KR101882696B1 - 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법 - Google Patents
초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101882696B1 KR101882696B1 KR1020170147708A KR20170147708A KR101882696B1 KR 101882696 B1 KR101882696 B1 KR 101882696B1 KR 1020170147708 A KR1020170147708 A KR 1020170147708A KR 20170147708 A KR20170147708 A KR 20170147708A KR 101882696 B1 KR101882696 B1 KR 101882696B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- sample
- focus
- inspection
- variable lens
- statistical information
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
본 발명은 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법에 관한 것으로, 적어도 하나 이상의 샘플 검사시료내의 개체분포 검사를 토대로 실제 검사시료의 깊이방향 검사범위에 대한 통계정보를 도출하는 단계 및 상기 통계정보를 반영하여 실제 검사시료에 대하여 상기 통계정보에 따른 깊이방향의 두께만큼 초점가변 렌즈의 초점을 이동하며 개체를 검출하는 단계를 포함한다.
Description
본 발명은 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상 초점가변 렌즈가 포함된 검경 자동검사시스템을 이용하여 객담과 같은 검사 슬라이드에 도말된 시료 속에 존재하는 객체를 자동으로 검사할 수 있는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 검경은 살아있는 세포나 균들을 검사하기 위한 가장 보편적인 관찰도구이며 그 구성과 활용은 매우 다양하다.
근래에는 고성능 광학계의 개발뿐만 아니라 인공지능 기술의 발달로 획득된 영상으로부터 효과적으로 개체를 검출하고 분석 및 판별이 가능한 자동검사시스템에 대한 연구개발이 활발히 진행되고 있으며, 결핵 판정을 위한 객담 도말 자동검사시스템 또한 이 분야에 속한다.
객담 도말 검사는 가장 먼저 슬라이드에 일정한 면적으로 객담을 도말(smear)시킨 후, 개체가 두드러져 보이도록 염색하는 과정을 거친 후, 검경 관찰을 통해 개체를 검출하게 된다.
이때, 도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 검경은 대물렌즈의 초점에 관찰 개체가 정확히 위치한 경우 대물렌즈에서 나온 광은 시준되어 튜브렌즈를 통해 영상센서에 결상되는데, 관찰 개체가 대물렌즈의 심도범위, 즉 초점에서 벗어나 있는 경우 대물렌즈를 통해 전달된 광은 수렴 또는 발상의 형태로 튜브렌즈에 전달되며, 수렴 또는 발산되는 광은 튜브렌즈의 초점위치에서 벗어나 상을 형성하기 때문에 영상은 흐릿하거나 결상되지 않게 된다.
특히, 객담 검사 자동화에 사용되는 일반적인 검경은 고배율이기 때문에 관찰 가능한 초점의 깊이(depth of focus) 즉, 심도범위가 수 마이크론 이내로 매우 좁으므로, 객담과 같은 깊이 볼륨이 있는 시료를 관찰할 경우 시료 속의 다른 깊이에 존재하는 결핵균들은 흐릿하게 보이거나 관찰되지 않을 수 있으며, 검경의 심도범위를 벗어나 존재하는 결핵균들을 확인하기 위해 자동검사시스템을 구성하는 검경의 재물대나 현미경 광학계의 높이를 조절함으로써 다른 깊이에 존재하는 결핵균들을 확인하게 된다.
그러나, 종래 방식의 경우 초점이동을 위해 재물대 또는 광학계의 높이 조절을 이용하기 때문에 이송속도가 느려 자동 검사 시스템 구현에 적합하지 않다. 줌 광학계 구성을 적용하여 검경의 초점위치를 변화시키는 방법이 있으나, 보통의 기계적 줌 광학계는 기계적 진동을 유발할 수 있으며, 그 동작특성도 충분히 빠르지 않다.
또한, 객담과 같은 검사시료의 경우 도말이 비교적 두껍게 되고 두께 편차도 비교적 큰 특징을 갖지만, 종래의 자동검사시스템은 시료의 깊이 방향에 대한 스캔없이 단일 층, 즉 특정 깊이에 존재하는 개체만을 관찰함으로써, 판정을 수행하였다. 이와 같은 단일층에 대한 개체 관찰 방법은 깊이별로 존재하는 개체들을 반영하지 못하기 때문에 검사시스템이 판정오류를 범하게 될 가능성이 매우 크다는 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 본 발명은 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템이 깊이 볼륨이 있는 도말 시료 내에 존재하는 개체의 위치를 용이하게 검출할 수 있는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법은 적어도 하나 이상의 샘플 검사시료내의 개체분포 검사를 토대로 실제 검사시료의 깊이방향 검사범위에 대한 통계정보를 도출하는 단계 및 상기 통계정보를 반영하여 실제 검사시료에 대하여 상기 통계정보에 따른 깊이방향의 두께만큼 초점가변 렌즈의 초점을 이동하며 개체를 검출하는 단계를 포함한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법은 초점이동이 가능한 액상 초점가변 렌즈를 이용하여 자동으로 객담 도말시료를 검사함으로써, 시료의 검사시간을 단축하고, 판정 성능을 향상시킬 수 있으며, 깊이 볼륨을 갖는 시료 속에 존재하는 개체의 추적에 활용될 수 있다.
도 1은 일반적인 검경의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경을 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 과정을 나타낸 순서도.
도 4는 도 3의 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 과정을 나타낸 순서도.
도 5는 도 3의 통계정보를 도출하는 과정을 나타낸 순서도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경을 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 과정을 나타낸 순서도.
도 4는 도 3의 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 과정을 나타낸 순서도.
도 5는 도 3의 통계정보를 도출하는 과정을 나타낸 순서도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다.
한편, 본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
부가적으로, 각 도면에 걸쳐 표시된 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 본 발명의 설명된 실시예의 논의를 불필요하게 불명료하도록 하는 것을 피하기 위해 공지된 특징 및 기술의 상세한 설명은 생략될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경은 측정대상(도말시료)으로부터 발하는 광을 평행광선으로 변환하는 대물렌즈와, 평행광선을 집광하되, 초점거리를 가변제어하는 초점가변 렌즈 및 집광된 광이 결상되는 영상센서로 구성될 수 있다. 이때, 초점가변 렌즈는 액상렌즈로 고분자 멤브레인(Polymer membrane)사이에 광학 성능을 갖는 액체가 채워진 형태로 멤브레인의 가장자리에 위치한 액츄에이터의 구동에 의해 고분자 멤브레인의 모양이 오목 또는 볼록으로 변하는 것일 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법에 대하여 설명하면 아래와 같다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 과정을 나타낸 순서도이고, 도 4는 도 3의 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 과정을 나타낸 순서도이며, 도 5는 도 3의 통계정보를 도출하는 과정을 나타낸 순서도이다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법은 초점가변 렌즈의 초점이동량과 상기 초점가변 렌즈의 초점이동을 제어하는 제어전류량을 토대로 상기 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터 설정한다(S100).
여기서, 액상렌즈를 이용한 초점가변 렌즈로 구성된 검경을 자동화에 적용하기 위해서는 초점가변 렌즈를 정량으로 제어할 수 있어야 한다. 특히, 초점이동량을 정확하게 제어할 수 있어야 하며, 초점이동량과 초점가변 렌즈를 제어하는 제어전류량 사이의 관계로부터 초점가변 렌즈를 정확하게 제어하기 위한 제어데이터를 도출할 수 있다.
상기 제어데이터를 설정하는 과정을 도 4를 참조하여 구체적으로 설명하면, 분해능 타겟을 수직방향으로 이동시키고, 상기 분해능 타겟이 선명하게 관찰되도록 상기 초점가변 렌즈에 전류를 인가한다(S110).
구체적으로, 분해능 타겟은 대물렌즈의 직하방에 수직이동이 가능한 스테이지가 배치될 수 있으며, 스테이지 상면에 검경의 선명도를 측정하기 위한 분해능 타겟을 배치시킨다. 이후, 스테이지를 수직으로 이동시켜 분해능 타겟이 수직방향으로 이동되도록 하고, 초점가변 렌즈의 초점을 조절하여 영상센서를 통해 촬영되는 분해능 타겟이 선명하게 관찰되도록 초점가변 렌즈에 전류를 인가한다. 이때, 분해능 타겟의 이동 간격은 검사하고자 하는 시료의 개체크기 또는 대물렌즈와 초점가변 렌즈로 구성된 검경의 심도에 따라 설정될 수 있다.
상기 분해능 타겟의 수직 이동에 따라 선명하게 관찰되는 위치와 상기 초점가변 렌즈에 인가되는 전류를 순차적으로 측정하여 초점이동량과 제어전류량을 데이터화하여 제어데이터로 설정한다(S120).
여기서, 분해능 타겟이 선명하게 관찰되는 초점위치에서 초점가변 렌즈의 초점이동량과 분해능 타겟이 선명하게 관찰되는 초점위치에서 초점가변 렌즈에 인가되는 전류인 제어전류값을 측정한다.
이때, 분해능 타겟은 기 설정된 간격만큼 수직 이동하며, 이동 간격마다 초점이동량과 제어전류값을 순차적으로 측정하여 축적하고, 축적된 측정값을 데이터화함으로써, 초점가변 렌즈를 자동으로 제어하기 위한 정량적인 제어데이터를 생성하고 설정한다.
이에 따라, 본 발명은 정량적인 제어데이터를 이용하여 초점가변 렌즈를 제어함으로써, 개체 검출을 위한 정밀한 초점이동이 가능할 수 있다.
한편, 제어데이터를 이용하여 검경과 시료가 놓이게 되는 재물대 사이의 기계적 장착오류를 보정할 수 있다. 자동검사시스템에서 검경은 재물대와 정확히 직각으로 장착되어야 하지만, 제작 및 조립과정에서 발생하는 기계적 오류로 인해 직각에서 벗어난 기울어짐이 발생할 수 있으며, 이 경우 관찰영역의 외곽에서 보이는 영상의 선명도가 떨어지게 되는 문제점이 발생하게 된다. 이는 분해능 타겟을 통해 선명도가 떨어지는 외곽영역에서의 초점이동량을 측정하고, 관찰영역의 크기와 초점이동량을 이용하여 재물대와 검경사이의 기울어짐을 도출할 수 있으며 이를 이용하여 기울어짐을 보정할 수 있게 된다.
다음으로, 샘플 검사시료 내의 개체분포 검사를 토대로 도말된 실제 검사시료의 깊이방향의 검사범위에 대한 통계정보를 도출할 수 있다(S200).
구체적으로, 도 3을 참조하면, 먼저 상기 샘플 검사시료에 대한 기준위치를 설정하고, 검사영역을 분할한다(S210).
여기서, 기준위치 설정은 초점가변 렌즈가 구성된 검경을 통해 검사시료 내의 개체분포를 좌표계 형식으로 측정하기 위한 것으로, 측정의 기준위치는 평면에 대한 기준위치와 깊이 방향에 대한 기준위치를 설정할 수 있다.
먼저, 평면에 대한 기준위치를 설정한다. 이때, 평면에 대한 기준위치는 도말된 샘플 검사시료를 스캔하는 방향에 따라 설정할 수 있다. 예컨대, 샘플 검사시료를 스캔하는 방향이 주사선 방향의 스캔(Raster scan)을 수행할 경우, 관찰하고자 하는 평면의 일측 모서리를 기준위치로 설정할 수 있다. 또는 샘플 검사시료를 스캔하는 방향이 나선 방향으로 스캔(Spiral scan)을 수행할 경우, 관찰하고자 하는 평면의 중심을 기준위치로 설정할 수 있다.
또한, 평면에 대한 기준위치가 설정되면, 설정된 평면에 수직인 방향, 즉 깊이 방향에 대한 기준위치를 설정한다. 이때, 깊이 방향에 대한 기준위치는 초점가변 렌즈를 구동하여 관찰되는 영상이 선명하게 보이는 위치를 깊이 방향에 대한 기준위치로 설정하고, 해당 위치에 대한 상대적인 위치를 개체들의 깊이 위치로서 측정하게 된다.
또한, 상기 샘플 검사시료에 대한 검사영역을 설정한다. 이때, 검사영역은 도말된 검사시료의 면적에 따라 정해지며, 검경의 배율과 영상센서의 센싱면적에 따라 한번에 검사할 수 있는 영역을 고려하여 다수의 국부영역으로 분할되어 검사가 수행되고, 최종적으로 좌표관리를 통해 각각 분할되어 검사가 완료된 국부영역들을 통합하여 전체 도말영역에 대한 개체분포를 측정하게 된다.
다음 상기 기준위치와 검사영역에 따라 3차원 격자좌표를 할당한다(S220).
여기서, 상기 기준위치를 기준으로 검사영역을 3차원 격자좌표로 표현하여 검사시료에서 검출되는 개체들의 위치를 3차원 격자좌표로 나타낼 수 있다.
구체적으로, 검사영역에서 기준위치를 중심으로 하여 평면은 N(가로) X M(세로) 개의 격자 평면으로 분할하고, 깊이방향은 기준위치를 기준으로 하여 K 개의 층으로 분할한다.
이때, 분할하는 3차원 격자좌표의 격자 간격은 검사시료 내에 존재하는 개체의 최대 크기와 검경의 심도범위를 고려하여 설정할 수 있다.
또한, 격자 간격은 자동검사시스템에서 도말된 검사시료를 층별로 분할하여 검사할 때, 층 분할의 기본 간격으로 사용되거나, 자동검사시스템의 검사속도 향상을 위해 검경의 심도범위와 개체의 최대 크기 사이에서 최적화될 수 있다. 예컨대, 개체(결핵균)는 2 ~ 5마이크론의 크기 범위를 가지고, 사용되는 광학계의 배율에 따라 심도범위는 2 ~ 10마이크론 정도의 크기를 가진다. 이때, 개체의 크기와 광학계의 심도범위에서 작은 수치값을 갖는 것을 최소로 하고, 큰 수치값을 갖는 것을 최대가 되도록 3차원 격자좌표의 격자 간격을 설정할 수 있다.
이후, 상기 초점가변 렌즈의 초점이동을 통해 상기 샘플 검사시료 내에 분포하는 개체를 검출한다(S230).
이때, 샘플 검사시료 내의 개체 검출은 개체 검출에 최적화된 별도의 패턴 매칭 또는 인공지능 기반의 딥 러닝(Deep learnign) 검출 알고리즘을 적용하여 수행할 수 있다.
한편, 상기 개체를 검출하는 단계에서 검출된 개체의 3차원 격자좌표를 저장한다(S240).
여기서, 검출된 개체의 위치는 설정된 3차원 격자좌표에 따라 좌표로서 내장 메모리 또는 별도의 기록장치에 저장할 수 있다.
이후, 초점가변 렌즈의 초점이 이동하여 도말된 시료를 벗어나게 되면 초점가변 렌즈의 초점 이동이 완료되고, 하나의 샘플 검사시료에 대한 개체 검출이 완료된다.
이때, 준비된 샘플 검사시료의 개수만큼 다시 개체 검출과정을 반복할 수 있다. 즉, 상기 샘플 검사시료에 대한 기준위치를 설정하고, 검사영역을 분할하는 단계(S210)부터 상기 개체를 검출하는 단계에서 검출된 개체의 위치를 할당된 상기 3차원 격자좌표로 저장하는 단계(S240)까지 반복하여 다수의 샘플 검사시료에 대하여 개체 검출을 수행한다(S250). 이는 하나의 샘플 검사시료에 대한 개체 검출 정보만으로는 유의미한 통계정보를 얻을 수 없기 때문이다.
다음으로, 검출된 개체의 3차원 격자좌표에 대한 통계정보를 도출한다(S260).
여기서, 다수의 샘플 검사시료로부터 검출된 개체 정보들을 통합하여 처리함으로써, 개체 분포에 대한 통계정보를 도출할 수 있다.
이때, 통계정보는 개체들의 위치에 대한 최소 및 최대 깊이값과 평균값 그리고 편차일 수 있다.
다음, 상기 통계정보가 반영된 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템은 실제 검사시료에 대하여 개체가 분포할 수 있는 정해진 깊이 범위(개체가 분포된 최소 깊이 위치 및 최대 깊이 위치) 내에서만 초점가변 렌즈의 초점이동을 수행하여 각각의 깊이 별로 존재하는 개체들을 검출한다.
따라서, 상술한 바와 같은 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법은 두께가 있는 도말시료의 깊이 방향에 대한 검사 범위를 한정함으로써, 불필요한 영역에 대한 검사를 배제할 수 있으므로, 액상 초점가변 렌즈를 이용하여 자동으로 수행되는 시료의 검사 시간을 단축하고, 판정 성능을 향상시킬 수 있으며, 깊이 볼륨을 갖는 시료 속에 존재하는 개체의 신속한 추적관리에 활용될 수 있다.
본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 아울러 본 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작, 소자 및 장치의 존재 또는 추가를 의미한다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 명세서를 통해 개시된 모든 실시예들과 조건부 예시들은, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당업자가 독자가 본 발명의 원리와 개념을 이해하도록 돕기 위한 의도로 기술된 것으로, 당업자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며,그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
Claims (6)
- 적어도 하나 이상의 샘플 검사시료내의 개체분포 검사를 토대로 실제 검사시료의 깊이방향 검사범위에 대한 통계정보를 도출하는 단계; 및
상기 통계정보를 반영하여 실제 검사시료에 대하여 상기 통계정보에 따른 깊이방향의 두께만큼 초점가변 렌즈의 초점을 이동하며 개체를 검출하는 단계;
를 포함하되,
상기 통계정보를 도출하는 단계는,
상기 샘플 검사시료에 대한 기준위치를 설정하고, 검사영역을 분할하는 단계;
상기 기준위치와 검사영역에 따라 3차원 격자좌표를 할당하는 단계;
상기 초점가변 렌즈의 초점이동을 통해 상기 샘플 검사시료 내에 분포하는 개체를 검출하는 단계;
상기 개체를 검출하는 단계에서 검출된 개체의 3차원 격자좌표를 저장하는 단계; 및
상기 검출된 개체의 3차원 격자좌표에 대한 통계정보를 도출하는 단계;
를 포함하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 통계정보를 도출하는 단계 이전에,
상기 초점가변 렌즈의 초점이동량과 상기 초점가변 렌즈의 초점이동을 제어하는 제어전류량을 토대로 상기 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 단계를 더 포함하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법.
- 제2항에 있어서,
상기 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 단계는,
분해능 타겟을 수직방향으로 이동시키고, 상기 분해능 타겟이 선명하게 관찰되도록 상기 초점가변 렌즈에 전류를 인가하는 단계; 및
상기 분해능 타겟의 수직 이동에 따라 선명하게 관찰되는 위치와 상기 초점가변 렌즈에 인가되는 전류를 순차적으로 측정하여 상기 초점이동량과 상기 제어전류량을 데이터화하여 제어데이터로 설정하는 단계;
를 포함하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 기준위치는
상기 샘플 검사시료의 평면에 대한 기준위치와 깊이방향에 대한 기준위치를 설정하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 검출된 개체의 3차원 격자좌표에 대한 통계정보를 도출하는 단계 이전에,
상기 샘플 검사시료에 대한 기준위치를 설정하고, 검사영역을 분할하는 단계부터 상기 개체를 검출하는 단계에서 검출된 개체의 위치를 할당된 상기 3차원 격자좌표로 저장하는 단계를 준비된 샘플 검사시료의 개수만큼 반복하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170147708A KR101882696B1 (ko) | 2017-11-08 | 2017-11-08 | 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170147708A KR101882696B1 (ko) | 2017-11-08 | 2017-11-08 | 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101882696B1 true KR101882696B1 (ko) | 2018-07-27 |
Family
ID=63078541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170147708A KR101882696B1 (ko) | 2017-11-08 | 2017-11-08 | 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101882696B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109406478A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-01 | 上海市激光技术研究所 | 基于液态透镜自动调焦激光诱导荧光光谱检测装置和方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07318783A (ja) * | 1994-05-19 | 1995-12-08 | Nikon Corp | 自動焦点調節装置および自動焦点調節方法 |
KR0164281B1 (ko) | 1995-11-24 | 1999-04-15 | 윤덕용 | 현미경의 자동 초점조절 장치 |
JP2001021794A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-26 | Canon Inc | 自動焦点調節装置および光学機器 |
JP2005526255A (ja) * | 2002-05-16 | 2005-09-02 | カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 試料検査のための方法および装置 |
KR20110073245A (ko) * | 2009-12-21 | 2011-06-29 | 소니 주식회사 | 자동 초점 제어 장치, 이미지 캡처 장치 및 초점 자동 조절 방법 |
JP2018010007A (ja) * | 2011-12-21 | 2018-01-18 | シャハーフ,キャサリン,エム. | 組織表面を整列させる病変を撮像するためのシステム |
-
2017
- 2017-11-08 KR KR1020170147708A patent/KR101882696B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07318783A (ja) * | 1994-05-19 | 1995-12-08 | Nikon Corp | 自動焦点調節装置および自動焦点調節方法 |
KR0164281B1 (ko) | 1995-11-24 | 1999-04-15 | 윤덕용 | 현미경의 자동 초점조절 장치 |
JP2001021794A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-26 | Canon Inc | 自動焦点調節装置および光学機器 |
JP2005526255A (ja) * | 2002-05-16 | 2005-09-02 | カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 試料検査のための方法および装置 |
KR20110073245A (ko) * | 2009-12-21 | 2011-06-29 | 소니 주식회사 | 자동 초점 제어 장치, 이미지 캡처 장치 및 초점 자동 조절 방법 |
JP2018010007A (ja) * | 2011-12-21 | 2018-01-18 | シャハーフ,キャサリン,エム. | 組織表面を整列させる病変を撮像するためのシステム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109406478A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-01 | 上海市激光技术研究所 | 基于液态透镜自动调焦激光诱导荧光光谱检测装置和方法 |
CN109406478B (zh) * | 2018-12-29 | 2024-05-31 | 上海市激光技术研究所有限公司 | 基于液态透镜自动调焦激光诱导荧光光谱检测装置及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1990624B1 (en) | Apparatus and method for evaluating an optical system | |
TWI478101B (zh) | 評估影像聚焦品質的方法 | |
JP6087993B2 (ja) | イメージ走査のための方法及び装置 | |
US9116035B2 (en) | Method and apparatus for image scanning | |
US6518554B1 (en) | Reverse focusing methods and systems | |
JP6534658B2 (ja) | スキャニング顕微鏡、およびスキャニング顕微鏡の点像分布関数(psf)を決定する方法 | |
US10317663B2 (en) | Determination of deflection of a microscope slide | |
CN111239164B (zh) | 一种缺陷检测装置及其方法 | |
CN108398775B (zh) | 荧光显微镜***的对焦方法及装置 | |
KR101907231B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 실시간 3차원 sem 이미지화 및 관찰을 위한 장치 및 방법 | |
JP2018502283A (ja) | 生物学的粒子の位置の決定を含む分析方法 | |
CN111551117B (zh) | 显微图像焦点漂移距离的测量方法及***、计算机设备 | |
EP2742338A1 (en) | Method for presenting and evaluation of images of microtiter plate properties | |
US20150355446A1 (en) | Method for the microscope imaging of samples adhering to bottoms of fluid filled wells of a microtiter plate | |
JP2015230393A (ja) | 撮像装置の制御方法および撮像システム | |
CN113167991B (zh) | 用于在样本总成上自动地求取位置的方法和相应的显微镜 | |
CN111220615A (zh) | 一种倾斜式三维扫描显微成像***及方法 | |
CN114267606B (zh) | 一种晶圆高度检测方法及装置 | |
CN209992407U (zh) | 线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置 | |
KR101882696B1 (ko) | 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법 | |
EP3951472A1 (en) | Autofocusing means for a microscope | |
US11356593B2 (en) | Methods and systems for single frame autofocusing based on color- multiplexed illumination | |
US11714273B1 (en) | System and method for microscope high-speed auto-focusing including an imaged subject based on a corrected contrast distribution | |
CN114964041A (zh) | 孔径相关共聚焦显微测量***及其三维重构方法 | |
CN112748562B (zh) | 显微镜和用于确定显微镜中的像差的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |