KR101887830B1 - 오리엔터 어셈블리 - Google Patents

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KR101887830B1
KR101887830B1 KR1020170161511A KR20170161511A KR101887830B1 KR 101887830 B1 KR101887830 B1 KR 101887830B1 KR 1020170161511 A KR1020170161511 A KR 1020170161511A KR 20170161511 A KR20170161511 A KR 20170161511A KR 101887830 B1 KR101887830 B1 KR 101887830B1
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shaft
lip seal
high vacuum
pumping line
chamber
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KR1020170161511A
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손병선
조현철
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(주)에스 이 티
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Abstract

본 발명은 진공 씰 방식을 개선하여 소모성 부품인 립씰 등의 마모로 인해 발생하는 어셈블리의 부품 교체 작업을 용이하게 하고 부품의 교체에 소요되는 작업 시간을 줄여 공정 효율성을 높일 수 있는 오리엔터 어셈블리에 관한 것으로, 이온주입 설비의 고진공 챔버에 설치되며, 고진공 챔버를 구성하는 플레이트에 관통형성된 관통공에 삽입되어 상하 및 회전 운동을 하는 샤프트; 상기 진공 챔버의 내부 고진공압 측에 배치되며, 상기 샤프트의 단부에 결합되는 페데스탈부; 상기 진공 챔버의 내부 고진공압 측에서 상기 페데스탈부의 하부에 배치되어 상기 플레이트에 결합되며, 상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지며, 내부가 저진공압으로 유지되며 챔버 내 고진공압과 챔버 외 대기압의 압력차를 조절하기 위한 제 1 펌핑 라인이 내설되는 립씰 블럭부; 상기 플레이트에 관통형성되며 상기 제 1 펌핑 라인과 연결되는 제 2 펌핑 라인; 및 상기 진공 챔버의 외부 대기압 측에 배치되어 상기 플레이트에 결합되며, 상기 샤프트의 상하 및 회전 운동을 가이드하는 하우징부; 를 포함하며, 상기 제 2 펌핑 라인이 외부 저진공 펌프에 연결되는 것을 특징으로 한다.

Description

오리엔터 어셈블리{ORIENTER ASSEMBLY}
본 발명은 오리엔터 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 씰 방식을 개선하여 소모성 부품인 립씰 등의 마모로 인해 발생하는 어셈블리의 부품 교체 작업을 용이하게 하고 부품의 교체에 소요되는 작업 시간을 줄여 공정 효율성을 높일 수 있는 오리엔터 어셈블리에 관한 것이다.
반도체장치의 제조공정은 여러 단계로 구성된다. 그리고 각 단계에는 그 공정을 담당하는 제조설비가 사용된다. 이러한 제조설비의 사용에 있어서, 설비의 동작 하나하나는 웨이퍼의 손상과 관련되어 있으므로 설비를 이용한 웨이퍼의 취급은 상당한 주의를 요한다.
전류 이온주입 설비를 사용함에 있어서, 웨이퍼의 정렬은 정확한 이온주입을 위해 정확히 이루어져야 한다. 이러한 목적으로 반도체 공정의 이온주입 설비에는 웨이퍼의 노치(notch)를 정확히 감지하기 위해 오리엔터 어셈블리가 사용된다.
이온주입 공정은 설비에서 반도체 특성을 가지는 불순물을 이온화하여 주입하는 공정으로, 타 공정에 비해 굉장히 빠른 속도의 프로세서 타임을 가지며, 웨이퍼의 무빙 속도(moving speed) 또한 빨라서 최고 메커니컬 처리속도가 시간당 400매 정도까지 되어 웨이퍼의 슬라이딩(sliding) 발생률이 높으며 고진공 챔버 내부에서 구동되므로 대기의 누압을 방지하기 위해 절대적인 진공 씰링(sealing)이 필요하여 일반적으로 2개의 립씰(lip seal)이 설치되는 차동 진공(differential pumping) 장치가 사용된다.
도 1은 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 사시도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리는 이온주입 설비 진공부의 트랜스퍼 챔버에 설치되며, 챔버 내부는 고진공압(V)으로 유지되고 챔버 외부는 대기압(A)을 유지하게 된다. 여기에서 챔버를 구성하는 플레이트(40)를 기준으로 고진공압(V) 측에는 페데스탈부(10)와 상부 하우징부(20)가 배치되고 대기압(A) 측에는 립씰 블럭부(50)와 하부 하우징부(60)가 배치되며 플레이트(40)에 관통 배치되는 샤프트(30)를 통해 서로 결합되어 오리엔터 어셈블리를 구성하게 된다.
보다 상세하게는, 상기 샤프트(30)는 고진공 챔버를 구성하는 플레이트(40)에 관통형성된 관통공(40a)에 삽입되어 상하 및 회전 운동을 하게 된다. 도면에서 회전력을 전달하는 오리엔트 모터와 승강력을 전달하는 리프트 모터는 생략하였다.
또한 상기 페데스탈부(10)는 웨이퍼가 놓이는 편평한 상부면을 가지는 페데스탈(11)과 이 페데스탈(11)을 상기 샤프트(30)에 고정시키는 커플링(12)으로 구성된다. 상기 페데스탈(11)은 샤프트(30)로부터 전달되는 회전력과 승강력에 의해 회전과 승강 구동을 하게 된다.
또한 상기 상부 하우징부(20)는 상기 샤프트(30)가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지게 형성되는 상부 하우징(23)을 포함한다. 이 상부 하우징(23)의 내부에는 챔버 내 고진공압과 내부를 격리하기 위한 제 1 립씰(22)이 상부에서 샤프트(30)에 결합되며 일정 간격 이격된 하부에는 샤프트(30)의 유동을 방지하기 위한 상부 부싱(24)이 샤프트(30)에 결합된다. 여기에서 상부 캡(21)은 상기 제 1 립씰(22)을 상부 하우징(23)에 고정시키는 기능을 한다.
또한 상기 립씰 블럭부(50)는 저진공압의 압력을 유지하여 고진공압의 압력차에 의한 누압을 방지하는 립씰 블럭(51)을 포함한다. 상기 립씰 블럭(51)은 플레이트(40)에 관통형성된 관통공(40a)에 상부가 삽입되는 형태로 나사 등에 의해 플레이트(40)에 결합되며, 내부에는 상기 샤프트(30)가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지게 된다. 이 립씰 블럭(51)의 내부는 저진공으로 유지되며 챔버 내 진공압과 챔버 외 대기압의 압력차를 조절하기 위한 펌핑 라인(53)이 내설되게 된다. 상기 펌핑 라인(53)은 연결구(54)를 통해 외부 저진공 펌프에 연결되어 대기압과 진공압의 압력차에 의한 누압을 방지하게 되는 것이다.
또한 상기 하부 하우징부(60)는 상기 샤프트(30)가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지게 형성되는 하부 하우징(61)을 포함한다. 이 하부 하우징(61)의 내부에는 대기압과 내부를 격리하기 위한 제 2 립씰(63)이 하부에서 샤프트(30)에 결합되며 일정 간격 이격된 상부에는 샤프트(30)의 유동을 방지하기 위한 하부 부싱(62)이 샤프트(30)에 결합된다. 여기에서 바닥 캡(64)은 상기 제 2 립씰(22)을 하부 하우징(61)에 고정시키는 기능을 한다.
이 같은 구성의 종래 오리엔터 어셈블리에서 상기 제 1 립씰(22)과 제 2 립씰(63)은 테프론(teflon) 재질로 이루어지며, 상기 상부 부싱(24)과 하부 부싱(62)은 루론(rulon) 재질로 이루어지며, 이들은 일정 기간 사용하면 마모가 되어 교체해야하는 소모성 부품이다.
즉 고진공압 부분에 누압이 생기거나 예방 보전 차원에서 일정 기간 사용된 소모성 부품인 상기 제 1 립씰(22)과 제 2 립씰(63) 그리고 상기 상부 부싱(24)과 하부 부싱(62)을 교체해야 한다.
이 교체 작업은, 챔버의 진공을 먼저 해제하고, 페데스탈부(10)를 먼저 분해해 시작되며, 페데스탈부(10)를 제외한 모든 부품을 플레이트(40)로부터 분리해 떼어낸다. 그리고 상부 하우징부(20)에서 상부 캡(21)을 분리한 후 상부 하우징부(20)를 립씰 블럭부(50)로부터 분리해 내부의 제 1 립씰(22)과 상부 부싱(24)을 교체하게 된다. 또한 마찬가지로 하부 하우징부(60)에서 바닥 캡(64)을 분리한 후 하부 하우징부(60)를 립씰 블럭부(50)로부터 분리해 내부의 제 2 립씰(63)과 하부 부싱(62)을 교체하게 된다.
이러한 소모성 부품 교체 작업은 고진공압 측과 대기압 측 부품을 분리하지 못해 전체 오리엔터 어셈블리에서 모든 구성을 탈착한 후 소모성 부품을 교환하는 방식이다. 또한 탈착된 오리엔터 어셈블리를 재조립하여 부착한 후에도 누압 테스트를 반드시 거쳐야 하기 때문에 전체 소모성 부품의 교체 작업에 많은 시간이 소요되며 이로 인해 설비의 정지시간을 증가시키는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 진공 씰 방식을 개선하여 소모성 부품인 립씰 등의 마모로 인해 발생하는 어셈블리의 부품 교체 작업을 용이하게 하고 부품의 교체에 소요되는 작업 시간을 줄여 공정 효율성을 높일 수 있는 오리엔터 어셈블리를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 이온주입 설비의 고진공 챔버에 설치되며, 고진공 챔버를 구성하는 플레이트에 관통형성된 관통공에 삽입되어 상하 및 회전 운동을 하는 샤프트; 상기 진공 챔버의 내부 고진공압 측에 배치되며, 상기 샤프트의 단부에 결합되는 페데스탈부; 상기 진공 챔버의 내부 고진공압 측에서 상기 페데스탈부의 하부에 배치되어 상기 플레이트에 결합되며, 상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지며, 내부가 저진공압으로 유지되며 챔버 내 고진공압과 챔버 외 대기압의 압력차를 조절하기 위한 제 1 펌핑 라인이 내설되는 립씰 블럭부; 상기 플레이트에 관통형성되며 상기 제 1 펌핑 라인과 연결되는 제 2 펌핑 라인; 및 상기 진공 챔버의 외부 대기압 측에 배치되어 상기 플레이트에 결합되며, 상기 샤프트의 상하 및 회전 운동을 가이드하는 하우징부; 를 포함하며, 상기 제 2 펌핑 라인이 외부 저진공 펌프에 연결되는 것을 특징으로 하는 오리엔터 어셈블리를 제공한다.
바람직하게는, 상기 립씰 블럭부는, 상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지며, 하부면을 통해 상기 플레이트에 결합되는 립씰 블럭; 상기 립씰 블럭의 상부에 설치되며 상기 샤프트에 립씰 블럭을 고정시켜 샤프트의 유동을 방지하는 상부 부싱; 상기 상부 부싱의 하부에서 샤프트에 고정되어 챔버 내 고진공을 차단하는 제 1 립씰; 상기 제 1 립씰에서 하측으로 이격되어 샤프트에 고정되며 외부 대기압을 차단하는 제 2 립씰; 및 상기 제 1 립씰과 제 2 립씰의 사이에 일측이 연결되며 타측이 상기 플레이트의 제 2 펌핑 라인과 연결되는 제 1 펌핑 라인; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 제 1 펌핑 라인과 제 2 펌핑 라인의 결합 부위에는 오링이 삽입되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 하우징부는, 상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지는 하우징; 및 상기 하우징 내에 설치되며 상기 샤프트에 하우징을 고정시켜 샤프트의 유동을 방지하는 하부 부싱; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 소모성 부품인 립씰 등의 마모로 인해 발생하는 어셈블리의 부품 교체 작업을 용이하게 하고 부품의 교체에 소요되는 작업 시간을 줄여 공정 효율성을 높일 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리의 분해 및 조립 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의해야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위해 생략한다.
도 3은 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리를 나타내는 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리는 고진공압(V)의 챔버 내부와 대기압(A)의 챔버 외부에 걸쳐 부품이 조립되어 있기 때문에 분해조립시 고진공압(V) 측 구성과 대기압(A) 측 구성을 모두 분해조립해야 하는 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리와 달리, 고진공압(V)의 챔버 내부의 부품과 대기압(A)의 챔버 외부의 구성을 별개로 이원화한 것에 그 특징이 있다.
일반적으로 오리엔터 어셈블리는 소모성 부품인 립씰과 부싱을 필수 구성 요소로 하기 때문에 일정 기간 단위로 혹은 예방 보전을 위해 정기적으로 분해조립 및 소모성 부품의 교체가 이루어져야 한다.
하지만 종래 기술에 따른 오리엔터 어셈블리는 소모성 부품인 립씰 등이 고진공압(V)의 챔버 내부와 대기압(A)의 챔버 외부에 모두 배치되어 있어 부품 교체시 전체 어셈블리를 장비에서 탈착한 후 분해하여 교체를 진행해야 하므로 교체 작업에 많은 시간이 소요되며 이로 인해 설비의 정지시간을 증가시키게 된다.
이와 달리 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리는 소모성 부품인 립씰을 고진공압(V)의 챔버 내부에만 배치시켜 부품 교체시 고진공압(V)의 챔버 내부 구성만을 탈착 및 분해하면 되기 때문에 교체 작업에 소요되는 시간을 획기적으로 줄일 수 있게 되며 이로 인해 설비의 정지시간을 확실히 감소시킬 수 있게 되는 것이다.
또한 소모성 부품인 립씰의 위치를 일원화하기 위해 누압 방지를 담당하는 립씰 블럭을 고진공압(V)의 챔버 내부에 배치시키며, 이 립씰 블럭의 내부를 저진공으로 유지하기 위해 플레이트에 별도의 홀을 가공하여 펌핑 라인을 대기압 측으로 연결함으로써 샤프트의 회전 및 승강 운동에 따라 발생되는 미세 누압을 완벽히 방지할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리는 이온주입 설비 진공부의 트랜스퍼 챔버에 설치된다. 이 챔버의 내부는 고진공압(V)으로 유지되고 챔버의 외부는 대기압(A)을 유지하게 된다.
여기에서 챔버를 구성하는 플레이트(140)를 기준으로 고진공압(V) 측에는 페데스탈부(110)와 립씰 블럭부(120)가 배치되고, 대기압(A) 측에는 하우징부(150)가 배치되며 플레이트(140)에 관통 배치되는 샤프트(130)를 통해 서로 결합되어 오리엔터 어셈블리를 구성하게 된다.
상기 샤프트(130)는 고진공 챔버를 구성하는 플레이트(140)에 관통형성된 관통공(140a)에 삽입되어 상하 및 회전 운동을 하게 된다. 도면에서 회전력을 전달하는 오리엔트 모터와 승강력을 전달하는 리프트 모터는 생략하였다.
또한 상기 페데스탈부(110)는 웨이퍼가 놓이는 편평한 상부면을 가지는 페데스탈(111)과 이 페데스탈(111)을 상기 샤프트(130)에 고정시키는 커플링(112)으로 구성된다. 상기 페데스탈(111)은 샤프트(130)로부터 전달되는 회전력과 승강력에 의해 회전과 승강 구동을 하게 된다.
또한 상기 립씰 블럭부(120)는 상기 진공 챔버의 내부 고진공압(V) 측에서 상기 페데스탈부(110)의 하부에 배치되어 상기 플레이트(140)에 결합되며, 상기 샤프트(130)가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지며, 내부가 저진공압으로 유지되며 챔버 내 고진공압과 챔버 외 대기압의 압력차를 조절하기 위한 제 1 펌핑 라인(126)이 내설되게 된다.
상기 립씰 블럭부(120)는 저진공압의 압력을 유지하여 고진공압의 압력차에 의한 누압을 방지하는 립씰 블럭(124)을 포함한다. 상기 립씰 블럭(124)은 나사 등에 의해 플레이트(140)에 결합되며, 내부에는 상기 샤프트(130)가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지게 된다. 이 립씰 블럭부(120)의 내부에는 샤프트(130)의 유동을 방지하기 위한 상부 부싱(122)이 샤프트(130)에 결합되어 구비되며 이 상부 부싱(122)의 하부에는 챔버 내 고진공압과 내부를 격리하기 위한 제 1 립씰(123) 및 제 2 립씰(125)이 구비된다. 이때 상기 제 1 립씰(123)과 제 2 립씰(125)의 사이의 공간에는 제 1 펌핑 라인(126)의 일측이 위치되며 해당 제 1 펌핑 라인(126)의 타측은 립씰 블럭(124)의 하부면으로 연장 형성된다. 따라서 상기 제 1 펌핑 라인(126)은 도 4에 도시된 바와 같이 사선 형상으로 립씰 블럭(124)에 관통형성되게 된다. 여기에서 상부 캡(121)은 상기 상부 부싱(122)을 립씰 블럭(124)에 고정시키는 기능을 한다.
이 립씰 블럭(124)의 내부는 저진공으로 유지되며, 상기 제 1 펌핑 라인(126)은 플레이트(140)에 관통형성된 제 2 펌핑 라인(144)에 연결되며, 이 제 2 펌핑 라인(144)은 연결구(145)를 통해 외부 저진공 펌프에 연결되어 대기압과 진공압의 압력차에 의한 누압을 방지하게 되는 것이다. 이때 제 1 펌핑 라인(126)과 제 2 펌핑 라인(144)의 사이에는 기밀을 위한 오링(도시 않음)이 조립될 수 있다.
여기에서 미설명 부호 143은 상기 제 2 립씰(125)을 립씰 블럭(124)에 고정시키기 위한 엔드 캡이다.
상기 하우징부(150)는 상기 샤프트(130)가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지게 형성되는 하우징(151)을 포함한다. 이 하우징(151)의 내부에는 샤프트(130)의 유동을 방지하기 위한 기다란 하부 부싱(152)이 샤프트(130)에 결합된다. 여기에서 바닥 캡(153)은 상기 하부 부싱(152)을 하우징(151)에 고정시키는 기능을 한다.
이 같은 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리에서 상기 제 1 립씰(123)과 제 2 립씰(125)은 테프론(teflon) 재질로 이루어지며, 이들은 일정 기간 사용하면 마모가 되어 교체해야하는 소모성 부품이다.
즉 고진공압 부분에 누압이 생기거나 예방 보전 차원에서 일정 기간 사용된 소모성 부품인 상기 제 1 립씰(22)과 제 2 립씰(63)을 교체해야 한다.
이 교체 작업을 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리의 분해 및 조립 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 5의 (a)는 조립된 상태의 오리엔터 어셈블리를 나타낸다. 분해시에는, 챔버의 진공을 먼저 해제하고, 커플링(112)에 체결된 스크류를 풀어서 페데스탈(111)을 먼저 분해해 시작된다.
이후 립씰 블럭부(120)를 플레이트(140)에 고정하는 스크류를 풀고 또한 제 1 펌핑 라인(126)과 제 2 펌핑 라인(144)의 사이의 오링을 풀어 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 고진공압(V) 측의 페데스탈부(110)와 립씰 블럭부(120)를 완전히 분리해낼 수 있게 된다.
이를 통해 종래의 오리엔터 어셈블리와 같이 굳이 전체 오리엔터 어셈블리에서 모든 구성을 탈착한 후 소모성 부품인 립씰을 교체할 필요없이 고진공압(V) 측의 페데스탈부(110)와 립씰 블럭부(120)의 분리 공정만으로 립씰 블럭부(120)에 있는 제 1 립씰(22)과 제 2 립씰(63)을 교체할 수 있게 된다.
종래의 오리엔터 어셈블리에서 이러한 소모성 부품인 립씰의 교체 작업은 고진공압 측과 대기압 측 부품을 분리하지 못해 전체 오리엔터 어셈블리에서 모든 구성을 탈착한 후 소모성 부품을 교환하는 방식이다. 이는 탈착된 오리엔터 어셈블리를 재조립하여 부착한 후에도 누압 테스트를 반드시 거쳐야 하기 때문에 전체 소모성 부품의 교체 작업에 많은 시간이 소요되며 이로 인해 설비의 정지시간을 증가시키는 문제점이 있다.
하지만 본 발명에 따른 오리엔터 어셈블리는 소모성 부품인 립씰 등의 마모로 인해 발생하는 어셈블리의 부품 교체 작업을 용이하게 하고 부품의 교체에 소요되는 작업 시간을 줄여 공정 효율성을 높일 수 있게 되는 것이다.
이 같은 차이는 결국 상하 2 개의 립씰을 모두 고진공압(V) 측의 립씰 블럭부(120)에 배치하고, 또한 펌핑 라인이 고진공압(V) 측의 립씰 블럭부(120)에서 바로 플레이트(140)를 통해 외부 저진공 펌프에 연결되도록 한데 따른 효과이다.
이상과 같이 도면과 명세서에서 최적 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
110 : 페데스탈부 111 : 페데스탈
112 : 커플링 120 : 립씰 블럭부
121 : 상부 캡 122 : 상부 부싱
123 : 제 1 립씰 124 : 립씰 블럭
125 : 제 2 립씰 126 : 제 1 펌핑 라인
130 : 샤프트 140 : 플레이트
150 : 하우징부 151 : 하우징
152 : 하부 부싱 153 : 바닥 캡

Claims (4)

  1. 이온주입 설비의 고진공 챔버에 설치되며,
    고진공 챔버를 구성하는 플레이트에 관통형성된 관통공에 삽입되어 상하 및 회전 운동을 하는 샤프트;
    상기 고진공 챔버의 내부 고진공압 측에 배치되며, 상기 샤프트의 단부에 결합되는 페데스탈부;
    상기 고진공 챔버의 내부 고진공압 측에서 상기 페데스탈부의 하부에 배치되어 상기 플레이트에 결합되며, 상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지며, 내부가 저진공압으로 유지되며 챔버 내 고진공압과 챔버 외 대기압의 압력차를 조절하기 위한 제 1 펌핑 라인이 내설되는 립씰 블럭부;
    상기 플레이트에 관통형성되며 상기 제 1 펌핑 라인과 연결되는 제 2 펌핑 라인; 및
    상기 고진공 챔버의 외부 대기압 측에 배치되어 상기 플레이트에 결합되며, 상기 샤프트의 상하 및 회전 운동을 가이드하는 하우징부; 를 포함하며,
    상기 제 2 펌핑 라인이 외부 저진공 펌프에 연결되며,
    상기 립씰 블럭부는,
    상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지며, 하부면을 통해 상기 플레이트에 결합되는 립씰 블럭;
    상기 립씰 블럭의 상부에 설치되며 상기 샤프트에 립씰 블럭을 고정시켜 샤프트의 유동을 방지하는 상부 부싱;
    상기 상부 부싱의 하부에서 샤프트에 고정되어 챔버 내 고진공을 차단하는 제 1 립씰; 및
    상기 제 1 립씰에서 하측으로 이격되어 샤프트에 고정되며 외부 대기압을 차단하는 제 2 립씰;을 포함하며,
    상기 제 1 펌핑 라인은 상기 제 1 립씰과 제 2 립씰의 사이에 일측이 연결되고 타측이 상기 플레이트의 제 2 펌핑 라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 오리엔터 어셈블리.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 펌핑 라인과 제 2 펌핑 라인의 결합 부위에는 오링이 삽입되는 것을 특징으로 하는 오리엔터 어셈블리.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 하우징부는,
    상기 샤프트가 회전 및 승강될 수 있는 내부 공간을 가지는 하우징; 및
    상기 하우징 내에 설치되며 상기 샤프트에 하우징을 고정시켜 샤프트의 유동을 방지하는 하부 부싱; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 오리엔터 어셈블리.
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