KR101889850B1 - Solar cell - Google Patents
Solar cell Download PDFInfo
- Publication number
- KR101889850B1 KR101889850B1 KR1020120081162A KR20120081162A KR101889850B1 KR 101889850 B1 KR101889850 B1 KR 101889850B1 KR 1020120081162 A KR1020120081162 A KR 1020120081162A KR 20120081162 A KR20120081162 A KR 20120081162A KR 101889850 B1 KR101889850 B1 KR 101889850B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- line portion
- line
- electrode
- substrate
- bus bar
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N nickel silicide Chemical compound [Ni]=[Si]=[Ni] RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910021334 nickel silicide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PEUPIGGLJVUNEU-UHFFFAOYSA-N nickel silicon Chemical compound [Si].[Ni] PEUPIGGLJVUNEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/022433—Particular geometry of the grid contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/02168—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells the coatings being antireflective or having enhancing optical properties for the solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/028—Inorganic materials including, apart from doping material or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
Abstract
본 발명은 태양 전지에 관한 것이다.
본 발명에 따른 태양 전지의 일례는 제1 도전성 불순물을 함유하는 기판; 기판의 제1 면에 배치되며, 제1 도전성 불순물과 반대인 제2 도전성 불순물을 함유하여 기판과 p-n 접합을 형성하는 에미터부; 기판의 제1 면 위에 배치되어, 에미터부와 연결되는 제1 전극; 및 기판의 제2 면 위에 배치되며, 기판과 연결되는 제2 전극;을 포함하고, 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나의 전극은 제1 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 핑거전극과 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 버스바를 포함하고, 복수 개의 버스바 중 적어도 하나의 버스바는 제2 방향으로 뻗어 있는 제1 라인부;와 제1 라인부로부터 사선 방향으로 뻗어 있는 제2 라인부;를 포함한다.The present invention relates to a solar cell.
An example of a solar cell according to the present invention includes a substrate containing a first conductive impurity; An emitter portion disposed on a first surface of the substrate and containing a second conductive impurity opposite to the first conductive impurity to form a pn junction with the substrate; A first electrode disposed on the first surface of the substrate and connected to the emitter; And a second electrode disposed on a second surface of the substrate and connected to the substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode includes a plurality of finger electrodes extending in a first direction, Wherein at least one of the plurality of bus bars includes a first line portion extending in a second direction and a second line portion extending in a second diagonal direction from the first line portion, And a line portion.
Description
본 발명은 태양 전지에 관한 것이다.The present invention relates to a solar cell.
최근 석유나 석탄과 같은 기존 에너지 자원의 고갈이 예측되면서 이들을 대체할 대체 에너지에 대한 관심이 높아지고, 이에 따라 태양 에너지로부터 전기 에너지를 생산하는 태양 전지가 주목받고 있다.Recently, as energy resources such as oil and coal are expected to be depleted, interest in alternative energy to replace them is increasing, and solar cells that produce electric energy from solar energy are attracting attention.
일반적인 태양 전지는 p형과 n형처럼 서로 다른 도전성 타입(conductive type)에 의해 p-n 접합을 형성하는 반도체부, 그리고 서로 다른 도전성 타입의 반도체부에 각각 연결된 전극을 구비한다. Typical solar cells have a semiconductor portion that forms a p-n junction by different conductive types, such as p-type and n-type, and electrodes connected to semiconductor portions of different conductivity types, respectively.
이러한 태양 전지에 빛이 입사되면 반도체부에서 복수의 전자-정공 쌍이 생성되고, 생성된 전자-정공 쌍은 입사된 빛에 의해 전하인 전자와 정공으로 각각 분리되어, 전자는 n형의 반도체부 쪽으로 이동하고 정공은 p형의 반도체부 쪽으로 이동한다. 이동한 전자와 정공은 각각 n형의 반도체부와 p형의 반도체부에 연결된 서로 다른 전극에 의해 수집되고 이 전극들을 전선으로 연결함으로써 전력을 얻는다.When light is incident on such a solar cell, a plurality of electron-hole pairs are generated in the semiconductor portion, and the generated electron-hole pairs are separated into electrons and holes which are charged by the incident light and electrons are separated toward the n- And the holes move toward the p-type semiconductor portion. The transferred electrons and holes are collected by different electrodes connected to the n-type semiconductor portion and the p-type semiconductor portion, respectively, and electric power is obtained by connecting these electrodes with electric wires.
본 발명은 제조 공정 시간을 보다 단축시킬 수 있는 태양 전지를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a solar cell which can further shorten the manufacturing process time.
본 발명에 따른 태양 전지의 일례는 제1 도전성 불순물을 함유하는 기판; 기판의 제1 면에 배치되며, 제1 도전성 불순물과 반대인 제2 도전성 불순물을 함유하여 기판과 p-n 접합을 형성하는 에미터부; 기판의 제1 면 위에 배치되어, 에미터부와 연결되는 제1 전극; 및 기판의 제2 면 위에 배치되며, 기판과 연결되는 제2 전극;을 포함하고, 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나의 전극은 제1 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 핑거전극과 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 버스바를 포함하고, 복수 개의 버스바 중 적어도 하나의 버스바는 제2 방향으로 뻗어 있는 제1 라인부;와 제1 라인부로부터 사선 방향으로 뻗어 있는 제2 라인부;를 포함한다.An example of a solar cell according to the present invention includes a substrate containing a first conductive impurity; An emitter portion disposed on a first surface of the substrate and containing a second conductive impurity opposite to the first conductive impurity to form a p-n junction with the substrate; A first electrode disposed on the first surface of the substrate and connected to the emitter; And a second electrode disposed on a second surface of the substrate and connected to the substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode includes a plurality of finger electrodes extending in a first direction, Wherein at least one bus bar of the plurality of bus bars includes a first line portion extending in a second direction and a second line portion extending in a second diagonal direction from the first line portion, And a line portion.
여기서, 제1 라인부 및 제2 라인부에 의해 형성되는 버스바의 폭은 핑거전극의 폭보다 클 수 있다. 여기서, 버스바의 폭은 제1 라인부 및 제2 라인부에서 제1 방향으로의 양 끝단 사이의 간격일 수 있다.Here, the width of the bus bar formed by the first line portion and the second line portion may be larger than the width of the finger electrode. Here, the width of the bus bar may be a distance between both ends in the first direction in the first line portion and the second line portion.
또한, 제1 라인부 및 제2 라인부 각각의 폭은 핑거전극의 폭과 동일할 수 있다.The width of each of the first line portion and the second line portion may be the same as the width of the finger electrode.
또한, 버스바에서 제1 라인부의 개수는 하나, 제2 라인부는 복수 개이고, 복수 개의 제2 라인부 각각은 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있을 수 있다.The number of the first line portions may be one in the bus bar, the number of the second line portions may be plural, and each of the plurality of second line portions may extend in both diagonal directions about one first line portion.
