KR101911314B1 - 엑스선 검출기 - Google Patents

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Abstract

엑스선 검출기를 제공한다. 본 엑스선 검출기는 제1 영역 및 제2 영역으로 구성된 실리콘 기판, 제1 영역에 배치되며 엑스선을 검출하는 복수 개의 픽셀, 제2 영역에 배치되며 복수 개의 픽셀에 공통의 제어 신호를 공급하는 제어 패드, 제1 영역에 배치되며 복수 개의 픽셀 중 그룹핑된 픽셀 단위로 전원을 공급하는 전원 패드를 포함한다.

Description

엑스선 검출기{X-ray detector}
본 개시는 엑스선 검출기, 대면적이 가능한 엑스선 검출기에 관한 것이다.
진단용 엑스선 검출기로서 박막 트랜지스터를 이용한 엑스선 검출기가 주목받고 있다. 엑스선 검출기는 엑스선으로 촬영한 엑스선 화상 또는 엑스선 투시 화상을 디지털 신호로 출력한다. 이러한 엑스선 검출기는 직접 방식과 간접 방식으로 나뉜다.
직접방식은 포토컨덕터 (photoconductor)로 엑스선을 직접 전하로 변환하며, 간접방식은 신틸레이저(scintillator)로 엑스선을 가시광선으로 변환한 후, 변환된 가시광선을 포토다이오드와 같은 광전변환소자로 전하로 변환하는 방식이다.
엑스선 검출기가 대면적화됨에 따라 엑스선 검출기에 전원을 고르게 공급하는 방안이 강구되고 있다. 엑스선 검출기의 물리적인 크기가 커짐에 따라 동작상 또는 대기 상태에서 전압 강하의 문제가 발생할 수 있기 때문이다.
본 개시는 전원 공급이 원활한 엑스선 검출기 및 엑스선 검출기를 제공한다.
또한, 대면적의 엑스선 검출기를 제공한다.
본 발명의 일 유형에 따르는 엑스선 검출기는 제1 영역 및 제2 영역으로 구성된 실리콘 기판; 상기 제1 영역에 배치되며, 엑스선을 검출하는 복수 개의 픽셀;상기 제2 영역에 배치되며, 상기 복수 개의 픽셀에 공통의 제어 신호를 공급하는 제어 패드; 및 상기 제1 영역에 배치되며, 상기 복수 개의 픽셀 중 그룹핑된 픽셀 단위로 전원을 공급하는 전원 패드;를 포함한다.
그리고, 상기 그룹핑된 픽셀은 적어도 두 개의 픽셀을 포함하고, 상기 제1 영역에는 복수 개의 그룹핑된 픽셀이 배치될 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 그룹핑된 픽셀은 n×m (n은 2이상의 자연수, m은 1이상의 자연수)형태로 배열될 수 있다.
그리고, 상기 실리콘 기판의 아래에 배치되는 인쇄회로기판;을 더 포함하고, 상기 전원 패드는, 상기 실리콘 기판을 관통하는 전도성 비아, 및 상기 실리콘 기판과 상기 인쇄회로기판 사이에 배치되는 볼 패드를 통해 상기 인쇄회로기판에 연결될 수 있다.
또한, 상기 제2 영역은 상기 실리콘 기판의 가장자리 영역에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 복수 개의 픽셀 중 일부는 상기 제어 패드로부터 직접 상기 제어 신호를 공급받고, 상기 복수 개의 픽셀 중 나머지는 이웃하는 픽셀을 통해 순차적으로 상기 제어 신호를 공급받을 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 픽셀 각각은, 입사된 엑스선에 의해 전하를 발생시키는 포토컨덕터; 상기 포토컨덕터로부터 발생된 상기 전하를 증폭시키는 전하증폭기; 및 상기 전하증폭기에서 출력된 신호와 제1 기준 전압을 비교하여 그 결과를 출력하는 비교기;를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 전하증폭기는, 제2 기준 전압을 인가받는 제1 입력단을 포함한 증폭기; 및 일단이 포토컨덕터 및 상기 증폭기의 제2 입력단과 연결되고 타단이 상기 비교기 및 상기 증폭기의 출력단과 연결된 커패시터;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 기준 전압은 상기 제2 기준 전압보다 클 수 있다.
