KR101825237B1 - Vacuum pumping system - Google Patents

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데이빗 알랜 터렐
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Abstract

본 발명은 진공 챔버(12)를 배기하기 위한 진공 펌핑 시스템(10)에 관한 것으로, 이 시스템은 진공 펌프(16); 및 가스를 상기 진공 펌프로 운반하기 위한 복수의 포어라인(22, 24)을 포함하고, 제 1의 저진공 스테이지의 챔버 배기에서 제 1 포어라인 구조체(22)는 가스를 상기 진공 펌프로 운반하기 위해 연결되고, 제 2의 고진공 스테이지의 챔버 배기에서 상기 포어라인 중 하나 이상을 포함하는 제 2 포어라인 구조체(22, 24)는 가스를 상기 진공 펌프로 운반하기 위해 연결될 수 있으며, 상기 제 2 포어라인 구조체는 유체를 운반하기 위해 상기 제 1 포어라인 구조체의 전체 단면적보다 큰 전체 단면적을 갖는다.The present invention relates to a vacuum pumping system (10) for evacuating a vacuum chamber (12) comprising a vacuum pump (16); And a plurality of for lines (22, 24) for transporting gas to the vacuum pump, wherein the first pour line structure (22) in the chamber exhaust of the first low vacuum stage is adapted to deliver gas to the vacuum pump And a second pour line structure (22, 24) comprising at least one of the pour lines in a chamber exhaust of a second high vacuum stage may be connected to convey gas to the vacuum pump, The line structure has a total cross-sectional area greater than the total cross-sectional area of the first pour line structure for conveying the fluid.

Description

진공 펌핑 시스템{VACUUM PUMPING SYSTEM}[0001] Vacuum Pumping System [0002]

본 발명은 진공 챔버를 배기하기(evacuating) 위한 진공 펌핑 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pumping system for evacuating a vacuum chamber.

많은 물품(articles)의 제조는 진공 챔버의 사용을 요구한다. 예를 들어, 실리콘 웨이퍼의 처리(processing)는 높은 진공에서 실행된다. 부가적으로, 평판 디스플레이 및 태양 전지와 같은 장치는 진공 챔버 내에서 처리되기를 요구한다. 이들 후자의 예에서, 진공 챔버는 비교적 큰 물품을 처리하기 위해 비교적 큰 용적을 가질 것을 요구한다. 통상적으로, 처리 사이클의 일부로서, 진공 챔버 내의 압력은 대기압(1 bar)과 처리 압력(예를 들어, 0.01mbar) 사이에서 순환하도록 요구된다. 제조 속도와 효율을 개선하기 위하여, 가스가 진공 펌핑 시스템에 의해 진공 챔버로부터 배기될 수 있는 비율을 증가시키기는 것이 바람직하다.The manufacture of many articles requires the use of vacuum chambers. For example, the processing of silicon wafers is performed in high vacuum. Additionally, devices such as flat panel displays and solar cells require processing in a vacuum chamber. In these latter examples, the vacuum chamber requires a relatively large volume to process relatively large articles. Typically, as part of the treatment cycle, the pressure in the vacuum chamber is required to circulate between atmospheric pressure (1 bar) and processing pressure (e.g., 0.01 mbar). To improve manufacturing speed and efficiency, it is desirable to increase the rate at which gas can be evacuated from the vacuum chamber by a vacuum pumping system.

진공 펌핑 시스템은 펌프가 챔버로부터 가스를 배기할 수 있도록 진공 펌프의 입구를 진공 챔버에 연결하는 포어라인(foreline)과 진공 펌프를 포함할 수 있다. 가스가 배기될 수 있는 비율은 예를 들어 펌프의 압축과 용량 및 또한 포어라인의 컨덕턴스(conductance)에 따른다. 따라서, 진공 챔버의 배기에 비교적 적은 저항을 제공하도록 큰 컨덕턴스를 갖는 포어라인을 제공하는 것이 바람직하다. 포어라인 컨덕턴스가 작다면, 압력이 특히 저압에서 감소될 수 있는 비율은 매우 느릴 것이다. 더욱이, 고 진공 목표(taget) 압력은 컨덕턴스가 너무 느리기 때문에 도달하기 어려울 수 있다. 큰 컨덕턴스는 큰 단면과 직경을 갖는 파이프를 사용하여 제공될 수 있다. 그러나, 큰 단면은 포어라인의 내부 용적을 증가시키고, 진공 펌프가 챔버로부터 멀어지게 일정 거리 이격된다면, 예를 들어 지하(basement) 펌핑 시스템에 있다면, 포어라인의 내부 용적은 비교적 크게 될 수 있다. 챔버의 용적이 포어라인의 용적과 비교될 수 있다면, 펌프-다운 시간(pump-down time)은 진공 챔버와 포어라인의 큰 전체 용적으로 인해 불리한 영향을 받을 수 있다. 이와 관련하여, 포어라인의 용적이 진공 챔버의 배기에 부가하여 필요한 압력으로의 배기를 요구하는 것이 적합할 수 있다.The vacuum pumping system may include a foreline and a vacuum pump connecting the inlet of the vacuum pump to the vacuum chamber so that the pump can exhaust gas from the chamber. The rate at which the gas can be evacuated depends, for example, on the compression and capacity of the pump and also on the conductance of the foreline. Therefore, it is desirable to provide a foreline having a high conductance to provide relatively little resistance to the evacuation of the vacuum chamber. If the foreline conductance is small, the rate at which the pressure can be reduced, especially at low pressures, will be very slow. Moreover, high vacuum taget pressure can be difficult to reach because the conductance is too slow. Large conductance may be provided using a pipe having a large cross section and diameter. However, if the large cross section increases the internal volume of the foreline and the vacuum pump is spaced a distance away from the chamber, for example, if it is in a basement pumping system, the internal volume of the foreline can be relatively large. If the volume of the chamber can be compared to the volume of the foreline, the pump-down time can be adversely affected by the large overall volume of the vacuum chamber and the foreline. In this regard, it may be appropriate for the volume of the foreline to require evacuation to the required pressure in addition to evacuation of the vacuum chamber.

지금까지, 진공 챔버가 배기될 수 있는 비율은 진공 펌프 또는 펌프들을 커다란 펌핑 속도 또는 압축으로 제공함으로써 증가될 수 있었다. 그러나, 이러한 펌프는 일반적으로 대형이고 많은 전력을 소비한다.Until now, the rate at which the vacuum chamber can be evacuated could be increased by providing a vacuum pump or pumps with a large pumping rate or compression. However, these pumps are generally large and consume a lot of power.

