In detail, the valve body 10 has an inlet 11a through which a fluid flows and a discharge port 11b through which a fluid is discharged, and a fluid is selectively supplied to the lower side of the guide hole 15 formed at the center, Closing passage 12 is formed therein.

여기서, 상기 밸브몸체부(10)는 고경도, 내구성 및 내식성을 갖도록 스테인리스 금속 재질로 형성되되, 베이스몸체부(10a), 상부몸체부(10b), 고정몸체부(10c) 및 가이드몸체부(10d)를 포함함이 바람직하다. The valve body 10 is formed of a stainless steel metal material having high hardness, durability and corrosion resistance. The valve body 10 includes a base body 10a, an upper body 10b, a fixed body 10c, 10d).

상세히, 상기 베이스몸체부(10a)는 내부에 상기 개폐유로(12)가 형성되며 상단부가 개구됨이 바람직하다. 이때, 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측은 상기 개폐유로(12)와 연통되도록 형성되며, 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측을 통해 각 구성부품이 삽입되어 상기 개폐유로(12)의 상측에 배치될 수 있다. 또한, 상기 베이스몸체부(10a)의 하단부에 상기 유입구(11a)가 구비되며 측부에 상기 배출구(11b)가 형성될 수 있다.In more detail, the base body 10a may have the opening / closing passage 12 formed therein and an upper end thereof may be opened. At this time, the upper end opening side of the base body portion 10a is formed to communicate with the opening / closing passage 12, and each component is inserted through the upper end opening side of the base body portion 10a, As shown in FIG. In addition, the inlet 11a may be formed at the lower end of the base body 10a, and the outlet 11b may be formed at the side of the base body 10a.

그리고, 상기 베이스몸체부(10a)의 내주 테두리에는 걸림단턱(16a)이 형성됨이 바람직하다. 이때, 상기 걸림단턱(16a)은 상기 개폐유로(12)의 내주를 따라 반경방향 내측을 향해 단차지게 돌출되며 상기 가이드몸체부(10d)가 걸림된다. 여기서, 상기 걸림단턱(16a)은 상기 배출구(11b)의 상측에 배치되어 상기 개폐유로(12)에 유입된 유체가 상기 가이드몸체부(10d)에 의한 간섭없이 안정적으로 상기 배출구(11b)를 통해 배출된다.In addition, it is preferable that a hooking step 16a is formed on the inner circumference of the base body 10a. At this time, the latching step 16a is protruded stepwise toward the radially inward direction along the inner periphery of the opening / closing passage 12, and the guide body 10d is engaged. The engagement step 16a is disposed on the upper side of the discharge port 11b so that the fluid introduced into the opening and closing flow path 12 stably flows through the discharge port 11b without interference by the guide body 10d. .

또한, 상기 상부몸체부(10b)는 상기 베이스몸체부(10a)의 개구측에 삽입되어 착탈식으로 결합되며 내부에 상기 탄성지지부(30)가 배치됨이 바람직하다. The upper body part 10b is inserted into the opening of the base body part 10a and is detachably coupled to the base body part 10a, and the elastic supporting part 30 is disposed inside the upper body part 10b.

상세히, 상기 상부몸체부(10b)는 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구에 대응되는 직경을 갖는 원통형으로 구비된다. 따라서, 상기 상부몸체부(10b)는 하단부가 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구의 내면에 형합되도록 삽입될 수 있다.In detail, the upper body portion 10b is provided in a cylindrical shape having a diameter corresponding to the upper end opening of the base body portion 10a. Therefore, the upper body portion 10b may be inserted such that the lower end portion thereof is formed to fit on the inner surface of the upper end opening of the base body portion 10a.

여기서, 상기 상부몸체부(10b)의 하단부에는 외곽 테두리부를 따라 후술되는 상기 걸림장착부(16b)를 하측으로 가압 지지하도록 하면부가 평탄하게 형성된 가압지지부(19)가 구비된다. The lower end of the upper body portion 10b is provided with a pressing support portion 19 formed in a flat shape so that the engaging portion 16b, which will be described later, is pressed downward along the outer frame portion.

이때, 상기 상부몸체부(10b)에는 외주를 따라 반경방향 외측으로 돌출된 단턱부가 구비된다. 이를 통해, 상기 상부몸체부(10b)의 하단부가 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측을 통해 삽입되면 상기 단턱부가 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측 테두리에 걸림되어 삽입되는 길이가 제한될 수 있다.At this time, the upper body portion 10b is provided with a step portion protruding radially outward along the outer periphery. When the lower end portion of the upper body portion 10b is inserted through the upper end opening side of the base body portion 10a, the length of the stepped portion inserted into the upper end opening side edge of the base body portion 10a Lt; / RTI >

여기서, 상기 상부몸체부(10b)는 상기 개폐유로(12)에 구성부품이 삽입된 후 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측을 통해 하단부가 삽입될 수 있다. 이때, 상기 단턱부가 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측 테두리에 걸림되도록 삽입되면 상기 단턱부와 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 외주를 감싸도록 구비된 보넷너트(13)가 착탈식으로 결합됨에 따라 상기 상부몸체부(10b)가 상기 베이스몸체부(10a)의 상측에 고정될 수 있다.Here, the lower end of the upper body portion 10b may be inserted through the opening of the upper end of the base body portion 10a after the component parts are inserted into the opening / closing passage 12. At this time, when the stepped portion is inserted so as to be caught by the upper end opening side edge of the base body portion 10a, the bonnet nut 13 that is configured to surround the step portion and the outer circumference of the upper end portion of the base body portion 10a is detachably coupled The upper body portion 10b can be fixed to the upper side of the base body portion 10a.

그리고, 상기 상부몸체부(10b)는 상부가 개구된 스프링장착홈(14)이 내부에 형성되며 하단부 중앙에 상기 스프링장착홈(14)과 연통되는 돌기삽입홀(18)이 관통 형성된다.The upper body portion 10b is formed with a spring mounting groove 14 having an opened upper portion and a projection insertion hole 18 communicating with the spring mounting groove 14 is formed at the center of the lower end portion.

이때, 상기 스프링장착홈(14)에는 상기 탄성지지부(30)가 배치될 수 있으며, 후술되는 라운드돌기부(22a)가 상기 돌기삽입홀(18)을 관통하여 상기 스프링장착홈(14)의 내측으로 삽입될 수 있다. 또한, 상기 상부몸체부(10b)의 상단부 외주에는 나사산이 형성되며 상기 고정몸체부(10c)가 나사 체결될 수 있다.At this time, the elastic support portion 30 may be disposed in the spring mounting groove 14, and the round protruding portion 22a, which will be described later, passes through the protrusion insertion hole 18 and is inserted into the spring mounting groove 14 Can be inserted. In addition, a thread is formed on the outer periphery of the upper end of the upper body portion 10b, and the fixed body portion 10c can be screwed.

그리고, 상기 고정몸체부(10c)는 상기 실링장착부(21)를 하측으로 지지하도록 상기 상부몸체부(10b)의 상단부에 결합됨이 바람직하다. 상세히, 상기 고정몸체부(10c)는 하측이 개구된 상부커버홈이 내부에 형성되며, 상기 상부커버홈의 직경은 상기 상부몸체부(10b)의 직경에 대응되도록 설정된다.The fixed body portion 10c may be coupled to the upper end of the upper body portion 10b to support the seal mounting portion 21 downward. In detail, the fixed body portion 10c is formed with an upper cover groove having an opened lower side, and a diameter of the upper cover groove is set to correspond to a diameter of the upper body portion 10b.

이때, 상기 상부커버홈의 내주에는 상기 상부몸체부(10b)의 상단부 외주에 형성된 나사산에 대응되는 나사홈부가 형성되며 상기 고정몸체부(10c)가 상기 상부몸체부(10b)의 상단부에 나사 결합될 수 있다.At this time, a screw groove corresponding to a screw thread formed on the outer periphery of the upper end of the upper body portion 10b is formed in the inner circumference of the upper cover groove, and the fixed body portion 10c is screwed to the upper end of the upper body portion 10b .

여기서, 상기 고정몸체부(10c)가 상기 상부몸체부(10b)의 상단부에 결합되면 상기 상부커버홈의 내측으로 상기 탄성지지부(30)의 상단부가 삽입된다.When the fixed body portion 10c is engaged with the upper end portion of the upper body portion 10b, the upper end of the elastic support portion 30 is inserted into the upper cover groove.

이때, 상기 고정몸체부(10c)가 상기 상부몸체부(10b)의 상단부에 나사 결합됨에 따라 상기 상부커버홈 및 상기 스프링장착홈(14)의 상하방향으로 상호 대향되는 내면 사이, 즉 상기 상부커버홈의 바닥면 및 상기 스프링장착홈(14)의 바닥면 사이 간격이 감소된다. 이를 통해, 후술되는 스프링부(31)가 탄성 변형에 의해 수축될 수 있으며 상기 승강밀폐부(20)를 하측으로 탄발 지지할 수 있다.At this time, as the fixed body portion 10c is screwed to the upper end portion of the upper body portion 10b, a gap between the upper cover groove and the inner surface opposed to each other in the vertical direction of the spring mounting groove 14, The gap between the bottom surface of the groove and the bottom surface of the spring mounting groove 14 is reduced. As a result, the spring portion 31 described below can be retracted by elastic deformation and the lifting / closure portion 20 can be elastically supported downward.

한편, 상기 가이드몸체부(10d)는 상기 개폐유로(12)의 내부에 배치된다. 여기서, 상기 가이드몸체부(10d)의 중앙부에는 상기 가이드공(15)이 상하방향으로 수직하게 관통 형성됨이 바람직하다.On the other hand, the guide body 10d is disposed inside the opening / closing passage 12. Here, it is preferable that the guide hole 15 is formed vertically in the vertical direction at the center of the guide body 10d.

이때, 상기 가이드공(15)에는 후술되는 실링지지부(22)가 관통하여 삽입된다. 여기서, 상기 가이드공(15)의 직경은 상기 실링지지부(22)의 직경에 대응되도록 설정될 수 있으며 상기 실링지지부(22)의 외주에 형합될 수 있다.At this time, the seal supporting portion 22 to be described later is inserted into the guide hole 15. Here, the diameter of the guide hole 15 may be set to correspond to the diameter of the sealing support portion 22, and may be formed around the outer periphery of the sealing support portion 22.

여기서, 상기 가이드몸체부(10d)의 상단부에는 상기 상부몸체부(10b)의 하단부가 밀착될 수 있으며, 상기 가이드공(15) 및 상기 돌기삽입홀(18)이 상호 대응되는 중심축을 갖도록 상하 방향으로 대향 배치된다. 이를 통해, 상기 실링지지부(22)가 상기 가이드공(15)에 관통된 후 후술되는 라운드돌기부(22a)가 상기 돌기삽입홀(18)에 안정적으로 삽입될 수 있다.The lower end of the upper body portion 10b may be in close contact with the upper end of the guide body portion 10d so that the guide hole 15 and the projection insertion hole 18 are vertically aligned Respectively. After the seal supporting portion 22 is inserted into the guide hole 15, the round protruding portion 22a, which will be described later, can be stably inserted into the protrusion insertion hole 18.

그리고, 상기 가이드몸체부(10d)에는 외주를 따라 반경방향 외측으로 돌출되되 상기 걸림단턱(16a) 및 상기 상부몸체부(10b)의 하단부 사이에 클램핑 고정되는 걸림장착부(16b)가 구비됨이 바람직하다. 여기서, 상기 걸림장착부(16b)는 상단부 및 하단부가 각각 평탄하게 형성될 수 있으며, 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측을 통해 삽입시 하단부가 상기 걸림단턱(16a)에 걸림될 수 있다. 이때, 상기 걸림장착부(16b)의 하단부가 상기 걸림단턱(16a)에 걸림됨에 따라 상기 가이드공(15)은 상기 개폐유로(12)의 상측에 배치될 수 있다.The guide body portion 10d is preferably provided with a latch mounting portion 16b which is protruded radially outward along the outer periphery and is clamped and fixed between the latching step 16a and the lower end of the upper body portion 10b Do. The upper and lower end portions of the latch mounting portion 16b may be flat and the lower end of the latch mounting portion 16b may be engaged with the latching step 16a through the upper end opening of the base body portion 10a. At this time, the guide hole 15 may be disposed above the opening / closing passage 12 as the lower end of the latch mounting portion 16b is caught by the latching step 16a.

이때, 상기 걸림장착부(16b)의 하단부 및 상기 걸림단턱(16a) 사이에는 밀폐링(16c)이 더 구비될 수도 있다.At this time, a sealing ring 16c may be further provided between the lower end of the latch mounting portion 16b and the latching step 16a.

상세히, 상기 밀폐링(16c)은 링 형상으로 구비되며 실질적으로 상기 걸림단턱(16a)의 단차면에 대응되는 폭을 갖도록 구비될 수 있다. 또한, 상기 밀폐링(16c)은 상기 걸림장착부(16b)의 하단부 및 상기 걸림단턱(16a) 사이에 개재될 수 있다. 여기서, 상기 밀폐링(16c)은 상면부 및 하면부가 평탄하게 형성되어 상기 걸림장착부(16b) 및 상기 걸림단턱(16a)에 상호 밀착될 수 있다.In detail, the sealing ring 16c is provided in a ring shape and may have a width substantially corresponding to the stepped surface of the engaging step 16a. Also, the sealing ring 16c may be interposed between the lower end of the latch mounting portion 16b and the latching step 16a. The upper and lower surfaces of the sealing ring 16c may be formed to be flat and closely contact with the engaging portion 16b and the engaging step 16a.

이를 통해, 상기 개폐유로(12)로 유입된 유체가 상기 밀폐링(16c)에 의해 상기 개폐유로(12)의 내주와 상기 상부몸체부(10b)의 외주 사이로의 유출이 방지되므로 안전성 및 내구성이 더욱 향상될 수 있다.This allows the fluid flowing into the opening and closing passage 12 to be prevented from flowing out between the inner periphery of the opening and closing passage 12 and the outer periphery of the upper body portion 10b by the sealing ring 16c, Can be further improved.

여기서, 상기 밀폐링(16c)은 내부식성을 가지는 니켈 합금 재질로 형성됨이 바람직하며, 상기 개폐유로(12)의 내부에 유입된 유체(f)와의 접촉으로 인한 부식이 미연에 방지될 수 있다.Here, the sealing ring 16c is preferably formed of a nickel alloy having corrosion resistance. Corrosion due to contact with the fluid f introduced into the opening / closing passage 12 can be prevented in advance.

한편, 상기 단턱부의 하단부 및 상기 가압지지부(19)의 하면부 사이 간격은 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 및 상기 걸림단턱(16a) 사이값에서 상기 밀폐링(16c)의 상하방향 두께값을 뺀 길이 이상으로 설정될 수 있다.The distance between the lower end of the step portion and the lower surface of the pressing support portion 19 is a value between the upper end of the base body portion 10a and the engaging step 16a in the vertical direction of the sealing ring 16c And can be set to a length equal to or greater than the subtracted length.

따라서, 상기 가이드몸체부(10d)가 삽입된 이후 상기 상부몸체부(10b)가 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측을 통해 삽입되고 상기 보넷너트(13)에 의해 결합되면, 상기 가압지지부(19)의 하면부가 상기 걸림단턱(16a)의 상단부에 밀착되어 상기 걸림장착부(16b)를 가압 지지할 수 있다.Therefore, when the upper body portion 10b is inserted through the upper end opening side of the base body portion 10a after the guide body portion 10d is inserted and is coupled by the bonnet nut 13, The lower surface of the engaging portion 19 can be brought into close contact with the upper end of the engaging step 16a to pressably support the engaging portion 16b.

이를 통해, 상기 가이드몸체부(10d)는 상기 걸림장착부(16b)가 상기 걸림단턱(16a) 및 상기 가압지지부(19) 사이에 클램핑 고정되어 요동이 방지된 상태로 상기 실링지지부(22)를 견고하게 지지하여 상기 승강밀폐부(20)가 상하방향으로 수직하게 승강되도록 가이드하여 제품의 구동신뢰성이 더욱 향상될 수 있다.The guide body portion 10d is fixed to the engagement portion 16b between the engagement step 16a and the pressing support portion 19 so that the seal support portion 22 is firmly fixed So that the driving reliability of the product can be further improved by guiding the lifting / closure part 20 vertically up and down.

한편, 상기 승강밀폐부(20)는 실링장착부(21) 및 상기 실링지지부(22)를 포함하며, 스테인리스 금속 재질로 형성됨이 바람직하다. Meanwhile, the lifting / hermetically sealing part 20 includes a sealing mounting part 21 and a sealing supporting part 22, and is preferably formed of stainless metal.

상세히, 상기 실링장착부(21)는 상기 개폐유로(12)의 직경 미만의 직경을 갖는 원통형으로 구비될 수 있다. 이때, 상기 실링장착부(21)의 하단부에는 상기 유입구(11a)를 밀폐하는 실링부(50)가 결합된다. 여기서, 상기 실링장착부(21)의 하단부에는 상기 실링부(50)의 외면 프로파일에 대응되는 내면 프로파일을 갖는 장착홈(21a)이 함몰 형성됨이 바람직하며, 상기 장착홈(21a)에는 상기 실링부(50)가 형합 삽입될 수 있다.In detail, the seal mounting portion 21 may be provided in a cylindrical shape having a diameter smaller than the diameter of the opening / closing flow path 12. At this time, a sealing portion 50 for sealing the inlet 11a is coupled to the lower end of the sealing mounting portion 21. As shown in FIG. It is preferable that a mounting groove 21a having an inner profile corresponding to the outer profile of the sealing portion 50 is formed in the lower end of the sealing mounting portion 21, 50) can be inserted in a collapsed manner.

그리고, 상기 실링장착부(21)는 상기 실링부(50)의 외곽 테두리를 감싸도록 구비된다. 이때, 상기 장착홈(21a)의 개구측 테두리에는 내주를 따라 반경방향 내측으로 걸림부(21b)가 돌출됨이 바람직하다. 여기서, 상기 걸림부(21b)는 상단부가 반경방향 내측으로 갈수록 하향 경사지게 형성될 수 있다.The sealing portion 21 is provided to surround the outer edge of the sealing portion 50. At this time, it is preferable that the engaging portion 21b protrudes radially inwardly along the inner periphery at the opening side edge of the mounting groove 21a. Here, the upper end portion of the latching portion 21b may be formed to be inclined downward toward the radially inward direction.

한편, 상기 실링부(50)는 상기 유입구(11a)의 직경 이상의 직경을 갖도록 구비되며 하단부가 평탄하게 형성될 수 있다. 이때, 상기 실링부(50)의 하단부가 상기 유입구(11a)의 개구측 테두리에 밀착되면 상기 유입구(11a)가 밀폐될 수 있다. Meanwhile, the sealing portion 50 may be formed to have a diameter equal to or larger than the diameter of the inlet 11a, and the lower end may be formed flat. At this time, if the lower end of the sealing part 50 is in close contact with the opening edge of the inlet 11a, the inlet 11a may be sealed.

또한, 상기 실링부(50)는 상기 장착홈(21a)의 함몰 깊이를 초과하는 높이를 갖도록 구비될 수 있으며 상기 장착홈(21a)에 형합 삽입되는 상기 실링장착부(21)의 하단부로부터 하측을 향해 돌출될 수 있다.The sealing part 50 may be provided to have a height exceeding the depth of the recess of the mounting recess 21a and may be formed to extend downward from the lower end of the sealing mounting part 21 inserted into the mounting recess 21a Can be protruded.

여기서, 상기 실링부(50)는 폴리이미드 수지 재질로 형성됨이 바람직하다. 이러한 폴리이미드 수지는 -269℃ ~ 400℃의 초저온 및 고온에서 성능변화가 없는 초내열 및 초내한성 소재이면서도 내약품성, 고인장성 및 내마모성이 매우 우수하다. 이를 통해, 상기 실링부(50)는 초저온의 유체가 접촉되더라도 변형이 방지됨에 따라 초저온의 유체를 이송하는 관로에도 사용될 수 있다.Here, the sealing portion 50 may be formed of a polyimide resin. Such a polyimide resin is excellent in chemical resistance, high toughness and abrasion resistance, while being a super heat resistant and ultra low temperature resistant material which does not change its performance at an extremely low temperature of -269 ° C to 400 ° C and a high temperature. As a result, the sealing portion 50 can be used in a conduit for transferring a cryogenic fluid as the cryogenic fluid is prevented from being deformed even if the fluid is contacted.

이때, 상기 실링부(50)에는 외주를 따라 상기 걸림부(21b)의 상단부에 대응되는 경사각을 갖도록 반경방향 내측으로 갈수록 하향 경사진 고정경사부(51)가 형성된다. 여기서, 상기 고정경사부(51) 및 상기 실링장착부(21)의 상단부 사이 수직간격은 상기 장착홈(21a)의 바닥면 및 상기 걸림부(21b)의 상단부 사이 수직간격에 대응되도록 설정될 수 있다. 따라서, 상기 실링장착부(21)의 상단부가 상기 장착홈(21a)의 바닥면에 밀착된 상태로 상기 걸림부(21b)의 상단부에 상기 고정경사부(51)가 접촉되어 걸림될 수 있다.At this time, the sealing portion 50 is formed with a fixed inclined portion 51 which is inclined downwardly inward in the radial direction so as to have an inclination angle corresponding to the upper end of the engaging portion 21b along the outer periphery. The vertical gap between the fixed inclined portion 51 and the upper end of the seal mounting portion 21 may be set to correspond to a vertical gap between the bottom surface of the mounting recess 21a and the upper end of the engaging portion 21b . Therefore, the fixing slope part 51 can be engaged with the upper end of the locking part 21b while the upper end of the sealing mounting part 21 is in close contact with the bottom surface of the mounting groove 21a.

이때, 상기 실링부(50)가 상기 장착홈(21a)에 삽입된 후 상기 실링장착부(21)의 하단부 외곽 테두리가 반경반향 내측으로 외력에 의해 상기 걸림부(21b)의 상단부에 상기 고정경사부(51)가 접촉되도록 가압 변형됨으로써 상기 실링부(50)의 장착이 완료될 수 있다. At this time, after the sealing portion 50 is inserted into the mounting groove 21a, the outer edge of the lower end portion of the sealing mounting portion 21 is radially inwardly radially inwardly fixed to the upper end of the locking portion 21b by an external force, The sealing portion 50 is pressed and deformed to be in contact with the sealing portion 50 so that the mounting of the sealing portion 50 can be completed.

이를 통해, 상기 실링부(50)는 상기 승강밀폐부(20)의 승강 이동시 상기 유입구(11a)를 통해 유입되는 유체의 압력 내지 하강 이동시 상기 유입구(11a)의 개구측 테두리에 접촉시 충격이 발생하더라도 상기 걸림부(21b)에 의해 임의 분리가 방지되므로 내구성이 더욱 향상될 수 있다. 더욱이, 상기 실링부(50)의 하단부가 상기 실링장착부(21)의 하단부로부터 하향 돌출되어 상기 유입구(11a)의 개구측 테두리에 면접촉됨에 따라 하측을 향해 상기 스프링부(31)의 탄발지지력을 균일하게 제공되므로 실링 성능이 향상될 수 있다.Accordingly, the sealing portion 50 may generate an impact upon contact with the opening edge of the inlet port 11a when the fluid flowing through the inlet port 11a moves up or down when the lifting / The durability can be further improved because arbitrary separation is prevented by the latching portion 21b. Further, the lower end of the sealing portion 50 protrudes downward from the lower end of the seal mounting portion 21 and is in surface contact with the opening side edge of the inlet 11a, so that the elastic support force of the spring portion 31 toward the lower side The sealing performance can be improved.

한편, 상기 실링지지부(22)는 상기 실링장착부(21)로부터 상향 연장되어 상기 가이드공(15)을 내주를 따라 선택적으로 승강되도록 배치된다.Meanwhile, the sealing support portion 22 is disposed so as to extend upwardly from the sealing mounting portion 21 and to selectively raise and lower the guide hole 15 along the inner periphery thereof.

상세히, 상기 실링지지부(22)는 원형의 단면 프로파일을 갖는 원통형으로 구비되며 상기 실링장착부(21)의 상단부 중앙으로부터 일체로 상향 연장된다. 이때, 상기 실링지지부(22)는 상단부가 상기 가이드공(15)의 상단 개구측으로부터 상향 돌출되도록 관통 삽입될 수 있다.Specifically, the sealing support portion 22 is provided in a cylindrical shape having a circular cross-sectional profile and integrally extends upward from the center of the upper end of the sealing mounting portion 21. [ At this time, the sealing support portion 22 can be inserted through so that the upper end protrudes upward from the upper opening side of the guide hole 15. [

여기서, 상기 실링지지부(22)의 직경은 상기 실링장착부(21)의 직경 미만으로 설정되되 상기 가이드공(15)의 직경에 대응되도록 설정될 수 있다. 이를 통해, 상기 실링지지부(22)는 상기 가이드공(15)의 내주에 형합되어 외주가 전체적으로 지지됨에 따라 상하방향으로의 수직 이동이 가이드될 수 있다.Here, the diameter of the sealing support portion 22 may be set to be less than the diameter of the seal mounting portion 21, and may be set to correspond to the diameter of the guide hole 15. Accordingly, the sealing support portion 22 is formed in the inner periphery of the guide hole 15 so that the vertical movement in the vertical direction can be guided as the outer periphery is entirely supported.

또한, 상기 실링지지부(22)의 직경이 상기 실링장착부(21)의 직경 미만으로 설정됨에 따라 상기 벨로우즈부(40)의 하단부가 상기 실링장착부(21)의 상단부에 연결되고 상기 실링지지부(22)의 외측을 감싸도록 배치될 수 있다.The lower end of the bellows portion 40 is connected to the upper end of the sealing mounting portion 21 and the sealing support portion 22 is connected to the lower end of the bellows portion 40 as the diameter of the sealing support portion 22 is set smaller than the diameter of the sealing mounting portion 21. [ As shown in FIG.

한편, 상기 탄성지지부(30)는 상기 승강밀폐부(20)의 상측에 배치되며 상기 상부몸체부(10b)의 내부에 배치된다. 여기서, 상기 탄성지지부(30)는 스프링부(31), 승강지지부(32) 및 스프링지지부(33)를 포함함이 바람직하다.Meanwhile, the elastic supporting portion 30 is disposed on the upper side of the lifting and hinging portion 20 and is disposed inside the upper body portion 10b. The elastic supporting portion 30 may include a spring portion 31, a lifting and supporting portion 32, and a spring supporting portion 33.

상세히, 상기 스프링부(31)는 적어도 하나 이상의 탄성스프링을 포함하여 구비될 수 있다. 이때, 본 실시예에서는 상기 스프링부(31)가 제1탄성스프링(31a) 및 제2탄성스프링(31b)을 포함하여 구비되는 것을 예로써 도시 및 설명한다.In detail, the spring portion 31 may include at least one elastic spring. In this embodiment, the spring unit 31 includes a first elastic spring 31a and a second elastic spring 31b.

여기서, 각 탄성스프링(31a,31b)은 스테인리스 재질의 코일스프링으로 구비될 수 있으며 상하방향으로 탄성복원력을 제공하도록 배치된다. 또한, 상기 제1탄성스프링(31a)의 외경은 상기 제2탄성스프링(31b)의 외경을 초과하도록 설정되되, 상기 제2탄성스프링(31b)의 외경은 상기 제1탄성스프링(31a)의 내경 미만으로 설정됨이 바람직하다.Here, the elastic springs 31a and 31b may be formed of stainless steel coil springs and are arranged to provide an elastic restoring force in the vertical direction. The outer diameter of the first elastic spring 31a is set to exceed the outer diameter of the second elastic spring 31b while the outer diameter of the second elastic spring 31b is set to be larger than the inner diameter of the first elastic spring 31a, .

이때, 상기 제2탄성스프링(31b)의 외경이 상기 제1탄성스프링(31a)의 내경 미만으로 설정됨에 따라 상기 제2탄성스프링(31b)이 상기 제1탄성스프링(31a)의 내측으로 삽입될 수 있다. 이를 통해, 상기 스프링부(31)의 하단부가 상기 승강지지부(32)에 접촉되는 지지면적이 증가하여 상기 승강지지부(32)를 안정적으로 지지할 수 있다.At this time, as the outer diameter of the second elastic spring 31b is set to be less than the inner diameter of the first elastic spring 31a, the second elastic spring 31b is inserted into the first elastic spring 31a . Accordingly, the supporting area where the lower end portion of the spring portion 31 contacts the elevating support portion 32 is increased, so that the elevating support portion 32 can be stably supported.

또한, 상기 스프링부(31)의 상하방향 길이는 상기 스프링장착홈(14)의 바닥면 및 상기 상부몸체부(10b)의 상단부 사이 간격을 초과하는 길이로 설정될 수 있다. 이를 통해, 상기 스프링부(31)는 상기 고정몸체부(10c)의 결합시 가압되어 탄성변형에 의해 수축될 수 있다.The vertical length of the spring portion 31 may be set to a length exceeding the interval between the bottom surface of the spring mounting groove 14 and the upper end of the upper body portion 10b. Accordingly, the spring portion 31 can be compressed when the fixed body portion 10c is engaged, and can be contracted by elastic deformation.

그리고, 상기 승강지지부(32)는 상기 스프링부(31)의 하측에 구비된다. 여기서, 상기 승강지지부(32)는 상기 스프링장착홈(14)의 내주 프로파일에 대응되는 외주 프로파일로 형성되며 상기 스프링장착홈(14)에 형합 삽입된다.The lifting and supporting portion 32 is provided on the lower side of the spring portion 31. The lifting and supporting portion 32 is formed into an outer peripheral profile corresponding to the inner circumferential profile of the spring mounting groove 14 and is inserted into the spring mounting groove 14 in a mating fashion.

이때, 상기 승강지지부(32)는 별도로 구비되어 상기 스프링장착홈(14)에 먼저 삽입된 후 상기 스프링부(31)가 상측에 배치될 수 있으며, 상기 스프링부(31)의 하단부가 상기 승강지지부(32)의 상단부에 밀착될 수 있다.The spring portion 31 may be disposed on the upper side after the spring portion 31 is inserted into the spring mounting groove 14 and the lower end portion of the spring portion 31 may be positioned on the up / (32).

또한, 상기 스프링지지부(33)는 상기 스프링부(31)의 상측에 배치되되 상기 상부커버홈의 내주 프로파일에 대응되는 외주 프로파일로 형성되며 상기 상부커버홈에 형합 삽입된다.The spring support portion 33 is formed on the upper side of the spring portion 31 and has an outer circumferential profile corresponding to the inner circumferential profile of the upper cover groove, and is inserted into the upper cover groove.

그리고, 상기 스프링지지부(33)의 중앙부에는 상기 제2탄성스프링(31b)의 내주에 삽입되는 중앙정렬돌기(33a)가 하향 돌출될 수 있으며, 상기 중앙정렬돌기(33a)는 상기 제2탄성스프링(31b)의 내경에 대응되는 직경을 갖도록 형성된다.A central alignment projection 33a inserted into the inner periphery of the second resilient spring 31b may be downwardly protruded at a central portion of the spring support portion 33. The central alignment projection 33a may be formed in a substantially U- And has a diameter corresponding to the inner diameter of the inner tube 31b.

여기서, 상기 스프링지지부(33)의 하단부에는 상기 제2탄성스프링(31b)의 내주에 상기 중앙정렬돌기(33a)가 삽입된 상태로 상기 스프링부(31)의 상단부가 밀착된다. 이를 통해, 상기 스프링부(31)가 상기 중앙정렬돌기(33a) 및 상기 스프링장착홈(14)의 내면에 의해 상하방향으로 정렬된 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.The upper end of the spring portion 31 is closely attached to the lower end of the spring support portion 33 in a state where the central alignment projection 33a is inserted into the inner periphery of the second elastic spring 31b. Thus, the state that the spring portion 31 is vertically aligned by the central alignment projection 33a and the inner surface of the spring mounting groove 14 can be stably maintained.

또한, 상기 상부커버홈에 상기 스프링지지부(33) 및 상기 스프링부(31)의 상단부가 삽입된 후 상기 고정몸체부(10c)가 상기 상부몸체부(10b)에 나사 결합됨에 따라 상기 스프링부(31)가 탄성 변형되어 수축될 수 있으며, 상기 탄성지지부(30)가 상기 스프링장착홈(14)의 외측으로 임의 분리됨이 방지될 수 있다.As the fixed body portion 10c is screwed to the upper body portion 10b after the spring support portion 33 and the upper end portion of the spring portion 31 are inserted into the upper cover groove, 31 can be elastically deformed and contracted, and the elastic supporting portion 30 can be prevented from being arbitrarily separated from the outside of the spring mounting groove 14. [

한편, 상기 실링지지부(22)에는 끝단부가 라운드진 외면 프로파일로 형성된 라운드돌기부(22a)가 일체로 상향 돌출되고, 상기 승강지지부(32)의 하단부에는 상기 라운드돌기부(22a)의 끝단부가 형합 밀착되는 라운드형합홈(32a)이 형성됨이 바람직하다.The round protruding portion 22a integrally protrudes upward from the sealing support portion 22 and has a rounded outer surface profile. The round protruding portion 22a is formed at the lower end thereof with an end portion of the round protruding portion 22a It is preferable that the round type groove 32a is formed.

상세히, 상기 라운드돌기부(22a)는 상기 실링지지부(22)의 상단부로부터 일체로 상향 돌출되며 끝단부가 라운드진 외면 프로파일로 형성된다.In detail, the round projecting portion 22a is integrally protruded upward from the upper end of the sealing support portion 22 and has an outer rounded profile at its end portion.