그리고, 상기 포토컨덕터는 상기 복수 개의 픽셀 전체를 덮는 단일 층으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 사각형 형상이고 서로 접하게 배치될 수 있다.
그리고, 상기 전원 패드는 양의 전압을 공급하는 제1 전원 패드 및 O 또는 음의 전압을 공급하는제2 전원 패드를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 엑스선 검출기는, 앞서 설명한 엑스선 검출기로 각각 구성된 제1 및 제2 엑스선 검출기를 포함하고, 상기 제1 엑스선 검출기의 제1 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제1 영역은 접하도록 배치된다.
그리고, 상기 제1 엑스선 검출기의 제2 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제2 영역은 상기 제1 엑스선 검출기의 제1 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제1 영역을 사이에 두고 이격 배치될 수 있다.
또한, 상기 제1 엑스선 검출기의 제2 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제2 영역은 접하게 배치될 수 있다.
그리고, 상기 제1 엑스선 검출기의 제1 및 제2 영역, 상기 제2 엑스선 검출기의 제1 및 제2 영역 모두는 사각형 형상일 수 있다.
또한, 상기 제1 엑스선 검출기의 제2 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제2 영역은 'ㄱ' 또는 'ㄴ' 형상일 수 있다.
본 개시의 엑스선 검출소자 및 엑스선 검출기는 복수 개의 픽셀에 공통으로 전원을 인가할 수 있다. 그리하여, 엑스선 검출기 및 엑스선 검출기에 픽셀의 수에 상관없이 전원을 원활히 공급할 수 있다.
그리고, 엑스선 검출기의 한쪽에만 제어 패드가 배치되기 때문에 복수 개의 엑스선 검출기를 결합하여 다양한 크기를 갖는 대면적 엑스선 검출기를 제작할 수 있다.
또한, 엑스선 검출기의 한쪽에만 제어 패드가 배치되어 있기 때문에 엑스선을 검출하지 않는 영역을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 검출기의 픽셀에 대한 회로도이다.
도 2a은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 검출기의 개략적인 평면도이다.
도 2b는 도 2a의 엑스선 검출기의 전원 패드를 포함하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적의 엑스선 검출기의 평면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 엑스선 검출기의 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대면적 엑스선 검출기의 개략적인 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세하게 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되게 도시된 것이다. 명세서를 통하여 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 검출기의 픽셀에 대한 회로도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 각 픽셀(120)은 입사된 엑스선에 의해 전하(예를 들어, 전자 또는 정공)을 발생시키는 포토컨덕터(122), 포토컨덕터(122)에서 발생된 전하를 증폭시키는 전하증폭기(125)(charge sensitive amplifier) 및 전하증폭기(125)의 신호를 비교하여 그 결과를 출력하는 비교기(128)를 포함할 수 있다.
포토컨덕터(122)에 인가되는 제어 신호의 크기는 포토컨덕터(122)의 물질 및 두께에 따라 달라질 수 있다. 포토컨덕터(122)는 실리콘 기판(110)상에 복수 개의 픽셀(120) 각각에 대응되는 영역에 개별적으로 형성될 수도 있고, 실리콘 기판(110)상에 복수 개의 픽셀(120)을 덮도록 단일층으로 형성될 수 있다.
전하증폭기(125)는 커패시터(124)와 증폭기(126)를 포함할 수 있다. 커패시터(124)의 일단은 포토컨덕터(122) 및 증폭기(126)의 제1 입력단과 전기적으로 연결되고, 타단은 증폭기(126)의 출력단과 전기적으로 연결된다. 그리고, 증폭기(126)는 포토컨덕터(122)와 연결된 제1 입력단, 제1 기준 전압(Vref1)을 인가받는 제2 입력단 및 제1 출력단을 포함한다. 제1 기준전압(Vref1)은 그라운드 전압(OV)일 수 있다. 제1 입력단은 상기 증폭기(126)의 마이너스 단자일 수 있고, 제2 입력단은 상기 증폭기(126)의 플러스 단자일 수 있다. 또한, 증폭기(126)의 출력단은 커패시터(124)의 타단 및 비교기(128)와 연결될 수 있다. 비교기(128)는 증폭기(126)의 출력단과 연결된 제3 입력단, 제2 기준 전압(Vref2)을 인가받는 제4 입력단 및 제2 출력단을 포함할 수 있다. 제2 기준 전압(Vref2)는 제1 기준 전압(Vref1)보다 클 수 있다. 제3 입력단은 비교기(128)의 플러스 단자일 수 있고, 제4 입력단은 비교기(128)의 마이너스 단자일 수 있다.
한편, 엑스선을 검출하기 위해 엑스선 검출기에 전원을 공급하는 전원 신호 이외에 엑스선 검출기를 동작시키는 제어 신호가 필요하다. 그리하여 엑스선 검출기는 픽셀 뿐만 아니라 제어 신호를 공급하는 제어 패드 및 전원 신호를 공급하는 전원 패드를 구비한다.
도 2a은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 검출기(10)의 개략적인 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 엑스선 검출기(10)의 단면도이다.
도면들을 참조하면, 엑스선 검출기(10)는 실리콘 기판(110), 엑스선을 검출하는 복수 개의 픽셀(120), 복수 개의 픽셀(120)에 전원을 공급하는 전원 패드(130), 복수 개의 픽셀(120)에 제어 신호를 공급하는 제어 패드(140) 및 복수 개의 픽셀(120)에서 수신된 신호로 대상물의 엑스선 투과량을 계량화하는 인쇄회로기판(150)을 포함할 수 있다.
실리콘 기판(110)은 복수 개의 픽셀(120) 및 전원 패드(130)가 배치되는 제1 영역(112)과 제어 패드(140)가 배치되는 제2 영역(114)으로 구분될 수 있다. 복수 개의 픽셀(120)은 m × n (m, n은 2이상의 자연수)의 배열 형태일 수 있다.
실리콘 기판(110)의 제2 영역(114)에는 복수 개의 픽셀(120)에 제어 신호를 공급하는 제어 패드(140)가 마련될 수 있다. 제어 패드(140)가 마련된 제2 영역(114)은 실리콘 기판(110)의 가장 자리 영역일 수 있다. 실리콘 기판(110)의 사각형 형상일 경우, 제2 영역(114)은 제1 영역(112)을 둘러싸는 실리콘 기판(110)의 가장자리 영역일 수 도 있지만, 실리콘 기판(110)의 가장 자리 영역 중 일부 영역이 제2 영역(114)일 수 있다. 그리하여, 제어 패드(140)는 복수 개의 픽셀(120) 중 동일한 열 또는 행의 픽셀(120)에 순차적으로 제어 신호를 공급할 수 있다. 즉, 제어 패드(140)와 접한 픽셀(120)은 제어 패드(140)로부터 직접 제어 신호를 공급받지만, 제어 패드(140)와 접하지 않는 픽셀(120)은 이웃하는 픽셀(120) 중 제어 패드(140)와 가까운 픽셀(120)을 통해 제어 신호를 공급받을 수 있다.
한편, 복수 개의 픽셀(120)에 공급되는 전원도 제어 패드(140)를 통해 공급될 수 있다. 그러나, 제어 패드(140)는 복수 개의 픽셀(120) 중 일부 픽셀(120)과 접하게 배치되고, 접하지 않는 픽셀(120)은 다른 픽셀(120)을 통해 신호를 공급하기 때문에 제어 패드(140)와 이격된 픽셀(120)에 전원이 제대로 공급되지 않을 수 있다. 그리하여 본 발명은 복수 개의 픽셀(120)을 그룹핑하여 그룹핑된 픽셀(120) 단위로 전원을 공급하는 것을 제안한다. 여기서, 공통의 전원이 공급되는 그룹핑된 픽셀(120)을 픽셀 어레이(Pixel Array : PA)라고 한다. m x n (m, n은 2이상의 자연수)의 배열 형태의 복수 개의 픽셀(120)을 p x q (p는 2이상의 자연수, q은 1 이상의 자연수)의 배열 형태의 픽셀 어레이(PA)로 그룹핑하고, 픽셀 어레이(PA) 단위로 전원 패드(130)를 배치시킨다.
전원 패드(130)는 실리콘 기판(110)의 제1 영역(112)에 배치되며, 픽셀 어레이(PA) 하나당 한 쌍의 전원 패드(130)가 배치될 수 있다. 상기한 한 쌍의 전원 패드(130)는 제1 전압, 예를 들어, 양의 전압값을 공급하는 제1 전원 패드(132)와 제2 전압, 예를 들어 O 또는 음의 전압값을 제공하는 제2 전원 패드(134)를 포함할 수 있다. 제1 전원 패드(132)와 제2 전원 패드(134) 사이에는 픽셀 어레이 중 적어도 하나의 픽셀이 배치될 수 있다. 도면에는 제1 전원 패드(132)와 제2 전원 패드(134) 사이에 3개의 픽셀이 도시되어 있으나 이는 예시적인 사항이다. 또한, 전원 패드(130)는 실리콘 기판(110)을 관통하는 전도성 비아(162) (164)와 인쇄회로기판(150)상에 배치된 볼 패드(172)(174)를 통해 인쇄회로기판(150)에 연결될 수 있다.
상기와 같이, 실리콘 기판의 가장자리 중 일부 영역에만 제어 패드를 형성하기 때문에 엑스선 검출기의 엑스선 검출 영역을 최대화할 수 있다. 뿐만 아니라, 픽셀 어레이 단위로 전원을 공급하기 때문에 엑스선 검출기의 전체 픽셀에 안정적으로 전원을 공급할 수 있다. 또한, 본 발명의 엑스선 검출기를 결합하여 대면적의 엑스선 검출기(10)의 구현도 가능하다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적의 엑스선 검출기(100)의 평면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 대면적 엑스선 검출기(100)는 제1 내지 제4 엑스선 검출기(10a-10d)를 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 엑스선 검출기(10a-10d) 각각은 도 2a에 도시된 엑스선 검출기(10)와 동일할 수 있다. 단지 제1 내지 제4 엑스선 검출기(10a-10d)의 배열 형태로 대면적 엑스선 검출기를 구현할 수 있다. 예를 들어, 제1 엑스선 검출기(10a)의 제1 영역(112a)과 제2 엑스선 검출기(10b)의 제1 영역(112b)을 접하게 배치시키는 반면, 제1 엑스선 검출기(10a)의 제2 영역(114b)과 제2 엑스선 검출기(10b)의 제2 영역(114b)은 제1 영역(112a, 112b) 을 사이에 두고 이격 배치시킬 수 있다. 제3 엑스선 검출기(10c) 및 제4 엑스선 검출기(10d)도 제1 엑스선 검출기(10a) 및 제2 엑스선 검출기(10b)와 마찬가지로 배치한다. 또한, 제1 엑스선 검출기(10a)의 제1 및 제2 영역(112a, 114a) 각각은 제3 엑스선 검출기(10c)의 제1 및 제2 영역(112c, 114c) 각각과 접하게 배치시키고, 제2 엑스선 검출기(10b)의 제1 및 제2 영역(112b, 114b) 각각은 제4 엑스선 검출기(10d)의 제1 및 제2 영역(112d, 114d) 각각과 접하게 배치시킨다.
그리하여 대면적 엑스선 검출기에 있어서, 픽셀이 포함된 영역은 대면적 엑스선 검출기의 가운데 영역에 배치되고, 제어 패드는 대면적 엑스선 검출기의 가장자리에 배치됨으로써 엑스선을 검출할 수 있는 유효 영역을 최대화할 수 있다. 또한, 도 3에 도시된 대면적 엑스선 검출기(100)는 제1 및 제2 엑스선 검출기(10a, 10b)에 제3 및 제4 엑스선 검출기(10c, 10d)를 추가하는 방식으로 엑스선 검출 영역을 확장할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 엑스선 검출기(11, 12)의 개략적인 평면도이다. 도 4a 및 도 4b의 엑스선 검출기(11, 12)도 도 1a에 도시된 엑스선 검출기(10)와 마찬가지로, 실리콘 기판, 엑스선을 검출하는 복수 개의 픽셀, 복수 개의 픽셀에 전원을 공급하는 전원 패드, 복수 개의 픽셀에 제어 신호를 공급하는 제어 패드 및 복수 개의 픽셀에서 수신된 신호로 대상물의 엑스선 투과량을 계량화하는 인쇄회로기판을 포함할 수 있다. 다만, 도 4a에서는 실리콘 기판의 제2 영역(214)은 'ㄱ'자 형상이고, 4b에서는 실리콘 기판의 제2 영역(314)은 'ㄴ'자 형상일 수 있다. 즉, 엑스선 검출기(11)의 제2 영역(212)은 실리콘 기판의 좌측 가장자리 영역에 배치되는 제1 서브 영역(213)과 실리콘 기판의 상측 가장자리 영역에 배치된 제2 서브 영역(215)의 결합으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기한 제1 및 제2 서브 영역(213, 215) 상에 동일한 형태의 제1 및 제2 제어 패드(미도시)가 배치될 수 있다. 또한, 실리콘 기판의 제2 영역(314)은 실리콘 기판의 좌측 가장자리 영역에 배치되는 제3 서브 영역(313)과 실리콘 기판의 하측 가장자리 영역에 배치된 제4 서브 영역(315)의 결합으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기한 제3 및 제4 서브 영역(313, 315) 상에 동일한 형태의 제3 및 제4 제어 패드가 배치될 수 있다. 그리하여 하나의 픽셀은 두 개의 제어 패드를 통해 제어 신호를 공급받을 수 있다. 그리하여, 엑스선 검출기(11, 12)의 오동작을 최소화할 수 있다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 엑스선 검출기를 이용하여 대면적 엑스선 검출기의 구현이 가능하다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대면적 엑스선 검출기(200)의 개략적인 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 대면적 엑스선 검출기(200)는 제5 내지 제8 엑스선 검출기(11a, 12a, 12b, 11b)를 포함할 수 있다. 제5 및 제8 엑스선 검출기(11a, 11b)각각은 도 4a에 도시된 엑스선 검출기(11)와 동일하고, 제6 및 제7 엑스선 검출기(12a, 12b) 각각은 도 4b에 도시된 엑스선 검출기(12)와 동일할 수 있다. 제5 엑스선 검출기(11a)의 제1 영역(212a)는 제6 및 제 7 엑스선 검출기(12a, 12b)의 제1 영역(312a, 312b)와 접하고, 제5 엑스선 검출기(11a)의 제2 영역(214a)는 제6 및 제 7 엑스선 검출기(12a, 12b)의 제2 영역(314b, 314b)와 접하도록 배치된다. 또한, 제8 엑스선 검출기(11b)의 제1 영역(212b)는 제6 및 제 7 엑스선 검출기(12a, 12b)의 제1 영역(312a, 312b)와 접하고, 제8 엑스선 검출기(11b)의 제2 영역(214b)는 제6 및 제 7 엑스선 검출기(12a, 12b)의 제2 영역(314b, 314b)와 접하도록 배치된다. 그리하여 대면적 엑스선 검출기(200)를 구현할 수 있다.
도 5에 도시된 대면적 엑스선 검출기(10)는 도 3에 도시된 엑스선 검출기(10)에 비해 확장할 수 없다는 단점이 있으나, 하나의 엑스선 검출기(10)보다 대면적의 엑스선 검출기(10)를 형성할 수 있다는 점에서 유용하다.뿐만 아니라, 도 1a, 도 4a 및 도 4b에 도시된 엑스선 검출기의 결합으로도 대면적 엑스선 검출기를 구현할 수 있음도 물론이다.
이러한 본 발명인 엑스선 검출기 및 이를 포함하는 대면적 엑스선 검출기는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
10 : 엑스선 검출기 110 : 실리콘 기판
112 : 제1 영역 114 : 제2 영역
120 : 픽셀 122 : 포토컨덕터
124 : 커패시터 125 : 전하증폭기
126 : 증폭기 128 : 비교기
130 : 전원 패드 140 : 제어 패드

Claims (17)

  1. 엑스선을 검출하는 복수 개의 픽셀들이 그룹핑된 복수 개의 픽셀 어레이;
    상기 복수 개의 픽셀 어레이에 공통의 제어 신호를 공급하는 제어 패드;
    상기 복수 개의 픽셀 어레이 각각에 전원을 공급하는 복수 개의 전원 패드; 및
    제1 영역과 제2 영역으로 구분되고, 상기 제1 영역은 복수 개의 서브 영역으로 구분되며, 상기 서브 영역 각각에는 하나의 픽셀 어레이 및 상기 하나의 픽셀 어레이에 대응하는 전원 패드가 배치되며, 상기 제2 영역에는 상기 제어 패드가 배치되는 실리콘 기판;을 포함하는 엑스선 검출기.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 픽셀 어레이 각각은 적어도 두 개의 픽셀을 포함하는 엑스선 검출기.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 복수 개의 픽셀 어레이는 n×m (n은 2이상의 자연수, m은 1이상의 자연수)형태로 배열된 엑스선 검출기.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 실리콘 기판의 아래에 배치되는 인쇄회로기판;을 더 포함하고,
    상기 복수 개의 전원 패드 각각은,
    상기 실리콘 기판을 관통하는 전도성 비아, 및 상기 실리콘 기판과 상기 인쇄회로기판 사이에 배치되는 볼 패드를 통해 상기 인쇄회로기판에 연결되는 엑스선 검출기.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제2 영역은 상기 실리콘 기판의 가장자리 영역에 배치되는 엑스선 검출기.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 픽셀 중 일부는 상기 제어 패드로부터 직접 상기 제어 신호를 공급받고, 상기 복수 개의 픽셀 중 나머지는 이웃하는 픽셀을 통해 순차적으로 상기 제어 신호를 공급받는 엑스선 검출기.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 픽셀 각각은,
    입사된 엑스선에 의해 전하를 발생시키는 포토컨덕터;
    상기 포토컨덕터로부터 발생된 상기 전하를 증폭시키는 전하증폭기; 및
    상기 전하증폭기에서 출력된 신호와 제1 기준 전압을 비교하여 그 결과를 출력하는 비교기;를 포함하는 엑스선 검출기.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 전하증폭기는,
    제2 기준 전압을 인가받는 제1 입력단을 포함한 증폭기; 및
    일단이 포토컨덕터 및 상기 증폭기의 제2 입력단과 연결되고 타단이 상기 비교기 및 상기 증폭기의 출력단과 연결된 커패시터;를 포함하는 엑스선 검출기.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제1 기준 전압은 상기 제2 기준 전압보다 큰 엑스선 검출기.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 포토컨덕터는 상기 복수 개의 픽셀 전체를 덮는 단일 층으로 형성된 엑스선 검출기.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 사각형 형상이고 서로 접하게 배치된 엑스선 검출기.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 전원 패드 각각은
    양의 전압을 공급하는 제1 전원 패드 및 O 또는 음의 전압을 공급하는 제2 전원 패드를 포함하는 엑스선 검출기.
  13. 제1 항에 따른 엑스선 검출기로 구성된 제1 및 제2 엑스선 검출기를 포함하고,
    상기 제1 엑스선 검출기의 제1 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제1 영역은 접하도록 배치되는 엑스선 검출기.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 엑스선 검출기의 제2 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제2 영역은 상기 제1 엑스선 검출기의 제1 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제1 영역을 사이에 두고 이격 배치되는 엑스선 검출기.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 엑스선 검출기의 제2 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제2 영역은 접하게 배치되는 엑스선 검출기.
  16. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 엑스선 검출기의 제1 및 제2 영역, 상기 제2 엑스선 검출기의 제1 및 제2 영역 모두는 사각형 형상인 엑스선 검출기.
  17. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 엑스선 검출기의 제2 영역과 상기 제2 엑스선 검출기의 제2 영역은 'ㄱ' 또는 'ㄴ' 형상인 엑스선 검출기.
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