본 발명의 목적은 개선된 진공 펌핑 시스템을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an improved vacuum pumping system.

본 발명은 진공 챔버(vacuum chamber)를 배기하기(evacuating) 위한 진공 펌핑 시스템을 제공하는 것으로, 이 시스템은 진공 펌프; 및 가스를 상기 진공 챔버로부터 진공 펌프로 운반하기 위한 복수의 포어라인(forelines)을 포함하고, 제 1의 저진공 스테이지의 챔버 배기에서 제 1 포어라인 구조체는 가스를 진공 펌프로 운반하기 위해 연결될 수 있고, 제 2의 고진공, 예를 들어 저압 스테이지의 챔버 배기에서 상기 포어라인 중 하나 이상을 포함하는 제 2 포어라인 구조체는 가스를 상기 진공 펌프로 운반하기 위해 연결될 수 있으며, 제 2 포어라인 구조체는 유체를 운반하기 위해 제 1 포어라인 구조체의 전체 단면적보다 큰 전체 단면적을 갖는다.The present invention provides a vacuum pumping system for evacuating a vacuum chamber comprising a vacuum pump; And a plurality of forelines for transporting gas from the vacuum chamber to the vacuum pump, wherein the first pour line structure in the chamber exhaust of the first low vacuum stage can be connected to transport the gas to a vacuum pump And a second pour line structure including at least one of the pour lines in a second high vacuum, e.g., chamber exhaust of a low pressure stage, may be connected to convey gas to the vacuum pump, and the second pour line structure Sectional area greater than the total cross-sectional area of the first foreline structure for conveying the fluid.

본 발명은 또한 진공 챔버를 배기하기 위한 방법을 제공하는 것으로, 이 방법은 유체를 진공 펌프에 운반하고 제 1의 비교적 저진공 스테이지의 챔버 배기에서 상기 진공 챔버로부터 제 1 포어라인 구조체를 통해 가스를 배기하기 위해 제 1 포어라인 구조체를 연결하는 단계; 및 가스를 진공 펌프로 운반하고 제 2의 고진공 스테이지의 챔버 배기에서 제 2 포어라인 구조체를 통해 가스를 배기하기 위해 제 2 포어라인 구조체를 연결하는 단계를 포함하고, 상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 제 1 포어라인 구조체의 전체 단면적보다 큰 전체 단면적을 갖도록 구성된다.The present invention also provides a method for evacuating a vacuum chamber, the method comprising delivering fluid to a vacuum pump and evacuating gas from the vacuum chamber through a first foreline structure in a chamber evacuation of a first relatively low vacuum stage Connecting the first foreline structure to exhaust; And connecting the second pour line structure to transport gas to a vacuum pump and exhaust gas through a second pour line structure in a chamber exhaust of a second high vacuum stage, Sectional area greater than the total cross-sectional area of the first foreline structure.

제 3 개념에서, 본 발명은 배기를 위해 진공 챔버에 진공 펌프를 연결하기 위한 복수의 포어라인 구조체를 포함하는 진공 챔버 배기 장치를 제공하는 것으로; 상기 포어라인 구조체는 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 제 1 및 제 2 포어라인 구조체를 형성하도록 형성가능한 복수의 도관 및 밸브를 포함하고; 상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 제 1 포어라인 구조체보다 더 높은 컨덕턴스이고; 상기 장치는 사용시 진공 챔버에서의 압력이 임계 압력 이하로 떨어질 때에 제 1 구성으로부터 제 2 구성까지 스위치되도록 형성된다.In a third concept, the present invention provides a vacuum chamber evacuation apparatus comprising a plurality of foreline structures for connecting a vacuum pump to a vacuum chamber for evacuation, The foreline structure including a plurality of conduits and valves formed to form first and second foreline structures between the vacuum chamber and the vacuum pump; The second pour line structure has a higher conductance than the first pour line structure; The apparatus is configured to switch from a first configuration to a second configuration when the pressure in the vacuum chamber in use drops below a threshold pressure.

본 발명을 잘 이해하기 위하여, 단지 예시로만 주어진 두 실시예는 이제 첨부 도면을 참조하여 설명될 것이다.For a better understanding of the present invention, two embodiments, given by way of example only, will now be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 제 1 진공 펌핑 시스템 및 진공 챔버의 개략도,
도 2는 네 개의 진공 펌핑 시스템을 위한 챔버 압력 대 경과 시간을 도시한 그래프,
도 3은 제 2 진공 펌핑 시스템 및 진공 챔버의 개략도.1 is a schematic view of a first vacuum pumping system and a vacuum chamber,
2 is a graph depicting the chamber pressure versus elapsed time for four vacuum pumping systems,
3 is a schematic view of a second vacuum pumping system and a vacuum chamber.

도 1을 참조하면, 진공 챔버(12)를 배기하기(evacuating) 위한 진공 펌핑 시스템(10)이 도시되어 있다. 진공 펌핑 시스템은 진공 챔버(12)를 1 mbar 내지 0.01 mbar 사이로 배기하기 위해, 루트(root), 클로(claw) 또는 스크롤(scroll) 펌프와 같은 진공 펌프(16)를 포함한다. 두 개 이상의 펌프는 직렬 또는 병렬로 설치될 수 있고, 따라서 용어 진공 펌프가 설명된다. 복수의 포어라인(forelines)(20), 또는 도관(conduits)은 챔버로부터 진공 펌프까지 유체를 운반하기 위해 진공 펌프(16)를 진공 챔버(12)에 연결한다. 제 1 포어라인 구조체(arrangement)는 하나 이상의 포어라인을 포함하고, 유체를 배기하기 위한 제 1 전체 단면적(cross-sectional area)을 갖는다. 제 1 포어라인 구조체는 저진공 스테이지의 챔버 배기(evacuation) 중에 가스를 진공 챔버로 운반하기 위해 연결될 수 있다. 제 2 포어라인 구조체는 하나 이상의 포어라인을 포함하고, 제 2 전체 단면적을 갖는다. 제 2 포어라인 구조체는 더 높은 진공 스테이지의 챔버 배기 중에 가스를 진공 챔버로 운반하기 위해 연결될 수 있다.Referring to Figure 1, a vacuum pumping system 10 for evacuating a vacuum chamber 12 is shown. The vacuum pumping system includes a vacuum pump 16, such as a root, claw or scroll pump, for evacuating the vacuum chamber 12 to between 1 mbar and 0.01 mbar. Two or more pumps may be installed in series or in parallel, so the term vacuum pump is described. A plurality of forelines 20, or conduits, connect the vacuum pump 16 to the vacuum chamber 12 to transport fluid from the chamber to the vacuum pump. The first foreline arrangement comprises at least one foreline and has a first cross-sectional area for exhausting the fluid. The first foreline structure may be connected to transport gas to the vacuum chamber during chamber evacuation of the low vacuum stage. The second foreline structure includes at least one foreline and has a second overall cross-sectional area. The second foreline structure can be connected to transport gas to the vacuum chamber during chamber evacuation of the higher vacuum stage.

제 1 포어라인 구조체의 전체 단면적은 저진공에서 유체를 운반하기 위해 적합한 크기이다. 통상적으로, 저진공에서, 포어라인 컨덕턴스(conductance)는 높고, 따라서 보다 작은 단면적은 펌핑 속도의 제한을 방지하기에 적합하다. 더욱이, 제 1 포어라인 구조체의 비교적 적은 단면적은 진공 챔버와 포어라인 구조체의 전체 용적(volume)을 감소시킨다. 제 2 포어라인 구조체의 전체 단면적은 더 높은 진공에서 유체를 운반하기 위해 적합한 크기이다. 제 2 포어라인 구조체의 전체 단면적은 진공 챔버로부터 배기의 속도가 진공 챔버의 펌핑 속도에 의해서 제한되나 제 2 포어라인 구조체의 컨덕턴스에 의해서 제한되지 않는 크기이다. 따라서, 챔버 배기의 비율(rate)은 증가될 수 있고 더 높은 진공 압력이 얻어질 수 있다.The overall cross-sectional area of the first foreline structure is of a size suitable for transporting fluids at low vacuum. Typically, at low vacuum, the foreline conductance is high, and thus the smaller cross-sectional area is suitable to prevent the restriction of the pumping speed. Moreover, the relatively small cross-sectional area of the first foreline structure reduces the overall volume of the vacuum chamber and foreline structure. The total cross-sectional area of the second foreline structure is of a size suitable for conveying the fluid at a higher vacuum. The overall cross-sectional area of the second foreline structure is such that the rate of exhaust from the vacuum chamber is limited by the pumping speed of the vacuum chamber, but not by the conductance of the second foreline structure. Thus, the rate of chamber evacuation can be increased and a higher vacuum pressure can be obtained.

도 1에 도시된 실시예에는 두 개의 포어라인(22, 24)이 도시되어 있다. 진공 펌핑 시스템은 밸브(26, 28, 30)을 포함한다. 메인 밸브(26)는 진공 챔버(12)를 제 1 포어라인(22) 또는 제 2 포어라인(24)을 따라 진공 펌핑 시스템(10)에 연결하기 위해 작동가능하다. 밸브(28, 30)는 제 2 포어라인(24)의 상류와 하류 각각에 있다. 제 1 포어라인 구조체에서, 밸브(28, 30)는 제 2 포어라인(24)을 제 1 포어라인 밸브(22)로부터 분리하기 위해 폐쇄되고, 따라서 메인 밸브(26)가 개방될 때 유체는 포어라인(22) 만을 따라 펌프로 운반된다. 제 2 포어라인 구조체에서, 밸브(28, 30)는 유체가 제 1 포어라인(22)과 제 2 포어라인(24) 양자를 따라 진공 펌프로 운반되도록 개방된다.Two foreline lines 22 and 24 are shown in the embodiment shown in FIG. The vacuum pumping system includes valves (26, 28, 30). The main valve 26 is operable to connect the vacuum chamber 12 to the vacuum pumping system 10 along the first foreline 22 or the second foreline 24. The valves 28, 30 are located upstream and downstream of the second pour line 24, respectively. In the first pour line structure the valves 28 and 30 are closed to separate the second foreline 24 from the first foreline valve 22 so that when the main valve 26 is opened, Lt; RTI ID = 0.0 > 22 < / RTI > In the second foreline structure, the valves 28, 30 are opened to allow fluid to be delivered to the vacuum pump along both the first foreline 22 and the second foreline 24.

도시된 바와 같이, 제 1 포어라인(22)은 제 2 포어라인(24)의 단면적보다 적은 단면적을 갖는다. 제 1 포어라인은 104 내지 105 ㎟ 범위의 단면적을 가질 수 있고, 제 2 포어라인은 105 내지 106 ㎟ 범위의 단면적을 가질 수 있다. 예를 들면, 포어라인은 단면이 원형일 수 있고, 제 1 포어라인은 100㎜의 직경과 약 8,000 ㎟의 단면적을 가질 수 있으며, 제 2 포어라인은 320㎜의 직경과 약 80,000 ㎟의 단면적을 가질 수 있다. 포어라인(22, 24)의 길이는 대략 동일하고, 따라서 제 1 포어라인은 제 2 포어라인의 컨덕턴스 및 용적보다 작은 컨덕턴스 및 용적을 갖는다. 따라서, 제 2 포어라인 구조체에서, 제 2 포어라인만이 가스를 진공 챔버로 운반하기 위해 연결될 수 있다. 그러나, 포어라인(22)은 가스가 제 2 포어라인 구조체의 컨덕턴스와 단면적을 증가시키기 위해 양 포어라인을 통해 운반되도록 포어라인(24)에 추가로 사용된다. 일 실시예에서, 제 1 포어라인은 진공 챔버의 용적보다 적어도 한자릿수 더 작은 용적을 갖고, 제 2 포어라인은 진공 챔버의 용적과 동일한 자릿수의 용적 또는 그보다 더 큰 용적을 갖는다.As shown, the first pour line 22 has a cross-sectional area less than the cross-sectional area of the second pour line 24. The first pour line may have a cross-sectional area in the range of 10 4 to 10 5 mm 2 and the second pour line may have a cross-sectional area in the range of 10 5 to 10 6 mm 2. For example, the foreline may be circular in cross section, the first foreline may have a diameter of 100 mm and a cross-sectional area of about 8,000 mm 2, the second foreline may have a diameter of 320 mm and a cross- Lt; / RTI > The lengths of the forelines 22 and 24 are approximately the same so that the first foreline has a conductance and volume less than the conductance and volume of the second foreline. Thus, in the second pour line structure, only the second pour line can be connected to convey gas to the vacuum chamber. However, the foreline 22 is additionally used in the foreline 24 so that gas is carried through both foreline lines to increase the conductance and cross-sectional area of the second foreline structure. In one embodiment, the first pour line has a volume that is at least one order of magnitude lower than the volume of the vacuum chamber, and the second pour line has a volume of the same number of digits as the volume of the vacuum chamber or greater.

대안적으로, 비교가능한 크기의 두 개의 포어라인은 제 1 포어라인 구조체에서 단일 포어라인이 가스를 진공 펌프로 운반하고, 제 2 포어라인 구조체에서 양 포어라인이 가스를 진공 펌프로 운반하도록 채용될 수 있다.Alternatively, two forelines of comparable size may be employed such that a single foreline in a first foreline structure carries the gas to a vacuum pump and a foreline in the second foreline structure carries the gas to a vacuum pump .

더욱이, 많은 포어라인이 설치될 수 있고, 복수의 제 1 포어라인은 제 1 포어라인 구조체에서 가스를 진공 펌프로 운반하기 위해 선택될 수 있으며, 복수의 제 2 포어라인은 제 2 포어라인 구조체에서 가스를 진공 펌프로 운반하기 위해 선택될 수 있다. 제 2 포어라인 구조체는 제 1 포어라인 구조체의 포어라인 중 하나 이상을 포함한다.Moreover, a plurality of foreline can be installed, and a plurality of first foreline can be selected for conveying gas to the vacuum pump in the first foreline structure, and a plurality of second foreline It can be selected to carry gas to a vacuum pump. The second foreline structure includes at least one of the foreline of the first foreline structure.

많은 진공 펌핑 시스템에서, 진공 펌프는 진공 챔버로부터 멀어지는 약간의 거리로 이격될 수 있고, 예를 들어 반도체 제조 공장에서 진공 펌프가 지하실(basement)에 배치될 수 있으며 플로어 위의 클린 룸(clean room)에 배치되는 진공 챔버에 연결될 수 있다. 이는 포어라인의 경로가 펌프를 챔버에 연결하기 위하여 다수 회 회전할 필요가 있다. 각 회전과, 이를 통해 포어라인이 회전하는 각도는 많은 수의 회전이 컨덕턴스를 감소시키기 때문에 컨덕턴스에 영향을 미친다. 따라서, 이 거리와 복수의 회전은 제 1 및 제 2 포어라인 구조체의 컨덕턴스를 결정할 때에 취해질 수 있다.In many vacuum pumping systems, the vacuum pump can be spaced a small distance away from the vacuum chamber, for example, in a semiconductor manufacturing plant, a vacuum pump can be placed in the basement and a clean room on the floor, To the vacuum chamber. This requires the foreline path to rotate several times in order to connect the pump to the chamber. Each rotation and the angle through which the foreline rotates affects the conductance because a large number of turns reduce the conductance. Thus, this distance and a plurality of turns can be taken in determining the conductance of the first and second foreline structures.

이제 도 2에 도시된 그래프가 참조될 것이다. 그래프는 x-축상에 초(second) 단위로 챔버 배기의 개시(commencement)로부터의 경과 시간 대 y-축 상에 mbar 단위의 챔버 압력을 도시한다.Reference will now be made to the graph shown in FIG. The graph shows the chamber pressure in mbar on the y-axis versus the elapsed time from the commencement of chamber evacuation in seconds on the x-axis.

그래프는 160㎜, 250㎜, 320㎜, 및 320/100㎜ 포어라인을 위한 곡선을 도시하고, 그 마지막이 도 1에 도시된 시스템의 예이다. 테스트된 진공 챔버는 1㎥이고, 포어라인 각각은 진공 챔버와 펌프 사이에서 5 개의 굽힘을 갖는 길이가 15m이다.The graphs show curves for 160 mm, 250 mm, 320 mm, and 320/100 mm foreline, the last of which is an example of the system shown in FIG. The vacuum chamber tested is 1 m 3 and each of the foreline is 15 m long with five bends between the vacuum chamber and the pump.

단일 160㎜ 직경 포어라인에 관해, 플롯(plot)은 초기에는 비교적 가파르고, 비교적 저 컨덕턴스와 저 용적 포어라인이 저진공 스테이지 중에 챔버 배기의 증가된 비율을 허용하는 것을 도시한다. 이와 관련하여, 160㎜ 포어라인에서는 진공이 적고, 따라서 배기될 것을 요구하는 포어라인과 챔버의 전체 용적은 감소된다. 그러나, 고진공 스테이지 중에, 160㎜ 포어라인의 비교적 저 컨덕턴스가 챔버로부터 배기될 수 있는 가스의 양을 제한하는 경우에 플롯(plot)은 얕다. 이 예에서, 제한된 컨덕턴스는 진공 펌핑 시스템이 챔버를 0.01 mbar의 목표 압력으로 배기하는 것을 방지한다. 대신에, 플롯은 0.03 mbar 주위로 유지한다.For a single 160 mm diameter foreline, the plot is initially relatively steep, showing that a relatively low conductance and low volume foreline allows an increased proportion of chamber exhaust during the low vacuum stage. In this regard, in the 160 mm foreline, the vacuum is low and thus the total volume of the foreline and the chamber, which requires to be evacuated, is reduced. However, during high vacuum stages, the plot is shallow when the relatively low conductance of the 160 mm foreline limits the amount of gas that can be evacuated from the chamber. In this example, the limited conductance prevents the vacuum pumping system from venting the chamber to a target pressure of 0.01 mbar. Instead, the plot is kept around 0.03 mbar.

단일 250㎜ 직경 포어라인에 관해, 플롯은 250㎜ 포어라인이 배기를 위해 더 큰 용적을 갖기 때문에 160㎜ 포어라인과 비교하여 초기에 더 얕게 된다. 그러나, 250㎜의 컨덕턴스가 160㎜ 포어라인의 컨덕턴스 보다 더 크기 때문에, 250㎜를 포함하는 진공 펌핑 시스템은 60초 후에 0.01 mbar의 목표 압력을 얻을 수 있다.For a single 250 mm diameter foreline, the plot initially becomes shallower as compared to the 160 mm foreline since the 250 mm foreline has a larger volume for venting. However, since the conductance of 250 mm is greater than the conductance of the 160 mm foreline, a vacuum pumping system comprising 250 mm can achieve a target pressure of 0.01 mbar after 60 seconds.

단일 320㎜ 직경 포어라인에 관해, 플롯은 320㎜ 포어라인이 배기를 위해 더 큰 용적을 갖기 때문에 250㎜ 포어라인과 비교하여 다시 더 얕게 된다. 그러나, 320㎜ 포어라인의 컨덕턴스가 250㎜ 포어라인의 컨덕턴스보다 더 크므로, 320㎜ 포어라인을 포함하는 진공 펌핑 시스템은 단지 48초 후에 0.01 mbar의 목표 압력을 얻을 수 있다.For a single 320 mm diameter foreline, the plot becomes shallower again compared to the 250 mm foreline since the 320 mm foreline has a larger volume for venting. However, since the conductance of a 320 mm foreline is greater than the conductance of a 250 mm foreline, a vacuum pumping system including a 320 mm foreline can achieve a target pressure of 0.01 mbar after only 48 seconds.

도 1에 따른 두 스테이지 320/100㎜ 직경 포어라인에 관해, 시간 0에서 펌프 다운(pump down)의 개시(commencement) 시에, 밸브(26)는 100㎜ 포어라인(22)만을 따라 가스를 진공 펌프로 운반하기 위해 작동한다. 밸브(28, 30)는 320㎜ 포어라인(24)을 분리하기 위해 폐쇄된다. 따라서, 저진공 스테이지의 챔버 배기 중에 제 1 포어라인 구조체에서, 가스는 챔버로부터 비교적 작은 단면적 100㎜ 포어라인(22)을 통해 비교적 빨리 배기된다. 챔버가 이 예에서 1 mbar인 사전 결정된 압력에 도달할 때, 또는 이 예에서 24초인 사전 결정된 경과 시간 후에, 시스템은 제 1 포어라인 구조체로부터 제 2 포어라인 구조체까지 스위치된다. 더 상세하게는, 밸브(28, 30)는 가스가 포어라인(24)을 따르도록 개방되고, 따라서 가스는 100㎜ 포어라인(22)과 320㎜ 포어라인(24) 양자를 따라 챔버(12)로부터 펌프(10)로 운반된다. 따라서, 더 높은 진공, 즉 저압 스테이지의 챔버 배기 중에 제 2 포어라인 구조체에서, 가스는 챔버로부터 높은 전체 컨덕턴스 포어라인(22, 24)을 통해 비교적 빠르게 배기된다. 따라서, 0.01 mbar의 목표 압력은 단지 42초 후에 도달된다. 몇몇 상황에서 진공 챔버에서의 처리가 24 시간의 주기가 아니더라도 훨씬 더 많은 사이클에 걸쳐 발생하면, 진공 펌핑 시스템(10)은 실질적으로 전체 시간을 절약할 수 있다.With respect to the two stage 320/100 mm diameter foreline according to FIG. 1, at the time of pump down commencement at time 0, the valve 26 moves the gas only through the 100 mm foreline 22, Operate to pump. Valves 28, 30 are closed to separate the 320 mm foreline 24. Thus, in the first foreline structure during chamber evacuation of the low vacuum stage, the gas is relatively quickly evacuated from the chamber through the relatively small cross-section 100 mm foreline 22. When the chamber reaches a predetermined pressure of 1 mbar in this example, or after a predetermined elapsed time of 24 seconds in this example, the system is switched from the first foreline structure to the second foreline structure. More specifically, the valves 28 and 30 are opened so that the gas follows the foreline 24 so that the gas is directed to the chamber 12 along both the 100 mm foreline 22 and the forty- To the pump (10). Thus, in a higher vacuum, i.e. chamber evacuation of the low pressure stage, in the second foreline structure, the gas is relatively quickly evacuated from the chamber through the entire high conductance foreline 22, 24. Thus, a target pressure of 0.01 mbar is reached only 42 seconds later. If, in some circumstances, the treatment in the vacuum chamber occurs over many more cycles, but not in a 24 hour period, the vacuum pumping system 10 can substantially save the entire time.

펌프 배기가 완료된 후, 그리고 처리가 발생된 후, 진공 챔버는 처리된 물품이 제거될 수 있도록 대기로 복귀되게 허용한다. 진공 챔버를 대기로 복귀시키기 전에, 밸브(28, 30)는 포어라인(24)을 시스템의 나머지로부터 분리하기 위해 폐쇄된다. 따라서, 포어라인(24)은 더 높은 진공으로 잔류한다. 320㎜ 포어라인(24)은 챔버 펌프 다운(pumpdown)의 시작시 바람직한 저압으로 이미 배기되는 것이 적합하다. 320㎜ 포어라인이 이미 배기되지 않는다면, 초기 펌프 다운은 표준 펌프 다운보다 약간 더 느릴 수 있으나, 후속 펌프 다운은 더 빠를 수 있다. 진공 챔버의 후속 펌프 다운 중에, 시스템이 제 1 포어라인 구조체로부터 제 2 포어라인 구조체으로 스위치될 때, 압력 구배는 1 mbar 영역에서의 압력의 진공 챔버와 0.01 mbar 영역에서의 압력의 예 배기된(pre evacuated) 포어라인(24) 사이에서 발생된다. 압력의 동등은 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이 압력 챔버에서 빠른 감소를 일으키고, 도 2의 그래프에서 플롯은 24초의 경과 시간 후에 1 mbar 압력과 0.35 mbar 압력 사이에서 거의 수직이다.After the pump evacuation is complete and after the treatment has occurred, the vacuum chamber allows the treated article to be returned to the atmosphere so that the treated article can be removed. Before returning the vacuum chamber to the atmosphere, the valves 28, 30 are closed to separate the foreline 24 from the rest of the system. Thus, the foreline 24 remains at a higher vacuum. The 320 mm foreline 24 is preferably evacuated to the desired low pressure at the beginning of the chamber pump down. If the 320 mm foreline is not already evacuated, the initial pump-down may be slightly slower than the standard pump-down, but the subsequent pump-down may be faster. During subsequent pump down of the vacuum chamber, when the system is switched from the first foreline structure to the second foreline structure, the pressure gradient is the pressure in the vacuum chamber of the pressure in the 1 mbar region and the pressure in the 0.01 mbar region, pre-evacuated foreline 24. The equality of the pressures results in a rapid decrease in the pressure chamber, as can be seen from FIG. 2, and in the graph of FIG. 2 the plots are nearly vertical between 1 mbar pressure and 0.35 mbar pressure after 24 seconds elapsed time.

도 1을 다시 참조하면, 제어 유닛(32)은 제어 라인(파선으로 도시)에 의해 주 분리(main isolation) 밸브(26), 상류 이차 밸브(28) 및 하류 이차 밸브(30)에 연결된다. 제어 유닛(32)은 적합하게 프로그램된 컴퓨터 또는 주문형(bespoke) 처리 유닛일 수 있다. 제어 유닛은 진공 챔버에서의 압력 또는 경과 시간에 따라 제 1 포어라인 구조체 또는 제 2 포어라인 구조체를 선택하기 위하여 밸브를 제어하도록 구성된다. 챔버 압력이 압력 신호를 제어 유닛으로 출력할 수 있는 압력 게이지를 갖는다면, 이러한 압력 게이지는 사용될 수 있고 진공 펌핑 시스템(10)의 일부를 형성하지 않는다. 대안적으로, 진공 펌핑 시스템(10)은 압력을 감지하여 압력 신호를 제어 유닛(32)으로 출력하기 위한 압력 게이지 또는 센서를 포함할 수 있다. 압력은 예를 들어 포어라인(22)에서 측정될 수 있다. 압력 센서가 없는 경우, 클록 회로는 처리 유닛이 제 1 포어라인 구조체과 제 2 포어라인 구조체 사이에서 스위치될 수 있도록 사전 결정된 경과 시간 후에 신호를 처리 유닛으로 출력하기 위해 제공될 수 있다. 예를 들어, 경과 시간은 도 2에 도시된 바와 같이 20초와 30초 사이 또는 24초일 수 있다.1, the control unit 32 is connected to a main isolation valve 26, an upstream secondary valve 28 and a downstream secondary valve 30 by a control line (shown by a broken line). The control unit 32 may be a suitably programmed computer or a bespoke processing unit. The control unit is configured to control the valve to select the first foreline structure or the second foreline structure according to the pressure or elapsed time in the vacuum chamber. This pressure gauge can be used and does not form part of the vacuum pumping system 10 if the chamber pressure has a pressure gauge capable of outputting the pressure signal to the control unit. Alternatively, the vacuum pumping system 10 may include a pressure gauge or sensor for sensing the pressure and outputting the pressure signal to the control unit 32. The pressure can be measured, for example, in the foreline 22. In the absence of a pressure sensor, the clock circuit may be provided to output a signal to the processing unit after a predetermined elapsed time such that the processing unit can be switched between the first foreline structure and the second foreline structure. For example, the elapsed time may be between 20 seconds and 30 seconds or 24 seconds, as shown in FIG.

그래프에 도시된 예에서, 시스템이 제 1 포어라인 구조체로부터 제 2 포어라인 구조체으로 변경되는 사전 결정된 압력은 0.1 mbar 내지 10 mbar 범위일지라도 1 mbar이다. 적합하게는, 시스템은 제 1 의 저 컨덕턴스 포어라인 구조체의 구배(gradient)가 얕게 되고 챔버 배기가 느리게 되는 지점에서 스위치된다.In the example shown in the graph, the predetermined pressure at which the system changes from the first foreline structure to the second foreline structure is 1 mbar, even though it is in the range of 0.1 mbar to 10 mbar. Suitably, the system is switched at a point where the gradient of the first low-conductance foreline structure is shallow and the chamber exhaust is slow.

제 2 진공 펌핑 시스템(40)이 도 3에 도시되어 있고 10-3 내지 10-7 mbar 범위의 압력으로 진공 챔버를 배기하기에 적합하다. 제 2 진공 시스템은 도 1을 참조하여 상술한 바와 같은 진공 챔버로부터 포어라인 구조체 중 적어도 하나를 통해 진공 펌프(16)로 유체를 운반하기 위해 연결된 터보분자 펌프(turbomolecular pump)와 같은 진공 펌프(14)를 포함한다. 본 예에서, 진공 펌프(16)는 터보분자 펌프(14)를 위한 보조 펌프(backing pump)로서 작용한다. 터보분자 펌프가 펌프에 대한 손상을 일으킴 없이 또는 펌프를 멈추게 함 없이 저진공에서 작동하지 않을 때, 진공 챔버(16)는 초기에 챔버와 터보분자 펌프 내에서의 압력을 터보분자 펌프가 안전하게 작동할 수 있는 압력으로 낮추기 위해 작동할 수 있다. 적합한 안전 압력은 1 mbar 내지 10-3 mbar의 영역일 수 있다. 적합한 안전 압력으로 압력의 감소를 달성하기 위하여, 진공 펌프(16)는 도 1을 참조하여 상술한 포어라인과 유사한 포어라인을 갖는 진공 펌프(14)에 연결되고, 간결함을 위해 포어라인에 대해 도 1 및 도 2 구성의 상세한 설명은 반복하지 않는다. 도 3에서의 간략화를 위해, 진공 펌프(14)는 진공 펌프(14)를 챔버로부터 분리하기 위해 폐쇄될 수 있고 가스를 진공 펌프(14)로 유동시키기 위해 개방될 수 있는 메인 밸브(18)를 통해 진공 챔버에 연결된다. 라인(42)은 진공 펌프(14)의 배출을 포어라인(24)에 연결한다.A second vacuum pumping system 40 is shown in FIG. 3 and is suitable for evacuating the vacuum chamber to a pressure in the range of 10 -3 to 10 -7 mbar. The second vacuum system includes a vacuum pump 14 such as a turbomolecular pump connected to convey fluid from a vacuum chamber as described above with reference to Figure 1 through at least one of the pour line structures to a vacuum pump 16 ). In this example, the vacuum pump 16 acts as a backing pump for the turbo-molecular pump 14. When the turbo-molecular pump does not operate at a low vacuum without causing damage to the pump or stopping the pump, the vacuum chamber 16 initially provides pressure within the chamber and turbo-molecular pump to ensure that the turbo- It can be operated to lower pressure. Suitable safety pressures may range from 1 mbar to 10 -3 mbar. In order to achieve a reduction in pressure with a suitable safety pressure, the vacuum pump 16 is connected to a vacuum pump 14 having a foreline similar to the foreline described above with reference to Figure 1, 1 and 2 will not be repeated. 3, the vacuum pump 14 may include a main valve 18 which may be closed to separate the vacuum pump 14 from the chamber and which may be opened to flow gas to the vacuum pump 14 To the vacuum chamber. Line 42 connects the discharge of vacuum pump 14 to foreline 24.