이때, 상기 라운드돌기부(22a)의 직경은 상기 돌기삽입홀(18)의 직경 미만으로 설정된다. 따라서, 상기 승강밀폐부(20)의 승강 이동시 상기 라운드돌기부(22a) 및 상기 돌기삽입홀(18) 간의 마찰이 방지될 수 있다. 이를 통해, 상기 승강지지부(32)로부터 상기 스프링부(31)의 탄성복원력이 정확하게 전달될 뿐만 아니라 마모 내지 변형이 방지되어 구동신뢰성 및 내구성이 더욱 향상될 수 있다. At this time, the diameter of the round projecting portion 22a is set to be less than the diameter of the projection insertion hole 18. Therefore, friction between the round projecting portion 22a and the projection insertion hole 18 can be prevented when the lifting / closing part 20 is moved up and down. Accordingly, not only the elastic restoring force of the spring portion 31 is accurately transmitted from the lifting and supporting portion 32, but also wear and deformation are prevented, and driving reliability and durability can be further improved.

그리고, 상기 라운드돌기부(22a)는 상기 돌기삽입홀(18)을 관통하여 상기 스프링장착홈(14)의 내측으로 배치될 수 있다. 이를 위해, 상기 승강밀폐부(20)의 상하방향 최대 길이는 상기 상부몸체부(10b)가 상기 베이스몸체부(10a)에 결합된 상태로 상기 돌기삽입홀(18) 및 상기 유입구(11a)의 개구측 테두리 사이 수직간격을 초과하는 길이로 설정됨이 바람직하다. 따라서, 상기 승강밀폐부(20)는 상기 실링부(50)가 상기 유입구(11a)의 개구측 테두리에 밀착된 상태로 상기 라운드돌기부(22a)가 상기 돌기삽입홀(18)을 관통 배치될 수 있다.The round projecting portion 22a may be disposed inside the spring mounting groove 14 through the projection insertion hole 18. [ The maximum length of the lifting and closure part 20 in the up and down direction is determined by the distance between the protrusion insertion hole 18 and the inlet 11a in a state where the upper body part 10b is engaged with the base body part 10a. It is preferable that the length is set to a length exceeding the vertical interval between the opening side frames. Therefore, the round protrusion 22a can be inserted through the protrusion insertion hole 18 in a state where the sealing portion 50 is in close contact with the opening side edge of the inlet port 11a have.

또한, 상기 라운드형합홈(32a)은 상기 승강지지부(32)의 하단부 중앙부에 형성되며, 상기 승강지지부(32)가 상기 스프링장착홈(14)에 삽입 배치되면 상기 라운드형합홈(32a)이 상기 돌기삽입홀(18)과 대향 배치된다. The round concave portion 32a is formed at the center of the lower end of the elevating support portion 32. When the elevating support portion 32 is inserted into the spring mounting groove 14, And is disposed opposite to the projection insertion hole 18.

여기서, 상기 라운드형합홈(32a)은 상측을 향해 라운드지게 함몰되되 상기 라운드돌기부(22a)의 외면 프로파일에 대응되는 내면 프로파일로 형성되어 상기 라운드돌기부(22a)의 끝단부가 형합 밀착된다.The round concave portion 32a is formed to have an inner surface profile corresponding to the profile of the outer surface of the round projecting portion 22a, and the end of the round projecting portion 22a is formed in close contact.

이때, 상기 라운드돌기부(22a)의 끝단부가 상기 라운드형합홈(32a)에 형합 밀착됨에 따라 상기 스프링부(31)로부터 하측으로 작용하는 탄성복원력이 상기 승강밀폐부(20)에 전달될 수 있다.At this time, elastic restoring force acting downward from the spring portion 31 can be transmitted to the lifting and securing portion 20 as the end of the round projecting portion 22a comes into close contact with the round type groove 32a.

따라서, 상기 유입구(11a)는 상기 스프링부(31)의 탄성복원력에 의해 기설정된 압력에 대응하여 가압 밀폐될 수 있다. 또한, 상기 탄성지지부(30)에 의해 하측을 향해 탄발적으로 지지된 상태에서 상기 유입구(11a)를 통해 작용하는 유체의 압력이 기설정된 압력을 초과하여 상기 스프링부(31)의 탄발지지력을 극복하게 되면 상기 승강밀폐부(20)가 상향 이동되며, 상기 개폐유로(12)에 유체가 유입된다.Accordingly, the inlet port 11a can be pressure-sealed according to a predetermined pressure by the resilient restoring force of the spring portion 31. [ In addition, when the pressure of the fluid acting through the inlet port 11a exceeds a predetermined pressure in a state where the elastic support portion 30 is elastically supported downwardly, the spring force of the spring portion 31 is overcome The lifting / closure part 20 is moved upward, and the fluid flows into the opening / closing flow path 12.

여기서, 상기 라운드돌기부(22a)의 끝단부 및 상기 라운드형합홈(32a)의 대향면이 상호 형합 밀착되도록 라운드지게 형성되므로 변형 내지 외부 충격 등으로 인해 상기 라운드돌기부(22a)가 일측으로 비틀어지거나 기울어지더라도 상호 간에 밀착된 상태가 유지될 수 있다. 이에 따라, 상기 라운드돌기부(22a)에 전체적으로 균일하게 상기 스프링부(31)의 탄성복원력이 작용되므로 상기 스프링부(31)로부터 하측으로 작용하는 탄성복원력이 상기 승강밀폐부(20)에 안정적으로 전달되어 제품의 구동신뢰성이 더욱 향상될 수 있다. The round protrusions 22a are twisted or tilted to one side due to deformation or external impact because the ends of the round protrusions 22a and the opposing faces of the round recesses 32a are formed in a round shape so as to be in close contact with each other. The state of close contact with each other can be maintained. Since the elastic restoring force of the spring portion 31 is uniformly applied to the round protruding portion 22a as a whole, the elastic restoring force acting downward from the spring portion 31 is stably transmitted to the lifting and securing portion 20 And the driving reliability of the product can be further improved.

한편, 상기 벨로우즈부(40)는 상기 실링지지부(22)의 외측을 감싸도록 구비된다. 상세히, 상기 벨로우즈부(40)는 탄성변형이 가능한 산과 골이 형성된 주름관 형상으로 구비됨이 바람직하다. 이때, 상기 벨로우즈부(40)에는 상측 및 하측이 개구된 커버공간(41)이 내부에 형성된다.Meanwhile, the bellows portion 40 is provided to surround the outer side of the sealing support portion 22. In detail, it is preferable that the bellows portion 40 is formed in a corrugated pipe shape having an acid and a valley capable of being elastically deformed. At this time, the bellows part 40 is formed therein with a cover space 41 opened upward and downward.

또한, 상기 커버공간(41)의 직경은 상기 실링지지부(22)의 직경 이상으로 설정될 수 있으며, 상기 실링지지부(22)가 상기 벨로우즈부(40)를 상하방향으로 관통하여 삽입된다. 이때, 상기 벨로우즈부(40)는 하단부가 상기 실링장착부의 테두리와 연결되고 상단부가 상기 가이드공(15)의 하부 개구측 테두리와 연결된다.The diameter of the cover space 41 may be set to be equal to or larger than the diameter of the sealing support portion 22 and the sealing support portion 22 is inserted through the bellows portion 40 in the vertical direction. At this time, the lower end of the bellows part 40 is connected to the rim of the seal mounting part, and the upper end is connected to the lower opening side edge of the guide hole 15. [

여기서, 상기 실링지지부(22)가 상기 벨로우즈부(40)를 상하방향으로 관통한 상태로 상기 벨로우즈부(40)의 하단부가 상기 실링장착부(21)의 상단부 테두리를 따라 용접 결합됨이 바람직하다. 이때, 상기 실링장착부(21)의 상단부 및 상기 벨로우즈부(40)의 하단부는 외주를 따라 용접으로 소성 변형된 제1용접부(w1)에 의해 상호 결합될 수 있다.It is preferable that the lower end of the bellows portion 40 is welded along the upper end edge of the seal mounting portion 21 with the sealing support portion 22 passing through the bellows portion 40 in the up and down direction. At this time, the upper end of the seal mounting part 21 and the lower end of the bellows part 40 can be coupled to each other by the first welded part w1 plastically deformed by welding along the outer periphery.

또한, 상기 실링지지부(22)가 상기 가이드공(15)을 상하방향으로 관통한 상태로 상기 벨로우즈부(40)의 상단부가 상기 가이드몸체부(10d)의 하단부 테두리를 따라 용접 결합됨이 바람직하다. 이때, 상기 가이드몸체부(10d)의 하단부 및 상기 벨로우즈의 상단부는 외주를 따라 용접으로 소성 변형된 제2용접부(w2)에 의해 상호 결합될 수 있다.The upper end of the bellows portion 40 may be welded along the lower end of the guide body portion 10d in a state where the sealing support portion 22 passes through the guide hole 15 in the vertical direction . At this time, the lower end of the guide body 10d and the upper end of the bellows can be coupled to each other by the second welded portion w2 plastically deformed by welding along the outer periphery.

여기서, 벨로우즈부(40)의 상하방향 길이는 상기 베이스몸체부(10a)의 내부에 클램핑 고정된 가이드몸체부(10d)의 하단부 및 상기 실링부(50)가 상기 유입구(11a)를 밀폐하도록 배치된 실링장착부(21)의 상단부 사이 간격에 대응되는 길이로 설정된다. 따라서, 상기 제1용접부(w1) 및 상기 제2용접부(w2)에 의해 상기 커버공간(41)이 실질적으로 상기 개폐유로(12)와 구획되어 밀폐될 수 있다. 이를 통해, 상기 실링지지부(22)는 상기 벨로우즈부(40)에 의해 상기 개폐유로(12)에 유입된 유체(f)와의 접촉이 방지될 수 있다.The length of the bellows portion 40 in the up and down direction is set such that the lower end portion of the guide body portion 10d clamped and fixed in the base body portion 10a and the sealing portion 50 seal the inlet 11a Is set to a length corresponding to the interval between the upper end portions of the sealed mounting portions 21. Therefore, the cover space 41 can be substantially partitioned from the opening / closing passage 12 by the first welding portion w1 and the second welding portion w2. Accordingly, the sealing support portion 22 can be prevented from contacting the fluid f introduced into the opening / closing passage 12 by the bellows portion 40.

한편, 상기 승강밀폐부(20)의 승강 이동시 상기 가이드공(15)의 내주와 상기 실링지지부(22)의 외주가 상호 형합됨에 따라 구성부품과의 마찰이 발생하며 이로 인해 파티클(particle)이 발생할 수 있다. 그리고, 상기 파티클은 실질적으로 상기 가이드공(15)의 내측에서 발생하므로 상기 승강밀폐부(20)의 승강 이동시 상기 실링지지부(22)의 외면에 묻어나와 상기 커버공간(41)의 내측으로 유입될 수 있다. 이때, 상기 커버공간(41)에 유입된 파티클은 상기 커버공간(41)이 밀폐됨에 따라 상기 개폐유로(12) 측으로의 비산이 방지될 수 있다.As the inner circumference of the guide hole 15 and the outer circumference of the seal supporting portion 22 cooperate with each other when the lifting and lowering member 20 is lifted and lowered, friction with component parts occurs, . Since the particles are generated substantially inside the guide hole 15, the particles are deposited on the outer surface of the sealing support portion 22 when the lifting and lowering member 20 is moved up and down, . At this time, the particles introduced into the cover space 41 can be prevented from scattering toward the opening / closing flow path 12 as the cover space 41 is sealed.

이에 따라, 상기 벨로우즈부(40)는 상기 커버공간(41)이 밀폐되도록 용접 결합되어 상기 실링지지부(22) 및 상기 개폐유로(12)에 유입된 유체(f)와의 접촉으로 인한 부식을 미연에 방지하여 제품의 내구성이 더욱 향상될 수 있다. 또한, 상기 개폐유로(12)에 유입된 유체(f)와의 접촉을 최소화하기 위한 별도의 윤활제를 도포할 필요가 없어 제품의 생산성이 더욱 향상될 수 있다.The bellows part 40 is welded to the cover space 41 to seal the bellows part 40 so as to prevent corrosion due to contact between the sealing support part 22 and the fluid f introduced into the opening / The durability of the product can be further improved. Further, it is not necessary to apply a separate lubricant for minimizing the contact with the fluid (f) introduced into the opening / closing flow path (12), so that the productivity of the product can be further improved.

더욱이, 상기 커버공간(41)에 유입된 파티클이 상기 개폐유로(12)측으로의 비산이 방지됨에 따라 상기 개폐유로(12)의 개방시 유입된 유체(f)에 상기 파티클의 혼입이 방지된다. 따라서, 일정 수준의 청정도를 요구하는 클린룸과 같은 생산설비의 공기오염으로 인한 해당 생산제품의 불량률이 감소될 수 있다.Particles introduced into the cover space 41 are prevented from scattering toward the open / close flow path 12, thereby preventing the particles from being mixed with the fluid f introduced when the open / close flow path 12 is opened. Therefore, the defective rate of the product produced due to the air pollution of production facilities such as a clean room requiring a certain level of cleanliness can be reduced.

이때, 상기 벨로우즈부(40)는 상기 가이드몸체부(10d) 및 상기 실링장착부(21) 사이에 배치되므로 상기 승강밀폐부(20)가 상향 이동되면 상기 실링장착부(21)에 의해 상기 벨로우즈부(40)의 하단부에 상측을 향해 하중이 작용한다.Since the bellows portion 40 is disposed between the guide body portion 10d and the seal mounting portion 21 when the upward and downward movement of the upward and downward sealing portion 20 is performed by the seal mounting portion 21, A load is applied toward the upper side.

여기서, 상기 벨로우즈부(40)는 주름관 형상으로 구비됨에 따라 탄성변형을 통해 상하방향으로 수축될 수 있으며 상기 승강밀폐부(20)가 하향 복귀 이동되면 상하방향으로 신장되어 원상태로 복원될 수 있다. 이를 통해, 상기 벨로우즈부(40)가 상하방향으로 신축됨에 따라 상기 실링지지부(22)의 외측이 밀폐된 상태가 유지되면서 상기 승강밀폐부(20)의 승강 이동이 가능하다.Here, the bellows part 40 may be contracted in the vertical direction through elastic deformation when the bellows part 40 is provided in the form of a bellows. When the bellows part 40 is moved downwardly, the bellows part 40 may be vertically restored. As a result, as the bellows portion 40 is expanded and contracted in the up and down direction, the outer side of the sealing support portion 22 is kept in a hermetically closed state, so that the lifting and closing movement of the lifting and securing portion 20 is possible.

그리고, 상기 벨로우즈부(40)가 상기 가이드몸체부(10d) 및 상기 실링장착부(21)에 용접 결합됨에 따라 상기 가이드몸체부(10d), 상기 실링부(50), 상기 승강밀폐부(20) 및 상기 벨로우즈부(40)는 상호 결합된 조립모듈로써 구비될 수도 있다. 이를 통해, 상기 베이스몸체부(10a)의 상단부 개구측을 통해 상기 조립모듈을 삽입하고 상기 상부몸체부(10b), 상기 탄성지지부(30) 및 상기 고정몸체부(10c)를 결합하면 조립이 완료되는 간편한 조립구조를 통해 제품의 생산성 및 조립성이 더욱 향상될 수 있다.The bellows portion 40 is welded to the guide body portion 10d and the seal mounting portion 21 so that the guide body portion 10d, the sealing portion 50, the lifting and securing portion 20, And the bellows portion 40 may be provided as assembly modules mutually coupled. When the assembly module is inserted through the upper end opening of the base body portion 10a and the upper body portion 10b, the elastic support portion 30 and the fixed body portion 10c are engaged, assembly is completed The productivity and the assemblability of the product can be further improved through the easy assembly structure.

한편, 상기 실링지지부(22)의 외주에는 상측으로 갈수록 중앙부를 향해 상향 경사진 스토퍼단턱(23)이 형성됨이 바람직하다. 또한, 상기 밸브몸체부(10)에는 상기 스토퍼단턱(23)이 걸림되도록 상측에 대향 배치되는 스토퍼걸림부(17)가 형성됨이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that a stopper step 23 is formed on the outer periphery of the sealing support part 22 so as to be upwardly inclined toward the center toward the upper side. Preferably, the valve body 10 is formed with a stopper engaging portion 17 which is disposed to face the stopper stop 23 so as to engage with the stopper stopper 23.

상세히, 상기 스토퍼단턱(23)은 상기 라운드돌기부(22a) 및 상기 실링지지부(22)의 연결부분에 상측으로 갈수록 직경이 협소화되도록 형성될 수 있다. 이를 위해, 상기 라운드돌기부(22a)의 직경은 상기 실링지지부(22)의 직경 미만으로 형성될 수 있으며 상기 스토퍼단턱(23)은 실질적으로 상기 라운드돌기부(22a) 및 상기 실링지지부(22)와 연속적인 프로파일로 형성될 수 있다.In detail, the stopper step 23 may be formed so that the diameter of the connecting portion between the round protrusion 22a and the seal supporting portion 22 decreases toward the upper side. The diameter of the round protrusion 22a may be less than the diameter of the sealing support 22 and the stopper step 23 may be substantially continuous with the round protrusion 22a and the sealing support 22, Or the like.

그리고, 상기 스토퍼걸림부(17)는 상기 상부몸체부(10b)의 하단부에 형성되며 상기 돌기삽입홀(18)의 하부 개구측 테두리부에 형성된다. 이때, 상기 스토퍼걸림부(17)는 상기 상부몸체부(10b)가 상기 베이스몸체부(10a)에 결합되면 상기 스토퍼단턱(23)과 상하방향으로 대향 배치될 수 있다. The stopper engaging portion 17 is formed at the lower end of the upper body portion 10b and at the lower opening side edge of the projection insertion hole 18. [ At this time, the stopper latching part 17 may be arranged to be vertically opposed to the stopper step 23 when the upper body part 10b is coupled to the base body part 10a.

또한, 상기 스토퍼걸림부(17)는 상기 스토퍼단턱(23)의 외면 프로파일과 대응되는 외면 프로파일로 형성될 수 있으며 상기 스토퍼단턱(23)과의 접촉시 상호 형합된다. 여기서, 상기 스토퍼걸림부(17) 및 상기 스토퍼단턱(23)의 상호 형합되는 대향면이 경사지게 형성됨에 따라 접촉면적이 증가하여 상기 스토퍼단턱(23)이 상기 스토퍼걸림부(17)에 안정적으로 걸림될 수 있다. 이를 통해, 상기 스토퍼단턱(23)이 상기 스토퍼걸림부(17)에 전체적으로 균일하게 면접촉되어 걸림될 수 있으며 어느 일측으로 하중이 집중됨이 방지되어 마모 내지 변형이 방지될 수 있다.The stopper latching part 17 may be formed in an outer profile corresponding to the outer profile of the stopper step 23 and may be formed when the stopper step 23 contacts the stopper step 23. Since the stopper stopper 17 and the stopper step 23 are formed to be inclined with respect to each other, the stopper stop 23 is stably stuck to the stopper stopper 17 . Thus, the stopper step 23 can be entirely uniformly in contact with the stopper engaging part 17, and the load can be prevented from being concentrated on one side, thereby preventing wear or deformation.

이때, 상기 스토퍼단턱(23) 및 상기 스토퍼걸림부(17)는 상기 개폐유로(12)의 폐쇄시 0.5~1.5mm 간격으로 상호 이격됨이 바람직하다. 여기서, 상기 스토퍼단턱(23) 및 상기 스토퍼걸림부(17)가 상호 이격된 간격은 상하방향 수직 간격으로 이해함이 바람직하다.At this time, it is preferable that the stopper step 23 and the stopper engaging part 17 are spaced apart at intervals of 0.5 to 1.5 mm when the opening / closing flow path 12 is closed. It is preferable that the distance between the stopper step 23 and the stopper engaging part 17 is a vertical distance in the vertical direction.

여기서, 상기 유입구(11a)측 유체의 압력에 의해 상기 개폐유로(12)의 개방되도록 상기 승강밀폐부(20)가 상향 이동되면 상기 스토퍼단턱(23)이 상기 스토퍼걸림부(17)에 걸림된다. 그리고, 상기 벨로우즈부(40)는 상기 실링장착부(21)의 상단부 및 상기 가이드몸체부(10d)의 하단부 사이 간격이 감소됨에 따라 탄성 변형되어 수축되며, 상기 스프링부(31)는 상기 승강지지부(32)를 상측으로 가압하는 상기 라운드돌기부(22a)에 의해 탄성 변형되어 수축된다.Here, the stopper step 23 is caught by the stopper engaging part 17 when the lifting / closure part 20 is moved upward to open the opening / closing passage 12 by the pressure of the fluid at the inlet port 11a . The bellows portion 40 is elastically deformed and contracted as the distance between the upper end of the seal mounting portion 21 and the lower end portion of the guide body portion 10d is reduced, 32 by the round projecting portion 22a.

이때, 상기 승강밀폐부(20)는 상기 스토퍼단턱(23)이 상기 스토퍼걸림부(17)에 걸림됨에 따라 상향 이동거리가 제한된다. 따라서, 상기 벨로우즈부(40) 및 상기 스프링부(31)는 실질적으로 상기 개폐유로(12)의 폐쇄 상태에서 상기 스토퍼단턱(23)이 상기 스토퍼걸림부(17)가 이격된 수직간격(d)에 대응되도록 수축된다.At this time, as the stopper step 23 is caught by the stopper engaging part 17, the upward movement distance of the lifting and closure part 20 is limited. Therefore, the bellows portion 40 and the spring portion 31 are substantially spaced apart from each other by the vertical distance d in which the stopper stopper 17 is spaced apart from the stopper stop 23 in the closed state of the opening / As shown in Fig.

이에 따라, 상기 유입구(11a)측 유체에 의해 고압력이 작용하더라도 상기 스토퍼단턱(23) 및 상기 스토퍼걸림부(17)에 의해 상기 벨로우즈부(40)의 탄성변형량이 제한됨에 따라 상기 벨로우즈부(40)의 과도한 수축에 의한 변형 내지 각 용접부의 파손 등이 미연에 방지되므로 제품의 내구성이 더욱 향상될 수 있다.The amount of elastic deformation of the bellows portion 40 is limited by the stopper step 23 and the stopper retaining portion 17 even if a high pressure is applied by the fluid at the inlet port 11a, And the damage of each welding portion is prevented in advance due to excessive shrinkage of the product, thereby further improving the durability of the product.

이때, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Here, the terms "comprises", "comprising", "having", or "having" as used in the above description mean that the constituent element can be included unless otherwise stated. It is to be understood that the invention is not limited to the components but may include other components. All terms, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used terms, such as predefined terms, should be interpreted to be consistent with the contextual meanings of the related art, and are not to be construed as ideal or overly formal, unless expressly defined to the contrary.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 각 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 청구항에서 청구하는 범위를 벗어남 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형 실시되는 것은 가능하며, 이러한 변형예는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and variations and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. And these modifications fall within the scope of the present invention.

10: 밸브몸체부 12: 개폐유로
15: 가이드공 20: 승강밀폐부
21: 실링장착부 22: 실링지지부
22a: 라운드돌기부 23: 스토퍼걸림부
30: 탄성지지부 31: 스프링부
32: 승강지지부 40: 벨로우즈부
100: 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브10: valve body part 12: open / close flow path
15: guide ball 20:
21: sealing mounting portion 22: sealing supporting portion
22a: Round protrusion 23: Stopper stop
30: elastic supporting portion 31: spring portion
32: lifting and supporting part 40: bellows part
100: Relief valve for semiconductor manufacturing process

Claims (5)

유체가 유입되는 유입구 및 유체가 배출되는 배출구가 형성되며, 중앙부에 형성되는 가이드공의 하측에 개폐상태에 따라 유체가 선택적으로 배출되는 개폐유로가 내부에 형성된 밸브몸체부;
상기 유입구를 밀폐하는 실링부가 결합되는 실링장착부와, 상기 실링장착부로부터 상향 연장되어 상기 가이드공의 내주를 따라 선택적으로 승강되도록 배치된 실링지지부를 포함하며, 상기 유입구를 통해 작용하는 유체의 압력이 기설정된 압력을 초과하면 상기 개폐유로가 개방되도록 상향 이동되는 승강밀폐부;
상기 승강밀폐부의 상측에 배치되며 상기 유입구가 상기 기설정된 압력에 대응하여 밀폐되도록 상기 실링지지부를 하측으로 탄발 지지하는 탄성지지부; 및
상기 실링지지부의 외측을 감싸도록 구비되되 하단부가 상기 실링장착부의 테두리와 연결되고 상단부가 상기 가이드공의 하부 개구측 테두리와 연결되어 상기 개폐유로의 개방시 유입된 유체에 상기 승강밀폐부의 승강 이동시 발생되는 파티클의 혼입을 방지하는 벨로우즈부를 포함하며,
상기 밸브몸체부는 내부에 상기 개폐유로가 형성되며 상단부가 개구되며 내주 테두리에 걸림단턱이 형성된 베이스몸체부와, 상기 베이스몸체부의 개구측에 삽입되어 착탈식으로 결합되며 내부에 상기 탄성지지부가 배치되도록 형성된 스프링장착홈과 연통되는 돌기삽입홀이 하단부에 관통 형성되는 상부몸체부와, 상기 실링장착부를 하측으로 지지하도록 상기 상부몸체부의 상단부에 결합되는 고정몸체부와, 반경방향 외측으로 돌출되되 상기 걸림단턱 및 상기 상부몸체부의 하단부 사이에 클램핑 고정되는 걸림장착부가 구비되며, 내주에 상기 가이드공이 형성되되 하단부에 상기 벨로우즈부의 상단부가 용접 결합되는 가이드몸체부를 포함하며,
상기 탄성지지부는 상하방향으로 탄성복원력을 제공하도록 배치되는 스프링부와, 상기 스프링부의 하측에 구비되는 승강지지부를 포함하며,
상기 실링지지부에는 끝단부가 라운드진 외면 프로파일로 형성되되 상기 돌기삽입홀을 관통하여 상기 스프링장착홈의 내측으로 배치되는 라운드돌기부가 상향 돌출되고, 상기 승강지지부의 하단부에는 상기 돌기삽입홀과 대향 배치되되 상기 라운드돌기부의 끝단부가 형합 밀착되는 라운드형합홈이 형성되며,
상기 실링지지부의 외주에는 상측으로 갈수록 중앙부를 향해 상향 경사진 스토퍼단턱이 형성되며, 상기 밸브몸체부에는 상기 스토퍼단턱이 걸림되도록 상측에 대향 배치되며 상기 돌기삽입홀의 하부 개구측 테두리부에 스토퍼걸림부가 형성되되, 상기 스토퍼단턱 및 상기 스토퍼걸림부는 상기 개폐유로의 폐쇄시 0.5~1.5mm 간격으로 상호 이격되며,
상기 실링부는 폴리이미드 수지 재질로 형성되고, 상기 실링장착부의 하단부에는 상기 실링부의 외면 프로파일에 대응되는 내면 프로파일을 갖는 장착홈이 함몰 형성되며, 상기 장착홈의 개구측 테두리에는 내주를 따라 반경방향 내측으로 걸림부가 돌출됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 릴리프 밸브. A valve body formed in the lower portion of the guide hole formed at the center portion and having an opening / closing flow path therein through which fluid is selectively discharged according to the open / closed state;
And a seal supporting portion extending upward from the sealing mounting portion and arranged to be selectively lifted and lowered along the inner periphery of the guide hole, wherein the pressure of the fluid acting through the inlet is larger than the pressure of the fluid flowing through the inlet, A lifting / closing part which is moved upward to open the opening / closing passage when the set pressure is exceeded;
An elastic supporter disposed above the lifting and hermetically sealing part and elastically supporting the sealing support part downward so that the inflow port is closed corresponding to the predetermined pressure; And
A lower end portion of the seal supporting portion is connected to an edge of the sealing mounting portion and an upper end portion of the seal supporting portion is connected to a lower opening side edge of the guide hole, And a bellows portion for preventing the particles from being mixed,
Wherein the valve body includes a base body portion having an opening at the upper end thereof and an engagement portion at an inner circumference of the valve body, the valve body portion being detachably coupled to the opening portion of the base body portion, An upper body portion through which a projection insertion hole communicating with the spring mounting groove is formed at a lower end portion thereof, a fixed body portion coupled to an upper end portion of the upper body portion to support the seal mounting portion downwardly, And a guide body portion having a guide hole formed on an inner periphery thereof and welded to an upper end of the bellows portion at a lower end thereof,
Wherein the elastic supporting portion includes a spring portion arranged to provide an elastic restoring force in the up-and-down direction, and a lift supporting portion provided below the spring portion,
And a round protrusion protruding upwardly from the sealing support portion, the round protrusion protruding upwardly from the protrusion insertion hole, the protrusion protruding upward from the protrusion insertion hole, Wherein a round concave groove is formed in which the end of the round projecting portion is in close contact with the round concave portion,
A stopper stepped upward toward the center toward the upper side is formed on the outer periphery of the seal supporting part, and the stopper stopping part is provided on the lower opening side edge of the protrusion insertion hole so as to catch the step stopper, Wherein the stopper stop and the stopper stopper are mutually spaced at intervals of 0.5 to 1.5 mm when the opening and closing passage is closed,
Wherein the sealing portion is formed of a polyimide resin material and a mounting groove having an inner profile corresponding to an outer profile of the sealing portion is formed in a lower end portion of the sealing mounting portion, And the latching portion is protruded to the outside of the relief valve. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020180027230A 2018-03-08 2018-03-08 relief valve for semiconductor manufacturing process KR101912395B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180027230A KR101912395B1 (en) 2018-03-08 2018-03-08 relief valve for semiconductor manufacturing process

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180027230A KR101912395B1 (en) 2018-03-08 2018-03-08 relief valve for semiconductor manufacturing process

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101912395B1 true KR101912395B1 (en) 2018-10-26

Family

ID=64099034

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180027230A KR101912395B1 (en) 2018-03-08 2018-03-08 relief valve for semiconductor manufacturing process

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101912395B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102208928B1 (en) * 2019-08-14 2021-01-29 (주)와이엔브이 Safety valve having capable of rcontrolling gap for opening and shutting
KR102418912B1 (en) 2022-02-08 2022-07-08 한선엔지니어링 주식회사 Relief valve with popping function
KR20220149340A (en) * 2021-04-30 2022-11-08 조광아이엘아이주식회사 High Pressure Safety-Relief Valve
KR20230026634A (en) 2021-08-18 2023-02-27 태광후지킨 주식회사 thermally-activated pressure relief safty device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001173838A (en) * 1999-12-20 2001-06-29 Ckd Corp Vacuum proportional opening and closing valve
KR100629623B1 (en) 2005-07-25 2006-10-04 유니테크 주식회사 Relief valve
JP2007292295A (en) * 2006-03-31 2007-11-08 Smc Corp Vacuum valve
KR101574607B1 (en) * 2014-07-14 2015-12-04 태광후지킨 주식회사 valve apparatus for open/close incompressible fluid
KR20160081891A (en) * 2013-07-30 2016-07-08 테스콤 코포레이션 Fluid regulators having corrugated diaphragms
KR101892092B1 (en) * 2018-04-23 2018-08-27 주식회사 와이엔브이 Safety valve having concentricity revision device of spring

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001173838A (en) * 1999-12-20 2001-06-29 Ckd Corp Vacuum proportional opening and closing valve
KR100629623B1 (en) 2005-07-25 2006-10-04 유니테크 주식회사 Relief valve
JP2007292295A (en) * 2006-03-31 2007-11-08 Smc Corp Vacuum valve
KR20160081891A (en) * 2013-07-30 2016-07-08 테스콤 코포레이션 Fluid regulators having corrugated diaphragms
KR101574607B1 (en) * 2014-07-14 2015-12-04 태광후지킨 주식회사 valve apparatus for open/close incompressible fluid
KR101892092B1 (en) * 2018-04-23 2018-08-27 주식회사 와이엔브이 Safety valve having concentricity revision device of spring

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102208928B1 (en) * 2019-08-14 2021-01-29 (주)와이엔브이 Safety valve having capable of rcontrolling gap for opening and shutting
KR20220149340A (en) * 2021-04-30 2022-11-08 조광아이엘아이주식회사 High Pressure Safety-Relief Valve
KR102533556B1 (en) 2021-04-30 2023-05-17 조광아이엘아이주식회사 High Pressure Safety-Relief Valve
KR20230026634A (en) 2021-08-18 2023-02-27 태광후지킨 주식회사 thermally-activated pressure relief safty device
KR102418912B1 (en) 2022-02-08 2022-07-08 한선엔지니어링 주식회사 Relief valve with popping function

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101912395B1 (en) relief valve for semiconductor manufacturing process
US7377483B2 (en) Diaphragm valve
EP0727603B1 (en) Diaphragm valve
US3892384A (en) Double seated cage valve with flexible plug seat
KR102647495B1 (en) Fluid control valve
CA2253988C (en) Metal diaphragm type valve
US6086039A (en) High-efficiency poppet and seat assembly
EP3891423A1 (en) Control valve seat and seat support
CN103097785A (en) Valve seat apparatus for use with fluid valves
US9845875B2 (en) Ring seal with sealing surface extension
KR20160099696A (en) Valve body and high temperature valve
KR101736022B1 (en) Self-aligning axially constrained regulator valve assembly
JP5209646B2 (en) Fluid flow control device
KR102400894B1 (en) Substrate processing chamber and the methode for treating substrate using the chamber
KR101269692B1 (en) Sealant structure for teflon lined butterfly valve
KR101774785B1 (en) Manufacturing method of cryogenic valve and thereof cryogenic valve
KR101832290B1 (en) chemicals open and shut valve for blocking
KR101321592B1 (en) valve for improving airtightness efficiency
KR101829864B1 (en) Safety valve with spring
KR102177661B1 (en) Check valve for pipes of semiconductor and display manufacturing device
KR101857253B1 (en) A safety valve
US11773985B2 (en) Valve device
US20150345650A1 (en) Safety valve
JP2021067363A (en) Method for manufacturing diaphragm, diaphragm for valve, and diaphragm comprising the same
KR102338790B1 (en) Valve with Metal Seal for Improving Airtightness Efficiency

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant