KR101876463B1 - Levitation Module and Levitation Device Using Ultrasonic Generator - Google Patents

Abstract

According to an embodiment of the present invention, an ultrasonic levitation module comprises: a plate opposite to an object to be levitated; a vibrator applying vibration to levitate the object to the plate; and a support member coupled to a nodal line formed in the plate by the vibrator, and supporting the plate. Therefore, a liquid crystal display (LCD) can be levitated with ultrasonic waves.

Description

초음파 부상모듈 및 초음파를 이용한 대상물 부상장치{Levitation Module and Levitation Device Using Ultrasonic Generator}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an object lifting device using an ultrasonic floating module and an ultrasonic wave,

본 발명은 초음파 부상모듈 및 초음파를 이용한 대상물 부상장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 디스플레이와 같은 얇고 넓은 판을 부상시켜 이송하기 위한 초음파 부상모듈 및 초음파를 이용한 대상물 부상장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultrasonic floating module and an object floating device using ultrasonic waves. More particularly, the present invention relates to an ultrasonic floating module for moving a thin and wide plate such as a liquid crystal display, and an object floating device using ultrasonic waves.

일반적으로 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display)는 얇은 기판 형상으로 형성되며, TV, 컴퓨터 및 휴대폰 등의 화면으로 사용될 수 있다.In general, a liquid crystal display (LCD) is formed in a thin substrate shape and can be used as a screen of a TV, a computer, or a mobile phone.

일반적으로 액정 디스플레이 기판은 패널이송수단에 의하여 이송되며, 이송되는 과정에 기판이 손상 없이 안전하게 이송되도록 하는 것이 중요하다. In general, it is important that the liquid crystal display substrate is transported by the panel transport means, and that the substrate is safely transported in the course of transport without damage.

또한, TV, 컴퓨터나 휴대폰의 화면 크기가 점차 증가함에 따라 액정 디스플레이 기판의 크기 역시 증가하고 있는 상황이므로 크고 얇은 기판을 손상없이 이송하는 것이 문제가 될 수 있다.In addition, since the size of a liquid crystal display substrate is also increasing as a screen size of a TV, a computer or a mobile phone is gradually increased, it may be a problem to transfer a large and thin substrate without damage.

선행문헌(대한민국 등록특허 제10-1434169호)의 경우 에어를 이용하여 액정 디스플레이 기판을 이송하는 기술이 기재되었으며, 에어를 이용하여 액정 디스플레이의 휨변형을 최소화하면서 기판을 일정 높이 부상시켜 일방향으로 이송하여 손상을 줄일 수 있다.In the case of the prior art (Korean Patent No. 10-1434169), a technique of transferring a liquid crystal display substrate using air is described, and the substrate is lifted to a certain height while being conveyed in one direction while minimizing bending deformation of the liquid crystal display by using air Thereby reducing damage.

다만, 액정 디스플레이 기판의 경우 단순히 이송되는 것보다는 이송되는 과정에 다양한 공정이 수행될 수 있으며, 예를 들어 액정 디스플레이를 이송하는 과정에 약액을 도포하는 공정이나 열을 이용하여 건조하는 공정 등이 수행될 수 있다.However, in the case of a liquid crystal display substrate, various processes can be performed in the process of being transferred rather than merely transferred. For example, a process of applying a chemical liquid or a process of drying by using heat is performed in the process of transferring a liquid crystal display .

따라서, 선행문헌에서와 같이, 에어를 이용하여 액정 디스플레이 기판을 부상시킬 경우, 에어가 분사되는 부위에 약액이 얇게 도포된다거나 열건조 과정에 에어가 분사되는 부위가 다른 부위에 비해 건조 속도가 차이가 발생하여 기판 표면이 균일하게 건조되지 않는 등 문제점이 있을 수 있다.Therefore, when the liquid crystal display substrate is floated by using air as in the prior art, the area where the air is sprayed is thinly coated with the chemical liquid or the area where the air is sprayed during the thermal drying process is different There is a problem that the surface of the substrate is not uniformly dried.

따라서, 액정 디스플레이 기판을 부상시켜 손상을 줄임과 동시에 약액 도포나 열건조 공정에 영향을 적게 미칠 수 있는 부상장치가 필요할 수 있다.Therefore, a flotation device may be required which can reduce damage by flushing the liquid crystal display substrate and less affecting the chemical solution application or the heat drying process.

대한민국등록특허 제10-1434169호 (등록일: 2014.08.20)Korean Patent No. 10-1434169 (Registered on Apr. 20, 2014)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 초음파를 이용하여 액정 디스플레이를 부상시킬 수 있는 초음파 부상모듈 및 초음파를 이용한 대상물 부상장치를 제공하고자 한다.The object of the present invention is to provide an ultrasonic floating module capable of floating a liquid crystal display using ultrasonic waves and an object floating device using ultrasonic waves.

본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and another problem that is not mentioned can be clearly understood by a person skilled in the art from the following description.

본 발명의 일측면에 따르면 부상대상물과 대향되는 플레이트, 상기 플레이트에 상기 부상대상물을 부상하기 위한 진동을 인가하는 진동자 및 상기 진동자에 의하여 상기 플레이트에 형성되는 노달라인에 결합되며, 상기 플레이트를 지지하는 지지부재를 포함하는 초음파 부상모듈이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel, which is coupled to a plate opposed to an object to be lifted, a vibrator that applies vibration for lifting the object to be lifted to the plate and a nodal line formed on the plate by the vibrator, An ultrasonic levitation module comprising a support member is provided.

본 발명의 일측면에 따른 초음파 부상모듈에 포함되는 상기 지지부재는 상기 노달라인을 따라 상기 플레이트에 선접촉할 수 있다.The support member included in the ultrasonic levitation module according to one aspect of the present invention may be in line contact with the plate along the nodal line.

또한, 상기 지지부재는 판넬 형상으로 형성되며, 둘레부를 이루는 어느 한 측면이 상기 노달라인에 결합될 수 있다.Further, the support member may be formed in a panel shape, and one side of the support member may be coupled to the nodal line.

또한, 상기 지지부재를 지지하는 베이스와 상기 지지부재 사이에 구비되며, 상기 지지부재와 상기 베이스 사이의 이격거리를 조절하여 상기 플레이트의 높이를 조절하는 레벨조절부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a level adjusting unit provided between the base for supporting the support member and the support member and adjusting a height of the plate by adjusting a distance between the support member and the base.

또한, 상기 레벨조절부는 상부면이 상기 지지부재에 결합되고, 저면은 경사면을 이루는 제1부재 및 저면은 상기 베이스에 안착되고, 상부면은 상기 제1부재의 저면에 대응되게 경사면을 이루며, 상기 제1부재에 대하여 상대 이동하는 제2부재를 포함할 수 있다.The level adjuster may include a first member having an upper surface coupled to the support member and a lower surface having an inclined surface and a lower surface seated on the base, the upper surface having an inclined surface corresponding to a bottom surface of the first member, And a second member that moves relative to the first member.

또한, 상기 베이스와 상기 레벨조절부 사이에 구비되며, 상기 베이스에 형성된 레일 또는 홈에 이동 가능하게 결합되어 상기 플레이트와 결합되는 면의 길이방향으로 상기 지지부재의 길이를 조절하는 길이조절부를 더 포함할 수 있다.The apparatus further includes a length adjusting unit provided between the base and the level adjusting unit and movably coupled to the rail or groove formed in the base to adjust the length of the supporting member in the longitudinal direction of the surface coupled with the plate can do.

또한, 상기 지지부재와 상기 레벨조절부 사이에 구비되며, 상기 레벨조절부에 형성된 레일 또는 홈에 이동 가능하게 결합되어 상기 플레이트와 결합되는 면의 길이방향으로 상기 지지부재의 길이를 조절하는 길이조절부를 더 포함할 수 있다.The length adjusting unit is provided between the support member and the level adjusting unit and movably coupled to the rail or groove formed in the level adjusting unit to adjust the length of the support member in the longitudinal direction of the surface coupled with the plate. And the like.

또한, 상기 플레이트에 대향되게 형성되며, 상기 레벨조절부와 상기 길이조절부 사이에 구비되며, 상기 길이조절부가 이동 가능하게 결합되도록 레일 또는 홈이 형성되는 보조플레이트를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include an auxiliary plate that is formed to face the plate and is provided between the level adjusting unit and the length adjusting unit and includes a rail or a groove for movably coupling the length adjusting unit.

또한, 상기 지지부재는 서로 교차되는 하나 이상의 상기 노달라인에 결합되도록 복수 개가 구비될 수 있다.The support member may be provided to be coupled to at least one of the nodal lines intersecting with each other.

또한, 상기 지지부재는 상기 플레이트에 볼팅되도록 표면에 볼팅부재가 삽입되는 관통홀이 형성될 수 있다.The support member may be formed with a through-hole through which a bolting member is inserted into a surface of the plate so as to be bolted to the plate.

또한, 상기 진동자는 초음파를 발생할 수 있다.Further, the vibrator may generate ultrasonic waves.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 부상대상물에 비해 폭이 넓게 형성되며, 부상대상물의 이동방향을 따라 복수 개가 이격 배치되는 플레이트 및 복수 개의 상기 플레이트에 각각 구비되어 상기 부상대상물을 부상하기 위한 진동을 인가하는 진동자를 포함하는 초음파를 이용한 대상물 부상장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a plate having a width wider than an object to be lifted and having a plurality of plates spaced apart from each other along a moving direction of the object to be lifted and a plurality of plates, An object to be lifted using ultrasonic waves including a vibrator is provided.

또한, 상기 진동자에 의하여 상기 플레이트에 형성되는 노달라인에 결합되며, 상기 플레이트를 지지하는 지지부재를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a support member coupled to a nodal line formed on the plate by the vibrator and supporting the plate.

또한, 상기 지지부재를 지지하는 베이스와 상기 지지부재 사이에 구비되며, 상기 지지부재와 상기 베이스 사이의 이격거리를 조절하여 상기 플레이트의 높이를 조절하는 레벨조절부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a level adjusting unit provided between the base for supporting the support member and the support member and adjusting a height of the plate by adjusting a distance between the support member and the base.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 부상모듈 및 초음파를 이용한 대상물 부상장치는 다음과 같은 효과가 있다.The ultrasonic floating module and the object floating apparatus using ultrasonic waves according to the embodiment of the present invention have the following effects.

첫째, 초음파를 이용하여 부상대상물을 부상함으로써 부상대상물의 손상을 줄임과 동시에 약액을 도포하는 공정이나 열건조하는 공정 등에 미치는 영향을 줄일 수 있다.First, by floating the object to be floated using ultrasonic waves, the damage to the object to be injured can be reduced, and the influence on the process of applying the chemical liquid or the process of heat drying can be reduced.

둘째, 선형플레이트를 이용하여 부상플레이트에 선접촉함으로써 선형프레이트의 휨변형을 방지하여 부상대상물에 진동을 균일하게 인가할 수 있다.Second, the linear plate is used to contact the floating plate in a line to prevent warp deformation of the linear plate, so that vibration can be uniformly applied to the floating object.

셋째, 선형플레이트를 이용하여 부상플레이트에 선접촉함으로써 점접촉에 비해 부상플레이트의 높이 조절이 용이할 수 있다.Third, it is possible to easily adjust the height of the floating plate compared to the point contact by making a linear contact with the floating plate using a linear plate.

넷째, 부상플레이트가 부상대상물에 비해 폭이 넓고, 부상대상물의 이동방향을 따라 복수 개가 이격 배치됨으로써 부상대상물의 표면 얼룩 발생을 방지할 수 있다.Fourth, the floating plate is wider than the floating object, and a plurality of the floating plates are spaced apart along the moving direction of the floating object, thereby preventing the surface unevenness of the floating object.

본 발명의 효과들은 상기 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈 및 초음파 부상모듈이 대상물 부상장치에 구비된 모습을 나타내는 사시도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈을 나타내는 측면도 및 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈의 레벨조절부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈의 길이조절부를 설명하기 위한 도면이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈의 지지부재가 플레이트에 결합되는 구조에 대한 예를 설명하기 위한 도면이다. 그리고,
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈의 지지부재의 변형예를 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view illustrating an ultrasonic floating module and an ultrasonic floating module according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are a side view and a perspective view showing an ultrasonic floating module according to an embodiment of the present invention.
4 and 5 are views for explaining a level controller of an ultrasonic levitation module according to an embodiment of the present invention.
6 to 8 are views for explaining a length adjusting unit of an ultrasonic levitation module according to an embodiment of the present invention.
9 to 11 are views for explaining an example of a structure in which a support member of an ultrasonic levitation module according to an embodiment of the present invention is coupled to a plate. And,
12 is a view for explaining a modification of the support member of the ultrasonic levitation module according to the embodiment of the present invention.

이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It is to be understood, however, that the appended drawings illustrate the present invention in order to more easily explain the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto. You will know.

본 발명은 부상대상물 예를 들어 액정 디스플레이와 같이, 넓고 얇은 판넬 형상의 대상물을 부상시켜 이송하기 위한 발명으로, 여기서, 얇고 넓은 판넬 형상의 대상물은 액정 디스플레이에 한정되지 않으며, 필름 또는 건물에 사용되는 보온판넬 등 다양한 대상물이 될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 부상장치는 이와 같은 다양한 분야에 사용될 수 있다.The present invention is an invention for lifting and transporting a wide and thin panel-shaped object, such as a liquid crystal display, to a floating object, for example, a liquid crystal display, wherein the thin and wide panel-shaped object is not limited to a liquid crystal display, It can be various objects such as insulation panels. Accordingly, the floating device according to an embodiment of the present invention can be used in such various fields.

우선 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈에 대하여 살펴본 후 초음파를 이용한 대상물 부상장치에 대하여 살펴본다.First, an ultrasonic floating module according to an embodiment of the present invention will be described, and then an object floating device using ultrasonic waves will be described.

초음파 부상모듈Ultrasonic Flotation Module

도 1 내지 도 3을 참조하여 보면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈은 플레이트(100), 진동자(200) 및 지지부재(300)를 포함한다.1 to 3, an ultrasonic levitation module according to an embodiment of the present invention includes a plate 100, a vibrator 200, and a support member 300.

플레이트(100)는 부상대상물(50)과 대향될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈이 부상시킬 부상대상물(50)은 액정 디스플레이일 수 있으며, 예를 들어, 길이와 넓이가 각각 3m인 대형 액정 디스플레이일 수 있다.The plate 100 may be opposed to the object 50 to be lifted. The floating object 50 to be floated by the ultrasonic floating module according to an exemplary embodiment of the present invention may be a liquid crystal display, for example, a large liquid crystal display having a length and a width of 3 m each.

플레이트(100)의 경우 부상대상물(50)이 이송되는 방향으로 복수 개가 이격 배치될 수 있으며, 이는 이후 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 대상물 부상장치에 대한 설명을 통해 구체적으로 설명한다.In the case of the plate 100, a plurality of objects may be spaced apart from each other in a direction in which the objects 50 are transferred, and this will be described in detail with reference to an explanation of an object-based apparatus using ultrasonic waves according to another embodiment of the present invention.

이과 같이, 각각의 플레이트(100)는 부상대상물(50)에 대향되게 배치되며, 부상대상물(50)의 이동방향으로 배치될 수 있다.As such, each plate 100 is arranged to face the floating object 50 and can be arranged in the moving direction of the floating object 50.

진동자(200)는 플레이트(100)에 부상대상물(50)을 부상하기 위한 진동을 인가할 수 있다.The vibrator 200 can apply vibration to float the object 100 on the plate 100.

본 발명은 진동을 통해 부상대상물(50)을 플레이트(100)로부터 부상시키기 위한 발명이며, 본 발명의 실시예에 따른 진동자(200)는 초음파를 발생할 수 있는 초음파 발생장치일 수 있다.The present invention is an invention for lifting a floating object 50 from a plate 100 through vibration, and the vibrator 200 according to an embodiment of the present invention may be an ultrasonic generator capable of generating ultrasonic waves.

따라서, 본 발명은 진동자(200)를 통해 초음파를 생성한 후 플레이트(100)를 통해 초음파의 진동을 부상대상물(50)에 인가하여 부상대상물(50)을 부상시킬 수 있다.Accordingly, the present invention can generate ultrasonic waves through the vibrator 200, and then apply the vibration of the ultrasonic waves to the object 50 through the plate 100 to float the object 50.

이와 같이, 초음파를 이용하여 부상대상물(50)을 플레이트(100)로부터 부상시킬 경우, 부상대상물(50)이 플레이트(100) 상에서 이동하며 약액을 도포하는 공정이나 열건조 공정 등 공정이 진행되더라도 상기 공정들에 미치는 영향을 줄일 수 있다.When the floating object 50 is lifted from the plate 100 using the ultrasonic waves, the floating object 50 moves on the plate 100, and even if the process of applying the chemical liquid or the thermal drying process is performed, It is possible to reduce the influence on the processes.

또한, 지지부재(300)는 진동자(200)에 의하여 플레이트(100)에 형성되는 노달라인(Nordal Line, L)에 결합되며, 플레이트(100)를 지지할 수 있다.The support member 300 is coupled to a nodal line (L) formed on the plate 100 by the vibrator 200 and can support the plate 100.

즉, 지지부재(300)는 플레이트(100)와 베이스(B) 사이에 구비될 수 있으며, 플레이트(100)를 지지함과 동시에 플레이트(100)의 저면에 진동자(200)가 결합되도록 플레이트(100)를 베이스(B)로부터 이격시킬 수 있다.That is, the support member 300 may be provided between the plate 100 and the base B and supports the plate 100 so that the vibrator 200 is coupled to the bottom surface of the plate 100, Can be spaced from the base (B).

지지부재(300)는 플레이트(100)의 노달라인(L)에 결합될 수 있으며, 노달라인(L)은 지지부재(300)의 휨진동의 진폭이 최대 진폭의 50%인 지점을 이르는 말이다.The support member 300 can be coupled to the nodal line L of the plate 100 and the nodal line L is the point where the amplitude of the flexural vibration of the support member 300 is 50% of the maximum amplitude.

플레이트(100)의 크기 및 진동자(200)에 의하여 플레이트(100)에 인가되는 진동의 세기에 따라 플레이트(100) 상에 노달라인(L)이 형성되는 위치가 다를 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 플레이트(100) 상에 노달라인(L)이 교차되게 복수 개가 형성될 수 있다.The position at which the nodal line L is formed on the plate 100 may vary depending on the size of the plate 100 and the intensity of the vibration applied to the plate 100 by the vibrator 200, A plurality of nodal lines L may be formed on the plate 100 so as to intersect with each other.

이 때, 지지부재(300)는 플레이트(100)에 본딩되어 결합되거나 도 12에 도시된 바와 같이, 플레이트(100)에 볼팅 체결될 수 있다. 지지부재(300)가 플레이트(100)에 볼팅 체결되는 내용은 이후 상세하게 설명한다.At this time, the support member 300 may be bonded to the plate 100, or may be bolted to the plate 100, as shown in FIG. The manner in which the support member 300 is bolted to the plate 100 will be described later in detail.

이와 같이, 지지부재(300)는 노달라인(L)에 결합되어 진동자(200)에 의하여 부상대상물(100)에 인가되는 진동의 세기에 미치는 여향을 최소화할 수 있다.As described above, the support member 300 is coupled to the nodal line L so as to minimize the influence of the vibrator 200 on the intensity of vibration applied to the object 100 to be lifted.

한편, 지지부재(300)는 노달라인(L)을 따라 플레이트(100)에 선접촉할 수 있다. 즉, 지지부재(300)는 플레이트(100)를 지지하여 플레이트(100)의 휨변형을 방지하도록 노달라인(L)을 따라 플레이트(100)와 선접촉할 수 있다.On the other hand, the support member 300 can be in line contact with the plate 100 along the nodal line L. [ That is, the support member 300 may be in line contact with the plate 100 along the nodal line L so as to support the plate 100 and prevent the plate 100 from being warped.

지지부재(300)에 의하여 플레이트(100)의 휨변형이 방지되면 플레이트(100)의 표면이 수평방향으로 균일하게 형성되어 부상대상물(50)에 전달되는 진동의 세기가 균일할 수 있다. 따라서, 부상대상물(50) 역시 휘지 않고 안정적으로 부상하여 이동할 수 있다.If the plate 100 is prevented from being deformed flexibly by the support member 300, the surface of the plate 100 is uniformly formed in the horizontal direction, and the intensity of vibration transmitted to the object 50 can be uniform. Therefore, the object 50 to be lifted can also be lifted stably without bending.

또한, 지지부재(300)는 판넬 형상으로 형성되며, 둘레부를 이루는 어느 한 측면이 노달라인(L)에 결합될 수 있다.Also, the support member 300 may be formed in a panel shape, and one side of the support member 300 may be coupled to the nodal line L.

즉, 지지부재(300)는 플레이트(100)와의 결합면적을 최소화하기 위하여 둘레부를 이루는 한 측면이 노달라인(L)과 결합될 수 있다. That is, the support member 300 may be combined with the nodal line L on one side of the support member 300 to minimize the coupling area with the plate 100.

따라서, 플레이트(100)에 인가되는 진동의 세기에 미치는 영향을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 열건조 공정에서 플레이트(100)를 통해 지지부재(300)로 열이 적게 전달되여 지지부재(300)의 변형을 최소화하기 위한 것이다.Accordingly, not only the influence on the strength of the vibration applied to the plate 100 can be reduced, but also the heat is transmitted to the supporting member 300 through the plate 100 in the heat drying process, To minimize it.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈은 레벨조절부(400)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the ultrasonic levitation module according to an embodiment of the present invention may further include a level controller 400.

도 4 및 도 5를 참조하여 보면, 레벨조절부(400)는 지지부재(300)를 지지하는 베이스(B)와 지지부재(300) 사이에 구비되며, 지지부재(300)와 베이스(B) 사이의 이격거리를 조절하여 플레이트(100)의 높이(H1, H2)를 조절할 수 있다.4 and 5, the level adjusting unit 400 is provided between the base B supporting the support member 300 and the support member 300, and the support member 300 and the base B, The height H1 and H2 of the plate 100 can be adjusted.

레벨조절부(400)는 플레이트(100)에 복수 개가 구비될 수 있으며, 각 지점의 높이를 별도로 조절할 수 있다. 따라서, 플레이트(100)를 통해 부상대상물(50)에 진동이 균일하게 인가되도록 하여 부상대상물(50)이 플레이트(100)와 일정한 거리를 유지하며 수평방향으로 안정적으로 이동되도록 하기 위한 것이다.A plurality of level adjusting units 400 may be provided on the plate 100, and the height of each of the level adjusting units 400 may be separately adjusted. Therefore, vibration is applied uniformly to the floating object 50 through the plate 100, so that the floating object 50 can be stably moved in the horizontal direction while keeping a certain distance from the plate 100.

레벨조절부(400)는 다양한 구조로 형성될 수 있으며, 예를 들어 실린더 구조로 형성되거나 도 4 및 도 5에서와 같이 상대 이동하는 제1부재(410)와 제2부재(420)로 이루어질 수 있다.The level adjuster 400 may be formed in various structures, for example, a cylinder structure or a first member 410 and a second member 420 that are relatively movable as shown in FIGS. 4 and 5 have.

여기서, 제1부재(410)는 상부면이 지지부재(300)에 결합되고, 저면은 경사면을 이루고, 제2부재(420)는 저면이 베이스(B)에 안착되고, 상부면은 제1부재(410)의 저면에 대응되게 경사면을 이루며, 제1부재(410)에 대하여 상대 이동할 수 있다.Here, the first member 410 has a top surface coupled to the support member 300, the bottom surface has an inclined surface, the second member 420 has a bottom surface mounted on the base B, The first member 410 can be moved relative to the first member 410,

즉, 제2부재(420)는 제1부재(410)에 대하여 이동 가능하게 구비되며, 제2부재(420)가 제1부재(410)에 결합되는 지점에 따라 레벨조절부(400)의 전체 높이가 가변될 수 있다.That is, the second member 420 is movably provided with respect to the first member 410, and the second member 420 is fixed to the first member 410, The height can be varied.

도 4 및 도 5를 참조하여 보면, 제2부재(420)가 제1부재(410)의 후단에 위치할 경우 제1부재(410)의 전단에 위치할 경우에 비해 레벨조절부(400)의 높이가 낮을 수 있다.Referring to FIGS. 4 and 5, when the second member 420 is positioned at the rear end of the first member 410, as compared with the case where the second member 420 is positioned at the front end of the first member 410, The height may be low.

즉, 제2부재(420)가 제1부재(410)의 후단에 구비될 경우 플레이트(100)는 베이스(B)로부터의 H1 높이로 배치될 수 있으며, 제2부재(420)가 제1부재(410)의 전단으로 이동할 경우 레벨조절부(400)는 높이가 상승하여 플레이트(100)가 H2 높이로 배치될 수 있다.That is, when the second member 420 is provided at the rear end of the first member 410, the plate 100 may be disposed at a height H1 from the base B, The height of the level adjusting part 400 may be increased and the plate 100 may be disposed at a height H2.

이와 같이, 레벨조절부(400)에 대한 높이 조절을 통해 플레이트(100)의 높이를 조절할 수 있으며, 플레이트(100)를 통해 부상대상물(50)에 인가되는 진동의 세기를 균일하게 조절하여 부상대상물(50)이 안정적으로 이돌할 수 있다.In this way, the height of the plate 100 can be adjusted by adjusting the height of the level adjuster 400, and the intensity of vibration applied to the object 50 can be uniformly adjusted through the plate 100, (50) can be stably transferred.

한편, 부상대상물(50)이 이동하는 과정에 열건조 공정이 진행될 수 있는데 예를 들어 도 6에서와 같이, 플레이트(100)의 저면에 열원부재(600)가 부착될 수 있다. 6, the heat source member 600 may be attached to the bottom surface of the plate 100. The heat source 600 may be attached to the bottom surface of the plate 100, for example.

여기서 열원부재(600)는 Hot Plate가 사용될 수 있으며, 열원부재(600)에 의하여 플레이트(100)가 가열되면 플레이트(100)의 열이 부상대상물(50)에 전달되어 부상대상물(50)에 대한 건조 공정이 진행될 수 있다.When the plate 100 is heated by the heat source member 600, the heat of the plate 100 is transferred to the floating object 50, The drying process may proceed.

다만, 열원부재(600)에 의하여 플레이트(100)가 가열되는 과정에 열원부재(600)의 열이 직접 또는 간접적으로 지지부재(300)에도 가해질 수 있다. 따라서, 지지부재(300)는 플레이트(100)와 결합되는 결합지점(P)에 열변형이 발생할 수 있다.However, the heat of the heat source member 600 may be directly or indirectly applied to the supporting member 300 during the heating process of the plate 100 by the heat source member 600. Therefore, the support member 300 may undergo thermal deformation at the joining point P where the plate 100 is engaged.

지지부재(300)는 예를 들어 플레이트(100)와 결합되는 면을 기준으로 길이 방향으로 길이가 연장될 수 있으며, 이에 반해, 열이 가해지지 않는 지지부재(300)의 다른 부위는 열변형이 발생하지 않는다.The support member 300 may be elongated in the lengthwise direction, for example, with respect to a surface coupled to the plate 100, while the other portion of the support member 300, which is not subjected to heat, Does not occur.

이와 같이, 지지부재(300)에 열변형이 발생하게 되면 플레이트(100)를 안정적으로 지지할 수 없으므로 지지부재(300)에 열변형이 발생하더라도 플레이트(100)를 안정적으로 지지할 수 있도록 열변형에 대응되게 열이 가해지지 않는 지지부재(300)의 다른 부위도 길이를 연장할 필요가 있다.Since the plate 100 can not be stably supported when the support member 300 is thermally deformed, the plate 100 can be stably supported by the support member 300 in order to stably support the plate 100 even if the support member 300 is thermally deformed. The other portions of the support member 300 which are not subjected to heat in correspondence with each other need to be extended in length.

이를 위하여 본 발명의 실시예에서는 길이조절부(650)를 더 포함할 수 있다.To this end, the embodiment of the present invention may further include a length adjuster 650.

길이조절부(650)는 베이스(B)와 레벨조절부(400) 사이에 구비되며, 베이스(B)에 형성된 레일 또는 홈(650a)에 이동 가능하게 결합되어 플레이트(100)와 결합되는 면의 길이방향으로 지지부재(300)의 길이를 조절할 수 있다.The length adjusting portion 650 is provided between the base B and the level adjusting portion 400 and is movably coupled to the rail or groove 650a formed on the base B to be engaged with the plate 100, The length of the support member 300 can be adjusted in the longitudinal direction.

베이스(B)에는 길이조절부(650)가 이동 가능하게 결합되도록 레일이나 홈(650a)이 형성될 수 있으며, 이하 설명의 편의를 위하여 베이스(B)에 홈(650a) 형성될 경우를 예로 설명한다.A rail or a groove 650a may be formed in the base B so that the length adjusting portion 650 is movably coupled to the base B and a groove 650a is formed in the base B for convenience of explanation do.

도 7을 살펴보면 지지부재(300)가 플레이트(100)와 결합되는 결합지점(P)이 열에 의하여 좌우 방향으로 길이가 길어질 경우, 지지부재(300)의 양측에 결합된 길이조절부(650)를 각각 외측으로 이동시킬 수 있다.7, when the coupling point P at which the support member 300 is coupled with the plate 100 is long in the left and right direction by the heat, the length adjusting unit 650 coupled to both sides of the support member 300 Respectively.

길이조절부(650)가 이동함에 따라 레벨조절부(400) 및 지지부재(300)가 길이조절부(650)가 이동하는 방향으로 이동하게 되어 길이를 연장될 수 있다.As the length adjusting unit 650 moves, the level adjusting unit 400 and the supporting member 300 move in the direction in which the length adjusting unit 650 moves, and the length can be extended.

따라서, 열변형에 의하여 길이가 길이진 부위와 길이조절부(650)에 의하여 길이가 연장된 부위의 길이가 동일하게 조절될 경우 지지부재(300)는 플레이트(100)를 안정적으로 지지할 수 있다.Accordingly, when the length of the extended portion due to the thermal deformation and the length of the extended portion of the length adjusting portion 650 are adjusted to be the same, the supporting member 300 can stably support the plate 100 .

또한, 길이조절부(650)는 지지부재(300)와 레벨조절부(400) 사이에 구비되며, 레벨조절부(400)에 형성된 레일 또는 홈(650a)에 이동 가능하게 결합되어 플레이트(100)와 결합되는 면의 길이방향으로 지지부재(300)의 길이를 조절할 수 있다.The length adjusting unit 650 is provided between the support member 300 and the level adjusting unit 400 and is movably coupled to the rail or groove 650a formed in the level adjusting unit 400, The length of the support member 300 can be adjusted in the longitudinal direction of the surface coupled to the support member 300.

이 때, 길이조절부(650)는 레벨조절부(400)에 직접 결합되거나 보조플레이트(700)를 통해 레벨조절부(400)와 결합될 수 있다.In this case, the length adjusting unit 650 may be directly coupled to the level adjusting unit 400 or may be coupled to the level adjusting unit 400 through the auxiliary plate 700.

보조플레이트(700)는 플레이트(100)에 대향되게 형성되며, 레벨조절부(400)와 길이조절부(650) 사이에 구비되며, 길이조절부(650)가 이동 가능하게 결합되도록 레일 또는 홈(650a)이 형성될 수 있다.The auxiliary plate 700 is formed to face the plate 100 and is provided between the level adjusting portion 400 and the length adjusting portion 650 so that the length adjusting portion 650 can be movably coupled to the rail or groove 650a may be formed.

이와 같이, 지지부재(300)가 플레이트(100)와 결합되는 결합지점(P)이 열에 의하여 길이가 길어질 경우 길이조절부(650)를 이동시켜 길이가 길어진 일단과 대향되는 지지부재(300)의 타단을 양측으로 길이를 연장시킬 수 있다. 따라서, 지지부재(300)가 플레이트(100)를 안정적으로 지지할 수 있다.When the length of the coupling point P at which the supporting member 300 is coupled with the plate 100 is long due to heat, the length adjusting unit 650 is moved so that the length of the supporting member 300 And the other end can be extended to both sides. Therefore, the support member 300 can stably support the plate 100. [

한편, 플레이트(100)의 길이가 짧아질 경우 길이조절부(650)는 앞서 설명한 방향과 반대로 이동하여 플레이트(100)의 타면의 길이를 조절할 수 있다. On the other hand, when the length of the plate 100 is shortened, the length adjuster 650 can move in the opposite direction to adjust the length of the other surface of the plate 100.

한편, 앞서 설명한 내용과 같이, 플레이트(100)에는 복수 개의 노달라인(L)이 형성될 수 있다. 따라서, 도 9 내지 도 12를 참조하여 보면, 지지부재(300)는 서로 교차되는 하나 이상의 노달라인(L)에 결합되도록 복수 개가 구비될 수 있다.On the other hand, as described above, a plurality of nodal lines L may be formed on the plate 100. 9 to 12, a plurality of support members 300 may be provided to be coupled to one or more nodal lines L that intersect with each other.

즉, 진동자(200)에 의하여 플레이트(100)에 진동이 인가될 경우 플레이트(100) 상에는 노달라인(L)이 여러 개가 형성될 수 있으며, 지지부재(300) 여러 개의 노달라인(L)에 결합되는 다양한 형상으로 형성될 수 있다.That is, when vibrations are applied to the plate 100 by the vibrator 200, a plurality of nodal lines L may be formed on the plate 100, and the support members 300 may be coupled to a plurality of nodal lines L As shown in FIG.

이와 같이, 다양한 형상의 지지부재(300)는 모두 부상대상물(50) 및 플레이트(100)의 크기 또는 진동자(200)에 의하여 부상대상물(50)에 인가되는 진동의 세기 등 조건에 따라 다양하게 형성될 수 있으며, 부상대상물(50)에 진동이 균일하게 전달될 수 있도록 형성될 수 있다.As described above, the support members 300 of various shapes are variously formed according to the size of the floating object 50 and the plate 100 or the intensity of the vibration applied to the object 50 by the vibrator 200 And can be formed so that vibration can be uniformly transmitted to the object 50 to be lifted.

한편, 도 6에서와 같이, 지지부재(300)는 플레이트(100)에 볼팅되도록 표면에 볼팅부재(500)가 삽입되는 관통홀(300a)이 형성될 수 있다. 이 때, 볼팅부재(500)는 플레이트(100)로부터 부상대상물(50)을 향해 돌출되지 않도록 하는 것이 바람직하다.6, the support member 300 may be formed with a through hole 300a through which the bolting member 500 is inserted into the surface of the plate 100 so as to be bolted. At this time, it is preferable that the bolting member 500 is prevented from protruding from the plate 100 toward the object 50 to be lifted.

또한, 지지부재(300)와 플레이트(100)가 결합되는 지점에는 보강부재(550)가 더 구비될 수 있다. 앞서 설명드린 내용과 같이, 지지부재(300)는 둘레부를 이루는 어느 한 측면이 플레이트(100)에 결합될 수 있다. 따라서, 보강부재(550)를 통해 지지부재(300)를 지지하여 지지부재(300)가 보다 더 안정적으로 플레이트(100)를 지지하도록 할 수 있다.The reinforcing member 550 may be further provided at a position where the support member 300 and the plate 100 are coupled. As described above, the support member 300 can be coupled to the plate 100 at either side of its periphery. Therefore, the support member 300 can be supported through the reinforcement member 550, so that the support member 300 can support the plate 100 more stably.

이 때, 부상대상물(50)의 부상에 영향을 미치지 않도록 보강부재(550) 역시 노달라인(L)에 결합될 수 있다.At this time, the reinforcing member 550 may also be coupled to the nodal line L so as not to affect the lifting of the object 50 to be lifted.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 부상모듈은 초음파를 이용하여 부상대상물(50)을 부상시켜 손상 없이 안정적으로 이송할 수 있을 뿐만 아니라 지지부재(300)가 플레이트(100)에 선접촉하여 부상대상물(50)의 부상에 미치는 영향을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 플레이트(100)를 지지하여 플레이트(100)의 휨변형을 효과적으로 방지할 수 있다.As described above, the ultrasonic levitation module according to the embodiment of the present invention not only allows the object to be lifted 50 to float by using ultrasonic waves and can stably transport the object 50 without damage, but also allows the supporting member 300 to linearly contact the plate 100 Thereby minimizing the influence on the lifting of the floating object 50 and also effectively preventing the plate 100 from being warped by supporting the plate 100.

초음파를 이용한 대상물 부상장치Object lifting device using ultrasonic waves

본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 대상물 부상장치는 플레이트(100) 및 진동자(200)를 포함하며, 지지부재(300) 및 레벨조절부(400)를 더 포함할 수 있다.The object floating apparatus using ultrasonic waves according to another embodiment of the present invention may include a plate 100 and a vibrator 200 and may further include a support member 300 and a level controller 400.

플레이트(100)는 부상대상물(50)에 비해 폭이 넓게 형성되며, 부상대상물(50)의 이동방향을 따라 복수 개가 이격 배치될 수 있다.The plate 100 is formed wider than the floating object 50, and a plurality of the plates 100 may be spaced apart from each other along the moving direction of the floating object 50.

또한, 진동자(200)는 복수 개의 플레이트(100)에 각각 구비되어 부상대상물(50)을 부상하기 위한 진동을 인가할 수 있다.In addition, the vibrator 200 may be provided on each of the plurality of plates 100 to apply a vibration for floating the floating object 50.

즉, 앞서 도 1을 참조하여 설명드린 내용과 같이, 부상대상물(50)의 경우 길이와 넓이가 3m인 대형 액정 디스플레이일 수 있으며, 진동자(200)의 경우 부상대상물(50)에 진동을 전달할 수 있는 범위가 정해져 있다. That is, as described above with reference to FIG. 1, the floating object 50 may be a large liquid crystal display having a length and an area of 3 m. In the case of the vibrator 200, vibration may be transmitted to the floating object 50 The range is fixed.

따라서, 플레이트(100)의 크기는 진동자(200)가 부상대상물(50)에 진동을 인가할 수 있는 범위에 대응되게 형성되므로 부상대상물(50)과 크기가 다를 수 있다.Therefore, the size of the plate 100 may be different from that of the object 50 because the size of the plate 100 is formed to correspond to a range in which the vibrator 200 can apply vibration to the object 50 to be lifted.

이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에서는 플레이트(100)가 부상대상물(50)의 이동방향으로 복수 개가 이격 배치될 수 있다.Accordingly, in another embodiment of the present invention, a plurality of plates 100 may be spaced apart from each other in the moving direction of the object 50 to be lifted.

또한, 각각의 플레이트(100)는 부상대상물(50)에 비해 폭이 넓게 형성될 수 있는데, 부상대상물(50)이 플레이트(100)를 통과하는 과정에 플레이트(100)가 부상대상물(50)보다 폭이 좁을 경우 부상대상물(50)이 이동하는 과정에 플레이트(100)의 양측 끝단이 부상대상물(50)의 표면에 대응되므로 부상대상물(50)의 표면에 얼룩이 생길 수 있다. Each of the plates 100 may be formed to have a width larger than that of the floating object 50. When the floating object 50 passes through the plate 100, When the width of the floating object 50 is small, both ends of the plate 100 correspond to the surface of the object 50 during the movement of the object 50, so that the surface of the object 50 may be smudged.

따라서, 본 발명에서는 이러한 문제점을 방지하기 위하여 플레이트(100)는 폭(W2)이 부상대상물(50)의 폭(W1)보다 넓게 형성될 수 있다.Therefore, in order to prevent such a problem, the width W2 of the plate 100 may be wider than the width W1 of the object 50 to be lifted.

또한, 지지부재(300)는 진동자(200)에 의하여 플레이트(100)에 형성되는 노달라인(L)에 결합되며, 플레이트(100)를 지지할 수 있다.The support member 300 is coupled to the nodal line L formed in the plate 100 by the vibrator 200 and can support the plate 100. [

또한, 레벨조절부(400)는 지지부재(400)를 지지하는 베이스(B)와 지지부재(300) 사이에 구비되며, 지지부재(300)와 베이스(B) 사이의 이격거리를 조절하여 플레이트(100)의 높이를 조절할 수 있다.The level adjuster 400 is provided between the base B supporting the support member 400 and the support member 300 and adjusting the distance between the support member 300 and the base B, The height of the display unit 100 can be adjusted.

본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 대상물 부상장치에 포함되는 각각의 지지부재(300)와 레벨조절부(400)는 앞서 도 2 내지 도 12를 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 진동모듈에 포함되는 지지부재(300) 및 레벨조절부(400)와 동일 또는 실질적으로 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.Each of the support members 300 and the level adjusting unit 400 included in the object floating apparatus using the ultrasonic waves according to another embodiment of the present invention may be constructed in accordance with an embodiment of the present invention described with reference to FIGS. 2 to 12 The supporting member 300 and the level adjusting unit 400 included in the ultrasonic vibration module are the same or substantially the same as those of the supporting member 300 and the level adjusting unit 400,

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 대상물 부상장치는 플레이트(100)가 연속적으로 배치되어 대형 부상대상물(50)을 안정적으로 부상시켜 이송함과 동시에 부상대상물(50)에 대한 공정 중에 부상대상물(50)에 미치는 영향을 줄일 수 있다.As described above, according to another embodiment of the present invention, the object lifting apparatus using ultrasonic waves is constructed such that the plate 100 is continuously disposed to stably float and transfer the large-size floating object 50, The influence on the object 50 to be lifted can be reduced.

이상과 같이 본 발명에 따른 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. . Therefore, the above-described embodiments are to be considered as illustrative rather than restrictive, and the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and equivalents thereof.

50: 부상대상물 100: 플레이트
200: 진동자 300: 지지부재
300a: 홀 320: 측면
350: 돌기 400: 레벨조절부
410: 제1부재 420: 제2부재
500: 볼팅부재 550: 보강부재
600: 열원부재 650: 길이조절부
650a: 홈 700: 보조플레이트
A: 중심 B: 베이스
H1, H2: 높이 L: 노달라인
P: 결합지점 W1, W2: 폭
S: 이격50: Injection object 100: Plate
200: Oscillator 300: Support member
300a: hole 320: side
350: protrusion 400: level control unit
410: first member 420: second member
500: bolting member 550: reinforcing member
600: heat source member 650:
650a: groove 700: auxiliary plate
A: center B: base
H1, H2: Height L: Nodal line
P: coupling point W1, W2: width
S: separation

Claims (14)

부상대상물과 대향되는 플레이트;
상기 플레이트에 상기 부상대상물을 부상하기 위한 진동을 인가하도록 초음파를 발생하는 진동자; 및
상기 플레이트에 결합되어, 상기 플레이트를 지지하는 지지부재;
를 포함하고,
상기 지지부재는,
단일의 판넬 형상으로 형성되고, 상기 플레이트의 휨변형이 방지됨으로써 상기 플레이트의 표면이 수평방향으로 균일하게 형성되어 상기 부상대상물에 인가되는 진동의 세기가 균일하도록 둘레부를 이루는 어느 한 측면이 상기 진동자에 의하여 상기 플레이트에 형성되는 노달라인을 따라 상기 플레이트에 선접촉하며 결합되는 초음파 부상모듈.A plate opposed to the object to be lifted;
A vibrator for generating an ultrasonic wave to apply a vibration for lifting the object to be lifted to the plate; And
A support member coupled to the plate and supporting the plate;
Lt; / RTI >
Wherein the support member comprises:
The plate is formed in a single panel shape and the plate is prevented from being warped so that the surface of the plate is uniformly formed in the horizontal direction so that a side of the plate, Wherein the plate is in line contact with the plate along a nodal line formed on the plate. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 지지부재를 지지하는 베이스와 상기 지지부재 사이에 구비되며, 상기 지지부재와 상기 베이스 사이의 이격거리를 조절하여 상기 플레이트의 높이를 조절하는 레벨조절부를 더 포함하는 초음파 부상모듈.The method according to claim 1,
The ultrasonic levitation module according to claim 1, further comprising a level adjuster provided between a base supporting the support member and the support member and adjusting a height of the plate by adjusting a distance between the support member and the base. 제4항에 있어서,
상기 레벨조절부는,
상부면이 상기 지지부재에 결합되고, 저면은 경사면을 이루는 제1부재; 및
저면은 상기 베이스에 안착되고, 상부면은 상기 제1부재의 저면에 대응되게 경사면을 이루며, 상기 제1부재에 대하여 상대 이동하는 제2부재;
를 포함하는 초음파 부상모듈.5. The method of claim 4,
The level controller may include:
A first member whose upper surface is coupled to the support member and whose bottom surface is an inclined surface; And
A second member which is seated on the base and whose upper surface is inclined to correspond to a bottom surface of the first member and moves relative to the first member;
And an ultrasonic levitation module. 제4항에 있어서,
상기 베이스와 상기 레벨조절부 사이에 구비되며, 상기 베이스에 형성된 레일 또는 홈에 이동 가능하게 결합되어 상기 플레이트와 결합되는 면의 길이방향으로 상기 지지부재의 길이를 조절하는 길이조절부를 더 포함하는 초음파 부상모듈.5. The method of claim 4,
And a length adjusting unit provided between the base and the level adjusting unit and movably coupled to a rail or groove formed in the base to adjust a length of the supporting member in a longitudinal direction of a surface coupled with the plate, Injury module. 제4항에 있어서,
상기 지지부재와 상기 레벨조절부 사이에 구비되며, 상기 레벨조절부에 형성된 레일 또는 홈에 이동 가능하게 결합되어 상기 플레이트와 결합되는 면의 길이방향으로 상기 지지부재의 길이를 조절하는 길이조절부를 더 포함하는 초음파 부상모듈.5. The method of claim 4,
A length adjusting unit provided between the support member and the level adjusting unit and movably coupled to the rail or groove formed in the level adjusting unit to adjust the length of the support member in the longitudinal direction of the surface coupled with the plate Contains an ultrasonic injury module. 제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 플레이트에 대향되게 형성되며, 상기 레벨조절부와 상기 길이조절부 사이에 구비되며, 상기 길이조절부가 이동 가능하게 결합되도록 레일 또는 홈이 형성되는 보조플레이트를 더 포함하는 초음파 부상모듈.8. The method according to claim 6 or 7,
Further comprising an auxiliary plate formed to face the plate and provided between the level adjusting portion and the length adjusting portion and having a rail or a groove for the length adjusting portion to be movably coupled. 제1항에 있어서,
상기 지지부재는,
서로 교차되는 하나 이상의 상기 노달라인에 결합되도록 복수 개가 구비되는 초음파 부상모듈.The method according to claim 1,
Wherein the support member comprises:
Wherein the plurality of ultrasonic flaws are coupled to at least one of the nodal lines intersecting with each other. 제1항에 있어서,
상기 지지부재는,
상기 플레이트에 볼팅되도록 표면에 볼팅부재가 삽입되는 관통홀이 형성되는 초음파 부상모듈.The method according to claim 1,
Wherein the support member comprises:
And a through hole through which a bolting member is inserted is formed on the surface of the plate so as to be bolted to the plate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete

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