복수의 포어라인(20)은 챔버(12)로부터 진공 펌프(16)까지 배기된 가스를 운반하기 위해 진공 펌프(16)를 챔버(12)에 연결한다. 제 1 포어라인 구조체는 포어라인 중 하나 이상을 포함하고, 제 1 전체 단면적을 갖는다. 제 1 포어라인 구조체는 저진공 스테이지의 챔버 배기(예를 들어, 1 mbar의 압력까지) 중에 가스를 진공 펌프(16)로 운반하기 위해 연결될 수 있다. 즉, 챔버(12)는 초기에 포어라인(22)을 통해 배기된다. 제 2 포어라인 구조체는 하나 이상의 포어라인을 포함하고, 제 1 단면적보다 큰 제 2 전체 단면적을 갖는다. 제 2 포어라인 구조체는 더 높은 진공 스테이지의 챔버 배기(예를 들어, 1 mbar의 압력 이하) 중에 가스를 운반하기 위해 진공 펌프(16)에 연결될 수 있다. 즉, 챔버(12)는 제 2 스테이지의 배기 중에 양 포어라인(22, 24)을 통해 배기된다. 이 예에서, 진공 펌프(14)를 1 mbar 이상으로 작동시키기 위해선 안전하지 않고, 따라서 진공 펌핑 시스템이 펌프(14)의 안전한 작동 압력 이상의 압력에서 제 2 포어라인 구조체으로 스위치되므로 진공 라인(42)은 포어라인(24)에만 연결될 필요가 있다. 진공 펌프(14)의 안전한 작동 압력이 스위치 압력 이상(예를 들어, 1 mbar 이상)이면, 진공 라인은 양 포어라인(22, 24)에 연결될 수 있다.A plurality of foreline lines 20 connect the vacuum pump 16 to the chamber 12 to carry the exhaust gas from the chamber 12 to the vacuum pump 16. The first foreline structure includes at least one of the foreline, and has a first overall cross-sectional area. The first foreline structure may be connected to deliver gas to the vacuum pump 16 in a chamber exhaust (e.g., up to a pressure of 1 mbar) of the low vacuum stage. That is, the chamber 12 is initially vented through the foreline 22. The second foreline structure includes at least one foreline and has a second overall cross-sectional area greater than the first cross-sectional area. The second foreline structure may be connected to the vacuum pump 16 to transport the gas in a chamber exhaust of a higher vacuum stage (e.g., below a pressure of 1 mbar). That is, the chamber 12 is exhausted through the fork lines 22 and 24 during the exhaust of the second stage. In this example, it is not safe for the vacuum pump 14 to operate above 1 mbar and therefore the vacuum line 42 is switched to the second pour line structure at a pressure above the safe operating pressure of the pump 14, Need only be connected to the foreline 24. If the safe operating pressure of the vacuum pump 14 is above the switch pressure (for example, above 1 mbar), the vacuum line may be connected to the two pour lines 22, 24.

도 3의 구성은 변경될 수 있고, 도 1 및 도 2를 참조하여 상술한 바와 같이 채용될 수 있다. 일 실시예에서, 적어도 하나의 진공 펌프에서 한 개의 진공 펌프는 한쪽 또는 양쪽 포어라인 구조체에 의해 진공 챔버에 연결된 제 2 진공 펌프에 연결된다.The configuration of FIG. 3 may be changed and employed as described above with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. In one embodiment, in at least one vacuum pump, one vacuum pump is connected to a second vacuum pump connected to the vacuum chamber by one or both foreline structures.

10, 40 : 진공 펌핑 시스템 12 : 진공 챔버
14 : 진공 펌프 16 : 진공 펌프
20, 22, 24 : 포어라인 26, 28, 30 : 밸브
32 : 제어 유닛 42 : 진공 라인10, 40: Vacuum pumping system 12: Vacuum chamber
14: Vacuum pump 16: Vacuum pump
20, 22, 24: foreline 26, 28, 30: valve
32: control unit 42: vacuum line

Claims (16)

진공 챔버를 배기하기 위한 진공 펌핑 시스템에 있어서,
적어도 하나의 진공 펌프와,
가스를 상기 적어도 하나의 진공 펌프 중 한 개의 진공 펌프로 운반하기 위한 복수의 포어라인(forelines)을 포함하고,
제 1의 저진공 스테이지의 챔버 배기에서 제 1 포어라인 구조체는 가스를 상기 한 개의 진공 펌프로 운반하도록 연결될 수 있고, 제 2의 고진공 스테이지의 챔버 배기에서 상기 포어라인 중 하나 이상을 포함하는 제 2 포어라인 구조체는 가스를 상기 한 개의 진공 펌프로 운반하도록 연결될 수 있으며,
상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 제 1 포어라인 구조체의 전체 단면적보다 큰, 유체를 운반하기 위한 전체 단면적을 갖는
진공 펌핑 시스템.A vacuum pumping system for evacuating a vacuum chamber,
At least one vacuum pump,
And a plurality of forelines for conveying gas to one of the at least one vacuum pump,
The first pour line structure in the chamber exhaust of the first low vacuum stage may be connected to carry gas to the one vacuum pump and the second pour line structure may be connected to the second vacuum stage pump, The foreline structure may be connected to carry gas to the one vacuum pump,
The second pour line structure having a total cross-sectional area for carrying fluid greater than the entire cross-sectional area of the first pour line structure
Vacuum pumping system. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 포어라인 구조체에서의 상기 포어라인 중 적어도 하나는 비교적 저진공 스테이지의 챔버 배기 중에 상기 제 1 포어라인 구조체로부터 분리되는
진공 펌핑 시스템.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the foreline in the second foreline structure is separated from the first foreline structure during chamber evacuation of a relatively low vacuum stage
Vacuum pumping system. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 제 1 포어라인 구조체의 상기 포어라인 중 하나 이상을 포함하는
진공 펌핑 시스템.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the second foreline structure comprises at least one of the foreline lines of the first foreline structure
Vacuum pumping system. 제 3 항에 있어서,
상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 복수의 포어라인을 포함하는
진공 펌핑 시스템.The method of claim 3,
Wherein the second foreline structure comprises the plurality of foreline
Vacuum pumping system. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 포어라인 구조체는 제 1 포어라인을 포함하고, 상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 제 1 포어라인 및 제 2 포어라인을 포함하는
진공 펌핑 시스템.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first foreline structure comprises a first foreline and the second foreline structure comprises the first foreline and the second foreline
Vacuum pumping system. 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 포어라인은 상기 제 2 포어라인의 단면적보다 작은 제 1 단면적을 갖는
진공 펌핑 시스템.6. The method of claim 5,
Wherein the first foreline has a first cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the second foreline
Vacuum pumping system. 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 포어라인은 104 내지 105 ㎟ 범위의 단면적을 갖고, 상기 제 2 포어라인은 105 내지 106 ㎟ 범위의 단면적을 갖는
진공 펌핑 시스템.The method according to claim 6,
The first pour line has a cross-sectional area in the range of 10 4 to 10 5 mm 2 and the second pour line has a cross-sectional area in the range of 10 5 to 10 6 mm 2
Vacuum pumping system. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
제 1의 비교적 저진공 스테이지의 챔버 배기 중에 가스를 상기 한 개의 진공 펌프로 운반하기 위해 상기 제 1 포어라인 구조체를 선택하고, 상기 진공 펌핑 시스템 내의 압력이 사전 결정된 압력 이하로 감소될 때 또는 챔버 배기의 개시로부터의 사전 결정된 시간에 가스를 상기 한 개의 진공 펌프로 운반하기 위해 상기 제 2 포어라인 구조체를 선택하도록 구성된 제어 유닛을 포함하는
진공 펌핑 시스템.3. The method according to claim 1 or 2,
Selecting the first pour line structure to transport gas to the one vacuum pump during chamber evacuation of a first relatively low vacuum stage, and when the pressure in the vacuum pumping system is reduced below a predetermined pressure, And a control unit configured to select the second pour line structure to deliver the gas to the one vacuum pump at a predetermined time from the start of the first pour line
Vacuum pumping system. 제 8 항에 있어서,
상기 사전 결정된 압력은 0.1 mbar 내지 10 mbar의 범위 내에 있는
진공 펌핑 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the predetermined pressure is in the range of 0.1 mbar to 10 mbar
Vacuum pumping system. 제 8 항에 있어서,
상기 제어 유닛은 상기 제어 유닛으로부터 수신된 제어 신호에 따라 상기 제 1 포어라인 구조체 또는 상기 제 2 포어라인 구조체를 통한 가스의 흐름을 제어하기 위해 적어도 하나의 밸브에 작동가능하게 연결되는
진공 펌핑 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the control unit is operatively connected to the at least one valve to control the flow of gas through the first foreline structure or the second foreline structure in accordance with a control signal received from the control unit
Vacuum pumping system. 제 10 항에 있어서,
상기 제 2 포어라인을 상기 진공 펌핑 시스템으로부터 분리하기 위해 상기 제 2 포어라인 상류측의 제 1 밸브와 상기 제 2 포어라인 하류측의 제 2 밸브를 포함하는
진공 펌핑 시스템.11. The method of claim 10,
A first valve on the upstream side of the second foreline and a second valve on the downstream side of the second foreline to separate the second foreline from the vacuum pumping system
Vacuum pumping system. 제 8 항에 있어서,
상기 제어 유닛은 상기 진공 펌핑 시스템 내의 압력을 감지하기 위한 압력 센서로부터 압력 신호를 수신하도록 작동가능하게 연결되고,
상기 제어 유닛은 상기 압력 신호가 사전 결정된 양 이하로 상기 진공 펌핑 시스템 내의 압력 감소를 나타낼 때 제어 신호를 출력하도록 구성되는
진공 펌핑 시스템.9. The method of claim 8,
The control unit being operably connected to receive a pressure signal from a pressure sensor for sensing pressure in the vacuum pumping system,
Wherein the control unit is configured to output a control signal when the pressure signal indicates a pressure decrease in the vacuum pumping system below a predetermined amount
Vacuum pumping system. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 포어라인 구조체는 상기 진공 챔버의 용적보다 적어도 한자릿수 더 작은 용적을 갖고,
상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 진공 챔버의 용적과 동일한 자릿수의 용적 또는 그보다 더 큰 용적을 갖는
진공 펌핑 시스템.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first pour line structure has a volume at least one order of magnitude smaller than the volume of the vacuum chamber,
Wherein the second pour line structure has a volume of the same order of magnitude as the volume of the vacuum chamber or a volume larger than that
Vacuum pumping system. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 포어라인 구조체의 전체 단면적은 배기 속도가 상기 진공 펌프의 펌핑 속도에 의해 제한되지만 상기 제 2 포어라인 구조체의 컨덕턴스에 의해서는 제한되지 않도록 크기 설정되는
진공 펌핑 시스템.3. The method according to claim 1 or 2,
The total cross-sectional area of the second pour line structure is sized such that the pumping speed is limited by the pumping speed of the vacuum pump but not by the conductance of the second pour line structure
Vacuum pumping system. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 한 개의 진공 펌프는 한쪽 또는 양쪽 포어라인 구조체에 의해 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 진공 펌프에 연결되는
진공 펌핑 시스템.3. The method according to claim 1 or 2,
The one vacuum pump is connected to a second vacuum pump connected to the vacuum chamber by one or both foreline structures
Vacuum pumping system. 진공 챔버를 배기하는 방법에 있어서,
유체를 운반하기 위한 제 1 포어라인 구조체를 한 개의 진공 펌프에 연결하고, 제 1의 비교적 저진공 스테이지의 챔버 배기에서 상기 제 1 포어라인 구조체를 통해 가스를 배기하는 단계와,
가스를 운반하기 위한 제 2 포어라인 구조체를 상기 한 개의 진공 펌프에 연결하고, 제 2의 고진공 스테이지의 챔버 배기에서 상기 제 2 포어라인 구조체를 통해 가스를 배기하는 단계를 포함하고,
상기 제 2 포어라인 구조체는 상기 제 1 포어라인 구조체의 전체 단면적보다 큰 전체 단면적을 갖는
진공 챔버 배기 방법.A method for evacuating a vacuum chamber,
Connecting a first pour line structure for transporting the fluid to one vacuum pump and exhausting gas through the first pour line structure in a chamber exhaust of a first relatively low vacuum stage,
Connecting a second pour line structure for carrying gas to said one vacuum pump and venting gas through said second pour line structure in a chamber exhaust of a second high vacuum stage,
Wherein the second pour line structure has a total cross-sectional area greater than the entire cross-sectional area of the first pour line structure
Vacuum chamber exhaust method.
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