이때, 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 제2 라인부 중에서, 하나의 제1 라인부의 제1 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부는 하나의 제1 라인부의 나머지 제2 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부와 동일한 방향의 일직선 상에 위치할 수 있다.At this time, among a plurality of second line portions extending in both diagonal directions about one first line portion, a portion extending in the first diagonal direction of one first line portion is connected to the remaining second side And may be positioned on a straight line in the same direction as the portion extending in the oblique direction.
또한, 버스바는 제1 라인부의 끝단과 제2 라인부를 제1 방향으로 서로 연결하는 제3 라인부를 더 포함할 수 있다.The bus bar may further include a third line unit connecting the end of the first line unit and the second line unit in the first direction.
또한, 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 제2 라인부는 하나의 제1 라인부와 연결되는 지점이 서로 엇갈리 수도 있다. 이때, 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 제2 라인부 중에서, 하나의 제1 라인부의 제1 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부는 하나의 제1 라인부의 나머지 제2 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부와 교차하는 방향일 수 있다.In addition, a plurality of second line portions extending in both oblique directions with respect to one first line portion may be offset from a point connected to one first line portion. At this time, among a plurality of second line portions extending in both diagonal directions about one first line portion, a portion extending in the first diagonal direction of one first line portion is connected to the remaining second side And may be a direction intersecting a portion extending in the oblique direction.
또한, 버스바에서 제1 라인부 및 제2 라인부의 개수는 복수 개이고, 복수 개의 제2 라인부 각각은 복수 개의 제1 라인부들이 서로 연결되도록 사선 방향으로 형성될 수 있다.In addition, the number of the first line portion and the second line portion in the bus bar may be plural, and each of the plurality of second line portions may be formed in an oblique direction so that the plurality of first line portions are connected to each other.
여기서, 복수 개의 제1 라인부 각각과 교차하는 복수 개의 제2 라인부 각각은 사선 방향으로 일직선 상에 위치하고, 복수 개의 제2 라인부 각각은 복수 개의 제1 라인부 중 양쪽 최외곽에 형성된 제1 라인부들 사이에 형성될 수 있다.Here, each of the plurality of second line portions intersecting each of the plurality of first line portions is positioned on a straight line in an oblique direction, and each of the plurality of second line portions includes a first line portion May be formed between the line portions.
또한, 기판의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나의 면 위에는 반사 방지막을 더 포함할 수 있다.Further, an anti-reflection film may be further formed on at least one of the first and second surfaces of the substrate.
또한, 버스바는 에미터부의 내부로 함입되지 않고, 에미터부의 표면에 접촉될 수 있다. 이때, 버스바는 에미터부의 표면에 접하는 시드층, 및 시드층 위에 위치하는 도전성 금속층을 포함할 수 있다.Further, the bus bar may not be embedded in the emitter portion, but may be in contact with the surface of the emitter portion. At this time, the bus bar may include a seed layer contacting the surface of the emitter portion, and a conductive metal layer located on the seed layer.
본 발명에 따른 태양 전지는 버스바 전체 폭 중에서 일부 영역에만 제1 라인부와 제2 라인부를 형성함으로써, 태양 전지의 제조 공정 시간을 보다 단축 시킬 수 있는 효과가 있다.The solar cell according to the present invention has the effect of shortening the manufacturing process time of the solar cell by forming the first line portion and the second line portion in only a part of the entire width of the bus bar.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 태양 전지의 일부 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 태양 전지를 II-II선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 3는 도 2에서 A부분을 확대한 확대도이다.
도 4은 도 1에 도시된 태양 전지의 제1 전극 패턴을 설명하기 위한 도이다.
도 5 내지 도 9는 본 발명에 따른 버스바의 다양한 패턴 형태를 설명하기 위한 도이다.1 is a partial perspective view of a solar cell according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the solar cell shown in FIG. 1 taken along line II-II.
Fig. 3 is an enlarged view of the portion A in Fig. 2. Fig.
4 is a view for explaining a first electrode pattern of the solar cell shown in FIG.
5 to 9 are views for explaining various pattern patterns of a bus bar according to the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한 어떤 부분이 다른 부분 위에 “전체적”으로 형성되어 있다고 할 때에는 다른 부분의 전체 면(또는 전면)에 형성되어 있는 것뿐만 아니라 가장 자리 일부에는 형성되지 않은 것을 뜻한다.In the drawings, the thicknesses are enlarged to clearly indicate layers and regions. When a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the case directly above another portion but also the case where there is another portion in between. Conversely, when a part is "directly over" another part, it means that there is no other part in the middle. Also, when a part is formed as "whole" on the other part, it means not only that it is formed on the entire surface (or the front surface) of the other part but also not on the edge part.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 한 실시예에 따른 태양 전지에 대하여 설명한다.Hereinafter, a solar cell according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 태양 전지의 일부 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 태양 전지를 II-II선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 3는 도 2에서 A부분을 확대한 확대도이고, 도 4은 도 1에 도시된 태양 전지의 제1 전극 패턴을 설명하기 위한 도이다.2 is a cross-sectional view taken along line II-II of the solar cell shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. FIG. 4 is a view for explaining a first electrode pattern of the solar cell shown in FIG. 1. FIG.
도 1 및 도 2를 참고로 하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 태양 전지는 기판(110), 에미터부(121), 후면 전계부(172)(back surface field, BSF), 제1 전극(140), 및 제2 전극(150)을 포함하고, 반사 방지막(130)을 더 포함할 수 있다.1 and 2, a solar cell according to an exemplary embodiment of the present invention includes a
여기서, 반사 방지막(130)은 생략될 수도 있지만, 태양 전지의 효율 향상에 더 유리하므로, 이하에서는 반사 방지막(130)이 포함된 경우를 일례로 설명한다.Here, the
이와 같은 본 발명에 따른 태양 전지는 기판(110)의 제1 면에는 제1 전극(140), 기판(110)의 제2 면에는 제2 전극(150)을 구비하여, 기판(110)의 제1 면 및 기판(110)의 제2 면으로 입사된 빛으로부터 전기를 생산하는 태양 전지의 구조를 가지고 있다.The solar cell according to the present invention includes a
기판(110)은 제1 도전성 타입, 예를 들어 p형 도전성 타입을 가질 수 있으며, 이와 같은 기판(110)은 결정질 실리콘 또는 다결정 실리콘을 포함할 수 있다. 기판(110)이 p형의 도전성 타입을 가질 경우, 붕소(B), 갈륨, 인듐 등과 같은 3가 원소의 불순물이 기판(110)에 도핑(doping)된다. 하지만, 이와는 달리, 기판(110)은 n형 도전성 타입일 수 있다. 기판(110)이 n형의 도전성 타입을 가질 경우, 인(P), 비소(As), 안티몬(Sb) 등과 같이 5가 원소의 불순물이 기판(110)에 도핑될 수 있다.The
이러한 기판(110)의 제1 면 및 제2 면은 텍스처링(texturing)되어 요철면인 텍스처링 표면(textured surface)을 가질 수 있다. 편의상 도 1에서는 기판(110)에서 요철면을 도시하지 않았으나, 실질적으로 기판(110)의 제1 면 전체가 텍스처링 표면을 가질 수 있다. The first and second surfaces of the
이때, 텍스처링 표면을 습식 식각 또는 건식 식각 방법에 의해 형성될 수있으며, 이때, 형성되는 각 요철의 폭과 높이는 각 식각 방법에 따라 달라질 수 있다.At this time, the textured surface may be formed by wet etching or dry etching. At this time, the width and height of the concavities and convexities formed may vary depending on the etching method.
복수의 요철을 갖고 있는 텍스처링 표면에 의해, 기판(110)의 제1 면 및 후면 쪽으로 입사되는 빛은 기판(110)의 표면에 형성된 복수의 요철에 의해 복수 번의 반사 동작이 발생하면서 기판(110) 내부로 입사된다. 이로 인해, 기판(110)의 제1 면 및 제2 면에서 반사되는 빛의 양이 감소하여 기판(110) 내부로 입사되는 빛의 양이 증가한다. The light incident on the first surface and the rear surface of the
에미터부(121)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 도전성 타입의 반도체 기판(110)의 제1 면에 형성되며, 제1 도전성 타입과 반대인 제2 도전성 타입, 예를 들어, n형의 도전성 타입의 불순물이 기판(110)에 도핑된 영역으로, 기판(110)의 제1 면 내부에 위치할 수 있다. 따라서 제2 도전성 타입의 에미터부(121)는 기판(110)과 p-n 접합을 이룬다.The
이와 같은 기판(110)과 에미터부(121)의 p-n 접합으로 인하여, 기판(110)에 입사된 빛에 의해 생성된 전하인 전자-정공 쌍은 전자와 정공으로 분리되어 전자는 n형 쪽으로 이동하고 정공은 p형 쪽으로 이동한다. 따라서, 기판(110)이 p형이고 에미터부(121)가 n형일 경우, 분리된 정공은 기판(110) 후면 쪽으로 이동하고 분리된 전자는 에미터부(121) 쪽으로 이동한다.Due to the pn junction between the
에미터부(121)는 기판(110)과 p-n접합을 형성하므로, 본 실시예와 달리, 기판(110)이 n형의 도전성 타입을 가질 경우, 에미터부(121)는 p형의 도전성 타입을 가진다. 이 경우, 분리된 전자는 기판(110) 후면 쪽으로 이동하고 분리된 정공은 에미터부(121)쪽으로 이동한다.Since the
에미터부(121)가 n형의 도전성 타입을 가질 경우, 에미터부(121)는 5가 원소의 불순물을 기판(110)에 도핑하여 형성될 수 있고, 반대로 p형의 도전성 타입을 가질 경우, 3가 원소의 불순물을 기판(110)에 도핑하여 형성될 수 있다.When the
이와 같은 에미터부(121)는 제2 도전성 타입의 불순물이 기판(110) 내부로 확산되어 형성될 수 있다.The
후면 전계부(172)는 기판(110)의 제2 면에 위치할 수 있으며, 기판(110)과 동일한 도전성 타입의 불순물이 기판(110)보다 고농도로 도핑된 영역, 예를 들면, P+ 영역이다. The backside
이러한 기판(110)의 제1 도전성 영역과 후면 전계부(172)간의 불순물 농도 차이로 인해 전위 장벽이 형성되고, 이로 인해, 정공의 이동 방향인 후면 전계부(172) 쪽으로 전자 이동을 방해하는 반면, 후면 전계부(172) 쪽으로의 정공 이동을 용이하게 한다. 따라서, 기판(110)의 후면 및 그 부근에서 전자와 정공의 재결합으로 손실되는 전하의 양을 감소시키고 원하는 전하(예, 정공)의 이동을 가속화시켜 제1 전극(140)로의 전하 이동량을 증가시킨다.A potential barrier is formed due to the difference in impurity concentration between the first conductive region and the rear
반사 방지막(130)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 에미터부(121)의 제1 면 위에 위치한다. 이와 같은 반사 방지막(130)은 투명한 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 산화 질화막(SiOxNy) 및 알루미늄 산화물(Al2O3) 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있다. 아울러, 반사 방지막(130)은 반드시 이와 같은 재질에만 한정되지 않고, 다른 재질로 형성되는 것도 가능하다.The
아울러, 반사 방지막(130)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 하나의 층으로 형성될 수도 있으나, 태양 전지의 효율을 극대화하기 위하여 복수의 층으로 형성되는 것도 가능하다.In addition, the
이와 같은 반사 방지막(130)의 두께는 일례로 대략 50nm ~ 500nm 사이에서 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The thickness of the
이와 같은 반사 방지막(130)은 태양 전지로 입사되는 빛의 반사도를 줄이고 특정한 파장 영역의 선택성을 증가시켜, 태양 전지의 효율을 높인다. 또한 반사 방지막(130)를 형성할 때 주입된 수소(H) 등을 통해 반사 방지막(130)은 기판(110)의 표면 및 그 근처에 존재하는 댕글링 결합(dangling bond)과 같은 결함(defect)을 안정한 결합으로 바꾸어 결함에 의해 기판(110)의 표면 쪽으로 이동한 전하가 소멸되는 것을 감소시키는 패시베이션 기능(passivation function)도 수행할 수 있다. 따라서 결함에 의해 기판(110)의 표면 및 그 부근에서 손실되는 전하의 양이 감소하므로, 태양 전지의 효율은 향상된다.The
제1 전극(140)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판(110)의 제1 면에 위치하며, 에미터부(121)에 연결될 수 있다. The
이와 같은 제1 전극(140)은 복수의 핑거 전극(이하, 전면 핑거전극(141))과 복수의 전면 핑거전극(141)과 연결되어 있는 복수의 버스바(이하, 전면 버스바(142))를 구비한다.The
예를 들어, 도 4과 같이, 복수의 전면 핑거전극(141)은 에미터부(121)와 전기적 및 물리적으로 연결되어 있고, 제1 방향(x)으로 나란히 뻗어있다. 복수의 전면 핑거전극(141)은 에미터부(121) 쪽으로 이동한 전하, 예를 들면, 전자를 수집한다.For example, as shown in FIG. 4, a plurality of
예를 들어, 도 4과 같이, 복수의 전면 버스바(142)는 에미터부(121)와 전기적 및 물리적으로 연결되어 있고 복수의 전면 핑거전극(141)과 교차하는 제2 방향(y)으로 나란하게 형성될 수 있다.For example, as shown in FIG. 4, a plurality of front bus bars 142 are electrically and physically connected to
이때, 복수의 전면 버스바(142)는 복수의 전면 핑거전극(141)과 동일 층에 위치하여 각 전면 핑거전극(141)과 교차하는 지점에서 해당 전면 핑거전극(141)과 전기적 및 물리적으로 연결되어 있다. At this time, the plurality of front bus bars 142 are located on the same layer as the plurality of
따라서, 도 4에 도시한 것처럼, 복수의 전면 핑거전극(141)은 제1 방향(x)으로 형성되고, 복수의 전면 버스바(142)는 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 형성된다.4, a plurality of
복수의 전면 버스바(142)는 접촉된 에미터부(121)의 부분으로부터 이동하는 전하뿐만 아니라 복수의 전면 핑거전극(141)에 의해 수집되어 이동하는 전하를 수집한다. The plurality of front bus bars 142 collect the charge moving from the portion of the contacted
이와 같은 복수의 전면 버스바(142)는 외부 장치와 연결되어 수집된 전하(예, 전자)를 외부 장치로 출력된다. The plurality of front bus bars 142 are connected to an external device to output collected electric charges (e.g., electrons) to an external device.
이와 같은 제1 전극(140)의 복수의 전면 핑거전극(141)과 복수의 전면 버스바(142)는 은(Ag)과 같은 적어도 하나의 도전성 물질로 이루어져 있다. The plurality of
도 1에서, 기판(110)에 위치하는 전면 핑거전극(141)과 전면 버스바(142)의 개수는 한 예에 불과하고, 경우에 따라 변경 가능하다.In FIG. 1, the number of the
이와 같은 제1 전극(140)은 전기 도금 방식에 의해 형성될 수 있다. 즉, 제1 전극(140)을 형성할 때에, 먼저 제1 전극(140)과 동일한 패턴으로 에미터부(121) 위에 위치하는 반사 방지막(130)의 일부 영역을 레이저로 제거한 이후, 노출된 에미터부(121) 위에 제1 전극(140)의 전면 핑거전극(141)과 전면 버스바(142)를 전기 도금 방식으로 형성시킬 수 있다.The
따라서, 전면 핑거전극(141)과 전면 버스바(142)는 에미터부(121)의 내부로 함입되지 않고, 에미터부(121)의 표면에 접촉되어 형성될 수 있다. The
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 전면 버스바(142)는 시드층(142S) 및 도전성 금속층(142M)을 포함하여 형성될 수 있으며, 아울러, 확산 방지층(142D)을 더 포함할 수도 있다. 도 3에서는 전면 버스바(142)를 예로 들어 설명하였지만, 전면 핑거전극(141)도 전면 버스바(142)와 동일한 시드층(142S), 확산 방지층(142D) 및 도전성 금속층(142M)을 구비할 수 있다.3, the
여기서, 시드층(142S)은 에미터부(121)의 표면에 접하고, 도전성 금속층(142M)은 시드층(142S) 위에 형성되고, 확산 방지층(142D)은 도전성 금속층(142M)과 시드층(142S) 사이에 형성될 수 있다.Here, the
이와 같은, 시드층(142S)은 니켈 규소 화합물(Ni silicide)를 포함하여 형성될 수 있으며, 확산 방지층(142D)은 니켈(Ni) 또는 니켈 규소 화합물(Ni silicide)을 포함하여 형성될 수 있고, 도전성 금속층(142M)은 구리(Cu), 주석(Sn) 및 은(Ag) 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있다.The
여기서, 확산 방지층(142D)은 도전성 금속층(142M)의 구리(Cu), 주석(Sn) 및 은(Ag)과 같은 불순물이 에미터부(121)로 확산되는 것을 방지하는 기능을 한다.The
제2 전극(150)은 후면 전극층(151)과 후면 전극층(151)에 연결되어 있는 복수의 후면 버스바(152)를 구비할 수 있다.The
후면 전극층(151)은 기판(110)의 후면에 위치한 후면 전계부(172)와 접촉하고 있고, 기판(110)의 후면 가장 자리와 후면 버스바(152)가 위치한 부분을 제외하면 실질적으로 기판(110)의 후면 전체에 위치한다.The
후면 전극층(151)은 제1 도전성 물질을 함유하고 있고, 일례로 알루미늄(Al)과 같은 도전성 물질을 함유할 수 있다. The
이러한 후면 전극층(151)은 후면 전계부(172)쪽으로부터 이동하는 전하, 예를 들어 정공을 수집한다.This
이때, 후면 전극층(151)이 기판(110)보다 높은 불순물 농도로 유지하는 후면 전계부(172)와 접촉하고 있으므로, 기판(110), 즉 후면 전계부(172)와 후면 전극층(151) 간의 접촉 저항이 감소하여 기판(110)으로부터 후면 전극층(151)으로의 전하 전송 효율이 향상된다.Since the
복수의 후면 버스바(152)는 후면 전극층(151)이 위치하지 않는 기판(110)의 후면 위에 위치하며 인접한 후면 전극층(151)과 연결되어 있다. The plurality of rear bus bars 152 are located on the rear surface of the
또한, 복수의 후면 버스바(152)는 기판(110)을 중심으로 복수의 전면 버스바(142)와 대응되게 마주본다.In addition, the plurality of rear bus bars 152 are opposed to the plurality of front bus bars 142 in correspondence with the
복수의 후면 버스바(152)는 복수의 전면 버스바(142)와 유사하게, 후면 전극층(151)으로부터 전달되는 전하를 수집한다.A plurality of rear bus bars 152 collects charge transferred from the
복수의 후면 버스바(152) 역시 외부 장치와 연결되어, 복수의 후면 버스바(152)에 의해 수집된 전하(예, 정공)는 외부 장치로 출력된다. A plurality of rear bus bars 152 are also connected to external devices so that the charges (e.g., holes) collected by the plurality of rear bus bars 152 are output to an external device.
이러한 복수의 후면 버스바(152)는 후면 전극층(151)보다 양호한 전도도를 갖는 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 은(Ag)과 같은 적어도 하나의 도전성 물질을 함유한다.The plurality of rear bus bars 152 may be made of a material having a better conductivity than the
도 1 및 도 2에서는 본 발명에 따른 태양 전지의 제2 전극(150)이 제1 전극(140)의 패턴과 다른 후면 전극층(151)과 후면 버스바(152)를 구비하는 것을 일례로 설명하였지만, 이와 다르게, 제2 전극(150)의 패턴은 제1 전극(140)의 패턴과 동일할 수 있다.1 and 2, the
즉, 제1 및 도 2에 도시된 제2 전극(150)과 다르게, 제2 전극(150)은 제1 전극(140)과 동일하게, 제1 방향(x)으로 뻗어 있는 핑거 전극(이하, 후면 핑거 전극)과 제2 방향(y)으로 뻗어 있는 버스바(이하, 후면 버스바)를 구비할 수 있다.2, the
즉, 도 4에 도시된 제1 전극(140)의 패턴과 동일하게, 제2 전극(150) 역시 후면 핑거 전극(미도시)과 후면 버스바(미도시)를 구비할 수 있다.That is, the
일례로, 제2 전극(150)의 후면 핑거 전극(미도시)의 패턴은 제1 전극(140)의 전면 핑거전극(141)과 동일한 폭과 패턴으로 기판(110)의 제2 면에 형성될 수 있으며, 제2 전극(150)의 후면 버스바(미도시)의 패턴은 제1 전극(140)의 전면 버스바(142)와 동일한 폭과 패턴으로 기판(110)의 제2 면에 형성될 수 있다.For example, the pattern of the rear finger electrodes (not shown) of the
또한, 이와 같은 제2 전극(150)은 제1 전극(140)과 마찬가지로 전기 도금 방식에 의해 형성될 수 있다. 따라서, 제2 전극(150)도 제1 전극(140)과 마찬가지로, 도 3와 동일하게 시드층(142S), 확산 방지층(142D), 도전성 금속층(142M)으로 형성될 수 있다.In addition, the
이와 같은 구조를 갖는 태양 전지가 복수 개인 경우, 리본 또는 인터커넥터(미도시, 이하 ‘리본’이라 함.)에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 어느 한 태양 전지의 전면 버스바(142)와, 해당 태양 전지와 인접한 태양 전지의 후면 버스바(152)는 리본에 의해 전기적으로 서로 연결된다.When there are a plurality of solar cells having such a structure, they may be electrically connected to each other by a ribbon or an interconnector (not shown). That is, the
이와 같은 구조를 갖는 본 실시예에 따른 태양 전지의 동작은 다음과 같다.The operation of the solar cell according to this embodiment having such a structure is as follows.
태양 전지로 빛이 조사되어 반사 방지막(130)를 통해 기판(110)으로 입사되면 빛 에너지에 의해 반도체부에서 전자-정공 쌍이 발생한다. 이때, 기판(110)의 텍스처링 표면과 반사 방지막(130)에 의해 기판(110)으로 입사되는 빛의 반사 손실이 줄어들어 기판(110)으로 입사되는 빛의 양이 증가한다. When light is irradiated to a solar cell and is incident on the
이들 전자-정공 쌍은 기판(110)과 에미터부(121)의 p-n 접합에 의해 서로 분리되어 전자와 정공은, 예를 들어, n형의 도전성 타입을 갖는 에미터부(121)과 p형의 도전성 타입을 갖는 기판(110) 쪽으로 각각 이동한다. 이처럼, 에미터부(121) 쪽으로 이동한 전자는 복수의 핑거 전극(141)과 복수의 전면 버스바(142)에 의해 수집되어 복수의 전면 버스바(142)를 따라 이동하고, 기판(110) 쪽으로 이동한 정공은 인접한 후면 전극층(151)와 복수의 후면 버스바(152)에 의해 수집되어 복수의 후면 버스바(152)를 따라 이동한다. 이러한 전면 버스바(142)와 후면 버스바(152)를 도선으로 연결하면 전류가 흐르게 되고, 이를 외부에서 전력으로 이용하게 된다.These electron-hole pairs are separated from each other by the pn junction of the
이때, 에미터부(121)가 선택적 에미터 구조를 갖는 에미터부(121)에 의해, 전하의 손실량은 감소하여, 제1 전극(140)으로 이동하는 전하의 양은 증가하여, 태양 전지의 효율은 크게 향상된다.At this time, the loss of charge is reduced by the
한편, 이와 같이 본 발명에 따른 태양 전지에서 도 4에 도시된 바와 같이, 복수 개의 전면 버스바(142) 중 적어도 하나의 전면 버스바(142)는 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 포함한다. 즉, 복수 개의 전면 버스바(142) 중 하나만 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 포함하여 형성될 수도 있고, 복수 개의 전면 버스바(142) 각각이 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 포함하여 형성될 수 있다.4, at least one
여기서, 제1 라인부(142B1)는 제1 방향(x)으로 뻗어 있는 전면 핑거전극(141)과 대략 수직으로 교차하는 제2 방향(y)으로 뻗어 있고, 제2 라인부(142B2)는 제1 라인부(142B1)로부터 사선 방향으로 뻗어 있다.The first line portion 142B1 extends in a second direction y substantially perpendicular to the
이와 같이, 복수 개의 전면 버스바(142) 중 적어도 하나의 전면 버스바(142)가 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 포함하여 형성되도록 함으로써, 태양 전지의 제조 공정 시간을 보다 단축시킬 수 있으며, 태양 전지의 제조 비용을 보다 절약할 수 있다.Since at least one
보다 구체적으로, 서로 인접한 복수의 태양 전지를 서로 전기적으로 연결시키기 위해서는 전면 버스바(142) 위에는 앞서 설명한 바와 같이, 리본이 접촉하게 된다. More specifically, in order to electrically connect a plurality of adjacent solar cells to each other, the ribbon contacts the
이와 같이, 리본을 전면 버스바(142) 위에 접촉시킬 때, 접촉 저항을 최소화하고, 구조적 안정성을 확보하기 위하여 제1 라인부(142B1) 및 제2 라인부(142B2)에 의해 형성되는 전면 버스바(142)의 폭(WBT)은 전면 핑거전극(141)의 폭(WF)보다 클 수 있다. In this way, when the ribbons are brought into contact with the front
예를 들어, 전면 버스바(142)의 폭(WBT)은 1mm ~ 1.5mm일 수 있으며, 전면 핑거전극(141)의 폭(WF)은 10μm ~ 20 μm사이일 수 있다. 여기서, 도 4에 도시된 바와 같이, 전면 버스바(142)의 폭(WBT)은 제1 라인부(142B1) 및 제2 라인부(142B2)에 의해 형성된 제1 방향(x)으로의 양 끝단 사이의 간격(WBT)을 의미한다.For example, the width WBT of the
이때, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 전극(140)을 전기 도금 방식으로 형성시킬 경우, 제1 전극(140)의 전면 핑거전극(141)이나 전면 버스바(142)를 형성하기 위해서는 먼저, 에미터부(121) 위에 형성되어 있는 반사 방지막(130)의 일부를 레이저를 이용하여 제1 전극(140)의 패턴 형상대로 제거해야한다.When the
이와 같은 경우, 도 4과 다르게, 바(bar) 형태로 1mm ~ 1.5mm 의 폭을 가진 전면 버스바(142)를 형성하는 경우, 제거해야할 반사 방지막(130)의 영역의 폭이 1mm ~ 1.5mm가 되므로, 레이저를 이용하여 해당 반사 방지막(130)의 영역을 모두 제거하기 위해서는 상당한 시간이 소요될 수 있다.4, when the
예를 들어, 레이저로 하나의 전면 핑거전극(141) 패턴을 형성하기 위해 반사 방지막(130)의 일부를 제거하는 시간보다 하나의 전면 버스바(142) 패턴을 형성하기 위해 반사 방지막(130)의 일부 영역을 제거하는 시간은, 레이저가 기판(110)의 상부와 하부를 수십번 반복하여 이동하면서 반사 방지막(130)을 제거해야 하므로, 수십배 이상 소요될 수 있으며, 전면 버스바(142)를 형성하기 위한 전극 재료도 더 많이 소모되어 제조 비용이 상대적으로 높아질 수 있다.For example, to form one
그러나, 1mm ~ 1.5mm 의 폭을 가진 바(bar) 형태의 전면 버스바(142)를 형성하는 대신에, 본 발명과 같이, 전면 버스바(142)의 전체 폭(WBT) 중 일부에만 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)가 포함되도록 전면 버스바(142)를 형성하면, 레이저가 기판(110)의 상부와 하부를 단지 몇 번만 반복 이동하여 반사 방지막(130)을 제거할 수 있으므로 태양 전지의 제조 공정 시간을 획기적으로 감소시킬 수 있으며, 전극 재료의 소모도 상대적으로 작아 제조 비용을 보다 감소시킬 수 있다.However, instead of forming the
예를 들어, 본 발명에 따른 전면 버스바(142)를 형성하는 과정에서, 반사 방지막(130)을 제거하기 위해 레이저를 조사할 때에, 첫 번째 회에는 제1 라인부(142B1)의 패턴과 동일한 반사 방지막(130)의 일부 영역을 제거하고, 두 번째 회에는 제2 라인부(142B2)의 패턴과 동일한 반사 방지막(130)의 일부 영역을 제거하면 되므로, 전면 버스바(142)를 형성하기 위한 반사 방지막(130)의 일부 영역 제거 시간을 상당히 감소시킬 있다.For example, in the process of forming the
또한, 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 포함하는 전면 버스바(142)의 패턴이 복수의 태양 전지를 서로 연결하는 리본이 직접 전면 버스바(142) 위에 접촉되는 점을 고려하면, 본 발명에 따른 전면 버스바(142)의 패턴은 리본과 전면 버스바(142)의 접촉 저항을 감소시키고, 리본과 전면 버스바(142)의 물리적 접촉력을 더욱 향상시킬 수 있다.The pattern of the
보다 구체적으로, 리본은 제1 라인부(142B1)와 동일한 방향인 제2 방향(y)으로 전면 버스바(142)와 접촉된다. 따라서, 리본과 전면 버스바(142)와의 접착 공정시, 리본과 동일한 제2 방향(y)으로 뻗어 있는 제1 라인부(142B1)는 중심축 내지 가이드 라인으로 역할하여 접착 공정을 보다 용이하게 진행할 수 있다.More specifically, the ribbon contacts the
또한, 제2 라인부(142B2)는 리본의 진행 방향인 제2 방향(y)과 사선 방향으로 제1 라인부(142B1)로부터 뻗어 있으므로, 리본과의 물리적 접촉력을 보다 향상시킬 수 있고, 전면 버스바(142)와 리본과의 접촉 저항을 보다 낮출 수 있다. Since the second line portion 142B2 extends from the first line portion 142B1 in the second direction y and the oblique direction of the ribbon, it is possible to further improve the physical contact force with the ribbon, The contact resistance between the
또한, 본 발명은 제1 라인부(142B1) 및 제2 라인부(142B2) 각각의 폭(WB1, WB2)은 전면 핑거전극(141)의 폭(WF)과 동일할 수 있다. 따라서, 전면 핑거전극(141)과 동일한 패턴으로 반사 방지막(130)의 일부 영역을 제거할 때 사용되는 레이저를 전면 버스바(142)의 제1 라인부(142B1) 및 제2 라인부(142B2)를 형성할 때에서 그대로 사용할 수 있다.The widths WB1 and WB2 of the first line portion 142B1 and the width of the second line portion 142B2 may be the same as the width WF of the
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 전면 버스바(142)에서 제1 라인부(142B1)의 개수는 하나, 제2 라인부(142B2)는 복수 개이고, 복수 개의 제2 라인부(142B2) 각각은 하나의 제1 라인부(142B1)를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 연장될 수 있다.4, the number of the first line portions 142B1 is one in the
이때, 도 4에 도시된 바와 같이, 하나의 제1 라인부(142B1)를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 제2 라인부(142B2) 중에서, 하나의 제1 라인부(142B1)의 제1 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부(142B2R)는 하나의 제1 라인부(142B1)의 나머지 제2 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부(142B2L)와 동일한 방향의 일직선 상에 위치할 수 있다.4, among the plurality of second line portions 142B2 extending in both oblique directions with respect to the first line portion 142B1, the first line portion 142B1 is divided into a plurality of second line portions 142B2, The portion 142B2R extending in the first radiating direction may be positioned on a straight line in the same direction as the remaining portion 142B2L extending in the second second radiating direction of one first line portion 142B1.
이와 같이, 제1 라인부(142B1)를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 제2 라인부(142B2)가 동일한 방향의 일직선 상에 위치하는 경우, 제2 라인부(142B2)의 패턴에 따라 반사 방지막(130)의 일부 영역을 제거하는 공정의 속도를 보다 높일 수 있다.In this way, when the second line portions 142B2 extending in both oblique directions with the first line portion 142B1 as a center are located on a straight line in the same direction, in accordance with the pattern of the second line portion 142B2, It is possible to further increase the speed of the process of removing a part of the area of the
이와 같이, 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 구비하는 전면 버스바(142)의 평면 구조는 전술한 바와 같이, 전면 버스바(142)를 형성하는 공정 시간을 단축시키고, 아울러, 리본과의 접촉 저항 및 물리적 접촉력을 더욱 향상시킬 수 있다.The planar structure of the
지금까지는, 제1 전극(140)이 전면 핑거전극(141)과 전면 버스바(142)를 구비하고, 전면 버스바(142)가 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 구비하는 경우를 일례로 설명하였지만, 제2 전극(150)이 제1 전극(140)과 동일한 패턴으로 형성되어, 후면 핑거 전극(미도시)과 후면 버스바(미도시)를 구비하고 있는 경우, 앞서 설명한 전면 버스바(142)의 구조가 후면 버스바에도 그대로 적용될 수 있다.The
지금까지는 전면 버스바(142)의 패턴 형태를 도 4을 일례로 설명하였지만, 이와 같은 제1 전극(140) 및 제2 전극(150) 중 적어도 하나의 전극에 포함되는 버스바의 패턴 형태는 다양한 구조로 형성될 수 있다.Although the pattern of the
이하에서는 이와 같은 다양한 형태의 버스바를 제1 전극(140)의 전면 버스바(142)를 일례로 설명하지만, 제2 전극(150)이 후면 핑거 전극과 후면 버스바 형태로 구비된 경우에는 제2 전극(150)의 후면 버스바에도 그대로 적용될 수 있다.Hereinafter, such various types of bus bars will be described as an example of the
도 5 내지 도 9는 본 발명에 따른 버스바의 다양한 패턴 형태를 설명하기 위한 도이다.5 to 9 are views for explaining various pattern patterns of a bus bar according to the present invention.
도 5와 같이, 본 발명에 따른 전면 버스바(142)의 제2 라인부(142B2)는 하나의 제1 라인부(142B1)를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 제2 라인부(142B2)는 하나의 제1 라인부(142B1)와 연결되는 지점이 서로 엇갈리게 형성될 수도 있다.5, the second line portion 142B2 of the
이때, 하나의 제1 라인부(142B1)를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 제2 라인부(142B2) 중에서, 하나의 제1 라인부(142B1)의 제1 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부(142B2R) 는 하나의 제1 라인부(142B1)의 나머지 제2 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부(142B2L) 와 교차하는 방향일 수 있다.At this time, out of the plurality of second line portions 142B2 extending in both oblique directions about one first line portion 142B1, a portion extending in the first lateral line direction of one first line portion 142B1 The first line portion 142B2R may be in a direction intersecting with the remaining portion 142B2L extending in the second diagonal direction of one first line portion 142B1.
이와 같이, 제2 라인부(142B2)가 제1 라인부(142B1)를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있되, 양쪽 사선 방향이 서로 교차하는 방향인 경우에는 리본을 전면 버스바(142)에 접착할 때에 제1 라인부(142B1)를 중심으로 제2 라인부(142B2)의 양쪽 형태가 서로 대칭되므로, 리본 접착 공정시, 제1 라인부(142B1) 뿐만 아니라 제2 라인부(142B2)도 가이드 라인으로 역할하여 접착 공정을 보다 용이하게 진행할 수 있다.When the second line portions 142B2 extend in both oblique directions about the first line portion 142B1 and both oblique directions intersect with each other, the ribbons are bonded to the
또한, 도 6과 같이, 본 발명에 따른 전면 버스바(142)는 제2 라인부(142B2)의 끝단과 제1 라인부(142B1)를 제1 방향(x)으로 서로 전기적으로 연결하는 제3 라인부(142B3)를 더 포함할 수 있다.6, the
이때, 레이저를 이용하여 제2 라인부(142B2)를 형성하기 위해 반사 방지막(130)의 일부 영역을 제거할 때에 제3 라인부(142B3)가 형성되는 반사 방지막(130)의 영역도 함께 연속적으로 제거할 수 있으므로, 공정 시간을 크게 증가시키지 않으면서, 리본과 전면 버스바(142)의 물리적 접촉력 및 전기적 접촉 저항을 보다 향상시킬 수 있다.At this time, when the partial area of the
지금까지는 전면 버스바(142)의 제1 라인부(142B1)가 하나인 경우만을 일례로 설명하였지만, 이와 다르게 전면 버스바(142)의 제1 라인부(142B1)는 복수 개로 형성될 수도 있다.Although only one first line portion 142B1 of the
일례로, 도 7에 도시된 바와 같이, 전면 버스바(142)의 제2 라인부(142B2) 뿐만 아니라, 제1 라인부(142B1)도 복수 개, 즉 일례로 4개로 형성될 수 있으며, 이때, 복수 개의 제2 라인부(142B2) 각각은 복수 개의 제1 라인부(142B1)들이 서로 연결되도록 사선 방향으로 형성될 수 있다. 또한, 복수 개의 제2 라인부(142B2) 각각은 복수 개의 제1 라인부(142B1) 중 양쪽 최외곽에 형성된 제1 라인부(142B1)들 사이에 형성될 수 있다.For example, as shown in FIG. 7, not only the second line portion 142B2 of the
이와 같이, 제2 방향(y)으로 뻗어 있는 제1 라인부(142B1)를 복수 개로 형성하는 경우, 리본과 전면 버스바(142)와의 접착 공정시, 중심축 내지 가이드 라인으로 역할하는 제1 라인부(142B1)가 복수 개이므로 접착 공정을 보다 용이하게 진행할 수 있다.When a plurality of the first line portions 142B1 extending in the second direction y are formed as described above, in the process of bonding the ribbon to the
또한, 이와 유사하게, 도 8에 도시된 바와 같이, 복수 개의 제2 라인부(142B2) 각각은 복수 개의 제1 라인부(142B1)들이 서로 연결되도록 사선 방향으로 형성되되, 복수 개의 제1 라인부(142B1) 각각과 교차하는 제2 라인부(142B2) 각각이 사선 방향으로 일직선 상에 위치할 수도 있다. Similarly, as shown in FIG. 8, each of the plurality of second line portions 142B2 is formed in an oblique direction so that the plurality of first line portions 142B1 are connected to each other, Each of the second line portions 142B2 intersecting each of the first line portions 142B1 may be positioned in a straight line in the diagonal direction.
또한, 다른 형태로, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전면 버스바(142)에서 제2 라인부(142B2)는 복수의 제1 라인부(142B1)를 교차하면서 사선 방향으로 지그 재그(zig zag) 형태로 형성될 수도 있다.9, in the
이와 같이, 본 발명에 따른 태양 전지는 제1 전극(140) 및 제2 전극(150) 중 적어도 하나의 전극에 포함되는 버스바가 제1 라인부(142B1)와 제2 라인부(142B2)를 구비하여, 태양 전지의 제조 공정 시간 및 비용을 보다 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 태양 전지를 서로 연결하는 리본과 버스바의 물리적 접촉력을 높이고, 접촉 저항을 보다 향상시킬 수 있다. As described above, in the solar cell according to the present invention, the bus bar included in at least one of the
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.
Claims (15)
상기 요철 위로 형성되어 상기 요철과 동알한 패턴의 요철면을 구비하고, 상기 제1 도전성 불순물과 반대인 제2 도전성 불순물을 함유하여 상기 기판과 p-n 접합을 형성하는 에미터부;
상기 에미터부의 요철면 위로 형성되며, 상기 에미터부의 요철면을 노출하는 접촉구가 형성된 반사 방지막;
상기 접촉구를 통해 상기 에미터부의 요철면에 접촉하도록 형성된 제1 전극; 및
상기 기판의 제2 면 위에 배치되며, 상기 기판과 연결되는 제2 전극;을 포함하고,
상기 제1 전극은 제1 방향으로 뻗어 있는 복수 개의 핑거전극과 상기 제1 방향과 수직으로 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 복수 개의 핑거 전극을 연결하는 복수 개의 버스바를 포함하고,
상기 복수 개의 버스바는 각각,
상기 제2 방향으로 뻗어 있는 하나의 제1 라인부;와
상기 제1 라인부를 중심으로 양쪽에서 상기 제1 라인부 및 상기 핑거 전극과 사선으로 교차하는 복수 개의 제2 라인부;
를 포함하고,
상기 제1 전극은 상기 에미터부의 요철면에 접하며 니켈 규소화합물로 형성된 시드층을 포함하는 태양 전지.A substrate on which a concave and a convex is formed on a first surface, the substrate including a first conductive impurity;
An emitter section formed on the concavities and convexities to form a concavity and convexity of the pattern and having a second conductive impurity opposite to the first conductive impurity to form a pn junction with the substrate;
An antireflection film formed on the uneven surface of the emitter and having a contact hole exposing the uneven surface of the emitter;
A first electrode formed to contact the uneven surface of the emitter through the contact hole; And
And a second electrode disposed on a second surface of the substrate and connected to the substrate,
The first electrode includes a plurality of finger electrodes extending in a first direction and a plurality of bus bars extending in a second direction perpendicular to the first direction and connecting the plurality of finger electrodes,
Each of the plurality of bus bars includes:
A first line portion extending in the second direction;
A plurality of second line portions crossing the first line portion and the finger electrode diagonally on both sides of the first line portion;
Lt; / RTI >
Wherein the first electrode is in contact with the uneven surface of the emitter portion and includes a seed layer formed of a nickel silicon compound.
상기 제1 라인부 및 상기 제2 라인부에 의해 형성되는 상기 버스바의 폭은 상기 핑거전극의 폭보다 큰 태양 전지.The method according to claim 1,
Wherein a width of the bus bar formed by the first line portion and the second line portion is larger than a width of the finger electrode.
상기 버스바의 폭은 상기 제1 라인부 및 상기 제2 라인부에서 상기 제1 방향으로의 양 끝단 사이의 간격인 태양 전지.3. The method of claim 2,
Wherein a width of the bus bar is a distance between both ends of the first line portion and the second line portion in the first direction.
상기 제1 라인부 및 상기 제2 라인부 각각의 폭은 상기 핑거전극의 폭과 동일한 태양 전지.The method according to claim 1,
Wherein a width of each of the first line portion and the second line portion is equal to a width of the finger electrode.
상기 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 상기 복수 개의 제2 라인부 중에서,
상기 하나의 제1 라인부의 제1 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부는 상기 하나의 제1 라인부의 나머지 제2 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부와 동일한 방향의 일직선 상에 위치하는 태양 전지.The method according to claim 1,
A plurality of second line portions extending in both oblique directions about the one first line portion,
Wherein a portion extending in the first lateral line direction of the one first line portion is located on a straight line in the same direction as a portion extending in the remaining second lateral line direction of the one first line portion.
상기 버스바는 상기 제1 라인부의 끝단과 상기 제2 라인부를 제1 방향으로 서로 연결하는 제3 라인부를 더 포함하는 태양 전지.The method according to claim 1,
Wherein the bus bar further comprises a third line portion connecting the end of the first line portion and the second line portion in a first direction.
상기 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 상기 복수 개의 제2 라인부는 상기 하나의 제1 라인부와 연결되는 지점이 서로 엇갈리는 태양 전지.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of second line portions extending in both oblique directions about the one first line portion are staggered from each other at points connected to the one first line portion.
상기 하나의 제1 라인부를 중심으로 양쪽 사선 방향으로 뻗어 있는 상기 복수 개의 제2 라인부 중에서,
상기 하나의 제1 라인부의 제1 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부는 상기 하나의 제1 라인부의 나머지 제2 측 사선 방향으로 뻗어 있는 일부와 교차하는 방향인 태양 전지.The method according to claim 1,
A plurality of second line portions extending in both oblique directions about the one first line portion,
And a portion extending in the first lateral line direction of the one first line portion intersects with a portion extending in the remaining second lateral line direction of the one first line portion.
상기 제1 전극은, 상기 시드층 위에 형성되고 니켈 규화합물로 형성된 확산 방지층 및 상기 확산 방지층 위에 형성되며 구리(Cu), 은(Ag), 주석(Sn) 중 적어도 하나를 포함하는 도전성 금속층을 포함하는 태양전지.
The method according to claim 1,
The first electrode includes a diffusion barrier layer formed on the seed layer and formed of a nickel silicide and a conductive metal layer formed on the diffusion barrier layer and including at least one of copper (Cu), silver (Ag), and tin (Sn) Solar cells.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120081162A KR101889850B1 (en) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | Solar cell |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120081162A KR101889850B1 (en) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | Solar cell |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140015819A KR20140015819A (en) | 2014-02-07 |
KR101889850B1 true KR101889850B1 (en) | 2018-08-20 |
Family
ID=50265112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120081162A KR101889850B1 (en) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | Solar cell |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101889850B1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135652A (en) | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sanyo Electric Co Ltd | Solar battery module |
JP2010219487A (en) | 2009-02-17 | 2010-09-30 | Sanyo Electric Co Ltd | Solar cell, and solar cell module |
WO2011013814A2 (en) | 2009-07-30 | 2011-02-03 | 三洋電機株式会社 | Solar cell module |
WO2011098273A2 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | Koenen Gmbh | Solar cell, method for producing a solar cell and printing screen for applying a contact of a solar cell |
JP2011187882A (en) | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Namics Corp | Solar cell and method of manufacturing the same |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101057124B1 (en) * | 2009-11-03 | 2011-08-16 | 엘지전자 주식회사 | Solar cell and manufacturing method thereof |
KR101275576B1 (en) * | 2010-12-28 | 2013-06-14 | 엘지전자 주식회사 | Solar cell and manufacturing method thereof |
-
2012
- 2012-07-25 KR KR1020120081162A patent/KR101889850B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135652A (en) | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sanyo Electric Co Ltd | Solar battery module |
JP2010219487A (en) | 2009-02-17 | 2010-09-30 | Sanyo Electric Co Ltd | Solar cell, and solar cell module |
WO2011013814A2 (en) | 2009-07-30 | 2011-02-03 | 三洋電機株式会社 | Solar cell module |
WO2011098273A2 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | Koenen Gmbh | Solar cell, method for producing a solar cell and printing screen for applying a contact of a solar cell |
JP2011187882A (en) | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Namics Corp | Solar cell and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140015819A (en) | 2014-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101199424B1 (en) | Solar cell | |
KR101295552B1 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
JP5833542B2 (en) | Solar cell | |
KR101921738B1 (en) | Solar cell | |
KR101358535B1 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
KR20130071698A (en) | Solar cell | |
US20120174975A1 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
KR102052503B1 (en) | Solar cell and manufacturing apparatus and method thereof | |
KR101751946B1 (en) | Solar cell module | |
KR101284278B1 (en) | Solar cell module and interconnector used in solar cell module | |
KR101699312B1 (en) | Solar cell and manufacturing method thereof | |
KR20160149067A (en) | Solar cell module | |
KR101146737B1 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
KR20120086593A (en) | Solar cell and the method of manufacturing the same | |
KR101757877B1 (en) | Solar cell and manufacturing method thereof | |
KR101889850B1 (en) | Solar cell | |
KR101828423B1 (en) | Solar cell | |
KR101178445B1 (en) | Solar cell and manufacturing method thereof | |
KR101190751B1 (en) | Solar cell | |
KR101890286B1 (en) | Manufacturing method of bi-facial solar cell | |
KR20120094300A (en) | Solar cell and solar cell module | |
KR101736960B1 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
KR20140137052A (en) | Solar cell | |
KR101322626B1 (en) | Solar cell and manufacturing method thereof | |
KR20120073541A (en) | Solar cell and method for manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |