KR101902935B1

KR101902935B1 - Laser processing apparatus and optical system of the same

Info

Publication number: KR101902935B1
Application number: KR1020160172900A
Authority: KR
Inventors: 박정래
Original assignee: 주식회사 이오테크닉스
Priority date: 2016-12-16
Filing date: 2016-12-16
Publication date: 2018-10-02
Also published as: KR20180070327A

Abstract

가공 장치가 개시된다. 개시된 가공 장치는 입사된 복수의 레이저 빔의 간격을 조절하는 빔 간격 조절부를 포함하되, 상기 빔 간격 조절부는 상기 복수의 레이저 빔의 경로에 배치되며, 상기 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시켜, 상기 제1 간격과 다른 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 복수의 프리즘부와, 상기 복수의 프리즘부에 의해 출사된 레이저 빔을 반사하는 반사부를 포함하며, 상기 복수의 프리즘부 각각은, 레이저 빔이 입사되는 제1면과, 상기 제1면에 대해 경사지게 배치되며 상기 제1 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제2면을 가지는 제1 프리즘과, 상기 제2면에 평행하게 배치되며 상기 제2면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제3면과, 상기 제3면에 대해 경사지며 상기 제1면과 평행하게 배치되며 상기 제3면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제4면을 가지는 제2 프리즘을 포함하며, 상기 제1 프리즘의 제2면과 상기 제2 프리즘의 제3면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나가 이동 가능하다.A machining apparatus is disclosed. The disclosed apparatus includes a beam gap adjusting unit for adjusting a gap between a plurality of incident laser beams, wherein the beam gap adjusting unit is disposed in a path of the plurality of laser beams, refracts at least a part of the plurality of laser beams, A plurality of prism portions for emitting a plurality of laser beams having an interval different from the first interval and a reflecting portion for reflecting the laser beam emitted by the plurality of prism portions, A first prism having a first surface on which a beam is incident and a second surface arranged obliquely to the first surface and through which a laser beam incident on the first surface is emitted; A third surface on which a laser beam emitted from the second surface is incident, and a second surface that is inclined with respect to the third surface and is disposed in parallel with the first surface, Wherein at least one of the first and second prisms is movable so that the second surface of the first prism and the third surface of the second prism are close to or away from each other, Do.

Description

멀티빔을 이용한 레이저 가공 장치 및 이에 사용되는 광학계{Laser processing apparatus and optical system of the same}TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laser processing apparatus and an optical system using the same,

본 발명은 멀티빔을 이용한 레이저 가공 장치 및 이에 사용되는 광학계에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser machining apparatus using a multi-beam and an optical system used therefor.

기존의 레이저 가공 공정에서 레이저 빔을 가우시안 형태의 레이저 빔으로 집속하여 가공 대상물의 가공면 상에 가우시안 형태를 가지는 레이저 빔을 조사할 수 있다. 이러한 레이저 빔은 단수 개일 수 있다.It is possible to focus a laser beam on a Gaussian laser beam and irradiate a laser beam having a Gaussian shape on the processing surface of the object in the conventional laser processing process. Such a laser beam may be a single number.

단수 개의 레이저 빔을 이용할 경우, 레이저 가공 과정에서 가공을 위해 복수 회의 가공이 필요하게 된다. 그에 따라, 가공 시간이 증가할 수 있다.When a single laser beam is used, a plurality of machining operations are required for machining in the laser machining process. As a result, the machining time can be increased.

이러한 점을 고려하여, 레이저 가공 장치에서는 복수의 레이저 빔을 가공 대상물에 조사하기 위한 연구가 진행되고 있는 실정이다.In consideration of this point, researches for irradiating a plurality of laser beams to an object to be processed are under way in the laser processing apparatus.

본 발명은 가공 대상물에 멀티빔을 조사하면서도, 그 구조가 단순하고 그 크기의 증가를 최소화할 수 있는 광학계 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치를 제공한다.The present invention provides an optical system and a laser processing apparatus including the same, which can simplify the structure and minimize an increase in size while irradiating a multi-beam to an object to be processed.

본 발명의 일 측면에 따른 레이저 가공 장치는, According to an aspect of the present invention,

가공 대상물에 복수의 레이저 빔을 조사하는 레이저 가공 장치로서,A laser processing apparatus for irradiating a plurality of laser beams onto an object to be processed,

레이저 빔을 생성하는 레이저 광원;A laser light source for generating a laser beam;

상기 레이저 광원으로부터 입사된 레이저 빔을 제1 간격을 가지는 복수의 레이저 빔으로 분할하는 빔 분할부; 및A beam splitting unit splitting the laser beam incident from the laser beam source into a plurality of laser beams having a first interval; And

상기 빔 분할부에 의해 분할된 복수의 레이저 빔의 간격을 조정하며, 상기 제1 간격과 다른 제2 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 가공 대상물에 조사하는 빔 간격 조절부;를 포함하며,And a beam interval adjusting unit adjusting a distance between the plurality of laser beams divided by the beam splitting unit and irradiating a plurality of laser beams having a second gap different from the first gap to the object,

상기 빔 간격 조절부는,The beam-

분할된 상기 복수의 레이저 빔의 경로에 배치되며, 상기 분할된 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시켜, 상기 제1 간격과 다른 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 복수의 프리즘부와,A plurality of prism portions disposed in a path of the plurality of divided laser beams to refract at least a part of the plurality of divided laser beams to emit a plurality of laser beams having an interval different from the first interval,

상기 복수의 프리즘부에 의해 출사된 복수의 레이저 빔을 반사하여 상기 가공 대상물에 조사하는 반사부를 포함하며,And a reflecting portion for reflecting a plurality of laser beams emitted by the plurality of prism portions and irradiating the plurality of laser beams to the object,

상기 복수의 프리즘부 각각은,Wherein each of the plurality of prism portions includes:

레이저 빔이 입사하는 제1면과, 상기 제1면에 대해 경사지게 배치되며 상기 제1 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제2면을 가지는 제1 프리즘과,A first prism having a first surface on which a laser beam is incident and a second surface obliquely arranged on the first surface and on which a laser beam incident on the first surface is emitted,

상기 제2면에 평행하게 배치되며 상기 제2면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제3면과, 상기 제3면에 대해 경사지며 상기 제1면과 평행하게 배치되며 상기 제3면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제4면을 가지는 제2 프리즘을 포함하며,A third surface disposed parallel to the second surface and having a laser beam emitted from the second surface to be incident thereon, and a second surface that is inclined with respect to the third surface and is disposed in parallel with the first surface, And a second prism having a fourth surface from which the emitted laser beam is emitted,

상기 제1 프리즘의 제2면과 상기 제2 프리즘의 제3면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나가 이동 가능하다.At least one of the first prism and the second prism is movable so that the second surface of the first prism and the third surface of the second prism are close to or away from each other.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 프리즘부 각각은, 상기 제2 프리즘과 이격 배치되는 것으로써, 상기 제4면을 통해 출사된 레이저 빔이 입사되며 상기 제4면에 평행한 제5면과, 상기 제5면에 대해 경사지며 상기 제2면과 평행하지 않으며 상기 제5면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제6면을 가지는 제3 프리즘과, 상기 제6면에 평행하며 상기 제6면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제7면과, 상기 제7면에 대해 경사지며 상기 제6면과 평행하며 상기 제7면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제8면을 가지는 제4 프리즘을 더 포함하며, 상기 제3 프리즘의 제6면과 상기 제4 프리즘의 제7면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제3 및 제4 프리즘 중 적어도 하나가 이동 가능하다.In one embodiment, each of the plurality of prism portions may be spaced apart from the second prism, and may include a fifth surface in which a laser beam emitted through the fourth surface is incident and parallel to the fourth surface, A third prism inclined with respect to the fifth surface and not parallel to the second surface and having a sixth surface through which a laser beam incident through the fifth surface is emitted, and a third prism parallel to the sixth surface, And a fourth prism having an eighth surface inclined with respect to the seventh surface and parallel to the sixth surface and from which a laser beam incident through the seventh surface is emitted, At least one of the third prism and the fourth prism is movable so that the sixth surface of the third prism and the seventh surface of the fourth prism are close to or away from each other.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 프리즘부는 4개 이상이며, 상기 4개 이상의 복수의 프리즘부는 중심에 배치된 프리즘부의 크기가 외곽에 배치된 프리즘부의 크기보다 작을 수 있다.In one embodiment, the number of the plurality of prism portions is four or more, and the size of the prism portion disposed at the center of the four or more prism portions may be smaller than the size of the prism portion disposed at the periphery.

일 실시예에 있어서, 상기 반사부는, 상기 프리즘부를 통해 출사된 복수의 레이저 빔을 반사하는 제1 반사면과, 상기 제1 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제2 반사면과, 상기 제2 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제3 반사면과, 상기 제3 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제4 반사면을 가질 수 있다.In one embodiment, the reflective portion includes a first reflective surface that reflects a plurality of laser beams emitted through the prism portion, a second reflective surface that reflects the laser beam reflected from the first reflective surface, A third reflection surface that reflects the laser beam reflected from the second reflection surface, and a fourth reflection surface that reflects the laser beam reflected from the third reflection surface.

일 실시예에 있어서, 상기 반사부는 상기 제1 반사면과 상기 제4 반사면을 가지는 제1 반사체와, 상기 제2 반사면과 상기 제3 반사면을 가지는 제2 반사체를 포함하며, 상기 제2 반사체는 회동 가능하게 배치될 수 있다.In one embodiment, the reflector includes a first reflector having the first reflector and the fourth reflector, and a second reflector having the second reflector and the third reflector, The reflector can be arranged to be rotatable.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나의 이동에 따라, 상기 제2 간격이 변화할 수 있다.In one embodiment, the second spacing may vary with the movement of at least one of the first and second prisms.

일 실시예에 있어서, 상기 제1간격은 10 mm 이하일 수 있다.In one embodiment, the first spacing may be less than or equal to 10 mm.

일 실시예에 있어서, 상기 제2간격은 10 mm 미만일 수 있다.In one embodiment, the second spacing may be less than 10 mm.

일 실시예에 있어서, 상기 제2간격은 10 mm 초과일 수 있다.In one embodiment, the second spacing may be greater than 10 mm.

본 발명의 일 측면에 따른 레이저 가공 장치의 광학계는 An optical system of a laser processing apparatus according to an aspect of the present invention includes:

제1 간격을 가지는 복수의 레이저 빔의 간격을 조정하여, 상기 제1 간격과 다른 제2 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 빔 간격 조절부를 포함하는 것으로서,And a beam gap adjusting unit adjusting a gap between the plurality of laser beams having the first gap and emitting a plurality of laser beams having a second gap different from the first gap,

상기 빔 간격 조절부는,The beam-

상기 복수의 레이저 빔의 경로에 배치되며, 상기 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시켜, 상기 제1 간격과 다른 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 복수의 프리즘부와,A plurality of prism portions disposed in a path of the plurality of laser beams for refracting at least a part of the plurality of laser beams to emit a plurality of laser beams having an interval different from the first interval,

상기 복수의 프리즘부에 의해 출사된 레이저 빔을 반사하는 반사부를 포함하며,And a reflecting portion for reflecting the laser beam emitted by the plurality of prism portions,

레이저 빔이 입사되는 제1면과, 상기 제1면에 대해 경사지게 배치되며 상기 제1 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제2면을 가지는 제1 프리즘과,A first prism having a first surface on which a laser beam is incident and a second surface obliquely arranged with respect to the first surface and on which a laser beam incident on the first surface is emitted,

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 프리즘부 각각은, 상기 제2 프리즘과 이격 배치되는 것으로써, 상기 제4면을 통해 출사된 레이저 빔이 입사되며 상기 제4면에 평행한 제5면과, 상기 제5면에 대해 경사지며 상기 제2면과 평행하지 않으며 상기 제5 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제6면을 가지는 제3 프리즘과, 상기 제6면에 평행하며 상기 제6면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제7면과, 상기 제7면에 대해 경사지며 상기 제6면과 평행하며 상기 제7면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제8면을 가지는 제4 프리즘을 더 포함하며, 상기 제3 프리즘의 제6면과 상기 제4 프리즘의 제7면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제3 및 제4 프리즘 중 적어도 하나가 이동 가능하다.In one embodiment, each of the plurality of prism portions may be spaced apart from the second prism, and may include a fifth surface in which a laser beam emitted through the fourth surface is incident and parallel to the fourth surface, A third prism inclined with respect to the fifth surface and not parallel to the second surface and having a sixth surface through which a laser beam incident through the fifth surface is emitted, and a third prism parallel to the sixth surface, And a fourth prism having an eighth surface inclined with respect to the seventh surface and parallel to the sixth surface and from which a laser beam incident through the seventh surface is emitted, At least one of the third prism and the fourth prism is movable so that the sixth surface of the third prism and the seventh surface of the fourth prism are close to or away from each other.

본 발명의 다른 측면에 따른 레이저 가공 장치는, According to another aspect of the present invention,

평행하게 입사된 복수의 레이저 빔의 간격을 조절하는 것으로서, 상기 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시키도록 구성된 적어도 하나의 프리즘부가 마련된 빔 간격 조절부를 포함하며,And a beam gap adjusting unit having at least one prism part configured to refract at least a part of the plurality of laser beams to adjust the spacing of the plurality of parallelly incident laser beams,

상기 적어도 하나의 프리즘부는,Wherein the at least one prism portion comprises:

상기 복수의 레이저 빔 중 어느 하나의 레이저 빔의 이동 경로를 따라 배열되며, 상기 레이저 빔을 투과시키며, 적어도 하나는 상기 레이저 빔의 이동 경로를 따라 이동 가능한 제1, 제2 프리즘을 포함하며,Wherein the first and second prisms are arranged along a movement path of any one of the plurality of laser beams and transmit the laser beam and at least one of the first and second prisms is movable along a movement path of the laser beam,

상기 제1 프리즘은 상기 레이저 빔이 입사되며, 입사된 레이저 빔을 굴절시켜 입사각과 다른 각도로 출사시키며,The first prism refracts the incident laser beam and emits the laser beam at an angle different from the incident angle,

상기 제2 프리즘은 상기 제1 프리즘으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되며, 입사된 레이저 빔을 굴절시켜 입사각과 다른 각도로 출사시킬 수 있다.The laser beam emitted from the first prism is incident on the second prism, and the incident laser beam may be refracted and emitted at an angle different from the incident angle.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 프리즘에 입사된 레이저 빔과 상기 제2 프리즘으로부터 출사된 레이저 빔은 서로 평행할 수 있다.In one embodiment, the laser beam incident on the first prism and the laser beam emitted from the second prism may be parallel to each other.

본 발명의 실시예에 따른 레이저 가공 장치 및 이에 사용되는 레이저 가공 장치의 광학계는, 가공 대상물에 멀티빔을 조사하면서도, 그 구조가 단순하고 그 크기의 증가를 최소화할 수 있다.The laser processing apparatus according to the embodiment of the present invention and the optical system of the laser processing apparatus used therein can simplify the structure and minimize the increase of the size while irradiating the object with the multi beam.

도 1은 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치를 설명하기 위한 개념도이며,
도 2는 도 1의 빔 분할부의 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 빔 간격 조절부의 일 예를 개념적으로 도시한 도면이며,
도 4a 내지 도 4c는 도 3의 프리즘부의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 도 3의 제1 반사체의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 3의 제2 반사체가 회동될 때의 빔 간격 조절부의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 도 7b는 도 3의 빔 간격 조절부의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 8a 내지 도 8b는 다른 실시예에 따른 빔 분할부를 설명하기 위한 도면이다.1 is a conceptual diagram for explaining a laser machining apparatus according to an embodiment,
FIG. 2 is a view for explaining an example of the beam splitting section of FIG. 1;
FIG. 3 conceptually illustrates an example of the beam-interval adjusting unit of FIG. 1,
4A to 4C are views for explaining the operation of the prism portion of FIG.
5A and 5B are views showing another example of the first reflector of FIG.
6 is a view for explaining the operation of the beam interval adjusting unit when the second reflector of FIG. 3 is rotated.
FIGS. 7A and 7B are views for explaining the operation of the beam interval adjusting unit of FIG. 3. FIG.
8A to 8B are views for explaining a beam splitter according to another embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 각 구성요소의 크기나 두께는 설명의 명료성을 위하여 과장되어 있을 수 있다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals refer to like elements, and the size and thickness of each element may be exaggerated for clarity of explanation.

“제1”, “제2” 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성 요소들은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. “및/또는” 이라는 용어는 복수의 관련된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 항목들 중의 어느 하나의 항목을 포함한다. Terms including ordinals such as " first, " " second, " and the like can be used to describe various elements, but the elements are not limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component. The term " and / or " includes any combination of a plurality of related items or any of a plurality of related items.

도 1은 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(1)를 설명하기 위한 개념도이며, 도 2는 도 1의 빔 분할부(20)의 일 예를 설명하기 위한 도면이다. FIG. 1 is a conceptual diagram for explaining a laser machining apparatus 1 according to an embodiment. FIG. 2 is a view for explaining an example of the beam splitting section 20 of FIG.

도 1을 참조하면, 레이저 가공 장치(1)는 레이저 광원(10), 빔 분할부(20) 및 빔 간격 조절부(30)를 포함한다. 가공 대상물(T)은 작업 테이블(50) 상에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1, the laser processing apparatus 1 includes a laser light source 10, a beam splitter 20, and a beam gap controller 30. The workpiece T can be placed on the work table 50. [

레이저 광원(10)은 레이저 빔(L)을 생성하여 빔 분할부(20)로 전달한다. The laser light source 10 generates a laser beam L and transmits it to the beam splitter 20.

빔 분할부(20)는 입사된 레이저 빔(L)을 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)으로 분할한다. 빔 분할부(20)에 의해 분할된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)은 레이저 빔의 조사 방향과 수직인 방향으로 제1 간격을 가질 수 있다. The beam splitter 20 splits the incident laser beam L into a plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4. The plurality of laser beams L1, L2, L3, and L4 divided by the beam splitter 20 may have a first interval in a direction perpendicular to the irradiation direction of the laser beam.

도 1 및 도 2를 참조하면, 빔 분할부(20)는 복수의 빔 스플리터(21, 22, 23, 24)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 빔 분할부(20)는 입사된 하나의 레이저 빔(L)을 2개의 레이저 빔으로 분할하는 제1 빔 스플리터(21)와, 분할된 2개의 레이저 빔을 4개의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)으로 분할하는 제2 빔 스플리터(22)를 포함한다. 제1 빔 스플리터(21)와 제2 빔 스플리터(22) 사이에는, 분할된 2개의 레이저 빔 중 하나의 레이저 빔은 투과시키고 다른 하나의 레이저 빔을 반사하는 제3 빔 스플리터(23)와 레이저 빔을 반사하는 복수의 반사 미러(M1, M2)가 배치될 수 있다. 또한, 제2 빔 스플리터(22)의 하류에는 4개의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4) 중 2개의 레이저 빔(L)을 투과시키고 다른 2개의 레이저 빔을 내부 반사하는 제4 빔 스플리터(24)와 레이저 빔을 반사하는 복수의 반사 미러(M3, M4)가 배치될 수 있다. 다만, 빔 분할부(20)의 구성 및 배치는 이에 한정되지 아니하며, 입사된 레이저 빔(L)을 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)으로 분할하는 구조라면 다양하게 변형될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the beam splitter 20 may include a plurality of beam splitters 21, 22, 23, and 24. For example, the beam splitter 20 includes a first beam splitter 21 for splitting one incident laser beam L into two laser beams, and a second beam splitter 21 for splitting the two divided laser beams into four laser beams L1 , L2, L3, L4). Between the first beam splitter 21 and the second beam splitter 22, a third beam splitter 23 that transmits one of the two divided laser beams and reflects the other laser beam, A plurality of reflection mirrors M1 and M2 may be disposed. Downstream of the second beam splitter 22 is disposed a fourth beam splitter for transmitting two laser beams L among the four laser beams L1, L2, L3 and L4 and for internally reflecting the other two laser beams 24 and a plurality of reflection mirrors M3, M4 for reflecting the laser beam. However, the configuration and arrangement of the beam splitter 20 are not limited to this, and may be variously modified as far as the incident laser beam L is divided into a plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 .

상기의 빔 분할부(20)의 구성에 의해, 하나의 레이저 빔(L)이 서로 평행하며 제1 간격을 가지는 4개의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)으로 분할될 수 있다. 4개의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4) 사이의 간격인 제1 간격은 소정 크기 이하일 수 있다. 예를 들어, 제1 간격은 10 mm 이하일 수 있다.According to the configuration of the beam splitter 20, one laser beam L can be divided into four laser beams L1, L2, L3, and L4 that are parallel to each other and have a first interval. The first interval, which is the interval between the four laser beams L1, L2, L3, L4, may be less than a predetermined size. For example, the first spacing may be less than or equal to 10 mm.

제1 간격은 일정할 수 있다. 예를 들어, 제1 간격은 10 mm 이하의 크기로 일정할 수 있다.The first spacing can be constant. For example, the first spacing may be constant to a size of 10 mm or less.

제1 간격이 소정 크기 이하이기 때문에, 단일의 레이저 빔(L)을 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)으로 분할하기 위한 빔 분할부(20)의 크기를 작게 설계할 수 있다. 예를 들어, 제1, 제2, 제3, 제4 빔 스플리터(21, 22, 23, 24) 각각의 크기를 50 mm 미만이 되도록 설계할 수 있다.The size of the beam splitter 20 for splitting a single laser beam L into a plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 can be designed to be small. For example, the size of each of the first, second, third, and fourth beam splitters 21, 22, 23, and 24 may be designed to be less than 50 mm.

만일, 제1 간격을 크게 하고자 할 경우, 증가된 간격의 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)이 입사될 수 있는 크기의 빔 스플리터(21, 22, 23, 24) 가 필요하게 된다. 예를 들어, 빔 스플리터(21, 22, 23, 24) 의 크기가 50 mm 를 초과하게 될 수 있다. 그에 따라, 빔 분할부(20)의 크기가 증가되며, 이는 레이저 가공 장치(1), 특히 레이저 헤드의 크기 증가로 나타날 수 있다.In order to enlarge the first interval, beam splitters 21, 22, 23, and 24 of a size capable of entering a plurality of laser beams L1, L2, L3, and L4 of increased spacing are required . For example, the beam splitters 21, 22, 23, and 24 may be greater than 50 mm in size. As a result, the size of the beam splitting section 20 is increased, which can be caused by an increase in the size of the laser processing apparatus 1, in particular, the laser head.

도 1을 다시 참조하면, 실시예에 따른 레이저 가공 장치(1)에서는, 레이저 헤드의 크기의 증가를 최소화하면서도, 가공 대상물(T)에 조사되는 레이저 빔(L)의 간격을 조절할 수 있는 빔 간격 조절부(30)를 더 포함한다.Referring to FIG. 1 again, in the laser machining apparatus 1 according to the embodiment, it is possible to minimize the increase in the size of the laser head and to adjust the distance between the laser beams L irradiated on the object T, (30).

빔 간격 조절부(30)는 분할된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)의 간격을 조절할 수 있다. 빔 간격 조절부(30)는 제1 간격과 다른 제2 간격을 가지는 복수의 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)을 가공 대상물(T)에 조사할 수 있다. 제2 간격은 제1 간격보다 작을 수 있다. 제2 간격은 10 mm 미만일 수 있다. 다만, 제2 간격은 이에 한정되지 아니하며, 제1 간격보다 클 수도 있다. 제2 간격은 10 mm 초과일 수 있다.The beam interval adjusting unit 30 can adjust the interval of the plurality of divided laser beams L1, L2, L3, and L4. The beam interval adjusting unit 30 may irradiate the object to be processed T with a plurality of laser beams L11, L21, L31, and L41 having a second gap different from the first gap. The second spacing may be less than the first spacing. The second spacing may be less than 10 mm. However, the second gap is not limited to this and may be larger than the first gap. The second spacing may be more than 10 mm.

도 3은 도 1의 빔 간격 조절부(30)의 일 예를 개념적으로 도시한 도면이며, 도 4a 내지 도 4c는 도 3의 제1 프리즘부(110)의 작동을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 3 conceptually illustrates an example of the beam interval adjusting unit 30 of FIG. 1, and FIGS. 4A to 4C are views for explaining the operation of the first prism unit 110 of FIG.

도 3을 참조하면, 실시예에 따른 빔 간격 조절부(30)는 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)와 반사부(200)를 포함할 수 있다.3, the beam-interval adjusting unit 30 may include a plurality of prism units 110, 120, 130, and 140, and a reflective unit 200. Referring to FIG.

복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)는 입사된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)의 경로에 배치되며, 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)의 적어도 일부를 굴절시킬 수 있다. 굴절을 통해, 입사된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)의 간격인 제1 간격과 다른 간격을 가지는 복수의 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)을 출사한다.The plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 are disposed in a path of a plurality of incident laser beams L1, L2, L3, and L4, Some of which can be refracted. A plurality of laser beams L11, L21, L31 and L41 having an interval different from the first interval, which is the interval between the incident laser beams L1, L2, L3 and L4, are outputted through the refraction.

반사부(200)는, 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)에 의해 출사된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)을 반사하며, 반사된 복수의 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)을 가공 대상물(T)에 조사할 수 있다.The reflector 200 reflects the plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 emitted by the plurality of prism portions 110, 120, 130 and 140 and reflects the plurality of reflected laser beams L11, L21, L31, and L41 can be irradiated on the object to be processed T.

도 3 및 도 4a를 참조하면, 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140) 각각은, 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102)을 포함한다. 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140) 각각은 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104)을 더 포함한다. 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102)은 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 이동 경로를 따라 배열될 수 있다. 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104)은 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 이동 경로를 따라 배열될 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4A, each of the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 includes a first prism 101 and a second prism 102. Each of the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 further includes a third prism 103 and a fourth prism 104. The first prism 101 and the second prism 102 may be arranged along the movement path of the laser beams L11, L21, L31 and L41. The third prism 103 and the fourth prism 104 may be arranged along the movement path of the laser beams L11, L21, L31 and L41.

제1 프리즘(101)은 레이저 빔(L1)이 입사되는 제1면(1011)과 상기 제1면(1011)에 대해 경사지게 배치되며 제1면(1011)을 통해 입사된 레이저 빔(L1)이 출사되는 제2면(1012)을 가질 수 있다.The first prism 101 has a first surface 1011 on which the laser beam L1 is incident and a laser beam L1 that is inclined with respect to the first surface 1011 and is incident through the first surface 1011 And may have a second surface 1012 to be emitted.

제2 프리즘(102)은 제2면(1012)에 평행하게 배치되며 제2면(1012)에서 출사된 레이저 빔(L1)이 입사되는 제3면(1021)과 제3면(1021)에 대해 경사지며 상기 제1면(1011)에 평행하게 배치되며 제3면(1021)을 통해 입사된 레이저 빔(L1)이 출사되는 제4면(1022)을 가질 수 있다.The second prism 102 is disposed parallel to the second surface 1012 and has a third surface 1021 and a third surface 1021 on which the laser beam L1 emitted from the second surface 1012 is incident, And may have a fourth surface 1022 that is inclined and disposed parallel to the first surface 1011 and through which the laser beam L1 incident through the third surface 1021 is emitted.

제3 프리즘(103)은 제2 프리즘(102)으로부터 레이저 빔의 광축 방향으로 이격 배치될 수 있다. 제3 프리즘(103)은 제2 프리즘(102)의 제4면(1022)을 통해 출사된 레이저 빔(L1)이 입사되며 상기 제4면(1022)에 평행한 제5면(1031)과, 상기 제5면(1031)에 대해 경사지며 제2면(1012)과 평행하지 않으며 제5면(1031)을 통해 입사된 레이저 빔(L1)이 출사되는 제6면(1032)을 가질 수 있다.The third prism 103 may be spaced apart from the second prism 102 in the direction of the optical axis of the laser beam. The third prism 103 includes a fifth surface 1031 on which the laser beam L1 emitted through the fourth surface 1022 of the second prism 102 is incident and parallel to the fourth surface 1022, And may have a sixth surface 1032 that is inclined with respect to the fifth surface 1031 and is not parallel to the second surface 1012 and through which the laser beam L1 incident through the fifth surface 1031 is emitted.

제4 프리즘(104)은 제3 프리즘(103)의 제6면(1032)에 평행하며 제6면(1032)으로부터 출사된 레이저 빔(L1)이 입사되는 제7면(1041)과, 제7면(1041)에 대해 경사지며 제6면(1032)과 평행하며 제7면(1041)을 통해 입사된 레이저 빔(L1)이 출사되는 제8면(1042)을 가질 수 있다.The fourth prism 104 has a seventh surface 1041 parallel to the sixth surface 1032 of the third prism 103 and on which the laser beam L1 emitted from the sixth surface 1032 is incident, And may have an eighth surface 1042 inclined with respect to the surface 1041 and parallel to the sixth surface 1032 and from which the laser beam L1 incident through the seventh surface 1041 is emitted.

제1 프리즘(101)의 굴절율과 제2 프리즘(102)의 굴절율은 동일할 수 있다. 일 예로서, 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102)의 재질은 서로 동일할 수 있다. The refractive index of the first prism 101 and the refractive index of the second prism 102 may be the same. As an example, the materials of the first prism 101 and the second prism 102 may be the same.

제3 프리즘(103)의 굴절율과 제4 프리즘(104)의 굴절율은 동일할 수 있다. 일 예로서, 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104)의 재질은 서로 동일할 수 있다.The refractive index of the third prism 103 and the refractive index of the fourth prism 104 may be the same. As an example, the materials of the third prism 103 and the fourth prism 104 may be the same.

제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102)이 서로 가까워지거나 멀어지도록 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102) 중 적어도 하나가 이동될 수 있다. 예를 들어, 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102) 중 적어도 하나는 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 이동 경로를 따라 이동될 수 있다.At least one of the first prism 101 and the second prism 102 may be moved so that the first prism 101 and the second prism 102 are brought closer to or away from each other. For example, at least one of the first prism 101 and the second prism 102 may be moved along the movement path of the laser beams L11, L21, L31, and L41.

제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104)이 서로 가까워지거나 멀어지도록 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104) 중 적어도 하나가 이동될 수 있다. 예를 들어, 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104) 중 적어도 하나는 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 이동 경로를 따라 이동될 수 있다.At least one of the third prism 103 and the fourth prism 104 may be moved so that the third prism 103 and the fourth prism 104 are brought closer to or away from each other. For example, at least one of the third prism 103 and the fourth prism 104 may be moved along the movement path of the laser beams L11, L21, L31, and L41.

그에 따라, 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102) 사이의 거리가 달라질 수 있으며, 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104) 사이의 거리가 달라질 수 있다.Accordingly, the distance between the first prism 101 and the second prism 102 can be changed, and the distance between the third prism 103 and the fourth prism 104 can be changed.

이하에서는, 제1, 제2, 제3, 제4 프리즘(101, 102, 103, 104)를 가지는 제1 프리즘부(110)에 의한 레이저 빔(L1)의 굴절 및 그에 따른 레이저 빔(L1)의 경로가 변경되는 과정을 설명한다.The refraction of the laser beam L1 by the first prism portion 110 having the first, second, third, and fourth prisms 101, 102, 103 and 104, The process of changing the path of the network is explained.

도 4a를 참조하면, 제1 프리즘부(110)는 제1 프리즘(101)의 제2면(1012)과 제2 프리즘(102)의 제3면(1021)이 서로 접촉하고, 제3 프리즘(103)의 제6면(1032)과 제4 프리즘(104)의 제7면(1041)이 서로 접촉한 상태이다. 서로 접촉하고 있는 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102)의 굴절률이 서로 동일하기 때문에, 제1면(1011)을 통해 입사된 레이저 빔(L1)은 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102) 사이에서 굴절되지 않고 제1 프리즘(101)과 제2 프리즘(102)을 투과한다. 또한, 서로 접촉하고 있는 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104)의 굴절률이 서로 동일하기 때문에, 제5면(1031)을 통해 입사된 레이저 빔(L1)은 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104) 사이에서 굴절되지 않고 제3 프리즘(103)과 제4 프리즘(104)을 투과한다. 그에 따라, 이러한 상태에서, 레이저 빔(L1)이 제1 프리즘부(110)에 입사될 경우, 레이저 빔(L1)은 굴곡되지 않고 본래의 광축을 따라 이동하게 된다.Referring to FIG. 4A, the first prism 110 includes a second prism 101 having a second surface 1012 and a third surface 1021 of the second prism 102 contacting with each other, The sixth surface 1032 of the first prism 103 and the seventh surface 1041 of the fourth prism 104 are in contact with each other. The laser beams L1 incident through the first surface 1011 are incident on the first prism 101 and the second prism 102 because the refractive indices of the first prism 101 and the second prism 102, And is transmitted through the first prism 101 and the second prism 102 without being refracted between the prisms 102. Since the refractive indices of the third prism 103 and the fourth prism 104 which are in contact with each other are equal to each other, the laser beam L1 incident through the fifth surface 1031 is incident on the third prism 103 And is transmitted through the third prism 103 and the fourth prism 104 without being refracted between the fourth prisms 104. Accordingly, in this state, when the laser beam L1 is incident on the first prism portion 110, the laser beam L1 is not bent but moves along the original optical axis.

도 4b를 참조하면, 제1 프리즘부(110)는 제1 프리즘(101) 및 제2 프리즘(102) 중 적어도 하나가 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 프리즘(101)이 제2 프리즘(102)과 멀어지도록 이동될 수 있다. 그에 따라, 제1 프리즘(101)의 제2면(1012)과 제2 프리즘(102)의 제3면(1021) 사이에, 제1 프리즘(101), 제2 프리즘(102)과 굴절율이 다른 공기가 존재하게 된다. 이러한 공기의 존재로 인해, 도 4a와 달리, 제1 프리즘(101)에 입사된 레이저 빔(L1)은 공기와 제1 프리즘(101)의 굴절율 차이로 인해 굴절되어 입사각과 다른 각도로 출사되며, 제2 프리즘(102)에 입사된 레이저 빔(L1)은 공기와 제2 프리즘(102)의 굴절율 차이로 인해 굴절되어 입사각과 다른 각도로 출사된다. 다시 말해서, 제1면(1011)에 입사된 레이저 빔(L1)이 제2면(1012)으로 출사되는 과정에서 굴절이 나타나며, 제2면(1012)으로부터 출사된 레이저 빔(L1)이 제3면(1021)에 입사되는 과정에서 굴절이 나타난다. 제2 프리즘(102)으로부터 출사된 레이저 빔(L1)은 제1 프리즘(101)에 입사된 레이저 빔(L1)과 평행할 수 있다.Referring to FIG. 4B, at least one of the first prism 101 and the second prism 102 can move in the first prism section 110. For example, the first prism 101 may be moved away from the second prism 102. The refractive indices of the first prism 101 and the second prism 102 are different between the second surface 1012 of the first prism 101 and the third surface 1021 of the second prism 102 Air is present. 4A, the laser beam L1 incident on the first prism 101 is refracted due to a difference in refractive index between the air and the first prism 101 and is emitted at an angle different from the incident angle, The laser beam L1 incident on the second prism 102 is refracted due to a difference in refractive index between air and the second prism 102 and is emitted at an angle different from the incident angle. In other words, when the laser beam L1 incident on the first surface 1011 is reflected on the second surface 1012, refraction occurs, and when the laser beam L1 emitted from the second surface 1012 is reflected on the third surface 1012, Refraction occurs in the process of being incident on the surface 1021. The laser beam L1 emitted from the second prism 102 may be parallel to the laser beam L1 incident on the first prism 101. [

이와 같이, 2번의 굴절을 거치는 동안, 레이저 빔(L1)은 제1면(1011)에 입사된 레이저 빔(L1)의 광축으로부터 좌측으로 평행 이동한 광축을 가지게 된다.As described above, during the two refractions, the laser beam L1 has an optical axis that is moved in parallel from the optical axis of the laser beam L1 incident on the first surface 1011 to the left.

도 4c를 참조하면, 제1 프리즘부(110)는 제3 프리즘(103) 및 제4 프리즘(104) 중 적어도 하나가 이동할 수 있다. 예를 들어, 제4 프리즘(104)이 제3 프리즘(103)과 멀어지도록 이동될 수 있다. 그에 따라, 제3 프리즘(103)의 제6면(1032)과 제4 프리즘(104)의 제7면(1041) 사이에는 공기가 존재하게 된다. 이러한 공기의 존재로 인해, 도 4a와 달리, 제3 프리즘(103)에 입사된 레이저 빔(L1)은 공기와 제3 프리즘(103)의 굴절율 차이로 인해 굴절되어 입사각과 다른 각도로 출사되며, 제4 프리즘(104)에 입사된 레이저 빔(L1)은 공기와 제4 프리즘(104)의 굴절율 차이로 인해 굴절되어 입사각과 다른 각도로 출사된다. 다시 말해서, 제5면(1031)에 입사된 레이저 빔(L1)이 제6면(1032)으로 출사되는 과정에서 굴절이 나타나며, 제6면(1032)으로부터 출사된 레이저 빔(L1)이 제7면(1041)에 입사되는 과정에서 굴절이 나타난다. 제4 프리즘(104)으로부터 출사된 레이저 빔(L1)은 제3 프리즘(103)에 입사된 레이저 빔(L1)과 평행할 수 있다.Referring to FIG. 4C, at least one of the third prism 103 and the fourth prism 104 may move in the first prism portion 110. For example, the fourth prism 104 may be moved away from the third prism 103. Thereby, air is present between the sixth surface 1032 of the third prism 103 and the seventh surface 1041 of the fourth prism 104. 4A, the laser beam L1 incident on the third prism 103 is refracted due to a difference in refractive index between the air and the third prism 103 and is emitted at an angle different from the incident angle, The laser beam L1 incident on the fourth prism 104 is refracted due to a difference in refractive index between the air and the fourth prism 104 and is emitted at an angle different from the incident angle. In other words, when the laser beam L1 incident on the fifth surface 1031 is reflected on the sixth surface 1032, refraction occurs, and when the laser beam L1 emitted from the sixth surface 1032 is reflected on the seventh surface 1032, Refraction occurs in the process of being incident on the surface 1041. The laser beam L1 emitted from the fourth prism 104 may be parallel to the laser beam L1 incident on the third prism 103. [

이와 같이, 2번의 굴절을 거치는 동안, 레이저 빔(L1)은 본래의 제5면(1031)에 입사된 레이저 빔(L1)의 광축으로부터 우측으로 평행 이동한 광축을 가지게 된다. Thus, during the two refractions, the laser beam L1 has an optical axis that is moved in parallel from the optical axis of the laser beam L1 incident on the original fifth surface 1031 to the right.

한편, 도 4a 내지 도 4c에서는 제1 프리즘부(110)의 작동을 예시하였으나, 제2, 제3, 제4 프리즘부(120, 130, 140)의 작동 역시 동일 또는 유사하므로, 중복 설명은 생략한다.4A to 4C illustrate the operation of the first prism section 110, the operations of the second, third, and fourth prism sections 120, 130, and 140 are also the same or similar, do.

상기와 같이, 실시예에 따른 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140) 각각은, 제1, 제2, 제3, 제4 프리즘(101, 102, 103, 104) 중 적어도 하나의 이동에 의해 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)을 굴절시킬 수 있으며, 그에 따라 빔 분할부(20)에 의해 분할된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)의 간격을 조정할 수 있다. 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)의 간격의 조정은, 제2, 제3면(1012, 1021)의 경사도, 제6, 제7면(1032, 1041)의 경사도, 제1 프리즘(101) 및 제4 프리즘(104)의 이동 정도에 따라, 달라질 수 있다.As described above, each of the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 according to the embodiment includes at least one of the first, second, third, and fourth prisms 101, 102, 103, The laser beams L1, L2, L3 and L4 can be refracted by the beam splitter 20 and the intervals of the plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 divided by the beam splitter 20 can be adjusted . The adjustment of the interval between the plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 is performed by adjusting the inclination of the second and third surfaces 1012 and 1021, the inclination of the sixth and seventh surfaces 1032 and 1041, May vary depending on the degree of movement of the first prism (101) and the fourth prism (104).

한편, 상술한 실시예에서는, 프리즘부(110, 120, 130, 140)가 복수 개인 예를 중심으로 설명하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 평행하게 입사된 복수의 레이저 빔의 간격을 조절하는 것이라면, 프리즘부는 단수 개일 수도 있다.In the above-described embodiment, the prism portions 110, 120, 130, and 140 are plural, but the present invention is not limited thereto. If the intervals of the plurality of parallel laser beams are adjusted , And the prism portion may be a single number.

다시 도 3을 참조하면, 반사부(200)는 제1 반사체(210)와 제2 반사체(220, 230)를 포함한다. Referring back to FIG. 3, the reflector 200 includes a first reflector 210 and a second reflector 220, 230.

제1 반사체(210)는 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)를 통해 출사된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)을 제2 반사체(220, 230)를 향해 반사하는 제1 반사면(211, 212)과, 제2 반사체(220, 230)로부터 반사된 레이저 빔(L)을 가공 대상물(T)을 향해 반사하는 제4 반사면(215, 216)을 포함한다.The first reflector 210 reflects a plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 emitted through the plurality of prism portions 110, 120, 130 and 140 toward the second reflectors 220 and 230 And includes fourth reflection surfaces 211 and 212 and fourth reflection surfaces 215 and 216 for reflecting the laser beam L reflected from the second reflectors 220 and 230 toward the object to be processed T. [

제1 반사체(210)는 2개의 제1 반사면(211, 212)과 2개의 제4 반사면(215, 216)을 포함하는 하나의 몸체일 수 있다. 예를 들어, 제1 반사체(210)의 단면 형상은 사각형일 수 있다. 다만, 제1 반사체(210)의 형상은 이에 한정되지 아니하며, 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 제1 반사체(210a, 210b)의 단면 형상은 도 5a, 도 5b와 같이 다각형일 수 있다.The first reflector 210 may be a single body including two first reflective surfaces 211 and 212 and two second reflective surfaces 215 and 216. For example, the cross-sectional shape of the first reflector 210 may be a rectangle. However, the shape of the first reflector 210 is not limited thereto, and may be variously modified. For example, the sectional shapes of the first reflectors 210a and 210b may be polygonal as shown in FIGS. 5A and 5B.

다시 도 3을 참조하면, 제2 반사체(220, 230)는 제1 반사면(211, 212)으로부터 반사된 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)을 반사하는 제2 반사면(221, 231)과, 제2 반사면(221, 231)으로부터 반사된 레이저 빔(L)을 제4 반사면(215, 216)을 향해 반사하는 제3 반사면(222, 232)을 포함한다.3, the second reflectors 220 and 230 include second reflection surfaces 221 and 231 for reflecting the laser beams L1, L2, L3 and L4 reflected from the first reflection surfaces 211 and 212, And third reflecting surfaces 222 and 232 for reflecting the laser beam L reflected from the second reflecting surfaces 221 and 231 toward the fourth reflecting surfaces 215 and 216. [

제2 반사체(220, 230)는 제1 반사체(210)의 일측과 타측 각각에 이격 배치된다. 제2 반사체(220, 230)의 제2 반사면(221, 231)은 제1 반사체(210)의 제1 반사면(211, 212)에 대향하도록 배치되며, 제2 반사체(220, 230)의 제3 반사면(222, 232)은 제1 반사체(210)의 제4 반사면(215, 216)에 대향하도록 배치될 수 있다.The second reflectors 220 and 230 are spaced apart from each other on one side and the other side of the first reflector 210. The second reflective surfaces 221 and 231 of the second reflectors 220 and 230 are disposed to face the first reflective surfaces 211 and 212 of the first reflector 210 and the second reflective surfaces 221 and 231 of the second reflectors 220 and 230 The third reflectors 222 and 232 may be disposed to face the fourth reflectors 215 and 216 of the first reflector 210. [

복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)를 통과한 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)은 제1 반사체(210)의 제1 반사면(211, 212)에 의해 반사된다. 제1, 제2 레이저 빔(L1, L2)은 좌측의 제1 반사면(211, 212)에 의해 반사되며, 제3, 제4 레이저 빔(L3, L4)은 우측의 제1 반사면(211, 212)에 의해 반사된다.The plurality of laser beams L1, L2, L3 and L4 passing through the plurality of prism portions 110, 120, 130 and 140 are reflected by the first reflection surfaces 211 and 212 of the first reflector 210 . The first and second laser beams L1 and L2 are reflected by the left first reflecting surfaces 211 and 212 and the third and fourth laser beams L3 and L4 are reflected by the right first reflecting surface 211 And 212, respectively.

좌측의 제1 반사면(211)에 의해 반사된 제1, 제2 레이저 빔(L1, L2)은 좌측의 제2 반사체(220)의 제2 반사면(221) 및 제3 반사면(222)에 의해 반사된 후, 제1 반사체(210)의 좌측의 제4 반사면(215)에 의해 반사되어 가공 대상물(T)로 조사된다. The first and second laser beams L1 and L2 reflected by the left first reflecting surface 211 are reflected by the second reflecting surface 221 and the third reflecting surface 222 of the left second reflector 220, Reflected by the fourth reflective surface 215 on the left side of the first reflector 210, and irradiated onto the object T to be processed.

우측의 제1 반사면(212)에 의해 반사된 제3, 제4 레이저 빔(L3, L4)은 우측의 제2 반사체(230)의 제2 반사면(231) 및 제3 반사면(232)에 의해 반사된 후, 제1 반사체(210)의 우측의 제4 반사면(216)에 의해 반사되어 가공 대상물(T)로 조사된다.The third and fourth laser beams L3 and L4 reflected by the right first reflecting surface 212 are reflected by the second reflecting surface 231 and the third reflecting surface 232 of the right second reflector 230, And is reflected by the fourth reflective surface 216 on the right side of the first reflector 210 to be irradiated onto the object to be processed T. [

제2 반사체(220, 230)는 소정의 회전축(A1, A2)을 중심으로 회동할 수 있다. 제2 반사체(220, 230)가 회동함에 따라, 제2 반사면(221, 231)이 제1 반사면(211, 212)과 이루는 각도가 달라지며, 제3 반사면(222, 232)이 제4 반사면(215, 216)과 이루는 각도가 달라질 수 있다. 그에 따라, 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)이 제2 반사체(220, 230)의 제2 반사면(221, 231), 제3 반사면(222, 232) 및 제1 반사체(210)의 제4 반사면(215, 216)에 입사되는 각도가 달라지게 된다. The second reflectors 220 and 230 can be rotated around predetermined rotation axes A1 and A2. As the second reflectors 220 and 230 are rotated, the angle formed by the second reflectors 221 and 231 with the first reflectors 211 and 212 is different from that of the second reflectors 220 and 230, 4 reflecting surfaces 215 and 216 may be different from each other. Accordingly, the plurality of laser beams L1, L2, L3, and L4 are incident on the second reflectors 221 and 231 of the second reflectors 220 and 230, the third reflectors 222 and 232, The angle of incidence to the fourth reflection surfaces 215 and 216 of the first reflection surface 210 is changed.

도 6은 도 3의 제2 반사체(220, 230)가 회동될 때의 빔 간격 조절부(30)의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 도 6에서는, 도 3의 제2 반사체(220, 230)가 제1 반사체(210)로부터 멀어지는 방향으로 회동한 상태를 나타낸다.FIG. 6 is a view for explaining the operation of the beam interval adjusting unit 30 when the second reflectors 220 and 230 of FIG. 3 are rotated. 6 shows a state in which the second reflectors 220 and 230 of FIG. 3 are rotated in a direction away from the first reflector 210. FIG.

도 6을 참조하면, 제1 반사체(210)의 양 측에 이격 배치된 제2 반사체(220, 230) 각각이 회동축(A1, A2)을 중심으로 회동한다. 제2 반사체(220, 230) 각각의 회동에 따라, 제1 반사면(211, 212)에 대한 제2 반사면(221, 231)의 각도가 달라지며, 제3 반사면(222, 232)에 대한 제4 반사면(215, 216)의 각도가 달라진다. Referring to FIG. 6, each of the second reflectors 220 and 230 disposed on both sides of the first reflector 210 rotates about the rotation axes A1 and A2. The angles of the second reflection surfaces 221 and 231 with respect to the first reflection surfaces 211 and 212 are changed according to the rotation of the second reflectors 220 and 230, The angles of the fourth reflection surfaces 215 and 216 are different.

이와 같이, 제1 반사체(210)와 제2 반사체(220, 230) 사이의 각도가 변화됨에 따라, 가공 대상물(T)에 조사되는 제1, 제2 레이저 빔(L11, L21)의 위치 및 제3, 제4 레이저 빔(L31, L41)의 위치가 이동된다. 다시 말해서, 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격을 유지하고 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격을 유지한 상태에서, 제1, 제2, 제3, 제4 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 위치가 이동된다. 그에 따라, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격이 조정된다.As the angle between the first reflector 210 and the second reflector 220 and 230 changes, the position of the first and second laser beams L11 and L21 irradiated on the object T and the position 3 and the positions of the fourth laser beams L31 and L41 are shifted. In other words, in a state in which the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 is maintained and the gap between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 is maintained, And the positions of the second, third, and fourth laser beams L11, L21, L31, and L41 are shifted. Accordingly, the interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 is adjusted.

다시 도 3을 참조하면, 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)는 적어도 4개 이상일 수 있다. 예를 들어, 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)는 제1 프리즘부(110), 제2 프리즘부(120), 제3 프리즘부(130), 제4 프리즘부(140)를 포함할 수 있다. Referring again to FIG. 3, the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 may be at least four or more. For example, the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 may include a first prism portion 110, a second prism portion 120, a third prism portion 130, and a fourth prism portion 140 .

제1 프리즘부(110)와 제2 프리즘부(120)에 의해 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21)의 간격을 조절할 수 있다. 제2 프리즘부(120)와 제3 프리즘부(130)에 의해 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31)의 간격을 조절할 수 있다. 제3 프리즘부(130)와 제4 프리즘부(140)에 의해 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41)의 간격을 조절할 수 있다.The interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 can be adjusted by the first prism portion 110 and the second prism portion 120. [ The distance between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 can be adjusted by the second prism portion 120 and the third prism portion 130. [ The distance between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 can be adjusted by the third prism unit 130 and the fourth prism unit 140. [

다만, 상기와 같이 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격은 제2 반사체(220, 230)의 회동에 의해 보완 가능하다. 이러한 점을 고려하여, 4개 이상의 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)는 중심에 배치된 프리즘부(120, 130)의 크기는 외곽에 배치된 프리즘부(110, 140)의 크기보다 작을 수 있다. 예를 들어, 제2 프리즘부(120)와 제3 프리즘부(130)의 크기가 제1 프리즘부(110)와 제4 프리즘부(140)의 크기보다 작을 수 있다. However, the interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 can be compensated by the rotation of the second reflectors 220 and 230. [ In consideration of this point, the size of the prism portions 120 and 130 disposed at the center of the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140 of four or more is larger than the size of the prism portions 110 and 140 . For example, the sizes of the second prism portion 120 and the third prism portion 130 may be smaller than the sizes of the first prism portion 110 and the fourth prism portion 140.

도 7a 내지 도 7b는 도 3의 빔 간격 조절부(30)의 작동을 설명하기 위한 도면이다.FIGS. 7A and 7B are views for explaining the operation of the beam-interval adjusting unit 30 of FIG.

도 7a를 참조하면, 제1 프리즘부(110)과 제2 프리즘부(120)의 작동에 의해 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격이 제1 간격보다 커지며, 제3 프리즘부(130)와 제4 프리즘부(140)의 작동에 의해 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격이 제1 간격보다 커질 수 있다. 다만, 정해진 공간 내에서 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격을 증가시키고 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격을 증가시키는 과정에서, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격이 제1 간격보다 작아질 수 있다. 즉, 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)이 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)를 거치는 동안, 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격 및 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격은 제1 간격보다 커지는 반면, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격은 제1 간격보다 작아질 수 있다.7A, the gap between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 is larger than the first gap by the operation of the first prism portion 110 and the second prism portion 120, The gap between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 may be larger than the first gap by the operation of the third prism unit 130 and the fourth prism unit 140. [ However, in the process of increasing the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 and increasing the interval between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 within a predetermined space, , The gap between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 may be smaller than the first gap. That is, while the plurality of laser beams L1, L2, L3, and L4 pass through the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140, the distance between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 And the gap between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 is larger than the first gap while the gap between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 is larger than the first gap .

이러한 점을 고려하여, 반사부(200)의 제2 반사체(220, 230) 각각이 제1 반사체(210)로부터 멀어지도록 회동될 수 있다. 그에 따라, 제1 반사체(210)와 제2 반사체(220, 230) 사이의 각도가 달라지며, 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격을 유지하고 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격을 유지한 상태에서, 제1, 제2, 제3, 제4 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 위치가 이동된다. 그리하여, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격이 제1 간격보다 크게 조정될 수 있다. 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격은 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격 및 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격과 동일하도록 조정될 수 있다.In this regard, each of the second reflectors 220 and 230 of the reflector 200 may be rotated away from the first reflector 210. The angle between the first reflector 210 and the second reflector 220 and 230 is changed and the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 is maintained, The positions of the first, second, third, and fourth laser beams L11, L21, L31, and L41 are shifted while maintaining the interval between the fourth laser beam L31 and the fourth laser beam L41. Thus, the interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 can be adjusted to be larger than the first interval. The interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 is set to be equal to the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 and the interval between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L31, Lt; RTI ID = 0.0 > L41. &Lt; / RTI >

따라서, 가공 대상물(T)에 조사되는 제1, 제2, 제3 및 제4 레이저 빔(L11, L21, L31, L41) 사이의 간격은 제1 간격보다 큰 제2 간격으로 조정될 수 있다.Therefore, the interval between the first, second, third and fourth laser beams L11, L21, L31, L41 irradiating the object T can be adjusted to a second interval larger than the first interval.

도 7b를 참조하면, 제1 프리즘부(110)과 제2 프리즘부(120)의 작동에 의해 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격이 제1 간격보다 작아지며, 제3 프리즘부(130)와 제4 프리즘부(140)의 작동에 의해 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격이 제1 간격보다 작아질 수 있다. 다만, 정해진 공간 내에서 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격을 감소시키고 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격을 감소시키는 과정에서, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격이 제1 간격보다 커질 수 있다. 즉, 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4)이 복수의 프리즘부(110, 120, 130, 140)를 거치는 동안, 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격 및 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격은 제1 간격보다 작아지는 반면, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격은 제1 간격보다 커질 수 있다.Referring to FIG. 7B, the gap between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 is smaller than the first gap by the operation of the first prism portion 110 and the second prism portion 120 The gap between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 may be smaller than the first gap by operation of the third prism unit 130 and the fourth prism unit 140. [ However, in the process of reducing the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 and reducing the interval between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 within a predetermined space, , And the interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 may be larger than the first interval. That is, while the plurality of laser beams L1, L2, L3, and L4 pass through the plurality of prism portions 110, 120, 130, and 140, the distance between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 And the gap between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L41 becomes smaller than the first gap while the gap between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 becomes smaller than the first gap Spacing.

이러한 점을 고려하여, 반사부(200)의 제2 반사체(220, 230) 각각이 제1 반사체(210)로부터 가까워지도록 회동될 수 있다. 그에 따라, 제1 반사체(210)와 제2 반사체(220, 230) 사이의 각도가 달라지며, 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격을 유지하고 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격을 유지한 상태에서, 제1, 제2, 제3, 제4 레이저 빔(L11, L21, L31, L41)의 위치가 이동된다. 그리하여, 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격이 제1 간격보다 작게 조정될 수 있다. 제2 레이저 빔(L21)과 제3 레이저 빔(L31) 사이의 간격은 제1 레이저 빔(L11)과 제2 레이저 빔(L21) 사이의 간격 및 제3 레이저 빔(L31)과 제4 레이저 빔(L41) 사이의 간격과 동일하도록 조정될 수 있다.In this regard, each of the second reflectors 220 and 230 of the reflector 200 may be rotated so as to be closer to the first reflector 210. The angle between the first reflector 210 and the second reflector 220 and 230 is changed and the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 is maintained, The positions of the first, second, third, and fourth laser beams L11, L21, L31, and L41 are shifted while maintaining the interval between the fourth laser beam L31 and the fourth laser beam L41. Thus, the interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 can be adjusted to be smaller than the first interval. The interval between the second laser beam L21 and the third laser beam L31 is set to be equal to the interval between the first laser beam L11 and the second laser beam L21 and the interval between the third laser beam L31 and the fourth laser beam L31, Lt; RTI ID = 0.0 > L41. &Lt; / RTI >

따라서, 가공 대상물(T)에 조사되는 제1, 제2, 제3 및 제4 레이저 빔(L11, L21, L31, L41) 사이의 간격은 제1 간격보다 작은 제2 간격으로 조정될 수 있다.Therefore, the interval between the first, second, third, and fourth laser beams L11, L21, L31, L41 irradiating the object T can be adjusted to a second interval smaller than the first interval.

상술한 실시예에서는 빔 간격 조절부(30)가 4개의 프리즘부(110, 120, 130, 140)와 반사부(200)를 포함하는 점을 중심으로 설명하였으나, 반드시 이에 한정되지는 아니하며, 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 도 8a와 도 8b와 같이, 빔 간격 조절부(30)는 8개의 프리즘부(110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180)와 반사부(200a)를 가질 수 있다. 반사부(200a)는 프리즘부(110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180)에 의해 출사된 복수의 레이저 빔(L1, L2, L3, L4, L5, L6, L7, L8)을 반사하는 복수의 반사 미러(M)와, 반사 미러(M)에 의해 반사된 레이저 빔(L)을 내부 반사하는 반사체(230)를 포함할 수 있다. 이 때, 반사 미러(M)는 레이저 빔(L)의 조사 방향과 교차하는 방향으로 이동할 수 있다.The beam interval adjusting unit 30 includes the four prism units 110, 120, 130 and 140 and the reflecting unit 200. However, the present invention is not limited to this, . 8A and 8B, the beam interval adjusting unit 30 may have eight prism units 110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180 and a reflecting unit 200a. have. The reflector 200a includes a plurality of laser beams L1, L2, L3, L4, L5, L6, L7, and L8 emitted by the prism portions 110, 120, 130, 140, 150, 160, And a reflector 230 for internally reflecting the laser beam L reflected by the reflection mirror M. The reflector 230 reflects the laser beam L reflected by the reflection mirror M, At this time, the reflection mirror M can move in a direction crossing the irradiation direction of the laser beam L.

이상에서 본 발명의 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 레이저 가공 장치 10 : 레이저 광원
20 : 빔 분할부 21, 22, 23, 24 : 빔 스플리터
30 : 빔 간격 조절부 50 : 테이블
110, 120, 130, 140 : 프리즘부 101, 102,103, 104 : 프리즘
200 : 반사부 210 : 제1 반사체
220, 230 : 제2 반사체 T : 가공 대상물1: laser processing apparatus 10: laser light source
20: beam splitters 21, 22, 23, 24: beam splitter
30: beam interval adjusting unit 50: table
110, 120, 130, 140 prism portions 101, 102, 103, 104 prism
200: reflector 210: first reflector
220, 230: second reflector T: object to be processed

Claims

가공 대상물에 복수의 레이저 빔을 조사하는 레이저 가공 장치로서,
레이저 빔을 생성하는 레이저 광원;
상기 레이저 광원으로부터 입사된 레이저 빔을 제1 간격을 가지는 복수의 레이저 빔으로 분할하는 빔 분할부; 및
상기 빔 분할부에 의해 분할된 복수의 레이저 빔의 간격을 조정하며, 상기 제1 간격과 다른 제2 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 가공 대상물에 조사하는 빔 간격 조절부;를 포함하며,
상기 빔 간격 조절부는,
분할된 상기 복수의 레이저 빔의 경로에 배치되며, 상기 분할된 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시켜, 상기 제1 간격과 다른 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 복수의 프리즘부와,
상기 복수의 프리즘부에 의해 출사된 복수의 레이저 빔을 반사하여 상기 가공 대상물에 조사하는 반사부를 포함하며,
상기 복수의 프리즘부 각각은,
레이저 빔이 입사하는 제1면과, 상기 제1면에 대해 경사지게 배치되며 상기 제1 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제2면을 가지는 제1 프리즘과,
상기 제2면에 평행하게 배치되며 상기 제2면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제3면과, 상기 제3면에 대해 경사지며 상기 제1면과 평행하게 배치되며 상기 제3면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제4면을 가지는 제2 프리즘을 포함하며,
상기 제1 프리즘의 제2면과 상기 제2 프리즘의 제3면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나가 상기 레이저 빔의 이동 경로를 따라 이동 가능하며,
상기 복수의 프리즘부는 4개 이상이며,
상기 4개 이상의 복수의 프리즘부는 중심에 배치된 프리즘부의 크기가 외곽에 배치된 프리즘부의 크기보다 작은, 레이저 가공 장치.A laser processing apparatus for irradiating a plurality of laser beams onto an object to be processed,
A laser light source for generating a laser beam;
A beam splitting unit splitting the laser beam incident from the laser beam source into a plurality of laser beams having a first interval; And
And a beam interval adjusting unit adjusting a distance between the plurality of laser beams divided by the beam splitting unit and irradiating a plurality of laser beams having a second gap different from the first gap to the object,
The beam-
A plurality of prism portions disposed in a path of the plurality of divided laser beams to refract at least a part of the plurality of divided laser beams to emit a plurality of laser beams having an interval different from the first interval,
And a reflecting portion for reflecting a plurality of laser beams emitted by the plurality of prism portions and irradiating the plurality of laser beams to the object,
Wherein each of the plurality of prism portions includes:
A first prism having a first surface on which a laser beam is incident and a second surface obliquely arranged on the first surface and on which a laser beam incident on the first surface is emitted,
A third surface disposed parallel to the second surface and having a laser beam emitted from the second surface to be incident thereon, and a second surface that is inclined with respect to the third surface and is disposed in parallel with the first surface, And a second prism having a fourth surface from which the emitted laser beam is emitted,
Wherein at least one of the first prism and the second prism is movable along the path of movement of the laser beam so that the second surface of the first prism and the third surface of the second prism become closer to or away from each other,
Wherein the plurality of prism portions are four or more,
Wherein a prism portion disposed at a center of the four or more prism portions is smaller than a prism portion disposed at an outer periphery thereof.

제1항에 있어서,
상기 복수의 프리즘부 각각은,
상기 제2 프리즘과 이격 배치되는 것으로써, 상기 제4면을 통해 출사된 레이저 빔이 입사되며 상기 제4면에 평행한 제5면과, 상기 제5면에 대해 경사지며 상기 제2면과 평행하지 않으며 상기 제5 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제6면을 가지는 제3 프리즘과,
상기 제6면에 평행하며 상기 제6면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제7면과, 상기 제7면에 대해 경사지며 상기 제6면과 평행하며 상기 제7면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제8면을 가지는 제4 프리즘을 더 포함하며,
상기 제3 프리즘의 제6면과 상기 제4 프리즘의 제7면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제3 및 제4 프리즘 중 적어도 하나가 이동 가능한, 레이저 가공 장치.The method according to claim 1,
Wherein each of the plurality of prism portions includes:
And a second prism formed on the first prism and spaced apart from the second prism so that a laser beam emitted through the fourth prism is incident and a fifth surface parallel to the fourth surface is inclined with respect to the fifth surface, A third prism having a sixth surface on which the laser beam incident through the fifth surface is emitted,
A seventh surface that is parallel to the sixth surface and on which a laser beam emitted from the sixth surface is incident; a laser beam that is inclined with respect to the seventh surface and is parallel to the sixth surface and is incident through the seventh surface; And a fourth prism having an eighth surface to be emitted,
And at least one of the third prism and the fourth prism is movable so that the sixth surface of the third prism and the seventh surface of the fourth prism are brought close to or away from each other.

삭제delete

제1항에 있어서,
상기 반사부는,
상기 프리즘부를 통해 출사된 복수의 레이저 빔을 반사하는 제1 반사면과,
상기 제1 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제2 반사면과,
상기 제2 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제3 반사면과,
상기 제3 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제4 반사면을 가지는, 레이저 가공 장치.The method according to claim 1,
The reflector includes:
A first reflecting surface for reflecting a plurality of laser beams emitted through the prism portion,
A second reflecting surface for reflecting the laser beam reflected from the first reflecting surface,
A third reflecting surface for reflecting the laser beam reflected from the second reflecting surface,
And a fourth reflecting surface for reflecting the laser beam reflected from the third reflecting surface.

제4항에 있어서,
상기 반사부는,
상기 제1 반사면과 상기 제4 반사면을 가지는 제1 반사체와,
상기 제2 반사면과 상기 제3 반사면을 가지는 제2 반사체를 포함하며,
상기 제2 반사체는 회동 가능하게 배치된, 레이저 가공 장치.5. The method of claim 4,
The reflector includes:
A first reflector having the first reflector and the fourth reflector,
And a second reflector having the second reflective surface and the third reflective surface,
And the second reflector is rotatably arranged.

제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나의 이동에 따라, 상기 제2 간격이 변화하는, 레이저 가공 장치.The method according to claim 1,
And the second gap changes with the movement of at least one of the first and second prisms.

제1항에 있어서,
상기 제1 간격은 10 mm 이하인, 레이저 가공 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first spacing is 10 mm or less.

제7항에 있어서,
상기 제2 간격은 10 mm 미만인, 레이저 가공 장치.8. The method of claim 7,
Said second spacing being less than 10 mm.

제7항에 있어서,
상기 제2 간격은 10 mm 초과인, 레이저 가공 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the second spacing is greater than 10 mm.

제1 간격을 가지는 복수의 레이저 빔의 간격을 조정하여, 상기 제1 간격과 다른 제2 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 빔 간격 조절부를 포함하는 레이저 가공 장치의 광학계로서,
상기 빔 간격 조절부는,
상기 복수의 레이저 빔의 경로에 배치되며, 상기 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시켜, 상기 제1 간격과 다른 간격을 가지는 복수의 레이저 빔을 출사하는 복수의 프리즘부와,
상기 복수의 프리즘부에 의해 출사된 레이저 빔을 반사하는 반사부를 포함하며,
상기 복수의 프리즘부 각각은,
레이저 빔이 입사되는 제1면과, 상기 제1면에 대해 경사지게 배치되며 상기 제1 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제2면을 가지는 제1 프리즘과,
상기 제2면에 평행하게 배치되며 상기 제2면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제3면과, 상기 제3면에 대해 경사지며 상기 제1면과 평행하게 배치되며 상기 제3면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제4면을 가지는 제2 프리즘을 포함하며,
상기 제1 프리즘의 제2면과 상기 제2 프리즘의 제3면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나가 상기 레이저 빔의 이동 경로를 따라 이동 가능하며,
상기 복수의 프리즘부는 4개 이상이며,
상기 4개 이상의 복수의 프리즘부는 중심에 배치된 프리즘부의 크기가 외곽에 배치된 프리즘부의 크기보다 작은, 레이저 가공 장치의 광학계.And a beam interval adjusting section for adjusting the interval of the plurality of laser beams having the first interval to emit a plurality of laser beams having the second interval different from the first interval,
The beam-
A plurality of prism portions disposed in a path of the plurality of laser beams for refracting at least a part of the plurality of laser beams to emit a plurality of laser beams having an interval different from the first interval,
And a reflecting portion for reflecting the laser beam emitted by the plurality of prism portions,
Wherein each of the plurality of prism portions includes:
A first prism having a first surface on which a laser beam is incident and a second surface obliquely arranged with respect to the first surface and on which a laser beam incident on the first surface is emitted,
A third surface disposed parallel to the second surface and having a laser beam emitted from the second surface to be incident thereon, and a second surface that is inclined with respect to the third surface and is disposed in parallel with the first surface, And a second prism having a fourth surface from which the emitted laser beam is emitted,
Wherein at least one of the first prism and the second prism is movable along the path of movement of the laser beam so that the second surface of the first prism and the third surface of the second prism become closer to or away from each other,
Wherein the plurality of prism portions are four or more,
Wherein the four or more prism portions are smaller in size than a prism portion disposed at the outer periphery of the prism portion disposed at the center.

제10항에 있어서,
상기 복수의 프리즘부 각각은,
상기 제2 프리즘과 이격 배치되는 것으로써, 상기 제4면을 통해 출사된 레이저 빔이 입사되며 상기 제4면에 평행한 제5면과, 상기 제5면에 대해 경사지며 상기 제2면과 평행하지 않으며 상기 제5 면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제6면을 가지는 제3 프리즘과,
상기 제6면에 평행하며 상기 제6면으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되는 제7면과, 상기 제7면에 대해 경사지며 상기 제6면과 평행하며 상기 제7면을 통해 입사된 레이저 빔이 출사되는 제8면을 가지는 제4 프리즘을 더 포함하며,
상기 제3 프리즘의 제6면과 상기 제4 프리즘의 제7면이 서로 가까워지거나 멀어지도록 상기 제3 및 제4 프리즘 중 적어도 하나가 이동 가능한, 레이저 가공 장치의 광학계.11. The method of claim 10,
Wherein each of the plurality of prism portions includes:
And a second prism formed on the first prism and spaced apart from the second prism so that a laser beam emitted through the fourth prism is incident and a fifth surface parallel to the fourth surface is inclined with respect to the fifth surface, A third prism having a sixth surface on which the laser beam incident through the fifth surface is emitted,
A seventh surface that is parallel to the sixth surface and on which a laser beam emitted from the sixth surface is incident; a laser beam that is inclined with respect to the seventh surface and is parallel to the sixth surface and is incident through the seventh surface; And a fourth prism having an eighth surface to be emitted,
And at least one of the third prism and the fourth prism is movable so that the sixth surface of the third prism and the seventh surface of the fourth prism are close to or away from each other.

삭제delete

제10항에 있어서,
상기 반사부는,
상기 프리즘부를 통해 출사된 복수의 레이저 빔을 반사하는 제1 반사면과,
상기 제1 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제2 반사면과,
상기 제2 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제3 반사면과,
상기 제3 반사면으로부터 반사된 레이저 빔을 반사하는 제4 반사면을 가지는, 레이저 가공 장치의 광학계.11. The method of claim 10,
The reflector includes:
A first reflecting surface for reflecting a plurality of laser beams emitted through the prism portion,
A second reflecting surface for reflecting the laser beam reflected from the first reflecting surface,
A third reflecting surface for reflecting the laser beam reflected from the second reflecting surface,
And a fourth reflecting surface for reflecting the laser beam reflected from the third reflecting surface.

제13항에 있어서,
상기 반사부는,
상기 제1 반사면과 상기 제4 반사면을 가지는 제1 반사체와,
상기 제2 반사면과 상기 제3 반사면을 가지는 제2 반사체를 포함하며,
상기 제2 반사체는 회동 가능하게 배치된, 레이저 가공 장치의 광학계.14. The method of claim 13,
The reflector includes:
A first reflector having the first reflector and the fourth reflector,
And a second reflector having the second reflective surface and the third reflective surface,
And the second reflector is rotatably arranged.

제10항에 있어서,
상기 제1 및 제2 프리즘 중 적어도 하나의 이동에 따라, 상기 제2 간격이 변화하는, 레이저 가공 장치의 광학계.11. The method of claim 10,
Wherein the second gap changes with the movement of at least one of the first prism and the second prism.

제10항에 있어서,
상기 제1 간격은 10 mm 이하인, 레이저 가공 장치의 광학계.11. The method of claim 10,
Wherein the first interval is 10 mm or less.

제16항에 있어서,
상기 제2 간격은 10 mm 미만인, 레이저 가공 장치의 광학계.17. The method of claim 16,
And wherein the second spacing is less than 10 mm.

제16항에 있어서,
상기 제2 간격은 10 mm 초과인, 레이저 가공 장치의 광학계.17. The method of claim 16,
And the second spacing is greater than 10 mm.

평행하게 입사된 복수의 레이저 빔의 간격을 조절하는 것으로서, 상기 복수의 레이저 빔의 적어도 일부를 굴절시키도록 구성된 복수의 프리즘부가 마련된 빔 간격 조절부를 포함하며,
상기 복수의 프리즘부 각각은,
상기 복수의 레이저 빔 중 어느 하나의 레이저 빔의 이동 경로를 따라 배열되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 제1, 제2 프리즘을 포함하며,
상기 제1 프리즘은 상기 레이저 빔이 입사되며, 입사된 레이저 빔을 굴절시켜 입사각과 다른 각도로 출사시키며,
상기 제2 프리즘은 상기 제1 프리즘으로부터 출사된 레이저 빔이 입사되며, 입사된 레이저 빔을 굴절시켜 입사각과 다른 각도로 출사시키며,
상기 복수의 레이저 빔의 간격을 조절하도록, 상기 제1, 제2 프리즘 중 적어도 하나가 상기 레이저 빔의 이동 경로를 따라 이동 가능하며,
상기 복수의 프리즘부는 4개 이상이며, 상기 복수의 레이저 빔의 경로에 배치되며,
상기 4개 이상의 복수의 프리즘부는 중심에 배치된 프리즘부의 크기가 외곽에 배치된 프리즘부의 크기보다 작은, 레이저 가공 장치.And a beam gap adjusting unit having a plurality of prism portions configured to refract at least a part of the plurality of laser beams to adjust the intervals of the plurality of parallel laser beams,
Wherein each of the plurality of prism portions includes:
And a first prism and a second prism arranged along a movement path of any one of the plurality of laser beams and transmitting the laser beam,
The first prism refracts the incident laser beam and emits the laser beam at an angle different from the incident angle,
The second prism reflects a laser beam emitted from the first prism and emits the laser beam at an angle different from the incident angle,
At least one of the first and second prisms is movable along the movement path of the laser beam so as to adjust the interval of the plurality of laser beams,
Wherein the plurality of prism portions are four or more and arranged in a path of the plurality of laser beams,
Wherein a prism portion disposed at a center of the four or more prism portions is smaller than a prism portion disposed at an outer periphery thereof.

제19항에 있어서,
상기 제1 프리즘에 입사된 레이저 빔과 상기 제2 프리즘으로부터 출사된 레이저 빔은 서로 평행한, 레이저 가공 장치.20. The method of claim 19,
Wherein the laser beam incident on the first prism and the laser beam emitted from the second prism are parallel to each other.