KR101869755B1 - X-ray tube capable of selecting line and point beam - Google Patents

Abstract

본 발명은, 서로 다른 특성을 가진 엑스선을 용이하게 선택하여 방출할 수 있는 엑스선관에 관한 것으로서, 전자빔을 방출하는 음극부 및 상기 음극부의 전자빔이 충돌되어 전자빔과 다른 각도로 엑스선빔을 방출하는 타겟과, 상기 타겟을 전자빔의 진행방향에 대하여 전후방으로 틸팅시키는 구동부를 구비하는 양극부를 포함하며, 상기 타겟은 전자빔의 경로에 대하여 가변적인 각도를 가지고 엑스선빔에 대한 전후 폭의 선택이 가능한 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관을 제공한다.The present invention relates to an X-ray tube capable of easily selecting and emitting X-rays having different characteristics, and more particularly, to an X-ray tube having a cathode portion for emitting an electron beam and a target for emitting an X-ray beam at an angle different from that of the electron beam, And a driving unit for tilting the target in a forward and a backward direction with respect to a traveling direction of the electron beam. The target includes a line beam having a variable angle with respect to the path of the electron beam and capable of selecting a front- Provides an X-ray tube with a choice of point beams.

Description

라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관{X-RAY TUBE CAPABLE OF SELECTING LINE AND POINT BEAM}{X-RAY TUBE CAPABLE OF SELECTING LINE AND POINT BEAM}

본 발명은 엑스선관에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 서로 다른 특성을 가진 엑스선을 용이하게 선택하여 방출할 수 있는 엑스선관에 관한 것이다.The present invention relates to an x-ray tube, and more particularly, to an x-ray tube capable of easily selecting and emitting x-rays having different characteristics.

엑스선관이란 비접촉 또는 비파괴 방식으로 물체 등을 검사하는 장비의 엑스선 발생원으로 사용되는 것으로, 전자를 소정 타겟에 충돌시켜서 엑스선을 발생하는 장치를 말한다.An X-ray tube is a device used as a source of X-rays for equipment that inspects objects in a non-contact or non-destructive manner. It is a device that generates X-rays by colliding electrons with a target.

실개평3-110753호는 엑스선 발생장치를 개시하는데, 유리재질 등의 절연재를 대략 원통형상으로 가공한 튜브가 하측의 본체와 결합하고, 상기 튜브에는 타겟을 지지하는 타겟 지지체가 고정되고, 본체에는 전자총이 수용된다.Open No. 3-110753 discloses an X-ray generator, in which a tube formed by processing an insulating material such as a glass material into a substantially cylindrical shape is coupled to a lower body, a target support for supporting the target is fixed to the tube, The electron gun is accommodated.

상기 전자총으로부터 방출되는 전자는 타겟에 충돌하여 엑스선을 발생하고 상기 엑스선관의 외부로 엑스선을 방출하게 된다.The electrons emitted from the electron gun collide with the target to generate X-rays, and X-rays are emitted to the outside of the X-ray tube.

도 1은 종래기술의 엑스선관을 정단면도이다.1 is a front sectional view of an X-ray tube of the prior art.

전자발생부(2)는 고에너지 전자를 발생시키는 필라멘트(미도시)를 포함하고, 상기 필라멘트에서 발생된 전자선은 소정의 경로를 따라 타겟(3)에 충돌하여 엑스선을 방출한다.The electron generating part 2 includes a filament (not shown) for generating high energy electrons, and the electron beam generated from the filament collides with the target 3 along a predetermined path to emit an X-ray.

보다 구체적으로는, 필라멘트에서 발생된 전자는 타겟(3)에 충돌시, 타겟(3)을 이루는 물질은 고에너지 전자의 충돌에 의해 여기되었다가 원래의 상태로 돌아오게 되면서 물질 고유의 특성을 가진 엑스선을 방출시키게 된다.More specifically, when the electrons generated from the filament collide with the target 3, the material forming the target 3 is excited by the collision of the high energy electrons and returns to the original state, X-rays will be emitted.

즉, 엑스선관에서 발생되는 엑스선은 타겟의 재질에 의해 그 특성이 결정되는 것이다.That is, the X-rays generated from the X-ray tube are determined by the material of the target.

종래의 엑스선관은 도 1에 도시된 바와 같이 특정 파장을 가진 엑스선을 발생할 수 있는 타겟이 이미 제작 당시에 결정되어 있기 때문에, 연구 또는 분석의 용도에 따라 원하는 타겟이 장착된 엑스선관으로 사용하여 사용되었다.The conventional X-ray tube was used as an X-ray tube equipped with a desired target according to the purpose of research or analysis because a target capable of generating an X-ray having a specific wavelength was already determined at the time of manufacture as shown in FIG. 1 .

이는 생산 또는 연구시설의 비용의 증가로 이어지게 되고, 또한 분석 환경의 특성에 유연하게 대응하지 못하는 문제점도 가지고 있었다.This leads to an increase in the cost of a production or research facility and also has a problem in that it can not flexibly respond to the characteristics of the analysis environment.

도 1에 나타난 엑스선관의 구조를 더욱 구체적으로 살펴보면, 전자발생부(2)는 대략 원기둥 형상의 튜브(1)에 고정된다.The structure of the X-ray tube shown in FIG. 1 will be described in more detail. The electron generating portion 2 is fixed to a substantially cylindrical tube 1. FIG.

상기 튜브(1)는 유리 재질로 이루어지는 것이 일반적이며, 하측에서 내주측으로 함몰되어 내주에서 다시 원기둥 형상을 이루게 되고, 상기 함몰 부위의 상단에 전자발생부(2)가 결합된다.The tube 1 is generally made of a glass material. The tube 1 is generally recessed from the lower side to the inner side, and has a cylindrical shape in the inner periphery. The electron generating portion 2 is coupled to the upper end of the depression.

상기 튜브(1)의 상단에는 타겟(3) 및 투과창(4)이 구비되고, 상기 튜브(1)의 내부는 진공상태가 되어야 하기 때문에 정확한 실링이 요구된다.A target 3 and a transmission window 4 are provided at the upper end of the tube 1 and an accurate sealing is required since the inside of the tube 1 must be in a vacuum state.

일반적인 형태의 타겟에서는 라인빔 형태의 엑스선이 방출되는데 경우에 따라 다른 면적 내지는 폭을 가지는 엑스선빔이 요청되는 경우도 있다.In a general type of target, an X-ray beam in the form of a line beam is emitted. In some cases, an X-ray beam having a different area or width may be requested.

이를 위하여 별도로 엑스선빔의 경로에 필터 및/또는 콜리메이터를 부가하는 경우가 있는데 장비의 부가에 따른 공간적인 문제와 생산비용 및 유지보수에 있어서의 문제도 가지고 있다.For this purpose, a filter and / or a collimator may be added to the path of the X-ray beam separately. However, the X-ray beam has a spatial problem due to the addition of equipment, and a problem in production cost and maintenance.

이에 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 용이한 방법으로 엑스선빔의 특성을 선택할 수 있는 구조를 가진 엑스선관을 제공하는 데 목적이 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an X-ray tube having a structure capable of selecting characteristics of an X-ray beam by an easy method.

본 발명은, 전자빔을 방출하는 음극부 및 상기 음극부의 전자빔이 충돌되어 전자빔과 다른 각도로 엑스선빔을 방출하는 타겟과, 상기 타겟을 전자빔의 진행방향에 대하여 전후방으로 틸팅시키는 구동부를 구비하는 양극부를 포함하며, 상기 타겟은 전자빔의 경로에 대하여 가변적인 각도를 가지고 엑스선빔에 대한 전후 폭의 선택이 가능한 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관을 제공한다. 따라서, 검사 환경에 따라 필요한 엑스선빔의 선택이 가능하다.The present invention relates to an electron gun comprising a cathode portion for emitting an electron beam and a target for emitting an X-ray beam at an angle different from that of the electron beam by collision with the electron beam of the cathode portion, and a driving portion for tilting the target in the forward and backward directions with respect to the traveling direction of the electron beam The target has an X-ray tube having a variable angle with respect to the path of the electron beam and capable of selecting a line beam and a point beam capable of selecting a front-back width for the X-ray beam. Therefore, it is possible to select the necessary x-ray beam according to the inspection environment.

또한, 상기 타겟은 라인빔을 형성하는 제1상태와 상기 제1상태에 비하여 전자빔에 대한 각도가 비교적 작게 형성되어 포인트빔을 형성하는 제2상태가 선택될 수 있다. 따라서, 두 가지 상태가 정의되므로 선택이 단순하고 구조적 효율성이 향상된다. In addition, the target may be selected to have a first state in which a line beam is formed and a second state in which a point beam is formed in a relatively small angle with respect to the electron beam relative to the first state. Thus, two states are defined, so that the selection is simple and the structural efficiency is improved.

또한, 상기 타겟의 상하 회전을 제한하는 스토퍼를 더 포함하고, 상기 구동부는 타겟을 투과창에서 먼 단부측을 중심으로 회동시키도록 하는 것이 바람직하다.Further, it is preferable to further include a stopper for restricting up-and-down rotation of the target, wherein the driving unit rotates the target about the end portion farther from the transmission window.

본 발명에 따른 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관에 따라, 전자빔의 충돌과정에서 타겟의 각도가 가변될 수 있기 때문에 필요에 따라 적절한 특성을 가진 엑스선을 획득할 수 있고 복잡한 과정을 거치지 않고 엑스선의 선택이 가능하며 따라서 다양한 실험 및 생산 환경에서 유연하게 활용될 수 있는 효과가 있다.Since the angle of the target can be varied in the collision process of the electron beam according to the X-ray tube capable of selecting the line beam and the point beam according to the present invention, it is possible to acquire an X- It is possible to select X-rays and thus it can be flexibly used in various experimental and production environments.

도 1은 종래기술의 엑스선관을 나타내는 정단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관의 개념도이다.
도 3은 도 2의 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a front sectional view showing an X-ray tube of the prior art.
2 is a conceptual diagram of an X-ray tube capable of selecting a line beam and a point beam according to the present invention.
FIG. 3 is a view for explaining the operation of an X-ray tube capable of selecting a line beam and a point beam in FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관을 상세히 설명한다.Hereinafter, an X-ray tube capable of selecting a line beam and a point beam according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하 설명에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자나 장치를 사이에 두고 연결되어 있는 경우를 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 '포함'한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the following description, when a part is referred to as being 'connected' to another part, it includes not only a direct connection but also a case where another part or device is connected in between. In addition, when a part is referred to as including an element, it is to be understood that the element may include other elements, not the exclusion of any other element, unless specifically stated otherwise.

본 발명은 기본적으로, 엑스선 빔의 경로에 대하여 틸팅 가능한 타겟을 구비하는 엑스선관을 제공한다. The present invention basically provides an x-ray tube having a tiltable target with respect to the path of the x-ray beam.

본 발명의 설명에서 음극부와 양극부로 이어지는 전자빔의 개략적인 방향을 길이방향으로 정의하여 사용하도록 한다. 또한, 엑스선의 투과창 및 튜브의 구조에 대하여서는 공지의 다양한 구성들이 채택될 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다. In the description of the present invention, the approximate direction of the electron beam leading to the cathode portion and the anode portion is defined in the longitudinal direction. Various known configurations may be adopted for the transmission window of the X-ray tube and the structure of the tube, so a detailed description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명에 따른 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관의 개념도이다. 2 is a conceptual diagram of an X-ray tube capable of selecting a line beam and a point beam according to the present invention.

본 발명에 따른 엑스선관은 엑스선 발생장치의 엑스선 발생원으로 사용되는 것으로, 음극부(100)와 양극부(300)을 구비한다.The x-ray tube according to the present invention is used as a x-ray source of the x-ray generator, and includes a cathode part 100 and an anode part 300.

음극부(100)의 전자발생부는 필라멘트(110) 및 상기 필라멘트(110)에 전압을 인가하는 도선으로 이루어진다.The electron generating part of the cathode part 100 comprises a filament 110 and a lead wire for applying a voltage to the filament 110.

보다 구체적으로 살펴보면, 상기 필라멘트(110)는 캐소드(Cathode)로서, 다공질의 텅스텐 등의 금속에 바륨옥사이드(BaO)를 도포하여 형성할 수 있다.More specifically, the filament 110 may be formed by applying barium oxide (BaO) to a metal such as porous tungsten as a cathode.

예를 들어, 상기 필라멘트(110)의 외주측으로는 대략 원기둥 형상의 집속관이 배치될 수 있는데, 필라멘트(110)로부터 방출되는 전자선은 집속관에 의하여 일정한 경로를 따라 타겟(310)으로 이동할 수 있게 되므로, 상기 집속관은 일종의 전자선 집속 렌즈 역할을 할 수 있다. 상기 집속관은 니켈로서 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 필라멘트(110)의 일측으로는 소정 전압을 인가하기 위한 금속 라인이 연장된다. 상기 금속 라인은 하측으로 도선을 통해 더욱 연장되는데, 상기 도선은 통전을 위한 니켈로 이루어지는 것이 바람직하며, 일측의 스템과 접속한할 수 있다.For example, a substantially cylindrical focusing tube may be disposed on the outer periphery of the filament 110. The electron beam emitted from the filament 110 may be moved to the target 310 along a predetermined path by the focusing tube So that the focusing tube can function as an electron beam focusing lens. The focusing tube is preferably made of nickel. A metal line for applying a predetermined voltage is extended to one side of the filament 110. The metal line further extends downward through a wire, and the wire is preferably made of nickel for electrical connection and may be connected to a stem at one side.

한편, 양극부(300)는 상기 튜브의 내부에 결합하고 전자가 충돌하여 엑스선을 방출하도록 하측에 일측 말단에 타겟(310)을 구비할 수 있다. Meanwhile, the anode part 300 may have a target 310 at one end on the lower side so as to be coupled to the inside of the tube and to collide electrons to emit X-rays.

예를 들어, 상기 양극부(300)와 튜브의 사이에는 투과창(미도시)이 구비될 수 있으며, 상기 투과창은 타겟(310)으로부터 발생한 엑스선이 방출되는 윈도우로서 기능한다. 바람직하게는 상기 투과창은 베릴륨으로 이루어질 수 있다. For example, a transmission window (not shown) may be provided between the anode part 300 and the tube, and the transmission window functions as a window through which X-rays generated from the target 310 are emitted. Preferably, the transmissive window is made of beryllium.

상기 양극부(300)는 전자빔(e)의 경로에 대하여 소정의 경사를 가지고 배치되는 타겟(310)을 구비하게 되며, 이로부터 발생하는 엑스선빔(x)은 투과창을 지향하게 된다. 이러한 타겟(310)을 지지하기 위한 타겟베이스 및 양극의 형성을 위한 구조는 생략하도록 한다. 상기 타겟(310)의 재질은 특정 파장에 대응하는 엑스선을 방출할 수 있도록 구리, 알루미늄, 몰리브덴 및 크롬 등과 같은 다양한 재질을 선택하여 사용할 수 있다.The anode part 300 has a target 310 disposed at a predetermined inclination with respect to the path of the electron beam e and the x-ray beam x generated therefrom is directed to the transmission window. The target base for supporting the target 310 and the structure for forming the anode are omitted. The material of the target 310 may be selected from various materials such as copper, aluminum, molybdenum, and chromium so as to emit X-rays corresponding to specific wavelengths.

본 발명의 개념에 따라, 상기 타겟(310)은 전자빔(e)의 경로에 대하여 가변적인 각도를 가지며, 바람직하게는 2개의 각도에 대한 상태를 가질 수 있다.According to the concept of the present invention, the target 310 has a variable angle with respect to the path of the electron beam e, and preferably can have a state with respect to two angles.

상기의 예에서는 제1상태로서 엑스선빔(x)이 라인빔을 형성하는 상태와, 제2상태로서 엑스선빔이 포인트빔을 형성하는 상태가 정의될 수 있다. 여기서, 포인트빔이란 일반적인 폭 내지는 면적을 가지는 라인빔보다 그 폭 내지는 면적이 비약적으로 작은 형태의 엑스선빔을 의미하며 반드시 도트(Dot) 형태인 것에 한정되는 것은 아니다. 이와 관련하여 구체적인 설명은 후술하도록 한다. In the above example, a state where the x-ray beam x forms a line beam as a first state and a state where an x-ray beam forms a point beam as a second state may be defined. Here, the point beam means an X-ray beam whose width or area is significantly smaller than that of a line beam having a general width or area, and is not necessarily limited to a dot shape. A detailed description thereof will be given later.

본 발명에서는 튜브 내부에 고정된 타겟(310)이 가변적인 각도를 가지기 때문에 구동부(320)가 이러한 각도의 변경을 수행할 수 있다. 상기 구동부(320)는 모터와 같은 제어전류를 입력받는 전동수단으로 이루어지는 것이 바람직하나, 경우에 따라 수동으로 제어할 수 있는 다이얼 및 다이얼축으로 구성되는 경우도 고려될 수 있을 것이다.In the present invention, since the target 310 fixed within the tube has a variable angle, the driving unit 320 can change the angle. It is preferable that the driving unit 320 comprises a transmission means for receiving a control current such as a motor, but it may also be constituted by a dial and a dial shaft which can be manually controlled according to circumstances.

상기와 같이 2개의 각도 상태만이 정의되는 경우에는 구동부(320)가 전동수단으로 이루어져 있더라도 정밀한 제어의 필요성은 낮다. 따라서, 각도의 상하한 내지는 두 개의 상태에 대한 제한을 둘 수 있는 타겟(310)의 스토퍼가 구비될 수 있을 것이다. In the case where only two angular states are defined as described above, the need for precise control is low even if the driving unit 320 is constituted by the driving means. Thus, a stopper of the target 310, which may have a limit on the upper and lower limits of the angle or on two states, may be provided.

도 3은 본 발명의 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관에 대한 작동을 설명하기 위한 도면들이다.3 is a view for explaining the operation of the X-ray tube capable of selecting the line beam and the point beam according to the present invention.

도 3의 (a)에서는 엑스선빔(x)이 라인빔을 형성하는 제1상태를 나타내고 있으며, 전자빔(e)의 경로인 길이방향에 대하여 타겟(310)이 비교적 큰 각도(α)를 형성하는 경우이다. 이에 따라 전자빔(e)이 타겟(310)에 충돌된 이후에 소정의 폭을 가지고 확산되는 것을 확인할 수 있다. 이에 따라, 엑스선빔(x1)은 라인빔 형태로서 방출될 수 있다. 3 (a) shows a first state in which the x-ray beam x forms a line beam, and the target 310 forms a relatively large angle? With respect to the longitudinal direction of the path of the electron beam e . As a result, it can be confirmed that the electron beam e is diffused with a predetermined width after collision with the target 310. Accordingly, the x-ray beam x1 can be emitted in the form of a line beam.

도 3의 (b)에서는 엑스선빔(x)이 포인트빔을 형성하는 제2상태를 나타내고 있으며, 전자빔(e)의 경로인 길이방향에 대하여 타겟(310)이 비교적 작은 각도(β)를 형성한다. 이 경우 전자빔(e)의 폭에 비하여 엑스선빔(x2)의 폭이 비약적으로 작아져 있음을 확인할 수 있다. 이상적으로는 상기 각도(β)는 직각에 근접된 각도를 형성할 수 있을 것이다. 이에 따라 엑스선빔(x2)는 포인트빔 형태로서 방출될 수 있는 것이다.3B shows a second state in which the x-ray beam x forms a point beam, and the target 310 forms a relatively small angle? With respect to the longitudinal direction that is the path of the electron beam e . In this case, it can be confirmed that the width of the x-ray beam x2 is remarkably smaller than the width of the electron beam e. Ideally, the angle? May form an angle close to a right angle. So that the x-ray beam x2 can be emitted as a point beam.

도 2를 참고하여 살펴보면, 타겟(310)은 다양한 형태로 회동이 가능할 것이나, 소정의 회전 기준점을 마련하는 것이 좋고 투과창이 형성된 부위에서 먼 상부 말단측에서 회동 중심이 형성되는 것이 바람직할 것이다. 이에 따라 상기 타겟(310)은 일단측에서 회동중심을 구성하고 구동부(320)는 이를 중심으로 타단을 이동시킴으로써 각도를 가변할 수 있다. 이때, 회동의 상하 한계 제한을 위하여 스토퍼가 추가적으로 배치될 수 있음은 상술한 바와 같다.2, the target 310 may be rotated in various forms, but it is preferable that a predetermined rotation reference point is provided, and a turning center is formed at the upper end side far from the portion where the transmission window is formed. Accordingly, the angle of the target 310 can be changed by forming the center of rotation at one end and moving the other end about the center of the driving unit 320. At this time, a stopper may be additionally disposed for limiting the upper and lower limits of the rotation as described above.

본 발명에서는 포인트빔과 라인빔의 2개의 상태만이 정의되었으나 상기 라인빔의 경우 폭에 따라 다양한 길이로 설정될 수도 있으며, 이는 구동부(320)에 의하여 타겟(310)의 각도를 가변함으로써 획득이 가능하다. 더욱 많은 각도의 형성을 위하여 상기 각도는 연속적으로 가변될 수 있을 것이다. In the present invention, only two states, that is, a point beam and a line beam, are defined. However, the line beam may be set in various lengths depending on the width. This is achieved by varying the angle of the target 310 by the driving unit 320 It is possible. The angle may be continuously variable for the formation of more angles.

본 발명의 설명에서는 타겟(310)이 전후방으로 틸팅되는 경우를 예로 들었으나, 폭과 길이의 동시적인 가변을 위하여 상기 타겟(310)이 좌우로 회동되는 경우도 추가 또는 선택될 수 있을 것이다. In the description of the present invention, a case where the target 310 is tilted forward and backward is taken as an example, but a case where the target 310 is rotated right and left for simultaneous variable width and length may be added or selected.

또한, 경우에 따라 타겟(310)의 가변적인 각도에 따라 출사되는 위치나 각도의 변화가 발생될 수 있으므로 투과창은 이에 대응하여 위치가 가변되거나, 가변되는 엑스선빔(x)의 전체 영역을 커버할 수 있는 면적으로 형성될 수 있을 것이다. In some cases, a change in position or angle may occur due to a variable angle of the target 310, so that the transmission window may be varied in position or the entire area of the variable x- It can be formed with an area that can be used.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관은, 타겟이 전자빔의 경로에 대하여 가변적인 각도를 가지고 틸팅되기 때문에 피검사물의 특징이나 환경에 따라 적절한 특성을 가진 엑스선빔을 획득할 수 있는 이점이 있다.The X-ray tube capable of selecting the line beam and the point beam according to the present invention having the above-described structure can detect the X-ray tube having the proper characteristics according to the characteristic or the environment of the inspected object because the target is tilted at a variable angle with respect to the path of the electron beam. There is an advantage that the beam can be acquired.

이상에서, 본 발명은 실시예 및 첨부도면에 기초하여 상세히 설명되었다. 그러나, 이상의 실시예들 및 도면에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않으며, 본 발명의 범위는 후술한 특허청구범위에 기재된 내용에 의해서만 제한될 것이다.In the foregoing, the present invention has been described in detail based on the embodiments and the accompanying drawings. However, the scope of the present invention is not limited by the above embodiments and drawings, and the scope of the present invention will be limited only by the content of the following claims.

100...음극부 110...필라멘트
300...양극부 310...타겟
320...구동부100 ... cathode part 110 ... filament
300 ... anode part 310 ... target
320:

Claims (3)

전자빔을 방출하는 음극부;
상기 음극부의 전자빔이 충돌되어 전자빔과 다른 각도로 엑스선빔을 방출하는 타겟과, 상기 타겟을 전자빔의 진행방향에 대하여 전후방으로 틸팅시키는 구동부를 구비하는 양극부; 및
상기 타겟의 상하 회전을 제한하는 스토퍼;을 포함하고,
상기 구동부는, 타겟을 투과창에서 먼 단부측을 중심으로 회동시키도록 하며,
상기 타겟은, 전자빔의 경로에 대하여 가변적인 각도를 가지고 엑스선빔에 대한 전후 폭의 선택이 가능한 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관.
A cathode portion for emitting an electron beam;
A target for emitting an X-ray beam at an angle different from that of the electron beam due to the collision of the electron beam at the cathode portion; and a driving portion for tilting the target in the forward and backward directions with respect to the traveling direction of the electron beam; And
And a stopper for restricting up-and-down rotation of the target,
The driving unit causes the target to rotate about the end portion farther from the transmission window,
Wherein the target is capable of selecting a line beam and a point beam having a variable angle with respect to the path of the electron beam and capable of selecting a front-back width with respect to the x-ray beam.
제1항에 있어서,
상기 타겟은,
라인빔을 형성하는 제1상태와 상기 제1상태에 비하여 전자빔에 대한 각도가 작게 형성되어 포인트빔을 형성하는 제2상태가 선택될 수 있는 라인빔과 포인트빔의 선택이 가능한 엑스선관.
The method according to claim 1,
The target may include:
An X-ray tube capable of selecting a line beam and a point beam in which a first state for forming a line beam and an angle for an electron beam relative to the first state are formed so that a second state for forming a point beam can be selected.
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