KR101891731B1 - Flexible heater - Google Patents

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Abstract

According to one embodiment of the present invention, a flexible heater can effectively prevent a cold spot. The flexible heater comprises: a tubular liner guiding movement of various gases generated in a manufacturing process; an inner bellows surrounding the outer side of the liner, a heating wire provided in a spiral shape along a longitudinal direction at the outer periphery of the inner bellows; an outer bellows surrounding the outer side of the inner bellows provided with the heating wire; a cylindrical flange cover connected to an end of the outer bellows; a flange pipe having one end connected to an end of the liner and the other end disposed that the other end penetrates the end of the flange pipe and the end of the flange pipe is exposed to the outside of the flange cover; and a flange reducer disposed at the other end of the flange pipe and connected to a device for discharging or sucking the gas.

Description

플렉시블 히터 {FLEXIBLE HEATER}FLEXIBLE HEATER

본 발명은 플렉시블 히터에 관한 것으로서, 더 상세하게는 플렉시블 히터의 양단부에 콜드 스팟(cold spot)의 발생을 방지할 수 있고, 온도 감지 구조를 개선하여 플렉시블 히터의 온도를 안정적으로 감지할 수 있는 플렉시블 히터에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible heater, and more particularly, to a flexible heater capable of preventing the generation of cold spots at both ends of the flexible heater and improving the temperature sensing structure, thereby flexibly detecting the temperature of the flexible heater Heater.

일반적으로, 반도체나 전자 부품 등의 제조 공정에서는 프로세스 챔버에서 반응 가스나 공정 가스를 사용하고, 특정 공정이 완료되면 잔류 가스나 반응 부산물을 배기 라인을 통해 배출한다. Generally, a reaction gas or a process gas is used in a process chamber in a manufacturing process of a semiconductor or an electronic part, and the residual gas or reaction by-products are discharged through an exhaust line when a specific process is completed.

도 1에는 일반적인 반도체의 제조공정에서 배기되는 가스(G)의 배출 과정이 개략적으로 도시되어 있다.FIG. 1 schematically shows a process of discharging a gas G exhausted in a general semiconductor manufacturing process.

도 1에 도시된 바와 같이, 통상의 화학기상증착 설비에서는 화학기상증착 공정 수행 후 프로세스 챔버(10)로부터 배기되는 가스(G)는 배기 라인(30)을 통해서 가스 세정기(20)로 배출된다. 프로세스 챔버(10)에 구비된 진공 펌프(12)는 배기 가스(G)를 흡입한 후 배기 라인(30)을 따라 가스 세정기(20)로 압송하고, 가스 세정기(20)는 배기 라인(30)을 통해 유입되는 배기 가스(G)를 처리한다.1, the gas G discharged from the process chamber 10 after the chemical vapor deposition process is discharged to the gas scrubber 20 through the exhaust line 30 in a conventional chemical vapor deposition system. The vacuum pump 12 provided in the process chamber 10 sucks the exhaust gas G and feeds the gas to the gas scrubber 20 along the exhaust line 30. The gas scrubber 20 is connected to the exhaust line 30, The exhaust gas G is exhausted through the exhaust gas recirculation passage.

그런데, 배기 가스(G)가 배기 라인(30)을 통과하는 과정에서 배기 라인(30)의 내부에 미세한 분진 형태의 파우더가 생성되는 문제가 있었다. 상기와 같은 파우더가 배기 라인(30)의 내벽에 응축되면 배기압의 저하에 따른 설비 에러가 발생하고, 배기 라인(30)이 파우더에 의해 막히면 배기 가스(G)가 역류하여 공정 불량을 일으키며, 뿐만 아니라 진공 펌프의 성능 저하 문제도 유발한다.However, in the process of exhaust gas G passing through the exhaust line 30, there has been a problem that fine dust-like powder is generated in the exhaust line 30. If the powder is condensed on the inner wall of the exhaust line 30, a facility error occurs due to a decrease in the exhaust pressure. If the exhaust line 30 is clogged by the powder, the exhaust gas G flows backward, In addition, the performance of the vacuum pump is deteriorated.

한편, 배기 라인(30)을 따라 이동되는 배기 가스(G)의 온도가 설정 온도 범위 이하로 낮아지는 경우에 파우더의 발생이 증가하는 것으로 확인되었으며, 배기 라인(30)을 따라 이동되는 배기 가스(G)의 온도가 설정 온도 범위로 유지되는 경우에 파우더의 발생이 줄어드는 것으로 확인되었다.On the other hand, it has been confirmed that the generation of powder increases when the temperature of the exhaust gas G moved along the exhaust line 30 is lowered to the set temperature range or less, and the exhaust gas G) was kept within the set temperature range, it was confirmed that the generation of powder was reduced.

또한, 배기 라인(30)은 프로세스 챔버(10)와 가스 세정기(20)의 설치 위치에 따라 직선 형상이 아닌 곡선 형상으로 형성되기도 한다. 그런데, 배기 라인(30)의 특정 부위를 꺾는 형상으로 절곡시키면 배기 라인(30)의 절곡부에서 파우더의 발생이 증가하기 때문에 배기 라인(30)을 부드러운 곡선 형상으로 절곡시킬 필요성이 있다.The exhaust line 30 may be formed in a curved shape rather than a linear shape depending on the installation position of the process chamber 10 and the gas scrubber 20. [ However, if the specific portion of the exhaust line 30 is bent in a folded shape, generation of powder in the bent portion of the exhaust line 30 is increased, so that it is necessary to bend the exhaust line 30 into a smooth curved shape.

상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여, 최근에는 절곡 기능과 함께 배기 가스(G)의 가열 기능을 구비한 플렉시블 히터가 배기 라인(30)으로 사용되고 있다. 상기와 같은 플렉시블 히터는, 다중 주름관 형상으로 형성하여 원활하게 절곡 가능하며, 발열선을 내부에 구비하고 있어서 발열선의 열을 이용하여 배기 가스(G)의 온도 조절이 가능하다. In order to solve the above problems, a flexible heater having a function of heating the exhaust gas G together with a bending function has recently been used as the exhaust line 30. The flexible heater as described above is formed in the form of a multi-pleated tube and can bend smoothly. Since the heating element has a heating line therein, the temperature of the exhaust gas G can be controlled by using the heat of the heating line.

플렉시블 히터의 연구 개발이 최근에 활발하게 진행되고 있다. 예를 들면, 한국등록특허 제10-1530612호 (발명의 명칭: 히팅 파이프의 온도제어 시스템, 등록일: 2015.06.16)에는, 반도체 제조공정의 배기라인에 적용되며 파우더 발생을 감소시킬 수 있도록 발열기능을 구비한 히팅 파이프의 온도제어 시스템이 개시되어 있다. Research and development of flexible heaters have been actively conducted recently. For example, in Korean Patent No. 10-1530612 entitled " Temperature Control System of Heating Pipe, Date May 2015.06.16 ", it is applied to an exhaust line of a semiconductor manufacturing process, and a heating function A temperature control system for a heating pipe is provided.

한편, 기존에는 플렉시블 히터의 양단부가 진공 펌프(12)와 가스 세정기(20)에 관이음 방식으로 연통되게 연결되므로, 플렉시블 히터의 양단부는 다른 부위보다 발열선의 설치 공간을 확보하는 것이 어렵기 때문에 플렉시블 히터의 양단부에 충분한 온도로 가열되지 않는 콜드 스팟(cold spot)이 발생되기도 한다.On the other hand, since both ends of the flexible heater are connected to the vacuum pump 12 and the gas scrubber 20 so as to communicate with each other in a pipe-fitting manner, it is difficult to secure the installation space of the heating wire at both ends of the flexible heater, Cold spots that are not heated to a sufficient temperature may be generated at both ends of the heater.

상기와 같은 콜드 스팟은 플렉시블 히터의 양단부 중에서 발열선에 의해 충분히 가열되지 않은 영역을 지칭한다. 콜드 스팟에서는 플렉시블 히터의 온도가 적정 온도 이하로 떨어진 상태이므로, 파우더의 생성이 발생하고, 파우더의 발생량도 증가한다.The cold spot as described above refers to a region that is not sufficiently heated by the heating wire among both ends of the flexible heater. In the cold spot, since the temperature of the flexible heater is lowered to an appropriate temperature or lower, generation of powder occurs, and the amount of powder generated also increases.

만약, 플렉시블 히터의 양단부에 발열선을 추가로 설치하는 경우에는, 발열선의 추가 설치를 위한 공간 확보로 인하여 플렉시블 히터의 양단부를 비정상적으로 크게 제작해야만 하고, 뿐만 아니라 발열선을 추가로 설치함에 따른 제작 비용과 조립 공수의 증가를 유발한다. 또한, 상기와 같은 플렉시블 히터의 양단부에 온도 감지 기구를 배치하는 경우에는, 발열선이 온도 감지 기구에 접촉하여 온도 감지 기구의 손상이나 성능 저하를 유발할 가능성도 있다.If a heating line is additionally provided at both ends of the flexible heater, both ends of the flexible heater must be made abnormally large due to the space for additional installation of the heating line. In addition, Which causes an increase in the number of assembly operations. In addition, when the temperature sensing mechanism is disposed at both ends of the flexible heater as described above, there is a possibility that the heating wire comes into contact with the temperature sensing mechanism and may cause damage or deterioration of the temperature sensing mechanism.

본 발명의 실시예는, 진공 펌프와 가스 세정기 등과 같은 장치에 연결되는 플렉시블 히터의 양단부에 발열선을 적절하게 배치하여 플렉시블 히터의 양단부에 콜드 스팟의 발생을 효과적으로 방지할 수 있는 플렉시블 히터를 제공한다. Embodiments of the present invention provide a flexible heater capable of effectively preventing generation of cold spots at both ends of a flexible heater by suitably disposing a heating wire at both ends of a flexible heater connected to a device such as a vacuum pump and a gas scrubber.

또한, 본 발명의 실시예는, 플렉시블 히터의 양단부에 발열선의 배치 공간을 원활하게 확보할 수 있고, 플렉시블 히터의 양단부에 발열선을 배치함에 따른 제작 비용 및 부품수의 증가를 최소화시킬 수 있는 플렉시블 히터를 제공한다.The embodiments of the present invention are also applicable to a flexible heater capable of ensuring a space for arranging the heating wires at both ends of the flexible heater smoothly and minimizing the production cost and the increase in the number of parts due to the arrangement of the heating wires at both ends of the flexible heater Lt; / RTI >

또한, 본 발명의 실시예는, 플렉시블 히터의 양단부에 배치된 온도 감지 기구와 발열선의 접촉으로 인한 온도 감지 오류 및 부품 파손을 미연에 방지할 수 있는 플렉시블 히터를 제공한다.The embodiments of the present invention also provide a flexible heater capable of preventing a temperature sensing error and a component breakage due to contact between a temperature sensing mechanism disposed at both ends of the flexible heater and a heating wire.

본 발명의 일실시예에 따르면, 제조 공정에서 발생되는 각종 가스의 이동을 안내하는 관 형상의 라이너, 상기 라이너의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 내측 벨로우즈, 상기 내측 벨로우즈의 외주부에 길이 방향을 따라 나선 형상으로 마련된 발열선, 상기 발열선이 마련된 상기 내측 벨로우즈의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 외측 벨로우즈, 상기 외측 벨로우즈의 단부에 연결되는 원통 형상의 플렌지 커버, 상기 라이너의 단부에 일단부가 연결되고, 상기 플렌지 커버의 외측으로 노출되도록 상기 플렌지 커버의 단부에 타단부가 관통되게 배치된 플렌지 파이프, 및 상기 플렌지 파이프의 타단부에 배치되고, 상기 가스를 토출하거나 흡입하기 위한 장치에 연결되는 플렌지 리듀서를 포함하는 플렉시블 히터를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a liner comprising: a tubular liner for guiding movement of various gases generated in a manufacturing process; an inner bellows in the form of a bell-shaped tube surrounding the outer side of the liner; A flange cover which is connected to an end of the outer bellows, and a flange cover which is connected to one end of the flange cover and which is connected to an end of the outer bellows, And a flange reducer disposed at the other end of the flange pipe and connected to a device for discharging or sucking the gas. The flange pipe is connected to an end of the flange cover so as to be exposed to the outside of the flange cover, Provides a heater.

여기서, 상기 발열선은 상기 플렌지 커버와 상기 플렌지 파이프 사이에 형성된 내부 공간으로 연장 형성되어 상기 플렌지 파이프의 외주부에 길이 방향을 따라 나선 형상으로 마련될 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는, 상기 발열선이 마련되는 상기 내부 공간의 크기를 최대로 확장시킬 수 있고, 상기 플렌지 리듀서의 크기도 원활하게 감소시킬 수 있다. 그로 인하여, 상기 플렌지 파이프와 상기 플렌지 커버 중에서 상기 발열선에 의해 가열되지 않는 영역을 저감시켜 콜드 스팟의 발생을 미연에 방지할 수 있다.Here, the heating line may extend from an inner space formed between the flange cover and the flange pipe, and may be formed in a spiral shape along the longitudinal direction on the outer peripheral portion of the flange pipe. Therefore, in the present embodiment, the size of the internal space in which the heating line is provided can be maximally expanded, and the size of the flange reducer can be smoothly reduced. Therefore, the area of the flange cover and the flange cover which is not heated by the heating line can be reduced, thereby preventing the generation of cold spots in advance.

일측면에 따르면, 상기 플렌지 파이프의 타단부는, 상기 플렌지 리듀서의 설치 길이를 확보함과 아울러 상기 플렌지 커버의 단부와 상기 플렌지 리듀서 사이에 형성되는 이격 길이를 감소시키도록 상기 플렌지 커버의 단부에 돌출 길이로 노출되게 배치될 수 있다.According to one aspect of the present invention, the other end of the flange pipe is provided with a protrusion on the end of the flange cover so as to secure the installation length of the flange reducer and to reduce a distance formed between the end of the flange cover and the flange reducer. Lt; / RTI >

일측면에 따르면, 상기 발열선은 상기 내측 벨로우즈의 외주부보다 상기 플렌지 파이프의 외주부에서 단위 길이당 감기는 회수가 더 증가될 수 있다.According to an aspect of the present invention, the number of turns of the heating wire per unit length at the outer peripheral portion of the flange pipe may be further increased than the outer peripheral portion of the inner bellows.

일측면에 따르면, 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터는, 상기 플렌지 파이프의 온도를 실시간으로 감지하도록 상기 플렌지 파이프의 외주부에 배치된 온도 감지 기구를 더 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, the flexible heater according to an embodiment of the present invention may further include a temperature sensing mechanism disposed at an outer periphery of the flange pipe to detect the temperature of the flange pipe in real time.

상기 발열선은 상기 발열선은 임의 유동에 의한 상기 온도 감지 기구와의 접촉을 방지하도록 상기 플렌지 파이프의 외주부에 고정될 수 있다.The heating line may be fixed to an outer circumferential portion of the flange pipe to prevent the heating line from being in contact with the temperature sensing mechanism due to any flow.

상기 온도 감지 기구는, 상기 플렌지 파이프의 외주부에 고정된 센서 하우징, 상기 센서 하우징에 형성된 수납 공간에 수납되고 상기 플렌지 파이프의 온도를 감지하는 온도 센서, 및 상기 플렌지 커버에 관통되게 배치되어 상기 온도 센서에 신호 전달 가능하게 연결되는 연결 케이블을 포함할 수 있다.The temperature sensing mechanism includes a sensor housing fixed to an outer periphery of the flange pipe, a temperature sensor housed in a storage space formed in the sensor housing and sensing a temperature of the flange pipe, And a connection cable that is connected in a signal-transferable manner.

여기서, 상기 센서 하우징은, 상기 플렌지 파이프의 외주부에 감긴 상기 발열선의 감김 간격보다 작은 크기의 박스 형상으로 형성되어 상기 발열선의 감김 간격 사이에 배치될 수 있다.Here, the sensor housing may be formed in a box shape having a size smaller than the winding interval of the heating wire wound around the outer peripheral portion of the flange pipe, and may be disposed between the winding intervals of the heating wire.

그리고, 상기 수납 공간의 형상과 크기는, 상기 온도 센서가 상기 수납 공간의 내부에 수납된 상태에서 유동되지 않도록 상기 온도 센서의 형상과 크기에 대응되게 형성될 수 있다.The shape and size of the storage space may be formed to correspond to the shape and size of the temperature sensor so that the temperature sensor does not flow in a state accommodated in the storage space.

또한, 상기 수납 공간은 상기 센서 하우징의 내부에 형성될 수 있다. 이 경우에는, 상기 센서 하우징의 일측에는 상기 수납 공간과 연통되는 케이블 홀부가 형성될 수 있고, 상기 연결 케이블의 단부는 상기 케이블 홀부에 삽입되어 상기 온도 센서에 연결될 수 있다.Also, the storage space may be formed inside the sensor housing. In this case, a cable hole communicating with the accommodating space may be formed on one side of the sensor housing, and an end of the connecting cable may be inserted into the cable hole and connected to the temperature sensor.

상기와 다르게, 상기 수납 공간은 상기 센서 하우징의 일측에 홈 형상으로 형성될 수 있다. 이 경우에는, 상기 센서 하우징의 타측에는 상기 수납 공간에 삽입된 상태로 상기 온도 센서를 고정시키기 위한 센서 고정 부재가 배치될 수 있고, 상기 연결 케이블의 단부는 상기 수납 공간의 입구를 통해 상기 상기 온도 센서에 연결될 수 있다.Alternatively, the storage space may be formed in a groove shape on one side of the sensor housing. In this case, a sensor fixing member for fixing the temperature sensor may be disposed on the other side of the sensor housing in a state of being inserted into the storage space, and an end of the connection cable is connected to the temperature Can be connected to the sensor.

한편, 상기 플렌지 커버에는 상기 연결 케이블이 관통되게 체결 고정되기 위한 케이블 장착부가 형성될 수 있다. 상기 케이블 장착부는 상기 플렌지 커버의 직경 방향으로 상기 센서 하우징과 서로 마주보는 위치에 배치될 수 있다.Meanwhile, the flange cover may be formed with a cable mounting portion for fastening and fixing the connection cable. The cable mounting portion may be disposed at a position facing the sensor housing in the radial direction of the flange cover.

일측면에 따르면, 상기 온도 감지 기구는 상기 플렌지 파이프의 외주부에 감긴 상기 발열선의 감김 간격 사이에 배치될 수 있다. 상기 발열선은 고정 부재에 의해서 상기 플렌지 파이프의 외주부에 고정될 수 있다. According to an aspect of the present invention, the temperature sensing mechanism may be disposed between a winding interval of the heating wire wound around an outer peripheral portion of the flange pipe. The heating line may be fixed to the outer peripheral portion of the flange pipe by a fixing member.

상기 고정 부재는, 상기 발열선의 일부를 감싸는 형상으로 상기 발열선을 지지하는 지지부, 및 상기 지지부의 양단부에 연결되어 상기 플렌지 파이프의 외주부에 용접되는 용접부를 포함할 수 있다.The fixing member may include a supporting portion for supporting the heating wire in a shape to surround a part of the heating wire and a welding portion connected to both ends of the supporting portion and welded to the outer peripheral portion of the flange pipe.

상기 고정 부재는 상기 플렌지 파이프의 길이 방향을 따라 상기 온도 감지 기구의 양측에 위치한 상기 발열선의 2개 부위에 각각 배치될 수 있다.The fixing member may be respectively disposed at two portions of the heating line located on both sides of the temperature sensing mechanism along the longitudinal direction of the flange pipe.

상기 고정 부재는 상기 온도 감지 기구를 중심으로 서로 대칭되는 위치에 배치될 수 있다.The fixing member may be disposed at a position symmetrical with respect to the temperature sensing mechanism.

본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 히터는, 플렌지 커버에 관통되게 배치된 플렌지 파이프의 단부에만 플렌지 리듀서를 배치한 구조이므로, 플렌지 리듀서의 설치 공간을 최소화시킬 수 있고, 그 대신에 발열선이 배치되기 위한 플렌지 커버와 플렌지 파이프 사이의 내부 공간을 확장시켜 발열선의 배치 공간을 충분하게 확보할 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 진공 펌프와 가스 세정기 등과 같은 장치에 연결되는 플렉시블 히터의 양단부에 발열선을 적절하게 배치 가능하므로, 플렉시블 히터의 양단부에 발생되는 콜드 스팟을 효과적으로 제거할 수 있다.The flexible heater according to the embodiment of the present invention has a structure in which the flange reducer is disposed only at the end portion of the flange pipe disposed so as to penetrate the flange cover so that the space for installing the flange reducer can be minimized, It is possible to expand the internal space between the flange cover and the flange pipe to secure a sufficient space for arranging the heating wire. Accordingly, in this embodiment, since the heating wires can be appropriately disposed at both ends of the flexible heater connected to the apparatus such as the vacuum pump and the gas scrubber, the cold spots generated at both ends of the flexible heater can be effectively removed.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 히터는, 내측 벨로우즈와 외측 벨로우즈 사이에 배치된 발열선을 플렌지 커버와 플렌지 파이프 사이의 내부 공간으로 연장시킨 구조이므로, 발열선을 별도로 추가하지 않고서도 플렉시블 히터의 양단부를 가열할 수 있으며, 그에 따라 플렉시블 히터의 제작 비용과 부품수가 증가되는 것을 방지할 수 있다.The flexible heater according to the embodiment of the present invention has a structure in which the heating wire disposed between the inner bellows and the outer bellows is extended to the inner space between the flange cover and the flange pipe, The manufacturing cost of the flexible heater and the number of components can be prevented from increasing.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 히터는, 온도 감지 기구의 센서 하우징에 온도 센서를 삽입시킨 구조이기 때문에 온도 센서를 안정적으로 설치할 수 있고, 온도 센서의 진동 및 위치 이탈에 따른 온도 감지의 성능 저하와 오류 발생을 미연에 방지할 수 있다.Further, since the flexible heater according to the embodiment of the present invention has a structure in which the temperature sensor is inserted into the sensor housing of the temperature sensing mechanism, the temperature sensor can be stably installed, and the performance of temperature sensing Degradation and error occurrence can be prevented in advance.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 히터는, 나선형으로 감긴 발열선을 플렌지 파이프에 고정 부재로 고정시킨 구조이기 때문에 외부 충격이나 진동 등에 의해 발열선이 임의로 유동되는 현상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 온도 감지 기구의 센서 하우징을 발열선의 감김 간격 사이에 위치시킨 구조이기 때문에 발열선이 센서 하우징에 비정상적으로 접촉하는 문제를 미연에 예방할 수도 있다.Further, since the flexible heater according to the embodiment of the present invention has a structure in which the heating wire wound in a helical shape is fixed to the flange pipe by the fixing member, the heating wire can be prevented from being arbitrarily moved by external impact or vibration, Since the sensor housing of the sensing mechanism is positioned between the winding intervals of the heating wire, it is possible to prevent the heating wire from abnormally contacting the sensor housing.

도 1은 일반적인 플렉시블 히터의 배치 구조가 도시된 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터가 도시된 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 A-A 선에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 플렌지부를 일부 절개하여 나타낸 확대도이다.
도 5는 도 4에 도시된 "B" 부분을 위에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 C-C 선에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 62에 도시된 온도 감지 기구의 다른 변형예를 나타낸 도면이다.Fig. 1 is a schematic diagram showing the arrangement structure of a general flexible heater.
2 is a front view showing a flexible heater according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in Fig.
4 is an enlarged view showing the flange portion shown in Fig.
5 is a top view of the portion "B" shown in Fig.
6 is a cross-sectional view taken along the line CC shown in FIG.
FIG. 7 is a view showing another modification of the temperature sensing mechanism shown in FIG.

이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to or limited by the embodiments. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터(100)가 도시된 정면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 A-A 선에 따른 단면을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 2에 도시된 플렌지부(200)를 일부 절개하여 나타낸 확대도이며, 도 5는 도 4에 도시된 "B" 부분을 위에서 바라본 도면이다. 도 6은 도 5에 도시된 C-C 선에 따른 단면을 나타낸 도면이고, 도 7은 도 62에 도시된 온도 감지 기구(300)의 다른 변형예를 나타낸 도면이다.2 is a front view showing a flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 2, FIG. 4 is an enlarged view showing a part of the flange portion 200 shown in FIG. 2, Quot; portion from above. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line C-C shown in FIG. 5, and FIG. 7 is a view showing another modification of the temperature sensing mechanism 300 shown in FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터(100)는 라이너(110), 내측 벨로우즈(120), 발열선(130), 외측 벨로우즈(140), 및 플렌지부(200)를 포함한다.2 and 3, a flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention includes a liner 110, an inner bellows 120, a heating wire 130, an outer bellows 140, and a flange 200 ).

통상적으로, 플렉시블 히터(100)는 도 1의 배기 라인(30)을 형성하는 구성으로서, 플렉시블 히터(100)의 반경 방향을 기준으로 중심에서 외측을 향해서 라이너(110), 내측 벨로우즈(120), 발열선(130), 및 외측 벨로우즈(140)가 순차적으로 배치될 수 있다. 한편, 외측 벨로우즈(140)의 외측에는 절연재(미도시)가 외측 벨로우즈(140)를 둘러싸는 형상으로 배치될 수 있지만, 본 실시예에서는 설명의 편의를 위해서 절연재에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다. 1, the flexible heater 100 includes a liner 110, an inner bellows 120, an inner bellows 120, an inner bellows 120, The heating line 130, and the outer bellows 140 may be sequentially arranged. Meanwhile, an insulating material (not shown) may be disposed on the outer side of the outer bellows 140 so as to surround the outer bellows 140, but a detailed description of the insulating material will be omitted for the sake of convenience in the present embodiment .

상기와 같이 라이너(110)와 내측 벨로우즈(120) 및 외측 벨로우즈(140)는 다중관 형상으로 차례대로 배치된 구조이다. 따라서, 라이너(110)에서 누출된 가스(G)가 내측 벨로우즈(120)에 의해 누출이 차단될 수 있고, 내측 벨로우즈(120)에서 누출된 가스(G)는 외측 벨로우즈(140)에 의해 누출이 차단될 수 있다. 즉, 플렉시블 히터(100)는 다중관 형상으로 형성되어 가스(G)의 누출에 대한 안전성이 확보될 수 있다.As described above, the liner 110, the inner bellows 120, and the outer bellows 140 are sequentially arranged in a multi-tube shape. The gas G leaked from the liner 110 can be blocked by the inner bellows 120 and the gas G leaked from the inner bellows 120 can be leaked by the outer bellows 140 Can be blocked. That is, the flexible heater 100 is formed in a multi-tube shape, so that safety against leakage of the gas G can be secured.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 플렉시블 히터(100)가 단수개로 도 1에 도시된 배기 라인(30)을 형성하는 것으로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 플렉시블 히터(100)의 설치 환경 및 주변 상황에 따라 복수개가 길이 방향을 따라 길게 연결될 수도 있다.As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the flexible heater 100 is described as forming the exhaust line 30 shown in FIG. 1 as a single number. However, the present invention is not limited to this, And a plurality of units may be connected to each other along the longitudinal direction depending on the surrounding situation.

또한, 본 실시예에서는 플렉시블 히터(100)를 따라 안내되는 가스(G)가 반도체나 전자 부품 등의 제조 공정에서 발생된 잔류 가스 또는 반응 부산물인 것으로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 종류의 제조 공정에서 발생되는 유독성 가스를 모두 포함할 수 있다. 상기와 같은 가스(G)는 플렉시블 히터(100)를 따라 도 1에 도시된 가스 세정기(20)로 유동되어 가스 세정기(20)에 의해 가스(G)의 유독 성분이 제거될 수 있다. In this embodiment, the gas G guided along the flexible heater 100 is described as a residual gas or a reaction by-product generated in a manufacturing process of a semiconductor or an electronic part. However, the present invention is not limited to this, And may contain all of the toxic gases generated in the process. The gas G as described above flows along the flexible heater 100 to the gas scrubber 20 shown in Fig. 1 and the toxic components of the gas G can be removed by the gas scrubber 20. [

도 3을 참조하면, 라이너(110)는 반도체나 전자 부품 등의 제조 공정에서 발생되는 각종 가스(G)의 이동을 안내하는 관 형상의 부재이다. 상기와 같은 라이너(110)는 자유롭게 절곡 가능한 구조로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, the liner 110 is a tubular member for guiding the movement of various gases G generated in a manufacturing process of a semiconductor or an electronic part. The liner 110 may be formed as a freely bendable structure.

도 3을 참조하면, 내측 벨로우즈(120)는 라이너(110)의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 부재이다. 내측 벨로우즈(120)는 내부식성이 우수한 금속 소재로 형성될 수 있으며, 골과 산의 요철부가 형성되어 부드럽게 절곡될 수 있다. 한편, 내측 벨로우즈(120)는 플렉시블 히터(100)의 안전성을 높이기 위하여 2겹으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, the inner bellows 120 is a bell-shaped member surrounding the outer side of the liner 110. The inner bellows 120 can be formed of a metal material having excellent corrosion resistance, and can be smoothly bent by forming concave-convex portions of the bones and mountains. Meanwhile, the inner bellows 120 may be formed in two layers in order to enhance the safety of the flexible heater 100.

도 3을 참조하면, 발열선(130)은 내측 벨로우즈(120)의 외주부에 길이 방향을 따라 나선 형상으로 감싸는 구조로 마련될 수 있다. 즉, 발열선(130)은 전기의 공급시 열을 발생하는 시스 히터(sheath heater)로서, 내측 벨로우즈(120)의 외주부에 나선 형상으로 감겨진 상태이다. 상기와 같은 발열선(130)에서 발생되는 열에 의해서 내측 벨로우즈(120)와 라이너(110)가 가열될 수 있고, 라이너(110)의 내부를 통과하는 가스(G)도 함께 가열될 수 있다.Referring to FIG. 3, the heating wire 130 may be formed in a spiral shape along the longitudinal direction on the outer peripheral portion of the inner bellows 120. That is, the heating wire 130 is a sheath heater that generates heat when electricity is supplied, and is wound around the outer peripheral portion of the inner bellows 120 in a spiral shape. The inner bellows 120 and the liner 110 can be heated by the heat generated from the heating line 130 and the gas G passing through the inner surface of the liner 110 can be heated together.

도 2 또는 도 3을 참조하면, 외측 벨로우즈(140)는 발열선(130)이 마련된 내측 벨로우즈(120)의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 부재이다. 내측 벨로우즈(120)와 같이, 외측 벨로우즈(140)도 내부식성이 우수한 금속 소재로 형성될 수 있으며, 골과 산의 요철부가 형성되어 부드럽게 절곡될 수 있다. 상기와 같은 외측 벨로우즈(140)의 직경은 내측 벨로우즈(120)과 외측 벨로우즈(140)의 사이에 발열선(130)이 배치되는 내부 공간(S)이 형성되도록 내측 벨로우즈(120)의 직경보다 크게 형성될 수 있다.2 or 3, the outer bellows 140 is a bellows-shaped member surrounding the outer side of the inner bellows 120 provided with the heating wire 130. Like the inner bellows 120, the outer bellows 140 can be formed of a metal material having excellent corrosion resistance, and can be smoothly bent by forming concave and convex portions of the bony and mountain. The diameter of the outer bellows 140 is set to be larger than the diameter of the inner bellows 120 so that the inner space S in which the heating wire 130 is disposed is formed between the inner bellows 120 and the outer bellows 140 .

도 2를 참조하면, 플렌지부(200)는 외측 벨로우즈(140), 내측 벨로우즈(120)및 라이너(110)의 양단부에 형성되어 가스(G)를 토출하거나 흡입하는 장치에 연통되게 연결되는 부재이다. 여기서, 가스(G)를 토출하거나 흡입하는 장치로는 도 1에 도시된 프로세스 챔버(10)의 진공 펌프(12) 또는 가스 세정기(20) 등이 대표적이다. 상기와 같은 플렌지부(200)는 플렉시블 히터(100)의 양단부를 형성하는 구성으로서, 가스(G)를 토출하거나 흡입하는 장치에 관이음 방식으로 연통되게 연결하기 위하여 리듀서(reducer) 구조를 포함할 수 있다.2, the flange portion 200 is a member formed at both ends of the outer bellows 140, the inner bellows 120, and the liner 110 and connected to the device for discharging or sucking the gas G . Here, the vacuum pump 12 or the gas scrubber 20 of the process chamber 10 shown in FIG. 1 is representative of the apparatus for discharging or sucking the gas G. FIG. The flange unit 200 includes a reducer structure for connecting the gas G to the apparatus for discharging or sucking the gas G in a pipe-connected manner, .

또한, 플렌지부(200)는 플렉시블 히터(100)의 양단부에 동일한 형상으로 각각 형성되거나 서로 다른 형상으로 각각 형성될 수 있다. 일례로, 도 2와 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 플렉시블 히터(100)의 양단부에 배치된 플렌지부(200)가 서로 다른 길이로 형성된 것으로 설명한다. 즉, 플렉시블 히터(100)의 양단부에 배치된 플렌지부(200) 중 어느 하나의 플렌지부(200)에는 후술하는 온도 감지 기구(300)와 전기 공급 기구(400)가 배치되기 위하여 다른 하나의 플렌지부(200)보다 더 길게 형성될 수 있다.In addition, the flange unit 200 may be formed in the same shape at both ends of the flexible heater 100, or may be formed in different shapes, respectively. For example, as shown in FIGS. 2 and 4, in this embodiment, the flange portions 200 disposed at both ends of the flexible heater 100 are formed to have different lengths. That is, the flange unit 200 disposed at both ends of the flexible heater 100 is provided with a flange unit 200 on which a temperature sensing mechanism 300 and a power supply mechanism 400, which will be described later, May be formed longer than the support portion (200).

이하에서는, 도 2 내지 도 7를 참조하여 본 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)의 플렌지부(200)에 대한 상세한 구성을 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the detailed configuration of the flange portion 200 of the flexible heater 100 according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 7. FIG.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터(100)의 플렌지부(200)는 플렌지 커버(210), 플렌지 파이프(220), 및 플렌지 리듀서(230)를 포함한다.2 to 5, a flange portion 200 of the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention includes a flange cover 210, a flange pipe 220, and a flange reducer 230 .

플렌지 커버(210)는 외측 벨로우즈(140)의 단부에 연결되는 원통 형상의 부재이다. 상기와 같은 플렌지 커버(210)는 외측 벨로우즈(140)의 단부에 용접 방식으로 밀봉 가능하게 연결될 수 있다. 플렌지 커버(210)는 플렌지부(200)의 외측면을 형성할 수 있다. The flange cover 210 is a cylindrical member connected to an end of the outer bellows 140. The flange cover 210 may be sealingly connected to the end of the outer bellows 140 by a welding method. The flange cover 210 may form the outer surface of the flange portion 200.

플렌지 파이프(220)는 라이너(110)의 단부에 연결된 관 형상의 부재이다. 상기와 같은 플렌지 파이프(220)는 라이너(110)에 가스(G)를 전달하거나 또는 라이너(110)로부터 가스(G)를 전달 받을 수 있다. Flange pipe 220 is a tubular member connected to the end of liner 110. The flange pipe 220 may receive the gas G from the liner 110 or receive the gas G from the liner 110.

여기서, 플렌지 파이프(220)의 일단부는 라이너(110)의 단부에 용접 방식으로 밀봉 가능하게 연결될 수 있으며, 플렌지 파이프(220)의 타단부는 플렌지 커버(210)의 단부에 관통되게 배치되어 용접 방식으로 밀봉 가능하게 연결될 수 있다. 따라서, 플렌지 파이프(220)의 타단부는 플렌지 커버(210)의 외측으로 노출되게 배치될 수 있다. One end of the flange pipe 220 is sealably connected to the end of the liner 110 by a welding method and the other end of the flange pipe 220 is disposed to penetrate the end of the flange cover 210, As shown in Fig. Accordingly, the other end of the flange pipe 220 can be disposed to be exposed to the outside of the flange cover 210.

또한, 플렌지 파이프(220)의 외주부와 플렌지 커버(210)의 내주부 사이에는 소정 크기의 내부 공간(S)이 형성될 수 있다. 상기와 같이 플렌지 커버(210)와 플렌지 파이프(220) 사이에 형성된 내부 공간(S)은 내측 벨로우즈(120)와 외측 벨로우즈 사이에 형성된 내부 공간(S)과 연통되게 형성될 수 있다. 따라서, 본 실시예에 따른 내부 공간(S)은, 내측 벨로우즈(120)와 외측 벨로우즈 사이에서부터 플렌지 커버(210)와 플렌지 파이프(220) 사이까지 플렉시블 히터(100)의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있으며, 외기와 차단된 밀봉 상태로 형성될 수 있다. An inner space S having a predetermined size may be formed between the outer periphery of the flange pipe 220 and the inner periphery of the flange cover 210. The inner space S formed between the flange cover 210 and the flange pipe 220 may be formed to communicate with the inner space S formed between the inner bellows 120 and the outer bellows. The inner space S according to the present embodiment is formed to be long along the longitudinal direction of the flexible heater 100 from between the inner bellows 120 and the outer bellows to between the flange cover 210 and the flange pipe 220 And may be formed in a sealed state blocked from the outside air.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 플렌지 커버(210)와 플렌지 파이프(220) 사이의 내부 공간(S)에는 내측 벨로우즈(120)와 외측 벨로우즈 사이의 내부 공간(S)에 배치된 발열선(130)이 플렉시블 히터(100)의 길이 방향으로 연장 형성될 수 있다. 상기와 같은 발열선(130)은 내측 벨로우즈(120)와 외측 벨로우즈(140) 사이의 내부 공간(S)에서와 마찬가지로 플렌지 커버(210)와 플렌지 파이프(220) 사이의 내부 공간(S)에서도 플렌지 파이프(220)의 외주부에 플렉시블 히터(100)의 길이 방향을 따라 나선 형상으로 마련될 수 있다. 3 to 5, the inner space S between the flange cover 210 and the flange pipe 220 is provided with a heating wire (not shown) disposed in the inner space S between the inner bellows 120 and the outer bellows 130 may extend in the longitudinal direction of the flexible heater 100. [ The heating line 130 may be formed in the inner space S between the flange cover 210 and the flange pipe 220 as in the inner space S between the inner bellows 120 and the outer bellows 140. [ And may be provided in a spiral shape along the longitudinal direction of the flexible heater 100 at the outer peripheral portion of the flexible heater 220.

발열선(130)은 내측 벨로우즈(120)의 외주부보다 플렌지 파이프(220)의 외주부에서 단위 길이당 감기는 회수가 더 증가될 수 있다. 즉, 발열선(130)은 내측 벨로우즈(120)와 외측 벨로우즈(140) 사이의 내부 공간(S)보다 플렌지 커버(210)와 플렌지 파이프(220) 사이의 내부 공간(S)에서 더 촘촘하게 감기는 구조로 배치될 수 있다. 상기와 같이 플렌지 파이프(220)의 외주부에 감긴 발열선(130)의 감김 간격(D2)은 내측 벨로우즈(120)의 외주부에 감긴 발열선(130)의 감김 간격(D1)보다 작게 형성될 수 있다. The number of turns of the heating wire 130 per unit length at the outer peripheral portion of the flange pipe 220 may be further increased than the outer peripheral portion of the inner bellows 120. [ That is, the heating wire 130 is wound more tightly in the inner space S between the flange cover 210 and the flange pipe 220 than the inner space S between the inner bellows 120 and the outer bellows 140 As shown in FIG. The winding interval D2 of the heating wire 130 wound around the outer peripheral portion of the flange pipe 220 may be smaller than the winding interval D1 of the heating wire 130 wound around the outer peripheral portion of the inner bellows 120. [

따라서, 플렌지부(200)는 가스(G)를 토출하거나 흡입하는 장치와 연결되는 구조이기 때문에 가스(G)를 토출하거나 흡입하는 장치와의 접촉으로 인해서 온도가 쉽게 올라가지 않아 콜드 스팟이 발생될 가능성이 높다. 하지만, 발열선(130)의 감김 간격(D2)을 더 작게 형성함으로써, 플렌지부(200)에 발생하는 콜드 스팟을 미연에 제거할 수 있다. Therefore, since the flange unit 200 is connected to the device for discharging or sucking the gas G, the temperature may not easily rise due to contact with the device for discharging or sucking the gas G, Is high. However, by forming the winding gap D2 of the heating wire 130 to be smaller, the cold spots occurring in the flange portion 200 can be removed in advance.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 플렌지 커버(210)와 플렌지 파이프(220) 사이의 내부 공간(S)에 배치된 발열선(130)은 고정 부재(132)에 의해서 플렌지 파이프(220)의 외주부에 고정될 수 있다. 상기와 같은 고정 부재(132)는 플렌지 파이프(220)의 외주부에 배치된 발열선(130)의 길이 방향을 따라 복수개가 서로 이격되게 배치될 수 있다. 따라서, 고정 부재(132)는 플렌지 파이프(220)의 외주부에 발열선(130)을 고정함으로써, 발열선(130)이 외부 충격이나 진동 등에 의해서 임의로 유동되는 현상을 미연에 방지할 수 있다.4 and 5, the heating line 130 disposed in the inner space S between the flange cover 210 and the flange pipe 220 is fixed to the flange pipe 220 by the fixing member 132, And can be fixed to the outer peripheral portion. A plurality of fixing members 132 may be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the heating wire 130 disposed at the outer peripheral portion of the flange pipe 220. [ The fixing member 132 can prevent the heating wire 130 from being arbitrarily moved due to external impact or vibration by fixing the heating wire 130 to the outer peripheral portion of the flange pipe 220. [

예를 들면, 고정 부재(132)는, 발열선(130)의 일부를 감싸는 형상으로 발열선(130)을 지지하는 지지부(134), 및 지지부(134)의 양단부에 연결되어 플렌지 파이프(220)의 외주부에 용접되는 용접부(136)를 포함할 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)의 설계 조건 및 상황에 따라 후크 결합 방식, 나사 체결 방식, 또는 바인더 결속 방식 등과 같이 다양한 종류의 고정 부재(132)가 사용될 수 있다.For example, the fixing member 132 includes a support portion 134 for supporting the heating wire 130 in a shape to cover a part of the heating wire 130 and a supporting portion 134 for supporting the heating wire 130. The supporting portion 134 is connected to both ends of the supporting portion 134, As shown in FIG. However, the present invention is not limited thereto. Various types of fastening members 132 may be used, such as a hook coupling method, a screw fastening method, or a binder fastening method, depending on the design conditions and circumstances of the flexible heater 100 according to the present embodiment. have.

플렌지 리듀서(230)는 가스(G)를 토출하거나 흡입하기 위한 장치에 관이음 방식으로 연통되게 연결되는 부재이다. 플렌지 리듀서(230)는 플렌지 커버(210)의 외측으로 노출된 플렌지 파이프(220)의 타단부에 배치될 수 있다.The flange reducer 230 is a member that is connected to the apparatus for discharging or sucking the gas G in a pipe-connected manner. The flange reducer 230 may be disposed at the other end of the flange pipe 220 exposed to the outside of the flange cover 210.

여기서, 플렌지 파이프(220)의 타단부는 플렌지 리듀서(230)의 설치 길이(L1)를 충분히 확보할 수 있는 돌출 길이(L)로 플렌지 커버(210)의 단부에서 노출되게 배치될 수 있다. 또한, 플렌지 파이프(220)의 타단부는 플렌지 커버(210)의 단부와 플렌지 리듀서(230) 사이에 형성되는 이격 길이(미도시)를 감소할 수 있는 돌출 길이(L)로 플렌지 커버(210)의 단부에 노출되게 배치될 수 있다.The other end of the flange pipe 220 may be exposed at the end of the flange cover 210 with a protrusion length L sufficient to secure the installation length L1 of the flange reducer 230. [ The other end of the flange pipe 220 is connected to the flange cover 210 at a protrusion length L capable of reducing a separation length (not shown) formed between the end of the flange cover 210 and the flange reducer 230. [ As shown in FIG.

상기와 같이 플렌지 파이프(220)의 타단부의 돌출 길이(L)는, 설치 길이(L1)보다 길게 형성되어야 하지만, 이격 길이의 발생을 최소화시키도록 설치 길이(L1)에 최대한 가깝게 형성되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 플렌지 파이프(220)의 타단부는 플렌지 리듀서(230)를 배치하기 위한 부위로서, 발열선(130)이 배치되지 않아 콜드 스팟이 발생될 가능성이 높기 때문이다. 이하, 본 실시예에서는 플렌지 파이프(220)의 타단부의 돌출 길이(L)가 플렌지 리듀서(230)의 설치 길이(L1)와 동일한 길이로 형성된 것으로 설명한다.The protrusion length L of the other end of the flange pipe 220 should be longer than the installation length L1 but is preferably formed as close as possible to the installation length L1 so as to minimize the occurrence of the separation length Do. This is because the other end of the flange pipe 220 is a portion for disposing the flange reducer 230, and there is a high possibility that a cold spot is generated because the heating line 130 is not disposed. In the following description, the protrusion length L of the other end of the flange pipe 220 is formed to have the same length as the installation length L1 of the flange reducer 230.

따라서, 플렌지 파이프(220)와 플렌지 커버(210) 사이에 형성된 내부 공간(S)의 크기가 최대로 확장되므로, 발열선(130)이 마련되는 공간이 실질적으로 확장되어 발열선(130)에 의해 가열되지 않는 영역이 대폭 감소될 수 있고, 플렌지 파이프(220)의 타단부에 따라 플렌지 리듀서(230)의 크기도 원활하게 최소화될 수 있다. 그로 인하여, 플렌지 파이프(220)와 플렌지 커버(210) 중에서 발열선(130)에 의해 가열되지 않는 영역을 저감시켜 콜드 스팟의 발생을 미연에 방지할 수 있다.Therefore, since the size of the internal space S formed between the flange pipe 220 and the flange cover 210 is maximally expanded, the space where the heating line 130 is provided is substantially extended to be heated by the heating line 130 The size of the flange reducer 230 along the other end of the flange pipe 220 can be smoothly minimized. Therefore, the area not heated by the heating wire 130 among the flange pipe 220 and the flange cover 210 can be reduced to prevent the generation of cold spots in advance.

도 2, 도 4 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터(100)는 온도 감지 기구(300) 및 전기 공급 기구(400)를 더 포함할 수 있다.2, 4 to 5, the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention may further include a temperature sensing mechanism 300 and an electricity supply mechanism 400.

전술한 바와 같이, 온도 감지 기구(300) 및 전기 공급 기구(400)는 플렌지부(200)에 배치될 수 있다. 상기와 같은 온도 감지 기구(300) 및 전기 공급 기구(400)는 플렌지부(200)의 플렌지 커버(210)에 관통되게 배치될 수 있지만, 그 배치 부위에는 내부 공간(S)의 밀봉 상태를 유지하기 위한 밀봉 구조가 적용될 수 있다.As described above, the temperature sensing mechanism 300 and the electric power supply mechanism 400 may be disposed in the flange unit 200. The temperature sensing mechanism 300 and the electric power supply mechanism 400 may be disposed so as to penetrate the flange cover 210 of the flange portion 200. However, A sealing structure may be applied.

도 4 내지 도 7를 참조하면, 온도 감지 기구(300)는 플렉시블 히터(100)를 통과하는 가스(G)의 온도를 조절하기 위하여 플렌지 파이프(220)의 온도를 실시간으로 감지하는 부재이다. 온도 감지 기구(300)는, 플렌지 파이프(220)의 외주부 표면에 배치될 수 있으며, 플렌지 파이프(220)의 온도 감지값을 외부로 인출하도록 플렌지 커버(210)에 관통되게 배치될 수 있다.4 to 7, the temperature sensing mechanism 300 is a member that senses the temperature of the flange pipe 220 in real time in order to adjust the temperature of the gas G passing through the flexible heater 100. The temperature sensing mechanism 300 may be disposed on the outer circumferential surface of the flange pipe 220 and may be arranged to penetrate the flange cover 210 to take out the temperature sensing value of the flange pipe 220 to the outside.

상기와 같은 온도 감지 기구(300)는 플렌지 파이프(220)의 외주부 중에서 발열선(130)이 위치하지 않은 부위에 배치될 수 있다. 즉, 온도 감지 기구(300)는 플렌지 파이프(220)의 길이 방향으로 이격된 발열선(130) 사이에 배치되되, 발열선(130)과 직접적으로 접촉하지 않도록 형성될 수 있다.The temperature sensing mechanism 300 may be disposed at a portion of the outer circumferential portion of the flange pipe 220 where the heating wire 130 is not positioned. That is, the temperature sensing mechanism 300 may be disposed between the heating lines 130 spaced in the longitudinal direction of the flange pipe 220, but may not be in direct contact with the heating line 130.

한편, 온도 감지 기구(300)의 양측에 위치한 발열선의 2개 부위에는 고정 부재(132)가 플렌지 파이프(220)의 길이 방향을 따라 각각 배치될 수 있다. 즉, 고정 부재(132)는 온도 감지 기구(300)를 중심으로 서로 대칭되는 위치에 배치될 수 있다. 상기와 같이 고정 부재(132)를 발열선(130)에 배치하면, 온도 감지 기구(300)와 근접하게 배치된 발열선(130)의 위치가 고정 부재(132)에 의해 안정적으로 고정된 상태이므로, 고정 부재(132)를 발열선(130)의 다른 부위에 추가로 더 설치하지 않더라도 온도 감지 기구(300)와 발열선(130)의 접촉이 미연에 방지될 수 있다. On the other hand, fixing members 132 may be respectively disposed along the longitudinal direction of the flange pipe 220 at two portions of the heating line located on both sides of the temperature sensing mechanism 300. That is, the fixing members 132 may be disposed at positions symmetrical to each other about the temperature sensing mechanism 300. When the fixing member 132 is disposed on the heating line 130 as described above, since the position of the heating line 130 disposed close to the temperature sensing mechanism 300 is stably fixed by the fixing member 132, The contact between the temperature sensing device 300 and the heating wire 130 can be prevented in advance even if the member 132 is not further provided at another portion of the heating wire 130. [

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 온도 감지 기구(300)는, 플렌지 파이프(220)의 외주부에 고정된 센서 하우징(310), 센서 하우징(310)에 형성된 수납 공간(310a)에 수납되고 플렌지 파이프(220)의 온도를 감지하는 온도 센서(320), 및 플렌지 커버(210)에 관통되게 배치되어 온도 센서(320)에 신호 전달 가능하게 연결되는 연결 케이블(330)을 포함할 수 있다.4 to 6, the temperature sensing mechanism 300 includes a sensor housing 310 fixed to the outer periphery of the flange pipe 220, a storage space 310a formed in the sensor housing 310, A temperature sensor 320 for sensing the temperature of the flange pipe 220 and a connection cable 330 connected to the temperature sensor 320 so as to be able to transmit signals to the flange cover 210.

여기서, 센서 하우징(310)은 플렌지 파이프(220)의 외주부에 감긴 발열선(130)의 감김 간격(D2)보다 작은 크기의 박스 형상으로 형성될 수 있다. 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 센서 하우징(310)은 발열선(130)의 감김 간격(D2) 사이에 배치될 수 있다.Here, the sensor housing 310 may be formed in a box shape having a size smaller than the winding distance D2 of the heating wire 130 wound on the outer peripheral portion of the flange pipe 220. [ 4 and 5, the sensor housing 310 may be disposed between the winding interval D2 of the heating wire 130. [

센서 하우징(310)은 박스 형상으로 형성될 수 있으며, 수납 공간(310a)이 센서 하우징(310)의 내부에 형성될 수 있다. 수납 공간(310a)의 형상과 크기는, 온도 센서(320)가 수납 공간(310a)의 내부에 수납된 상태에서 유동되지 않도록 온도 센서(320)의 형상과 크기에 대응되게 형성될 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 온도 센서(320)가 수납 공간(310a)에 배치된 상태에서 센서 하우징(310)에 의해 안정적으로 지지될 수 있으며, 특히 센서 하우징(310)의 외측으로 노출되지 않아 센서 하우징(310)에 의해 안전하게 보호될 수 있다. The sensor housing 310 may be formed in a box shape and a storage space 310a may be formed in the sensor housing 310. [ The shape and size of the storage space 310a may be formed to correspond to the shape and the size of the temperature sensor 320 so that the storage space 310a does not flow when the temperature sensor 320 is accommodated in the storage space 310a. Therefore, in this embodiment, the temperature sensor 320 can be stably supported by the sensor housing 310 in a state where it is disposed in the storage space 310a. In particular, since the sensor housing 310 is not exposed to the outside of the sensor housing 310, (Not shown).

도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 온도 감지 기구(300)는 센서 하우징(310)의 내부에 온도 센서(320)를 완전히 수납하여 온도 센서(320)가 외부에 노출되지 않는 구조로 형성될 수 있다. 예를 들면, 센서 하우징(310)은, 하측이 개구된 수납 공간(310a)을 형성하는 상부 하우징(312), 및 수납 공간(310a)의 하부를 차폐시키도록 상부 하우징(312)의 하부에 장착되고 플렌지 파이프(220)의 외주부에 용접 방식으로 고정되는 하부 하우징(314)을 포함할 수 있다. 6, the temperature sensing mechanism 300 according to the present embodiment has a structure in which the temperature sensor 320 is completely housed in the sensor housing 310 so that the temperature sensor 320 is not exposed to the outside . For example, the sensor housing 310 may include an upper housing 312 forming a lower storage space 310a and a lower housing 312 to shield the lower portion of the storage space 310a. And a lower housing 314 fixed to the outer periphery of the flange pipe 220 by a welding method.

상부 하우징(312)의 내부에는 온도 센서(320)가 수납되기 위한 수납 공간(310a)이 형성되되, 온도 센서(320)의 삽입과 인출이 가능하도록 수납 공간(310a)의 하부가 개구된 형상으로 형성될 수 있다. 상부 하우징(312)의 상부에는 연결 케이블(330)의 단부가 관통되게 삽입되기 위한 케이블 홀부(318)가 형성될 수 있다. 따라서, 수납 공간(310a)에 수납된 온도 센서(320)는 케이블 홀부(318)를 통해서 연결 케이블(330)과 연결될 수 있다.A storage space 310a for storing the temperature sensor 320 is formed in the upper housing 312 and a lower portion of the storage space 310a is opened so that the temperature sensor 320 can be inserted and taken out . A cable hole portion 318 for inserting the end portion of the connection cable 330 may be formed on the upper portion of the upper housing 312. The temperature sensor 320 housed in the storage space 310a can be connected to the connection cable 330 through the cable hole portion 318. [

하부 하우징(314)의 하부에는 플렌지 파이프(220)의 외주부에 밀착되기 위한 안착부(316)가 형성될 수 있다. 상기와 같은 안착부(316)는 플렌지 파이프(220)의 외주부 표면과 대응되는 곡선 형상으로 형성될 수 있으며, 플렌지 파이프(220)의 외주부 표면에 용접 방식으로 장착될 수 있다.A seat 316 may be formed in the lower portion of the lower housing 314 to be in close contact with the outer peripheral portion of the flange pipe 220. The seating portion 316 may be formed in a curved shape corresponding to the outer peripheral surface of the flange pipe 220 and may be welded to the outer peripheral surface of the flange pipe 220.

한편, 도 7에는 본 실시예에 따른 온도 감지 기구(300)의 다른 변형예가 도시되어 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 온도 감지 기구(300')는 센서 하우징(310')의 외부에 온도 센서(320')를 노출시키는 구조로 형성될 수 있다. 즉, 센서 하우징(310')에 형성된 수납 공간(310a')은 센서 하우징(310')의 상부에 홈 형상으로 형성될 수 있다. 따라서, 도 7에 도시된 센서 하우징(310')은 도 6에 도시된 센서 하우징(310')보다 간단한 구조로 형성될 수 있으며, 온도 센서(320')의 수납과 인출이 매우 용이하게 실시될 수 있다. 다만, 도 7에 도시된 센서 하우징(310')에는 온도 센서(320')를 수납 공간(310a')에 고정하기 위한 별도의 고정 구조가 필요하다. 일례로, 센서 하우징(310')의 측면부에는 수납 공간(310a')에 삽입된 온도 센서(320')를 고정시키기 위한 센서 고정 부재(319)가 배치될 수 있다. 7 shows another modification of the temperature sensing mechanism 300 according to the present embodiment. As shown in FIG. 7, the temperature sensing mechanism 300 'according to the present embodiment may be configured to expose the temperature sensor 320' to the outside of the sensor housing 310 '. That is, the storage space 310a 'formed in the sensor housing 310' may be formed in a groove shape on the upper portion of the sensor housing 310 '. Therefore, the sensor housing 310 'shown in FIG. 7 can be formed in a simpler structure than the sensor housing 310' shown in FIG. 6, and the storage and retrieval of the temperature sensor 320 ' . However, the sensor housing 310 'shown in FIG. 7 requires a separate fixing structure for fixing the temperature sensor 320' to the receiving space 310a '. For example, a sensor fixing member 319 for fixing the temperature sensor 320 'inserted in the receiving space 310a' may be disposed on the side surface of the sensor housing 310 '.

상기와 같은 센서 고정 부재(132)는 볼트, 후크, 핀, 걸림쇠 등의 형상으로 형성될 수 있다. 센서 하우징(310)의 측면부에는 센서 고정 부재(132)가 관통되게 배치되기 위한 센서 고정홀부(319a)이 형성될 수 있다. 온도 센서(320)의 측면부에는 센서 고정홀부(319a)와 대응되는 위치에 센서 고정홈부(320a)가 형성될 수 있지만, 센서 고정홈부(320a)를 생략하고 센서 고정 부재(132)로 온도 센서(320)의 측면부를 가압하는 구조도 가능하다.The sensor fixing member 132 may be formed in the shape of a bolt, a hook, a pin, a latch or the like. A sensor fixing hole portion 319a may be formed on the side surface of the sensor housing 310 so that the sensor fixing member 132 may be inserted through the sensor fixing hole portion 319a. The sensor fixing groove portion 320a may be formed at a position corresponding to the sensor fixing hole portion 319a on the side surface of the temperature sensor 320. The sensor fixing groove portion 320a may be omitted and the temperature sensor 320 may be pressurized.

그리고, 온도 센서(320)는 발열선(130)에 의해 가열된 플렌지 파이프(220)의 온도를 감지하기 위한 열전대(thermo couple)로 형성될 수 있다. 따라서, 온도 센서(320)는 플렌지 파이프(220)의 온도가 매우 높게 가열되더라도 온도 측정이 가능하고, 내구성이 우수하여 장시간 사용이 가능할 수 있다.The temperature sensor 320 may be formed as a thermo couple for sensing the temperature of the flange pipe 220 heated by the heating wire 130. Therefore, the temperature sensor 320 can measure the temperature even if the temperature of the flange pipe 220 is heated to a very high level, and is excellent in durability and can be used for a long time.

또한, 연결 케이블(330)은 온도 센서(320)의 감지 신호를 전달 받아서 플렉시블 히터(100)의 외부로 전달하기 위한 부재이다. 상기와 같은 연결 케이블(330)의 단부는 케이블 홀부(318)에 삽입되어 온도 센서(320)에 연결될 수 있다. The connection cable 330 is a member for receiving the sensing signal of the temperature sensor 320 and delivering it to the outside of the flexible heater 100. The end of the connecting cable 330 may be inserted into the cable hole 318 and connected to the temperature sensor 320.

플렌지 커버(210)에는 연결 케이블(330)이 관통되게 체결 고정되기 위한 케이블 장착부(212)가 형성될 수 있다. 상기와 같은 케이블 장착부(212)는 플렌지 커버(210)의 직경 방향으로 센서 하우징(310)과 서로 마주보는 위치에 배치될 수 있다.The flange cover 210 may be formed with a cable mounting portion 212 for fastening and fixing the connection cable 330. The cable mounting portion 212 may be disposed at a position facing the sensor housing 310 in the radial direction of the flange cover 210. [

예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 연결 케이블(330)은, 온도 센서(320)의 감지 신호를 전송하도록 온도 센서(320)에 단부가 연결된 케이블 본체(332), 케이블 본체(332)를 케이블 장착부(212)에 관통되게 배치시키도록 케이블 본체(332)에 구비되어 케이블 장착부(212)에 체결되는 케이블 체결부(334), 케이블 체결부(334)의 상측에 배치된 케이블 본체(332)를 지지하도록 케이블 체결부(334)의 상부에서 상측으로 길게 형성된 관 형상의 제1 케이블 서포터(336), 및 케이블 체결부(334)의 하측에 배치된 케이블 본체(332)를 지지하도록 케이블 체결부(334)의 하부에서 하측으로 길게 형성된 관 형상의 제2 케이블 서포터(338)를 포함할 수 있다.4, the connecting cable 330 includes a cable body 332, an end portion connected to the temperature sensor 320, a cable body 332 connected to the temperature sensor 320 to transmit a sensing signal of the temperature sensor 320, A cable fastening portion 334 provided on the cable main body 332 to fasten the cable fastening portion 334 to the cable mounting portion 212 so as to penetrate the cable fastening portion 334, Shaped first cable supporter 336 extending upward from the upper side of the cable fastening portion 334 and a cable main body 332 disposed below the cable fastening portion 334 so as to support the cable fastening portion 334, And a tubular second cable supporter 338 extending downward from the lower portion of the first portion 334.

케이블 체결부(334)는 케이블 장착부(212)에 밀봉 가능하게 체결되기 위한 밀봉 구조를 구비할 수 있다. 제2 케이블 서포터(338)는 센서 하우징(310)의 케이블 홀부(318)에 삽입 가능한 직경으로 형성될 수 있다.The cable fastening portion 334 may have a sealing structure to be tightly fastened to the cable mounting portion 212. The second cable supporter 338 may be formed to have a diameter that can be inserted into the cable hole portion 318 of the sensor housing 310.

도 2 및 도 4를 참조하면, 전기 공급 기구(400)는 발열선(130)에 전기를 공급하기 위하여 외부 전원(미도시)과 발열선(130)을 연결하는 부재이다. 전기 공급 기구(400)는, 플렌지 커버(210)의 외주부에 배치될 수 있으며, 발열선(130)의 단부와 통전 가능하게 연결될 수 있다.2 and 4, the electric power supply mechanism 400 is a member that connects an external power source (not shown) and the heating wire 130 to supply electricity to the heating wire 130. The electric power supply mechanism 400 may be disposed at the outer periphery of the flange cover 210 and may be connected to the end of the heating wire 130 in a conductive manner.

예를 들면, 전기 공급 기구(400)는, 플렌지 커버(210)의 외주부에 배치되고 발열선(130)의 단부가 내부에 배치된 전기 공급 하우징(410), 외부 전원에서 전기 공급 하우징(410)으로 전기를 전달하도록 외부 전원과 전기 공급 하우징(410)에 연결된 전기 케이블(420), 및 전기 케이블(420)에서 발열선(130)으로 전기를 공급하도록 전기 케이블(420)과 발열선(130)에 연결된 케이블 커넥터(430)를 포함할 수 있다.For example, the electric power supply mechanism 400 includes an electric power supply housing 410 disposed at the outer periphery of the flange cover 210 and having an end portion of the heating wire 130 disposed therein, an electric power supply housing 410 An electric cable 420 connected to the external power supply and the electric power supply housing 410 to transmit electricity and an electric cable 420 connected to the heating wire 130 to supply electricity to the heating wire 130 in the electric cable 420, And a connector 430.

전기 공급 하우징(410)은 내부가 중공된 박스 형상으로 형성되어 플렌지 커버(210)의 외주부에 용접 방식으로 고정될 수 있다. 전기 공급 하우징(410)의 하부에는 플렌지 커버(210)의 외주부 표면에 밀착되게 안착되기 위한 안착부(412)가 형성될 수 있다. 상기와 같은 안착부(412)는 플렌지 커버(210)의 외주부 표면과 동일한 곡면으로 형성될 수 있다. The electric supply housing 410 may be formed in a hollow box shape and fixed to the outer peripheral portion of the flange cover 210 by a welding method. A seat portion 412 may be formed at a lower portion of the electric supply housing 410 to be seated on the outer peripheral surface of the flange cover 210. The seating portion 412 may be formed in the same curved surface as the outer peripheral surface of the flange cover 210.

여기서, 발열선(130)의 양단부는, 플렌지 파이프(220)의 외주부에서 전기 공급 하우징(410)을 향해 절곡될 수 있으며, 플렌지 커버(210)와 전기 공급 하우징(410)의 하부에 관통되어 전기 공급 하우징(410)의 내부에 위치될 수 있다. 상기와 같은 발열선(130)의 양단부에는 외부 전원의 양극과 음극에 각각 연결될 수 있다. Both end portions of the heating wire 130 can be bent toward the electric supply housing 410 from the outer circumferential portion of the flange pipe 220 and penetrate through the flange cover 210 and the lower portion of the electric supply housing 410, And may be located inside the housing 410. The both ends of the heating line 130 may be connected to the positive and negative electrodes of the external power source, respectively.

케이블 커넥터(430)는 전기 공급 하우징(410)의 일측면에 관통되게 배치될 수 있다. 케이블 커넥터(430)는 발열선(130)에 과전류 또는 과전압이 비정상적으로 공급되지 않도록 전기 차단 휴즈가 배치될 수 있다.The cable connector 430 may be disposed on one side of the electrical supply housing 410. The cable connector 430 may be provided with an electric cutoff fuse so that an overcurrent or an overvoltage is not abnormally supplied to the heating wire 130. [

상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 히터(100)에 대한 작동 및 작용 효과를 살펴보면 다음과 같다.Operation and effect of the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention will be described below.

먼저, 플렉시블 히터(100)의 양단부에 배치된 플렌지부(200)의 플렌지 리듀서(230)를 진공 펌프(12)의 출구 및 가스 세정기(20)의 입구에 각각 연결한다.The flange reducer 230 of the flange portion 200 disposed at both ends of the flexible heater 100 is connected to the outlet of the vacuum pump 12 and the inlet of the gas scrubber 20, respectively.

그 상태에서, 진공 펌프(12)와 가스 세정기(20)를 가동시키면, 진공 펌프(12)에 의해 펌핑된 가스(G)가 진공 펌프(12)의 출구에 연결된 플렌지부(200)의 플렌지 리듀서(230)를 통해 플렌지 파이프(220)로 유동하고, 플렌지 파이프(220)를 통해 라이너(110)로 유동한다.In this state, when the vacuum pump 12 and the gas scrubber 20 are operated, the gas G pumped by the vacuum pump 12 is supplied to the flange reducer 20 of the flange portion 200 connected to the outlet of the vacuum pump 12, (230) to the flange pipe (220) and flows to the liner (110) through the flange pipe (220).

상기와 같은 가스(G)는 라이너(110)를 따라 배기 방향으로 유동한 후 가스 세정기(20)의 입구에 연결된 플렌지부(200)의 플렌지 파이프(220)로 유동하고, 플렌지 파이프(220)와 연결된 플렌지 리듀서(230)를 통해 가스 세정기(20)로 들어간다. The gas G flows in the exhaust direction along the liner 110 and then flows to the flange pipe 220 of the flange unit 200 connected to the inlet of the gas scrubber 20. The gas G flows through the flange pipe 220, And enters the gas scrubber 20 through the connected flange reducer 230.

한편, 가스(G)의 유동시 플렉시블 히터(100)의 발열선(130)에 전기를 공급하여 라이너(110)와 플렌지 파이프(220)의 내부를 유동하는 가스(G)를 설정 온도로 가열한다.When the gas G flows, electricity is supplied to the heating line 130 of the flexible heater 100 to heat the gas G flowing in the liner 110 and the flange pipe 220 to a predetermined temperature.

상기와 같은 발열선(130)은 내측 벨로우즈(120)와 플렌지 파이프(220)의 외주부를 나선 형상으로 감싸고 있되, 플렌지 파이프(220)의 외주부에 내측 벨로우즈(120)의 외주부보다 더 조밀하게 배치한 상태이므로, 발열선(130)은 플렉시블 히터(100)의 플렌지부(200)를 다른 부위보다 더욱 가열한다. The heating wire 130 may surround the inner bellows 120 and the outer circumferential portion of the flange pipe 220 in a spiral shape so that the outer circumferential portion of the flange pipe 220 is denser than the outer circumferential portion of the inner bellows 120 The heating line 130 heats the flange portion 200 of the flexible heater 100 more than other portions.

이때, 플렉시블 히터(100)의 플렌지부(200)는 진공 펌프(12)의 출구 또는 가스 세정기(20)의 입구에 연결된 상태이므로, 상온 상태의 진공 펌프(12)와 가스 세정기(20)에 의해서 플렉시블 히터(100)의 플렌지부(200)가 임의로 냉각될 수 있다. 하지만, 플렌지부(200)에 조밀하게 배치된 발열선(130)에 의해서 플렌지부(200)의 임의 냉각이 미연에 방지되는 구조이므로, 플렌지부(200)가 비정상적인 온도로 낮아져 콜드 스팟이 발생하는 현상을 방지한다.At this time, since the flange portion 200 of the flexible heater 100 is connected to the outlet of the vacuum pump 12 or the inlet of the gas scrubber 20, the vacuum pump 12 and the gas scrubber 20 The flange portion 200 of the flexible heater 100 can be optionally cooled. However, since the cooling of the flange unit 200 is prevented in advance by the heating line 130 arranged closely to the flange unit 200, the phenomenon that the flange unit 200 is lowered to an abnormal temperature and a cold spot is generated .

전기 공급 기구(400)는 외부 전원의 전기를 발열선(130)에 공급하고, 온도 감지 기구(300)가 플렌지 파이프(220)의 외주부에 대한 실제 온도를 측정하여 온도 감지 신호를 플렉시블 히터(100)의 외측에 배치된 제어부(미도시)에 전달한다.The electric power supply mechanism 400 supplies the electric power of the external power source to the heating wire 130 and the temperature sensing mechanism 300 measures the actual temperature of the outer circumferential portion of the flange pipe 220 and outputs the temperature sensing signal to the flexible heater 100. [ To a control unit (not shown) disposed on the outside of the vehicle.

여기서, 전기 공급 기구(400)의 케이블 커넥터(430)는 외부 전원과 연결된 전기 케이블(420)을 통해 입력되는 전기를 발열선(130)에 전달하되, 외부 전원에서 과전류 또는 과전압이 전달되는 경우에 발열선(130)과의 연결이 차단되어 플렉시블 히터(100)의 열손상을 미연에 방지한다. The cable connector 430 of the electric power supply mechanism 400 transmits electricity input through an electric cable 420 connected to an external power source to the heating wire 130. When an overcurrent or an overvoltage is transmitted from the external power supply, The connection between the flexible heater 100 and the heat sink 130 is cut off, thereby preventing thermal damage of the flexible heater 100 in advance.

그리고, 온도 감지 기구(300)는 플렌지 파이프(220)의 온도를 실시간으로 감지한 후 제어부에 온도 감지값을 전송하고, 제어부는 온도 감지 기구(300)에 감지된 온도를 기반으로 전기 공급 기구(400)에 의해 발열선(130)으로 전달되는 전기의 공급을 조절하여 가스(G)의 온도를 설정 온도 범위로 유지한다.The temperature sensing mechanism 300 senses the temperature of the flange pipe 220 in real time and then transmits a temperature sensing value to the controller. The controller senses the temperature sensed by the temperature sensing mechanism 300, 400 controls the supply of electricity to the heating line 130 to maintain the temperature of the gas G at the set temperature range.

한편, 플렉시블 히터(100)에 외부 충격을 가하거나 진동이 발생하면, 플렉시블 히터(100)의 발열선(130)이 내측 벨로우즈(120)와 플렌지 파이프(220)를 따라 유동할 수 있다. 하지만, 플렌지 파이프(220)의 외주부에 배치된 발열선(130) 중에서 온도 감지 기구(300)의 양측에 배치된 발열선(130)은 고정 부재(132)에 의해 플렌지 파이프(220)의 외주부에 고정된 상태이므로, 온도 감지 기구(300)의 센서 하우징(310)이 발열선(130)과 직접적으로 접촉하지 않는다. 따라서, 온도 감지 기구(300)가 발열선(130)과의 접촉에 의해서 열손상되거나 온도 측정값에 오류가 발생하는 문제를 미연에 방지할 수 있다. The heating wire 130 of the flexible heater 100 may flow along the inner bellows 120 and the flange pipe 220 when an external impact is applied to the flexible heater 100 or a vibration occurs. However, the heating wire 130 disposed on both sides of the temperature sensing mechanism 300 among the heating wires 130 disposed on the outer peripheral portion of the flange pipe 220 is fixed to the outer peripheral portion of the flange pipe 220 by the fixing member 132 The sensor housing 310 of the temperature sensing device 300 is not in direct contact with the heating wire 130. [ Therefore, it is possible to prevent a problem that the temperature sensing mechanism 300 is thermally damaged due to contact with the heating line 130, or an error occurs in the temperature measurement value.

이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 청구범위뿐 아니라 이 청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다. Although the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And various modifications and changes may be made thereto without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the claims set forth below, fall within the scope of the present invention.

100: 플렉시블 히터
110: 라이너
120: 내측 벨로우즈
130: 발열선
140: 외측 벨로우즈
200: 플랜지부
210: 플렌지 커버
220: 플렌지 파이프
230: 플렌지 리듀서
300: 온도 감지 기구
310: 센서 하우징
320: 온도 센서
330: 연결 케이블
400: 전기 공급 기구
S: 내부 공간
D1, D2: 발열선의 감김 간격100: Flexible heater
110: Liner
120: Inner bellows
130: Heating line
140: outer bellows
200: flange portion
210: flange cover
220: Flange pipe
230: Flange Reducer
300: Temperature sensing device
310: sensor housing
320: Temperature sensor
330: Connecting cable
400: electric supply mechanism
S: interior space
D1, D2: Wrapping interval of heating wire

Claims (15)

제조 공정에서 발생되는 각종 가스의 이동을 안내하는 관 형상의 라이너;
상기 라이너의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 내측 벨로우즈;
상기 내측 벨로우즈의 외주부에 길이 방향을 따라 나선 형상으로 마련된 발열선;
상기 발열선이 마련된 상기 내측 벨로우즈의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 외측 벨로우즈;
상기 외측 벨로우즈의 단부에 연결되는 원통 형상의 플렌지 커버;
상기 라이너의 단부에 일단부가 연결되고, 상기 플렌지 커버의 외측으로 노출되도록 상기 플렌지 커버의 단부에 타단부가 관통되게 배치된 플렌지 파이프;
상기 플렌지 파이프의 타단부에 배치되고, 상기 가스를 토출하거나 흡입하기 위한 장치에 연결되는 플렌지 리듀서; 및
상기 플렌지 파이프의 온도를 실시간으로 감지하도록 상기 플렌지 파이프의 외주부에 배치된 온도 감지 기구;를 포함하며,
상기 발열선은 상기 플렌지 커버와 상기 플렌지 파이프 사이에 형성된 내부 공간으로 연장 형성되어 상기 플렌지 파이프의 외주부에 길이 방향을 따라 나선 형상으로 마련되고,
상기 발열선은 상기 내측 벨로우즈의 외주부보다 상기 플렌지 파이프의 외주부에서 단위 길이당 감기는 회수가 더 증가되며,
상기 온도 감지 기구는 상기 플렌지 파이프의 외주부에 감긴 상기 발열선의 감김 간격 사이에 배치되고,
상기 플렌지 파이프의 외주부에 감긴 상기 발열선은 임의 유동에 의한 상기 온도 감지 기구와의 접촉을 방지하도록 상기 플렌지 파이프의 외주부에 고정 부재로 고정되며,
상기 고정 부재는 상기 온도 감지 기구의 양측에 위치한 상기 발열선에 각각 배치되고,
상기 플렌지 파이프의 타단부는, 상기 플렌지 리듀서의 설치 길이를 확보하는 돌출 길이로 상기 플렌지 커버의 단부에서 노출되게 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
A tubular liner for guiding the movement of various gases generated in the manufacturing process;
A bellows-shaped inner bellows surrounding the outer side of the liner;
A heating wire provided on the outer peripheral portion of the inner bellows in a spiral shape along the longitudinal direction;
A bellows-shaped outer bellows surrounding the outer side of the inner bellows provided with the heating wire;
A cylindrical flange cover connected to an end of the outer bellows;
A flange pipe having one end connected to an end of the liner and the other end penetrating the end of the flange cover so as to be exposed to the outside of the flange cover;
A flange reducer disposed at the other end of the flange pipe and connected to a device for discharging or sucking the gas; And
And a temperature sensing mechanism disposed on an outer periphery of the flange pipe to sense the temperature of the flange pipe in real time,
Wherein the heating line extends from an inner space formed between the flange cover and the flange pipe and is formed in a spiral shape along the longitudinal direction on an outer peripheral portion of the flange pipe,
The number of turns of the heating wire per unit length at the outer peripheral portion of the flange pipe is further increased than the outer peripheral portion of the inner bellows,
Wherein the temperature sensing mechanism is disposed between a winding interval of the heating wire wound around the outer periphery of the flange pipe,
Wherein the heating wire wound around an outer peripheral portion of the flange pipe is fixed to a peripheral portion of the flange pipe by a fixing member so as to prevent contact with the temperature sensing mechanism due to any flow,
The fixing members are respectively disposed on the heating lines located on both sides of the temperature sensing mechanism,
Wherein the other end of the flange pipe is disposed so as to be exposed at an end of the flange cover with a protrusion length securing the installation length of the flange reducer.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 온도 감지 기구는,
상기 플렌지 파이프의 외주부에 고정된 센서 하우징;
상기 센서 하우징에 형성된 수납 공간에 수납되고, 상기 플렌지 파이프의 온도를 감지하는 온도 센서; 및
상기 플렌지 커버에 관통되게 배치되어 상기 온도 센서에 신호 전달 가능하게 연결되는 연결 케이블;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 1,
The temperature sensing mechanism includes:
A sensor housing fixed to an outer periphery of the flange pipe;
A temperature sensor housed in a storage space formed in the sensor housing and sensing a temperature of the flange pipe; And
A connection cable disposed to penetrate the flange cover and connected to the temperature sensor so as to be able to transmit signals;
And a flexible heater.
제6항에 있어서,
상기 센서 하우징은, 상기 플렌지 파이프의 외주부에 감긴 상기 발열선의 감김 간격보다 작은 크기의 박스 형상으로 형성되어 상기 발열선의 감김 간격 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 6,
Wherein the sensor housing is formed in a box shape having a size smaller than a winding interval of the heating wire wound around the outer periphery of the flange pipe and disposed between the winding intervals of the heating wire.
제6항에 있어서,
상기 수납 공간의 형상과 크기는, 상기 온도 센서가 상기 수납 공간의 내부에 수납된 상태에서 유동되지 않도록 상기 온도 센서의 형상과 크기에 대응되게 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 6,
Wherein the shape and size of the storage space are formed to correspond to the shape and size of the temperature sensor such that the temperature sensor does not flow in a state accommodated in the storage space.
제6항에 있어서,
상기 수납 공간은 상기 센서 하우징의 내부에 형성되고,
상기 센서 하우징의 일측에는 상기 수납 공간과 연통되는 케이블 홀부가 형성되며,
상기 연결 케이블의 단부는 상기 케이블 홀부에 삽입되어 상기 온도 센서에 연결되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 6,
Wherein the storage space is formed inside the sensor housing,
A cable hole portion communicating with the storage space is formed at one side of the sensor housing,
Wherein an end of the connection cable is inserted into the cable hole and connected to the temperature sensor.
제6항에 있어서,
상기 수납 공간은 상기 센서 하우징의 일측에 홈 형상으로 형성되고,
상기 센서 하우징의 타측에는 상기 수납 공간에 삽입된 상태로 상기 온도 센서를 고정시키기 위한 센서 고정 부재가 배치되며,
상기 연결 케이블의 단부는 상기 수납 공간의 입구를 통해 상기 상기 온도 센서에 연결되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 6,
Wherein the storage space is formed in a groove shape on one side of the sensor housing,
A sensor fixing member for fixing the temperature sensor in a state of being inserted into the accommodating space is disposed on the other side of the sensor housing,
And an end of the connection cable is connected to the temperature sensor through an inlet of the storage space.
제6항에 있어서,
상기 플렌지 커버에는 상기 연결 케이블이 관통되게 체결 고정되기 위한 케이블 장착부가 형성되고,
상기 케이블 장착부는 상기 플렌지 커버의 직경 방향으로 상기 센서 하우징과 서로 마주보는 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 6,
Wherein a cable mounting portion for fastening and fixing the connection cable is formed in the flange cover,
Wherein the cable mounting portion is disposed at a position facing the sensor housing in the radial direction of the flange cover.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 고정 부재는,
상기 발열선의 일부를 감싸는 형상으로 상기 발열선을 지지하는 지지부; 및
상기 지지부의 양단부에 연결되어 상기 플렌지 파이프의 외주부에 용접되는 용접부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 1,
Wherein:
A support for supporting the heating wire in a shape to surround a part of the heating wire; And
A welding portion connected to both ends of the support portion and welded to an outer peripheral portion of the flange pipe;
And a flexible heater.
제1항에 있어서,
상기 고정 부재는 상기 플렌지 파이프의 길이 방향을 따라 상기 온도 감지 기구의 양측에 위치한 상기 발열선의 2개 부위에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.
The method according to claim 1,
Wherein the fixing member is disposed at two portions of the heating line located on both sides of the temperature sensing mechanism along the longitudinal direction of the flange pipe.
제14항에 있어서,
상기 고정 부재는 상기 온도 감지 기구를 중심으로 서로 대칭되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 히터.15. The method of claim 14,
Wherein the fixing member is disposed at a position symmetrical with respect to the temperature sensing mechanism.
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