KR101891926B1 - Remote control system for automation equipment - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
- G08B21/18—Status alarms
- G08B21/182—Level alarms, e.g. alarms responsive to variables exceeding a threshold
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- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B25/00—Alarm systems in which the location of the alarm condition is signalled to a central station, e.g. fire or police telegraphic systems
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- H—ELECTRICITY
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- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/20—Pc systems
- G05B2219/23—Pc programming
- G05B2219/23051—Remote control, enter program remote, detachable programmer
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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Abstract
Description
본 발명은 자동화 설비 원격 제어 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 자동화 설비의 이상 동작을 모니터링하여 제어하는 자동화 설비 원격 제어 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
일반적으로 원격 제어 시스템은 자동화된 기기로부터 멀리 떨어진 곳에서 유선 또는 무선의 통신로를 이용하여, 자동화기기를 제어하는 시스템을 말하며, RCS를 활용하여, 컴퓨터 화면의 영상을 원거리로 전송하는 방법은 고객지원 애프터서비스 또는 원격서버 관리 등에 많이 사용되며, 특히 반도체 자동화 설비 제어에 많이 주로 사용된다. Generally, a remote control system is a system for controlling an automation device using a wired or wireless communication path from an automated device, and a method for remotely transmitting an image of a computer screen using RCS is a customer It is mainly used for support after-sales service or remote server management, and is mainly used for control of semiconductor automation equipment.
그러나, CIM(Computer Integrated Manufacturing) 통신을 하지 않는 반도체 자동화 설비를 포함하여 설비의 신호탑(Signal Tower) 알림 정보를 원격지에서 직접 확인하지 못하고 있는 실정이다. 또한 기존의 오래된 반도체 자동화 설비는 CIM 프로그램 개조나 설비 메이커의 협조가 어려워 신호탑 알림 정보를 해당 설비에서는 확인하지만 원격지에서 자동알람 감지를 통한 모니터링이 불가능하다.However, it is not possible to directly confirm the signal tower notification information of a facility from a remote location including a semiconductor automation facility that does not perform CIM (Computer Integrated Manufacturing) communication. In addition, it is difficult to remodel the old semiconductor automation equipment and to cooperate with the equipment maker. Therefore, it is impossible to monitor the signaling tower information at the facility but it can not be monitored by automatic alarm detection at the remote site.
그리고, 반도체 자동화 설비의 터치패널이나 PC를 원격제어시 해당 설비에서 작업자에 의한 추가 조작이 일어날 수 있으며, 다른 원격지에서도 접속이 가능 할 수 있어 보안에 문제점이 있다.Further, when the remote control of the touch panel or the PC of the semiconductor automation equipment is performed, additional operation by the operator may occur at the facility, and the remote control can be connected at other remote places, which poses a security problem.
또한, 반도체 자동화 설비내 IP카메라를 통하여 영상을 실시간으로 기계동작에 대해 모니터링하고 영상저장을 하지만, 이상 동작시 알람을 발생하지 못하고 또한 이상동작 지점에 대해 별도의 영상을 블랙박스 형태로 저장하지 못해, 이후 불량지점 확인시 불량시점을 찾는데 어려움이 발생되는 문제점이 있다.In addition, the image is monitored and the image is stored in real time through the IP camera in the semiconductor automation facility. However, the alarm can not be generated in the abnormal operation, and a separate image can not be stored in the black box form , And there is a problem in that it is difficult to find a defective point when the defective point is confirmed.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 신호탑(Signal Tower)의 알람 정보를 원격지에서 자동 감지를 통해 모니터링하는 자동화 설비 원격 제어 시스템을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an automatic equipment remote control system for monitoring alarm information of a signal tower through automatic detection from a remote location.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 원격제어 중에 작업자에 의한 추가조작이나 다른 원격지에서 접속을 할 수 없도록 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템을 제공하는 데 있다.It is another object of the present invention to provide an automatic equipment remote control system that can not be operated by an operator or remote from other remote locations during remote control.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 기계동작에 대한 영상저장을 효율적으로 활용할 수 있도록 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템을 제공하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide an automatic equipment remote control system that enables efficient use of image storage for machine operation.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 자동화 설비 원격 제어 시스템은 반도체 자동화 설비에서 이상 동작 발생시 신호탑에서 발생하는 알람 정보를 수신하는 I/O모듈; 상기 반도체 자동화 설비를 원격지에서 제어시 추가 원격제어가 불가능하도록 하는 OSD(On Screen Display) 젠더; 상기 반도체 자동화 설비내에 설치된 IP카메라를 통하여 기계동작을 영상저장하여 이상 동작시 별도의 영상을 저장하는 블랙박스; 상기 I/O모듈, 상기 OSD 젠더, 및 상기 블랙박스의 정보를 송신하고 제어하는 MCS(Machine Control System); 및 상기 MCS를 통해 정보를 수신하여 반도체 자동화 설비의 이상 동작을 확인하고 제어하는 원격컴퓨터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an automation equipment remote control system including an I / O module for receiving alarm information generated in a signal tower when an abnormal operation occurs in a semiconductor automation equipment; An OSD (On Screen Display) gender for making it impossible to perform remote control when controlling the semiconductor automation equipment at a remote place; A black box for storing an image of a machine operation through an IP camera installed in the semiconductor automation equipment and storing a separate image upon abnormal operation; An MCS (Machine Control System) for transmitting and controlling information of the I / O module, the OSD gender, and the black box; And a remote computer for receiving information through the MCS and confirming and controlling abnormal operation of the semiconductor automation equipment.
상기 신호탑에서 발생하는 알람 정보는 원격컴퓨터에서 실시간으로 모니터링하는 것을 특징으로 한다.And alarm information generated in the signal tower is monitored in real time by a remote computer.
상기 OSD 젠더는 반도체 자동화 설비의 터치패널이나 PC를 원격컴퓨터에서 제어시 현장 작업자가 추가 조작을 할 수 없도록 블랙 스크린을 이용하여 차단하는 것을 특징으로 한다.The OSD gender is cut off using a black screen so that a field worker can not perform additional operations when a touch panel or a PC of a semiconductor automation equipment is controlled by a remote computer.
상기 OSD 젠더는 원격컴퓨터에서 다중 접속시 이를 차단하여 최초 접속 원격지에서 원격이 끝날 때까지 추가 원격 제어가 불가하도록 하는 것을 특징으로 한다.Wherein the OSD gender is configured to block the multiple connection at the remote computer so that additional remote control is disabled until the end of the remote from the initial connection remote.
상기 블랙박스는 원격컴퓨터에 입력되어 있는 기계의 정상동작 패턴과 IP카메라를 통하여 촬영한 기계동작 영상을 일정 주기로 비교하여 패턴이 서로 다를시 알람이 울리면서 동시에 별도의 영상을 저장하여 추후 불량 지점과 시점을 확인하는 것을 특징으로 한다.The black box compares the normal operation pattern of the machine input to the remote computer with the machine operation image captured by the IP camera at regular intervals, and when the patterns are different from each other, a separate alarm is sounded at the same time, And the time is confirmed.
상기와 같이, 본 발명에 따르면 신호탑의 알람 정보를 모니터링하여 반도체 자동화 설비의 이상 동작을 원격지에서 확인할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, there is an advantage that the abnormal operation of the semiconductor automation equipment can be confirmed at a remote location by monitoring the alarm information of the signal tower.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 원격제어 중에 작업자에 의한 추가조작이나 다른 원격지에서 접속을 할 수 없도록 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템을 제공하는 데 있다.It is another object of the present invention to provide an automatic equipment remote control system that can not be operated by an operator or remote from other remote locations during remote control.
또한, 본 발명에 따르면 원격제어 중에 작업자에 의한 추가조작이나 다른 원격지에서 접속을 할 수 없도록 하여 반도체 자동화 설비를 제어할 수 있는 장점이 있다. Further, according to the present invention, it is possible to control the semiconductor automation facility by making it impossible to perform additional operation by a worker or remote access from a remote place during remote control.
또한, 본 발명에 따르면 기계동작에 대한 영상저장을 효율적으로 활용하여 보다 빠르게 반도체 자동화 설비의 이상 동작을 판단하여 실시간으로 공정을 제어할 수 있는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to control the process in real time by judging the abnormal operation of the semiconductor automation equipment more efficiently by efficiently utilizing the image storage for the machine operation.
도 1은 본 발명에 따른 자동화 설비 원격 제어 시스템의 블록도를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 신호탑 케이블에서 분리된 I/O모듈 케이블을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 OSD 젠더를 통해 블랙 스크린을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 블랙박스에 저장된 영상을 나타낸 도면이다.1 is a block diagram of an automation equipment remote control system according to the present invention.
2 is a view of an I / O module cable separated from a signal tower cable according to the present invention.
3 is a view illustrating a black screen through an OSD gender according to the present invention.
4 is a view illustrating an image stored in a black box according to the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.
이하에서는 본 발명의 자동화 설비 원격 제어 시스템에 대한 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the automation equipment remote control system of the present invention will be described in detail.
도 1은 본 발명의 일실시예 따른 자동화 설비 원격 제어 시스템의 블록도를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 신호탑 케이블에서 분리된 I/O모듈 케이블을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 OSD 젠더를 통해 블랙 스크린을 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 블랙박스에 저장된 영상을 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a block diagram of an automation equipment remote control system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view of an I / O module cable separated from a signal tower cable according to the present invention. FIG. 4 is a diagram illustrating an image stored in a black box according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
도 1 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 자동화 설비 원격 제어 시스템은 반도체 자동화 설비(10)에 장착하는 I/O모듈(30), OSD(On Screen Display) 젠더(40), 및 블랙박스(50)와, 상기 I/O모듈(30), OSD(On Screen Display) 젠더(40), 블랙박스(50)를 제어하는 MCS(Machine Control System, 60), 및 원격컴퓨터(70)를 포함하여 구성할 수 있다. 1 and 4, an automatic equipment remote control system according to the present invention includes an I /
상기 I/O모듈(30)은 반도체 자동화 설비(10)에서 이상 동작이 발생하면 신호탑(Signal Tower)에서 발생하는 알람 정보를 수신한다. 이때, 수신한 알람 신호는 MCS(60)를 통해 네트워크로 원격컴퓨터(70)에서 실시간 알람 모니터링을 할 수 있으며, 원격제어를 통해 해당 설비의 카메라에 접속하여 현장 확인을 하고 동시에 설비의 터치패널에 원격으로 접속하여 설비 에러를 조기에 조치할 수 있다. 여기서, I/O모듈(30)은 도 2와 같이 신호탑 케이블(21)에 I/O모듈 케이블(22)이 분리되어 연결된다. The I /
상기 OSD 젠더(40)는 반도체 자동화 설비(10)를 원격컴퓨터(70)에서 제어시 추가 원격제어가 불가능하도록 할 수 있다. 즉, 상기 OSD 젠더(40)는 반도체 자동화 설비(10)의 터치패널(41)이나 PC를 원격제어시 해당 설비에서 작업자에 의한 추가 조작을 할 수 없도록 도 3과 같이 블랙 스크린(Black Screen, 42)을 이용하여 차단하며, 원격컴퓨터(70)에서 다중 접속시 이를 차단하여 최초 접속 원격지에서 원격이 끝날 때까지 추가 원격 제어가 불가하여 보안 문제를 해결할 수 있다.The OSD
상기 블랙박스(50)는 반도체 자동화 설비(10)내에 설치된 IP카메라를 통하여 도 4와 같이 기계동작을 영상저장하고, 기계동작이 이상 동작시 알람을 발생하면서 동시에 이상 동작 지점에 대해 별도의 영상을 저장하여 이후 불량 지점과 시점을 찾을 수 있다. The
즉, 원격컴퓨터(70)에 입력되어 있는 기계의 정상동작 패턴과 IP카메라를 통하여 촬영한 기계동작을 영상저장하면서 일정 주기로 비교하여 패턴이 서로 다를시 알람이 울리면서 동시에 별도의 영상을 저장하여 추후 불량 지점과 시점을 확인할 수 있다. 여기서, 일정주기는 10초 내지 1분이고, 이에 한정하지 않는다.In other words, the normal operation pattern of the machine inputted to the
상기 MCS(60)는 I/O모듈(30), OSD 젠더(40), 및 블랙박스(50)의 정보를 송신하고 원격컴퓨터(70)를 통해 제어할 수 있다.The MCS 60 may transmit information of the I /
이상에서 설명한 본 발명은 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is not.
10: 반도체 자동화 설비 20: 신호탑
30: I/O모듈 40 : OSD 젠더
50: 블랙박스 60: 블랙박스
70: 원격컴퓨터 10: Semiconductor automation equipment 20: signal tower
30: I / O module 40: OSD gender
50: black box 60: black box
70: remote computer
Claims (5)
상기 반도체 자동화 설비를 원격지에서 제어시 추가 원격제어가 불가능하도록 하는 OSD(On Screen Display) 젠더;
상기 반도체 자동화 설비내에 설치된 IP카메라를 통하여 기계동작을 영상저장하여 이상 동작시 별도의 영상을 저장하는 블랙박스;
상기 I/O모듈, 상기 OSD 젠더, 및 상기 블랙박스의 정보를 송신하고 제어하는 MCS(Machine Control System); 및
상기 MCS를 통해 정보를 수신하여 반도체 자동화 설비의 이상 동작을 확인하고 제어하는 원격컴퓨터;를 포함하되,
상기 OSD 젠더는 반도체 자동화 설비의 터치패널이나 PC를 원격컴퓨터에서 제어시 현장 작업자가 추가 조작을 할 수 없도록 블랙 스크린을 이용하여 차단하는 것을 특징으로 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템.An I / O module for receiving alarm information generated in a signal tower when an abnormal operation occurs in a semiconductor automation facility;
An OSD (On Screen Display) gender for making it impossible to perform remote control when controlling the semiconductor automation equipment at a remote place;
A black box for storing an image of a machine operation through an IP camera installed in the semiconductor automation equipment and storing a separate image upon abnormal operation;
An MCS (Machine Control System) for transmitting and controlling information of the I / O module, the OSD gender, and the black box; And
And a remote computer receiving the information through the MCS to confirm and control an abnormal operation of the semiconductor automation equipment,
Wherein the OSD gender is cut off using a black screen so that a field worker can not perform additional operations when a touch panel or a PC of a semiconductor automation facility is controlled by a remote computer.
상기 신호탑에서 발생하는 알람 정보는 원격컴퓨터에서 실시간으로 모니터링하는 것을 특징으로 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the alarm information generated in the signal tower is monitored in real time by a remote computer.
상기 OSD 젠더는 원격컴퓨터에서 다중 접속시 이를 차단하여 최초 접속 원격지에서 원격이 끝날 때까지 추가 원격 제어가 불가하도록 하는 것을 특징으로 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템. The method according to claim 1,
Wherein the OSD gender is configured to block the multiple connections from the remote computer so that additional remote control is disabled until the end of the remote from the initial connection remote.
상기 블랙박스는 원격컴퓨터에 입력되어 있는 기계의 정상동작 패턴과 IP카메라를 통하여 촬영한 기계동작 영상을 일정 주기로 비교하여 패턴이 서로 다를시 알람이 울리면서 동시에 별도의 영상을 저장하여 추후 불량 지점과 시점을 확인하는 것을 특징으로 하는 자동화 설비 원격 제어 시스템.The method according to claim 1,
The black box compares the normal operation pattern of the machine input to the remote computer with the machine operation image captured by the IP camera at regular intervals, and when the patterns are different from each other, a separate alarm is sounded at the same time, The remote control system comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170098406A KR101891926B1 (en) | 2017-08-03 | 2017-08-03 | Remote control system for automation equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170098406A KR101891926B1 (en) | 2017-08-03 | 2017-08-03 | Remote control system for automation equipment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101891926B1 true KR101891926B1 (en) | 2018-08-24 |
Family
ID=63454199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170098406A KR101891926B1 (en) | 2017-08-03 | 2017-08-03 | Remote control system for automation equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101891926B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114038167A (en) * | 2021-10-26 | 2022-02-11 | 深圳市华安泰智能科技有限公司 | AI intelligent image recognition analysis early warning system |
KR102379655B1 (en) | 2021-09-03 | 2022-03-30 | (주)천후 | A method of diagnosing manufacturing of semiconductor |
-
2017
- 2017-08-03 KR KR1020170098406A patent/KR101891926B1/en active IP Right Grant
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GRNT | Written decision to grant |